KR102222675B1

KR102222675B1 - 스크러버의 수처리 순환펌프 장치

Info

Publication number: KR102222675B1
Application number: KR1020200136519A
Authority: KR
Inventors: 남상연
Original assignee: 남상연
Priority date: 2020-10-21
Filing date: 2020-10-21
Publication date: 2021-03-03

Abstract

본 발명은 반도체 제조 공정에서 발생되는 폐가스를 정화시키는 스크러버에 물을 공급할 수 있도록 구현한 스크러버의 수처리 순환펌프 장치에 관한 것으로, 반도체 폐가스 제거를 위한 스크러버의 반응기 하부에 위치되어 상기 스크러버로부터 전달되는 순환수가 수용되는 수처리 탱크; 상기 수처리 탱크에 수용되어 있는 순환수를 상기 스크러버의 내부로 다시 공급시켜 주는 순환 모터; 상기 순환 모터의 구동축에 설치되어 회전되는 메인 임펠러; 상기 메인 임펠러의 상측에서 상기 순환 모터의 구동축에 설치되어 회전하는 파쇄 임펠러; 상기 메인 임펠러 및 상기 파쇄 임펠러가 수용되며, 하측에는 순환수를 흡입하는 흡입구가 형성되고, 일측에는 순환수를 토출하는 토출구가 형성된 하우징; 상기 수처리 탱크의 하측 각 모서리에 형성되는 하부홈에 설치되어 상기 수처리 탱크를 지지하는 탱크 지지대; 및 상기 수처리 탱크에 수용되어 있는 순환수의 상측에 부유되며, 상기 수처리 탱크로 순환수가 계속 공급됨에 따라 승강되어 상기 수처리 탱크의 내측 상측면과 밀착되면 이를 감지하여 과공급 감지 신호를 생성하는 순환수 감지부;를 포함한다.

Description

스크러버의 수처리 순환펌프 장치{SCRUBBER WATER TREATMENT CIRCULATION PUMP DEVICE}

본 발명은 스크러버의 수처리 순환펌프 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 제조 공정에서 발생되는 폐가스를 정화시키는 스크러버에 물을 공급할 수 있도록 구현한 스크러버의 수처리 순환펌프 장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 공정은 실리콘 기판에 사진, 확산, 식각, 화학기상증착 및 금속증착 등의 다양한 공정을 반복수행하게 되며, 이러한 공정 중 확산, 식각, 화학기상증착 등의 공정은 밀폐된 공정챔버 내부에 공정가스를 공급하여 이들 공정가스로 하여금 웨이퍼 상에서 반응토록 하는 것이다.

한편, 반도체 제조 공정에 사용되는 가스는 유독성, 가연성 및 부식성 등 그 특성이 강한 것이 사용되고, 이러한 공정가스는 제조설비의 공정 과정에서 약 10% 정도만이 반응에 참여하고, 나머지 90% 정도의 공정가스는 미반응한 상태에서 제조설비로부터 배출된다.

따라서 이러한 고정가스인 유독성 폐가스들이 별도의 정화과정 없이 대기중에 그대로 방출될 경우 주변 제조설비의 손상과 심각한 환경오염 및 작업자의 안전사고를 초래하게 되므로 각 제조설비에는 배기덕트로 연결된 가스 배출라인 상에 배출가스를 안전한 상태로 분해 또는 정화시키는 스크러버가 설치된다.

가스 스크러버에 의해 폐가스가 처리되는 과정을 살펴보면, 반도체 장비의 공정챔버에서 발생되는 폐가스가 주입부를 통해 반응기(Reactor)의 버너(Burner)로 이동된 후 연소/산화되거나 열분해되는 방법으로 버닝(Burning)되고, 버닝으로 처리되지 못한 일부 가스나 분진 입자 등 미처리 가스는 습식세정부(Wet Zone)로 이동되며, 이때 습식세정부에서는 물을 분사함으로써 산화 가스속의 파우더(Powder)를 분리시켜 아래의 수조에 떨어지도록 하는 세정(Wetting) 공정을 거치게 되고, 세정된 처리가스는 필터와 덕트를 통해 대기중으로 배출된다.

그러나 종래에는 폐가스의 버닝과정에서 생성되는 파우더 등의 이물질이 배관을 타고 이동하다가 순환펌프를 통해 열교환기로 이동되고, 이동된 파우더가 열교환기의 내부에 누적되어 막히거나 흐름을 방해하여 성능을 저하시키게 되는 문제점이 있었다.

한편, 전술한 배경 기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.

한국공개특허특허 제10-2001-0035656호 한국공개특허 제10-2004-0060439호

본 발명의 일측면은 순환수 표면에 파우더가 만들어지면서 덩어리 형태로 뭉쳐진 파우더가 순환펌프에 접근하는 경우 순환펌프의 구동축과 함께 임펠러가 회전되면서 통공을 통해 순환수의 표면층에 물보라를 일으켜 뭉쳐진 파우더를 분쇄시킬 수 있도록 구현한 스크러버의 수처리 순환펌프 장치를 제공한다.

본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버의 수처리 순환펌프 장치는, 반도체 폐가스 제거를 위한 스크러버의 반응기 하부에 위치되어 상기 스크러버로부터 전달되는 순환수가 수용되는 수처리 탱크; 상기 수처리 탱크에 수용되어 있는 순환수를 상기 스크러버의 내부로 다시 공급시켜 주는 순환 모터; 상기 순환 모터의 구동축에 설치되어 회전되는 메인 임펠러; 상기 메인 임펠러의 상측에서 상기 순환 모터의 구동축에 설치되어 회전하는 파쇄 임펠러; 상기 메인 임펠러 및 상기 파쇄 임펠러가 수용되며, 하측에는 순환수를 흡입하는 흡입구가 형성되고, 일측에는 순환수를 토출하는 토출구가 형성된 하우징; 상기 수처리 탱크의 하측 각 모서리에 형성되는 하부홈에 설치되어 상기 수처리 탱크를 지지하는 탱크 지지대; 및 상기 수처리 탱크에 수용되어 있는 순환수의 상측에 부유되며, 상기 수처리 탱크로 순환수가 계속 공급됨에 따라 승강되어 상기 수처리 탱크의 내측 상측면과 밀착되면 이를 감지하여 과공급 감지 신호를 생성하는 순환수 감지부;를 포함한다.

일 실시예에서, 상기 탱크 지지대는, 상기 하부홈에 배치되며, 내부 공간이 전후 방향으로 이격되어 설치되는 제1 격벽, 제2 격벽 및 제3 격벽에 의해 제1 공간, 제2 공간, 제3 공간 및 제4 공간으로 구획되는 박스형 케이스; "∩" 형태로 상측으로 둥글게 절곡되어 형성되어 상기 하부홈의 상측면을 지지하며, 전단 하측이 상기 제1 공간의 상측에 형성되는 제1 개구부를 통해 상기 박스형 케이스의 내측으로 삽입되어 상기 제1 공간에 안착되고, 후단 하측이 상기 박스형 케이스의 상측에 회동 가능하도록 연결 설치되는 제1 지지부; "∪" 형태로 하측으로 둥글게 절곡되어 형성되어 시설의 바닥면에 안착되며, 전단 상측이 상기 제2 공간의 하측에 형성되는 제2 개구부를 통해 상기 박스형 케이스의 내측으로 삽입되어 상기 제2 공간에 안착되고, 후단 상측이 상기 박스형 케이스의 하측에 회동 가능하도록 연결 설치되는 제2 지지부; "∩" 형태로 상측으로 둥글게 절곡되어 형성되어 상기 하부홈의 상측면을 지지하며, 전단 하측이 상기 제3 공간의 상측에 형성되는 제3 개구부를 통해 상기 박스형 케이스의 내측으로 삽입되어 상기 제3 공간에 안착되고, 후단 하측이 상기 박스형 케이스의 상측에 회동 가능하도록 연결 설치되는 제3 지지부; 및 상기 제1 격벽, 상기 제2 격벽 및 상기 제3 격벽에 의하여 지지되어 상기 박스형 케이스를 전후 방향으로 관통하고 설치되며, 상기 제1 지지부, 상기 제2 지지부, 및 상기 제3 지지부의 각 전단이 체결되며, 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전함에 따라 상기 박스형 케이스에서 후단 방향으로 이동하면서 상기 제1 지지부, 상기 제2 지지부, 및 상기 제3 지지부의 각 전단을 후단 방향으로 이동시켜 주는 간격조절볼트;를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 제1 지지부는, 상기 간격조절볼트에 의해 전단 하측이 후단 방향으로 이동되어 후단과의 간격이 줄어듦에 따라 상하 높이가 증가될 수 있다.

