KR102237047B1 - 밸브 장치 및 유체제어장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 소형화됨과 아울러, 굽힘 모멘트에 대한 내력이 개선한 밸브 장치를 제공한다. [해결수단] 블록형의 밸브 보디(30)와, 유로를 개폐하는 밸브 본체를 구동하는 구동기구를 내장함과 아울러 밸브 보디(30)에 접속되어서 해당 밸브 보디(30)의 상면(30t)으로부터 상방을 향해서 연장하는 통형상의 케이싱(11)과, 통형상의 케이싱(11)과 밸브 보디(30)에 접촉하고, 케이싱(10)에 외력으로서 굽힘 모멘트가 작용했을 때의 케이싱(10)의 근원부분에 위치하는 케이싱 부재(12)와 밸브 보디(30)와의 사이에 생기는 응력집중을 억제하기 위한 보호 부재(50)를 갖는다.

Description

밸브 장치 및 유체제어장치

본 발명은, 밸브 장치 및 이 밸브 장치를 포함하는 유체기기가 집적화된 유체제어장치에 관한 것이다.

예를 들면, 반도체 제조 장치등의 챔버에 각종의 프로세스 가스를 공급하기 위해서 사용되는 유체제어장치로서는, 하기의 인용 문헌1등에 개시된 것이 알려져 있다.

특허문헌1: 일본 특허공개2015-175502호 공보

상기와 같은 유체제어장치의 분야에 있어서는, 프로세스 가스의 공급 제어에 의해 높은 응답성이 요청되고 있고, 이를 위해서는 유체제어장치를 될 수 있는 한 소형화, 집적화하고, 유체의 공급처인 챔버에 보다 가깝게 설치할 필요가 있다.

또한, 반도체 웨이퍼의 대구경화 등의 처리 대상물의 대형화가 진행되고 있고, 이것에 맞춰서 유체제어장치로부터 챔버내에 공급하는 유체의 공급 유량도 증가 혹은 유지시킬 필요가 있다.

이 때문에, 상기와 같은 유체제어장치에 사용하는 밸브 장치에서는, 블록형의 밸브 보디의 치수나, 밸브 보디 위에 설치되는 밸브 본체를 구동하는 구동기구를 내장하는 케이싱의 외경이 점점 축소되어 있다. 한편으로, 유량을 확보하기 위해서는, 밸브를 개폐할 때의 다이어프램 등의 밸브 본체의 리프트량을 확보할 필요등의 이유로부터, 밸브 장치는 전체적으로 가늘고 길어진다.

밸브 장치가 소형화되어서 상대적으로 가늘고 길어지면, 오퍼레이터의 접촉등에 의해 밸브 장치에 굽힘 모멘트가 작용했을 때에, 밸브 보디와 케이싱과의 접속부에 집중하는 응력이 과대가 되기 쉽다고 하는 문제가 있다.

본 발명의 하나의 목적은, 소형화됨과 아울러, 굽힘 모멘트에 대한 내력이 개선한 밸브 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 다른 목적은, 상기한 밸브 장치를 포함하는 소형화, 집적화된 유체제어장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 밸브 장치는, 대향하는 저면 및 상면을 획정함과 아울러 유체유로를 획정하는 블록형의 밸브 보디와, 상기 유체유로를 개폐가능하게 설치된 다이어프램과,

상기 다이어프램을 구동하는 구동기구를 내장하고, 상기 밸브 보디에 접속되어서 해당 밸브 보디의 상면으로부터 상방을 향해서 연장하는 외주에 나사부가 형성된 통형상의 케이싱을 갖고, 상기 케이싱은, 상기 밸브 보디에 형성된 나사 구멍에 나사 결합하는 것에 의해, 상기 밸브 보디에 접속되고, 또한 상기 케이싱의 하단부가 상기 다이어프램의 외주연부를 누르는 것으로, 상기 다이어프램이 상기 밸브 보디에 고정되고,

상기 케이싱과 상기 밸브 보디에 접촉하여, 상기 케이싱에 외력으로서 굽힘 모멘트가 작용했을 때의 상기 케이싱의 근원부분과 상기 밸브 보디와의 사이에 생기는 응력집중을 억제하기 위해, 상기 케이싱의 근원부분의 외주에 고정되면서 상기 밸브 보디의 상면에 접촉하는 접촉 단면을 가지는 보호 부재를 갖는 것을 특징으로 한다.

적합하게는, 상기 보호 부재는, 상기 케이싱의 근원부분의 외주에 고정되는 환형부재를 갖고,

상기 환형부재는, 상기 케이싱의 근원부분의 외주에 고정되면서 상기 밸브 보디의 상면에 접촉하는 접촉 단면을 갖는, 구성을 채용할 수 있다.

더욱 적합하게는, 상기 케이싱의 외주에는 나사부가 형성되고,

상기 케이싱은, 상기 밸브 보디에 형성된 나사 구멍에 나사 결합함에 의해, 상기 밸브 보디에 접속되고,

상기 환형부재는, 상기 케이싱의 나사부에 나사 결합하는, 구성을 채용할 수 있다.

대체적으로는, 상기 보호 부재는, 상기 접속부에 인접하는 상기 케이싱의 근원부분의 외주에 끼워 맞추는 끼워맞춤부와, 상기 밸브 보디의 상면에 고정가능한 고정부를 갖는, 구성을 채용할 수 있다.

본 발명의 유체제어장치는, 상류측으로부터 하류측을 향해서 복수의 유체기기가 배열된 유체제어장치이며,

상기 복수의 유체기기는, 상기 구성의 밸브 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 케이싱과 밸브 보디와의 사이에 보호 부재를 설치함으로써, 소형화되어서 상대적으로 가늘고 길게 구성되는 밸브 장치의 굽힘 모멘트에 대한 내력을 향상시킬 수 있다.

[도1a] 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 장치의 정면도.
[도1b] 도1a의 밸브 장치의 평면도.
[도1c] 도1a의 밸브 장치의 저면도.
[도1d] 도1a의 유체제어장치의 일부를 추출한 조립체의 외관사시도.
[도2] 도1a의 밸브 장치로부터 보호 부재를 뗀 상태의 도.
[도3a] 본 발명의 일 실시예에 따른 보호 부재의 평면도.
[도3b] 도3a의 3C-3C선의 단면도
[도4] 보호 부재의 작용을 설명하기 위한 주요부 확대도.
[도5] 보호 부재의 부착 공정에 대해서 도시한 도면.
[도6] 보호 부재의 부착 공정에 대해서 도시한 도면.
[도7a] 지그의 사시도.
[도7b] 도7a의 지그의 평면도.
[도7c] 도7a의 지그의 정면도.
[도8] 본 발명의 다른 실시예에 따른 밸브 장치의 단면을 포함하는 정면도.
[도9a] 본 발명의 다른 실시예에 따른 보호 부재의 평면도.
[도9b] 도9a의 6B-6B선의 단면도.
[도10] 본 발명이 적용되는 유체제어장치의 일례를 도시하는 사시도.

이하, 본 발명의 실시예에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.

우선, 도10을 참조하여, 본 발명이 적용되는 유체제어장치의 일례를 설명한다.

도10에 도시하는 유체제어장치는, 금속제의 베이스 플레이트BS 위에는, 폭방향Wl, W2를 따라 배열되어 길이 방향Gl, G2에 연장되는 5본의 레일 부재(500)가 설치된다. 또한, Wl은 정면측, W2는 배면측, Gl은 상류측, G2는 하류측의 방향을 도시하고 있다. 각 레일 부재(500)에는, 복수의 유로 블록(200)을 통해 각종 유체기기(110A∼110E)가 설치되고, 복수의 유로 블록(200)에 의해, 상류측으로부터 하류측을 향해서 유체가 유통하는 도시하지 않는 유로가 각각 형성되어 있다.

여기에서, 「유체기기」란, 유체의 흐름을 제어하는 유체제어장치에 사용되는 기기이며, 유체유로를 획정하는 보디를 구비하고, 이 보디의 표면에서 개구하는 적어도 2개의 유로구를 갖는 기기다. 구체적으로는, 개폐 밸브(2방향 밸브)(110A), 레귤레이터(110B), 프레셔 게이지(110C), 개폐 밸브(3방향 밸브)(110D), 매스플로우 콘트롤러(110E)등이 포함되지만, 이것들에 한정되는 것은 아니다. 또한, 도입 관(310)은, 상기한 도시하지 않는 유로의 상류측의 유로구에 접속되어 있다.

유체기기를 소형화, 집적화해 가면, 도10으로부터 알 수 있듯이, 전체적으로 가늘고 길게 형성된다.

본 발명은, 상기한 개폐 밸브(110A, 110D), 레귤레이터(110B)등의 여러 가지의 밸브 장치에 적용가능하지만, 본 실시예에서는, 개폐 밸브에 적용할 경우를 예로 들어서 설명한다.

도1a∼도1d는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 장치를 도시한 도면, 도2는 도1a의 밸브 장치로부터 보호 부재를 뗀 상태의 도, 도3a, 3b는 보호 부재의 구조를 도시한 도면, 도4는 보호 부재의 작용을 설명하기 위한 도다.

밸브 장치(1)은, 케이싱(10)과, 밸브 보디(30)와, 보호 부재(50)를 가진다. 또한, 도중의 화살표Al, A2는 상하 방향이며 Al이 상방향, A2가 하방향을 나타내는 것으로 한다. 화살표Bl, B2는, 밸브 장치(1)의 밸브 보디(30)의 길이 방향이며, Bl이 일단측, B2가 타단측을 나타내는 것으로 한다. Cl, C2는, 밸브 보디(30)의 길이 방향Bl, B2에 직교하는 폭방향을 나타내고, Cl이 전면측, C2가 배면측을 나타내는 것으로 한다.

밸브 보디(30)는, 블록형으로 형성되고, 그 저면(30b)에서 개구하는 가스 등의 유로(31, 32)를 획정하고 있다. 유로(31, 32)의 저면(30b)에 있어서의 개구의 주위에는, 도시하지 않는 씰 부재를 보유하는 오목형의 보유부(31a, 32a)가 형성되어 있다. 유로(31, 32)는, 밸브 보디(30)의 상측부에 형성된 밸브실에서 서로 연통하고 있다.

도1a, 1b에 도시한 바와 같이, 밸브 보디(30)는, 상면시에 있어서, 장방형상을 갖고, 밸브 보디(30)의 상면은, 케이싱(10)이 설치되는 가장 높은 위치인 상면30t, 상면30t보다도 하방향A2에 위치하는 상면30tl, 상면30tl보다도 더욱 하방향A2에 위치하는 상면30t2로 구성되고, 단차를 갖는 구조로 되어 있다. 관통구멍(30h)은, 길이 방향Bl, B2의 일단측 및 타단측의 양쪽에 있어서, 상면(30t2)으로부터 저면(30b)을 향해서 형성되어 있다. 관통구멍(30h)은, 도10에 도시된 것 같은 유로 블록(200) 위에 밸브 보디(30)를 고정하기 위한 체결 볼트가 삽입된다.

도1c로부터 알 수 있듯이, 케이싱(10) 및 보호 부재(50)의 외윤곽은, 상면시에 있어서, 상기 밸브 보디의 상면의 안에 수납되어 있다.

밸브 시트(41)는, 도1d에 도시한 바와 같이, 밸브 보디(30)의 밸브실내의 유로(31)의 주위에 설치되어 있다. 밸브 시트(41)는, PFA, PTFE등의 수지로 탄성변형가능하게 형성되어 있다.

다이어프램(40)은, 밸브 본체로서 기능하고, 밸브 시트(41)보다도 큰 직경을 갖고, 스테인레스, NiCo계 합금등의 금속이나 불소계 수지로 공 껍데기형으로 탄성변형가능하게 형성되어 있다. 다이어프램(40)은, 가압 어댑터(42)를 통해 후술하는 케이싱 부재(12)의 하단면에 의해 밸브 보디(30)를 향해서 꽉 누르는 것에 의해 밸브 시트(41)에 대하여 접촉 이격가능하게 밸브 보디(30)에 지지되어 있다.

도1d에 있어서, 다이어프램(40)은 다이어프램 가압부(16)에 의해 가압되어서 탄성변형하고, 밸브 시트(41)에 꽉 눌려져 있는 상태에 있다. 다이어프램 가압부(16)에 의한 가압을 개방하면, 공 껍데기형으로 복원한다. 다이어프램(40)이 밸브 시트(41)에 꽉 눌려져 있는 상태에서는, 유로31이 폐쇄되고, 다이어프램 가압부(16)가 상방향Al에 이동되면, 다이어프램(40)이 밸브 시트(41)로부터 떨어져, 유로31은 개방되어, 유로32와 연통한다.

케이싱(10)은, 원통형의 케이싱 부재11과 케이싱 부재11의 하단측에 접속된 케이싱 부재12로 구성되고, 내부에 도시하지 않는 액추에이터나 수동에 의해 밸브 본체를 구동하는 기구등의 구동기구를 내장하고 있다. 액추에이터는, 예를 들면, 압축 에어로 구동되는 피스톤 등이지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 압전 액추에이터, 솔레노이드 액추에이터 등 여러 가지의 액추에이터를 채용할 수 있다.

구동기구를 내장하고 있는 케이싱 부재(12)는, 구동기구의 일부를 구성해도 좋고, 구동기구와는 별체이여도 좋다.

케이싱 부재(12)안에는, 케이싱(10)에 내장된 구동기구에 의해 상하 방향Al, A2에 구동되는 가동부(13)와 이것에 축부(14)를 통해 연결된 가압부재(15)가 설치되고, 축부(14)와 케이싱 부재(12)와의 사이에는 0링OR이 설치되고, 밸브실측과 구동기 횡측과의 사이를 씰 하고 있다. 가압부재(15)가 하방향A2에 구동되면, 다이어프램 가압부(16)를 통해 다이어프램(40)이 가압된다.

도1d에 도시한 바와 같이, 케이싱 부재(12)의 외주에는, 나사부(12a)가 형성되어 있다. 밸브 보디(30)에는, 상면(30t)으로부터 저면(30b)을 향해서 나사 구멍(30a)이 형성되어 있고, 케이싱 부재(12)의 나사부(12a)가 나사 구멍(30a)에 나사 결합함에 의해, 케이싱 부재(12)의 선단부분은, 밸브 보디(30)에 접속되어 있고, 선단부에서 눌려 어댑터(42)를 가압하고 있다. 도2에 도시한 바와 같이, 나사부(12a)의 상면(30t)보다도 상방의 부분은, 케이싱(10)의 근원부분으로서 밸브 보디(30)로부터 외부에 노출하고 있다. 본 실시예에서는, 케이싱 부재(12)의 나사부(12a)의 밸브 보디(30)로부터 외부에 노출한 부분에 후술하는 보호 부재(50)가 설치된다.

여기서, 도2에 도시한 바와 같이, 케이싱 부재(12)의 외주에 보호 부재(50)가 설치되지 않는 상태에서는, 케이싱(10)의 굽힘 모멘트Ml이 작용하면, 케이싱 부재(12)의 근원부분과 밸브 보디(30)의 나사 구멍(30a)의 개구단과의 사이에 응력이 집중한다. 특히, 케이싱(10)의 외경 및 밸브 보디(30)의 치수를 축소했는데도 불구하고, 케이싱(10)의 전체 길이가 상대적으로 길다면, 상기한 응력집중이 내력을 초과해버릴 가능성이 있다.

이 때문에, 본 실시예에서는, 케이싱 부재(12)의 근원부분의 외주에 보호 부재(50)를 고정한다.

도3a 및 3b에 도시한 바와 같이, 보호 부재(50)는, 금속제의 원환형부재로 이루어짐과 아울러, 상하 대칭한 형상을 가진다. 보호 부재(50)의 내주에는, 케이싱 부재(12)의 나사부(12a)에 나사 결합하는 나사부(50a)가 형성되어 있다. 또한, 보호 부재(50)의 양단면은, 평면으로 이루어지는 접촉 단면(50t)으로 되어 있고, 후술하는 것 같이, 접촉 단면(50t)의 한쪽이 밸브 보디(30)의 상면(30t)에 접촉 가능해져 있다. 접촉 단면(50t)은 평면으로 구성되기 때문에, 접촉 단면(50t)은 전면적으로 밸브 보디(30)의 상면(30t)에 접촉가능하다. 보호 부재(50)의 측면에는 복수의 오목부(51)(도5 및 도6 참조)가 열려 있고, 후술하는 것 같이 지그(70)를 부착하는 것에 의해, 스패너를 사용해서 돌릴 수 있다. 이 오목부(51)는, 보호 부재(50)를 관통하고 있어도 좋고, 지그(70)에 설치된 돌기(72)가 접촉하지 않는 정도의 깊이로 밑바닥을 갖고 있어도 좋다.

