KR102021428B1 - A nickel electroforming method for producing a micro-mesh sheet and a nickel micro-mesh sheet produced by the method - Google Patents

A nickel electroforming method for producing a micro-mesh sheet and a nickel micro-mesh sheet produced by the method Download PDF

Info

Publication number
KR102021428B1
KR102021428B1 KR1020180000925A KR20180000925A KR102021428B1 KR 102021428 B1 KR102021428 B1 KR 102021428B1 KR 1020180000925 A KR1020180000925 A KR 1020180000925A KR 20180000925 A KR20180000925 A KR 20180000925A KR 102021428 B1 KR102021428 B1 KR 102021428B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
nickel
electroplating
micro
substrate
mesh sheet
Prior art date
Application number
KR1020180000925A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20190083249A (en
Inventor
허광선
배영한
Original Assignee
경남정보대학교 산학협력단
(주)한성이즈텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 경남정보대학교 산학협력단, (주)한성이즈텍 filed Critical 경남정보대학교 산학협력단
Priority to KR1020180000925A priority Critical patent/KR102021428B1/en
Publication of KR20190083249A publication Critical patent/KR20190083249A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102021428B1 publication Critical patent/KR102021428B1/en

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D1/00Electroforming
    • C25D1/08Perforated or foraminous objects, e.g. sieves
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D1/00Electroforming
    • C25D1/20Separation of the formed objects from the electrodes with no destruction of said electrodes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D3/00Electroplating: Baths therefor
    • C25D3/02Electroplating: Baths therefor from solutions
    • C25D3/12Electroplating: Baths therefor from solutions of nickel or cobalt

Abstract

본 발명은 마이크로 메쉬가 각인된 전도성 기판을 음극형 회전드럼에 장착시켜 전해액에 침지 시, 음극형 회전드럼이 일정한 속도로 회전함과 동시에 좌우 방향으로 일정간격의 범위 내에서 반복적으로 이동되도록 작동시키면서 정밀한 마이크로 구조의 니켈 메쉬 시트를 제조하는 것을 특징으로 하는 니켈 전주도금방법 및 이 방법에 의해 제조된 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트에 관한 것으로, 니켈 마이크로 메쉬 시트의 균일한 도금두께와 마이크로 크기의 개구(開口)와 선폭이 균일하게 도금되고, 또한, 간단한 방법에 의해 제조가 가능하여 불량률이 낮고 생산성을 향상시키는 효과가 있다.According to the present invention, the conductive substrate imprinted with the micro mesh is mounted on the cathode rotating drum while the cathode rotating drum rotates at a constant speed and is repeatedly moved within a predetermined interval in the horizontal direction while being immersed in the electrolyte. The present invention relates to a nickel electroplating method and a nickel electroplating micromesh sheet produced by the method, comprising: producing a nickel mesh sheet having a precise micro structure; (開口) and the line width is uniformly plated, and can be manufactured by a simple method, low defect rate and has the effect of improving productivity.

Description

마이크로 메쉬 시트를 제조하기 위한 니켈 전주도금방법 및 이 방법에 의해 제조된 니켈 마이크로 메쉬 시트{A nickel electroforming method for producing a micro-mesh sheet and a nickel micro-mesh sheet produced by the method}A nickel electroforming method for producing a micro-mesh sheet and a nickel micro-mesh sheet produced by the method}

본 발명은 마이크로 메쉬가 각인된 전도성 기판을 음극형 회전드럼에 장착시켜 전해액에 침지시, 음극형 회전드럼이 일정한 속도로 회전함과 동시에 좌우 방향으로 일정간격의 범위 내에서 반복적으로 이동되도록 작동시키면서 정밀한 마이크로 구조의 니켈 마이크로 메쉬 시트를 제조함으로써, 니켈 마이크로 메쉬 시트의 균일한 도금 두께와 마이크로 크기의 개구(開口)와 선폭이 정교하게 도금되고, 또한, 간단한 방법에 의해 제조가 가능하여 불량률이 낮고 생산성을 향상시킨 것을 특징으로 하는 마이크로 메쉬 시트를 제조하기 위한 니켈 전주도금방법 및 이 방법에 의해 제조된 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트에 관한 것이다.The present invention is equipped with a micro-mesh-engraved conductive substrate mounted on a cathode rotating drum while immersed in the electrolyte, while the cathode rotating drum rotates at a constant speed and operates to move repeatedly within a predetermined interval in the left and right directions. By producing the nickel micro mesh sheet of the precise micro structure, the uniform plating thickness and micro size opening and line width of the nickel micro mesh sheet are finely plated, and it can be manufactured by a simple method, and the defect rate is low. The present invention relates to a nickel electroplating method for producing a micromesh sheet characterized by improved productivity, and a nickel electroplating micromesh sheet produced by the method.

일반적으로 태양광 부품으로 메쉬 시트이거나 또는 인쇄용 스크린과 같이 정밀한 마이크로 크기의 개구와 선폭이 균일한 메쉬 구조를 요구하는 메쉬 시트들의 경우에는 기계적 가공을 제작하기에는 한계가 있으므로 주로 전주도금 공법에 의해 제조한다. In general, mesh sheets that are photovoltaic components or mesh sheets that require precise micro-sized openings and uniform mesh structures such as printing screens have limitations in manufacturing mechanical processing. Therefore, they are mainly manufactured by electroplating. .

전주도금(Electroforming)은 전기도금의 원리를 이용해 전도성 기판(substrate)에 도금을 한 뒤, 전도성 기판으로부터 도금층을 분리해서 부품을 제조 복제하는 금속 성형 공정의 하나로서 정밀 부품을 성형하기 위하여 전도성 기판(substrate) 위에 포토-리소그래피(Photo-lithography) 공정을 이용하여 성형하고자 하는 모양의 반대 모양을 포토레지스트(Photo Resist)로 형성한 다음, 여기에 도금한 후 포토레지스트를 제거하고 도금층을 박리하여 정밀 부품을 제작하는 방법이다. 이러한 전주도금 기술은 포토-리소그래피(Photo-lithography) 기술과 결합하여 여러 분야에서 응용될 수 있는, 제반 산업 분야의 고부가가치를 창출해 낼 수 있는 기술로 각광을 받을 수가 있다. Electroforming is one of the metal forming processes in which a plate is formed on a substrate using the principle of electroplating, and then a plated layer is separated from the conductive substrate to manufacture and duplicate the component. Photo-lithography process on the substrate to form the opposite shape of the shape to be formed by Photo Resist (Photo Resist), and then plated here, removing the photoresist and peeling off the plating layer to precision parts How to make. The electroplating technology can be spotlighted as a technology that can be combined with photo-lithography technology to create high added value in various industrial fields that can be applied in various fields.

따라서, 근래 각광받는 기술인 전주도금(Electroforming)에 대한 기술들이 다양하게 개발되어 특허출원 되고 있다.Therefore, recently, various technologies for electroforming, which is a popular technology, have been developed and patented.

특허문헌 1은 니켈 전주도금법을 이용한 금속마스크 제작방법 및 이를 이용한 금속 마스크에 관한 발명으로 도 1에 도시된 바와 같이, 액상 감광막 도포(S510), 노광 및 현상(S520), 베이킹(S530), Ni 전주 도금층 형성(S540), Ni 합금층 형성(S550) 및 금속 마스크 분리 및 감광막 제거(S560)의 공정을 거쳐 금속 마스크를 제조함으로써, 기존의 방식으로는 구현하기 어려운 0.33 mm 피치 이하의 높은 정밀도를 가지며 동시에 표면을 강화시켜 신뢰성 향상 및 제품 수명 연장이 가능한 효과가 있다.Patent document 1 relates to a metal mask fabrication method using a nickel electroplating method and a metal mask using the same. As shown in FIG. 1, liquid photoresist coating (S510), exposure and development (S520), baking (S530), Ni By manufacturing the metal mask through the process of forming the electroplating layer (S540), forming the Ni alloy layer (S550), and removing the metal mask and removing the photoresist film (S560), high precision of 0.33 mm pitch or less, which is difficult to realize by the conventional method, is achieved. At the same time, the surface is strengthened to improve reliability and extend product life.

그리고 특허문헌 2는 전주 도금용 기판 및 이를 이용한 전주 도금 방법에 관한 발명으로 도 2에 도시된 바와 같이, 평면 형태 또는 미세 패턴이 형성된 전도성 기판(1) 표면에 기상화학증착법 또는 액상법을 이용하여 그래핀층(2)을 형성하고, 그래핀층(2) 위에 제작하고자 하는 금속막(3)을 전기화학적 방법을 이용하여 기판 위에 형성하고, 형성시킨 금속막은 기판 표면의 그래핀에 의해 쉽게 기판으로부터 분리가 가능한 효과가 있다.In addition, Patent Document 2 relates to a substrate for electroplating and an electroplating method using the same, as shown in FIG. 2, by using a vapor phase chemical vapor deposition method or a liquid phase method on a surface of a conductive substrate 1 having a planar shape or a fine pattern. The pin layer 2 is formed, and the metal film 3 to be manufactured on the graphene layer 2 is formed on the substrate using an electrochemical method, and the formed metal film is easily separated from the substrate by graphene on the substrate surface. There is a possible effect.

또한, 특허문헌 3은 전주도금을 이용한 전자파 차폐재의 제조방법 및 이에 의한 전자파 차폐재에 관한 발명으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 전주도금 금형 제조(S10), 메쉬층 형성(S20), 고분자 필름에 접착제 도포(S30), 고분자 필름을 메쉬층에 부착 및 경화(S40), 전주도금금형 분리(S50) 및 흑화층 형성(S60)의 공정을 거쳐 전자파 차폐재를 제조함으로써, 에칭공정의 생략으로 전체 공정이 단축되어 생산 경제성을 확보할 수 있으며, 전주도금금형의 형상을 조절함으로써 메쉬층의 전도성을 유지하는 한도에서 메쉬층의 두께를 용이하게 조절할 수 있는 효과가 있다. In addition, Patent Document 3 relates to a method for manufacturing an electromagnetic wave shielding material using electroplating and an electromagnetic wave shielding material according to the present invention. As shown in FIG. 3, the electroplating mold manufacturing (S10), mesh layer formation (S20), and a polymer film The electromagnetic wave shielding material by applying the adhesive (S30), attaching the polymer film to the mesh layer and curing (S40), electroplating mold separation (S50), and blackening layer formation (S60), thereby eliminating the etching process. The process can be shortened to secure production economy, and the thickness of the mesh layer can be easily adjusted by limiting the conductivity of the mesh layer by adjusting the shape of the electroplating mold.

그러나 상기 특허문헌 1 내지 3에 따른 전주도금방법은 제조공정이 간단하여 생산성이 높지만 상기의 방법들은 정밀성이 요구되는 마이크로 크기의 메쉬 시트의 제조 시에는 마이크로 크기의 메쉬로 형성된 전주도금 기판에 전해액이 균일하게 도금되지 아니하여 마이크로 크기의 메쉬 시트 두께가 불균일하고, 메쉬 시트 내의 마이크로 개구(開口)의 크기가 불균일하게 도금되어 불량률의 발생이 높은 문제점이 발생할 우려가 있다. However, the electroplating method according to the Patent Documents 1 to 3 has a high productivity because the manufacturing process is simple, but the above methods are used when the electrolytic solution is formed on the electroplating substrate formed of the micro size mesh when the micro size mesh sheet is required for precision. There is a possibility that a problem arises that the thickness of the micro sheet is not uniform because the thickness of the micro sheet is not uniform and the size of the micro openings in the mesh sheet is unevenly plated.

특허문헌 1 : 국내 공개특허공보 제10-2005-0120170호(2005년 12월 22일 공개) 니켈 전주도금법을 이용한 금속마스크 제작방법 및 이를이용한 금속 마스크Patent Document 1: Korean Unexamined Patent Publication No. 10-2005-0120170 (published Dec. 22, 2005) Method of manufacturing metal mask using nickel electroplating method and metal mask using the same 특허문헌 2 : 국내 공개특허공보 제10-2016-0055604호(2016년 05월 18일 공개) 전주 도금용 기판 및 이를 이용한 전주 도금 방법Patent Document 2: Korean Unexamined Patent Publication No. 10-2016-0055604 (published May 18, 2016) Jeonju plating substrate and Jeonju plating method using the same 특허문헌 3 : 국내 공개특허공보 제10-2006-0104532호(2006년 10월 09일 공개) 전주도금을 이용한 전자파 차폐재의 제조방법 및 이에 의한전자파 차폐재Patent Document 3: Korean Laid-Open Patent Publication No. 10-2006-0104532 (October 09, 2006) Manufacturing Method of Electromagnetic Wave Shielding Material Using Electroplating and Electromagnetic Wave Shielding Material

본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위한 방안으로, 마이크로 메쉬가 각인된 전도성 기판을 음극형 회전드럼에 장착시켜 전해액에 침지시켜 정밀한 마이크로 구조의 니켈 메쉬 시트를 제조함으로써, 간단한 방법에 의해 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트의 제조가 가능한 것을 특징으로 하는 마이크로 메쉬 시트를 제조하기 위한 니켈 전주도금방법 및 이 방법에 의해 제조된 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 제공하는 것을 과제로 한다. The present invention is to solve the problems as described above, by mounting a conductive substrate in which the micro-mesh is imprinted on the cathode rotary drum immersed in the electrolyte to produce a nickel mesh sheet of a precise microstructure, a nickel electroplating by a simple method An object of the present invention is to provide a nickel electroplating method for producing a micromesh sheet, and a nickel electroplating micromesh sheet produced by the method, which is capable of producing a plated micromesh sheet.

특히 본 발명은 마이크로 메쉬가 각인된 전주도금 기판을 장착시킨 음극형 회전드럼을 전해액에 침지시켜 음극형 회전드럼의 회전과 동시에 좌우 방향으로 일정간격의 범위 내에서 반복적으로 이동되도록 작동시키면서 정밀한 마이크로 구조의 니켈 전주도금 메쉬 시트를 제조함으로써, 니켈 마이크로 메쉬 시트의 균일한 도금두께와 마이크로 크기의 개구와 선폭이 균일하게 도금되어 불량률이 낮고 생산성을 향상시킨 것을 특징으로 하는 마이크로 메쉬 시트를 제조하기 위한 니켈 전주도금방법 및 이 방법에 의해 제조된 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 제공하는 것을 다른 과제로 한다. In particular, the present invention is precisely micro structure while immersing the negative electrode rotating drum equipped with the electroplated substrate in which the micro mesh is imprinted in the electrolyte so as to be repeatedly moved within a certain interval in the horizontal direction at the same time as the rotation of the negative electrode rotating drum By manufacturing the nickel electroplating mesh sheet of the nickel, the uniform plating thickness of the nickel micro mesh sheet and the micro-sized openings and line widths are uniformly plated, so that the defect rate is low and the productivity for the micro mesh sheet is improved. Another object is to provide a electroplating method and a nickel electroplating micromesh sheet produced by the method.

따라서, 본 발명은 종래의 니켈 전주도금 방법은 회전드럼을 전해액 내에 침지시켜 회전 운동만을 함으로써, 회전드럼에 장착시킨 전주도금 기판에 도금되는 전해액이 회전드럼의 회전 방향을 따라 미세한 흐름의 결들이 형성되어 불균일한 니켈 전주도금이 형성될 우려가 있는 문제점을 해결할 수 있었다. Accordingly, the present invention is a conventional nickel electroplating method by immersing the rotating drum in the electrolyte solution only by the rotational movement, the electrolytic solution plated on the electroplating substrate mounted on the rotating drum is formed of fine flow grains along the rotational direction of the rotating drum As a result, it was possible to solve the problem of uneven nickel electroplating.

상기의 과제를 달성하기 위한 본 발명은 전주도금 기판에 마이크로 메쉬를 음각 또는 양각으로 각인하는 마이크로 메쉬 각인 단계(S100)와; 마이크로 메쉬가 각인된 전주도금 금형에 포토레지스트를 도포하고 포토 마스크를 올려 노광한 후 마이크로 메쉬가 각인된 전주도금 기판을 제작하는 기판 제작 단계(S200)와; 마이크로 메쉬가 각인된 전주도금 기판을 음극형 회전드럼에 장착하는 기판 장착 단계(S300)와; 음극형 회전드럼을 전해액에 침지시켜 마이크로 메쉬 각인 전주도금 기판에 니켈을 전주도금하여 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 형성시키는 니켈 전주도금 단계(S400)와; 음극형 회전드럼을 전해액으로부터 탈거시키는 탈거 단계(S500)와; 전주 도금된 마이크로 메쉬 시트가 형성된 전주도금 기판을 음극형 회전드럼으로부터 분리하는 기판 분리 단계(S600) 및 전주도금 기판으로부터 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 분리하는 마이크로 메쉬 시트 분리 단계(S700);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 메쉬 시트를 제조하기 위한 니켈 전주도금방법을 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.The present invention for achieving the above object is a micro-mesh stamping step (S100) to intaglio or embossed micromesh on the electroplating substrate; A substrate fabrication step (S200) of applying a photoresist to the electroplating mold in which the micromesh is imprinted and then exposing the photomask to produce an electroplating substrate imprinted with the micromesh; A substrate mounting step (S300) of mounting the electroplated substrate on which the micro mesh is imprinted on the cathode rotating drum; A nickel electroplating step (S400) of forming a nickel electroplating micromesh sheet by immersing a negative electrode rotating drum in an electrolytic solution and electroplating nickel on the micromesh stamped electroplating substrate; A stripping step (S500) of removing the cathode rotating drum from the electrolyte solution; A substrate separation step of separating the electroplating substrate on which the electroplating micromesh sheet is formed from the cathode rotating drum (S600) and a micromesh sheet separating step (S700) of separating the nickel electroplating micromesh sheet from the electroplating substrate. It is a solution to the problem to provide a nickel electroplating method for producing a micro mesh sheet.

그리고 상기 니켈 전주도금 단계(S400)는, 음극형 회전드럼을 전해액에 침지시키는 침지 단계(S410) 및 전해액에 침지시킨 음극형 회전드럼이 일정한 속도로 회전함과 동시에 좌우 방향으로 일정간격의 범위 내에서 반복적으로 이동되도록 작동시키면서 마이크로 메쉬 시트 각인 전주도금 기판에 니켈을 전주도금하여 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 형성시키는 니켈 전주도금 단계(S420)를 반복하여 실시하는 것을 특징으로 한다.And the nickel electroplating step (S400), the immersion step (S410) to immerse the negative electrode rotating drum in the electrolyte and the negative electrode rotating drum immersed in the electrolyte rotates at a constant speed and at the same time in the range of the predetermined interval in the left and right directions It is characterized by repeating the nickel electroplating step (S420) to form a nickel electroplating micro mesh sheet by electroplating nickel on the micro-mesh sheet imprinting electroplating substrate while operating to move repeatedly.

또한, 본 발명에서 상기 마이크로 메쉬 시트 각인 전주도금 기판은 전도성 입자를 혼합시킨 전도성 고분자로서 페놀 수지, 멜라민 수지, 에폭시 수지, 우레아 수지 중에서 선택하고, 상기 전해조의 전해액 조성은 증류수 1L 당, 슬파민산니켈(Ni(SO3 NH2)2, 4H2O) 300~500g/L, 염화니켈(NiCl2, 6H2O) 10~25g/L, 붕산(H3BO3) 10~40g/L 및 1차 광택제 1~20g/L, 2차 광택제 1~15g/L, 피트방지제 1∼5g/L, 탈지조의 탈지액의 조성은 100g/L인 것을 특징을 한다.In the present invention, the micro-mesh sheet stamped electroplating substrate is selected from phenol resins, melamine resins, epoxy resins, urea resins as a conductive polymer mixed with conductive particles, the electrolyte composition of the electrolytic cell per 1L of distilled water, nickel sulfamate (Ni (SO 3 NH 2 ) 2 , 4H 2 O) 300 to 500 g / L, nickel chloride (NiCl 2 , 6H 2 O) 10 to 25 g / L, boric acid (H 3 BO 3 ) 10 to 40 g / L and 1 The composition of the primary gloss 1-20 g / L, the secondary gloss 1-15 g / L, the antipitcher 1-5 g / L, and the degreasing bath of a degreasing tank is characterized by being 100 g / L.

특히 도금 후 탈지는 기존의 중크롬산소다는 탈지시 제품의 손상이 있어 본 발명에서는 탈지액을 선정하여 사용하였다. In particular, since the degreasing after plating, the existing sodium dichromate is damaged when degreasing the product in the present invention was used to select a degreasing solution.

전주도금의 조건으로는 PH 3.0∼5.0, 도금조 온도를 50∼60℃, 음극전류 밀도를 1~5(A/dm2), 전압 2∼6V, 교반은 공기교반, 음극형 회전드럼의 속도는 10∼100rpm, 도금시간 30∼80분인 것을 특징을 한다.The conditions for electroplating include PH 3.0 to 5.0, plating bath temperature of 50 to 60 ° C, cathode current density of 1 to 5 (A / dm 2 ), voltage of 2 to 6V, and stirring for air stirring and cathode rotating drum speed. Is 10 to 100 rpm, and the plating time is 30 to 80 minutes.

한편, 본 발명은 상기의 방법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 제공하는 것을 과제의 해결 다른 수단으로 한다.On the other hand, the present invention is to provide a nickel electroplated micro mesh sheet produced by the above method as another means to solve the problem.

본 발명에 따른 마이크로 메쉬 시트를 제조하기 위한 니켈 전주도금방법에 의하면, 마이크로 메쉬가 각인된 전도성 기판을 음극형 회전드럼에 장착시켜 전해액에 침지시, 음극형 회전드럼이 일정한 속도로 회전함과 동시에 좌우 방향으로 일정간격의 범위 내에서 반복적으로 이동되도록 작동시키면서 정밀한 마이크로 구조의 니켈 마이크로 메쉬 시트를 제조함으로써, 니켈 마이크로 메쉬 시트의 균일한 도금두께와 마이크로 크기의 개구(開口)와 선폭이 균일하게 도금되고, 또한, 간단한 방법에 의해 제조가 가능하여 불량률이 낮고 생산성을 향상시키는 효과가 있다.According to the nickel electroplating method for manufacturing a micro mesh sheet according to the present invention, when a conductive substrate imprinted with a micro mesh is mounted on a negative electrode rotating drum, the negative electrode rotating drum rotates at a constant speed while being immersed in an electrolyte solution. By producing a nickel micro mesh sheet with a precise micro structure while operating to move repeatedly within a certain distance in the horizontal direction, the uniform plating thickness of the nickel micro mesh sheet and the micro-sized openings and line widths are uniformly plated. In addition, it is possible to manufacture by a simple method, the defect rate is low and there is an effect of improving the productivity.

도 1은 종래의 본 발명에 따른 Ni 전주도금법을 이용한 금속마스크 제작 방법을 나타낸 흐름도.
도 2는 종래의 전주 도금용 기판을 제작하는 과정을 나타낸 측면도.
도 3은 종래의 전주도금방법에 의해 전자파 차폐재의 제조방법을 나타내는 흐름도.
도 4는 본 발명에 따른 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 제조하기 위한 장치를 나타낸 도면,
도 5는 본 발명에 따른 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 제조하기 위한 니켈 전주도금방법을 나타낸 공정블록도.
도 6은 도 5의 니켈 전주도금 단계(S500)를 구체적으로 나타낸 공정블록도.
도 7은 본 발명에 따른 니켈 전주도금방법에 사용하는 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트 형성 전주도금 기판을 찍은 사진.
도 8은 도 7의 마이크로 메쉬 시트 형성 전주도금 기판에 니켈 전주도금이 된 상태를 찍은 사진.
도 9는 마이크로 메쉬 시트 형성 전주도금 기판으로부터 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 분리시킨 상태를 찍은 사진.
도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 실시 예 1 및 2에 의해 제조한 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 확대하여 찍은 사진.
도 12 및 도 13은 본 발명에 따른 실시 예 1 및 2와 대비되는 비교 예 1 및 2에 의해 제조한 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 확대하여 찍은 사진.
1 is a flow chart showing a metal mask manufacturing method using a conventional Ni electroplating method according to the present invention.
Figure 2 is a side view showing a process of manufacturing a conventional electroplating substrate.
3 is a flowchart showing a method of manufacturing an electromagnetic wave shielding material by a conventional electroplating method.
4 is a view showing an apparatus for manufacturing a nickel electroplated micro mesh sheet according to the present invention;
Figure 5 is a process block diagram showing a nickel electroplating method for producing a nickel electroplating micro mesh sheet according to the present invention.
Figure 6 is a process block diagram specifically showing the nickel electroplating step (S500) of FIG.
Figure 7 is a photograph taken of a nickel electroplating micro mesh sheet forming electroplating substrate used in the nickel electroplating method according to the present invention.
FIG. 8 is a photograph of a state in which nickel electroplating is performed on the micromesh sheet-forming electroplating substrate of FIG. 7. FIG.
FIG. 9 is a photograph showing a state in which a nickel electroplating micromesh sheet is separated from a micromesh sheet forming electroplating substrate. FIG.
10 and 11 are enlarged photographs of the nickel electroplating micro mesh sheet prepared in Examples 1 and 2 according to the present invention.
12 and 13 are enlarged photographs of the nickel electroplated micromesh sheet prepared by Comparative Examples 1 and 2 as compared with Examples 1 and 2 according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면에 의거하여 상세히 설명하며, 상세한 설명에서 일반적인 니켈 전주도금 기술분야의 종사자들이 용이하게 알 수 있는 구성 및 작용에 대한 도시 및 언급은 간략히 하거나 또는 생략하였다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the detailed description, illustrations and references to structures and operations easily understood by those skilled in the art of nickel electroplating may be omitted or omitted. .

본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 제조하기 위한 니켈 전주도금 장치(10)는 도 4에 도시된 바와 같이, 전해조(20)와, 마이크로 메쉬 시트 각인 전주도금 기판을 장착하기 위한 한 쌍의 장착대가 구비된 음극형 회전드럼(30)과, 상기 음극형 회전드럼(30)을 회전시킴과 동시에 일정한 간격의 범위 내에서 좌우 방향으로 작동시키기 위한 샤프트(50)로 이루어진 구조이다. Nickel electroplating apparatus 10 for manufacturing a nickel electroplating micro mesh sheet according to a preferred embodiment of the present invention, as shown in Figure 4, to mount the electrolytic bath 20, the stamping electroplating substrate with a micro mesh sheet The cathode rotating drum 30 is provided with a pair of mounting for the structure, and the shaft 50 for rotating the cathode rotating drum 30 and at the same time in the direction of the left and right in a constant interval range structure .

그리고 상기 음극형 회전드럼(30)은 한 쌍의 치차가 구비된 샤프트(50)의 회전 운동에 의해 음극형 회전드럼(30)의 양 측에 구비된 한 쌍의 치차에 전달되어 음극형 회전드럼(30)이 회전을 하게 되며, 또한 니켈 전주도금 장치(10)의 양 측에 구비된 리프트(40)의 상하 운동에 의해 음극형 회전드럼(30)이 전해조(20)의 전해액에 침지되거나 또는 전해액으로부터 탈거되는 작동을 하게 된다.The cathode rotating drum 30 is transferred to a pair of teeth provided on both sides of the cathode rotating drum 30 by a rotational movement of the shaft 50 provided with a pair of teeth. 30 rotates, and the cathode rotary drum 30 is immersed in the electrolyte of the electrolytic cell 20 by vertical movement of the lift 40 provided on both sides of the nickel electroplating apparatus 10. The operation is removed from the electrolyte.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 니켈 전주도금방법은 도 5에 도시된 바와 같이, 전주도금 금형에 마이크로 메쉬를 음각 또는 양각으로 각인하는 마이크로 메쉬 각인 단계(S100)와; 마이크로 메쉬가 각인된 전주도금 금형에 포토레지스트를 도포하고 포토 마스크를 올려 노광한 후 마이크로 메쉬가 각인된 전주도금 기판을 제작하는 기판 제작 단계(S200); 를 거쳐 마이크로 메쉬 시트 각인 전주도금 기판이 제작된다. Nickel electroplating method according to a preferred embodiment of the present invention, as shown in Figure 5, the micro-mesh stamping step (S100) for engraving the micro mesh in the intaglio or embossed on the electroplating mold; A substrate manufacturing step (S200) of applying a photoresist to the electroplating mold in which the micromesh is imprinted and then exposing the photomask to produce an electroplating substrate in which the micromesh is imprinted; The electroplated substrate is stamped with a micro mesh sheet.

본 발명에서 마이크로 메쉬 시트 각인 단계(S100)는 전주도금 금형에 제조하고자 하는 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트와 동일한 선폭과 개구(開口) 크기로 음각 또는 양각으로 각인하는 단계이다. In the present invention, the step of stamping the micro mesh sheet (S100) is a step of engraving intaglio or embossing with the same line width and opening size as the nickel electroplating micromesh sheet to be manufactured in the electroplating mold.

본 단계에서는 전주도금 기판의 전도성 기판상에 임프린트 또는 리소그래피 등의 방법을 이용하여 1 내지 100㎛ 범위의 마이크로 개구크기 패턴을 형성시킴으로써, 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 제조할 수 있다.In this step, by forming a micro-opening size pattern in the range of 1 to 100㎛ using a method such as imprint or lithography on the conductive substrate of the electroplating substrate, it is possible to manufacture a nickel electroplating micro mesh sheet.

기판 제작 단계(S200)는 전주도금 기판의 마이크로 메쉬 시트가 각인 상면에 전도성 고분자를 도포하여 포토마스크를 올려 노광한 후 도 7에 도시된 바와 같은 전주도금 기판(100)을 제작하는 단계이다. Substrate fabrication step (S200) is a step of fabricating the electroplating substrate 100 as shown in Figure 7 after the exposure to the photomask by applying a conductive polymer on the upper surface of the micro-mesh sheet of the electroplating substrate imprinted.

본 단계에서 사용하는 전도성 고분자는 전도성 입자를 혼합시킨 전도성 고분자로서 페놀 수지, 멜라민 수지, 에폭시 수지, 우레아 수지 중에서 선택되며, 상기 고분자 수지는 전도성 입자인 구리, 은, 알루미늄, 탄소마이크로튜브, 탄소 중에서 1종 이상을 선택하여 혼합한 것을 사용한다. The conductive polymer used in this step is a conductive polymer mixed with conductive particles is selected from a phenol resin, melamine resin, epoxy resin, urea resin, the polymer resin is a conductive particle among copper, silver, aluminum, carbon microtube, carbon One or more types selected and mixed are used.

상기 전도성 고분자는 합성수지 100g에 대하여 전도성 입자를 80~100g을 혼합하는 것이 바람직하다. 전도성 입자의 혼합량이 상기에서 한정한 범위 미만이 될 경우에는 고분자는 수지의 전도성이 제대로 발현되지 않을 우려가 있고, 전도성 입자의 혼합량이 상기에서 한정한 범위를 초과할 경우에는 합성수지와 전도성 입자가 균일하게 혼합되지 않을 우려가 있다.The conductive polymer is preferably mixed 80 ~ 100g conductive particles with respect to 100g of synthetic resin. If the mixed amount of the conductive particles is less than the range defined above, the polymer may not express the conductivity of the resin properly. If the mixed amount of the conductive particles exceeds the range defined above, the synthetic resin and the conductive particles are uniform. It may not be mixed.

한편, 상기의 과정을 거쳐 제작한 마이크로 메쉬가 각인된 전주도금 기판을 음극형 회전드럼에 장착하는 기판 장착 단계(S300)와; 음극형 회전드럼을 전해액에 침지시켜 마이크로 메쉬 시트 각인 전주도금 기판에 니켈을 전주도금하여 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 형성시키는 니켈 전주도금 단계(S400)와; 음극형 회전드럼을 전해액으로부터 탈거시키는 탈거 단계(S500)와; 전주 도금된 마이크로 메쉬 시트가 형성된 전주도금 기판을 음극형 회전드럼으로부터 분리하는 기판 분리 단계(S600) 및; 전주도금 기판으로부터 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 분리하는 마이크로 메쉬 시트 분리 단계(S700);를 거쳐 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트가 제조되어진다. On the other hand, the substrate mounting step (S300) for mounting the electro-plated substrate in which the micro-mesh is produced through the above process to the cathode rotary drum; A nickel electroplating step (S400) of forming a nickel electroplating micromesh sheet by immersing a negative electrode rotating drum in an electrolytic solution and electroplating nickel on the micromesh sheet imprinting electroplating substrate; A stripping step (S500) of removing the cathode rotating drum from the electrolyte solution; A substrate separation step (S600) of separating the electroplating substrate on which the electroplated micro mesh sheet is formed from the cathode rotating drum; The nickel electroplating micromesh sheet is manufactured through the micromesh sheet separating step (S700) of separating the nickel preplating micromesh sheet from the electroplating substrate.

기판 장착 단계(S300)는 마이크로 메쉬 시트 각인 전주도금 기판을 음극형 회전드럼에 장착하는 단계로서, 마이크로 메쉬 시트 각인 전주도금 기판을 음극형 회전드럼의 원 주변에 밀착될 수 있도록 원호형으로 부드럽게 굽혀 음극형 회전드럼에 구비된 한 쌍의 장착대를 이용하여 장착시킨다.Substrate mounting step (S300) is a step of mounting the micro-mesh sheet imprinted electroplating substrate on the cathode rotating drum, gently bent in an arc shape so that the micro-mesh sheet imprinted electroplating substrate can be adhered to the circle around the cathode rotating drum It is mounted using a pair of mounts provided in the cathode rotating drum.

니켈 전주도금 단계(S400)는 음극형 회전드럼을 전해액에 침지시켜 도 8에 도시된 바와 같이 마이크로 메쉬 시트 각인 전주도금 기판(100)에 니켈을 전주도금하여 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 형성시키는 단계이다.Nickel electroplating step (S400) is a step of forming a nickel electroplating micro mesh sheet by pre-plating nickel on the micro-mesh sheet imprinting electroplating substrate 100 as shown in Figure 8 by immersing the cathode rotating drum in the electrolyte to be.

상기 니켈 전주도금 단계(S400)는 구체적으로, 도 6에 도시된 바와 같이, 음극형 회전드럼을 전해액에 침지시키는 침지 단계(S410) 및; 전해액에 침지시킨 음극형 회전드럼이 일정한 속도로 회전함과 동시에 좌우 방향으로 일정간격의 범위 내에서 반복적으로 이동되도록 작동시키면서 마이크로 메쉬 시트 각인 전주도금 기판에 니켈을 전주도금하여 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 형성시키는 니켈 전주도금 단계(S420);를 포함하되, 상기 침지 단계(S410) 및 니켈 전주도금 단계(S420)를 반복하여 실시하는 것을 특징으로 한다.The nickel electroplating step (S400) is specifically, as shown in Figure 6, the immersion step (S410) for immersing the cathode rotary drum in the electrolyte; Nickel electroplating micromesh sheet by electroplating nickel on the micromesh sheet imprinting electroplating substrate while operating so that the cathode rotating drum immersed in electrolyte solution rotates at a constant speed and is repeatedly moved within a certain interval in the horizontal direction. Nickel electroplating step (S420) to form a; including, but immersed step (S410) and nickel electroplating step (S420) it characterized in that it is carried out repeatedly.

침지 단계(S410)는 음극형 회전드럼을 전해액에 침지시키는 단계로서, 음극형 회전드럼 직경의 1/4 내지 1/3이 전해액 내에 침지된다. 음극형 회전드럼이 전해조 내에 침지되는 깊이가 상기에서 한정한 범위 미만이 될 경우에는 마이크로 메쉬 시트 각인 전주도금 기판에 형성시키는 니켈 전주도금의 효율이 낮아질 우려가 있고, 음극형 회전드럼이 전해조 내에 침지되는 깊이가 상기에서 한정한 범위를 초과할 경우에는 마이크로 메쉬 시트 각인 전주도금 기판에 형성시키는 니켈 전주도금의 두께가 불균일해질 우려가 있다. Immersion step (S410) is a step of immersing the cathode rotary drum in the electrolyte, 1/4 to 1/3 of the diameter of the cathode rotary drum is immersed in the electrolyte. If the depth of the negative electrode rotating drum immersed in the electrolytic cell is less than the above-defined range, the efficiency of nickel electroplating formed on the micro-mesh sheet imprinted electroplating substrate may be lowered, and the negative electrode rotating drum is immersed in the electrolytic cell. When the depth to be exceeded the range defined above, there exists a possibility that the thickness of the nickel electroplating metal formed in the micromesh sheet engraving electroplating board | substrate may become non-uniform.

니켈 전주도금 단계(S420)는 전해액에 침지시킨 음극형 회전드럼의 회전과 함께 상하 및 좌우 방향으로 요동되도록 작동시키면서 마이크로 메쉬 시트 각인 전주도금 기판에 니켈을 전주도금하여 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 형성시키는 단계로서, 상기에서와 같은 회전드럼의 동작에 따라 간단한 방법에 의해 마이크로 구조의 메쉬 시트의 두께가 균일하고, 메쉬 시트의 마이크로 마이크로 개구(開口)와 선폭이 정교하게 도금되어질 수 있다. The nickel electroplating step (S420) is performed by oscillating in the vertical and horizontal directions with the rotation of the cathode-type rotating drum immersed in the electrolytic solution, and electroplating nickel on the electroplating substrate to imprint the micromesh sheet to form a nickel electroplating micromesh sheet. In this step, according to the operation of the rotating drum as described above, the thickness of the mesh sheet of the micro structure can be uniform by a simple method, and the micro micro openings and line widths of the mesh sheet can be plated finely.

이때, 음극형 회전드럼의 회전속도는 5~100 rpm, 좌우 방향의 이동 속도는 10~50 cm/s인 것이 바람직하며, 상기의 범위 내에서 전주도금 기판에 니켈의 전주도금 작업을 할 경우 니켈 마이크로 메쉬 시트의 균일한 도금두께와 마이크로 크기의 개구(開口)와 선폭이 균일하게 도금되며, 상기에서 한정한 범위를 벗어날 경우에는 마이크로 메쉬 시트의 두께가 불균일하거나 또는 마이크로 크기의 개구(開口)와 선폭이 불균일하게 도금되어질 수 있다.At this time, the rotational speed of the cathode rotating drum is 5 ~ 100 rpm, the movement speed in the left and right direction is preferably 10 ~ 50 cm / s, nickel when the electroplating work on the electroplating substrate within the above range The uniform plating thickness of the micro mesh sheet, the micro-sized openings and the line widths are uniformly plated, and if the micro mesh sheet is out of the above-mentioned range, the thickness of the micro mesh sheet is uneven or the micro-sized openings and The line width may be plated unevenly.

본 단계에서는 전해조 내의 양극 바스켓에 담겨있는 니켈이 전해액에서 전리되어 음극형 회전드럼에 장착된 마이크로 메쉬 시트 각인 전주도금 기판에 니켈이 전주도금되면서 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트가 형성된다.In this step, nickel contained in the anode basket in the electrolytic cell is ionized in the electrolytic solution, and nickel is pre-plated on the stamped electro-plating substrate mounted on the micro-mesh sheet mounted on the cathode rotating drum to form a nickel electro-plating micro mesh sheet.

이에 반해, 종래의 니켈 전주도금방법은 회전드럼을 전해액 내에 침지시켜 회전 운동만을 함으로써, 회전드럼에 장착시킨 전주도금 기판에 도금되는 전해액이 회전드럼의 회전 방향을 따라 미세한 흐름의 결들이 형성되어 불균일한 니켈 전주도금이 형성될 우려가 있다.On the other hand, in the conventional nickel electroplating method, the rotating drum is immersed in the electrolytic solution and rotated only, so that the electrolytic solution to be plated on the electroplating substrate mounted on the rotating drum is formed with fine flow grains along the rotational direction of the rotating drum. There is a fear that a nickel electroplating will be formed.

본 발명에서 사용하는 전해조의 전해액 조성은 증류수 1L 당, 슬파민산니켈(Ni(SO3 NH2)2, 4H2O) 300~500g/L, 염화니켈(NiCl2, 6H2O) 10~25g/L, 붕산(H3BO3) 10~40g/L 및 1차 광택제 1~20g/L, 2차 광택제 1~15g/L, 피트방지제 1∼5g/L, 탈지조의 탈지액의 조성은 100g/L인 것을 특징을 한다.The electrolytic solution composition of the electrolytic cell used in the present invention is 300 to 500 g / L of nickel sulfate (Ni (SO 3 NH 2 ) 2 , 4H 2 O), 10 to 25 g of nickel chloride (NiCl 2 , 6H 2 O) per 1 L of distilled water. / L, boric acid (H 3 BO 3 ) 10-40g / L and primary varnish 1-20g / L, secondary varnish 1-15g / L, anti-pitcher 1-5g / L, degreasing solution composition of the degreasing bath is 100g It is characterized by being / L.

특히 도금 후 탈지는 기존의 중크롬산소다는 탈지시 제품의 손상이 있어 본 발명에서는 탈지액을 선정하는 것으로 특징을 한다.In particular, since the degreasing after plating, the existing sodium dichromate is damaged when degreasing the product is characterized by selecting a degreasing solution in the present invention.

전주도금의 조건으로는 PH 3.0∼5.0, 도금조 온도를 50∼60℃, 음극전류 밀도를 1~5(A/dm2), 전압 2∼6V, 교반은 공기교반, 음극형 회전드럼의 속도는 10∼100rpm, 도금시간 30∼80분인 것으로 특징을 한다.The conditions for electroplating include PH 3.0 to 5.0, plating bath temperature of 50 to 60 ° C, cathode current density of 1 to 5 (A / dm 2 ), voltage of 2 to 6V, and stirring for air stirring and cathode rotating drum speed. Is characterized by being 10 to 100 rpm and a plating time of 30 to 80 minutes.

설파민산니켈은 전주 도금욕으로, 설파민산욕에 부동태의 방지와 고전류 작업을 위하여 염화니켈 또는 브롬화물 이온을 이용하여 양극의 니켈의 용해를 촉진하는 작용을 한다. 증류수 1L 당 설파민산니켈의 혼합량이 상기에서 한정한 혼합량의 범위를 벗어날 경우에는 양극의 니켈의 용해가 저하할 우려가 있다.Nickel sulfamate is an electroplating bath that promotes dissolution of nickel at the anode by using nickel chloride or bromide ions for the prevention of passivation and high current operation. When the mixing amount of nickel sulfamate per 1 L of distilled water is out of the range of the mixing amount defined above, there is a concern that the dissolution of nickel in the positive electrode may decrease.

염화니켈은 전해액의 전기 전도도를 향상시켜 양극의 니켈 용해를 촉진시키고, 밀착성, 평활성이 향상되어 전류밀도가 넓어지는 작용을 한다. 증류수 1L 당 염화니켈의 혼합량이 상기에서 한정한 혼합량의 범위 미만일 경우에는 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트의 광택이 저하할 우려가 있고, 상기에서 한정한 혼합량의 범위를 초과할 경우에는 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트의 피막을 경화시킬 우려가 있다.Nickel chloride improves the electrical conductivity of the electrolyte to promote the dissolution of nickel in the positive electrode, and improves the adhesion and smoothness, thereby increasing the current density. If the mixing amount of nickel chloride per 1 L of distilled water is less than the range of the above-defined mixing amount, the gloss of the nickel electroplating micromesh sheet may be lowered. If the mixing amount of the above-mentioned mixing amount exceeds the above-mentioned range, the nickel electroplating micromesh There exists a possibility of hardening the film of a sheet | seat.

붕산은 pH의 완충제 작용을 하며, 광택범위 확대, 평활성, 내부 응력 감소, 균일 전착성 향상, 검게 타는 현상을 감소시키는 작용을 한다. 증류수 1L 당 붕산의 혼합량이 상기에서 한정한 혼합량의 범위 미만일 경우에는 도금 색이 뿌옇지고 pH 변동이 심할 우려가 있으며, 상기에서 한정한 혼합량의 범위를 초과할 경우에는 양극의 니켈이 용해하는 것을 저하시킬 우려가 있다.Boric acid acts as a buffer for pH, and extends gloss range, smoothness, decreases internal stress, improves uniform electrodeposition, and reduces black burning. If the mixed amount of boric acid per 1 liter of distilled water is less than the range of the above-mentioned mixing amount, there is a fear that the plating color will be cloudy and the pH fluctuation may be severe. There is a fear.

1차 광택제는 2차 광택제 보호와 소지가 가지고 있는 광택을 유지하고 내부 응력으로 강한 도금을 좀더 유연성 있는 도금 작업이 진행되도록 하는 작용을 한다. 1차 광택제가 상기에서 한정한 혼합량의 범위 미만일 경우에는 도금이 취약해지고 내부응력이 커질 우려가 있고, 상기에서 한정한 혼합량의 범위를 초과할 경우에는 별문제가 없다.The primary varnish acts to protect the secondary varnish and maintain the gloss of the base and to make the plating more flexible due to the internal stress. If the primary varnish is less than the range of the mixing amount defined above, there is a fear that the plating is weak and the internal stress is increased, and if the primary varnish exceeds the range of the mixing amount defined above, there is no problem.

