KR102313087B1 - Oht driving system and error correction method in the oht driving system - Google Patents

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Abstract

OHT 주행 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 주행 시스템은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일; 상기 주행 레일에 일정 간격을 가지고 반복적으로 배치되는 주행 태그; 상기 주행 레일 상에서 주행하는 OHT; 및 상기 주행 레일에서 OHT의 주행 시 발생하는 오차를 확인 및 개선하는 오차 관리부;를 포함할 수 있다. 상기 오차 관리부는 상기 OHT의 주행 맵 데이터가 저장되는 저장부; 상기 저장부에 저장된 주행 맵 데이터를 상기 OHT가 실제 주행하여 얻은 데이터와 비교하는 비교부; 및 상기 비교부에서의 결과에 따라 상기 주행 맵 데이터를 수정하는 수정부;를 포함할 수 있다. An OHT driving system is disclosed. The OHT traveling system according to an embodiment of the present invention includes a traveling rail provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line; a driving tag repeatedly disposed on the driving rail at regular intervals; an OHT running on the running rail; and an error management unit for checking and improving an error occurring when the OHT is driven on the traveling rail. The error management unit may include: a storage unit in which driving map data of the OHT is stored; a comparison unit for comparing the driving map data stored in the storage unit with data obtained by the OHT actually driving; and a correction unit configured to correct the driving map data according to a result of the comparison unit.

Description

OHT 주행 시스템 및 OHT 주행 시스템에서의 오차 보정 방법{OHT DRIVING SYSTEM AND ERROR CORRECTION METHOD IN THE OHT DRIVING SYSTEM}OHT DRIVING SYSTEM AND ERROR CORRECTION METHOD IN THE OHT DRIVING SYSTEM

본 발명은 OHT의 주행 시스템 및 OHT 주행 시스템에서의 오차를 보정하는 방법에 관한 발명이다. The present invention relates to an OHT driving system and a method for correcting an error in the OHT driving system.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. In general, semiconductor processing apparatuses for manufacturing a semiconductor device are sequentially arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. The object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state accommodated in the cassette, or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the cassette.

상기 카세트는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치에 의해 이송된다. OHT 장치는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 카세트를 파지하며 주행 레일을 따라 주행하는 OHT를 포함한다. The cassette is transported by an Overhead Hoist Transport (OHT) device. The OHT apparatus includes an OHT that travels along a traveling rail while gripping a traveling rail and a cassette provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices are continuously arranged.

이 때 신규 OHT 및 주행 레일이 셋업되는 경우를 가정한다. 주행 레일 상에는 이격되어 있는 복수의 주행 태그가 배치되어 OHT의 주행 시 위치 정보를 파악하는 데 도움을 줄 수 있다. 그러나 검증이 되지 아니한 상태에서의 주행 레일에서 OHT를 주행시키는 경우에 있어서, OHT에 저장된 맵 데이터와 주행 태그와의 매치가 정확하지 않은 경우가 다수 발생하여, 이러한 에러의 발생 빈도를 줄이고자 하는 방안이 요구된다.At this time, it is assumed that a new OHT and a traveling rail are set up. A plurality of travel tags spaced apart from each other may be disposed on the travel rail to help identify location information when the OHT is driven. However, in the case of driving the OHT on the driving rail in the unverified state, there are many cases where the match between the map data stored in the OHT and the driving tag is not accurate. this is required

본 발명에서는 OHT의 주행 시에 발생하는 오차들을 개선할 수 있는 OHT 주행 시스템 및 오차 보정 방법을 제안하고자 한다. The present invention intends to propose an OHT driving system and an error correction method capable of improving errors occurring during OHT driving.

본 발명이 해결하고자 하는 과제가 상술한 과제로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 과제들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problem to be solved by the present invention is not limited to the above-mentioned problems, and the problems not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs from the present specification and the accompanying drawings. .

OHT 주행 시스템이 개시된다. An OHT driving system is disclosed.

상기 OHT 주행 시스템은, 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일; 상기 주행 레일에 이격되어 반복적으로 배치되는 주행 태그; 상기 주행 레일 상에서 주행하는 OHT; 및 상기 주행 레일에서 OHT의 주행 시 발생하는 오차를 확인 및 개선하는 오차 관리부;를 포함할 수 있다. The OHT traveling system may include a traveling rail provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line; a driving tag which is spaced apart from the driving rail and repeatedly disposed; an OHT running on the running rail; and an error management unit for checking and improving an error occurring when the OHT is driven on the traveling rail.

일 실시예에 따르면, 상기 오차 관리부는 상기 OHT의 주행 맵 데이터가 저장되는 저장부; 상기 저장부에 저장된 주행 맵 데이터를 상기 OHT가 실제 주행하여 얻은 데이터와 비교하는 비교부; 및 상기 비교부에서의 결과에 따라 상기 주행 맵 데이터를 수정하는 수정부;를 포함할 수 있다. According to an embodiment, the error management unit includes a storage unit for storing the driving map data of the OHT; a comparison unit for comparing the driving map data stored in the storage unit with data obtained by the OHT actually driving; and a correction unit configured to correct the driving map data according to a result of the comparison unit.

일 실시예에 따르면, 상기 주행 맵 데이터에는 OHT의 주행 관련 정보와 주행 태그의 위치 관련 정보가 포함될 수 있다. According to an embodiment, the driving map data may include driving-related information of the OHT and location-related information of a driving tag.

일 실시예에 따르면, 상기 비교부는 상기 저장부에 저장된 주행 맵 데이터와 상기 OHT가 주행하며 접촉하는 상기 주행 태그와의 매칭 여부를 비교할 수 있다. According to an embodiment, the comparison unit may compare whether the driving map data stored in the storage unit matches the driving tag with which the OHT travels and contacts.

일 실시예에 따르면, 상기 수정부는 상기 저장부에 저장된 주행 맵 데이터와 상기 OHT가 주행하며 접촉하는 상기 주행 태그와의 매칭이 상이한 경우 상기 주행 맵 데이터를 상기 주행 태그와 매칭되도록 수정할 수 있다. According to an embodiment, when the matching between the driving map data stored in the storage unit and the driving tag contacted by the OHT while driving is different, the modifying unit may modify the driving map data to match the driving tag.

일 실시예에 따르면, 상기 오차 관리부는 OHT를 반복 주행하도록 제어하여 오차 여부를 확인할 수 있다. According to an embodiment, the error management unit may check whether there is an error by controlling the OHT to be repeatedly driven.

