KR102284151B1 - Die pickup module and die bonding apparatus including the same - Google Patents

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Abstract

다이 픽업 모듈과 이를 포함하는 다이 본딩 장치가 개시된다. 상기 다이 픽업 모듈은, 다이싱 테이프 상에 부착된 다이들을 포함하는 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 스테이지와, 상기 다이싱 테이프 아래에 배치되며 픽업하고자 하는 다이를 상방으로 밀어올려 상기 다이를 상기 다이싱 테이프로부터 부분적으로 분리시키는 다이 이젝터와, 상기 다이싱 테이프로부터 부분적으로 분리된 상기 다이의 후면 가장자리 부위를 진공 흡착하기 위한 진공 그리퍼와, 상기 다이를 상기 다이싱 테이프로부터 픽업하기 위하여 상기 진공 그리퍼를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 포함하며, 상기 다이 이젝터는, 타원형의 기둥 형태를 갖고 외주면이 상기 다이싱 테이프의 하부면에 밀착되도록 배치되는 이젝터 부재와, 상기 이젝터 부재를 회전시키거나 수직 및 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 다이를 상방으로 밀어올리는 이젝터 구동부를 포함한다.Disclosed are a die pickup module and a die bonding apparatus including the same. The die pickup module includes: a wafer stage for supporting a wafer including dies attached on a dicing tape; a die ejector for partially separating; a vacuum gripper for vacuum adsorbing a rear edge portion of the die partially separated from the dicing tape; and a vertical driving unit for moving the die ejector, an ejector member having an elliptical column shape and disposed so that an outer circumferential surface is in close contact with a lower surface of the dicing tape, and rotating the ejector member in vertical and horizontal directions and an ejector driving unit that pushes the die upward by moving it.

Description

다이 픽업 모듈 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치{Die pickup module and die bonding apparatus including the same}Die pickup module and die bonding apparatus including the same

본 발명의 실시예들은 다이 픽업 모듈과 이를 포함하는 다이 본딩 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 다이싱 테이프 상에 부착된 다이를 픽업하기 위한 다이 픽업 모듈과 상기 다이 픽업 모듈에 의해 픽업된 다이를 기판 상에 본딩하기 위한 다이 본딩 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a die pickup module and a die bonding apparatus including the same. More particularly, it relates to a die pickup module for picking up a die attached on a dicing tape in a semiconductor device manufacturing process, and a die bonding apparatus for bonding a die picked up by the die pickup module onto a substrate.

일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있다. 상기 반도체 소자들이 형성된 웨이퍼는 다이싱 공정을 통해 복수의 다이들로 개별화될 수 있으며, 상기 다이싱 공정을 통해 개별화된 다이들은 다이 본딩 공정을 통해 리드 프레임, 인쇄회로기판, 반도체 웨이퍼와 같은 기판 상에 본딩될 수 있다.In general, semiconductor devices may be formed on a silicon wafer used as a semiconductor substrate by repeatedly performing a series of manufacturing processes. The wafer on which the semiconductor devices are formed may be individualized into a plurality of dies through a dicing process, and the individual dies through the dicing process are formed on a substrate such as a lead frame, a printed circuit board, and a semiconductor wafer through a die bonding process. can be bonded to

상기 다이 본딩 공정을 수행하기 위한 장치는 상기 다이들로 분할된 웨이퍼로부터 상기 다이들을 픽업하여 분리시키기 위한 다이 픽업 모듈과 상기 픽업된 다이를 기판 상에 부착시키기 위한 다이 본딩 모듈을 포함할 수 있다. 상기 다이 픽업 모듈은 상기 웨이퍼를 지지하는 스테이지 유닛과 상기 스테이지 유닛에 지지된 웨이퍼로부터 선택적으로 다이를 분리시키기 위한 다이 이젝터와 상기 웨이퍼로부터 상기 다이를 픽업하여 상기 다이 본딩 모듈로 전달하기 위한 피커를 포함할 수 있다. 상기 다이 본딩 모듈은 상기 기판을 지지하기 위한 기판 스테이지와 상기 다이를 진공 흡착하고 상기 기판 상에 본딩하기 위한 본딩 헤드를 포함할 수 있다.The apparatus for performing the die bonding process may include a die pickup module for picking up and separating the dies from the wafer divided into the dies, and a die bonding module for attaching the picked up die on a substrate. The die pickup module includes a stage unit for supporting the wafer, a die ejector for selectively separating a die from a wafer supported on the stage unit, and a picker for picking up the die from the wafer and transferring the die to the die bonding module can do. The die bonding module may include a substrate stage for supporting the substrate and a bonding head for vacuum adsorbing the die and bonding the die onto the substrate.

최근 반도체 소자들의 집적도가 증가함에 따라 상기 다이 상의 패드 피치가 점차 감소되고 있으며, 상기 다이 본딩 공정에서 상기 기판 상에 본딩되는 상기 다이의 전면 부위가 오염되는 문제가 해결되어야 할 과제로서 부각되고 있다. 특히, 적층형 반도체 소자의 제조를 위한 TSV(Through Silicon Via) 본딩 공정의 경우 상기 다이의 전면 상에는 복수의 전극 패드들이 배치될 수 있으며, 상기 피커에 의해 상기 웨이퍼로부터 픽업되는 과정에서 접촉에 의한 오염 문제가 발생될 수 있다.Recently, as the degree of integration of semiconductor devices increases, the pad pitch on the die is gradually reduced, and the problem of contamination of the front surface of the die bonded to the substrate in the die bonding process is highlighted as a problem to be solved. In particular, in the case of a TSV (Through Silicon Via) bonding process for manufacturing a multilayer semiconductor device, a plurality of electrode pads may be disposed on the front surface of the die, and a problem of contamination due to contact in the process of being picked up from the wafer by the picker may occur.

대한민국 공개특허공보 제10-2019-0034858호 (공개일자 2019년 04월 03일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2019-0034858 (published on April 03, 2019)

본 발명의 실시예들은 다이 픽업 과정에서 다이의 오염을 방지할 수 있는 다이 픽업 모듈 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide a die pickup module capable of preventing contamination of a die during a die pickup process, and a die bonding apparatus including the same.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 다이 픽업 모듈은, 다이싱 테이프 상에 부착된 다이들을 포함하는 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 스테이지와, 상기 다이싱 테이프 아래에 배치되며 픽업하고자 하는 다이를 상방으로 밀어올려 상기 다이를 상기 다이싱 테이프로부터 부분적으로 분리시키는 다이 이젝터와, 상기 다이싱 테이프로부터 부분적으로 분리된 상기 다이의 후면 가장자리 부위를 진공 흡착하기 위한 진공 그리퍼와, 상기 다이를 상기 다이싱 테이프로부터 픽업하기 위하여 상기 진공 그리퍼를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 포함할 수 있으며, 상기 다이 이젝터는, 타원형의 기둥 형태를 갖고 외주면이 상기 다이싱 테이프의 하부면에 밀착되도록 배치되는 이젝터 부재와, 상기 이젝터 부재를 회전시키거나 수직 및 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 다이를 상방으로 밀어올리는 이젝터 구동부를 포함할 수 있다.A die pickup module according to an aspect of the present invention for achieving the above object includes a wafer stage for supporting a wafer including dies attached on a dicing tape, and a die to be picked up disposed under the dicing tape. a die ejector for partially separating the die from the dicing tape by pushing it upward; a vacuum gripper for vacuum adsorbing a rear edge portion of the die partially separated from the dicing tape; and a vertical driving unit for vertically moving the vacuum gripper to pick it up from the tape, wherein the die ejector has an elliptical columnar shape and an ejector member disposed so that an outer circumferential surface of the vacuum gripper is in close contact with a lower surface of the dicing tape and an ejector driving unit configured to push up the die upward by rotating the ejector member or moving the ejector member in vertical and horizontal directions.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 다이 이젝터는, 상기 이젝터 부재가 삽입되는 개구와 상기 다이싱 테이프를 진공 흡착하기 위한 진공홀들을 갖는 상부 패널과, 상기 상부 패널과 결합되며 상기 진공홀들과 연통하는 진공 챔버를 형성하는 이젝터 본체를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, the die ejector includes an upper panel having an opening into which the ejector member is inserted and vacuum holes for vacuum adsorbing the dicing tape, and is coupled to the upper panel and includes the vacuum holes. It may further include an ejector body defining a vacuum chamber in communication therewith.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이젝터 부재는 상기 이젝터 부재의 단경(짧은 지름)이 수직 방향으로 정렬되고 상기 이젝터 부재의 외주면이 상기 다이싱 테이프의 하부면 상에 밀착되도록 배치되며, 상기 이젝터 구동부는 상기 이젝터 부재의 장경(긴 지름)이 수직 방향으로 위치되도록 상기 이젝터 부재를 회전시킬 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the ejector member is disposed so that a minor diameter (shorter diameter) of the ejector member is vertically aligned and an outer circumferential surface of the ejector member is in close contact with the lower surface of the dicing tape, The ejector driving unit may rotate the ejector member so that a long diameter (longer diameter) of the ejector member is positioned in a vertical direction.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이젝터 구동부는 상기 이젝터 부재를 적어도 한 바퀴 이상 회전시킬 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, the ejector driving unit may rotate the ejector member by at least one rotation.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이젝터 부재는 상기 이젝터 부재의 장경이 수직 방향으로 정렬되고 상기 이젝터 부재의 외주면이 상기 다이싱 테이프의 하부면 상에 밀착되도록 배치되며, 상기 이젝터 구동부는 상기 이젝터 부재를 수직 방향으로 상승시키고 수평 방향으로 이동시킬 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the ejector member is arranged such that the long axis of the ejector member is vertically aligned and the outer circumferential surface of the ejector member is in close contact with the lower surface of the dicing tape, and the ejector driving unit is the The ejector member may be raised in a vertical direction and moved in a horizontal direction.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이젝터 구동부는 상기 이젝터 부재를 상기 수평 방향으로 적어도 한 번 이상 왕복 이동시킬 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, the ejector driving unit may reciprocate the ejector member at least once in the horizontal direction.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이젝터 구동부는 상기 이젝터 부재를 수직 방향으로 상승시키면서 동시에 상기 수평 방향으로 왕복 이동시키며 상기 이젝터 부재의 상승 및 왕복 이동 후 상기 다이의 중심 부위가 상기 이젝터 부재에 의해 지지되도록 상기 이젝터 부재를 위치시킬 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the ejector driving unit raises the ejector member in the vertical direction and simultaneously reciprocates in the horizontal direction. The ejector member may be positioned to be supported by the

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 다이 픽업 모듈은, 상기 진공 그리퍼에 의해 픽업된 다이를 반전시키기 위하여 상기 진공 그리퍼를 반전시키는 반전 구동부를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the die pickup module may further include a reversing driving unit for inverting the vacuum gripper in order to invert the die picked up by the vacuum gripper.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 진공 그리퍼는, 포크 형태로 구성되는 그리퍼 암을 포함하며, 상기 그리퍼 암은 상기 다이의 후면 가장자리 부위들을 진공 흡착하기 위한 진공홀을 갖는 핑거 부재들을 구비할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the vacuum gripper may include a gripper arm configured in a fork shape, and the gripper arm may include finger members having a vacuum hole for vacuum adsorbing rear edge portions of the die. can

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 핑거 부재들은 상기 다이가 상기 다이싱 테이프로부터 분리되도록 상기 다이의 후면에 부착된 상기 다이싱 테이프 부위를 향하여 공기를 분사하는 공기 분사 노즐을 가질 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the finger members may have an air jet nozzle that jets air toward a portion of the dicing tape attached to the rear surface of the die so that the die is separated from the dicing tape.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 진공 그리퍼는, 상기 다이의 후면 가장자리 부위들을 진공 흡착하기 위한 한 쌍의 그리퍼 암들과, 상기 그리퍼 암들을 서로 가까워지는 방향 그리고 서로 멀어지는 방향으로 이동시키기 위한 그리퍼 구동부를 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the vacuum gripper includes a pair of gripper arms for vacuum adsorbing rear edge portions of the die, and a gripper for moving the gripper arms in a direction toward and away from each other. It may include a driving unit.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 다이 픽업 모듈은, 상기 다이와 마주하도록 상기 다이의 상부에 배치되며 상기 다이를 향하여 하방으로 공기를 분사하는 제2 공기 분사 노즐을 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, the die pickup module may further include a second air jet nozzle disposed on the die to face the die and jetting air downward toward the die.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 다이 본딩 장치는, 다이싱 테이프 상에 부착된 다이들을 포함하는 웨이퍼로부터 픽업하고자 하는 다이를 픽업하고 상기 픽업된 다이를 반전시키는 다이 픽업 모듈과, 상기 다이 픽업 모듈에 의해 반전된 다이를 기판 상에 본딩하기 위한 다이 본딩 모듈을 포함할 수 있다. 상기 다이 픽업 모듈은, 상기 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 스테이지와, 상기 다이싱 테이프 아래에 배치되며 픽업하고자 하는 다이를 상방으로 밀어올려 상기 다이를 상기 다이싱 테이프로부터 부분적으로 분리시키는 다이 이젝터와, 상기 다이싱 테이프로부터 부분적으로 분리된 상기 다이의 후면 가장자리 부위를 진공 흡착하기 위한 진공 그리퍼와, 상기 다이를 상기 다이싱 테이프로부터 픽업하기 위하여 상기 진공 그리퍼를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부와, 상기 다이를 반전시키기 위하여 상기 진공 그리퍼를 반전시키는 반전 구동부를 포함하며, 상기 다이 이젝터는, 타원형의 기둥 형태를 갖고 외주면이 상기 다이싱 테이프의 하부면에 밀착되도록 배치되는 이젝터 부재와, 상기 이젝터 부재를 회전시키거나 수직 및 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 다이를 상방으로 밀어올리는 이젝터 구동부를 포함할 수 있다.A die bonding apparatus according to another aspect of the present invention for achieving the above object includes: a die pickup module for picking up a die to be picked up from a wafer including dies attached on a dicing tape and inverting the picked up die; and a die bonding module for bonding the die inverted by the die pickup module onto the substrate. The die pickup module includes: a wafer stage supporting the wafer; a die ejector disposed under the dicing tape and pushing up a die to be picked up to partially separate the die from the dicing tape; a vacuum gripper for vacuum adsorbing a rear edge portion of the die partially separated from the dicing tape; a vertical drive unit for vertically moving the vacuum gripper to pick up the die from the dicing tape; and a reversing driving unit for inverting the vacuum gripper to invert, wherein the die ejector includes an ejector member having an elliptical columnar shape and disposed so that an outer circumferential surface is in close contact with the lower surface of the dicing tape, and rotating the ejector member Or it may include an ejector driving unit that pushes the die upward by moving it in vertical and horizontal directions.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 다이 이젝터는 타원형 기둥 형태를 갖는 이젝터 부재를 회전시키거나 수직 및 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 다이를 상기 다이싱 테이프로부터 부분적으로 분리시킬 수 있으며, 상기 진공 그리퍼는 상기 다이 이젝터에 의해 상기 다이의 후면 가장자리 부위가 상기 다이싱 테이프로부터 분리된 후 상기 다이의 후면 가장자리 부위를 진공 흡착할 수 있다. 특히, 상기 다이 이젝터는 상기 이젝터 부재를 여러 바퀴 회전시키거나 수평 방향으로 왕복 이동시킴으로써 상기 다이를 상기 다이싱 테이프로부터 충분히 분리시킬 수 있으며, 이어서 상기 진공 그리퍼와 상기 수직 구동부에 의해 상기 다이가 상기 다이싱 테이프로부터 픽업될 수 있다. 상기와 같이 픽업된 다이는 상기 반전 구동부에 의해 반전된 후 상기 다이 본딩 모듈에 의해 픽업되어 상기 기판 상에 본딩될 수 있다. 상기와 같이 다이의 후면 가장자리 부위를 진공 흡착하여 상기 다이를 픽업할 수 있으므로 상기 다이의 전면 부위 오염을 방지할 수 있으며, 이에 따라 상기 다이의 전면 부위 오염에 의한 본딩 불량 또는 오염에 의한 전극 패드들 사이의 전기적인 결함이 충분히 방지될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the die ejector can partially separate the die from the dicing tape by rotating an ejector member having an elliptical column shape or moving it in vertical and horizontal directions, The vacuum gripper may vacuum the rear edge of the die after the rear edge of the die is separated from the dicing tape by the die ejector. In particular, the die ejector can sufficiently separate the die from the dicing tape by rotating the ejector member several times or reciprocating in the horizontal direction, and then the vacuum gripper and the vertical drive unit allow the die to move the die. It can be picked up from a singe tape. The die picked up as described above may be inverted by the inversion driving unit and then picked up by the die bonding module and bonded to the substrate. As described above, since the die can be picked up by vacuum adsorbing the rear edge portion of the die, contamination of the front portion of the die can be prevented. An electrical fault between them can be sufficiently prevented.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이 픽업 모듈 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 2는 도 1에 도시된 다이 픽업 모듈을 설명하기 위한 개략도이다.
도 3은 도 2에 도시된 진공 그리퍼를 설명하기 위한 개략도이다.
도 4는 도 3에 도시된 그리퍼 암들을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 5는 도 2에 도시된 다이 이젝터를 설명하기 위한 개략적인 확대 단면도이다.
도 6 내지 도 8은 도 2에 도시된 다이 이젝터와 진공 그리퍼를 이용하여 다이를 픽업하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 확대 단면도들이다.
도 9는 도 6에 도시된 진공 그리퍼의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 확대 단면도이다.
도 10은 도 5에 도시된 다이 이젝터의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 확대 단면도이다.
도 11은 도 10에 도시된 다이 이젝터의 동작을 설명하기 위한 개략적인 확대 단면도이다.1 is a schematic diagram illustrating a die pickup module and a die bonding apparatus including the same according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic diagram for explaining the die pickup module shown in FIG. 1 .
FIG. 3 is a schematic diagram for explaining the vacuum gripper shown in FIG. 2 .
FIG. 4 is a schematic plan view for explaining the gripper arms shown in FIG. 3 .
FIG. 5 is a schematic enlarged cross-sectional view for explaining the die ejector shown in FIG. 2 .
6 to 8 are schematic enlarged cross-sectional views for explaining a method of picking up a die using the die ejector and the vacuum gripper shown in FIG. 2 .
9 is a schematic enlarged cross-sectional view for explaining another example of the vacuum gripper shown in FIG. 6 .
10 is a schematic enlarged cross-sectional view for explaining another example of the die ejector shown in FIG.
11 is a schematic enlarged cross-sectional view for explaining the operation of the die ejector shown in FIG.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to fully convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than to enable the present invention to be fully completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. could be Alternatively, where one element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Although the terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or portions, the items are not limited by these terms. will not

