KR102288594B1 - Apparatus for manufacturing thin film flexible metal clad laminate and method of manufacturing thin film flexible metal clad laminate - Google Patents

Apparatus for manufacturing thin film flexible metal clad laminate and method of manufacturing thin film flexible metal clad laminate Download PDF

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Abstract

Disclosed are an apparatus for manufacturing a thin film flexible metal clad laminate (FMCL), which can perform generating a metal foil and coating an insulating resin layer together, a method for manufacturing a thin film FMCL, and a thin film FMCL. The apparatus for manufacturing a thin film FMCL according to the present invention includes: a metal foil generating unit which includes a drum having a cathode on the surface, an anode disposed to face the drum, and a storage container storing an electrolyte in which a portion of the drum and at least a portion of the anode are immersed, and is to create a metal foil on the surface of the drum; an insulating resin layer forming unit which is to form an insulating resin layer on the metal foil formed on the surface of the drum; and a peeling unit which includes at least one roller, and peels the metal foil on which the insulating resin layer is formed, from the drum.

Description

박막 FMCL 제조 장치 및 박막 FMCL 제조 방법 {APPARATUS FOR MANUFACTURING THIN FILM FLEXIBLE METAL CLAD LAMINATE AND METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM FLEXIBLE METAL CLAD LAMINATE}Thin film FMCL manufacturing apparatus and thin film FMCL manufacturing method

본 발명은 연성 인쇄회로기판(Flexible Printed Circuit Board; FPCB)나 기타 전자회로기판, 표면 실장용 그라운드 폼가스켓 등에 적용가능한 연성 금속박 적층체(Flexible Metal Clad Laminate; FMCL) 제조 기술에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 금속박 제조와 함께 금속박에 절연 수지층을 코팅할 수 있는 박막 FMCL 제조 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible metal clad laminate (FMCL) manufacturing technology applicable to flexible printed circuit boards (FPCBs), other electronic circuit boards, and ground foam gaskets for surface mounting. More specifically, the present invention relates to a thin film FMCL manufacturing apparatus capable of coating an insulating resin layer on a metal foil together with manufacturing a metal foil.

또한, 본 발명은 금속박 상에 절연수지층을 코팅하는 공정을 포함하는 박막 FMCL을 제조하는 방법에 관한 것이다.In addition, the present invention relates to a method for manufacturing a thin film FMCL comprising a step of coating an insulating resin layer on a metal foil.

또한, 본 발명은 금속박 상에 절연수지층이 코팅된 박막 FMCL에 관한 것이다. In addition, the present invention relates to a thin film FMCL coated with an insulating resin layer on a metal foil.

다양한 전자기기의 발달에 따라 FPCB의 수요가 늘어나고, 또한 기능적 성능 향상도 요구되고 있다. 또한, FPCB의 소재인 FCCL(Flexible Copper Clad Laminate) 제조 기술에 대하여도 많은 연구가 이루어지고 있다. With the development of various electronic devices, the demand for FPCB is increasing, and functional performance improvement is also required. In addition, a lot of research is being done on the manufacturing technology of FCCL (Flexible Copper Clad Laminate), which is a material of FPCB.

종래의 FCCL 제조방법으로는 적층판법과 스퍼터링법이 있다. Conventional FCCL manufacturing methods include a laminated sheet method and a sputtering method.

적층판법은 전해동박 또는 압연동박에 폴리이미드 필름을 라미네이팅하거나 전해동박 또는 압연동박에 폴리이미드를 캐스팅하여 FCCL을 제조하는 방법이다(예를 들어, 특허문헌 1). 그러나, 적층판법은 동박의 제조, 취급 등의 문제점으로 있어, 10㎛ 이하의 동박 두께를 갖는 FCCL을 제조하기 어렵다. 이에 따라, 박막 FCCL이 필요한 경우 별도의 구리 식각 공정을 거쳐야 한다.The laminated sheet method is a method of manufacturing FCCL by laminating a polyimide film on an electrodeposited copper foil or a rolled copper foil or casting a polyimide on an electrodeposited copper foil or a rolled copper foil (eg, Patent Document 1). However, the laminated sheet method has problems such as production and handling of copper foil, and thus it is difficult to manufacture FCCL having a copper foil thickness of 10 μm or less. Accordingly, if a thin-film FCCL is required, a separate copper etching process is required.

스퍼터링법은 폴리이미드 필름에 스퍼터링으로 도금 시드층을 형성하고 도금 시드층 상에 구리 도금을 수행하여 FCCL을 제조하는 방법이다(예를 들어, 특허문헌 2). 그러나, 스퍼터링법의 경우, 제조 단가가 높고, 폴리이미드층과 구리 도금층의 부착력이 적층판법에 비해 약한 문제가 있다.The sputtering method is a method of manufacturing FCCL by forming a plating seed layer on a polyimide film by sputtering and performing copper plating on the plating seed layer (eg, Patent Document 2). However, in the case of the sputtering method, there is a problem that the manufacturing cost is high and the adhesion between the polyimide layer and the copper plating layer is weak compared to the laminate method.

한국 공개특허공보 제10-2006-0129965호(2006.12.18. 공개)Korean Patent Publication No. 10-2006-0129965 (published on December 18, 2006) 한국 공개특허공보 제10-2010-0117732호(2010.11.04. 공개)Korean Patent Publication No. 10-2010-0117732 (published on Nov. 4, 2010)

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 금속박 제조와 함께 금속박에 절연 수지층을 코팅할 수 있는 박막 FMCL 제조 장치를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to provide an apparatus for manufacturing a thin film FMCL capable of coating an insulating resin layer on a metal foil together with manufacturing a metal foil.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 금속박 제조와 함께 금속박에 절연 수지층을 코팅할 수 있는 박막 FMCL 제조 방법을 제공하는 것이다. In addition, the problem to be solved by the present invention is to provide a thin film FMCL manufacturing method capable of coating the insulating resin layer on the metal foil together with the metal foil manufacturing.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 금속박 상에 절연수지층이 코팅된 박막 FMCL을 제공하는 것이다. In addition, the problem to be solved by the present invention is to provide a thin film FMCL coated with an insulating resin layer on a metal foil.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 박막 FMCL 제조 장치는 표면에 음극이 구비된 드럼과, 상기 드럼과 마주보도록 배치된 양극과, 상기 드럼의 일부분 및 상기 양극의 적어도 일부분이 침지되는 전해액을 저장하는 저장 용기를 포함하여, 상기 드럼 표면에 금속박을 생성하기 위한 금속박 생성부; 상기 드럼 표면에 생성된 금속박 상에 절연수지층을 형성하기 위한 절연수지층 형성부; 및 적어도 하나의 롤러를 포함하여, 상기 드럼으로부터 상기 절연수지층이 형성된 금속박을 박리하는 박리부를 포함하는 것을 특징으로 한다. A thin film FMCL manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above object is a drum having a negative electrode on the surface, a positive electrode disposed to face the drum, a part of the drum and at least a portion of the positive electrode are immersed A metal foil generating unit for generating a metal foil on the surface of the drum, including a storage container for storing the electrolyte; an insulating resin layer forming unit for forming an insulating resin layer on the metal foil formed on the surface of the drum; and a peeling part for peeling the metal foil on which the insulating resin layer is formed from the drum, including at least one roller.

상기 금속박 생성부와 상기 절연수지층 형성부 사이에, 상기 드럼 표면에 생성된 금속박을 수세하기 위한 금속박 수세부; 및 수세된 금속박을 건조하기 위한 금속박 건조부를 추가로 포함할 수 있다.Between the metal foil generating unit and the insulating resin layer forming unit, a metal foil washing unit for washing the metal foil generated on the surface of the drum with water; and a metal foil drying unit for drying the washed metal foil.

상기 절연수지층 형성부는 상기 드럼 표면에 생성된 금속박 상에 액상 절연수지를 도포하는 도포부와, 상기 액상 절연수지를 경화시키기 위한 경화부를 포함할 수 있다. The insulating resin layer forming unit may include an applicator for applying a liquid insulating resin on the metal foil formed on the surface of the drum, and a curing unit for curing the liquid insulating resin.

상기 절연수지층 형성부는 상기 드럼과 맞물려 회전하면서 절연수지층과 점·접착제층을 포함하는 필름을 상기 드럼 표면에 생성된 금속박 상에 라미네이팅하는 라미네이팅용 롤러와, 상기 점·접착제층을 경화시키기 위한 경화부를 포함할 수 있다.The insulating resin layer forming unit is rotated in engagement with the drum, and a laminating roller for laminating a film including an insulating resin layer and a point/adhesive layer on the metal foil generated on the surface of the drum, and the point/adhesive layer for curing the It may include a hardening part.

상기 드럼의 외주 표면에는 인쇄회로 패턴에 대응하는 패턴이 형성되어 있을 수 있다. A pattern corresponding to a printed circuit pattern may be formed on the outer peripheral surface of the drum.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 박막 FMCL 제조 방법은 (a) 전해도금 방식으로 회전하는 드럼 상에 금속박을 생성하는 단계; (b) 상기 회전하는 드럼 상에 생성된 금속박 상에 절연수지층을 형성하는 단계; 및 (c) 상기 회전하는 드럼으로부터 상기 절연수지층이 형성된 금속박을 박리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. A thin film FMCL manufacturing method according to an embodiment of the present invention for achieving the above object comprises the steps of (a) generating a metal foil on a rotating drum by an electrolytic plating method; (b) forming an insulating resin layer on the metal foil generated on the rotating drum; and (c) peeling the metal foil on which the insulating resin layer is formed from the rotating drum.

상기 (a) 단계는, 생성된 금속박을 수세한 후, 건조하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.The step (a) may further include drying the produced metal foil after washing with water.

상기 절연수지층을 형성하는 단계는 상기 금속박 상에 액상의 절연수지를 도포한 후, 건조 및 경화하는 방법으로 수행될 수 있다.The forming of the insulating resin layer may be performed by applying a liquid insulating resin on the metal foil, followed by drying and curing.

상기 액상의 절연수지의 도포는 콤마나이프법, 닥터블레이드법, T다이법 및 스프레이법 등 액상의 절연수지를 필름에 도포하는 여러 방법 중에서 선택되는 방법으로 수행될 수 있다.The application of the liquid insulating resin may be performed by a method selected from various methods of applying the liquid insulating resin to the film, such as a comma knife method, a doctor blade method, a T-die method, and a spray method.

상기 절연수지층을 형성하는 단계는 점·접착제를 이용하여 상기 금속박 상에 절연수지층을 부착하는 방법으로 수행될 수 있다.The forming of the insulating resin layer may be performed by attaching the insulating resin layer on the metal foil using a point/adhesive agent.

상기 절연수지층의 부착은 상기 드럼과 맞물려 회전하는 라미네이팅용 롤러를 이용할 수 있다. The insulating resin layer may be attached using a laminating roller that rotates in engagement with the drum.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 박막 FMCL은 0.5~15㎛ 두께를 가지며, 구리(Cu), 철(Fe), 주석(Sn), 금(Au), 은(Ag), 니켈(Ni), 아연(Zn) 및 알루미늄(Al) 중 1종 이상을 포함하는 금속층; 및 상기 금속층 상에 배치되고, 5~500㎛ 두께를 가지며, 폴리이미드(PI), 폴리아미드이미드(PAI), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN), 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP), 에틸렌비닐아세테이트(EVA), 폴리염화비닐(PVC), 폴리염화비닐리덴(PVDC), 폴리카보네이트(PC), 폴리우레탄(PU), 아크릴 수지, 불소 수지, 실리콘 수지 중 1종 이상을 포함하는 절연수지층을 포함하는 것을 특징으로 한다. The thin film FMCL according to an embodiment of the present invention for achieving the above object has a thickness of 0.5 to 15 μm, copper (Cu), iron (Fe), tin (Sn), gold (Au), silver (Ag), nickel a metal layer including at least one of (Ni), zinc (Zn) and aluminum (Al); and disposed on the metal layer, having a thickness of 5 to 500 μm, polyimide (PI), polyamideimide (PAI), polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene (PE), polypropylene At least one of (PP), ethylene vinyl acetate (EVA), polyvinyl chloride (PVC), polyvinylidene chloride (PVDC), polycarbonate (PC), polyurethane (PU), acrylic resin, fluororesin, and silicone resin It is characterized in that it comprises an insulating resin layer comprising a.

본 발명에 따른 박막 FMCL 제조 장치 및 제조 방법에 의하면, 드럼 상에서 전해동박의 생성 및 절연수지층의 코팅 또는 부착이 수행된 후에, 전해동박 및 절연수지층을 포함하는 적층체가 드럼으로부터 박리된다. 이를 통해, 두께 15㎛ 이하의 금속층을 포함하는 박막 FMCL을 제조할 수 있다. According to the thin film FMCL manufacturing apparatus and manufacturing method according to the present invention, after the production of the electrodeposited copper foil and the coating or adhesion of the insulating resin layer are performed on the drum, the laminate including the electrodeposited copper foil and the insulating resin layer is peeled off from the drum. Through this, a thin film FMCL including a metal layer having a thickness of 15 μm or less can be manufactured.

