KR102325273B1 - Method for manufacturing spacer in lens for camera and spacer manufacturing therefrom - Google Patents

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KR102325273B1
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Abstract

The present invention provides a manufacturing method of a spacer for a camera lens, for manufacturing the space through electroforming process, comprising: a pattern forming step of exposing a substrate surface in a shape corresponding to the space on a conductive substrate surface and forming a pattern constituting an insulation layer in the remaining area; an electroforming step of forming the spacer by electrodepositing metal on the conductive substrate according to the pattern; a separation step of separating the spacer electrodeposited on the conductive substrate; and a film forming step of forming an oxide film on the separated spacer surface. According to the manufacturing method of a spacer, the manufacturing processes can be simplified, precision can be increased, and thickness and manufacturing cost can be decreased.

Description

카메라 렌즈용 스페이서 제조방법 및 이로부터 제조되는 스페이서{METHOD FOR MANUFACTURING SPACER IN LENS FOR CAMERA AND SPACER MANUFACTURING THEREFROM}A method for manufacturing a spacer for a camera lens and a spacer manufactured therefrom

본 개시내용은 카메라 렌즈용 스페이서 제조 방법과 이 제조 방법으로부터 제조되는 카메라 렌즈용 스페이서에 관한 것이다.The present disclosure relates to a method of manufacturing a spacer for a camera lens and a spacer for a camera lens made from the manufacturing method.

일반적으로, 카메라는 복수개의 렌즈가 구비되며 렌즈와 렌즈 사이에는 스페이서가 설치된다. 스페이서는 렌즈와 렌즈 사이에 끼워져 렌즈 사이의 간격을 유지하며, 렌즈로 입사되는 빛을 흡수하여 감광부로 반사되는 것을 차단함으로써, 플레어 현상을 막는 역할을 한다.In general, a camera is provided with a plurality of lenses, and a spacer is installed between the lenses and the lenses. The spacer is sandwiched between the lens and the lens to maintain a distance between the lenses, absorbs light incident on the lens and blocks the light from being reflected to the photosensitive unit, thereby preventing a flare phenomenon.

스페이서는 박막의 구리 재질로 이루어지며, 표면에는 빛 차단을 위한 산화피막을 형성한다.The spacer is made of a thin copper material, and an oxide film is formed on the surface to block light.

스페이서는 중앙부에 홀이 형성되어 마치 도넛과 같은 환형 구조를 이루며, 판금 또는 에칭 공법을 통해 제조된다.The spacer has a hole formed in the center to form a donut-like annular structure, and is manufactured through a sheet metal or etching method.

예를 들어, 두께가 얇은 동박을 금형으로 펀칭하여 환형의 스페이서를 제조하거나, 동박을 에칭하여 환형의 스페이서를 제조하였다.For example, an annular spacer was manufactured by punching a thin copper foil with a mold, or an annular spacer was manufactured by etching the copper foil.

그러나 상기한 종래 구조의 경우, 절단면이나 에칭면이 매끄럽지 못해 정밀도가 저하되는 문제가 있다. 더욱이, 에칭 공법으로 스페이서를 제조하는 경우, 공정이 복잡하여 제조 비용이 증가하며 불량률이 높아지는 문제가 있다. However, in the case of the above-described conventional structure, there is a problem in that the cut surface or the etching surface is not smooth, so that the precision is lowered. Moreover, when the spacer is manufactured by the etching method, there is a problem in that the manufacturing cost is increased and the defect rate is increased because the process is complicated.

또한, 스페이서 제조를 위해서는 막박으로 가공된 고가의 동박 시트를 준비해야 하므로 원가를 낮추기 어렵고, 스페이서의 두께 역시 줄이기 어려운 문제가 있다.In addition, since it is necessary to prepare an expensive copper foil sheet processed into a thin film for manufacturing the spacer, it is difficult to lower the cost, and it is difficult to reduce the thickness of the spacer.

최근 들어, 핸드폰 등의 카메라에 사용되는 렌즈의 경우 점점 더 소형화되고 있어, 렌즈에 사용되는 스페이서 역시 보다 얇은 두께와 높은 정밀도를 요구하고 있다. 따라서 종래 스페이서 제조 방법을 개선하여 제공하는 것은 사용자에게 많은 장점을 제공한다.In recent years, lenses used in cameras such as mobile phones are getting smaller and smaller, and spacers used in lenses also require thinner thickness and higher precision. Therefore, improving and providing the conventional spacer manufacturing method provides many advantages to the user.

본 과제는 제조 공정을 보다 단순화하여 제조가 용이한 카메라 렌즈용 스페이서 제조방법 및 이로부터 제조되는 스페이서를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a spacer for a camera lens, which can be easily manufactured by simplifying the manufacturing process, and a spacer manufactured therefrom.

본 과제는 전기 주조 공정을 통해 제조할 수 있도록 된 카메라 렌즈용 스페이서 제조방법 및 이로부터 제조되는 스페이서를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a spacer for a camera lens that can be manufactured through an electroforming process, and a spacer manufactured therefrom.

본 과제는 보다 정밀도를 높이고 두께를 줄일 수 있도록 된 카메라 렌즈용 스페이서 제조방법 및 이로부터 제조되는 스페이서를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a spacer for a camera lens capable of increasing precision and reducing thickness, and a spacer manufactured therefrom.

본 과제는 제조 원가를 낮출 수 있도록 된 카메라 렌즈용 스페이서 제조방법 및 이로부터 제조되는 스페이서를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a spacer for a camera lens capable of lowering manufacturing cost, and a spacer manufactured therefrom.

본 구현예의 제조 방법은, 금속 재질로 형성되고 표면에 산화피막이 형성되어 렌즈와 렌즈 사이에 삽입되는 카메라 렌즈용 스페이서를 제조하기 위한 제조방법일 수 있다.The manufacturing method of the present embodiment may be a manufacturing method for manufacturing a spacer for a camera lens that is formed of a metal material, an oxide film is formed on the surface, and is inserted between the lens and the lens.

상기 제조 방법은, 도전성 기판 표면에 상기 스페이서와 대응되는 형태로 기판 표면을 노출하고 나머지 영역은 절연층을 이루는 패턴을 형성하는 패턴 형성단계, 상기 도전성 기판에 패턴대로 금속을 전착하여 스페이서를 형성하는 전기 주조 단계, 상기 도전성 기판에서 전착된 스페이서를 분리하는 분리 단계, 분리된 스페이서 표면에 산화 피막을 형성하는 피막 형성단계를 포함할 수 있다.The manufacturing method includes a pattern forming step of exposing the surface of the substrate in a form corresponding to the spacer on the surface of the conductive substrate and forming a pattern constituting an insulating layer in the remaining area, electrodepositing a metal according to the pattern on the conductive substrate to form a spacer It may include an electroforming step, a separation step of separating the electrodeposited spacer from the conductive substrate, and a film forming step of forming an oxide film on the surface of the separated spacer.

상기 패턴 형성 단계는, 준비된 도전성 기판에 포토레지스트를 도포하고 건조하는 단계, 패턴이 형성된 마스크필름을 준비하여 도전성 기판의 포토레지스트 상에 마스킹하고 노광하는 단계, 노광된 포토레지스트를 현상하고 열처리하여 패턴을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.The pattern forming step includes applying and drying a photoresist on the prepared conductive substrate, preparing a mask film on which the pattern is formed, masking and exposing the photoresist on the conductive substrate, and developing and heat-treating the exposed photoresist to form a pattern may include the step of forming

상기 패턴 형성 단계는, 포토레지스트 도포 전에 상기 도전성 기판의 표면 처리 단계를 더 포함할 수 있다.The pattern forming step may further include a surface treatment step of the conductive substrate before applying the photoresist.

상기 전기 주조 단계는, 전해조 내에 패턴이 형성된 도전성 기판을 배치하고 전압을 인가하여 도전성 기판 표면에 패턴대로 금속을 전착하여 슬립 방지층을 형성하는 제1 전착 단계를 포함할 수 있다.The electroforming step may include a first electrodeposition step of disposing a patterned conductive substrate in an electrolytic cell and electrodepositing a metal according to the pattern on the surface of the conductive substrate by applying a voltage to form a slip prevention layer.

상기 전기 주조 단계는, 상기 도전성 기판에 형성된 슬립 방지층 상에 금속을 전착하여 바디층을 형성하는 제2 전착 단계를 더 포함할 수 있다.The electroforming step may further include a second electrodeposition step of forming a body layer by electrodepositing a metal on the anti-slip layer formed on the conductive substrate.

상기 도전성 기판은 스테인리스 재질의 금속판이나 황동판(인청동판), 구리판, 또는 PCB판에서 선택될 수 있다.The conductive substrate may be selected from a metal plate made of stainless steel, a brass plate (phosphor bronze plate), a copper plate, or a PCB plate.

상기 제1 전착 단계에서, 상기 슬립 방지층은 피로인산동 도금층일 수 있다.In the first electrodeposition step, the slip prevention layer may be a copper pyrophosphate plating layer.

상기 슬립 방지층은 0.001 내지 0.010mm 두께로 형성될 수 있다. The anti-slip layer may be formed to a thickness of 0.001 to 0.010 mm.

상기 제2 전착 단계는, 제조하고자 하는 스페이서의 두께에 따라 5분 내지 70분 동안 수행될 수 있다.The second electrodeposition step may be performed for 5 minutes to 70 minutes depending on the thickness of the spacer to be manufactured.

상기 제2 전착 단계에서, 상기 바디층은 황산동 도금층일 수 있다.In the second electrodeposition step, the body layer may be a copper sulfate plating layer.

상기 제2 전착 단계를 거쳐 상기 스페이서는 0.003 내지 0.035mm 두께로 형성될 수 있다. 바람직하게 상기 스페이서는 0.005 내지 0.010mm 두께로 형성될 수 있다.Through the second electrodeposition step, the spacer may be formed to a thickness of 0.003 to 0.035 mm. Preferably, the spacer may be formed to a thickness of 0.005 to 0.010 mm.

본 구현예의 스페이서는, 전기 주조에 의해 형성된 피로인산동 도금층과 상기 피로인산동 도금층 상에 적층된 황산동 도금층을 포함하고, 표면에 산화피막이 형성된 구조일 수 있다.The spacer of the present embodiment may have a structure including a copper pyrophosphate plating layer formed by electroforming and a copper sulfate plating layer laminated on the copper pyrophosphate plating layer, and an oxide film is formed on the surface.

상기 스페이서는 0.003 내지 0.035mm 두께로 형성될 수 있다. 바람직하게 상기 스페이서는 0.005 내지 0.010mm 두께로 형성될 수 있다.The spacer may be formed to a thickness of 0.003 to 0.035 mm. Preferably, the spacer may be formed to a thickness of 0.005 to 0.010 mm.

상기 산화피막은 0.001 내지 0.002mm 두께로 형성될 수 있다.The oxide film may be formed to a thickness of 0.001 to 0.002 mm.

이와 같이 본 구현예에 의하면, 전기 주조 공정을 적용하여 제조 공정을 보다 단순화함으로써, 제조가 용이하고 제조 불량을 최소화하며, 제조 비용을 낮출 수 있게 된다.As described above, according to the present embodiment, by applying the electroforming process to further simplify the manufacturing process, manufacturing is easy, manufacturing defects are minimized, and manufacturing cost can be lowered.

스페이서의 두께를 보다 얇게 제조할 수 있음은 물론, 다양한 두께의 스페이서를 보다 용이하게 제조할 수 있다.It is possible to manufacture the spacer with a thinner thickness, and it is possible to more easily manufacture spacers of various thicknesses.

선단면이 보다 매끄럽게 가공되고, 전착시 미세 슬립 현상을 방지하여 스페이서의 정밀도를 높일 수 있다.The tip surface is processed more smoothly and the precision of the spacer can be increased by preventing the micro-slip phenomenon during electrodeposition.

전기 주조 공정을 통해 박막의 스페이서를 바로 형성함으로써, 고가의 동박 시트 사용에 따른 비용을 줄여 원가를 낮추고 가격 경쟁력을 높일 수 있다.By directly forming the thin spacer through the electroforming process, the cost associated with the use of an expensive copper foil sheet can be reduced, thereby lowering the cost and enhancing price competitiveness.

도 1은 본 실시예에 따른 스페이서 제조 공정을 도시한 개략적인 공정 순서도이다.
도 2는 본 실시예에 따른 스페이서를 도시한 개략적인 도면이다.
1 is a schematic process flowchart illustrating a spacer manufacturing process according to the present embodiment.
2 is a schematic diagram illustrating a spacer according to the present embodiment.

이하, 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 이는 예시로서 제시되는 것으로, 이에 의해 본 발명이 제한되지는 않으며, 본 발명은 후술할 청구범위의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 후술하는 실시예는 본 발명의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 형태로 변형될 수 있다. 가능한 한 동일하거나 유사한 부분은 도면에서 동일한 도면부호를 사용하여 나타낸다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. However, this is presented as an example, and the present invention is not limited thereto, and the present invention is only defined by the scope of the claims to be described later. The embodiments to be described below may be modified in various forms without departing from the concept and scope of the present invention. Wherever possible, identical or similar parts are denoted by the same reference numerals in the drawings.

이하에서 사용되는 전문용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지 않는다. 여기서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함하는"의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.The terminology used below is for the purpose of referring to specific embodiments only, and is not intended to limit the present invention. As used herein, the singular forms also include the plural forms unless the phrases clearly indicate the opposite. The meaning of "comprising," as used herein, specifies a particular characteristic, region, integer, step, operation, element and/or component, and other specific characteristic, region, integer, step, operation, element, component, and/or group. It does not exclude the existence or addition of

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 기재한다. 그러나 하기 실시예는 본 발명의 바람직한 일 실시예일 뿐 본 발명이 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the following examples are only preferred examples of the present invention, and the present invention is not limited thereto.

도 1은 본 실시예에 따른 스페이서 제조 공정을 개략적으로 나타내고 있다.1 schematically shows a spacer manufacturing process according to the present embodiment.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 제조 방법은, 도전성 기판 상에 패턴을 형성하는 단계, 전기 주조 공정을 통해 패턴대로 스페이서를 전착하는 단계, 스페이서를 분리하는 단계, 및 스페이서에 피막을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.As shown in Fig. 1, the manufacturing method of this embodiment includes the steps of forming a pattern on a conductive substrate, electrodepositing the spacers according to the pattern through an electroforming process, separating the spacers, and forming a film on the spacers. may include the step of

이에, 고가의 박막의 동판 시트를 사용하지 않고도 본 실시예에 따라 전기 주조 공정을 통해 종래보다 현저히 얇은 두께로 스페이서를 용이하게 제조할 수 있다.Accordingly, it is possible to easily manufacture the spacer with a significantly thinner thickness than in the related art through the electroforming process according to the present embodiment without using an expensive thin copper sheet.

패턴은 도전성 기판 상에 스페이서 형태로 형성되는 빈 영역으로, 예를 들어 스페이서와 대응되는 형태로 도전성 기판 표면을 노출하고 나머지 영역은 절연층을 이루는 구조로 되어 있다. 이에, 전기 주조 과정에서 금속이 패턴의 빈 영역에 노출된 도전성 기판 상에 전착되어 스페이서로 형성될 수 있다.The pattern is an empty region formed in the form of a spacer on the conductive substrate. For example, the pattern has a structure in which the surface of the conductive substrate is exposed in a shape corresponding to the spacer, and the remaining region forms an insulating layer. Accordingly, in the electroforming process, metal may be electrodeposited on the conductive substrate exposed in the blank region of the pattern to form a spacer.

패턴 형성단계는, 도전성 기판 표면에 복수의 스페이서가 전착될 수 있도록 형성된다.In the pattern forming step, a plurality of spacers are formed to be electrodeposited on the surface of the conductive substrate.

본 실시예에서, 패턴 형성 단계는 준비된 도전성 기판에 포토레지스트를 도포하고 건조하는 단계, 패턴이 형성된 마스크필름을 준비하여 도전성 기판의 포토레지스트 상에 마스킹하고 노광하는 단계, 노광된 포토레지스트를 현상하고 열처리하여 패턴을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. In this embodiment, the pattern forming step is a step of applying and drying a photoresist on the prepared conductive substrate, preparing a mask film on which the pattern is formed, masking and exposing on the photoresist of the conductive substrate, developing the exposed photoresist and It may include the step of forming a pattern by heat treatment.

도전성 기판이 준비되면 기판의 표면에 포토레지스트를 균일한 두께로 도포한다. 도전성 기판은 예를 들어, 스테인리스 재질의 금속판이나 황동판(인청동판), 구리판, 또는 PCB판에서 선택될 수 있다. When the conductive substrate is prepared, a photoresist is applied to the surface of the substrate in a uniform thickness. The conductive substrate may be selected from, for example, a metal plate made of stainless steel, a brass plate (phosphor bronze plate), a copper plate, or a PCB plate.

본 실시예는 포토레지스트 도포에 앞서, 도전성 기판 표면에서 전착된 스페이서를 보다 용이하게 박리시키기 위한 표면 처리를 수행할 수 있다.In this embodiment, prior to application of the photoresist, a surface treatment may be performed to more easily peel the electrodeposited spacer from the surface of the conductive substrate.

표면 처리는 예를 들어, 탄산칼슘과 같은 규조토 등을 이용하여 기판 표면을 폴리싱 연마하고 수세 건조하는 과정을 통해 이루어질 수 있다. 전처리 과정을 통해 기판 표면 탈지가 이루어져 전기 주조에 의한 전착 후 스페이서가 보다 용이하게 분리될 수 있다. The surface treatment may be performed by, for example, polishing the substrate surface using diatomaceous earth such as calcium carbonate, and washing and drying with water. The surface of the substrate is degreased through the pretreatment process so that the spacer can be more easily separated after electrodeposition by electroforming.

표면처리 완료 후 기판 표면에 포토레지스트를 도포한다. 본 실시예에서, 포토레지스트는 PVA액으로 도포하는 것이 바람직하다, After the surface treatment is completed, a photoresist is applied to the surface of the substrate. In this embodiment, the photoresist is preferably applied with PVA solution,

도전성 기판의 표면에 도포된 포토레지스트가 건조 완료되면, 준비된 마스크필름을 마스킹한다. 마스크필름은 금속판 표면에 전착될 복수의 스페이서의 형태에 맞춰 미리 인쇄하여 준비될 수 있다. When the photoresist applied to the surface of the conductive substrate is dried, the prepared mask film is masked. The mask film may be prepared by printing in advance according to the shape of a plurality of spacers to be electrodeposited on the surface of the metal plate.

도전성 기판의 포토레지스트 상에 마스크필름을 마스킹한 후 노광을 실시한다. 노광을 한 후 현상을 하여 도전성 기판 상에 설정된 패턴의 포토레지스트 막만 남기고 나머지는 모두 제거한다. 현상 및 세척 공정을 통해 기판의 표면에는 전착용 패턴이 만들어지게 된다. 이에, 전착될 영역의 포토레지스트가 제거되어 도전성 기판의 표면이 스페이서와 같은 형태로 노출되고 나머지 영역은 포토레지스트에 의한 절연층을 이루는 패턴이 형성된다. 현상이 완료되면 열처리 단계를 거쳐 설정된 패턴의 포토레지스트 막을 열처리한다. After masking the mask film on the photoresist of the conductive substrate, exposure is performed. After exposure and development, only the photoresist film of the pattern set on the conductive substrate is left, and all the rest are removed. A pattern for electrodeposition is made on the surface of the substrate through the development and cleaning process. Accordingly, the photoresist in the region to be electrodeposited is removed, so that the surface of the conductive substrate is exposed in the form of a spacer, and a pattern forming an insulating layer by the photoresist is formed in the remaining region. When the development is completed, the photoresist film of the pattern set through the heat treatment step is heat-treated.

도전성 기판 표면에 패턴이 형성되면, 전기 주조를 통해 패턴대로 도전성 기판 표면에 금속을 전착하여 스페이서를 주조한다.When a pattern is formed on the surface of the conductive substrate, metal is electrodeposited on the surface of the conductive substrate according to the pattern through electroforming to cast a spacer.

본 실시예의 전기 주조 단계는, 전해조 내에 패턴이 형성된 도전성 기판을 배치하고 전압을 인가하여 도전성 기판 표면에 패턴대로 제1 금속을 전착하여 슬립 방지층을 형성하는 제1 전착 단계, 도전성 기판에 형성된 슬립 방지층 상에 바디층을 형성하는 제2 전착 단계를 포함할 수 있다.The electroforming step of this embodiment includes a first electrodeposition step of disposing a patterned conductive substrate in an electrolytic cell and applying a voltage to electrodeposit a first metal in a pattern on the surface of the conductive substrate to form a slip prevention layer, a slip prevention layer formed on the conductive substrate A second electrodeposition step of forming a body layer thereon may be included.