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as understood by one of ordinary skill in the art of the present invention. The above terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be interpreted as having meanings consistent with their meanings in the context of the relevant art and description of the present invention, ideally or excessively outwardly intuitive, unless clearly defined. will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, changes from the shapes of the diagrams, eg, changes in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be fully expected. Accordingly, embodiments of the present invention are not to be described as being limited to the specific shapes of the areas described as diagrams, but rather to include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes It is not intended to describe the precise shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이 픽업 모듈 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치를 설명하기 위한 개략도이며, 도 2는 도 1에 도시된 다이 픽업 모듈을 설명하기 위한 개략도이다.1 is a schematic diagram illustrating a die pickup module and a die bonding apparatus including the same according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram illustrating the die pickup module illustrated in FIG. 1 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 다이 픽업 모듈(100)과 이를 포함하는 다이 본딩 장치(10)는 반도체 장치의 제조 공정에서 다이싱 공정에 의해 개별화된 다이들(22)을 픽업하여 리드 프레임, 인쇄회로기판, 반도체 웨이퍼 등과 같은 기판(30) 상에 본딩하기 위해 사용될 수 있다.1 and 2 , the die pickup module 100 and the die bonding apparatus 10 including the same according to an embodiment of the present invention include individual dies ( 22) and may be used for bonding to a substrate 30 such as a lead frame, a printed circuit board, a semiconductor wafer, or the like.

상기 다이 본딩 장치(10)는, 상기 다이들(22)을 포함하는 웨이퍼(20)로부터 픽업하고자 하는 다이(22)를 픽업하고 상기 픽업된 다이(22)를 반전시키는 다이 픽업 모듈(100)과, 상기 다이 픽업 모듈(100)에 의해 반전된 다이(22)를 기판(30) 상에 본딩하기 위한 다이 본딩 모듈(500)을 포함할 수 있다.The die bonding apparatus 10 includes a die pickup module 100 that picks up a die 22 to be picked up from a wafer 20 including the dies 22 and inverts the picked up die 22 ; , a die bonding module 500 for bonding the die 22 inverted by the die pickup module 100 on the substrate 30 .

상기 웨이퍼(20)는 다이싱 공정에 의해 개별화된 다이들(22)을 포함할 수 있으며, 상기 다이들(22)은 다이싱 테이프(24)에 부착된 상태로 제공될 수 있다. 특히, 상기 다이들(22)은 전면이 위를 향하도록 상기 다이들(22)의 후면이 상기 다이싱 테이프(24) 상에 부착될 수 있으며, 상기 다이싱 테이프(24)는 대략 원형 링 형태의 마운트 프레임(26)에 장착될 수 있다.The wafer 20 may include individual dies 22 by a dicing process, and the dies 22 may be provided while being attached to a dicing tape 24 . In particular, the dies 22 may have a rear surface of the dies 22 attached to the dicing tape 24 so that the front surface faces upward, and the dicing tape 24 has a substantially circular ring shape. It can be mounted on the mount frame 26 of the.

상기 다이 픽업 모듈(100)은 상기 웨이퍼(20)를 지지하는 웨이퍼 스테이지(110)와, 상기 다이싱 테이프(24) 아래에 배치되며 상기 다이(22)를 상기 다이싱 테이프(24)로부터 부분적으로 분리시키기 위해 상기 다이(22)를 상방으로 밀어올리는 다이 이젝터(200)와, 상기 다이(22)의 전면 부위 오염을 방지하기 위하여 상기 다이(22)의 전면과 접촉되지 않도록 상기 다이싱 테이프(24)로부터 분리된 상기 다이(22)의 후면 가장자리 부위를 진공 흡착하기 위한 진공 그리퍼(300)와, 상기 다이(22)를 상기 다이싱 테이프(24)로부터 픽업하기 위하여 상기 진공 그리퍼(300)를 수직 방향으로 이동시키는 수직 구동부(400)와, 상기 다이(22)를 반전시키기 위하여 즉 상기 다이(22)의 전면이 아래를 향하고 후면이 위를 향하도록 상기 진공 그리퍼(300)를 반전시키는 반전 구동부(410)를 포함할 수 있다.The die pickup module 100 includes a wafer stage 110 that supports the wafer 20 , and is disposed under the dicing tape 24 and partially removes the die 22 from the dicing tape 24 . The die ejector 200 pushes up the die 22 to separate it, and the dicing tape 24 does not come into contact with the front surface of the die 22 to prevent contamination of the front surface of the die 22 . ), a vacuum gripper 300 for vacuum adsorbing the rear edge portion of the die 22 separated from the a vertical driving unit 400 for moving in the direction 410) may be included.

상기 다이 본딩 모듈(500)은 상기 기판(30)을 지지하기 위한 기판 스테이지(510)와, 상기 반전된 다이(22)를 상기 진공 그리퍼(300)로부터 픽업하여 상기 기판(30) 상에 본딩하기 위한 본딩 헤드(520)와, 상기 다이(22)를 픽업하고 상기 다이(22)를 상기 기판(30) 상에 본딩하기 위하여 본딩 헤드(520)를 수직 및 수평 방향으로 이동시키기 위한 헤드 구동부(미도시)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 다이 픽업 모듈(100)은 상기 다이(22)를 상기 다이 본딩 모듈(500)에 인접하는 위치로 이동시키기 위한 수평 구동부(420)를 포함할 수 있으며, 상기 헤드 구동부는 상기 수평 구동부(420)에 의해 이송된 상기 다이(22)를 픽업하여 상기 기판(30) 상에 본딩하기 위해 상기 본딩 헤드(520)를 수직 및 수평 방향으로 이동시킬 수 있다.The die bonding module 500 includes a substrate stage 510 for supporting the substrate 30 , and bonding the inverted die 22 from the vacuum gripper 300 to the substrate 30 . a bonding head 520 for picking up the die 22 and a head driving unit (not shown) for moving the bonding head 520 in vertical and horizontal directions to pick up the die 22 and bond the die 22 onto the substrate 30 . city) may be included. As an example, the die pickup module 100 may include a horizontal driving unit 420 for moving the die 22 to a position adjacent to the die bonding module 500 , and the head driving unit may include the horizontal driving unit. The bonding head 520 may be moved in vertical and horizontal directions to pick up the die 22 transferred by the driving unit 420 and bond the die 22 to the substrate 30 .

한편, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 본딩 헤드(520)는 상기 반전된 다이(22)의 후면을 진공 흡착하기 위한 본딩 툴(미도시)을 구비할 수 있으며, 상기 본딩 툴은 상기 반전된 다이(22)의 후면을 진공 흡착하기 위한 진공홀을 구비할 수 있다. 상기 다이(22)는 상기 진공 그리퍼(300)에 의해 후면 가장자리 부위가 진공 흡착된 후 상기 수직 구동부(400)에 의해 픽업될 수 있으며 이어서 상기 반전 구동부(410)에 의해 반전될 수 있으므로, 상기 기판(30) 상에 본딩되는 상기 다이(22)의 전면 오염이 충분히 방지될 수 있다.On the other hand, although not shown in detail, the bonding head 520 may include a bonding tool (not shown) for vacuum adsorbing the back surface of the inverted die 22, and the bonding tool is the inverted die ( 22) may be provided with a vacuum hole for vacuum adsorption of the rear surface. The die 22 may be picked up by the vertical driving unit 400 after the rear edge portion is vacuum-adsorbed by the vacuum gripper 300 and then inverted by the inverting driving unit 410, so that the substrate Contamination of the front surface of the die 22 bonded on the 30 can be sufficiently prevented.

도 2를 참조하면, 상기 웨이퍼 스테이지(110) 상에는 상기 다이싱 테이프(24)를 지지하기 위한 서포트 링(112)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 서포트 링(112)은 상기 다이들(22)과 상기 마운트 프레임(26) 사이에서 상기 다이싱 테이프(24)를 지지할 수 있다. 또한, 상기 웨이퍼 스테이지(110) 상에는 상기 마운트 프레임(26)을 파지하기 위한 클램프들(114)이 배치될 수 있다. 상기 클램프들(114)은 클램프 구동부(미도시)에 의해 하방으로 이동될 수 있으며, 이에 의해 상기 다이들(22)의 픽업이 용이하도록 상기 다이싱 테이프(24)가 충분히 확장될 수 있다.Referring to FIG. 2 , a support ring 112 for supporting the dicing tape 24 may be disposed on the wafer stage 110 . For example, the support ring 112 may support the dicing tape 24 between the dies 22 and the mount frame 26 . In addition, clamps 114 for gripping the mount frame 26 may be disposed on the wafer stage 110 . The clamps 114 may be moved downward by a clamp driver (not shown), whereby the dicing tape 24 may be sufficiently expanded to facilitate pickup of the dies 22 .

상기 웨이퍼 스테이지(110) 상에 지지된 상기 다이싱 테이프(24)의 아래에는 상기 다이들(22)을 상기 다이싱 테이프(24)로부터 분리시키기 위한 다이 이젝터(200)가 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 다이 이젝터(200)는 이젝터 부재(210; 도 5 참조)를 이용하여 픽업하고자 하는 다이(22)를 상승시킴으로써 상기 다이(22)를 상기 다이싱 테이프(24)로부터 부분적으로 분리시킬 수 있다. 특히, 상기 이젝터 부재(210)에 의해 상기 다이(22)의 후면 가장자리 부위가 상기 다이싱 테이프(24)로부터 분리될 수 있으며, 상기 진공 그리퍼(300)는 상기 다이(22)의 후면 가장자리 부위를 진공 흡착하고, 상기 수직 구동부(400)는 상기 다이(22)를 픽업하기 위해 상기 진공 그리퍼(300)를 상승시킬 수 있다.A die ejector 200 for separating the dies 22 from the dicing tape 24 may be disposed under the dicing tape 24 supported on the wafer stage 110 . For example, the die ejector 200 partially separates the die 22 from the dicing tape 24 by raising the die 22 to be picked up using an ejector member 210 (refer to FIG. 5 ). can do it In particular, the rear edge portion of the die 22 may be separated from the dicing tape 24 by the ejector member 210 , and the vacuum gripper 300 grips the rear edge portion of the die 22 . After vacuum adsorption, the vertical driving unit 400 may raise the vacuum gripper 300 to pick up the die 22 .

도 3은 도 2에 도시된 진공 그리퍼를 설명하기 위한 개략도이고, 도 4는 도 3에 도시된 그리퍼 암들을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.3 is a schematic diagram for explaining the vacuum gripper shown in FIG. 2 , and FIG. 4 is a schematic plan view for explaining the gripper arms shown in FIG. 3 .

도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 진공 그리퍼(300)는 포크 형태로 구성되는 그리퍼 암(302)을 포함할 수 있으며, 상기 그리퍼 암(302)은 상기 다이(22)의 후면 가장자리 부위들을 진공 흡착하기 위한 진공홀(306)을 갖는 핑거 부재들(304)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 진공 그리퍼(300)는 상기 다이(22)의 후면 가장자리 부위들을 진공 흡착하기 위한 한 쌍의 그리퍼 암들(302)과, 상기 그리퍼 암들(302)을 서로 가까워지는 방향 그리고 서로 멀어지는 방향으로 이동시키기 위한 그리퍼 구동부(310)를 포함할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 그리퍼 구동부(310)는 회전력을 제공하는 모터와, 랙과 피니언 등의 동력 전달 기구 또는 공압 실린더 등을 이용하여 구성될 수 있다. 그러나, 상기 그리퍼 구동부(310)의 세부 구성은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.3 and 4 , the vacuum gripper 300 may include a gripper arm 302 configured in a fork shape, and the gripper arm 302 vacuums the rear edge portions of the die 22 . It may include finger members 304 having vacuum holes 306 for adsorption. As an example, the vacuum gripper 300 includes a pair of gripper arms 302 for vacuum adsorbing rear edge portions of the die 22, and the gripper arms 302 in a direction toward and away from each other. It may include a gripper driving unit 310 for moving it. Although not shown in detail, the gripper driving unit 310 may be configured using a motor providing rotational force, a power transmission mechanism such as a rack and pinion, or a pneumatic cylinder. However, since the detailed configuration of the gripper driving unit 310 can be changed in various ways, the scope of the present invention will not be limited thereby.