특히, 본 발명에 따른 박막 FMCL 제조 장치 및 제조 방법에 의하면, 두께 15㎛ 이하의 박막 FMCL이 절연수지층에 의해 지지된 상태에서 드럼으로부터 박리될 수 있으므로, 박리 시 및 박리 후 FMCL의 금속박이 찢어지는 문제를 저감할 수 있다. 금속박을 박리한 후에 연속 공정 또는 별도 공정으로 절연수지층을 금속박에 코팅 또는 부착하여 박막 FMCL을 제조하는 경우, 드럼으로부터 금속박의 박리한 후 절연수지층을 코팅할 때까지의 시차가 존재하여 금속박의 찢어짐 발생 가능성이 높은 반면, 본 발명의 경우 절연수지층과 금속박이 결합된 상태로 드럼으로부터 박리되기 때문에, 이러한 금속박의 찢어짐 문제를 크게 개선할 수 있다.In particular, according to the thin film FMCL manufacturing apparatus and manufacturing method according to the present invention, since the thin film FMCL having a thickness of 15 μm or less can be peeled off from the drum in a state supported by the insulating resin layer, the metal foil of the FMCL is torn at the time of peeling and after peeling loss problem can be reduced. In the case of manufacturing thin film FMCL by coating or attaching an insulating resin layer to the metal foil in a continuous or separate process after peeling the metal foil, there is a time difference from peeling the metal foil from the drum to coating the insulation resin layer. While the possibility of tearing is high, in the present invention, since the insulating resin layer and the metal foil are peeled off from the drum in a bonded state, the tearing problem of the metal foil can be greatly improved.

본 발명에 따른 박막 FMCL 제조 방법에 의하면, 종래기술에 따른 적층판법으로는 FMCL 제조 후 에칭 등 별도의 공정을 거치지 않으면 구현할 수 없는 10㎛ 이하의 박막 금속박을 제조 가능하며, 또한 스퍼터링법에 비하여 금속박과 절연수지층의 부착 강도가 크고, 제조 공정이 단순하며, 제조 비용이 저렴한 박막 FMCL을 제조할 수 있다.According to the thin-film FMCL manufacturing method according to the present invention, it is possible to manufacture a thin-film metal foil of 10 μm or less, which cannot be realized without a separate process such as etching after manufacturing the FMCL with the conventional laminate method, and also, compared to the sputtering method, the metal foil It is possible to manufacture thin-film FMCL with high adhesion strength of the insulating resin layer, a simple manufacturing process, and low manufacturing cost.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 박막 FMCL 제조 장치를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 2는 도 1에 도시된 장치를 이용하여 제조된 박막 FMCL 단면을 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 박막 FMCL 제조 장치를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 4는 도 3에 도시된 장치를 이용하여 제조된 박막 FMCL 단면을 나타낸 것이다.
1 schematically shows a thin film FMCL manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 shows a cross-section of a thin film FMCL manufactured using the device shown in FIG. 1 .
Figure 3 schematically shows a thin film FMCL manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.
FIG. 4 shows a cross section of a thin film FMCL manufactured using the device shown in FIG. 3 .

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention and methods of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in a variety of different forms, and only these embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and common knowledge in the technical field to which the present invention belongs It is provided to fully inform the possessor of the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 박막 FMCL 제조 장치, 박막 FMCL 제조 방법 및 박막 FMCL을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a thin film FMCL manufacturing apparatus, a thin film FMCL manufacturing method and a thin film FMCL according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 박막 FMCL 제조 장치를 개략적으로 나타낸 것이다.1 schematically shows a thin film FMCL manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 박막 FMCL 제조 장치는 금속박 생성부(110~130), 절연수지층 형성부(160~180) 및 박리부(190~195)를 포함한다. Referring to FIG. 1 , the thin film FMCL manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a metal foil generating unit 110 to 130 , an insulating resin layer forming unit 160 to 180 , and a peeling unit 190 to 195 .

금속박 생성부(110~130)는 드럼(110) 상에 금속박(101)을 생성하기 위한 것이다. 절연수지층 형성부(160~180)는 드럼(110) 표면에 생성된 금속박(101) 상에 절연수지층(102)을 형성하기 위한 것이다. 박리부(190~195)는 절연수지층(102)이 형성된 금속박(101)을 드럼(110)으로부터 박리하기 위한 것이다.The metal foil generating units 110 to 130 are for generating the metal foil 101 on the drum 110 . The insulating resin layer forming units 160 to 180 are for forming the insulating resin layer 102 on the metal foil 101 created on the surface of the drum 110 . The peeling parts 190 to 195 are for peeling the metal foil 101 on which the insulating resin layer 102 is formed from the drum 110 .

금속박 생성부(110~130)는 드럼(110), 양극(120), 전해액(135)을 저장하는 전해액 저장 용기(130)를 포함한다.The metal foil generating unit 110 to 130 includes a drum 110 , an anode 120 , and an electrolyte storage container 130 for storing the electrolyte 135 .

드럼(110)은 표면에 음극이 구비되어 있으며, 일정한 속도로 회전한다. 드럼(110) 자체가 전극 재질일 수도 있고, 드럼(110)의 표면이 전극 재질일 수도 있다. 드럼(110)의 재질은 스테인리스 스틸, 티타늄 등에서 선택될 수 있다. 티타늄이 전해동박의 박리성과 내부식성이 보다 유리하다. 한편, 금속이 석출되는 드럼(110)의 원통 외주표면은 화학연마, 수퍼 폴리싱 등을 거쳐 표면이 매끄러울수록 박리에 유리하다.The drum 110 is provided with a cathode on the surface, and rotates at a constant speed. The drum 110 itself may be made of an electrode material, or the surface of the drum 110 may be made of an electrode material. The material of the drum 110 may be selected from stainless steel, titanium, or the like. Titanium is more advantageous in peelability and corrosion resistance of the electrodeposited copper foil. On the other hand, as the surface of the cylindrical outer peripheral surface of the drum 110 on which the metal is deposited is smoother through chemical polishing, super polishing, etc., it is advantageous for peeling.

드럼(110)의 다른 예로 드럼의 원통 외주표면에 인쇄회로 패턴을 형성시킨 후 도금을 실시하면 인쇄회로도가 완성된 상태의 박막 FMCL을 제조할 수 있으므로, 박막 FMCL을 이용한 FPCB 전체 제조공정이 크게 단축될 수 있다.As another example of the drum 110, if a printed circuit pattern is formed on the cylindrical outer peripheral surface of the drum and then plated, the thin film FMCL with the printed circuit diagram completed can be manufactured, so the overall manufacturing process of the FPCB using the thin film FMCL is greatly shortened. can be

양극(120)은 드럼(110)과 마주보도록 배치된다. 보다 구체적으로, 양극(120)은 드럼(110)과 일정한 간격을 유지하도록 배치된다. 양극(120)은 도금하고자 하는 금속판재 또는 스테인리스스틸, 티타늄 망에 금속볼을 투입하여 전해액(135)에 금속이온을 공급하면서 전류를 가할 수 있고, 바람직하게는 티타늄 망에 금속볼을 투입하는 것이 드럼(110)과 양극(120)의 일정한 간격을 유지하면서 일정한 전류와 금속이온을 공급하는데 유리하다. 상기 양극(3)에 가해지는 전류밀도는 0.5~100 A/dm2이 바람직하다. 상기 금속판재 또는 금속볼은 구리(Cu), 철(Fe), 주석(Sn), 금(Au), 은(Ag), 니켈(Ni), 아연(Zn) 알루미늄(Al) 중의 1종 또는 2종 이상의 도금하고자 하는 금속박막에 따라 결정될 수 있다.The anode 120 is disposed to face the drum 110 . More specifically, the anode 120 is disposed to maintain a constant distance from the drum 110 . The anode 120 may apply a current while supplying metal ions to the electrolyte 135 by inputting a metal ball to a metal plate, stainless steel, or titanium mesh to be plated, preferably, putting the metal ball into the titanium mesh It is advantageous to supply a constant current and metal ions while maintaining a constant distance between the drum 110 and the anode 120 . The current density applied to the anode 3 is preferably 0.5-100 A/dm 2 . The metal plate or metal ball is one or two of copper (Cu), iron (Fe), tin (Sn), gold (Au), silver (Ag), nickel (Ni), zinc (Zn) and aluminum (Al). It can be determined depending on the type of metal thin film to be plated.

