KR102330780B1 - Gas measuring system and controlling method thereof - Google Patents

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KR102330780B1
KR102330780B1 KR1020200156589A KR20200156589A KR102330780B1 KR 102330780 B1 KR102330780 B1 KR 102330780B1 KR 1020200156589 A KR1020200156589 A KR 1020200156589A KR 20200156589 A KR20200156589 A KR 20200156589A KR 102330780 B1 KR102330780 B1 KR 102330780B1
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이범희
김준연
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(주)진솔루션
이범희
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Abstract

The present invention relates to a gas measurement system and a control method thereof, the control method comprising: suctioning air in a region of interest through a first region-of-interest suction pipe for a set time while an opening/closing unit connected to the first region-of-interest suction pipe arbitrarily chosen from region-of-interest suction pipes is linearly opened to the maximum open state; simultaneously suctioning air in different regions of interest through the first region-of-interest suction pipe and a second region-of-interest suction pipe arbitrarily chosen from the region-of-interest suction pipes, respectively, by crossing a time for which the opening/closing unit connected to the first region-of-interest suction pipe is linearly closed and a time for which an opening/closing unit connected to the second region-of-interest suction pipe is linearly opened; and blocking the air in the region of interest to the first region-of-interest suction pipe by completely closing the opening/closing unit connected to the first region-of-interest suction pipe and suctioning the air in the region of interest through the second region-of-interest suction pipe for the set time while the opening/closing unit connected to the second region-of-interest suction pipe is opened to the maximum. In accordance with the present invention, it is possible to accurately measure a leakage of gas and to determine where the gas leaks when the gas leaks from the regions of interest in an equipment room where sets of equipment using chemicals are installed.

Description

가스측정시스템 및 그 제어방법{GAS MEASURING SYSTEM AND CONTROLLING METHOD THEREOF}GAS MEASURING SYSTEM AND CONTROLLING METHOD THEREOF

본 발명은 가스측정시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a gas measuring system and a method for controlling the same.

석유화학공장이나 반도체 제조라인 등의 유해한 화학약품들을 사용하는 공장에서 적은 양의 유독 가스가 누설되어도 치명적인 인명사고를 유발시킨다. 따라서, 이와 같은 유해한 화학약품들이 사용되는 장비들이 설치되는 밀폐된 장비설치실(공간)에서 유독 가스가 누설되는 것을 측정하여 가스 누설시 신속한 조치를 취하는 것은 필수적이다.Even a small amount of toxic gas leaks from a plant that uses harmful chemicals such as petrochemical plants or semiconductor manufacturing lines, causing fatal accidents. Therefore, it is essential to measure the leakage of toxic gas from the closed equipment installation room (space) in which the equipment using such harmful chemicals is installed, and to take prompt measures in case of gas leakage.

대한민국등록특허 제10-1909862호(2018. 10. 12. 공고일)(이하, 선행기술이라 함)에는 유해한 화학약품을 사용하는 공장에서 가스가 누출되는 장소를 찾아내는 시스템이 개시되어 있다.Republic of Korea Patent No. 10-1909862 (published on October 12, 2018) (hereinafter referred to as prior art) discloses a system for locating a gas leak in a factory using harmful chemicals.

그러나 선행기술은 단일 진공펌프의 흡입력을 이용하여 가스 누설 관심 영역에 위치하는 다량의 포트들 및 그 포트들이 연결된 공기포집관들을 통하여 각각 가스가 포함된 공기를 흡입하고 포집하여 분석기(측정기)를 통해 각각 포집된 공기 중의 가스 양을 측정하게 되므로 공기포집관들의 길이 차이로 인한 흡입력 차이에 의해 각각의 공기포집관들을 통해 포집되는 가스가 포함된 공기의 양의 차이가 발생되어 측정된 가스 양의 오차가 발생되는 문제점이 있다.However, the prior art uses the suction power of a single vacuum pump to inhale and collect air containing gas, respectively, through a large number of ports located in the region of interest for gas leakage and air collection tubes to which the ports are connected. Since the amount of gas in the collected air is measured, the difference in the amount of air containing the gas collected through each air collection tube is generated due to the difference in suction power due to the difference in length of the air collection tubes, resulting in an error in the measured gas amount There is a problem that occurs.

본 발명의 목적은 화학약품을 사용하는 장비(들)가 설치되는 장비 설치실의 관심대상 영역들에서 가스가 누설시 누설되는 영역 및 가스의 양을 정확하게 측정하는 가스측정시스템 및 그 제어방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a gas measurement system and a control method for accurately measuring the amount of gas and a leaked area when gas leaks from areas of interest in an equipment installation room where equipment(s) using chemicals are installed. will do

본 발명의 다른 목적은 서로 거리가 다른 관심영역들 중 한 곳의 관심영역에서 공기를 흡입하고 이어 다른 관심영역에서 공기를 흡입할 때 거리차에 의해 발생될 수 있는 압력차를 최소화하여 분석기로 흡입되는 공기의 양을 일정하게 하는 가스측정시스템 및 그 제어방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to minimize the pressure difference that may be caused by the distance difference when air is sucked from one ROI among ROIs having different distances from each other and then sucked air from the other ROI, and then sucked into the analyzer. It is to provide a gas measurement system and a control method therefor that make the amount of air constant.

본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 공통흡입라인; 상기 공통흡입라인에 설정된 간격을 두고 한쪽 단부가 각각 연결되고 타측 단부는 각각 관심 대상 영역들에 위치하는 관심영역흡입관들; 공통버큠라인; 상기 공통버큠라인에 설정된 간격을 두고 각각 한쪽 단부가 연결되고 다른 한쪽 단부가 각각 상기 관심영역흡입관들에 연결되는 분지버큠연결라인들; 상기 공통버큠라인의 중간부분에 한쪽 단부가 연결되는 버큠공급관; 상기 버큠공급관의 다른 한쪽 단부에 연결되어 버큠을 공급하는 버큠공급유닛; 상기 공통흡입라인의 중간 부분에 한쪽 단부가 연결되는 분석기연결관; 상기 분석기연결관의 다른 한쪽 단부에 연결되는 분석기; 상기 관심영역흡입관들에 각각 구비되어 관심영역흡입관을 개폐하는 개폐유닛들을 포함하는 가스측정시스템이 제공된다.In order to achieve the object of the present invention, a common suction line; region of interest suction tubes each having one end connected to the common suction line at a set interval and the other end positioned in regions of interest, respectively; common buffer line; branch buffer connection lines each having one end connected to the common buffer line at a set interval and the other end connected to the region of interest suction pipes, respectively; a buffer supply pipe having one end connected to the middle part of the common buffer line; a vacuum supply unit connected to the other end of the vacuum supply pipe to supply a vacuum; an analyzer connection pipe having one end connected to the middle portion of the common suction line; an analyzer connected to the other end of the analyzer connector; There is provided a gas measurement system including opening/closing units provided in each of the region of interest suction tubes to open and close the region of interest suction tube.

상기 개폐유닛은 솔레노이드밸브를 포함하는 것이 바람직하다.The opening/closing unit preferably includes a solenoid valve.

상기 개폐유닛은 밸브콘과, 상기 밸브콘을 선형적으로 움직여 관심영역흡입관을 개폐하는 리니어모터를 포함할 수도 있다.The opening/closing unit may include a valve cone and a linear motor for opening and closing a suction pipe of a region of interest by linearly moving the valve cone.

상기 분석기연결관에 압력을 감지하는 압력센서가 장착되는 것이 바람직하다.It is preferable that a pressure sensor for sensing pressure is mounted on the analyzer connection tube.

또한, 공통흡입라인; 상기 공통흡입라인에 설정된 간격을 두고 한쪽 단부가 각각 연결되고 타측 단부는 각각 관심 대상 영역들에 위치하는 관심영역흡입관들; 공통버큠라인; 상기 공통버큠라인에 설정된 간격을 두고 각각 한쪽 단부가 연결되고 다른 한쪽 단부가 각각 상기 관심영역흡입관들에 연결되는 분지버큠연결라인들; 상기 공통버큠라인의 중간부분에 한쪽 단부가 연결되는 버큠공급관; 상기 버큠공급관의 다른 한쪽 단부에 연결되어 버큠을 공급하는 버큠공급유닛; 상기 공통흡입라인의 중간 부분에 한쪽 단부가 연결되는 분석기연결관; 상기 분석기연결관의 다른 한쪽 단부에 연결되는 분석기; 상기 관심영역흡입관들에 각각 구비되어 관심영역흡입관을 개폐하는 개폐유닛들을 포함하는 가스측정시스템에서,In addition, a common suction line; region of interest suction tubes each having one end connected to the common suction line at a set interval and the other end positioned in regions of interest, respectively; common buffer line; branch buffer connection lines each having one end connected to the common buffer line at a set interval and the other end connected to the region of interest suction pipes, respectively; a buffer supply pipe having one end connected to the middle part of the common buffer line; a vacuum supply unit connected to the other end of the vacuum supply pipe to supply a vacuum; an analyzer connection pipe having one end connected to the middle portion of the common suction line; an analyzer connected to the other end of the analyzer connector; In the gas measurement system including opening and closing units provided in each of the region of interest suction pipes to open and close the region of interest suction pipe,

상기 관심영역흡입관들 중 임의의 제1 관심영역흡입관에 연결된 개폐유닛을 선형적으로 열면서 최대 오픈한 상태에서 설정된 시간 동안 상기 제1 관심영역흡입관을 통해 관심영역의 공기를 흡입하는 단계; 상기 설정된 시간이 경과된 후, 상기 제1 관심영역흡입관에 연결된 개폐유닛을 선형적으로 닫으면서 동시에 상기 관심영역흡입관들 중 다른 임의의 제2 관심영역흡입관에 연결된 개폐유닛을 선형적으로 열어 상기 제1,2 관심영역흡입관을 통해 각각 다른 관심영역의 공기를 동시에 흡입하는 단계; 상기 제1 관심영역흡입관에 연결된 개폐유닛을 완전 막아 상기 제1 관심영역흡입관으로 관심영역의 공기 흡입을 차단하고, 상기 제2 관심영역흡입관에 연결된 개폐유닛을 최대 오픈한 상태에서 설정된 시간 동안 제2 관심영역흡입관을 통해 관심영역의 공기를 흡입하는 단계를 포함하는 가스측정시스템 제어방법이 제공된다.inhaling air of the region of interest through the first region of interest suction tube for a set period of time in a state in which the opening/closing unit connected to any first region of interest suction tube is linearly opened among the region of interest suction tubes; After the set time has elapsed, the opening/closing unit connected to the first region of interest suction tube is linearly closed and at the same time, the opening/closing unit connected to any other second region of interest suction tube among the region of interest suction tubes is linearly opened to open the second region of interest. 1,2, simultaneously sucking air from different regions of interest through the region of interest suction tube; The opening/closing unit connected to the first region of interest suction pipe is completely blocked to block the air intake of the region of interest through the first region of interest suction pipe, and the opening/closing unit connected to the second region of interest suction pipe is opened to the maximum for a set period of time for a second time. There is provided a gas measurement system control method comprising the step of sucking air in the region of interest through the region of interest suction tube.

본 발명은 장비 설치실의 관심대상영역들에 위치하는 관심영역흡입관들에서 각각 허용오차 범위내에서의 동일한 양의 공기를 순차적으로 흡입하여 분석기로 유입시켜 분석기를 통해 측정하게 되므로 관심대상영역들에서 각각 유해 가스가 발생(존재)하는지를 정확하게 측정하게 된다.The present invention sequentially sucks in the same amount of air within the tolerance range from the area of interest suction pipes located in the areas of interest in the equipment installation room, and introduces it into the analyzer to measure through the analyzer, so that in the areas of interest It will accurately measure whether or not harmful gas is generated (existed) in each.

또한, 본 발명의 제어방법은 관심영역흡입관들의 길이 차이로 인하여 발생될 수 있는 압력 차를 효과적으로 상쇄시켜 길이 차이가 큰 두 개의 관심영역흡입관에서 순차적으로 서로 다른 관심영역의 공기들을 흡입할 때 일정한 양의 공기를 분석기로 유입시켜 측정의 정확도를 높이게 된다.In addition, the control method of the present invention effectively offsets the pressure difference that may occur due to the difference in length of the suction pipes for the area of interest, so that when the two area of interest suction pipes with a large difference in length sequentially inhale the air of different areas of interest, a certain amount of air is introduced into the analyzer to increase the accuracy of the measurement.

도 1은 본 발명에 따른 가스측정시스템의 일실시예를 도시한 배관도,
도 2는 본 발명에 따른 가스측정시스템의 일실시예를 구성하는 분석기연결관에 압력센서가 장착된 상태를 도시한 배관도,
도 3은 본 발명에 따른 가스측정시스템 제어방법의 일실시예를 도시한 순서도.1 is a piping diagram showing an embodiment of a gas measurement system according to the present invention;
2 is a piping diagram showing a state in which a pressure sensor is mounted on an analyzer connection pipe constituting an embodiment of a gas measurement system according to the present invention;
Figure 3 is a flow chart showing an embodiment of the gas measurement system control method according to the present invention.

이하, 본 발명에 따른 가스측정시스템 및 그 제어방법의 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, an embodiment of a gas measurement system and a control method thereof according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 가스측정시스템의 일실시예를 도시한 배관도이다.1 is a piping diagram showing an embodiment of a gas measurement system according to the present invention.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 가스측정시스템의 일실시예는, 공통흡입라인(10), 관심영역흡입관(11)들, 공통버큠라인(20), 분지버큠연결라인(21)들, 버큠공급관(22), 버큠공급유닛(30), 분석기연결관(12), 분석기(40), 개폐유닛(60)들을 포함한다.As shown in FIG. 1 , an embodiment of the gas measurement system according to the present invention includes a common suction line 10 , suction pipes 11 for a region of interest, a common vacuum line 20 , and a branch vacuum connection line 21 . and a vacuum supply pipe 22 , a vacuum supply unit 30 , an analyzer connection pipe 12 , an analyzer 40 , and an opening/closing unit 60 .

공통흡입라인(10)은 설정된 길이를 가지며, 공기가 흡입되어 유동하는 관이다.The common suction line 10 has a set length and is a tube through which air is sucked and flows.

관심영역흡입관(11)들은 공통흡입라인(10)에 설정된 간격을 두고 한쪽 단부가 각각 연결되고 타측 단부는 각각 관심 대상 영역들에 위치한다. 관심영역흡입관(11)들의 각 한쪽 단부는 공통흡입라인(10)에 서로 균일한 간격을 두고 연결되는 것이 바람직하다. 관심영역흡입관(11)들의 각 다른 한쪽 단부는 포트를 포함하게 되며, 그 포트를 통해 관심대상영역의 공기가 흡입된다. 공통흡입라인(10)으로부터 각 관심대상영역들의 거리가 다르기 때문에 관심영역흡입관(11)들은 각 길이가 서로 다르게 되며, 일부는 서로 같을 수도 있다.The region of interest suction tubes 11 are respectively connected to one end at a set interval in the common suction line 10 and the other end is located in the regions of interest, respectively. It is preferable that one end of each of the region of interest suction pipes 11 are connected to the common suction line 10 at a uniform distance from each other. Each other end of the region of interest suction pipe 11 includes a port, and air of the region of interest is sucked through the port. Since the distances of the regions of interest from the common suction line 10 are different, the lengths of the regions of interest suction tubes 11 are different from each other, and some of them may be the same.

공통버큠라인(20)은 설정된 길이를 가지며, 내부로 버큠이 작용하는 관이다.The common buffer line 20 has a set length and is a tube into which a buffer acts.

분지버큠연결라인(21)들의 공통버큠라인(20)에 설정된 간격을 두고 각각 한쪽 단부가 연결되고 다른 한쪽 단부가 각각 관심영역흡입관(11)들에 연결된다. 분지버큠연결라인(21)들의 각 한쪽 단부는 공통버큠라인(20)에 서로 균일한 간격을 두고 연결되는 것이 바람직하다. 분지버큠연결라인(21)들의 길이는 서로 같은 것이 바람직하다. 분지버큠연결라인(21)들에 각각 유량게이지(F)가 연결되고, 분지버큠연결라인(21)들에 각각 체크밸브(70)가 구비된다. 관심영역흡입관(11)들과 분지버큠연결라인(21)들은 일대일 대응되도록 서로 같은 수로 구성됨이 바람직하다. 체크밸브(70)는 분지버큠연결라인(21)과 관심영역흡입관(11)의 연결 지점과 유량게이지(F) 사이에 위치하도록 분지버큠연결라인(21)에 구비된다.One end is connected to the common buffer line 20 of the branch buffer connection lines 21 at a set interval, and the other end is connected to the region of interest suction pipes 11, respectively. It is preferable that one end of each of the branch buffer connection lines 21 is connected to the common buffer line 20 at a uniform distance from each other. The length of the branch buffer connection lines 21 is preferably equal to each other. A flow gauge (F) is connected to each of the branch vacuum connection lines (21), and a check valve (70) is provided in each of the branch vacuum connection lines (21). It is preferable that the region of interest suction pipes 11 and the branch buffer connection lines 21 have the same number so that they correspond one-to-one. The check valve 70 is provided on the branch vacuum connection line 21 so as to be located between the connection point of the branch vacuum connection line 21 and the suction pipe 11 of the region of interest and the flow gauge F.

버큠공급관(22)은 공통버큠라인(20)의 중간부분에 연결된다. 버큠공급관(22)이 공통버큠라인(20)에 연결되되, 공통버큠라인(20)에 연결되는 분지버큠연결라인(21)들의 연결부들 중 중간에 위치하도록 연결되는 것이 바람직하다. 즉, 공통버큠라인(20)에 연결되는 분지버큠연결라인(21)들이 8개 연결된 경우 버큠공급관(22)은 분지버큠연결라인(21)들의 네 번째와 다섯 번째 사이에 위치하도록 공통버큠라인(20)에 연결된다.The vacuum supply pipe 22 is connected to the middle part of the common buffer line 20 . The vacuum supply pipe 22 is connected to the common buffer line 20 , and it is preferable to be connected so as to be located in the middle among the connection parts of the branch vacuum connection lines 21 connected to the common buffer line 20 . That is, when eight branch vacuum connection lines 21 connected to the common vacuum line 20 are connected, the vacuum supply pipe 22 is located between the fourth and fifth of the branch vacuum connection lines 21. 20) is connected.

버큠공급유닛(30)은 버큠공급관(22)의 다른 한쪽 단부에 연결되어 버큠을 발생시켜 버큠을 공급한다.The vacuum supply unit 30 is connected to the other end of the vacuum supply pipe 22 to generate a vacuum to supply the vacuum.

분석기연결관(12)은 공통흡입라인(10)의 중간부분에 연결된다. 분석기연결관(12)은 공통흡입라인(10)에 연결되되, 공통흡입라인(10)에 연결되는 관심영역흡입관(11)들의 연결부들 중 중간에 위치하도록 연결되는 것이 바람직하다. 즉, 공통흡입라인(10)에 연결되는 관심영역흡입관(11)들이 8개 연결된 경우 분석기연결관(12)은 관심영역흡입관(11)들의 네 번째와 다섯 번째 사이에 위치하도록 공통흡입라인(10)에 연결된다. 관심영역흡입관(11)들은 16개 또는 24개가 될 수 있다.The analyzer connection pipe 12 is connected to the middle part of the common suction line 10 . The analyzer connection pipe 12 is connected to the common suction line 10 , and is preferably connected so as to be located in the middle among the connection parts of the region of interest suction pipes 11 connected to the common suction line 10 . That is, when eight suction tubes 11 for the region of interest 11 connected to the common suction line 10 are connected, the analyzer connection tube 12 is located between the fourth and fifth of the suction tubes 11 for the region of interest. ) is connected to The region of interest suction tubes 11 may be 16 or 24.

분석기(Analyzer)(40)는 분석기연결관(12)의 다른 한쪽 단부에 연결되어 분석기연결관(12)을 통해 흡입되는 공기에 섞인 유해 가스를 분석한다. 분석기(40)측에서 공기를 흡입하는 흡입력이 발생시킨다.The analyzer (Analyzer) 40 is connected to the other end of the analyzer connection pipe (12) to analyze the harmful gas mixed in the air sucked through the analyzer connection pipe (12). A suction force for sucking air from the analyzer 40 side is generated.

개폐유닛(60)은 관심영역흡입관(11)들에 각각 구비되며, 관심영역흡입관(11)을 개폐하여 관심영역흡입관(11)으로 공기를 흐르게 하거나 흐르는 것을 차단시킨다. 개폐유닛(60)은 선형적으로 열리면서 관심영역흡입관(11)을 점차적으로 열거나 선형적으로 닫히면서 관심영역흡입관(11)을 점차적으로 닫는 것이 바람직하다. 개폐유닛(60)은 관심영역흡입관(11)과 분지버큠연결라인(21)의 연결지점과 공통흡입라인(10)과 관심영역흡입관(11)의 연결지점 사이에 위치하도록 관심영역흡입관(11)에 연결된다. The opening/closing unit 60 is provided in each of the region of interest suction pipes 11 , and opens and closes the region of interest suction pipe 11 to allow or block the flow of air into the region of interest suction pipe 11 . It is preferable that the opening/closing unit 60 gradually opens the region of interest suction pipe 11 while linearly opening or closes the region of interest suction pipe 11 while linearly closing. The opening/closing unit 60 is located between the connection point of the region of interest suction pipe 11 and the branch vacuum connection line 21 and the connection point of the common suction line 10 and the region of interest suction pipe 11. is connected to

개폐유닛(60)의 일예로, 개폐유닛(60)은 솔레노이드밸브를 포함한다. 개폐유닛(60)의 다른 일예로, 개폐유닛(60)은 밸브콘과, 그 밸브콘을 선형적으로 움직여 관심영역흡입관(11)을 개폐하는 리니어모터를 포함한다. 도 2에 도시한 바와 같이, 분석기연결관(12)에 압력을 감지하는 압력센서(S)가 장착되는 것이 바람직하다.As an example of the opening/closing unit 60, the opening/closing unit 60 includes a solenoid valve. As another example of the opening/closing unit 60 , the opening/closing unit 60 includes a valve cone and a linear motor that linearly moves the valve cone to open and close the suction pipe 11 in the region of interest. As shown in Figure 2, it is preferable that the pressure sensor (S) for sensing the pressure in the analyzer connection pipe (12) is mounted.

공통흡입라인(10)에 오염된 라인을 클리닝시키는 퍼지유닛(80)이 연결되는 것이 바람직하다. 퍼지유닛(80)의 일예로, 퍼지유닛(80)은 양단이 각각 공통흡입라인(10)에 연결되는 퍼지라인(81)과, 그 퍼지라인(81)에 한쪽 단부가 연결되는 퍼지공급관(82)과, 그 퍼지공급관(82)의 다른 한쪽 단부에 연결되어 가압공기를 공급하는 고압공기공급유닛(83)과, 퍼지공급관(82)에 연결되는 퍼지개폐유닛(84)을 포함하는 것이 바람직하다. 퍼지라인(81)의 양단은 공통흡입라인(10)의 양단에 각각 연결되는 것이 바람직하다. 퍼지유닛(80)은 유해가스가 측정된 관심영역흡입관(11)의 개폐유닛(60)을 닫은 상태에서 퍼지공급관(82)의 퍼지개폐유닛(84)을 열게 되면 고압공기가 퍼지공급관(82)과 퍼지라인(81)을 통해 분석기연결관(12) 쪽으로 배출되면서 유해가스가 유입된 관심영역흡입관(11)광 공통흡입관(10)의 유해가스를 배출시키게 된다.It is preferable that the purge unit 80 for cleaning the contaminated line is connected to the common suction line 10 . As an example of the purge unit 80 , the purge unit 80 includes a purge line 81 having both ends connected to the common suction line 10 , and a purge supply pipe 82 having one end connected to the purge line 81 . ), a high-pressure air supply unit 83 connected to the other end of the purge supply pipe 82 to supply pressurized air, and a purge opening/closing unit 84 connected to the purge supply pipe 82. . Both ends of the purge line 81 are preferably connected to both ends of the common suction line 10 , respectively. When the purge unit 80 opens the purge opening/closing unit 84 of the purge supply pipe 82 in a state in which the opening/closing unit 60 of the suction pipe 11 of the region of interest in which the harmful gas is measured is closed, the high-pressure air is discharged into the purge supply pipe 82. As it is discharged toward the analyzer connection pipe 12 through the and purge line 81, the harmful gas of the region of interest suction pipe 11 and the common suction pipe 10 into which the noxious gas is introduced is discharged.

도 3은 본 발명에 따른 가스측정시스템 제어방법의 일실시예를 도시한 순서도이다.3 is a flowchart illustrating an embodiment of a gas measurement system control method according to the present invention.

도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 가스측정시스템 제어방법의 일실시예는, 먼저, 가스측정시스템에서 관심영역흡입관(11)들 중 임의의 제1 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 선형적으로 열면서 최대 오픈한 상태에서 설정된 시간 동안 제1 관심영역흡입관(11)을 통해 관심영역의 공기를 흡입하는 단계(S10)가 진행된다. 가스측정시스템은 공통흡입라인(10), 관심영역흡입관(11)들, 공통버큠라인(20), 분지버큠연결라인(21)들, 버큠공급관(22), 버큠공급유닛(30), 분석기연결관(12), 분석기(40), 개폐유닛(60)들을 포함하며, 위에서 설명한 가스측정시스템과 같다.As shown in Figure 3, an embodiment of the gas measurement system control method according to the present invention, first, in the gas measurement system, open and close connected to any first ROI suction pipe 11 among the ROI suction pipes 11 A step (S10) of sucking air in the region of interest through the first region of interest suction pipe 11 for a set time in a state in which the unit 60 is opened linearly is maximally opened (S10). The gas measurement system includes a common suction line 10, a suction pipe 11 for the region of interest, a common vacuum line 20, branch vacuum connection lines 21, a vacuum supply pipe 22, a vacuum supply unit 30, and an analyzer connection. It includes the tube 12 , the analyzer 40 , and the opening/closing units 60 , and is the same as the gas measurement system described above.

설정된 시간이 경과된 후, 제1 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 선형적으로 닫는 시간과 관심영역흡입관(11)들 중 다른 임의의 제2 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 선형적으로 여는 시간을 서로 교차시켜 제1,2 관심영역흡입관(11)을 통해 각각 다른 관심영역의 공기를 동시에 흡입하는 단계(S20)가 진행된다. 즉, 설정된 시간이 경과된 후, 제1 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 선형적으로 닫으면서 이어 관심영역흡입관(11)들 중 다른 임의의 제2 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 선형적으로 열여 제1,2 관심영역흡입관(60)을 통해 각각 다른 관심영역의 공기를 동시에 흡입하거나, 또는 제2 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 선형적으로 열면서 이어 제1 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 선형적으로 닫아 제1,2 관심영역흡입관(60)을 통해 각각 다른 관심영역의 공기를 동시에 흡입하거나, 제1 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 선형적으로 닫기 시작함과 동시에 제2 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 선형적으로 열기 시작하여 제1,2 관심영역흡입관(60)을 통해 각각 다른 관심영역의 공기를 동시에 흡입한다. 바람직하게는, 제1 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 선형적으로 닫기 시작함과 동시에 제2 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 선형적으로 열기 시작하여 제1,2 관심영역흡입관(60)을 통해 각각 다른 관심영역의 공기를 동시에 흡입한다.After the set time has elapsed, the time for linearly closing the opening/closing unit 60 connected to the first region of interest suction pipe 11 and the second region of interest suction pipe 11 connected to any other of the region of interest suction pipes 11 A step (S20) of simultaneously inhaling air of different regions of interest through the first and second region of interest suction pipes 11 by linearly crossing the opening and closing times of the opening/closing unit 60 is performed (S20). That is, after the set time has elapsed, the opening/closing unit 60 connected to the first region of interest suction tube 11 is linearly closed and then any second region of interest suction tube 11 among the region of interest suction tubes 11 is linearly closed. The opening/closing unit 60 connected to the . ) linearly and then linearly close the opening/closing unit 60 connected to the first region of interest suction pipe 11 to suck in air from different regions of interest through the first and second region of interest suction pipes 60 at the same time, or , at the same time starting to linearly close the opening/closing unit 60 connected to the first region of interest suction pipe 11, and at the same time starting to linearly open the opening/closing unit 60 connected to the second region of interest suction pipe 11, the first, 2 The air of different regions of interest is simultaneously sucked through the region of interest suction pipe 60 . Preferably, the opening/closing unit 60 connected to the first region of interest suction pipe 11 starts to close linearly and at the same time as the opening/closing unit 60 connected to the second region of interest suction pipe 11 starts to open linearly, Air of different regions of interest is simultaneously sucked through the first and second region of interest suction pipes 60 .

제1 관심영역흡입관(11)의 길이와 제2 관심영역흡입관(11)의 길이가 서로 다르다. 제1 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 선형적으로 닫는 속도와 제2 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 선형적으로 여는 속도를 다르게 하는 것이 바람직하다. The length of the first region of interest suction tube 11 and the length of the second region of interest suction tube 11 are different from each other. Preferably, the speed of linearly closing the opening/closing unit 60 connected to the first region of interest suction pipe 11 and the speed of linearly opening the opening/closing unit 60 connected to the second region of interest suction pipe 11 are different.

그리고, 제1 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 완전 막아 제1 관심영역흡입관(11)으로 관심영역의 공기 흡입을 차단하고, 제2 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 최대 오픈한 상태에서 설정된 시간 동안 제2 관심영역흡입관(11)을 통해 관심영역의 공기를 흡입하는 단계가 진행된다.Then, the opening/closing unit 60 connected to the first region of interest suction pipe 11 is completely blocked to block the air intake of the region of interest through the first region of interest suction pipe 11, and the opening/closing unit connected to the second region of interest suction pipe 11 The step of sucking the air of the region of interest through the second region of interest suction pipe 11 for a set period of time in a state in which (60) is maximally opened is performed.

이하, 본 발명에 따른 가스측정시스템 및 그 제어방법의 작용과 효과를 설명한다.Hereinafter, the operation and effect of the gas measuring system and its control method according to the present invention will be described.

화학약품이 사용되는 장비가 설치된 장비 설치실의 관심영역들에 관심영역흡입관(11)들의 각 단부인 포트들이 각각 위치한다. 버큠공급유닛(30)에서 버큠이 작용(공급)한 상태에서 관심영역흡입관(11)들의 각 포트들에서 각각 순차적으로 관심영역들의 공기를 흡입하도록 관심영역흡입관(11)들에 각각 구비된 개폐유닛(60)를 설정된 시간에 따라서 순차적으로 개폐하게 된다.Ports, which are respective ends of the region of interest suction pipes 11, are respectively located in regions of interest in the equipment installation room where the chemical equipment is installed. In a state in which the vacuum supply unit 30 operates (supplying) the vacuum supply unit 30, each port of the region of interest suction tubes 11 sequentially sucks the air of the regions of interest. (60) is opened and closed sequentially according to the set time.

예를 들면, 관심영역들이 8곳이고 그 8곳의 관심영역들에 각각 관심영역흡입관(11)들의 포트가 위치하고 그 관심영역흡입관(11)을 제1,2,3,4,5,6,7,8이라 할 때, 먼저 제1 관심영역흡입관(11)에 구비된 개폐유닛(60)을 일정 시간 열게 되면 버큠공급유닛(30)에서 발생되는 버큠이 버큠공급관(22) - 공통버큠라인(20) - 분지버큠연결라인(21) - 제1 관심영역흡입관(11)을 통해 작용하여 제1 관심영역흡입관(11)의 포트 주변의 관심영역(제1 관심영역)의 공기가 흡입된다. 제1 관심영역흡입관(11)의 포트를 통해 흡입되는 관심영역의 공기가 제1 관심영역흡입관(11)- 공통흡입라인(10) - 분석기연결관(12)을 통해 분석기측의 흡입력에 의해 분석기(40)로 유입된다. 분석기(40)로 유입된 공기를 분석기(40)를 통해 분석되어 그 공기 중에 유해가스가 포함되어 있는지를 분석하게 된다. 그리고 설정된 시간이 지난 후 제1 관심영역흡입관(11)에 구비된 개폐밸브(60)를 닫고 제2 관심영역흡입관(11)에 구비된 개폐유닛(60)을 설정된 시간 동안 열어 위와 같은 과정으로 제2 관심영역흡입관(11)의 포트를 통해 관심영역(제2 관심영역)의 공기를 분석하게 된다. 위와 같은 과정으로 8곳의 관심영역들의 공기를 분석하게 된다.For example, there are eight regions of interest, and ports of the region of interest suction tubes 11 are located in each of the eight regions of interest, and the region of interest suction tube 11 is connected to the first, second, 3, 4, 5, 6, 7 and 8, when the opening/closing unit 60 provided in the first region of interest suction pipe 11 is opened for a certain period of time, the vacuum supply pipe 22 generated from the vacuum supply unit 30 - common buffer line ( 20) - Branch vacuum connection line 21 - Acts through the first region of interest suction pipe 11 to suck air in the region of interest (the first region of interest) around the port of the first region of interest suction pipe 11 . The air of the region of interest sucked through the port of the first region of interest suction pipe 11 is transferred to the analyzer by the suction force on the side of the analyzer through the first region of interest suction pipe 11 - the common suction line 10 - the analyzer connection tube 12. (40) is introduced. The air introduced into the analyzer 40 is analyzed through the analyzer 40 to analyze whether harmful gas is contained in the air. Then, after a set time has elapsed, the opening/closing valve 60 provided in the first region of interest suction pipe 11 is closed and the opening/closing unit 60 provided in the second region of interest suction pipe 11 is opened for a set time, followed by the above process. 2 The air in the region of interest (the second region of interest) is analyzed through the port of the region of interest suction pipe 11 . Through the above process, the air of eight areas of interest is analyzed.

한편, 제1 관심영역흡입관(11)의 길이가 제2 관심영역흡입관(11)의 길이보다 길어 차이가 클 경우 제1 관심영역흡입관(11)의 개폐유닛(60)과 제2 관심영역흡입관(11)의 개폐유닛(60)을 개폐할 때, 먼저 제1 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 선형적으로 열면서 최대 오픈한 상태에서 설정된 시간(약 60초) 동안 제1 관심영역흡입관(11)을 통해 제1 관심영역의 공기를 흡입하여 분석기(40)로 유입시킨다. 그리고 설정된 시간이 경과된 후, 제1 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 선형적으로 닫기 시작함과 동시에 제2 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 선형적으로 열기 시작하여 제1,2 관심영역흡입관(11)을 통해 각각 다른 제1,2 관심영역의 공기를 동시에 흡입하는 교차전환과정을 가지면서 제1 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 완전 막아 제1 관심영역흡입관(11)으로 제1 관심영역의 공기 흡입을 차단하고, 제2 관심영역흡입관(11)에 연결된 개폐유닛(60)을 최대 오픈한 상태에서 설정된 시간 동안 제2 관심영역흡입관(11)을 통해 제2 관심영역의 공기를 흡입한다. 이로 인하여, 제1,2 관심영역흡입관(11)들이 한 개의 버큠공급유닛(30)에 의해 버큠이 작용하게 되어 제1,2 관심영역흡입관(11)들에 작용하는 압력은 동일하나 제1 관심영역흡입관(11)과 제2 관심영역흡입관(11)의 길이 차이로 제1 관심영역흡입관(11)을 통해 제1 관심영역의 공기를 설정된 시간 동안 흡입하고 이어 제2 관심영역흡입관(11)을 통해 제2 관심영역의 공기를 흡입하는 과정에서 일시적으로 발생될 수 있는 급격한 압력 차를 상쇄시키게 된다. 교차전환과정에서 분석기연결관에 연결된 압력센서(S)에 의해 감지되는 압력에 의해 제1,2 관심영역흡입관(11)에 각각 연결된 개폐유닛(60)들의 열고 닫음 정도를 조절한다. 나머지 제3,4,5,6,7,8 관심영역흡입관들도 길이에 따라 개폐유닛들을 교차전환한다.On the other hand, when the length of the first region of interest suction tube 11 is longer than the length of the second region of interest suction tube 11 and the difference is large, the opening/closing unit 60 of the first region of interest suction tube 11 and the second region of interest suction tube ( When opening and closing the opening/closing unit 60 of 11), first, the opening/closing unit 60 connected to the first region of interest suction pipe 11 is linearly opened and the first for a set time (about 60 seconds) in the maximum open state. Air of the first region of interest is sucked through the region of interest suction pipe 11 and introduced into the analyzer 40 . And after the set time has elapsed, the opening/closing unit 60 connected to the first region of interest suction pipe 11 starts to close linearly, and at the same time, the opening/closing unit 60 connected to the second region of interest suction pipe 11 is linearly closed. The opening/closing unit 60 connected to the first region of interest suction pipe 11 while having a cross-switching process of simultaneously inhaling air of different first and second regions of interest through the first and second region of interest suction pipe 11 ) to completely block the air intake of the first region of interest through the first region of interest suction pipe 11, and the second region of interest for a set period of time with the opening/closing unit 60 connected to the second region of interest suction pipe 11 fully opened. Air of the second region of interest is sucked through the region of interest suction pipe 11 . For this reason, the first and second region of interest suction pipes 11 are operated by a single buffer supply unit 30, so that the pressure acting on the first and second region of interest suction pipes 11 is the same, but the first interest Due to the difference in length between the area suction tube 11 and the second area of interest suction tube 11, the air of the first area of interest is sucked through the first area of interest suction tube 11 for a set time, and then the second area of interest suction tube 11 is drawn. The sudden pressure difference that may be temporarily generated in the process of sucking the air of the second region of interest through this process is canceled. The degree of opening/closing of the opening/closing units 60 connected to the first and second region of interest suction tubes 11, respectively, is controlled by the pressure sensed by the pressure sensor S connected to the analyzer connection tube in the cross-switching process. The remaining 3, 4, 5, 6, 7, and 8 ROI suction pipes also cross-switch the opening/closing units according to their length.

분석기(40)는 일정한 압력으로 일정한 공기가 흡입될 때 공기중의 분자 농도를 정확히 파악할 수 있으나 압력과 유량이 일정하지 않을 경우 분석기(40)는 정상적으로 가동이 안되며 분석기(40)가 정지(Down)된다. 위와 같은 제어방법은 이러한 문제점을 해소하여 관심영역들의 공기를 분석기가 허용하는 압력이내에서 순차적으로 일정 압력으로 분석기에 공급하게 된다.The analyzer 40 can accurately determine the concentration of molecules in the air when constant air is sucked at a constant pressure, but when the pressure and flow rate are not constant, the analyzer 40 does not operate normally and the analyzer 40 stops. do. The above control method solves this problem and sequentially supplies air from the regions of interest to the analyzer at a constant pressure within the pressure allowed by the analyzer.

버큠공급유닛(30)과 연결되는 버큠공급관(22)이 분지버큠연결라인(21)들이 연결된 공통버큠라인(20)의 중간 부분에 연결되어 분지버큠연결라인(21)들에 균일한 버큠이 작용하게 되고, 또한 분석기연결관(12)이 관심영역흡입관(11)들이 연결된 공통흡입라인(10)의 중간 부분에 연결되어 관심영역흡입관(11)들에서 각각 균일한 압력으로 공기가 흡입되어 분석기(40)로 유입된다. 이로 인하여, 각 관심영역에서 분석기(40)로 흡입되는 공기의 양이 균일하게 되어 측정이 정확하게 된다.The vacuum supply pipe 22 connected to the vacuum supply unit 30 is connected to the middle part of the common vacuum line 20 to which the branched vacuum connection lines 21 are connected, so that the branched vacuum connection lines 21 have a uniform holding action. In addition, the analyzer connection tube 12 is connected to the middle part of the common suction line 10 to which the region of interest suction tubes 11 are connected, so that air is sucked at a uniform pressure from the region of interest suction tubes 11, respectively, and the analyzer ( 40) is introduced. Due to this, the amount of air sucked into the analyzer 40 in each region of interest becomes uniform, so that the measurement is accurate.

한편, 제3 관심영역에서 유해가스가 발생되어 분석기(40)에 의해 유해가스를 측정하게 되면 알람을 발생시켜 관리자로 하여금 조치를 취하도록 한다. 그리고 퍼지유닛(80)을 작동시켜 제3관심영역흡입관(11) 및 기타 유로를 정화하게 된다.Meanwhile, when noxious gas is generated in the third region of interest and the noxious gas is measured by the analyzer 40, an alarm is generated so that the manager can take action. Then, the purge unit 80 is operated to purify the third area of interest suction pipe 11 and other flow paths.

이와 같이, 본 발명은 장비 설치실의 관심대상영역들에 위치하는 관심영역흡입관(11)들에서 각각 허용오차 범위내에서의 동일한 양의 공기를 순차적으로 흡입하여 분석기(40)로 유입시켜 분석기(40)를 통해 측정하게 되므로 관심대상영역들에서 각각 유해 가스가 발생(존재)하는지를 정확하게 측정하게 된다.As described above, the present invention sequentially inhales the same amount of air within a tolerance range from the region of interest suction pipes 11 located in the regions of interest in the equipment installation room, and introduces it into the analyzer 40 to the analyzer ( 40), so it is accurately measured whether harmful gas is generated (exists) in each of the areas of interest.

또한, 본 발명의 제어방법은 관심영역흡입관(11)들의 길이 차이로 인하여 발생될 수 있는 압력 차를 효과적으로 상쇄시켜 길이 차이가 큰 두 개의 관심영역흡입관(11)에서 순차적으로 서로 다른 관심영역의 공기들을 흡입할 때 일정한 양의 공기를 분석기로 유입시켜 측정의 정확도를 높이게 된다.In addition, the control method of the present invention effectively offsets the pressure difference that may be generated due to the difference in length of the region of interest suction pipes 11, so that the two regions of interest suction pipes 11 having a large length difference sequentially control the air in different regions of interest. When inhaling air, a certain amount of air is introduced into the analyzer to increase the accuracy of the measurement.

10; 공통흡입라인 11; 관심영역흡입관
12; 분석기연결관 13; 완충연결라인
20; 공통버큠라인 21; 분지버큠연결라인
22; 버큠공급관 30; 버큠공급유닛
40; 분석기 60; 개폐유닛10; common suction line 11; area of interest suction tube
12; analyzer connector 13; buffer connection line
20; common buffer line 21; Branch vacuum connection line
22; vacuum supply pipe 30; vacuum supply unit
40; analyzer 60; opening/closing unit

Claims (7)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 공통흡입라인; 상기 공통흡입라인에 설정된 간격을 두고 한쪽 단부가 각각 연결되고 타측 단부는 각각 관심 대상 영역들에 위치하는 관심영역흡입관들; 공통버큠라인; 상기 공통버큠라인에 설정된 간격을 두고 각각 한쪽 단부가 연결되고 다른 한쪽 단부가 각각 상기 관심영역흡입관들에 연결되는 분지버큠연결라인들; 상기 공통버큠라인의 중간부분에 한쪽 단부가 연결되는 버큠공급관; 상기 버큠공급관의 다른 한쪽 단부에 연결되어 버큠을 공급하는 버큠공급유닛; 상기 공통흡입라인의 중간 부분에 한쪽 단부가 연결되는 분석기연결관; 상기 분석기연결관의 다른 한쪽 단부에 연결되는 분석기; 상기 관심영역흡입관들에 각각 구비되어 관심영역흡입관을 개폐하는 개폐유닛들을 포함하는 가스측정시스템에서,
상기 관심영역흡입관들 중 임의의 제1 관심영역흡입관에 연결된 개폐유닛을 선형적으로 열면서 최대 오픈한 상태에서 설정된 시간 동안 상기 제1 관심영역흡입관을 통해 관심영역의 공기를 흡입하는 단계;
상기 제1 관심영역흡입관에 연결된 개폐유닛을 선형적으로 닫는 시간과 상기 관심영역흡입관들 중 상기 제1 관심영역흡입관과 길이가 다른 임의의 제2 관심영역흡입관에 연결된 개폐유닛을 선형적으로 여는 시간을 서로 교차시켜 상기 제1,2 관심영역흡입관을 통해 각각 다른 관심영역의 공기를 동시에 흡입하는 단계;
상기 제1 관심영역흡입관에 연결된 개폐유닛을 완전히 막아 상기 제1 관심영역흡입관으로 관심영역의 공기 흡입을 차단하고, 상기 제2 관심영역흡입관에 연결된 개폐유닛을 최대 오픈한 상태에서 설정된 시간 동안 제2 관심영역흡입관을 통해 관심영역의 공기를 흡입하는 단계를 포함하며,
상기 제1 관심영역흡입관에 연결된 개폐유닛을 선형적으로 닫기 시작함과 동시에 상기 제2 관심영역흡입관에 연결된 개폐유닛을 선형적으로 열기 시작하여 상기 제1,2 관심영역흡입관을 통해 각각 다른 관심영역의 공기를 동시에 흡입하며,
상기 제1 관심영역흡입관에 연결된 개폐유닛을 선형적으로 닫는 속도와 상기 제2 관심영역흡입관에 연결된 개폐유닛을 선형적으로 여는 속도를 다르게 하는 것을 특징으로 하는 가스측정시스템 제어방법.common suction line; region of interest suction tubes each having one end connected to the common suction line at a set interval and the other end positioned in regions of interest, respectively; common buffer line; branch buffer connection lines each having one end connected to the common buffer line at a set interval and the other end connected to the region of interest suction pipes, respectively; a buffer supply pipe having one end connected to the middle part of the common buffer line; a vacuum supply unit connected to the other end of the vacuum supply pipe to supply a vacuum; an analyzer connection pipe having one end connected to the middle part of the common suction line; an analyzer connected to the other end of the analyzer connector; In a gas measurement system including opening and closing units provided in each of the region of interest suction pipes to open and close the region of interest suction pipe,
inhaling air of the region of interest through the first region of interest suction tube for a set period of time while linearly opening an opening/closing unit connected to any first region of interest suction tube among the region of interest suction tubes;
Time to linearly close the opening/closing unit connected to the first region of interest suction tube and time to linearly open the opening/closing unit connected to any second region of interest suction tube having a different length from the first region of interest suction tube among the region of interest suction tubes simultaneously sucking air from different regions of interest through the first and second region of interest suction pipes by crossing them;
The opening/closing unit connected to the first region of interest suction tube is completely blocked to block the air intake of the region of interest through the first region of interest suction tube, and the opening/closing unit connected to the second region of interest suction tube is maximally opened for a set period of time. Including the step of sucking air in the region of interest through the region of interest suction tube,
The opening/closing unit connected to the first region of interest suction tube starts to close linearly and at the same time the opening/closing unit connected to the second region of interest suction tube begins to open linearly, and through the first and second region of interest suction tube, the opening/closing unit connected to the second region of interest suction tube starts to be opened. simultaneously inhaling the air of
A gas measurement system control method, characterized in that the speed of linearly closing the opening/closing unit connected to the first region of interest suction pipe and the linear opening speed of the opening/closing unit connected to the second region of interest suction pipe are different. 삭제delete 삭제delete
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KR100812663B1 (en) * 2007-06-08 2008-03-14 (주) 에이스엔 Apparatus for sampling odors and voc using a adsorbent tube
KR20190018889A (en) * 2017-08-16 2019-02-26 함동석 Gas Sampler and Gas leakage Detection Device having the Same

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