KR102228162B1

KR102228162B1 - 프로브 홀더

Info

Publication number: KR102228162B1
Application number: KR1020200076835A
Authority: KR
Inventors: 오창준
Original assignee: 오창준
Priority date: 2020-06-24
Filing date: 2020-06-24
Publication date: 2021-03-15

Abstract

본발명은 프로브 홀더에 관한 것으로, 프로브(100)가 몸체(10) 후방에서 삽입되어 고정되며 상기 몸체(10)의 전방에는 커버인 웨어플레이트(20)가 설치되는 것으로,
본발명은 프로브 초음파카메라의 분해조립이 간편하여 작업효율이 증가하고, 정비시간도 단축되며, 정비시 발생되는 비용도 절감되는 현저한 효과가 있다.

Description

프로브 홀더{Probe holder}

본발명은 프로브 홀더에 관한 것으로, 보다 상세하게는 프로브 초음파카메라의 분해조립이 간편하여 작업효율이 증가하고, 정비시간도 단축되며, 정비시 발생되는 비용도 절감되는 프로브 홀더에 관한 것이다.

일반적으로 산업현장에서 초음파카메라를 이용한 프로브를 많이 사용하며, 이에 필요한 프로브 홀더를 포함한 프로브장치가 개발되고 있다. 상기 프로브에 대해 초음파카메라등록번호 10-1020396호에는 다수의 피검사 칩이 배열된 웨이퍼를, 탑재대용의 구동부에 의해 수평 방향 및 연직 방향으로 이동 가능한 웨이퍼 탑재대에 싣고, 프로브 카드의 프로브에 상기 피검사 칩의 전극 패드를 접촉시켜서 피검사 칩의 검사를 실행하는 프로브 장치에 있어서, 상기 웨이퍼 탑재대에 마련되고, 상기 프로브를 촬상하기 위한 시야가 상향인 프로브 촬상용의 촬상 수단과, 상기 웨이퍼 탑재대 및 프로브 카드의 사이의 높이 위치에서 수평 방향으로 이동 가능하게 마련된 이동체와, 이 이동체에 마련되고, 각각 그 광축이 서로 이간되어, 웨이퍼 표면을 촬상하기 위한 시야가 하향인 웨이퍼 촬상용의 제 1 촬상 수단 및 제 2 촬상 수단과, 웨이퍼 탑재대를 이동시킴으로써 프로브 촬상용의 촬상 수단의 초점과 웨이퍼 촬상용의 제 1 촬상 수단의 초점 및 제 2 촬상 수단의 초점의 위치를 순차적으로 맞추고, 각 시점의 웨이퍼 탑재대의 위치를 취득하는 스텝과, 웨이퍼 탑재대를 이동시킴으로써 상기 웨이퍼 촬상용의 제 1 촬상 수단 및 제 2 촬상 수단에 의해 웨이퍼 탑재대 상의 웨이퍼를 순차적으로 촬상하고, 각 촬상 시의 웨이퍼 탑재대의 위치를 취득하는 스텝과, 프로브 촬상용의 촬상 수단에 의해 프로브를 촬상하고, 촬상 시의 웨이퍼 탑재대의 위치를 취득하는 스텝과, 각 스텝에서 취득한 웨이퍼 탑재대의 위치에 근거하여 웨이퍼와 프로브를 접촉시키기 위한 웨이퍼 탑재대의 위치를 계산하는 스텝을 포함하는 스텝 군을 실행하는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 프로브 장치가 공개되어 있다.

또한, 등록특허공보 등록번호 10-1034923호에는 컨베이어를 이용한 수평방향으로의 이송방식으로 검사용 액정표시패널을 지지부재의 오토 프로브 유닛에 로딩하는 단계;

상기 오토 프로브 유닛의 게이트 니들과 데이터 니들을 상기 검사용 액정표시패널의 게이트라인과 데이터라인에 각각 접촉시켜 전기적으로 연결하는 단계;

상기 오토 프로브 유닛을 통해 패턴 신호를 상기 검사용 액정표시패널에 입력하는 단계;

상기 입력된 신호에 따라 상기 검사용 액정표시패널에 표시되는 검사용 패턴을 카메라와 같은 비젼장치를 이용하여 수집하는 단계;

상기 비젼장치를 이용하여 상기 검사용 액정표시패널 위를 수평방향으로 스캔하여 상기 검사용 패턴을 수집하는 단계;

시야각에 따른 결함검출이 달라지는 것을 보완하기 위해 상기 비젼장치를 0~70도, 80~100도, 110~160도 등의 각도를 준 상태에서 상기 검사용 액정표시패널 위를 수평방향으로 스캔하여 상기 검사용 패턴을 수집하는 단계;

및 컴퓨터 시스템을 이용하여 상기 정해진 패턴 신호에 대해 수집된 검사용 패턴을 비교, 분석하여 상기 검사용 액정표시패널의 점결함, 선결함 또는 얼룩 등의 결함이 있는지를 판단하는 단계를 포함하며, 상기 지지부재에 설치된 구동장치를 통해 상기 지지부재를 전후좌우로 구동시키는 한편, 상기 검사용 액정표시패널을 상기 오토 프로브 유닛에 로딩, 언로딩하며, 여러 항목에 대한 정해진 패턴 신호를 상기 검사용 액정표시패널에 반복, 입력하고 상기 컴퓨터 시스템을 이용하여 반복적으로 분석, 판단하는 것을 특징으로 하는 오토 프로브 검사방법이 공개되어 있다.

그러나 상기 종래기술들은 프로브 초음파카메라의 분해조립이 복잡하며 시간이 많이 걸려 작업효율이 낮으며 정비시 발생되는 비용도 과다하게 발생되는 단점이 있었다.

따라서 본발명은 프로브 초음파카메라의 분해조립이 간편하여 작업효율이 증가하고, 정비시간도 단축되며, 정비시 발생되는 비용도 절감되는 프로브 홀더를 제공하고자 하는 것이다.

본발명은 프로브 홀더에 관한 것으로, 프로브(100)가 몸체(10) 후방에서 삽입되어 고정되며 상기 몸체(10)의 전방에는 커버인 웨어플레이트(20)가 설치되는 것을 특징으로 한다.

따라서 본발명은 프로브 초음파카메라의 분해조립이 간편하여 작업효율이 증가하고, 정비시간도 단축되며, 정비시 발생되는 비용도 절감되는 현저한 효과가 있다.

도 1은 본발명 프로브 홀더의 평면사진
도 2는 본발명 프로브 홀더의 몸체 평면사진
도 3은 본발명 프로브 홀더의 몸체 후면사진
도 4는 본발명 프로브 홀더의 측면사진
도 5는 본발명 프로브 홀더의 프로브 사진
도 6은 본발명 프로브 홀더의 프로브 측면사진
도 7은 본발명 프로브 홀더에 프로브가 결합된 상태를 나타낸 사진
도 8은 본발명 프로브 홀더의 프로브가 결합된 상태를 나타낸 후면 사진
도 9는 본발명 프로브 홀더의 라이너 사진
도 10은 본발명 프로브 2개가 서로 대각선으로 대칭되게 설치될 수 있는 프로브 홀더 사진
도 11은 본발명 프로브 홀더가 설치되는 지그 사진

또한, 상기 프로브(100)는 프로브지지대(110)와, 상기 프로브지지대(110)에 설치되는 복수 개의 초음파 카메라(120)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 웨어플레이트(20)는 후방이 몸체의 전방에 볼트에 의해 고정설치되고, 상기 웨어플레이트(20)의 전방은 제조되는 철판을 검사하기 위해 철판에 접촉되는 것을 특징으로 한다.

본발명을 첨부도면에 의해 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본발명 프로브 홀더의 평면사진, 도 2는 본발명 프로브 홀더의 몸체 평면사진, 도 3은 본발명 프로브 홀더의 몸체 후면사진, 도 4는 본발명 프로브 홀더의 측면사진, 도 5는 본발명 프로브 홀더의 프로브 사진, 도 6은 본발명 프로브 홀더의 프로브 측면사진, 도 7은 본발명 프로브 홀더에 프로브가 결합된 상태를 나타낸 사진, 도 8은 본발명 프로브 홀더의 프로브가 결합된 상태를 나타낸 후면 사진, 도 9는 본발명 프로브 홀더의 라이너 사진, 도 10은 본발명 프로브 2개가 서로 대각선으로 대칭되게 설치될 수 있는 프로브 홀더 사진, 도 11은 본발명 프로브 홀더가 설치되는 지그 사진이다.

프로브 홀더는 제조되는 철판의 균열 감지용인 초음파 카메라 홀더이다.

프로브 홀더는 프로브(100)가 몸체(10) 후방에서 삽입되어 고정되며 상기 몸체(10)의 전방에는 커버인 웨어플레이트(20)가 설치되는 것이다.

상기 프로브는 프로브지지대와, 상기 프로브지지대에 설치되는 복수 개의 카메라로 이루어진다.

상기 웨어플레이트는 후방이 몸체의 전방에 볼트에 의해 고정설치되고, 상기 웨어플레이트의 전방은 제조되는 철판을 검사하기 위해 철판에 접촉된다.

이에, 상기 웨어플레이트는 몸체의 전방에 설치되어 몸체와 프로브를 보호하는 역할을 한다.

또한, 상기 웨어플레이트는 프로브(초음파 카메라)가 검사하는 철판과의 간격을 유지할 수 있도록 도와주며, 간격은 0.1~0.2mm를 유지하도록 한다.

상기 웨어플레이트가 철판과 접촉하여 마모가 진행되면, 몸체와 웨어플레이트 또는 프로브와 프로브지지대 사이에 라이너를 설치하여, 프로브와 철판의 간격을 0.1~0.2mm가 되도록한다.

상기 웨어플레이트의 전면에는 초경합금부가 형성되어 있으며, 상기 철재 재질의 웨어플레이트가 철판에 접촉되어 마모가 될 때, 웨어플레이트의 접촉면이 초경합금부까지 마모가 되면, 웨어플레이트를 교체한다.

한편, 본발명의 다른 실시예로서, 도 10에 도시된 바와 같이 프로브 2개가 서로 대각선으로 마주보게 대칭되어 설치할 수 있다.

또한, 본 발명의 다른 실시예로서, 상기 프로브 홀더는 지그장치에 설치되어 사용된다.

상기 지그장치(300)는 받침프레임(310)과, 상기 받침프레임의 전, 후방에서 수직방향으로 설치되는 전, 후방프레임(320, 330)과, 상기 전, 후방프레임의 상부 끝단에 설치되는 지지프레임(340)과, 상기 지지프레임의 전방에 설치되는 프로브 거치대(350)로 이루어진다.

상기 받침프레임은 사각기둥 형상으로 형성된다.

상기 전, 후방프레임은 받침프레임의 전방과 후방에 각각 설치되되, 상기 전, 후방프레임은 받침프레임에 설치된 채 회동이 가능하다.

상기 지지프레임은 전, 후방프레임의 상부 끝단에 설치된 채 회동이 가능하게 설치된다.

상기 프로브 거치대는 사다리꼴 형상으로 형성되며, 윗변에는 프로브가 설치될 수 있도록 홈이 형성되어 있다.

그리고 상기 받침프레임에는 에어공급부가 형성되어 있으며, 상기 에어공급부에 에어공급호수가 설치되고, 상기 에어공급호수는 프로브 거치대의 후방에서 전방으로 관통하여 프로브 거치대에 설치된 프로브의 후방에 연결된다.

100 : 프로브(Probe)
10 : 몸체 20 : 웨어플레이트
21 : 초경합금부 30 : 라이너
110 : 프로브지지대 120 : 초음파 카메라
300 : 지그장치 310 : 받침프레임
320, 330 : 전, 후방프레임 340 : 지지프레임
350 : 프로브 거치대

Claims

프로브(100)가 몸체(10) 후방에서 삽입되어 고정되며 상기 몸체(10)의 전방에는 커버인 웨어플레이트(20)가 설치되는 프로브 홀더에 있어서,
상기 프로브(100)는 프로브지지대(110)와, 상기 프로브지지대(110)에 설치되는 복수 개의 카메라로 이루어지고, 상기 웨어플레이트(20)는 후방이 몸체(10)의 전방에 볼트에 의해 고정설치되고, 상기 웨어플레이트(20)의 전방은 제조되는 철판을 검사하기 위해 철판에 접촉되며, 상기 웨어플레이트(20)는 몸체(10)의 전방에 설치되어 몸체(10)와 프로브(100)를 보호하는 역할을 하는 것이며,
상기 웨어플레이트(20)는 프로브(10)가 검사하는 철판과의 간격을 유지할 수 있도록 도와주는 것으로, 상기 웨어플레이트(20)가 철판과 접촉하여 마모가 진행되면, 몸체(10)와 웨어플레이트(20) 또는 프로브(100)와 프로브지지대(110) 사이에 라이너를 설치하여, 프로브(100)와 철판의 간격을 0.1~0.2mm가 되도록 하는 것이며,
상기 웨어플레이트(20)의 전면에는 초경합금부(21)가 형성되어 있으며, 상기 웨어플레이트(20)가 철판에 접촉되어 마모가 될 때, 웨어플레이트(20)의 접촉면이 초경합금부(21)까지 마모가 되면, 웨어플레이트(20)를 교체하는 것이며,
상기 프로브 홀더는 지그장치(300)에 설치되어 사용되는 것으로, 상기 지그장치(300)는 받침프레임(310)과, 상기 받침프레임(310)의 전, 후방에서 수직방향으로 설치되는 전, 후방프레임(320, 330)과, 상기 전, 후방프레임(320, 330)의 상부 끝단에 설치되는 지지프레임(340)과, 상기 지지프레임(340)의 전방에 설치되는 프로브 거치대(350)로 이루어지고, 상기 받침프레임(310)은 사각기둥 형상으로 형성되며, 상기 전, 후방프레임(320, 330)은 받침프레임(310)의 전방과 후방에 각각 설치되되, 상기 전, 후방프레임(320, 330)은 받침프레임(310)에 설치된 채 회동이 가능하며, 상기 지지프레임(340)은 전, 후방프레임(320, 330)의 상부 끝단에 설치된 채 회동이 가능하게 설치되고, 상기 프로브 거치대(350)는 사다리꼴 형상으로 형성되며, 윗변에는 프로브(100)가 설치될 수 있도록 홈이 형성되고, 상기 받침프레임(310)는 에어공급부가 형성되어 있으며, 상기 에어공급부에 에어공급호수가 설치되고, 상기 에어공급호수는 프로브 거치대(350)의 후방에서 전방으로 관통하여 프로브 거치대(350)에 설치된 프로브(100)의 후방에 연결되는 것을 특징으로 하는 프로브 홀더
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