KR102232985B1 - Rotation support for substrate spinning apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 스피닝 장치의 회전 지지대에 관한 것으로, 원형 디스크 형상의 기판을 수평 회전시키는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대로서, 연직 방향으로 뻗어 회전되는 회전축과; 상기 회전축의 상단부에 수직 방향으로 체결 결합되어 상기 회전축과 함께 회전하며, 머리부의 저면에는 상기 머리부로부터 하방으로 멀어질수록 직경이 점점 넓어지는 확경부가 형성된 연결 볼트와; 상기 연결 볼트에 의해 고정되어 상기 회전축과 함께 회전하고, 상기 기판의 가장자리를 수용하는 요홈부가 링 형태로 형성된 회전체와; 상기 연결 볼트의 확경부에 끼워진 상태로 상기 머리부의 저면에 위치하는 오링을; 포함하여 구성되어, 기판 스피닝 장치의 회전 지지대마다 각 회전체가 회전축에 대하여 예정된 자세로 틀어짐없이 정확하게 고정됨에 따라, 회전체가 회전하는 동안에도 요홈부가 상하로 요동하는 현상을 신뢰성있게 방지할 수 있으므로, 기판 스피닝 장치에 의하여 회전 지지되는 원형 기판을 회전시키는 동안에 수평 상태로 유지할 수 있는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대를 제공한다.The present invention relates to a rotation support for a substrate spinning apparatus, comprising: a rotation support for a substrate spinning apparatus for horizontally rotating a circular disk-shaped substrate, comprising: a rotation shaft extending in a vertical direction and rotating; A connection bolt that is fastened and coupled to an upper end of the rotation shaft in a vertical direction and rotates together with the rotation shaft, and has a diameter expanding portion formed on a bottom surface of the head that gradually increases in diameter as it moves downward from the head; A rotating body fixed by the connection bolt and rotating together with the rotating shaft, and having a concave groove portion receiving an edge of the substrate in a ring shape; An O-ring positioned on the bottom surface of the head portion while being fitted to the expanding portion of the connection bolt; And, as each rotating body is accurately fixed in a predetermined posture with respect to the rotation axis for each rotation support of the substrate spinning apparatus, it is possible to reliably prevent the phenomenon that the groove part swings up and down even while the rotating body is rotating. It provides a rotation support for a substrate spinning apparatus capable of maintaining a horizontal state while rotating a circular substrate that is rotated and supported by the substrate spinning apparatus.

Description

기판 스피닝 장치의 회전 지지대 {ROTATION SUPPORT FOR SUBSTRATE SPINNING APPARATUS}Rotation support for substrate spinning device {ROTATION SUPPORT FOR SUBSTRATE SPINNING APPARATUS}

본 발명은 기판 스피닝 장치의 회전 지지대에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 원형 기판의 가장자리와 접촉한 상태에서 원형 기판을 스핀 회전시키는 데 있어서, 원형 기판이 수평 상태를 유지하면서 회전 지지되게 하는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대에 관한 것이다.
The present invention relates to a rotating support for a substrate spinning apparatus, and more specifically, in spinning a circular substrate in a state in contact with an edge of a circular substrate, a substrate spinning apparatus for rotating and supporting the circular substrate while maintaining a horizontal state. It relates to the rotating support of the.

웨이퍼 등의 기판에 증착 공정, 사진 공정, 식각 공정 등의 많은 공정을 통해 반도체 소자가 제조된다. 그리고, 상기 공정을 행한 이후에는 기판 상에 잔류하는 불필요한 박막, 입자 등의 이물질을 제거하는 세정 공정이 수행된다.A semiconductor device is manufactured on a substrate such as a wafer through a number of processes such as a deposition process, a photo process, and an etching process. In addition, after performing the above process, a cleaning process is performed to remove foreign substances such as unnecessary thin films and particles remaining on the substrate.

일반적으로 세정 공정은 불산, 황산, 그리고 질산 등의 케미칼(chemical, 약액)을 공급하여 이물질 등을 제거하는 약액 공정과, 기판으로 탈이온수(deionize water)와 같은 세척액을 공급하여 기판 상에 잔류하는 약액을 제거하는 세척 공정과, 기판 상에 잔류하는 세척액을 제거하는 건조 공정으로 이루어진다.In general, the cleaning process is a chemical solution process that removes foreign substances by supplying chemicals such as hydrofluoric acid, sulfuric acid, and nitric acid, and a cleaning solution such as deionized water is supplied to the substrate to remain on the substrate. It consists of a cleaning process for removing the chemical solution and a drying process for removing the cleaning solution remaining on the substrate.

세정 공정을 행하는 과정에는 기판에 잔류하는 이물질을 확실하게 제거하기 위하여 케미칼이 기판의 표면 일부에 분사되거나 브러쉬로 접촉하면서 기판을 회전시켜, 기판의 전체 표면에 걸쳐 세정되도록 한다. 이 과정에서, 도1에 도시된 바와 같이 원형 기판(W)은 3개 이상의 회전 지지대(110, 120)에 의하여 가장자리가 접촉된 상태로 회전하는 구동 회전지지대(110)에 의하여 회전하며, 원형 기판(W)의 가장자리와 접촉하는 감지 회전지지대(120)에 의하여 원형 기판(W)의 회전수가 계측된다. In the process of performing the cleaning process, in order to reliably remove foreign substances remaining on the substrate, chemicals are sprayed onto a part of the substrate surface or rotated while contacting with a brush, so that the entire surface of the substrate is cleaned. In this process, as shown in Fig. 1, the circular substrate W is rotated by a driving rotation support 110 that rotates in a state in which the edges are in contact by three or more rotation supports 110 and 120, and the circular substrate W The rotation speed of the circular substrate W is measured by the sensing rotation support 120 in contact with the edge of the circular substrate W.

보다 구체적으로는, 원형 기판(W)이 기판 스피닝 장치(100)에 공급되면, 한 쌍의 회전 지지대(도1의 오른편에 위치한 2개의 110, 120)가 다른 한 쌍의 회전 지지대(도1의 왼편에 위치한 2개의 110)를 향하여 이동(20d')하여, 원형 기판(W)이 각 회전 지지대(110, 120)의 회전체(118, 128)에 위치한 요홈부에 끼워지고, 구동 회전 지지대(110)가 회전(110d)함에 따라 원형 기판(W)이 회전 구동된다. 이와 동시에 감지 회전 지지대(120)는 아이들 상태로 유지되어 원형 기판(W)의 회전에 따라 함께 회전하고, 감지 회전 지지대(120)의 회전수를 감지하여 원형 기판(W)의 회전수가 감지된다. More specifically, when the circular substrate W is supplied to the substrate spinning apparatus 100, a pair of rotating supports (two 110 and 120 located on the right side of Fig. 1) is replaced with another pair of rotating supports (Fig. 1). Moving (20d') toward the two 110 located on the left side, the circular substrate W is fitted into the grooves located in the rotating bodies 118 and 128 of each rotation support 110, 120, and the driving rotation support ( As 110 rotates (110d), the circular substrate W is driven to rotate. At the same time, the sensing rotation support 120 is maintained in an idle state and rotates together according to the rotation of the circular substrate W, and the number of rotations of the circular substrate W is sensed by sensing the number of rotations of the sensing rotation support 120.

