KR102242066B1 - Release film for ceramic green sheet manufacturing process - Google Patents

Release film for ceramic green sheet manufacturing process Download PDF

Info

Publication number
KR102242066B1
KR102242066B1 KR1020167026864A KR20167026864A KR102242066B1 KR 102242066 B1 KR102242066 B1 KR 102242066B1 KR 1020167026864 A KR1020167026864 A KR 1020167026864A KR 20167026864 A KR20167026864 A KR 20167026864A KR 102242066 B1 KR102242066 B1 KR 102242066B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
release agent
agent layer
green sheet
ceramic green
mass
Prior art date
Application number
KR1020167026864A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20160140662A (en
Inventor
신야 이치카와
도모미 후카야
Original Assignee
린텍 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 린텍 가부시키가이샤 filed Critical 린텍 가부시키가이샤
Publication of KR20160140662A publication Critical patent/KR20160140662A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102242066B1 publication Critical patent/KR102242066B1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B7/00Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
    • B32B7/04Interconnection of layers
    • B32B7/06Interconnection of layers permitting easy separation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/06Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/18Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives
    • B32B27/26Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives using curing agents
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/28Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/30Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/30Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers
    • B32B27/306Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers comprising vinyl acetate or vinyl alcohol (co)polymers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/40Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyurethanes
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B7/00Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B9/00Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B9/00Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00
    • B32B9/005Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00 comprising one layer of ceramic material, e.g. porcelain, ceramic tile
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B9/00Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00
    • B32B9/04Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00 comprising such particular substance as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B9/045Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00 comprising such particular substance as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/28Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen characterised by the compounds used containing active hydrogen
    • C08G18/2805Compounds having only one group containing active hydrogen
    • C08G18/288Compounds containing at least one heteroatom other than oxygen or nitrogen
    • C08G18/289Compounds containing at least one heteroatom other than oxygen or nitrogen containing silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/28Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen characterised by the compounds used containing active hydrogen
    • C08G18/40High-molecular-weight compounds
    • C08G18/61Polysiloxanes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/28Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen characterised by the compounds used containing active hydrogen
    • C08G18/67Unsaturated compounds having active hydrogen
    • C08G18/671Unsaturated compounds having only one group containing active hydrogen
    • C08G18/672Esters of acrylic or alkyl acrylic acid having only one group containing active hydrogen
    • C08G18/673Esters of acrylic or alkyl acrylic acid having only one group containing active hydrogen containing two or more acrylate or alkylacrylate ester groups
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/70Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen characterised by the isocyanates or isothiocyanates used
    • C08G18/72Polyisocyanates or polyisothiocyanates
    • C08G18/73Polyisocyanates or polyisothiocyanates acyclic
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
    • G03F7/031Organic compounds not covered by group G03F7/029
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/42Stripping or agents therefor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/30Stacked capacitors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/70Other properties
    • B32B2307/748Releasability
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
  • Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Polyurethanes Or Polyureas (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)

Abstract

기재(11)와, 기재의 제 1 면(111)에 형성된 박리제층(12)을 구비하고, 박리제층(12)은 활성 에너지선 경화성 성분(A) 및 광중합 개시제(B)를 함유하는 박리제 조성물로 형성되고, 활성 에너지선 경화성 성분(A)는, 1 분자 중에 평균하여 적어도 3 개의 (메트)아크릴로일기를 갖는 수산기 함유 (메트)아크릴레이트(a1)과, 다가 이소시아네이트 화합물(a2)와, 1 분자 중에 적어도 1 개의 수산기를 갖고, 질량 평균 분자량이 500∼8000 인 직쇄상의 디메틸오르가노폴리실록산(a3)을, (a1), (a2) 및 (a3)의 합계량에 대한 (a3)의 양이 질량비로 0.01∼0.10 이 되도록 반응시켜 이루어지고, 박리제층(12)의 두께, 박리제층의 면(121)에 있어서의 산술 평균 조도(Ra1) 및 최대 돌기 높이 (Rp1), 그리고 기재의 제 2 면(112)에 있어서의 산술 평균 조도(Ra2) 및 최대 돌기 높이(Rp2)가 소정의 범위인 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름(1).A release agent composition comprising a substrate 11 and a release agent layer 12 formed on the first side 111 of the substrate, and the release agent layer 12 contains an active energy ray-curable component (A) and a photopolymerization initiator (B). The active energy ray-curable component (A) is formed from a hydroxyl group-containing (meth)acrylate (a1) having at least three (meth)acryloyl groups on average per molecule, and a polyvalent isocyanate compound (a2), Amount of linear dimethylorganopolysiloxane (a3) having at least one hydroxyl group per molecule and having a mass average molecular weight of 500 to 8000 relative to the total amount of (a1), (a2) and (a3) It is made by reacting so as to be 0.01 to 0.10 in this mass ratio, the thickness of the release agent layer 12, the arithmetic mean roughness Ra1 and the maximum protrusion height Rp1 on the surface 121 of the release agent layer, and the second of the substrate. The release film 1 for a ceramic green sheet manufacturing process in which the arithmetic mean roughness Ra2 and the maximum protrusion height Rp2 on the surface 112 are in a predetermined range.

Description

세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름{RELEASE FILM FOR CERAMIC GREEN SHEET MANUFACTURING PROCESS}Release film for ceramic green sheet manufacturing process {RELEASE FILM FOR CERAMIC GREEN SHEET MANUFACTURING PROCESS}

본 발명은, 세라믹 그린 시트를 제조하는 공정에서 사용하는 박리 필름에 관한 것이다.The present invention relates to a release film used in the process of manufacturing a ceramic green sheet.

종래부터, 적층 세라믹 콘덴서나 다층 세라믹 기판과 같은 적층 세라믹 제품을 제조하기 위해서는 세라믹 그린 시트를 성형하고, 얻어진 세라믹 그린 시트를 여러 장 적층하여 소성(燒成)하는 것이 행해지고 있다.Conventionally, in order to manufacture a multilayer ceramic product such as a multilayer ceramic capacitor or a multilayer ceramic substrate, a ceramic green sheet is formed, and a plurality of the obtained ceramic green sheets are laminated and fired.

세라믹 그린 시트는, 티탄산바륨이나 산화티탄 등의 세라믹 재료를 함유하는 세라믹 슬러리를 박리 필름 상에 도공함으로써 균일한 두께로 성형된다. 박리 필름으로는, 통상적으로 필름 기재에 폴리실록산 등의 실리콘계 화합물로 박리 처리하여, 박리제층을 형성한 것이 사용되고 있다.The ceramic green sheet is formed into a uniform thickness by coating a ceramic slurry containing a ceramic material such as barium titanate or titanium oxide on a release film. As a release film, what formed a release agent layer by peeling treatment with a silicone compound, such as a polysiloxane, is usually used on a film base material.

최근, 전자기기의 소형화 및 고성능화에 동반하여 적층 세라믹 콘덴서나 다층 세라믹 기판의 소형화 및 다층화가 진행되어, 세라믹 그린 시트의 박막화가 진행되고 있다. 세라믹 그린 시트가 박막화하여 그 건조 후의 두께가, 예를 들어 3㎛ 이하로 되면, 세라믹 슬러리를 도공하고 건조시켰을 때에, 박리 필름에 있어서의 박리제층의 표면 상태에서 기인하여, 세라믹 그린 시트에 핀 홀이나 두께 불균일 등의 결함이 발생하기 쉬워진다. 또한, 성형한 세라믹 그린 시트를 박리 필름으로부터 박리할 때, 세라믹 그린 시트의 강도 저하로 인한 파단 등의 문제가 발생하기 쉬워진다.In recent years, with the miniaturization and high performance of electronic devices, the miniaturization and multilayerization of multilayer ceramic capacitors and multilayer ceramic substrates have progressed, and the thin film of the ceramic green sheet is in progress. When the ceramic green sheet becomes thinner and the thickness after drying becomes, for example, 3 μm or less, pinholes in the ceramic green sheet originate from the surface state of the release agent layer in the release film when the ceramic slurry is coated and dried. And defects such as non-uniformity in thickness are liable to occur. Further, when the molded ceramic green sheet is peeled from the release film, problems such as fracture due to a decrease in strength of the ceramic green sheet are liable to occur.

그 때문에, 이 박리 필름에는, 당해 박리 필름 상에 성형한 박막의 세라믹 그린 시트를 당해 박리 필름으로부터 파단 등 시키지 않고서 박리할 수 있는 박리성이 요구된다.Therefore, this peeling film is required for peelability which can peel the ceramic green sheet of a thin film formed on the peeling film from the peeling film without breaking or the like.

그런데, 상기한 바와 같은 세라믹 그린 시트에 사용되는 박리 필름은, 일반적으로 롤 형상으로 감긴 상태로 보관, 수송되고, 세라믹 슬러리가 도공될 때에 풀려 나온다. 박리 필름을 풀어내면 정전기를 띠기 쉽기 때문에, 정전기에 의한 트러블이 문제가 되어 있었다. 이 문제를 해소하기 위해 특허문헌 1 에는, 기재의 박리제층이 형성되고 있는 면과는 반대의 면 (배면) 의 산술 평균 조도를 거칠은 것으로 한 박리 필름을 사용하는 것이 제안되어 있다.By the way, the release film used for the ceramic green sheet as described above is generally stored and transported in a rolled state, and released when the ceramic slurry is coated. When the peeling film is released, static electricity tends to occur, and thus, trouble due to static electricity has been a problem. In order to solve this problem, Patent Literature 1 proposes to use a release film in which the arithmetic average roughness of the surface (back surface) opposite to the surface on which the release agent layer of the substrate is formed is made rough.

특허문헌 1 : 일본 공개특허공보 2003-203822호Patent Document 1: Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2003-203822

그러나 특허문헌 1 에 기재된 박리 필름을 사용한 경우, 세라믹 그린 시트가 성형된 박리 필름을 감아들여 보관할 때에, 박리 필름의 배면의 거친 표면 형상이 세라믹 그린 시트에 전사되어 세라믹 그린 시트가 부분적으로 얇아지는 등의 결함이 생겨, 세라믹 그린 시트를 적층하여 콘덴서를 제작했을 때에, 단락에 의한 문제를 일으키고 마는 경우가 있었다.However, in the case of using the release film described in Patent Document 1, when the ceramic green sheet is rolled up and stored, the rough surface shape of the back surface of the release film is transferred to the ceramic green sheet, so that the ceramic green sheet is partially thinned. When a defect occurred, and when a ceramic green sheet was laminated to fabricate a capacitor, there was a case where a problem caused by a short circuit occurred and curled.

한편, 박리 필름의 배면의 산술 평균 조도를 작은 것으로 하면, 표면 상태가 평탄해져, 감겨서 겹쳐진 박리 필름끼리의 미끄러짐성이 나빠지기 때문에, 전술한 바와 같이 블로킹이 발생하여 권취(捲取)불량 등의 문제를 일으킨다.On the other hand, if the arithmetic mean roughness of the rear surface of the release film is set to be small, the surface condition becomes flat and the sliding properties of the rolled-up release films deteriorate, so blocking occurs as described above, resulting in poor winding, etc. Causes the problem of.

또한, 세라믹 그린 시트는 박리 필름째로 소정의 사이즈로 타발되고, 박리 필름으로부터 박리되어 적층된다. 그 때에, 세라믹 그린 시트의 박리제층과 접하고 있던 면에 박리 부여 성분 (예를 들어, 실리콘계 화합물) 의 전사가 일어나면, 세라믹 그린 시트끼리의 접착력을 저하시키고, 그 결과, 수율을 저하시키는 문제가 생긴다. 그 때문에, 세라믹 그린 시트로의 박리 부여 성분의 이행이 적은 박리 필름이 요구되고 있다.Further, the ceramic green sheet is punched out to a predetermined size as a release film, and is peeled from the release film and laminated. At that time, when transfer of a peeling-imparting component (for example, a silicon-based compound) occurs on the surface of the ceramic green sheet in contact with the release agent layer, the adhesive strength between the ceramic green sheets is lowered, and as a result, a problem of lowering the yield occurs. . Therefore, there is a demand for a release film with little transfer of the peeling imparting component to the ceramic green sheet.

본 발명은 이러한 실상을 감안하여 이루어진 것으로, 세라믹 그린 시트로부터의 박리성이 우수함과 동시에, 세라믹 그린 시트로 박리 부여 성분이 이행되기 어렵고, 또한, 세라믹 그린 시트에 결함이 발생하는 것을 방지·억제할 수 있으며, 나아가서는 블로킹이 발생하기 어려운 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of such a reality, and at the same time, it is excellent in peelability from the ceramic green sheet, and it is difficult to transfer the peeling imparting component to the ceramic green sheet, and it is possible to prevent and suppress the occurrence of defects in the ceramic green sheet In addition, it is an object of the present invention to provide a release film for a ceramic green sheet manufacturing process in which blocking is difficult to occur.

상기 목적을 달성하기 위해서, 첫째로 본 발명은, 제 1 면 및 제 2 면을 갖는 기재와, 상기 기재의 제 1 면에 형성된 박리제층을 구비한 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름으로서, 상기 박리제층은 활성 에너지선 경화성 성분(A) 및 광중합 개시제(B)를 함유하는 박리제 조성물로 형성되고, 상기 활성 에너지선 경화성 성분(A)는, 1 분자 중에 평균하여 적어도 3 개의 (메트)아크릴로일기를 갖는 수산기 함유 (메트)아크릴레이트(a1)과, 다가 이소시아네이트 화합물(a2)와, 1 분자 중에 적어도 1 개의 수산기를 갖고, 질량 평균 분자량이 500∼8000 인 직쇄상의 디메틸오르가노폴리실록산(a3)을, 상기 (메트)아크릴레이트(a1), 상기 다가 이소시아네이트 화합물(a2) 및 상기 디메틸오르가노폴리실록산(a3)의 합계량에 대한 상기 디메틸오르가노폴리실록산(a3)의 양이 질량비로 0.01∼0.10 이 되도록 반응시켜 이루어지고, 상기 박리제층의 두께는 0.3∼2㎛ 이고, 상기 박리제층의 상기 기재와는 반대측의 면에 있어서의 산술 평균 조도(Ra1)가 8㎚ 이하이며, 또한 최대 돌기 높이(Rp1)가 50㎚ 이하이고, 상기 기재의 제 2 면에 있어서의 산술 평균 조도(Ra2)가 5∼40㎚ 이며, 또한 최대 돌기 높이(Rp2)가 60∼500㎚ 인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름을 제공한다 (발명 1).In order to achieve the above object, first, the present invention is a release film for a ceramic green sheet manufacturing process comprising a base material having a first side and a second side, and a release agent layer formed on the first side of the base material, the release agent The layer is formed of a release agent composition containing an active energy ray-curable component (A) and a photoinitiator (B), and the active energy ray-curable component (A) has at least three (meth)acryloyl groups on average per molecule. A hydroxyl group-containing (meth)acrylate (a1) having, a polyvalent isocyanate compound (a2), and a linear dimethylorganopolysiloxane (a3) having at least one hydroxyl group per molecule and having a mass average molecular weight of 500 to 8000. So that the amount of the dimethyl organopolysiloxane (a3) with respect to the total amount of the (meth)acrylate (a1), the polyvalent isocyanate compound (a2), and the dimethyl organopolysiloxane (a3) is 0.01 to 0.10 by mass ratio. Reaction, the thickness of the release agent layer is 0.3 to 2 µm, the arithmetic mean roughness (Ra1) on the side opposite to the substrate of the release agent layer is 8 nm or less, and the maximum protrusion height (Rp1) Is 50 nm or less, the arithmetic mean roughness (Ra2) on the second surface of the substrate is 5 to 40 nm, and the maximum protrusion height (Rp2) is 60 to 500 nm. A release film for use is provided (Invention 1).

상기 발명 (발명 1) 에 관한 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름에 의하면, 박리제층이 상기 박리제 조성물로 구성됨으로써, 세라믹 그린 시트로부터의 박리성이 우수함과 동시에, 세라믹 그린 시트로 박리 부여 성분이 이행되기 어렵다. 또한, 박리제층의 두께 그리고 박리제층 및 기재의 표면 상태가 상기한 바와 같이 규정됨으로써, 세라믹 그린 시트에 결함이 발생하는 것을 방지·억제할 수 있으며, 나아가서는 블로킹이 발생하기 어렵다.According to the release film for the ceramic green sheet manufacturing process according to the invention (invention 1), since the release agent layer is composed of the release agent composition, the peeling property from the ceramic green sheet is excellent, and the peeling imparting component is transferred to the ceramic green sheet. It's hard to be. In addition, since the thickness of the release agent layer and the surface conditions of the release agent layer and the substrate are defined as described above, it is possible to prevent and suppress the occurrence of defects in the ceramic green sheet, and furthermore, blocking is less likely to occur.

상기 발명 (발명 1) 에 있어서는, 상기 광중합 개시제(B)가, α-히드록시케톤계 화합물 또는 α-아미노알킬페논계 화합물인 것이 바람직하다 (발명 2).In the above invention (invention 1), it is preferable that the photoinitiator (B) is an α-hydroxyketone-based compound or an α-aminoalkylphenone-based compound (invention 2).