일 실시예에 따르면, 상기 오차 관리부는 상기 OHT의 반복 주행을 통해 상기 주행 태그의 손상 여부를 함께 검사할 수 있다. According to an embodiment, the error management unit may check whether the driving tag is damaged through the repeated driving of the OHT.

일 실시예에 따르면, 상기 오차 관리부는 복수의 OHT에 대한 반복 주행을 통해 복수의 OHT 중 일부의 손상 여부를 함께 검사할 수 있다. According to an embodiment, the error management unit may inspect whether some of the plurality of OHTs are damaged through repeated driving of the plurality of OHTs.

본 발명의 다른 일 실시예에 따르면 OHT 주행 시스템에서의 오차 보정 방법이 개시된다. According to another embodiment of the present invention, an error correction method in an OHT driving system is disclosed.

상기 오차 보정 방법은 정해진 주행 레일을 따라 OHT가 주행하는 단계; 상기 OHT 내에 저장된 주행 맵 데이터와, 상기 주행 레일 상에 배치된 주행 태그와의 매칭 여부를 확인하는 단계; 및 매칭이 상이한 경우 상기 주행 맵 데이터를 수정하는 단계;를 포함할 수 있다. The error correction method includes the steps of: the OHT traveling along a predetermined traveling rail; checking whether the driving map data stored in the OHT matches the driving tag disposed on the driving rail; and correcting the driving map data when matching is different.

일 실시예에 따르면, 상기 OHT의 주행은 반복적으로 수행될 수 있다. According to an embodiment, the driving of the OHT may be repeatedly performed.

일 실시예에 따르면, 상기 OHT 내에 저장된 주행 맵 데이터와, 상기 주행 레일 상에 배치된 주행 태그와의 매칭 여부를 확인하는 단계; 는, 상기 OHT의 반복 주행을 통해 오차 발생 지점을 특정하는 단계; 를 포함할 수 있다. According to one embodiment, the method comprising: checking whether the driving map data stored in the OHT matches the driving tag disposed on the driving rail; is, specifying an error occurrence point through repeated driving of the OHT; may include.

일 실시예에 따르면, 동일한 위치에서 기설정된 횟수 이상 오차가 발생하는 경우 복수의 OHT의 주행을 통해 오차 발생 지점의 거리의 평균치를 측정하는 단계;를 포함할 수 있다. According to an embodiment, when an error occurs more than a preset number of times at the same location, measuring an average value of the distances between the error occurrence points through driving of a plurality of OHTs; may include.

일 실시예에 따르면, 매칭이 상이한 경우 상기 주행 맵 데이터를 수정하는 단계;는, 상기 평균치가 적용된 주행 맵 데이터를 생성하는 단계;를 포함할 수 있다. According to an embodiment, if the matching is different, the step of correcting the driving map data may include generating the driving map data to which the average value is applied.

본 발명에 따르면 OHT의 주행 시에 발생하는 오차들을 개선할 수 있는 OHT 주행 시스템 및 오차 보정 방법이 개시된다.According to the present invention, an OHT driving system and an error correction method capable of improving errors occurring during OHT driving are disclosed.

본 발명에 따르면 OHT의 주행 맵 데이터를 보정함으로써 에러 발생 빈도를 감소할 수 있다. According to the present invention, the frequency of error occurrence can be reduced by correcting the driving map data of the OHT.

본 발명에 따르면 OHT의 주행 시 발생하는 하드웨어적인 문제들을 미리 사용자에게 알림으로써 OHT에 발생하는 문제들을 사전에 처리할 수 있다. According to the present invention, the problems occurring in the OHT can be handled in advance by notifying the user of hardware problems occurring during the driving of the OHT in advance.

본 발명에 따르면 주행 레일의 셋업 후에도 점검용으로 사용하는 것이 가능하다. According to the present invention, it is possible to use it for inspection even after the running rail is set up.

본 발명에 따르면 주행 태그의 오류로 인해 수율이 낮아질 수 있는 문제점을 극복할 수 있다. According to the present invention, it is possible to overcome the problem that the yield may be lowered due to an error in the driving tag.

본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.Effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and effects not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs from the present specification and accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 주행 시스템을 간략히 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 오차 관리부의 구성을 블록도로 나타낸 도면이다.
도 3 내지 도 4는 본 발명에 따른 OHT 주행 시스템에서의 오차 보정 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 OHT 주행 시스템에서의 오차 보정 방법을 나타내는 순서도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 주행 시스템에서의 오차 보정 방법을 보다 상세히 나타낸 순서도이다. 1 is a diagram schematically illustrating an OHT driving system according to an embodiment of the present invention.
2 is a block diagram illustrating the configuration of an error management unit according to an embodiment of the present invention.
3 to 4 are views for explaining an error correction method in the OHT driving system according to the present invention.
5 is a flowchart illustrating an error correction method in the OHT driving system according to the present invention.
6 is a flowchart illustrating in more detail an error correction method in an OHT driving system according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 다른 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술 되는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Other advantages and features of the present invention, and a method of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various different forms, and only this embodiment serves to complete the disclosure of the present invention, and to obtain common knowledge in the technical field to which the present invention pertains. It is provided to fully inform the possessor of the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.

만일 정의되지 않더라도, 여기서 사용되는 모든 용어들(기술 혹은 과학 용어들을 포함)은 이 발명이 속한 종래 기술에서 보편적 기술에 의해 일반적으로 수용되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적인 사전들에 의해 정의된 용어들은 관련된 기술 그리고/혹은 본 출원의 본문에 의미하는 것과 동일한 의미를 갖는 것으로 해석될 수 있고, 그리고 여기서 명확하게 정의된 표현이 아니더라도 개념화되거나 혹은 과도하게 형식적으로 해석되지 않을 것이다.Even if not defined, all terms (including technical or scientific terms) used herein have the same meaning as commonly accepted by common technology in the prior art to which this invention belongs. Terms defined by general dictionaries may be interpreted as having the same meaning as in the related description and/or in the text of the present application, and shall not be interpreted conceptually or overly formally, even if not expressly defined herein. won't

본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다' 및/또는 이 동사의 다양한 활용형들 예를 들어, '포함', '포함하는', '포함하고', '포함하며' 등은 언급된 조성, 성분, 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 조성, 성분, 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 본 명세서에서 '및/또는' 이라는 용어는 나열된 구성들 각각 또는 이들의 다양한 조합을 가리킨다.The terminology used herein is for the purpose of describing the embodiments and is not intended to limit the present invention. As used herein, the singular also includes the plural unless specifically stated otherwise in the phrase. As used herein, 'comprise' and/or various conjugations of this verb, eg, 'comprise', 'comprising', 'comprising', 'comprising', etc., refer to the stated composition, ingredient, component, A step, operation and/or element does not exclude the presence or addition of one or more other compositions, components, components, steps, operations and/or elements. As used herein, the term 'and/or' refers to each of the listed components or various combinations thereof.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In addition, shapes and sizes of elements in the drawings may be exaggerated for clearer description.

