KR102242522B1 - 플라즈마 발생 장치 - Google Patents

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KR102242522B1
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Abstract

본 발명은 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 플라즈마 발생 장치는, 제1도체와; 상기 제1도체를 둘러싸고, 서로 이격되어 배치되는 복수의 제2도체와; 상기 제1도체를 둘러싸고, 상기 제2도체들 사이에 제공되는 복수의 절연 튜브와; 상기 제1도체 또는 상기 제2도체에 연결되어 상기 제 1 도체와 상기 제 2 도체 사이의 방전 공간에서 플라즈마를 발생시키는 전원을 포함하되, 상기 제2도체에는 상기 방전 공간에서 발생된 플라즈마를 외부로 토출하는 홀이 형성될 수 있다.

Description

플라즈마 발생 장치{Plasma generating apparatus}
본 발명은 플라즈마 발생 장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생 장치에 관한 것이다.
플라즈마는 비활성 가스와 같은 기체가 음전하를 지닌 전자와 양전하를 띤 이온으로 분리된 상태를 의미한다. 최근 플라즈마로부터 발생되는 가시광선, 적외선, 플라즈마 이온, 또는 활성종들을 피부와 같은 신체 부위에 적용하여, 신체 부위에 대한 치료 과정을 촉진하는 방안이 논의되고 있다.
플라즈마를 이용하여 피부 등을 치료하는 플라즈마 치료 장치는, 일반적으로 플라즈마 발생부를 포함한다. 예를 들어, 국내공개특허공보 제10-2018-0015059호 '플라즈마 치료 장치'는 가스 공급부로부터 공급되는 기체를 방전하여 플라즈마를 생성하는 플라즈마 발생부를 가진다. 또한 플라즈마 발생부에서 생성된 플라즈마를 얼굴 형상과 유사하게 제작된 커버부에 공급한다. 커버부에는 부산물을 포함하는 배기 가스를 외부로 배기하는 배기부가 결합된다. 이 경우, 커버부로 공급된 플라즈마의 유동은 배기부가 제공하는 배기 압력에 영향을 받는다. 즉, 배기부가 제공하는 배기 압력이 세게 작용하는 영역에서는 플라즈마의 유동이 빠르고, 배기 압력이 작게 작용하는 영역에서는 플라즈마의 유동이 느리다. 또한, 플라즈마의 유동을 제어하기 위해 배기부가 제공하는 배기 압력을 조절하더라도, 얼굴 등의 신체 부위는 정렬되지 않은 다수의 곡면을 포함하고 있어 플라즈마를 고르게 공급하기 어렵다.
이러한 문제를 해결하기 위한 방법으로, 플라즈마 발생부를 플라즈마 치료 장치 내부에 매설하는 방법을 고려할 수 있다. 그러나, 이 경우 플라즈마 발생부를 플라즈마 치료 장치의 형상에 따라 다르게 제작하여야 한다. 구체적으로, 플라즈마 치료 장치는 얼굴, 무릎, 발목, 두피 등 다양한 신체 부위에 사용될 수 있다. 플라즈마 발생부를 플라즈마 치료 장치에 매설하는 경우, 플라즈마의 공급이 요구되는 각각의 신체 부위의 형상에 따라 플라즈마 발생부의 형상을 다르게 제작하여야 한다. 이 경우, 플라즈마 치료 장치의 제작 비용이 증가하는 문제가 발생한다.
본 발명은 서로 다른 신체 부위를 치료하는데 사용되는 다양한 치료 장치에 장착 가능한 플라즈마 발생 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 신체 부위의 형상에 따라 플라즈마 공급 위치를 변경하더라도, 변경 제작이 용이한 플라즈마 발생 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 플라즈마 발생 장치는, 제1도체와; 상기 제1도체를 둘러싸고, 서로 이격되어 배치되는 복수의 제2도체와; 상기 제1도체를 둘러싸고, 상기 제2도체들 사이에 제공되는 복수의 절연 튜브와; 상기 제1도체 또는 상기 제2도체에 연결되어 상기 제 1 도체와 상기 제 2 도체 사이의 방전 공간에서 플라즈마를 발생시키는 전원을 포함하되, 상기 제2도체에는 상기 방전 공간에서 발생된 플라즈마를 외부로 토출하는 홀이 형성될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 장치는, 그 길이 방향을 따라 굴곡 가능한 재질을 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제2도체는, 통 형상으로 제공되고, 상기 절연 튜브가 삽입되는 삽입부와; 상기 제2도체의 길이 방향에 수직한 단면에서 바라 볼 때, 상기 삽입부의 내측면보다 작은 직경으로 제공되고 상기 방전 공간을 형성하는 돌출부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 절연 튜브는 상기 제1도체와 접촉되고, 상기 돌출부는 상기 제1도체와 이격되도록 제공될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제2도체들 전체와 전기적으로 연결되며 접지되는 연결 부재를 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 연결 부재는, 상기 제2도체들 및 상기 절연 튜브들을 감싸도록 제공될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 연결 부재는 편조선으로 제공될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 연결 부재는, 금속 재질의 판지 형상으로 제공되고, 상기 홀과 대응하는 위치에 관통홀이 형성될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 홀은, 원 또는 슬릿 형상을 가질 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제1도체는 그 표면에 플라즈마 전해 산화에 의한 코팅이 형성될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제1도체는 도전성 와이어일 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제1도체에 상기 전원이 연결되고, 상기 제2도체는 접지될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 다양한 신체 부위를 치료할 수 있는 플라즈마를 발생시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 플라즈마 발생 장치의 형상을 단순화할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 플라즈마 발생 장치를 다양한 형상을 가지는 플라즈마 치료 장치에 적용 할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 신체 부위의 형상에 따라 플라즈마 공급 위치를 변경하더라도, 그 제작이 용이하여 제작 비용이 증가하는 것을 최소화 할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 플라즈마 발생 장치에서 선 "A-A"를 따라 절단한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치에서 가스가 유동하고, 플라즈마가 토출되는 모습을 보여주는 도면이다.
도 4는 도 1의 플라즈마 발생 장치의 형상을 변경한 모습의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 보여주는 단면도이다.
도 6은 도 5의 플라즈마 발생 장치에서 연결 부재를 보여주는 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 보여주는 단면도이다.
도 8은 도 7의 플라즈마 발생 장치에서 연결 부재를 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 보여주는 도면이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 보여주는 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
이하에서는 본 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 보여주는 도면이고, 도 2는 도 1의 플라즈마 발생 장치에서 선 “A-A”를 따라 절단한 단면도이다. 도 1과 도 2를 참조하면, 플라즈마 발생 장치(100)는 제1도체(110), 제2도체(130), 그리고 절연 튜브(150)를 포함할 수 있다.
제1도체(110)에는 전원(120)이 연결될 수 있다. 제1도체(110)에는 연결된 전원(120)에 의해 전력이 인가될 수 있다. 제1도체(110)에는 고전압의 직류 신호, 교류 신호, 또는 고주파 신호가 인가될 수 있다. 또한, 제1도체(110)에는 1kHz 내지 100Mhz의 주파수를 가지는 신호가 인가될 수 있다. 이 경우, 플라즈마가 안정적으로 발생할 수 있다.
제1도체(110)는 라인 형상을 가지는 도전성 와이어로 제공될 수 있다. 도전성 와이어로 제공되는 제1도체(110)는 응집된 다수개의 금속 입자들을 포함할 수 있다. 예컨대, 금속 입자들은 금 입자, 은 입자, 은 합금 입자, 알루미늄 입자, 알루미늄 합금 입자 등일 수 있다.
또한, 제1도체(110)의 표면에는 플라즈마 전해 산화법(PEO : Plasma Electronic Oxidation, 또는 Micro Arc Oxidation, 이하 PEO)에 의한 코팅이 형성될 수 있다. 플라즈마 전해 산화법(PEO)에 의해 형성되는 코팅은 산화 피막일 수 있다. 플라즈마 전해 산화법(PEO)에 의해 형성된 코팅에 의하여 제1도체(110)는 내부식성, 부착성, 그리고 전기 절연성을 가질 수 있다. 플라즈마 전해 산화법(PEO)에 의해 형성된 코팅으로 제1도체(110)의 표면에는 얇은 절연막이 형성될 수 있다.
제2도체(130)는 제1도체(110)를 둘러싸도록 제공될 수 있다. 제2도체(130)는 복수로 제공되어 서로 이격되어 배치될 수 있다. 제2도체(130) 사이의 간격은 서로 동일하게 제공되거나, 선택적으로 제2도체(130)들의 간격이 다르게 제공될 수 있다. 제2도체(130)는 통 형상으로 제공될 수 있다. 예컨대, 제2도체(130)는 그 중심이 개방된 원통 형상으로 제공될 수 있다.
제2도체(130)는 삽입부(134), 그리고 돌출부(136)를 포함할 수 있다. 삽입부(134)에는 절연 튜브(150)가 삽입된다. 삽입부(134)는 제2도체(130)의 일 단과 타 단에 각각 제공될 수 있다. 이에 제2도체(130)의 일 단 및 타 단에는 각각 절연 튜브(150)가 삽입될 수 있다. 돌출부(136)는 제1도체(110)와 이격되어 제공될 수 있다. 돌출부(136)의 내측면은 제2도체(130)의 길이 방향에 대하여 수직한 단면에서 바라 볼 때, 삽입부(134)의 내측면보다 작은 직경으로 제공되고, 돌출부(136)와 제2도체(130) 사이의 공간은 방전 공간(170)으로 제공된다.
또한, 제2도체(130)에는 방전 공간(170)에서 발생된 플라즈마를 외부로 토출하는 홀(132)이 형성된다. 도 1과 도 2에서는 홀(132)이 원 형상을 가지는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 홀(132)은 그 길이 방향이 제2도체(130)의 길이 방향에 평행한 슬릿 형상을 가지거나, 그 길이 방향이 제2도체(130)의 길이 방향에 수직한 슬릿 형상을 가질 수 있다. 홀(132)의 형상은 치료가 요구되는 신체 부위에 따라 선택될 수 있다.
또한, 제2도체(130)는 접지될 수 있다. 제1도체(110)에 전원이 연결되고 제2도체(130)가 접지되게 제공됨으로써 제1도체(110)와 제2도체(130) 사이에서 플라즈마가 발생될 수 있다.
또한, 제2도체(130)는 제1도체(110)와 유사하게 도전성 금속으로 제공될 수 있다. 도전성 금속으로 제공되는 제2도체(130)는 응집된 다수개의 금속 입자들을 포함할 수 있다. 예컨대, 금속 입자들은 금 입자, 은 입자, 은 합금 입자, 알루미늄 입자, 알루미늄 합금 입자 등일 수 있다. 또한, 제1도체(110)와 유사하게, 제2도체(130)는 그 표면에 플라즈마 전해 산화법(PEO)에 의한 코팅이 형성될 수 있다. 플라즈마 전해 산화법(PEO)에 의해 형성된 코팅으로 제2도체(130)의 표면에는 얇은 절연막이 형성될 수 있다.
상술한 예에서는, 제1도체(110)에 전원(120)이 연결되고, 제2도체(130)가 접지되는 것을 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 상술한 예와 반대로 제1도체(110)가 접지되고, 제2도체(130)에 전원이 연결될 수 있다.
절연 튜브(150)는 제1도체(110)를 둘러싸도록 제공될 수 있다. 또한, 절연 튜브(150)는 제1도체(110)와 접하도록 제공될 수 있다. 절연 튜브(150)는 복수로 제공될 수 있다. 복수의 절연 튜브(150)는 제2도체(130)들 사이에 제공될 수 있다. 제2도체(130)들 사이 제공되는 절연 튜브(150)는 제2도체(130)의 삽입부(134)에 각각 삽입되도록 제공될 수 있다. 절연 튜브(150)는 우수한 절연 특성을 갖는 재질로 제공될 수 있다. 예컨대, 절연 튜브(150)는 실리콘 재질로 제공될 수 있다. 또한, 절연 튜브(150)는 사출 성형에 의해 형성된 원통 형상의 실리콘 일 수 있다. 절연 튜브(150)의 외측 직경은 제2도체(130)의 내측 직경과 동일하고, 절연 튜브(150)의 내측 직경은 제1도체(110)의 외측 직경과 동일하도록 제공될 수 있다.
절연 튜브(150)의 제공에 의해 길이 방향을 따라서 선택된 영역에서만 플라즈마가 발생될 수 있다. 절연 튜브(150)가 제1도체(110)를 감싸지 않는 영역, 즉, 제1도체(110)를 제2도체(130)가 감싸고 있는 영역에서만 방전 공간(170)이 형성될 수 있다. 이에 플라즈마 발생 장치(100)의 길이 방향을 따라서 선택된 영역(방전 공간(170)이 형성된 영역)에서만 플라즈마가 발생할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치에서 가스가 유동하고, 플라즈마가 토출되는 모습을 보여주는 도면이다. 도 3을 참조하면, 제2도체(132)에 형성된 홀(132)을 통해 방전 공간으로 가스(G)가 유입되고 유출될 수 있다. 가스(G)는 공기 또는 비활성 기체일 수 있다. 방전 공간(170)으로 유입된 가스(G)는 전원이 인가되는 제1도체(110)와 접지된 제2도체(130) 사이의 방전 공간(170)에서 기체 방전 현상에 의해 플라즈마(P)를 발생시킬 수 있다. 방전 공간(170)에서 발생된 플라즈마(P)는 홀(132)을 통해 외부로 토출될 수 있다.
도 4는 도 1의 플라즈마 발생 장치의 형상을 변경한 모습의 일 예를 보여주는 도면이다. 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(100)는 라인 형상을 가질 수 있다. 라인 형상을 가지는 플라즈마 발생 장치(100)는 구부러지거나, 곧게 펴지면서 그 형상이 자유롭게 변형될 수 있다. 플라즈마 발생 장치(100)는, 그 길이 방향을 따라 굴곡 가능한 재질을 포함할 수 있다. 일 예로, 플라즈마 발생 장치(100)의 제1도체(110) 및/또는 절연 튜브(150)는 그 길이 방향을 따라 굴곡 가능한 재질을 포함할 수 있다.
본 발명의 플라즈마 발생 장치(100)는 피부 치료용 플라즈마 마스크, 두피 치료용 플라즈마 캡, 발목 치료용 플라즈마 밴드 등에 설치될 수 있다. 예를 들어 사용자의 피부를 치료하는 플라즈마 마스크에 설치되는 경우, 사용자의 얼굴을 덮는 형상을 가지는 바디에 플라즈마 발생 장치(100)가 설치될 수 있다.
플라즈마 치료 장치가 치료하는 신체 부위는 얼굴, 두피, 발목, 무릎 등으로 매우 다양할 수 있다. 이에 따라, 플라즈마 치료 장치는 치료 대상이 되는 신체 부위에 대응하여 다양한 형상으로 변형될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(100)는 제1도체(110), 제2도체(130), 그리고 절연 튜브(150)가 서로 조합되어 전체적으로 라인 형상을 가지고, 그 형상이 자유롭게 변형될 수 있다. 이에, 플라즈마 치료 장치의 형상에 무관하게 플라즈마 치료 장치에 설치될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(110)는 복수로 제공되어 플라즈마 치료 장치가 가지는 바디에 일정 간격 이격 되도록 부착 또는 매설될 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(110)는 단수로 제공되어 일부는 직선 경로를 형성하고 다른 일부는 곡선 경로를 형성하는 방식으로 플라즈마 치료 장치가 가지는 바디에 부착 또는 매설될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(100)는 복수로 제공되어 일부는 직선 경로만을 형성하는 방식으로 플라즈마 치료 장치에 설치되고, 다른 일부는 직선 경로 및/또는 곡선 경로를 형성하는 방식으로 플라즈마 치료 장치에 설치될 수 있다.
일반적인 플라즈마 발생부는 플라즈마 치료 장치의 형상에 따라 각각 다르게 제작되어야 했다. 이에 플라즈마 치료 장치의 제작 비용이 증가하는 문제가 있었다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(100)는 다양한 형상의 플라즈마 치료 장치들에 적용될 수 있다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(100)는 다양한 형상의 플라즈마 치료 장치들에 대하여 범용성을 가질 수 있다. 즉, 다양한 형상의 플라즈마 치료 장치를 제작하더라도, 신체 부위에 대응하는 바디만 제작하고 해당 바디에 설치되는 플라즈마 발생 장치(100)를 공통으로 사용할 수 있다. 이에, 서로 상이한 신체 부위를 치료하는 플라즈마 치료 장치를 제작하더라도, 각각의 플라즈마 치료 장치의 형상에 맞는 플라즈마 발생 장치를 별도로 제작할 필요가 없다. 플라즈마 치료 장치의 제작 비용을 크게 절감할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(100)는 별도의 배기부를 포함하지 않으며, 방전 공간(170)에서 발생된 플라즈마를 홀(132)을 통해 직접적으로 토출한다. 즉, 배기부가 제공하는 배기 압력이 세게 작용하는 영역에서는 플라즈마의 유동이 빠르고, 배기 압력이 작게 작용하는 영역에서는 플라즈마의 유동이 느리게 되어 치료가 요구되는 신체 부위에 플라즈마를 고르게 공급하기 어려운 문제를 해결할 수 있다.
도 1에 도시된 플라즈마 발생 장치(100)에서는 제2도체(130)가 제1도체(110)를 둘러싸고, 서로 일정한 간격으로 이격되어 있는 것을 예로 들어 도시하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 치료가 요구되는 신체 부위에 따라 홀(132)의 위치를 변경해야 할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면 제2도체(130)의 일 단과 타 단에는 절연 튜브(150)가 삽입된다. 즉, 홀(132)의 위치를 변경하고자 하는 경우, 제2도체(130)의 일 단 및/또는 타단에 삽입된 절연 튜브(150)의 길이를 달리하여 제2도체(130)의 위치를 조정하고, 이에 홀(132)의 위치를 변경할 수 있다. 일반적으로 플라즈마 토출 위치를 변경하기 위해서는, 플라즈마가 토출되는 홀의 위치를 재설계하고, 플라즈마 치료 장치를 제작하는 전체 공정을 변경하여야 했으나, 본 발명의 일 실시예에 의하면 절연 튜브(150)의 길이 만을 변경하면 홀(132)의 위치를 변경할 수 있기 때문에 제작 과정이 간소화된다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(100)는 변경 설계가 용이하다. 이에, 홀(1320)의 위치의 변경에 따른 재 설계 비용을 절감할 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 보여주는 단면도이다. 도 5를 참조하면, 플라즈마 발생 장치(101)는 연결 부재(180)를 더 포함할 수 있다. 연결 부재(180)는 접지될 수 있다. 연결 부재(180)는 제2도체(130)들과 절연 튜브(150)들을 감싸도록 제공될 수 있다. 연결 부재(180)는 제2도체(130)와 전기적으로 연결될 수 있다. 예컨대, 연결 부재(180)는 제2도체(130)와 접하여 전기적으로 연결될 수 있다. 제2도체(130)가 연결 부재(180)와 전기적으로 연결되고, 연결 부재(180)가 접지됨으로써, 제2도체(130)는 접지될 수 있다. 또한, 제2도체(130)들 전체는 연결 부재(180)와 전기적으로 연결됨으로써, 제2도체(130)들은 연결 부재(180)를 매개로 공통 접지될 수 있다.
연결 부재(180)는 도전성 재질로 제공될 수 있다. 예컨대, 연결 부재(180)는 도전 성질을 가지는 금속으로 제공될 수 있다. 또한, 연결 부재(180)는 다수의 접합선을 서로 꼬아 제작된 금속으로 제공될 수 있다. 예컨대, 연결 부재(180)는 도 6에 도시된 바와 같이 금속 소선을 한 가닥 또는 여러 가닥을 접합하여 모아진 집합선을 편조기에 장착하여 꼬아서 대편으로 제조한 편조선(braided wire)일 수 있다. 편조선으로 제공되는 연결 부재(180)의 재질은 동, 알루니늄, 또는 동과 철의 합금 중 선택된 재질로 제공될 수 있다. 또한, 편조선으로 제공되는 연결 부재(180)의 경우 다수의 천공들을 포함하고 있을 수 있다. 이에, 편조선의 천공을 통해 가스(G)가 유입 또는 유출되고, 가스(G)는 방전 공간(170)으로 유입되어 제1도체(110)와 제2도체(130)에 의해 플라즈마를 발생시킬 수 있다. 또한, 연결 부재(180)가 편조선으로 제공되는 경우 제2도체(130) 또는 홀(132)의 위치에 따라 별도로 가스(G)가 유입되는 통로를 제작할 필요가 없기 때문에 플라즈마 발생 장치(100)의 제작 과정을 더욱 간소화 할 수 있게 된다.
상술한 예에서는 연결 부재(180)가 편조선으로 제공되는 것을 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 도 7과 도 8에 도시된 바와 같이 연결 부재(190)는 금속 재질의 얇은 판지 형상으로 제공될 수 있다. 또한, 금속 재질의 판지 형상으로 제공되는 연결 부재(190)는 제2도체(130)에 형성되는 홀(132)과 대응하는 위치에 관통홀(192)이 형성될 수 있다. 금속 재질의 판지 형상으로 제공되는 연결 부재(190)는 편조선으로 제공되는 연결 부재(180)와 그 기능이 유사하므로 자세한 설명은 생략한다.
상술한 예에서는 제2도체(130)가 원통 형상을 가지는 것을 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 제2도체(140)는 도 9에 도시된 바와 같이, 중심부가 개방된 사각 기둥의 형상을 가질 수 있다. 제2도체(140)가 사각 기둥의 형상을 가지는 경우, 제2도체(140)는 모서리부를 포함하게 되므로 플라즈마 치료 장치에 설치하는 것이 더욱 용이해 질 수 있다.
상술한 예에서는 각각의 제2도체(130)에 홀(132)이 하나로 형성되는 것을 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 제2도체(130)에 형성되는 홀(132)은 도 10에 도시된 바와 같이, 복수 개로 형성될 수 있다. 제2도체(130)에 형성되는 홀(132)이 복수 개로 형성되는 경우, 방전 공간(170)으로 유입되는 가스(G)의 흐름을 더욱 원활하게 하여 플라즈마 발생 및 토출을 더욱 용이하게 할 수 있다.
또한, 상술한 예에서 설명한 플라즈마 발생 장치(100)는 그 외면이 절연성 재질의 피복부로 피복될 수 있다. 플라즈마 발생 장치(100)가 피복부를 포함하는 경우에는, 제2도체(130, 140)에 형성된 홀(132, 142)과 연통하는 통공이 피복부에 형성될 수 있다.
이상에서 실시예를 통해 본 발명을 설명하였으나, 위 실시예는 단지 본 발명의 사상을 설명하기 위한 것으로 이에 한정되지 않는다. 통상의 기술자는 전술한 실시예에 다양한 변형이 가해질 수 있음을 이해할 것이다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구범위의 해석을 통해서만 정해진다.
플라즈마 발생 장치 : 100, 101, 102, 103, 104
제1도체 : 110
전원 : 120
제2도체 : 130, 140
절연 튜브: 150
방전 공간 : 170
연결 부재 : 180, 190

Claims (12)

  1. 플라즈마 발생 장치에 있어서,
    제1도체와;
    상기 제1도체를 둘러싸고, 서로 이격되어 배치되는 복수의 제2도체와;
    상기 제1도체를 둘러싸고, 상기 제2도체들 사이에 제공되는 복수의 절연 튜브와;
    상기 제1도체 또는 상기 제2도체에 연결되어 상기 제 1 도체와 상기 제 2 도체 사이의 방전 공간에서 플라즈마를 발생시키는 전원을 포함하되,
    상기 제2도체에는 상기 방전 공간에서 발생된 플라즈마를 외부로 토출하는 홀이 형성되고,
    상기 제2도체는,
    통 형상으로 제공되고,
    상기 절연 튜브가 삽입되는 삽입부와;
    상기 제2도체의 길이 방향에 수직한 단면에서 바라 볼 때, 상기 삽입부의 내측면보다 작은 직경으로 제공되고 상기 방전 공간을 형성하는 돌출부를 포함하는 플라즈마 발생 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1도체, 그리고 상기 절연 튜브는,
    그 길이 방향을 따라 굴곡 가능한 재질을 포함하는 플라즈마 발생 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 절연 튜브는 상기 제1도체와 접촉되고,
    상기 돌출부는 상기 제1도체와 이격되도록 제공되는 플라즈마 발생 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제2도체들 전체와 전기적으로 연결되며 접지되는 연결 부재를 포함하는 플라즈마 발생 장치.
  6. 플라즈마 발생 장치에 있어서,
    제1도체와;
    상기 제1도체를 둘러싸고, 서로 이격되어 배치되는 복수의 제2도체와;
    상기 제1도체를 둘러싸고, 상기 제2도체들 사이에 제공되는 복수의 절연 튜브와;
    상기 제1도체 또는 상기 제2도체에 연결되어 상기 제 1 도체와 상기 제 2 도체 사이의 방전 공간에서 플라즈마를 발생시키는 전원을 포함하되,
    상기 제2도체에는 상기 방전 공간에서 발생된 플라즈마를 외부로 토출하는 홀이 형성되고,
    상기 제2도체들 전체와 전기적으로 연결되며 접지되는 연결 부재를 포함하고,
    상기 연결 부재는,
    상기 제2도체들 및 상기 절연 튜브들을 감싸도록 제공되는 플라즈마 발생 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 연결 부재는 편조선으로 제공되는 플라즈마 발생 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 연결 부재는,
    금속 재질의 판지 형상으로 제공되고,
    상기 홀과 대응하는 위치에 관통홀이 형성되는 플라즈마 발생 장치.
  9. 제1항, 제2항 및 제4항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 홀은,
    원 또는 슬릿 형상을 가지는 플라즈마 발생 장치.
  10. 제1항, 제2항 및 제4항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1도체는 그 표면에 플라즈마 전해 산화에 의한 코팅이 형성되는 플라즈마 발생 장치.
  11. 제1항, 제2항 및 제4항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1도체는 도전성 와이어인 플라즈마 발생 장치.
  12. 제1항, 제2항 및 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1도체에 상기 전원이 연결되고, 상기 제2도체는 접지되는 플라즈마 발생 장치.
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