KR102266081B1

KR102266081B1 - Gate valve for vacuum process and cylinder having slow mode

Info

Publication number: KR102266081B1
Application number: KR1020200099933A
Authority: KR
Inventors: 이동민
Original assignee: 이동민
Priority date: 2019-06-19
Filing date: 2020-08-10
Publication date: 2021-06-17
Also published as: KR20200145786A

Abstract

본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브는, 공압 연결 포트를 갖는 실린더 몸체; 상기 실린더 몸체에 대하여 제1위치 및 상기 제1위치와 이격된 제2위치를 가질 수 있게 형성된 피스톤부; 및 상기 피스톤부의 일측에 상기 피스톤부에 작용하는 공압을 가변시키기 위한 이동부재를 포함하고, 상기 피스톤부가 상기 제1위치로부터 시작하여 상기 제2위치로 이동될 때 상기 제1위치와 상기 제2위치 사이에 있는 전이 위치로부터 상기 제2위치까지는 상기 제1위치로부터 상기 전이 위치까지 이동하는 속도보다 감속되도록 상기 피스톤부에 작용하는 공압을 가변시킬 수 있게 구성된, 감속유닛을 포함할 수 있다.A gate valve for a vacuum process related to the present invention includes: a cylinder body having a pneumatic connection port; a piston part formed to have a first position with respect to the cylinder body and a second position spaced apart from the first position; and a moving member at one side of the piston unit for varying the pneumatic pressure acting on the piston unit, wherein the first position and the second position when the piston unit is moved from the first position to the second position. From the transition position therebetween to the second position, it may include a deceleration unit, configured to be able to vary the air pressure acting on the piston so as to be decelerated than the moving speed from the first position to the transition position.

Description

Gate valve and reduction cylinder for vacuum process {GATE VALVE FOR VACUUM PROCESS AND CYLINDER HAVING SLOW MODE}

본 발명은 반도체 제조 공정 등에서 장비나 공정 중의 제품이 챔버에 출입하기 위하여 게이트를 개방 또는 밀폐시키는 진공 공정용 게이트 밸브 및 감속 실린더에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve and a deceleration cylinder for a vacuum process for opening or closing a gate in order to allow equipment or products in the process to enter and exit a chamber in a semiconductor manufacturing process.

반도체, 박막, LCD, OLED 등의 제조 분야에서는 진공 상태에서 이온 도금(ion plating), 플라즈마 에칭(plasma etching), 증착 등의 가공 또는 처리 공정이 행해진다. 이러한 가공이나 처리를 위해서는, 예비실에 일단 가공물(work)을 반입하고 예비실을 일차의 진공도로 한 뒤 가공실과 처리실 등에 가공물을 순차적으로 반입하여 식각이나 증착 처리할 수 있게 구성된다. 예비실, 가공실, 처리실 등의 사이에는 높은 밀봉성을 가지는 게이트 밸브(gate valve)가 마련되어 있다. 게이트 밸브는 가공실 및 처리실의 진공도나 클린 조건을 일정하게 유지시키는 역할을 한다.In the field of manufacturing semiconductors, thin films, LCDs, OLEDs, etc., processing or processing processes such as ion plating, plasma etching, and deposition are performed in a vacuum state. For such processing or processing, once the work is brought into the preliminary room, the preliminary room is set to the primary vacuum degree, and then the workpiece is sequentially brought into the processing room and the processing chamber to be etched or deposited. A gate valve having a high sealing property is provided between the preliminary chamber, the processing chamber, the processing chamber, and the like. The gate valve serves to constantly maintain the vacuum level or clean condition of the processing chamber and the processing chamber.

공정의 안정성을 위해, 이러한 진공 게이트 밸브는 밀폐성·내화학성·내플라즈마성이 높아야 하며, 정밀한 공정작업에 부응하기 위해 개폐 구동중 미세먼지 생성이 억제될 필요가 있다.For the stability of the process, such a vacuum gate valve must have high sealing, chemical resistance, and plasma resistance, and it is necessary to suppress the generation of fine dust during opening/closing operation in order to meet precise process work.

통상 게이트 밸브는 공압에 의해 작동되는 구성을 갖는 경우가 많은데, 구체적인 기구 구조나 메카니즘은 다양하다. 일 예로, 닫힘 공압이 공급되면 실린더가 수직으로 상승하면서 캠 구조에 의하여 도어 플레이트 어셈블리가 게이트를 닫도록(close) 하고, 반대로 열림 조작에서는 실린더 블록에 장착되어 있는 스프링이 도어 플레이트 어셈블리를 뒤로 후퇴시키면서 동시에 다운되는 구조가 제시되어 있다. 다른 일 예로서, 도어 플레이트 어셈블리를 상승 또는 하강시키기 위한 공압계통과, 도어 플레이트를 수평으로 이동시켜 게이트를 열림 또는 닫힘 구동하기 위한 공압계통을 각각 갖는 구성도 있다. In general, gate valves often have a configuration operated by pneumatics, but the specific mechanism structure or mechanism is various. For example, when closing pneumatic pressure is supplied, the cylinder rises vertically and the door plate assembly closes the gate by the cam structure. In contrast, in the opening operation, the spring mounted on the cylinder block retracts the door plate assembly backward. At the same time, the down structure is presented. As another example, there is also a configuration having a pneumatic system for raising or lowering the door plate assembly and a pneumatic system for driving the gate to open or close by horizontally moving the door plate.

진공 게이트 밸브에는 실질적인 차단역할을 하는 오링(O-ring)이 도어 플레이트에 구비되어 있는데, 구동 중에 부딪힘이나 충격을 받아 손상되어 리크 및 파티클 끼임(고착)이 발생될 수 있으므로 개폐 과정에서 오링 손상이나 파티클의 부착이 최소화될 수 있도록 설계의 주의를 요한다.The vacuum gate valve has an O-ring on the door plate, which acts as a practical shut-off. However, it may be damaged by a collision or impact during operation, which may cause leakage and particle entrapment (sticking). Therefore, O-ring damage or damage during opening and closing may occur. Care must be taken in design so that particle adhesion can be minimized.

관련 선행특허기술:Related Prior Patents:

한국 등록특허 제10-0808101(2008.02.29 공고)Korean Patent Registration No. 10-0808101 (published on February 29, 2008)

한국 등록특허 제10-1260974(2013.05.06 공고)Korean Patent Registration No. 10-1260974 (Announced on May 6, 2013)

한국 공개특허 제10-2012-0012902(2012.01.13 공개)Korean Patent Publication No. 10-2012-0012902 (published on January 13, 2012)

본 발명은 상기한 점을 감안한 것으로, 도어 플레이트의 신속한 이동을 가능하게 하면서도, 개방 직후 또는 닫힘 직전에서 도어 플레이트가 천천히 이동하도록 함으로써 오링의 충격에 의한 손상을 최소화하면서도 챔버 내의 파티클의 교란을 최소화시키는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in consideration of the above points, and while enabling rapid movement of the door plate, it allows the door plate to move slowly immediately after opening or just before closing, thereby minimizing damage due to the impact of the O-ring and minimizing the disturbance of particles in the chamber. There is a purpose.

본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브는, 게이트를 개폐시킬 수 있게 형성된 도어플레이트; 상기 도어플레이트와 연결된 구동실린더를 포함하고, 상기 도어플레이트의 상기 게이트에 대한 개방상태의 위치와 상기 도어플레이트의 상기 게이트에 대한 폐쇄상태의 위치를 구현할 수 있도록 상기 도어플레이트를 이동시킬 수 있게 상기 구동실린더를 작동시키는 개폐작동유닛; 및 상기 구동실린더의 일측에 상기 구동실린더의 공압을 가변시키기 위한 이동부재를 포함하고, 상기 도어플레이트가 상기 개방상태의 위치로부터 상기 개방상태의 위치와 상기 폐쇄상태의 위치의 사이에 있는 전이 위치까지는 상기 개폐작동유닛에 의한 속도에 의하여 이동되도록 하고, 상기 전이 위치로부터 상기 폐쇄상태의 위치까지는 상기 개폐작동유닛에 의한 속도를 감속시킬 수 있도록 상기 구동실린더의 공압을 가변시킬 수 있게 구성된, 감속유닛을 포함할 수 있다.A gate valve for a vacuum process related to the present invention includes a door plate formed to open and close the gate; and a driving cylinder connected to the door plate, and the driving so as to move the door plate so as to realize a position of the door plate in an open state with respect to the gate and a position of the door plate in a closed state with respect to the gate. an opening/closing operation unit for operating the cylinder; and a moving member for varying the pneumatic pressure of the driving cylinder on one side of the driving cylinder, wherein the door plate extends from the open position to the transition position between the open position and the closed position. a reduction unit configured to be able to change the pneumatic pressure of the driving cylinder so as to be moved by the speed by the opening/closing operation unit and to reduce the speed by the opening/closing operation unit from the transition position to the closed position; may include

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 감속유닛은, 상기 이동부재를 가이드하는 가이드실린더; 및 상기 구동실린더가 상기 개방상태로부터 상기 폐쇄상태로 작동시에 상기 구동실린더의 배출공기의 일부가 상기 가이드실린더를 경유하도록 형성된 감속 유로 연결부를 포함할 수 있다.As an example related to the present invention, the reduction unit may include: a guide cylinder for guiding the moving member; and a deceleration flow path connection part formed so that a portion of the exhaust air of the driving cylinder passes through the guide cylinder when the driving cylinder operates from the open state to the closed state.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 감속 유로 연결부는, 상기 이동부재가 이동하다가 상기 도어플레이트의 상기 전이 위치에 대응하는 위치에 도달할 때, 상기 이동부재에 의하여 상기 감속 유로 연결부를 닫히게 할 수 있는 위치에 형성될 수 있다.As an example related to the present invention, the deceleration flow path connecting portion may close the deceleration flow path connecting portion by the moving member when the moving member reaches a position corresponding to the transition position of the door plate while moving. may be formed at the location.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 진공 공정용 게이트 밸브는, 상기 가이드실린더 내에 배치되고, 상기 이동부재의 복귀 위치를 제한하는 제한 스토퍼를 더 포함할 수 있다.As an example related to the present invention, the gate valve for the vacuum process may further include a limit stopper disposed in the guide cylinder and limiting a return position of the movable member.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 진공 공정용 게이트 밸브는, 상기 구동실린더의 동작에 따라 상기 이동부재를 이동시킬 수 있게 형성된 작동바를 더 포함할 수 있다.As an example related to the present invention, the gate valve for the vacuum process may further include an operation bar formed to move the movable member according to the operation of the driving cylinder.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 작동바는 상기 도어플레이트의 상기 개방상태의 위치에 대응하는 위치에 있을 때 상기 복귀위치에 있는 상기 이동부재에 대하여 일정거리만큼 이격될 수 있게 구성될 수 있다.As an example related to the present invention, the operation bar may be configured to be spaced apart from the movable member in the return position by a predetermined distance when in the position corresponding to the open position of the door plate.

본 발명과 관련된 게이트 밸브용 감속 실린더는, 공압 연결 포트를 갖는 실린더 몸체; 상기 실린더 몸체에 대하여 제1위치 및 상기 제1위치와 이격된 제2위치를 가질 수 있게 형성된 피스톤부; 및 상기 피스톤부의 일측에 상기 피스톤부에 작용하는 공압을 가변시키기 위한 이동부재를 포함하고, 상기 피스톤부가 상기 제1위치로부터 시작하여 상기 제2위치로 이동될 때 상기 제1위치와 상기 제2위치 사이에 있는 전이 위치로부터 상기 제2위치까지는 상기 제1위치로부터 상기 전이 위치까지 이동하는 속도보다 감속되도록 상기 피스톤부에 작용하는 공압을 가변시킬 수 있게 구성된, 감속유닛을 포함할 수 있다.A reduction cylinder for a gate valve according to the present invention includes a cylinder body having a pneumatic connection port; a piston part formed to have a first position with respect to the cylinder body and a second position spaced apart from the first position; and a moving member at one side of the piston unit for varying the pneumatic pressure acting on the piston unit, wherein the first position and the second position when the piston unit is moved from the first position to the second position. From the transition position therebetween to the second position, it may include a deceleration unit, configured to be able to vary the air pressure acting on the piston so as to be decelerated than the moving speed from the first position to the transition position.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 감속유닛은, 상기 이동부재를 가이드하는 가이드실린더; 및 상기 피스톤부가 상기 제1위치로부터 상기 제2위치로 작동시에 상기 실린더 몸체의 배출공기의 일부가 상기 가이드실린더를 경유하도록 형성된 감속 유로 연결부를 포함할 수 있다.As an example related to the present invention, the reduction unit may include: a guide cylinder for guiding the moving member; And when the piston unit operates from the first position to the second position, a portion of the exhaust air of the cylinder body may include a deceleration flow path connecting portion formed to pass through the guide cylinder.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 감속 유로 연결부는, 상기 이동부재가 이동하다가 상기 피스톤부의 상기 전이 위치에 대응하는 위치에 도달할 때, 상기 이동부재에 의하여 상기 감속 유로 연결부를 닫히게 할 수 있는 위치에 형성될 수 있다.As an example related to the present invention, the deceleration flow path connecting portion is a position capable of closing the deceleration flow path connecting portion by the moving member when the moving member reaches a position corresponding to the transition position of the piston unit while moving. can be formed in

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 게이트 밸브용 감속 실린더는, 상기 가이드실린더 내에 배치되고, 상기 이동부재의 복귀 위치를 제한하는 제한 스토퍼를 더 포함할 수 있다.As an example related to the present invention, the reduction cylinder for the gate valve may further include a limit stopper disposed in the guide cylinder and limiting a return position of the movable member.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 가이드실린더는 상기 피스톤부에 연결되는 공압유로로부터 분기되는 공압에 의하여 상기 피스톤부와 동시에 동작이 시작되도록 형성될 수 있다.As an example related to the present invention, the guide cylinder may be formed to start operation simultaneously with the piston unit by pneumatic pressure branched from a pneumatic flow path connected to the piston unit.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 게이트 밸브용 감속 실린더는, 상기 공압유로와 상기 피스톤부가 연결되기 위한 포트의 내부에 설치되어 상기 공압유로부터의 유량을 감소시키는 유량제한부재를 더 포함할 수 있다.As an example related to the present invention, the reduction cylinder for the gate valve may further include a flow limiting member installed inside a port for connecting the pneumatic flow path and the piston part to reduce the flow rate from the pneumatic oil. .

본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브 및 감속 실린더에 의하면, 도어플레이트가 개방상태의 위치로부터 개방상태의 위치와 폐쇄상태의 위치의 사이에 있는 전이 위치까지는 개폐작동유닛에 의한 속도에 의하여 이동되도록 하고, 전이 위치로부터 폐쇄상태의 위치까지는 개폐작동유닛에 의한 속도를 감속시킬 수 있도록 상기 구동실린더의 공압을 가변시킬 수 있다. 그에 따라, 게이트밸브의 닫힘시 도어플레이트가 게이트에 대하여 충격을 일으켜 파티클이 발생되는 것을 방지하고 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.According to the gate valve and the reduction cylinder for vacuum process related to the present invention, the door plate is moved by the speed by the opening/closing operation unit from the position of the open state to the transition position between the position of the open state and the position of the closed state, , it is possible to vary the pneumatic pressure of the driving cylinder so as to reduce the speed by the opening/closing operation unit from the transition position to the position of the closed state. Accordingly, when the gate valve is closed, it is possible to prevent the generation of particles by the door plate impacting the gate and improve the reliability of the process.

본 발명과 관련된 일 예에 따른 감속 실린더는, 피스톤부가 제1위치로부터 제2위치에 이르는 동안 전이 위치까지의 속도와 전이 위치 이후의 속도가 상이하며, 전이 위치 이후부터는 이전의 속도보다 급감된 상태를 유지한다. 이러한 감속 효과는 게이트 밸브 또는 업다운 등 각종 이동 모션을 갖는 밸브류나 기구류에 적용되어 충격이나 소음을 줄이고 안정적으로 동작할 수 있다.In the reduction cylinder according to an example related to the present invention, the speed to the transition position and the speed after the transition position are different while the piston unit is from the first position to the second position, and the speed is sharply decreased from the previous position after the transition position. to keep This deceleration effect can be applied to valves or instruments having various moving motions, such as gate valves or up-down, to reduce shock or noise and to operate stably.

도 1은 본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 배면 사시도이다.
도 2는 도 1의 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 배면도이다.
도 3은 도 2의 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 단면도이다.
도 4는 도 2의 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 Ⅳ-Ⅳ선에 따른 단면도이다.
도 5는 도 2의 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 Ⅴ-Ⅴ선에 따른 단면도이다.
도 6은 본 발명과 관련된 감속유닛(160)의 세부적인 구성을 보이기 위하여 이동부재(161)를 중심으로 상이한 절단면을 갖도록 구성한 부분단면 사시도이다.
도 7은 도 1 내지 도 6의 상태에서 개폐작동유닛(120)의 동작에 의하여 작동바(140)가 전이 위치에 도달할 때의 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 각 부품들의 위치를 보이기 위한 도면들
도 8은 도 7의 상태 이후에 감속유닛(160)에 의하여 구동실린더(130) 및 도어플레이트(110)가 감속중인 상태의 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 각 부품들의 위치를 보이기 위한 도면들이다.
도 9는 도어플레이트(110)가 폐쇄상태의 위치에 있을 때의 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 각 부품들의 위치를 보이기 위한 도면들이다.
도 10은 본 발명과 관련된 일 예에 따른 감속 실린더(200)의 개략적인 외관 사시도이다.
도 11은 도 10의 ⅩⅠ선에 따른 단면도이다.
도 12는 도 12의 ⅩⅡ선에 따른 단면도이다.
도 13은 도 12의 ⅩⅢ 부분의 확대도이다.
도 14는 도 10 내지 도 13의 상태에서 피스톤부(231)가 전이 위치에 도달할 때의 감속 실린더(200)의 각 부품들의 위치를 보이기 위한 도면들이다.
도 15는 도 14의 상태 이후에 감속유닛(260)에 의하여 피스톤부(231)가 감속중인 상태의 감속 실린더(200)의 각 부품들의 위치를 보이기 위한 도면들이다.
도 16은 피스톤부(231)가 제2위치에 있을 때의 각 부품들의 위치를 보이기 위한 도면들이다.
도 17은 본 발명과 관련된 다른 일 예에 따른 감속 실린더(300)의 개략적인 외관 사시도이다.
도 18은 도 17의 감속 실린더(300)의 측면도이다.
도 19는 도 18의 ⅩⅠⅩ-ⅩⅠⅩ선에 따른 단면도이다.
도 20은 도 18의 ⅩⅩ-ⅩⅩ선에 따른 단면도이다.
도 21은 도 17에서 감속유닛(360)의 세부적인 구성을 보이기 위하여 도 20과 다른 방향으로 절단한 모습을 보인 부분 단면 사시도이다.
도 22는 도 17 내지 도 21의 상태에서 피스톤부(331)가 전이 위치에 도달하기 전까지 상승할 때의 감속 실린더(300)의 각 부품들의 위치를 보이기 위한 도면들이다.
도 23은 도 22의 상태 이후에 감속유닛(360)에 의하여 피스톤부(331)가 전이 위치(T)에 도달하여 감속중인 상태의 감속 실린더(300)의 각 부품들의 위치를 보이기 위한 도면들이다.
도 24는 피스톤부(331)가 제2위치(C)에 있을 때의 각 부품들의 위치를 보이기 위한 도면들이다.1 is a rear perspective view of a gate valve 100 for a vacuum process related to the present invention.
FIG. 2 is a rear view of the gate valve 100 for a vacuum process of FIG. 1 .
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III of the gate valve 100 for a vacuum process of FIG. 2 .
4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV of the gate valve 100 for a vacuum process of FIG. 2 .
5 is a cross-sectional view taken along line V-V of the gate valve 100 for a vacuum process of FIG. 2 .
6 is a partial cross-sectional perspective view configured to have different cut surfaces around the moving member 161 in order to show the detailed configuration of the reduction unit 160 related to the present invention.
7 is for showing the position of each part of the gate valve 100 for the vacuum process when the operation bar 140 reaches the transition position by the operation of the opening/closing operation unit 120 in the state of FIGS. 1 to 6 . drawings
8 is a view for showing the position of each part of the gate valve 100 for a vacuum process in a state in which the driving cylinder 130 and the door plate 110 are being decelerated by the deceleration unit 160 after the state of FIG. 7 . .
9 is a view for showing the positions of the respective parts of the gate valve 100 for a vacuum process when the door plate 110 is in the closed position.
10 is a schematic external perspective view of the reduction cylinder 200 according to an example related to the present invention.
11 is a cross-sectional view taken along line XI of FIG. 10 .
12 is a cross-sectional view taken along line XII of FIG. 12 .
13 is an enlarged view of a portion XIII of FIG. 12 .
14 is a view for showing the positions of the respective parts of the reduction cylinder 200 when the piston part 231 reaches the transition position in the state of FIGS. 10 to 13 .
15 is a view for showing the positions of the respective parts of the reduction cylinder 200 in a state in which the piston part 231 is being decelerated by the reduction unit 260 after the state of FIG. 14 .
16 is a view for showing the positions of the respective parts when the piston part 231 is in the second position.
17 is a schematic external perspective view of a reduction cylinder 300 according to another example related to the present invention.
18 is a side view of the reduction cylinder 300 of FIG. 17 .
FIG. 19 is a cross-sectional view taken along line XXI-XXI of FIG. 18 .
FIG. 20 is a cross-sectional view taken along the line XX-XX of FIG. 18 .
FIG. 21 is a partial cross-sectional perspective view showing a state cut in a direction different from that of FIG. 20 in order to show a detailed configuration of the reduction unit 360 in FIG. 17 .
22 is a view for showing the positions of the respective parts of the reduction cylinder 300 when the piston part 331 rises before reaching the transition position in the state of FIGS. 17 to 21 .
23 is a view for showing the positions of the respective parts of the reduction cylinder 300 in a state in which the piston part 331 reaches the transition position T by the reduction unit 360 after the state of FIG.
24 is a view for showing the positions of the respective parts when the piston part 331 is in the second position (C).

이하, 본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브 및 감속 실린더를 첨부된 도면을 이용하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a gate valve and a reduction cylinder for a vacuum process related to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 배면 사시도이고, 도 2는 도 1의 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 배면도이다.1 is a rear perspective view of a gate valve 100 for a vacuum process related to the present invention, and FIG. 2 is a rear view of the gate valve 100 for a vacuum process of FIG. 1 .

이들 도면에 도시된 진공 공정용 게이트 밸브(100)는 공정을 위한 제품 또는 로봇 등의 챔버에 대한 출입을 위한 게이트(101)를 개폐시킬 수 있는 도어플레이트(110)를 구비하고 있다. 도어플레이트(110)는 게이트(101)에 대하여 개방상태의 위치와 폐쇄상태의 위치를 가진다. 이를 위하여 도어플레이트(110)는 개폐작동유닛(120)에 의하여 작동된다. 개폐작동유닛(120)은 도어플레이트(110)를 게이트(101)에 대한 개방상태의 위치와 폐쇄상태의 위치를 구현할 수 있도록 도어플레이트(110)를 이동시킨다. 개방상태의 위치와 폐쇄상태의 위치 사이의 도어플레이트(110)의 이동 궤적은 다양할 수 있다. 이러한 도어플레이트(110)의 이동 궤적은 단순 승하강, 단순 승하강과 수평방향 이동의 조합 또는 다른 형태의 모션일 수 있다. 어느 경우이든, 폐쇄상태의 위치 부근, 즉, 폐쇄상태의 위치로 거의 근접할 때 또는 폐쇄상태의 위치에서 개방상태의 위치로 이동하기 시작하는 무렵에서 본 발명의 구성에 의하여 '감속' 기능이 구현될 수 있다.The gate valve 100 for a vacuum process shown in these drawings is provided with a door plate 110 that can open and close the gate 101 for entering and exiting a chamber such as a product or a robot for the process. The door plate 110 has an open position and a closed position with respect to the gate 101 . To this end, the door plate 110 is operated by the opening/closing operation unit 120 . The opening/closing operation unit 120 moves the door plate 110 to implement the position of the open state and the position of the closed state with respect to the gate 101 . The movement trajectory of the door plate 110 between the position of the open state and the position of the closed state may vary. The movement trajectory of the door plate 110 may be a simple elevating/lowering, a combination of simple elevating/lowering and horizontal movement, or other types of motion. In any case, the 'deceleration' function is implemented by the configuration of the present invention in the vicinity of the closed position, that is, when almost close to the closed position or when moving from the closed position to the open position. can be

개폐작동유닛(120)은 공압에 의하여 제어되도록 구성된 구동실린더(130)를 구비한다. 도 1 및 도 2와 같이, 구동실린더(130)는 한 쌍으로 구성될 수 있으며, 작동바(140) 및 포스트(150)에 의하여 최종적으로 도어플레이트(110)에 연결되고 있다. 포스트(150)는 구동실린더(130)의 작동과정에서 도어플레이트(110)가 설계된 모션을 가질 수 있도록 캠장치(151)에 의하여 구속되도록 구성될 수 있다.The opening/closing operation unit 120 includes a driving cylinder 130 configured to be controlled by pneumatic pressure. 1 and 2 , the driving cylinder 130 may be configured as a pair, and is finally connected to the door plate 110 by the operation bar 140 and the post 150 . The post 150 may be configured to be constrained by the cam device 151 so that the door plate 110 can have a designed motion during the operation of the driving cylinder 130 .

구동실린더(130)의 일측에는 본 발명과 관련된 감속유닛(160)이 설치된다. 감속유닛(160)은 이동부재(161)를 포함하고 있으며, 이동부재(161)는 구동실린더(130)의 일측에서 구동실린더(130)의 공압을 가변시킬 수 있게 구성된다. 구체적으로, 감속유닛(160)은 도어플레이트(110)가 개방상태의 위치로부터 개방상태의 위치와 폐쇄상태의 위치의 사이에 있는 전이 위치까지는 개폐작동유닛(120)에 의한 속도에 의하여 이동되도록 하고, 전이 위치로부터 폐쇄상태의 위치까지는 개폐작동유닛(120)에 의한 속도를 감속시킬 수 있도록 구동실린더(130)의 공압을 가변시킨다. 감속유닛(160)은 또한, 반대의 이동 즉, 도어플레이트(110)가 폐쇄상태의 위치로부터 전이 위치까지는 전이 위치로부터 개방상태의 위치까지의 개폐작동유닛(120)에 의한 속도를 감속시킨다.A reduction unit 160 related to the present invention is installed on one side of the driving cylinder 130 . The reduction unit 160 includes a moving member 161 , and the moving member 161 is configured to change the pneumatic pressure of the driving cylinder 130 at one side of the driving cylinder 130 . Specifically, the deceleration unit 160 allows the door plate 110 to move by the speed by the opening/closing operation unit 120 from the position of the open state to the transition position between the position of the open state and the position of the closed state. , the pneumatic pressure of the driving cylinder 130 is varied from the transition position to the closed position to reduce the speed by the opening/closing operation unit 120 . The deceleration unit 160 also decelerates the speed by the reverse movement, that is, the opening/closing operation unit 120 from the transition position to the open position of the door plate 110 from the closed position to the transition position.

도 1 내지 도 6은 본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 도어플레이트(110)가 개방상태의 위치에 있을 때의 각 구성을 보인다. 구체적으로, 도 3은 도 2의 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 단면을 보이고 있고, 도 4는 도 2의 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 Ⅳ-Ⅳ선에 따른 단면을 보이고 있으며, 도 5는 도 2의 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 Ⅴ-Ⅴ선에 따른 단면을, 도 6은 본 발명과 관련된 감속유닛(160)의 세부적인 구성을 보이기 위하여 이동부재(161)를 중심으로 상이한 절단면을 갖도록 구성한 부분 단면을 각각 보이고 있다.1 to 6 show each configuration when the door plate 110 of the gate valve 100 for a vacuum process related to the present invention is in an open position. Specifically, FIG. 3 shows a cross-section taken along line III-III of the gate valve 100 for a vacuum process of FIG. 2 , and FIG. 4 is a cross-section taken along line IV-IV of the gate valve 100 for a vacuum process of FIG. 2 . 5 is a cross-section taken along the line V-V of the gate valve 100 for a vacuum process of FIG. 2, and FIG. 6 is a moving member to show the detailed configuration of the reduction unit 160 related to the present invention. Each of the partial cross-sections configured to have different cut surfaces centered at (161) is shown.

도 6과 같이, 구동실린더(130)의 상부에는 피스톤부(161)가 상승시 구동실린더(130)의 내부의 공기가 배출되거나 피스톤부(161)가 하강시 구동실린더(130)의 내부로 공기가 유입되기 위한 제1상부홀(171)이 형성된다.As shown in FIG. 6 , air inside the driving cylinder 130 is discharged from the upper part of the driving cylinder 130 when the piston unit 161 rises or when the piston unit 161 is lowered, air into the inside of the driving cylinder 130 . A first upper hole 171 through which is introduced is formed.

감속유닛(160)은 구동실린더(130)의 일측에서 구동실린더(130)의 공압을 가변시키기 위한 이동부재(161)와, 이동부재(161)를 가이드하는 가이드실린더(165) 및 구동실린더(165)가 개방상태로부터 폐쇄상태로 작동시에 구동실린더(130)의 배출공기의 일부가 가이드실린더(165)로 경유하도록 형성된 감속 유로 연결부(174)를 갖는다. 가이드실린더(165)의 상부에는 제2상부홀(172)이 형성되어 있으며, 제1상부홀(171)과 제2상부홀(172) 상부 플레이트(135) 상에 형성된 연결홈(172)에 의하여 연결되어 있으며, 구동실린더(130) 내의 공기는 제1상부홀(171) 및 제2상부홀(172)을 통하여 하나의 포트(도시되지 않음)로 배출되거나 그 포트로부터 유입된 공기는 제1상부홀(171) 및 제2상부홀(172)을 통하여 구동실린더(130) 내로 유입된다.The reduction unit 160 includes a moving member 161 for varying the pneumatic pressure of the driving cylinder 130 at one side of the driving cylinder 130, a guide cylinder 165 for guiding the moving member 161, and a driving cylinder 165 ) has a deceleration flow path connection part 174 formed so that a part of the exhaust air of the driving cylinder 130 passes to the guide cylinder 165 when operating from the open state to the closed state. A second upper hole 172 is formed in the upper portion of the guide cylinder 165 , and is formed by a connection groove 172 formed on the first upper hole 171 and the second upper hole 172 on the upper plate 135 . connected, the air in the driving cylinder 130 is discharged to one port (not shown) through the first upper hole 171 and the second upper hole 172, or the air introduced from the port is discharged to the first upper part It is introduced into the driving cylinder 130 through the hole 171 and the second upper hole 172 .

감속 유로 연결부(174)는 구동실린더(130)와 가이드실린더(165) 사이의 벽을 관통하는 작은 관통홀의 형태이다. 이동부재(161)는 오링 등 밀봉부재를 포함하고 있으며, 이동부재(161)의 상승에 의하여 감속 유로 연결부(174)를 막게 되면 구동실린더(130) 내의 공기는 제2상부홀(172)로의 배출이 차단되고 제1상부홀(171)로만 배출된다.The deceleration flow path connection part 174 is in the form of a small through-hole penetrating the wall between the driving cylinder 130 and the guide cylinder 165 . The moving member 161 includes a sealing member such as an O-ring, and when the deceleration flow path connection part 174 is blocked by the rising of the moving member 161 , the air in the driving cylinder 130 is discharged to the second upper hole 172 . This is blocked and discharged only through the first upper hole 171 .

도 6과 같이, 가이드 실린더(165) 내에는 이동부재(161)의 복귀 위치를 제한하는 제한 스토퍼(177)가 형성된다. 제한 스토퍼(177)는 직경이 작은 돌출턱의 형태이고, 이동부재(161)의 상부는 피스톤의 형상을 가지나 하부는 직경이 작은 로드 형태이다. 가이드 실린더(165)의 길이는 구동실린더(130)의 길이보다 짧을 수 있고, 이에 따라, 이동부재(161)이 최상의 위치에서 하강하여 복귀하더라도 제한 스토퍼(177)에 의하여 멈추게 된다. 도 2와 같이, 작동바(140)는 도어플레이트(110)의 개방상태의 위치에 대응하는 위치에 있을 때, 복구위치에 있는 이동부재(161)에 대하여 일정 거리만큼 이격되어 있다. 따라서, 개방상태의 위치에서 구동실린더(130)의 동작에 따라 피스톤부(131) 및 작동바(140)가 작동하더라도 이동부재(161)에 접촉하기 전까지는 이동부재(161)는 이동되지 않으며, 그에 따라 피스톤부(131) 및 작동바(140)의 이동속도는 영향받지 않는다.As shown in FIG. 6 , a limiting stopper 177 for limiting the return position of the moving member 161 is formed in the guide cylinder 165 . The limit stopper 177 is in the form of a protruding jaw having a small diameter, and the upper portion of the moving member 161 has a shape of a piston, but the lower portion is in the form of a rod having a small diameter. The length of the guide cylinder 165 may be shorter than the length of the driving cylinder 130 , and accordingly, the moving member 161 is stopped by the limit stopper 177 even if it returns from the best position. As shown in FIG. 2 , when the operation bar 140 is in a position corresponding to the open position of the door plate 110 , it is spaced apart from the moving member 161 in the recovery position by a certain distance. Therefore, even if the piston unit 131 and the operation bar 140 operate according to the operation of the driving cylinder 130 in the open position, the moving member 161 does not move until it comes into contact with the moving member 161, Accordingly, the moving speed of the piston part 131 and the operation bar 140 is not affected.

도 7은 도 1 내지 도 6의 상태에서 개폐작동유닛(120)의 동작에 의하여 작동바(140)가 전이 위치에 도달할 때의 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 각 부품들의 위치를 보이기 위한 도면들이다. 구체적으로, 도 7(a)은 도 2에 대하여 대응하는 도면이고, 도 7(b)는 도 3에 대응하는 도면이며, 도 7(c)는 도 6에 대응하는 도면이다.7 is for showing the position of each part of the gate valve 100 for vacuum process when the operation bar 140 reaches the transition position by the operation of the opening/closing operation unit 120 in the state of FIGS. 1 to 6 . are drawings. Specifically, FIG. 7( a ) is a diagram corresponding to FIG. 2 , FIG. 7( b ) is a diagram corresponding to FIG. 3 , and FIG. 7( c ) is a diagram corresponding to FIG. 6 .

도 7(a)와 같이, 개방 상태의 위치(O)로부터 작동바(140)가 상부로 이동되어 이동부재(161)를 밀어 상승시키면, 이동부재(161)는 감속 유로 연결부(174)를 막기 시작한다. 이때가 '전이상태'의 위치(T)이며, 뒤이어 상승하는 피스톤부(131)에 의한 배출공기의 양을 줄인다. 감속 유로 연결부(174) 및 제2상부홀(172)에 의한 배출공기의 유로는 차단되며, 제1상부홀(171)을 통과하는 배출공기의 양에 의하여 피스톤부(131)의 상승 속도가 억제된다. As shown in Figure 7 (a), when the operation bar 140 is moved upward from the open position (O) and pushes the moving member 161 to rise, the moving member 161 blocks the deceleration flow path connection part 174 . Start. This time is the position T of the 'transition state', and the amount of exhaust air by the piston part 131 that rises thereafter is reduced. The flow path of the exhaust air by the deceleration flow path connection part 174 and the second upper hole 172 is blocked, and the upward speed of the piston part 131 is suppressed by the amount of the exhaust air passing through the first upper hole 171 . do.

감속 유로 연결부(174) 및 제2상부홀(172)의 직경은 제1상부홀(171)의 직경보다 크며, 그에 따라 감속 유로 연결부(174)의 막힘에 따른 상승 속도를 현저히 줄일 수 있다. The diameters of the deceleration flow passage connection part 174 and the second upper hole 172 are larger than the diameter of the first upper hole 171 , and accordingly, the speed of ascent due to clogging of the reduction flow passage connection part 174 can be significantly reduced.

도 7(b)와 같이, 개방상태에서 전이상태에 이르는 동안, 도어플레이트(110)의 상승은 거의 완료되며, 마지막으로 캠장치(151)에 의하여 수평 이동을 앞두고 속도가 급감하게 된다.As shown in FIG. 7(b) , during the transition from the open state to the transition state, the raising of the door plate 110 is almost completed, and finally, the speed decreases sharply before horizontal movement by the cam device 151 .

도 8은 도 7의 상태 이후에 감속유닛(160)에 의하여 구동실린더(130) 및 도어플레이트(110)가 감속중인 상태의 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 각 부품들의 위치를 보이기 위한 도면들로서, 이동부재(161)가 최상단의 위치에 이르는 동안 감속 유로 연결부(174)는 계속하여 막힌 상태이며, 피스톤부(131)의 감속상태(S)는 유지된다.8 is a view for showing the position of each part of the gate valve 100 for a vacuum process in a state in which the driving cylinder 130 and the door plate 110 are being decelerated by the deceleration unit 160 after the state of FIG. , while the moving member 161 reaches the uppermost position, the deceleration flow path connection part 174 is continuously blocked, and the deceleration state S of the piston part 131 is maintained.

최종적으로, 도 9와 같은 도어플레이트(110)가 폐쇄상태의 위치(C)에 이를 때까지 충분히 감속된 속도에 의하여 도어플레이트(110)는 게이트(101)에 대하여 충격을 거의 주지 않으며, 그에 따라 파티클의 발생 및 공정 품질의 저하를 최소화할 수 있다.Finally, the door plate 110 gives little impact to the gate 101 by the sufficiently decelerated speed until the door plate 110 as shown in FIG. 9 reaches the closed position (C), and accordingly Generation of particles and deterioration of process quality can be minimized.

도 10 내지 도 24는 앞서 설명한 감속기능이 실린더에 직접 적용된 두 가지 예를 보인 것들이다. 즉, 도 11 내지 도 16은 감속 실린더(200)의 첫 번째 예시이며, 도 17 내지 도 24는 감속 실린더(300)의 두 번째 예시이다.10 to 24 show two examples in which the deceleration function described above is directly applied to a cylinder. That is, FIGS. 11 to 16 are a first example of the reduction cylinder 200 , and FIGS. 17 to 24 are a second example of the reduction cylinder 300 .

먼저, 도 11 내지 도 16에 의하면, 감속 실린더(200)는, 공압 연결 포트(233, 234)를 갖는 실린더 몸체(230)와, 실린더 몸체(230)에 대하여 제1위치 및 제1위치와 이격된 제2위치를 가질 수 있게 형성된 피스톤부(231) 및, 감속유닛(230)을 갖는다. 감속유닛(230)은 피스톤부(231)의 일측에 피스톤부에 작용하는 공압을 가변시키기 위한 이동부재(261)를 포함할 수 있다. 감속유닛(230)은 이동부재(261)에 의하여 피스톤부(231)가 제1위치로부터 시작하여 제2위치로 이동될 때 제1위치와 제2위치 사이에 있는 전이 위치로부터 제2위치까지는 제1위치로부터 전이 위치까지 이동하는 속도보다 감속되도록 피스톤부(231)에 작용하는 공압을 가변시킨다. 본 예에서도 감속유닛(230)은 이동부재(261)를 가이드하는 가이드 실린더(265)와, 피스톤부(231)가 제1위치로부터 제2위치로 작동시에 실린더 몸체(230)의 배출공기의 일부가 가이드실린더(265)를 경유하도록 형성된 감속 유로 연결부(274)를 포함한다. 이러한 감속 유로 연결부(274)는 이동부재(261)가 이동하다가 피스톤부(231)의 전이 위치에 대응하는 위치에 도달할 때, 이동부재(261)에 의하여 감속 유로 연결부(274)를 닫히게 할 수 있는 위치에 형성된다. 도 12에 의하면, 감속 유로 연결부(274)는 실린더 몸체(230) 및 가이드 실린더(265)의 대략 상부에 위치된다.First, according to FIGS. 11 to 16 , the reduction cylinder 200 is spaced apart from the first position and the first position with respect to the cylinder body 230 and the cylinder body 230 having the pneumatic connection ports 233 and 234 . It has a piston part 231 and a reduction unit 230 formed to have a second position. The reduction unit 230 may include a moving member 261 on one side of the piston part 231 for varying the pneumatic pressure acting on the piston part. When the piston part 231 is moved to the second position starting from the first position by the moving member 261 by the moving member 261, the reduction unit 230 has a second position from the transition position between the first position and the second position to the second position. The pneumatic pressure acting on the piston part 231 is varied so as to be decelerated from the moving speed from the first position to the transition position. In this example, the deceleration unit 230 also includes a guide cylinder 265 for guiding the moving member 261 and the piston 231 of the exhaust air of the cylinder body 230 when operating from the first position to the second position. A portion includes a deceleration flow path connection portion 274 formed to pass through the guide cylinder 265 . This deceleration flow path connection part 274 can close the reduction flow path connection part 274 by the moving member 261 when the moving member 261 moves and reaches a position corresponding to the transition position of the piston part 231 . formed at the location Referring to FIG. 12 , the deceleration flow path connection part 274 is positioned at approximately upper portions of the cylinder body 230 and the guide cylinder 265 .

본 예의 가이드 실린더(265)는, 도 11과 같이, 피스톤부(231)에 연결되는 공압유로(P)로부터 분기되는 공압에 의하여 피스톤부(231)와 동시에 동작이 시작되도록 구성될 수 있다. 즉, 가이드 실린더(265)도 피스톤부(231)과 같이 별도의 공압포트(266)를 통하여 공압유로(P)와 연결되어 있다. 이동부재(261)의 상승속도는 피스톤부(231)보다 빠르며, 피스톤부(231)가 감속 유로 연결부(274)에 이르기 전에 감속 유로 연결부(274)에 도달한다. 이때, 공압유로(P)와 피스톤부(231)가 연결되기 위한 포트의 내부에 공압유로(P)로부터의 유량을 감소시키는 유량제한부재(236)가 설치될 수 있다. The guide cylinder 265 of this example, as shown in FIG. 11 , may be configured to start operation simultaneously with the piston part 231 by the pneumatic pressure branched from the pneumatic flow path P connected to the piston part 231 . That is, the guide cylinder 265 is also connected to the pneumatic passage P through a separate pneumatic port 266 like the piston part 231 . The rising speed of the moving member 261 is faster than that of the piston part 231 , and the piston part 231 reaches the reduction flow passage connection part 274 before reaching the reduction flow passage connection part 274 . At this time, a flow rate limiting member 236 for reducing the flow rate from the pneumatic flow path P may be installed inside the port for connecting the pneumatic flow path P and the piston part 231 .

도 12 및 도 13에 의하면, 실린더 몸체(230)의 상부에는 제1상부홀(271)이 형성되어 있고, 제1상부홀(271)은 공압포트(234)의 제2상부홀(272)과 연결홀(273)에 의하여 연결되어 있다. 제1상부홀(271), 제2상부홀(272), 연결홀(273) 및 감속 유로 연결부(274)는 직경이 작은 드릴 홀이며, 홀의 드릴 형성 후 캡핑(267, 268, 269)에 의하여 밀봉된다. 본 예에서도 감속 유로 연결부(274)의 직경은 제1상부홀(271)보다 크며, 그에 따라 감속 유로 연결부(274)를 막는 이동부재(261)에 의하여 피스톤부(231)는 현저한 속도 급감 효과를 얻을 수 있다.12 and 13 , a first upper hole 271 is formed in the upper portion of the cylinder body 230 , and the first upper hole 271 is a second upper hole 272 of the pneumatic port 234 and They are connected by a connection hole 273 . The first upper hole 271 , the second upper hole 272 , the connection hole 273 , and the reduction flow passage connection part 274 are drill holes having a small diameter, and are formed by the capping 267 , 268 , 269 after drilling the hole. sealed Also in this example, the diameter of the reduction flow passage connection part 274 is larger than the first upper hole 271, and accordingly, the piston part 231 by the moving member 261 blocking the reduction flow passage connection part 274 has a significant speed reduction effect. can be obtained

도 14는 도 10 내지 도 13의 상태에서 피스톤부(231)가 전이 위치에 도달할 때의 감속 실린더(200)의 각 부품들의 위치를 보이기 위한 도면들이다. 구체적으로, 도 14(a)는 도 12에 대응하고, 도 14(b)는 도 13에 대응하여 각 부품이 이동된 상태를 보인다.14 is a view for showing the positions of the respective parts of the reduction cylinder 200 when the piston part 231 reaches the transition position in the state of FIGS. 10 to 13 . Specifically, Fig. 14 (a) corresponds to Fig. 12, and Fig. 14 (b) shows a state in which each component is moved in correspondence to Fig. 13 .

도 14(a)와 같이, 제1위치(O)로부터 공급된 공압으로부터 피스톤부(231) 및 이동부재(261)가 동시에 작동을 시작하면, 유량에 따라 이동부재(261)가 먼저 상승하여 이동부재(261)가 감속 유로 연결부(274)를 막기 시작한다. 이때가 '전이상태'의 위치(T)이며, 뒤이어 상승하는 피스톤부(231)에 의한 배출공기의 양을 줄인다. 감속 유로 연결부(274)에 의한 배출공기의 유로는 차단되며, 제1상부홀(271)을 통과하는 배출공기의 양에 의하여 피스톤부(231)의 상승 속도가 억제된다. 14(a), when the piston part 231 and the moving member 261 start to operate at the same time from the pneumatic pressure supplied from the first position O, the moving member 261 first rises and moves according to the flow rate. The member 261 starts to block the speed reduction flow passage connecting portion 274 . This time is the position T of the 'transition state', and the amount of exhaust air by the piston part 231 that rises subsequently is reduced. The flow path of the exhaust air by the deceleration flow path connection part 274 is blocked, and the upward speed of the piston part 231 is suppressed by the amount of the exhaust air passing through the first upper hole 271 .

도 15는 도 14의 상태 이후에 감속유닛(260)에 의하여 피스톤부(231)가 감속중인 상태의 감속 실린더(200)의 각 부품들의 위치를 보이기 위한 도면들로서, 이동부재(261)가 최상단의 위치에 이르는 동안 감속 유로 연결부(274)는 계속하여 막힌 상태이며, 피스톤부(231)의 감속상태(S)는 유지되어 최종적으로 도 16의 상태에 이르게 된다.15 is a view for showing the position of each part of the reduction cylinder 200 in a state in which the piston part 231 is being decelerated by the deceleration unit 260 after the state of FIG. 14 , and the moving member 261 is the uppermost While reaching the position, the deceleration flow path connection part 274 is continuously blocked, and the deceleration state S of the piston part 231 is maintained and finally the state of FIG. 16 is reached.

이와 같이, 감속 실린더(200)는 피스톤부(231)가 제1위치(O)로부터 제2위치(C)에 이르는 동안 전이 위치(T)까지의 속도와 전이 위치 이후의 속도가 상이하며, 전이 위치 이후부터는 이전의 속도보다 급감된 상태를 유지한다. 이러한 감속 효과는 게이트 밸브 또는 업다운 등 각종 이동 모션을 갖는 밸브류나 기구류에 적용되어 충격이나 소음을 줄이고 안정적으로 동작할 수 있도록 한다.As such, the speed of the reduction cylinder 200 is different from the speed to the transition position T and the speed after the transition position while the piston part 231 reaches the second position C from the first position O. After the position, it maintains a state that has decreased sharply from the previous speed. This deceleration effect is applied to valves or instruments having various movement motions, such as gate valves or up-down, to reduce shock or noise and to operate stably.

도 17 내지 도 24에 의하면, 감속 실린더(300)는, 공압 연결 포트(333, 334)를 갖는 실린더 몸체(330)와, 실린더 몸체(330)에 대하여 제1위치 및 제1위치와 이격된 제2위치를 가질 수 있게 형성된 피스톤부(331) 및, 감속유닛(330)을 갖는다. 감속유닛(330)은 피스톤부(331)의 일측에 피스톤부에 작용하는 공압을 가변시키기 위한 이동부재(361)를 포함할 수 있다. 감속유닛(330)은 이동부재(361)에 의하여 피스톤부(331)가 제1위치로부터 시작하여 제2위치로 이동될 때 제1위치와 제2위치 사이에 있는 전이 위치로부터 제2위치까지는 제1위치로부터 전이 위치까지 이동하는 속도보다 감속되도록 피스톤부(331)에 작용하는 공압을 가변시킨다. 본 예에서도 감속유닛(330)은 이동부재(361)를 가이드하는 가이드 실린더(365)와, 피스톤부(331)가 제1위치로부터 제2위치로 작동시에 실린더 몸체(330)의 배출공기의 일부가 가이드실린더(365)를 경유하도록 형성된 감속 유로 연결부(374)를 포함한다. 이러한 감속 유로 연결부(374)는 이동부재(361)가 이동하다가 피스톤부(331)의 전이 위치에 대응하는 위치에 도달할 때, 이동부재(361)에 의하여 감속 유로 연결부(374)를 닫히게 할 수 있는 위치에 형성된다. 도 20에 의하면, 감속 유로 연결부(374)는 실린더 몸체(330) 및 가이드 실린더(365)의 대략 상부에 위치된다. 본 예에서도, 도 19와 같이, 공압유로와 피스톤부(331)가 연결되기 위한 포트의 내부에 공압유로로부터의 포트(333)에 공급되는 유량을 감소시키는 유량제한부재(336)가 설치될 수 있다. 17 to 24, the reduction cylinder 300 is a cylinder body 330 having pneumatic connection ports 333 and 334, and a first position and a first position spaced apart from the first position with respect to the cylinder body 330. It has a piston part 331 formed to have two positions, and a reduction unit 330 . The reduction unit 330 may include a moving member 361 for varying the pneumatic pressure acting on the piston unit on one side of the piston unit 331 . When the piston part 331 is moved from the first position to the second position by the moving member 361 by the moving member 361, the speed reduction unit 330 has a second position from the transition position between the first position and the second position to the second position. The pneumatic pressure acting on the piston part 331 is varied so as to be decelerated from the moving speed from the first position to the transition position. In this example as well, the reduction unit 330 includes a guide cylinder 365 for guiding the moving member 361 and the piston part 331 of the exhaust air of the cylinder body 330 when operating from the first position to the second position. A portion includes a deceleration flow passage connecting portion 374 formed to pass through the guide cylinder (365). This deceleration flow passage connection part 374 can close the reduction flow passage connection part 374 by the moving member 361 when the moving member 361 reaches a position corresponding to the transition position of the piston part 331 while moving. formed at the location Referring to FIG. 20 , the deceleration flow path connection part 374 is positioned at approximately upper portions of the cylinder body 330 and the guide cylinder 365 . In this example as well, as shown in FIG. 19, a flow limiting member 336 for reducing the flow rate supplied to the port 333 from the pneumatic flow path can be installed inside the port for connecting the pneumatic flow path and the piston part 331. have.

도 20에 의하면, 실린더 몸체(330)의 상부에는 제1상부홀(371)이 형성되어 있고, 제1상부홀(371)은 공압포트(334)의 제2상부홀(372)과 연결홀(373)에 의하여 연결되어 있다. 제1상부홀(371), 제2상부홀(372), 연결홀(373) 및 감속 유로 연결부(374)는 직경이 작은 드릴 홀의 형태이다. 본 예에서도 감속 유로 연결부(374)의 직경은 제1상부홀(371)보다 크며, 그에 따라 감속 유로 연결부(374)를 막는 이동부재(361)에 의하여 피스톤부(331)는 현저한 속도 급감 효과를 얻을 수 있다.According to FIG. 20 , a first upper hole 371 is formed in the upper portion of the cylinder body 330 , and the first upper hole 371 is connected to the second upper hole 372 of the pneumatic port 334 and a connection hole ( 373) is linked. The first upper hole 371 , the second upper hole 372 , the connection hole 373 , and the reduction flow passage connection part 374 are in the form of a drill hole having a small diameter. Also in this example, the diameter of the reduction flow path connection part 374 is larger than the first upper hole 371, and accordingly, the piston part 331 by the moving member 361 blocking the reduction flow passage connection part 374 has a significant speed reduction effect. can be obtained

도 21에 의하면, 본 예의 가이드 실린더(365)는, 앞의 도 11 내지 도 16과 달리, 이동부재(361)는 공압유로(P)로부터 분기되는 공압이 아닌, 실린더 몸체(330)의 내부로 인입되어 있는 작동부재(363) 및 작동부재(363)와 이동부재(361)를 연결하는 연결부재(364)에 의하여 물리적인 푸시 방식에 의하여 작동된다. 이 점에서 도 1 내지 도 10에서 보인 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 감속 메카니즘과 유사하다.According to FIG. 21 , the guide cylinder 365 of this example, unlike the previous FIGS. 11 to 16 , the moving member 361 is not a pneumatic branching from the pneumatic flow path P, but into the cylinder body 330 . It is operated by a physical push method by the operating member 363 and the connecting member 364 connecting the operating member 363 and the moving member 361 . In this respect, it is similar to the deceleration mechanism of the gate valve 100 for a vacuum process shown in FIGS. 1 to 10 .

도 22는 도 17 내지 도 21의 상태에서 피스톤부(331)가 전이 위치에 도달하기 전에 상승할 때(H)의 감속 실린더(300)의 각 부품들의 위치를 보이기 위한 도면들이다. 구체적으로, 도 22(a)는 도 21에 대응하고, 도 22(b)는 도 20에 대응하여 각 부품이 이동된 상태를 보인다. 도 23은 도 22의 상태 이후에 감속유닛(360)에 의하여 피스톤부(331)가 전이 위치(T)에 도달하여 감속중인 상태의 감속 실린더(300)의 각 부품들의 위치를 보이기 위한 도면들이고, 도 24는 피스톤부(331)가 제2위치(C)에 있을 때의 각 부품들의 위치를 보이기 위한 도면들이다.22 is a view for showing the positions of the respective parts of the reduction cylinder 300 when the piston part 331 rises before reaching the transition position (H) in the state of FIGS. 17 to 21 . Specifically, Fig. 22 (a) corresponds to Fig. 21, and Fig. 22 (b) shows a state in which each part is moved in correspondence with Fig. 20 . 23 is a view for showing the position of each part of the reduction cylinder 300 in a state in which the piston part 331 reaches the transition position T by the reduction unit 360 after the state of FIG. 22 and is in deceleration, 24 is a view for showing the positions of the respective parts when the piston part 331 is in the second position (C).

도 22(a)와 같이, 제1위치(O)로부터 공급된 공압에 의하여 피스톤부(231)가 작동을 시작하게 되고, 피스톤부(331)는 속도의 제한 없이 상승되다가, 작동부재와 (363)에 접촉한 위치(H) 이후에는 작동부재(363)를 밀어 상승시킨다. 작동부재(363)의 상승은 이동부재(361)의 상승을 유발하게 되고 이동부재(361)가 감속 유로 연결부(374)를 막기 시작할 때, 전이위치(T)에 이르게 된다(도 23 참조). 이때, 도 23(b)와 같이, 감속 유로 연결부(374)에 의한 배출공기의 유로는 차단되며, 제1상부홀(371)을 통과하는 배출공기의 양에 의하여 피스톤부(331)의 상승 속도가 억제된다. 이후, 감속유닛(360)에 의하여 피스톤부(331)가 감속된다. 이동부재(361)가 최상단의 위치에 이르는 동안 감속 유로 연결부(374)는 계속하여 막힌 상태이며, 피스톤부(331)의 감속상태는 유지되어 최종적으로 도 24의 상태에 이르게 된다.As shown in Figure 22 (a), the piston part 231 starts to operate by the pneumatic pressure supplied from the first position (O), and the piston part 331 rises without limiting the speed, and then with the operation member 363 ) after the position (H) in contact with the operation member 363 is pushed up. The rising of the operation member 363 causes the moving member 361 to rise, and when the moving member 361 starts to block the deceleration flow passage connecting portion 374, the transition position T is reached (refer to FIG. 23). At this time, as shown in FIG. 23 ( b ), the flow path of the exhaust air by the deceleration flow path connection part 374 is blocked, and the rising speed of the piston part 331 by the amount of the exhaust air passing through the first upper hole 371 . is suppressed Thereafter, the piston part 331 is decelerated by the deceleration unit 360 . While the moving member 361 reaches the uppermost position, the deceleration flow path connection part 374 is continuously blocked, and the deceleration state of the piston part 331 is maintained and finally the state of FIG. 24 is reached.

이와 같이, 감속 실린더(300)는 피스톤부(331)가 제1위치(O)로부터 제2위치(C)에 이르는 동안 전이 위치(T)까지의 속도와 전이 위치 이후의 속도가 상이하며, 전이 위치 이후부터는 이전의 속도보다 급감된 상태를 유지한다. 이러한 감속 효과는 게이트 밸브 또는 업다운 등 각종 이동 모션을 갖는 밸브류나 기구류에 적용되어 충격이나 소음을 줄이고 안정적으로 동작할 수 있도록 한다.As such, the speed of the reduction cylinder 300 is different from the speed to the transition position T and the speed after the transition position while the piston part 331 is from the first position O to the second position C. After the position, it maintains a state that has decreased sharply from the previous speed. This deceleration effect is applied to valves or instruments having various movement motions, such as gate valves or up-down, to reduce shock or noise and to operate stably.

상기와 같이 설명된 진공 공정용 게이트 밸브 및 감속 실린더는 설명된 실시예들의 구성과 방법이 한정되게 적용되지 않는다. 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다. The configuration and method of the described embodiments are not limited to the gate valve and the reduction cylinder for the vacuum process described above. The above embodiments may be configured by selectively combining all or part of each of the embodiments so that various modifications can be made.

100: 진공 공정용 게이트 밸브
101: 게이트 110: 도어플레이트
120: 개폐작동유닛 130: 구동실린더
135: 마운트 플레이트 140: 작동바
150: 포스트 160: 감속유닛
161: 이동부재 165: 가이드실린더
171: 제1상부홀 172: 제2상부홀
173: 연결홈부 174: 감속 유로 연결부
177: 제한 스토퍼 200, 300: 감속 실린더
230, 330: 실린더 몸체 231, 331: 피스톤부
233, 234, 333, 334: 공압 연결 포트
236, 336: 유량제한부재 P : 공압유로
O: 개방상태의 위치 T: 전이 위치
S: 감속 상태의 위치 C: 폐쇄상태의 위치100: gate valve for vacuum process
101: gate 110: door plate
120: opening/closing operation unit 130: driving cylinder
135: mount plate 140: operation bar
150: post 160: reduction unit
161: moving member 165: guide cylinder
171: first upper hole 172: second upper hole
173: connection groove 174: reduction flow path connection
177: limit stopper 200, 300: reduction cylinder
230, 330: cylinder body 231, 331: piston part
233, 234, 333, 334: pneumatic connection ports
236, 336: flow limiting member P: pneumatic flow path
O: open position T: transition position
S: Position in deceleration state C: Position in closed state

Claims

a cylinder body with a pneumatic connection port;
a piston part formed to have a first position with respect to the cylinder body and a second position spaced apart from the first position; and
and a moving member for varying the pneumatic pressure acting on the piston part on one side of the piston part, and between the first position and the second position when the piston part starts from the first position and moves to the second position. a reduction unit configured to vary the pneumatic pressure acting on the piston part so as to be decelerated from the moving speed from the first position to the transition position from the transition position to the second position in the
The reduction unit is
a guide cylinder for guiding the moving member; and
When the piston unit operates from the first position to the second position, a portion of the exhaust air of the cylinder body includes a deceleration flow path connecting portion formed to pass through the guide cylinder,
The deceleration flow path connecting portion is formed at a position capable of closing the deceleration flow path connecting portion by the moving member when the moving member reaches a position corresponding to the transition position of the piston portion while moving,
The reduction cylinder for the gate valve is formed in the form of a through-hole passing through the wall between the drive cylinder and the guide cylinder in which the reduction passage connection part moves the piston.

delete

According to claim 1,
A reduction cylinder for a gate valve disposed in the guide cylinder and further provided with a limit stopper for limiting a return position of the movable member.

According to claim 1,
The guide cylinder is formed to start operation simultaneously with the piston part by the pneumatic pressure branched from the pneumatic flow path connected to the piston part, a reduction cylinder for a gate valve.

6. The method of claim 5,
The reduction cylinder for the gate valve, further comprising a flow limiting member installed inside the port for connecting the pneumatic flow path and the piston part to reduce the flow rate from the pneumatic oil.