2차 광택제는 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트에 좋은 광택을 부여하는 작용을 한다. 2차 광택제의 혼합량이 상기에서 한정한 혼합량의 범위 미만일 경우에는 광택효과가 저하될 우려가 있고, 상기에서 한정한 혼합량의 범위를 초과할 경우에는 저전류밀도부의 피복력이 저하되며, 핏트가 발생할 우려가 있다.The secondary varnish acts to impart good gloss to the nickel electroplated micromesh sheet. If the mixing amount of the secondary varnish is less than the range of the mixing amount defined above, the gloss effect may be lowered. If the mixing amount of the secondary varnish exceeds the range of the above-mentioned mixing amount, the coating power of the low current density portion is lowered, and there is a fear of fitting. There is.

1차 광택제는 1.3.6-나프탈렌, 사카린, 슬폰산소다 또는 슬폰아미드 중에서 선택하는 것이 바람직하며, 2차 광택제는 젤라틴, 부텐디올, 쿠마린 또는 포르말린 중에서 1종 또는 그 이상을 선택 사용하는 것이 바람직하다.The primary varnish is preferably selected from 1.3.6-naphthalene, saccharin, sodium sulfonate or sulfonamide, and the secondary varnish is preferably one or more selected from gelatin, butenediol, coumarin or formalin. .

본 발명에서 니켈 전주도금의 조건은 상기에서 한정한 조건이 바람직하지만. 제조하고자 하는 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트의 규격에 따라 상기 니켈 전주도금의 조건은 적절히 조정되어 질 수 있다.In the present invention, the nickel electroplating conditions are preferably the conditions defined above. According to the specification of the nickel electroplating micro mesh sheet to be manufactured, the conditions of the nickel electroplating may be appropriately adjusted.

상기 니켈 전주도금은 상기의 조건 내에서 니켈 전주도금 작업을 할 경우 간단한 방법에 의해 니켈 마이크로 메쉬 시트의 균일한 도금두께와 마이크로 크기의 개구(開口)와 선폭이 균일하게 도금되고 광택이 양호한 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트가 제조된다.The nickel electroplating is a nickel electroplating with a uniform plating thickness and micro sized opening and line width of the nickel micro mesh sheet by a simple method when the nickel electroplating work is performed within the above conditions. Plated micro mesh sheets are made.

참고로, 니켈 전주도금의 조건은 상기에서 한정한 범위 내에서 니켈 전주도금 작업을 하는 것이 바람직하지만, 제조하고자 하는 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트의 규격에 따라 상기에서 한정한 범위를 벗어날 수도 있다. For reference, the nickel electroplating conditions are preferred to perform nickel electroplating work within the above-defined range, but may be outside the range defined above according to the specifications of the nickel electroplating micro mesh sheet to be manufactured.

탈거 단계(S500)는 음극형 회전드럼을 전해액으로부터 탈거시키는 단계로서, 니켈 전주도금 단계(S420)에서 니켈 전주도금에 의해 원하고자 하는 마이크로 메쉬 시트가 형성될 때까지 상기 침지 단계(S410) 및 니켈 전주도금 단계(S420)를 45~55분간에 걸쳐 반복하여 실시한다. The stripping step (S500) is a step of removing the cathode rotary drum from the electrolyte solution, and the dipping step (S410) and nickel until the desired micro mesh sheet is formed by nickel electroplating in the nickel electroplating step (S420). The electroplating step (S420) is carried out repeatedly for 45 to 55 minutes.

기판 분리 단계(S600)는 전주 도금된 마이크로 메쉬 시트가 형성된 전주도금 기판을 음극형 회전드럼으로부터 분리하는 단계로서, 통상적인 니켈 전조도금방법과 동일한 공정이다. Substrate separation step (S600) is a step of separating the electroplating substrate on which the electroplated micro mesh sheet is formed from the cathode rotary drum, the same process as the conventional nickel electroplating method.

마이크로 메쉬 시트 분리 단계(S700)는 전주도금 기판으로부터 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 분리하는 단계로서, 도 8에 도시된 바와 같이 마이크로 메쉬 시트 각인 전주도금 기판(100) 상에 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 도 9에 도시된 바와 같이 마이크로 메쉬 시트 각인 전주도금 기판(100)으로부터 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트(P)을 분리시키는 단계로서, 통상적인 니켈 전조도금방법과 동일한 공정이다. The micro mesh sheet separation step (S700) is a step of separating the nickel electroplating micromesh sheet from the electroplating substrate, and as shown in FIG. 8, the nickel electroplating micromesh sheet on the micromesh sheet imprinting electroplating substrate 100. 9 is a step of separating the nickel electroplating micro mesh sheet P from the micro mesh sheet imprinting electroplating substrate 100 as shown in FIG. 9, which is the same process as a conventional nickel electroplating method.

상기에서 설명드린 바와 같은 방법에 의해 제조된 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트는 본 발명에 따른 마이크로 메쉬 시트를 제조하기 위한 니켈 전주도금방법에 의해 간단한 방법으로 니켈 마이크로 메쉬 시트의 균일한 도금두께와 마이크로 크기의 개구(開口)와 선폭이 균일하게 도금되는 효과가 있다.Nickel electroplating micro mesh sheet produced by the method as described above is a uniform plating thickness and micro size of the nickel micro mesh sheet by a simple method by the nickel electroplating method for producing a micro mesh sheet according to the present invention There is an effect that the opening and the line width of the plated are uniformly plated.

이하 실시 예를 통하여 본 발명을 구체적으로 설명하기로 한다. 단, 본 발명의 범위가 이들 실시예로만 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the following examples. However, the scope of the present invention is not limited only to these Examples.

(실시 예 1)(Example 1)

메쉬의 개구(開口) 크기가 55 ±10 ㎛, 선폭이 15±5㎛인 두께 16±1㎛ 의 니켈 마이크로 메쉬시트를 제작하기 위하여 상기 전해조의 전해액 조성은 슬파민산니켈(Ni(SO3 NH2)2, 4H2O) 500g/L, 염화니켈(NiCl2, 6H2O) 10g/L, 붕산(H3BO3) 40g/L 및 1차 광택제(GL-5000, 신풍금속) 1g/L, 2차 광택제(NI-BASIC, 신풍금속) 1g/L, 피트방지제(WA-1, 신풍금속) 1g/L, 탈지조의 탈지액(일본 NIKKA NONTAK사) 100g/L으로 조성하였다.The electrolytic solution composition of the electrolytic cell was nickel nickel (sulfate) (Ni (SO 3 NH 2) to produce a nickel micro mesh sheet having a thickness of 55 ± 10 μm and a width of 16 ± 1 μm having a line width of 15 ± 5 μm. ) 2 , 4H 2 O) 500 g / L, nickel chloride (NiCl 2 , 6H 2 O) 10 g / L, boric acid (H 3 BO 3 ) 40 g / L and primary polisher (GL-5000, Shin Poong Metal) 1 g / L , 1 g / L of secondary polish (NI-BASIC, Shin Poong Metal), 1 g / L of anti-pitcher (WA-1, Shin Poong Metal), and 100 g / L of degreasing solution (NIKKA NONTAK, Japan).

전주도금의 조건으로는 PH 3.0, 도금조 온도를 50℃, 음극전류 밀도를 1(A/dm2), 전압 2V, 교반은 공기교반, 음극형 회전드럼의 속도는 10rpm, 도금시간 30분의 조건에서 실시하였다. The conditions of electroplating were PH 3.0, plating bath temperature 50 ℃, cathode current density 1 (A / dm 2 ), voltage 2V, stirring for air agitation, cathode rotating drum speed of 10rpm, plating time of 30 minutes It carried out on condition.

상기 전주도금 기판을 음극형 회전드럼에 밀착할 수 있도록 원호형으로 굽힌 다음 음극형 회전드럼에 구비된 한 쌍의 장착대를 이용하여 전주도금 기판을 장착시킨 후, 음극형 회전드럼의 직경의 1/3이 전해조 내에 잠기도록 침지시키면서 음극형 회전드럼을 10rpm의 속도로 회전함과 동시에 상하 방향 및 좌우 방향의 이동 속도는 10cm/s가 되도록 30분간 작동시킨 다음 음극형 회전드럼으로부터 전주도금 기판을 분리시킨 다음 전주도금 기판에 니켈 전주도금된 마이크로 메쉬 시트를 분리시켜 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트(도 10 참조)를 제조하였다.Bending the electroplating substrate in an arc shape so as to be in close contact with the cathode rotating drum, and then mounting the electroplating substrate by using a pair of mounting bases provided in the cathode rotating drum, and then measuring the diameter of the cathode rotating drum. Rotate the cathode rotating drum at a speed of 10 rpm while immersing / 3 soaked in the electrolytic cell, and operate it for 30 minutes so that the moving speed in the vertical and horizontal directions is 10 cm / s, then remove the electroplating substrate from the cathode rotating drum. After the separation, the nickel pre-plated micro mesh sheet was separated from the pre-plated substrate to prepare a nickel pre-plated micro mesh sheet (see FIG. 10).

(실시 예 2)(Example 2)

메쉬의 개구(開口) 크기가 55 ±10 ㎛, 선폭이 15±5㎛인 두께 16±1㎛ 의 니켈 마이크로 메쉬시트를 제작하기 위하여 상기 전해조의 전해액 조성은 슬파민산니켈(Ni(SO3 NH2)2, 4H2O) 300g/L, 염화니켈(NiCl2, 6H2O) 25g/L, 붕산(H3BO3) 10g/L 및 1차 광택제(GL-5000, 신풍금속) 20g/L, 2차 광택제(NI-BASIC, 신풍금속) 15g/L, 피트방지제(WA-1, 신풍금속) 5g/L, 탈지조의 탈지액(일본 NIKKA NONTAK사) 100g/L으로 조성하였다.The electrolytic solution composition of the electrolytic cell was nickel nickel (sulfate) (Ni (SO 3 NH 2) to produce a nickel micro mesh sheet having a thickness of 55 ± 10 μm and a width of 16 ± 1 μm having a line width of 15 ± 5 μm. ) 2 , 4H 2 O) 300 g / L, nickel chloride (NiCl 2 , 6H 2 O) 25 g / L, boric acid (H 3 BO 3 ) 10 g / L and primary polisher (GL-5000, Shin Poong Metal) 20 g / L 15 g / L of secondary polish (NI-BASIC, Shin Poong Metal), 5 g / L of anti-pitcher (WA-1, Shin Poong Metal), and 100 g / L of degreasing solution (NIKKA NONTAK, Japan).

전주도금의 조건으로는 PH 5, 도금조 온도를 60℃, 음극전류 밀도를 5(A/dm2), 전압 6V, 교반은 공기교반, 음극형 회전드럼의 속도는 100rpm, 도금시간 80분의 조건에서 실시하였다.The conditions of electroplating were PH 5, plating bath temperature 60 ℃, cathode current density 5 (A / dm 2 ), voltage 6V, stirring for air agitation, cathode rotating drum speed of 100rpm, plating time of 80 minutes It carried out on condition.

상기 전주도금 기판을 음극형 회전드럼에 밀착할 수 있도록 원호형으로 굽힌 다음 음극형 회전드럼에 구비된 한 쌍의 장착대를 이용하여 전주도금 기판을 장착시킨 후, 음극형 회전드럼의 직경의 1/4이 전해조 내에 잠기도록 침지시키면서 음극형 회전드럼을 100rpm의 속도로 회전함과 동시에 상하 방향 및 좌우 방향의 이동 속도는 50 cm/s가 되도록 80분간 작동시킨 다음 음극형 회전드럼으로부터 전주도금 기판을 분리시킨 다음 전주도금 기판에 니켈 전주도금된 마이크로 메쉬 시트를 분리시켜 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트(도 11 참조)을 제조하였다.Bending the electroplating substrate in an arc shape so as to be in close contact with the cathode rotating drum, and then mounting the electroplating substrate by using a pair of mounting bases provided in the cathode rotating drum, and then measuring the diameter of the cathode rotating drum. While rotating the cathode rotating drum at a speed of 100rpm while immersing / 4 soaking in the electrolyzer, operate for 80 minutes so that the movement speed in the vertical and horizontal directions is 50 cm / s, and then the electroplating substrate from the cathode rotating drum. After the separation, the nickel pre-plated micro mesh sheet was separated on the pre-plated substrate to prepare a nickel pre-plated micro mesh sheet (see FIG. 11).

(비교 예 1)(Comparative Example 1)

실시 예 1과 동일하게 제작한 전주도금 기판을 사용하여 실시 예 1과 동일한 방법에 의해 음극형 회전드럼의 직경의 1/3이 전해조 내에 잠기도록 침지시키면서 음극형 회전드럼을 10 rpm의 속도로 45분간 회전시킨 다음 음극형 회전드럼으로부터 전주도금 기판을 분리시킨 다음 전주도금 기판에 니켈 전주도금된 마이크로 메쉬 시트를 분리시켜 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트(도 12 참조)을 제조하였다.Using a pre-plated substrate prepared in the same manner as in Example 1, the cathode-type rotary drum was immersed at a speed of 10 rpm while immersing 1/3 of the diameter of the cathode-type rotary drum to be immersed in the electrolytic cell by the same method as in Example 1. After rotating for a minute, the electroplating substrate was separated from the cathode rotating drum, and the nickel electroplating micromesh sheet was separated from the electroplating substrate to prepare a nickel electroplating micromesh sheet (see FIG. 12).

본 비교 예 1에서 사용한 전해액은 상기 실시 예 1에서 사용한 전해액과 동일한 전해액을 사용하고, 실시 예 1과 동일한 조건으로 니켈 전주도금을 실시하였다.The electrolytic solution used in this Comparative Example 1 was subjected to nickel electroplating under the same conditions as in Example 1 using the same electrolyte as that used in Example 1 above.

(비교 예 2)(Comparative Example 2)

실시 예 2와 동일하게 제작한 전주도금 기판을 사용하여 실시 예 2와 동일한 방법에 의해 음극형 회전드럼의 직경의 1/4이 전해조 내에 잠기도록 침지시키면서 음극형 회전드럼을 100 rpm의 속도로 55분간 회전시킨 다음 음극형 회전드럼으로부터 전주도금 기판을 분리시킨 다음 전주도금 기판에 니켈 전주도금된 마이크로 메쉬 시트를 분리시켜 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트(도 13 참조)을 제조하였다.Using a pre-plated substrate prepared in the same manner as in Example 2, the cathode-type rotary drum was immersed at a speed of 100 rpm while immersing 1/4 of the diameter of the cathode-type rotary drum in the electrolytic cell so as to be immersed in the electrolytic cell. After rotating for a minute, the electroplating substrate was separated from the cathode rotating drum, and the nickel electroplating micromesh sheet was separated from the electroplating substrate to prepare a nickel electroplating micromesh sheet (see FIG. 13).

본 비교 예 2에서 사용한 전해액은 상기 실시 예 2에서 사용한 전해액과 동일한 전해액을 사용하고, 실시 예 2와 동일한 조건으로 니켈 전주도금을 실시하였다.The electrolytic solution used in Comparative Example 2 was subjected to nickel electroplating under the same conditions as in Example 2 using the same electrolyte as that used in Example 2 above.

상기 실시 예 1, 2 및 비교 예 1, 2의 방법에 따라 제조한 니켈 전주도금된 마이크로 메쉬 시트를 TEM을 사용하여 사진을 찍은 결과 본 발명의 바람직한 실시 예 1, 2에 따른 니켈 전주도금된 마이크로 메쉬 시트는 도 10 및 도 11(a 사진 배율 : 100배, b 사진 배율 : 500배)에 도시된 바와 같이 마이크로 목 구조가 균일한 허니콤 구조인데 반해, 비교 예 1, 2에 따른 니켈 전주도금된 마이크로 메쉬 시트는 도 12 및 도 13(a 사진 배율 : 200배, b 사진 배율 : 500배)에 도시된 바와 같이 마이크로 목 구조가 불균일한 허니콤 구조인 것을 확인할 수 있었다.Nickel pre-plated micro according to the preferred embodiments 1 and 2 of the present invention as a result of photographing the nickel pre-plated micro mesh sheet prepared by the method of Examples 1, 2 and Comparative Examples 1, 2 using TEM The mesh sheet is a honeycomb structure having a uniform micro neck structure as shown in FIGS. 10 and 11 (a photo magnification: 100 times, b photo magnification: 500 times), and nickel electroplating according to Comparative Examples 1 and 2. As shown in FIGS. 12 and 13 (a photo magnification: 200 times, b photo magnification: 500 times), it was confirmed that the micro neck structure had a non-uniform honeycomb structure.

이는 실시 예 1, 2에 따른 니켈 전주도금된 마이크로 메쉬 시트는 니켈 전주도금시 음극형 회전드럼이 일정한 속도로 회전함과 동시에 상하 방향 및 좌우 방향으로 일정간격의 범위 내에서 반복적으로 이동되도록 작동시키면서 정밀한 마이크로 구조의 니켈 메쉬 시트를 제조함으로써, 간단한 방법에 의해 니켈 마이크로 메쉬 시트의 균일한 도금두께와 마이크로 크기의 개구(開口)와 선폭이 균일하게 도금되는 것으로 추정되는데 반해, 비교 예 1, 2에 따른 니켈 전주도금된 마이크로 메쉬 시트는 음극형 회전드럼이 회전 동작만을 함에 따라 회전드럼의 회전 방향을 따라 미세한 흐름의 결들이 형성되어 불균일한 크기의 개구(開口)와 선폭이 형성된 것으로 추정된다.This is because the nickel electroplated micro mesh sheet according to Examples 1 and 2 is operated while the nickel-type electroplated platen is rotated at a constant speed and repeatedly moved within a predetermined interval in the vertical direction and the left and right directions at the same time. By producing a nickel mesh sheet with a precise micro structure, it is estimated that a uniform plating thickness, micro-sized openings and line widths of the nickel micro mesh sheet are uniformly plated by a simple method. According to the nickel electroplated micro mesh sheet according to the present invention, as the cathode rotating drum only rotates, fine flow grains are formed along the rotating direction of the rotating drum, thereby forming an opening and a line width having a non-uniform size.

상술한 바와 같은, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로 메쉬 시트를 제조하기 위한 니켈 전주도금방법 및 이 방법에 의해 제조된 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 설명하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다는 것을 이 분야의 통상적인 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.As described above, the nickel electroplating method for producing a micromesh sheet according to a preferred embodiment of the present invention and the nickel electroplating micromesh sheet produced by the method have been described, but this is merely described by way of example and the present invention. Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the invention.