전해액 저장 용기(130)는 드럼(110)의 일부분 및 양극(120)의 적어도 일부분이 침지되는 전해액(135)을 저장한다. 양극(120) 전체가 전해액(135)에 침지될 수 있고, 도 1에 도시된 예와 같이 양극(120)의 일부가 전해액(135)에 침지될 수 있다. 전해액 저장 용기(130)에 전해액(135)이 일정 수위를 유지하면서 계속 공급될 수 있고 또한 전해액(135)은 순환될 수 있다.The electrolyte storage container 130 stores the electrolyte 135 in which a portion of the drum 110 and at least a portion of the anode 120 are immersed. The entire anode 120 may be immersed in the electrolyte 135 , and a portion of the anode 120 may be immersed in the electrolyte 135 as in the example shown in FIG. 1 . The electrolyte solution 135 may be continuously supplied to the electrolyte storage container 130 while maintaining a certain level, and the electrolyte solution 135 may be circulated.

전해액(135)은 전해동박 제조 시 황산구리 50~200g/l, 황산 20~150g/l, Cl 5~100mg/l, 기타 첨가물 일정량으로 조성되고, 온도는 25℃~80℃에서 항온을 유지하며, 드럼(110)과 양극(120) 사이를 일정 속도로 흐르게 하여 드럼에 금속이 석출되면서 발생하는 가스 제거 및 전해액의 농도가 일정하게 유지되도록 하는 것이 바람직하다. 한편, 전해액(135)은 구리(Cu), 철(Fe), 주석(Sn), 금(Au), 은(Ag), 니켈(Ni), 아연(Zn) 알루미늄(Al) 중의 1종 또는 2종이상의 도금하고자 하는 금속을 포함할 수 있다.The electrolyte 135 is composed of 50 to 200 g/l of copper sulfate, 20 to 150 g/l of sulfuric acid, 5 to 100 mg/l of Cl, and other additives when manufacturing the electrodeposited copper foil, and the temperature is maintained at a constant temperature of 25 to 80 ° C, and the drum It is preferable to flow between the 110 and the anode 120 at a constant speed so that the gas is removed while the metal is deposited on the drum and the concentration of the electrolyte is kept constant. Meanwhile, the electrolyte 135 is one or two of copper (Cu), iron (Fe), tin (Sn), gold (Au), silver (Ag), nickel (Ni), zinc (Zn) and aluminum (Al). It may contain the metal to be plated on paper.

드럼(110)에는 절연수지층을 형성하는 과정에서 가해지는 열이 드럼(110)을 통해 전해액(135)에 전달되지 못하도록 냉각수가 흐를 수 있고, 냉각수는 외부의 칠러에서 순환시키며 일정 온도로 유지시키는 것이 바람직하다. Cooling water may flow in the drum 110 to prevent heat applied in the process of forming the insulating resin layer from being transferred to the electrolyte 135 through the drum 110, and the cooling water is circulated in an external chiller and maintained at a constant temperature. it is preferable

양극(120)에 전압을 인가하면, 양극(120)과 음극인 드럼(110) 간의 전위차에 의해 드럼(110)의 표면에 구리와 같은 금속이 석출되어 금속박(101)이 형성된다. When a voltage is applied to the anode 120 , a metal such as copper is deposited on the surface of the drum 110 due to a potential difference between the anode 120 and the drum 110 serving as the cathode to form the metal foil 101 .

금속박 생성부(110~130)의 드럼(110)과 절연수지층 형성부(160~180) 사이에는, 드럼(110) 표면에 생성된 금속박(101)을 수세하기 위한 금속박 수세부(140) 및 수세된 금속박을 건조하기 위한 금속박 건조부(150)를 추가로 포함할 수 있다. Between the drum 110 of the metal foil generating unit 110 to 130 and the insulating resin layer forming unit 160 to 180, the metal foil washing unit 140 for washing the metal foil 101 generated on the surface of the drum 110 with water 140 and It may further include a metal foil drying unit 150 for drying the washed metal foil.

금속박 수세부(140)는 금속박에 잔존하는 전해액을 수세하기 위한 것으로, 증류수 또는 전용세척수와 같은 세척수를 분사하기 위한 세척수 분사구(145)를 포함할 수 있다. 한편 세척수는 전해동박(101)에 밀착된 세척수 분사구(145) 상단의 고무재질의 나이프에 의해 회수될 수 있고, 금속박 수세부(140)는 2단 이상 다단으로 설치될 수 있다. The metal foil washing unit 140 is for washing the electrolyte remaining on the metal foil, and may include a washing water injection port 145 for jetting washing water such as distilled water or exclusive washing water. Meanwhile, the washing water may be recovered by a rubber knife at the upper end of the washing water injection hole 145 in close contact with the electrodeposited copper foil 101 , and the metal foil water detail unit 140 may be installed in two or more stages.

금속박 건조부(150)는 에어 나이프와 같은 에어 드라이어가 구비될 수 있다.The metal foil drying unit 150 may be provided with an air dryer such as an air knife.

한편, 금속박 수세부(140) 하단, 즉 금속박 수세부(140)와 금속박 생성부(110~130) 사이에는 전해액 분사구(137)가 배치될 수 있다. 전해 금속박에 얼룩이 발생하는 것을 방지하기 위해, 금속박(101)의 표면이 금속박 수세부(140)에 도달할 때까지 마르지 않도록 전해액 분사구(137)를 통해 금속박 표면에 전해액을 뿌려주는 것이 바람직하다. 한편 전해액은 전해동박(101)에 밀착된 전해액 분사구(137) 상단의 고무재질의 나이프에 의해 회수될 수 있다.Meanwhile, the electrolyte injection hole 137 may be disposed at the lower end of the metal foil water detail unit 140 , that is, between the metal foil water detail unit 140 and the metal foil generating unit 110 to 130 . In order to prevent staining on the electrolytic metal foil, it is preferable to spray the electrolytic solution on the surface of the metal foil through the electrolyte injection port 137 so that the surface of the metal foil 101 does not dry until it reaches the metal foil water detail 140 . Meanwhile, the electrolyte may be recovered by a rubber-made knife at the upper end of the electrolyte injection hole 137 in close contact with the electrodeposited copper foil 101 .

절연수지층 형성부(160~180)는 드럼(110) 표면에 생성된 금속박(101) 상에 절연수지층(102)을 형성하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 박막 FMCL 제조 장치는 드럼(110) 상에서 금속박(101) 및 절연수지층(102)을 순차적으로 형성한 후, 절연수지층과 금속박이 결합된 상태로 드럼으로부터 박리시킨다. 이에 따라, 박막 FMCL이 절연수지층에 의해 지지된 상태에서 드럼으로부터 박리될 수 있으며, 그에 따라, 드럼 상에 두께 15㎛ 이하의 금속박이 형성되더라도 금속박의 찢어짐 문제를 크게 개선할 수 있다.The insulating resin layer forming units 160 to 180 are for forming the insulating resin layer 102 on the metal foil 101 created on the surface of the drum 110 . The thin film FMCL manufacturing apparatus according to the present invention sequentially forms the metal foil 101 and the insulating resin layer 102 on the drum 110, and then peels it off from the drum in a state in which the insulating resin layer and the metal foil are combined. Accordingly, the thin film FMCL can be peeled off from the drum in a state supported by the insulating resin layer, and thus, even if a metal foil having a thickness of 15 μm or less is formed on the drum, the tearing problem of the metal foil can be greatly improved.

도 1을 참조하면, 절연수지층 형성부(160~180)는 액상 절연수지 저장부(160), 도포부(170) 및 경화부(180)를 포함할 수 있다. 액상 절연수지 저장부(160)은 액상의 절연수지를 저장한다. Referring to FIG. 1 , the insulating resin layer forming units 160 to 180 may include a liquid insulating resin storage unit 160 , an application unit 170 , and a curing unit 180 . The liquid insulating resin storage unit 160 stores the liquid insulating resin.

도포부(170)는 드럼(110) 표면에 생성된 금속박(101) 상에 액상 절연수지를 도포한다. 도 1에서는 도포부(170)의 예로 콤마나이프를 제시하였으나, 이외에 액상 절연수지를 도포할 수 있는 다양한 수단이 이용될 수 있다. 액상의 절연수지는 용매에 절연 수지가 용해되어 있는 상태이거나, 고분자 수지로 합성되기 전단계의 액상 수지일 수 있다.The applicator 170 applies a liquid insulating resin on the metal foil 101 created on the surface of the drum 110 . Although a comma knife is presented as an example of the application unit 170 in FIG. 1 , various other means for applying a liquid insulating resin may be used. The liquid insulating resin may be in a state in which the insulating resin is dissolved in a solvent, or may be a liquid resin before synthesis into a polymer resin.

경화부(180)는 액상 절연수지를 경화시켜 절연수지층(102)을 형성한다. 경화부(180)에는 건조부가 추가로 포함될 수 있다. The curing unit 180 cures the liquid insulating resin to form the insulating resin layer 102 . The hardening unit 180 may further include a drying unit.

경화부(180)는 절연수지층 또는 도 3의 점·접착제층이 열 경화 타입의 경우, 열원이 시즈 히터, IR 히터, 석영관 히터, 핀 히터, 열풍기 등이 될 수 있으며, UV 경화 타입의 경우, UV 램프일 수 있다. The curing unit 180 may be a sheath heater, an IR heater, a quartz tube heater, a fin heater, a hot air blower, or the like, when the insulating resin layer or the point/adhesive layer of FIG. 3 is a thermosetting type. In this case, it may be a UV lamp.

박리부(190~195)는 적어도 하나의 롤러(190, 195)를 포함한다. The peeling parts 190 to 195 include at least one roller 190 and 195 .

롤러(195)를 통해 절연수지층(102)이 형성된 금속박(101)의 방향을 전환함으로써 드럼(110)으로부터 절연수지층(102)이 형성된 금속박(101)을 박리한다. 또한, 권취 롤러(190)에서는 박리된 결과물을 권취함으로써 절연수지층(102)이 형성된 금속박(101)의 장력을 유지한다.The metal foil 101 on which the insulating resin layer 102 is formed is peeled off from the drum 110 by changing the direction of the metal foil 101 on which the insulating resin layer 102 is formed through the roller 195 . In addition, the winding roller 190 maintains the tension of the metal foil 101 on which the insulating resin layer 102 is formed by winding the peeled product.

본 발명의 실시예에 따른 박막 FMCL 제조 방법은 (a) 전해도금 방식으로 회전하는 드럼 상에 금속박을 생성하는 단계, (b) 상기 회전하는 드럼 상에 생성된 금속박 상에 절연수지층을 형성하는 단계 및 (c) 상기 회전하는 드럼으로부터 상기 절연수지층이 형성된 금속박을 박리하는 단계를 포함한다. 이는 도 1 및 도 3에 도시된 박막 FMCL 제조 장치를 이용함으로써 달성될 수 있다.A thin film FMCL manufacturing method according to an embodiment of the present invention comprises the steps of (a) forming a metal foil on a rotating drum by an electrolytic plating method, (b) forming an insulating resin layer on the metal foil created on the rotating drum and (c) peeling the metal foil on which the insulating resin layer is formed from the rotating drum. This can be achieved by using the thin film FMCL manufacturing apparatus shown in FIGS. 1 and 3 .

전해도금 방식으로 회전하는 드럼 상에 금속박을 생성한 후에는, 생성된 금속박을 수세한 후, 건조하는 단계를 추가로 포함할 수 있다. 일정한 속도로 회전하는 드럼에 일정한 전류를 가하여 전해동박을 생성시킬 수 있다.After generating the metal foil on the rotating drum by the electroplating method, after washing the generated metal foil with water, the step of drying may be further included. Electrolytic copper foil can be produced by applying a constant current to the drum rotating at a constant speed.

절연수지층을 형성하는 단계는 금속박 상에 액상의 절연수지를 도포한 후, 건조 및 경화하는 방법으로 수행될 수 있다.The forming of the insulating resin layer may be performed by applying a liquid insulating resin on the metal foil, then drying and curing.

액상의 절연수지의 도포는 콤마나이프법, 닥터블레이드법, T다이법 및 스프레이법 등 액상을 필름에 도포하는 여러 방법 중에서 선택되는 방법으로 수행될 수 있다.Application of the liquid insulating resin may be performed by a method selected from among several methods of applying the liquid to the film, such as a comma knife method, a doctor blade method, a T-die method, and a spray method.

다른 예로, 상기 절연수지층을 형성하는 단계는 점착제 또는 접착제(이하, 점·접착제)를 이용하여 금속박 상에 절연수지층을 부착하는 방법으로 수행될 수 있다.As another example, the forming of the insulating resin layer may be performed by attaching the insulating resin layer on the metal foil using a pressure-sensitive adhesive or an adhesive (hereinafter, point/adhesive).

상기 절연수지층의 부착은 상기 드럼과 맞물려 회전하는 라미네이팅용 롤러(도 3의 360)를 이용할 수 있다. The insulating resin layer may be attached using a laminating roller (360 in FIG. 3) that rotates in engagement with the drum.

동박 형성의 예를 들면, 드럼(110)을 일정한 속도로 회전시키고, 양극(120)에 일정 전류를 가하면 전해액 중의 Cu2+ 양이온이 음극인 드럼(110)에 금속으로 석출되면서 전해 동박(101)이 생성되고, 드럼(110)의 회전에 의해 전해액(135)에서 다단의 금속박 수세부(140)를 통과하면서 동박 표면에 잔류한 전해액이 세정되고, 에어 드라이어와 같은 금속박 건조부(150)를 통과하여 전해동박(101)이 건조된다. 전해동박 외면에 액상 절연수지를 코팅한 후 경화부(180)를 통과하면서 전해동박에 절연수지층이 부착된다. 이후 박리부에서 드럼으로부터 동박이 박리된다. As an example of copper foil formation, when the drum 110 is rotated at a constant speed and a constant current is applied to the anode 120, Cu 2+ cations in the electrolyte are deposited as a metal on the drum 110, which is the cathode, as the electrodeposited copper foil 101. This is generated, and the electrolyte remaining on the copper foil surface is cleaned while passing through the multi-stage metal foil water detail 140 in the electrolyte 135 by the rotation of the drum 110, and passes through the metal foil drying unit 150 such as an air dryer. Thus, the electrodeposited copper foil 101 is dried. After coating the liquid insulating resin on the outer surface of the electrodeposited copper foil, the insulating resin layer is attached to the electrodeposited copper foil while passing through the curing unit 180 . Then, the copper foil is peeled off from the drum in the peeling part.

도 2는 도 1에 도시된 장치를 이용하여 제조된 박막 FMCL 단면을 나타낸 것이다. FIG. 2 shows a cross-section of a thin film FMCL manufactured using the device shown in FIG. 1 .

도 2를 참조하면, 박막 FMCL은 금속박(101) 상에 절연수지층(102)이 적층된 구조를 갖는다. Referring to FIG. 2 , the thin film FMCL has a structure in which an insulating resin layer 102 is laminated on a metal foil 101 .

금속박(101)은 구리(Cu), 철(Fe), 주석(Sn), 금(Au), 은(Ag), 니켈(Ni), 아연(Zn) 및 알루미늄(Al) 중 1종 이상을 포함할 수 있다. 금속박(101)은 도 1 또는 후술하는 도 3에 도시된 장치를 통해 0.5~15㎛ 두께로 형성될 수 있다. The metal foil 101 includes at least one of copper (Cu), iron (Fe), tin (Sn), gold (Au), silver (Ag), nickel (Ni), zinc (Zn), and aluminum (Al). can do. The metal foil 101 may be formed to a thickness of 0.5-15 μm through the apparatus shown in FIG. 1 or FIG. 3 to be described later.

절연수지층(102)은 폴리이미드(PI), 폴리아미드이미드(PAI), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN), 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP), 에틸렌비닐아세테이트(EVA), 폴리염화비닐(PVC), 폴리염화비닐리덴(PVDC), 폴리카보네이트(PC), 폴리우레탄(PU), 아크릴 수지, 불소 수지, 실리콘 수지 중 1종 이상을 포함할 수 있다. 절연수지층(102)은 5~500㎛ 두께를 가질 수 있다.Insulation resin layer 102 is polyimide (PI), polyamideimide (PAI), polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene (PE), polypropylene (PP), ethylene vinyl acetate (EVA) ), polyvinyl chloride (PVC), polyvinylidene chloride (PVDC), polycarbonate (PC), polyurethane (PU), acrylic resin, fluorine resin, and may include one or more of a silicone resin. The insulating resin layer 102 may have a thickness of 5 to 500 μm.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 박막 FMCL 제조 장치를 개략적으로 나타낸 것이다.Figure 3 schematically shows a thin film FMCL manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 도시된 박막 FMCL 제조 장치는 도 1에 도시된 박막 FMCL 제조 장치와 마찬가지로 금속박 생성부(310~330), 절연수지층 형성부(360~380) 및 박리부(390~395)를 포함한다. Referring to FIG. 3 , the thin film FMCL manufacturing apparatus shown in FIG. 1 is similar to the thin film FMCL manufacturing apparatus shown in FIG. ) is included.

금속박 생성부(310~330)는 드럼(310) 상에 금속박(301)을 생성하기 위한 것이다. 절연수지층 형성부(360~380)는 드럼(310) 표면에 생성된 금속박(301) 상에 절연수지층(302)을 형성하기 위한 것이다. 박리부(390~395)는 절연수지층(302)이 형성된 금속박(301)을 드럼(310)으로부터 박리하기 위한 것이다.The metal foil generating units 310 to 330 are for generating the metal foil 301 on the drum 310 . The insulating resin layer forming units 360 to 380 are for forming the insulating resin layer 302 on the metal foil 301 formed on the surface of the drum 310 . The peeling parts 390 to 395 are for peeling the metal foil 301 on which the insulating resin layer 302 is formed from the drum 310 .

또한, 금속박 생성부(310~330)의 드럼(310)과 절연수지층 형성부(360~380) 사이에는, 드럼(310) 표면에 생성된 금속박(301)을 수세하기 위한 금속박 수세부(340) 및 수세된 금속박을 건조하기 위한 금속박 건조부(350)를 추가로 포함할 수 있다. 금속박 수세부(340)는 세척수 분사구(345)를 포함할 수 있다. In addition, between the drum 310 of the metal foil generating unit 310 to 330 and the insulating resin layer forming unit 360 to 380, the metal foil washing unit 340 for washing the metal foil 301 generated on the surface of the drum 310 with water. ) and may further include a metal foil drying unit 350 for drying the washed metal foil. The metal foil water detail 340 may include a washing water spray hole 345 .

한편, 금속박 수세부(340) 하단, 즉 금속박 수세부(340)와 금속박 생성부(310~330) 사이에는 전해액 분사구(337)가 배치될 수 있다. Meanwhile, the electrolyte injection hole 337 may be disposed at the lower end of the metal foil water detail unit 340 , that is, between the metal foil water detail unit 340 and the metal foil generation units 310 to 330 .

다만, 도 3에 도시된 박막 FMCL 제조 장치는 절연수지층 형성부(360~380)가 도 1의 절연수지층 형성부(160~180)와 차이가 있다.However, in the thin film FMCL manufacturing apparatus shown in FIG. 3 , the insulating resin layer forming units 360 to 380 are different from the insulating resin layer forming units 160 to 180 of FIG. 1 .

도 3에 도시된 절연수지층 형성부는 라미네이팅용 롤러(360)를 포함할 수 있다. 라미네이팅용 롤러(360)는 드럼(110)과 맞물려 회전하면서 절연수지층(302)과 점·접착제층(303)을 포함하는 필름을 드럼(310) 표면에 생성된 금속박(301) 상에 라미네이팅한다. 절연수지층(302)과 점·접착제층(303)을 포함하는 필름은 별도의 롤러(370)로부터 라미네이팅용 롤러(360)에 공급될 수 있다. 필요에 따라서는 방향 전환 롤러(375)가 포함될 수 있다. 상기 라미네이팅 롤러(360)에는 히터 등 가열 수단이 구비될 수 있다. The insulating resin layer forming unit shown in FIG. 3 may include a laminating roller 360 . The laminating roller 360 is rotated in engagement with the drum 110 while laminating the film including the insulating resin layer 302 and the adhesive layer 303 on the metal foil 301 created on the surface of the drum 310. . The film including the insulating resin layer 302 and the adhesive layer 303 may be supplied to the laminating roller 360 from a separate roller 370 . A direction change roller 375 may be included if necessary. A heating means such as a heater may be provided on the laminating roller 360 .

도 3에서는 절연수지층(302)과 점·접착제층(303)을 포함하는 필름이 2층 구조인 예를 나타내었다. 다른 예로, 절연수지층(302)과 점·접착제층(303)을 포함하는 필름의 점·접착제층(303) 상에는 이형층이 배치되어 있을 수 있다. 이형층은 라미네이팅용 롤러(360)에 공급되기 전에 필름으로부터 박리될 수 있다. 3 shows an example in which the film including the insulating resin layer 302 and the adhesive layer 303 has a two-layer structure. As another example, a release layer may be disposed on the point/adhesive layer 303 of the film including the insulating resin layer 302 and the point/adhesive layer 303 . The release layer may be peeled off from the film before being fed to the laminating roller 360 .

또한 도 3에 도시된 절연수지층 형성부는 점·접착제층(303)을 경화시키기 위한 경화부(380)를 포함할 수 있다. 점·접착제층(303)이 열경화 타입이면 경화부(380)는 점·접착제층(303)에 열을 가할 수 있는 수단을 포함할 수 있다. 점·접착제층(303)이 자외선 경화 타입이면 경화부(380)는 UV 조사 수단을 포함할 수 있다.In addition, the insulating resin layer forming unit shown in FIG. 3 may include a curing unit 380 for curing the adhesive layer 303 . When the point/adhesive layer 303 is a thermosetting type, the curing unit 380 may include a means for applying heat to the point/adhesive layer 303 . When the adhesive layer 303 is an ultraviolet curing type, the curing unit 380 may include a UV irradiation means.

도 4는 도 3에 도시된 장치를 이용하여 제조된 박막 FMCL 단면을 나타낸 것이다.FIG. 4 shows a cross section of a thin film FMCL manufactured using the device shown in FIG. 3 .

도 4를 참조하면, 박막 FMCL은 금속박(301) 상에 절연수지층(302)이 적층된 구조를 갖는다. 또한, 금속박(301)과 절연수지층(302) 사이에는 점·접착제층(303)이 배치되어 있다.Referring to FIG. 4 , the thin film FMCL has a structure in which an insulating resin layer 302 is laminated on a metal foil 301 . In addition, a point/adhesive layer 303 is disposed between the metal foil 301 and the insulating resin layer 302 .

금속박(301)은 구리(Cu), 철(Fe), 주석(Sn), 금(Au), 은(Ag), 니켈(Ni), 아연(Zn) 및 알루미늄(Al) 중 1종 이상을 포함할 수 있다. 금속박(301)은 도 3에 도시된 장치를 통해 0.5~15㎛ 두께로 형성될 수 있다. The metal foil 301 includes at least one of copper (Cu), iron (Fe), tin (Sn), gold (Au), silver (Ag), nickel (Ni), zinc (Zn), and aluminum (Al). can do. The metal foil 301 may be formed to a thickness of 0.5-15 μm through the apparatus shown in FIG. 3 .

절연수지층(302)은 폴리이미드(PI), 폴리아미드이미드(PAI), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN), 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP), 에틸렌비닐아세테이트(EVA), 폴리염화비닐(PVC), 폴리염화비닐리덴(PVDC), 폴리카보네이트(PC), 폴리우레탄(PU), 아크릴 수지, 불소 수지, 실리콘 수지 중 1종 이상을 포함할 수 있다. 절연수지층(302)은 5~500㎛ 두께를 가질 수 있다.Insulation resin layer 302 is polyimide (PI), polyamideimide (PAI), polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene (PE), polypropylene (PP), ethylene vinyl acetate (EVA) ), polyvinyl chloride (PVC), polyvinylidene chloride (PVDC), polycarbonate (PC), polyurethane (PU), acrylic resin, fluorine resin, and may include one or more of a silicone resin. The insulating resin layer 302 may have a thickness of 5 to 500 μm.

점·접착제층(303)은 핫멜트 접착제, 액상수지접착제, UV접착제, 또는 PSA 점착제 등 접착 또는 점착 특성이 있는 것으로 형성될 수 있다. 점·접착제층(303)의 두께는 1~20㎛일 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.The point/adhesive layer 303 may be formed of a material having adhesive or adhesive properties, such as a hot melt adhesive, a liquid resin adhesive, a UV adhesive, or a PSA adhesive. The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer 303 may be 1 to 20 μm, but is not limited thereto.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 박막 FMCL 제조 장치 및 박막 FMCL 제조 방법을 이용하면, 전해액 중에서 드럼에 생성된 전해 금속박을 수세ㆍ건조하고, 전해 금속박을 드럼에서 박리하기 전에 절연수지를 코팅하고 건조 및 경화하여 절연수지층을 생성시킨 후, 드럼에서 박리할 수 있으며, 이를 통해 금속박 두께 15㎛ 이하의 박막이더라도 절연수지층과 부착되어 있어 취급이 용이하며, 찢어지는 문제점이 저감될 수 있다. As described above, using the thin film FMCL manufacturing apparatus and thin film FMCL manufacturing method according to the present invention, the electrolytic metal foil generated on the drum in the electrolyte is washed and dried, and the insulating resin is coated and dried before the electrolytic metal foil is peeled off the drum. And after curing to create an insulating resin layer, it can be peeled off the drum, through which even a thin metal foil with a thickness of 15 μm or less is attached to the insulating resin layer, so handling is easy, and the tearing problem can be reduced.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.The embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to the above embodiments and may be manufactured in a variety of different forms, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains It will be understood that the present invention may be embodied in other specific forms without changing the spirit or essential features of the present invention. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive.

101, 301 : 금속박
102, 302 : 절연수지층
110, 310 : 드럼(음극)
120, 320 : 양극
130, 130 : 전해액 저장 용기(도금조)
135, 135 : 전해액
140, 340 : 금속박 수세부
150, 350 : 금속박 건조부
160 : 액상 절연수지 저장부
170 : 도포부
180, 380 : 경화부
190, 390 : 권취롤
303 : 점·접착제층
360 : 라미네이팅 롤러
370 : 필름 공급 롤러
101, 301: metal foil
102, 302: insulating resin layer
110, 310: drum (cathode)
120, 320: positive electrode
130, 130: electrolyte storage container (plating tank)
135, 135: electrolyte
140, 340: metal foil water detail
150, 350: metal foil drying unit
160: liquid insulating resin storage unit
170: applicator
180, 380: hardened part
190, 390: winding roll
303: point adhesive layer
360: laminating roller
370: film feed roller

Claims (12)

표면에 음극이 구비된 드럼과, 상기 드럼과 마주보도록 배치된 양극과, 상기 드럼의 일부분 및 상기 양극의 적어도 일부분이 침지되는 전해액을 저장하는 저장 용기를 포함하여, 상기 드럼의 표면에 금속박을 생성하기 위한 금속박 생성부;
상기 드럼의 표면에 생성된 금속박 상에 절연수지층을 형성하기 위한 절연수지층 형성부; 및
적어도 하나의 롤러를 포함하여, 상기 드럼으로부터 상기 절연수지층이 형성된 금속박을 박리하는 박리부를 포함하고,
상기 절연수지층 형성부는 상기 드럼 상에서 상기 절연수지층이 형성되도록 배치된 것을 특징으로 하는 박막 FMCL 제조 장치.
A drum having a cathode on its surface, an anode disposed to face the drum, and a storage container for storing a portion of the drum and an electrolyte in which at least a portion of the anode is immersed, thereby generating a metal foil on the surface of the drum a metal foil generating unit for;
an insulating resin layer forming unit for forming an insulating resin layer on the metal foil formed on the surface of the drum; and
including at least one roller, and a peeling part for peeling the metal foil on which the insulating resin layer is formed from the drum;
The thin film FMCL manufacturing apparatus, characterized in that the insulating resin layer forming part is arranged so that the insulating resin layer is formed on the drum.
제1항에 있어서,
상기 금속박 생성부와 상기 절연수지층 형성부 사이에,
상기 드럼 표면에 생성된 금속박을 수세하기 위한 금속박 수세부; 및
수세된 금속박을 건조하기 위한 금속박 건조부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 FMCL 제조 장치.
According to claim 1,
Between the metal foil generating unit and the insulating resin layer forming unit,
a metal foil washing portion for washing the metal foil generated on the surface of the drum; and
Thin film FMCL manufacturing apparatus, characterized in that it further comprises a metal foil drying unit for drying the washed metal foil.
제1항에 있어서,
상기 절연수지층 형성부는 상기 드럼 표면에 생성된 금속박 상에 액상 절연수지를 도포하는 도포부와, 상기 액상 절연수지를 경화시키기 위한 경화부를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 FMCL 제조 장치.
According to claim 1,
The insulating resin layer forming part is a thin film FMCL manufacturing apparatus, characterized in that it comprises a coating part for applying a liquid insulating resin on the metal foil generated on the surface of the drum, and a curing part for curing the liquid insulating resin.
제1항에 있어서,
상기 절연수지층 형성부는 상기 드럼과 맞물려 회전하면서 절연수지층과 점·접착제층을 포함하는 필름을 상기 드럼 표면에 생성된 금속박 상에 라미네이팅하는 라미네이팅용 롤러와, 상기 점·접착제층을 경화시키기 위한 경화부를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 FMCL 제조 장치.
According to claim 1,
The insulating resin layer forming unit rotates in engagement with the drum, and a laminating roller for laminating a film including an insulating resin layer and a point/adhesive layer on the metal foil generated on the surface of the drum, and the point/adhesive layer for curing the Thin film FMCL manufacturing apparatus comprising a hardening part.
제1항에 있어서,
상기 드럼의 외주 표면에는 인쇄회로 패턴에 대응하는 패턴이 형성된 박막 FMCL 제조 장치.
According to claim 1,
A thin film FMCL manufacturing apparatus in which a pattern corresponding to a printed circuit pattern is formed on the outer peripheral surface of the drum.
(a) 전해도금 방식으로 회전하는 드럼 상에 금속박을 생성하는 단계;
(b) 상기 회전하는 드럼 상에 생성된 금속박 상에 절연수지층을 형성하는 단계; 및
(c) 상기 회전하는 드럼으로부터 상기 절연수지층이 형성된 금속박을 박리하는 단계를 포함하고,
상기 금속박이 상기 드럼으로부터 박리되기 전에 상기 드럼 상에서 상기 절연수지층이 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 FMCL 제조 방법.
(a) generating a metal foil on a rotating drum by an electrolytic plating method;
(b) forming an insulating resin layer on the metal foil generated on the rotating drum; and
(c) peeling the metal foil on which the insulating resin layer is formed from the rotating drum,
A thin film FMCL manufacturing method, characterized in that the insulating resin layer is formed on the drum before the metal foil is peeled from the drum.
제6항에 있어서,
상기 (a) 단계는,
생성된 금속박을 수세한 후, 건조하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 FMCL 제조 방법.
7. The method of claim 6,
The step (a) is,
After washing the produced metal foil with water, the thin film FMCL manufacturing method further comprising the step of drying.
제6항에 있어서,
상기 절연수지층을 형성하는 단계는
상기 금속박 상에 액상의 절연수지를 도포한 후, 건조 및 경화하는 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 박막 FMCL 제조 방법.
7. The method of claim 6,
The step of forming the insulating resin layer is
A thin film FMCL manufacturing method, characterized in that it is carried out by applying a liquid insulating resin on the metal foil, followed by drying and curing.
제8항에 있어서,
상기 액상의 절연수지의 도포는 콤마나이프법, 닥터블레이드법, T다이법 및 스프레이법 중에서 선택되는 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 박막 FMCL 제조 방법.
9. The method of claim 8,
The liquid insulating resin is applied by a method selected from a comma knife method, a doctor blade method, a T-die method and a spray method.
제6항에 있어서,
상기 절연수지층을 형성하는 단계는
점·접착제를 이용하여 상기 금속박 상에 절연수지층을 부착하는 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 박막 FMCL 제조 방법.
7. The method of claim 6,
The step of forming the insulating resin layer is
A method for manufacturing a thin film FMCL, characterized in that it is carried out by attaching an insulating resin layer on the metal foil using an adhesive.
제10항에 있어서,
상기 절연수지층의 부착은 상기 드럼과 맞물려 회전하는 라미네이팅용 롤러를 이용하는 것을 특징으로 하는 박막 FMCL 제조 방법.
11. The method of claim 10,
The thin film FMCL manufacturing method, characterized in that the attachment of the insulating resin layer uses a laminating roller that rotates in engagement with the drum.
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