KR102315651B1 - 초음파 검사 장치 및 초음파 검사 방법 - Google Patents

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Abstract

검사 시간을 오래 끌지 않고 검사 대상물의 접합 부분에 있어서의 박리를 검사할 수 있는 초음파 검사 장치를 제공하는 것이다.
서로 간격을 두고 배치된 송신부와 수신부의 사이에, 시트 부재의 주연 부분을 접합 대상으로 하여 형성된 검사 대상물이 배치되고, 상기 송신부에 의해 상기 검사 대상물에 있어서의 접합 대상 개소인 주연부에 초음파를 송신하고, 상기 수신부에 의해 상기 송신부로부터 송신된 초음파를 수신함으로써 상기 주연부의 박리를 검사하는 초음파 검사 장치에 있어서, 상기 주연부 중, 상기 접합 대상 개소와 상기 접합 대상 개소가 아닌 비접합 대상 개소의 경계선을 따라 정해지는 경계 영역을 검사 개소로 하고, 상기 경계선에 따른 방향으로 상기 검사 대상물을 검사하는 검사부를 구비한다.

Description

초음파 검사 장치 및 초음파 검사 방법 {ULTRASONIC INSPECTION APPARATUS AND ULTRASONIC INSPECTION METHOD}
본 발명은, 예를 들어 시트 부재를 접합하여 형성된 포장 용기에 있어서의 접합 개소의 박리 유무를 검사하는 초음파 검사 장치 및 초음파 검사 방법에 관한 것이다.
종래부터, 레토르트 식품, 음료수 등을 파우치 타입의 포장 용기에 밀폐 상태로 수용하는 것이 행해지고 있다. 이 포장 용기는 시트 부재(필름 부재도 포함한다)의 주연 부분을 용착, 접착 등에 의해 접합하여 주머니상으로 형성되어 있고, 내부에 수용물을 수용한 뒤에, 개구부가 폐색된다. 이러한 포장 용기는, 접합 개소에 박리가 발생되거나 하면, 포장 용기 내에 수용한 수용물이 샐 우려가 있기 위해서, 제조 단계에서 접합 개소가 검사된다.
이 검사에 있어서는, 예를 들어 초음파 검사 장치가 사용된다. 초음파 검사 장치는, 검사 대상인 포장 용기(워크)에 초음파를 송신하고, 포장 용기를 투과한 초음파를 수신하여 해석함으로써 접합 개소에 박리가 발생되었는지 여부를 판정한다.
여기서, 포장 용기가 접합된 접합 개소와 접합되지 않은 비접합 개소의 경계 부근에 있어서는, 수용물이 끼워 넣어지거나 하여, 박리가 발생하는 경우가 있다. 경계 부근에 있어서의 박리는, 수용물의 품질 열화로 연결되고, 겉보기에도 나쁘기 때문에, 모든 박리 개소가 검출됨이 바람직하다.
한편, 포장 용기의 단에 가까운 개소에 초음파를 송신하면, 송신된 초음파가 단의 외측으로부터 돌아 들어가는 회절파가 발생하는 경우가 있다. 초음파 검사 장치가 이러한 회절파를 수신하면, 박리가 발생되었는지 여부를 잘못 판정해 버리는 한 요인이 될 수 있다.
이 회절파의 대책으로서, 초음파 검사에 있어서 회절파를 수신하지 않도록 하는 기술이 제안되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 있어서는, 실드 부재에 의해 포장 용기의 단을 덮음으로써, 포장 용기의 단에 가까운 개소에 초음파가 송신되었을 때 회절파가 발생하지 않는다.
미국 특허 제6840108호 명세서
그러나, 식료품의 검사에 있어서는 전수에 대하여 검사를 행할 필요가 있고, 하나의 검사 대상물당 검사 시간이 길어지지 않도록 행하는 것이 요망된다. 또한, 회절파의 대책으로서 포장 용기의 단을 실드 부재로 덮는 작업은 수고나 시간이 걸린다. 또한, 주연 부분의 외형이 복잡한 포장 용기인 경우, 단을 덮는 작업 자체가 곤란해지는 경우도 있었다.
본 발명은, 이러한 상황을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 검사 시간을 오래 끌지 않고 검사 대상물의 접합 부분에 있어서의 박리를 검사할 수 있는 초음파 검사 장치 및 초음파 검사 방법을 제공하는 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 일 형태는, 서로 간격을 두고 배치된 송신부와 수신부의 사이에, 시트 부재의 주연 부분을 접합 대상으로 하여 형성된 검사 대상물이 배치되고, 상기 송신부에 의해 상기 검사 대상물에 있어서의 접합 대상 개소인 주연부에 초음파를 송신하고, 상기 수신부에 의해 상기 송신부로부터 송신된 초음파를 수신함으로써 상기 주연부의 박리를 검사하는 초음파 검사 장치에 있어서, 상기 주연부 중, 상기 접합 대상 개소와 상기 접합 대상 개소가 아닌 비접합 대상 개소의 경계선을 따라 정해지는 경계 영역을 검사 대상 영역으로 하고, 상기 경계선에 따른 방향으로 상기 검사 대상물을 검사하는 검사부를 갖는 초음파 검사 장치이다.
또한, 본 발명의 일 형태는, 서로 간격을 두고 배치된 송신부와 수신부의 사이에, 시트 부재의 주연 부분을 접합 대상으로 하여 형성된 검사 대상물이 배치되고, 상기 송신부에 의해 상기 검사 대상물에 있어서의 접합 대상 개소인 주연부에 초음파를 송신하고, 상기 수신부에 의해 상기 송신부로부터 송신된 초음파를 수신함으로써 상기 주연부의 박리를 검사하는 초음파 검사 방법에 있어서, 상기 주연부 중, 상기 접합 대상 개소와 상기 접합 대상 개소가 아닌 비접합 대상 개소의 경계선을 따라 정해지는 경계 영역을 검사 대상 영역으로 하고, 상기 경계선에 따른 방향으로 상기 검사 대상물을 검사하는 초음파 검사 방법이다.
본 발명에 따르면, 검사 시간을 오래 끌지 않고 검사 대상물의 접합 부분에 있어서의 박리를 검사할 수 있다.
도 1은, 실시 형태에 있어서의 초음파 검사 장치(20)가 적용되는 초음파 검사 시스템(1)의 구성예를 나타내는 블록도이다.
도 2는, 실시 형태에 있어서의 송신부(26) 및 수신부(28)를 나타내는 단면도이다.
도 3은, 도 2의 송신부(26) 및 수신부(28)를 나타내는 평면도이다.
도 4는, 실시 형태에 있어서의 검사 대상물(40)의 검사 개소와 검사 방향의 관계를 나타내는 모식도이다.
도 5는, 실시 형태의 변형예에 있어서의 초음파 검사 장치(20)가 행하는 처리를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은, 실시 형태의 변형예에 있어서의 검사 결과의 예를 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다.
(실시 형태)
먼저, 실시 형태에 대하여 설명한다.
도 1은, 실시 형태에 있어서의 초음파 검사 시스템(1)의 구성예를 나타내는 블록도이다. 초음파 검사 시스템(1)은, 초음파를 사용하여 검사 대상물(40)을 검사한다. 도 1에 나타내는 예에 있어서, 초음파 검사 시스템(1)은, 표시 장치(10), 초음파 검사 장치(20) 및 반송 장치(30)를 구비한다.
표시 장치(10)는, 초음파 검사 장치(20)의 제어부(22)로부터 출력되는 초음파 검사에 관한 각종 정보를 표시한다. 이 초음파 검사에 관한 각종 정보란, 예를 들어 검사 대상물(40)에 관한 정보, 송신하는 초음파의 파장이나 강도, 검사 대상물(40)을 반송하는 속도, 수신된 초음파의 해석 결과 및 박리의 유무를 판정한 판정 결과 등의 정보이다.
반송 장치(30)는, 예를 들어 벨트 컨베이어이다. 반송 장치(30)에서는, 벨트(32)에 검사 대상물(40)이 적재된다. 반송 장치(30)에서는, 롤러(31)(롤러(31a, 31b))를 회전시킴으로써 송신부(26)와 수신부(28)의 사이에 있는 소정의 검사 위치에 검사 대상물(40)을 반송한다. 롤러(31)의 회전은, 예를 들어 초음파 검사 장치(20)의 도시하지 않은 구동 제어부에 의해 제어된다.
검사 대상물(40)은, 초음파 검사 장치(20)가 검사하는 대상으로 하는 물체이다. 검사 대상물(40)은, 예를 들어 시트 부재에 있어서의 주연 부분을 접합하여 형성된 포장 용기이다. 검사 대상물(40)에 있어서, 박리 유무의 검사에 있어서 검사 대상이 되는 개소는, 예를 들어 포장 용기를 구성하는 2개의 시트 부재가 접합되어야 할 접합 대상 개소인 주연부(41)이다.
초음파 검사 장치(20)는, 초음파를 송신하고, 검사 대상물(40)을 투과한 초음파에 기초하여 검사 대상물(40)을 검사하는 컴퓨터이다. 초음파 검사 장치(20)는, 예를 들어 조작부(21), 제어부(22), 신호 제어부(23), 송신 제어부(24), 수신 처리부(25), 송신부(26), 검사부(27) 및 수신부(28)를 구비한다.
초음파 검사 장치(20)는, CPU(Central Processing Unit) 등의 프로세서와, 프로세서가 실행하는 프로그램을 저장하는 프로그램 메모리를 구비하는 컴퓨터이다. 초음파 검사 장치(20)를 구성하는 기능부(조작부(21), 제어부(22), 신호 제어부(23), 송신 제어부(24), 수신 처리부(25), 송신부(26), 검사부(27) 및 수신부(28))는, 예를 들어 CPU(Central Processing Unit) 등의 프로세서가 프로그램 메모리에 저장된 프로그램을 실행함으로써 실현된다. 또한, 이들 기능부 중 일부 또는 전부는, LSI(Large Scale Integration), ASIC(Application Specific Integrated Circuit) 또는 FPGA(Field-Programmable Gate Array) 등의 하드웨어에 의해 실현되어도 된다.
조작부(21)는, 키보드, 마우스 등으로 구성되고, 초음파 검사에 관한 각종 정보를 입력하거나 설정하거나 하기 위해서 사용된다. 조작부(21)는, 입력된 각종 정보를 제어부(22)에 출력한다.
제어부(22)는, 초음파 검사 장치(20)를 통괄적으로 제어한다. 제어부(22)는, 예를 들어 조작부(21)로부터 입력된 각종 정보 및 후술하는 신호 제어부(23)로부터의 해석 결과나 박리의 유무를 판정한 결과를, 표시 장치(10)에 송신한다.
신호 제어부(23)는, 송신하는 초음파를 제어하기 위한 신호를 생성한다. 송신하는 초음파는, 예를 들어 버스트 신호이다. 신호 제어부(23)는, 예를 들어 송신하는 초음파의 송신 타이밍과 강도에 따른 버스트 신호를 생성한다. 신호 제어부(23)는, 생성한 신호를 송신 제어부(24)에 출력한다.
또한, 신호 제어부(23)는, 수신부(28)에 의해 수신된 초음파의 신호를, 수신 처리부(25)를 통해 취득한다. 신호 제어부(23)는, 취득한 초음파의 신호의 강도나 위상을 해석하고, 해석 결과를 제어부(22)에 출력한다. 또한, 신호 제어부(23)는, 해석한 결과에 기초하여 박리의 유무를 판정한 결과를 제어부(22)에 출력한다.
신호 제어부(23)는, 취득한 초음파의 신호의 강도나 위상을 해석하는 경우에, 소정의 시간 구간의 신호를 추출하고, 추출한 신호를 사용하여 강도나 위상을 해석하도록 해도 된다. 초음파의 상태가 시계열로 보아서 변화하는 경우, 고정밀도로 해석할 수 있는 시간 구간의 초음파를 사용함으로써 판정의 정밀도를 향상시키는 것이 가능하다. 예를 들어, 신호 제어부(23)는, 수신부(28)에 수신된 초음파 중, 수신이 검출되고 나서 소정의 시간 구간(예를 들어, 송신된 초음파의 1파장에 상당하는 시간 구간)의 초음파에 상당하는 신호를 추출하여 파장이나 강도를 해석한다.
또한, 신호 제어부(23)는, 취득한 초음파의 신호에 대하여 위상 검파 등의 신호 처리를 행해도 된다. 초음파에, 서로 위상이 상이한 초음파가 혼재하고 있는 경우, 각각을 분리함으로써, 판정의 정밀도를 향상시키는 것이 가능하다.
송신 제어부(24)는, 신호 제어부(23)로부터의 버스트 신호에 따라, 도시하지 않은 발진기로부터 출력되는 소정의 주파수의 버스트파를 생성한다. 송신 제어부(24)는, 생성한 버스트파를 송신부(26)에 출력한다.
수신 처리부(25)는, 수신부(28)에 의해 수신된 초음파를 취득하고, 취득한 초음파를 해석하기 쉽게 하기 위한 처리를 행한다. 예를 들어, 수신 처리부(25)는, 취득한 초음파의 진폭을 증폭기에 의해 증폭시킨다. 또한, 수신 처리부(25)는, 취득한 초음파로부터, 송신한 초음파의 파장과는 상이한 파장을 필터에 의해 제거하게 해도 된다.
송신부(26)는, 송신 제어부(24)에 의해 생성된 버스트파(초음파)를 송신한다.
수신부(28)는, 송신부(26)에 의해 송신된 초음파를 수신한다. 수신부(28)는, 수신한 초음파를 수신 처리부(25)에 출력한다.
여기서, 송신부(26)와 수신부(28)와 검사 대상물(40)의 위치 관계에 대해서, 도 2 및 도 3을 사용하여 설명한다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 송신부(26) 및 수신부(28)는, 일방향(Z축 방향)으로 간격을 두고 배열된다. 송신부(26) 및 수신부(28)는, 초음파 검사 장치(20)에 있어서의 도시하지 않은 베이스부에 고정된다. 이에 의해, 송신부(26)와 수신부(28)의 간격이 유지된다. 송신부(26)는, 수신부(28)에 대향하는 송신부(26)의 송신면(260)으로부터, 초음파를 수신부(28)를 향하여 송신한다. 수신부(28)는, 송신부(26)에 대향하는 수신부(28)의 수신면(280)에 있어서, 송신부(26)로부터 송신된 초음파를 수신한다.
또한, 도 2에 있어서, 반송 장치(30)에 의한 검사 대상물(40)의 반송 방향은 X축 방향이고, 송신부(26) 및 수신부(28)의 배열 방향(Z축 방향)에 대하여 직교하는 방향이다.
또한, 검사 대상물(40)의 단부(410)는, 송신부(26) 및 수신부(28)의 배열 방향에서 보아서 선상으로 연장되는 검사 대상물(40)의 에지에 상당한다. 검사 대상물(40)의 경계선(420)은, 접합 대상 개소와 비접합 대상 개소의 경계선을 나타내고, 도 2의 예에서 경계선(420)은, XY 평면 위로 연장되는 선이다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태의 수신부(28)는, 송신부(26) 및 수신부(28)의 배열 방향에서 보아서 원 형상으로 형성되어 있다. 본 실시 형태의 송신부(26)는, 수신부(28)와 마찬가지인 원 형상으로 형성되어도 된다. 이 송신부(26)의 송신면(260)이, 원형의 주연 부분으로부터 중심 부분을 향하는 오목부를 형성함으로써, 송신부(26)로부터 송신된 초음파는, 소정의 범위로 수렴(포커스)된다. 또한, 송신부(26) 및 수신부(28)의 형상은 원 형상으로 한정되지 않고, 임의의 형상으로 형성되어도 된다.
상술한 바와 같이, 송신부(26)와 수신부(28)는, 서로 간격을 두고 배치된다. 그리고, 송신부(26)와 수신부(28)의 사이에 검사 대상물(40)이 배치된다. 즉, 송신부(26)에 의해 송신된 초음파는, 검사 대상물(40)에 도달하고, 검사 대상물(40)을 투과한 초음파(이하, 목적파라고 한다)가 수신부(28)에 도달하여 수신된다.
한편, 검사 대상물(40)의 주연부(41)에 초음파가 송신된 경우, 초음파가 주연부(41)의 외측으로부터 돌아 들어가는 회절파가 발생하는 경우가 있다. 이러한 회절파는, 검사 대상물(40)을 투과하지 않고, 직접, 수신부(28)에 도달한다고 생각된다. 이 경우, 검사 대상물(40)을 투과하지 않은 초음파(이하, 비목적파라고 한다)가 수신부(28)에 수신되어 버린다. 이 경우, 비목적파를 포함하는 초음파를 사용하여 검사가 행해지게 되어, 검사의 정밀도를 저하시키는 요인이 될 수 있다.
검사부(27)는, 이러한 비목적파가 수신부(28)에 수신되기 어려워지도록 하여 검사 대상물(40)을 검사한다. 이하, 검사부(27)가 행하는 검사의 방법에 대하여 도 4 및 도 5를 사용하여 설명한다.
도 4에서는, XY 평면 상에 배치된 검사 대상물(40)을 부감한 예를 나타내고 있다.
여기서, 화살표 D(X축 정방향)는, 초음파 검사의 방향을 나타내고 있다. 또한, XY 평면에 직교하는 Z축 방향으로 초음파가 송신된다.
영역 S1은, 송신된 초음파가 XY 평면 상에 도달한 경우에 있어서의 초음파의 조사 영역을 나타내고 있다. 즉, 영역 S1은, 초음파 검사에 있어서 검사되는 검사 개소이다. 검사 개소(영역 S1)는, 검사 대상물(40)이 반송 장치(30)에 의해 반송됨으로써, 검사 대상물(40) 위를 이동한다. 검사 대상물(40) 상의 검사 개소에 있어서의 이동의 궤적이, 초음파 검사에 있어서 검사되는 검사 대상 영역이다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 검사부(27)는, 검사 대상물(40)에 있어서의 주연부(41) 중, 경계 영역(42)을 검사 대상 영역으로 하여, 송신부(26) 및 수신부(28), 또는 검사 대상물(40)의 위치나 움직임을 제어한다. 경계 영역(42)은, 주연부(41)인 접합 대상 개소 중, 접합 대상 개소와 비접합 대상 개소의 경계선(420)에 따라 정해지는 영역이다. 이 경우의 비접합 대상 개소는, 예를 들어 검사 대상물(40)의 주연부(41)로부터 검사 대상물(40)의 내측(Y축 정방향)에 위치하는 내용부(43)이다. 경계선(420)은, 도시하지 않은 접합장치에 있어서 검사 대상물(40)의 주연부(41)가 접합됨으로써 발생한다.
접합의 폭(이하, 접합 폭)이 미리 결정되어 있는 경우, 검사부(27)는, 검사 대상물(40)의 단부(410)를 검출하고, 검출한 단부(410)로부터 내측(Y축 정방향)으로, 당해 미리 결정된 소정의 접합 폭의 거리만큼 이격된 위치를 경계선(420)으로 간주한다.
혹은, 접합 폭이 검사 대상물(40)의 단부(410)의 위치에 따라 변화되는 경우에는, 검사부(27)는, 단부(410)의 위치와 그 위치에 있어서의 접합 폭의 관계를 나타내는 접합 정보를, 접합 장치나 도시하지 않은 기억부로부터 취득해도 된다.
검사부(27)는, 검사 대상물(40)의 단부(410)를 검출하고, 검출한 단부(410)의 위치 좌표에 기초하여 접합 정보를 참조함으로써, 당해 검출한 단부(410)에 있어서의 접합 폭을 취득한다. 그리고, 검사부(27)는, 당해 단부(410)로부터 내측(Y축 정방향)으로, 접합 정보에 기초하여 취득한 접합 폭의 거리만큼 이격된 위치를 경계선(420)으로 간주한다.
검사부(27)는, 예를 들어 반송 장치(30)에 적재된 검사 대상물(40)을 부감하여 촬상하는 카메라로부터 얻어지는 검사 대상물(40)의 화상 데이터로부터 단부(410)의 위치를 검출한다. 혹은, 검사부(27)는, 당해 카메라로부터 얻어지는 검사 대상물(40)의 화상 데이터로부터 경계선(420)의 위치를 판정해도 된다.
또한, 경계선(420)은 직선, 곡선, 파선 등, 여러 가지 형태를 생각할 수 있다.
경계 영역(42)은, 경계선(420)의 위치에 따라 정해지는 영역이며, 경계선(420)을 따라 접합 대상 개소 상에 마련된다. 경계 영역(42)은 검사 대상 영역이 되기 때문에, 검사 대상물(40)의 종류나 크기, 재질 등에 따라, 특히 박리를 검출하고 싶은 장소가 경계 영역(42)으로서 설정된다. 이 예에서는, 경계 영역(42)은, 경계선(420)으로부터 주연부(41)의 폭 방향(Y축 부방향)으로 소정 거리의 영역이지만, 이것에 한정되지는 않는다. 예를 들어, 경계 영역(42)은, 경계선(420)으로부터 단부(410)의 방향(Y축 부방향)으로 소정의 거리만큼 이격된 영역이면 된다. 또한, 경계 영역(42)에 있어서의 Y축 방향의 폭은 임의로 설정해도 되지만, 경계 영역(42)이 단부(410)로부터, 내측(내용부(43)의 측)으로 소정의 거리만큼 이격되어 있을 필요가 있다. 경계 영역(42)의 폭을 좁게 설정하면, 박리의 검출을 단시간에 고정밀도로 행할 수 있다. 예를 들어, 송신부(26)로부터 송신된 초음파가 검사 대상물(40)에 있어서 포커스되는 범위에 있어서의 Y축 방향의 폭을, 경계 영역(42)의 폭으로 해도 된다. 또한, 경계 영역(42)의 폭은 균일하지 않아도 된다.
또한, 검사부(27)는, 경계선(420)에 따른 방향으로 검사가 행해지도록 한다. 즉, 검사부(27)는, 검사 대상물(40)의 반송 방향과 경계선(420)이 평행해지도록 한다. 예를 들어, 도 4의 예에서는, 검사 대상물(40)의 경계선(420)이 X축을 따르고 있다. 이 경우, 검사부(27)는, 검사 개소를 X축 방향으로 이동시킨다. 또한, 검사 개소는 검사 대상물(40)에 대하여 상대적으로 이동하면 되기 때문에, 검사 대상물(40)을 반송하는 대신 송신부(26) 및 수신부(28)를 이동시켜도 된다.
이상 설명한 바와 같이, 실시 형태의 초음파 검사 장치(20)는, 서로 간격을 두고 배치된 송신부(26)와 수신부(28)의 사이에, 시트 부재의 주연 부분을 접합 대상으로 하여 형성된 검사 대상물(40)이 배치되고, 송신부(26)에 의해 검사 대상물(40)에 있어서의 접합 대상 개소인 주연부(41)에 초음파를 송신하고, 수신부(28)에 의해 송신부(26)로부터 송신된 초음파를 수신함으로써 주연부(41)의 박리를 검사하는 것으로서, 주연부(41) 중, 접합 개소와 비접합 개소의 경계선(420)에 따라 정해지는 경계 영역(42)을 검사 대상 영역으로 하여, 경계선(420)에 따른 방향으로 검사 대상물(40)을 검사한다.
이에 의해, 실시 형태의 초음파 검사 장치(20)에서는, 주연부(41)의 단부(410)로부터 주연부(41)의 폭 방향으로 보아서 내측(내용부(43)의 측), 즉, 단부(410)로부터 주연부(41)의 폭 방향으로 이격된 개소를 검사할 수 있다. 이 때문에, 단부(410)에 가까운 개소를 검사한 경우보다도 단부(410)로부터 돌아 들어가는 회절파의 발생을 억제할 수 있다.
여기서, 일반적으로, 초음파 검사에 사용되는 초음파는, 100kHz 내지 3MHz 정도까지의 주파수인 것이, 검사 대상물(40)의 재질 등에 따라 사용되는 경우가 많다. 예를 들어, 포장 용기의 박리 검사라면, 400kHz, 또는 800kHz의 초음파가 사용된다.
초음파는, 주파수가 작을(파장이 길)수록, 회절하기 쉬운 경향이 있다. 주파수 400kHz의 초음파에서는 단부(410)로부터 검사 대상물(40)의 내측으로 15mm, 주파수 800kHz의 초음파에서는 단부(410)로부터 검사 대상물(40)의 내측으로 5mm 정도의 개소에 초음파를 송신한 경우에 있어서, 단부(410)로부터 돌아 들어가서 수신부(28)에 도달하는 비목적파(회절파)가 발생됨이 확인되어 있다.
한편, 검사 대상물(40)이 일반적인 포장 용기인 경우, 주연부(41)의 폭은, 5mm 내지 15mm 정도이다. 이 경우, 검사 대상물(40)에 있어서의 경계선(420)은, 단부(410)보다 주연부(41)의 폭 방향으로 보아서 5mm 내지 15mm 정도 내측에 위치한다. 이 경계선(420)의 근방에 초음파가 송신된 경우, 단부(410)에 가까운 개소(예를 들어, 단부(410)보다 주연부(41)의 폭 방향으로 보아서 1mm 정도 내측의 위치)에 초음파를 송신한 경우보다도, 회절파의 발생을 억제할 수 있다.
상기를 고려하면, 검사부(27)는, 검사 대상물(40)의 단부(410)로부터, 주연부(41)의 폭 방향(Y축 방향)으로 소정의 거리 이상 내측이 검사 대상 영역이 되도록 할 필요가 있다. 따라서, 경계 영역(42)은, 단부(410)로부터 주연부(41)의 폭 방향(Y축 방향)으로 소정의 거리만큼 이격된 위치에 마련하는 것으로 하자. 소정의 거리는, 검사에 사용되는 초음파의 주파수에 따라 결정하면 된다. 예를 들어, 주파수 800kHz의 초음파가 검사에 사용되는 경우, 검사부(27)는, 검사 대상물(40)의 단부(410)로부터, 주연부(41)의 폭 방향(Y축 방향)으로 5mm 이상 내측이 검사 개소가 되도록 한다. 이에 의해, 초음파 검사에 있어서 회절파의 발생을 억제하는 것이 가능하다.
또한, 실시 형태의 초음파 검사 장치(20)에서는, 경계선(420)에 따른 방향으로 검사 대상물(40)을 검사한다. 이 때문에, 경계선(420)에 직교하는 방향으로 검사가 행해진 경우와 비교하여, 경계선(420)에 따른 영역에 있어서의 박리의 유무를 고정밀도로 검사하는 것이 가능하다. 예를 들어, 시트 부재를 접합할 때 수용물이 끼워 넣어지거나 하여 발생한 경계선(420) 근방의 박리 개소를 주연 부분을 따라 검출하는 것이 가능하다.
또한, 실시 형태의 초음파 검사 장치(20)에서는, 검사 대상물(40)의 주연부(41)를 끼워 넣어서 지지할 필요가 없다. 이 때문에, 검사 대상물(40)을 검사하기 위한 준비에 요구되는 시간이 그다지 걸리지 않고, 효율적으로 검사하는 것이 가능하다. 또한, 포장 용기의 외형이 복잡한 형상의 용기인 경우에도 용이하게 검사할 수 있다.
(실시 형태에 관한 제1 변형예)
이어서, 실시 형태에 관한 제1 변형예에 대하여 설명한다. 본 변형예에서는, 주연부(41)의 폭 방향(Y축 방향)으로, 복수의 검사 개소가 마련되는 점에 있어서, 상술한 실시 형태와 상이하다.
도 5는, 실시 형태의 제1 변형예에 있어서의 검사 대상물(40)의 검사 개소와 검사 방향의 관계를 나타내는 모식도이다. 도 5에서는, 영역 S2 내지 S5에서 복수의 검사 개소가 나타나고 있다는 점에 있어서 도 4와 상이하지만, 그 외는 도 4와 마찬가지이다. 도 4와 마찬가지의 부분에 대해서는 그 설명을 생략한다.
본 변형예에 있어서, 송신부(26)는, 예를 들어 직선상으로 배치된 복수의 송신 소자를 포함한다. 더 구체적으로, 송신부(26)는, 주연부(41)의 폭 방향(Y축 방향)으로 직선적으로 배치되고, 초음파를 검사 대상물(40)에 송신하는 송신 소자를 포함한다. 즉, 본 변형예에 있어서는, 영역 S2 내지 S5가 검사 대상물(40)에 있어서의 주연부(41)의 폭 방향(Y축 방향)을 따르도록, 복수의 검사 개소가 마련된다.
검사부(27)는, 각각의 검사 개소가 이동한 궤적인 검사 대상 영역에 경계 영역(42)이 포함되도록 하여 검사 대상물(40)을 검사한다. 즉, 본 변형예에 있어서도, 경계 영역(42)은 검사 대상 영역이 된다.
또한, 검사부(27)는, 각각의 검사 개소에 있어서 경계선(420)에 따른 방향으로 검사가 행해지도록 검사 대상물(40)의 이동을 제어한다.
또한, 송신부(26)가 하나의 송신 소자가 배치된 싱글 포인트인 경우에는, 검사부(27)는, 검사 개소를 이동시키면서 경계선(420)에 따른 방향으로 복수회의 검사를 행하도록 해도 된다. 예를 들어, 검사부(27)는 하나의 검사 개소(예를 들어, 영역 S2)에 대하여 경계선(420)에 따른 방향으로 검사가 행해지도록 하고, 그 경계선(420)에 따른 방향으로 검사가 종료된 후에, 검사 개소를 주연부(41)의 폭 방향으로 이동시켜서(예를 들어, 영역 S3), 검사 대상물(40)을 검사한다. 검사부(27)는, 이 동작을 복수회 반복함으로써, 주연부(41)의 폭 방향(Y축 방향)의 복수의 검사 개소에 대하여 경계선(420)에 따른 방향으로 검사한다. 여기서, 각각의 검사 개소의 서로의 간격은, 검사 대상물(40)에 따라 임의로 설정되어도 된다.
또한, 송신부(26)는, 직선적으로 초음파를 수렴시키는 라인 포커스 센서여도 된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 변형예의 초음파 검사 장치(20)에서는, 검사부(27)는, 주연부(41) 중, 주연부(41)의 폭 방향을 따른 복수의 검사 개소에 있어서 경계선(420)에 따른 방향으로 검사가 행해지도록 검사 대상물(40)을 검사한다. 이에 의해, 본 변형예의 초음파 검사 장치(20)에서는, 상술한 실시 형태의 효과에 더하여, 경계선(420)에 따른 영역에 있어서의 박리가 있었을 경우에, 그 박리의 주연부(41)의 폭 방향의 길이(박리된 영역의 폭)를 검출하는 것이 가능하다. 박리된 영역의 폭을 검출할 수 있으면, 포장 용기 내에 수용한 수용물이 샐 우려가 있을지 여부를 판정할 수 있고, 양품인지 불량품인지를 고정밀도로 판정하는 것이 가능해진다.
(실시 형태에 관한 제2 변형예)
이어서, 실시 형태에 관한 제2 변형예에 대하여 설명한다. 본 변형예에서는 검사 결과로서 데이터를 가공하는 데이터 가공부(29)를 더 구비한다는 점에 있어서, 상술한 실시 형태와 상이하다. 데이터 가공부(29)는, 초음파 검사 장치(20)를 구성하는 기능부이다.
도 6은, 본 변형예에 있어서의 검사 결과의 예를 나타내는 도면이다.
도 6에서는, 위 도면에 수신된 초음파의 신호 강도와 검사 위치의 관계를 나타내고 있다. 또한, 아래 도면에, 위 도면에 대응된 위치(이 도면에 있어서의 폭 방향의 위치 B1)에 있어서의 박리의 유무를 나타내고 있다.
도 6의 위 도면에 나타내는 바와 같이, 초음파 검사에 있어서는, 수신된 초음파의 신호 강도가 검사 위치에 따라 상이한 경우가 있다. 이것은, 검사 대상 영역에, 박리가 발생된 경우와 발생되지 않은 경우에 있어서, 투과하는 초음파의 강도가 상이하기 때문이다. 이 예에서는, 검사 위치 P4, P5에 있어서 신호 강도가 강도 TH1 미만이 된다. 또한, 검사 위치 P1 내지 P3에 있어서 신호 강도가 강도 TH1 이상이고 강도 TH2 미만이 된다. 이 예에서는, 수신된 초음파의 신호의 강도가 작은 경우, 대응되는 검사 대상 개소에 박리가 발생되었다고 판정한다.
도 6의 위 도면 같은 신호 강도와 검사 위치의 관계가 폭 방향의 위치 B1에 있어서 검출된 경우, 신호 강도에 따른 색으로, 도 6의 아래 도면으로 플롯한다. 신호 강도가 강도 TH1 미만이 되는 검사 위치를 특정한 색 A1(예를 들어, 그레이)으로, 신호 강도가 강도 TH1 이상이고 강도 TH2 미만이 되는 검사 위치를 색 A1과 상이한 색 A2(예를 들어, 황색)로 나타내고, 신호 강도가 강도 TH2 이상이 되는 검사 위치를 색 A1 및 A2와 상이한 색 A3(예를 들어, 등색)로 나타낸다.
상기의 플롯을, 폭 방향에 있어서 상이한 복수의 검사 위치에 대하여 행하면, 도 6의 아래 도면에 나타내는 바와 같이, 검사 위치 P4, P5에 있어서는 검사한 폭 방향의 거의 모두에 있어서 박리가 발생되었다는 것을 알 수 있다. 또한, 검사 위치 P3에서는 폭 방향의 위치 B1에 있어서는 박리에 가까운 상태이며, 폭 방향에 있어서의 위치 B1과 상이한 다른 거의 모든 위치에 있어서 박리가 발생됨이 나타나 있다.
본 변형예에 있어서, 초음파 검사 장치(20)는 주연부(41)의 폭 방향(Y축 방향)을 따른 복수의 검사 개소 각각에 있어서 경계선(420)에 따른 방향으로 검사를 행한다. 초음파 검사 장치(20)는, 각각의 검사 개소에 따른 도 6의 위 도면과 같은 신호 강도와 검사 위치의 관계를 취득한다.
이에 의해, 초음파 검사 장치(20)는, 복수의 검사 개소에 있어서 경계선(420)에 따른 방향에 초음파가 송신된 경우에 있어서, 각각 수신된 초음파의 신호의 강도와 검사 위치의 관계를 나타내는 검사 결과(예를 들어, 도 6의 위 도면에 대응하는 데이터)를 취득한다.
데이터 가공부(29)는, 상기의 검사 결과를 이용하여, 주연부(41)의 폭 방향의 위치와, 폭 방향의 위치에 따른 박리 유무의 관계를 나타내는 데이터로 가공한다. 예를 들어, 데이터 가공부(29)는, 복수의 검사 개소 각각에 있어서의 주연부(41)의 폭 방향의 위치에 대응시켜, 그 위치에 있어서의 신호 강도와 검사 위치의 관계를, 신호 강도에 따른 색으로 플롯한다(예를 들어, 도 6의 아래 도면에 대응하는 데이터).
이상 설명한 바와 같이, 본 변형예의 초음파 검사 장치(20)에서는, 복수의 검사 개소에 있어서 경계선(420)에 따른 방향에 초음파가 송신된 경우에 있어서, 수신된 신호 강도와 검사 위치의 관계를 나타내는 검사 결과를 이용하여, 주연부(41)의 폭 방향의 위치와, 폭 방향의 위치에 따른 박리 유무의 관계를 나타내는 데이터로 가공하는 데이터 가공부(29)를 더 구비한다.
이에 의해, 본 변형예의 초음파 검사 장치(20)에서는, 주연부(41)의 폭 방향(Y축 방향)에 있어서의 박리의 유무를 인식하기 쉽게 제시할 수 있다. 예를 들어, 수신된 신호 강도의 강도별로 상이한 색으로 플롯하면, 주연부(41)의 폭 방향의 어느 위치에 있어서 어느 정도의 폭으로 박리가 발생되었는지가 시인 가능하다.
본 발명의 몇 가지의 실시 형태를 설명했지만, 이들 실시 형태는, 예로서 제시한 것이지, 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하지 않았다. 이들 실시 형태는,기타의 다양한 형태로 실시되는 것이 가능하고, 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서, 다양한 생략, 치환, 변경을 행할 수 있다. 이들 실시 형태나 그의 변형은, 발명의 범위나 요지에 포함되면 마찬가지로, 특허 청구 범위에 기재된 발명과 그 균등의 범위에 포함되는 것이다.
1: 초음파 검사 시스템
20: 초음파 검사 장치
26: 송신부
27: 검사부
28: 수신부
29: 데이터 가공부
40: 검사 대상물
41: 주연부
42: 경계 영역
420: 경계선

Claims (8)

  1. 서로 간격을 두고 배치된 송신부와 수신부의 사이에, 시트 부재의 주연 부분을 접합 대상으로 하여 형성된 검사 대상물이 배치되고, 상기 송신부에 의해 상기 검사 대상물에 있어서의 접합 대상 개소인 주연부에 초음파를 송신하고, 상기 수신부에 의해 상기 송신부로부터 송신된 초음파를 수신함으로써 상기 주연부의 박리를 검사하는 초음파 검사 장치에 있어서,
    상기 검사 대상물의 단부를 검출하고, 당해 단부로부터 미리 결정된 접합 폭의 거리만큼 이격된 위치를 상기 주연부의 경계선으로 판정하고, 상기 경계선으로부터 상기 단부의 방향으로 이격된 경계 영역으로서 상기 단부로부터 주연부의 폭 방향으로 소정의 거리 이상 내측의 개소를 검사 대상 영역으로 하고, 상기 경계선에 따른 방향으로 상기 검사 대상물을 검사하는 검사부를 구비하고,
    상기 검사부는, 상기 송신부 및 상기 수신부와 상기 검사 대상물의 상대적인 반송 방향이 상기 경계선에 대해서 평행해지도록 상기 검사 대상물 또는 상기 송신부 및 상기 수신부를 이동시키는
    것을 특징으로 하는 초음파 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 송신부로부터 상기 검사 대상물에 초음파가 송신되는 검사 개소가 복수 있고,
    상기 검사부는, 상기 복수의 검사 개소에 있어서 상기 경계선에 따른 방향으로 상기 검사 대상물을 검사하는
    것을 특징으로 하는 초음파 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 복수의 검사 개소에 있어서 상기 경계선에 따른 방향으로 검사가 행해진 경우에 있어서 수신된 초음파의 신호의 강도와 검사 위치의 관계를 나타내는 검사 결과를 이용하여, 상기 주연부의 폭 방향의 위치와, 상기 폭 방향의 위치에 따른 불량 유무의 관계를 나타내는 데이터로 가공하는 데이터 가공부를
    더 구비하는
    것을 특징으로 하는 초음파 검사 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 소정의 거리는, 상기 송신부로부터 송신되는 초음파의 주파수에 따라 결정되는
    것을 특징으로 하는 초음파 검사 장치.
  5. 서로 간격을 두고 배치된 송신부와 수신부의 사이에, 시트 부재의 주연 부분을 접합 대상으로 하여 형성된 검사 대상물이 배치되고, 상기 송신부에 의해 상기 검사 대상물에 있어서의 접합 대상 개소인 주연부에 초음파를 송신하고, 상기 수신부에 의해 상기 송신부로부터 송신된 초음파를 수신함으로써 상기 주연부의 박리를 검사하는 초음파 검사 방법에 있어서,
    상기 검사 대상물의 단부를 검출하고, 당해 단부로부터 미리 결정된 접합 폭의 거리만큼 이격된 위치를 상기 주연부의 경계선으로 판정하고, 상기 경계선으로부터 상기 단부의 방향으로 이격된 경계 영역으로서 상기 단부로부터 주연부의 폭 방향으로 소정의 거리 이상 내측의 개소를 검사 대상 영역으로 하고, 상기 경계선에 따른 방향으로 상기 검사 대상물을 검사하고,
    상기 송신부 및 상기 수신부와 상기 검사 대상물의 상대적인 반송 방향이 상기 경계선에 대해서 평행해지도록 상기 검사 대상물 또는 상기 송신부 및 상기 수신부를 이동시키는
    것을 특징으로 하는 초음파 검사 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 소정의 거리는, 상기 송신부로부터 송신되는 초음파의 주파수에 따라 결정되는
    것을 특징으로 하는 초음파 검사 방법.
  7. 삭제
  8. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022183483A (ja) 2021-05-31 2022-12-13 ヤマハファインテック株式会社 超音波検査装置
JP2023067095A (ja) 2021-10-29 2023-05-16 ヤマハファインテック株式会社 検査方法及び検査装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101838417B1 (ko) 2013-09-24 2018-03-13 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 폭 측정 장치 및 폭 측정 방법

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1337830C (en) * 1989-09-29 1995-12-26 David Jarman Ultrasonic inspection of seal integrity of bond lines in sealed containers
JP4357265B2 (ja) * 2002-10-31 2009-11-04 日立Ｇｅニュークリア・エナジー株式会社 超音波探傷装置並びに超音波探傷方法
CN100412544C (zh) * 2002-10-31 2008-08-20 马丁·莱曼 制造填充容器的方法及用于检验填充容器的装置
US6840108B2 (en) * 2003-01-08 2005-01-11 Packaging Technologies & Inspection Llc Method and apparatus for airborne ultrasonic testing of package and container seals
CN1761863A (zh) * 2003-03-17 2006-04-19 庄臣及庄臣视力保护公司 在线泄漏检测器
DE102005037086A1 (de) * 2005-08-03 2007-02-08 Hauni Maschinenbau Ag Überwachung eines Leimbilds auf einem Umhüllungsstreifen
WO2011047016A1 (en) * 2009-10-13 2011-04-21 Picometrix, Llc System and method for detection and measurement of interfacial properties in single and multilayer objects
JP2011199529A (ja) * 2010-03-18 2011-10-06 Toshiba Corp 超音波センサの製造方法、超音波センサ、及び超音波センサを備える紙幣処理装置
US20120061901A1 (en) * 2010-09-10 2012-03-15 Kabushiki Kaisha Toshiba Ultrasonic detecting device and sheet handling apparatus comprising ultrasonic detecting device
JP2012112851A (ja) * 2010-11-26 2012-06-14 Toyota Central R&D Labs Inc 超音波検査装置及び超音波検査方法
JP2013127400A (ja) 2011-12-19 2013-06-27 Toyota Central R&D Labs Inc 超音波検査装置
JP2014202536A (ja) 2013-04-02 2014-10-27 東洋製罐グループホールディングス株式会社 可撓性フィルム材から成る被検体の接着部の検査方法
FR3006447B1 (fr) * 2013-05-30 2015-05-29 Snecma Procede d'inspection par transmission d'ultrasons ameliore
KR101950158B1 (ko) * 2013-10-02 2019-02-19 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 밀봉 팩 제품의 검사 장치 및 검사 방법
US9448208B2 (en) * 2014-04-10 2016-09-20 Packaging Technologies & Inspection Llc System and apparatus for dual transducer ultrasonic testing of package seals
JP6728737B2 (ja) * 2016-02-10 2020-07-22 株式会社Ihi 超音波探傷装置、および、超音波探傷方法
JP6596795B2 (ja) * 2016-09-30 2019-10-30 ヤマハファインテック株式会社 超音波画像表示方法及び超音波画像表示システム

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101838417B1 (ko) 2013-09-24 2018-03-13 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 폭 측정 장치 및 폭 측정 방법

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