본 명세서 전체에서 사용되는 '~부'는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위로서, 예를 들어 소프트웨어, FPGA 또는 ASIC과 같은 하드웨어 구성요소를 의미할 수 있다. 그렇지만 '~부'가 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니다. '~부'는 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다. As used throughout this specification, '~ unit' is a unit that processes at least one function or operation, and may refer to, for example, a hardware component such as software, FPGA, or ASIC. However, '~part' is not meant to be limited to software or hardware. The '~ unit' may be configured to reside on an addressable storage medium or may be configured to refresh one or more processors.

일 예로서 '~부'는 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세스들, 함수들, 속성들, 프로시저들, 서브루틴들, 프로그램 코드의 세그먼트들, 드라이버들, 펌웨어, 마이크로 코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조들, 테이블들, 어레이들 및 변수들을 포함할 수 있다. 구성요소와 '~부'에서 제공하는 기능은 복수의 구성요소 및 '~부'들에 의해 분리되어 수행될 수도 있고, 다른 추가적인 구성요소와 통합될 수도 있다.As an example, '~ part' denotes components such as software components, object-oriented software components, class components and task components, processes, functions, properties, procedures, and sub It may include routines, segments of program code, drivers, firmware, microcode, circuitry, data, databases, data structures, tables, arrays, and variables. A function provided by a component and '~ unit' may be performed separately by a plurality of components and '~ unit', or may be integrated with other additional components.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 주행 시스템을 간략히 나타낸 도면이다. 1 is a diagram schematically illustrating an OHT driving system according to an embodiment of the present invention.

도 1에 따르면 OHT 주행 시스템(1)은 주행 레일(10), 주행 태그(20) 및 OHT(30)를 포함할 수 있다. OHT 주행 시스템(1)은 OHT(30)와 연결된 오차 관리부(40)를 더 포함할 수 있다. According to FIG. 1 , the OHT driving system 1 may include a driving rail 10 , a driving tag 20 and an OHT 30 . The OHT driving system 1 may further include an error management unit 40 connected to the OHT 30 .

OHT 주행 시스템(1)에 포함된 주행 레일(10)은 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비된다. 주행 레일(10)은 한 쌍의 레일로 이루어질 수 있다.The traveling rail 10 included in the OHT traveling system 1 is provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices are continuously arranged. The traveling rail 10 may be formed of a pair of rails.

주행 레일(10)은 직선 구간과 곡선 구간으로 구분될 수 있다. 곡선 구간은 주행 레일(10)이 분기되는 분기 영역이나 주행 레일(10)이 합류하는 합류 영역에 위치할 수 있다.The traveling rail 10 may be divided into a straight section and a curved section. The curved section may be located in a branching region where the driving rails 10 diverge or a merging region in which the driving rails 10 merge.

OHT(30)는 다수의 웨이퍼들이 적재된 카세트(미도시)를 파지할 수 있다. 따라서, OHT(30)는 주행 레일(10)을 따라 주행하면서 카세트를 상기 반도체 공정 장치들로 이송할 수 있다.The OHT 30 may hold a cassette (not shown) on which a plurality of wafers are loaded. Accordingly, the OHT 30 may transport the cassette to the semiconductor processing apparatuses while traveling along the traveling rail 10 .

OHT(30)에는 바코드가 부착되어 주행 태그(20)와 접촉 시 주행 태그(20)의 존재 및 위치 정보를 인식할 수 있다.A barcode is attached to the OHT 30 to recognize the existence and location information of the driving tag 20 when it comes into contact with the driving tag 20 .

주행 태그(20)는 주행 레일(10)의 하부에 배치될 수 있다. 주행 태그(20)는 OHT가 주행하는 주행 경로 상에 배치될 수 있다. 주행 태그(20)는 하나의 주행 레일(10)에 복수 개로 배치될 수 있다. The traveling tag 20 may be disposed under the traveling rail 10 . The driving tag 20 may be disposed on a driving path along which the OHT travels. A plurality of driving tags 20 may be disposed on one driving rail 10 .

도 1의 일 예시에 따르면 주행 태그(20)가 3개로 제공되는 구성이 개시된다. 주행 태그(20)는 일정한 간격을 가지고 이격되어 주행 레일(10)의 하부에 배치될 수 있다. 주행 태그(20) 간의 간격은 일정하게 배치될 수 있다. 혹은 주행 태그(20) 간의 간격은 서로 상이하게 배치될 수도 있다.According to an example of FIG. 1 , a configuration in which three driving tags 20 are provided is disclosed. The traveling tags 20 may be spaced apart from each other at regular intervals and disposed under the traveling rail 10 . The distance between the driving tags 20 may be uniformly arranged. Alternatively, the distances between the driving tags 20 may be different from each other.

주행 태그(20)는 주행 레일(10)의 하부에 배치되어, OHT의 주행 시 특정 위치를 알려주는 역할을 수행할 수 있다. 주행 태그(20)와 관련된 정보는 OHT의 주행 맵 데이터 상에 포함될 수 있다. 주행 태그(20)는 OHT의 주행 시 위치 정보를 파악하는 데 도움을 주는 역할을 할 수 있다. The traveling tag 20 may be disposed under the traveling rail 10 and serve to inform a specific location when the OHT is driven. Information related to the driving tag 20 may be included in the driving map data of the OHT. The driving tag 20 may serve to help determine the location information when the OHT is driving.