P : 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트
100 : 마이크로 메쉬 시트 각인 전주도금 기판
10 : 니켈 전주도금 장치 20 : 전해조
30 : 음극형 회전드럼 40 : 리프트
50 : 샤프트
P: Nickel Electroplated Micro Mesh Sheet
100: stamping electroplating substrate of the micro mesh sheet
10: nickel electroplating apparatus 20: electrolytic cell
30: cathode rotary drum 40: lift
50: shaft

Claims (5)

전주도금 금형에 마이크로 메쉬를 음각 또는 양각으로 각인하는 마이크로 메쉬 각인 단계(S100)와;
마이크로 메쉬가 각인된 전주도금 금형에 페놀 수지, 멜라민 수지 또는 에폭시 수지, 우레아 수지 중에서 선택한 전도성 고분자를 도포하여 마이크로 메쉬가 각인된 전주도금 기판을 제작하는 기판 제작 단계(S200)와;
마이크로 메쉬가 각인된 전주도금 기판을 음극형 회전드럼에 장착하는 기판 장착 단계(S300)와;
음극형 회전드럼을 전해액에 침지시키는 침지 단계(S410) 및; 전해액에 침지시킨 음극형 회전드럼이 일정한 속도로 회전함과 동시에 좌우 방향으로 일정간격의 범위 내에서 반복적으로 이동되도록 작동시키면서 마이크로 메쉬가 각인된 전주도금 기판에 니켈을 전주도금하여 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 형성시키는 니켈 전주도금 단계(S420);를 포함하고, 상기 침지 단계(S410) 및 니켈 전주도금 단계(S420)를 반복하여 실시하되,
음극형 회전드럼을 증류수 1L 당, 슬파민산니켈(Ni(SO3 NH2)2, 4H2O) 300~500g/L, 염화니켈(NiCl2, 6H2O) 10~25g/L, 붕산(H3BO3) 10~40g/L 및 1.3.6-나프탈렌, 사카린, 슬폰산소다 또는 슬폰아미드 중에서 선택한 1차 광택제 1~20g/L, 젤라틴, 부텐디올, 쿠마린 또는 포르말린 중에서 1종 또는 그 이상을 선택한 2차 광택제 1~15g/L, 피트방지제 1∼5g/L, 탈지조의 탈지액의 조성은 100g/L인 전해액에 침지시켜 마이크로 메쉬가 각인된 전주도금 기판에 니켈을 전주도금하여 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 형성시키는 니켈 전주도금 단계(S400)와;
음극형 회전드럼을 전해액으로부터 탈거시키는 탈거 단계(S500)와;
전주 도금된 마이크로 메쉬 시트가 형성된 전주도금 기판을 음극형 회전드럼으로부터 분리하는 기판 분리 단계(S600) 및;
전주도금 기판으로부터 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트를 분리하는 마이크로 메쉬 시트 분리 단계(S700);
를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 메쉬 시트를 제조하기 위한 니켈 전주도금방법.
A micro mesh engraving step (S100) of engraving the micro mesh in an engraved or embossed electroplating mold;
A substrate manufacturing step (S200) of manufacturing a pre-plated substrate in which a micro-mesh is imprinted by applying a conductive polymer selected from a phenol resin, melamine resin or epoxy resin, or urea resin to the pre-plating mold in which the micro-mesh is imprinted;
A substrate mounting step (S300) of mounting the electroplated substrate on which the micro mesh is imprinted on the cathode rotating drum;
Immersion step (S410) for immersing the cathode rotary drum in the electrolyte; The nickel electroplating micromesh by electroplating nickel on the electroplating substrate imprinted with the micromesh while the cathode rotating drum immersed in the electrolyte rotates at a constant speed and is repeatedly moved within a certain interval in the horizontal direction. Nickel pre-plating step (S420) to form a sheet; including, repeating the immersion step (S410) and nickel pre-plating step (S420),
For 1 L of distilled water, 300-500 g / L nickel sulfamate (Ni (SO 3 NH 2 ) 2 , 4H 2 O), 10-25 g / L nickel chloride (NiCl 2 , 6H 2 O), boric acid ( H 3 BO 3 ) 1 to 20 g / L of primary varnish selected from 10 to 40 g / L and 1.3.6-naphthalene, saccharin, sodium sulfonate or sulfonamide, one or more of gelatin, butenediol, coumarin or formalin The composition of the degreasing solution of 1 ~ 15g / L of secondary polishing agent, 1 ~ 5g / L of degreasing bath and degreasing bath was immersed in electrolytic solution of 100g / L, and nickel was electroplated on electroplated substrate with micro mesh stamped. Nickel electroplating step (S400) to form a plated micro mesh sheet;
A stripping step (S500) of removing the cathode rotating drum from the electrolyte solution;
A substrate separation step (S600) of separating the electroplating substrate on which the electroplated micro mesh sheet is formed from the cathode rotating drum;
Micro mesh sheet separation step of separating the nickel electroplating micro mesh sheet from the electroplating substrate (S700);
Nickel electroplating method for producing a micro-mesh sheet comprising a.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 청구항 1의 방법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 니켈 전주도금 마이크로 메쉬 시트.Nickel electroplating micro mesh sheet produced by the method of claim 1.
KR1020180000925A 2018-01-03 2018-01-03 A nickel electroforming method for producing a micro-mesh sheet and a nickel micro-mesh sheet produced by the method KR102021428B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180000925A KR102021428B1 (en) 2018-01-03 2018-01-03 A nickel electroforming method for producing a micro-mesh sheet and a nickel micro-mesh sheet produced by the method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180000925A KR102021428B1 (en) 2018-01-03 2018-01-03 A nickel electroforming method for producing a micro-mesh sheet and a nickel micro-mesh sheet produced by the method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190083249A KR20190083249A (en) 2019-07-11
KR102021428B1 true KR102021428B1 (en) 2019-09-16

Family

ID=67254677

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180000925A KR102021428B1 (en) 2018-01-03 2018-01-03 A nickel electroforming method for producing a micro-mesh sheet and a nickel micro-mesh sheet produced by the method

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102021428B1 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003086467A (en) * 2001-09-12 2003-03-20 Rohm Co Ltd Method for forming dielectric layer in capacitor element for solid electrolytic capacitor and apparatus thereof

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100561705B1 (en) 2004-06-18 2006-03-15 전자부품연구원 A method for manufacturing a metal mask using nickel electroplating and a metal mask using thereof
KR100704685B1 (en) * 2005-03-26 2007-04-06 한국기계연구원 A fabrication device of a continuous metal mesh by cathode drum electrodeposition process
KR20060104532A (en) 2005-03-30 2006-10-09 엘에스전선 주식회사 Method for manufacturing elctrowave shielder using electroforming and electrowave shielder using the same
KR101732078B1 (en) 2014-11-10 2017-05-02 한국과학기술연구원 Substrate for electroforming and Electroforming method using the same
KR101801859B1 (en) * 2017-01-06 2017-11-27 부산대학교 산학협력단 fabrication methods of metal structures using conducting polymers

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003086467A (en) * 2001-09-12 2003-03-20 Rohm Co Ltd Method for forming dielectric layer in capacitor element for solid electrolytic capacitor and apparatus thereof

Also Published As

Publication number Publication date
KR20190083249A (en) 2019-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109440060B (en) Metal mask base material for vapor deposition and method for producing same, metal mask for vapor deposition and method for producing same
JP2006347165A (en) Metal mask for making pattern
KR100750314B1 (en) Mesh type cathode drum for precision electroforming and method for manufacturing
KR102021428B1 (en) A nickel electroforming method for producing a micro-mesh sheet and a nickel micro-mesh sheet produced by the method
US8110087B2 (en) Production of a structured hard chromium layer and production of a coating
JP4468191B2 (en) Metal structure and manufacturing method thereof
JP4579306B2 (en) Circular plating tank
KR101889165B1 (en) Deposition mask, method for preparing the same and method for preparing organic electroluminescent device using the deposition mask
US1811734A (en) Planographic printing plate having mercurialized ink refusing areas for photomechanical printing
JP4863244B2 (en) Metal mask for printing
KR101299556B1 (en) Method for making screen printing metal palte
KR20190050680A (en) Menufacturing method for three-dimensional shape metal mask using electroforming
JP4815771B2 (en) Manufacturing method of electrical parts
JP4134327B2 (en) Metal mask and manufacturing method thereof
CN1515012A (en) Improved method for forming magnetic layers in printed circuit boards
US3434938A (en) Method and apparatus for producing metal screen sheet
KR100940537B1 (en) Method for forming metal pattern
JPH04312889A (en) Intaglio printing and its manufacture
CN108103566B (en) Metal film deplating method and system
WO2010114358A1 (en) Method for producing an ecm tool and use thereof as a cathode in electrochemical machining of a workpiece
KR101979870B1 (en) Spacer for camera lens and preparing method thereof
JP2020199668A (en) Metal mask and method for manufacturing the same
JP2002025573A (en) Manufacturing method of electrode for fuel cell
KR19990001959A (en) Method for manufacturing grinding and polishing tools using electrodeposition
KR20200038391A (en) Method for manufacturing nonslip-pad for staris

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant