KR102241270B1 - System for measuring gas - Google Patents

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KR102241270B1
KR102241270B1 KR1020200137457A KR20200137457A KR102241270B1 KR 102241270 B1 KR102241270 B1 KR 102241270B1 KR 1020200137457 A KR1020200137457 A KR 1020200137457A KR 20200137457 A KR20200137457 A KR 20200137457A KR 102241270 B1 KR102241270 B1 KR 102241270B1
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KR
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manifold block
suction
purge
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passage
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KR1020200137457A
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이범희
김준연
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(주)진솔루션
이범희
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Abstract

The present invention relates to a precise gas measuring system, comprising: a manifold block separately having a plurality of unit suction passages, a common suction passage connected to the unit suction passages, a vacuum passage connected to the unit suction passages, an analyzer connection passage connected to the common suction passage, and a purge passage connected to the common suction passage; a plurality of suction pipes separately connected to the manifold block so as to communicate with the unit suction passages, respectively; a vacuum supply unit connected to the manifold block to communicate with the vacuum passage and supplying vacuum; a multiple on/off valve assembly mounted on the manifold block to selectively open and close the unit suction passages and the purge passage, respectively; a multiple check valve assembly mounted on the manifold block and separately connected to unit suction passages; an analyzer connected to the analyzer connection passage; and a purge unit connected to the manifold block so as to communicate with the purge passage to purge the purge passage. According to the present invention, when gas leaks in areas of interest of an equipment installation room where equipment(s) using chemicals is installed, the amount of the leaked gas is accurately measured, and the gas is prevented from remaining in the internal flow passages. The precise gas measuring system has a simple configuration.

Description

정밀형 가스측정시스템{SYSTEM FOR MEASURING GAS}Precise gas measurement system{SYSTEM FOR MEASURING GAS}

본 발명은 정밀형 가스측정시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a precision gas measurement system.

석유화학공장이나 반도체 제조라인 등의 유해한 화학약품들을 사용하는 공장에서 적은 양의 유독 가스가 누설되어도 치명적인 인명사고를 유발시킨다. 따라서, 이와 같은 유해한 화학약품들이 사용되는 장비들이 설치되는 밀폐된 장비설치실(공간)에서 유독 가스가 누설되는 것을 측정하여 가스 누설시 신속한 조치를 취하는 것은 필수적이다.Even if a small amount of toxic gas leaks in factories that use harmful chemicals such as petrochemical plants or semiconductor manufacturing lines, it causes fatal accidents. Therefore, it is essential to measure the leakage of toxic gas in a closed equipment installation room (space) where equipment using such harmful chemicals is installed, and take prompt action in case of gas leakage.

대한민국등록특허 제10-1909862호(2018. 10. 12. 공고일)(이하, 선행기술이라 함)에는 유해한 화학약품을 사용하는 공장에서 가스가 누출되는 장소를 찾아내는 시스템이 개시되어 있다.Korean Patent Registration No. 10-1909862 (announced on October 12, 2018) (hereinafter referred to as prior art) discloses a system for finding a place where gas leaks from a factory using harmful chemicals.

그러나 선행기술은 단일 진공펌프의 흡입력을 이용하여 가스 누설 관심 영역에 위치하는 다량의 포트들 및 그 포트들이 연결된 공기포집관들을 통하여 각각 가스가 포함된 공기를 흡입하고 포집하여 분석기(측정기)를 통해 각각 포집된 공기 중의 가스 양을 측정하게 되므로 공기포집관들의 길이 차이로 인한 흡입력 차이에 의해 각각의 공기포집관들을 통해 포집되는 가스가 포함된 공기의 양의 차이가 발생되어 측정된 가스 양의 오차가 발생되는 문제점이 있다.However, the prior art uses the suction power of a single vacuum pump to inhale and collect air containing gas through a large number of ports located in the region of interest for gas leakage and the air collecting pipes to which the ports are connected. Since the amount of gas in each collected air is measured, the difference in the amount of air containing gas collected through each of the air collection pipes occurs due to the difference in suction power due to the difference in length of the air collection pipes, resulting in an error in the measured amount of gas. There is a problem that occurs.

본 발명의 목적은 화학약품을 사용하는 장비(들)가 설치되는 장비설치실의 관심대상 영역들에서 가스가 누설시 누설되는 가스의 양을 정확하게 측정하는 정밀형 가스측정시스템을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a precise gas measurement system that accurately measures the amount of gas leaked when gas leaks in areas of interest in an equipment installation room in which equipment(s) using chemicals are installed.

본 발명의 다른 목적은 구성이 간단하고 내부 유로들에 가스가 잔류하는 것을 방지하는 정밀형 가스측정시스템을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a precise gas measurement system that has a simple configuration and prevents gas from remaining in the internal flow paths.

본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 내부에, 다수 개의 단위흡입유로들과, 상기 단위흡입유로들과 연결되는 공통흡입유로와, 상기 단위흡입유로들과 연결되는 버큠유로와, 상기 공통흡입유로와 연결되는 분석기연결유로와, 상기 공통흡입유로와 연결되는 퍼지유로가 각각 구비된 메니폴드블록; 상기 단위흡입유로들에 각각 연통되도록 메니폴드블록에 각각 연결되는 다수 개의 흡입관들; 상기 버큠유로와 연통되도록 메니폴드블록에 연결되어 버큠을 공급하는 버큠공급유닛; 상기 메니폴드블록에 장착되어 상기 단위흡입유로들과 퍼지유로를 각각 선택적으로 개폐하는 다중개폐밸브어셈블리; 상기 메니폴드블록에 장착되어 단위흡입유로들에 각각 연결되는 다중체크밸브어셈블리; 상기 분석기연결유로에 연결되는 분석기; 및 상기 퍼지유로에 연통되도록 메니폴드블록에 연결되어 퍼지유로를 퍼지시키는 퍼지유닛을 포함하는 정밀형 가스측정시스템이 제공된다.In order to achieve the object of the present invention, therein, a plurality of unit suction passages, a common suction passage connected to the unit suction passages, a vacuum passage connected to the unit suction passages, and the common suction passage A manifold block having an analyzer connection passage connected to each other and a purge passage connected to the common suction passage; A plurality of suction pipes each connected to the manifold block so as to communicate with each of the unit suction passages; A vacuum supply unit connected to a manifold block so as to communicate with the vacuum flow channel to supply a vacuum; A multiple opening/closing valve assembly mounted on the manifold block to selectively open and close the unit suction passages and the purge passage; A multi-check valve assembly mounted on the manifold block and connected to unit suction passages, respectively; An analyzer connected to the analyzer connection channel; And a purge unit connected to the manifold block to purge the purge flow path so as to be in communication with the purge flow path.

상기 메니폴드블록의 내부에 결합되어 메니폴드블록의 유로들에 각각 가스가 잔류하는 것을 억제하도록 열을 발생시키는 히터가 구비되는 것이 바람직하다.It is preferable that a heater that is coupled to the inside of the manifold block and generates heat to suppress the gas from remaining in each of the flow paths of the manifold block is provided.

상기 메니폴드블록의 각 유로는 불활성가스로 코팅된 코팅막이 구비되는 것이 바람직하다.Each flow path of the manifold block is preferably provided with a coating film coated with an inert gas.

본 발명은 장비설치실의 관심대상영역들에 위치하는 흡입관들에 각각 균일한 버큠이 작용함과 동시에 관심대상영역들에서 각각 동일한 양의 공기를 분석기로 유입시켜 분석기를 통해 측정하게 되므로 관심대상영역들에서 유해 가스가 발생(존재)하는지를 정확하게 측정이 가능하게 된다.In the present invention, a uniform vacuum acts on each of the suction pipes located in the areas of interest in the equipment installation room, and at the same time, the same amount of air is introduced from the areas of interest to the analyzer and measured through the analyzer. It becomes possible to accurately measure whether harmful gas is generated (existence) in the field.

또한, 본 발명은 다수 개의 단위흡입유로들과, 단위흡입유로들과 연결되는 공통흡입유로와, 단위흡입유로들과 연결되는 버큠유로와, 공통흡입유로와 연결되는 분석기연결유로와, 공통흡입유로와 연결되는 퍼지유로가 한개의 부품인 메니폴드블록에 구비되므로 구성 부품이 간단하게 되어 이물질이 발생되는 것을 최소화하게 될 뿐만 아니라 설치 공간을 최소화하게 된다.In addition, the present invention provides a plurality of unit suction passages, a common suction passage connected to the unit suction passages, a vacuum passage connected to the unit suction passages, an analyzer connection passage connected to the common suction passage, and a common suction passage. Since the purge flow path connected to the manifold block is provided in a single component, the component is simplified, thus minimizing the occurrence of foreign matter and minimizing the installation space.

또한, 본 발명은 메니폴드블록에 히터가 구비되고 메니폴드블록의 유로들에 각각 불확성 코팅막을 형성하게 되어 메니폴드블록의 유로들 내면에 달라붙는 것을 방지하게 될 뿐만 아니라 메니폴드블록의 유로들 내부에 가스가 잔류하는 것을 방지하게 되므로 가스의 측정이 정확하게 된다.In addition, according to the present invention, a heater is provided in the manifold block and an uncertain coating film is formed on each of the flow paths of the manifold block to prevent sticking to the inner surfaces of the flow paths of the manifold block. Since it is prevented from remaining, the measurement of the gas is accurate.

도 1은 본 발명에 따른 정밀형 가스측정시스템의 일실시예를 도시한 평면도,
도 2는 본 발명에 따른 정밀형 가스측정시스템의 일실시예를 도시한 측면도,
도 3은 본 발명에 따른 정밀형 가스측정시스템의 일실시예를 구성하는 메니폴드블록의 평면도,
도 4는 본 발명에 따른 정밀형 가스측정시스템의 일실시예를 구성하는 메니폴드블록의 측면도,
도 5는 도 3의 A-A'단면도,
도 6은 도 3의 B-B'단면도,
도 7은 도 3의 C-C'단면도,
도 8은 본 발명에 따른 정밀형 가스측정시스템의 일실시예에 히터가 구비된 것을 도시한 측면도.1 is a plan view showing an embodiment of a precision gas measurement system according to the present invention,
2 is a side view showing an embodiment of a precision gas measurement system according to the present invention,
3 is a plan view of a manifold block constituting an embodiment of a precision gas measurement system according to the present invention,
4 is a side view of a manifold block constituting an embodiment of the precise gas measurement system according to the present invention,
5 is a cross-sectional view taken along line A-A' of FIG. 3;
6 is a cross-sectional view taken along line B-B' of FIG. 3;
7 is a cross-sectional view taken along line C-C' of FIG. 3;
Figure 8 is a side view showing that the heater is provided in an embodiment of the precision gas measurement system according to the present invention.

이하, 본 발명에 따른 정밀형 가스측정시스템의 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, an embodiment of a precision gas measurement system according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 정밀형 가스측정시스템의 일실시예를 도시한 평면도이다. 도 2는 본 발명에 따른 정밀형 가스측정시스템의 일실시예를 도시한 측면도이다.1 is a plan view showing an embodiment of a precision gas measurement system according to the present invention. 2 is a side view showing an embodiment of a precision gas measurement system according to the present invention.

도 1, 2에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 정밀형 가스측정시스템의 일실시예는, 메니폴드블록(100), 흡입관들(P), 버큠공급유닛(200), 다중개폐밸브어셈블리(300), 다중체크밸브어셈블리(400), 분석기(500), 퍼지유닛(600)을 포함한다.As shown in Figs. 1 and 2, an embodiment of the precise gas measurement system according to the present invention includes a manifold block 100, suction pipes P, a vacuum supply unit 200, and a multiple open/close valve assembly 300. ), a multi-check valve assembly 400, an analyzer 500, and a purge unit 600.

메니폴드블록(100)은 내부에, 다수 개의 단위흡입유로(110)들과, 그 단위흡입유로(110)들과 연결되는 공통흡입유로(120)와, 단위흡입유로(110)들과 연결되는 버큠유로(130)와, 공통흡입유로(120)와 연결되는 분석기연결유로(140)와, 공통흡입유로(120)와 연결되는 퍼지유로(150)가 각각 구비된다.The manifold block 100 includes a plurality of unit suction passages 110, a common suction passage 120 connected to the unit suction passages 110, and a vacuum connected to the unit suction passages 110. A flow path 130, an analyzer connection flow path 140 connected to the common suction flow path 120, and a purge flow path 150 connected to the common suction flow path 120 are provided, respectively.

메니폴드블록(100)의 일예로, 도 3, 4, 5, 6, 7에 도시한 바와 같이, 메니폴드블록(100)은 육면체 형상으로 형성되되, 상면에 단차면이 구비된 한 개의 몸체이다. 메니폴드블록(100)의 단위흡입유로(110)들은 메니폴드블록(100)의 길이 방향으로 간격을 두고 구비된다. 단위흡입유로(110)의 일예로, 단위흡입유로(110)는 메니폴드블록(100)의 상면 일측에 일정 깊이로 형성되는 제1 밸브홀(111)과, 메니폴드블록(100)의 전면에서 수평 폭방향으로 일정 깊이로 형성되는 수평흡입홀(112)과, 제1 밸브홀(111)의 저면 일측과 수평흡입홀(112)을 수직 방향으로 연통시키는 제1 수직흡입홀(113)과, 제1 밸브홀(111)의 저면 타측에 수직 방향으로 일정 깊이로 형성되는 제2 수직흡입홀(114)을 포함한다. 단위흡입유로(110)들의 수평흡입홀(112)들은 동일 수평 선상에 위치하는 것이 바람직하다. 제1 수직흡입홀(113)은 제1 밸브홀(111)의 중심에 위치하는 것이 바람직하다. 공통흡입유로(120)는 메니폴드블록(100)의 길이 방향으로 양측면을 관통하여 단위흡입유로(110)들의 제2 수직흡입홀(114)들을 연통시킨다. 공통흡입유로(120)의 양단부는 마개가 결합되어 밀폐된다. 공통흡입유로(120)는 직선 형태로 제2 수직흡입홀(114)들의 끝부분을 연통시키는 것이 바람직하다. 메니폴드블록(100)의 상면 타측에 제1 밸브홀(111)과 간격을 두고 제2 밸브홀(115)이 수직 방향으로 일정 깊이로 형성되고, 제2 밸브홀(115)의 저면에 수평흡입홀(112)과 연통되는 수직연통홀(116)이 형성된다. 수직연통홀(116)은 제2 밸브홀(115)의 중심에 위치하는 것이 바람직하다. As an example of the manifold block 100, as shown in Figs. 3, 4, 5, 6, and 7, the manifold block 100 is formed in a hexahedral shape, but is a single body provided with a step surface on the upper surface. The unit suction passages 110 of the manifold block 100 are provided at intervals in the longitudinal direction of the manifold block 100. As an example of the unit suction passage 110, the unit suction passage 110 has a first valve hole 111 formed at a predetermined depth on one side of the upper surface of the manifold block 100, and a horizontal width in the front of the manifold block 100. A horizontal suction hole 112 formed to a predetermined depth in the direction, and a first vertical suction hole 113 communicating the horizontal suction hole 112 with one side of the bottom surface of the first valve hole 111 in a vertical direction, and a first It includes a second vertical suction hole 114 formed to a predetermined depth in the vertical direction on the other side of the bottom of the valve hole 111. It is preferable that the horizontal suction holes 112 of the unit suction passages 110 are located on the same horizontal line. It is preferable that the first vertical suction hole 113 is located at the center of the first valve hole 111. The common suction passage 120 penetrates both sides in the longitudinal direction of the manifold block 100 to communicate the second vertical suction holes 114 of the unit suction passages 110. Both ends of the common suction flow path 120 are sealed with stoppers. It is preferable that the common suction passage 120 communicates the ends of the second vertical suction holes 114 in a straight line. On the other side of the upper surface of the manifold block 100, a second valve hole 115 is formed at a predetermined depth in the vertical direction with a distance from the first valve hole 111, and a horizontal suction hole is formed on the bottom surface of the second valve hole 115 A vertical communication hole 116 communicating with the 112 is formed. It is preferable that the vertical communication hole 116 is located at the center of the second valve hole 115.

단위흡입유로(110)들은 8개, 16개, 또는 24개가 될 수 있다. 이하에서는, 도면에 도시된 바와 같이, 단위흡입유로(110)가 8개인 경우에 대하여 설명한다. 단위흡입유로(110)들이 8개인 경우 메니폴드블록(100)의 길이 방향 가운데를 기준으로 양쪽에 4개씩 위치하며, 양쪽에 위치하는 4개의 단위흡입유로(110)들은 길이 방향으로 일정 간격을 두고 위치하는 것이 바람직하다.The number of unit suction passages 110 may be 8, 16, or 24. Hereinafter, as shown in the drawings, a case in which there are eight unit suction passages 110 will be described. When there are 8 unit suction passages 110, four are located on each side of the manifold block 100 in the longitudinal direction of the center, and the four unit suction passages 110 located on both sides are located at regular intervals in the longitudinal direction. It is desirable to do it.

메니폴드블록(100)의 버큠유로(130)는 공통흡입유로(120)와 연통되도록 메니폴드블록(100)의 길이 방향 중간 전면으로부터 일정 깊이로 형성된다. 버큠유로(130)는 단위흡입유로(110)의 수평흡입홀(112)과 수평 방향 동일 선상에 위치하는 것이 바람직하다. 분석기연결유로(140)는 공통흡입유로(120)와 연통되도록 메니폴드블록(100)의 길이 방향 중간 후면에 일정 깊이로 형성된다. 분석기연결유로(140)는 버큠유로(130)와 동일 수평선상에 위치하는 것이 바람직하다.The vacuum passage 130 of the manifold block 100 is formed to a predetermined depth from the middle front surface of the manifold block 100 in the longitudinal direction so as to communicate with the common suction passage 120. The vacuum flow path 130 is preferably located on the same line as the horizontal suction hole 112 of the unit suction flow path 110 in the horizontal direction. The analyzer connection passage 140 is formed at a predetermined depth in the middle rear surface of the manifold block 100 in the longitudinal direction so as to communicate with the common suction passage 120. The analyzer connection channel 140 is preferably located on the same horizontal line as the vacuum channel 130.

메니폴드블록(100)의 퍼지유로(150)는 메니폴드블록(100)의 길이 방향 가운데에 수직방향으로 일정 깊이로 형성되는 밸브홀(151)과, 메니폴드블록(100)의 전면 중간에서 수평 폭방향으로 일정 깊이로 형성되는 폭방향수평퍼지홀(152)과, 밸브홀(151)의 저면과 폭방향수평퍼지홀(152)을 연통시키도록 밸브홀(151)의 저면에서 일정 깊이로 형성되는 제1 수직퍼지홀(153)과, 밸브홀(151)의 저면에 수직 방향으로 일정 깊이로 형성되는 제2 수직퍼지홀(154)과, 메니폴드블록(100)의 길이 방향 양측면을 수평방향으로 관통하는 길이방향수평퍼지홀(155)과, 단위흡입유로(110)들 중 한 개의 단위흡입유로(110)와 길이방향수평퍼지홀(155)의 한쪽을 연통시키는 제1 분지퍼지홀(156)과, 단위흡입유로(110)들 중 다른 한 개의 단위흡입유로(110)와 길이방향수평퍼지홀(155)의 다른 한쪽을 연통시키는 제2 분지퍼지홀(157)과, 길이방향수평퍼지홀(155)과 제2 수직퍼지홀(154)을 연통시키는 연결퍼지홀(158)을 포함한다. 제1 분지퍼지홀(156)은 메니폴드블록(100)의 후면에서 수평 폭방향으로 일정 깊이로 형성되며, 제1 분지퍼지홀(156)과 연결되는 단위흡입유로(110)는 메니폴드블록(100)의 길이 방향 한쪽 끝에 위치한다. 제2 분지퍼지홀(157)은 메니폴드블록(100)의 후면에서 수평 폭방향으로 일정 깊이로 형성되며, 제2 분지퍼지홀(157)과 연결되는 단위흡입유로(110)는 메니폴드블록(100)의 길이 방향 다른 한쪽 끝에 위치한다. 연결퍼지홀(158)은 메니폴드블록(100)의 후면에서 수평 폭방향으로 일정 깊이로 형성된다. 길이방향수평퍼지홀(155)의 양단부에 각각 마개가 결합되어 밀폐된다. 또한, 제1,2 분지퍼지홀(156)(157), 연결퍼지홀(158)의 한쪽 끝에 각각 마개가 결합되어 밀폐된다.The purge passage 150 of the manifold block 100 includes a valve hole 151 formed at a predetermined depth in the vertical direction in the center of the length direction of the manifold block 100 and in the horizontal width direction from the middle of the front surface of the manifold block 100. A first horizontal purge hole 152 formed to a predetermined depth and a first formed at a predetermined depth at the bottom of the valve hole 151 so as to communicate the bottom surface of the valve hole 151 and the horizontal purge hole 152 in the width direction. The vertical purge hole 153, the second vertical purge hole 154 formed at a predetermined depth in the vertical direction on the bottom of the valve hole 151, and the length passing through both sides in the length direction of the manifold block 100 in the horizontal direction A first branch purge hole 156 communicating between the horizontal direction purge hole 155 and one of the unit suction passages 110 and one of the longitudinal horizontal purge hole 155, and a unit A second branch purge hole 157 communicating the other unit suction passage 110 of the suction passages 110 and the other side of the longitudinal horizontal purge hole 155, the longitudinal horizontal purge hole 155, and It includes a connection purge hole 158 communicating with the second vertical purge hole 154. The first branch purge hole 156 is formed at a predetermined depth in the horizontal width direction from the rear side of the manifold block 100, and the unit suction passage 110 connected to the first branch purge hole 156 is the manifold block 100 It is located at one end of the length direction. The second branch purge hole 157 is formed at a predetermined depth in the horizontal width direction from the rear side of the manifold block 100, and the unit suction passage 110 connected to the second branch purge hole 157 is the manifold block 100. It is located at the other end of the length direction. The connection purge hole 158 is formed at a predetermined depth in the horizontal width direction from the rear surface of the manifold block 100. Stoppers are coupled to both ends of the longitudinal and horizontal purge holes 155 to be sealed. In addition, a stopper is coupled to one end of the first and second branch purge holes 156 and 157 and the connection purge hole 158 to be sealed.

메니폴드블록(100)은 스테인레스 스틸인 것이 바람직하다.It is preferable that the manifold block 100 is made of stainless steel.

흡입관(P)들은 단위흡입유로(110)들에 각각 연통되도록 메니폴드블록(100)에 각각 연결된다. 흡입관(P)들의 각 한쪽 단부가 단위흡입유로(110)의 수평흡입홀(112)과 연결되고 다른 한쪽 단부는 각각 검사할 관심 대상 영역들에 위치한다. 흡입관(P)들의 각 한쪽 단부는 검사할 관심 대상 영역들에 위치하게 되어 메니폴드블록(100)으로부터 관심 대상 영역들의 각 거리가 다르기 때문에 흡입관(P)들의 길이가 각각 다르게 된다.The suction pipes P are respectively connected to the manifold block 100 so as to communicate with each of the unit suction passages 110. One end of each of the suction pipes P is connected to the horizontal suction hole 112 of the unit suction passage 110, and the other end is located in the areas of interest to be examined, respectively. One end of each of the suction pipes P is located in the regions of interest to be inspected, so that the distances of the regions of interest from the manifold block 100 are different, so that the lengths of the suction pipes P are different.

버큠공급유닛(200)은 버큠유로(130)와 연통되도록 메니폴드블록(100)에 연결되어 버큠을 공급한다.The vacuum supply unit 200 is connected to the manifold block 100 so as to communicate with the vacuum flow path 130 to supply the vacuum.

다중개폐밸브어셈블리(300)는 메니폴드블록(100)에 장착되어 단위흡입유로(110)들과 퍼지유로(150)를 각각 선택적으로 개폐한다. 다중개폐밸브어셈블리(300)는 단위흡입유로(110)들과 퍼지유로(150)의 수에 상응하는 솔레노이드밸브들을 포함한다. 솔레노이드밸브들은 각각 단위흡입유로(110)들의 제1 밸브홈(111)들에 위치하여 솔레노이드밸브가 아래로 움직여 제1 밸브홈(111)의 저면에 위치한 제1 수직흡입홀(113)을 막게 되면 단위흡입유로(110)가 막히게(닫히게) 되고 솔레노이드밸브가 위로 움직여 제1 수직흡입홀(113)을 열게 되면 제1 수직흡입홀(113) - 제1 밸브홈(111) - 제2 수직흡입홀(114)이 연통되어 단위흡입유로(110)를 열게 된다. 즉, 다중개폐밸브어셈블리(300)의 한 개 솔레노이드밸브가 작동함에 따라 한 개의 단위흡입유로(110)를 열거나 닫게 된다. 또한, 한 개의 솔레노이드밸브는 퍼지유로(150)의 밸브홈(151)에 위치하여 제1 수직퍼지홀(153)과 제2 수직퍼지홀(154)을 연통시키거나 차단시켜 퍼지유로(150)를 열거나 닫게 된다.The multiple opening/closing valve assembly 300 is mounted on the manifold block 100 to selectively open and close the unit suction passages 110 and the purge passages 150, respectively. The multiple opening/closing valve assembly 300 includes solenoid valves corresponding to the number of unit suction passages 110 and purge passages 150. When the solenoid valves are located in the first valve grooves 111 of the unit suction flow paths 110, respectively, the solenoid valve moves downward to block the first vertical suction hole 113 located at the bottom of the first valve groove 111. When the unit suction passage 110 is blocked (closed) and the solenoid valve moves upward to open the first vertical suction hole 113, the first vertical suction hole 113-the first valve groove 111-the second vertical suction hole (114) is in communication to open the unit suction passage (110). That is, as one solenoid valve of the multiple opening/closing valve assembly 300 operates, one unit suction passage 110 is opened or closed. In addition, one solenoid valve is located in the valve groove 151 of the purge flow path 150 to communicate or block the first vertical purge hole 153 and the second vertical purge hole 154 to open the purge flow path 150. Open or close.

다중체크밸브어셈블리(400)는 메니폴드블록(100)에 장착되어 단위흡입유로(110)들에 각각 연결된다. 다중체크밸브어셈블리(400)는 단위흡입유로(110)들의 수와 상응하는 체크밸브를 포함한다. 다중체크밸브어셈블리(400)의 체크밸브들은 각각 단위흡입유로(110)들의 각 제2 밸브홀(115)에 연결된다.The multiple check valve assembly 400 is mounted on the manifold block 100 and connected to the unit suction passages 110, respectively. The multiple check valve assembly 400 includes a check valve corresponding to the number of unit suction passages 110. The check valves of the multiple check valve assembly 400 are respectively connected to the second valve holes 115 of the unit suction passages 110.

분석기(500)는 메니폴드블록(100)의 분석기연결유로(140)에 연결된다. 분석기(500)는 관심 대상 영역의 공기를 분석하여 공기 중의 가스의 유무 및 양을 분석한다. 분석기(500)는 분자입자 분석기(500)인 것이 바람직하다.The analyzer 500 is connected to the analyzer connection passage 140 of the manifold block 100. The analyzer 500 analyzes the air in the region of interest and analyzes the presence and amount of gas in the air. The analyzer 500 is preferably a molecular particle analyzer 500.

퍼지유닛(600)은 퍼지유로(150)에 연통되도록 메니폴드블록(100)에 연결되어 퍼지유로(150)를 퍼지시킨다.The purge unit 600 is connected to the manifold block 100 so as to communicate with the purge flow path 150 to purge the purge flow path 150.

메니폴드블록(100)의 내부에 히터(170)가 결합되는 것이 바람직하다. 히터(170)는 메니폴드블록(100)의 유로들에 각각 가스가 잔류하는 것을 억제하도록 열을 발생시킨다. 히터(170)는 메니폴드블록(100)이 60~70도 온도로 유지되도록 열을 발생시키는 것이 바람직하다. 히터(170)는, 도 8에 도시한 바와 같이, 메니폴드블록(100)의 한쪽 측면에서 설정된 깊이로 히터삽입홀을 형성하고 그 히터삽입홀에 봉 형태의 히터(170)가 결합된다. 히터(170)는 두 개인 것이 바람직하다. 히터(170)가 두 개인 경우 한 개의 히터(170)는 퍼지유로(150)의 길이방향수평퍼지홀(에 인접하게 위치하며, 다른 한 개의 히터(170)는 단위흡입유로(110)의 제1 수직흡입홀과 인접하게 위치하는 것이 바람직하다. It is preferable that the heater 170 is coupled to the inside of the manifold block 100. The heater 170 generates heat to suppress the gas from remaining in each of the flow paths of the manifold block 100. It is preferable that the heater 170 generates heat so that the manifold block 100 is maintained at a temperature of 60 to 70 degrees. As shown in FIG. 8, the heater 170 forms a heater insertion hole at a depth set on one side of the manifold block 100 and a rod-shaped heater 170 is coupled to the heater insertion hole. It is preferable that there are two heaters 170. When there are two heaters 170, one heater 170 is located adjacent to the longitudinal horizontal purge hole of the purge flow path 150, and the other heater 170 is the first of the unit suction flow path 110. It is preferable to be located adjacent to the vertical suction hole.

메니폴드블록(100)의 각 유로는 불활성가스로 코팅된 코팅막이 구비되는 것이 바람직하다. 매니폴드블록의 각 유로, 즉 단위흡입유로(110)들, 공통흡입유로(120), 버큠유로(130), 분석기연결유로(140), 퍼지유로(150)를 드릴링 가공하여 형성한 후 유로 내면을 폴리싱 처리하고 그 폴리싱 처리된 내면에 각각 불활성 코팅막(180)을 형성한다.Each flow path of the manifold block 100 is preferably provided with a coating film coated with an inert gas. Each flow path of the manifold block, that is, unit suction flow paths 110, common suction flow paths 120, vacuum flow paths 130, analyzer connection flow paths 140, and purge flow paths 150 are formed by drilling, and then the inner surface of the flow paths Is polished, and an inert coating layer 180 is formed on the polished inner surface, respectively.

이하, 본 발명에 따른 정밀형 가스측정시스템의 작용과 효과를 설명한다.Hereinafter, the operation and effect of the precise gas measurement system according to the present invention will be described.

먼저, 화학약품이 사용되는 장비가 설치된 장비설치실의 관심 영역들에 흡입관(P)들의 각 단부가 위치한다. 버큠공급유닛(200)에서 버큠이 작용(공급)한 상태에서 흡입관(P)들의 각 끝인 흡입구에서 각각 순차적으로 관심 영역들의 공기를 흡입하도록 다중개폐밸브어셈블리(300)를 작동시켜 단위흡입유로(110)들을 설정된 시간에 따라 순차적으로 개폐시킨다. 단위흡입유로(110)를 오픈시키는 시간은 3분 정도로 하는 것이 바람직하다.First, each end of the suction pipes (P) is located in areas of interest in the equipment installation room in which equipment using chemicals is installed. In a state in which the vacuum is operated (supplied) by the vacuum supply unit 200, the multiple opening/closing valve assembly 300 is operated to sequentially suck the air of the regions of interest from the suction ports at each end of the suction pipes (P). ) Open and close sequentially according to the set time. It is preferable that the unit suction passage 110 is opened for about 3 minutes.

장비설치실의 관심 영역들이 8곳이고 그 8곳의 관심 영역들에 각각 흡입관(P)(11)들의 흡입구가 위치하고 그 흡입관(P)들을 제1,2,3,4,5,6,7,8이라 하고 그 흡입관(P)들이 연결된 메니폴드블록(100)의 단위흡입유로(110)들을 제1,2,3,4,5,6,7,8이라 할 때, 다중개폐밸브어셈블리(300)가 먼저 제1 단위흡입유로(110)를 일정 시간 열게 되면 버큠공급유닛(200)에서 발생되는 버큠이 버큠유로(130) - 공통흡입유로(120) - 제1 단위흡입유로(110)의 제2 수직흡입홀(114) - 제1 밸브홀(111) - 제1 수직흡입홀(113) - 수평흡입홀(112) - 제1 흡입관(P1)을 통해 작용하여 제1 흡입관(P1)의 흡입구 주변의 관심영역(제1 관심영역)의 공기가 흡입된다. 제1 흡입관(P1)의 흡입구를 통해 흡입되는 관심영역의 공기가 제1 흡입관(P1) - 제1 단위흡입유로(110)의 수평흡입홀(112) - 제1 수직흡입홀(113) - 제1 밸브홀(111) - 제2 수직흡입홀(114) - 공통흡입유로(120) - 분석기연결유로(140)를 통해 분석기(500)로 유입된다. 분석기(500)로 유입된 관심영역의 공기는 분석기(500)를 통해 분석되어 그 공기 중에 유해가스가 포함되어 있는지를 분석하게 된다. 그리고 설정된 시간이 지난 후 다중개폐밸브어셈블리(300)가 제1 단위흡입유로(110)를 닫고 제2 단위흡입유로(110)를 설정된 시간 동안 열어 위와 같은 과정으로 제2 흡입관(P2)의 흡입구를 통해 흡입된 관심영역(제2 관심영역)의 공기를 분석하게 된다. 위와 같은 과정으로 8곳의 관심영역들의 공기를 순차적으로 분석하게 된다. 다중개폐밸브어셈블리(300)는 메니폴드블록(100)의 단위흡입유로(110)들의 각 개도를 조절하여 단위흡입유로(110)들에 각각 연결된 흡입관(P)들에 서로 같은 흡입력이 작용하도록 하여 각 흡입관(P)들에서 흡입되는 공기의 양을 같도록 한다.There are 8 areas of interest in the equipment installation room, and the suction ports of the suction pipes (P) (11) are located in each of the 8 areas of interest, and the suction pipes (P) are located at 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7 When ,8 and the unit suction passages 110 of the manifold block 100 to which the suction pipes P are connected are referred to as 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, and 8, the multiple opening and closing valve assembly 300 ) First opens the first unit suction passage 110 for a certain period of time, the vacuum vacuum passage 130 generated from the vacuum supply unit 200-the common suction passage 120-the first unit suction passage 110 2 Vertical suction hole 114-First valve hole 111-First vertical suction hole 113-Horizontal suction hole 112-The suction port of the first suction pipe P1 by acting through the first suction pipe P1 Air from the surrounding region of interest (the first region of interest) is sucked. The air in the region of interest sucked through the inlet of the first suction pipe P1 is the first suction pipe P1-the horizontal suction hole 112 of the first unit suction passage 110-the first vertical suction hole 113- 1 valve hole 111-the second vertical suction hole 114-the common suction passage 120-the analyzer is introduced into the analyzer 500 through the connection passage 140. The air of the region of interest introduced into the analyzer 500 is analyzed through the analyzer 500 to analyze whether harmful gas is contained in the air. And after the set time elapses, the multiple opening and closing valve assembly 300 closes the first unit suction passage 110 and opens the second unit suction passage 110 for a set time to open the suction port of the second suction pipe P2 in the same process as above. The air in the region of interest (the second region of interest) sucked through is analyzed. Through the above process, the air in eight areas of interest is sequentially analyzed. The multiple opening/closing valve assembly 300 adjusts the opening degree of each of the unit suction passages 110 of the manifold block 100 so that the same suction force acts on the suction pipes P connected to the unit suction passages 110, respectively. Make the amount of air sucked in the suction pipes (P) the same.

한편, 제3 관심영역에서 유해가스가 발생되어 분석기(500)에 의해 유해가스를 측정하게 되면 알람을 발생시켜 관리자로 하여금 조치를 취하도록 한다. 그리고 퍼지유닛(80)을 작동시켜 제3 흡입관(P3) 및 기타 유로를 정화시키게 된다. 그 과정은 먼저, 다중개폐밸브어셈블리(300)가 제3 단위흡입유로(110)를 열고 다른 단위흡입유로(110)들을 닫은 상태에서 다중개폐밸브어셈블리(300)가 퍼지유로(150)를 열고 퍼지유닛(600)이 작동하게 되면 고압 공기가 퍼지유로(150)의 폭방향수평퍼지홀(152) - 제1 수직퍼지홀(153) - 밸브홀(151) - 제2 수직퍼지홀(154) - 연결퍼지홀(158) - 길이방향수펑퍼지홀(155) - 제1,2 분지퍼지홀(156)(157) - 제1,2 분지퍼지홀(156)(157)에 연결된 단위흡입유로(110)의 제2 수직흡입홀(114) - 공통흡입유로(120) - 제3 단위흡입유로(110) 및 분석기연결유로(140)를 통해 가스를 배출시키면서 제3 단위흡입유로(110) 및 가타 유로를 정화시킨다.Meanwhile, when harmful gas is generated in the third region of interest and the harmful gas is measured by the analyzer 500, an alarm is generated so that the manager takes action. Then, the purge unit 80 is operated to purify the third suction pipe P3 and other flow paths. First, the multiple opening and closing valve assembly 300 opens the third unit suction passage 110 and closes the other unit suction passages 110, and the multiple opening and closing valve assembly 300 opens and purges the purge passage 150. When the unit 600 is operated, high-pressure air flows through the horizontal purge hole 152 in the width direction of the purge passage 150-the first vertical purge hole 153-the valve hole 151-the second vertical purge hole 154- Connection purge hole 158-longitudinal water purge hole 155-1st and 2nd branch purge hole 156, 157-Unit suction passage 110 connected to the 1st and 2nd branch purge hole 156 and 157 ) Of the second vertical suction hole 114-the common suction passage 120-the third unit suction passage 110 and other passages while discharging gas through the third unit suction passage 110 and the analyzer connection passage 140 Cleanse

이와 같이, 본 발명은 장비설치실의 관심대상영역들에 위치하는 흡입관(P)들에 각각 균일한 버큠이 작용함과 동시에 관심대상영역들에서 각각 동일한 양의 공기를 분석기(500)로 유입시켜 분석기(500)를 통해 측정하게 되므로 관심대상영역들에서 유해 가스가 발생(존재)하는지를 정확하게 측정이 가능하게 된다.In this way, the present invention applies a uniform vacuum to each of the suction pipes (P) located in the areas of interest in the equipment installation room, and at the same time, the same amount of air is introduced into the analyzer 500 from each of the areas of interest. Since the measurement is performed through the analyzer 500, it is possible to accurately measure whether or not harmful gas is generated (existence) in the regions of interest.

또한, 본 발명은 다수 개의 단위흡입유로(110)들과, 단위흡입유로(110)들과 연결되는 공통흡입유로(120)와, 단위흡입유로(110)들과 연결되는 버큠유로(130)와, 공통흡입유로(120)와 연결되는 분석기연결유로(140)와, 공통흡입유로(120)와 연결되는 퍼지유로(150)가 한개의 부품인 메니폴드블록(100)에 구비되므로 구성 부품이 간단하게 되어 이물질이 발생되는 것을 최소화하게 될 뿐만 아니라 설치 공간을 최소화하게 된다.In addition, the present invention includes a plurality of unit suction passages 110, a common suction passage 120 connected to the unit suction passages 110, a vacuum passage 130 connected to the unit suction passages 110, and , Since the analyzer connection passage 140 connected to the common suction passage 120 and the purge passage 150 connected to the common suction passage 120 are provided in the manifold block 100, which is one component, the components are simple. As a result, the generation of foreign matter is minimized, and the installation space is minimized.

또한, 본 발명은 메니폴드블록(100)에 히터(170)가 구비되고 메니폴드블록(100)의 유로들에 각각 불확성 코팅막(180)을 형성하게 되어 메니폴드블록(100)의 유로들 내면에 달라붙는 것을 방지하게 될 뿐만 아니라 메니폴드블록(100)의 유로들 내부에 가스가 잔류하는 것을 방지하게 되므로 가스의 측정이 정확하게 된다.In addition, according to the present invention, a heater 170 is provided in the manifold block 100, and an uncertainty coating layer 180 is formed on each of the flow paths of the manifold block 100, so that it adheres to the inner surfaces of the flow paths of the manifold block 100. In addition to preventing the gas from remaining inside the flow paths of the manifold block 100, the measurement of the gas is accurate.

100; 메니폴드블록 110; 단위흡입유로
120; 공통흡입유로 130; 버큠유로
140; 분석기연결유로 150; 퍼지유로
200; 버큠공급유닛 300; 다중개폐밸브어셈블리
400; 다중체크밸브어셈블리 500; 분석기
600; 퍼지유닛100; Manifold block 110; Unit suction flow path
120; Common suction passage 130; Vacuum Euro
140; Analyzer connection channel 150; Fuzzy Euro
200; Vacuum supply unit 300; Multiple switch valve assembly
400; Multiple check valve assembly 500; Analyzer
600; Purge unit

Claims (7)

내부에, 다수 개의 단위흡입유로들과, 상기 단위흡입유로들과 연결되는 공통흡입유로와, 상기 단위흡입유로들과 연결되는 버큠유로와, 상기 공통흡입유로와 연결되는 분석기연결유로와, 상기 공통흡입유로와 연결되는 퍼지유로가 각각 구비된 메니폴드블록;
상기 단위흡입유로들에 각각 연통되도록 메니폴드블록에 각각 연결되는 다수 개의 흡입관들;
상기 버큠유로와 연통되도록 메니폴드블록에 연결되어 버큠을 공급하는 버큠공급유닛;
상기 메니폴드블록에 장착되어 상기 단위흡입유로들과 퍼지유로를 각각 선택적으로 개폐하는 다중개폐밸브어셈블리;
상기 메니폴드블록에 장착되어 단위흡입유로들에 각각 연결되는 다중체크밸브어셈블리;
상기 분석기연결유로에 연결되는 분석기; 및
상기 퍼지유로에 연통되도록 메니폴드블록에 연결되어 퍼지유로를 퍼지시키는 퍼지유닛을 포함하는 정밀형 가스측정시스템.Inside, a plurality of unit suction passages, a common suction passage connected to the unit suction passages, a vacuum passage connected to the unit suction passages, an analyzer connection passage connected to the common suction passage, and the common A manifold block each provided with a purge flow path connected to the suction flow path;
A plurality of suction pipes each connected to the manifold block so as to communicate with each of the unit suction passages;
A vacuum supply unit connected to a manifold block so as to communicate with the vacuum flow path to supply a vacuum;
A multiple opening/closing valve assembly mounted on the manifold block to selectively open and close the unit suction passages and the purge passage;
A multi-check valve assembly mounted on the manifold block and connected to unit suction passages, respectively;
An analyzer connected to the analyzer connection channel; And
Precise gas measurement system comprising a purge unit connected to the manifold block so as to be in communication with the purge flow passage and purging the purge passage. 제1항에 있어서, 상기 메니폴드블록의 내부에 결합되어 메니폴드블록의 유로들에 각각 가스가 잔류하는 것을 억제하도록 열을 발생시키는 히터가 구비되는 것을 특징으로 하는 정밀형 가스측정시스템.The precise gas measurement system according to claim 1, further comprising a heater coupled to the inside of the manifold block to generate heat to suppress the gas from remaining in each of the flow paths of the manifold block. 제1항에 있어서, 상기 메니폴드블록의 각 유로는 불활성가스로 코팅된 코팅막이 구비되는 것을 특징으로 하는 정밀형 가스측정시스템.The precise gas measurement system according to claim 1, wherein each flow path of the manifold block is provided with a coating film coated with an inert gas. 제1항에 있어서, 상기 단위흡입유로들은 상기 메니폴드블록의 길이 방향으로 간격을 두고 구비되며, 상기 단위흡입유로는 메니폴드블록의 상면 일측에 일정 깊이로 형성되는 제1 밸브홀과, 상기 메니폴드블록의 전면에서 수평 폭방향으로 일정 깊이로 형성되는 수평흡입홀과, 상기 제1 밸브홀의 저면 일측과 수평흡입홀을 수직 방향으로 연통시키는 제1 수직흡입홀과, 상기 제1 밸브홀의 저면 타측에 수직 방향으로 일정 깊이로 형성되는 제2 수직흡입홀을 포함하며,
상기 공통흡입유로는 메니폴드블록의 길이 방향으로 양측면을 관통하여 단위흡입유로들의 제2 수직흡입홀들을 연통시키는 것을 특징으로 하는 정밀형 가스측정시스템.The method of claim 1, wherein the unit suction passages are provided at intervals in the longitudinal direction of the manifold block, and the unit suction passages include a first valve hole formed at a predetermined depth on one side of an upper surface of the manifold block, and A horizontal suction hole formed at a predetermined depth in the horizontal width direction from the front side, a first vertical suction hole communicating one side of the bottom surface of the first valve hole and the horizontal suction hole in a vertical direction, and a vertical direction to the other side of the bottom surface of the first valve hole It includes a second vertical suction hole formed to a predetermined depth,
The common suction passage is a precision gas measurement system, characterized in that the second vertical suction holes of the unit suction passages to communicate with each other through both sides in the longitudinal direction of the manifold block. 제4항에 있어서, 상기 메니폴드블록의 상면 타측에 제1 밸브홀과 간격을 두고 제2 밸브홀이 수직 방향으로 일정 깊이로 형성되고, 상기 제2 밸브홀의 저면에 상기 수평흡입홀과 연통되는 수직연통홀이 형성되고, 상기 다중체크밸브어셈블리는 상기 제2 밸브홀들과 연결되는 것을 특징으로 하는 정밀형 가스측정시스템.The method of claim 4, wherein the second valve hole is formed at a predetermined depth in the vertical direction at a distance from the first valve hole on the other side of the upper surface of the manifold block, and a vertical communication with the horizontal suction hole is formed on the bottom surface of the second valve hole. A communication hole is formed, and the multi-check valve assembly is connected to the second valve holes. 제1항에 있어서, 상기 버큠유로는 상기 공통흡입유로와 연통되도록 메니폴드블록의 길이 방향 중간 전면으로부터 일정 깊이로 형성되며, 상기 분석기연결유로는 상기 공통흡입유로와 연통되도록 메니폴드블록의 길이 방향 중간 후면에 일정 깊이로 형성되는 것을 특징으로 하는 정밀형 가스측정시스템.The method of claim 1, wherein the vacuum flow path is formed to have a predetermined depth from the middle front surface of the manifold block in the length direction to communicate with the common suction flow path, and the analyzer connection flow path is formed to communicate with the common suction flow path. Precise gas measurement system, characterized in that formed to a certain depth in the. 제1항에 있어서, 상기 퍼지유로는 상기 메니폴드블록의 길이 방향 가운데에 수직방향으로 일정 깊이로 형성되는 밸브홀과, 메니폴드블록의 전면 중간에서 수평 폭방향으로 일정 깊이로 형성되는 폭방향수평퍼지홀과, 상기 밸브홀의 저면과 수평퍼지홀을 연통시키도록 밸브홀의 저면에서 일정 깊이로 형성되는 제1 수직퍼지홀과, 상기 밸브홀의 저면에 수직 방향으로 일정 깊이로 형성되는 제2 수직퍼지홀과, 상기 메니폴드블록의 길이 방향 양측면을 수평방향으로 관통하는 길이방향수평퍼지홀과, 단위흡입유로들 중 한 개의 단위흡입유로와 상기 길이방향수평퍼지홀의 한쪽을 연통시키도록 메니폴드블록의 후면에서 수평 폭방향으로 일정 깊이로 형성되는 제1 분지퍼지홀과, 상기 단위흡입유로들 중 다른 한 개의 단위흡입유로와 상기 길이방향수평퍼지홀의 다른 한쪽을 연통시키도록 메니폴드블록의 후면에서 수평 폭방향으로 일정 깊이로 형성되는 제2 분지퍼지홀과, 상기 길이방향수평퍼지홀과 제2 수직퍼지홀을 연통시키도록 메니폴드블록의 후면에서 수평 폭방향으로 일정 깊이로 형성되는 연결퍼지홀을 포함하는 정밀형 가스측정시스템.The method of claim 1, wherein the purge flow path is a valve hole formed at a predetermined depth in a vertical direction in the center of the length direction of the manifold block, and a widthwise horizontal purge hole formed at a predetermined depth in the horizontal width direction in the front middle of the manifold block. And, a first vertical purge hole formed at a predetermined depth at the bottom of the valve hole to communicate the bottom surface of the valve hole and a horizontal purge hole, and a second vertical purge hole formed at a predetermined depth in a direction perpendicular to the bottom surface of the valve hole, A longitudinal horizontal purge hole passing through both sides of the longitudinal direction of the manifold block in a horizontal direction, and one of the unit suction passages and one of the longitudinal and horizontal purge holes in a horizontal width direction from the rear of the manifold block. The first branch purge hole formed to a predetermined depth and the other unit suction passage of the unit suction passages and the other side of the longitudinal horizontal purge hole are communicated with each other from the rear side of the manifold block to a predetermined depth in the horizontal width direction. Precise gas measurement system comprising a second branch purge hole formed and a connection purge hole formed at a predetermined depth in the horizontal width direction from the rear surface of the manifold block to communicate the longitudinal horizontal purge hole and the second vertical purge hole .
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