KR102229996B1 - 프로브 카드 관리 시스템 및 프로브 카드 관리 방법 - Google Patents

프로브 카드 관리 시스템 및 프로브 카드 관리 방법 Download PDF

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Abstract

프로브 카드의 수명을 고정밀도로 관리한다.
프로브 카드 관리 시스템은, 검사 장치와 복수의 관리 장치를 구비한다. 각각의 검사 장치는, 카메라와, 검사부와, 송신부를 갖는다. 검사부는, 카메라에 의해 촬영된 프로브 바늘의 바늘끝 화상으로부터, 각 프로브 바늘의 바늘끝의 상태를 측정하고, 측정 결과에 기초하여, 피검사체에 마련된 복수의 테스트 패드의 각각에 프로브 바늘의 바늘끝을 접촉시켜, 복수의 프로브 바늘의 바늘끝을 통하여 피검사체에 전기 신호를 공급함으로써 피검사체를 검사한다. 송신부는, 측정 결과 및 프로브 카드에 의해 행하여진 검사의 실행 횟수를 관리 장치로 송신한다. 관리 장치는, 임계값 특정부와, 통지부를 갖는다. 임계값 특정부는, 프로브 카드마다, 측정 결과 및 실행 횟수에 기초하여, 프로브 카드의 수명으로 다 되는 실행 횟수의 임계값을 특정한다. 통지부는, 프로브 카드마다, 현재까지의 실행 횟수와 임계값을 외부에 통지한다.

Description

프로브 카드 관리 시스템 및 프로브 카드 관리 방법{PROBE CARD MANAGEMENT SYSTEM AND PROBE CARD MANAGEMENT METHOD}
본 개시의 다양한 측면 및 실시 형태는, 프로브 카드 관리 시스템 및 프로브 카드 관리 방법에 관한 것이다.
예를 들어, 하기 특허문헌 1에는, 기판 적재대와, 프로브 카드와, 촬상부와, 판정부를 갖는 시험 장치가 개시되어 있다. 프로브 카드에는, 기판 적재대에 적재된 웨이퍼 W에 시험 신호를 부여하는 탐침이 마련되어 있다. 촬상부는, 탐침의 화상을 얻는다. 판정부는, 시험을 행하기 전과 후에서의 탐침의 화상 차이로부터, 해당 탐침의 바늘끝의 이상 여부를 판정한다.
일본 특허 공개 제2009-162723호 공보
본 개시는, 프로브 카드의 수명을 고정밀도로 관리할 수 있는 프로브 카드 관리 시스템 및 프로브 카드 관리 방법을 제공한다.
본 개시의 일측면은, 프로브 카드 관리 시스템이며, 피검사체를 검사하는 복수의 검사 장치와, 피검사체의 검사에 사용되는 프로브 카드의 상태를 관리하는 관리 장치를 구비한다. 검사 장치는, 카메라와, 검사부와, 송신부를 갖는다. 카메라는, 프로브 카드에 마련된 복수의 프로브 바늘의 바늘끝을 촬영한다. 검사부는, 카메라에 의해 촬영된 화상으로부터, 각각의 프로브 바늘의 바늘끝의 상태를 측정하고, 측정 결과에 기초하여, 피검사체에 마련된 복수의 테스트 패드의 각각에 프로브 바늘의 바늘끝을 접촉시켜, 각각의 프로브 바늘의 바늘끝을 통하여 피검사체에 전기 신호를 공급함으로써 피검사체를 검사한다. 송신부는, 측정 결과, 및 프로브 카드에 의해 행하여진 검사의 실행 횟수를 관리 장치로 송신한다. 관리 장치는, 임계값 특정부와, 통지부를 갖는다. 임계값 특정부는, 프로브 카드마다, 측정 결과 및 실행 횟수에 기초하여, 프로브 카드의 수명이 다 되는 실행 횟수의 임계값을 나타내는 제1 임계값을 특정한다. 통지부는, 프로브 카드마다, 현재까지의 실행 횟수와 제1 임계값을 외부에 통지한다.
본 개시의 다양한 측면 및 실시 형태에 따르면, 프로브 카드의 수명을 고정밀도로 관리할 수 있다.
도 1은 본원의 일 실시 형태에서의 프로브 카드 관리 시스템의 일례를 나타내는 시스템 구성도이다.
도 2는 본원의 일 실시 형태에서의 검사 장치의 일례를 나타내는 도면이다.
도 3은 본원의 일 실시 형태에서의 검사 유닛의 일례를 나타내는 개략 단면도이다.
도 4는 본원의 일 실시 형태에서의 제어 유닛의 일례를 나타내는 블록도이다.
도 5는 카메라의 이동 방향과 포커스가 맞는 면의 위치의 관계의 일례를 설명하는 도면이다.
도 6은 카메라에 의해 촬영된 화상의 일례를 나타내는 도면이다.
도 7은 표시 장치에 표시되는 화상의 일례를 나타내는 도면이다.
도 8은 본원의 일 실시 형태에서의 관리 장치의 일례를 나타내는 블록도이다.
도 9는 측정 이력 테이블의 일례를 나타내는 도면이다.
도 10은 누적 콘택트 횟수 테이블의 일례를 나타내는 도면이다.
도 11은 제1 임계값 및 제2 임계값의 추정 방법의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 표시 장치에 표시되는 화상의 일례를 나타내는 도면이다.
도 13은 검사 장치에 의해 행해지는 처리의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 14는 관리 장치에 의해 행해지는 처리의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 15는 본원의 일 실시 형태에서의 제어 유닛 또는 관리 장치의 기능을 실현하는 컴퓨터의 하드웨어의 일례를 나타내는 도면이다.
이하에, 개시되는 프로브 카드 관리 시스템 및 프로브 카드 관리 방법의 실시 형태에 대해, 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 실시 형태에 의해, 개시되는 프로브 카드 관리 시스템 및 프로브 카드 관리 방법이 한정되는 것은 아니다.
그런데, 검사되는 웨이퍼의 수가 적은 경우에는, 검사 전의 프로브 바늘의 상태와, 복수의 웨이퍼를 검사한 후의 프로브 바늘의 상태의 사이의 변화가 적은 경우가 있다. 그 때문에, 검사 전의 프로브 바늘의 상태를 기준으로 하여, 복수의 웨이퍼를 검사한 후의 프로브 바늘의 상태의 이상을 판정하는 경우에는, 프로브 바늘의 상태가 정상이라고 판정되는 경우가 많다.
그러나, 소정수의 웨이퍼의 검사가 복수회 실행된 경우에는, 각각의 검사의 전후에서는 프로브 바늘의 상태가 정상이라고 판정된 경우에도, 프로브 바늘의 상태가 점차 변화하여, 이상인 상태로 되어 있는 경우가 있다. 그 때문에, 검사 전후에서의 프로브 바늘의 상태의 비교에서 이상을 판정하는 경우에는, 프로브 바늘의 상태의 이상(예를 들어, 프로브 카드의 수명)을 정확하게 검출하기가 어렵다.
또한, 검사 후에 프로브 바늘의 이상이 검출되면, 지금까지의 검사 결과 중에서, 어느 검사 결과까지가 정상인 프로브 바늘에 의해 행해졌는지를 판별하기가 어렵다. 그 때문에, 모든 검사 결과가 쓸모없게 되어 버린다. 따라서, 검사 도중에 프로브 카드가 수명이 다할지 여부를, 검사를 행하기 전에 추정할 수 있음이 바람직하다.
그래서, 본 개시는, 프로브 카드의 수명을 고정밀도로 관리할 수 있는 기술을 제공한다.
[프로브 카드 관리 시스템(1)의 구성]
도 1은, 본원의 일 실시 형태에서의 프로브 카드 관리 시스템(1)의 일례를 나타내는 도면이다. 예를 들어 도 1에 도시된 바와 같이, 프로브 카드 관리 시스템(1)은, 관리 장치(20)와, 복수의 검사 장치(10A, 10B 및 10C)를 갖는다. 관리 장치(20)와, 검사 장치(10A, 10B 및 10C)의 각각은, 유선 회선 또는 무선 회선을 통하여, 서로 통신 가능하게 접속된다. 이하에서는, 복수의 검사 장치(10A, 10B 및 10C)의 각각을 구별하지 않고 총칭하는 경우에 검사 장치(10)라고 기재한다.
도 2는, 본원의 일 실시 형태에서의 검사 장치(10)의 일례를 나타내는 도면이다. 검사 장치(10)는, 제어 유닛(12), 로더 유닛(13), 검사 유닛(17), 표시 장치(131)를 갖는다. 검사 장치(10)는, 제어 유닛(12)의 제어 하, 로더 유닛(13)으로부터 검사 유닛(17)으로 피검사체인 반도체 웨이퍼(이하 「웨이퍼 W」라고 함)를 반송한다. 그리고, 검사 장치(10)는, 웨이퍼 W에 형성된 피검사 디바이스(DUT: Device Under Test)에 전기 신호를 부여하여 디바이스의 다양한 전기 특성을 검사한다.
로더 유닛(13)은, 카세트 수납부(14)와, 웨이퍼 반송 기구(도시되지 않음)를 갖는다. 카세트 수납부(14)는, 웨이퍼 W를 수용한 카세트 C를 수납한다. 카세트 C는, 예를 들어 FOUP(Front Opening Unify Pod)이다. 웨이퍼 반송 기구는, 카세트 수납부(14)에 수납된 카세트 C와, 후술하는 검사 유닛(17)에 마련된 스테이지(179) 사이에서 웨이퍼 W를 반송한다.
[검사 유닛(17)의 구성]
도 3은, 본원의 일 실시 형태에서의 검사 유닛(17)의 일례를 나타내는 개략 단면도이다. 검사 유닛(17)은, 중공의 하우징(181)을 갖는다. 하우징(181)의 측벽에는, 웨이퍼 W를 반입 및 반출하기 위한 개구(182)가 형성되어 있다. 하우징(181) 내의 대략 중앙에는, 스테이지(179)를 상하 방향(도 3에 도시된 z축 방향) 및 가로 방향(도 3에 도시된 x축 및 y축에 평행인 xy 평면 내의 방향)으로 이동시키는 이동 기구(180)가 마련되어 있다. 스테이지(179)의 상면에는, 웨이퍼 W가 적재된다. 스테이지(179)는, 상면에 적재된 웨이퍼 W를 진공 척 등에 의해 스테이지(179)의 상면에 흡착 보유 지지한다. 스테이지(179)의 측면에는, 카메라(178)가 마련되어 있다. 카메라(178)는, 촬영 방향이 상방을 향하도록 스테이지(179)의 측면에 장착되어 있다.
이동 기구(180)에 의해 스테이지(179)가 이동함으로써, 스테이지(179)의 측면에 마련된 카메라(178)도 이동한다. 이동 기구(180)는, 제어 유닛(12)에 의해 제어되고, 이동 기구(180)의 이동량은, 제어 유닛(12)에 의해 관리된다. 따라서, 하우징(181) 내에 있어서의 카메라(178) 및 스테이지(179)의 위치의 x 좌표, y 좌표 및 z 좌표는, 제어 유닛(12)에 의해 관리되고 있다.
하우징(181)은, 상부에 대략 원형상의 개구부를 가지고 있고, 해당 개구부에는, 테스트 헤드(171)가 마련되어 있다. 테스트 헤드(171)는, 개구부의 주연을 따라 마련된 프레임(174)에 고정되어 있다. 프레임(174)은, 샤프트(173)를 통하여 대략 원통형의 홀더(175)를 상방으로부터 지지한다.
홀더(175)는, 그 하부에 있어서, 복수의 프로브 바늘(177)이 마련된 프로브 카드(176)를 착탈 가능하게 보유 지지한다. 프로브 카드(176)에 마련된 각각의 프로브 바늘(177)은, 바늘끝이 하방을 향하도록 마련되어 있다. 도 3에 예시되어 있는 프로브 카드(176)에는, 외팔보 타입의 프로브 바늘(177)이 도시되어 있지만, 프로브 카드(176)에는, 수직 바늘 타입의 프로브 바늘(177)이 마련되어 있어도 된다. 또는, 외팔보 타입의 프로브 바늘(177)과 수직 바늘 타입의 프로브 바늘(177)이 혼재되어 있어도 된다.
또한, 본 실시 형태에서는, 프로브 카드(176)는, 복수의 상이한 검사 장치(10A, 10B 및 10C)의 검사 유닛(17)에 있어서 사용 가능하다. 예를 들어, 검사 장치(10A)의 검사 유닛(17)에 장착되어 있는 프로브 카드(176)의 메인터넌스가 필요하게 된 경우, 프로브 카드(176)가 분리되고, 그 대신에 별도의 프로브 카드(176)가 검사 장치(10A)의 검사 유닛(17)에 장착되어도 된다. 그리고, 메인터넌스가 완료된 프로브 카드(176)는, 검사 장치(10B 또는 10C)의 검사 유닛(17)에 장착되어도 된다.
또한, 각각의 프로브 바늘(177)은, 스테이지(179)에 적재된 웨이퍼 W가 검사 시의 위치로 이동한 경우에, 프로브 바늘(177)의 바늘끝이 웨이퍼 W에 마련된 테스트 패드에 접촉하는 위치로 되도록, 프로브 카드(176)에 배치되어 있다. 각각의 프로브 바늘(177)은, 프로브 카드(176)에 마련된 배선에 접속되어 있고, 프로브 카드(176)에 마련된 각각의 배선은, 홀더(175)에 마련된 배선을 통하여 테스트 헤드(171)에 접속되어 있다. 테스트 헤드(171)에는, 외부 테스터(170)가 접속되어 있다.
이와 같이 구성된 검사 유닛(17)에 있어서, 스테이지(179) 상에 적재된 웨이퍼 W의 검사가 행해지는 경우, 먼저, 제어 유닛(12)은, 카메라(178)가 프로브 바늘(177)의 하방에 위치하도록 이동 기구(180)를 제어한다. 그리고, 제어 유닛(12)은, 이동 기구(180)를 제어하여 카메라(178)를 프로브 바늘(177)에 접근시키면서, 카메라(178)에 프로브 바늘(177)을 촬영시킨다. 그리고, 제어 유닛(12)은, 카메라(178)에 의해 촬영된 화상에 기초하여, 각 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 가로 방향 및 상하 방향에 있어서의 위치를 측정한다.
그리고, 제어 유닛(12)은, 이동 기구(180)를 제어함으로써, 웨이퍼 W가 적재된 스테이지(179)를 상승시켜, 웨이퍼 W의 각 테스트 패드와 프로브 바늘(177)을 소정의 오버 드라이브양으로 접촉시킨다. 오버 드라이브양은, 웨이퍼 W가 적재된 스테이지(179)를 상승시켜, 웨이퍼 W의 테스트 패드와 각 프로브 바늘(177)의 바늘끝을 접촉시킨 후, 더욱 스테이지(179)를 상승시켰을 때의 상승량이다. 이하에서는, 각각의 프로브 바늘(177)의 바늘끝이, 대응하는 테스트 패드에 접촉한 횟수를 콘택트 횟수라고 기재한다.
그리고, 제어 유닛(12)은, 외부 테스터(170)를 제어하여, 소정의 전기 신호를 테스트 헤드(171)로 출력시킨다. 테스트 헤드(171)는, 외부 테스터(170)로부터 출력된 전기 신호를, 홀더(175) 내의 각각의 배선을 통하여 프로브 카드(176)로 출력한다. 프로브 카드(176)로 출력된 전기 신호는, 프로브 카드(176) 내의 배선을 통하여, 각각의 프로브 바늘(177)에 공급되어, 프로브 바늘(177)을 통하여 웨이퍼 W의 테스트 패드로 출력된다.
또한, 웨이퍼 W의 테스트 패드로부터 출력된 전기 신호는, 프로브 바늘(177)로 출력된다. 프로브 바늘(177)로 출력된 전기 신호는, 프로브 카드(176) 내의 배선 및 홀더(175) 내의 배선을 통하여, 테스트 헤드(171)로 출력된다. 테스트 헤드(171)로 출력된 전기 신호는, 외부 테스터(170)로 출력된다. 외부 테스터(170)는, 테스트 헤드(171)로 출력된 전기 신호와, 테스트 헤드(171)로부터 출력된 전기 신호에 기초하여, 웨이퍼 W의 전기 특성을 평가하고, 평가 결과를 제어 유닛(12)으로 출력한다.
또한, 제어 유닛(12)은, 프로브 바늘(177)과 웨이퍼 W의 위치 정렬을 행할 때에, 카메라(178)에 의해 촬영된 화상에 기초하여 각 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 위치나 크기 등의 바늘끝의 상태를 특정한다. 그리고, 제어 유닛(12)은, 특정된 바늘끝의 상태를 나타내는 정보를, 관리 장치(20)로 송신한다. 또한, 제어 유닛(12)은, 관리 장치(20)로부터 통지된 프로브 카드(176)의 정보(이하, 카드 정보라고 기재함)를 후술하는 표시 장치에 표시한다. 카드 정보에는, 현재까지의 콘택트 횟수, 메인터넌스가 필요한 콘택트 횟수 및 수명이 다 되는 콘택트 횟수 등이 포함된다.
여기서, 웨이퍼 W에 대한 검사를 반복하면, 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 상태가 변화한다. 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 상태의 변화로서는, 예를 들어 바늘끝의 마모나 구부러짐, 프로브 바늘(177)의 결손이나 고착, 바늘끝으로의 이물의 부착 등이 있다. 바늘끝의 마모나 구부러짐, 프로브 바늘(177)의 결손이나 고착은, 예를 들어 측정된 바늘끝의 위치와 설계 시의 바늘끝의 위치의 차에 의해 평가할 수 있다. 또한, 바늘끝의 마모나 이물의 부착은, 예를 들어 측정된 바늘끝의 크기와 설계 시의 바늘끝의 크기의 차에 의해 평가할 수 있다. 이와 같은 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 변화는, 바늘끝의 연마 등의 메인터넌스를 행함으로써 다소 회복시킬 수 있다. 그러나, 연마 자체에 의해, 프로브 바늘(177)의 바늘끝이 더욱 변화되는 경우도 있고, 메인터넌스에 의해 완전히 회복시키기는 어렵다. 프로브 카드(176)의 메인터넌스는, 도시하지 않은 메인터넌스 장치에 의해 실행된다.
[제어 유닛(12)의 구성]
도 4는, 본원의 일 실시 형태에서의 제어 유닛(12)의 일례를 나타내는 블록도이다. 제어 유닛(12)은, 촬영 제어부(120), 송신부(121), DB(DataBase)(122), 특정부(123), 검사부(124), 수신부(125), 접수부(126) 및 표시 제어부(127)를 갖는다.
접수부(126)는, 터치 패널 등의 입력 장치(130)를 통하여 외부(예를 들어 유저)로부터 검사의 개시를 지시한 경우, 검사 개시를 검사부(124)에 지시한다. 또한, 접수부(126)는, 입력 장치(130)를 통하여 검사를 행하는 웨이퍼 W의 수를 접수하고, 접수된 웨이퍼 W의 수를 검사부(124)로 출력한다.
송신부(121)는, 촬영 제어부(120) 및 특정부(123)로부터 출력된 데이터를, 유선 회선 또는 무선 회선을 통하여 관리 장치(20)로 송신한다.
촬영 제어부(120)는, 검사 유닛(17)의 홀더(175)에 프로브 카드(176)가 장착된 경우에, 이동 기구(180)를 제어하여, 카드 ID가 기재된 프로브 카드(176)의 부분이 카메라(178)에 의해 촬영되도록, 스테이지(179)를 이동시킨다. 카드 ID란, 각각의 프로브 카드(176)를 식별하는 정보이다. 프로브 카드(176)에는, 카드 ID가 기재된 시일 등이 부착되어 있다. 또한, 프로브 카드(176)의 카드 ID는, 프로브 카드(176)에 직접 인자되어 있어도 된다. 또한, 프로브 카드(176)의 카드 ID는, 바코드 등과 같이, 문자, 숫자 또는 기호 이외의 형식으로 기재되어 있어도 된다. 그리고, 촬영 제어부(120)는, 카메라(178)에 프로브 카드(176)의 카드 ID를 촬영시켜, 카메라(178)에 의해 촬영된 카드 ID를 송신부(121)를 통하여 관리 장치(20)로 송신한다.
또한, 촬영 제어부(120)는, 이동 기구(180)를 제어하여, 카메라(178)가 프로브 바늘(177)의 하방에 위치하도록 스테이지(179)를 이동시킨다. 그리고, 촬영 제어부(120)는, 카메라(178)에 각 프로브 바늘(177)을 촬영시켜, 카메라(178)에 의해 촬영된 화상을 취득한다. 취득된 화상은, 프로브 카드(176)의 카드 ID에 대응지어서 DB(122)에 저장된다. DB(122)는, 카메라(178)에 의해 촬영된 각각의 화상을, 카메라(178)의 x 좌표 및 y 좌표에 대응지어서 기억한다.
또한, 프로브 바늘(177)의 z 좌표를 정확하게 특정하는 경우에는, 촬영 제어부(120)는, 카메라(178)를 피사계 심도가 짧은(얕은) 고해상도의 광학계로 전환한다. 그리고, 촬영 제어부(120)는, 이동 기구(180)를 제어하여, 카메라(178)가 프로브 바늘(177)의 하방에 위치하도록 스테이지(179)를 이동시킨 후, 스테이지(179)를 상승시킨다. 이에 의해, 카메라(178)는, 스테이지(179)와 함께 상승하여, 각각의 프로브 바늘(177)의 높이 방향, 즉, 도 3의 z 축 방향을 따라서 이동한다. 그리고, 촬영 제어부(120)는, 이동한 카메라(178)의 각 위치에 있어서 카메라(178)에, 하나의 화상 내에 복수의 프로브 바늘(177)의 바늘끝이 찍히도록 복수의 프로브 바늘(177)의 바늘끝을 촬영시킨다.
그리고, 촬영 제어부(120)는, 카메라(178)에 의해 촬영된 화상을, 포커스가 맞는 면의 z 좌표에 대응지어서 송신부(121)에 저장한다. 본 실시 형태에 있어서, 촬영 제어부(120)에는, 카메라(178)의 렌즈로부터 포커스가 맞는 면까지의 피사체 거리가 미리 설정되어 있다. 촬영 제어부(120)는, 각 화상에 있어서, 피사체 거리와, 해당 화상이 촬영되었을 때의 카메라(178)의 렌즈 위치 좌표에 기초하여, 포커스가 맞는 면의 z 좌표를 특정한다.
도 5는, 카메라(178)의 이동 방향과 포커스가 맞는 면의 위치의 관계의 일례를 설명하는 도면이다. 촬영 제어부(120)는, 이동 기구(180)를 제어함으로써, 예를 들어 도 5의 화살표에 도시된 바와 같이, 프로브 바늘(177)의 하방으로부터 상승하도록 카메라(178)를 이동시킨다. 그리고, 촬영 제어부(120)는, 이동한 카메라(178)의 각 위치에 있어서 카메라(178)에, 하나의 화상 내에 복수의 프로브 바늘(177)의 바늘끝이 찍히도록 복수의 프로브 바늘(177)의 바늘끝을 촬영시킨다. 도 5의 예에서는, 카메라(178)에 의해 촬영된 하나의 화상 내에, 세 프로브 바늘(177-1 내지 177-3)의 바늘끝이 찍힌다. 카메라(178)가 상승함으로써, 카메라(178)의 포커스가 맞는 면의 z 좌표는, 예를 들어 도 5에 도시된 바와 같이, Z1로부터 Z11로 변화된다.
또한, 이하에서는, 카메라(178)의 포커스가 맞는 면의 z 좌표인 Zn(n은 1 내지 11의 정수)가 대응지어진 화상을 화상 Zn이라 기재한다. 도 5의 예에서는, 화상 Z4에 있어서 프로브 바늘(177-1)의 바늘끝에 포커스가 맞아 있고, 화상 Z6에 있어서 프로브 바늘(177-2)의 바늘끝에 포커스가 맞아 있으며, 화상 Z8에 있어서 프로브 바늘(177-3)의 바늘끝에 포커스가 맞아 있다. 카메라(178)에 의해 촬영된 화상 Z4, Z6 및 Z8은, 예를 들어 도 6과 같이 된다. 이와 같이, 바늘끝에 포커스가 맞는 카메라(178)의 z 좌표에 관련지어서 프로브 바늘(177)의 z 좌표를 특정할 수 있다. 또한, 카메라(178)는, 피사계 심도가 짧은(얕은) 고해상도의 광학계로 전환되어 있으므로, 포커스가 맞는 거리의 범위가 보다 좁아져, 각 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 z 축 방향에 있어서의 위치를 고정밀도로 검출할 수 있다.
특정부(123)는, DB(122)를 참조하여, 카메라(178)의 각 위치에 있어서 카메라(178)에 의해 촬영된 화상에 기초하여, 각각의 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 상태를 특정한다. 그리고, 특정부(123)는, 특정된 각각의 바늘끝의 상태를 나타내는 정보를 포함하는 측정 정보를, 송신부(121)로 출력한다. 바늘끝의 상태를 나타내는 정보에는, 바늘끝의 측정 항목마다, 측정 결과가 포함된다. 바늘끝의 측정 항목에는, 예를 들어 바늘끝의 x 좌표, 바늘끝의 y 좌표, 바늘끝의 z 좌표, 바늘끝의 x축 방향의 폭 및 바늘끝의 y 축 방향의 폭 등의 항목이 포함된다. 또한, 측정 정보에는, 프로브 카드(176)의 카드 ID, 프로브 카드(176)가 장착된 검사 유닛(17)의 장치 ID 및 검사부(124)로부터 출력된 콘택트 횟수가 포함된다.
또한, 특정부(123)는, 검출된 화상에 기초하여, 프로브 바늘(177)의 바늘끝 크기를 특정한다. 그리고, 특정부(123)는, 각각의 바늘끝의 상태를 나타내는 정보와, 프로브 카드(176)의 카드 ID와, 해당 프로브 카드(176)가 장착된 검사 유닛(17)의 장치 ID를 포함하는 측정 정보를 송신부(121)를 통하여 관리 장치(20)로 송신한다. 각각의 바늘끝의 상태를 나타내는 정보에는, 특정된 각각의 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 위치 및 크기의 정보가 포함된다.
수신부(125)는, 관리 장치(20)로부터 프로브 카드(176)의 카드 정보를 수신한 경우, 수신된 프로브 카드(176)의 카드 정보를 검사부(124) 및 표시 제어부(127)로 출력한다. 카드 정보에는, 프로브 카드(176)의 메인터넌스가 필요로 하는 누적 콘택트 횟수로 예상되는 누적 콘택트 횟수 및 프로브 카드(176)의 수명이 다 될 누적 콘택트 횟수로 예상되는 누적 콘택트 횟수의 정보 등이 포함된다. 이하에서는, 프로브 카드(176)의 메인터넌스가 필요로 하는 누적 콘택트 횟수로 예상되는 누적 콘택트 횟수를, 메인터넌스 예정 콘택트 횟수라고 기재한다. 또한, 프로브 카드(176)의 수명이 다 되는 누적 콘택트 횟수로 예상되는 누적 콘택트 횟수를, 수명이 다 되는 누적 콘택트 횟수라고 기재한다.
검사부(124)는, 접수부(126)로부터 검사 개시를 지시한 경우, 이동 기구(180)를 제어함으로써, 웨이퍼 W가 적재된 스테이지(179)를 프로브 바늘(177)의 하방으로 이동시킨다. 그리고, 검사부(124)는, 웨이퍼 W의 테스트 패드와 프로브 바늘(177)의 바늘끝이 접촉하도록, 스테이지(179)를 상승시킨다. 그리고, 검사부(124)는, 외부 테스터(170)에 검사 개시를 지시하여, 웨이퍼 W의 검사를 개시한다. 또한, 검사부(124)는, 특정부(123)로부터 출력된 xy 평면 내에 있어서의 위치의 정보에 기초하여, 검사 시의 xy 평면 내에 있어서의 웨이퍼 W의 위치를 오프셋시킨다. 이에 의해, 각각의 프로브 바늘(177)의 바늘끝을, 대응하는 테스트 패드에 확실하게 접촉시킬 수 있다.
또한, 검사부(124)는, 각각의 프로브 바늘(177)의 바늘끝을, 대응하는 테스트 패드에 접촉시킨 콘택트 횟수를 계수하고, 계수된 콘택트 횟수를 특정부(123)로 출력한다. 그리고, 수신부(125)로부터 출력된 카드 정보를 참조하여, 계수된 콘택트 횟수와 누적 콘택트 횟수의 합계가, 메인터넌스 예정 콘택트 횟수에 도달한 경우, 검사부(124)는, 표시 제어부(127)에 알람의 통지를 지시한다. 또한, 계수된 콘택트 횟수와 누적 콘택트 횟수의 합계가, 수명이 다 되는 누적 콘택트 횟수에 도달한 경우, 검사부(124)는, 검사를 중단하고, 표시 제어부(127)에 에러 통지를 지시한다.
표시 제어부(127)는, 수신부(125)로부터 프로브 카드(176)의 정보가 출력된 경우, 예를 들어 도 7에 나타낸 바와 같은 화상(40)을 표시 장치(131)에 표시시킨다. 도 7은, 표시 장치(131)에 표시되는 화상(40)의 일례를 나타내는 도면이다.
화상(40)에는, 예를 들어 도 7에 도시된 바와 같이, 프로브 카드(176)에 관한 정보인 카드 정보가 표시되는 영역(400)이 포함된다. 영역(400)에는, 카드 정보로서, 예를 들어 검사 유닛(17)에 장착된 프로브 카드(176)의 카드 ID, 사용 개시일, 누적 콘택트 횟수, 메인터넌스 예정 콘택트 횟수, 및 수명이 다 되는 누적 콘택트 횟수가 포함된다. 또한, 화상(40)에는, 검사를 행하는 웨이퍼 W의 매수가 입력되는 입력 BOX(401), 및 선택 버튼(402)이 포함된다.
도 7에 예시된 화상(40)은, 프로브 카드(176)가 검사 유닛(17)에 장착되고, 웨이퍼 W에 대한 검사가 개시되기 전에, 표시 장치(131)에 표시된다. 유저는, 입력 BOX(401)에 검사를 행하는 웨이퍼 W의 매수를 입력하고, 「"예"」의 선택 버튼(402)을 선택함으로써, 웨이퍼 W의 검사의 실행을 검사 장치(10)에 지시한다. 또한, 「"아니오"」의 선택 버튼(402)이 선택된 경우, 웨이퍼 W의 검사에 실행이 캔슬된다.
화상(40)에 포함되는 카드 정보를 참조함으로써, 유저는, 이제부터 사용되는 프로브 카드(176)가 메인터넌스 시기나 수명이 다 되어 가는 카드인지 여부를 판단할 수 있다. 또한, 카드 정보를 참조함으로써, 유저는, 검사 도중에 교환을 필요로 하지 않는 범위에서, 검사를 행하는 웨이퍼 W의 매수를 지정할 수 있다. 또한, 카드 정보를 참조함으로써, 유저는, 검사를 개시하기 전에, 검사 도중에 프로브 카드(176)의 교환이 필요해짐으로써 검사가 중단되어 버리는 것을 회피할 수 있다.
또한, 표시 제어부(127)는, 검사부(124)로부터 알람의 통지가 지시된 경우, 표시 장치(131)에 알람을 표시한다. 또한, 표시 제어부(127)는, 검사부(124)로부터 에러 통지가 지시된 경우, 표시 장치(131)에 에러를 표시한다.
[관리 장치(20)의 구성]
도 8은, 본원의 일 실시 형태에서의 관리 장치(20)의 일례를 나타내는 블록도이다. 관리 장치(20)는, 표시 제어부(200), 수신부(201), DB(202), 경향 특정부(203), 송신부(204) 및 임계값 특정부(205)를 갖는다. 표시 제어부(200)는, 데이터 관리부의 일례이다.
저장부의 일례로서의 DB(202)에는, 예를 들어 도 9에 나타낸 바와 같은 측정 이력 테이블(2020)과, 예를 들어 도 10에 나타낸 바와 같은 누적 콘택트 횟수 테이블(2028)이 저장된다. 도 9는, 측정 이력 테이블(2020)의 일례를 나타내는 도면이다. 측정 이력 테이블(2020)에는, 각각의 프로브 카드(176)를 식별하는 카드 ID(2021)에 대응지어서 카드 테이블(2022)이 저장되어 있다. 카드 테이블(2022)에는, 각각의 프로브 바늘(177)을 식별하는 바늘 ID(2023)에 대응지어서 바늘 테이블(2024)이 저장되어 있다. 바늘 테이블(2024)에는, 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 측정 항목을 식별하는 항목 ID(2025)에 대응지어, 측정 결과 테이블(2026)이 저장되어 있다.
측정 결과 테이블(2026)에는, 콘택트 횟수에 대응지어, 콘택트 횟수가 실행된 후의 바늘끝의 측정 결과와, 콘택트 횟수가 실행된 검사 유닛(17)의 장치 ID가 저장된다. 측정 결과의 란에는, 제어 유닛(12)에 의해 측정된 값이 저장된다. 단, 측정 결과의 란에 저장되는 「M0」에는, 예를 들어 설계값이 미리 저장된다. 또한, 메인터넌스가 실행된 경우, 그 취지를 나타내는 정보가 저장되고, 콘택트 횟수가 「0」의 란 이외의 데이터는 삭제된다. 단, 메인터넌스 전의 측정 이력 테이블(2020)의 정보는, DB(202)의 별도의 장소에 저장되고, 필요에 따라 참조할 수 있다.
도 10은, 누적 콘택트 횟수 테이블(2028)의 일례를 나타내는 도면이다. 누적 콘택트 횟수 테이블(2028)에는, 프로브 카드(176)의 카드 ID에 대응지어, 누적 콘택트 횟수, 제1 임계값 및 제2 임계값이 저장된다. 제1 임계값은, 수명이 다 되는 누적 콘택트 횟수이다. 제2 임계값은, 메인터넌스 예정 콘택트 횟수이다. 또한, 누적 콘택트 횟수 테이블(2028)에는, 카드 ID마다, 사용 개시일 등의 정보가 저장되어 있어도 된다.
수신부(201)는, 유선 회선 또는 무선 회선을 통하여 검사 장치(10)로부터, 카드 ID를 수신한 경우, 카드 ID를 송신부(204)로 출력한다. 또한, 수신부(201)는, 유선 회선 또는 무선 회선을 통하여 검사 장치(10)로부터, 카드 ID, 바늘끝의 상태를 나타내는 항목 마다의 측정 결과, 장치 ID, 및 콘택트 횟수를 포함하는 측정 정보를 수신한다. 그리고, 수신부(201)는, 수신된 항목 마다의 측정 결과와 콘택트 횟수를, 카드 ID 및 바늘 ID에 대응지어서 측정 이력 테이블(2020)에 저장한다. 그리고, 수신부(201)는, 카드 ID를 송신부(204)로 출력한다.
경향 특정부(203)는, DB(202)를 참조하여, 프로브 카드(176)마다, 각각의 프로브 바늘(177)의 측정 결과 및 콘택트 횟수에 기초하여, 콘택트 횟수에 대한 측정 결과의 변화의 경향을 특정한다. 임계값 특정부(205)는, 프로브 카드(176)마다, 경향 특정부(203)에 의해 특정된 변화의 경향에 기초하여, 제1 임계값 및 제2 임계값을 특정한다.
도 11은, 제1 임계값 및 제2 임계값의 추정 방법의 일례를 설명하기 위한 도면이다. 도 11의 예에서는, 어느 프로브 카드(176)의 어느 프로브 바늘(177)의 측정 결과의 일례로서, y축 방향에 있어서의 바늘끝의 폭의 측정 결과가 도시되어 있다. 여기서, 임계값 φ1은, 미리 설정된 프로브 바늘(177)의 수명이라고 판단되는 y축 방향에 있어서의 바늘끝의 폭이며, 임계값 φ2는, 미리 설정된 프로브 바늘(177)의 메인터넌스가 필요하다고 판단되는 y축 방향에 있어서의 바늘끝의 폭이다. 또한, 도 11에 있어서, 누적 콘택트 횟수가 「0」으로부터 「Na」까지는, 어느 검사 유닛(17a)에 장착되어 검사가 행해진 경우의 측정 결과이다. 또한, 누적 콘택트 횟수가 「Na」로부터 「Nb」까지는, 검사 유닛(17a)과는 다른 검사 유닛(17b)에 장착되어 검사가 행해진 경우의 측정 결과이다. 또한, 누적 콘택트 횟수가 「Nb」로부터 「Nc」까지는, 검사 유닛(17a) 및 검사 유닛(17b)과는 다른 검사 유닛(17c)에 장착되어 검사가 행해진 경우의 측정 결과이다.
경향 특정부(203)는, 누적 콘택트 횟수에 대한 측정 결과의 변화의 경향으로서, 예를 들어 측정 결과의 변화를 근사하는 직선(50)을 특정한다. 또한, 경향 특정부(203)는, 누적 콘택트 횟수에 대한 측정 결과의 변화의 경향으로서, 예를 들어 측정 결과의 변화를 근사하는 곡선을 특정해도 된다.
임계값 특정부(205)는, 경향 특정부(203)에 의해 특정된 직선(50)과, 프로브 바늘(177)의 측정 결과와 임계값 φ1에 기초하여, 수명이 다 되는 누적 콘택트 횟수인 제1 임계값 NTh1을 특정한다. 마찬가지로, 임계값 특정부(205)는, 경향 특정부(203)에 의해 특정된 직선(50)과, 프로브 바늘(177)의 측정 결과와 임계값 φ2에 기초하여, 메인터넌스 예정 콘택트 횟수인 제2 임계값 NTh2를 특정한다.
그리고, 임계값 특정부(205)는, 프로브 카드(176)마다, 특정된 제1 임계값 및 제2 임계값과, 최신의 누적 콘택트 횟수로, 누적 콘택트 횟수 테이블(2028) 내의 제1 임계값, 제2 임계값 및 누적 콘택트 횟수를 갱신한다.
송신부(204)는, 카드 ID가 수신부(201)로부터 출력된 경우, DB(202) 내의 측정 이력 테이블(2020) 및 누적 콘택트 횟수 테이블(2028)을 참조하여, 카드 정보를 작성한다. 그리고, 수신부(201)는, 작성된 카드 정보를, 유선 회선 또는 무선 회선을 통하여 검사 장치(10)로 송신한다. 검사 장치(10)로 송신된 카드 정보는, 제어 유닛(12)에 접속된 표시 장치(131)에 표시되어, 검사 장치(10)의 외부(예를 들어 유저)에 통지된다. 이에 의해, 송신부(204)는, 프로브 카드(176)마다, 현재까지의 검사의 실행 횟수와 제1 임계값을, 검사 장치(10)의 외부에 통지할 수 있다. 송신부(204)는, 통지부의 일례이다.
표시 제어부(200)는, 터치 패널 등의 입력 장치(22)를 통하여, 관리 장치(20)의 유저로부터 카드 정보의 표시 지시를 접수한 경우, DB(202) 내의 누적 콘택트 횟수 테이블(2028)을 참조하여, 예를 들어 도 12에 나타낸 바와 같은 화상(41)을 작성한다. 그리고, 표시 제어부(200)는, 작성된 화상(41)을 표시 장치(21)에 표시시킨다. 도 12는, 표시 장치(21)에 표시되는 화상(41)의 일례를 나타내는 도면이다. 화상(41) 내에는, 누적 콘택트 횟수 테이블(2028) 내의 정보가 기재된다. 유저는, 입력 장치(22)를 통하여 화상(41) 내의 슬라이더(411)를 조작함으로써, 각각의 카드 ID에 대응하는 프로브 카드(176)의 상태를 확인할 수 있다.
본 실시 형태에 있어서, 표시 제어부(200)는, 제1 임계값과의 차가 제1 횟수이하(예를 들어 1000회 이하)의 누적 콘택트 횟수에 대응지어진 정보를 화상(41) 내에 있어서 강조 표시한다. 도 12의 예에서는, 제1 임계값과의 차가 900이 되어 있는 누적 콘택트 횟수에 대응지어진 카드 ID가 「C006」의 정보가 프레임(410)으로 둘러싸여서 강조 표시되어 있다. 또한, 제1 임계값과의 차가 제1 횟수 이하의 누적 콘택트 횟수에 대응지어진 제1 임계값이 강조 표시됨으로써, 누적 콘택트 횟수가 이제 곧 제1 임계값에 도달하는 것을 외부(예를 들어 유저)에 통지해도 된다.
또한, 표시 제어부(200)는, 제2 임계값과의 차가 제2 횟수 이하(예를 들어 100회 이하)의 누적 콘택트 횟수에 대응지어진 정보를 화상(41) 내에 있어서 강조 표시해도 된다. 도 12의 예에서는, 제2 임계값과의 차가 50이 되어 있는 누적 콘택트 횟수에 대응지어진 카드 ID가 「C003」의 정보가 프레임(410)으로 둘러싸여서 강조 표시되어 있다. 또한, 제2 임계값과의 차가 제2 횟수 이하의 누적 콘택트 횟수에 대응지어진 제2 임계값이 강조 표시됨으로써, 누적 콘택트 횟수가 이제 곧 제2 임계값에 도달하는 것을 유저에게 통지해도 된다.
또한, 관리 장치(20)는, 제1 임계값과의 차가 소정값 이하의 누적 콘택트 횟수에 대응지어진 정보에 대해서는, 관리 장치(20)의 유저로부터 카드 정보의 표시 지시를 접수하고 있지 않은 경우에도, 소정의 통지처에 통지해도 된다. 소정의 통지처란, 예를 들어 프로브 카드 관리 시스템(1)의 관리자의 메일 어드레스 등이다.
또한, 표시 제어부(200)는, 입력 장치(22)를 통하여, 관리 장치(20)의 유저로부터 카드 ID와 함께 메인터넌스가 행하여진 취지의 통지를 접수한 경우, DB(202)의 측정 이력 테이블(2020) 내에 있어서, 카드 ID에 대응하는 카드 테이블(2022)을 특정한다. 그리고, 표시 제어부(200)는, 메인터넌스 전의 측정 이력 테이블(2020)의 정보를 DB(202)의 다른 장소의 저장 후, 특정된 카드 테이블(2022) 내에 있어서, 콘택트 횟수가 「0」의 란 이외의 데이터를 모두 삭제한다. 또한, 표시 제어부(200)는, 관리 장치(20)의 유저로부터 카드 ID와 함께 메인터넌스가 행하여진 취지의 통지를 접수한 경우, DB(202)의 측정 이력 테이블(2020) 내에 있어서, 카드 ID에 대응지어져 있는 누적 콘택트 횟수를 0으로 리셋한다. 또한, 표시 제어부(200)는, 메인터넌스에 의해 누적 콘택트 횟수가 0으로 리셋된 경우, 그 취지를 알 수 있도록, 0으로 리셋된 누적 콘택트 횟수를, 예를 들어 표시색 등을 바꾸어서 표시 장치(21)에 표시시켜도 된다. 또한, DB(202)의 다른 장소에 저장된 메인터넌스 전의 측정 이력 테이블(2020)의 정보는, 필요에 따라 참조할 수 있다.
[검사 장치(10)의 처리]
도 13은, 검사 장치(10)에 의해 행해지는 처리의 일례를 나타내는 흐름도이다. 예를 들어 검사 유닛(17)의 홀더(175)에 프로브 카드(176)가 장착된 경우에, 제어 유닛(12)은, 본 흐름도에 나타내는 처리를 개시한다.
먼저, 제어 유닛(12)의 촬영 제어부(120)는, 카드 ID가 기재된 프로브 카드(176)의 부분을 카메라(178)에 촬영시킴으로써, 프로브 카드(176)의 카드 ID를 취득한다(S100). 그리고, 촬영 제어부(120)는, 취득된 카드 ID를 송신부(121)로 출력한다. 송신부(121)는, 촬영 제어부(120)로부터 출력된 카드 ID를 관리 장치(20)로 송신한다(S101).
다음에, 제어 유닛(12)은, 프로브 카드(176)의 얼라인먼트를 행한다(S102). 프로브 카드(176)의 얼라인먼트에서는, 먼저, 촬영 제어부(120)가, 이동 기구(180)를 제어하여, 카메라(178)가 프로브 바늘(177)의 하방에 위치하도록 스테이지(179)를 이동시킨다. 그리고, 촬영 제어부(120)는, 카메라(178)에 각 프로브 바늘(177)을 촬영시켜, 카메라(178)에 의해 촬영된 화상을 취득한다. 취득된 화상은, 프로브 카드(176)의 카드 ID에 대응지어서 DB(122)에 저장된다.
특정부(123)는, DB(122)를 참조하여, 카메라(178)의 각 위치에 있어서 카메라(178)에 의해 촬영된 화상에 기초하여, 각각의 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 위치 및 크기 등을 측정한다.
다음에, 수신부(125)는, 관리 장치(20)로부터 카드 정보를 수신한다(S103). 그리고, 수신부(125)는, 수신된 카드 정보를 검사부(124) 및 표시 제어부(127)로 출력한다. 표시 제어부(127)는, 카드 정보를 표시 장치(131)에 표시시킨다(S104). 스텝 S104에서는, 예를 들어 도 7에 예시된 화상(40)이 표시 장치(131)에 표시된다.
다음에, 검사부(124)는, 입력 장치(130) 및 접수부(126)를 통하여, 검사의 실행이 지시되었는지 여부를 판정한다(S105). 검사를 실행하지 않는 취지가 지시된 경우(S105: "아니오"), 즉, 도 7에 예시된 화상(40)에 있어서 「"아니오"」를 나타내는 선택 버튼(402)이 선택된 경우, 제어 유닛(12)은, 본 흐름도에 나타낸 처리를 종료한다.
한편, 검사의 실행이 지시된 경우(S105: "예"), 검사부(124)는, 콘택트 횟수를 계수하는 변수 n을 1로 초기화한다(S106). 검사의 실행이 지시되는 경우, 도 7에 예시된 화상(40)에 있어서, 입력 BOX(401)에 검사 매수가 입력되어, 「"예"」를 나타내는 선택 버튼(402)이 선택된다.
검사부(124)는, 반송 기구(16) 등을 제어하여, 검사 대상의 웨이퍼 W를 검사 유닛(17)의 하우징(181) 내에 반입하고, 스테이지(179) 상에 적재시킨다(S107). 그리고, 검사부(124)는, 이동 기구(180)를 제어함으로써, 웨이퍼 W의 위치 미세 조정을 행한 후에, 각각의 프로브 바늘(177)의 바늘끝을, 대응하는 테스트 패드에 접촉시킴으로써, 웨이퍼 W의 검사를 실행한다(S108). 그리고, 검사부(124)는, 반송 기구(16) 등을 제어하여, 검사가 종료된 웨이퍼 W를 하우징(181) 내로부터 반출한다(S109).
다음에, 검사부(124)는, 변수 n을 1 증가시킨다(S110). 그리고, 검사부(124)는, 변수 n과, 스텝 S104에 있어서 표시 장치(131)에 표시된 카드 정보 내의 누적 콘택트 횟수 na의 합계값이 제1 임계값 NTh1에 도달했는지 여부를 판정한다(S111). 변수 n과 누적 콘택트 횟수 na의 합계값이, 제1 임계값 NTh1에 도달한 경우(S111: "예"), 검사부(124)는, 검사를 중단하고, 표시 제어부(127)에 에러 통지를 지시한다. 표시 제어부(127)는, 프로브 카드(176)의 교환이 필요함을 나타내는 에러를 표시 장치(131)에 표시한다(S112). 그리고, 제어 유닛(12)은, 본 흐름도에 나타낸 처리를 종료한다. 이에 의해, 수명에 도달한 프로브 카드(176)를 사용하여 웨이퍼 W의 검사가 실행되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 변수 n과 누적 콘택트 횟수 na의 합계값이, 제1 임계값 NTh1에 도달하지 않은 경우(S111: "아니오"), 검사부(124)는, 변수 n과 누적 콘택트 횟수 na의 합계값이, 제2 임계값 NTh2 이상인지 여부를 판정한다(S113). 변수 n과 누적 콘택트 횟수 na의 합계값이, 제2 임계값 NTh2 미만인 경우(S113: "아니오"), 검사부(124)는, 스텝 S115에 나타내는 처리를 실행한다. 한편, 변수 n과 누적 콘택트 횟수 na의 합계값이, 제2 임계값 NTh2 이상인 경우(S113: "예"), 검사부(124)는, 표시 제어부(127)에 알람 통지를 지시한다. 표시 제어부(127)는, 프로브 카드(176)의 메인터넌스가 필요함을 나타내는 알람을 표시 장치(131)에 표시한다(S114). 이에 의해, 외부(예를 들어 유저)에 프로브 카드(176)의 메인터넌스를 재촉할 수 있다.
다음에, 검사부(124)는, 입력 BOX(401)(도 7 참조)에 입력된 검사 매수분의 검사가 실행되었는지 여부를 판정한다(S115). 입력 BOX(401)에 입력된 검사 매수 분의 검사가 실행되지 않은 경우(S115: "아니오"), 검사부(124)는, 다시 스텝 S107에 나타낸 처리를 실행한다.
한편, 입력 BOX(401)에 입력된 검사 매수 분의 검사가 실행된 경우(S115: "예"), 검사부(124)는, 변수 n의 값을 특정부(123)로 출력한다. 그리고, 제어 유닛(12)은, 프로브 카드(176)의 얼라인먼트를 행한다(S116). 스텝 S116에 있어서의 프로브 카드(176)의 얼라인먼트는, 스텝 S102에 있어서의 프로브 카드(176)의 얼라인먼트와 마찬가지의 처리이기 때문에, 상세한 설명을 생략한다.
다음에, 특정부(123)는, 각각의 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 상태를 나타내는 정보와, 변수 n의 값과, 프로브 카드(176)의 카드 ID와, 검사 유닛(17)의 장치 ID를 포함하는 측정 정보를 송신부(121)로 출력한다. 각각의 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 상태를 나타내는 정보에는, 스텝 S116에 있어서의 프로브 카드(176)의 얼라인먼트에 있어서 특정된 각각의 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 위치 및 크기 등의 정보가 포함된다. 또한, 변수 n은, 실행된 콘택트 횟수이다. 송신부(121)는, 특정부(123)로부터 출력된 측정 정보를 관리 장치(20)로 송신한다(S117). 이에 의해, 관리 장치(20)는, 소정 횟수의 검사가 실행될 때마다, 프로브 카드(176)의 각각의 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 위치 및 크기 등의 정보를 수집할 수 있다.
[관리 장치(20)의 처리]
도 14는, 관리 장치(20)에 의해 행해지는 처리의 일례를 나타내는 흐름도이다.
먼저, 수신부(201)는, 검사 장치(10)로부터 카드 ID를 수신했는지 여부를 판정한다(S200). 카드 ID를 수신한 경우(S200: "예"), 수신부(201)는, 수신한 카드 ID를 송신부(204)로 출력한다. 송신부(204)는, DB(202)를 참조하여, 수신부(201)로부터 출력된 카드 ID에 대응하는 정보를 수집하여 카드 정보를 작성한다(S201). 그리고, 송신부(204)는, 작성된 카드 정보를 검사 장치(10)로 송신한다(S202). 그리고, 다시 스텝 S200에 나타낸 처리가 실행된다.
카드 ID를 수신하지 않은 경우(S200: "아니오"), 수신부(201)는, 검사 장치(10)로부터 측정 정보를 수신했는지 여부를 판정한다(S203). 검사 장치(10)로부터 측정 정보를 수신한 경우(S203: "예"), 수신부(201)는, 수신된 측정 정보에 포함되어 있는 항목별 측정 결과와 콘택트 횟수를, 카드 ID 및 바늘 ID에 대응지어서 측정 이력 테이블(2020)에 저장한다(S204). 또한, 수신부(201)는, 측정 정보에 포함되는 카드 ID에 대응지어져 있는 누적 콘택트 횟수를 누적 콘택트 횟수 테이블(2028)로부터 추출하고, 추출된 누적 콘택트 횟수와 측정 정보에 포함되는 콘택트 횟수를 합계한다. 그리고, 수신부(201)는, 합계값에서, 측정 정보에 포함되는 카드 ID에 대응지어져서 누적 콘택트 횟수 테이블(2028)에 저장되어 있는 누적 콘택트 횟수를 갱신한다. 그리고, 수신부(201)는, 카드 ID를 송신부(204)로 출력한다.
다음에, 경향 특정부(203)는, DB(202)를 참조하여, 프로브 카드(176)마다, 각각의 프로브 바늘(177)의 측정 결과 및 콘택트 횟수에 기초하여, 콘택트 횟수에 대한 측정 결과의 변화의 경향을 특정한다(S205).
다음에, 임계값 특정부(205)는, 프로브 카드(176)마다, 경향 특정부(203)에 의해 특정된 변화의 경향에 기초하여, 제1 임계값 및 제2 임계값을 특정한다(S206). 또한, 임계값 특정부(205)는, 프로브 카드(176)마다, 특정된 제1 임계값 및 제2 임계값에서, 누적 콘택트 횟수 테이블(2028) 내의 제1 임계값 및 제2 임계값을 갱신한다(S207). 그리고, 송신부(204)는, 스텝 S201에 나타낸 처리를 실행한다.
검사 장치(10)로부터 측정 정보를 수신하지 않은 경우(S203: "아니오"), 표시 제어부(200)는, 입력 장치(22)를 통하여 표시 지시를 접수했는지 여부를 판정한다(S208). 표시 지시를 접수한 경우(S208: "예"), 표시 제어부(200)는, DB(202) 내의 누적 콘택트 횟수 테이블(2028)을 참조하여, 카드 정보가 기재된 화상(41)(도 12 참조)을 작성한다. 그리고, 표시 제어부(200)는, 작성된 화상(41)을 표시 장치(21)에 표시시킨다(S209). 그리고, 다시 스텝 S200에 나타낸 처리가 실행된다.
표시 지시를 접수하지 않고 있는 경우(S208: "아니오"), 표시 제어부(200)는, 입력 장치(22)를 통하여, 카드 ID와 함께, 메인터넌스가 행하여진 취지가 입력 되었는지 여부를 판정한다(S210). 메인터넌스가 행하여진 취지가 입력되지 않은 경우(S210: "아니오"), 다시 스텝 S200에 나타낸 처리가 실행된다.
한편, 카드 ID와 함께, 메인터넌스가 행하여진 취지가 입력된 경우(S210: "예"), DB(202)의 측정 이력 테이블(2020) 내에 있어서, 카드 ID에 대응하는 카드 테이블(2022)을 특정한다. 그리고, 표시 제어부(200)는, 메인터넌스 전의 측정 이력 테이블(2020)의 정보를 DB(202)의 다른 장소에 저장한 후, 특정된 카드 테이블(2022) 내에 있어서, 콘택트 횟수가 「0」의 란 이외의 모든 측정 결과를 삭제한다(S211). 또한, 표시 제어부(200)는, DB(202)의 측정 이력 테이블(2020) 내에 있어서, 카드 ID에 대응지어져 있는 누적 콘택트 횟수를 0으로 리셋한다(S212). 메인터넌스가 행하여진 프로브 카드(176)에 대해서는, 스텝 S209에서 표시되는 화상(41)에 있어서, 메인터넌스가 행하여진 것을 알 수 있도록, 예를 들어 표시색 등이 변경된다. 그리고, 다시 스텝 S200에 나타낸 처리가 실행된다.
[하드웨어]
상기한 제어 유닛(12) 또는 관리 장치(20)는, 예를 들어 도 15에 도시되는 하드웨어를 갖는 컴퓨터(60)에 의해 실현된다. 도 15는, 본원의 일 실시 형태에서의 제어 유닛(12) 또는 관리 장치(20)의 기능을 실현하는 컴퓨터(60)의 하드웨어의 일례를 나타내는 도면이다. 컴퓨터(60)는, CPU(Central Processing Unit)(61), RAM(RandomAccessMemory)(62), ROM(Read Only Memory)(63) 및 보조 기억 장치(64)를 구비한다. 또한, 컴퓨터(60)는, 통신 인터페이스(I/F)(65), 입출력 인터페이스(I/F)(66), 및 미디어 인터페이스(I/F)(67)를 구비한다.
CPU(61)는, ROM(63) 또는 보조 기억 장치(64)로부터 판독되어 RAM(62) 상에 전개된 프로그램에 기초해 동작하여, 각 부의 제어를 행한다. ROM(63)은, 컴퓨터(60)의 기동 시에 CPU(61)에 의해 실행되는 부트 프로그램이나, 컴퓨터(60)의 하드웨어에 의존하는 프로그램 등을 저장한다.
보조 기억 장치(64)는, 예를 들어 HDD(Hard Disk Drive) 또는 SSD(Solid State Drive) 등이며, CPU(61)에 의해 실행되는 프로그램 및 해당 프로그램에 의해 사용되는 데이터 등을 저장한다. CPU(61)는, 해당 프로그램을, 보조 기억 장치(64)로부터 판독하여 RAM(62) 상에 로드하고, 로드된 프로그램을 실행한다.
통신 I/F(65)는, 유선 또는 무선의 통신 회선을 통하여 외부 장치와의 사이에서 통신을 행한다. 컴퓨터(60)가 제어 유닛(12)으로서 기능하는 경우, 외부 장치는, 예를 들어 로더 유닛(13), 검사 유닛(17), 및 관리 장치(20)이다. 컴퓨터(60)가 관리 장치(20)로서 기능하는 경우, 외부 장치는, 예를 들어 복수의 검사 장치(10A, 10B 및 10C)이다. 통신 I/F(65)는, 통신 회선을 통하여 외부 장치로부터 데이터를 수신하여 CPU(61)로 보내고, CPU(61)가 생성한 데이터를, 통신 회선을 통하여 외부 장치로 송신한다.
CPU(61)는, 입출력 I/F(66)를 통하여, 터치 패널 등의 입력 장치 및 디스플레이 등의 출력 장치를 제어한다. CPU(61)는, 입출력 I/F(66)를 통하여, 입력 장치로부터 입력된 신호를 취득하여 CPU(61)로 보낸다. 또한, CPU(61)는, 생성한 데이터를, 입출력 I/F(66)를 통하여 출력 장치로 출력한다.
미디어 I/F(67)는, 기록 매체(68)에 저장된 프로그램 또는 데이터를 판독하고, 보조 기억 장치(64)에 저장한다. 기록 매체(68)는, 예를 들어 DVD(Digital Versatile Disc), PD(Phase change rewritable Disk) 등의 광학 기록 매체, MO(Magneto-Optical disk) 등의 광자기 기록 매체, 테이프 매체, 자기 기록 매체 또는 반도체 메모리 등이다.
컴퓨터(60)가 제어 유닛(12)으로서 기능하는 경우, CPU(61)는, RAM(62) 상의 프로그램을 실행함으로써, 촬영 제어부(120), 송신부(121), 특정부(123), 검사부(124), 수신부(125), 접수부(126), 및 표시 제어부(127)의 각 기능을 실현한다. 또한, 보조 기억 장치(64)에는, DB(122) 내 데이터가 저장된다.
또한, 컴퓨터(60)가 관리 장치(20)로서 기능하는 경우, CPU(61)는, RAM(62)상에 로드된 프로그램을 실행함으로써, 표시 제어부(200), 수신부(201), 경향 특정부(203), 송신부(204), 및 임계값 특정부(205)의 각 기능을 실현한다. 또한, 보조 기억 장치(64)에는, DB(202) 내 데이터가 저장된다.
CPU(61)는, RAM(62) 상에 로드되는 프로그램을, 기록 매체(68)로부터 판독하여 보조 기억 장치(64)에 저장하지만, 다른 예로서, 다른 장치로부터, 통신 회선을 통하여 프로그램을 취득하여 보조 기억 장치(64)에 저장해도 된다.
이상, 일 실시 형태에 대해 설명하였다. 상기한 바와 같이, 본 실시 형태에서의 프로브 카드 관리 시스템(1)은, 웨이퍼 W를 검사하는 복수의 검사 장치(10)와, 웨이퍼 W의 검사에 사용되는 프로브 카드(176)의 상태를 관리하는 관리 장치(20)를 구비한다. 각각의 검사 장치(10)는, 카메라(178)와, 검사부(124)와, 송신부(121)를 갖는다. 카메라(178)는, 프로브 카드(176)에 마련된 복수의 프로브 바늘(177)의 바늘끝을 촬영한다. 검사부(124)는, 카메라(178)에 의해 촬영된 화상으로부터, 각각의 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 상태를 측정하고, 측정 결과에 기초하여, 웨이퍼 W에 마련된 복수의 테스트 패드의 각각에 프로브 바늘(177)의 바늘끝을 접촉시켜, 복수의 프로브 바늘(177)의 바늘끝을 통하여 웨이퍼 W에 전기 신호를 공급함으로써 웨이퍼 W를 검사한다. 송신부(121)는, 측정 결과 및 프로브 카드(176)에 의해 행하여진 검사의 실행 횟수를 관리 장치(20)로 송신한다. 관리 장치(20)는, 임계값 특정부(205)와, 송신부(204)를 구비한다. 임계값 특정부(205)는, 프로브 카드(176)마다, 측정 결과 및 실행 횟수에 기초하여, 프로브 카드(176)의 수명이 다 되는 실행 횟수의 임계값을 나타내는 제1 임계값을 특정한다. 송신부(204)는, 프로브 카드(176)마다, 현재까지의 실행 횟수와 제1 임계값을 유저 등의 외부에 통지한다. 이에 의해, 프로브 카드 관리 시스템(1)은, 각각의 프로브 카드(176)의 수명을 고정밀도로 관리할 수 있다.
또한, 상기한 실시 형태에 있어서, 관리 장치(20)는, 상기 실행 횟수에 대한 측정 결과의 변화의 경향을 특정하는 경향 특정부(203)를 갖는다. 임계값 특정부(205)는, 프로브 카드(176)마다, 경향 특정부(203)가 특정한 변화의 경향에 기초하여 제1 임계값을 특정한다.
또한, 상기한 실시 형태에 있어서, 임계값 특정부(205)는, 프로브 카드(176)마다, 측정 결과의 변화의 경향에 기초하여 프로브 카드(176)의 메인터넌스가 필요한 검사의 실행 횟수의 임계값을 나타내는 제2 임계값을 추가로 특정한다. 송신부(204)는, 프로브 카드(176)마다, 제2 임계값을 유저 등의 외부에 추가로 통지한다. 이에 의해, 유저는, 검사를 이후 몇회 실행한 경우에 프로브 카드(176)의 메인터넌스가 필요하게 되는지를 인식할 수 있다.
또한, 상기한 실시 형태에 있어서, 관리 장치(20)는, 프로브 카드(176)마다, 제1 임계값 및 제2 임계값을 표시 장치(21)에 표시시키는 표시 제어부(200)를 갖는다. 이에 의해, 관리 장치(20)의 유저는, 복수의 프로브 카드(176)에 있어서, 수명이 다 되어가는 프로브 카드(176)나 메인터넌스가 필요한 프로브 카드(176)를 용이하게 관리할 수 있다.
또한, 상기한 실시 형태에 있어서, 표시 제어부(200)는, 현재까지의 실행 횟수와 제1 임계값의 차가 제1 횟수 이하인 프로브 카드(176)에 대해서는, 제1 임계값을 표시 장치(21)에 강조 표시시킨다. 또한, 표시 제어부(200)는, 현재까지 실행 횟수와 제2 임계값의 차가 제2 횟수 이하인 프로브 카드(176)에 대해서는, 제2 임계값을 표시 장치(21)에 강조 표시시킨다. 이에 의해, 관리 장치(20)의 유저는, 복수의 프로브 카드(176) 중에서 메인터넌스 시기가 가까운 프로브 카드(176)를 신속히 인식할 수 있다.
또한, 상기한 실시 형태에 있어서, 관리 장치(20)는, 프로브 카드(176)마다, 측정 결과 및 실행 횟수를 보유하는 DB(202)를 갖는다. 표시 제어부(200)는, 프로브 카드(176)의 메인터넌스가 행해진 경우에, 해당 프로브 카드(176)의 측정 결과 및 실행 횟수를 DB(202)로부터 삭제한다. 이에 의해, 메인터넌스 후의 프로브 카드(176)에 있어서의 다음의 메인터넌스 시기나 수명을 고정밀도로 관리할 수 있다.
또한, 상기한 실시 형태에 있어서, 특정부(123)에 의해 측정된 각각의 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 측정 결과에는, 각각의 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 위치 및 크기의 측정값이 포함된다. 이에 의해, 측정 결과의 변화의 경향으로부터, 각각의 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 마모 상태의 경향을 특정할 수 있다.
또한, 상기한 실시 형태에 있어서, 특정부(123)는, 각각의 프로브 바늘(177)의 높이 방향의 각 위치에 있어서 카메라(178)에 의해 하나의 화상 내에 복수의 프로브 바늘(177)의 바늘끝이 찍히도록 촬영된 화상을 사용하여, 프로브 바늘(177)마다, 포커스가 맞아 있는 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 화상과, 해당 화상이 촬영되었을 때의 카메라(178)의 위치에 기초하여, 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 위치를 특정한다. 이에 의해, 단시간에 각각의 프로브 바늘(177)의 바늘끝의 위치를 고정밀도로 특정할 수 있다.
[기타]
또한, 본원에 개시된 기술은, 상기한 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 그 요지의 범위 내에서 수많은 변형이 가능하다.
예를 들어, 상기한 실시 형태에서는, 프로브 카드(176)에 카드 ID가 기재된 시일 등이 부착되어 있고, 제어 유닛(12)은, 카메라(178)에 의해 촬영된 화상으로부터 프로브 카드(176)의 카드 ID를 취득하지만, 개시의 기술은 이에 한정되지 않는다. 다른 예로서, 프로브 카드(176)에는, 예를 들어 카드 ID가 기록된 RF 태그가 장착되고, 제어 유닛(12)은, 검사 유닛(17) 내에 마련된 판독 장치를 통하여, RF 태그 내의 카드 ID를 취득해도 된다.
또한, 상기한 실시 형태에서는, 검사 개시 전에 프로브 카드(176)의 얼라인먼트가 행해지고, 그 후는 유저에 의해 지정된 수의 웨이퍼 W 검사가 종료할 때 마다, 프로브 카드(176)의 얼라인먼트가 행하여진다. 그러나, 개시의 기술은 이에 한정되지 않는다. 프로브 카드(176)의 얼라인먼트는, 1매의 웨이퍼 W의 검사가 종료할 때마다 행해져도 된다. 또는, 유저에 의해 지정된 수와는 무관계로, 소정수(예를 들어 25매)의 웨이퍼 W의 검사가 종료할 때마다 행해져도 된다.
또한, 금회 개시된 실시 형태는 모든 점에서 예시이며, 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 실제로, 상기한 실시 형태는 다양한 형태로 구현될 수 있다. 예를 들어, 1개 또는 복수의 로더 유닛에 대해, 복수의 검사 유닛이 마련된 검사 장치여도 된다. 이 경우, 이 검사 장치를 하나의 검사 장치로 간주해도 되고, 복수의 검사 유닛을 복수의 검사 장치로 간주해도 된다. 또한, 상기한 실시 형태는, 첨부의 특허 청구 범위 및 그의 취지를 일탈하는 일 없이, 다양한 형태로 생략, 치환, 변경되어도 된다.

Claims (10)

  1. 피검사체를 검사하는 복수의 검사 장치와,
    상기 피검사체의 검사에 사용되는 프로브 카드의 상태를 관리하는 관리 장치
    를 포함하고,
    각각의 상기 검사 장치는,
    상기 프로브 카드에 마련된 복수의 프로브 바늘의 바늘끝을 촬영하는 카메라와,
    상기 카메라에 의해 촬영된 화상으로부터, 각각의 상기 프로브 바늘의 바늘끝의 상태를 측정하고, 측정 결과에 기초하여, 상기 피검사체에 마련된 복수의 테스트 패드의 각각에 상기 프로브 바늘의 바늘끝을 접촉시켜, 복수의 상기 프로브 바늘의 바늘끝을 통하여 상기 피검사체에 전기 신호를 공급함으로써 상기 피검사체를 검사하는 검사부와,
    상기 측정 결과 및 상기 프로브 카드에 의해 행하여진 상기 검사의 실행 횟수를 상기 관리 장치로 송신하는 송신부
    를 포함하고,
    상기 관리 장치는,
    상기 프로브 카드마다, 상기 측정 결과 및 상기 실행 횟수에 기초하여, 상기 프로브 카드의 수명이 다 되는 상기 실행 횟수의 임계값을 나타내는 제1 임계값을 특정하는 임계값 특정부와,
    상기 프로브 카드마다, 현재까지의 상기 실행 횟수와 상기 제1 임계값을 외부에 통지하는 통지부
    를 포함하는, 프로브 카드 관리 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 관리 장치는,
    상기 실행 횟수에 대한 상기 측정 결과의 변화의 경향을 특정하는 경향 특정부를 포함하고,
    상기 임계값 특정부는,
    상기 프로브 카드마다, 상기 경향 특정부가 특정한 변화의 경향에 기초하여 상기 제1 임계값을 특정하는, 프로브 카드 관리 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 임계값 특정부는,
    상기 프로브 카드마다, 상기 변화의 경향에 기초하여 상기 프로브 카드의 메인터넌스가 필요한 상기 검사의 실행 횟수의 임계값을 나타내는 제2 임계값을 추가로 특정하고,
    상기 통지부는,
    상기 프로브 카드마다, 상기 제2 임계값을 외부에 추가로 통지하는, 프로브 카드 관리 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 관리 장치는,
    상기 프로브 카드마다, 현재까지의 상기 실행 횟수와 함께 상기 제1 임계값 및 상기 제2 임계값을 표시 장치에 표시시키는 데이터 관리부를 포함하는, 프로브 카드 관리 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 데이터 관리부는,
    현재까지의 상기 실행 횟수와 상기 제1 임계값의 차가 제1 횟수 이하인 상기 프로브 카드에 대해서는, 상기 제1 임계값을 상기 표시 장치에 강조 표시시키고, 현재까지의 상기 실행 횟수와 상기 제2 임계값의 차가, 제2 횟수 이하인 상기 프로브 카드에 대해서는, 상기 제2 임계값을 상기 표시 장치에 강조 표시시키는, 프로브 카드 관리 시스템.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 관리 장치는, 상기 프로브 카드마다, 상기 측정 결과 및 상기 실행 횟수를 저장하는 저장부를 포함하고,
    상기 데이터 관리부는,
    상기 프로브 카드의 메인터넌스가 행해진 경우에, 해당 프로브 카드의 상기 측정 결과 및 상기 실행 횟수를 상기 저장부로부터 삭제하는, 프로브 카드 관리 시스템.
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 측정 결과에는, 각각의 상기 프로브 바늘의 바늘끝의 위치 및 크기의 측정값이 포함되는, 프로브 카드 관리 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 검사 장치는,
    각각의 상기 프로브 바늘의 높이 방향의 각 위치에 있어서, 상기 카메라에 의해 하나의 화상 내에 복수의 상기 프로브 바늘의 바늘끝이 찍히도록 촬영된 화상을 사용하여, 상기 프로브 바늘마다, 포커스가 맞아 있는 상기 프로브 바늘의 바늘끝 화상과, 해당 화상이 촬영되었을 때의 상기 카메라의 위치에 기초하여, 상기 프로브 바늘의 바늘끝의 위치를 특정하는 특정부를 갖는, 프로브 카드 관리 시스템.
  9. 피검사체를 검사하는 복수의 검사 장치와, 상기 피검사체의 검사에 사용되는 프로브 카드의 상태를 관리하는 관리 장치를 포함하는 프로브 카드 관리 시스템에 있어서의 프로브 카드 관리 방법이며,
    상기 복수의 검사 장치의 각각의 카메라에 의해 상기 프로브 카드에 마련된 각각의 프로브 바늘을 촬영하는 촬영 공정과,
    상기 카메라에 의해 촬영된 화상으로부터, 각각의 상기 프로브 바늘의 상태를 측정하는 측정 공정과,
    상기 복수의 검사 장치의 각각의 상기 프로브 카드를 사용하여, 상기 피검사체에 마련된 복수의 테스트 패드의 각각에 상기 프로브 바늘의 바늘끝을 접촉시켜, 복수의 상기 프로브 바늘의 바늘끝을 통하여 상기 피검사체에 전기 신호를 공급함으로써 상기 피검사체를 검사하는 검사 공정과,
    상기 측정의 결과 및 상기 프로브 카드에 의해 행하여진 상기 검사의 실행 횟수를 상기 관리 장치로 송신하는 송신 공정과,
    상기 관리 장치를 이용하여, 상기 프로브 카드마다, 상기 측정의 결과 및 상기 실행 횟수에 기초하여, 상기 프로브 카드의 수명이 다 되는 상기 실행 횟수의 임계값을 나타내는 제1 임계값을 특정하는 임계값 특정 공정과,
    상기 관리 장치를 이용하여, 상기 프로브 카드마다, 상기 제1 임계값을 외부에 통지하는 통지 공정
    을 포함하는, 프로브 카드 관리 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 관리 장치를 이용하여, 상기 실행 횟수에 대한 상기 측정의 결과의 변화의 경향을 특정하는 경향 특정 공정을 더 포함하고,
    상기 임계값 특정 공정에서는,
    상기 프로브 카드마다, 특정된 변화의 경향에 기초하여 상기 제1 임계값이 특정되는, 프로브 카드 관리 방법.
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