도3a 및 3b에 도시되는 보호 부재(50)에는, 단면 원주각부에 모따기가 실행되어 있지만, 접촉 단면(50t)의 면적을 크게 하고, 상면(30t)과 접촉하는 면적을 크게 하기 위해서, 모따기의 크기는 작은쪽이 바람직하다.

도4에 도시한 바와 같이, 보호 부재(50)는, 케이싱 부재(12)의 외주의 나사부(12a)에 나사 결합하면서 밸브 보디(30)의 상면(30t)에 접촉 함에 의해, 케이싱 부재(12)와 밸브 보디(30)와의 사이에 고정된다. 또한, 밸브 보디(30)는 관통구멍(30h)을 통해서 유로 블록(200) 위에 고정되어 있는 것으로 한다.

이 상태에서, 상기한 것 같이, 케이싱(10)에 대하여 굽힘 모멘트Ml이 작용하면, 케이싱 부재(12)의 근원부분과 밸브 보디(30)의 나사 구멍(30a)의 개구단30EG에는 응력이 집중하지만, 동시에, 밸브 보디(30)의 상면(30t)에 접촉하고 있는 보호 부재(50)의 접촉 단면(50t)에는, 밸브 보디(30)의 상면(30t)으로부터 반력Rl을 받는다. 이 반력Rl 때문에, 케이싱 부재(12)의 근원부분과 밸브 보디(30)의 나사 구멍(30a)의 개구단30EG와의 사이에 생기는 응력집중은 완화되어서 과대해지는 것이 억제된다. 이 결과, 케이싱 부재(12)의 근원부분과 밸브 보디(30)의 나사 구멍(30a)의 개구단30EG와의 사이의 응력이 내력을 초과하기 어려워진다. 다시 말해, 밸브 장치(1)의 굽힘 모멘트Ml에 대한 내성이 향상한다.

도5 및 도6은, 보호 부재(50)의 부착 공정의 일례에 대해서 도시한 도면이다. 우선, 도5에 도시되는 것 같이, 우선 스텝Sll에 있어서, 케이싱(10), 밸브 보디(30), 및 보호 부재(50)를 준비하고, 스텝S12에 있어서 보호 부재(50)를, 케이싱 부재(12)의 나사부(12a)에 나사 결합시킨다. 스텝S13에 있어서, 나사부(12a)를 밸브 보디(30)의 나사 구멍(30a)에 나사 결합시켜, 케이싱(10)과 밸브 보디(30)를 확실히 고정한다. 다음에, 도6의 스텝S14에 있어서, 나사부(12a)에 나사 결합한 보호 부재(50)를 돌리고, 보호 부재(50)를 밸브 보디(30)의 상면(30t)에 접촉할 때까지 하강시킨 후, 지그(70)를 준비한다.

도7a∼7c에는, 각각 지그(70)의 사시도, 평면도 및 정면도가 도시되어 있다. 이것들의 도에 도시되는 것 같이, 지그(70)는 전체적으로 너트를 반으로 절단한 것 같은 형상이며, 내주면에 나사 홈은 없고, 내주면에는 소정의 간격으로 배치된 한 쌍의 돌기(72)를 갖고 있다. 돌기(72)는, 지그 본체(71)에 열렸던 구멍에 핀을 끼우는 것에 의해 형성되는 것이어도 좋다. 이때, 돌기(72)의 외경치수를 오목부(51)의 내경치수보다도 충분히 작게 해서, 지그(70)가 보호 부재(50)에 용이하게 끼워 맞추도록 구성한다.

도7a∼7c와 같이, 돌기(72)를 2개 설치할 경우는, 지그(70)의 사용 상태에 있어서, 각각의 돌기(72)의 축의 연장선이 보호 부재(50)의 원환형부재의 중심에서, 90도의 각도로, 교차하는 위치에 설치되는 것이 바람직하다.

도6에 되돌아가서, 스텝S15에 있어서, 보호 부재(50)의 오목부(51)에 지그(70)의 돌기(72)가 끼워지도록, 지그(70)를 부착한다. 스텝S16 및 S17에 있어서, 스패너(76)로 지그(70)와 함께 보호 부재(50)를 회전시켜, 보호 부재(50)를 밸브 보디(30)의 상면(30t)에 대하여 강하게 접촉시켜서 고정한다.

또, 지그(70)와 스패너(76)의 사용 대신에 돌기(72)와 동일 지름의 축형부재를 직접 오목부(51)에 끼워 맞춰 보호 부재(50)를 회전시킬 수도 있다.

본 실시예에서는, 보호 부재(50)를 원환형으로 했지만, 환형이면 외형은 원형에 한정되지 않는다. 단, 보호 부재(50)의 외윤곽이 밸브 보디(30)의 상면(30t)의 안에 수납되어 있을 필요가 있다.

또한, 보호 부재(50)를 나사 결합에 의해 고정하는 구성을 채용했지만, 코킹이나 용접 등의 다른 대체 수단을 채용할 수도 있다.

제2 실시예

도8에 본 발명의 제2실시예에 따른 밸브 장치(1A)를 도시한다. 또한, 상기한 실시예와 같은 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 사용하고 있다.

본 실시예에 있어서는, 보호 부재(150)의 구조가 상기한 보호 부재(50)와 다르다.

도9a 및 도9b에 도시한 바와 같이, 보호 부재(150)는 상면시에서 장방형상의 외형을 갖고, 길이 방향Bl, B2의 거의 중앙에 관통구멍으로 이루어지는, 케이싱 부재(12)의 근원부분의 외주에 끼워 맞추는 끼워맞춤부(150a)를 가진다. 또한, 보호 부재(150)는, 밸브 보디의 상면(30t, 30tl, 30t2)에 해당 보호 부재(150)를 고정하기 위한 고정부(150b)를 길이 방향의 일단측 및 타단측에 구비하고, 이 2개의 고정부에는, 관통구멍(150h)이 형성되어 있다. 관통구멍(150h)은, 도8에 도시한 바와 같이, 밸브 보디(30)의 관통구멍(30h)에 위치 맞춤되어, 도시하지 않는 공통의 체결 볼트가 관통구멍(30h, 150h)에 삽통 가능하게 되어 있다. 더욱, 보호 부재(150)는, 밸브 보디(30)의 상면 30t, 30tl, 30t2로 형성되는 상면의 외형상과 대략 일치하도록 형성되어 있다. 덧붙여, 보호 부재(150)의 하면(150c)측의 형상은, 밸브 보디(30)의 상면의 단차형상에 적합하도록 형성되어 있다.

도8에 도시하는 상태에서, 상기 실시예에서 설명한 것 같은 굽힘 모멘트가 케이싱(10)에 작용하면, 보호 부재(150)의 끼워맞춤부(150a)의 내주면으로부터 케이싱 부재(12)에 굽힘 모멘트에 저항하는 반력이 작용한다. 이 결과, 케이싱 부재(12)의 근원부분과 밸브 보디(30)와의 사이에 집중하는 응력의 크기가 완화된다. 다시 말해, 밸브 장치(1A)의 굽힘 모멘트에 대한 내성이 향상한다.

본 실시예에서는, 보호 부재(150)를 밸브 보디(30)의 관통구멍(30h)을 이용해서 고정하는 구조로 했지만, 보호 부재(150)를 밸브 보디(30)에 직접 고정하는 것도 가능하다.

상기 실시예에서는, 유체제어장치로서 복수의 유로 블록(200)에 밸브 장치를 탑재한 것을 예시했지만, 분할 타입의 유로 블록(200) 이외에도, 일체형의 유로 블록이나 유로 플레이트에 대하여도 본 발명의 밸브 장치는 적용가능하다.

상기 실시예에서는, 본 발명의 밸브 장치로서 액추에이터를 무엇보다 자동개폐하는 것을 예시했지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 본 발명은 수동밸브에도 적용가능하다.