오차 관리부(40)는 OHT(30)에 연결될 수 있다. 오차 관리부(40)는 OHT에 연결되어, OHT의 주행 시 발생하는 오차들을 확인하고 개선하는 역할을 수행할 수 있다. 주행 태그(20)의 설치 위치는 OHT 주행 맵 데이터에 저장된 정보와 동일하여야 하나, 셋팅이 제대로 되어 있지 아니한 경우 정보가 상이할 수 있다. 오차 관리부(40)에서는 이와 같이 주행 맵 데이터 상에 저장된 정보와 실제 주행을 통해 얻어진 데이터를 일치시키는 역할을 수행할 수 있다. The error management unit 40 may be connected to the OHT 30 . The error management unit 40 may be connected to the OHT to check and improve errors occurring during the driving of the OHT. The installation position of the driving tag 20 should be the same as the information stored in the OHT driving map data, but the information may be different if the setting is not done properly. The error management unit 40 may play a role of matching the information stored on the driving map data with data obtained through actual driving.

오차 관리부(40)의 보다 자세한 구성 및 기능은 이하의 도 2를 참조하여 설명된다. A more detailed configuration and function of the error management unit 40 will be described with reference to FIG. 2 below.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 오차 관리부(40)의 구성을 블록도로 나타낸 도면이다. 2 is a block diagram showing the configuration of the error management unit 40 according to an embodiment of the present invention.

오차 관리부(40)는 저장부(41)와 비교부(42), 수정부(43)를 포함할 수 있다. The error management unit 40 may include a storage unit 41 , a comparison unit 42 , and a correction unit 43 .

저장부(41)는 OHT의 주행 맵 데이터를 저장할 수 있다. OHT의 주행 맵 데이터는 OHT(30)의 주행 관련 정보를 포함할 수 있다. OHT의 주행 맵 데이터는 주행 태그(20)의 위치 관련 정보도 포함될 수 있다. The storage unit 41 may store driving map data of the OHT. The driving map data of the OHT may include driving related information of the OHT 30 . The driving map data of the OHT may also include location-related information of the driving tag 20 .

OHT의 주행 관련 정보는 OHT의 경로 정보를 포함할 수 있다. OHT의 주행 관련 정보는 OHT의 주행 속도와 관련된 정보를 포함할 수도 있다. The driving-related information of the OHT may include path information of the OHT. The driving-related information of the OHT may include information related to the driving speed of the OHT.

주행 태그(20)의 위치 관련 정보란 복수의 주행 태그의 절대적인 위치값 정보일 수 있다. 혹은 주행 태그(20)의 위치 관련 정보란 복수의 주행 태그 간의 간격의 수치 정보일 수 있다. OHT의 주행 맵 데이터는 OHT 마다 상이할 수 있다. OHT의 주행 맵 데이터는 OHT 내에 저장되어 있을 수 있다. OHT의 주행 맵 데이터는 OHT로부터 다운로드 받은 초기 맵 데이터일 수 있다. OHT의 주행 맵 데이터는 수정될 수 있다.The location-related information of the travel tag 20 may be absolute location value information of a plurality of travel tags. Alternatively, the location-related information of the driving tag 20 may be numerical information of an interval between a plurality of driving tags. The driving map data of the OHT may be different for each OHT. The driving map data of the OHT may be stored in the OHT. The driving map data of the OHT may be initial map data downloaded from the OHT. OHT's driving map data may be modified.

비교부(42)는 OHT에 저장된 주행 맵 데이터와 OHT가 실제 주행하여 얻은 데이터와의 비교를 수행할 수 있다. OHT가 실제 주행하여 얻은 데이터는 주행 태그(20)에 관한 정보일 수 있다. 비교부(42)는 OHT에 내장된 주행 맵 데이터와 실제 주행하여 얻은 데이터의 매칭 여부를 확인할 수 있다. 이는 복수 회의 OHT의 주행을 통해 정확도를 향상시킬 수 있다. 복수 회의 OHT의 주행을 통해 반복되어 나타나는 오류일 경우 이를 개선하기 위한 정보를 사용자에게 송부할 수 있다. 복수 회의 OHT의 주행을 통해 반복되어 나타나는 오류일 경우 이를 개선하기 위한 정보를 OHT 주행 맵 데이터 상에 업데이트 할 수도 있다. The comparison unit 42 may compare the driving map data stored in the OHT with data obtained by the OHT actually driving. The data obtained by the OHT actually driving may be information about the driving tag 20 . The comparator 42 may check whether the driving map data embedded in the OHT matches the data obtained by actually driving. This can improve the accuracy by running multiple times of OHT. In the case of an error that appears repeatedly through driving multiple times of OHT, information for improving the error can be sent to the user. In the case of an error that appears repeatedly through multiple OHT driving, information for improving the error may be updated on the OHT driving map data.

수정부(43)는 비교부(42)에서의 비교 결과 데이터가 서로 매칭되지 않고 상이한 결과가 도출되는 경우에는, OHT의 주행 맵 데이터를 수정할 수 있다. 수정부(43)는 비교부(42)에서의 복수 회의 OHT 주행을 통해 데이터가 매칭되지 아니함을 확인하고, 데이터를 비교한 값의 평균치를 이용하여 주행 맵 데이터를 수정할 수 있다. The correction unit 43 may correct the driving map data of the OHT when the comparison result data in the comparison unit 42 do not match each other and different results are derived. The correction unit 43 may confirm that the data do not match through a plurality of OHT driving in the comparison unit 42 , and may correct the driving map data by using an average value of the values compared with the data.

이하에서 OHT의 주행 도면을 이용하여 본 발명의 비교부(42)에서의 동작을 설명한다.Hereinafter, the operation of the comparator 42 of the present invention will be described using the traveling drawing of the OHT.

도 3 내지 도 4는 본 발명에 따른 OHT 주행 시스템(1)에서의 오차 보정 방법을 설명하기 위한 도면이다. 3 to 4 are diagrams for explaining an error correction method in the OHT driving system 1 according to the present invention.

도 3에 따르면 주행 레일(10)의 하부에 복수 개의 주행 태그(20)가 부착된 일 실시 예가 개시된다. 제1 주행 태그(20a)와 제2 주행 태그(20b) 간의 거리는 a로 개시된다. 제2 주행 태그(20b)와 제3 주행 태그(20c) 간의 거리는 b로 개시된다. 제3 주행 태그(20c)와 제4 주행 태그(20d) 간의 거리는 c로 개시된다. a, b, c의 값은 동일할 수도 있고, 상이할 수도 있다. According to FIG. 3 , an embodiment in which a plurality of driving tags 20 are attached to a lower portion of a driving rail 10 is disclosed. The distance between the first travel tag 20a and the second travel tag 20b is indicated by a. The distance between the second travel tag 20b and the third travel tag 20c is indicated by b. The distance between the third driving tag 20c and the fourth driving tag 20d is indicated by c. The values of a, b, and c may be the same or different.

도 3은 실제 OHT의 주행 레일(10)에 배치된 주행 태그(20)를 나타내는 도면이다. 도 3에 따른 주행 레일(10)에서 OHT(30)는 주행 레일(10)을 따라 주행할 수 있다. OHT(30)는 주행 레일(10)을 따라 주행하며 주행 태그(20a, 20b, 20c, 20d)들과 접촉할 수 있다. 3 is a view showing the travel tag 20 disposed on the travel rail 10 of the actual OHT. In the traveling rail 10 according to FIG. 3 , the OHT 30 may travel along the traveling rail 10 . The OHT 30 may travel along the driving rail 10 and may come into contact with the driving tags 20a, 20b, 20c, and 20d.

도 4에 따르면 주행 레일(10)의 하부에 복수 개의 주행 태그(20)가 부착된 일 실시 예가 개시된다. 제1 주행 태그(20a)와 제2 주행 태그(20b) 간의 거리는 a'으로 개시된다. 제2 주행 태그(20b)와 제3 주행 태그(20c) 간의 거리는 b'으로 개시된다. 제3 주행 태그(20c)와 제4 주행 태그(20d) 간의 거리는 c'으로 개시된다.According to FIG. 4 , an embodiment in which a plurality of driving tags 20 are attached to a lower portion of a driving rail 10 is disclosed. The distance between the first driving tag 20a and the second driving tag 20b is indicated by a'. The distance between the second travel tag 20b and the third travel tag 20c is indicated by b'. The distance between the third driving tag 20c and the fourth driving tag 20d is indicated by c'.

도 4는 OHT(30)에 저장된 주행 맵 데이터 상에 나타나는 주행 태그 정보를 나타낸다. OHT(30)에 저장된 주행 맵 데이터에는 OHT의 주행 태그(20)의 개수 정보 및 위치 정보 등이 포함될 수 있다. 도 4에 도시된 주행 태그(20) 간의 거리는 OHT의 주행 맵 데이터 상에 저장되어 있는 정보일 수 있다.4 shows driving tag information displayed on the driving map data stored in the OHT 30 . The driving map data stored in the OHT 30 may include information on the number and location of the driving tags 20 of the OHT. The distance between the driving tags 20 illustrated in FIG. 4 may be information stored on the driving map data of the OHT.

주행 태그에 관한 정보는 도 4에서와 같이 주행 태그 간의 거리와 관련된 정보일 수 있다. 주행 태그에 관한 정보는 주행 태그의 절대적인 위치와 관련된 정보일 수 있다. 일 예시에 따르면 주행 맵 데이터에는 복수의 주행 태그의 위치 정보가 포함될 수 있고, 주행 태그 간 사이 간격에 관한 정보 역시 포함될 수 있다. The information on the driving tags may be information related to the distance between the driving tags as shown in FIG. 4 . The information about the driving tag may be information related to the absolute position of the driving tag. According to an example, the driving map data may include location information of a plurality of driving tags, and information on an interval between the driving tags may also be included.

즉 오차 관리부(40)에서는 도 3에 따른 실제 주행을 통해 얻어진 주행 태그 데이터 정보와 도 4에 따른 OHT 주행 맵 데이터에 저장된 주행 태그 데이터 정보를 비교 분석할 수 있다. 오차 관리부(40)는 OHT(30)의 주행과 동시에 주행 맵 데이터 상에 저장된 정보와 실제 주행하면서 얻어지는 데이터를 비교 분석할 수 있다. That is, the error management unit 40 may compare and analyze driving tag data information obtained through actual driving according to FIG. 3 and driving tag data information stored in the OHT driving map data according to FIG. 4 . The error management unit 40 may compare and analyze information stored on the driving map data and data obtained while driving the OHT 30 at the same time as driving of the OHT 30 .

일 예시에 따르면 오차 관리부(40)는 제1 주행 태그(20a)를 지나가면서 제1 주행 태그(20a)의 절대적인 위치가 주행 맵 데이터 상에 저장된 제1 주행 태그(20a)의 위치와 동일한지 여부를 판단할 수 있다. According to an example, the error management unit 40 determines whether the absolute position of the first driving tag 20a is the same as the position of the first driving tag 20a stored on the driving map data while passing the first driving tag 20a. can be judged

일 예시에 따르면, 오차 관리부(40)는 제1 주행 태그(20a) 및 제2 주행 태그(20b)를 지나가면서 제1 주행 태그(20a)와 제2 주행 태그(20b) 사이의 간격이 주행 맵 데이터 상에 저장된 1 주행 태그(20a)와 제2 주행 태그(20b) 사이의 간격과 동일한지 여부를 판단할 수 있다. 즉 도 3에서의 a의 길이와 도 4에서의 a'의 길이가 동일한지 여부를 판단할 수 있다. According to one example, the error management unit 40 determines the distance between the first driving tag 20a and the second driving tag 20b while passing the first driving tag 20a and the second driving tag 20b on the driving map. It may be determined whether the interval between the first driving tag 20a and the second driving tag 20b stored in the data is the same. That is, it may be determined whether the length of a in FIG. 3 is the same as the length of a' in FIG. 4 .

이러한 판단 작업은 동일한 OHT의 반복 주행을 통해 검사할 수 있다. 동일한 OHT의 반복 주행을 통해 거리 오차에 의한 에러를 감지할 수 있고 이를 보정할 수 있다. 또한 동일한 OHT의 반복 주행을 통해 주행 태그 상에 에러가 있는 경우 이를 사용자에게 알리고 교체 처리를 수행할 수 있다. 동일한 OHT의 반복 주행을 수행하였으나 어느 하나의 지점에서 결과가 도출되지 않거나, 비정상적으로 긴 주행 태그 간 간격이 도출되거나 하는 경우 해당 주행 태그에 대한 에러를 검출하고 이를 사용자에게 전달할 수 있다. Such a judgment task can be inspected through repeated driving of the same OHT. Through repeated driving of the same OHT, errors caused by distance errors can be detected and corrected. In addition, if there is an error in the driving tag through repeated driving of the same OHT, it is possible to notify the user and perform replacement processing. If the same OHT driving is performed repeatedly, but no results are derived at any one point or an abnormally long distance between driving tags is derived, an error for the corresponding driving tag may be detected and transmitted to the user.

이러한 판단 작업은 동일한 OHT의 반복 주행 외에도, 복수 개의 OHT의 반복 주행을 통해 검사할 수도 있다. 복수 개의 OHT의 반복 주행을 통해 복수 개의 OHT 중 어느 일부에 대한 에러를 검사할 수도 있다. 복수 개의 OHT의 반복 주행을 수행한 결과 어느 하나의 OHT에서만 상이한 결과가 도출되는 경우, 해당 OHT에 대한 에러를 검출하고 이를 사용자에게 전달할 수 있다. 이를 통해 OHT의 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 존재한다. In addition to the repeated driving of the same OHT, such a determination task may be inspected through repeated driving of a plurality of OHTs. It is also possible to check an error with respect to any part of the plurality of OHTs through repeated driving of the plurality of OHTs. When a different result is derived from only one OHT as a result of repeatedly driving a plurality of OHTs, an error for the corresponding OHT may be detected and transmitted to the user. There is an effect that can improve the quality of OHT through this.

도 5는 본 발명에 따른 OHT 주행 시스템에서의 오차 보정 방법을 나타내는 순서도이다. 5 is a flowchart illustrating an error correction method in the OHT driving system according to the present invention.

도 5에 따르면 OHT는 주행 레일을 따라 주행할 수 있다. According to FIG. 5 , the OHT may travel along the traveling rail.

주행 레일을 따라 OHT의 주행이 이루어지면 OHT 주행 맵 데이터와 주행 레일 상에 배치된 주행 태그와의 매칭 여부를 확인할 수 있다. 이 때 확인하는 매칭 정보는 주행 태그의 절대적인 위치값일 수 있다. 혹은 이 때 확인하는 매칭 정보는 주행 태그 간의 사이 간격에 관한 값일 수 있다. 매칭 여부의 확인은 OHT의 복수 회 주행을 통해 확인될 수 있다. When the OHT is driven along the driving rail, it is possible to check whether the OHT driving map data matches the driving tag disposed on the driving rail. The matching information to be checked at this time may be an absolute position value of the driving tag. Alternatively, the matching information to be checked at this time may be a value regarding the interval between driving tags. Confirmation of matching may be confirmed by running the OHT multiple times.

OHT 주행 맵 데이터와 주행 레일 상에 배치된 주행 태그와의 매칭이 상이한 경우, 오차 관리부(40)는 주행 맵 데이터를 실제 주행한 데이터에 맞도록 수정할 수 있다. 주행 데이터의 수정은 복수 회 주행을 통해 나타난 평균값을 이용하여 수정할 수 있다. When the OHT driving map data and the driving tag disposed on the driving rail are different from each other, the error management unit 40 may correct the driving map data to match the actual driving data. The correction of driving data can be corrected by using the average value displayed through driving multiple times.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 주행 시스템에서의 오차 보정 방법을 보다 상세히 나타낸 순서도이다. 도 6에 따르면 본 발명의 일 실시예에 따라 OHT 주행 시스템에서의 오차 보정을 수행하는 내용과, 오차 보정을 수행한 주행 맵 데이터를 적용하는 내용이 개시된다. 6 is a flowchart illustrating in more detail an error correction method in an OHT driving system according to an embodiment of the present invention. According to FIG. 6 , the contents of performing error correction in the OHT driving system and applying the driving map data on which the error correction is performed according to an embodiment of the present invention are disclosed.

이를 순차적으로 설명하면 이하와 같다. These are sequentially described as follows.

OHT를 주행시킴과 동시에, OHT에 저장된 OHT 주행 맵 데이터와 주행 레일 에 배치된 주행 태그와의 매칭 여부를 확인하며, 주행 태그 거리의 오차를 확인할 수 있다. 주행 맵 데이터 상의 위치 데이터와, 실제 주행하여 얻어진 위치 데이터의 차이를 통해 주행 태그 거리의 오차를 확보할 수 있다. At the same time as driving the OHT, it is possible to check whether the OHT driving map data stored in the OHT matches the driving tag placed on the driving rail, and the error of the driving tag distance can be checked. An error in the driving tag distance may be secured through a difference between the position data on the driving map data and the position data obtained by actually driving.

즉 OHT의 주행 중 측정한 데이터를 기반으로 주행 레일에서의 주행 태그 간 거리와 OHT의 맵 데이터 간 오차발생 지점을 특정할 수 있다.That is, it is possible to specify the error occurrence point between the distance between the driving tags on the driving rail and the map data of the OHT based on the data measured during driving of the OHT.

오차 관리부(40)는 오차 데이터들을 수집 및 식별할 수 있다. The error management unit 40 may collect and identify error data.

오차 관리부는 오차 데이터들을 수집하여, 동일한 위치에서 기설정된 횟수 이상 오차가 발생하는 경우 오류가 발생한 것으로 판단할 수 있다. 이는 하나의 OHT를 복수 회 주행시킨 결과로 판단할 수 있다. 이 때, 기설정된 횟수는 3회 내지 5회일 수 있다.The error management unit may collect error data and determine that an error has occurred when an error occurs more than a preset number of times at the same location. This may be determined as a result of driving one OHT multiple times. In this case, the preset number of times may be 3 to 5 times.

기설정된 횟수 이상의 오차가 발생하는 경우 복수의 OHT에 대해 같은 주행을 하여 같은 오차가 발생하는지 여부를 판단할 수 있다. When an error occurs more than a preset number of times, it may be determined whether the same error occurs by performing the same driving for a plurality of OHTs.

즉 상위 시스템의 연동을 통해 자동으로 다수의 OHT를 통해 오차 발생한 주행 태그의 거리를 측정할 수 있다. 측정된 거리의 신뢰성 확보를 위해 다수의 OHT를 이용하여 거리를 복수 회 측정할 수 있다.In other words, it is possible to measure the distance of the driving tag where the error occurred through multiple OHTs automatically through interlocking with the upper system. In order to secure the reliability of the measured distance, the distance can be measured multiple times using multiple OHTs.

오차 관리부는 측정된 데이터의 경향 및 분산도를 분석하여, 이러한 측정 데이터의 정확도를 검증할 수 있다. 검증 과정에서 하드웨어 상에 문제가 발생한 경우, 이를 디스플레이 상에 표시하여 사용자가 조치를 취하도록 할 수 있다.The error management unit may analyze the trend and variance of the measured data to verify the accuracy of the measured data. If a hardware problem occurs during the verification process, it can be displayed on the display so that the user can take action.

일 예시에 따르면, 하나의 OHT를 복수 회 주행시킨 결과에 따라 주행 태그 혹은 OHT의 태그에 문제가 발생하는 경우 이를 사용자에게 알릴 수 있다. 일 예시에 따르면, 복수의 OHT를 동일한 주행 레일 상에 주행시킨 결과에 따라 복수의 OHT 중 일부에 문제가 발생하는 경우 이를 사용자에게 알릴 수 있다. According to one example, when a problem occurs in the driving tag or the OHT tag according to a result of driving one OHT a plurality of times, the user may be notified. According to an example, when a problem occurs in some of the plurality of OHTs according to a result of driving the plurality of OHTs on the same traveling rail, the user may be notified.

하드웨어 상에서 발생한 문제란 주행 태그가 손상되는 경우일 수 있다. 또는 OHT의 주행과 관련하여 발생한 문제일 수도 있다. 또는 OHT 자체의 불량과 관련된 문제일 수도 있다. 또는 OHT의 바코드 센서의 편차나 거리 측정의 해상도와 관련된 문제일 수도 있다. A hardware problem may be a case where the driving tag is damaged. Or, it may be a problem related to the driving of the OHT. Or, it may be a problem related to the failure of the OHT itself. Or, it may be a problem related to the deviation of the barcode sensor of the OHT or the resolution of the distance measurement.

상기와 같이 문제가 발생한 경우 이는 사용자에게 알려지고, 사용자는 조치를 취할 수 있다. 그리고 오차 관리부는 복수 회의 주행을 통한 주행 데이터를 통해 주행 맵 데이터와 실제 주행 레일 상의 주행 태그와의 오차를 확인하고, 복수 개의 오차 데이터의 평균치를 적용한 주행 맵 데이터를 생성할 수 있다. 생성된 주행 맵 데이터는 다양한 방법을 통해 유효성 검사를 수행할 수 있다. 유효성 검사가 완료되지 않으면 알람을 발생시켜 유효성 검사를 수행할 수 있도록 사용자에게 알릴 수 있다.When a problem occurs as described above, it is notified to the user, and the user can take action. The error management unit may check the error between the driving map data and the driving tag on the actual driving rail through driving data through a plurality of driving times, and generate driving map data to which an average value of the plurality of error data is applied. The generated driving map data may be validated through various methods. If validation is not complete, an alarm can be raised to notify the user so that validation can be performed.

주행 맵 데이터가 보정되면, 이는 동일한 주행 레일을 주행하는 OHT로 데이터의 횡전개를 수행할 수 있다. 횡전개의 의미는 하나의 OHT에 대한 주행 맵 데이터가 보정된 경우 이를 확장하여 동일한 주행 레일을 주행하는 OHT들에 해당 주행 맵 데이터를 적용하도록 하는 것이다. When the driving map data is corrected, it can perform lateral unfolding of the data with the OHT traveling on the same driving rail. The meaning of lateral deployment is to apply the corresponding driving map data to OHTs traveling on the same driving rail by expanding the corrected driving map data for one OHT.

유효성 검사가 완료되면 수정된 주행 맵 데이터가 로딩되고, 이는 해당 주행 레일을 주행하는 맵 상에 백업 및 설치될 수 있다. 이는 OCS 맵에 적용될 수 있고, OHT 맵의 업데이터를 요청하고, 이는 서버 상에 저장되어 다운로드 등의 형태로 사용 가능하도록 처리될 수 있다. When the validation check is completed, the modified driving map data is loaded, which can be backed up and installed on a map driving the corresponding driving rail. This may be applied to the OCS map, requesting an update of the OHT map, which may be stored on a server and processed to be available in the form of download or the like.

즉 본 발명에서는 OHT의 실제 주행 데이터를 기반으로 주행 태그와 OHT 맵 데이터, 즉 주행 기준 데이터의 오차를 미리 보정하여 에러 발생 빈도를 감소시킬 수 있는 효과가 있다. 또한 본 발명에서는 측정된 데이터를 기반으로 하여 주행 태그의 손상 여부와, OHT의 바코드의 센서 상태를 진단하여 문제가 있는 경우 이를 사용자에게 알려 점검을 수행할 수 있도록 할 수 있다. That is, in the present invention, errors in the driving tag and OHT map data, that is, driving reference data, are corrected in advance based on the actual driving data of the OHT, thereby reducing the error occurrence frequency. In addition, in the present invention, based on the measured data, it is possible to diagnose whether the driving tag is damaged and the sensor state of the barcode of the OHT, and if there is a problem, it is possible to notify the user so that the inspection can be performed.

본 발명을 통해 주행 레일 상의 주행 태그와 OHT 주행 맵 데이터 간의 거리 오차에 의한 에러를 사전에 방지하고, 이를 감소시킬 수 있다. Through the present invention, it is possible to prevent and reduce an error due to a distance error between the driving tag on the driving rail and the OHT driving map data in advance.

본 발명을 통해 주행 레일의 주행 태그의 진단을 통해 문제가 발생한 경우 사전에 주행 태그를 교체하도록 하여, 주행 태그와 관련한 에러를 사전에 방지하고, 이를 감소시킬 수 있다. According to the present invention, when a problem occurs through the diagnosis of the travel tag of the travel rail, the travel tag is replaced in advance, thereby preventing and reducing errors related to the travel tag in advance.

본 발명을 통해 OHT 별 바코드 감지 센서의 문제 발생 여부를 진단하여 OHT 별 에러를 감소하고 OHT의 품질을 향상시킬 수 있다. Through the present invention, it is possible to reduce the error per OHT and improve the quality of OHT by diagnosing whether a problem occurs in the barcode detection sensor for each OHT.

또한 셋업 이후 OHT의 주행을 통해 자동 보정 횟수를 검증하고, 이를 안정화 지표로써 활용할 수 있다. In addition, the number of automatic corrections can be verified through OHT driving after setup, and this can be used as a stabilization index.

이상의 실시 예들은 본 발명의 이해를 돕기 위하여 제시된 것으로, 본 발명의 범위를 제한하지 않으며, 이로부터 다양한 변형 가능한 실시 예들도 본 발명의 범위에 속하는 것임을 이해하여야 한다. 본 발명에서 제공되는 도면은 본 발명의 최적의 실시예를 도시한 것에 불과하다. 본 발명의 기술적 보호범위는 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이며, 본 발명의 기술적 보호범위는 특허청구범위의 문언적 기재 그 자체로 한정되는 것이 아니라 실질적으로는 기술적 가치가 균등한 범주의 발명까지 미치는 것임을 이해하여야 한다.The above embodiments are presented to help the understanding of the present invention, and do not limit the scope of the present invention, and it should be understood that various modifications are also included in the scope of the present invention. The drawings provided in the present invention merely show an optimal embodiment of the present invention. The technical protection scope of the present invention should be defined by the technical idea of the claims, and the technical protection scope of the present invention is not limited to the literal description of the claims itself, but is substantially equivalent to the technical value. It should be understood that it extends to the invention of

1 : OHT 주행 시스템
10 : 주행 레일
20 : 주행 태그
30 : OHT
40 : 오차 관리부
41 : 저장부
42 : 비교부
43 : 수정부 1: OHT driving system
10: running rail
20 : driving tag
30: OHT
40: error management unit
41: storage
42: comparison unit
43 : correction part

Claims (13)

반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일;
상기 주행 레일에 이격되어 반복적으로 배치되는 주행 태그;
상기 주행 레일 상에서 주행하는 OHT; 및
상기 주행 레일에서 OHT의 주행 시 발생하는 오차를 확인 및 개선하는 오차 관리부;를 포함하고,
상기 오차 관리부는 OHT를 반복 주행하도록 제어하여 오차 여부를 확인하며,
상기 오차 관리부는,
상기 OHT의 반복 주행을 통해 상기 주행 태그의 손상 여부를 함께 검사하는 OHT 주행 시스템.
a traveling rail provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line;
a driving tag which is spaced apart from the driving rail and repeatedly disposed;
an OHT running on the running rail; and
Including a;
The error management unit checks whether there is an error by controlling the OHT to run repeatedly,
The error management unit,
An OHT driving system that inspects whether the driving tag is damaged through repeated driving of the OHT.
 제1항에 있어서,
상기 오차 관리부는
상기 OHT의 주행 맵 데이터가 저장되는 저장부;
상기 저장부에 저장된 주행 맵 데이터를 상기 OHT가 실제 주행하여 얻은 데이터와 비교하는 비교부; 및
상기 비교부에서의 결과에 따라 상기 주행 맵 데이터를 수정하는 수정부;를 포함하는 OHT 주행 시스템.
According to claim 1,
The error management unit
a storage unit for storing driving map data of the OHT;
a comparison unit for comparing the driving map data stored in the storage unit with data obtained by the OHT actually driving; and
OHT driving system including; a correction unit for correcting the driving map data according to the result of the comparison unit.
 제2항에 있어서,
상기 주행 맵 데이터에는 OHT의 주행 관련 정보와 주행 태그의 위치 관련 정보가 포함된 것을 특징으로 하는 OHT 주행 시스템.
3. The method of claim 2,
OHT driving system, characterized in that the driving map data includes driving-related information of the OHT and location-related information of a driving tag.
 제3항에 있어서,
상기 비교부는 상기 저장부에 저장된 주행 맵 데이터와 상기 OHT가 주행하며 접촉하는 상기 주행 태그와의 매칭 여부를 비교하는 OHT 주행 시스템.
4. The method of claim 3,
The comparison unit OHT driving system for comparing whether the driving map data stored in the storage unit and the driving tag in contact with the OHT driving.
 제4항에 있어서,
상기 수정부는 상기 저장부에 저장된 주행 맵 데이터와 상기 OHT가 주행하며 접촉하는 상기 주행 태그와의 매칭이 상이한 경우 상기 주행 맵 데이터를 상기 주행 태그와 매칭되도록 수정하는 OHT 주행 시스템.
5. The method of claim 4,
The correction unit corrects the driving map data to match the driving tag when the matching between the driving map data stored in the storage unit and the driving tag contacted by the OHT while driving is different.
 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 오차 관리부는
복수의 OHT에 대한 반복 주행을 통해 복수의 OHT 중 일부의 손상 여부를 함께 검사하는 OHT 주행 시스템.
According to claim 1,
The error management unit
An OHT driving system that inspects whether some of the multiple OHTs are damaged through repeated driving of multiple OHTs.
 정해진 주행 레일을 따라 OHT가 주행하는 단계;
상기 OHT 내에 저장된 주행 맵 데이터와, 상기 주행 레일 상에 배치된 주행 태그와의 매칭 여부를 확인하는 단계;
매칭이 상이한 경우 상기 주행 맵 데이터를 수정하는 단계;를 포함하고,
상기 OHT 내에 저장된 주행 맵 데이터와, 상기 주행 레일 상에 배치된 주행 태그와의 매칭 여부를 확인하는 단계; 는,
상기 OHT의 반복 주행을 통해 오차 발생 지점을 특정하는 단계를 포함하는 OHT 주행 시스템에서의 오차 보정 방법.

The OHT traveling along a predetermined traveling rail;
checking whether the driving map data stored in the OHT matches the driving tag disposed on the driving rail;
Including; correcting the driving map data when matching is different;
checking whether the driving map data stored in the OHT matches the driving tag disposed on the driving rail; Is,
and specifying an error occurrence point through repeated driving of the OHT.

 삭제delete 삭제delete 제9항에 있어서,
동일한 위치에서 기설정된 횟수 이상 오차가 발생하는 경우 복수의 OHT의 주행을 통해 오차 발생 지점의 거리의 평균치를 측정하는 단계;를 포함하는 OHT 주행 시스템에서의 오차 보정 방법.
10. The method of claim 9,
When an error occurs more than a predetermined number of times at the same location, measuring an average value of the distances of the error occurrence points through driving of a plurality of OHTs; an error correction method in an OHT driving system comprising a.
 제12항에 있어서,
매칭이 상이한 경우 상기 주행 맵 데이터를 수정하는 단계;는,
상기 평균치가 적용된 주행 맵 데이터를 생성하는 단계;를 포함하는 OHT 주행 시스템에서의 오차 보정 방법.
13. The method of claim 12,
If the matching is different, modifying the driving map data;
Generating driving map data to which the average value is applied; error correction method in the OHT driving system comprising a.
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