KR102290523B1 - Sensor Mounted Wafer And Manufacturing Method Thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 안착홈이 형성되는 하부 케이스와, 전자 부품을 실장하며 안착홈에 배치되는 회로 기판과, 삽입홈이 형성되며 삽입홈에 전자 부품이 삽입되도록 하부 케이스와 합착되는 상부 케이스와, 안착홈 및 삽입홈 사이에 배치되는 제1 접착층을 포함하는 반도체 공정 진단 센서 장치를 제공한다.The present invention provides a lower case in which a seating groove is formed, a circuit board for mounting an electronic component and disposed in the seating groove, an upper case having an insertion groove formed therein and attached to a lower case so that the electronic component is inserted into the insertion groove, and seating; Provided is a semiconductor process diagnostic sensor device including a first adhesive layer disposed between a groove and an insertion groove.

Description

반도체 공정 진단 센서 장치 및 이의 제조 방법{Sensor Mounted Wafer And Manufacturing Method Thereof}Semiconductor process diagnostic sensor device and manufacturing method thereof

본 발명은 반도체 공정 진단 센서 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 보다 정밀하게 온도를 센싱할 수 있는 반도체 공정 진단 센서 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor process diagnostic sensor device and a manufacturing method thereof, and more particularly, to a semiconductor process diagnostic sensor device capable of more precisely sensing a temperature, and a manufacturing method thereof.

반도체 제조에는 일반적으로 광학, 증착과 성장 및 식각 공정 등 다수의 공정을 거친다.Semiconductor manufacturing typically involves a number of processes such as optics, deposition and growth, and etching processes.

반도체 제조 공정에는 각 공정에서 공정 조건과 장비의 작동 상태를 주의 깊게 모니터링해야 한다. 예를 들면, 챔버나 웨이퍼의 온도, 가스 주입 상태, 압력 상태 또는 플라스마 밀도나 노출 거리 등을 제어하면서 최적의 반도체 수율을 위해 정밀한 모니터링이 필수적이다.The semiconductor manufacturing process requires careful monitoring of process conditions and operating conditions of equipment in each process. For example, precise monitoring is essential for optimal semiconductor yield while controlling the chamber or wafer temperature, gas injection state, pressure state, plasma density, or exposure distance.

온도, 플라즈마, 압력, 유량 및 가스 등과 관련된 공정 조건에 오차가 발생하거나 장비가 오동작 하는 경우에는 불량이 다수 발생하여 전체 수율에 치명적이다.If an error occurs in the process conditions related to temperature, plasma, pressure, flow rate and gas, or if the equipment malfunctions, many defects occur, which is fatal to the overall yield.

한편, 종래 기술에서는 반도체 제조에서 챔버 내의 공정 조건을 간접적으로 측정하였으나 반도체 수율 향상을 위해 챔버의 내부 조건이나 그 챔버에 로딩된 웨이퍼의 상태 등을 직접 측정하기 위한 연구가 개발되고 있다. 그 중 하나가 웨이퍼의 온도 센싱 기술로서 SOW(Sensor On Wafer)가 개발 되었다.Meanwhile, in the prior art, the process conditions in the chamber are indirectly measured in semiconductor manufacturing, but research for directly measuring the internal conditions of the chamber or the state of the wafer loaded in the chamber is being developed in order to improve the semiconductor yield. As one of them, SOW (Sensor On Wafer) was developed as a wafer temperature sensing technology.

SOW(Sensor On Wafer)는 테스트용 웨이퍼 상에 온도 센서를 장착하고, 이 온도 센서를 이용하여 반도체 제조 공정에서의 온도를 챔버 내에서 직접 센싱하는 기술이다. 이와 같은 SOW(Sensor On Wafer)에 있어서, 온도를 보다 정밀하게 센싱할 수 있는 기술이 필요한 실정이다.SOW (Sensor On Wafer) is a technology that mounts a temperature sensor on a test wafer and directly senses the temperature in the semiconductor manufacturing process in the chamber using the temperature sensor. In such a sensor on wafer (SOW), there is a need for a technology capable of more precisely sensing a temperature.

본 발명은, 반도체 공정 진단 센서 장치가 로딩된 챔버 내부 온도나 챔버에 로딩된 반도체 공정 진단 센서 장치의 자체 온도를 정밀하게 센싱할 수 있는 반도체 공정 진단 센서 장치 및 이의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a semiconductor process diagnostic sensor device capable of accurately sensing the internal temperature of a chamber loaded with the semiconductor process diagnostic sensor device or the self temperature of the semiconductor process diagnostic sensor device loaded into the chamber, and a method of manufacturing the same do.

또한, 본 발명은, 온도 상승으로 인해 발생하는 센서 장치 휨 현상을 방지할 수 있는 반도체 공정 진단 센서 장치 및 이의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a semiconductor process diagnostic sensor device capable of preventing bending of the sensor device caused by temperature rise, and a method for manufacturing the same.

본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems to be achieved in the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned above can be clearly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs from the description below. There will be.

본 발명은 전술한 목적을 달성하기 위하여, 안착홈이 형성되는 하부 케이스와, 전자 부품을 실장하며 안착홈에 배치되는 회로 기판과, 삽입홈이 형성되며 삽입홈에 전자 부품이 삽입되도록 하부 케이스와 합착되는 상부 케이스와, 안착홈 및 삽입홈 사이에 배치되는 제1 접착층을 포함하는 반도체 공정 진단 센서 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention includes a lower case in which a seating groove is formed, a circuit board for mounting electronic components and disposed in the seating groove, a lower case in which an insertion groove is formed and an electronic component is inserted into the insertion groove, Provided is a semiconductor process diagnostic sensor device including an upper case to be bonded, and a first adhesive layer disposed between a seating groove and an insertion groove.

여기서, 전자 부품은, 센서, IC(Integrated Circuit) 칩 및 배터리 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.Here, the electronic component may include at least one of a sensor, an integrated circuit (IC) chip, and a battery.

또한, 본 발명에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치는, 전자 부품이 실장된 영역에 배치되는 제2 접착층을 더 포함할 수 있다.In addition, the semiconductor process diagnostic sensor device according to the present invention may further include a second adhesive layer disposed in an area on which an electronic component is mounted.

또한, 제1 접착층의 열전도도는 제2 접착층 보다 더 높을 수 있다.Also, the thermal conductivity of the first adhesive layer may be higher than that of the second adhesive layer.

또한, 제1 접착층의 열팽창계수는 하부 케이스 및 상부 케이스 보다 작거나 하부 케이스 및 상부 케이스와 동일할 수 있다.In addition, the coefficient of thermal expansion of the first adhesive layer may be smaller than that of the lower case and the upper case, or may be the same as those of the lower case and the upper case.

또한, 제1 접착층은, 전자 부품을 감싸는 형태로 배치될 수 있다.Also, the first adhesive layer may be disposed to surround the electronic component.

또한, 전자 부품의 하부는 안착홈 내부에 위치하고, 전자 부품의 상부는 삽입홈 내부에 위치할 수 있다.In addition, the lower portion of the electronic component may be located inside the seating groove, and the upper portion of the electronic component may be located inside the insertion groove.

또한, 안착홈은 회로 기판과 대응하는 형상으로 형성되고, 삽입홈은 전자 부품과 대응하는 형상으로 형성될 수 있다.In addition, the seating groove may be formed in a shape corresponding to the circuit board, and the insertion groove may be formed in a shape corresponding to the electronic component.

또한, 회로 기판은, 동심원 형태를 갖는 안테나 기판과, 안테나 기판의 외측원에서 외측으로 연장되며 방사형으로 배열되는 복수의 센서 기판을 포함할 수 있다.In addition, the circuit board may include an antenna substrate having a concentric circle shape, and a plurality of sensor substrates extending outward from an outer circle of the antenna substrate and arranged in a radial shape.

또한, 안테나 기판의 내측원에는 충전 안테나가 코일 형태로 구비되고, 안테나 기판의 외측원에는 통신 안테나가 코일 형태로 구비되고, 센서 기판에는 복수의 센서가 구비될 수 있다.In addition, a charging antenna may be provided in a coil form on an inner circle of the antenna substrate, a communication antenna may be provided on an outer circle of the antenna substrate in a coil form, and a plurality of sensors may be provided on the sensor substrate.

또한, 회로 기판은 센서 기판이 안테나 기판에서 연장되는 영역에 배치되는 제어 기판을 더 포함할 수 있다.Also, the circuit board may further include a control board disposed in a region where the sensor board extends from the antenna board.

또한, 제어 기판에는 제어 IC(Integrated Circuit)칩, 통신 IC칩, 충전 IC칩 및 메모리 중 적어도 하나를 구비할 수 있다.In addition, the control board may include at least one of a control IC (Integrated Circuit) chip, a communication IC chip, a charging IC chip, and a memory.

또한, 본 발명은, 회로 기판에 센서, IC(Integrated Circuit) 칩 및 배터리 중 적어도 하나를 포함하는 전자 부품을 실장하는 단계와, 하부 케이스에 회로 기판과 대응하는 형상으로 안착홈을 형성하는 단계와, 상부 케이스에 전자 부품과 대응하는 형상으로 삽입홈을 형성하는 단계와, 안착홈에 회로 기판을 안착하는 단계와, 상기 회로 기판이 안착된 상기 안착홈에 열전도성 물질을 포함하는 제1 접착제를 도포하고 이를 경화하는 단계와, 삽입홈에 제1 접착제를 도포하고, 삽입홈에 전자 부품이 삽입되도록 하부 케이스 및 상부 케이스를 합착하는 단계를 반도체 공정 진단 센서 장치 제조 방법을 제공한다.In addition, the present invention includes the steps of mounting an electronic component including at least one of a sensor, an integrated circuit (IC) chip, and a battery on a circuit board, and forming a seating groove in a lower case in a shape corresponding to the circuit board; , forming an insertion groove in the upper case in a shape corresponding to the electronic component, seating the circuit board in the seating groove, and a first adhesive comprising a thermally conductive material in the seating groove in which the circuit board is seated Provided is a method for manufacturing a semiconductor process diagnostic sensor device comprising the steps of applying and curing the same, applying a first adhesive to an insertion groove, and bonding a lower case and an upper case to insert an electronic component into the insertion groove.

여기서, 하부 케이스 및 상부 케이스를 합착하는 단계는, 삽입홈은 위를 향하도록 하고, 안착홈은 아래를 향하도록 하여 하부 케이스 및 상부 케이스를 합착하는 단계일 수 있다.Here, the step of bonding the lower case and the upper case may be a step of bonding the lower case and the upper case with the insertion groove facing upward and the seating groove facing downward.

또한, 하부 케이스 및 상부 케이스를 합착하는 단계는, 합착 과정에서 전자 부품으로 인해 삽입홈에 도포된 제1 접착제가 하부 케이스 및 상부 케이스의 합착면으로 퍼지는 단계와, 합착면으로 퍼진 제1 접착제를 경화하는 단계를 포함할 수 있다.In addition, the step of bonding the lower case and the upper case includes the step of spreading the first adhesive applied to the insertion groove due to the electronic component during the bonding process to the bonding surface of the lower case and the upper case, and the first adhesive spreading to the bonding surface. It may include a step of curing.

또한, 본 발명에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치 제조 방법은, 전자 부품 실장 시 제2 접착제를 언더필하고 이를 경화하는 단계를 더 포함할 수 있다.Also, the method for manufacturing a semiconductor process diagnostic sensor device according to the present invention may further include underfilling the second adhesive and curing the second adhesive when mounting the electronic component.

또한, 본 발명에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치 제조 방법은, 동심원 형태를 갖는 안테나 기판과, 안테나 기판의 외측원에서 외측으로 연장되며 방사형으로 배열되는 복수의 센서 기판을 포함하는 회로 기판을 생성하는 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, the method for manufacturing a semiconductor process diagnostic sensor device according to the present invention comprises the steps of: generating a circuit board including an antenna substrate having a concentric circle shape and a plurality of sensor substrates extending outward from an outer circle of the antenna substrate and arranged in a radial shape may further include.

본 발명에 따르면, 열전도도가 비교적 높은 접착층이 센서를 감싸는 형태로 배치됨으로써, 반도체 공정 진단 센서 장치가 로딩된 챔버 내부 온도나 챔버에 로딩된 반도체 공정 진단 센서 장치의 자체 온도를 정밀하게 센싱할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, an adhesive layer having a relatively high thermal conductivity is disposed to surround the sensor, so that the internal temperature of the chamber loaded with the semiconductor process diagnostic sensor device or the internal temperature of the semiconductor process diagnostic sensor device loaded in the chamber can be precisely sensed. there is an effect

또한, 본 발명에 따르면, 센서가 수용되는 센서 장치의 안착홈 및 삽입홈 내부에 기공이 포함되지 않도록 접착층을 배치함으로써, 온도 상승에 따른 기공 팽창으로 인해 발생하는 센서 장치 휨(Warpage) 현상을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, by arranging the adhesive layer so that pores are not included in the seating groove and the insertion groove of the sensor device in which the sensor is accommodated, the warpage phenomenon of the sensor device caused by pore expansion due to temperature rise is prevented. There is an effect that can be done.

또한, 본 발명에 따르면, 센서가 수용되는 센서 장치의 안착홈 및 삽입홈 내부에 열팽창계수가 비교적 작은 접착층을 배치함으로써, 온도 상승에 따른 제1 접착층 팽창으로 인해 발생하는 센서 장치 휨 현상을 방지할 수 있다.In addition, according to the present invention, by arranging an adhesive layer having a relatively small coefficient of thermal expansion inside the seating groove and the insertion groove of the sensor device in which the sensor is accommodated, the sensor device warpage caused by the expansion of the first adhesive layer due to the increase in temperature can be prevented. can

본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects obtainable in the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned may be clearly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs from the following description. will be.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치에 구비된 회로 기판의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치의 하부 케이스의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치의 상부 케이스의 평면도이다.
도 5는 도 3의 하부 케이스에 안착된 회로 기판을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치의 단면도로서, 도 5의 Ⅵ-Ⅵ을 따라 절단한 단면도이다.
도 7a 내지 도 7h는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치 제조 방법의 순서도이다.1 is a perspective view of a semiconductor process diagnostic sensor device according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan view of a circuit board included in a semiconductor process diagnostic sensor device according to an exemplary embodiment of the present invention.
3 is a plan view of a lower case of a semiconductor process diagnostic sensor device according to an exemplary embodiment of the present invention.
4 is a plan view of an upper case of a semiconductor process diagnostic sensor device according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a diagram illustrating a circuit board seated on a lower case of FIG. 3 .
6 is a cross-sectional view of a semiconductor process diagnostic sensor device according to an exemplary embodiment of the present invention, and is a cross-sectional view taken along line VI-VI of FIG. 5 .
7A to 7H are flowcharts of a method of manufacturing a semiconductor process diagnostic sensor device according to an exemplary embodiment of the present invention.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시 형태를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 첨부된 도면과 함께 이하에 개시될 상세한 설명은 본 발명의 예시적인 실시형태를 설명하고자 하는 것이며, 본 발명이 실시될 수 있는 유일한 실시형태를 나타내고자 하는 것이 아니다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략할 수 있고, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용할 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. DETAILED DESCRIPTION The detailed description set forth below in conjunction with the appended drawings is intended to describe exemplary embodiments of the present invention and is not intended to represent the only embodiments in which the present invention may be practiced. In order to clearly explain the present invention in the drawings, parts irrelevant to the description may be omitted, and the same reference numerals may be used for the same or similar components throughout the specification.

본 발명의 일 실시 예에서, “또는”, “적어도 하나” 등의 표현은 함께 나열된 단어들 중 하나를 나타내거나, 또는 둘 이상의 조합을 나타낼 수 있다. 예를 들어, “A 또는 B”, “A 및 B 중 적어도 하나”는 A 또는 B 중 하나만을 포함할 수 있고, A와 B를 모두 포함할 수도 있다.In an embodiment of the present invention, expressions such as “or” and “at least one” may indicate one of the words listed together, or a combination of two or more. For example, “A or B” or “at least one of A and B” may include only one of A or B, or both A and B.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치에 구비된 회로 기판의 평면도이다.1 is a perspective view of a semiconductor process diagnostic sensor device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of a circuit board provided in the semiconductor process diagnostic sensor device according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치는 하부 케이스(100), 회로 기판(200) 및 상부 케이스(300)을 포함하여 구성할 수 있다.1 and 2 , a semiconductor process diagnostic sensor device according to an embodiment of the present invention may include a lower case 100 , a circuit board 200 , and an upper case 300 .

하부 케이스(100) 및 상부 케이스(300)는 동일한 재질로 이루어질 수 있으며, 전기적 특성이 우수한 재질로서 실리콘(Si) 및 갈륨 아세나이드(GaAs) 등을 포함할 수 있다.The lower case 100 and the upper case 300 may be made of the same material, and may include silicon (Si) and gallium arsenide (GaAs) as a material having excellent electrical characteristics.

회로 기판(200)은, 전자 부품(240)을 실장하며, 하부 케이스(100) 및 상부 케이스(300) 사이에 배치된다. 또한, 회로 기판(200)은, 안테나 기판(210), 센서 기판(220) 및 제어 기판(250)을 포함하여 구성될 수 있다. 여기서, 전자 부품(240)은 전자 회로의 구성품으로서, 센서(241), IC(Integrated Circuit) 칩(242, 243, 244) 및 배터리(미도시) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The circuit board 200 mounts the electronic component 240 and is disposed between the lower case 100 and the upper case 300 . Also, the circuit board 200 may include an antenna board 210 , a sensor board 220 , and a control board 250 . Here, the electronic component 240 is a component of the electronic circuit and may include at least one of a sensor 241 , integrated circuit (IC) chips 242 , 243 , and 244 , and a battery (not shown).

또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 회로 기판(200)은, PCB(Printed Circuit Board)로서, 센서(241), IC칩(242, 243, 244) 및 배터리(미도시)가 전기적으로 연결되도록 배선이 인쇄되어 있다.In addition, although not shown in the drawing, the circuit board 200 is a printed circuit board (PCB), and wiring is electrically connected to the sensor 241, the IC chips 242, 243, 244, and the battery (not shown). printed.

안테나 기판(210)은 회로 기판(200) 중앙에 동심원 형태로 구비될 수 있다. 이와 같은, 안테나 기판(210)의 내측원(212)에는 충전 안테나(231)가 구비되고, 외측원(211)에는 통신 안테나(232)가 구비될 수 있다. 또한, 충전 안테나(231) 및 통신 안테나(232)는 안테나 기판(210)에 인쇄된 형태로 형성될 수 있다.The antenna substrate 210 may be provided in the form of concentric circles in the center of the circuit board 200 . As described above, the charging antenna 231 may be provided on the inner circle 212 of the antenna substrate 210 , and the communication antenna 232 may be provided on the outer circle 211 . In addition, the charging antenna 231 and the communication antenna 232 may be formed in a printed form on the antenna substrate 210 .

센서 기판(220)은, 복수 개로 구비되어, 안테나 기판(210)의 외측원(211)에서 외측으로 연장되며 방사형으로 배열될 수 있다. 그리고, 센서 기판(220)에는 복수의 센서(241)가 구비될 수 있다.A plurality of sensor substrates 220 may be provided to extend outwardly from the outer circle 211 of the antenna substrate 210 and be radially arranged. In addition, a plurality of sensors 241 may be provided on the sensor substrate 220 .

여기서, 복수의 센서(241)는 반도체 공정 진단 센서 장치의 정해진 센싱 위치에 내장되어 해당 위치에서 반도체 공정 모니터링을 위한 센싱을 수행한다. 구체적으로, 센서(241)는 센서 기판(220)의 일단(안테나 기판(210)과 연결되는 지점)에서 타단까지 일정 간격으로 배치될 수 있다. Here, the plurality of sensors 241 are embedded in a predetermined sensing position of the semiconductor process diagnostic sensor device to perform sensing for semiconductor process monitoring at the corresponding positions. Specifically, the sensors 241 may be disposed at regular intervals from one end (a point connected to the antenna substrate 210 ) to the other end of the sensor substrate 220 .

이와 달리, 도 2에 도시한 바와 같이, 센서 기판(220)을 일단부, 타단부 및 중앙부로 구분하였을 때, 일단부, 중앙부 및 타단부에 센서(241)가 구비된 제1 센서 기판과, 일단부를 제외한 중앙부 및 타단부에 센서(241)가 구비된 제2 센서 기판이 교대로 배열될 수 있다. 이와 같이 제1 센서 기판 및 제2 센서 기판이 교대로 배열되기 위해 센서 기판(220)은 짝수 개로 구비될 수 있다.On the other hand, as shown in FIG. 2, when the sensor substrate 220 is divided into one end, the other end and the central portion, the first sensor substrate provided with the sensor 241 at one end, the central portion and the other end, The second sensor substrates having the sensors 241 at the central part and the other end except for one end may be alternately arranged. In this way, an even number of sensor substrates 220 may be provided so that the first and second sensor substrates are alternately arranged.

또한, 센서(241)는 반도체 공정 진단 센서 장치 중심에서의 온도를 센싱하기 위해 회로 기판(200) 중심에 추가로 구비될 수 있다.In addition, the sensor 241 may be additionally provided at the center of the circuit board 200 to sense a temperature at the center of the semiconductor process diagnostic sensor device.

또한, 센서(241)는 온도 센서 및 압력 센서 등을 포함할 수 있으며 다양한 반도체 공정 환경을 센싱할 수 있다. 예를 들어, 센서(241)는 반도체 공정 진단 센서 장치가 로딩된 챔버 내부 상태(온도, 압력 및 기체 등)나 챔버에 로딩된 반도체 공정 진단 센서 장치의 자체 상태(온도 등)를 센싱할 수 있다.In addition, the sensor 241 may include a temperature sensor and a pressure sensor, and may sense various semiconductor process environments. For example, the sensor 241 may sense an internal state (temperature, pressure, gas, etc.) of a chamber loaded with the semiconductor process diagnostic sensor device or a state (temperature, etc.) of the semiconductor process diagnostic sensor device loaded into the chamber. .

제어 기판(250)은, 안테나 기판(210)이 배치된 반도체 공정 진단 센서 장치 중앙에 배치될 경우 통신 교란 또는 충전 방해를 일으킬 수 있기 때문에, 반도체 공정 진단 센서 장치 중앙 보다는 센서 기판(220)이 안테나 기판(210)에서 연장되는 영역에 배치되는 것이 바람직하다.When the control board 250 is disposed in the center of the semiconductor process diagnostic sensor device on which the antenna board 210 is disposed, communication disturbance or charging may be disturbed. It is preferably disposed in a region extending from the substrate 210 .

이와 같은, 제어 기판(250)에는 제어 IC(Integrated Circuit)칩(242), 통신 IC칩(243), 충전 IC칩(미도시) 및 메모리(244) 중 적어도 하나를 구비할 수 있다.As such, the control board 250 may include at least one of a control IC (Integrated Circuit) chip 242 , a communication IC chip 243 , a charging IC chip (not shown), and a memory 244 .

통신 IC칩(243)은 외부와의 무선 통신을 위한 구성으로 센서(241)에 의해 센싱된 센싱 정보를 무선으로 송신하고, 센서(241)의 동작을 제어하기 위한 제어 정보를 무선으로 수신한다. The communication IC chip 243 wirelessly transmits sensing information sensed by the sensor 241 as a configuration for wireless communication with the outside, and wirelessly receives control information for controlling the operation of the sensor 241 .

여기서, 제어 정보는 반도체 공정 진단 센서 장치가 사용될 공정과 그 공정에 요구되는 조건을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제어 정보는 반도체 공정 진단 센서 장치가 어느 공정에 사용되는지를 정의하고, 그 정의된 공정에서의 센싱 온도, 센싱 시간 및 센싱 방식 등에 대한 설정 값을 포함할 수 있다.Here, the control information may include a process in which the semiconductor process diagnostic sensor device is to be used and conditions required for the process. For example, the control information may define a process in which the semiconductor process diagnostic sensor device is used, and include set values for a sensing temperature, a sensing time, and a sensing method in the defined process.

제어 IC(242)는 제어 정보를 이용하여 센서(241)의 동작을 제어할 수 있다. 즉, 제어 IC(242)는 제어 정보에 포함된 설정 값에 기반하여 센서(241)가 동작하도록 제어할 수 있다.The control IC 242 may control the operation of the sensor 241 using the control information. That is, the control IC 242 may control the sensor 241 to operate based on a set value included in the control information.

통신 IC칩(243)은 외부와 무선 통신을 수행하기 위해 통신 안테나(232)에 연결된다. 여기서, 통신 안테나(232)는 나선 루프의 코일 형태로 이루어지며 회로 기판(200)의 중앙에 고리 형상으로 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The communication IC chip 243 is connected to the communication antenna 232 to perform wireless communication with the outside. Here, the communication antenna 232 may be formed in a coil shape of a spiral loop and may be formed in a ring shape in the center of the circuit board 200 , but is not limited thereto.

센서 기판(220)은 배터리(미도시)가 장착되는 배터리 단자(245a)를 구비할 수 있다. 여기서, 배터리(미도시)는, 센서(241), 통신 IC칩(243) 및 제어 IC칩(242)을 포함하여 반도체 공정 진단 센서 장치에 구비되는 구성 요소들의 구동을 위한 전원을 공급한다.The sensor substrate 220 may include a battery terminal 245a on which a battery (not shown) is mounted. Here, the battery (not shown) supplies power for driving components included in the semiconductor process diagnostic sensor device, including the sensor 241 , the communication IC chip 243 , and the control IC chip 242 .

충전 IC칩(미도시)은 배터리(미도시)에 대한 무선 충전을 수행하며, 무선 충전을 위해 충전 안테나(231)와 연결된다. 여기서, 충전 안테나(231)는 나선 루프의 코일 형태로 이루어지며, 회로 기판(200)의 중앙에 원형으로 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The charging IC chip (not shown) performs wireless charging on the battery (not shown), and is connected to the charging antenna 231 for wireless charging. Here, the charging antenna 231 is formed in a coil shape of a spiral loop, and may be formed in a circular shape in the center of the circuit board 200 , but is not limited thereto.

메모리(244)는 센서(241)의 동작을 제어하기 위한 제어 정보를 저장하고, 센서(241)에 의해 센싱된 센싱 정보를 저장할 수 있다. 또한, 메모리(244)는 반도체 공정 진단 센서 장치가 사용된 공정을 기록한 로그 데이터를 저장할 수 있다.The memory 244 may store control information for controlling the operation of the sensor 241 and may store sensing information sensed by the sensor 241 . Also, the memory 244 may store log data in which a process in which the semiconductor process diagnosis sensor device is used is recorded.

여기서, 로그 데이터는 반도체 공정 진단 센서 장치가 어떤 공정에서 어떤 조건으로 사용되었는지에 대한 정보를 포함할 수 있다.Here, the log data may include information on which process and under what conditions the semiconductor process diagnostic sensor device is used.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치의 하부 케이스의 평면도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치의 상부 케이스의 평면도이고, 도 5는 도 3의 하부 케이스에 안착된 회로 기판을 도시한 도면이다.3 is a plan view of a lower case of the semiconductor process diagnostic sensor device according to an embodiment of the present invention, FIG. 4 is a plan view of an upper case of the semiconductor process diagnostic sensor device according to an embodiment of the present invention, and FIG. It is a view showing the circuit board seated on the lower case.

도 3 및 도 5를 참조하면, 하부 케이스(100)는, 회로 기판(200)이 안착되는 안착홈(110)이 회로 기판(200)과 대응하는 형상으로 형성된다. 구체적으로, 안착홈(110)은, 동심원 형태의 안테나 기판(210)의 하부면과 대응하는 형상과, 방사형의 센서 기판(220)의 하부면과 대응하는 형상과, 제어 기판(250)의 하부면과 대응하는 형상으로 각각 형성될 수 있다.3 and 5 , in the lower case 100 , the seating groove 110 in which the circuit board 200 is seated is formed in a shape corresponding to the circuit board 200 . Specifically, the seating groove 110 has a shape corresponding to the lower surface of the antenna substrate 210 in the form of a concentric circle, a shape corresponding to the lower surface of the sensor substrate 220 having a radial shape, and a lower portion of the control substrate 250 . Each of them may be formed in a shape corresponding to the surface.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상부 케이스(300)는, 전자 부품(240)이 삽입되는 삽입홈(320)이 전자 부품(240)과 대응하는 형상으로 형성된다. 구체적으로, 삽입홈(310)은 회로 기판(200)에 전자 부품(240)이 실장된 위치에 전자 부품(240) 상부면과 대응하는 형상으로 형성될 수 있다.4 and 5 , in the upper case 300 , the insertion groove 320 into which the electronic component 240 is inserted is formed in a shape corresponding to the electronic component 240 . Specifically, the insertion groove 310 may be formed in a shape corresponding to the upper surface of the electronic component 240 at a position where the electronic component 240 is mounted on the circuit board 200 .

전술한 안착홈(110) 및 삽입홈(310)은 Ÿ‡ 에칭(Wet etching) 기법으로 형성되는 것이 바람직하지만, 이에 한정되는 것은 아니다.The above-described seating groove 110 and insertion groove 310 are preferably formed by a Ÿ‡ etching technique, but are not limited thereto.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치의 단면도로서, 도 5의 Ⅵ-Ⅵ을 따라 절단한 단면도이다.6 is a cross-sectional view of a semiconductor process diagnostic sensor device according to an exemplary embodiment of the present invention, and is a cross-sectional view taken along line VI-VI of FIG. 5 .

도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치는, 하부 케이스(100), 회로 기판(200), 상부 케이스(300) 및 제1 접착층(121)을 포함하여 구성될 수 있다.Referring to FIG. 6 , the semiconductor process diagnostic sensor device according to an embodiment of the present invention may include a lower case 100 , a circuit board 200 , an upper case 300 , and a first adhesive layer 121 . there is.

하부 케이스(100)는 안착홈(110)이 형성되며, 이 안착홈(110)에 전자 부품(240)을 실장한 회로 기판(200)이 배치된다. 여기서, 전자 부품(240)은 회로 기판(200)의 배선에 솔더링(Soldering)되고, 회로 기판(200)은 접착제에 의해 하부 케이스(100)의 안착홈(110)에 부착될 수 있다.In the lower case 100 , a seating groove 110 is formed, and the circuit board 200 on which the electronic component 240 is mounted is disposed in the seating groove 110 . Here, the electronic component 240 is soldered to the wiring of the circuit board 200 , and the circuit board 200 may be attached to the seating groove 110 of the lower case 100 by an adhesive.

상부 케이스(300)는, 삽입홈(310)이 형성되며, 이 삽입홈(310)에 전자 부품(240)이 삽입되도록 하부 케이스(100)와 합착된다. 그리고, 제1 접착층(121)은 안착홈(110) 및 삽입홈(310) 내부에 배치된다. 여기서, 제1 접착층(121)은 경도가 shore A40 이하이고, 연신률이 30% 이상인 Si 계열 물질로 이루어질 수 있다.The upper case 300 has an insertion groove 310 formed therein, and is bonded to the lower case 100 so that the electronic component 240 is inserted into the insertion groove 310 . In addition, the first adhesive layer 121 is disposed inside the seating groove 110 and the insertion groove 310 . Here, the first adhesive layer 121 may be made of a Si-based material having a hardness of shore A40 or less and an elongation of 30% or more.

하부 케이스(100) 및 상부 케이스(300)가 합착되면, 제1 접착층(121)은 안착홈(110) 및 삽입홈(310)에 완전히 채워져 전자 부품(240)을 감싸는 형태로 배치됨으로써, 하부 케이스(100)와 상부 케이스(300)가 합착된 상태에서, 안착홈(110) 및 삽입홈(310) 내부에 기공이 포함되지 않도록 하는 것을 특징으로 한다.When the lower case 100 and the upper case 300 are bonded together, the first adhesive layer 121 is completely filled in the seating groove 110 and the insertion groove 310 to surround the electronic component 240, so that the lower case It is characterized in that, in the state in which 100 and the upper case 300 are joined, pores are not included in the seating groove 110 and the insertion groove 310 .

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치는 안착홈(110) 및 삽입홈(310) 내부에 기공이 포함되지 않도록 제1 접착층(121)을 배치함으로써, 온도 상승에 따른 기공 팽창으로 인해 발생하는 센서 장치 휨(Warpage) 현상을 방지할 수 있다.As described above, in the semiconductor process diagnostic sensor device according to the embodiment of the present invention, the first adhesive layer 121 is disposed so that pores are not included in the seating groove 110 and the insertion groove 310, so that the pore expansion according to the temperature rise. It is possible to prevent warpage of the sensor device caused by this.

또한, 제1 접착층(121)은 열팽창계수가 하부 케이스(100) 및 상부 케이스(300) 보다 작거나 하부 케이스(100) 및 상부 케이스(300)와 동일한 것을 특징으로 한다.In addition, the first adhesive layer 121 is characterized in that the coefficient of thermal expansion is smaller than that of the lower case 100 and the upper case 300 or the same as that of the lower case 100 and the upper case 300 .

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치는 열팽창계수가 비교적 작은 제1 접착층(121)을 안착홈(110) 및 삽입홈(310) 사이에 배치함으로써, 온도 상승에 따른 제1 접착층(121) 팽창으로 인해 발생하는 센서 장치 휨(Warpage) 현상을 방지할 수 있다.As described above, in the semiconductor process diagnostic sensor device according to the embodiment of the present invention, the first adhesive layer 121 having a relatively small coefficient of thermal expansion is disposed between the seating groove 110 and the insertion groove 310, so that the first It is possible to prevent warpage of the sensor device caused by the expansion of the adhesive layer 121 .

본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치는, 전자 부품(240)이 실장된 영역 즉, 솔더링 영역에 배치되는 제2 접착층(122)을 더 포함하여 구성될 수 있다. 여기서, 솔더링 영역은 회로 기판(200)과 전자 부품(240) 사이의 빈 공간을 포함하게 되는데, 제2 접착층(122)은 이 빈 공간에 접착제를 언더필(Underfill) 공정으로 채워 넣어 형성된 것으로, 회로 기판(200)에 전자 부품(240)을 견고하게 고정하는 역할을 수행함으로써, 센서 장치 휨 현상으로 인해 발생되는 전자 부품(240)의 박리를 방지할 수 있다.The semiconductor process diagnostic sensor device according to an embodiment of the present invention may further include a second adhesive layer 122 disposed in a region where the electronic component 240 is mounted, that is, a soldering region. Here, the soldering area includes an empty space between the circuit board 200 and the electronic component 240, and the second adhesive layer 122 is formed by filling this empty space with an adhesive through an underfill process, By performing a role of firmly fixing the electronic component 240 to the substrate 200 , it is possible to prevent peeling of the electronic component 240 caused by bending of the sensor device.

제2 접착층(122)은 경도 shore D50 이상이고, 연신률이 5% 이하인 접촉 에폭시 물질로 이루어질 수 있다.The second adhesive layer 122 may be made of a contact epoxy material having a hardness of shore D50 or more and an elongation of 5% or less.

본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치는 제1 접착층(121)의 열전도도가 제2 접착층(122) 보다 더 높은 것을 특징으로 한다. 예를 들어, 제1 접착층(121)의 열전도도는 0.8W/m*K 이상일 수 있다. 이를 위해, 제1 접착층(121)은 별도의 열전도성 물질을 포함할 수 있다, 그리고, 이 열전도성 물질은 전자 부품(240)의 쇼트(Shrot)를 방지하기 위해 도전성이 없는 물질인 것이 바람직하다.The semiconductor process diagnostic sensor device according to an embodiment of the present invention is characterized in that the thermal conductivity of the first adhesive layer 121 is higher than that of the second adhesive layer 122 . For example, the thermal conductivity of the first adhesive layer 121 may be 0.8 W/m*K or more. To this end, the first adhesive layer 121 may include a separate thermally conductive material, and the thermally conductive material is preferably a non-conductive material in order to prevent a short circuit of the electronic component 240 . .

구체적으로, 제1 접착층(121)은 안착홈(110) 및 삽입홈(310)에 완전히 채워진 형태로 배치되어 센서(241)를 감싸게 되는데, 열전도도가 비교적 높은 제1 접착층(121)을 이와 같은 형태로 배치함으로써, 반도체 공정 진단 센서 장치가 로딩된 챔버 내부 온도나 챔버에 로딩된 반도체 공정 진단 센서 장치의 자체 온도를 정밀하게 센싱할 수 있게 된다. 반면, 제2 접착층(122)은 센서(241)의 온도 센싱을 정밀하게 하는 구성이 아니라 전자 부품(240)을 회로 기판(200)에 견고히 고정시키는 역할을 수행하는 구성으로 열전도도가 비교적 낮더라도 무방하다.Specifically, the first adhesive layer 121 is disposed in a form completely filled in the seating groove 110 and the insertion groove 310 to surround the sensor 241. By disposing in a shape, it is possible to precisely sense the internal temperature of the chamber loaded with the semiconductor process diagnostic sensor device or the self temperature of the semiconductor process diagnostic sensor device loaded into the chamber. On the other hand, the second adhesive layer 122 is not a configuration for precisely sensing the temperature of the sensor 241, but a configuration for firmly fixing the electronic component 240 to the circuit board 200, even if the thermal conductivity is relatively low. free of charge

도 6을 참조하면, 하부 케이스(100)와 상부 케이스(200)가 합착되고 나면, 전자 부품(240)의 하부는 하부 케이스(100)의 안착홈(110) 내부에 위치하게 되고, 전자 부품(240)의 상부는 상부 케이스(300)의 삽입홈(310) 내부에 위치할 수 있다.Referring to FIG. 6 , after the lower case 100 and the upper case 200 are attached to each other, the lower portion of the electronic component 240 is located inside the seating groove 110 of the lower case 100, and the electronic component ( The upper portion of the 240 may be located inside the insertion groove 310 of the upper case 300 .

한편, 도면과 달리, 상부 케이스(300)의 삽입홈(310)의 크기를 전자 부품(240) 보다 더 크게 형성하고, 삽입홈(310)의 깊이도 하부 케이스(100)와 상부 케이스(300) 합착 시 전자 부품(240)이 삽입홈(310)에 맞닿지 않도록 형성할 수 있다. 이를 통해, 제1 접착층(121)이 전자 부품(240)을 감싸는 두께를 크게하여 열전도도를 더욱더 높일 수 있다.Meanwhile, unlike the drawing, the size of the insertion groove 310 of the upper case 300 is larger than that of the electronic component 240 , and the depth of the insertion groove 310 is also lower than that of the lower case 100 and the upper case 300 . It may be formed so that the electronic component 240 does not come into contact with the insertion groove 310 during bonding. Through this, the thickness of the first adhesive layer 121 surrounding the electronic component 240 may be increased to further increase the thermal conductivity.

도 7a 내지 도 7h는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치 제조 방법의 순서도이다.7A to 7H are flowcharts of a method of manufacturing a semiconductor process diagnostic sensor device according to an exemplary embodiment of the present invention.

이하, 도 1 내지 도 7h를 참조하여, 본 발명의 실시예에 다른 반도체 공정 진단 센서 장치 제조 방법을 설명하되, 전술한 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치와 동일한 내용에 대해서는 생략하겠다.Hereinafter, a method of manufacturing a semiconductor process diagnostic sensor device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7H , but the same content as the semiconductor process diagnostic sensor device according to the embodiment of the present invention will be omitted. .

먼저, 도 2를 참조하면, 동심원 형태를 갖는 안테나 기판(210)과, 안테나 기판(210)의 외측원에서 외측으로 연장되며 방사형으로 배열되는 복수의 센서 기판(220)과, 센서 기판(220)이 안테나 기판(210)에서 연장되는 영역에 제어 기판(250)을 포함하는 회로 기판(200)을 생성한다.First, referring to FIG. 2 , an antenna substrate 210 having a concentric circle shape, a plurality of sensor substrates 220 extending outward from an outer circle of the antenna substrate 210 and radially arranged, and a sensor substrate 220 . A circuit board 200 including the control board 250 is formed in a region extending from the antenna board 210 .

다음, 회로 기판(200) 상부에 센서(241), IC(Integrated Circuit) 칩(242, 234, 244) 및 배터리(미도시) 중 적어도 하나를 포함하는 전자 부품(240)을 실장한다. 즉, 전자 부품(240)을 회로 기판(200)의 배선에 솔더링(Soldering)한다.Next, the electronic component 240 including at least one of the sensor 241 , integrated circuit (IC) chips 242 , 234 , and 244 , and a battery (not shown) is mounted on the circuit board 200 . That is, the electronic component 240 is soldered to the wiring of the circuit board 200 .

구체적으로, 안테나 기판(210)의 내측원(212)에 코일 형태의 충전 안테나(231)를 형성하고, 안테나 기판(210)의 외측원(211)에 코일 형태의 통신 안테나(232)를 형성하고, 복수의 센서 기판(220)에 복수의 센서(241)를 실장하고, 제어 기판(250)에 제어 IC(Integrated Circuit)칩(242), 통신 IC칩(243) 및 메모리(244) 중 적어도 하나를 실장한다.Specifically, a coil-shaped charging antenna 231 is formed on the inner circle 212 of the antenna substrate 210, and a coil-shaped communication antenna 232 is formed on the outer circle 211 of the antenna substrate 210, and , a plurality of sensors 241 are mounted on the plurality of sensor boards 220 , and at least one of a control IC (Integrated Circuit) chip 242 , a communication IC chip 243 and a memory 244 on the control board 250 . to mount

다음, 도 7a에 도시한 바와 같이, 하부 케이스(100)에 회로 기판(200)과 대응하는 형상으로 안착홈(110)을 형성한다. 여기서, 안착홈(110)은 Ÿ‡ 에칭(Wet etching) 기법으로 형성될 수 있다.Next, as shown in FIG. 7A , a seating groove 110 is formed in the lower case 100 in a shape corresponding to the circuit board 200 . Here, the seating groove 110 may be formed by a wet etching technique.

다음, 도 7b에 도시한 바와 같이, 하부 케이스(100)에 형성된 안착홈(110)에 회로 기판(200)을 안착한다. 여기서, 회로 기판(200)은 접착제에 의해 하부 케이스(100)의 안착홈(110)에 부착될 수 있다.Next, as shown in FIG. 7B , the circuit board 200 is mounted in the seating groove 110 formed in the lower case 100 . Here, the circuit board 200 may be attached to the seating groove 110 of the lower case 100 by an adhesive.

다음, 도 7c에 도시한 바와 같이, 안착홈(110)에 제1 접착제(121a)를 도포하기 전 전자 부품(240)이 실장된 영역 즉, 솔더링 영역에 제2 접착제(122a)를 언더필하고 이를 경화하여 제2 접착층(122)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 7C , before applying the first adhesive 121a to the seating groove 110 , underfill the second adhesive 122a in the area where the electronic component 240 is mounted, that is, in the soldering area, and The second adhesive layer 122 is formed by curing.

여기서, 솔더링 영역은 회로 기판(200)과 전자 부품(240) 사이의 빈 공간을 포함하게 되는데, 제2 접착제(122a)를 이 빈 공간에 언더필(Underfill) 공정으로 채워 넣고 경화한다. 이에 따라, 회로 기판(200)에 전자 부품(240)을 견고하게 고정할 수 있고, 센서 장치 휨 현상으로 인해 발생되는 전자 부품(240)의 박리를 방지할 수 있다.Here, the soldering area includes an empty space between the circuit board 200 and the electronic component 240 , and the second adhesive 122a is filled into the empty space by an underfill process and cured. Accordingly, the electronic component 240 can be firmly fixed to the circuit board 200 , and peeling of the electronic component 240 caused by bending of the sensor device can be prevented.

다음, 도 7d에 도시한 바와 같이, 회로 기판(200)이 안착된 안착홈(110)에 열전도성 물질을 포함하는 제1 접착제(121a)를 도포하고 이를 경화한다. 여기서, 열전도성 물질은 전자 부품의 쇼트(Shrot)를 방지하기 위해 도전성이 없는 물질인 것이 바람직하다.Next, as shown in FIG. 7D , the first adhesive 121a including a thermally conductive material is applied to the seating groove 110 in which the circuit board 200 is seated, and the first adhesive 121a is cured. Here, the thermally conductive material is preferably a non-conductive material in order to prevent a short circuit of the electronic component.

다음, 도 7e에 도시한 바와 같이, 상부 케이스(300)에 전자 부품(240)과 대응하는 형상으로 삽입홈(310)을 형성한다. 여기서, 삽입홈(310)은 Ÿ‡ 에칭(Wet etching) 기법으로 형성될 수 있다.Next, as shown in FIG. 7E , the insertion groove 310 is formed in the upper case 300 in a shape corresponding to the electronic component 240 . Here, the insertion groove 310 may be formed by a wet etching technique.

도면과 달리, 상부 케이스(300)의 삽입홈(310)의 크기를 전자 부품(240) 보다 더 크게 형성하고, 삽입홈(240)의 깊이도 하부 케이스(100)와 상부 케이스 합착(300) 시 전자 부품(240)이 삽입홈(310)에 맞닿지 않도록 형성할 수 있다. 이를 통해, 제1 접착층(121)이 전자 부품(240)을 감싸는 두께를 크게하여 열전도도를 더욱더 높일 수 있다.Contrary to the drawings, the size of the insertion groove 310 of the upper case 300 is larger than that of the electronic component 240 , and the depth of the insertion groove 240 is also lower when the lower case 100 and the upper case 300 are joined. The electronic component 240 may be formed so as not to contact the insertion groove 310 . Through this, the thickness of the first adhesive layer 121 surrounding the electronic component 240 may be increased to further increase the thermal conductivity.

한편, 전술한 회로 기판(200)에 전자 부품(240)을 실장하는 단계, 하부 케이스(100)에 안착홈(110)을 형성하는 단계 및 상부 케이스(300)에 삽입홈(310)을 형성하는 단계는 그 순서에 상관없이 개별적으로 형성될 수 있다.On the other hand, the above-described steps of mounting the electronic component 240 on the circuit board 200 , forming the seating groove 110 in the lower case 100 , and forming the insertion groove 310 in the upper case 300 . The steps may be formed individually regardless of their order.

다음, 도 7f 내지 도 7h에 도시한 바와 같이 상부 케이스(300)에 형성된 삽입홈(310)에 제1 접착제(121a)를 도포하고, 제1 접착제(121a)가 경화되기 전 삽입홈(310)에 전자 부품(240)이 삽입되도록 하부 케이스(100) 및 상부 케이스(300)를 합착한다.Next, as shown in FIGS. 7F to 7H, the first adhesive 121a is applied to the insertion groove 310 formed in the upper case 300, and the insertion groove 310 before the first adhesive 121a is cured. The lower case 100 and the upper case 300 are attached to each other so that the electronic component 240 is inserted therein.

여기서, 도 7g에 도시한 바와 같이, 상부 케이스(300)의 삽입홈(310)은 위를 향하도록 하고, 하부 케이스(100)의 안착홈(110)은 아래를 향하도록 하여 하부 케이스(100) 및 상부 케이스(300)를 합착한다. 이는, 상부 케이스(300)의 삽입홈(310)을 아래로 향하도록 하여 합착하게 되면, 합착 과정에서 아직 경화되지 않은 제1 접착제(121a)가 중력에 의해 아래로 흘러 내리기 때문에 이를 방지하기 위함이다.Here, as shown in FIG. 7G , the insertion groove 310 of the upper case 300 faces upward, and the seating groove 110 of the lower case 100 faces downward, the lower case 100 . And the upper case 300 is bonded. This is to prevent this because, when the insertion groove 310 of the upper case 300 is directed downward and the bonding is performed, the first adhesive 121a, which has not yet been cured, flows down by gravity during the bonding process. .

전술한 합착 과정에서 전자 부품(240)으로 인해 삽입홈(310)에 도포된 제1 접착제(121a)가 하부 케이스(100) 및 상부 케이스(300)의 합착면으로 퍼지게 되고, 합착면으로 퍼진 제1 접착제(121a)를 경화하면 하부 케이스(100) 및 상부 케이스(300)는 합착되고, 제1 접착층(121)이 전자 부품(240)을 감싸는 형태로 형성된다.In the above-described bonding process, the first adhesive 121a applied to the insertion groove 310 due to the electronic component 240 spreads to the bonding surface of the lower case 100 and the upper case 300, and spreads to the bonding surface. 1 When the adhesive 121a is cured, the lower case 100 and the upper case 300 are bonded to each other, and the first adhesive layer 121 is formed to surround the electronic component 240 .

이와 같이, 제1 접착층(121)이 안착홈(110) 및 삽입홈(310)에 완전히 채워져 전자 부품(240)을 감싸는 형태로 배치되어 센서(241)를 감싸게 되고, 제1 접착층(121)이 열전도성 물질을 포함함에 따라, 반도체 공정 진단 센서 장치가 로딩된 챔버 내부 온도나 챔버에 로딩된 반도체 공정 진단 센서 장치의 자체 온도를 정밀하게 센싱할 수 있게 된다.In this way, the first adhesive layer 121 is completely filled in the seating groove 110 and the insertion groove 310 to surround the electronic component 240 so as to surround the sensor 241 , and the first adhesive layer 121 is As the thermal conductive material is included, it is possible to precisely sense the internal temperature of the chamber loaded with the semiconductor process diagnostic sensor device or the self temperature of the semiconductor process diagnostic sensor device loaded into the chamber.

제1 접착제(121a)는 안착홈(110) 및 삽입홈(310)에 완전히 채워져 전자 부품을 감싸는 형태로 도포 및 경화됨으로써, 하부 케이스(100)와 상부 케이스(300)가 합착된 상태에서, 안착홈(110) 및 삽입홈(310) 내부에 기공이 포함되지 않도록 하는 것을 특징으로 한다.The first adhesive 121a is completely filled in the seating groove 110 and the insertion groove 310 to be applied and cured in the form of enclosing the electronic component, so that the lower case 100 and the upper case 300 are seated in a cemented state. It is characterized in that pores are not included in the groove 110 and the insertion groove 310 .

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치 제조 방법은 내부에 기공이 포함되지 않도록 제1 접착층(121)을 형성함으로써, 온도 상승에 따른 기공 팽창으로 인해 발생하는 센서 장치 휨(Warpage) 현상을 방지할 수 있다.As described above, in the method for manufacturing a semiconductor process diagnostic sensor device according to an embodiment of the present invention, the first adhesive layer 121 is formed so that pores are not included therein, so that the sensor device warpage occurs due to pore expansion due to a rise in temperature. ) can be prevented.

또한, 제1 접착제(121a)는 열팽창계수가 하부 케이스(100) 및 상부 케이스(300) 보다 작거나 하부 케이스(100) 및 상부 케이스(300)와 동일한 것을 특징으로 한다.In addition, the first adhesive (121a) is characterized in that the coefficient of thermal expansion is smaller than that of the lower case 100 and the upper case 300 or the same as the lower case 100 and the upper case 300 .

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정 진단 센서 장치 제조 방법은 열팽창계수가 비교적 작은 제1 접착제(121a)를 이용해 제1 접착층(121)을 형성함으로써, 온도 상승에 따른 제1 접착층(121) 팽창으로 인해 발생하는 센서 장치 휨(Warpage) 현상을 방지할 수 있다.As described above, in the method of manufacturing a semiconductor process diagnostic sensor device according to an embodiment of the present invention, the first adhesive layer 121 is formed by using the first adhesive 121a having a relatively small coefficient of thermal expansion, thereby increasing the temperature of the first adhesive layer 121 ) It is possible to prevent the sensor device warpage caused by expansion.

지금까지 본 발명의 바람직한 실시 예에 대해 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위 내에서 변형된 형태로 구현할 수 있을 것이다.Although preferred embodiments of the present invention have been described so far, those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will be able to implement it in a modified form without departing from the essential characteristics of the present invention.

본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 본 발명의 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것일 뿐이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 따라서 본 발명의 범위는 여기에 개시된 실시 예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상을 바탕으로 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The embodiments of the present invention disclosed in the present specification and drawings are merely provided for specific examples in order to easily explain the technical contents of the present invention and help the understanding of the present invention, and are not intended to limit the scope of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should be construed as including all changes or modifications derived based on the technical spirit of the present invention in addition to the embodiments disclosed herein are included in the scope of the present invention.

100: 하부 케이스
110: 안착홈
121: 제1 접착층
122: 제2 접착층
200: 회로 기판
240: 전자 부품
300: 상부 기판
310: 삽입홈100: lower case
110: seating groove
121: first adhesive layer
122: second adhesive layer
200: circuit board
240: electronic component
300: upper substrate
310: insertion groove

Claims (17)

안착홈이 형성되는 하부 케이스;
전자 부품을 실장하며 상기 안착홈에 배치되는 회로 기판;
삽입홈이 형성되며 상기 삽입홈에 상기 전자 부품이 삽입되도록 상기 하부 케이스와 합착되는 상부 케이스; 및
상기 안착홈 및 삽입홈 사이에 배치되는 제1 접착층을 포함하고,
상기 제1 접착층의 열팽창 계수는 상기 하부 케이스 및 상부 케이스 보다 작은
반도체 공정 진단 센서 장치.
a lower case in which a seating groove is formed;
a circuit board on which electronic components are mounted and disposed in the seating groove;
an upper case having an insertion groove formed therein and joined to the lower case so that the electronic component is inserted into the insertion groove; and
A first adhesive layer disposed between the seating groove and the insertion groove,
The coefficient of thermal expansion of the first adhesive layer is smaller than that of the lower case and the upper case.
Semiconductor process diagnostic sensor device.
 제 1 항에 있어서,
상기 전자 부품은
센서, IC(Integrated Circuit) 칩 및 배터리 중 적어도 하나를 포함하는
반도체 공정 진단 센서 장치.
The method of claim 1,
The electronic component is
at least one of a sensor, an integrated circuit (IC) chip, and a battery.
Semiconductor process diagnostic sensor device.
 제 1 항에 있어서,
상기 전자 부품이 실장된 영역에 배치되는 제2 접착층을
더 포함하는 반도체 공정 진단 센서 장치.
The method of claim 1,
a second adhesive layer disposed in the region where the electronic component is mounted;
Further comprising a semiconductor process diagnostic sensor device.
 제 3 항에 있어서,
상기 제1 접착층의 열전도도는 상기 제2 접착층 보다 더 높은
반도체 공정 진단 센서 장치.
4. The method of claim 3,
The thermal conductivity of the first adhesive layer is higher than that of the second adhesive layer.
Semiconductor process diagnostic sensor device.
 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 제1 접착층은
상기 전자 부품을 감싸는 형태로 배치되는
반도체 공정 진단 센서 장치.
The method of claim 1,
The first adhesive layer is
disposed in a shape surrounding the electronic component
Semiconductor process diagnostic sensor device.
 제 1 항에 있어서,
상기 전자 부품의 하부는 상기 안착홈 내부에 위치하고,
상기 전자 부품의 상부는 상기 삽입홈 내부에 위치하는
반도체 공정 진단 센서 장치.
The method of claim 1,
The lower portion of the electronic component is located inside the seating groove,
The upper portion of the electronic component is located inside the insertion groove.
Semiconductor process diagnostic sensor device.
 제 1 항에 있어서,
상기 안착홈은
상기 회로 기판과 대응하는 형상으로 형성되고,
상기 삽입홈은
상기 전자 부품과 대응하는 형상으로 형성되는
반도체 공정 진단 센서 장치.
The method of claim 1,
The seating groove is
Formed in a shape corresponding to the circuit board,
The insertion groove is
formed in a shape corresponding to the electronic component
Semiconductor process diagnostic sensor device.
 제 1 항에 있어서,
상기 회로 기판은
동심원 형태를 갖는 안테나 기판; 및
상기 안테나 기판의 외측원에서 외측으로 연장되며 방사형으로 배열되는 복수의 센서 기판을 포함하는
반도체 공정 진단 센서 장치.
The method of claim 1,
The circuit board is
Antenna substrate having a concentric circle shape; and
and a plurality of sensor substrates extending outwardly from the outer circle of the antenna substrate and arranged in a radial direction.
Semiconductor process diagnostic sensor device.
 제 9 항에 있어서,
상기 안테나 기판의 내측원에는 충전 안테나가 코일 형태로 구비되고,
상기 안테나 기판의 외측원에는 통신 안테나가 코일 형태로 구비되고,
상기 센서 기판에는 복수의 센서가 구비되는
반도체 공정 진단 센서 장치.
10. The method of claim 9,
A charging antenna is provided in the form of a coil on the inner circle of the antenna substrate,
A communication antenna is provided in the form of a coil on the outer circle of the antenna substrate,
The sensor substrate is provided with a plurality of sensors
Semiconductor process diagnostic sensor device.
 제 9 항에 있어서,
상기 회로 기판은
상기 센서 기판이 상기 안테나 기판에서 연장되는 영역에 배치되는 제어 기판을 더 포함하는
반도체 공정 진단 센서 장치.
10. The method of claim 9,
The circuit board is
and a control board disposed in a region where the sensor board extends from the antenna board.
Semiconductor process diagnostic sensor device.
 제 11 항에 있어서,
상기 제어 기판에는 제어 IC(Integrated Circuit)칩, 통신 IC칩, 충전 IC칩 및 메모리 중 적어도 하나를 구비하는
반도체 공정 진단 센서 장치.
12. The method of claim 11,
The control board includes at least one of a control IC (Integrated Circuit) chip, a communication IC chip, a charging IC chip, and a memory.
Semiconductor process diagnostic sensor device.
 회로 기판에 센서, IC(Integrated Circuit) 칩 및 배터리 중 적어도 하나를 포함하는 전자 부품을 실장하는 단계;
하부 케이스에 상기 회로 기판과 대응하는 형상으로 안착홈을 형성하는 단계;
상부 케이스에 상기 전자 부품과 대응하는 형상으로 삽입홈을 형성하는 단계;
상기 안착홈에 상기 회로 기판을 안착하는 단계;
상기 회로 기판이 안착된 상기 안착홈에 열전도성 물질을 포함하는 제1 접착제를 도포하고 이를 경화하는 단계; 및
상기 삽입홈에 상기 제1 접착제를 도포하고, 상기 삽입홈에 상기 전자 부품이 삽입되도록 상기 하부 케이스 및 상부 케이스를 합착하는 단계를 포함하고,
상기 삽입홈 및 상기 안착홈에 상기 제1 접착제를 도포하는 단계는
상기 하부 케이스 및 상부 케이스 보다 작은 열팽창 계수를 갖는 상기 제1 접착제를 도포하는 단계인
반도체 공정 진단 센서 장치 제조 방법.
mounting an electronic component including at least one of a sensor, an integrated circuit (IC) chip, and a battery on a circuit board;
forming a seating groove in a lower case in a shape corresponding to the circuit board;
forming an insertion groove in an upper case in a shape corresponding to the electronic component;
seating the circuit board in the seating groove;
applying a first adhesive including a thermally conductive material to the seating groove in which the circuit board is seated and curing the first adhesive; and
applying the first adhesive to the insertion groove, and bonding the lower case and the upper case to the insertion groove to insert the electronic component;
The step of applying the first adhesive to the insertion groove and the seating groove
Applying the first adhesive having a smaller coefficient of thermal expansion than the lower case and the upper case
A method of manufacturing a semiconductor process diagnostic sensor device.
 제 13 항에 있어서,
상기 하부 케이스 및 상부 케이스를 합착하는 단계는
상기 삽입홈은 위를 향하도록 하고, 상기 안착홈은 아래를 향하도록 하여 상기 하부 케이스 및 상부 케이스를 합착하는 단계인
반도체 공정 진단 센서 장치 제조 방법.
14. The method of claim 13,
The step of bonding the lower case and the upper case is
The step of bonding the lower case and the upper case with the insertion groove facing upward and the seating groove facing downward
A method of manufacturing a semiconductor process diagnostic sensor device.
 제 13 항에 있어서,
상기 하부 케이스 및 상부 케이스를 합착하는 단계는
상기 합착 과정에서 상기 전자 부품으로 인해 상기 삽입홈에 도포된 상기 제1 접착제가 상기 하부 케이스 및 상부 케이스의 합착면으로 퍼지는 단계; 및
상기 합착면으로 퍼진 상기 제1 접착제를 경화하는 단계를 포함하는
반도체 공정 진단 센서 장치 제조 방법.
14. The method of claim 13,
The step of bonding the lower case and the upper case is
spreading the first adhesive applied to the insertion groove to the bonding surfaces of the lower case and the upper case due to the electronic component during the bonding process; and
Comprising the step of curing the first adhesive spread to the bonding surface
A method of manufacturing a semiconductor process diagnostic sensor device.
 제 13 항에 있어서,
상기 전자 부품을 실장하는 단계는
상기 전자 부품이 실장된 영역에 제2 접착제를 언더필하고 이를 경화하는 단계를 포함하는
반도체 공정 진단 센서 장치 제조 방법.
14. The method of claim 13,
The step of mounting the electronic component is
and underfilling a second adhesive in the area where the electronic component is mounted and curing the same.
A method of manufacturing a semiconductor process diagnostic sensor device.
 제 13 항에 있어서,
상기 회로 기판에 상기 전자 부품을 실장하는 단계 이전에
동심원 형태를 갖는 안테나 기판과, 상기 안테나 기판의 외측원에서 외측으로 연장되며 방사형으로 배열되는 복수의 센서 기판을 포함하는 상기 회로 기판을 생성하는 단계
를 더 포함하는 반도체 공정 진단 센서 장치 제조 방법.


















14. The method of claim 13,
Before the step of mounting the electronic component on the circuit board
Generating the circuit board including an antenna substrate having a concentric circle shape, and a plurality of sensor substrates extending outward from an outer circle of the antenna substrate and arranged in a radial shape
A method of manufacturing a semiconductor process diagnostic sensor device further comprising a.


















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