1 밸브 장치
10 케이싱
11, 12 케이싱 부재(케이싱)
30 밸브 보디
50 보호 부재
50t 접촉 단면
51 오목부
150 보호 부재
150a 끼워맞춤부
150b 고정부
150h 관통구멍
110A 개폐 밸브(2방향 밸브) (밸브 장치)
llOB 레귤레이터(밸브 장치)
1lOC 프레셔 게이지(유체기기)
llOD 개폐 밸브(3방향 밸브) (밸브 장치)
llOE 매스플로우 콘트롤러(유체기기)

Claims (9)

1. 대향하는 저면 및 상면을 획정함과 아울러 유체유로를 획정하는 블록형의 밸브 보디와,
   상기 유체유로를 개폐가능하게 설치된 다이어프램과,
   상기 다이어프램을 구동하는 구동기구를 내장하고, 상기 밸브 보디에 접속되어서 해당 밸브 보디의 상면으로부터 상방을 향해서 연장하는 외주에 나사부가 형성된 통형상의 케이싱을 갖고,
   상기 케이싱은, 상기 밸브 보디에 형성된 나사 구멍에 나사 결합하는 것에 의해, 상기 밸브 보디에 접속되고, 또한 상기 케이싱의 하단부가 상기 다이어프램의 외주연부를 누르는 것으로, 상기 다이어프램이 상기 밸브 보디에 고정되고,
   상기 케이싱과 상기 밸브 보디에 접촉하여, 상기 케이싱에 외력으로서 굽힘 모멘트가 작용했을 때의 상기 케이싱의 근원부분과 상기 밸브 보디와의 사이에 생기는 응력집중을 억제하기 위해, 상기 케이싱의 근원부분의 외주에 고정되면서 상기 밸브 보디의 상면에 접촉하는 접촉 단면을 가지는 보호 부재를, 갖는 것을 특징으로 하는 밸브 장치.
   
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 케이싱 및 보호 부재의 외윤곽은, 상면시에 있어서, 상기 밸브 보디의 상면의 안에 수납되어 있는, 것을 특징으로 하는 밸브 장치.
   
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 보호 부재는, 상기 케이싱의 나사부에 나사 결합하는, 것을 특징으로 하는 밸브 장치.
   
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 보호 부재는, 상기 케이싱의 근원부분의 외주에 끼워 맞추는 끼워맞춤부와, 상기 밸브 보디의 상면에 고정가능한 고정부를 갖는, 것을 특징으로 하는 밸브 장치.
   
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 케이싱 및 보호 부재의 외윤곽은, 상면시에 있어서, 상기 밸브 보디의 상면의 안에 수납되어 있는, 것을 특징으로 하는 밸브 장치.
   
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 보호 부재는, 상기 보호 부재의 측면에 오목부를 갖는, 것을 특징으로 하는 밸브 장치.
   
7. 상류측으로부터 하류측을 향해서 복수의 유체기기가 배열된 유체제어장치이며,
   상기 복수의 유체기기는, 청구항 1 내지 6 중 어느 한 항에 기재된 밸브 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체제어장치.
   
8. 대향하는 저면 및 상면을 획정함과 아울러 유체유로를 획정하는 블록형의 밸브 보디와,
   상기 유체유로를 개폐하는 밸브 본체를 구동하는 구동기구를 내장하고, 상기 밸브 보디에 접속되어서 해당 밸브 보디의 상면으로부터 상방을 향해서 연장하는 통형상의 케이싱과,
   상기 케이싱과 상기 밸브 보디에 접촉하여, 상기 케이싱에 외력으로서 굽힘 모멘트가 작용했을 때의 상기 케이싱의 근원부분과 상기 밸브 보디와의 사이에 생기는 응력 집중을 억제하기 위한 보호 부재를 갖고,
   상기 밸브 보디는, 길이 방향의 일단측 및 타단측에 해당 밸브 보디를 다른 부재에 체결하기 위한 체결 볼트용 관통 구멍을 갖고,
   상기 보호 부재의 고정부는, 끼워맞춤부가 상기 케이싱의 근원부분의 외주에 끼워 맞춘 상태로 상기 관통 구멍과 위치 맞춤되는 관통 구멍을 가지는 것을 특징으로 하는 밸브 장치.
   
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