KR102317980B1 - 박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이 - Google Patents

박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이 Download PDF

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강경태
안건식
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한국생산기술연구원
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본 발명의 일 실시예는 박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이는, 박막을 용해할 기판을 로딩하는 용기, 상기 용기의 하부와 연결되며 상기 용기에 용매를 주입 및 회수하는 주입기 및 상기 용기의 상부를 덮는 상부 덮개를 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 잔류 용매량 측정 등 고정밀한 분석이 필요한 박막을 간편하게 재용해 및 고농축화 할 수 있는 박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이를 제공할 수 있는 효과가 있다.

Description

박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이{Substrate tray for re-dissolution of films and their high concentration extraction}
본 발명은 용액 공정을 통해 제조된 박막의 분석을 위한 재용해 및 고농축 추출용 트레이에 관한 것이다.
4차 산업혁명 시대의 차세대 IT 기기로 플렉서블 스마트 디바이스가 주목받고 있다. 플렉서블 스마트 디바이스는 접거나 휘는 것이 가능한 플렉서블 부품들로 디바이스를 구성함으로써 사용자에게 휴대 편의성과 공간 활용성을 제공할 수 있다는 점에서 수요가 높을 것으로 전망된다.
플렉서블 디바이스 개발을 위해서는 플렉서블 디스플레이에 관한 연구가 필수적으로 선행되어야 할 것이다. 차세대 디스플레이의 제조 단가를 낮추고 대량 생산이 가능하게 하기 위한 기술로 최근 용액 공정을 통한 디스플레이의 전자소자(박막 트렌지스터) 제작 기술이 활발히 활용되고 있다.
용액 공정을 이용한 디스플레이 제조 기술은 진공 증착 공정과 비교할 때 높은 재료 사용 효율, 낮은 설비 투자비용, 대면적화에 유리 등의 장점들을 가지고 있어 디스플레이 제조 단가를 크게 낮출 수 있는 장점을 가지고 있다. 그러나 용액 공정을 이용한 디스플레이의 수명 특성 및 효율 특성을 증착 공정과 유사하게 구현하기 위해서는 용액 공정에 적합한 용해도를 가지는 재료기술, 박막 형성과정에서 균일한 막을 형성하기 위한 박막 형성기술, 박막 형성 후 박막 내부에 존재하는 잔류 용매 제거 기술 등 부가적 기술에 관한 연구가 필요하다.
이러한 기술 연구 및 개발을 위해서는, 용액 공정을 통해 제작된 박막을 재용해하여 Gas chromatography-Mass spectroscopy 등을 이용하여 그 잔류 용매량 등을 정밀하게 분석하는 과정이 필수적이다. 또한 고정밀한 분석 결과를 얻기 위해서는 박막의 재용해 뿐 만 아니라 고농축화 또한 함께 고려되어야 한다.
그러나 현재 이러한 박막 재용해 및 고농축화를 위한 마땅한 장치나 방법이 마련되어 있지 않은 실정이다.
대한민국 공개특허 제10-2019-0105428호
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 잔류 용매량 측정 등 고정밀한 분석이 필요한 박막을 간편하게 재용해 및 고농축화 할 수 있는 박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예는, 박막을 용해할 기판을 로딩하는 용기, 상기 용기의 하부와 연결되며, 상기 용기에 용매를 주입 및 회수하는 주입기 및 상기 용기의 상부를 덮는, 상기 용기의 내부를 외부 오염으로부터 보호하기 위한 상부 덮개를 포함하는 박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이를 제공한다.
상기 용기는, 상기 용기의 내부에 위치하며 다수의 박막 로딩을 가능하게 하기 위한 다수의 기판 지지용 격벽 리드를 포함할 수 있다.
상기 주입기는, 상기 용기의 하부와 연결되며 용매가 이동하는 주입관, 상기 주입관과 연결되며 상기 용매를 담는 실린더 및 상기 실린더 내부에 삽입되며 상기 실린더에 압력을 가하거나 감압함으로써 상기 실린더 내부의 용매를 밀어내 상기 주입관을 통해 상기 용기로 주입하거나, 상기 용기로부터 상기 주입관을 통해 상기 실린더로 용매를 회수할 수 있는 피스톤을 포함할 수 있다.
상기 상부 덮개는, 상기 용기 내부에서 발생한 기체가 배출되는 구멍이 뚫린 구조의 공기배출구를 포함할 수 있다.
상기 박막은, 스핀코팅, 잉크젯 프린팅, 스크린 프린팅, 그라비아 프린팅, 오프셋 프린팅, 나노임프린트, EHP(electrohydrodynamic printing), 슬롯 다이 코팅, 드롭 캐스팅, 랭뮤어 블로젯 (Langmuir-Blodgett, LB) 도포 및 노즐젯 프린팅으로 이루어진 공정 중 어느 하나의 방법으로 제작된 것일 수 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 다른 실시예는, 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이를 이용한 박막 재용해 및 고농축 추출방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 트레이를 이용한 박막 재용해 및 고농축 추출방법은, 용기에 박막을 용해할 기판을 로딩하는 박막 로딩 단계, 상기 기판이 로딩된 용기에 주입기를 이용하여 용매를 주입하는 용매 주입 단계, 상기 주입된 용매로 상기 용기 내 상기 기판의 박막이 용해되는 박막 용해 단계, 상기 박막이 용해된 용액을 주입기를 이용하여 회수하는 용액 회수 단계, 상기 박막이 용해된 기판을 회수하는 박막 회수 단계 및 상기 회수된 박막 용해 농축액을 확보하는 박막 용해 농축액 확보 단계를 포함한다.
이때, 박막이 용해된 용액의 고농축 추출을 위하여, 상기 박막 로딩 단계, 상기 용매 주입 단계, 상기 박막 용해 단계, 상기 용액 회수 단계, 상기 박막 회수 단계는 소정의 횟수로 반복될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 잔류 용매량 측정 등 고정밀한 분석이 필요한 박막을 간편하게 재용해 및 고농축화 할 수 있는 박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이를 제공할 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이의 구성을 나타낸 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이를 이용한 박막 재용해 및 고농축 추출방법을 나타낸 순서도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이를 이용한 박막 재용해 및 고농축 추출과정을 개략적으로 나타낸 흐름도이다.
도 4는 제조예 1 내지 3에 따른 박막의 측정 시간 1.69min에서 검출된 잔여 톨루엔의 GC-MS intensity를 나타낸 그래프이다.
도 5는 제조예 1 내지 3에 따른 박막 별 흡수 스펙트럼을 UV-Vis-IR 흡수 분광법으로 측정한 그래프이다.
도 6은 제조예 1 내지 3에 따른 박막 별 광 발광 스펙트럼을 측정하여 정규화된 PL(photoluminescence) 강도로 나타낸 그래프이다.
도 7은 제조예 1 내지 3에 따른 박막 별 광 발광 스펙트럼을 측정하여 정규화된 EL(electroluminescence) 강도로 나타낸 그래프이다.
도 8은 제조예 1 내지 3에 따른 박막 별 광 발광 스펙트럼을 측정하여 정규화된 TRPL (Time-Resolved Photoluminescence) 강도로 나타낸 그래프이다.
도 9는 제조예 1 내지 3을 통해 제조한 박막을 이용하여 제조된 OLED device의 단면 TEM 이미지를 나타낸 도면이다.
도 10은 각 device 별 전압에 따른 전류 밀도 및 조도를 측정한 그래프이다.
도 11은 각 device 별 조도에 따른 외부 양자 효율 및 전류 효율을 측정한 그래프이다.
도 12는 각 device 별 조도에 따른 전력 효율을 측정한 그래프이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이를 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이의 구성을 나타낸 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이는, 박막을 용해할 기판을 로딩하는 용기(10), 상기 용기의 하부와 연결되며, 상기 용기에 용매를 주입 및 회수하는 주입기(30) 및 상기 용기의 상부를 덮는, 상기 용기의 내부를 외부 오염으로부터 보호하기 위한 상부 덮개(20)를 포함할 수 있다.
상기 용기(10)는, 상기 용기(10)의 내부에 위치하며 다수의 박막 로딩을 가능하게 하기 위한 다수의 기판 지지용 격벽 리드(11)를 포함할 수 있다. 상기 격벽 리드(11)로 인하여, 본 발명의 트레이는 다수의 기판을 동시에 로딩하고 용해할 수 있으므로 편리하며 고농축한 용해 농축액을 얻을 수 있는 효과가 있다. 상기 용기(10)는, 하단부에 상기 용기 내부로 용매가 주입될 수 있도록 하는 구멍이 뚫린 구조의 주입구를 통해 주입기(30)와 연결된다.
상기 주입기(30)는, 상기 용기(10)의 하단부의 주입구를 통해 상기 용기(10)와 연결되며 용매가 이동하는 주입관(31), 상기 주입관(31)과 연결되며 상기 용매를 담는 실린더(32) 및 상기 실린더 내부에 삽입되며 상기 실린더에 압력을 가하거나 감압함으로써, 상기 실린더 내부의 용매를 밀어내 상기 주입관을 통해 상기 용기로 주입하거나 상기 용기로부터 상기 주입관을 통해 상기 실린더로 용매를 회수할 수 있는 피스톤(33)을 포함할 수 있다. 상기와 같은 본 발명의 주입기(30)의 구성으로 인하여, 박막을 용해할 용매가 반복적으로 재사용 될 수 있다. 따라서, 본 발명의 트레이를 이용하여 박막을 용해할 기판만을 교체해가며 용매의 주입, 박막의 용해, 박막이 용해된 용액의 회수를 반복함으로써, 고정밀한 분석을 위한 고농축 된 박막 용해 농축액을 얻을 수 있는 효과가 있다.
상기 상부 덮개(20)는, 상기 용기(10) 내부에서 발생한 기체가 배출되는 구멍이 뚫린 구조의 공기배출구(21)를 포함할 수 있다. 상기 상부 덮개(20)로 인하여, 고정밀 분석을 위한 상기 용기(10) 내부의 용액이 외부 오염으로부터 보호될 수 있다. 예를 들어, 상기 상부 덮개(20)는, 상기 용기(10)와 연결된 혹은 분리된 뚜껑의 형태일 수 있다.
상기 박막은, 스핀코팅, 잉크젯 프린팅, 스크린 프린팅, 그라비아 프린팅, 오프셋 프린팅, 나노임프린트, EHP(electrohydrodynamic printing), 슬롯 다이 코팅, 드롭 캐스팅, 랭뮤어 블로젯 (Langmuir-Blodgett, LB) 도포 및 노즐젯 프린팅으로 이루어진 공정 중 어느 하나의 방법으로 제작된 것일 수 있다.
상기와 같은 구성의 특징으로 인하여, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 용기 내 다수의 박막을 동시에 로딩하여 용해할 수 있으므로 간편하고, 주사기 형태의 주입기를 이용하여 용매의 반복 사용이 가능하므로 박막이 용해될 기판만을 교체하여 고농축 박막 용해 농축액을 확보할 수 있으며, 용기 내 용매가 외부 오염으로부터 보호되므로 정확한 고정밀 분석이 가능한 박막 용해 농축액을 확보할 수 있는 박막 재용해 및 고농축 추출을 위한 트레이를 제공할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 트레이를 이용한 박막 재용해 및 고농축 추출방법을 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이를 이용한 박막 재용해 및 고농축 추출방법을 나타낸 순서도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이를 이용한 박막 재용해 및 고농축 추출과정을 개략적으로 나타낸 흐름도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이를 이용한 박막 재용해 및 고농축 추출방법은, 박막 로딩 단계(S100), 용매 주입 단계(S200), 박막 용해 단계(S300), 용액 회수 단계(S400), 박막 회수 단계(S500) 및 박막 용해 농축액 확보 단계(S600)를 포함할 수 있다.
이때, 박막이 용해된 용액의 고농축 추출을 위하여, 상기 박막 로딩 단계(S100), 상기 용매 주입 단계(S200), 상기 박막 용해 단계(S300), 상기 용액 회수 단계(S400), 상기 박막 회수 단계(S500)는 소정의 횟수로 반복될 수 있다.
상기와 같은 구성의 특징으로 인하여, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 박막이 용해될 기판만을 교체하면 용매의 반복적인 재사용이 가능하므로 고정밀 분석을 위한 고농축 박막 용해 농축액을 확보할 수 있는 박막 재용해 및 고농축 추출방법을 제공할 수 있는 효과가 있다.
이하에서는 실험예를 통해 본 발명에 대해 더욱 상세하게 설명한다. 하지만 본 발명이 하기 실험예에 한정되는 것은 아니다.
<제조예 1>
먼저, 본 발명의 트레이를 이용하여 재용해 하여 잔여 용매량을 분석할 박막을 제조하였다.
이를 위하여, 노즐젯 프린팅을 이용하여 10cmX10cm 크기의 PVK:Ir(mppy)3 인광 박막 sample A를 제조하였다. 이때, 인쇄속도 100mm/s 와 공압펌프 속도 20ml/min으로 진행하였다. 건조는 25℃, 공기 중에서 30분간 진행되었다.
<제조예 2>
상기 제조예 1에서 건조 조건을 100℃에서 진행하였다는 조건만을 달리한 것을 제외하고는 상기 제조예 1과 동일하게 제조예 2인 인광 박막 sample B를 제조하였다.
<제조예 3>
상기 제조예 1에서 건조 조건을 100℃, 질소 분위기에서 진행하였다는 조건만을 달리한 것을 제외하고는 상기 제조예 1과 동일하게 제조예 3인 인광 박막 sample C를 제조하였다.
<실험예 1>
제조예 1 내지 3을 통해 제조한 PVK:Ir(mppy)3 인광 박막을 재용해하여, 잔여 용매량을 측정해 보는 실험을 진행하였다.
도 4는 제조예 1 내지 3에 따른 박막 sample A 내지 C의 측정 시간 1.69min에서 검출된 잔여 톨루엔의 GC-MS intensity를 나타낸 그래프이다.
도 4를 참조하면, 각 sample 별 톨루엔 잔여량을 확인할 수 있으며, 동일한 도포 방식으로 제조된 박막도 건조 조건에 따라 잔여 톨루엔의 양이 변화할 수 있다는 것을 확인할 수 있다.
<실험예 2>
제조예 1 내지 3을 통해 제조한 PVK:Ir(mppy)3 인광 박막의 잔여 용매량에 따른 박막의 광적 특성 변화를 확인하는 실험을 진행하였다.
도 5는 제조예 1 내지 3에 따른 박막 sample A 내지 C의 흡수 스펙트럼을 UV-Vis-IR 흡수 분광법으로 측정한 그래프이다.
도 6은 제조예 1 내지 3에 따른 박막 sample A 내지 C의 광 발광 스펙트럼을 측정하여 정규화된 PL(photoluminescence) 강도로 나타낸 그래프이다.
도 7은 제조예 1 내지 3에 따른 박막 sample A 내지 C의 광 발광 스펙트럼을 측정하여 정규화된 EL(electroluminescence) 강도로 나타낸 그래프이다.
도 8은 제조예 1 내지 3에 따른 박막 sample A 내지 C의 광 발광 스펙트럼을 측정하여 정규화된 TRPL (Time-Resolved Photoluminescence) 강도로 나타낸 그래프이다.
도 5 내지 도 8을 참조하면, 박막의 잔여 용매량에 따라 박막의 광적 특성이 변화하는 것을 확인할 수 있다.
<실험예 3>
제조예 1 내지 3을 통해 제조한 PVK:Ir(mppy)3 인광 박막의 잔여 용매량에 따른 OLED 소자 성능 변화를 확인하는 실험을 진행하였다.
도 9는 상기 제조예 1 내지 3을 통해 제조한 박막을 이용하여 제조된 OLED device의 단면 TEM 이미지를 나타낸 도면이다.
도 10은 상기 제조예 1 내지 3을 통해 제조한 박막을 이용한 OLED device A 내지 C의 전압에 따른 전류 밀도 및 조도를 측정한 그래프이다.
도 11은 상기 제조예 1 내지 3을 통해 제조한 박막을 이용한 OLED device A 내지 C의 조도에 따른 외부 양자 효율 및 전류 효율을 측정한 그래프이다.
도 12는 상기 제조예 1 내지 3을 통해 제조한 박막을 이용한 OLED device A 내지 C의 조도에 따른 전력 효율을 측정한 그래프이다.
도 9 내지 도 12를 참조하면, 잔여 용매량이 가장 낮은 device C가 동일 전압에서 높은 전류밀도 및 조도를 가지는 것을 확인할 수 있으며, 동일 조도에서 높은 외부 양자 효율, 전류 효율 및 전력 효율을 가지는 것을 확인할 수 있다.
상기와 같은 제조예 및 실험예에 따르면, 디스플레이에 사용될 박막의 잔여 용매량에 따라 디스플레이의 성능이 좌우될 수 있음을 확인할 수 있으며, 따라서 이러한 박막의 고정밀 분석을 위한 재용해 및 고농축화가 필수적임을 확인할 수 있다.
따라서, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 잔류 용매량 측정 등 고정밀한 분석이 필요한 박막을 간편하게 재용해 및 고농축화 할 수 있는 박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이를 제공할 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 용기
11: 기판 지지용 격벽 리드
20: 상부 덮개
21: 공기 배출구
30: 주입기
31: 주입관
32: 실린더
33: 피스톤

Claims (7)

  1. 박막을 용해할 기판을 로딩하는 용기;
    상기 용기의 하부와 연결되며, 상기 용기에 용매를 주입 및 회수하는 주입기; 및
    상기 용기의 상부를 덮는, 상기 용기의 내부를 외부 오염으로부터 보호하기 위한 상부 덮개;를 포함하고,
    상기 주입기는,
    상기 용기의 하부와 연결되며 용매가 이동하는 주입관;
    상기 주입관과 연결되며 상기 용매를 담는 실린더; 및
    상기 실린더 내부에 삽입되며 상기 실린더에 압력을 가하거나 감압함으로써, 상기 실린더 내부의 용매를 밀어내 상기 주입관을 통해 박막을 용해할 용매를 상기 용기로 주입하거나 상기 용기로부터 상기 주입관을 통해 상기 실린더로 박막이 용해된 용액을 회수할 수 있도록 하는 피스톤;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 용기는, 상기 용기의 내부에 위치하며 다수의 박막 로딩을 가능하게 하기 위한 다수의 기판 지지용 격벽 리드를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 상부 덮개는, 상기 용기 내부에서 발생한 기체가 배출되는 구멍이 뚫린 구조의 공기배출구를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 박막은, 스핀코팅, 잉크젯 프린팅, 스크린 프린팅, 그라비아 프린팅, 오프셋 프린팅, 나노임프린트, EHP(electrohydrodynamic printing), 슬롯 다이 코팅, 드롭 캐스팅, 랭뮤어 블로젯(Langmuir-Blodgett, LB) 도포 및 노즐젯 프린팅으로 이루어진 공정 중 어느 하나의 방법으로 제작된 것을 특징으로 하는 박막 재용해 및 고농축 추출용 트레이.
  6. 제1항에 따른 트레이를 이용한 박막 재용해 및 고농축 추출 방법에 있어서,
    용기에 박막을 용해할 기판을 로딩하는 박막 로딩 단계;
    상기 기판이 로딩된 용기에 주입기를 이용하여 용매를 주입하는 용매 주입 단계;
    상기 주입된 용매로 상기 용기 내 상기 기판의 박막이 용해되는 박막 용해 단계;
    상기 박막이 용해된 용액을 주입기를 이용하여 회수하는 용액 회수 단계;
    상기 박막이 용해된 기판을 회수하는 박막 회수 단계; 및
    상기 회수된 박막 용해 농축액을 확보하는 박막 용해 농축액 확보 단계;를 포함하는 박막 재용해 및 고농축 추출 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    박막이 용해된 용액의 고농축 추출을 위하여,
    상기 박막 로딩 단계, 상기 용매 주입 단계, 상기 박막 용해 단계, 상기 용액 회수 단계, 상기 박막 회수 단계는 소정의 횟수로 반복될 수 있는 것을 특징으로 하는 박막 재용해 및 고농축 추출 방법.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040059205A (ko) * 2002-12-28 2004-07-05 주식회사 포스코 휘발성 유기화합물 자동 전처리 장치
KR20110073720A (ko) * 2009-12-24 2011-06-30 주식회사 엘지실트론 웨이퍼 수용 장치
KR101268916B1 (ko) * 2012-09-10 2013-05-29 신상규 유기발광재료의 회수방법
KR20190105428A (ko) 2018-03-05 2019-09-17 광운대학교 산학협력단 플렉서블 디스플레이 및 저온 용액 공정에 기반한 박막 트랜지스터의 제조 방법

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