상기 발명 (발명 1, 2) 에 있어서는, 상기 박리제층의 상기 기재와는 반대측의 면에 폴리비닐부티랄 수지층을 형성한 후, 상기 폴리비닐부티랄 수지층을 상기 박리제층으로부터 박리했을 때에, 상기 폴리비닐부티랄 수지층에 있어서의 상기 박리제층에 접촉하고 있던 면에 관해서, 광전자 분광 분석으로 측정한 규소 원자 비율이 1.0원자% 미만인 것이 바람직하다 (발명 3).In the above invention (Inventions 1 and 2), after forming a polyvinyl butyral resin layer on the side opposite to the substrate of the release agent layer, when the polyvinyl butyral resin layer is peeled from the release agent layer, With respect to the surface of the polyvinyl butyral resin layer in contact with the release agent layer, it is preferable that the silicon atom ratio measured by photoelectron spectroscopy is less than 1.0 atomic% (invention 3).

본 발명에 관한 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름에 의하면, 세라믹 그린 시트로부터의 박리성이 우수함과 동시에, 세라믹 그린 시트로 박리 부여 성분이 이행되기 어렵고, 또한, 세라믹 그린 시트에 결함이 발생하는 것을 방지·억제할 수 있으며, 나아가서는 블로킹이 발생하기 어렵다.According to the release film for a ceramic green sheet manufacturing process according to the present invention, it is excellent in peeling property from the ceramic green sheet, and the peeling imparting component is difficult to transfer to the ceramic green sheet, and defects occur in the ceramic green sheet. It can be prevented and suppressed, and furthermore, blocking is difficult to occur.

도 1 은 본 발명의 일 실시형태에 관한 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a release film for a ceramic green sheet manufacturing process according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described.

〔세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름〕[Releasable film for ceramic green sheet manufacturing process]

도 1 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관한 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름(1) (이하, 간단히 「박리 필름(1)」이라고 하는 경우가 있다) 은, 기재(11)와, 기재(11)의 제 1 면(111) (도 1 에서는 상면) 에 적층된 박리제층(12)을 구비하여 구성된다. 기재(11)는, 기재(11)의 제 1 면(111)과 반대측의 면 (도 1 에서는 하면) 에 제 2 면(112)을 구비하고 있다.As shown in FIG. 1, the release film 1 for the ceramic green sheet manufacturing process according to the present embodiment (hereinafter, it may be simply referred to as “release film 1”) is a substrate 11 and a substrate ( It is constituted by including the release agent layer 12 laminated on the first surface 111 (the upper surface in Fig. 1) of 11). The substrate 11 is provided with a second surface 112 on a surface (a lower surface in FIG. 1) opposite to the first surface 111 of the base material 11.

1. 기재 1. Description

본 실시형태에 관한 박리 필름(1)의 기재(11)는, 박리제층(12)을 적층할 수 있으면 특별히 한정되는 것은 아니다. 이러한 기재(11)로는, 예를 들어, 폴리에틸렌테레프탈레이트나 폴리에틸렌나프탈레이트 등의 폴리에스테르, 폴리프로필렌이나 폴리메틸펜텐 등의 폴리올레핀, 폴리카보네이트, 폴리아세트산비닐 등의 플라스틱으로 이루어지는 필름을 들 수 있고, 단일층이어도 되고, 동종 또는 이종의 2 층 이상의 다층이어도 된다. 이들 중에서도 폴리에스테르 필름이 바람직하고, 특히 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름이 바람직하며, 2 축 연신 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름이 더욱 바람직하다. 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름은 가공시, 사용시 등에 있어서 먼지 등이 잘 발생하지 않기 때문에, 예를 들어, 먼지 등에 의한 세라믹 슬러리 도공 불량 등을 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름에 대전 방지 처리를 실시함으로써, 도공 불량 등을 방지하는 효과를 높일 수 있다.The base material 11 of the release film 1 according to the present embodiment is not particularly limited as long as the release agent layer 12 can be laminated. Examples of the substrate 11 include films made of polyesters such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate, polyolefins such as polypropylene and polymethylpentene, and plastics such as polycarbonate and polyvinyl acetate. A single layer may be sufficient, and a multilayer of two or more layers of the same type or different types may be used. Among these, a polyester film is preferable, a polyethylene terephthalate film is particularly preferable, and a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is more preferable. Since the polyethylene terephthalate film does not readily generate dust or the like during processing or use, it is possible to effectively prevent, for example, poor ceramic slurry coating due to dust or the like. Further, by subjecting the polyethylene terephthalate film to an antistatic treatment, the effect of preventing coating defects and the like can be enhanced.

또한, 이 기재(11)에 있어서는, 박리제층(12)과의 밀착성을 향상시킬 목적에서, 원한다면 제 1 면(111) 또는 제 1 면(111) 및 제 2 면(112)의 양쪽 면에, 산화법이나 요철화법 등에 의한 표면 처리, 또는 프라이머 처리를 실시할 수 있다. 상기 산화법으로는, 예를 들어 코로나 방전 처리, 플라즈마 방전 처리, 크롬 산화 처리 (습식), 화염 처리, 열풍 처리, 오존, 자외선 조사 처리 등을 들 수 있고, 또한, 요철화법으로는, 예를 들어 샌드블라스트법, 용사 처리법 등을 들 수 있다. 이러한 표면 처리법들은 기재 필름의 종류에 따라 적절히 선택되지만, 일반적으로 코로나 방전 처리법이 효과 및 조작성의 면에서 바람직하게 사용된다.In addition, in this substrate 11, for the purpose of improving the adhesion with the release agent layer 12, if desired, on both sides of the first side 111 or the first side 111 and the second side 112, Surface treatment by an oxidation method, an uneven method, or the like, or a primer treatment can be performed. Examples of the oxidation method include corona discharge treatment, plasma discharge treatment, chromium oxidation treatment (wet), flame treatment, hot air treatment, ozone, ultraviolet irradiation treatment, and the like. Sandblasting method, thermal spraying treatment method, etc. are mentioned. These surface treatment methods are appropriately selected depending on the type of the base film, but in general, the corona discharge treatment method is preferably used in terms of effect and operability.

기재(11)의 두께는 통상 10∼300㎛ 이면 되고, 바람직하게는 15∼200㎛ 이고, 특히 바람직하게는 20∼125㎛ 이다.The thickness of the substrate 11 is usually 10 to 300 µm, preferably 15 to 200 µm, and particularly preferably 20 to 125 µm.

기재(11)의 제 1 면(111)에 있어서의 산술 평균 조도(Ra0)는 2∼50㎚ 인 것이 바람직하고, 특히 5∼30㎚ 인 것이 바람직하다. 또한, 기재(11)의 제 1 면(111)에 있어서의 최대 돌기 높이(Rp0)는 10∼700㎚ 인 것이 바람직하고, 특히 30∼500㎚ 인 것이 바람직하다. 기재(11)의 제 1 면(111)에 있어서의 산술 평균 조도(Ra0) 및 최대 돌기 높이(Rp0)를 상기 범위로 설정함으로써, 박리제층(12)의 표면(121) (기재(11)와는 반대측의 면) 에 있어서의 산술 평균 조도(Ra1) 및 최대 돌기 높이(Rp1)를 후술하는 범위 내로 수습하는 것이 용이해진다.The arithmetic mean roughness Ra0 of the first surface 111 of the substrate 11 is preferably 2 to 50 nm, and particularly preferably 5 to 30 nm. Further, the maximum protrusion height Rp0 on the first surface 111 of the substrate 11 is preferably 10 to 700 nm, and particularly preferably 30 to 500 nm. By setting the arithmetic mean roughness (Ra0) and the maximum protrusion height (Rp0) on the first surface 111 of the substrate 11 in the above range, the surface 121 of the release agent layer 12 (the It becomes easy to collect the arithmetic mean roughness Ra1 and the maximum protrusion height Rp1 in the opposite surface) within the ranges described later.

기재(11)의 제 2 면(112)에 있어서의 산술 평균 조도(Ra2)는 5∼40㎚ 이고, 10∼30㎚ 인 것이 바람직하고, 특히 15∼25㎚ 인 것이 바람직하다. 또한, 기재(11)의 제 2 면(112)에 있어서의 최대 돌기 높이(Rp2)는 60∼500㎚ 이고, 100∼400㎚ 인 것이 바람직하다. 기재(11)의 제 2 면(112)에 있어서의 산술 평균 조도(Ra2) 및 최대 돌기 높이(Rp2)를 상기 범위로 설정함으로써, 기재(11)의 제 2 면(112)에서 기인하여 세라믹 그린 시트에 결함이 발생하는 것을 방지·억제할 수 있고, 또한 블로킹의 발생을 억제할 수 있다.The arithmetic mean roughness Ra2 of the second surface 112 of the substrate 11 is 5 to 40 nm, preferably 10 to 30 nm, and particularly preferably 15 to 25 nm. Further, the maximum protrusion height Rp2 on the second surface 112 of the substrate 11 is 60 to 500 nm, preferably 100 to 400 nm. Ceramic green due to the second surface 112 of the substrate 11 by setting the arithmetic mean roughness (Ra2) and the maximum protrusion height (Rp2) on the second surface 112 of the substrate 11 in the above ranges. The occurrence of defects in the sheet can be prevented and suppressed, and the occurrence of blocking can be suppressed.

즉, 기재(11)의 제 2 면(112)의 산술 평균 조도(Ra2)가 5㎚ 미만이면, 당해 제 2 면(112)이 지나치게 평활하게 되어, 박리 필름(1)을 감아들일 때에 기재(11)의 제 2 면(112)과 고(高)평활한 박리제층(12)이 밀착하여, 블로킹이 발생하기 쉬워진다. 한편, 기재(11)의 제 2 면(112)의 산술 평균 조도(Ra2)가 40㎚ 를 초과하면, 기재(11)의 제 2 면(112)의 최대 돌기 높이(Rp2)를 상기 바람직한 낮은 범위로 수습하는 것이 곤란해진다.That is, if the arithmetic mean roughness (Ra2) of the second surface 112 of the substrate 11 is less than 5 nm, the second surface 112 becomes too smooth, and when the release film 1 is wound up, the substrate ( The second surface 112 of 11) and the highly smooth release agent layer 12 are in close contact with each other, so that blocking is liable to occur. On the other hand, when the arithmetic mean roughness (Ra2) of the second surface 112 of the substrate 11 exceeds 40 nm, the maximum protrusion height (Rp2) of the second surface 112 of the substrate 11 is set to the preferred lower range. It becomes difficult to deal with it.

기재(11)의 제 2 면(112)에 있어서의 최대 돌기 높이(Rp2)가 500㎚ 를 초과하면, 세라믹 그린 시트를 성형한 박리 필름(1)을 감아들일 때에, 기재(11)의 제 2 면(112)의 돌기 형상이 이 면에 접하는 세라믹 그린 시트의 표면에 전사되어, 세라믹 그린 시트가 부분적으로 얇아지는 등의 결함이 생기고, 당해 세라믹 그린 시트를 적층하여 콘덴서를 제작했을 때에, 단락으로 인한 문제가 생길 우려가 있다. 한편, 기재(11)의 제 2 면(112)의 최대 돌기 높이(Rp2)가 60㎚ 미만이면, 기재(11)의 제 2 면(112)이 평탄해지기 때문에, 박리제층(12)을 형성하는 공정 등에서, 기재(11)가 롤에 접하는 면에서 공기를 끌어들이기 쉬워진다. 그 결과, 반송되고 있는 기재(11)가 사행(蛇行)하거나, 롤 형상으로 감아낼 때에 권취 어긋남을 일으키거나 하는 경우가 있다.When the maximum protrusion height Rp2 on the second surface 112 of the substrate 11 exceeds 500 nm, when the release film 1 formed of the ceramic green sheet is wound up, the second surface of the substrate 11 is When the protrusion shape of the surface 112 is transferred to the surface of the ceramic green sheet in contact with this surface, defects such as partial thinning of the ceramic green sheet occur, and when the ceramic green sheet is laminated to produce a capacitor, a short circuit occurs. There is a fear that a problem may arise. On the other hand, if the maximum protrusion height (Rp2) of the second surface 112 of the substrate 11 is less than 60 nm, the second surface 112 of the substrate 11 becomes flat, so that the release agent layer 12 is formed. In the process of doing so, it becomes easy to draw in air from the surface of the substrate 11 in contact with the roll. As a result, the substrate 11 being conveyed may meander, or misalignment of winding may occur when winding up in a roll shape.

또, 기재(11)의 제 1 면(111)과 반대의 면에, 후술하는 박리제층(12)과 동일한 층을 형성하거나, 또는 박리제층(12)과는 다른 층을 형성하거나 해도 되고, 이 경우, 기재(11)의 제 2 면(112)은, 이들 층의 면 중 기재(11)측과는 반대측의 면을 가리킨다.In addition, on the surface opposite to the first surface 111 of the substrate 11, the same layer as the releasing agent layer 12 to be described later may be formed, or a layer different from the releasing agent layer 12 may be formed. In this case, the second surface 112 of the base material 11 refers to a surface of these layers on the opposite side to the base material 11 side.

2. 박리제층 2. Release agent layer

본 실시형태에 관한 박리 필름(1)에 있어서의 박리제층(12)은, 활성 에너지선 경화성 성분(A) 및 광중합 개시제(B)를 함유하는 박리제 조성물 (이하 「박리제 조성물(R)」이라고 하는 경우가 있다) 로부터 형성된다. 박리제층(12)은, 당해 박리제 조성물(R)을 경화시켜 형성된다.The release agent layer 12 in the release film 1 according to the present embodiment is a release agent composition containing an active energy ray-curable component (A) and a photopolymerization initiator (B) (hereinafter referred to as ``release agent composition (R)''). There are cases). The release agent layer 12 is formed by curing the release agent composition (R).

활성 에너지선 경화성 성분(A)는, 1 분자 중에 평균하여 적어도 3 개의 (메트)아크릴로일기를 갖는 수산기 함유 (메트)아크릴레이트(a1)과, 다가 이소시아네이트 화합물(a2)와, 1 분자 중에 적어도 1 개의 수산기를 갖고, 질량 평균 분자량이 500∼8000 인 직쇄상의 디메틸오르가노폴리실록산(a3)을, (메트)아크릴레이트(a1), 다가 이소시아네이트 화합물(a2) 및 디메틸오르가노폴리실록산(a3)의 합계량에 대한 디메틸오르가노폴리실록산(a3)의 양이 질량비로 0.01∼0.10 이 되도록 반응시켜 이루어지는 것이다. 또한, 본 명세서에 있어서, (메트)아크릴레이트란, 아크릴레이트 및 메타크릴레이트의 양쪽을 의미한다. 다른 유사 용어도 동일하다.The active energy ray-curable component (A) is a hydroxyl group-containing (meth)acrylate (a1) having at least three (meth)acryloyl groups on average in one molecule, a polyvalent isocyanate compound (a2), and at least in one molecule. A linear dimethylorganopolysiloxane (a3) having one hydroxyl group and a mass average molecular weight of 500 to 8000 is obtained from (meth)acrylate (a1), polyvalent isocyanate compound (a2), and dimethylorganopolysiloxane (a3). It is obtained by reacting so that the amount of dimethylorganopolysiloxane (a3) with respect to the total amount is 0.01 to 0.10 in terms of mass ratio. In addition, in this specification, (meth)acrylate means both an acrylate and a methacrylate. Other similar terms are the same.

상기 (메트)아크릴레이트(a1), 다가 이소시아네이트 화합물(a2) 및 디메틸오르가노폴리실록산(a3)을 반응시키면, (메트)아크릴레이트(a1)의 수산기 및 디메틸오르가노폴리실록산(a3)의 수산기가 다가 이소시아네이트 화합물(a2)의 이소시아네이트기와 반응하여, (메트)아크릴레이트(a1)끼리, 또는 (메트)아크릴레이트(a1)과 디메틸오르가노폴리실록산(a3)이 다가 이소시아네이트 화합물(a2)에 의해서 화학적으로 결합되게 된다.When the (meth)acrylate (a1), polyvalent isocyanate compound (a2) and dimethyl organopolysiloxane (a3) are reacted, the hydroxyl group of (meth)acrylate (a1) and the hydroxyl group of dimethyl organopolysiloxane (a3) are polyvalent. By reacting with the isocyanate group of the isocyanate compound (a2), (meth)acrylate (a1) or (meth)acrylate (a1) and dimethylorganopolysiloxane (a3) are chemically bonded by a polyvalent isocyanate compound (a2). It will be.

이 활성 에너지선 경화성 성분(A)를 함유하는 박리제 조성물(R)에 활성 에너지선을 조사하면, (메트)아크릴레이트(a1)은 라디칼 중합에 의해서 폴리머를 형성한다. 박리 부여 성분인 디메틸오르가노폴리실록산(a3)은, 공유 결합에 의해서 당해 폴리머에 도입되어 있기 때문에, 박리제 조성물(R)의 경화물인 박리제층(12)으로부터 탈락하는 것이 억제된다. 따라서, 박리제층(12)상에 형성한 세라믹 그린 시트에 대하여 박리 부여 성분이 이행되는 것이 억제되고, 신뢰성이 높은 세라믹 그린 시트를 양호한 수율로 형성할 수 있다. 또한, 박리 부여 성분인 디메틸오르가노폴리실록산(a3)이 상기한 바와 같이 존재함으로써, 얻어지는 박리제층(12)은 양호한 박리성을 발휘한다.When the release agent composition (R) containing the active energy ray-curable component (A) is irradiated with an active energy ray, the (meth)acrylate (a1) forms a polymer by radical polymerization. Since dimethylorganopolysiloxane (a3), which is a peeling-imparting component, is introduced into the polymer by a covalent bond, it is suppressed from falling off from the release agent layer 12, which is a cured product of the release agent composition (R). Therefore, transfer of the peeling imparting component to the ceramic green sheet formed on the release agent layer 12 is suppressed, and a highly reliable ceramic green sheet can be formed in a good yield. In addition, when dimethylorganopolysiloxane (a3), which is a peeling imparting component, is present as described above, the obtained peeling agent layer 12 exhibits good peeling properties.

(메트)아크릴레이트(a1)은, 하기 일반식 (1) 또는 (2) 에 나타내는 구조를 갖는 단일 또는 2 종 이상의 화합물로 이루어진다.The (meth)acrylate (a1) is composed of a single or two or more types of compounds having a structure represented by the following general formula (1) or (2).

[화학식 1] [Formula 1]

Figure 112016093964541-pct00001
Figure 112016093964541-pct00001

[화학식 2] [Formula 2]

Figure 112016093964541-pct00002
Figure 112016093964541-pct00002

상기 일반식 (1) 및 (2) 중, X1∼X10 은, 각각 독립적으로 (메트)아크릴로일기 또는 수산기를 나타내고, X1∼X6 중 적어도 3 개 이상은 (메트)아크릴로일기를 나타내고, X7∼X10 중 적어도 3 개 이상은 (메트)아크릴로일기를 나타낸다.In the general formulas (1) and (2), X 1 to X 10 each independently represent a (meth)acryloyl group or a hydroxyl group, and at least 3 or more of X 1 to X 6 are (meth)acryloyl groups. Represents, and at least three or more of X 7 to X 10 represent a (meth)acryloyl group.

(메트)아크릴레이트(a1)은, 1 분자 중에 평균하여 적어도 3 개의 (메트)아크릴로일기를 가짐으로써, 충분한 경화성을 발휘하여, 활성 에너지선을 조사했을 때에 경화 불량을 일으키는 것이 방지된다. 이러한 관점에서, (메트)아크릴레이트(a1) 1 분자 중에 있어서의 (메트)아크릴로일기의 개수는 5 개 이상인 것이 바람직하다.The (meth)acrylate (a1) exhibits sufficient curability by having at least three (meth)acryloyl groups on average per molecule, and is prevented from causing curing failure when irradiated with active energy rays. From this point of view, the number of (meth)acryloyl groups in one molecule of (meth)acrylate (a1) is preferably 5 or more.

(메트)아크릴레이트(a1)로는, 메타크릴로일기를 함유하지 않고, 관능기가 아크릴로일기 및 수산기만으로 구성되는 수산기 함유 아크릴레이트를 사용하는 것이 바람직하다. 이러한 수산기 함유 아크릴레이트는, 보다 양호한 경화성을 발휘한다. 그 중에서도, 상기 일반식 (1) 또는 (2) 에 나타내는 구조를 갖는 디펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 디펜타에리트리톨테트라아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트 및 펜타에리트리톨테트라아크릴레이트로부터 선택되는 1 종 또는 2 종 이상의 혼합물인 것이 바람직하고, 함유하는 아크릴로일기가, 평균하여 1 분자 중 3 개 이상, 또한 그 농도가 1㎏ 당 8 당량 이상으로 조정된 것이 특히 바람직하다.As (meth)acrylate (a1), it is preferable to use a hydroxyl group-containing acrylate which does not contain a methacryloyl group, and a functional group consists only of an acryloyl group and a hydroxyl group. Such a hydroxyl group-containing acrylate exhibits more favorable curing properties. Among them, dipentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, which have a structure represented by the general formula (1) or (2), It is preferable that it is 1 type or a mixture of 2 or more types selected from pentaerythritol triacrylate and pentaerythritol tetraacrylate, and the acryloyl group it contains is 3 or more in 1 molecule on average, and its concentration is 1 kg It is particularly preferred that it is adjusted to at least 8 equivalents per sugar.

다가 이소시아네이트 화합물(a2)은, 1 분자 중에 적어도 2 개의 이소시아네이트기를 갖는 화합물로, 예를 들어, 톨릴렌디이소시아네이트, 디페닐메탄디이소시아네이트, 자일릴렌디이소시아네이트 등의 방향족 다가 이소시아네이트, 헥사메틸렌디이소시아네이트 등의 지방족 다가 이소시아네이트, 이소포론디이소시아네이트, 수소 첨가 디페닐메탄디이소시아네이트 등의 지환식 다가 이소시아네이트 등, 및 그들의 뷰렛체, 이소시아누레이트체, 나아가 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 네오펜틸글리콜, 트리메틸올프로판, 피마자유 등의 저분자 활성 수소 함유 화합물의 반응물인 어덕트체 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 특히 박리력을 낮게 하여 박리성을 향상시킬 수 있는 헥사메틸렌디이소시아네이트 및 그 이소시아누레이트체가 바람직하다. 상기 다가 이소시아네이트 화합물(a2)는 1 종을 단독으로, 또는 2 종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.The polyvalent isocyanate compound (a2) is a compound having at least two isocyanate groups in one molecule, for example, tolylene diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, and aromatic polyvalent isocyanate such as xylylene diisocyanate, and hexamethylene diisocyanate. Alicyclic polyvalent isocyanates such as aliphatic polyhydric isocyanate, isophorone diisocyanate, hydrogenated diphenylmethane diisocyanate, and the like, and their biuret body, isocyanurate body, and further ethylene glycol, propylene glycol, neopentyl glycol, trimethylolpropane, And adduct bodies which are reactants of low molecular weight active hydrogen-containing compounds such as castor oil. Among these, hexamethylene diisocyanate and its isocyanurate body, which can improve the peelability by lowering the peeling force, are particularly preferable. The polyvalent isocyanate compound (a2) may be used alone or in combination of two or more.

디메틸오르가노폴리실록산(a3)은, 다가 이소시아네이트 화합물(a2)을 통해서 (메트)아크릴레이트(a1)과 반응시키기 때문에, 1 분자 중에 적어도 1 개의 수산기를 갖고 있는 필요가 있다. 또한, 양호한 박리성을 발현시키기 위해서, 디메틸오르가노폴리실록산(a3)은 직쇄상이고, 질량 평균 분자량이 500∼8000 인 것을 필요로 한다. 질량 평균 분자량이 이 범위 내에 있음으로써, 안정된 박리성이 발휘되고, 또한 도공성도 양호해진다. 질량 평균 분자량은 500∼6000 인 것이 바람직하고, 특히 500∼5000 인 것이 바람직하다. 또, 본 명세서에 있어서의 질량 평균 분자량은, 겔 퍼미에이션 크로마토그래피 (GPC) 법에 의해 측정한 표준 폴리스티렌 환산의 값이다.Since the dimethylorganopolysiloxane (a3) reacts with the (meth)acrylate (a1) via the polyvalent isocyanate compound (a2), it is necessary to have at least one hydroxyl group in one molecule. Further, in order to express good releasability, dimethylorganopolysiloxane (a3) needs to be linear and have a mass average molecular weight of 500 to 8000. When the mass average molecular weight is in this range, stable releasability is exhibited, and coatability is also improved. It is preferable that it is 500-6000, and, as for a mass average molecular weight, it is especially preferable that it is 500-5000. In addition, the mass average molecular weight in this specification is a value in terms of standard polystyrene measured by a gel permeation chromatography (GPC) method.

디메틸오르가노폴리실록산(a3)으로는, 하기 일반식 (3), (4) 또는 (5) 에 나타내는 구조를 갖는 것을 들 수 있다. 그 중에서도 일반식 (3) 에 나타내는 구조를 갖는 것이 바람직하고, 이것에 의하면, 특히 박리력을 낮게 하여 박리성을 향상시킬 수 있다. 또한, 일반식 (5) 에 나타내는 구조를 갖는 것과, 다가 이소시아네이트 화합물(a2)로서 헥사메틸렌디이소시아네이트의 이소시아누레이트체를 조합한 경우도, 박리성을 향상시킬 수 있기 때문에 바람직하다.Examples of the dimethyl organopolysiloxane (a3) include those having a structure represented by the following general formulas (3), (4) or (5). Among them, it is preferable to have a structure represented by the general formula (3), and according to this, in particular, it is possible to improve the peelability by lowering the peeling force. In addition, it is preferable to have a structure represented by the general formula (5) and a polyvalent isocyanate compound (a2) in which an isocyanurate body of hexamethylene diisocyanate is combined because the releasability can be improved.

[화학식 3] [Formula 3]

Figure 112016093964541-pct00003
Figure 112016093964541-pct00003

[화학식 4] [Formula 4]

Figure 112016093964541-pct00004
Figure 112016093964541-pct00004

[화학식 5] [Formula 5]

Figure 112016093964541-pct00005
Figure 112016093964541-pct00005

상기 일반식 (3), (4) 및 (5) 중, R1, R3 및 R6 은 각각 독립적으로 알킬기 또는 알킬렌에테르기를 나타내고, R2, R4, R5 및 R7 은 각각 독립적으로 알킬렌기 또는 알킬렌에테르기를 나타낸다. n 은 양의 정수를 나타낸다.In the general formulas (3), (4) and (5), R 1 , R 3 and R 6 each independently represent an alkyl group or an alkylene ether group, and R 2 , R 4 , R 5 and R 7 are each independently Represents an alkylene group or an alkylene ether group. n represents a positive integer.

디메틸오르가노폴리실록산(a3)으로는, 시판품을 사용할 수도 있다. 시판품으로는, 예를 들어, 칫소사 제조의 사이라프렌 (Silaplane) FM-4411, FM-4421, FM-4425, FMDA11, FMDA21, FM0411, FM0421, FM0425 나, 신에츠 화학 공업사 제의 X22-160AS, KF-6001, KF-6002, KF-6003, X-22-170BX, X-22-170DX, X22-176DX, X-22-176F 등을 들 수 있고, 그 중에서도 사이라프렌 FMDA11, FMDA21 및 FM0411 이 바람직하다.As the dimethyl organopolysiloxane (a3), a commercial item can also be used. As a commercial item, for example, Chisso's Silaplane FM-4411, FM-4421, FM-4425, FMDA11, FMDA21, FM0411, FM0421, FM0425 I, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. X22-160AS, KF-6001, KF-6002, KF-6003, X-22-170BX, X-22-170DX, X22-176DX, X-22-176F, etc. are mentioned. Among them, Cyraffrene FMDA11, FMDA21 and FM0411 desirable.

활성 에너지선 경화성 성분(A)는, (메트)아크릴레이트(a1), 다가 이소시아네이트 화합물(a2) 및 디메틸오르가노폴리실록산(a3)의 합계량에 대한 디메틸오르가노폴리실록산(a3)의 양이 질량비로 0.01∼0.10 이 되도록 반응시킨 것이다. 그 질량비가 0.01 미만이면, 안정된 박리성을 얻기 어려워진다. 한편, 질량비가 0.10 을 초과하면, 롤 형상으로 감아들인 박리 필름을 풀어낼 때에 박리 필름의 대전량이 커진다. 이 때문에, 박리 필름의 표면에 이물질 등이 부착되기 쉬워져, 슬러리를 도공할 때에 도공면에 핀 홀 등을 발생시킬 가능성이 있다. 또한, 도공성이 악화되어, 도공면에 도공 줄기모양 흔적 등이 생기는 경우가 있다. 즉, 질량비가 상기 범위 내에 있으면, 우수한 박리성을 안정적으로 발현하고, 도공성이 양호한 박리제 조성물(R)을 얻을 수 있다. 이러한 관점에서, 상기 질량비는 0.01∼0.07 인 것이 바람직하고, 특히 0.01∼0.05 인 것이 바람직하다.As for the active energy ray-curable component (A), the amount of dimethylorganopolysiloxane (a3) to the total amount of (meth)acrylate (a1), polyvalent isocyanate compound (a2), and dimethyl organopolysiloxane (a3) is 0.01 in terms of mass ratio. It was reacted so that it might become -0.10. If the mass ratio is less than 0.01, it becomes difficult to obtain stable peelability. On the other hand, when the mass ratio exceeds 0.10, the charge amount of the release film increases when the release film wound in a roll shape is released. For this reason, foreign matter or the like is liable to adhere to the surface of the release film, and there is a possibility that pinholes or the like are generated on the coated surface when applying the slurry. Further, the coating property is deteriorated, and there are cases where a coating stem-like trace or the like occurs on the coating surface. That is, when the mass ratio is within the above range, excellent peelability can be stably expressed, and a peeling agent composition (R) having good coatability can be obtained. From this point of view, the mass ratio is preferably 0.01 to 0.07, particularly preferably 0.01 to 0.05.

여기서, 다가 이소시아네이트 화합물(a2)가 갖는 총 이소시아네이트기량으로부터 디메틸오르가노폴리실록산(a3)이 갖는 총 수산기량을 뺀 값이, (메트)아크릴레이트(a1)가 갖는 총 수산기량보다 작아지도록 조정하는 것이 바람직하다. 또한, 활성 에너지선 경화성 성분(A)를 제조할 때에, 먼저 다가 이소시아네이트 화합물(a2)와 디메틸오르가노폴리실록산(a3)을 반응시키고, 그것에 (메트)아크릴레이트(a1)을 반응시키는 것이 바람직하다. 상기한 바와 같이 함으로써, 디메틸오르가노폴리실록산(a3) 중, (메트)아크릴레이트(a1)과 반응하지 않고 잔존하는 것의 양을 줄일 있고, 따라서, 박리 부여 성분인 디메틸오르가노폴리실록산(a3)이 세라믹 그린 시트로 이행되는 양을 줄일 수 있다.Here, the value obtained by subtracting the total amount of hydroxyl groups of the dimethyl organopolysiloxane (a3) from the total amount of isocyanate groups of the polyvalent isocyanate compound (a2) is adjusted to be smaller than the total amount of hydroxyl groups of the (meth)acrylate (a1). desirable. In addition, when preparing the active energy ray-curable component (A), it is preferable to first react a polyvalent isocyanate compound (a2) with a dimethyl organopolysiloxane (a3), and react with a (meth)acrylate (a1) thereto. By doing as described above, the amount of the dimethylorganopolysiloxane (a3) that remains without reacting with the (meth)acrylate (a1) is reduced, and therefore, the dimethylorganopolysiloxane (a3), which is a peeling component, is ceramic It can reduce the amount of transfer to the green sheet.

박리제 조성물(R)이 함유하는 광중합 개시제(B)로는, 예를 들어, α-히드록시케톤계 화합물, α-아미노알킬페논계 화합물, 티오크산톤 등을 포함하는 방향족 케톤류, 아실포스핀옥사이드류 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 중합 반응을 촉진하여, 경화성을 향상시키는 점에서, α-히드록시케톤계 화합물 및 α-아미노알킬페논계 화합물이 바람직하다. 상기 광중합 개시제(B)는 1 종을 단독으로, 또는 2 종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.Examples of the photopolymerization initiator (B) contained in the release agent composition (R) include aromatic ketones including α-hydroxyketone compounds, α-aminoalkylphenone compounds, thioxanthone, and acylphosphine oxides. And the like. Among these, an α-hydroxyketone compound and an α-aminoalkylphenone compound are preferable from the viewpoint of promoting the polymerization reaction and improving curability. The photopolymerization initiator (B) may be used alone or in combination of two or more.

α-히드록시케톤계 화합물로는, 예를 들어, 2-히드록시-1-{4-[4-(2-히드록시-2-메틸-프로피오닐)-벤질]-페닐}-2-메틸-프로판-1-온, 2-히드록시-4'-히드록시에톡시-2-메틸프로피오페논, 1-히드록시-시클로헥실-페닐-케톤, 올리고{2-히드록시-2-메틸-1-[4-(1-메틸비닐)페닐]프로파논} 등을 들 수 있다.As an α-hydroxyketone-based compound, for example, 2-hydroxy-1-{4-[4-(2-hydroxy-2-methyl-propionyl)-benzyl]-phenyl}-2-methyl -Propan-1-one, 2-hydroxy-4'-hydroxyethoxy-2-methylpropiophenone, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, oligo{2-hydroxy-2-methyl- 1-[4-(1-methylvinyl)phenyl]propanone} etc. are mentioned.

α-아미노알킬페논계 화합물로는, 예를 들어, 2-메틸-1[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논-1,2-디메틸아미노-2-[(4-메틸페닐)메틸]-1-[4-(4-모르폴리닐)페닐]-1-부타논 등을 들 수 있다.As an α-aminoalkylphenone-based compound, for example, 2-methyl-1[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1 -(4-morpholinophenyl)-butanone-1,2-dimethylamino-2-[(4-methylphenyl)methyl]-1-[4-(4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone And the like.

박리제 조성물(R) 중에 있어서의 광중합 개시제(B)의 함유량은, 활성 에너지선 경화성 성분(A) 100질량부에 대하여 2∼15질량부인 것이 바람직하고, 특히 4∼12질량부인 것이 바람직하다.The content of the photopolymerization initiator (B) in the release agent composition (R) is preferably 2 to 15 parts by mass, and particularly preferably 4 to 12 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the active energy ray-curable component (A).

본 실시형태에 관한 박리제 조성물(R)는, 상기 성분 외에 필요에 따라서, 실리카, 대전 방지제, 개시 보조제, 염료, 안료 그 밖의 첨가제를 함유해도 된다.In addition to the above components, the release agent composition (R) according to the present embodiment may contain silica, an antistatic agent, an initiation aid, a dye, a pigment, or other additives as necessary.

본 실시형태에 관한 박리 필름(1)에 있어서의 박리제층(12)의 두께는 0.3∼2㎛ 이고, 0.3∼1.5㎛ 인 것이 바람직하며, 특히 0.3∼1.2㎛ 인 것이 바람직하다. 박리제층(12)의 두께가 0.3㎛ 미만이면, 기재(11)의 제 1 면(111)에 존재하는 돌기 상호간의 오목 부분을 다 메우지 못하여 박리제층(12) 표면(121)의 평활성이 불충분해져서, 세라믹 그린 시트에 핀 홀이나 두께 불균일이 발생하기고 쉬워진다. 한편, 박리제층(12)의 두께가 2㎛ 를 초과하면, 박리제층(12)의 경화 수축에 의해 박리 필름(1)에 컬이 발생하기 쉬워진다. 또한, 박리 필름(1)을 롤 형상으로 감아들일 때에, 기재(11)의 제 2 면(112)과 블로킹이 발생하기 쉬워진다.The thickness of the release agent layer 12 in the release film 1 according to the present embodiment is 0.3 to 2 µm, preferably 0.3 to 1.5 µm, and particularly preferably 0.3 to 1.2 µm. If the thickness of the release agent layer 12 is less than 0.3 μm, the smoothness of the surface 121 of the release agent layer 12 is insufficient because the concave portions between the protrusions present on the first surface 111 of the substrate 11 cannot be completely filled. As a result, pinholes and uneven thickness are easily generated in the ceramic green sheet. On the other hand, when the thickness of the release agent layer 12 exceeds 2 µm, curling is likely to occur in the release film 1 due to curing shrinkage of the release agent layer 12. In addition, when the release film 1 is wound up in a roll shape, blocking with the second surface 112 of the substrate 11 tends to occur.

박리제층(12)의 표면(121)의 산술 평균 조도(Ra1)는 8㎚ 이하이고, 바람직하게는 6㎚ 이하이고, 특히 바람직하게는 4㎚ 이하이다. 또한, 박리제층(12)의 표면(121)의 최대 돌기 높이(Rp1)는 50㎚ 이하이고, 바람직하게는 40㎚ 이하이고, 특히 바람직하게는 30㎚ 이하이다.The arithmetic mean roughness Ra1 of the surface 121 of the release agent layer 12 is 8 nm or less, preferably 6 nm or less, and particularly preferably 4 nm or less. Further, the maximum protrusion height Rp1 of the surface 121 of the release agent layer 12 is 50 nm or less, preferably 40 nm or less, and particularly preferably 30 nm or less.

박리제층(12)의 표면(121) 의 산술 평균 조도(Ra1) 및 최대 돌기 높이(Rp1)를 상기한 바와 같은 범위로 함으로써, 박리제층(12)의 표면(121)을 충분히 고평활한 것으로 할 수 있어, 예를 들어 두께 1㎛ 이하의 박막 세라믹 그린 시트를 박리제층(12)의 표면(121)에 성형했을 때에도, 박막 세라믹 그린 시트에는 핀 홀이나 두께 불균일 등의 결함이 발생하기 어렵고, 양호한 슬러리 도공성을 나타낸다. 또한, 박리제층(12)의 표면(121)의 산술 평균 조도(Ra1) 및 최대 돌기 높이(Rp1)를 상기한 바와 같은 범위로 함으로써, 세라믹 그린 시트로부터의 박리성도 우수한 것이 되어, 예를 들어 두께 1㎛ 이하의 박막 세라믹 그린 시트를 박리제층(12)으로부터 박리할 때에도, 세라믹 그린 시트는 잘 파단되지 않는다.By setting the arithmetic mean roughness (Ra1) and the maximum protrusion height (Rp1) of the surface 121 of the release agent layer 12 into the above-described ranges, the surface 121 of the release agent layer 12 can be made sufficiently high-smooth. Thus, for example, even when a thin-film ceramic green sheet having a thickness of 1 μm or less is formed on the surface 121 of the release agent layer 12, defects such as pinholes and thickness irregularities are unlikely to occur in the thin-film ceramic green sheet. It shows slurry coatability. In addition, by making the arithmetic mean roughness (Ra1) and the maximum protrusion height (Rp1) of the surface 121 of the release agent layer 12 in the above ranges, the peelability from the ceramic green sheet is also excellent, for example, the thickness Even when the thin ceramic green sheet of 1 µm or less is peeled from the release agent layer 12, the ceramic green sheet is not easily broken.

박리제 조성물(R)을 경화시켜 이루어지는 박리제층(12)은, 상기 기재(11)의 제 1 면(111)에 적층되었을 때에, 박리제층(12)의 표면(121)에 있어서의 산술 평균 조도(Ra1) 및 최대 돌기 높이(Rp1)를 전술한 범위로 할 수 있는 것이다. 박리제 조성물(R)에 의하면, 주로 활성 에너지선 경화성 성분의 경화물에 의해서 기재(11)의 제 1 면(111)에 존재하는 돌기 상호간의 오목 부분을 효과적으로 메워, 얻어지는 박리제층(12)의 표면(121)을 고평활화할 수 있다.When the release agent layer 12 formed by curing the release agent composition (R) is laminated on the first surface 111 of the substrate 11, the arithmetic mean roughness in the surface 121 of the release agent layer 12 ( Ra1) and the maximum protrusion height Rp1 can be set within the above-described range. According to the release agent composition (R), the surface of the release agent layer 12 obtained by effectively filling the concave portions between the protrusions present on the first surface 111 of the substrate 11 by a cured product of an active energy ray-curable component. (121) can be highly smoothed.

또한, 박리제 조성물(R)을 경화시켜 이루어지는 박리제층(12)에 의하면, 전술한 바와 같이, 박리제층(12) 상에 형성한 세라믹 그린 시트에 대하여 박리 부여 성분이 이행되는 것이 억제된다.Further, according to the release agent layer 12 formed by curing the release agent composition (R), as described above, transfer of the peeling imparting component to the ceramic green sheet formed on the release agent layer 12 is suppressed.

구체적으로는, 박리제층(12)의 표면(121)에 폴리비닐부티랄 수지층을 형성한 후, 당해 폴리비닐부티랄 수지층을 박리제층(12)으로부터 박리했을 때에, 폴리비닐부티랄 수지층에 있어서의 박리제층(12)에 접촉하고 있던 면의 실리콘 이행량이 저하된다. 실리콘 이행량으로는, X 선 광전자 분광 분석법(XPS)에 의해서 측정되는 규소 원자 비율에 의해서 그 성능을 평가할 수 있다. 본 실시형태에 있어서는, 당해 면을 측정하여 얻어지는 규소 원자 비율이 1.0원자% 미만인 것이 바람직하고, 특히 0.5원자% 미만인 것이 바람직하며, 0.3원자% 이하인 것이 더욱 바람직하다. 또, 규소 원자 비율은, 규소 원자(Si), 탄소 원자(C) 및 산소 원자(O)의 양 (XPS 카운트수) 에 기초하여, 하기 식에 의해 산출된다.Specifically, after forming a polyvinyl butyral resin layer on the surface 121 of the release agent layer 12, when the polyvinyl butyral resin layer is peeled from the release agent layer 12, the polyvinyl butyral resin layer The amount of silicon migration on the surface in contact with the release agent layer 12 decreases. As the silicon transfer amount, its performance can be evaluated by the ratio of silicon atoms measured by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). In this embodiment, the silicon atom ratio obtained by measuring the surface is preferably less than 1.0 atomic%, particularly preferably less than 0.5 atomic%, and more preferably 0.3 atomic% or less. In addition, the silicon atom ratio is calculated by the following formula based on the amount of the silicon atom (Si), the carbon atom (C), and the oxygen atom (O) (XPS count number).

규소 원자 비율 (원자%) = [(Si 원소량)/(C 원소량)+(O 원소량)+(Si 원소량)] × 100Silicon atomic ratio (atomic%) = [(Si element amount)/(C element amount)+(O element amount)+(Si element amount)] × 100

또, 폴리비닐부티랄 수지층 자체는, XPS 에 의해 규소가 검출되지 않는 수준인 것이 대부분이기 때문에, 당해 규소 원자 비율을 박리제층(12)의 박리 부여 성분인 실리콘계 화합물의 이행량의 평가 기준으로서 이용할 수 있다.In addition, since most of the polyvinyl butyral resin layer itself is at a level at which no silicon is detected by XPS, the silicon atom ratio is used as a criterion for evaluating the amount of transfer of the silicone-based compound as a peeling component of the release agent layer 12. Can be used.

폴리비닐부티랄 수지층에 있어서의 박리제층(12)에 접촉하고 있던 면의 규소 원자 비율이 상기 범위 내에 있음으로써, 박리제층(12)에 세라믹 그린 시트를 형성했을 때에, 세라믹 그린 시트로의 박리제층(12)에 함유되는 실리콘의 이행을 억제할 수 있다.When the silicon atom ratio of the surface in the polyvinyl butyral resin layer in contact with the release agent layer 12 is within the above range, when the ceramic green sheet is formed on the release agent layer 12, the release agent to the ceramic green sheet The transfer of silicon contained in the layer 12 can be suppressed.

3. 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름의 제조 방법3. Manufacturing method of release film for ceramic green sheet manufacturing process

본 실시형태에 관한 박리 필름(1)은, 기재(11)의 제 1 면(111)에 박리제 조성물(R) 및 원한다면 유기 용제를 함유하는 박리제층 형성용 재료를 도포한 후, 필요에 따라 건조하고, 활성 에너지선의 조사에 의해 경화시켜 박리제층(12)을 형성함으로써 제조할 수 있다. 박리제층 형성용 재료의 도포 방법으로는, 예를 들어, 그라비아 코트법, 바 코트법, 스프레이 코트법, 스핀 코트법, 나이프 코트법, 롤 코트법, 다이 코트법 등을 사용할 수 있다.In the release film 1 according to the present embodiment, after applying a release agent composition (R) and, if desired, a release agent layer-forming material containing an organic solvent, to the first surface 111 of the substrate 11, dry as necessary. Then, it can be produced by curing by irradiation with active energy rays to form the release agent layer 12. As a method of applying the material for forming a release agent layer, for example, a gravure coating method, a bar coating method, a spray coating method, a spin coating method, a knife coating method, a roll coating method, a die coating method, or the like can be used.

상기 유기 용제로는, 박리제층 형성용 재료의 각 성분의 용해성이 양호하고, 반응성을 갖지 않는 것이면, 종래 공지된 것을 사용할 수 있다. 예를 들어, 헥산, 헵탄, 시클로헥산 등의 지방족 탄화수소, 톨루엔, 자일렌 등의 방향족 탄화수소, 염화메틸렌, 염화에틸렌 등의 할로겐화 탄화수소, 메탄올, 에탄올, 프로판올 (이소프로필알코올), 부탄올, 1-메톡시-2-프로판올 등의 알코올, 아세톤, 메틸에틸케톤, 2-펜타논, 이소포론, 시클로헥사논 등의 케톤, 아세트산에틸, 아세트산부틸 등의 에스테르, 에틸셀로솔브 등의 셀로솔브계 용제, 그들의 혼합 용매 등이 사용된다. 유기 용제의 사용량은, 통상 고형분 농도가 1∼60질량% 의 범위가 되도록 조정하는 것이 바람직하다.As the organic solvent, as long as the solubility of each component of the material for forming a release agent layer is good and does not have reactivity, a conventionally known solvent can be used. For example, aliphatic hydrocarbons such as hexane, heptane, and cyclohexane, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, halogenated hydrocarbons such as methylene chloride and ethylene chloride, methanol, ethanol, propanol (isopropyl alcohol), butanol, 1-methyl Alcohols such as oxy-2-propanol, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, 2-pentanone, isophorone, and cyclohexanone, esters such as ethyl acetate and butyl acetate, cellosolve solvents such as ethyl cellosolve, These mixed solvents and the like are used. The amount of the organic solvent used is preferably adjusted so that the solid content concentration is usually in the range of 1 to 60% by mass.

활성 에너지선으로는 통상 자외선, 전자선 등이 사용되고, 자외선이 특히 바람직하다. 활성 에너지선의 조사량은 에너지선의 종류에 따라 다르지만, 예를 들어 자외선의 경우에는, 광량으로 50∼1000mJ/㎠ 가 바람직하고, 특히 100∼500mJ/㎠ 가 바람직하다. 또한, 전자선의 경우에는 0.1∼50kGy 정도가 바람직하다.As the active energy ray, ultraviolet rays, electron beams, and the like are usually used, and ultraviolet rays are particularly preferable. Although the irradiation amount of the active energy ray varies depending on the type of energy ray, for example, in the case of ultraviolet rays, the amount of light is preferably 50 to 1000 mJ/cm 2, and particularly preferably 100 to 500 mJ/cm 2. In the case of an electron beam, about 0.1 to 50 kGy is preferable.

상기 활성 에너지선의 조사에 의해 박리제 조성물(R) 중의 활성 에너지선 경화성 성분(A)이 중합하여 경화되고, 박리제층(12)이 형성된다.The active energy ray-curable component (A) in the release agent composition (R) is polymerized and cured by irradiation with the active energy ray, and the release agent layer 12 is formed.

이상 설명한 박리 필름(1)을 사용하기 위해서는, 슬롯 다이 도공 방식이나 닥터 블레이드 방식 등을 사용하여 박리제층(12)의 표면(121)에 세라믹 슬러리를 도공하고 건조시킴으로써, 세라믹 그린 시트를 성형한다. 이 때, 본 실시형태에 관한 박리 필름(1)에 의하면, 슬러리 도공성이 우수하고, 강도가 낮은 박막의 세라믹 그린 시트를 박리제층에 성형한 경우라도, 평활성이 높은 세라믹 그린 시트를 형성할 수 있어, 핀 홀이나 두께 불균일의 발생을 억제할 수 있다. 또한, 형성된 세라믹 그린 시트는 박리 필름(1)으로부터 박리되기 쉬우면서, 또한 세라믹 그린 시트로 박리 부여 성분 (실리콘계 화합물) 이 이행되기 어렵다.In order to use the release film 1 described above, a ceramic green sheet is formed by coating and drying the ceramic slurry on the surface 121 of the release agent layer 12 using a slot die coating method, a doctor blade method, or the like. At this time, according to the release film 1 according to the present embodiment, a ceramic green sheet having high smoothness can be formed even when a thin ceramic green sheet having excellent slurry coatability and low strength is formed on the release agent layer. Thus, it is possible to suppress the occurrence of pinholes and thickness unevenness. In addition, the formed ceramic green sheet is easily peeled from the peeling film 1, and the peeling imparting component (silicon compound) is hardly transferred to the ceramic green sheet.

그리고, 세라믹 그린 시트가 형성된 박리 필름(1)을 롤 형상으로 감긴 상태로 보관하거나, 롤·투·롤로 반송하더라도, 기재(11)의 제 2 면(112)의 표면 상태에서 기인하여 세라믹 그린 시트가 부분적으로 얇아지는 등의 결함이 생기는 것이 억제된다. 또한, 상기 박리 필름(1)에 의하면, 블로킹이 발생하기 어렵기 때문에, 권취 불량이나, 풀어낼 때의 대전량이 증대되어 이물질이 부착되는 등의 문제를 억제할 수 있다. 따라서, 본 실시예에 관한 박리 필름(1)에 의하면, 신뢰성이 높은 세라믹 그린 시트를 양호한 생산성으로 수율 좋게 제조할 수 있다.In addition, even if the release film 1 on which the ceramic green sheet is formed is stored in a rolled state or conveyed by roll-to-roll, the ceramic green sheet originates from the surface state of the second surface 112 of the substrate 11. The occurrence of defects such as partial thinning is suppressed. Further, according to the release film 1, since blocking is unlikely to occur, problems such as poor winding or an increase in the amount of charge when unwinding can be suppressed, such as adhesion of foreign substances. Therefore, according to the release film 1 according to the present embodiment, a highly reliable ceramic green sheet can be produced with good productivity and good yield.

이상 설명한 실시형태는 본 발명의 이해를 쉽게 하기 위해서 기재된 것으로서, 본 발명을 한정하기 위해서 기재된 것은 아니다. 따라서, 상기 실시형태에 개시된 각 요소는, 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계 변경이나 균등물도 포함하는 취지이다.The embodiments described above are described to facilitate understanding of the present invention, and are not described to limit the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents falling within the technical scope of the present invention.

예를 들어, 기재(11)에 있어서의 박리제층(12)의 반대측의 면이나, 기재(11)와 박리제층(12) 사이에는 대전 방지층 등의 다른 층이 형성되어도 된다.For example, another layer such as an antistatic layer may be formed on the surface of the substrate 11 on the opposite side of the release agent layer 12 or between the substrate 11 and the release agent layer 12.

실시예Example

이하, 실시예 등에 의해 본 발명을 더욱 구체적으로 설명하지만, 본 발명의 범위는 이들 실시예 등에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described more specifically by examples and the like, but the scope of the present invention is not limited to these examples and the like.

〔제조예 1〕 [Production Example 1]

교반기, 환류 냉각기, 적하 깔때기 및 온도계를 구비한 반응기에, 다가 이소시아네이트(a2)로서의 헥사메틸렌디이소시아네이트 100질량부 (고형분 환산 ; 이하 동일) 와, 디메틸오르가노폴리실록산(a3) (칫소사 제, 제품명 「사이라프렌 FMDA11」, 수평균 분자량 1000 ; 일반식 (3) 에 나타내는 구조를 갖고, 일반식 (3) 에 있어서의 R1 은 -OH, R2 는 -(CH2)3OCH2CH2-, R3 은 -CH2CH3 이다. 동 제품의 구조는 이하 동일하다) 300질량부와, 메틸에틸케톤 400질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 반응물을 얻었다.In a reactor equipped with a stirrer, reflux condenser, dropping funnel, and thermometer, 100 parts by mass of hexamethylene diisocyanate as polyvalent isocyanate (a2) (in terms of solid content; hereinafter the same) and dimethylorganopolysiloxane (a3) (manufactured by Chisso Corporation, product name "Syraprene FMDA11", number average molecular weight 1000; It has a structure represented by general formula (3), and R 1 in general formula (3) is -OH, R 2 is -(CH 2 ) 3 OCH 2 CH 2 -, R 3 is -CH 2 CH 3. The structure of the product is the same below) 300 parts by mass and 400 parts by mass of methyl ethyl ketone were injected, the temperature was raised to 85°C, and the reaction was carried out for 7 hours to obtain a reaction product. .

상기와 동일한 장비를 갖는 별도의 반응기에, (메트)아크릴레이트(a1)로서의 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트의 혼합물 (토아 합성사 제, 제품명 「M-400」, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트 50질량% 함유 ; 일반식 (1) 에 나타내는 구조) 286질량부와, 상기에서 얻어진 반응물의 고형분 12질량부와, 메틸에틸케톤 286질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 이소시아네이트기가 소실된 것을 IR 측정에 의해 확인하고, 활성 에너지선 경화성 성분(A1)을 얻었다.In a separate reactor having the same equipment as above, a mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate as (meth)acrylate (a1) (manufactured by Toa Synthetic Company, product name ``M-400'', Containing 50% by mass of pentaerythritol pentaacrylate; 286 parts by mass of the structure represented by the general formula (1), 12 parts by mass of the solid content of the reactant obtained above, and 286 parts by mass of methyl ethyl ketone were added, and the temperature was raised to 85°C. It kept warm for 7 hours and made it react, it confirmed by IR measurement that an isocyanate group disappeared, and the active energy ray-curable component (A1) was obtained.

〔제조예 2〕 [Production Example 2]

교반기, 환류 냉각기, 적하 깔때기 및 온도계를 구비한 반응기에, 다가 이소시아네이트(a2)로서의 헥사메틸렌디이소시아네이트 100질량부와, 디메틸오르가노폴리실록산(a3) (칫소사 제, 제품명 「사이라프렌 FMDA11」, 수평균 분자량 1000) 300질량부와, 메틸에틸케톤 400질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 반응물을 얻었다.In a reactor equipped with a stirrer, reflux condenser, dropping funnel, and thermometer, 100 parts by mass of hexamethylene diisocyanate as polyvalent isocyanate (a2), and dimethylorganopolysiloxane (a3) (manufactured by Chisso Corporation, product name ``Syraprene FMDA11'', 300 parts by mass of number average molecular weight 1000) and 400 parts by mass of methyl ethyl ketone were injected, the temperature was raised to 85°C, and the mixture was kept warm for 7 hours to obtain a reaction product.

상기와 동일한 장비를 갖는 별도의 반응기에, (메트)아크릴레이트(a1)로서의 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트의 혼합물 (토아 합성사 제, 제품명 「M-400」; 일반식 (1) 에 나타내는 구조) 258질량부와, 상기에서 얻어진 반응물의 고형분 40질량부와, 메틸에틸케톤 258질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 이소시아네이트기가 소실된 것을 IR 측정에 의해 확인하고, 활성 에너지선 경화성 박리제 화합물(A2)를 얻었다.In a separate reactor having the same equipment as above, a mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate as (meth)acrylate (a1) (manufactured by Toa Synthetic Corporation, product name “M-400”; General) Structure represented by formula (1)) 258 parts by mass, 40 parts by mass of the solid content of the reactant obtained above, and 258 parts by mass of methyl ethyl ketone were injected, the temperature was raised to 85°C, and the reaction was carried out by keeping the temperature for 7 hours. It confirmed by IR measurement, and the active energy ray-curable release agent compound (A2) was obtained.

〔제조예 3〕 [Production Example 3]

교반기, 환류 냉각기, 적하 깔때기 및 온도계를 구비한 반응기에, 다가 이소시아네이트(a2)로서의 헥사메틸렌디이소시아네이트 100질량부와, 디메틸오르가노폴리실록산(a3) (칫소사 제, 제품명 「사이라프렌 FMDA21」, 수평균 분자량 5000 ; 일반식 (3) 에 나타내는 구조를 갖고, 일반식 (3) 에 있어서의 R1 은 -OH, R2 는-(CH2)3OCH2CH2-, R3 은 -CH2CH3이다) 1488질량부와, 메틸에틸케톤 1588질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 반응물을 얻었다.In a reactor equipped with a stirrer, a reflux condenser, a dropping funnel, and a thermometer, 100 parts by mass of hexamethylene diisocyanate as polyvalent isocyanate (a2), and dimethylorganopolysiloxane (a3) (manufactured by Chisso, product name ``Syraprene FMDA21'', Number average molecular weight 5000; Having a structure represented by General Formula (3), R 1 in General Formula (3) is -OH, R 2 is -(CH 2 ) 3 OCH 2 CH 2 -, R 3 is -CH 2 CH 3 ) 1488 parts by mass and 1588 parts by mass of methyl ethyl ketone were injected, the temperature was raised to 85°C, and the mixture was kept warm for 7 hours to obtain a reaction product.

상기와 동일한 장비를 갖는 별도의 반응기에, (메트)아크릴레이트(a1)로서의 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트의 혼합물 (토아 합성사 제, 제품명 「M-400」; 일반식 (1) 에 나타내는 구조) 289질량부와, 상기에서 얻어진 반응물의 고형분 10질량부와, 메틸에틸케톤 289질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 이소시아네이트기가 소실된 것을 IR 측정에 의해 확인하고, 활성 에너지선 경화성 박리제 화합물(A3)을 얻었다.In a separate reactor having the same equipment as above, a mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate as (meth)acrylate (a1) (manufactured by Toa Synthetic Corporation, product name “M-400”; General) Structure represented by formula (1)) 289 parts by mass, 10 parts by mass of the solid content of the reactant obtained above, and 289 parts by mass of methyl ethyl ketone were injected, the temperature was raised to 85°C, and the reaction was carried out by keeping the temperature for 7 hours. It confirmed by IR measurement, and the active energy ray-curable release agent compound (A3) was obtained.

〔제조예 4〕 [Production Example 4]

교반기, 환류 냉각기, 적하 깔때기 및 온도계를 구비한 반응기에, 다가 이소시아네이트(a2)로서의 헥사메틸렌디이소시아네이트 100질량부와, 디메틸오르가노폴리실록산(a3) (칫소사 제, 제품명 「사이라프렌 FMDA11」, 수평균 분자량 1000) 300질량부와, 메틸에틸케톤 400질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 반응물을 얻었다.In a reactor equipped with a stirrer, reflux condenser, dropping funnel, and thermometer, 100 parts by mass of hexamethylene diisocyanate as polyvalent isocyanate (a2), and dimethylorganopolysiloxane (a3) (manufactured by Chisso Corporation, product name ``Syraprene FMDA11'', 300 parts by mass of number average molecular weight 1000) and 400 parts by mass of methyl ethyl ketone were injected, the temperature was raised to 85°C, and the mixture was kept warm for 7 hours to obtain a reaction product.

상기와 동일한 장비를 갖는 별도의 반응기에, 펜타에리트리톨테트라아크릴레이트와 펜타에리트리톨트리아크릴레이트의 혼합물 (신나카무라 화학 공업사 제, 제품명 「A-TMM-3L」, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트 55질량% 함유) 286질량부와, 상기에서 얻어진 반응물의 고형분 12질량부와, 메틸에틸케톤 286질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 이소시아네이트기가 소실된 것을 IR 측정에 의해 확인하고, 활성 에너지선 경화성 박리제 화합물(A4)를 얻었다.In a separate reactor having the same equipment as above, a mixture of pentaerythritol tetraacrylate and pentaerythritol triacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industries, product name ``A-TMM-3L'', pentaerythritol triacrylate 55 mass) % Contained) 286 parts by mass, 12 parts by mass of the solid content of the reactant obtained above, and 286 parts by mass of methyl ethyl ketone were injected, the temperature was raised to 85°C, and the reaction was carried out by keeping the temperature for 7 hours, and the disappearance of the isocyanate group was confirmed by IR measurement. Then, an active energy ray-curable release agent compound (A4) was obtained.

〔제조예 5〕 [Production Example 5]

교반기, 환류 냉각기, 적하 깔때기 및 온도계를 구비한 반응기에, 다가 이소시아네이트(a2)로서의 헥사메틸렌디이소시아네이트의 이소시아누레이트체 100질량부와, 디메틸오르가노폴리실록산(a3) (칫소사 제, 제품명 「사이라프렌 FM0411」, 수평균 분자량 1000 ; 일반식 (5) 에 나타내는 구조를 갖고, 일반식 (5) 에 있어서의 R6 은 -OH, R7 은 -C3H6OC2H4- 이다) 175질량부와, 메틸에틸케톤 275질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 반응물을 얻었다.In a reactor equipped with a stirrer, a reflux condenser, a dropping funnel, and a thermometer, 100 parts by mass of the isocyanurate body of hexamethylene diisocyanate as polyvalent isocyanate (a2), and dimethylorganopolysiloxane (a3) (manufactured by Chisso Corporation, product name `` Cyraffrene FM0411", number average molecular weight 1000; It has a structure represented by general formula (5), and R 6 in general formula (5) is -OH, and R 7 is -C 3 H 6 OC 2 H 4- ) 175 parts by mass and 275 parts by mass of methyl ethyl ketone were injected, the temperature was raised to 85°C, and the mixture was kept warm for 7 hours to obtain a reaction product.

상기와 동일한 장비를 갖는 별도의 반응기에, (메트)아크릴레이트(a1)로서의 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트의 혼합물 (토아 합성사 제, 제품명 「M-400」; 일반식 (1) 에 나타내는 구조) 167질량부와, 상기에서 얻어진 반응물의 고형분 8질량부와, 메틸에틸케톤 167질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 이소시아네이트기가 소실된 것을 IR 측정에 의해 확인하고, 활성 에너지선 경화성 박리제 화합물(A5)를 얻었다.In a separate reactor having the same equipment as above, a mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate as (meth)acrylate (a1) (manufactured by Toa Synthetic Corporation, product name “M-400”; General) Structure shown in formula (1)) 167 parts by mass, 8 parts by mass of the solid content of the reactant obtained above, and 167 parts by mass of methyl ethyl ketone were injected, the temperature was raised to 85°C, and the reaction was carried out by keeping the temperature for 7 hours. It confirmed by IR measurement, and the active energy ray-curable release agent compound (A5) was obtained.

〔제조예 6〕 [Production Example 6]

교반기, 환류 냉각기, 적하 깔때기 및 온도계를 구비한 반응기에, 다가 이소시아네이트(a2)로서의 헥사메틸렌디이소시아네이트 100질량부와, 디메틸오르가노폴리실록산(a3) (칫소사 제, 제품명 「사이라프렌 FMDA11」, 수평균 분자량 1000) 300질량부와, 메틸에틸케톤 400질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 반응물을 얻었다.In a reactor equipped with a stirrer, reflux condenser, dropping funnel, and thermometer, 100 parts by mass of hexamethylene diisocyanate as polyvalent isocyanate (a2), and dimethylorganopolysiloxane (a3) (manufactured by Chisso Corporation, product name ``Syraprene FMDA11'', 300 parts by mass of number average molecular weight 1000) and 400 parts by mass of methyl ethyl ketone were injected, the temperature was raised to 85°C, and the mixture was kept warm for 7 hours to obtain a reaction product.

상기와 동일한 장비를 갖는 별도의 반응기에, (메트)아크릴레이트(a1)로서의 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트의 혼합물 (토아 합성사 제, 제품명 「M-400」; 일반식 (1) 에 나타내는 구조) 300질량부와, 상기에서 얻어진 반응물의 고형분 3질량부와, 메틸에틸케톤 300질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 이소시아네이트기가 소실된 것을 IR 측정에 의해 확인하고, 활성 에너지선 경화성 박리제 화합물(A6)을 얻었다.In a separate reactor having the same equipment as above, a mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate as (meth)acrylate (a1) (manufactured by Toa Synthetic Corporation, product name “M-400”; General) Structure represented by formula (1)) 300 parts by mass, 3 parts by mass of the solid content of the reactant obtained above, and 300 parts by mass of methyl ethyl ketone were injected, the temperature was raised to 85°C, and the reaction was carried out by keeping the temperature for 7 hours. It confirmed by IR measurement, and the active energy ray-curable release agent compound (A6) was obtained.

〔제조예 7〕 [Production Example 7]

교반기, 환류 냉각기, 적하 깔때기 및 온도계를 구비한 반응기에, 다가 이소시아네이트(a2)로서의 헥사메틸렌디이소시아네이트 100질량부와, 디메틸오르가노폴리실록산(a3) (칫소사 제, 제품명 「사이라프렌 FMDA11」, 수평균 분자량 1000) 300질량부와, 메틸에틸케톤 400질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 반응물을 얻었다.In a reactor equipped with a stirrer, reflux condenser, dropping funnel, and thermometer, 100 parts by mass of hexamethylene diisocyanate as polyvalent isocyanate (a2), and dimethylorganopolysiloxane (a3) (manufactured by Chisso Corporation, product name ``Syraprene FMDA11'', 300 parts by mass of number average molecular weight 1000) and 400 parts by mass of methyl ethyl ketone were injected, the temperature was raised to 85°C, and the mixture was kept warm for 7 hours to obtain a reaction product.

상기와 동일한 장비를 갖는 별도의 반응기에, (메트)아크릴레이트(a1)로서의 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트의 혼합물 (토아 합성사 제, 제품명 「M-400」; 일반식 (1) 에 나타내는 구조) 250질량부와, 상기에서 얻어진 반응물의 고형분 43질량부와, 메틸에틸케톤 250질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 이소시아네이트기가 소실된 것을 IR 측정에 의해 확인하고, 활성 에너지선 경화성 박리제 화합물(A7)을 얻었다.In a separate reactor having the same equipment as above, a mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate as (meth)acrylate (a1) (manufactured by Toa Synthetic Corporation, product name “M-400”; General) Structure represented by formula (1)) 250 parts by mass, 43 parts by mass of solid content of the reactant obtained above, and 250 parts by mass of methyl ethyl ketone were injected, the temperature was raised to 85°C, and the reaction was carried out by keeping the temperature for 7 hours. It confirmed by IR measurement, and the active energy ray-curable release agent compound (A7) was obtained.

〔제조예 8〕 [Production Example 8]

교반기, 환류 냉각기, 적하 깔때기 및 온도계를 구비한 반응기에, 다가 이소시아네이트(a2)로서의 헥사메틸렌디이소시아네이트 100질량부와, 디메틸오르가노폴리실록산(a3) (칫소사 제, 제품명 「사이라프렌 FMDA26」, 수평균 분자량 15000 ; 일반식 (3) 에 나타내는 구조를 갖고, 일반식 (3) 에 있어서의 R1 은 -OH, R2 는-(CH2)3OCH2CH2-, R3 은 -CH2CH3이다) 4460질량부와, 메틸에틸케톤 4560질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 반응물을 얻었다.In a reactor equipped with a stirrer, reflux condenser, dropping funnel, and thermometer, 100 parts by mass of hexamethylene diisocyanate as polyvalent isocyanate (a2), and dimethylorganopolysiloxane (a3) (manufactured by Chisso, product name ``Syraprene FMDA26'', Number average molecular weight 15000; Having a structure represented by General Formula (3), R 1 in General Formula (3) is -OH, R 2 is -(CH 2 ) 3 OCH 2 CH 2 -, R 3 is -CH 2 CH 3 ) 4460 parts by mass and 4560 parts by mass of methyl ethyl ketone were injected, the temperature was raised to 85° C., and the mixture was kept warm for 7 hours to obtain a reaction product.

상기와 동일한 장비를 갖는 별도의 반응기에, (메트)아크릴레이트(a1)로서의 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트의 혼합물 (토아 합성사 제, 제품명 「M-400」; 일반식 (1) 에 나타내는 구조) 289질량부와, 상기에서 얻어진 반응물의 고형분 9질량부와, 메틸에틸케톤 289질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 이소시아네이트기가 소실된 것을 IR 측정에 의해 확인하고, 활성 에너지선 경화성 박리제 화합물(A8)을 얻었다.In a separate reactor having the same equipment as above, a mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate as (meth)acrylate (a1) (manufactured by Toa Synthetic Corporation, product name “M-400”; General) Structure shown in formula (1)) 289 parts by mass, 9 parts by mass of the solid content of the reactant obtained above, and 289 parts by mass of methyl ethyl ketone were injected, the temperature was raised to 85°C, and the reaction was carried out by keeping the temperature for 7 hours. It confirmed by IR measurement, and the active energy ray-curable release agent compound (A8) was obtained.

〔제조예 9〕 [Production Example 9]

교반기, 환류 냉각기, 적하 깔때기 및 온도계를 구비한 반응기에, 다가 이소시아네이트(a2)로서의 헥사메틸렌디이소시아네이트 100질량부와, 디메틸오르가노폴리실록산(a3) (칫소사 제, 제품명 「사이라프렌 FMDA11」, 수평균 분자량 1000) 300질량부와, 메틸에틸케톤 400질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 반응물을 얻었다.In a reactor equipped with a stirrer, reflux condenser, dropping funnel, and thermometer, 100 parts by mass of hexamethylene diisocyanate as polyvalent isocyanate (a2), and dimethylorganopolysiloxane (a3) (manufactured by Chisso Corporation, product name ``Syraprene FMDA11'', 300 parts by mass of number average molecular weight 1000) and 400 parts by mass of methyl ethyl ketone were injected, the temperature was raised to 85°C, and the mixture was kept warm for 7 hours to obtain a reaction product.

상기와 동일한 장비를 갖는 별도의 반응기에, 2-히드록시에틸아크릴레이트 286질량부와, 상기에서 얻어진 반응물의 고형분 12질량부와, 메틸에틸케톤 286질량부를 주입하고, 85℃ 까지 승온하고 7 시간 보온하여 반응시켜, 이소시아네이트기가 소실된 것을 IR 측정에 의해 확인하고, 활성 에너지선 경화성 박리제 화합물(A9)를 얻었다.In a separate reactor having the same equipment as above, 286 parts by mass of 2-hydroxyethyl acrylate, 12 parts by mass of the solid content of the reactant obtained above, and 286 parts by mass of methyl ethyl ketone were injected, and the temperature was raised to 85° C. for 7 hours. It kept warm and made it react, it confirmed by IR measurement that an isocyanate group disappeared, and the active energy ray-curable release agent compound (A9) was obtained.

상기 제조예 1∼9 에서 얻어진 활성 에너지선 경화성 박리제 화합물A1∼A9에 대해서, (메트)아크릴레이트(a1)에 있어서의 (메트)아크릴로일기의 수, 디메틸오르가노폴리실록산(a3)의 분자량, 그리고 (메트)아크릴레이트(a1), 다가 이소시아네이트 화합물(a2) 및 디메틸오르가노폴리실록산(a3)의 합계량에 대한 디메틸오르가노폴리실록산(a3)의 양의 질량비 (a3)/[(a1)+(a2)+(a3)]) 를 표 1 에 나타낸다.With respect to the active energy ray-curable release agent compounds A1 to A9 obtained in Preparation Examples 1 to 9, the number of (meth)acryloyl groups in the (meth)acrylate (a1), the molecular weight of the dimethylorganopolysiloxane (a3), And the mass ratio of the amount of dimethylorganopolysiloxane (a3) to the total amount of (meth)acrylate (a1), polyvalent isocyanate compound (a2) and dimethyl organopolysiloxane (a3) (a3)/[(a1)+(a2) )+(a3)]) is shown in Table 1.

〔실시예 1〕 [Example 1]

활성 에너지선 경화성 성분(A1) 100질량부와, α-히드록시케톤계의 광중합 개시제(B1)로서의 2-히드록시-1-{4-[4-(2-히드록시-2-메틸-프로피오닐)-벤질]-페닐}-2-메틸-프로판-1-온 (BASF 사 제, 제품명 「IRGACURE127」) 5질량부를, 이소프로필알코올 및 메틸에틸케톤의 혼합 용제 (질량비 3 : 1) 에 의해 고형분 농도 20질량% 로 희석하여, 박리제층 형성용 재료를 얻었다.100 parts by mass of active energy ray-curable component (A1) and 2-hydroxy-1-{4-[4-(2-hydroxy-2-methyl-propy) as α-hydroxyketone-based photopolymerization initiator (B1) O'Nyl)-benzyl]-phenyl}-2-methyl-propan-1-one (manufactured by BASF, product name "IRGACURE127") 5 parts by mass using a mixed solvent of isopropyl alcohol and methyl ethyl ketone (mass ratio 3: 1) It diluted to a solid content concentration of 20% by mass to obtain a material for forming a release agent layer.

얻어진 박리제층 형성용 재료를, 기재로서의 2 축 연신 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 필름 (두께 31㎛, 제 1 면의 산술 평균 조도(Ra0) : 16㎚, 제 1 면의 최대 돌기 높이(Rp0) : 196㎚, 제 2 면의 산술 평균 조도(Ra2) : 16㎚, 제 2 면의 최대 돌기 높이(Rp2) : 196㎚) 의 제 1 면에, 경화 후의 두께가 1㎛ 가 되도록 바 코터에 의해서 도포하고, 80℃ 에서 1분간 건조시켰다. 그 후, 자외선을 조사 (적산광량 : 250mJ/㎠) 하여 박리제층 형성용 재료를 경화시켜 박리제층을 형성하고, 이것을 박리 필름으로 하였다. 또, 박리제층의 두께는 후술하는 측정 방법에 의해서 측정한 결과이다 (이하의 실시예 등도 동일하다).The obtained material for forming a release agent layer was a biaxially stretched polyethylene terephthalate (PET) film as a base material (thickness: 31 µm, arithmetic mean roughness (Ra0) of the first surface: 16 nm, maximum protrusion height (Rp0) of the first surface): 196 nm, arithmetic mean roughness of the second surface (Ra2): 16 nm, the maximum protrusion height of the second surface (Rp2): 196 nm) is coated with a bar coater so that the thickness after curing becomes 1 μm. And dried at 80° C. for 1 minute. Thereafter, ultraviolet rays were irradiated (accumulated light amount: 250 mJ/cm 2) to cure the material for forming a release agent layer to form a release agent layer, which was used as a release film. In addition, the thickness of the release agent layer is the result of measurement by the measurement method mentioned later (the following examples etc. are also the same).

〔실시예 2〕 [Example 2]

활성 에너지선 경화성 성분(A1) 대신에 활성 에너지선 경화성 성분(A2)를 배합한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.A release film was produced in the same manner as in Example 1, except that the active energy ray-curable component (A2) was mixed instead of the active energy ray-curable component (A1).

〔실시예 3〕 [Example 3]

활성 에너지선 경화성 성분(A1) 대신에 활성 에너지선 경화성 성분(A3)을 배합한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.A release film was produced in the same manner as in Example 1, except that the active energy ray-curable component (A3) was mixed instead of the active energy ray-curable component (A1).

〔실시예 4〕 [Example 4]

활성 에너지선 경화성 성분(A1) 대신에 활성 에너지선 경화성 성분(A4)를 배합한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.A release film was produced in the same manner as in Example 1, except that the active energy ray-curable component (A4) was mixed instead of the active energy ray-curable component (A1).

〔실시예 5〕 [Example 5]

활성 에너지선 경화성 성분(A1) 대신에 활성 에너지선 경화성 성분(A5)를 배합한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.A release film was produced in the same manner as in Example 1, except that the active energy ray-curable component (A5) was mixed instead of the active energy ray-curable component (A1).

〔실시예 6〕 [Example 6]

박리제층의 두께를 0.5㎛ 로 변경한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.A release film was produced in the same manner as in Example 1, except that the thickness of the release agent layer was changed to 0.5 µm.

〔실시예 7〕 [Example 7]

박리제층의 두께를 1.9㎛ 로 변경한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.Except having changed the thickness of a release agent layer to 1.9 micrometers, it carried out similarly to Example 1, and produced the release film.

〔실시예 8〕 [Example 8]

광중합 개시제(B1) 대신에, α-아미노알킬페논계의 광중합 개시제(B2)로서의 2-메틸-1[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온 (BASF사 제, 제품명 「IRGACURE907」) 을 배합한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.In place of the photoinitiator (B1), 2-methyl-1[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one (manufactured by BASF) as an α-aminoalkylphenone-based photoinitiator (B2) , The product name "IRGACURE907") was carried out in the same manner as in Example 1 to produce a release film.

〔실시예 9〕 [Example 9]

실시예 1 에 있어서의 기재 대신에, 2 축 연신 PET 필름 (두께 38㎛, 제 1 면의 산술 평균 조도(Ra0) : 15㎚, 제 1 면의 최대 돌기 높이(Rp0) : 98㎚, 제 2 면의 산술 평균 조도(Ra2) : 15㎚, 제 2 면의 최대 돌기 높이(Rp2) : 98㎚) 를 사용한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.In place of the substrate in Example 1, a biaxially stretched PET film (thickness 38 µm, arithmetic mean roughness (Ra0) on the first side: 15 nm, maximum protrusion height (Rp0) on the first side: 98 nm, second A release film was produced in the same manner as in Example 1, except that the arithmetic mean roughness of the surface (Ra2): 15 nm and the maximum protrusion height of the second surface (Rp2): 98 nm) were used.

〔실시예 10〕 [Example 10]

실시예 1 에 있어서의 기재 대신에, 2 축 연신 PET 필름 (두께 38㎛, 제 1 면의 산술 평균 조도(Ra0) : 35㎚, 제 1 면의 최대 돌기 높이(Rp0) : 471㎚, 제 2 면의 산술 평균 조도(Ra2) : 35㎚, 제 2 면의 최대 돌기 높이(Rp2) : 471㎚) 를 사용한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.In place of the substrate in Example 1, a biaxially stretched PET film (thickness 38 µm, arithmetic mean roughness (Ra0) of the first surface: 35 nm, maximum protrusion height (Rp0) of the first surface: 471 nm, 2nd A peeling film was produced in the same manner as in Example 1, except that the arithmetic mean roughness of the surface (Ra2): 35 nm, and the maximum protrusion height of the second surface (Rp2): 471 nm) were used.

〔비교예 1〕 [Comparative Example 1]

활성 에너지선 경화성 성분(A1) 대신에 활성 에너지선 경화성 성분(A6)을 배합한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.A release film was produced in the same manner as in Example 1, except that the active energy ray-curable component (A6) was mixed instead of the active energy ray-curable component (A1).

〔비교예 2〕 [Comparative Example 2]

활성 에너지선 경화성 성분(A1) 대신에 활성 에너지선 경화성 성분(A7)을 배합한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.A release film was produced in the same manner as in Example 1, except that the active energy ray-curable component (A7) was mixed instead of the active energy ray-curable component (A1).

〔비교예 3〕 [Comparative Example 3]

활성 에너지선 경화성 성분(A1) 대신에 활성 에너지선 경화성 성분(A8)을 배합한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.A release film was produced in the same manner as in Example 1, except that the active energy ray-curable component (A8) was mixed instead of the active energy ray-curable component (A1).

〔비교예 4〕 [Comparative Example 4]

활성 에너지선 경화성 성분(A1) 대신에 활성 에너지선 경화성 성분(A9)를 배합한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.A release film was produced in the same manner as in Example 1, except that the active energy ray-curable component (A9) was mixed instead of the active energy ray-curable component (A1).

〔비교예 5〕 [Comparative Example 5]

활성 에너지선 경화성 성분으로서의 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 99질량부와, 메타크릴로일기 함유 실리콘 수지 조성물 (신에츠 화학 공업사 제, 제품명 「X-62-164A」) 1질량부와, α-히드록시케톤계의 광중합 개시제(B1)로서의 2-히드록시-1-{4-[4-(2-히드록시-2-메틸-프로피오닐)-벤질]-페닐}-2-메틸-프로판-1-온 (BASF 사 제, 제품명 「IRGACURE127」) 5질량부를, 이소프로필알코올 및 메틸에틸케톤의 혼합 용제 (질량비 3 : 1) 에 의해 고형분 농도 20질량% 로 희석하여, 박리제층 형성용 재료를 얻었다. 이 박리제층 형성용 재료를 사용해서, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.99 parts by mass of dipentaerythritol hexaacrylate as an active energy ray-curable component, 1 part by mass of a methacryloyl group-containing silicone resin composition (manufactured by Shin-Etsu Chemical Industries, product name ``X-62-164A''), and α-hydroxy 2-hydroxy-1-{4-[4-(2-hydroxy-2-methyl-propionyl)-benzyl]-phenyl}-2-methyl-propane-1- as a ketone photopolymerization initiator (B1) 5 parts by mass of ON (manufactured by BASF, product name "IRGACURE127") was diluted to a solid content concentration of 20% by mass with a mixed solvent of isopropyl alcohol and methyl ethyl ketone (mass ratio 3: 1) to obtain a material for forming a release agent layer. Using this material for forming a release agent layer, a release film was produced in the same manner as in Example 1.

〔비교예 6〕 [Comparative Example 6]

박리제층의 두께를 0.2㎛ 로 변경한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.A release film was produced in the same manner as in Example 1, except that the thickness of the release agent layer was changed to 0.2 µm.

〔비교예 7〕 [Comparative Example 7]

실시예 1 에 있어서의 기재 대신에, 2 축 연신 PET 필름 (두께 38㎛, 제 1 면의 산술 평균 조도(Ra0) : 42㎚, 제 1 면의 최대 돌기 높이(Rp0) : 619㎚, 제 2 면의 산술 평균 조도(Ra2) : 42㎚, 제 2 면의 최대 돌기 높이(Rp2) : 619㎚) 를 사용한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.Instead of the substrate in Example 1, a biaxially stretched PET film (thickness 38 μm, arithmetic mean roughness (Ra0) of the first surface: 42 nm, maximum protrusion height (Rp0) of the first surface: 619 nm, second A peeling film was produced in the same manner as in Example 1, except that the arithmetic mean roughness of the surface (Ra2): 42 nm and the maximum protrusion height of the second surface (Rp2): 619 nm) were used.

〔비교예 8〕 [Comparative Example 8]

실시예 1 에 있어서의 기재 대신에, 2 축 연신 PET 필름 (두께 38㎛, 제 1 면의 산술 평균 조도(Ra0) : 15㎚, 제 1 면의 최대 돌기 높이(Rp0) : 105㎚, 제 2 면의 산술 평균 조도(Ra2) : 3㎚, 제 2 면의 최대 돌기 높이(Rp2) : 15㎚) 를 사용한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.Instead of the substrate in Example 1, a biaxially stretched PET film (thickness 38 μm, arithmetic mean roughness (Ra0) on the first surface: 15 nm, maximum protrusion height (Rp0) on the first surface: 105 nm, second A release film was produced in the same manner as in Example 1, except that the arithmetic mean roughness of the surface (Ra2): 3 nm and the maximum protrusion height of the second surface (Rp2): 15 nm) were used.

〔시험예 1〕 (박리제층의 두께 측정) [Test Example 1] (Measurement of the thickness of the release agent layer)

실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름의 박리제층의 두께 (㎛) 를, 반사식 막후계 (필메트릭스사 제조, 제품명 「F20」) 를 사용하여 측정하였다. 구체적으로는, 실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름을 100㎜×100㎜ 로 재단한 후, 측정하는 측의 면의 반대면이 흡인 스테이지측이 되도록 박리 필름을 막후계에 설치하고, 박리제층 표면의 10군데에 관해서 막두께를 측정하여, 그 평균치를 박리제층의 두께로 하였다. 결과를 표 2 에 나타낸다.The thickness (µm) of the release agent layer of the release film obtained in Examples and Comparative Examples was measured using a reflective film thickness meter (manufactured by Philmetrics, product name "F20"). Specifically, after cutting the release film obtained in Examples and Comparative Examples into 100 mm x 100 mm, a release film was installed on the film thickness gauge so that the opposite surface of the surface to be measured becomes the suction stage side, and the surface of the release agent layer The film thickness was measured at 10 locations of, and the average value was taken as the thickness of the release agent layer. Table 2 shows the results.

〔시험예 2〕 (박리제층의 표면 조도 측정) [Test Example 2] (Measurement of surface roughness of release agent layer)

유리판에 양면 테이프를 첩부(貼付)하고, 실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름을, 측정하는 측의 면의 반대면이 유리판측이 되도록 상기 양면 테이프를 통해서 유리판에 고정시켰다. 그 박리 필름의 박리제층의 표면 (노출되어 있는 표면 ; 이하 동일) 에 있어서의 산술 평균 조도(Ra1 ; ㎚) 및 최대 돌기 높이(Rp1 ; ㎚) 를, 표면 조도 측정기 (미츠토요사 제, 제품명 「SV-3000S4」, 촉침식) 를 사용하여 JIS B 0601-1994에 준거해서 측정하였다. 결과를 표 2 에 나타낸다.A double-sided tape was affixed to the glass plate, and the release films obtained in Examples and Comparative Examples were fixed to the glass plate through the double-sided tape so that the opposite side of the side to be measured was on the glass plate side. The arithmetic mean roughness (Ra1; nm) and the maximum protrusion height (Rp1; nm) on the surface of the release agent layer of the release film (the exposed surface; the same hereinafter) were measured using a surface roughness measuring instrument (manufactured by Mitsutoyo, product name " SV-3000S4", stylus type) was used, and it measured according to JIS B 0601-1994. Table 2 shows the results.

〔시험예 3〕 (실리콘 이행성 평가)[Test Example 3] (Silicon transferability evaluation)

톨루엔 및 에탄올의 혼합 용제 (질량비 50 : 50) 에 의해 폴리비닐부티랄 수지 (세키스이 화학사 제, 제품명 「에스렉 (S-LEC) B·K BL-S」, 분말상) 를 고형분 농도 20질량% 로 용해하여, 폴리비닐부티랄 수지 용액을 얻었다. 얻어진 폴리비닐부티랄 수지 용액을, 실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름의 박리제층 표면에 건조 후의 두께가 4㎛ 가 되도록 바 코터에 의해서 도포하고, 건조시켜 폴리비닐부티랄 수지층을 형성하였다.20% by mass of a polyvinyl butyral resin (manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., product name "S-LEC BK BL-S", in powder form) with a mixed solvent of toluene and ethanol (mass ratio 50:50) It melt|dissolved in and obtained the polyvinyl butyral resin solution. The obtained polyvinyl butyral resin solution was applied to the surface of the release agent layer of the release films obtained in Examples and Comparative Examples with a bar coater so that the thickness after drying became 4 µm, and dried to form a polyvinyl butyral resin layer.

상기 폴리비닐부티랄 수지층을 박리 필름으로부터 박리하고, 당해 폴리비닐부티랄 수지층에 있어서의 박리제층 표면과 접촉하고 있던 면에 대해서, X 선 광전자 분광 분석법(XPS)에 의해서 측정되는 규소 원자(Si), 탄소 원자(C) 및 산소 원자(O)의 양 (XPS 카운트수) 에 기초하여, 하기 식에 의해 규소 원자 비율 (원자%) 을 산출하였다.The polyvinyl butyral resin layer was peeled off from the release film, and the silicon atom measured by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) with respect to the surface in contact with the surface of the release agent layer in the polyvinyl butyral resin layer ( Based on the amount of Si), carbon atom (C), and oxygen atom (O) (XPS count number), the silicon atom ratio (atomic%) was calculated by the following formula.

규소 원자 비율 (원자%) = [(Si 원소량)/(C 원소량)+(O 원소량)+(Si 원소량)] × 100Silicon atomic ratio (atomic%) = [(Si element amount)/(C element amount)+(O element amount)+(Si element amount)] × 100

그리고, 이하의 판단 기준에 의해 실리콘 이행성을 평가하였다. 결과를 표 3 에 나타낸다.And the silicon migration property was evaluated based on the following judgment criteria. Table 3 shows the results.

A … 규소 원자 비율이 0.3원자% 미만A… Silicon atomic ratio is less than 0.3 atomic%

B … 규소 원자 비율이 0.3원자% 이상, 1.0원자% 미만 B… Silicon atom ratio is 0.3 atomic% or more, less than 1.0 atomic%

C … 규소 원자 비율이 1.0원자% 이상C… The silicon atom ratio is 1.0 atomic% or more

〔시험예 4〕 (박리제층의 도공면 평가) [Test Example 4] (Evaluation of the coated surface of the release agent layer)

실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름에 대해서 박리제층의 도공면 (표면) 의 상태를 육안으로 관찰하고, 이하의 판단 기준에 의해 박리제층의 도공면을 평가하였다. 결과를 표 3 에 나타낸다.With respect to the release films obtained in Examples and Comparative Examples, the state of the coated surface (surface) of the release agent layer was visually observed, and the coated surface of the release agent layer was evaluated according to the following criteria. Table 3 shows the results.

A … 도공 줄기모양 흔적에 의한 면 이상이 없었다.A… There was no surface abnormality due to the potter's stem shape.

B … 도공 줄기모양 흔적에 의한 면 이상은 약간 있지만, 사용상 문제없었다.B… There were some abnormalities on the surface due to the pottery stem shape, but there was no problem in use.

C … 도공 줄기모양 흔적이 도공면 전체에 발생하거나, 또는 극단적인 면 이상이 발생하였다.C… A coating stem-shaped trace occurred on the entire coating surface, or an extreme surface abnormality occurred.

〔시험예 5〕 (박리제층의 경화성 평가)[Test Example 5] (Evaluation of curability of release agent layer)

실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름에 대해서, 메틸에틸케톤을 함유시킨 웨이스트 (오즈 산업사 제, 제품명 「BEMCOT AP-2」) 에 의해서 박리제층의 표면을 하중 1㎏/㎠ 로 왕복 10회 연마하였다. 그 후, 박리제층의 표면을 육안으로 관찰하고, 이하의 판단 기준에 의해 박리제층의 경화성을 평가하였다. 또, 본 시험 (시험예 5) 에 있어서, 평가가 「C」였던 것에 관해서는, 다른 시험을 실시하기에 만족스런 시료를 얻을 수 없었기 때문에, 다른 시험은 실시하지 않았다. 결과를 표 3 에 나타낸다.For the release films obtained in Examples and Comparative Examples, the surface of the release agent layer was polished 10 times by reciprocating at a load of 1 kg/cm 2 with a waste containing methyl ethyl ketone (manufactured by Oz Industries, product name "BEMCOT AP-2"). . Then, the surface of the release agent layer was visually observed, and the curability of the release agent layer was evaluated according to the following criteria. In addition, in the case where the evaluation was "C" in this test (Test Example 5), since a sample satisfactory for performing other tests could not be obtained, other tests were not performed. Table 3 shows the results.

A … 박리제층의 용해·탈락이 없었다.A… There was no dissolution or detachment of the release agent layer.

B … 박리제층의 일부 용해가 보였다.B… Partial dissolution of the release agent layer was observed.

C … 박리제층이 완전히 용해되어, 기재로부터 탈락되었다.C… The release agent layer was completely dissolved and fell out of the substrate.

〔시험예 6〕 (슬러리 도공성 평가) [Test Example 6] (Slurry coating property evaluation)

티탄산바륨 분말 (BaTiO3 ; 사카이 화학 공업사 제, 제품명 「BT-03」) 100질량부, 바인더로서의 폴리비닐부티랄 수지 (세키스이 화학 공업사 제, 제품명 「에스렉 B·K BM-2」) 8질량부, 및 가소제로서의 프탈산디옥틸 (칸토 화학사 제, 프탈산디옥틸 시카 (CICA) 1급) 4질량부에, 톨루엔 및 에탄올의 혼합액 (질량비 6 : 4) 135질량부를, 지르코니아 비즈의 존재하에서 볼 밀로 혼합하여 분산시키고, 비즈를 제거하여 세라믹 슬러리를 조제하였다.100 parts by mass of barium titanate powder (BaTiO 3 ; manufactured by Sakai Chemical Industries, product name "BT-03"), polyvinyl butyral resin as a binder (manufactured by Sekisui Chemical Industries, product name "Srec BK BM-2") 8 135 parts by mass of a mixture of toluene and ethanol (mass ratio 6: 4) to 4 parts by mass of dioctyl phthalate (manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd., dioctyl phthalate (CICA) 1st grade) as a plasticizer, and viewed in the presence of zirconia beads. The mixture was mixed with a mill and dispersed, and beads were removed to prepare a ceramic slurry.

실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름의 박리제층 표면에, 상기 세라믹 슬러리를 다이 코터에 의해 건조 후의 막두께가 1㎛ 가 되도록 폭 250㎜, 길이 10m 에 걸쳐 도공하고, 그 후, 건조기에 의해 80℃ 에서 1분간 건조시켰다. 세라믹 그린 시트가 성형된 박리 필름에 대해서, 박리 필름측에서부터 형광등을 비추어, 성형한 모든 세라믹 그린 시트면을 육안으로 검사하고, 이하의 판단 기준에 의해 슬러리 도공성을 평가하였다. 결과를 표 3 에 나타낸다.On the surface of the release agent layer of the release films obtained in Examples and Comparative Examples, the ceramic slurry was coated over a width of 250 mm and a length of 10 m so that the film thickness after drying by a die coater became 1 µm, and then 80 with a dryer. It was dried at °C for 1 minute. With respect to the release film on which the ceramic green sheet was formed, a fluorescent lamp was illuminated from the release film side, and all the formed ceramic green sheet surfaces were visually inspected, and the slurry coatability was evaluated according to the following criteria. Table 3 shows the results.

A … 세라믹 그린 시트에 핀 홀이 없었다.A… There were no pinholes in the ceramic green sheet.

B … 세라믹 그린 시트에 1∼5개의 핀 홀이 발생하였다.B… One to five pinholes were generated in the ceramic green sheet.

C … 세라믹 그린 시트에 6개 이상의 핀 홀이 발생하였다.C… Six or more pinholes were generated in the ceramic green sheet.

〔시험예 7〕 (세라믹 그린 시트 박리성 평가) [Test Example 7] (Evaluation of ceramic green sheet peelability)

시험예 6 과 동일한 순서에 의해 박리 필름의 박리제층 표면에 성형한 세라믹 그린 시트를, 박리 필름이 타발되어 나가지 않도록 하여 200㎜×200㎜로 타발하였다. 이어서, 그린 시트 적층기의 시트 박리 기구를 이용하여, 타발된 그린 시트를 진공 흡인 스테이지에 흡착시켜, 박리 필름으로부터 박리하였다. 이 때의 세라믹 그린 시트로부터의 박리성을, 이하의 판단 기준에 의해 평가하였다. 결과를 표 3 에 나타낸다.In the same procedure as in Test Example 6, the ceramic green sheet formed on the surface of the release agent layer of the release film was punched out at 200 mm x 200 mm so that the release film was not punched out. Next, using the sheet peeling mechanism of the green sheet laminating machine, the punched green sheet was adsorbed on the vacuum suction stage, and peeled from the peeling film. The peelability from the ceramic green sheet at this time was evaluated according to the following judgment criteria. Table 3 shows the results.

A … 세라믹 그린 시트가 찢어지지 않고, 원활하게 박리할 수 있고, 박리제층 상에 세라믹 그린 시트가 남지 않았다.A… The ceramic green sheet was not torn, it could be peeled off smoothly, and the ceramic green sheet did not remain on the peeling agent layer.

B … 세라믹 그린 시트가 찢어지지 않고, 약간 원활함은 부족하지만 박리할 수 있고, 박리제층 상에 세라믹 그린 시트가 남지 않았다.B… The ceramic green sheet was not torn, and although a little smoothness was insufficient, it could be peeled off, and the ceramic green sheet was not left on the release agent layer.

C … 세라믹 그린 시트가 찢어지거나, 박리할 수 없었다.C… The ceramic green sheet was torn or could not be peeled off.

〔시험예 8〕 (박리제층 표면에 의한 세라믹 그린 시트의 결함 평가) [Test Example 8] (Evaluation of defects of ceramic green sheet by the surface of the release agent layer)

톨루엔 및 에탄올의 혼합 용제 (질량비 60 : 40) 에 의해 폴리비닐부티랄 수지 (세키스이 화학사 제, 제품명 「에스렉 B·K BL-S」, 분말상) 를 고형분 농도 20질량% 로 용해하여, 폴리비닐부티랄 수지 용액을 얻었다. 얻어진 폴리비닐부티랄 수지 용액을, 실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름의 박리제층 위에 건조 후의 두께가 3㎛ 가 되도록 도포하고, 80℃ 에서 1분간 건조시켜 폴리비닐부티랄 수지층을 성형하였다. 그리고, 그 폴리비닐부티랄 수지층의 표면에 폴리에스테르 점착 테이프를 첩부하였다.Polyvinyl butyral resin (manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., product name "Srec BK BL-S", in powder form) was dissolved in a solid content concentration of 20% by mass with a mixed solvent of toluene and ethanol (mass ratio 60:40), A vinyl butyral resin solution was obtained. The obtained polyvinyl butyral resin solution was applied onto the release agent layer of the release films obtained in Examples and Comparative Examples so that the thickness after drying was 3 µm, and dried at 80° C. for 1 minute to form a polyvinyl butyral resin layer. Then, a polyester adhesive tape was affixed to the surface of the polyvinyl butyral resin layer.

이어서, 박리 필름을 폴리비닐부티랄 수지층으로부터 박리하여, 폴리비닐부티랄 수지층을 폴리에스테르 점착 테이프에 전사하였다. 그 후, 당해 폴리비닐부티랄 수지층의 박리제층 표면과 접촉하고 있던 면에 있어서의 오목부의 수를 세었다. 구체적으로는, 광 간섭식 표면 형상 관찰 장치 (Vecco 사 제, 제품명 「WYKO-1100」) 를 사용하여 PSI 모드로 50 배율로 관찰하여, 얻어진 91.2㎛×119.8㎛ 의 범위에 있어서의 표면 형상 화상에 기초하여, 깊이 150㎚ 이상의 오목부의 수를 세었다.Subsequently, the release film was peeled off from the polyvinyl butyral resin layer, and the polyvinyl butyral resin layer was transferred to a polyester adhesive tape. Thereafter, the number of concave portions on the surface of the polyvinyl butyral resin layer in contact with the surface of the release agent layer was counted. Specifically, the surface shape image in the range of 91.2 μm×119.8 μm obtained by observing at 50 magnification in PSI mode using an optical interference type surface shape observation device (manufactured by Vecco, product name “WYKO-1100”) Based on this, the number of concave portions having a depth of 150 nm or more was counted.

상기 오목부의 수에 기초하여, 이하의 판단 기준에 의해 박리제층 표면에 의한 세라믹 그린 시트의 결함을 평가하였다. 또, 전술한 세라믹 그린 시트 박리성 평가의 시험 (시험예 7) 에 있어서, 평가가 「C」였던 것에 대해서는, 본 시험을 실시하기에 만족스런 시료를 얻을 수 없었기 때문에, 본 시험은 실시하지 않았다. 결과를 표 3 에 나타낸다.Based on the number of concave portions, defects of the ceramic green sheet due to the surface of the release agent layer were evaluated according to the following criteria. In addition, in the above-described ceramic green sheet peelability evaluation test (Test Example 7), for those whose evaluation was "C", this test was not performed because a satisfactory sample could not be obtained for carrying out this test. . Table 3 shows the results.

A … 오목부의 수가 0개 A… 0 number of recesses

B … 오목부의 수가 1∼5개 B… The number of recesses is 1-5

C … 오목부의 수가 6개 이상 C… 6 or more recesses

또, 상기 평가 C 의 오목부가 존재하는 세라믹 그린 시트로 콘덴서를 제조한 경우, 얻어지는 콘덴서는 내전압 저하에 의한 쇼트가 발생하기 쉬운 것이 된다.In addition, when a capacitor is manufactured from a ceramic green sheet in which the concave portion of the evaluation C is present, the obtained capacitor tends to cause a short circuit due to a decrease in withstand voltage.

〔시험예 9〕 (기재의 제 2 면에 의한 세라믹 그린 시트의 결함 평가) [Test Example 9] (Evaluation of defects of ceramic green sheet by the second surface of the substrate)

톨루엔 및 에탄올의 혼합 용제 (질량비 60 : 40) 에 의해, 폴리비닐부티랄 수지 (세키스이 화학사 제, 제품명 「에스렉 B·K BL-S」, 분말상) 를 고형분 농도 20질량% 로 용해하여, 폴리비닐부티랄 수지 용액을 얻었다. 얻어진 폴리비닐부티랄 수지 용액을, 두께 50㎛ 의 PET 필름 상에 건조 후의 두께가 3㎛ 가 되도록 도포하고, 80℃ 에서 1분간 건조시켜 폴리비닐부티랄 수지층을 성형하였다.A polyvinyl butyral resin (manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., product name "Srec BK BL-S", in powder form) was dissolved in a solid content concentration of 20% by mass with a mixed solvent of toluene and ethanol (mass ratio 60:40), A polyvinyl butyral resin solution was obtained. The obtained polyvinyl butyral resin solution was applied onto a 50 µm-thick PET film so that the thickness after drying became 3 µm, and dried at 80°C for 1 minute to form a polyvinyl butyral resin layer.

실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름을, 당해 박리 필름에 있어서의 기재의 제 2 면이 상기 폴리비닐부티랄 수지층과 접하도록 당해 폴리비닐부티랄 수지층에 첩합하였다. 이 적층체를 100㎜×100㎜ 로 재단한 후, 하중 5㎏/㎠ 로 프레스하여, 박리 필름에 있어서의 기재의 제 2 면의 돌기 형상을 폴리비닐부티랄 수지층에 전사시켰다.The release films obtained in Examples and Comparative Examples were bonded to the polyvinyl butyral resin layer so that the second side of the substrate in the release film was in contact with the polyvinyl butyral resin layer. After cutting this laminate into 100 mm×100 mm, it was pressed with a load of 5 kg/cm 2, and the protrusion shape of the second surface of the substrate in the release film was transferred to the polyvinyl butyral resin layer.

이어서, 박리 필름을 폴리비닐부티랄 수지층으로부터 박리하여, 폴리비닐부티랄 수지 필름의, 박리 필름의 기재의 제 2 면에 접촉하고 있던 면에 있어서의 오목부의 깊이를 측정하는 것과 함께, 오목부의 수를 세었다. 구체적으로는, 광 간섭식 표면 형상 관찰 장치 (Vecco 사 제조, WYKO-1100) 를 사용하여 PSI 모드로 50배율로 관찰하여, 얻어진 91.2㎛×119.8㎛ 의 범위에 있어서의 표면 형상 화상에 기초하여 오목부의 깊이를 측정하는 것과 함께, 오목부의 수를 세었다.Subsequently, the release film is peeled from the polyvinyl butyral resin layer, and the depth of the concave portion on the surface of the polyvinyl butyral resin film in contact with the second surface of the substrate of the release film is measured, and the concave portion Counted. Specifically, using an optical interference type surface shape observation device (manufactured by Vecco, WYKO-1100) was observed at 50 magnification in PSI mode, and concave based on the obtained surface shape image in the range of 91.2 µm x 119.8 µm. Along with measuring the depth of the part, the number of recesses was counted.

상기 오목부의 깊이 및 수에 기초하여, 이하의 판단 기준에 의해 기재의 제 2 면에 의한 세라믹 그린 시트의 결함을 평가하였다. 결과를 표 3 에 나타낸다.Based on the depth and number of the concave portions, defects of the ceramic green sheet due to the second surface of the substrate were evaluated according to the following criteria. Table 3 shows the results.

A … 깊이 300㎚ 이상의 오목부의 수가 0개 A… 0 number of recesses with a depth of 300 nm or more

B … 깊이 500㎚ 이상의 오목부의 수가 0개이고, 깊이 300㎚ 이상 500㎚ 미만의 오목부의 수가 1 개 이상B… The number of recesses with a depth of 500 nm or more is 0, and the number of recesses with a depth of 300 nm or more and less than 500 nm is 1 or more

C … 깊이 500㎚ 이상의 오목부의 수가 1 개 이상C… The number of recesses with a depth of 500 nm or more is 1 or more

또, 상기 평가 C 의 오목부가 존재하는 세라믹 그린 시트로 콘덴서를 제조한 경우, 얻어지는 콘덴서는 내전압 저하에 의한 쇼트가 발생하기 쉬운 것이 된다.In addition, when a capacitor is manufactured from a ceramic green sheet in which the concave portion of the evaluation C is present, the obtained capacitor tends to cause a short circuit due to a decrease in withstand voltage.

〔시험예 10〕(핸들링성 평가) [Test Example 10] (Evaluation of handling properties)

실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름을 롤 형상으로 할 때의 핸들링성에 대해서 평가하였다. 구체적으로는, 접촉한 박리 필름끼리의 미끄러짐성, 롤 형상으로 할 때의 공기 빠짐의 양호함, 및 박리 필름의 권취 어긋남 발생의 어려움에 대해서, 이하의 판단 기준에 의해 평가하였다. 결과를 표 3 에 나타낸다.The peeling films obtained in Examples and Comparative Examples were evaluated for handling properties when making them into a roll shape. Specifically, the sliding properties between the contacted release films, good air leakage when forming a roll shape, and the difficulty in occurrence of unwinding of the release film were evaluated according to the following judgment criteria. Table 3 shows the results.

A … 접촉한 박리 필름끼리의 미끄러짐성이 양호하고, 또한 박리 필름을 롤 형상으로 할 때의 공기 빠짐이 양호하고, 박리 필름의 권취 어긋남을 방지할 수 있었다 A… The sliding properties between the contacted release films were good, and the air leakage when making the release film into a roll shape was good, and the winding deviation of the release film was able to be prevented.

B … 접촉한 박리 필름끼리의 미끄러짐성이 약간 나쁘고, 또한 박리 필름을 롤 형상으로 감았을 때의 공기의 빠짐이 약간 나쁘고, 권취 어긋남이 약간 발생하지만 지장은 없었다. B… The sliding properties between the contacted release films were slightly bad, and the air leakage when the release films were wound in a roll shape was slightly bad, and winding deviation occurred slightly, but there was no problem.

C … 접촉한 박리 필름끼리의 미끄러짐성이 나쁘고, 또한 박리 필름을 롤 형상으로 감았을 때의 공기의 빠짐이 나쁘고, 권취 어긋남이 현저히 발생하였다.C… The slipping property between the peeling films in contact was poor, and the air leakage when the peeling film was wound in a roll shape was bad, and the winding misalignment occurred remarkably.

〔시험예 11〕 (블로킹성 평가) [Test Example 11] (Evaluation of blocking property)

실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름을, 폭 400㎜, 길이 5000m 의 롤 형상으로 감았다. 이 박리 필름 롤을 40℃, 습도 50% 이하의 환경하에 30일간 보관하고, 박리 필름 롤 상태 그대로의 외관을 육안으로 관찰하여, 이하의 판단 기준에 의해 블로킹성을 평가하였다. 결과를 표 3 에 나타낸다.The release films obtained in Examples and Comparative Examples were wound into a roll shape having a width of 400 mm and a length of 5000 m. This release film roll was stored for 30 days in an environment of 40° C. and a humidity of 50% or less, and the appearance as it was in the state of the release film roll was visually observed, and the blocking property was evaluated according to the following judgment criteria. Table 3 shows the results.

A … 롤 형상으로 감았을 때로부터 변화가 없었다 (블로킹 없음).A… There was no change from the time of winding in a roll shape (no blocking).

B … 폭 방향에서의 절반 이하의 영역에서, 필름끼리의 밀착에서 기인하는 색의 변화가 보였다 (블로킹은 약간 있지만 사용 가능).B… In less than half of the area in the width direction, a change in color due to close adhesion between the films was observed (there is some blocking, but it can be used).

C … 폭 방향에서의 과반의 영역에 걸쳐서, 필름끼리의 밀착에서 기인하는 색의 변화가 보였다 (블로킹 있음)C… Over a majority of the area in the width direction, a change in color due to adhesion between the films was seen (blocking)

Figure 112016093964541-pct00006
Figure 112016093964541-pct00006

Figure 112016093964541-pct00007
Figure 112016093964541-pct00007

Figure 112016093964541-pct00008
Figure 112016093964541-pct00008

표 3 으로부터 분명한 바와 같이, 실시예의 박리 필름은, 세라믹 그린 시트로부터의 박리성이 우수함과 동시에, 세라믹 그린 시트로 실리콘계 화합물 (박리 부여 성분) 이 이행되기 어려운 것이었다. 또한, 실시예의 박리 필름에 의하면, 세라믹 그린 시트에 결함이 생기기 어렵고, 나아가서는 블로킹이 발생하기 어렵고, 핸들링성도 양호하였다.As is clear from Table 3, the peeling film of the example was excellent in peelability from the ceramic green sheet, and the silicon-based compound (a peeling imparting component) was difficult to transfer to the ceramic green sheet. Further, according to the release film of the example, defects were less likely to occur in the ceramic green sheet, furthermore, blocking was less likely to occur, and handling properties were also good.

1 … 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름
11 … 기재
111 … 제 1 면
112 … 제 2 면
12 … 박리제층
121 … 표면
One … Release film for ceramic green sheet manufacturing process
11… materials
111 ... First side
112… 2nd side
12… Release agent layer
121 ... surface

Claims (3)

제 1 면 및 제 2 면을 갖는 기재와, 상기 기재의 제 1 면에 형성된 박리제층을 구비한 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름으로서,
상기 박리제층은, 활성 에너지선 경화성 성분(A) 및 광중합 개시제(B)를 함유하는 박리제 조성물로 형성되고,
상기 활성 에너지선 경화성 성분(A)는,
1 분자 중에 평균하여 적어도 3 개의 (메트)아크릴로일기를 갖는 수산기 함유 (메트)아크릴레이트(a1)과,
다가 이소시아네이트 화합물(a2)와,
1 분자 중에 적어도 1 개의 수산기를 갖고, 질량 평균 분자량이 500∼8000 인 직쇄상의 디메틸오르가노폴리실록산(a3)을,
상기 (메트)아크릴레이트(a1), 상기 다가 이소시아네이트 화합물(a2) 및 상기 디메틸오르가노폴리실록산(a3)의 합계량에 대한 상기 디메틸오르가노폴리실록산(a3)의 양이 질량비로 0.01∼0.10 이 되도록 반응시켜 이루어지고,
상기 박리제층의 두께는 0.3∼2㎛ 이고,
상기 박리제층의 상기 기재와는 반대측의 면에 있어서의 산술 평균 조도(Ra1)가 8㎚ 이하이며, 또한 최대 돌기 높이(Rp1)가 50㎚ 이하이고,
상기 기재의 제 2 면에 있어서의 산술 평균 조도(Ra2)가 5∼40㎚ 이며, 또한 최대 돌기 높이(Rp2)가 60∼500㎚ 인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
A release film for a ceramic green sheet manufacturing process comprising a base material having a first side and a second side, and a release agent layer formed on the first side of the base material,
The release agent layer is formed of a release agent composition containing an active energy ray-curable component (A) and a photopolymerization initiator (B),
The active energy ray-curable component (A),
A hydroxyl group-containing (meth)acrylate (a1) having at least three (meth)acryloyl groups on average per molecule, and
Polyvalent isocyanate compound (a2),
Linear dimethylorganopolysiloxane (a3) having at least one hydroxyl group in one molecule and having a mass average molecular weight of 500 to 8000,
Reaction so that the amount of the dimethyl organopolysiloxane (a3) with respect to the total amount of the (meth)acrylate (a1), the polyvalent isocyanate compound (a2) and the dimethyl organopolysiloxane (a3) is 0.01 to 0.10 by mass ratio Done,
The thickness of the release agent layer is 0.3 to 2 μm,
The arithmetic mean roughness (Ra1) on the side opposite to the substrate of the release agent layer is 8 nm or less, and the maximum protrusion height (Rp1) is 50 nm or less,
A release film for a ceramic green sheet manufacturing process, wherein the arithmetic mean roughness (Ra2) on the second surface of the substrate is 5 to 40 nm, and the maximum protrusion height (Rp2) is 60 to 500 nm.
제 1 항에 있어서, 상기 광중합 개시제(B)가, α-히드록시케톤계 화합물 또는 α-아미노알킬페논계 화합물인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.The release film for a ceramic green sheet manufacturing process according to claim 1, wherein the photoinitiator (B) is an α-hydroxyketone compound or an α-aminoalkylphenone compound. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 박리제층의 상기 기재와는 반대측의 면에 폴리비닐부티랄 수지층을 형성한 후, 상기 폴리비닐부티랄 수지층을 상기 박리제층으로부터 박리했을 때에, 상기 폴리비닐부티랄 수지층에 있어서의 상기 박리제층에 접촉하고 있던 면에 관해서, 광전자 분광 분석으로 측정한 규소 원자 비율이 1.0원자% 미만인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.The method according to claim 1 or 2, wherein after forming a polyvinyl butyral resin layer on a surface of the release agent layer opposite to the substrate, when the polyvinyl butyral resin layer is peeled from the release agent layer, the A release film for a ceramic green sheet manufacturing process, wherein a silicon atom ratio as measured by photoelectron spectroscopy is less than 1.0 atomic% with respect to the surface of the polyvinyl butyral resin layer in contact with the release agent layer.
KR1020167026864A 2014-03-31 2015-03-26 Release film for ceramic green sheet manufacturing process KR102242066B1 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014072834A JP6285777B2 (en) 2014-03-31 2014-03-31 Release film for ceramic green sheet manufacturing process
JPJP-P-2014-072834 2014-03-31
PCT/JP2015/059370 WO2015151993A1 (en) 2014-03-31 2015-03-26 Release film for ceramic green sheet manufacturing process

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160140662A KR20160140662A (en) 2016-12-07
KR102242066B1 true KR102242066B1 (en) 2021-04-19

Family

ID=54240319

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020167026864A KR102242066B1 (en) 2014-03-31 2015-03-26 Release film for ceramic green sheet manufacturing process

Country Status (6)

Country Link
JP (1) JP6285777B2 (en)
KR (1) KR102242066B1 (en)
CN (1) CN106132685B (en)
MY (1) MY179697A (en)
PH (1) PH12016501943B1 (en)
WO (1) WO2015151993A1 (en)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190114965A (en) * 2017-02-03 2019-10-10 린텍 가부시키가이샤 Method for producing release sheet and release sheet
WO2018150255A1 (en) 2017-02-14 2018-08-23 王子ホールディングス株式会社 Release film
CN110312602B (en) * 2017-03-01 2021-12-14 东洋纺株式会社 Release film for producing ceramic green sheet and method for producing same
WO2018163924A1 (en) * 2017-03-09 2018-09-13 リンテック株式会社 Peeling film for green sheet formation
KR102499440B1 (en) * 2017-03-09 2023-02-13 린텍 가부시키가이샤 Release film for green sheet formation
JP7183530B2 (en) * 2017-06-01 2022-12-06 東洋紡株式会社 Release film for manufacturing ceramic green sheets
JP6852720B2 (en) * 2017-10-12 2021-03-31 東洋紡株式会社 Release film for manufacturing ceramic green sheets
JP7236388B2 (en) * 2017-11-07 2023-03-09 株式会社きもと Sheet for supporting processing of adherend
WO2019131449A1 (en) * 2017-12-27 2019-07-04 東洋紡株式会社 Mold release film for production of ceramic green sheet
JP6962217B2 (en) * 2017-12-27 2021-11-05 東洋紡株式会社 Release film for manufacturing ceramic green sheets
KR20190123079A (en) 2018-04-23 2019-10-31 도레이첨단소재 주식회사 Release film and manufacturing method thereof
JP7102267B2 (en) * 2018-07-10 2022-07-19 リンテック株式会社 Release film for ceramic green sheet manufacturing process
JP7101553B2 (en) * 2018-07-10 2022-07-15 リンテック株式会社 Release film for ceramic green sheet manufacturing process
MY194551A (en) * 2018-09-27 2022-12-01 Toyo Boseki Release film for production of ceramic green sheet
CN113165361B (en) * 2018-11-22 2023-06-20 Tdk株式会社 Release film, ceramic member sheet, method for producing release film, method for producing ceramic member sheet, and method for producing laminated ceramic capacitor
JP7202253B2 (en) * 2019-05-10 2023-01-11 信越化学工業株式会社 Radiation-curable organopolysiloxane composition and release sheet
KR102193476B1 (en) 2020-02-07 2020-12-21 도레이첨단소재 주식회사 Release film and manufacturing method thereof

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006052356A (en) 2004-08-16 2006-02-23 Shin Etsu Chem Co Ltd Ultraviolet-curable coating composition
US20070224378A1 (en) 2006-03-23 2007-09-27 Lintec Corporation Adhesive sheet and release sheet
JP2012224011A (en) 2011-04-21 2012-11-15 Lintec Corp Release film for ceramic green sheet manufacturing process
WO2013145865A1 (en) 2012-03-28 2013-10-03 リンテック株式会社 Parting film for step for producing ceramic green sheet
WO2013145864A1 (en) 2012-03-28 2013-10-03 リンテック株式会社 Peeling film for step for producing ceramic green sheet
WO2013146294A1 (en) 2012-03-30 2013-10-03 リンテック株式会社 Parting film for green sheet production and method for producing parting film for green sheet production
WO2013146295A1 (en) 2012-03-30 2013-10-03 リンテック株式会社 Parting film for green sheet production
WO2013161422A1 (en) 2012-04-23 2013-10-31 リンテック株式会社 Release film for use in producing green sheet

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3870785B2 (en) 2002-01-07 2007-01-24 株式会社村田製作所 Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component
JP2005096336A (en) * 2003-09-26 2005-04-14 Lintec Corp Process film for ceramic green sheet production and its production method
JP5663365B2 (en) * 2011-03-29 2015-02-04 リンテック株式会社 Release agent composition and release film for molding ceramic green sheet

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006052356A (en) 2004-08-16 2006-02-23 Shin Etsu Chem Co Ltd Ultraviolet-curable coating composition
US20070224378A1 (en) 2006-03-23 2007-09-27 Lintec Corporation Adhesive sheet and release sheet
JP2012224011A (en) 2011-04-21 2012-11-15 Lintec Corp Release film for ceramic green sheet manufacturing process
WO2013145865A1 (en) 2012-03-28 2013-10-03 リンテック株式会社 Parting film for step for producing ceramic green sheet
WO2013145864A1 (en) 2012-03-28 2013-10-03 リンテック株式会社 Peeling film for step for producing ceramic green sheet
WO2013146294A1 (en) 2012-03-30 2013-10-03 リンテック株式会社 Parting film for green sheet production and method for producing parting film for green sheet production
WO2013146295A1 (en) 2012-03-30 2013-10-03 リンテック株式会社 Parting film for green sheet production
WO2013161422A1 (en) 2012-04-23 2013-10-31 リンテック株式会社 Release film for use in producing green sheet

Also Published As

Publication number Publication date
CN106132685B (en) 2017-11-17
JP2015195291A (en) 2015-11-05
PH12016501943A1 (en) 2017-01-09
JP6285777B2 (en) 2018-02-28
MY179697A (en) 2020-11-11
WO2015151993A1 (en) 2015-10-08
PH12016501943B1 (en) 2017-01-09
CN106132685A (en) 2016-11-16
KR20160140662A (en) 2016-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102242066B1 (en) Release film for ceramic green sheet manufacturing process
KR101997311B1 (en) Parting film for step for producing ceramic green sheet
US20150037536A1 (en) Release film for ceramic green sheet production process
US20150086749A1 (en) Release film for producing green sheet
KR20140011390A (en) Releasing film for ceramic green sheet production rrocesses
KR20150003213A (en) Parting film for green sheet production and method for producing parting film for green sheet production
KR20150138205A (en) Release film for green sheet production
JP4604753B2 (en) Release film
JP2022153487A (en) release film
WO2014098420A1 (en) Method for manufacturing hard-coated polarizing plate
JP4807678B2 (en) Release film for forming ceramic green sheets
JP2022153410A (en) Release film for ceramic green sheet manufacturing process
WO2014098421A1 (en) Method for manufacturing hard-coated polarizing plate
JP7345021B2 (en) Release film for ceramic green sheet manufacturing process
JP7056069B2 (en) Release film for manufacturing ceramic green sheets
WO2022097384A1 (en) Release film

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant