KR102297068B1 - 플라즈마 발생장치 - Google Patents

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이봉국
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Abstract

플라즈마 발생 장치는 노즐 어레이(nozzle array), 제 1 전극 및 하우징을 포함한다. 노즐 어레이는 플라즈마를 배출한다. 제 1 전극은 상기 노즐 어레이를 둘러싸도록 배치된다. 하우징은 상기 노즐 어레이 및 상기 제 1 전극을 둘러싸도록 배치된다. 노즐 어레이는 복수의 노즐들을 포함하고, 복수의 노즐들은 서로 인접하여 어레이 형태로 배치되어 각각 플라즈마를 배출하도록 구성된다. 따라서, 대면적의 플라즈마를 균일하고 안정적으로 발생시킬 수 있다.

Description

플라즈마 발생장치{APPARATUS FOR GENERATING PLASMA}
본 발명은 플라즈마에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 플라즈마 발생장치에 관한 것이다.
일반적인 플라즈마 기술에서, 단일 플라즈마 니들(plasma needle)을 복수 개로 어레이 형태를 구성하고 있다. 이러한 어레이 형태의 플라즈마는 어레이 플라즈마 젯으로 분류하나, 개별적 플라즈마 니들들 사이에 플라즈마가 발생되지 않는 빈 공간을 가지게 되어 균일한 플라즈마를 대면적으로 형성하기가 어렵다.
또한 기존의 플라즈마 발생장치는 플라즈마 발생 영역을 넓히기 위하여 단면적이 넓은 홀 형태의 플라즈마 발생기를 구현하고자 노력하고 있으나, 이러한 경우 플라즈마가 발생하기 위한 가스의 소모량이 큰 반면 상대적으로 대면적으로 플라즈마가 발생되기 어려운 단점을 지닌다.
대면적으로 안정된 플라즈마를 구현하여 피부 등과 같은 목적 표면을 개질하고자 하는 경우, 플라즈마 발생 영역이 넓은 영역으로 구성되어야 하고 또한 플라즈마 발생이 안정적이어야 하며 플라즈마 발생을 위한 가스 소모량 역시 적어야 한다는 필요성이 대두되고 있다.
본 발명의 실시예는 균일하고 안정된 플라즈마를 발생시킬 수 있는 플라즈마 발생 장치를 제공한다.
본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치는 노즐 어레이(nozzle array), 제 1 전극 및 하우징을 포함한다. 상기 노즐 어레이는 플라즈마를 배출한다. 상기 제 1 전극은 상기 노즐 어레이를 둘러싸도록 배치된다. 상기 하우징은 상기 노즐 어레이 및 상기 제 1 전극을 둘러싸도록 배치된다. 상기 노즐 어레이는 복수의 노즐들을 포함하고, 상기 복수의 노즐들은 서로 인접하여 어레이 형태로 배치되어 각각 플라즈마를 배출하도록 구성된다.
일 실시예에서, 상기 노즐 어레이에 포함되는 복수의 노즐들 각각은, 적어도 일부가 도체로 형성될 수 있다.
실시예에 따라, 상기 복수의 노즐들은, 각각 인접한 노즐들과 상기 도체로 형성된 부분을 통해 접촉하도록 배치될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 하우징은 플라즈마 배출구를 포함할 수 있다. 상기 노즐 어레이로부터 배출된 플라즈마는 상기 플라즈마 배출구를 통해 분사될 수 있다.
실시예에 따라, 상기 하우징은 상기 노즐 어레이 및 상기 제 1 전극과 일정 간격 이격되어 보호 가스 통로를 형성할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 하우징은 발생한 플라즈마가 표면에 분사되고 난 후 배출되도록 하는 측면 배출구를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제 1 전극은, 상기 노즐 어레이의 복수의 노즐들 중 적어도 일부의 노즐들과 접촉할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 플라즈마 발생장치는 상기 하우징 상에 고리 형태로 형성되는 제 2 전극을 더 포함할 수 있다.
실시예에 따라, 상기 제 2 전극은 접지(ground) 될 수 있다.
실시예에 따라, 상기 제 2 전극은 플로팅(floating) 될 수 있다.
실시예에 따라, 상기 제 2 전극은 고전압을 발생하고, 상기 제 1 전극은 접지되거나 플로팅 될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 하우징은 발생한 플라즈마가 표면에 분사되고 난 후 배출되도록 하는 측면 배출구를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 복수의 노즐들 각각의 단면은 외형(外形) 및 내형(內形)이 모두 원형(圓形)일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 복수의 노즐들 각각의 단면은 외형 및 내형이 모두 다각형(多角形)일 수 있다.
실시예에 따라, 상기 외형 및 내형은 모두 육각형(六角形)일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 복수의 노즐들 각각의 단면은, 다각형의 외형 및 원형의 내형을 가질 수 있다.
실시예에 따라, 상기 외형은 육각형일 수 있다.
본 발명에 의한 플라즈마 발생 장치는 균일한 플라즈마를 안정적으로 발생시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 의한 플라즈마 발생 장치는 대면적의 플라즈마를 발생시킬 수 있다.
도 1a 및 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생장치를 나타내는 도면이다.
도 2a 및 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생장치의 노즐 어레이 및 제 1 전극을 보다 자세히 나타내는 도면이다.
도 3a 및 3b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생장치를 나타내는 도면이다.
도 4a 내지 4c는 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 발생장치의 노즐 어레이에 포함되는 노즐의 형태를 예시적으로 나타내는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예들을 상세히 설명한다. 이 때, 첨부된 도면에서 동일한 구성 요소는 가능한 동일한 부호로 나타내고 있음에 유의해야 한다. 하기의 설명에서는 본 발명에 따른 동작을 이해하는데 필요한 부분만이 설명되며 그 이외 부분의 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않도록 하기 위해 생략될 것이라는 것을 유의하여야 한다. 또한 본 발명은 여기에서 설명되는 실시 예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 단지, 여기에서 설명되는 실시 예은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여 제공되는 것이다.
도 1a 및 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생장치를 나타내는 도면이다.
도 1a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생장치(100)의 부분 단면도가 도시되어 있다. 또한, 도 1b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생장치(100)의 단면도가 도시되어 있다.
도 1a 및 1b를 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생장치(100)는 노즐 어레이(nozzle array; 101), 제 1 전극(102) 및 하우징(103)을 포함한다. 노즐 어레이(101)는 플라즈마(104)를 배출한다. 제 1 전극(102)은 노즐 어레이(101)를 둘러싸도록 배치된다. 하우징(103)은 노즐 어레이(101) 및 제 1 전극(102)을 둘러싸도록 배치된다. 노즐 어레이(101)는 복수의 노즐들을 포함하고, 상기 복수의 노즐들은 서로 인접하여 어레이 형태로 배치되어 각각 플라즈마를 배출하도록 구성된다.
노즐 어레이(101)에 포함되는 복수의 노즐들은 니들(needle) 형태를 가질 수 있다. 플라즈마를 발생시키는 개별적인 노즐들은 각각 전도성을 가지는 전극으로 구성될 수 있다. 또는, 다른 실시예에서, 개별 노즐들은 부도체 또는 절연체로 형성되고, 적어도 일부에 전도성 물질이 부착되어 있는 구조로도 구성될 수 있다. 즉, 노즐 어레이(101)에 포함되는 복수의 노즐들 각각은, 적어도 일부가 도체로 형성될 수 있다. 따라서, 노즐 어레이(101)에 포함되는 복수의 노즐들은, 각각 인접한 노즐들과 상기 도체로 형성된 부분을 통해 접촉하도록 배치될 수 있다.
노즐 어레이(101)에 포함되어 플라즈마를 발생하는 개별 노즐들은 니들 형태의 실린더로 구성될 수 있다. 바람직하게, 노즐들은 서로 인접하게 배치되어 노즐들 사이에 빈공간을 최소화하도록 노즐 어레이(101)가 구성될 수 있다. 노즐들 사이에 빈 공간이 형성되는 경우 플라즈마 발생이 노즐과 노즐 사이에 형성되어 균일한 플라즈마가 형성되지 않을 수 있다. 플라즈마 가스의 공급은 노즐 어레이(101)에 포함되는 실린더 형태의 노즐 내부로 흘러가게 되고, 플라즈마는 노즐들의 끝에서 형성되어 균일하고 안정된 플라즈마를 형성할 수 있다. 본 발명에 따른 플라즈마 발생 장치는, 플라즈마를 발생하는 복수의 노즐들을 니들 형태로 구성하고, 상기 니들 형태의 노즐들이 서로 인접하도록 배치함으로써 노즐과 노즐 사이의 빈 공간을 최소화하고, 결과적으로 대면적의 균일한 플라즈마를 안정적으로 형성할 수 있다.
플라즈마 발생장치(100)의 하우징(103)은 노즐 어레이(101) 및 제 1 전극(102)을 둘러싸도록 배치될 수 있다. 하우징(103)은 노즐 어레이(101)에서 발생되는 플라즈마(104)를 배출하도록 구성되는 플라즈마 배출구(108)를 포함할 수 있다. 노즐 어레이(101)에서 발생되는 플라즈마(104)는 플라즈마 배출구(108)를 통해 분사되어 표면(107)에 닿을 수 있다.
하우징(103)은 노즐 어레이(101) 및 제 1 전극(102) 일정 간격 이격되어 보호 가스 통로를 형성할 수 있다. 보호 가스 발생부(미도시)로부터 보호 가스(105)가 발생되어 상기 보호 가스 통로를 통과하도록 유동될 수 있다. 보호 가스(105)는 플라즈마가 균일하게 발생할 수 있도록, 외부 가스와의 접촉을 최소화하는 역할을 할 수 있다.
하우징(103)은, 노즐 어레이(101)에서 발생한 플라즈마(104)가 표면(107)에 분사되고 난 후 배출되도록 하는 측면 배출구(106)를 포함할 수 있다. 플라즈마 발생장치(100)를 표면(107)에 인접하도록 위치시켜 플라즈마(104)를 발생시키는 경우, 표면(107)에 접촉하고 난 후의 플라즈마가 하우징(103) 내에서 남아 원활하게 외부로 빠져나가지 못하는 경우가 발생할 수 있다. 이 경우, 외부로 빠져나가지 못한 플라즈마는 하우징(103) 내에 잔존하여, 노즐 어레이(101)에서 새롭게 발생하는 플라즈마(104)의 유동을 방해할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 발생장치(100)는 하우징(103)에 측면 배출구(106)를 구비하여, 플라즈마(104)가 표면(107)에 접촉하고 난 후 하우징(103) 외부로 신속하게 빠져나갈 수 있도록 유도할 수 있다.
도 2a 및 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생장치의 노즐 어레이 및 제 1 전극을 보다 자세히 나타내는 도면이다.
도 2a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생장치의 노즐 어레이(101) 및 제 1 전극(102)을 측면에서 나타낸 도면이 도시되어 있다. 도 2b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생장치의 노즐 어레이(101) 및 제 1 전극(102)의 A 방향에 따른 단면이 도시되어 있다.
도 2a 및 2b를 참조하면, 노즐 어레이(101)는 복수의 노즐들을 포함한다. 또한, 제 1 전극(102)은 노즐 어레이(101)의 복수의 노즐들 중 적어도 일부의 노즐들과 접촉하도록 배치될 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 발생장치에 의하면, 노즐 어레이(101)에 포함되는 복수의 노즐들은 각각 적어도 일부가 전도성을 가지는 물질로 구성될 수 있다. 각각의 노즐들의 전부 또는 적어도 일부가 전도성을 갖는 물질로 구성되는 경우, 제 1 전극(102)과 직접 접촉하지 않는 노즐이라도 제 1 전극(102)으로부터 전압을 인가받을 수 있다.
예를 들어, 노즐(101a) 및 노즐(101b)은 제 1 전극(102)과 접촉하도록 배치되며, 노즐(101c)은 제 1 전극(102)과 접촉하지 않도록 배치될 수 있다. 비록 노즐(101c)이 제 1 전극(102)과 접촉하지 않더라도, 노즐(101c)은 노즐(101a) 또는 노즐(101b)과 접촉하도록 배치되고 노즐들(101a, 101b, 101c, …)이 전도성을 가지는 물질로 구성되므로, 노즐(101c)도 노즐(101a) 및 노즐(101b)과 마찬가지로 제 1 전극(102)으로부터 전압을 인가받을 수 있다. 제 1 전극(102)의 입장에서는, 제 1 전극(102)이 복수의 노즐들 중 일부의 노즐들과 접촉하더라도, 노즐들의 적어도 일부가 전도성을 갖는 물질로 구성되므로 제 1 전극(102)과 직접 접촉하지 않는 노즐(예를들어, 노즐(101c))들에도 전압을 인가할 수 있다.
상술한 바와 같이, 노즐 어레이(101)의 노즐들은 서로 인접하게 배치되어 노즐들 사이에 빈공간을 최소화하도록 할 수 있다. 노즐들 사이에 빈 공간이 형성되는 경우, 플라즈마 발생이 노즐과 노즐 사이에 형성되어 균일한 플라즈마가 형성되지 않을 수 있다. 본 발명에 따른 플라즈마 발생 장치는, 플라즈마를 발생하는 복수의 노즐들을 니들 형태로 구성하고, 상기 니들 형태의 노즐들이 서로 인접하도록 배치함으로써 노즐과 노즐 사이의 빈 공간을 최소화하고, 결과적으로 대면적의 균일한 플라즈마를 안정적으로 형성할 수 있다.
도 2a 및 2b에는 원형(圓形)의 외형(外形) 및 원형의 내형(內形)을 갖는 노즐들로 구성된 노즐 어레이(101)가 도시되어 있다. 그러나, 노즐 어레이를 구성하는 노즐의 형태는 반드시 단면이 원형일 필요는 없으며, 필요에 따라 원형이 아닌 다각형의 단면을 갖는 노즐로 구성하여 노즐들 사이의 빈 공간을 줄일 수 있다. 노즐의 단면에 대한 다른 예시적인 실시예에 대하여는 도 4a 내지 4c를 참조하여 후술하기로 한다.
도 3a 및 3b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생장치를 나타내는 도면이다.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(300)는 는 노즐 어레이(301), 제 1 전극(302) 및 하우징(303)을 포함한다. 노즐 어레이(301)는 플라즈마(304)를 배출한다. 제 1 전극(302)은 노즐 어레이(301)를 둘러싸도록 배치된다. 하우징(303)은 노즐 어레이(301) 및 제 1 전극(302)을 둘러싸도록 배치된다. 노즐 어레이(301)는 복수의 노즐들을 포함하고, 상기 복수의 노즐들은 서로 인접하여 어레이 형태로 배치되어 각각 플라즈마를 배출하도록 구성된다.
플라즈마 발생장치(300)의 하우징(303)은 노즐 어레이(301) 및 제 1 전극(302)을 둘러싸도록 배치될 수 있다. 하우징(303)은 노즐 어레이(301)에서 발생되는 플라즈마(304)를 배출하도록 구성되는 플라즈마 배출구(308)를 포함할 수 있다. 하우징(303)은 노즐 어레이(301) 및 제 1 전극(302) 일정 간격 이격되어 보호 가스 통로를 형성할 수 있다. 보호 가스 발생부(미도시)로부터 보호 가스(305)가 발생되어 상기 보호 가스 통로를 통과하도록 유동될 수 있다. 하우징(303) 발생한 플라즈마(305)가 표면(307)에 분사되고 난 후 배출되도록 하는 측면 배출구(306)를 포함할 수 있다.
도 3a 및 도 3b에 도시된 플라즈마 발생 장치(300)는 도 1a 및 1b에 도시된 플라즈마 발생장치(100)와 유사하다. 다만, 도 3a 및 도 3b에 도시된 플라즈마 발생 장치(300)는 제 2 전극(309)를 더 포함한다는 점에서 도 1a 및 1b에 도시된 플라즈마 발생장치(100)와 차이가 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(300)는 하우징(303) 상에 고리 형태로 형성되는 제 2 전극(309)을 더 포함한다. 제 2 전극(309)는 하우징(303)의 플라즈마 배출구(308) 근방에 위치할 수 있다. 제 2 전극(309)은 플라즈마 발생을 위한 항복 전압(breakdown voltage)을 낮추는 작용을 할 수 있다. 제 2 전극(309)이 추가적으로 배치됨으로써, 제 1 전극(302)과 제 2 전극(309) 사이에 균일한 전기장이 형성되어, 플라즈마(304)가 균일하게 분사되도록 할 수 있다. 실시예에 따라, 제 2 전극(309)은 접지(ground) 될 수 있으며, 또는 플로팅(floating) 될 수도 있다.
또는, 실시예에 따라, 제 2 전극(309)에 전압이 가해지고 제 1 전극(302)가 접지 될 수 있으며, 또는 제 1 전극(302)가 플로팅 될 수 있다. 즉, 제 1 전극(302) 및 제 2 전극(309)의 극성이 바뀌어져 플라즈마가 발생할 수 있다.
도 4a 내지 4c는 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 발생장치의 노즐 어레이에 포함되는 노즐의 형태를 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 4a 내지 4c에 도시된 바와 같이, 플라즈마 발생장치의 노즐 어레이에 복수 개로 배치되는 노즐은 다양한 형태를 가질 수 있다. 도 4a에서, 노즐(410)은 원형(圓形)의 외형(外形; 411) 및 원형의 내형(內形;412)을 가질 수 있다. 도 4a의 노즐(410)로 구성된 노즐 어레이는 도 2a 및 2b에 도시되어 있다.
실시예에 따라,노즐 어레이에 포함되어 배치된 복수의 노즐들 사이의 빈공간을 더욱 최소화하기 위하여, 노즐의 외형을 원형이 아닌 다각형으로 구성할 수도 있다. 또한, 노즐의 외형 및 내형이 반드시 동일한 형태를 가질 필요는 없으며, 다각형의 외형 및 원형의 내형을 갖도록 노즐이 구성될 수도 있다. 도 4b 및 4c에는 육각형(六角形)의 외형을 가진 노즐이 도시되어 있다. 도 4b에 도시된 노즐(420)은 육각형의 외형(421) 및 내형(422)을 갖는다. 도 4c에 도시된 노즐(430)은 육각형의 외형(431) 및 원형의 내형(433)을 갖는다. 도 4b 및 4c에 도시된 바와 같이 육각형의 외형을 갖는 노즐들로 노즐 어레이를 구성하는 경우, 노즐들 사이의 빈공간을 최소화할 수 있다.
도 4b 및 4c에는 노즐의 외형 또는 내형이 육각형인 경우의 실시예만 도시되어 있으나, 필요에 따라 다른 다양한 형태의 다각형이 노즐의 외형 또는 내형으로 사용될 수도 있다.
이제까지 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 본 발명을 구현할 수 있음을 이해할 것이다. 그러므로, 상기 개시된 실시예 들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 한다. 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 본 발명의 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것일 뿐이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형 예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.
100, 300: 플라즈마 발생 장치 101, 301: 노즐 어레이
102, 302: 제 1 전극 103, 303: 하우징
104, 304: 플라즈마 105, 305: 보호 가스
106, 306: 측면 배출구 107, 307: 표면
108, 308: 플라즈마 배출구 309: 제 2 전극

Claims (17)

  1. 플라즈마를 배출하는 노즐 어레이(nozzle array);
    상기 노즐 어레이를 둘러싸도록 배치되는 제 1 전극;
    상기 노즐 어레이 및 상기 제 1 전극을 둘러싸도록 배치되는 하우징; 및
    상기 하우징 상에 고리 형태로 형성되는 제 2 전극을 포함하는 플라즈마 발생 장치로서,
    상기 노즐 어레이는 복수의 노즐들을 포함하고, 상기 복수의 노즐들은 서로 인접하여 어레이 형태로 배치되어 각각 플라즈마를 배출하도록 구성되고,
    상기 복수의 노즐들 각각의 단면은 외형(外形)이 다각형(多角形)이고,
    상기 하우징은 상기 노즐 어레이에서 발생한 플라즈마가 분사되는 하부 플라즈마 배출구 및 측면 플라즈마 배출구를 포함하고,
    상기 측면 플라즈마 배출구는 상기 하부 플라즈마 배출구를 통해 플라즈마가 분사된 이후에 상기 하우징 내에 잔존하는 플라즈마 배출되도록 상기 하우징의 측면에 제공되는 플라즈마 발생 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐 어레이에 포함되는 복수의 노즐들 각각은, 적어도 일부가 도체로 형성되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 복수의 노즐들은, 각각 인접한 노즐들과 상기 도체로 형성된 부분을 통해 접촉하도록 배치되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 하우징은 상기 노즐 어레이 및 상기 제 1 전극과 일정 간격 이격되어 보호 가스 통로를 형성하는, 플라즈마 발생 장치.
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 전극은, 상기 노즐 어레이의 복수의 노즐들 중 적어도 일부의 노즐들과 접촉하는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치.
  8. 삭제
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 전극은 접지(ground)되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 전극은 플로팅(floating) 되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 전극은 고전압을 발생하고, 상기 제 1 전극은 접지되거나 플로팅 되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치.
  12. 삭제
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 노즐들 각각의 단면은 내형(內形)이 원형(圓形)인 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 노즐들 각각의 단면은 내형이 다각형(多角形)인 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 외형 또는 상기 내형은 육각형(六角形)인 것을 특징으로 하는, 플라즈마 발생 장치.
  16. 삭제
  17. 삭제
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