여기서, 상기 각각의 구동 회전 지지대(110)는, 기판(W)의 가장자리를 수용하는 요홈부(111)가 수평 방향으로 요입 형성되어 기판(W)의 가장자리 끝단부를 수용하며 회전 가능하게 설치되는 회전체(118)와, 회전 지지부(114b)에 지지되어 연직 방향으로 배열된 상태로 회전 구동되는 회전축(114)과, 회전축(114)을 회전 구동하는 구동 모터(115)와, 회전축(114)의 둘레를 감싸고 회전하지 않는 하우징(116)과, 회전체(118)를 회전축(114)에 고정시키는 연결 볼트(119)와, 연결 볼트(119)의 머리부 저면과 회전체(118)의 수평면(118s)의 사이에 개재되는 오링(117)으로 구성된다. 여기서, 회전축(114)은 하측에 위치한 베어링(114b)에 의하여 회전 가능하게 지지되며, 구동 모터(115)의 구동력은 다양한 공지된 방법으로 회전축(114)에 전달되며, 예를 들어 도4에 도시된 바와 같이 구동 풀리(115p)와 피동 풀리(115g)가 벨트로 연결되어 회전축(114)에 회전 구동될 수 있다. Here, each of the driving rotation support 110 is a rotation that is rotatably installed while receiving the edge end of the substrate W by concave groove 111 for receiving the edge of the substrate (W) is formed in the horizontal direction. The entire 118, a rotation shaft 114 supported by the rotation support portion 114b and rotated in a state arranged in a vertical direction, a drive motor 115 for rotationally driving the rotation shaft 114, and the rotation shaft 114 The housing 116 that wraps around and does not rotate, the connecting bolt 119 fixing the rotating body 118 to the rotating shaft 114, the bottom of the head of the connecting bolt 119 and the horizontal surface of the rotating body 118 ( 118s). Here, the rotation shaft 114 is rotatably supported by a bearing 114b located at the lower side, and the driving force of the drive motor 115 is transmitted to the rotation shaft 114 by various known methods, for example, shown in FIG. As described above, the driving pulley 115p and the driven pulley 115g may be connected with a belt to be rotationally driven on the rotating shaft 114.

상기 감지 회전 지지대(120)는, 기판(W)의 가장자리를 수용하는 요홈부(121)가 수평 방향으로 요입 형성되어 기판(W)의 가장자리 끝단부를 수용하며 회전 가능하게 설치되는 회전체(128)와, 회전 지지부(124b)에 회전 지지되어 연직 방향으로 배열된 상태로 기판(W)의 가장자리에 맞닿아 마찰에 의해 회전 구동되는 회전축(124)과, 회전축(124)의 회전수를 감지하는 회전 감지부(129)와, 회전축(124)의 둘레를 감싸고 회전하지 않는 하우징(126)과, 회전체(128)를 회전축(124)에 고정시키는 연결 볼트(129)와, 연결 볼트(129)의 머리부 저면과 회전체(128)의 수평면의 사이에 개재되는 오링(127)으로 구성된다. The sensing rotation support 120 is a rotating body 128 in which a concave portion 121 for accommodating the edge of the substrate W is formed in a horizontal direction to accommodate the edge end of the substrate W and is rotatably installed. Wow, rotation to sense the rotational speed of the rotational shaft 124 and the rotational shaft 124, which is rotated by the rotational support part 124b and rotated by friction by contacting the edge of the substrate W in a state arranged in a vertical direction. The sensing unit 129, the housing 126 that wraps around the rotation shaft 124 and does not rotate, the connection bolt 129 fixing the rotation body 128 to the rotation shaft 124, and the connection bolt 129 It is composed of an O-ring 127 interposed between the bottom of the head and the horizontal surface of the rotating body (128).

이와 같이 구성된 기판 스피닝 장치(100)는 회전 지지대(110, 120)의 회전체(118)에 링 형태로 형성된 요홈부(111, 121)가 기판(W)의 가장자리와 접촉하면서 회전 구동하거나 회전 구동된다. 이 때, 회전체(118, 128)는 하나의 몸체로 형성될 수도 있고 2개 이상의 부품이 서로 결합되어 형성될 수도 있다. The substrate spinning apparatus 100 configured as described above rotates or drives rotation while the grooves 111 and 121 formed in a ring shape in the rotation body 118 of the rotation support 110 and 120 contact the edge of the substrate W. do. In this case, the rotating bodies 118 and 128 may be formed as a single body or may be formed by combining two or more parts with each other.

이 때, 오링(118)이 연결 볼트(119, 129)의 머리부와 회전체(118, 128)의 수평면 사이에 개재되어, 회전체(118, 128)를 회전축(114, 124)에 고정하는 연결 볼트(119, 129)와의 결합 틈새 사이로 액체가 유입되지 않게 한다. At this time, the O-ring 118 is interposed between the head of the connecting bolts 119 and 129 and the horizontal plane of the rotating bodies 118 and 128 to fix the rotating bodies 118 and 128 to the rotating shafts 114 and 124. It prevents liquid from flowing into the gap between the coupling bolts 119 and 129.

그러나, 연결 볼트(119, 129)가 회전축(114)의 상단부에 체결 결합할 때에, 연결 볼트(119, 129)의 머리부 하측에 위치하는 오링(117, 127)이 정확히 자리잡지 않은 상태이면서 오링(117, 127)의 단면이 원형이므로, 도5에 도시된 바와 같이 연결 볼트(119, 129)의 머리부 하측에 오링(117, 127)을 위치시킨 상태에서 죄는 과정에서, 오링(117, 127)이 일측으로 쏠리면서 연결 볼트(119, 129)의 머리부 저면과 회전체(118) 사이의 간극이 불일정해지는 현상이 발생된다. 이로 인하여, 회전체(118, 128)는 연직 방향의 가상선(55)으로부터 일정 각도(89)만큼 틀어지는 현상이 발생된다. However, when the connecting bolts (119, 129) are fastened to the upper end of the rotating shaft (114), the O-rings (117, 127) located under the head of the connecting bolts (119, 129) are not correctly positioned, and the O-rings Since the cross section of (117, 127) is circular, as shown in Fig. 5, in the process of tightening with the O-rings (117, 127) positioned under the head of the connecting bolts (119, 129), the O-rings (117, 127) ) Is pulled to one side and the gap between the bottom of the head of the connecting bolts 119 and 129 and the rotating body 118 is uneven. Due to this, a phenomenon in which the rotating bodies 118 and 128 are twisted by a predetermined angle 89 from the virtual line 55 in the vertical direction occurs.

따라서, 회전체(118, 128)는 틀어진 각도(89)만큼 틀어진 상태로 회전(110d)하게 되고, 회전체(118, 128)의 요홈부(111, 121)에 접촉한 원형 기판(W)도 수평면으로부터 도면부호 88로 표시된 각도만큼 틀어진 상태로 회전(Wd)하여 상하 방향으로의 떨림(88')이 발생되는 문제가 야기된다. Accordingly, the rotating bodies 118 and 128 are rotated 110d in a twisted state by the twisted angle 89, and the circular substrate W in contact with the grooves 111 and 121 of the rotating bodies 118 and 128 is also A problem arises in that the shaking (88') in the vertical direction is caused by rotating Wd from the horizontal plane by the angle indicated by the reference numeral 88.

따라서, 원형 기판(W)의 판면에 브러쉬가 회전하면서 원형 기판(W)의 세정 공정을 행하는 경우에, 원형 기판(W)이 기판 스피닝 장치(100)에 의하여 회전하는 동안에 원형 기판(W)의 표면에 브러쉬가 불균일한 상태로 접촉하여 불균일한 세정이 이루어지거나 특정 부위에서 세정이 충분히 이루어지지 않는 문제가 야기될 뿐만 아니라, 회전체(118, 128)의 요홈부(111, 121)의 마모가 급격히 진행되어 요홈부(111, 121)에 의하여 원형 기판(W)을 정확하게 회전시키지 못하는 문제가 야기된다. Therefore, in the case of performing the cleaning process of the circular substrate W while the brush rotates on the plate surface of the circular substrate W, the circular substrate W is removed while the circular substrate W is rotated by the substrate spinning apparatus 100. The brush is in contact with the surface in an uneven state, resulting in a problem that non-uniform cleaning is performed or insufficient cleaning is performed in a specific area, as well as abrasion of the grooves 111 and 121 of the rotating bodies 118 and 128. The rapid progression causes a problem in that the circular substrate W cannot be accurately rotated by the concave portions 111 and 121.

따라서, 기판 스피닝 장치(100)에 의하여 회전하는 원형 기판(W)이 상하 요동없이 수평 상태를 유지하면서 회전시킬 수 있는 방안의 필요성이 절실히 요구되고 있다.
Accordingly, there is an urgent need for a method in which the circular substrate W rotated by the substrate spinning apparatus 100 can be rotated while maintaining a horizontal state without vertical motion.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 원형 기판의 가장자리와 접촉한 상태에서 원형 기판을 스핀 회전시키는 데 있어서, 원형 기판이 수평 상태를 유지하면서 회전 지지되게 하는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention is to solve the above-described problem, in rotating the circular substrate in a state in contact with the edge of the circular substrate, to provide a rotation support for a substrate spinning apparatus that allows the circular substrate to be rotated and supported while maintaining a horizontal state. It aims to do.

이를 통해, 원형 기판을 회전시키면서 행해지는 일련의 공정이 의도된 대로 정확하게 행해지게 할 수 있을 뿐만 아니라, 원형 기판을 안착하는 회전체의 요홈부 등의 구성의 마모가 급격히 진행되는 것을 방지하여 예상 수명까지 신뢰성있게 사용할 수 있게 하는 것을 목적으로 한다.
Through this, not only can the series of processes performed while rotating the circular substrate be performed exactly as intended, but also prevent the rapid wear of the components such as the grooves of the rotating body on which the circular substrate is seated, thereby preventing the expected lifespan. It aims to make it possible to use it reliably.

상술한 바와 같은 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은, 원형 디스크 형상의 기판을 수평 회전시키는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대로서, 연직 방향으로 뻗어 회전되는 회전축과; 상기 회전축의 상단부에 수직 방향으로 체결 결합되어 상기 회전축과 함께 회전하는 연결 볼트와; 상기 연결 볼트에 의해 고정되어 상기 회전축과 함께 회전하고, 상기 기판의 가장자리를 수용하는 요홈부가 링 형태로 형성된 회전체와; 상기 연결 볼트의 머리부의 저면에 위치하되, 상면과 하면이 평탄면으로 형성된 오링을; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대를 제공한다.In order to achieve the above-described technical problem, the present invention provides a rotation support of a substrate spinning apparatus for horizontally rotating a circular disk-shaped substrate, comprising: a rotation shaft extending in a vertical direction and rotating; A connection bolt that is fastened to the upper end of the rotation shaft in a vertical direction and rotates together with the rotation shaft; A rotating body fixed by the connection bolt and rotating together with the rotating shaft, and having a concave groove portion receiving an edge of the substrate in a ring shape; O-rings located on the bottom of the head of the connecting bolt, the upper and lower surfaces of which are formed as flat surfaces; It provides a rotating support for the substrate spinning apparatus, characterized in that configured to include.

이와 같이, 연결 볼트의 머리부 저면에 위치하는 오링의 상면과 하면이 평탄면으로 형성됨으로써, 오링이 연결 볼트의 머리부 저면에 안정되게 위치하게 하여, 연결 볼트가 회전체를 고정시키기 위하여 회전축의 끝단에서 죄는 것에 의하여 회전하더라도, 오링의 상면과 하면이 모두 평탄면으로 형성되어 오링이 지지되는 바닥면과 균일한 마찰 상태를 유지하면서 연결 볼트의 머리부의 회전에도 가요성 재질의 오링이 제 위치를 유지하여 국부적으로 쏠리는 것이 억제되므로, 연결 볼트로 회전체를 회전축에 위치 고정시키는 과정에서 오링의 쏠림에 의해 회전체가 틀어진 상태로 결합되는 것을 방지할 수 있다.
In this way, the upper and lower surfaces of the O-ring located on the bottom of the head of the connecting bolt are formed as flat surfaces, so that the O-ring is stably placed on the bottom of the head of the connecting bolt, so that the connecting bolt is Even if rotated by tightening at the end, both the upper and lower surfaces of the O-ring are formed as flat surfaces, maintaining a uniform friction state with the bottom surface on which the O-ring is supported, and the flexible O-ring remains in place even when the head of the connecting bolt rotates. It is possible to prevent the rotation body from being twisted due to the pulling of the O-ring in the process of fixing the rotation body to the rotation shaft with the connecting bolt.

한편, 본 발명은, 원형 디스크 형상의 기판을 수평 회전시키는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대로서, 연직 방향으로 뻗어 회전되는 회전축과; 상기 회전축의 상단부에 수직 방향으로 체결 결합되어 상기 회전축과 함께 회전하며, 머리부의 저면에는 상기 머리부로부터 하방으로 멀어질수록 직경이 점점 넓어지는 확경부가 형성된 연결 볼트와; 상기 연결 볼트에 의해 고정되어 상기 회전축과 함께 회전하고, 상기 기판의 가장자리를 수용하는 요홈부가 링 형태로 형성된 회전체와; 상기 연결 볼트의 확경부에 끼워진 상태로 상기 머리부의 저면에 위치하는 오링을; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대를 제공한다.On the other hand, the present invention is a rotation support for a substrate spinning apparatus for horizontally rotating a circular disk-shaped substrate, the rotation shaft extending in a vertical direction and rotating; A connection bolt that is fastened and coupled to an upper end of the rotation shaft in a vertical direction and rotates together with the rotation shaft, and has a diameter expanding portion formed on a bottom surface of the head that gradually increases in diameter as it moves downward from the head; A rotating body fixed by the connection bolt and rotating together with the rotating shaft, and having a concave groove portion receiving an edge of the substrate in a ring shape; An O-ring positioned on the bottom surface of the head portion while being fitted to the expanding portion of the connection bolt; It provides a rotating support for the substrate spinning apparatus, characterized in that configured to include.

이는, 연결 볼트의 확경부에 미리 오링을 끼워 연결 볼트와 오링의 상대 위치를 확정적으로 고정시킨 상태로 연결 볼트를 회전축의 끝단에 체결 고정함으로써, 연결 볼트가 회전체를 고정시키기 위하여 회전축의 끝단부에 죄는 과정에서, 연결 볼트의 회전에도 오링이 제 위치를 유지하므로, 오링이 국부적으로 접히거나 쏠리는 것이 방지되어, 연결 볼트가 회전축의 끝단부에 결합된 상태에서도, 연결 볼트의 머리부 저면에 위치한 오링의 두께가 전체 원주 방향으로 균일하게 유지되게 할 수 있다. 이에 따라, 연결 볼트로 회전체를 회전축에 위치 고정시키는 과정에서 오링의 쏠림에 의해 회전체가 틀어진 상태로 결합되는 것을 방지할 수 있다. This is because the connection bolt is fastened to the end of the rotating shaft in a state in which the O-ring is inserted in advance in the expansion part of the connecting bolt and the relative position between the connecting bolt and the O-ring is firmly fixed, so that the connecting bolt is the end of the rotating shaft in order to fix the rotating body. In the process of tightening the connection bolt, the O-ring maintains its position even when the connection bolt rotates, preventing the O-ring from being folded or tilted locally. Even when the connection bolt is connected to the end of the rotating shaft, it is located at the bottom of the head of the connecting bolt. The thickness of the O-ring can be uniformly maintained in the entire circumferential direction. Accordingly, it is possible to prevent the rotating body from being coupled in a twisted state due to the pull of the O-ring in the process of fixing the rotating body to the rotating shaft with the connecting bolt.

즉, 본 발명은, 기판 스피닝 장치의 회전 지지대마다 각 회전체가 회전축에 대하여 예정된 자세로 틀어짐없이 정확하게 고정됨에 따라, 회전체가 회전하는 동안에도 요홈부가 상하로 요동하는 현상을 신뢰성있게 방지할 수 있으므로, 기판 스피닝 장치에 의하여 회전 지지되는 원형 기판을 회전시키는 동안에 수평 상태로 유지할 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
In other words, the present invention can reliably prevent the phenomenon that the groove part swings up and down even while the rotating body rotates, as each rotating body is accurately fixed in a predetermined posture with respect to the rotation axis for each rotation support of the substrate spinning apparatus. Therefore, it is possible to obtain an advantageous effect of maintaining the circular substrate rotated by the substrate spinning apparatus in a horizontal state while rotating.

여기서, 상기 확경부의 높이는 상기 오링의 높이보다 더 작게 형성되는 것이 바람직하다. 이를 통해, 확경부에 의하여 오링이 연결 볼트의 둘레를 감싸는 형태로 자리잡은 상태에서, 연결 볼트를 회전축의 끝단부에 체결 고정하는 과정에서 오링의 상하 방향으로의 압축이 발생되어 기밀성을 유지할 수 있다. Here, it is preferable that the height of the enlarged portion is formed smaller than the height of the O-ring. Through this, in a state in which the O-ring surrounds the circumference of the connection bolt by the expansion unit, compression in the vertical direction of the O-ring occurs in the process of fastening and fixing the connection bolt to the end of the rotating shaft, thereby maintaining airtightness. .

상기 오링은 상기 머리부와 상기 회전체의 사이에 개재됨으로써, 연결 볼트의 체결 결합에 의하여 회전체가 회전축에 대하여 틀어짐없이 예정된 자세로 위치 고정된다. The O-ring is interposed between the head and the rotating body, so that the rotating body is fixed in a predetermined posture with respect to the rotating shaft by fastening and coupling of the connecting bolt.

한편, 상기 회전체는 하나의 부품으로 형성될 수도 있지만, 2개 이상의 부품이 서로 결합되어 형성될 수도 있다. 예를 들어, 원형 기판의 가장자리와 접촉하는 요홈부는 높은 마찰력의 확보를 위하여 우레탄 등의 가요성 재질로 형성되고, 요홈부의 하측부는 높은 강성을 유지하기 위하여 금속 등의 비가요성 재질로 형성될 수 있다.
On the other hand, the rotating body may be formed as a single component, but may be formed by combining two or more components with each other. For example, the groove portion contacting the edge of the circular substrate may be formed of a flexible material such as urethane to secure high friction, and the lower portion of the groove portion may be formed of a non-flexible material such as metal to maintain high rigidity. .

상술한 바와 같이 본 발명은, 회전체와 회전축을 결합하는 연결 볼트의 머리부 저면에 위치하는 오링의 상면과 하면을 평탄면으로 형성됨으로써, 오링이 연결 볼트의 머리부 저면에 안정되게 위치하게 하여, 연결 볼트가 회전체를 고정시키기 위하여 회전축의 끝단에서 죄는 것에 의하여 회전하더라도, 오링의 상면과 하면이 모두 평탄면으로 형성되어 오링이 지지되는 바닥면과 균일한 마찰 상태를 유지하면서 국부적으로 쏠리는 것을 억제하므로, 회전체가 회전축에 대하여 예정된 정확한 자세로 위치 고정될 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.As described above, according to the present invention, the upper and lower surfaces of the O-rings located on the bottom of the head of the connecting bolt coupling the rotating body and the rotating shaft are formed as flat surfaces, so that the O-ring is stably located on the bottom of the head of the connecting bolt. , Even if the connecting bolt is rotated by clamping it at the end of the rotating shaft to fix the rotating body, both the upper and lower surfaces of the O-ring are formed as flat surfaces, so that the O-ring is supported locally while maintaining a uniform frictional state. Therefore, it is possible to obtain an advantageous effect that the rotating body can be fixed in position in a predetermined correct posture with respect to the rotating shaft.

또한, 본 발명은, 연결 볼트의 확경부에 미리 오링을 끼워 연결 볼트와 오링의 상대 위치를 확정적으로 고정시킨 상태로 연결 볼트를 회전축의 끝단에 체결 고정하도록 구성됨으로써, 연결 볼트가 회전체를 고정시키기 위하여 회전축의 끝단부에 죄는 과정에서 연결 볼트의 회전에도 오링이 자신의 탄성에 의하여 항상 제 위치를 유지하므로, 오링이 국부적으로 접히거나 쏠리는 것이 방지되어, 연결 볼트의 머리부 저면에 위치한 오링의 두께가 전체 원주 방향으로 균일하게 유지할 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.In addition, the present invention is configured to fasten and fix the connecting bolt to the end of the rotating shaft in a state in which the O-ring is inserted in advance to the expansion portion of the connecting bolt and the relative position of the connecting bolt and the O-ring is fixedly fixed, so that the connecting bolt fixes the rotating body In order to prevent the O-ring from being folded or tilted locally even when the connecting bolt rotates during the rotation of the connecting bolt to prevent the O-ring from being folded or tilted locally, the O-ring located at the bottom of the head of the connecting bolt It is possible to obtain an advantageous effect that the thickness can be uniformly maintained in the entire circumferential direction.

이와 같이, 본 발명은 연결 볼트로 회전체를 회전축에 위치 고정시키는 과정에서 오링의 쏠림에 의해 회전체가 틀어진 상태로 결합되는 것을 방지함으로써, 기판 스피닝 장치의 회전 지지대마다 각 회전체가 회전축에 대하여 예정된 자세로 틀어짐없이 정확하게 고정시킬 수 있어서, 회전체가 회전하는 동안에도 요홈부가 상하로 요동하는 현상을 신뢰성있게 방지할 수 있으므로, 기판 스피닝 장치에 의하여 회전 지지되는 원형 기판을 회전시키는 동안에 수평 상태로 유지할 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
As described above, the present invention prevents the rotation body from being combined in a twisted state due to the pull of the O-ring in the process of fixing the rotation body to the rotation shaft with the connecting bolt, so that each rotation body is rotated with respect to the rotation axis of the substrate spinning apparatus. Since it is possible to accurately fix it in a predetermined posture without being distorted, it is possible to reliably prevent the phenomenon that the groove part swings up and down even while the rotating body is rotating, so that the circular substrate that is rotated and supported by the substrate spinning device is rotated in a horizontal state. It is possible to obtain an advantageous effect that can be maintained.

도1은 일반적인 기판 스피닝 장치의 구성을 도시한 사시도,
도2는 도1에 기판이 안착된 상태를 도시한 평면도,
도3은 도1의 정면도,
도4는 도3의 A-A에 따른 단면도,
도5는 도4의 'B'의 확대도,
도6은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 스피닝 장치의 회전 지지대의 결합 구조를 도시한 분해 단면도,
도7은 도6의 결합 단면도,
도8은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 스피닝 장치의 회전 지지대의 결합 구조를 도시한 분해 단면도,
도9는 도8의 'C'의 확대도,
도10은 도8의 결합 단면도,
도11은 도10은 'D'의 확대도이다.1 is a perspective view showing the configuration of a general substrate spinning apparatus.
2 is a plan view showing a state in which the substrate is seated in FIG. 1;
Fig. 3 is a front view of Fig. 1;
Figure 4 is a cross-sectional view taken along AA in Figure 3,
Fig. 5 is an enlarged view of'B' in Fig. 4;
6 is an exploded cross-sectional view showing the coupling structure of the rotation support of the substrate spinning apparatus according to the first embodiment of the present invention;
Fig. 7 is a combined cross-sectional view of Fig. 6;
8 is an exploded cross-sectional view showing a coupling structure of a rotation support of a substrate spinning apparatus according to a second embodiment of the present invention;
9 is an enlarged view of'C' of FIG. 8;
Fig. 10 is a combined cross-sectional view of Fig. 8;
Figure 11 is an enlarged view of Figure 10'D'.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 스피닝 장치의 회전 지지대(210, 310)에 대하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해서는 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하며, 동일하거나 유사한 기능 혹은 구성에 대해서는 동일하거나 유사한 도면 부호를 부여하기로 한다.Hereinafter, the rotation supports 210 and 310 of the substrate spinning apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, in describing the present invention, known functions or functions Configurations are omitted to clarify the gist of the present invention, and identical or similar reference numerals are assigned to identical or similar functions or configurations.

본 발명의 제1실시예에 따른 기판 스피닝 장치(100)도 역시 원형 기판(W)이 기판 스피닝 장치(200)에 공급되면, 도1에 도시된 종래 구성과 마찬가지로, 한 쌍의 회전 지지대가 다른 한 쌍의 회전 지지대를 향하여 이동하여, 원형 기판(W)이 각 회전 지지대(210,..)의 회전체(118,...)에 위치한 요홈부(111, 121)에 끼워지고, 구동 회전 지지대(210)가 회전함에 따라 원형 기판(W)이 회전 구동되며, 이와 동시에 감지 회전 지지대는 아이들 상태로 유지되어 원형 기판(W)의 회전에 따라 함께 회전하고, 감지 회전 지지대의 회전수를 감지하여 원형 기판(W)의 회전수가 감지되게 구성된다. In the substrate spinning apparatus 100 according to the first embodiment of the present invention, when a circular substrate W is supplied to the substrate spinning apparatus 200, as in the conventional configuration shown in FIG. 1, a pair of rotating supports are different. Moving toward a pair of rotating supports, the circular substrate (W) is fitted into the grooves 111 and 121 located in the rotating bodies 118,... of each rotating support (210,..), driving rotation As the support 210 rotates, the circular substrate W is driven to rotate, and at the same time, the sensing rotary support is maintained in an idle state and rotates together with the rotation of the circular substrate W, and the number of rotations of the sensing rotary support is detected. Thus, it is configured to detect the number of rotations of the circular substrate (W).

다만, 본 발명은, 구동 회전 지지대(210) 및 감지 회전 지지대의 회전축(114)에 회전체(118)를 고정하기 위하여 체결되는 연결 볼트(219) 및 오링(217)의 구조에 있어서 종래의 구성과 차이가 있다. However, the present invention is a conventional configuration in the structure of the connecting bolt 219 and O-ring 217 fastened to fix the rotating body 118 to the rotation shaft 114 of the driving rotation support 210 and the sensing rotation support And there is a difference.

본 발명의 실시예를 설명하기 위하여 예시된 도면에는 구동 회전 지지대(210)의 구성이 나타나 있지만, 회전체와 회전축을 연결 볼트로 고정하는 구성은 감지 회전 지지대에도 동일하게 적용된다. 따라서, 이하에서는 구동 회전 지지대(210) 및 감지 회전 지지대를 '회전 지지대'라고 통칭하고 도면부호를 210으로 표시하기로 한다.
Although the configuration of the driving rotation support 210 is shown in the drawings exemplified to describe the embodiment of the present invention, the configuration of fixing the rotation body and the rotation shaft with a connecting bolt is equally applied to the sensing rotation support. Therefore, hereinafter, the driving rotation support 210 and the sensing rotation support are collectively referred to as'rotation support', and the reference numeral 210 will be denoted.

본 발명의 제1실시예에 따른 기판 스피닝 장치의 회전 지지대(210)는, 도6 및 도7에 도시된 바와 같이, 원형 디스크 형상의 기판(W)을 수평 회전시키는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대로서, 연직 방향으로 뻗어 회전되는 회전축(114)과, 회전축(114)의 상단부에 수직 방향으로 체결 결합되어 회전축(114)과 함께 회전하는 연결 볼트(219)와, 연결 볼트(219)에 의해 고정되어 회전축(114)과 함께 회전하는 회전체(118)와, 연결 볼트(219)의 머리부의 저면에 위치하되, 상면과 하면이 평탄면으로 형성된 오링(217)을 포함하여 구성된다. The rotation support 210 of the substrate spinning apparatus according to the first embodiment of the present invention, as shown in Figs. 6 and 7, is a rotation support of a substrate spinning apparatus that horizontally rotates a circular disk-shaped substrate W. , It is fixed by a connection bolt 219 and a connection bolt 219 that is fastened and coupled in a vertical direction to the upper end of the rotation shaft 114 and rotates by extending in the vertical direction. It is configured to include a rotating body 118 that rotates together with the rotating shaft 114 and an O-ring 217 that is located on the bottom of the head of the connecting bolt 219, and has an upper surface and a lower surface formed as a flat surface.

여기서, 회전축(114)의 상단부에는 연결 볼트(219)의 수나사산이 체결되는 암나사부가 형성되어, 회전축(114)은 연결 볼트(219)의 몸통부에 형성된 수나사산과 체결 결합된다. Here, the upper end of the rotation shaft 114 is formed with a female thread to which the male thread of the connection bolt 219 is fastened, and the rotation shaft 114 is fastened with the male thread formed on the body of the connection bolt 219.

그리고, 연결 볼트(219)의 머리부의 저면(219s)은 회전체(118)의 수평한 평탄면(118s)과 대향하면서, 그 사이에 오링(217)을 위치시킨다. 필요에 따라, 도면에 도시된 바와 같이, 연결 볼트(219)의 머리부 저면(219s)은 오링(217)을 수용하는 수용부의 상면으로 형성될 수도 있다. In addition, the bottom surface 219s of the head of the connecting bolt 219 faces the horizontal flat surface 118s of the rotating body 118, and the O-ring 217 is positioned therebetween. If necessary, as shown in the drawing, the head bottom surface 219s of the connection bolt 219 may be formed as an upper surface of the receiving portion accommodating the O-ring 217.

그리고, 오링(217)은 대체로 단면이 곡면으로 이루어지지만, 본 발명의 제1실시예에 따른 오링(217)은 상면(217s1)과 하면(217s2)이 모두 평탄면으로 이루어진 납작한 단면을 형성한다. 이에 따라, 오링(217)이 회전체(118)의 평탄면(118s)상에 거치된 상태에서, 오링(217)의 하면(217s2)이 회전체(118)의 평탄면(118s)과 보다 넓게 접촉된 상태를 유지한다. 그리고, 오링(217)의 상면(217s1)도 평탄면으로 형성되어 연결 볼트(219)의 머리부 저면(219s)과 보다 넓게 접촉된 상태를 유지한다.Further, the O-ring 217 has a generally curved cross section, but the O-ring 217 according to the first embodiment of the present invention forms a flat cross section in which both the upper surface 217s1 and the lower surface 217s2 are flat surfaces. Accordingly, while the O-ring 217 is mounted on the flat surface 118s of the rotating body 118, the lower surface 217s2 of the O-ring 217 is wider than the flat surface 118s of the rotating body 118 Keep in contact. In addition, the upper surface 217s1 of the O-ring 217 is also formed as a flat surface to maintain a more wide contact with the head bottom surface 219s of the connecting bolt 219.

따라서, 회전체(118)의 평탄면(118s)에 오링(217)을 위치시킨 상태에서, 연결 볼트(219)로 회전축(114)의 상단부의 암나사부에 체결하는 동안에, 오링(217)의 하면(217s2)은 회전체(118)의 평탄면(118s)과 넓은 면적이 접촉한 상태를 유지하고 동시에 연결 볼트(219)의 머리부 저면(219s)이 오링(217)의 상면(217s1)과 접촉하기 시작할 때에도 넓은 면적이 균일하게 접촉하므로, 연결 볼트(219)를 죄는 동안에 연결 볼트(219)의 머리부 저면(219s)에 의하여 오링(217)의 일부분이 쏠리는 현상이 발생되지 않게 된다. Therefore, while the O-ring 217 is positioned on the flat surface 118s of the rotating body 118, while fastening to the female thread of the upper end of the rotating shaft 114 with the connecting bolt 219, the lower surface of the O-ring 217 (217s2) maintains a state in which the flat surface (118s) of the rotating body (118) is in contact with a large area, and at the same time, the bottom surface (219s) of the head of the connecting bolt 219 is in contact with the upper surface (217s1) of the O-ring (217). Even when starting to do so, since a large area contacts uniformly, a phenomenon in which a part of the O-ring 217 is not shifted by the head bottom 219s of the connecting bolt 219 while tightening the connecting bolt 219 occurs.

따라서, 연결 볼트(219)를 회전축(114)의 상단부에 완전히 나사 체결하여 회전체(118)를 회전축(114)과 일체화시킨 상태에서, 연결 볼트(219)의 머리부 저면과 회전체(118)의 평탄면(118s) 사이에 개재된 오링(217)이 원주 방향으로 균일한 두께를 유지하게 되므로, 회전축(114)에 대한 회전체(118)의 자세가 예정된 올바른 자세로 고정된다. 즉, 도7에 도시된 바와 같이, 회전체(118)의 중심축(55)과 회전축(114)의 뻗은 방향이 서로 일치하게 된다. Therefore, in a state in which the connecting bolt 219 is completely screwed to the upper end of the rotating shaft 114 to integrate the rotating body 118 with the rotating shaft 114, the bottom of the head of the connecting bolt 219 and the rotating body 118 Since the O-ring 217 interposed between the flat surfaces 118s of is maintained uniform thickness in the circumferential direction, the posture of the rotating body 118 with respect to the rotating shaft 114 is fixed to a predetermined correct posture. That is, as shown in FIG. 7, the central axis 55 of the rotating body 118 and the extending direction of the rotating shaft 114 coincide with each other.

이에 의하여, 회전축(114)에 결합된 회전체(114)의 요홈부(111)는 원주 방향 전체에 걸쳐 동일한 높이로만 분포되어, 도7에 도시된 바와 같이 회전체(118)가 회전축(114)과 함께 회전하더라도, 요홈부(111)에 가장자리가 접촉한 상태의 기판(W)은 상하 방향으로의 요동없이 일정 높이에서만 수평 회전될 수 있게 된다.
Accordingly, the groove 111 of the rotating body 114 coupled to the rotating shaft 114 is distributed only at the same height throughout the circumferential direction, so that the rotating body 118 is rotated as shown in FIG. 7. Even if rotated together, the substrate W in a state in which the edge is in contact with the concave portion 111 can be horizontally rotated only at a predetermined height without shaking in the vertical direction.

이하, 본 발명의 제2실시에 따른 기판 스피닝 장치의 회전 지지대(210)를 상술한다. Hereinafter, the rotation support 210 of the substrate spinning apparatus according to the second embodiment of the present invention will be described in detail.

본 발명의 제2실시예에 따른 기판 스피닝 장치의 회전 지지대(310)는, 도8 내지 도11에 도시된 바와 같이, 원형 디스크 형상의 기판(W)을 수평 회전시키는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대로서, 연직 방향으로 뻗어 회전되는 회전축(114)과, 회전축(114)의 상단부에 수직 방향으로 체결 결합되어 회전축(114)과 함께 회전하며 머리부 아래의 외주면에 확경부(319x)가 형성된 연결 볼트(319)와, 연결 볼트(319)에 의해 고정되어 회전축(114)과 함께 회전하는 회전체(118)와, 연결 볼트(319)의 머리부의 저면에 위치하되, 상면과 하면이 평탄면으로 형성된 오링(217)을 포함하여 구성된다. The rotation support 310 of the substrate spinning apparatus according to the second embodiment of the present invention, as shown in Figs. 8 to 11, serves as a rotation support for a substrate spinning apparatus that horizontally rotates a circular disk-shaped substrate W. , A connection bolt that extends and rotates in a vertical direction and is fastened to the upper end of the rotation shaft 114 in a vertical direction and rotates together with the rotation shaft 114 and has an enlarged diameter part 319x formed on the outer circumferential surface under the head ( 319), and a rotating body 118 that is fixed by a connection bolt 319 and rotates together with the rotation shaft 114, and an O-ring formed with a flat surface on the upper and lower surfaces of the head of the connection bolt 319 Consists of 217.

여기서, 회전축(114)의 상단부에는 연결 볼트(319)의 수나사산이 체결되는 암나사부(114x)가 형성되어, 회전축(114)은 연결 볼트(319)의 몸통부에 형성된 수나사산(319a)과 체결 결합된다. Here, the upper end of the rotation shaft 114 is formed with a female thread 114x to which the male thread of the connection bolt 319 is fastened, and the rotation shaft 114 is formed with a male thread 319a formed on the body of the connection bolt 319 It is fastened and combined.

그리고, 연결 볼트(319)의 머리부의 저면(319s)은 회전체(118)의 수평한 평탄면(118s)과 대향하면서, 그 사이에 오링(317)을 위치시킨다. 필요에 따라, 제1실시예와 같이, 연결 볼트(319)의 머리부의 하측에는 오링(317)을 수용하는 링 형태의 홈이 요입 형성될 수도 있다. In addition, the bottom surface 319s of the head of the connecting bolt 319 faces the horizontal flat surface 118s of the rotating body 118, and the O-ring 317 is positioned therebetween. If necessary, as in the first embodiment, a ring-shaped groove for accommodating the O-ring 317 may be formed in the lower side of the head of the connecting bolt 319.

연결 볼트(319)의 머리부 하측에는 머리부로부터 멀어질수록 단면이 점점 커지는 확경부(319x)가 형성된다. 이에 따라 확경부(319x)의 외주면은 도8에 도시된 바와 같이 경사면으로 형성되므로, 도8 및 도9에 도시된 바와 같이 연결 볼트(319)의 확경부(319x)에 탄성을 갖는 오링(317)을 끼울 수 있게 된다. 그리고, 확경부(319x)가 머리부로부터 멀어질수록 점점 단면이 커지는 형태로 경사면이 형성되므로, 확경부(319x)에 끼워진 오링(317)은 좀처럼 확경부(319x)로부터 이탈하지 않는다. An enlarged diameter portion 319x is formed on the lower side of the head portion of the connection bolt 319, the cross-section gradually increasing as the distance increases from the head portion. Accordingly, the outer circumferential surface of the expanding portion 319x is formed as an inclined surface as shown in Fig. 8, and thus, the O-ring 317 having elasticity in the expanding portion 319x of the connecting bolt 319 as shown in Figs. ) Can be inserted. In addition, since the inclined surface is formed in a shape that gradually increases in cross section as the diameter enlargement part 319x is further away from the head, the O-ring 317 fitted in the diameter enlargement part 319x does not seldom deviate from the diameter expansion part 319x.

이 때, 오링(317)의 내경은 외력이 가해지지 않은 상태에서 확경부(319x)의 외경보다 더 작게 형성되어, 오링(317)이 확경부(319x)에 탄성에 의해 약간 늘어난 상태로 끼워지는 것이 바람직하다. 이를 통해, 균질한 탄성 소재(예를 들어, 고무 재질)로 형성된 오링(317)은 확경부(319x)에 꼭 끼워진 상태를 유지하면서, 원주 길이 전체에 걸쳐 균일한 두께로 유지된다. At this time, the inner diameter of the O-ring 317 is formed smaller than the outer diameter of the expanding portion 319x in a state where no external force is applied, so that the O-ring 317 is fitted in a slightly stretched state by elasticity in the expanding portion 319x. It is desirable. Through this, the O-ring 317 formed of a homogeneous elastic material (for example, a rubber material) is maintained at a uniform thickness over the entire length of the circumference while maintaining a state that is tightly fitted to the expanding portion 319x.

한편, 확경부(319x)의 높이(ho)는 확경부(319x)의 둘레에 끼워지는 오링(317)의 높이(h1)에 비하여 더 작게 형성된다. 따라서, 오링(317)을 연결 볼트(319)의 확경부(319x)에 끼운 상태로 연결 볼트(319)를 회전축(114)의 상단부의 암나사부(114x)에 회전시키면서 체결하는 동안에, 오링(317)의 상면과 저면이 각각 연결 볼트(319)의 머리부 저면(319s)과 회전체(118)의 평탄면(118s)의 사이와 접촉하더라도, 오링(317)은 확경부(319x)에서 견고하게 자리잡고 있어서 위치 변동이 되지 않고 동시에 오링(317)이 원주 방향 전체에 걸쳐 균일한 두께로 분포된 상태가 유지된다. 또한, 도11에 도시된 바와 같이 확경부(319x)의 저면이 회전체(118)의 평탄면(118s)에 닿을 때까지 연결 볼트(319)를 죄더라도, 오링(317)의 원형 단면이 타원형이 원주 방향 전체에 걸쳐 균일하게 타원형 단면으로 변형되므로, 오링(317)의 두께가 국부적으로 두꺼워지거나 얇아지는 영역이 발생되지 않는다. 따라서, 연결 볼트(319)에 의해 고정된 회전체(118)는 그 중심축(55)이 회전축(114)의 뻗은 방향과 서로 일치하게 된다. On the other hand, the height (ho) of the diameter expansion portion (319x) is formed smaller than the height (h1) of the O-ring 317 fitted around the diameter expansion portion (319x). Therefore, while the O-ring 317 is inserted into the expanding portion 319x of the connecting bolt 319 while rotating the connecting bolt 319 to the female threaded portion 114x of the upper end of the rotating shaft 114, the O-ring 317 ), even if the upper and lower surfaces of the connection bolt 319 contact between the bottom surface 319s of the head of the connection bolt 319 and the flat surface 118s of the rotating body 118, the O-ring 317 is firmly in the enlarged diameter part 319x. Since it is located, the position does not change, and at the same time, the O-ring 317 is maintained in a uniform thickness distributed throughout the circumferential direction. In addition, even if the connecting bolt 319 is tightened until the bottom surface of the enlarged portion 319x contacts the flat surface 118s of the rotating body 118 as shown in FIG. 11, the circular cross section of the O-ring 317 is elliptical. Since the O-ring 317 is uniformly deformed into an elliptical cross section over the entire circumferential direction, a region in which the thickness of the O-ring 317 is locally thickened or thinned is not generated. Accordingly, the rotating body 118 fixed by the connecting bolt 319 is aligned with the direction in which the central axis 55 extends of the rotating shaft 114.

이를 통해, 회전체(118)의 중심축(55)이 회전축(114)과 일치하는 자세로 회전체(118)가 회전축(114)에 고정되므로, 회전체(118)의 원주 방향을 따라 요입 형성된 요홈부(111)는 수평한 평면 내에 항상 위치하게 된다. Through this, since the rotating body 118 is fixed to the rotating shaft 114 in a posture in which the central axis 55 of the rotating body 118 coincides with the rotating shaft 114, a concave formed along the circumferential direction of the rotating body 118 The concave portion 111 is always located in a horizontal plane.

더욱이, 연결 볼트(319)의 확경부(319x)의 저면(319y)에 접촉할 때까지 연결 볼트(319)가 회전축(114)에 결합됨으로써, 기판 스피닝 장치(100)의 다수의 회전 지지대(110, 120)에서의 연결 볼트(319)의 체결 길이를 모두 동일하게 조정할 수 있게 되는 잇점도 얻어진다. 이에 의하여, 다수의 회전 지지대(110, 120)에서의 회전체(118, 128)의 높이를 모두 일정하게 유지할 수 있다.Moreover, the connection bolt 319 is coupled to the rotation shaft 114 until it contacts the bottom surface 319y of the expansion portion 319x of the connection bolt 319, so that a plurality of rotation supports 110 of the substrate spinning apparatus 100 The advantage of being able to equally adjust the fastening lengths of the connecting bolts 319 in (120) is also obtained. Accordingly, the heights of the rotating bodies 118 and 128 in the plurality of rotating supports 110 and 120 can be kept constant.

따라서, 다수의 회전 지지대(110, 120)의 요홈부(111, 121)에 가장자리가 접촉한 상태로 회전하는 원형 기판(W)은 수평한 평면 내에 항상 위치할 수 있게 되고, 회전축(114, 124)이 회전하더라도 회전체(118)의 요홈부(111, 121)도 항상 수평한 평면 내에서만 위치하게 되므로, 원형 기판(W)이 상하 방향으로 요동 없이 수평 회전되게 구동하는 것이 가능해진다.
Accordingly, the circular substrate W rotating with the edges in contact with the concave portions 111 and 121 of the plurality of rotation supports 110 and 120 can always be positioned in a horizontal plane, and the rotation shafts 114 and 124 Even if) rotates, the grooves 111 and 121 of the rotating body 118 are always located only in a horizontal plane, so that the circular substrate W can be driven to rotate horizontally without shaking in the vertical direction.

한편, 도12에 도시된 본 발명의 제3실시예에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 회전체(118)는 2개 이상의 부재(118a, 118b)가 서로 결합된 상태일 수 있다. 이 경우에, 어느 하나의 부재(118a)는 우레탄이나 고무와 같이 탄성을 갖는 가요성 재질로 형성되어 높은 마찰력을 갖는 요홈부(111, 121)를 구비하고, 다른 하나의 부재(118b)는 알루미늄이나 스텐레스 또는 강철 등의 비가요성 재질로 형성되어 평탄면(118s)이 형성됨으로써, 기판(W)의 가장자리를 보다 높은 마찰로 회전 지지하면서도, 회전체(118)를 고정시키는 연결 볼트(219, 319)로 죌 때에 회전체(118)의 중심축(55)이 회전축(114)과 일치하게 조정하는 것이 용이하며, 조립된 상태를 견고하게 유지시킬 수 있다.
Meanwhile, as shown in the third embodiment of the present invention shown in FIG. 12, the rotating body 118 according to the present invention may be in a state in which two or more members 118a and 118b are coupled to each other. In this case, one member 118a is formed of a flexible material having elasticity such as urethane or rubber and has grooves 111 and 121 having high frictional force, and the other member 118b is aluminum The connection bolts 219 and 319 for fixing the rotating body 118 while rotating support the edge of the substrate W with higher friction by forming a flat surface 118s by being formed of an inflexible material such as stainless steel or steel. When tightening with ), it is easy to adjust the central axis 55 of the rotating body 118 to coincide with the rotating shaft 114, and the assembled state can be firmly maintained.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 기판 스피닝 장치의 회전 지지대는, 연결 볼트가 회전체를 고정시키기 위하여 회전축의 끝단부에 죄는 과정에서 연결 볼트의 회전에도 오링이 자신의 탄성에 의하여 항상 제 위치를 유지하면서 국부적으로 접히거나 쏠리는 것이 방지되어, 연결 볼트(219, 319)의 머리부 저면에 위치한 오링(217, 317)의 두께가 전체 원주 방향으로 균일하게 유지할 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.In the rotation support of the substrate spinning apparatus according to the present invention configured as described above, the O-ring always maintains its position due to its elasticity even when the connecting bolt rotates while the connecting bolt is clamped to the end of the rotating shaft to fix the rotating body. While being prevented from being folded or tilted locally, the thickness of the O-rings 217 and 317 located on the bottom of the head of the connecting bolts 219 and 319 can be uniformly maintained in the entire circumferential direction, thereby obtaining an advantageous effect.

이를 통해, 연결 볼트(219, 319)로 회전체(118)를 회전축(114)에 위치 고정시키는 과정에서 오링(217, 317)의 쏠림에 의해 회전체(118)가 틀어진 상태로 결합되는 것을 방지함으로써, 기판 스피닝 장치(100)의 회전 지지대(110, 120)마다 각 회전체(118, 128)가 회전축(114, 124)에 대하여 예정된 자세로 틀어짐없이 정확하게 고정시킬 수 있게 되어, 회전체(118, 128)가 회전하는 동안에도 요홈부(111, 121)가 상하로 요동하는 현상을 신뢰성있게 방지할 수 있으므로, 기판 스피닝 장치에 의하여 회전 지지되는 원형 기판(W)을 회전시키는 동안에 수평 상태로 유지할 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
Through this, in the process of fixing the rotation body 118 to the rotation shaft 114 with the connecting bolts 219 and 319, the rotation body 118 is prevented from being coupled in a twisted state due to the pulling of the O-rings 217 and 317 By doing so, it is possible to accurately fix each of the rotating bodies 118 and 128 with respect to the rotating shafts 114 and 124 in a predetermined posture for each rotation support 110 and 120 of the substrate spinning apparatus 100 without being distorted. , 128) can reliably prevent the fluctuation of the concave portions 111 and 121 up and down even while rotating, so that the circular substrate W supported by the substrate spinning device is kept in a horizontal state while rotating. You can get the beneficial effect that you can.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 상기와 같은 특정 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 본 발명의 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.
In the above, preferred embodiments of the present invention have been exemplarily described, but the scope of the present invention is not limited to the specific embodiments as described above, and the present invention is not limited to those of ordinary skill in the art. It is possible to change appropriately within the scope described in the claims.

100: 기판 스피닝 장치 110: 구동 회전 지지대
120: 감지 회전 지지대 111, 121: 요홈부
114: 회전축, 구동 홀더 118: 회전체
217, 317: 오링 219, 319: 연결 볼트
319x: 확경부 W: 원형 기판100: substrate spinning device 110: drive rotation support
120: sensing rotation support 111, 121: groove
114: rotating shaft, drive holder 118: rotating body
217, 317: O-ring 219, 319: connecting bolt
319x: expansion part W: circular substrate

Claims (8)

삭제delete 원형 디스크 형상의 기판을 수평 회전시키는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대로서,
연직 방향으로 뻗어 회전되는 회전축과;
상기 회전축의 상단부에 수직 방향으로 체결 결합되어 상기 회전축과 함께 회전하며, 머리부의 저면에는 상기 머리부로부터 하방으로 멀어질수록 직경이 점점 넓어지는 확경부가 형성된 연결 볼트와;
상기 연결 볼트에 의해 고정되어 상기 회전축과 함께 회전하고, 상기 기판의 가장자리를 수용하는 요홈부가 링 형태로 형성된 회전체와;
상기 연결 볼트의 확경부의 경사면에 끼워진 상태로 상기 머리부의 저면에 위치하는 오링을;
포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대.
As a rotation support for a substrate spinning apparatus that horizontally rotates a circular disk-shaped substrate,
A rotation shaft extending in a vertical direction and rotating;
A connection bolt that is fastened and coupled to an upper end of the rotation shaft in a vertical direction and rotates together with the rotation shaft, and has a diameter expanding portion formed on a bottom surface of the head that gradually increases in diameter as it moves downward from the head;
A rotating body fixed by the connection bolt and rotating together with the rotating shaft, and having a concave groove portion receiving an edge of the substrate in a ring shape;
An O-ring positioned on the bottom surface of the head part while being fitted to the inclined surface of the expanding part of the connection bolt;
Rotation support of the substrate spinning apparatus, characterized in that configured to include.
 제 2항에 있어서,
상기 확경부의 높이는 상기 오링의 높이보다 더 작은 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대.
The method of claim 2,
The rotation support of the substrate spinning apparatus, characterized in that the height of the expansion portion is smaller than the height of the O-ring.
 제 2항에 있어서,
상기 확경부는 상기 연결 볼트의 머리부 바로 아래에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대.
The method of claim 2,
The rotating support of the substrate spinning apparatus, characterized in that the expansion portion is located directly under the head of the connection bolt.
 제 2항에 있어서,
상기 오링은 탄력이 있는 재질로 형성되어, 상기 확경부의 상기 경사면에 밀착된 상태인 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대.
The method of claim 2,
The O-ring is formed of a material having elasticity, and is in close contact with the inclined surface of the expanding portion.
 제 2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 오링은 상기 머리부와 상기 회전체의 수평한 평탄면 사이에 개재되는 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대.
The method according to any one of claims 2 to 5,
The O-ring is interposed between the head and a horizontal flat surface of the rotating body.
 제 2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 회전체는 2개 이상의 부품이 결합되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대.
The method according to any one of claims 2 to 5,
The rotating body is a rotating support for a substrate spinning apparatus, characterized in that formed by combining two or more parts.
 제 7항에 있어서,
상기 회전체는, 상기 요홈부가 형성되고 가요성 재질로 형성되는 제1부재와, 상기 오링과 접촉하는 평탄면이 형성되고 비가요성 재질로 형성되는 제2부재가 서로 결합되어 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치의 회전 지지대.


The method of claim 7,
The rotating body is a substrate, characterized in that the first member having the concave portion and formed of a flexible material, and a second member having a flat surface in contact with the O-ring and formed of a non-flexible material are coupled to each other. The rotating support of the spinning device.
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