또한, 일 예로서, 상기 그리퍼 암(302)은 상기 다이(22)의 후면 가장자리 부위들을 진공 흡착하기 위한 한 쌍의 핑거 부재들(304)을 구비할 수 있으며, 각각의 핑거 부재들(304)은 상기 다이(22)의 후면 가장자리 부위를 파지하기 위한 진공홀(306)을 구비할 수 있다. 특히, 상기 그리퍼 암(302)의 핑거 부재들(304)은 상기 다이(22)가 상기 다이싱 테이프(24)로부터 분리되도록 상기 다이(22)의 후면에 부착된 상기 다이싱 테이프(24) 부위를 향하여 공기를 분사하는 공기 분사 노즐(308)을 가질 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 진공홀(306)은 진공 배관을 통해 진공 펌프 등의 진공 제공부(미도시)와 연결될 수 있으며, 상기 공기 분사 노즐(308)은 공기 배관을 통해 압축 공기 탱크 등의 공기 제공부(미도시)와 연결될 수 있다.Also, as an example, the gripper arm 302 may include a pair of finger members 304 for vacuum adsorbing the rear edge portions of the die 22 , each of the finger members 304 . may include a vacuum hole 306 for gripping a rear edge portion of the die 22 . In particular, the finger members 304 of the gripper arm 302 are part of the dicing tape 24 attached to the rear surface of the die 22 so that the die 22 is separated from the dicing tape 24 . It may have an air spray nozzle 308 for spraying air toward. Although not shown, the vacuum hole 306 may be connected to a vacuum providing unit (not shown) such as a vacuum pump through a vacuum pipe, and the air jet nozzle 308 may be connected to air such as a compressed air tank through an air pipe. It may be connected to a provider (not shown).

도 5는 도 2에 도시된 다이 이젝터를 설명하기 위한 개략적인 확대 단면도이며, 도 6 내지 도 8은 도 2에 도시된 다이 이젝터와 진공 그리퍼를 이용하여 다이를 픽업하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 확대 단면도들이다.5 is a schematic enlarged cross-sectional view for explaining the die ejector shown in FIG. 2, and FIGS. 6 to 8 are schematic for explaining a method of picking up a die using the die ejector and the vacuum gripper shown in FIG. These are enlarged cross-sectional views.

도 5를 참조하면, 상기 다이 이젝터(200)는 상기 다이(22)를 상방으로 밀어올리기 위한 이젝터 부재(210)를 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이젝터 부재(210)는 타원형의 기둥 형태를 갖고 외주면이 상기 다이싱 테이프(24)의 하부면에 밀착되도록 배치될 수 있다. 특히, 상기 이젝터 부재(210)는 도시된 바와 같이 단경(짧은 지름)이 수직 방향으로 정렬되고 장경(긴 지름)이 수평 방향으로 정렬된 상태에서 상기 다이싱 테이프(24)의 하부면이 밀착되도록 배치될 수 있다.Referring to FIG. 5 , the die ejector 200 may include an ejector member 210 for pushing up the die 22 upward. According to an embodiment of the present invention, the ejector member 210 may have an elliptical column shape and may be disposed so that an outer circumferential surface of the ejector member 210 is in close contact with the lower surface of the dicing tape 24 . In particular, the ejector member 210 is configured such that the lower surface of the dicing tape 24 is in close contact with the ejector member 210 in a state in which the minor diameter (short diameter) is aligned in the vertical direction and the long diameter (long diameter) is aligned in the horizontal direction, as shown. can be placed.

상기 다이 이젝터(210)는 상기 이젝터 부재(210)의 장경이 수직 방향으로 위치되도록 상기 이젝터 부재(210)를 회전시킴으로써 상기 다이(22)를 상승시키고 이를 통해 상기 다이(22)를 상기 다이싱 테이프(24)로부터 부분적으로 분리시키는 이젝터 구동부(220)를 포함할 수 있다. 특히, 상기 이젝터 구동부(220)는 상기 이젝터 부재(210)를 적어도 한 바퀴 이상 회전시킬 수 있으며, 상기 이젝터 부재(210)의 회전이 종료된 후 상기 이젝터 부재(210)의 장경이 수직 방향으로 위치되도록 할 수 있으며, 이를 통해 상기 다이(22)가 상승된 상태에서 상기 다이(22)의 중심 부위가 상기 이젝터 부재(210)에 의해 지지되도록 할 수 있다. 이 경우, 최종적으로 상기 다이(22)의 후면 중심 부위만 상기 다이싱 테이프(24) 상에 부착된 상태가 될 수 있으며, 또한 상기 이젝터 부재(210)가 수 바퀴 회전되는 경우 상기 다이(22)와 상기 다이싱 테이프(24) 사이의 부착력이 충분히 감소될 수 있다.The die ejector 210 raises the die 22 by rotating the ejector member 210 so that the major axis of the ejector member 210 is positioned in the vertical direction, and thereby lifts the die 22 with the dicing tape. It may include an ejector driver 220 that is partially separated from the 24 . In particular, the ejector driving unit 220 may rotate the ejector member 210 by at least one turn, and after the rotation of the ejector member 210 is finished, the long axis of the ejector member 210 is positioned in the vertical direction. In this way, the central portion of the die 22 may be supported by the ejector member 210 while the die 22 is raised. In this case, only the rear center portion of the die 22 may be finally attached to the dicing tape 24, and when the ejector member 210 is rotated several times, the die 22 and the adhesive force between the dicing tape 24 can be sufficiently reduced.

또한, 상기 다이 이젝터(200)는, 상기 이젝터 부재(210)가 삽입되는 개구(232)와 상기 다이싱 테이프(24)를 진공 흡착하기 위한 진공홀들(234)을 갖는 상부 패널(230)과, 상기 상부 패널(230)과 결합되며 상기 진공홀들(234)과 연통하는 진공 챔버(242)를 형성하는 이젝터 본체(240)를 포함할 수 있다. 상기 이젝터 본체(240)는 진공 펌프 또는 진공 이젝터와 같은 진공 제공부(미도시)에 연결될 수 있으며, 상기 이젝터 구동부(220)는 상기 이젝터 본체(240) 내에 배치될 수 있다. 그러나, 도시된 바와 다르게, 상기 이젝터 구동부(220)는 상기 이젝터 본체(240) 하부에 배치되어 상기 이젝터 본체(240)를 관통하여 상기 이젝터 부재와 연결될 수도 있다.In addition, the die ejector 200 includes an upper panel 230 having an opening 232 into which the ejector member 210 is inserted and vacuum holes 234 for vacuum adsorbing the dicing tape 24 ; , may include an ejector body 240 coupled to the upper panel 230 and forming a vacuum chamber 242 communicating with the vacuum holes 234 . The ejector body 240 may be connected to a vacuum providing unit (not shown) such as a vacuum pump or a vacuum ejector, and the ejector driving unit 220 may be disposed in the ejector body 240 . However, unlike the drawings, the ejector driving unit 220 may be disposed under the ejector body 240 to pass through the ejector body 240 and be connected to the ejector member.

도 6을 참조하면, 상기 진공 그리퍼(300)는 상기 수직 구동부(400)에 의해 하강될 수 있으며, 특히 상기 핑거 부재들(304)이 상기 이젝터 부재(210)에 의해 상승된 상기 다이(22)보다 낮게 위치되도록 하강될 수 있다. 상기 진공 그리퍼(300)의 하강 후 상기 핑거 부재들(304)에 구비된 상기 공기 분사 노즐들(308)은 상기 다이(22)의 후면 부위에 부착된 상기 다이싱 테이프(24)를 향하여 공기를 분사할 수 있으며, 이에 의해 상기 다이(22)가 보다 용이하게 상기 다이싱 테이프(24)로부터 분리될 수 있다.Referring to FIG. 6 , the vacuum gripper 300 may be lowered by the vertical driving unit 400 , and in particular, the die 22 in which the finger members 304 are raised by the ejector member 210 . It can be lowered to be positioned lower. After the vacuum gripper 300 is lowered, the air jet nozzles 308 provided on the finger members 304 blow air toward the dicing tape 24 attached to the rear surface of the die 22 . can be jetted, whereby the die 22 can be more easily separated from the dicing tape 24 .

도 7을 참조하면, 상기 그리퍼 구동부(310)는 상기 핑거 부재들(304)이 상기 다이(22)의 후면 가장자리 부위들과 마주하도록 상기 그리퍼 암들(302)을 서로 가까워지는 방향으로 이동시킬 수 있으며, 이어서 상기 수직 구동부(400)는 상기 핑거 부재들(304)의 상부면이 상기 다이(22)의 후면 가장자리 부위와 접촉되도록 상기 진공 그리퍼(300)를 상승시킬 수 있다. 계속해서, 상기 진공 그리퍼(300)는 상기 핑거 부재들(304)에 구비된 진공홀들(306)을 이용하여 상기 다이(22)의 후면 가장자리 부위를 진공 흡착할 수 있다.Referring to FIG. 7 , the gripper driving unit 310 may move the gripper arms 302 closer to each other so that the finger members 304 face the rear edge portions of the die 22 . Then, the vertical driving unit 400 may raise the vacuum gripper 300 so that the upper surfaces of the finger members 304 come into contact with the rear edge of the die 22 . Subsequently, the vacuum gripper 300 may vacuum adsorb the rear edge of the die 22 using the vacuum holes 306 provided in the finger members 304 .

도 8을 참조하면, 상기 이젝터 부재(210)의 회전이 종료된 후 상기 수직 구동부(400)는 상기 진공 그리퍼(300)를 소정 높이로 상승시킴으로써 상기 다이(22)를 픽업할 수 있으며, 상기 반전 구동부(410)는 상기 다이(22)의 후면이 위를 향하도록 상기 진공 그리퍼(300)를 반전시킬 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 수평 구동부(420)는 상기 반전된 다이(22)를 상기 다이 본딩 모듈(500)에 전달하기 위해 상기 진공 그리퍼(300)를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 본딩 헤드(520)는 상기 다이(22)를 픽업하기 위해 상기 수평 구동부(420)에 의해 이송된 상기 다이(22)의 후면을 진공 흡착할 수 있다. 이어서, 상기 핑거 부재들(304)에 의한 상기 다이(22)의 진공 흡착 상태가 해제될 수 있으며, 상기 그리퍼 구동부(310)가 상기 그리퍼 암들(322)이 서로 멀어지는 방향으로 상기 그리퍼 암들(302)을 이동시킴으로써 상기 다이(22)의 전달이 완료될 수 있다. 상기와 같이 다이(22)가 전달된 후 상기 본딩 헤드(520)는 상기 다이(22)의 전면이 상기 기판(30) 상에 부착되도록 상기 다이(22)를 본딩할 수 있다.Referring to FIG. 8 , after the rotation of the ejector member 210 is finished, the vertical driving unit 400 may pick up the die 22 by raising the vacuum gripper 300 to a predetermined height, and the inversion The driving unit 410 may invert the vacuum gripper 300 so that the rear surface of the die 22 faces upward. Although not shown, the horizontal driving unit 420 may horizontally move the vacuum gripper 300 to transfer the inverted die 22 to the die bonding module 500 . The bonding head 520 may vacuum the rear surface of the die 22 transferred by the horizontal driving unit 420 to pick up the die 22 . Subsequently, the vacuum adsorption state of the die 22 by the finger members 304 may be released, and the gripper driving unit 310 moves the gripper arms 302 in a direction in which the gripper arms 322 move away from each other. The transfer of the die 22 may be completed by moving the . After the die 22 is transferred as described above, the bonding head 520 may bond the die 22 so that the front surface of the die 22 is attached to the substrate 30 .

도 9는 도 6에 도시된 진공 그리퍼의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 확대 단면도이다.9 is a schematic enlarged cross-sectional view for explaining another example of the vacuum gripper shown in FIG. 6 .

도 9를 참조하면, 상기 다이(22)의 상부에는 상기 다이(22)와 마주하도록 배치되어 상기 다이(22)를 향하여 공기를 분사하는 제2 공기 분사 노즐(320)이 배치될 수 있다. 일 예로서, 상기 제2 공기 분사 노즐(320)은 상기 그리퍼 구동부(310)의 하부에 장착될 수 있으며 상기 그리퍼 암들(302) 사이에 배치될 수 있다. 상기 이젝터 부재(210)가 회전하는 경우 상기 다이(22)는 상기 이젝터 부재(210)의 회전에 의해 롤링(rolling) 형태로 좌우 요동될 수 있으며, 상기 제2 공기 분사 노즐(320)은 상기 다이(22)의 전면 상에 균일하게 공기를 분사함으로써 상기 이젝터 부재(210)의 회전 도중에 상기 다이(22)가 수평 상태로 유지되도록 할 수 있다.Referring to FIG. 9 , a second air jet nozzle 320 disposed to face the die 22 and jetting air toward the die 22 may be disposed on the upper portion of the die 22 . As an example, the second air jet nozzle 320 may be mounted under the gripper driving unit 310 and disposed between the gripper arms 302 . When the ejector member 210 rotates, the die 22 may swing left and right in a rolling form by the rotation of the ejector member 210 , and the second air jet nozzle 320 may By uniformly spraying air on the front surface of 22 , the die 22 may be maintained in a horizontal state during rotation of the ejector member 210 .

도 10은 도 5에 도시된 다이 이젝터의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 확대 단면도이고, 도 11은 도 10에 도시된 다이 이젝터의 동작을 설명하기 위한 개략적인 확대 단면도이다.FIG. 10 is a schematic enlarged cross-sectional view for explaining another example of the die ejector shown in FIG. 5 , and FIG. 11 is a schematic enlarged cross-sectional view for explaining an operation of the die ejector shown in FIG. 10 .

도 10 및 도 11을 참조하면, 상기 이젝터 부재(210)는 상기 이젝터 부재(210)의 장경이 수직 방향으로 정렬되고 상기 이젝터 부재(210)의 외주면이 상기 다이싱 테이프(24)의 하부면에 밀착되도록 배치될 수 있다. 상기 이젝터 부재(210)는 이젝터 구동부(250)에 의해 수직 및 수평 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 의해 상기 다이(22)가 상기 다이싱 테이프(24)로부터 부분적으로 분리될 수 있다.10 and 11 , in the ejector member 210 , the long diameter of the ejector member 210 is aligned in the vertical direction, and the outer circumferential surface of the ejector member 210 is on the lower surface of the dicing tape 24 . It may be arranged to be in close contact. The ejector member 210 may be moved in vertical and horizontal directions by the ejector driving unit 250 , whereby the die 22 may be partially separated from the dicing tape 24 .

예를 들면, 상기 이젝터 구동부(250)는 상기 이젝터 부재(210)를 수직 방향으로 상승시키고 또한 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 특히, 상기 다이(22)가 상기 다이싱 테이프(24)로부터 충분히 분리될 수 있도록 상기 이젝터 구동부(250)는 적어도 한번 이상 상기 이젝터 부재(210)를 수평 방향으로 왕복 이동시킬 수 있다.For example, the ejector driving unit 250 may lift the ejector member 210 in a vertical direction and move it in a horizontal direction. In particular, the ejector driving unit 250 may reciprocate the ejector member 210 in the horizontal direction at least once so that the die 22 can be sufficiently separated from the dicing tape 24 .

다른 예로서, 상기 이젝터 구동부(250)는 상기 다이(22)가 상승되는 동안 수평 상태를 유지할 수 있도록 상기 이젝터 부재(210)를 상승시키면서 동시에 수평 방향으로 반복적으로 왕복 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 이젝터 부재(210)의 수평 방향 왕복 이동 거리는 상기 이젝터 부재(210)가 상승함에 따라 점차 감소될 수 있으며, 이에 따라 상기 다이(22)의 양측 가장자리 부위들로부터 상기 다이싱 테이프(24)의 박리가 진행될 수 있다. 추가적으로, 도시되지는 않았으나, 상기 다이(22)가 상승되는 동안 상기 제2 공기 분사 노즐(320)을 통해 상기 다이(22)의 전면 상으로 공기가 분사될 수 있으며, 이에 의해 상기 다이(22)의 수평 상태는 더욱 안정적으로 유지될 수 있다.As another example, the ejector driver 250 may repeatedly reciprocate in a horizontal direction while raising the ejector member 210 to maintain a horizontal state while the die 22 is raised. In addition, the horizontal reciprocation distance of the ejector member 210 may be gradually decreased as the ejector member 210 rises, and accordingly, the dicing tape 24 from both edge portions of the die 22 . peeling may proceed. Additionally, although not shown, air may be jetted onto the front surface of the die 22 through the second air jet nozzle 320 while the die 22 is raised, whereby the die 22 is The horizontal state of can be more stably maintained.

상기 이젝터 구동부(250)는 상기 이젝터 부재(210)의 상승 및 왕복 이동 후 상기 다이(22)의 중심 부위가 상기 이젝터 부재(210)에 의해 지지되도록 상기 이젝터 부재(210)를 위치시킬 수 있으며, 이어서 상기 진공 그리퍼(300)와 수직 구동부(400)에 의해 상기 다이(22)가 픽업될 수 있다.The ejector driving unit 250 may position the ejector member 210 so that the central portion of the die 22 is supported by the ejector member 210 after the ejector member 210 is raised and reciprocated. Then, the die 22 may be picked up by the vacuum gripper 300 and the vertical driving unit 400 .

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 다이 이젝터(200)는 타원형 기둥 형태를 갖는 이젝터 부재(210)를 회전시키거나 수직 및 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 다이(22)를 상기 다이싱 테이프(24)로부터 부분적으로 분리시킬 수 있으며, 상기 진공 그리퍼(300)는 상기 다이 이젝터(200)에 의해 상기 다이(22)의 후면 가장자리 부위가 상기 다이싱 테이프(24)로부터 분리된 후 상기 다이(22)의 후면 가장자리 부위를 진공 흡착할 수 있다. 특히, 상기 다이 이젝터(200)는 상기 이젝터 부재(210)를 여러 바퀴 회전시키거나 수평 방향으로 반복적으로 왕복 이동시킴으로써 상기 다이(22)를 상기 다이싱 테이프(24)로부터 충분히 분리시킬 수 있으며, 이어서 상기 진공 그리퍼(300)와 상기 수직 구동부(400)에 의해 상기 다이(22)가 상기 다이싱 테이프(24)로부터 픽업될 수 있다. 상기와 같이 픽업된 다이(22)는 상기 반전 구동부(410)에 의해 반전된 후 상기 다이 본딩 모듈(500)에 의해 픽업되어 상기 기판(30) 상에 본딩될 수 있다. 상기와 같이 다이(22)의 후면 가장자리 부위를 진공 흡착하여 상기 다이(22)를 픽업할 수 있으므로 상기 다이(22)의 전면 부위 오염을 방지할 수 있으며, 이에 따라 상기 다이(22)의 전면 부위 오염에 의한 본딩 불량 또는 오염에 의한 전극 패드들 사이의 전기적인 결함이 충분히 방지될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the die ejector 200 dices the die 22 by rotating or moving the ejector member 210 having an elliptical column shape in vertical and horizontal directions. It can be partially separated from the tape 24 , and the vacuum gripper 300 is disposed on the die after the rear edge portion of the die 22 is separated from the dicing tape 24 by the die ejector 200 . The rear edge of (22) can be vacuum adsorbed. In particular, the die ejector 200 can sufficiently separate the die 22 from the dicing tape 24 by rotating the ejector member 210 several times or repeatedly reciprocating in the horizontal direction, and then The die 22 may be picked up from the dicing tape 24 by the vacuum gripper 300 and the vertical driving unit 400 . The die 22 picked up as described above may be inverted by the inversion driver 410 and then picked up by the die bonding module 500 and bonded to the substrate 30 . As described above, since the die 22 can be picked up by vacuum adsorbing the rear edge portion of the die 22 , contamination of the front portion of the die 22 can be prevented, and accordingly, the front portion of the die 22 . Bonding defects due to contamination or electrical defects between electrode pads due to contamination can be sufficiently prevented.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that there is

10 : 다이 본딩 장치 20 : 웨이퍼
22 : 다이 24 : 다이싱 테이프
100 : 다이 픽업 모듈 110 : 웨이퍼 스테이지
200 : 다이 이젝터 210 : 이젝터 부재
220 : 이젝터 구동부 230 : 상부 패널
232 : 개구 234 : 진공홀
240 : 이젝터 본체 242 : 진공 챔버
300 : 진공 그리퍼 302 : 그리퍼 암
304 : 핑거 부재 306 : 진공홀
308 : 공기 분사 노즐 310 : 그리퍼 구동부
320 : 제2 공기 분사 노즐 400 : 수직 구동부
410 : 반전 구동부 500 : 다이 본딩 모듈
510 : 기판 스테이지 520 : 본딩 헤드10: die bonding device 20: wafer
22: die 24: dicing tape
100: die pickup module 110: wafer stage
200: die ejector 210: ejector member
220: ejector driving unit 230: upper panel
232: opening 234: vacuum hole
240: ejector body 242: vacuum chamber
300: vacuum gripper 302: gripper arm
304: finger member 306: vacuum hole
308: air injection nozzle 310: gripper driving unit
320: second air injection nozzle 400: vertical drive unit
410: inversion driving unit 500: die bonding module
510: substrate stage 520: bonding head

Claims (13)

다이싱 테이프 상에 부착된 다이들을 포함하는 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 스테이지;
상기 다이싱 테이프 아래에 배치되며 픽업하고자 하는 다이를 상방으로 밀어올려 상기 다이를 상기 다이싱 테이프로부터 부분적으로 분리시키는 다이 이젝터;
상기 다이싱 테이프로부터 부분적으로 분리된 상기 다이의 후면 가장자리 부위를 진공 흡착하기 위한 진공 그리퍼; 및
상기 다이를 상기 다이싱 테이프로부터 픽업하기 위하여 상기 진공 그리퍼를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 포함하되,
상기 다이 이젝터는, 타원형의 기둥 형태를 갖고 외주면이 상기 다이싱 테이프의 하부면에 밀착되도록 배치되는 이젝터 부재와, 상기 이젝터 부재를 회전시키거나 수직 및 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 다이를 상방으로 밀어올리는 이젝터 구동부를 포함하고,
상기 진공 그리퍼는, 상기 다이의 후면 가장자리 부위들을 진공 흡착하기 위한 진공홀 및 상기 다이가 상기 다이싱 테이프로부터 분리되도록 상기 다이의 후면에 부착된 상기 다이싱 테이프 부위를 향하여 공기를 분사하는 공기 분사 노즐을 갖는 핑거 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 픽업 모듈.a wafer stage supporting a wafer comprising dies attached on a dicing tape;
a die ejector disposed under the dicing tape and partially separating the die from the dicing tape by pushing up a die to be picked up;
a vacuum gripper for vacuum adsorbing a rear edge portion of the die partially separated from the dicing tape; and
a vertical drive for vertically moving the vacuum gripper to pick up the die from the dicing tape;
The die ejector includes an ejector member having an elliptical column shape and disposed so that an outer circumferential surface of the dicing tape is in close contact with the lower surface of the dicing tape, and rotating or moving the ejector member in vertical and horizontal directions to push up the die including an ejector driving unit;
The vacuum gripper may include a vacuum hole for vacuum adsorbing the rear edge portions of the die and an air ejection nozzle for spraying air toward the dicing tape portion attached to the rear surface of the die so that the die is separated from the dicing tape. A die pickup module comprising finger members having a 제1항에 있어서, 상기 다이 이젝터는,
상기 이젝터 부재가 삽입되는 개구와 상기 다이싱 테이프를 진공 흡착하기 위한 진공홀들을 갖는 상부 패널과,
상기 상부 패널과 결합되며 상기 진공홀들과 연통하는 진공 챔버를 형성하는 이젝터 본체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 픽업 모듈.The method of claim 1 , wherein the die ejector comprises:
an upper panel having an opening into which the ejector member is inserted and vacuum holes for vacuum adsorbing the dicing tape;
The die pickup module according to claim 1, further comprising an ejector body coupled to the upper panel and forming a vacuum chamber communicating with the vacuum holes. 제1항에 있어서, 상기 이젝터 부재는 상기 이젝터 부재의 단경이 수직 방향으로 정렬되고 상기 이젝터 부재의 외주면이 상기 다이싱 테이프의 하부면 상에 밀착되도록 배치되며,
상기 이젝터 구동부는 상기 이젝터 부재의 장경이 수직 방향으로 위치되도록 상기 이젝터 부재를 회전시키는 것을 특징으로 하는 다이 픽업 모듈.According to claim 1, wherein the ejector member is arranged so that the minor diameter of the ejector member is aligned in a vertical direction and the outer circumferential surface of the ejector member is in close contact with the lower surface of the dicing tape,
The ejector driving unit is a die pickup module, characterized in that for rotating the ejector member so that the long axis of the ejector member is positioned in a vertical direction. 제3항에 있어서, 상기 이젝터 구동부는 상기 이젝터 부재를 적어도 한 바퀴 이상 회전시키는 것을 특징으로 하는 다이 픽업 모듈.The die pickup module according to claim 3, wherein the ejector driving unit rotates the ejector member by at least one rotation. 제1항에 있어서, 상기 이젝터 부재는 상기 이젝터 부재의 장경이 수직 방향으로 정렬되고 상기 이젝터 부재의 외주면이 상기 다이싱 테이프의 하부면 상에 밀착되도록 배치되며,
상기 이젝터 구동부는 상기 이젝터 부재를 수직 방향으로 상승시키고 수평 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 다이 픽업 모듈.According to claim 1, wherein the ejector member is arranged so that the major axis of the ejector member is aligned in a vertical direction and the outer peripheral surface of the ejector member is in close contact with the lower surface of the dicing tape,
The ejector driving unit raises the ejector member in a vertical direction and moves the ejector member in a horizontal direction. 제5항에 있어서, 상기 이젝터 구동부는 상기 이젝터 부재를 상기 수평 방향으로 적어도 한 번 이상 왕복 이동시키는 것을 특징으로 하는 다이 픽업 모듈.The die pickup module according to claim 5, wherein the ejector driving unit reciprocates the ejector member in the horizontal direction at least once or more. 제6항에 있어서, 상기 이젝터 구동부는 상기 이젝터 부재를 수직 방향으로 상승시키면서 동시에 상기 수평 방향으로 왕복 이동시키며 상기 이젝터 부재의 상승 및 왕복 이동 후 상기 다이의 중심 부위가 상기 이젝터 부재에 의해 지지되도록 상기 이젝터 부재를 위치시키는 것을 특징으로 하는 다이 픽업 모듈.7. The method of claim 6, wherein the ejector driving unit raises the ejector member in the vertical direction and simultaneously moves the ejector member in the horizontal direction, and the center portion of the die is supported by the ejector member after the lifting and reciprocating movement of the ejector member. A die pickup module comprising positioning an ejector member. 제1항에 있어서, 상기 진공 그리퍼에 의해 픽업된 다이를 반전시키기 위하여 상기 진공 그리퍼를 반전시키는 반전 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 픽업 모듈.The die pickup module according to claim 1, further comprising a reversing driving unit for inverting the vacuum gripper to invert the die picked up by the vacuum gripper. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 진공 그리퍼는,
상기 핑거 부재들이 장착되는 한 쌍의 그리퍼 암들과,
상기 그리퍼 암들을 서로 가까워지는 방향 그리고 서로 멀어지는 방향으로 이동시키기 위한 그리퍼 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 픽업 모듈.According to claim 1, wherein the vacuum gripper,
a pair of gripper arms to which the finger members are mounted;
The die pickup module according to claim 1, further comprising a gripper driving unit for moving the gripper arms in a direction toward and away from each other. 제1항에 있어서, 상기 다이와 마주하도록 상기 다이의 상부에 배치되며 상기 다이를 향하여 하방으로 공기를 분사하는 제2 공기 분사 노즐을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 픽업 모듈.The die pickup module according to claim 1, further comprising: a second air jet nozzle disposed on the die to face the die and for jetting air downward toward the die. 다이싱 테이프 상에 부착된 다이들을 포함하는 웨이퍼로부터 픽업하고자 하는 다이를 픽업하고 상기 픽업된 다이를 반전시키는 다이 픽업 모듈; 및
상기 다이 픽업 모듈에 의해 반전된 다이를 기판 상에 본딩하기 위한 다이 본딩 모듈을 포함하되,
상기 다이 픽업 모듈은,
상기 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 스테이지와,
상기 다이싱 테이프 아래에 배치되며 픽업하고자 하는 다이를 상방으로 밀어올려 상기 다이를 상기 다이싱 테이프로부터 부분적으로 분리시키는 다이 이젝터와,
상기 다이싱 테이프로부터 부분적으로 분리된 상기 다이의 후면 가장자리 부위를 진공 흡착하기 위한 진공 그리퍼와,
상기 다이를 상기 다이싱 테이프로부터 픽업하기 위하여 상기 진공 그리퍼를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부와,
상기 다이를 반전시키기 위하여 상기 진공 그리퍼를 반전시키는 반전 구동부를 포함하며,
상기 다이 이젝터는, 타원형의 기둥 형태를 갖고 외주면이 상기 다이싱 테이프의 하부면에 밀착되도록 배치되는 이젝터 부재와, 상기 이젝터 부재를 회전시키거나 수직 및 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 다이를 상방으로 밀어올리는 이젝터 구동부를 포함하고,
상기 진공 그리퍼는, 상기 다이의 후면 가장자리 부위들을 진공 흡착하기 위한 진공홀 및 상기 다이가 상기 다이싱 테이프로부터 분리되도록 상기 다이의 후면에 부착된 상기 다이싱 테이프 부위를 향하여 공기를 분사하는 공기 분사 노즐을 갖는 핑거 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 본딩 장치.a die pickup module for picking up a die to be picked up from a wafer including dies attached on a dicing tape and inverting the picked up die; and
a die bonding module for bonding the die inverted by the die pickup module onto a substrate;
The die pickup module,
a wafer stage for supporting the wafer;
a die ejector disposed under the dicing tape and pushing up a die to be picked up to partially separate the die from the dicing tape;
a vacuum gripper for vacuum adsorbing a rear edge portion of the die partially separated from the dicing tape;
a vertical drive for vertically moving the vacuum gripper to pick up the die from the dicing tape;
a reversing drive for inverting the vacuum gripper to invert the die;
The die ejector includes an ejector member having an elliptical column shape and disposed so that an outer circumferential surface of the dicing tape is in close contact with the lower surface of the dicing tape, and rotating or moving the ejector member in vertical and horizontal directions to push up the die including an ejector driving unit;
The vacuum gripper may include a vacuum hole for vacuum adsorbing the rear edge portions of the die and an air ejection nozzle for spraying air toward the dicing tape portion attached to the rear surface of the die so that the die is separated from the dicing tape. A die bonding apparatus comprising finger members having a
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