상기한 구조 외에 전기 주조 단계가 제1 전착 단계만으로 이루어져 슬립 방지층만으로 스페이서를 제조할 수 있다.In addition to the above structure, the electroforming step is performed only in the first electrodeposition step, so that the spacer can be manufactured using only the slip prevention layer.

전기 주조는 예를 들어, 전해액이 채워진 전해조 내에 도전성 기판을 배치하고 전류를 흘려줌으로써, 전해액 중의 금속 이온이 도전성 기판 표면에 전착되어 이루어질 수 있다. 금속 이온은 도전성 기재의 표면에 전착되어 금속층으로 석출되면서 스페이서 형태로 형성된다. 즉, 전해액 중에서 음극과 양극을 대향시켜 통전하면 양극쪽에서는 전해용출이 일어나지만, 음극에서는 금속이온이 방전하여 전착현상을 일으킨다. 전기 주조(Electroforming)은 이와 같은 전착현상을 이용하여 전착 도금층을 형성할 수 있다.Electroforming may be performed by, for example, disposing a conductive substrate in an electrolytic bath filled with an electrolyte and flowing an electric current, so that metal ions in the electrolyte are electrodeposited on the surface of the conductive substrate. Metal ions are formed in the form of spacers while being electrodeposited on the surface of the conductive substrate and deposited as a metal layer. That is, when the cathode and the anode are energized in the electrolyte solution opposite to each other, electrolytic elution occurs at the anode side, but metal ions are discharged at the cathode to cause electrodeposition. Electroforming may form an electrodeposition plating layer using such an electrodeposition phenomenon.

패턴에 의해 도전성 기판의 표면에는 스페이서와 같은 형태로 노출면이 형성되어 있어서, 패턴의 형태대로 도전성 기판 표면에 전착에 의한 도금층이 형성될 수 있다. 패턴의 다른 영역은 절연층을 이루어 전류를 차단하므로, 패턴의 절연층 영역은 금속이 전착되지 않는다. 이에, 패턴에 의한 도전성 기판의 노출면에만 전착에 의해 금속이 소정 두께로 도금되고 성장하여 본 실시예의 슬립 방지층을 형성한다.Since the exposed surface is formed on the surface of the conductive substrate in the form of a spacer by the pattern, a plating layer by electrodeposition may be formed on the surface of the conductive substrate according to the shape of the pattern. Since the other regions of the pattern form an insulating layer to block current, the insulating layer region of the pattern is not electrodeposited with metal. Accordingly, the metal is plated to a predetermined thickness by electrodeposition only on the exposed surface of the conductive substrate by the pattern and grown to form the slip prevention layer of this embodiment.

제1 전착 단계에서, 슬립 방지층은 피로인산동 도금층일 수 있다. 즉, 피로인산동을 포함한 용액을 전해액으로 하여 전기 주조를 실시함으로써, 도전성 기판 표면에 피로인산동 도금층에 의한 슬립방지층을 형성할 수 있다.In the first electrodeposition step, the anti-slip layer may be a copper pyrophosphate plating layer. That is, by performing electroforming using a solution containing copper pyrophosphate as an electrolyte, an anti-slip layer by the copper pyrophosphate plating layer can be formed on the surface of the conductive substrate.

이와 같이, 피로인산동으로 슬립 방지층을 형성함으로써, 이후 전착 과정에서 도금층이 도정성 기판 표면에서 미세하게 미끄러지는 현상을 방지할 수 있다. 따라서, 도금층이 도전성 기판 표면에 정확히 전착되지 못하고 흘러내려 그 형태가 어긋나는 것을 방지할 수 있다. 이에, 스페이서의 크기와 형태를 보다 정밀하게 형성할 수 있게 된다. 또한, 도전성 기판 표면의 평탄도과 조도를 향상시켜, 스페이서의 정밀도를 높임으로써, 보다 고품질의 스페이서를 제조할 수 있게 된다.In this way, by forming the slip prevention layer with copper pyrophosphate, it is possible to prevent the plating layer from slipping finely on the surface of the polished substrate in the subsequent electrodeposition process. Accordingly, it is possible to prevent the plating layer from being accurately electrodeposited on the surface of the conductive substrate and from being out of shape due to flow. Accordingly, the size and shape of the spacer can be formed more precisely. In addition, by improving the flatness and roughness of the surface of the conductive substrate and increasing the precision of the spacer, it is possible to manufacture a spacer of higher quality.

슬립방지층의 형성 두께는 통전 시작부터 경과 시간에 따라 단계적으로 증가할 수 있다. 이에, 제1 전착 단계에서, 통전 시간을 조절함으로써 슬립방지층을 적절한 두께로 형성할 수 있다.The thickness of the anti-slip layer can be increased step by step from the start of energization with the elapsed time. Accordingly, in the first electrodeposition step, the anti-slip layer can be formed to an appropriate thickness by controlling the energization time.

본 실시예에서, 슬립 방지층은 0.001 내지 0.010mm 두께로 형성될 수 있다. 슬립 방지층의 두께가 0.001mm 보다 작은 경우에는 슬립 방지층의 두께가 너무 얇아 슬립 방지 효과가 나타나지 않으며, 이후 전착되는 도금층이 기판 표면에서 흘러내리게 된다. 슬립 방지층의 두께가 0.010mm를 넘는 경우에도 역시 이후 전착되는 도금층이 흘러내리는 현상이 발생되어, 스페이서의 형태가 어긋나고 정밀하게 제조되지 못한다.In this embodiment, the anti-slip layer may be formed to a thickness of 0.001 to 0.010 mm. When the thickness of the anti-slip layer is less than 0.001 mm, the anti-slip layer is too thin to have an anti-slip effect, and then the electro-deposited plating layer flows down from the surface of the substrate. Even when the thickness of the anti-slip layer exceeds 0.010 mm, a phenomenon in which the plating layer to be electrodeposited thereafter flows down also occurs, so that the shape of the spacer is misaligned and it cannot be precisely manufactured.

상기한 구조와 달리, 제1 전착 단계를 통해 슬립방지층만으로 스페이서를 제조하는 구조의 경우, 슬립 방지층이 바로 스페이서를 이룬다. 예를 들어, 슬립 방지층을 0.010mm로 형성하는 것으로 0.010mm 두께로 스페이서를 제조할 수 있다.Unlike the structure described above, in the case of a structure in which the spacer is manufactured using only the anti-slip layer through the first electrodeposition step, the anti-slip layer directly forms the spacer. For example, the spacer may be manufactured to a thickness of 0.010 mm by forming the anti-slip layer to be 0.010 mm.

제2 전착 단계 역시 상기한 전기 주조 공정을 통해 이루어질 수 있다. 제2 전착 공정은 전해액이 상이할 뿐 제1 전착 과정과 동일하게 이루어지므로 이하 전기 주조의 상세한 과정은 생략한다.The second electrodeposition step may also be performed through the above-described electroforming process. Since the second electrodeposition process is performed the same as the first electrodeposition process with a different electrolyte solution, a detailed process of electroforming will be omitted below.

제2 전착 단계에서, 바디층은 황산동 도금층일 수 있다. 즉, 황산동을 포함한 용액을 전해액으로 하여 전기 주조를 실시함으로써, 도전성 기판 표면에 황산동 도금층에 의한 바디층을 형성할 수 있다.In the second electrodeposition step, the body layer may be a copper sulfate plating layer. That is, by performing electroforming using a solution containing copper sulfate as an electrolyte, a body layer made of a copper sulfate plating layer can be formed on the surface of the conductive substrate.

황산동으로 바디층을 형성함으로써, 1차 전착 단계에서 형성된 피로인산동 도금층 상에 최종적으로 원하는 두께로 스페이서를 형성할 수 있다.By forming the body layer with copper sulfate, a spacer can be finally formed to a desired thickness on the copper pyrophosphate plating layer formed in the first electrodeposition step.

이와 같이, 황산동으로 바디층을 형성함으로써, 전착에 소요되는 시간을 줄이고 제조 원가를 낮춰 스페이서의 가격 경쟁력을 높일 수 있게 된다.In this way, by forming the body layer with copper sulfate, it is possible to reduce the time required for electrodeposition and lower the manufacturing cost, thereby increasing the price competitiveness of the spacer.

바디층의 형성 두께는 통전 시작부터 경과 시간에 따라 단계적으로 증가할 수 있다. 이에, 제2 전착 단계에서, 통전 시간을 조절함으로써 바디층을 적절한 두께로 형성할 수 있다. 따라서, 다양한 두께로 스페이서를 제조할 수 있다.The thickness of the body layer may be increased in stages from the start of energization according to the elapsed time. Accordingly, in the second electrodeposition step, the body layer can be formed to an appropriate thickness by controlling the energization time. Accordingly, spacers can be manufactured with various thicknesses.

본 실시예에서, 제2 전착 단계는 스페이서의 두께에 따라 5분 내지 70분 수행될 수 있다. 이에, 전체적인 스페이서의 두께를 0.003 내지 0.035mm 로 형성할 수 있으며, 보다 바람직하게 0.005 내지 0.01mm 의 두께로 형성할 수 있다.In this embodiment, the second electrodeposition step may be performed for 5 to 70 minutes depending on the thickness of the spacer. Accordingly, the overall thickness of the spacer may be formed in a range of 0.003 to 0.035 mm, more preferably in a thickness of 0.005 to 0.01 mm.

제2 전착 단계를 통한 전기 주조 시간이 5분보다 작은 경우에는 스페이서의 두께 미달로 불량의 원인이 되는 문제가 발생될 수 있다. 제2 전착 단계를 통한 전기 주조 시간이 70분을 넘는 경우에는 스페이서 두께가 변하면서 불량의 원인이 되며 전착시 내측은 좁아지고 외측은 커지는 문제가 발생된다.When the electroforming time through the second electrodeposition step is less than 5 minutes, a problem that causes defects due to insufficient thickness of the spacer may occur. If the electroforming time through the second electrodeposition step exceeds 70 minutes, the thickness of the spacer changes and causes defects.

이와 같이, 본 실시예의 전기 주조 공정을 통해 0.01mm보다 작은 두께의 스페이서를 보다 정밀하게 제조할 수 있게 된다.As such, it is possible to more precisely manufacture a spacer having a thickness of less than 0.01 mm through the electroforming process of the present embodiment.

전기 주조 공정이 완료되면, 도전성 기판에서 스페이서를 분리한다. When the electroforming process is completed, the spacer is separated from the conductive substrate.

그리고 피막 형성단계를 통해 분리된 각각의 스페이서의 표면에 산화 피막을 형성한다.Then, an oxide film is formed on the surface of each spacer separated through the film forming step.

본 실시예에서, 산화피막은 0.001 내지 0.002mm 두께로 형성될 수 있다.In this embodiment, the oxide film may be formed to a thickness of 0.001 to 0.002 mm.

산화피막의 두께가 0.001mm 보다 작은 경우에는 스페이서의 불빛이 반사되어 렌즈의 플레어 현상이 일어나게 된다. 산화피막의 두께가 0.002mm를 넘는 경우에는 산화피막 옥사이드가 너무 자라 잘 부러지고 외부에 묻어나는 현상이 발생된다.When the thickness of the oxide film is less than 0.001mm, the light from the spacer is reflected and flare of the lens occurs. If the thickness of the oxide film exceeds 0.002mm, the oxide film oxide grows too much and is easily broken and smeared to the outside occurs.

도 2는 상기한 전기 주조 공정에 따라 제조된 카메라 렌즈용 스페이서를 나타내고 있다.2 shows a spacer for a camera lens manufactured according to the above-described electroforming process.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 스페이서(10)는 전기 주조에 의해 형성된 피로인산동 도금층(12)과 상기 피로인산동 도금층 상에 적층된 황산동 도금층(14)을 포함할 수 있다. 스페이서(10)의 외측 표면에는 산화피막(16)이 형성될 수 있다.As shown in FIG. 2 , the spacer 10 of this embodiment may include a copper pyrophosphate plating layer 12 formed by electroforming and a copper sulfate plating layer 14 laminated on the copper pyrophosphate plating layer. An oxide film 16 may be formed on the outer surface of the spacer 10 .

황산동 도금층(14)은 피로인산동 도금층(12) 상에 적층 형성되어 스페이서(10)의 전체적인 두께를 결정한다.The copper sulfate plating layer 14 is laminated on the copper pyrophosphate plating layer 12 to determine the overall thickness of the spacer 10 .

피로인산동 도금층(12)은 주조 공정에서 전착이 이루어지는 도전성 기판과 도금층 사이에서 미세한 슬립이 발생되는 것을 방지한다. 이에, 황산동 도금층(14)이 두껍게 형성되는 과정에서 도전성 기판에서 미끄러지지 않고 정확한 형태로 형성될 수 있다.The copper pyrophosphate plating layer 12 prevents a fine slip from occurring between the plating layer and the conductive substrate on which electrodeposition is performed in the casting process. Accordingly, the copper sulfate plating layer 14 may be formed in an accurate shape without slipping on the conductive substrate during the thick formation process.

이와 같이 본 실시예의 스페이서(10)는 대단히 얇은 두께로 형성되면서, 피로인산동 도금층(12)에 의해 전기 주조 과정에서 황산동 도금층(14)이 도전성 기판 표면에서 미세하게 흘러내지 않아 그 형태가 정밀하다. As described above, the spacer 10 of this embodiment is formed to have a very thin thickness, and the copper sulfate plating layer 14 does not flow out finely from the surface of the conductive substrate during the electroforming process by the copper pyrophosphate plating layer 12, so the shape is precise. .

또한, 종래 에칭 또는 펀칭 공정을 통해 제조된 스페이서의 선단면과 달리 본 실시예의 스페이서는 전기 주조에 의해 제조됨으로써 보다 매끄럽고 정교한 선단을 이룬다.In addition, unlike the front end of the spacer manufactured through the conventional etching or punching process, the spacer of this embodiment is manufactured by electroforming, thereby achieving a smoother and more sophisticated tip.

본 실시예의 스페이서(10)는 전기 주조 방식을 통해 0.05mm 이하의 두께로 형성될 수 있다. 보다 바람직하게 본 실시예의 스페이서는 0.01mm 보다 작게 형성할 수 있으며, 0.005mm의 두께로도 형성될 수 있다.The spacer 10 of this embodiment may be formed to a thickness of 0.05 mm or less through an electroforming method. More preferably, the spacer of this embodiment may be formed to be smaller than 0.01 mm, and may be formed to a thickness of 0.005 mm.

이와 같이, 본 실시예의 스페이서는 박막의 동박 시트를 통해서는 구현할 수 없는 보다 얇은 두께로 형성될 수 있다. 따라서, 제조 비용을 줄여 원가를 낮추고 가격 경쟁력을 높일 수 있다.As such, the spacer of the present embodiment may be formed to a thinner thickness that cannot be implemented through a thin copper foil sheet. Accordingly, it is possible to reduce the manufacturing cost, thereby lowering the cost and increasing the price competitiveness.

이상 설명한 바와 같이 본 발명의 예시적인 실시예가 도시되어 설명되었지만, 다양한 변형과 다른 실시예가 본 분야의 숙련된 기술자들에 의해 행해질 수 있을 것이다. 이러한 변형과 다른 실시예들은 첨부된 청구범위에 모두 고려되고 포함되어 본 발명의 진정한 취지 및 범위를 벗어나지 않는다 할 것이다.Although exemplary embodiments of the present invention have been illustrated and described as described above, various modifications and other embodiments may be made by those skilled in the art. All such modifications and other embodiments are intended to be contemplated and included in the appended claims without departing from the true spirit and scope of the present invention.

10 : 스페이서 12 : 피로인산동 도금층
14 : 황산동 도금층 16 : 산화피막
10: spacer 12: copper pyrophosphate plating layer
14: copper sulfate plating layer 16: oxide film

Claims (7)

금속 재질로 형성되고 표면에 산화피막이 형성되어 렌즈와 렌즈 사이에 삽입되는 카메라 렌즈용 스페이서를 제조하기 위한 방법으로,
도전성 기판 표면에 상기 스페이서와 대응되는 형태로 기판 표면을 노출하고 나머지 영역은 절연층을 이루는 패턴을 형성하는 패턴 형성단계,
상기 도전성 기판에 패턴대로 금속을 전착하여 스페이서를 형성하는 전기 주조 단계,
상기 도전성 기판에서 전착된 스페이서를 분리하는 분리 단계, 및
분리된 스페이서 표면에 산화 피막을 형성하는 피막 형성단계
를 포함하는 카메라 렌즈용 스페이서 제조방법.
A method for manufacturing a spacer for a camera lens that is formed of a metal material and an oxide film is formed on the surface and is inserted between the lens and the lens,
A pattern forming step of exposing the surface of the substrate in a shape corresponding to the spacer on the surface of the conductive substrate and forming a pattern constituting an insulating layer in the remaining area;
an electroforming step of forming a spacer by electrodepositing a metal on the conductive substrate according to a pattern;
a separation step of separating the electrodeposited spacers from the conductive substrate; and
A film forming step of forming an oxide film on the separated spacer surface
A method of manufacturing a spacer for a camera lens comprising a.
제 1 항에 있어서,
상기 패턴 형성 단계는, 준비된 도전성 기판에 포토레지스트를 도포하고 건조하는 단계, 패턴이 형성된 마스크필름을 준비하여 도전성 기판의 포토레지스트 상에 마스킹하고 노광하는 단계, 노광된 포토레지스트를 현상하고 열처리하여 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 카메라 렌즈용 스페이서 제조방법.
The method of claim 1,
The pattern forming step includes applying a photoresist to the prepared conductive substrate and drying, preparing a mask film on which the pattern is formed, masking and exposing the photoresist on the conductive substrate, and developing and heat treating the exposed photoresist to pattern the pattern. A method of manufacturing a spacer for a camera lens comprising forming a.
제 1 항또는 제 2항에 있어서,
상기 전기 주조 단계는, 전해조 내에 패턴이 형성된 도전성 기판을 배치하고 전압을 인가하여 도전성 기판 표면에 패턴대로 금속을 전착하여 슬립 방지층을 형성하는 제1 전착 단계, 상기 도전성 기판에 형성된 슬립 방지층 상에 금속을 전착하여 바디층을 형성하는 제2 전착 단계를 포함하는 카메라 렌즈용 스페이서 제조방법.
3. The method according to claim 1 or 2,
In the electroforming step, a first electrodeposition step of disposing a patterned conductive substrate in an electrolytic cell and applying a voltage to electrodeposit a metal according to a pattern on the surface of the conductive substrate to form a slip prevention layer, a metal on the slip prevention layer formed on the conductive substrate A method of manufacturing a spacer for a camera lens comprising a second electrodeposition step of forming a body layer by electrodeposition.
제 3 항에 있어서,
상기 제1 전착 단계에서, 상기 슬립 방지층은 피로인산동 도금층인 카메라 렌즈용 스페이서 제조방법.
4. The method of claim 3,
In the first electrodeposition step, the slip prevention layer is a copper pyrophosphate plating layer.
제 3 항에 있어서,
상기 슬립 방지층은 그 두께가 0.001 내지 0.010mm 두께로 형성된 카메라 렌즈용 스페이서 제조방법.
4. The method of claim 3,
The method of manufacturing a spacer for a camera lens, wherein the slip prevention layer has a thickness of 0.001 to 0.010 mm.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006154556A (en) * 2004-11-30 2006-06-15 Fuji Photo Film Co Ltd Pattern forming material, and pattern forming apparatus and pattern forming method
KR20190016336A (en) * 2017-08-08 2019-02-18 주식회사 에스아이씨이노베이션 Spacer for camera lens and preparing method thereof
KR101975571B1 (en) * 2018-09-17 2019-08-28 임회진 Method for manufacturing aperture of camera module
KR20190114246A (en) * 2018-03-29 2019-10-10 주식회사 포엠비 Space for Camera lens and manufacturing method thereof
KR20210056151A (en) * 2019-11-08 2021-05-18 주식회사 신성프리시젼 Lens Spacer And Lens Module Comprising The Same

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006154556A (en) * 2004-11-30 2006-06-15 Fuji Photo Film Co Ltd Pattern forming material, and pattern forming apparatus and pattern forming method
KR20190016336A (en) * 2017-08-08 2019-02-18 주식회사 에스아이씨이노베이션 Spacer for camera lens and preparing method thereof
KR20190114246A (en) * 2018-03-29 2019-10-10 주식회사 포엠비 Space for Camera lens and manufacturing method thereof
KR101975571B1 (en) * 2018-09-17 2019-08-28 임회진 Method for manufacturing aperture of camera module
KR20210056151A (en) * 2019-11-08 2021-05-18 주식회사 신성프리시젼 Lens Spacer And Lens Module Comprising The Same

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