KR102242436B1 - 액체를 이용한 밀폐 메커니즘이 적용된 약액 탱크 - Google Patents

액체를 이용한 밀폐 메커니즘이 적용된 약액 탱크 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 탱크는, 약액이 수용되는 소정의 공간인 보관 공간을 제공하는 탱크본체부; 상기 탱크본체부의 상측에 고정되는 회전지지부; 상기 회전지지부에 고정된 채로 상기 탱크본체부의 상부에 형성된 관통부를 거쳐 상기 보관 공간 상에 배치된 채로 회전되어 상기 보관 공간에 수용된 약액을 혼합하는 혼합부; 및 상기 혼합부와 상기 관통부 사이에 이격 공간으로 외부의 이물질이 상기 보관 공간으로 유입되지 못하도록 상기 관통부가 포위되도록 상기 탱크본체부에 연결되는 밀폐부;를 포함하고, 상기 밀폐부는, 액체가 수용되는 수용 공간을 제공할 수 있다.

Description

액체를 이용한 밀폐 메커니즘이 적용된 약액 탱크 {CHEMICAL LIQUID TANK WITH LIQUID SEALING MECHANISM}
본 발명은 기계적 밀폐 구조가 아닌 액체를 활용한 밀폐 메커니즘을 적용한 약액 탱크에 대한 것이다.
반도체 장치를 제조하기 위한 공정에서 일반적으로 반도체 기판위에 소정의 막질을 증착하고, 노광, 현상, 식각, 증착 등의 공정이 반복적으로 수행되며, 절연막, 금속배선, 절연(Isolation) 및 트렌치(Trench) 구조를 형성하도록 원하는 부위의 평탄화를 위해 화학 기계적 연마(Chemaical Mechanical Polishing, 이하 CMP)공정이 이루어진다. CMP공정은 화학액과 연마입자로 구성된 슬러리의 화학작용과, 연마기의 기계적 작용의 조합에 의해 수행된다.
CMP 공정을 위해서는 복 수의 약액을 믹싱하고 희석하여 제공하는 슬러리 제공 장치(한국등록특허공보 제10-1858201호, 2018.05.09, 등록)가 필요하다. 구체적으로, 슬러리 공급 장치는 CMP 공정을 위해 복 수개의 약액을 소정의 비율로 믹싱하고 물과 희석한다. 구체적으로 적어도 하나 이상의 약약을 약액 탱크에 주입하고, 물 혹은 다른 약액을 주입하여 기계적 교반을 통해 슬러리를 생성한다. 여기서, 기계적 교반을 위해 장착되는 블레이드와 약액 탱크 간의 이격 공간으로 이물질이 약액 탱크로 주입되는 문제가 존재하였다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 외부 물질이 유입될 수 없는 완벽 밀폐 기능을 구비한 약액 탱크를 제공하고자 한다.
다만, 본 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 탱크는, 약액이 수용되는 소정의 공간인 보관 공간을 제공하는 탱크본체부; 상기 탱크본체부의 상측에 고정되는 회전지지부; 상기 회전지지부에 고정된 채로 상기 탱크본체부의 상부에 형성된 관통부를 거쳐 상기 보관 공간 상에 배치된 채로 회전되어 상기 보관 공간에 수용된 약액을 혼합하는 혼합부; 및 상기 혼합부와 상기 관통부 사이에 이격 공간으로 외부의 이물질이 상기 보관 공간으로 유입되지 못하도록 상기 관통부가 포위되도록 상기 탱크본체부에 연결되는 밀폐부;를 포함하고, 상기 밀폐부는, 액체가 수용되는 수용 공간을 제공할 수 있다.
또한, 상기 밀폐부는, 상기 탱크본체부의 상부와 연결되면서 상기 관통부와 상기 혼합부의 일부를 포위하여 상기 관통부를 1차적으로 밀폐하는 제1 밀폐부 및 상기 탱크본체부의 상부로부터 상측 방향으로 돌출되게 상기 탱크본체부에 연결되는 제2 밀폐부를 구비하고, 상기 제2 밀폐부는, 상기 제1 밀폐부와 이격되게 상기 제1 밀폐부의 측면을 에워싸게 배치되어 상기 제1 밀폐부의 측면과 함께 상기 수용 공간을 형성할 수 있다.
또한, 상기 혼합부는, 상기 회전지지부에 고정되는 혼합모터부 및 일단부가 상기 혼합모터부에 연결된 채로 상기 관통부를 통과하여 상기 보관 공간에 배치되는 혼합로드부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 제2 밀폐부와 연결되어 상기 수용 공간으로 액체가 유입되도록 액체를 안내하는 유입부 및 상기 제2 밀폐부와 연결되어 상기 수용 공간으로부터 액체가 배출되도록 액체를 안내하는 배출부를 구비하는 유동 수단; 및 상기 유동 수단을 제어하는 제어부;를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 유입부는, 상기 배출부의 하측에 위치될 수 될 수 있다.
또한, 상기 유입부와 상기 수용 공간과 상기 배출부를 거쳐 유동되는 액체의 흐름에 대한 정보인 흐름 정보를 제공하는 밀폐센서부;를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 밀폐센서부로부터 전달되는 흐름 정보를 기반으로 상기 유동 수단을 제어할 수 있다.
또한, 상기 탱크본체부의 상부로부터 상측 방향으로 돌출되게 상기 탱크본체부에 연결되는 제3 밀폐부를 더 구비하고, 상기 제3 밀폐부는, 상기 제1 밀폐부의 내측에 위치될 수 있다.
또한, 상기 제1 밀폐부는, 상기 제1 밀폐부와 상기 제2 밀폐부 사이에 존재하는 액체가 상기 제1 밀폐부와 상기 제3 밀폐부 사이의 공간으로 유동되도록 액체를 안내하는 바이패스 유로가 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1 밀폐부에 연결되어, 상기 바이패스 유로를 통해 상기 제1 밀폐부와 상기 제2 밀폐부 사이에 존재하는 액체가 상기 제1 밀폐부와 상기 제3 밀폐부 사이의 공간으로 유동되는 지에 대해서 조절하는 조절 수단;을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 보관 공간 모두에 약액이 수용되어 상기 보관 공간에 수용되지 못하는 약액이 유동되는 벤트부;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 직병렬 모드 변경 가능한 필터 시스템 및 이를 구비한 슬러리 공급 장치는 다양한 목적을 해결하기 위해서 가동될 수 있다.
또한, 다양한 상황에 가장 최적화된 슬러리를 제공할 수 있다.
또한, 비상 상황에 효율적으로 대응할 수 있다.
다만, 본 발명의 효과가 상술한 효과들로 제한되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 탱크의 전체 사시도
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 탱크의 분해 사시도
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 탱크의 부분 결합 단면도
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 탱크의 제어 방법을 설명하기 위한 도면
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 탱크의 부분 결합 단면 확대도
도 6 및 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 탱크에 형성되는 바이패스 유로의 기능을 설명하기 위한 확대도
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 추가, 변경, 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본원 발명 사상 범위 내에 포함된다고 할 것이다.
또한, 각 실시예의 도면에 나타나는 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 탱크의 전체 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 탱크의 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 탱크의 부분 결합 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 탱크는 약액이 수용되는 소정의 공간인 보관 공간(S100)을 제공하는 탱크본체부(100), 상기 탱크본체부(100)의 상측에 고정되는 회전지지부(200), 상기 회전지지부(200)에 고정된 채로 상기 탱크본체부(100)의 상부에 형성된 관통부(h100)를 거쳐 상기 보관 공간(S100) 상에 배치된 채로 회전되어 상기 보관 공간(S100)에 수용된 약액을 혼합하는 혼합부(300) 및 상기 혼합부(300)와 상기 관통부(h100) 사이에 이격 공간으로 외부의 이물질이 상기 보관 공간(S100)으로 유입되지 못하도록 상기 관통부(h100)가 포위되도록 상기 탱크본체부(100)에 연결되는 밀폐부(400)를 포함할 수 있다.
상기 밀폐부(400)는 상기 수용 공간을 제공할 수 있다.
또한, 상기 약액 탱크는 상기 밀폐부(400)와 연결되어 상기 수용 공간으로 액체를 이동시키는 유동 수단(500) 및 상기 유동 수단(500)을 제어하는 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 약액 탱크는 상기 보관 공간(S100) 모두에 약액이 수용되어 상기 보관 공간(S100)에 수용되지 못하는 약액이 유동되는 벤트부(600)를 더 포함할 수 있다.
여기서, 액체(F10)는 (일례로, DIW)일 수 있다.
다만, 이에 한정하지 않고 상기 액체의 종류는 통상의 기술자에게 자명한 수준에서 다양하게 변형 가능하다.
일례로, 상기 액체는 고체와 액체가 혼합된 물질일 수 있다.
일례로, 탱크본체부(100)는 드럼 형상일 수 있다.
다만, 이에 한정하지 않고 상기 탱크본체부(100)의 형상은 통상의 기술자에게 자명한 수준에서 다양하게 변형 가능하다.
회전지지부(200)는 상기 탱크본체부(100)의 상면에 고정되어 상기 혼합부(300)를 지지할 수 있다.
상기 혼합부(300)는 상기 회전지지부(200)에 고정되는 혼합모터부(310) 및 일단부가 상기 혼합모터부(310)에 연결된 채로 상기 관통부(h100)를 통과하여 상기 보관 공간(S100)에 배치되는 혼합로드부(320)를 구비할 수 있다.
또한, 상기 혼합부(300)는 상기 혼합로드부(320)의 타단부로부터 연장되는 블레이드부(330)를 더 구비할 수 있다.
상기 혼합모터부(310)는 상기 혼합로드부(320)를 회전시켜, 상기 블레이드부(330)가 상기 수용 공간 내에 수용된 액체가 교반되도록 할 수 있다.
상기 탱크본체부(100)의 상면에는 소정의 홀이 형성되어 관통부(h100)가 형성될 수 있다.
밀폐부(400)는 상기 탱크본체부(100)의 상부와 연결되면서 상기 관통부(h100)와 상기 혼합부(300)의 일부를 포위하여 상기 관통부(h100)를 1차적으로 밀폐하는 제1 밀폐부(410) 및 상기 탱크본체부(100)의 상부로부터 상측 방향으로 돌출되게 상기 탱크본체부(100)에 연결되는 제2 밀폐부(420)를 구비할 수 있다.
또한, 상기 밀폐부(400)는 상기 탱크본체부(100)의 상부로부터 상측 방향으로 돌출되게 상기 탱크본체부(100)에 연결되는 제3 밀폐부(430)를 더 구비할 수 있다.
상기 제1 밀폐부(410)는 외부에 배치되는 상기 혼합로드부(320)에 연결될 수 있다.
상기 혼합로드부(320)는 상기 제1 밀폐부(410) 상에서 회전될 수 있다.
상기 제1 밀폐부(410)는 내측에 소정의 공간을 제공하며, 상기 제1 밀폐부(410)의 내측의 공간에는 상기 혼합로드부(320)가 배치될 수 있다.
상기 제1 밀폐부(410)는 상기 혼합로드부(320)와 접촉, 연결되는 제1-1 내측면(R411) 및 상기 혼합로드부(320)와 이격되는 제1-2 내측면(R412)을 제공할 수 있다.
상기 제1 밀폐부(410)의 내측에는 상기 관통부(h100)가 배치될 수 있다.
상기 제1 밀폐부(410)는 상기 탱크본체부(100)의 상면에 접촉될 수 있다.
상기 제2 밀폐부(420)는 상기 원통 형상으로서, 상기 탱크본체부(100)의 상면에 연결되어 고정될 수 있다.
상기 제2 밀폐부(420)의 내측에는 상기 제1 밀폐부(410)가 배치될 수 있다.
상기 제1 밀폐부(410)와 이격되게 상기 제1 밀폐부(410)의 측면을 에워싸게 배치되어, 상기 제2 밀폐부(420)는 상기 제1 밀폐부(410)의 측면과 함께 상기 수용 공간을 형성할 수 있다.
상기 제3 밀폐부(430)는 원통 형상으로서, 상기 탱크본체부(100)의 상면에 연결되어 고정될 수 있다.
상기 제3 밀폐부(430)는 상기 제1 밀폐부(410)의 내측에 위치될 수 있다.
상기 관통부(h100)는 상기 제3 밀폐부(430)의 내측에 위치될 수 있다.
상기 제3 밀폐부(430)는 2차적으로 관통부(h100)로 액체와 이물질이 관통부(h100)로 유입되는 것을 예방할 수 있다.
유동 수단(500)은 상기 제2 밀폐부(420)와 연결되어 상기 수용 공간으로 액체가 유입되도록 액체를 안내하는 유입부(510) 및 상기 제2 밀폐부(420)와 연결되어 상기 수용 공간으로부터 액체가 배출되도록 액체를 안내하는 배출부(520)를 구비할 수 있다.
또한, 상기 유동 수단(500)은 상기 유입부(510)와 배출부(520)를 통해 액체가 유동되도록 하는 펌프부(미도시)를 더 구비할 수 있다.
상기 유입부(510)는 상기 배출부(520)의 하측에 위치될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 탱크의 제어 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 4를 참조하면, 상기 약액 탱크는 상기 유입부(510)와 상기 수용 공간과 상기 배출부(520)를 거쳐 유동되는 액체의 흐름에 대한 정보인 흐름 정보를 제공하는 밀폐센서부(700)를 더 포함할 수 있다.
일례로, 상기 흐름 정보는 상기 수용 공간에 수용되는 액체(F10)의 양에 대한 정보일 수 있다.
일례로, 상기 흐름 정보는 상기 배출부(520)를 통해 배출되는 액체에 대한 양일 수 있다.
일례로, 상기 밀폐센서부(700)는 플로우센서일 수 있다.
다만, 이에 한정하지 않고 상기 밀폐센서부(700)의 종류는 통상의 기술자에게 자명한 수준에서 다양하게 변형 가능하다.
일례로, 상기 밀폐센서부(700)는 위치 센서로서 상기 수용 공간(구체적으로, 제1 수용 공간)에 수용된 액체의 높이를 산출할 수 있는 정보를 제공할 수 있다.
상기 제어부는 상기 밀폐센서부(700)로부터 제공되는 흐름 정보를 기반으로 배출부(520)의 배관이 막혓는지 여부 등의 오버플로우가 되고 있는지 여부를 판단할 수 있다.
상기 제어부는 상기 밀폐센서부(700)로부터 전달되는 흐름 정보를 기반으로 상기 유동 수단(500)을 제어할 수 있다.
상기 제어부가 상기 흐름 정보를 기초로 비 이상적인 상황이라고 판단되는 경우, 상기 유입부(510)를 통해 상기 수용 공간으로 더 이상 액체가 유동되지 않도록 상기 펌프부를 제어할 수 있다.
일례로, 비 이상적인 상황은 상기 수용 공간에 수용된 액체의 수위가 소정 높이 이상인 상황일 수 있다.
일례로, 비 이상적인 상황은 상기 유입부(510)를 통해 유입되는 액체의 양이 상기 배출부(520)를 통해 배출되는 액체의 양보다 소정 기준 이상 차이나는 상황일 수 있다.
상기 수용 공간에 수용된 액체는 효과적으로 관통부(h100)로 이물질이 유입되는 것을 효과적으로 차단할 수 있다.
상기 벤트부(600)는 상기 탱크본체부(100)에 연결되는 벤트호스부(610) 및 상기 벤트호스부(610)에 연결되어 상기 벤트호스부(610)에 유체가 유동되는지 여부를 감지하는 유량센서부(620)를 구비할 수 있다.
보관 공간(S100)에 더 이상 약액이 보관되지 못할 경우, 약액은 상기 벤트호스부(610)를 통해 배출될 수 있다.
여기서, 상기 유량센서부(620)는 유체 유동 정보를 상기 제어부로 전달할 수 있으며, 상기 제어부는 상기 탱크본체부(100)로 약액이 공급되는 것을 중단시킬 수 있다.
수용 공간은 제1 밀폐부(410)의 외측면과 상기 제2 밀폐부(420)의 내측면 사이에 형성되는 제1 수용 공간(S411)과 상기 제1 밀폐부(410)의 내측면과 상기 제3 밀폐부(430)의 외측면 사이에 형성되는 제2 수용 공간(S412)으로 이루어질 수 있다.
상기 액체는 상기 제1 수용 공간(S411)과 상기 제2 수용 공간(S412)에 모두 존재하여, 외부로부터 상기 관통부로 이물질이 유입되는 것을 효과적으로 예방할 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 탱크의 부분 결합 단면 확대도이다.
이하, 상술한 내용과 중복되는 한도에서 자세한 설명은 생략될 수 있다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 탱크는 제1 밀폐부(410)에 형성된 바이패스 유로(B410)를 통해 액체의 유동 여부를 조절하는 조절 수단(1800)을 더 포함할 수 있다.
상기 제1 밀폐부(410)는 상기 제1 밀폐부(410)와 상기 제2 밀폐부(420) 사이(제1 수용 공간)에 존재하는 액체가 상기 제1 밀폐부(410)와 상기 제3 밀폐부(430) 사이의 공간(제2 수용 공간)으로 유동되도록 액체를 안내하는 바이패스 유로(B410)가 형성될 수 있다.
상기 바이패스 유로(B410)는 상기 제1 밀폐부(410)의 외측면에서 상기 제1 밀폐부(410)의 내측면을 향하여 경사지게 상기 제1 밀폐부(410) 상에 형성될 수 있다.
상기 바이패스 유로(B410)는 상기 제1 밀폐부(410)의 외측면과 상기 제1 밀폐부(410)의 내측면을 관통하여 형성될 수 있다.
상기 바이패스 유로(B410)는 미리 정해진 조건이 만족되는 경우만 제1 수용 공간(S411)에서 상기 제2 수용 공간(S412)으로 액체가 유동될 수 있다.
조절 수단(1800)은 상기 제1 밀폐부(410)에 연결되어, 상기 바이패스 유로(B410)를 통해 상기 제1 밀폐부(410)와 상기 제2 밀폐부(420) 사이에 존재하는 액체가 상기 제1 밀폐부(410)와 상기 제3 밀폐부(430) 사이의 공간으로 유동되는 지에 대해서 조절할 수 있다.
상기 조절 수단(1800)은 상기 제2 수용 공간(S412)에 배치되는 이동조절 수단(1810), 상기 바이패스 유로(B410)의 단부에 개폐 가능하게 연결되는 개폐부(1820) 및 상기 제1 밀폐부(410)의 내측면으로부터 돌출되는 돌출부(1830)를 구비할 수 있다.
상기 이동조절 수단(1810)은 도넛 판 형상으로서 상기 제2 수용 공간(S412)에 수용되는 액체의 상측에 부유할 수 있다.
이로 인해, 상기 제2 수용 공간(S412)에 수용되는 액체의 높이가 높아지면 상측으로 위치 이동될 수 있다.
반대로, 상기 제2 수용 공간(S412)에 수용되는 액체의 높이가 낮아지면, 하측으로 위치 이동될 수 있다.
상기 개폐부(1820)는 상기 제1 밀폐부(410)의 내측면에 힌지 결합되어, 상기 제1 밀폐부(410)를 기준으로 회전될 수 있다.
상기 개폐부(1820)가 폐쇄 위치일 경우, 상기 바이패스 유로(B410)를 통해 상기 제1 수용 공간(S411)과 상기 제2 수용 공간(S412)은 서로 분리될 수 있다.
상기 개폐부(1820)가 개방 위치일 경우, 상기 바이패스 유로(B410)를 통해 상기 제1 수용 공간(S411)과 상기 제2 수용 공간(S412)은 서로 연통될 수 있다.
상기 돌출부(1830)는 상기 바이패스 유로(B410)의 단부 상측에 이웃되게 상기 제1 밀폐부(410)의 내측면으로부터 돌출되어 형성될 수 있다.
미리 정해진 조건은 상기 제1 수용 공간(S411)에 수용된 액체의 높이가 제1 높이 이상인 동시에 상기 제2 수용 공간(S412)에 수용된 액체의 높이가 제2 높이 미만인 조건일 수 있다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따른 약액 탱크는 상기 제2 수용 공간(S412)에 수용되는 액체의 높이를 산출할 수 있는 정보를 제공하는 수위센서부(1900)를 더 포함할 수 있다.
도 6 및 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 탱크에 형성되는 바이패스 유로의 기능을 설명하기 위한 확대도이다.
도 6을 참조하면, 상기 혼합로드부의 회전에 의해 상기 제1 밀폐부(410)의 내측의 공기가 급속도로 가열될 수 있다.
이로 인해, 상기 제1 밀폐부(410)의 내측의 공기 압력이 증가되어 상기 제2 수용 공간(S412)에 수용된 액체의 높이는 낮아지고, 상기 제1 수용 공간(S411)에 수용된 액체의 높이는 높아질 수 있다.
상기 미리 정해진 조건이 만족되는 경우, 상기 이동조절 수단(1820)은 상기 개폐부(1820)와 이격될 수 있으며, 상기 제1 수용 공간(S411)에 수용된 액체는 바이패스 유로(B410)는 통하여 상기 제2 수용 공간(S412)으로 유동될 수 있다.
상기 제어부는 상기 수위센서부(1900)로부터 전달되는 정보를 기반으로 상기 제2 수용 공간(S412)에 수용된 액체의 높이가 제2 높이 미만인지 여부를 판단하고, 상기 밀폐센서부로부터 전달되는 정보를 기반으로 상기 제1 수용 공간(S411)에 수용된 액체의 높이가 제1 높이 이상인지 여부를 판단할 수 있다.
만일, 상기 제어부가 상기 미리 정해진 조건이 만족된다고 판단되는 경우, 상기 제어부는 상기 배출부와 상기 유입부를 통해 유동되는 액체의 양을 변화시키지 않을 수 있다.
상기 미리 정해진 조건이 만족되지 않은 경우, 상기 제1 수용 공간(S411)에 수용된 액체는 바이패스 유로(B410)는 통하여 상기 제2 수용 공간(S412)으로 유동도지 않을 수 있다.
일례로, 도 7을 참조하면, 상기 제1 수용 공간(S411)의 액체의 높이가 제1 높이 이상이고, 상기 제2 수용 공간(S412)의 액체의 높이가 제2 높이 이상일 수 있다.
상기 제2 수용 공간(S412)의 액체의 높이가 제2 높이 이상일 경우, 상기 이동조절 수단(1810)은 상기 개폐부(1820)가 개방되지 않도록 상기 개폐부(1820)와 동일 높이 상에 위치될 수 있다.
상기 이동조절 수단(1810)은 상기 돌출부(1830)에 걸리게 되어, 상기 돌출부(1830) 하단 높이 이상으로 상승되지 않을 수 있다.
이로 인해, 상기 제2 수용 공간(S412)의 액체의 높이가 제2 높이 이상일 경우, 상기 개폐부(1820)는 폐쇄 위치에서 개방 위치로 위치 이동되지 못하여, 상기 제1 수용 공간(S411)의 액체가 상기 제2 수용 공간(S412)으로 이동되지 못할 수 있다.
상기 제어부가 상기 제1 수용 공간(S411)의 액체의 높이가 제1 높이 이상이고, 상기 제2 수용 공간(S412)의 액체의 높이가 제2 높이 이상이라고 판단하는 경우, 상기 배출부를 통해 배출되는 액체의 양을 증가시킬 수 있다.
또한, 상기 제어부는 상기 유입부를 통해 유입되는 액체의 양을 감소 혹은 중단시킬 수 있다.
상기 제1 수용 공간(S411)에 수용된 액체가 제1 높이 이상일 경우, 상기 제1 수용 공간(S411)의 액체는 상기 바이패스 유로(B410)로 유동될 수 있다.
상기 제2 수용 공간(S412)에 수용된 액체가 제2 높이 이상일 경우, 상기 이동조절 수단(1810)은 상기 개폐부(1820)와 중첩되는 높이에 위치될 수 있다.
첨부된 도면은 본 발명의 기술적 사상을 보다 명확하게 표현하기 위해, 본 발명의 기술적 사상과 관련성이 없거나 떨어지는 구성에 대해서는 간략하게 표현하거나 생략하였다.
상기에서는 본 발명에 따른 실시예를 기준으로 본 발명의 구성과 특징을 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상과 범위 내에서 다양하게 변경 또는 변형할 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자에게 명백한 것이며, 따라서 이와 같은 변경 또는 변형은 첨부된 특허청구범위에 속함을 밝혀둔다.
첨부된 도면은 본 발명의 기술적 사상을 보다 명확하게 표현하기 위해, 본 발명의 기술적 사상과 관련성이 없거나 떨어지는 구성에 대해서는 간략하게 표현하거나 생략하였다.
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100 : 탱크본체부 200 : 회전지지부
300 : 혼합부 400 : 밀폐부

Claims (10)

  1. 약액이 수용되는 소정의 공간인 보관 공간을 제공하는 탱크본체부;
    상기 탱크본체부의 상측에 고정되는 회전지지부;
    상기 회전지지부에 고정된 채로 상기 탱크본체부의 상부에 형성된 관통부를 거쳐 상기 보관 공간 상에 배치된 채로 회전되어 상기 보관 공간에 수용된 약액을 혼합하는 혼합부;
    상기 혼합부와 상기 관통부 사이에 이격 공간으로 외부의 이물질이 상기 보관 공간으로 유입되지 못하도록 상기 관통부가 포위되도록 상기 탱크본체부에 연결되는 밀폐부; 및
    상기 밀폐부 내에서 액체의 유동 여부를 조절하는 조절 수단;를 포함하고,
    상기 밀폐부는,
    상기 탱크본체부의 상부와 연결되면서 상기 관통부와 상기 혼합부의 일부를 포위하여 상기 관통부를 1차적으로 밀폐하는 제1 밀폐부, 상기 제1 밀폐부의 외측에서 상기 탱크본체부의 상부로부터 상측 방향으로 돌출되게 상기 탱크본체부에 연결되는 제2 밀폐부 및 상기 제1 밀폐부의 내측에 위치되게 상기 탱크본체부의 상부로부터 상측 방향으로 돌출되는 제3 밀폐부를 구비하고,
    액체가 수용되는 공간으로서, 상기 제1 밀폐부의 외측면과 상기 제2 밀폐부의 내측면 사이에 형성되는 제 1 수용 공간과 상기 제1 밀폐부의 내측면과 상기 제3 밀폐부의 외측면 사이에 형성되는 제2 수용 공간으로 이루어지는 수용 공간을 제공하며,
    상기 제1 밀폐부는,
    상기 제1 수용 공간에 존재하는 액체가 상기 제2 수용 공간으로 유동되도록 액체를 안내하는 바이패스 유로가 형성되어 있으며,
    상기 조절 수단은,
    미리 정해진 조건이 만족되는 경우에만 상기 바이패스 유로를 통해 상기 제1 수용 공간에서 상기 제2 수용 공간으로 액체가 유동될 수 있도록, 상기 제2 수용 공간에 수용되는 액체의 상측에 부유하는 이동 조절 수단, 상기 바이패스 유로의 단부에 개폐 가능하게 연결되는 개폐부 및 상기 제1 밀폐부의 내측면으로부터 돌출되는 돌출부를 구비하며,
    상기 개폐부는,
    상기 제1 밀폐부을 기준으로 회전 위치 이동 가능하며, 폐쇄 위치일 경우 상기 바이패스 유로를 통해 상기 제1 수용 공간과 상기 제2 수용 공간을 서로 분리시킬 수 있으며, 개방 위치일 경우 상기 바이패스 유로를 통해 상기 제1 수용 공간과 상기 제2 수용 공간으로 서로 연통시키며,
    상기 미리 정해진 조건은,
    상기 제1 수용 공간에 수용된 액체의 높이가 제1 높이 이상인 동시에 상기 제2 수용 공간에 수용된 액체의 높이가 제2 높이 미만인 조건이며,
    상기 이동 조절 수단은,
    상기 수용 공간의 액체의 높이가 제2 높이일 경우, 상기 개폐부가 개방되지 않도록, 상기 개폐부와 동일 높이 상에 위치되며,
    상기 제1 수용 공간에 수용된 액체는,
    제1 높이 이상일 경우 상기 바이패스 유로로 유동되어 상기 제2 수용 공간으로 유동될 수 있는,
    약액 탱크.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 혼합부는,
    상기 회전지지부에 고정되는 혼합모터부 및 일단부가 상기 혼합모터부에 연결된 채로 상기 관통부를 통과하여 상기 보관 공간에 배치되는 혼합로드부를 구비하는,
    약액 탱크.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제2 밀폐부와 연결되어 상기 수용 공간으로 액체가 유입되도록 액체를 안내하는 유입부 및 상기 제2 밀폐부와 연결되어 상기 수용 공간으로부터 액체가 배출되도록 액체를 안내하는 배출부를 구비하는 유동 수단; 및 상기 유동 수단을 제어하는 제어부;를 더 포함하는,
    약액 탱크.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 유입부는,
    상기 배출부의 하측에 위치되는,
    약액 탱크.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제1 수용 공간에 수용된 액체의 높이를 산출하는 정보를 제공하는 밀폐센서부;를 더 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 밀폐센서부로부터 전달되는 흐름 정보를 기반으로 상기 유동 수단을 제어하는,
    약액 탱크.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제1항에 있어서,
    상기 보관 공간 모두에 약액이 수용되어 상기 보관 공간에 수용되지 못하는 약액이 유동되는 벤트부;를 더 포함하는,
    약액 탱크.
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