KR102268086B1 - Display panel teg testing assembly, forming method and testing method for the same - Google Patents

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Abstract

본 발명에 관한 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리는 모니터 패널 상에 순차적으로 설치되는 복수 개의 테스트 본딩패드; 및 서로 전기적으로 격리되고 또한 복수 개의 테스트 본딩패드와 일일이 대응되게 설치되어 매개 테스트 본딩 패드에서 하나씩 인출되는 복수 개의 금속리드선을 포함하고, 제1테스트 본딩패드에서 인출된 제1금속리드선은 제3테스트 본딩패드에서 인출된 제3금속리드선과 연결되어 제1테스트키를 형성하고, 제2테스트 본딩패드에서 인출된 제2금속리드선은 제5테스트 본딩패드에서 인출된 제5금속리드선과 연결되어 제2테스트키를 형성하며, 제4테스트 본딩패드에서 인출된 제4금속리드선은 제6테스트 본딩패드에서 인출된 제6금속리드선과 연결되어 제3테스트키를 형성하며; 제1테스트키와 제2테스트키가 교차되고, 제2테스트키와 제3테스트키가 교차된다. 본 발명은 테스트 본딩패드와 금속 리드선이 패널 상에서의 점용면적을 감소하여 유리의 이용률을 제고하고 테스트키의 모니터링 항목을 증가하였다.A monitor panel TEG test assembly according to the present invention includes: a plurality of test bonding pads sequentially installed on the monitor panel; and a plurality of metal lead wires that are electrically isolated from each other and are installed to correspond to the plurality of test bonding pads one by one and are drawn out one by one from each test bonding pad, wherein the first metal lead wire drawn from the first test bonding pad is used for the third test The third metal lead wire drawn out from the bonding pad is connected to form a first test key, and the second metal lead wire drawn out from the second test bonding pad is connected to the fifth metal lead wire drawn out from the fifth test bonding pad to form a second test key. a test key is formed, and a fourth metal lead wire drawn out from the fourth test bonding pad is connected to a sixth metal lead wire drawn out from the sixth test bonding pad to form a third test key; The first test key and the second test key are crossed, and the second test key and the third test key are crossed. The present invention reduces the area occupied by the test bonding pad and the metal lead wire on the panel, thereby improving the glass utilization and increasing the monitoring items of the test key.

Description

모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리 및 그 형성방법과 테스트방법{DISPLAY PANEL TEG TESTING ASSEMBLY, FORMING METHOD AND TESTING METHOD FOR THE SAME}DISPLAY PANEL TEG TESTING ASSEMBLY, FORMING METHOD AND TESTING METHOD FOR THE SAME

본 발명은 액정 모니터 및/또는 OLED 모니터 기술분야에 관한 것으로, 특히 모니터 패널의 전기회로 중의 RC(접촉저항, Contact Resistance) 특성에 대하여 테스트를 진행하는 TEG(Test Element Group) 테스트키 그룹(또는 테스트 어셈블리라고 함) 및 그 형성방법과 테스트방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal monitor and/or OLED monitor technology field, and in particular, a TEG (Test Element Group) test key group (or test) that tests for RC (Contact Resistance) characteristics in an electric circuit of a monitor panel. assembly) and a method for forming and testing the same.

모니터 패널 제품의 제조 단계에 있어서 모니터 패널 제품의 유효발광영역(AA영역, Active Area)의 특성치를 모니터링하기 위하여 모니터 패널의 빅보드 주위 또는 패널 주위에 일부의 TEG 테스트키(test key)를 설치하는 바, 이런 테스트키는 예를 들면 모니터 패널의 전기회로 중의 TFT(박막 트랜지스터)/RS(선저항 또는 면저항)/RC(상이한 도체 사이의 접촉저항)/C(전기용량) 등과 같은 각종 어셈블리의 RC 특성을 모니터링하는데 사용된다. 제품 기판(유리)의 유효 이용률을 감안하여, 테스트키는 그 모니터링 수요를 만족시키는 상황하에서 차지하는 면적은 작을 수록 좋다.In the manufacturing stage of the monitor panel product, in order to monitor the characteristic value of the effective light emitting area (AA area, active area) of the monitor panel product, some TEG test keys are installed around the big board or around the panel of the monitor panel. Bar, such a test key is, for example, RC of various assemblies such as TFT (thin film transistor) / RS (line resistance or sheet resistance) / RC (contact resistance between different conductors) / C (capacitance) in the electric circuit of the monitor panel Used to monitor characteristics. Considering the effective utilization rate of the product substrate (glass), the smaller the area occupied by the test key under the condition that the monitoring demand is satisfied, the better.

도1은 기존기술 중의 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리의 기본배치와 구조의 도면이다. 현행의 RC 테스트키는 4개의 독립적인 본딩패드(PAD) 설계법을 사용하여 설계하는 바, 두개의 테스트키 세트R(메탈(Metal)1, 메탈(Metal)2)과 R(메탈(Metal)2, 메탈(Metal)3)을 조성하기 위하여 적어도 8개의 본딩패드PAD1-PAD8 및 8개의 금속 리드선이 필요하다. 여기서 4개 탐침의 독립적인 본딩패드(PAD) 설계법은 매개 테스트키 세트R(메탈(Metal)1, 메탈(Metal)2) 또는 R(메탈(Metal)2, 메탈(Metal)3)에 있어서, 각각 4개의 탐침은 PAD1, PAD2, PAD3과 PAD4 상에 배치되거나 PAD5, PAD6, PAD7과 PAD8 상에 배치되어 4점식 저항률 측정을 진행한다.1 is a diagram of the basic arrangement and structure of a monitor panel TEG test assembly in the prior art. The current RC test key is designed using four independent bonding pad (PAD) design methods, and two test key sets R (Metal 1, Metal 2) and R (Metal 2) , at least 8 bonding pads PAD1-PAD8 and 8 metal lead wires are required to form a metal 3). Here, the independent bonding pad (PAD) design method of the four probes is in each test key set R (Metal 1, Metal 2) or R (Metal 2, Metal 3), Each of the four probes is placed on PAD1, PAD2, PAD3 and PAD4 or on PAD5, PAD6, PAD7 and PAD8 to perform 4-point resistivity measurement.

따라서, 모니터 패널의 RC 특성에 대하여 유효테스트를 진행하는 전제하에서 본딩패드와 리드선의 수량 및 그 차지하는 면적을 감소하는 것은 현재 업계에서 시급하게 해결해야 할 문제이다.Therefore, under the premise of conducting an effective test on the RC characteristics of the monitor panel, reducing the number of bonding pads and lead wires and their area is a problem that needs to be urgently solved in the current industry.

기존기술의 흠결을 극복하기 위하여 본 발명은 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리 및 그 테스트방법을 제공하는 바, RC 특성 테스트 설계 중에서 테스트 본딩패드와 금속 리드선의 사용을 감소하여 테스트 본딩패드와 금속 리드선이 패널 상에서의 점용면적을 감소함으로써 유리 이용률을 제고한다.In order to overcome the deficiencies of the prior art, the present invention provides a monitor panel TEG test assembly and a test method therefor. The use of a test bonding pad and a metal lead wire is reduced in an RC characteristic test design so that the test bonding pad and the metal lead wire are installed on the panel. The glass utilization rate is improved by reducing the occupied area of

나아가 본 발명은 테스트키의 본딩패드의 점용면적을 축소하는 전제하에서 테스트키의 모니터링 항목을 증가한다.Furthermore, the present invention increases the monitoring items of the test key under the premise of reducing the area occupied by the bonding pad of the test key.

본 발명은 하기와 같은 기술적 방안을 사용한다.The present invention uses the following technical measures.

본 발명의 한 방안에 따르면, 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리는 모니터 패널 상에 순차적으로 설치되는 복수 개의 테스트 본딩패드; 및 서로 전기적으로 격리되고 또한 복수 개의 테스트 본딩패드와 일일이 대응되게 설치되어 매개 테스트 본딩 패드에서 하나씩 인출되는 복수 개의 금속리드선을 포함하고, 여기서, 제1테스트 본딩패드에서 인출된 제1금속리드선은 제3테스트 본딩패드에서 인출된 제3금속리드선과 연결되어 제1테스트키를 형성하고, 제2테스트 본딩패드에서 인출된 제2금속리드선은 제5테스트 본딩패드에서 인출된 제5금속리드선과 연결되어 제2테스트키를 형성하며, 제4테스트 본딩패드에서 인출된 제4금속리드선은 제6테스트 본딩패드에서 인출된 제6금속리드선과 연결되어 제3테스트키를 형성하며; 상기 제1테스트키와 상기 제2테스트키가 교차되고, 상기 제2테스트키와 상기 제3테스트키가 교차된다.According to one aspect of the present invention, the monitor panel TEG test assembly includes a plurality of test bonding pads sequentially installed on the monitor panel; and a plurality of metal lead wires that are electrically isolated from each other and are installed to correspond to the plurality of test bonding pads one by one and are drawn out one by one from each test bonding pad, wherein the first metal lead wire drawn out from the first test bonding pad is the first The third metal lead wire drawn out from the third test bonding pad is connected to form a first test key, and the second metal lead wire drawn out from the second test bonding pad is connected to the fifth metal lead wire drawn out from the fifth test bonding pad. a second test key is formed, and a fourth metal lead wire drawn out from the fourth test bonding pad is connected to a sixth metal lead wire drawn out from the sixth test bonding pad to form a third test key; The first test key and the second test key cross each other, and the second test key crosses the third test key.

본 발명의 다른 한 방안에 따르면, 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리의 테스트방법은 상기와 같은 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리를 이용하여 상기 모니터 패널의 RC 특성에 대하여 테스트를 진행하는 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리의 테스트방법에 있어서, 당해 테스트방법은 패널 제품의 제조공법 중에서, 기계작업대를 사용하여 패널제품의 RC 특성에 대하여 온라인/오프라인 테스트를 진행하는 단계; 상기 테스트 결과와 제품에 관련된 RC 특성의 지표규격을 비교하여 제품의 품질표준의 요구에 부합되는지의 여부를 판단하는 단계; 요구에 부합될 경우, 당해 제품제조공법을 계속 사용하여 후속의 제품을 제조하는 단계; 및 요구에 부합되지 않을 경우, 당해 제품을 폐기하는 동시에 제품제조공법을 개선하는 단계;를 포함한다.According to another method of the present invention, the test method of the monitor panel TEG test assembly is a test method of the monitor panel TEG test assembly that tests the RC characteristics of the monitor panel using the monitor panel TEG test assembly as described above. The test method includes the steps of: performing an online/offline test on the RC characteristics of the panel product using a machine workbench among the manufacturing methods of the panel product; comparing the test result with the index standard of the RC characteristic related to the product to determine whether it meets the requirements of the product quality standard; If the requirements are met, continuing to use the product manufacturing method to manufacture subsequent products; And if it does not meet the requirements, the step of disposing of the product and at the same time improving the product manufacturing method; includes.

본 발명은 TEG 테스트 어셈블리의의 배치와 구조에 대한 최적화 설계를 통하여 두개의 테스트 본딩패드 및 두개의 금속 리드선을 감소하여 모니터 패널 상의 점용면적을 1/4 감소할 수 있고, 이런 설계는 원래의 4점 독립적인 본딩패드와 두개의 테스트키그룹 R(메탈(Metal)1, 메탈(Metal)2)과 R(메탈(Metal)2, 메탈(Metal)3)에 대하여 모니터링을 진행하도록 보증하는 기초상에서 별도의 하나의 테스트키 그룹 R(메탈(Metal)1, 메탈(Metal)2, 메탈(Metal)3)에 대하여 모니터링을 진행하도록 증가함으로써 유효발광 영역의 특성을 전면적으로 모니터링 할 수 있으며 감시 결과도 유효모니터 영역의 RC 특성의 진실한 상황에 더욱 접근한다.The present invention can reduce the occupied area on the monitor panel by 1/4 by reducing two test bonding pads and two metal lead wires through an optimized design for the arrangement and structure of the TEG test assembly. On the basis of ensuring that monitoring proceeds for point-independent bonding pads and two test key groups R (Metal 1, Metal 2) and R (Metal 2, Metal 3) By increasing the monitoring for one separate test key group R (Metal 1, Metal 2, Metal 3), the characteristics of the effective light emitting area can be monitored comprehensively, and the monitoring results are also It further approaches the true situation of the RC characteristics of the effective monitor area.

하기의 도면을 참조하여 배치와 실시예에 대하여 상세히 설명하고, 여기서 동일한 부호의 설명은 동일한 소자를 가리킨다.
도1은 기존기술 중의 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리의 기본배치와 구조의 도면이다.
도2는 본 발명에 따른 실시예의 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리의 구체적인 배치와 구조의 도면이다.
도3은 본 발명에 따른 실시예의 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리의 구체적인 배치 및 형성방법의 도면이다.
도4는 본 발명에 따른 실시예의 모니터 패널 TEG 테스트방법의 흐름도이다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The arrangement and embodiments will be described in detail with reference to the following drawings, wherein the same reference numerals indicate the same elements.
1 is a diagram of the basic arrangement and structure of a monitor panel TEG test assembly in the prior art.
2 is a diagram of a specific arrangement and structure of a monitor panel TEG test assembly of an embodiment according to the present invention.
3 is a diagram of a specific arrangement and formation method of a monitor panel TEG test assembly according to an embodiment according to the present invention.
4 is a flowchart of a monitor panel TEG test method according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면을 결부하여 본 발명의 복수 개의 실시방식에 대하여 상세히 설명한다. 설명을 명확히 하기 위하여, 복수 개의 실시예의 세부사항은 하기의 서술 중에서 같이 설명한다. 그러나, 이런 실시예의 세부사항은 본 발명을 한정하기 위한 것이 아님을 이해하여야 한다.Hereinafter, a plurality of embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. For clarity of explanation, details of a plurality of embodiments are described together in the following description. However, it should be understood that the details of these examples are not intended to limit the present invention.

도2는 본 발명에 따른 실시예의 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리의 구체적인 배치와 구조의 도면이다.2 is a diagram of a specific arrangement and structure of a monitor panel TEG test assembly of an embodiment according to the present invention.

도2가 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 실시예에서, 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리는 상기 모니터 패널 상에 순차적으로 설치되는 6개의 테스트 본딩패드PAD1~PAD6; 및 6 개의 테스트 본딩패드와 일일이 대응되게 설치되어 매개 테스트 본딩 패드에서 하나씩 인출되는 6개의 금속리드선을 포함하고, 여기서 제1테스트 본딩패드에서 인출된 제1금속리드선은 제3테스트 본딩패드에서 인출된 제3금속리드선과 연결되어 제1테스트키 메탈(metal)1을 형성하고, 제2테스트 본딩패드에서 인출된 제2금속리드선은 제5테스트 본딩패드에서 인출된 제5금속리드선과 연결되어 제2테스트키 메탈(metal)2를 형성하며, 제4테스트 본딩패드에서 인출된 제4금속리드선은 제6테스트 본딩패드에서 인출된 제6금속리드선과 연결되어 제3테스트키 메탈(metal)3을 형성한다.As shown in Fig. 2, in the embodiment according to the present invention, the monitor panel TEG test assembly includes six test bonding pads PAD1 to PAD6 sequentially installed on the monitor panel; and six metal lead wires that are installed to correspond to the six test bonding pads and are drawn out one by one from each test bonding pad, wherein the first metal lead drawn from the first test bonding pad is drawn from the third test bonding pad. The third metal lead wire is connected to form a first test key metal 1, and the second metal lead wire drawn out from the second test bonding pad is connected to the fifth metal lead wire drawn out from the fifth test bonding pad to form a second A test key metal 2 is formed, and a fourth metal lead wire drawn out from the fourth test bonding pad is connected to a sixth metal lead wire drawn out from the sixth test bonding pad to form a third test key metal 3 do.

상기 제1테스트키 메탈(metal)1과 상기 제2테스트키 메탈(metal)2가 교차되고, 상기 제2테스트키 메탈(metal)2와 상기 제3테스트키 메탈(metal)3이 교차된다.The first test key metal 1 and the second test key metal 2 cross each other, and the second test key metal 2 and the third test key metal 3 cross each other.

여기서, 상기 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리는 상기 복수 개의 금속리드선 중에서 각 2개의 금속리드선 사이마다 설치되는 복수 개의 절연층을 더 포함하고, 제1절연층의 상기 제1테스트키 메탈(metal)1과 상기 제2테스트키 메탈(metal)2가 교차되는 위치에 제1관통홀H1이 설치되고, 제2절연층의 상기 제2테스트키 메탈(metal)2와 상기 제3테스트키 메탈(metal)3이 교차되는 위치에 제2관통홀H2가 설치된다.Here, the monitor panel TEG test assembly further includes a plurality of insulating layers installed between each of the two metal lead wires among the plurality of metal lead wires, and the first test key metal 1 and the first test key metal 1 of the first insulating layer A first through hole H1 is installed at a position where a second test key metal 2 intersects, and the second test key metal 2 and the third test key metal 3 of the second insulating layer are formed. A second through hole H2 is installed at the intersecting position.

상기 제1테스트키 메탈(metal)1과 상기 제2테스트키 메탈(metal)2가 교차되는 위치의 상기 제1관통홀H1 중에 제1도전성 통로V1을 삽입하는 것을 통하여 제1테스트키 그룹R(메탈(metal)1, 메탈(metal)2)을 형성하고,By inserting a first conductive passage V1 into the first through hole H1 at a position where the first test key metal 1 and the second test key metal 2 intersect, a first test key group R ( Forming a metal (metal) 1, a metal (metal) 2),

상기 제2테스트키 메탈(metal)2와 상기 제3테스트키 메탈(metal)3이 교차되는 위치의 상기 제2관통홀H2 중에 제2도전성 통로V2를 삽입하는 것을 통하여 제2테스트키 그룹R(메탈(metal)2, 메탈(metal3)을 형성하고,A second test key group R ( Forming a metal (metal)2, a metal (metal3),

상기 제1테스트키 메탈(metal)1과 상기 제2테스트키 메탈(metal)2가 교차되는 위치의 제1관통홀H1 중 및 상기 제2테스트키 메탈(metal)2와 상기 제3테스트키 메탈(metal)3이 교차되는 위치의 제2관통홀H2 중에 동시에 상기 제1도전성 통로V1과 상기 제2도전성 통로V2를 삽입하는 것을 통하여 제3테스트키 그룹R(메탈(metal)1, 메탈(metal)2, 메탈(metal)3)을 형성한다.Among the first through-hole H1 at a position where the first test key metal 1 and the second test key metal 2 intersect, the second test key metal 2 and the third test key metal A third test key group R (metal 1, metal) by simultaneously inserting the first conductive passage V1 and the second conductive passage V2 into the second through hole H2 at a position where (metal) 3 intersects )2, a metal 3) is formed.

주의할 것은, 제1테스트키 메탈(metal)1과 제2테스트키 메탈(metal)2 사이, 및 제2테스트키 메탈(metal)2와 제3테스트키 메탈(metal)3 사이의 교차는 모두 전기적으로 격리된 교차방식인 바, 즉 도전성 통로가 상기 교차되는 위치의 이런 관통홀 중에 삽입되지 아니할 경우 이런 테스트키 사이는 서로 전기적으로 격리된다. 이러한 방식으로 테스트해야 할 제품의 기능 또는 성능 지표에 따라 모니터 패널 상에 설치된 테스트 본딩패드의 수량도 6개로 한정되지 않을 수 있다.It should be noted that the intersection between the first test key metal 1 and the second test key metal 2 and between the second test key metal 2 and the third test key metal 3 is all This is an electrically isolated crossing method, that is, when a conductive passage is not inserted into such a through hole at the crossing position, these test keys are electrically isolated from each other. In this way, the number of test bonding pads installed on the monitor panel may not be limited to six according to the function or performance index of the product to be tested in this way.

이하, 본 발명에 따른 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리의 형성공법 및 테스트방법에 대하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a method for forming a monitor panel TEG test assembly and a test method according to the present invention will be described in detail.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리의 설계방법은 하기와 같다. 모니터 패널 제품의 제조과정에서, 모니터 패널의 주위에 각각 3 그룹의 테스트키 그룹R(메탈(metal)1, 메탈(metal)2), R(메탈(metal)2, 메탈(metal)3)와 R(메탈(metal)1, 메탈(metal)2, 메탈(metal)3)의 회로를 테스트하고 모니터링하기 위한 6개의 테스트본딩패드 PAD1~PAD6를 설치하되, 여기서 테스트본딩패드 PAD1와 테스트본딩패드 PAD3의 금속리드선을 연결하여 테스트키 메탈(metal)1을 형성하고, 테스트본딩패드 PAD4와 테스트본딩패드 PAD6의 금속리드선을 연결하여 테스트키 메탈(metal)3을 형성하고, 테스트본딩패드 PAD2와 테스트본딩패드 PAD5의 금속리드선을 연결하여 테스트키 메탈(metal)2를 형성한다. 테스트키 메탈(metal)2는 각각 테스트키 메탈(metal)1과 테스트키 메탈(metal)3과 교차되고, 각각 2개의 교차되는 위치에 대응되는 2개의 접촉 관통홀과 그 중에 삽입된 도전성 통로를 통하여 서로간의 접촉을 실현한다.As described above, the design method of the monitor panel TEG test assembly according to the present invention is as follows. During the manufacturing process of the monitor panel product, 3 groups of test key groups R (metal 1, metal 2), R (metal 2, metal 3) and Install six test bonding pads PAD1 to PAD6 for testing and monitoring the circuit of R (metal1, metal2, metal3), wherein the test bonding pad PAD1 and the test bonding pad PAD3 Form test key metal 1 by connecting the metal lead wires of the test key metal 1, connect the metal lead wires of test bonding pad PAD4 and test bonding pad PAD6 to form test key metal 3, and test bonding pad PAD2 and test bonding A test key metal 2 is formed by connecting the metal lead wire of the pad PAD5. The test key metal 2 intersects the test key metal 1 and the test key metal 3, respectively, and the two contact through holes corresponding to the two intersecting positions, respectively, and the conductive passage inserted therein. through mutual contact.

테스트본딩패드 PAD1 내지 PAD6 및 그 금속 리드선이 모니터 패널 상의 배포방식은 도2가 도시한 것에 한정되는 것이 아니라 기판(유리)의 실제 이용공간에 따라 정할 수 있다.The distribution method of the test bonding pads PAD1 to PAD6 and their metal lead wires on the monitor panel is not limited to that shown in FIG. 2, but may be determined according to the actual space of the substrate (glass).

도3은 본 발명에 따른 실시예의 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리의 구체적인 구조 및 형성방법을 예시적으로 나타내는 도면이다.3 is a view exemplarily showing a specific structure and forming method of a monitor panel TEG test assembly according to an embodiment of the present invention.

도3이 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 일 실시예에서, 본 발명의 테스트키 그룹R(메탈(Metal)1, 메탈(Metal)2)의 형성방법은 하기와 같다.As shown in Figure 3, in one embodiment according to the present invention, the method of forming the test key group R (Metal 1, Metal 2) of the present invention is as follows.

1.1단계: 제1금속층 메탈(Metal)1에 대하여 코팅, 노출과 식각 등 공법을 진행하고 수요에 따라 제1금속층 메탈(Metal)1의 패턴을 형성한다;Step 1.1: Coating, exposure and etching are performed on the first metal layer Metal 1, and a pattern of the first metal layer Metal 1 is formed according to the demand;

1.2단계: 상기 제1금속층 메탈(Metal)1의 패턴의 상방에 전반 제1절연층을 침적시키고, 또한 상기 제1절연층의 상기 제1테스트키와 상기 제2테스트키가 교차되는 위치와 대응하는 위치에 제1관통홀을 개착하여 설치한다; Step 1.2: depositing the first insulating layer in the first half on top of the pattern of the first metal layer Metal1, and corresponding to a position where the first test key and the second test key of the first insulating layer intersect The first through hole is cut and installed at the

1.3단계: 상기 제1절연층의 상방에 제1금속층 메탈(Metal)1의 패턴을 형성하는 공법과 유사한 공법으로 제2금속층 메탈(Metal)2의 패턴을 형성한다; 및Step 1.3: A pattern of the second metal layer is formed on the first insulating layer by a method similar to the method of forming the pattern of the first metal layer (Metal) 1 on the first insulating layer; and

1.4단계: 이때 제1관통홀 중에 제1도전성 통로V1을 삽입하여 제1테스트키 그룹R(메탈(Metal)1, 메탈(Metal)2)을 형성하고, 4점탐침 저항률 측정법을 이용하여 테스트를 진행하되, 여기서 4개의 탐침은 각각 도2가 도시한 바와 같이 상기 본딩패드PAD1, PAD 2, PAD 3 및 PAD 5 상에 설치한다.Step 1.4: At this time, insert the first conductive passage V1 in the first through hole to form the first test key group R (Metal 1, Metal 2), and test using the 4-point probe resistivity measurement method. However, the four probes are installed on the bonding pads PAD1, PAD 2, PAD 3 and PAD 5, respectively, as shown in FIG. 2 .

마찬가지로 도3을 참조하면, 본 발명에 따른 일 실시예에서, 본 발명의 테스트키 그룹R(메탈(Metal)2, 메탈(Metal)3)의 형성방식은 하기와 같다.Similarly, referring to Figure 3, in one embodiment according to the present invention, the method of forming the test key group R (Metal 2, Metal 3) of the present invention is as follows.

2.1단계: 상기 공법에 따라 제2금속층 메탈(Metal)2의 패턴의 상방에 전반 제2절연층을 침적시키고, 또한 상기 제2절연층의 상기 제2테스트 키와 상기 제3테스트가 교차하는 위치와 대응하는 위치에 제2관통홀을 개착하여 설치한다; Step 2.1: According to the above method, the first half of the second insulating layer is deposited on top of the pattern of the second metal layer, Metal2, and the position where the second test key of the second insulating layer and the third test intersect The second through-hole is cut and installed at a position corresponding to ;

2.2단계: 상기 제2절연층의 상방에 제1금속층 메탈(Metal)1의 패턴을 형성하는 공법과 유사한 공법으로 제3금속층 메탈(Metal)3의 패턴을 형성한다;Step 2.2: forming a pattern of the third metal layer metal 3 in a method similar to the method of forming the pattern of the first metal layer Metal 1 above the second insulating layer;

2.3단계: 상기 제2관통홀 내에 제2도전성 통로V2를 삽입하는 것을 통하여 제2테스트키 그룹R(메탈(Metal)2, 메탈(Metal)3)을 형성하고, 상기 제1관통홀과 상기 제2관통홀 내에 동시에 제1도전성 통로V1과 제2도전성 통로V2를 삽입하는 것을 통하여 제3테스트키 그룹R(메탈(Metal)1, 메탈(Metal)2, 메탈(Metal)3)을 형성하고, 4점탐침 저항률 측정법을 이용하여 테스트를 진행하되, 여기서 제2테스트키 그룹R(메탈(Metal)2, 메탈(Metal)3)의 4개의 탐침은 각각 도2가 도시한 바와 같이 본딩패드PAD2, PAD4, PAD5 및 PAD6 상에 설치되며, 제3테스트키 그룹R(메탈(Metal)1, 메탈(Metal)2, 메탈(Metal)3)의 4개의 탐침은 각각 도2가 도시한 바와 같이 본딩패드PAD1, PAD2, PAD5 및 PAD6 상에 설치한다.Step 2.3: A second test key group R (Metal 2, Metal 3) is formed by inserting a second conductive passage V2 into the second through hole, and the first through hole and the first through hole are formed. A third test key group R (Metal 1, Metal 2, Metal 3) is formed by simultaneously inserting the first conductive passage V1 and the second conductive passage V2 into the second through-holes, The test is carried out using a four-point probe resistivity measurement method, where the four probes of the second test key group R (Metal 2, Metal 3) are each bonding pad PAD2, Installed on PAD4, PAD5 and PAD6, the 4 probes of the third test key group R (Metal 1, Metal 2, Metal 3) are bonding pads as shown in FIG. 2, respectively. Install on PAD1, PAD2, PAD5 and PAD6.

도4는 본 발명에 따른 실시예의 모니터 패널 TEG 테스트방법의 흐름도이다.4 is a flowchart of a monitor panel TEG test method according to an embodiment of the present invention.

도4가 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 일 실시예에 있어서, 본 발명의 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리의 테스트방법의 기본원리는 테스트 기계작업대를 사용하여 4점탐침 저항률 테스트를 진행하는 것인 바, 구체적으로 하기와 같은 모니터링 또는 테스트 단계를 포함한다.As shown in Fig. 4, in one embodiment according to the present invention, the basic principle of the test method of the monitor panel TEG test assembly of the present invention is to perform a four-point probe resistivity test using a test machine workbench. , specifically including monitoring or testing steps as follows.

패널 제품 제조공법에서, 기계작업대를 사용하여 패널 제품의 RC 특성에 대하여 온라인/오프라인 테스트를 진행하는 바, 구체적인 테스트 조작은 하기와 같다.In the panel product manufacturing method, an online/offline test is performed on the RC characteristics of the panel product using a machine workbench, and the specific test operation is as follows.

1) 제1관통홀 내에 제1도전성 통로를 삽입하는 것을 통하여 제1테스트키 그룹R(메탈(Metal)1, 메탈(Metal)2)을 형성하고, 4개의 탐침을 각각 테스트 본딩패드 PAD1, PAD2, PAD3과 PAD5상에 설치함으로써 이 4개의 테스트 본딩 패드 사이의 전기회로 접촉저항을 테스트한다;1) A first test key group R (Metal 1, Metal 2) is formed by inserting a first conductive passage into the first through hole, and four probes are applied to the test bonding pads PAD1 and PAD2, respectively. , test the electrical circuit contact resistance between these 4 test bonding pads by installing them on PAD3 and PAD5;

2) 제2관통홀 내에 제2도전성 통로를 삽입하는 것을 통하여 제2테스트키 그룹R(메탈(Metal)2, 메탈(Metal)3)을 형성하고, 4개의 탐침을 각각 테스트 본딩패드 PAD2, PAD4, PAD5와 PAD6 상에 설치함으로써 이 4개의 테스트 본딩 패드 사이의 전기회로 접촉저항을 테스트 하며; 및/또는2) A second test key group R (Metal 2, Metal 3) is formed by inserting a second conductive passage into the second through hole, and four probes are applied to the test bonding pads PAD2 and PAD4, respectively. , test the electrical circuit contact resistance between these 4 test bonding pads by installing them on PAD5 and PAD6; and/or

3) 제1관통홀과 제2관통홀 내에 제1도전성 통로와 제2도전성 통로를 동시에 삽입하는 것을 통하여 제3테스트키 그룹R(메탈(Metal)1,메탈(Metal)2,메탈(Metal)3)을 형성하고, 4개의 탐침을 각각 테스트 본딩패드 PAD1, PAD2, PAD5와 PAD6 상에 설치함으로써 이 4개의 테스트 본딩 패드 사이의 전기회로 접촉저항을 테스트한다.3) The third test key group R (Metal 1, Metal 2, Metal) by simultaneously inserting the first conductive passage and the second conductive passage into the first and second through holes. 3), and test the electrical circuit contact resistance between these four test bonding pads by installing four probes on the test bonding pads PAD1, PAD2, PAD5 and PAD6, respectively.

상기 테스트 결과와 제품과 관련된 RC 특성의 지표규격을 비교하여 제품의 품질표준의 요구에 부합되는지의 여부를 판단하며;comparing the test result with the index standard of the RC characteristic related to the product to determine whether it meets the requirements of the product quality standard;

요구에 부합될 경우, 당해 제품제조공법을 계속 사용하여 후속의 제품을 제조하며; 및If the requirements are met, continue to use the manufacturing method to manufacture subsequent products; and

요구에 부합되지 않을 경우, 당해 제품을 폐기하는 동시에 제품제조공법을 개선하고, 상기 단계를 중복한다.If the requirements are not met, the product is discarded and the product manufacturing method is improved, and the above steps are repeated.

이런 방식으로 설계하면 모니터 패널 제품의 기판(유리)의 유효사용공간의 절감을 증대할 수 있고, 2개의 테스트 본딩패드 및 2개의 금속 리드선을 감소하는 것을 통하여 모니터 패널 상의 점용면적을 1/4 감소할 수 있고, 아울러 별도의 하나의 테스트키 그룹 R(메탈(Metal)1, 메탈(Metal)2, 메탈(Metal)3)의 모니터링(즉 테스트키의 모니터링 항목을 증가함)을 증가함으로써 유효발광 영역의 특성을 전면적으로 모니터링 할 수 있으며 감시 결과도 유효모니터 영역의 RC 특성의 진실한 상황에 더욱 접근한다. 이로써 테스트키의 모니터링이 더욱 의의가 있게 된다.By designing in this way, the effective use space of the substrate (glass) of the monitor panel product can be increased, and the occupied area on the monitor panel is reduced by 1/4 by reducing two test bonding pads and two metal lead wires. In addition, effective light emission by increasing the monitoring (that is, increasing the monitoring items of the test key) of a separate test key group R (Metal 1, Metal 2, Metal 3) The characteristics of the area can be monitored comprehensively, and the monitoring results are closer to the true situation of the RC characteristics of the effective monitoring area. This makes the monitoring of the test key more meaningful.

본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 본 발명의 사상과 범위를 벗어나지 않는 전제하에서 본 발명에 대하여 여러가지 변경과 보정을 진행할 수 있다. 따라서, 본 발명에 대하여 진행한 여러가지 보정과 변경은 이하에 첨부되는 특허청구범위 및 그 동등한 방안의 보호범위 안에 포함되는 한 모두 본 발명에 속하는 것으로 보아야 한다.For those of ordinary skill in the art, various changes and corrections can be made to the present invention under the premise that does not depart from the spirit and scope of the present invention. Accordingly, various corrections and changes made with respect to the present invention should be regarded as belonging to the present invention as long as they are included within the scope of protection of the appended claims and their equivalent measures.

Claims (5)

모니터 패널 상에 순차적으로 설치되는 복수 개의 테스트 본딩패드; 및
서로 전기적으로 격리되고 또한 복수 개의 테스트 본딩패드와 일일이 대응되게 설치되어 매개 테스트 본딩 패드에서 하나씩 인출되는 복수 개의 금속리드선을 포함하고,
제1테스트 본딩패드에서 인출된 제1금속리드선은 제3테스트 본딩패드에서 인출된 제3금속리드선과 연결되어 제1테스트키를 형성하고, 제2테스트 본딩패드에서 인출된 제2금속리드선은 제5테스트 본딩패드에서 인출된 제5금속리드선과 연결되어 제2테스트키를 형성하며, 제4테스트 본딩패드에서 인출된 제4금속리드선은 제6테스트 본딩패드에서 인출된 제6금속리드선과 연결되어 제3테스트키를 형성하며;
상기 제1테스트키와 상기 제2테스트키가 교차되고, 상기 제2테스트키와 상기 제3테스트키가 교차되는 것을 특징으로 하는 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리.
a plurality of test bonding pads sequentially installed on the monitor panel; and
and a plurality of metal lead wires electrically isolated from each other and installed to correspond to a plurality of test bonding pads one by one and drawn out one by one from each test bonding pad,
The first metal lead wire drawn out from the first test bonding pad is connected to the third metal lead wire drawn out from the third test bonding pad to form a first test key, and the second metal lead wire drawn out from the second test bonding pad is the second metal lead wire drawn out from the second test bonding pad. The fifth metal lead wire drawn out from the 5 test bonding pad is connected to form a second test key, and the fourth metal lead wire drawn out from the fourth test bonding pad is connected to the sixth metal lead wire drawn out from the sixth test bonding pad. forming a third test key;
The monitor panel TEG test assembly, characterized in that the first test key and the second test key cross each other, and the second test key and the third test key cross each other.
제1항에 있어서,
상기 복수 개의 금속리드선 중에서 각 2개의 금속리드선 사이마다 설치되는 복수 개의 절연층을 더 포함하고,
제1절연층의 상기 제1테스트키와 상기 제2테스트키의 교차점에 대응되는 위치에 제1관통홀이 설치되고, 제2절연층의 상기 제2테스트키와 상기 제3테스트키의 교차점에 대응되는 위치에 제2관통홀이 설치되는 것을 특징으로 하는 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리.
According to claim 1,
Further comprising a plurality of insulating layers provided between each of the two metal lead wires among the plurality of metal lead wires,
A first through hole is provided at a position corresponding to the intersection of the first test key and the second test key of the first insulating layer, and at the intersection of the second test key and the third test key of the second insulating layer. A monitor panel TEG test assembly, characterized in that the second through-hole is installed at a corresponding position.
제2항에 있어서,
상기 제1관통홀 중에 제1도전성 통로를 삽입하여 제1테스트키 그룹을 형성하고,
상기 제2관통홀 중에 제2도전성 통로를 삽입하여 제2테스트키 그룹을 형성하고,
상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀 중에 상기 제1도전성 통로와 상기 제2도전성 통로를 삽입하여 제3테스트키 그룹을 형성하는 것을 특징으로 하는 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리.
3. The method of claim 2,
A first test key group is formed by inserting a first conductive passage into the first through hole,
A second test key group is formed by inserting a second conductive passage into the second through hole,
and a third test key group is formed by inserting the first conductive passage and the second conductive passage into the first through hole and the second through hole.
제1항 내지 제3항 중의 어느 하나의 항에 있어서,
상기 복수 개의 테스트 본딩패드의 수량은 6개이고, 상기 복수 개의 금속리드선의 수량은 6개인 것을 특징으로 하는 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The number of the plurality of test bonding pads is 6, and the number of the plurality of metal lead wires is 6, the monitor panel TEG test assembly.
제1항 내지 제3항 중의 어느 하나의 항에 따른 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리를 이용하여 상기 모니터 패널의 RC 특성에 대하여 테스트를 진행하는 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리의 테스트방법에 있어서,
패널 제품의 제조공법 중에서, 기계작업대를 사용하여 패널제품의 RC 특성에 대하여 온라인/오프라인 테스트를 진행하는 단계;
상기 테스트 결과와 제품과 관련된 RC 특성의 지표규격을 비교하여 제품의 품질표준의 요구에 부합되는지의 여부를 판단하는 단계;
요구에 부합될 경우, 당해 제품제조공법을 계속 사용하여 후속의 제품을 제조하는 단계; 및
요구에 부합되지 않을 경우, 당해 제품을 폐기하는 동시에 제품제조공법을 개선하는 단계;를 포함하며,
기계작업대를 사용하여 진행하는 테스트는,
제1관통홀 내에 제1도전성 통로를 삽입하여 제1테스트키 그룹을 형성하고, 4개의 탐침을 각각 제1테스트 본딩패드, 제2테스트 본딩패드, 제3테스트 본딩패드와 제5테스트 본딩패드 상에 설치함으로써 이 4개의 테스트 본딩 패드 사이의 전기회로 접촉저항을 테스트하는 단계;
제2관통홀 내에 제2도전성 통로를 삽입하여 제2테스트키 그룹을 형성하고, 4개의 탐침을 각각 제2테스트 본딩패드, 제4테스트 본딩패드, 제5테스트 본딩패드와 제6테스트 본딩패드 상에 설치함으로써 이 4개의 테스트 본딩 패드 사이의 전기회로 접촉저항을 테스트 하는 단계; 및/또는
제1관통홀과 제2관통홀 내에 제1도전성 통로와 제2도전성 통로를 동시에 삽입하는 것을 통하여 제3테스트키 그룹을 형성하고, 4개의 탐침을 각각 제1테스트 본딩패드, 제2테스트 본딩패드, 제5테스트 본딩패드와 제6테스트 본딩패드 상에 설치함으로써 이 4개의 테스트 본딩 패드 사이의 전기회로 접촉저항을 테스트하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터 패널 TEG 테스트 어셈블리의 테스트방법.
In the test method of the monitor panel TEG test assembly, the RC characteristic of the monitor panel is tested using the monitor panel TEG test assembly according to any one of claims 1 to 3,
In a method for manufacturing a panel product, performing an online/offline test on the RC characteristics of the panel product using a machine workbench;
comparing the test result with the index standard of the RC characteristic related to the product to determine whether it meets the requirements of the product quality standard;
If the requirements are met, continuing to use the product manufacturing method to manufacture subsequent products; and
If it does not meet the requirements, the step of disposing of the product and improving the manufacturing method of the product at the same time;
Testing performed using a machine workbench,
A first test key group is formed by inserting a first conductive passage into the first through hole, and four probes are respectively placed on the first test bonding pad, the second test bonding pad, the third test bonding pad and the fifth test bonding pad. testing the electrical circuit contact resistance between the four test bonding pads by installing in the ;
A second conductive passage is inserted into the second through hole to form a second test key group, and four probes are placed on the second test bonding pad, the fourth test bonding pad, the fifth test bonding pad, and the sixth test bonding pad, respectively. testing the electrical circuit contact resistance between the four test bonding pads by installing in the ; and/or
A third test key group is formed by simultaneously inserting the first conductive passage and the second conductive passage into the first through hole and the second through hole, and the four probes are respectively inserted into the first test bonding pad and the second test bonding pad. and testing the electrical circuit contact resistance between the four test bonding pads by installing them on the fifth test bonding pad and the sixth test bonding pad.
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JP2005175492A (en) 2003-12-12 2005-06-30 Au Optronics Corp Method for measuring contact resistance of electronic equipment joined to liquid crystal display panel and liquid crystal display for measuring method

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