일 실시예에서, 상기 간격조절볼트는, 상기 박스형 케이스를 전후 방향으로 관통하고 설치되되, 상기 제1 격벽, 상기 제2 격벽 및 상기 제3 격벽에 형성되는 관통홀의 내주면에 형성되는 나사산에 맞물려 연결 설치될 수 있도록 외측면을 따라 나사산을 형성하는 볼트 본체; 상기 볼트 본체가 전진 또는 후진함에 따라 상기 제1 지지부의 전단을 전진 또는 후진시킬 수 있도록 상기 제1 지지부의 전단을 사이에 두고 상기 볼트 본체에서 서로 이격되어 설치되는 한 쌍의 제1 고정 원판; 상기 볼트 본체가 전진 또는 후진함에 따라 상기 제2 지지부의 전단을 전진 또는 후진시킬 수 있도록 상기 제2 지지부의 전단을 사이에 두고 상기 볼트 본체에서 서로 이격되어 설치되는 한 쌍의 제2 고정 원판; 및 상기 볼트 본체가 전진 또는 후진함에 따라 상기 제3 지지부의 전단을 전진 또는 후진시킬 수 있도록 상기 제3 지지부의 전단을 사이에 두고 상기 볼트 본체에서 서로 이격되어 설치되는 한 쌍의 제3 고정 원판;을 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 순환수 감지부는, 내부 공간이 공기로 채워진 밀폐된 주머니 형태로 형성되는 플로팅 파우치; 상기 플로팅 파우치의 내부 공간에 다수 개의 와이어에 의해 거치되어 설치되며, 상기 플로팅 파우치의 내부 공간의 압력 변화를 측정하는 압력 감지 센서; 상기 압력 감지 센서로부터 압력 변화의 측정값을 실시간으로 전달받으며, 상기 압력 감지 센서로부터 전달되는 측정값이 기 설정된 압력 이상으로 증가되는 경우 과공급 감지 신호를 생성하는 과공급 알림부; 및 상기 플로팅 파우치가 승강되어 상기 수처리 탱크의 내부 상측면과 직접 밀착되는 것을 방지할 수 있도록 상기 플로팅 파우치의 상측에 설치되는 파우치 지지대;를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 파우치 지지대는, 상기 플로팅 파우치가 승강되면 상기 수처리 탱크의 내부 상측면과 밀착되는 상부 지지대; 상기 플로팅 파우치의 상측에 안착되며, 상측에 상기 상부 지지대가 안착되는 하부 지지대; 하측이 상기 하부 지지대의 하측으로 노출되도록 상기 하부 지지대의 내측 전단에 안착되어 상기 하부 지지대를 지지하는 제1 컨베이어형 지지대; 및 상기 제1 컨베이어형 지지대와 전후 방향으로 대칭 구조로 형성되며, 하측이 상기 하부 지지대의 하측으로 노출되도록 상기 하부 지지대의 내측 후단에 안착되어 상기 하부 지지대를 지지하는 제2 컨베이어형 지지대;를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 상부 지지대는, 평판 형태로 형성되어 상기 플로팅 파우치가 승강되면 상기 수처리 탱크의 내부 상측면과 밀착되는 지지 플레이트; 상기 지지 플레이트의 하측에 다수 개가 서로 이격되어 형성되는 하부홈; 상기 지지 플레이트와 상기 하부 지지대 사이를 탄성력을 이용하여 지지할 수 있도록 상기 하부홈 마다 설치되어 상기 하부 지지대의 상측에 안착되는 간격 지지 탄성체; 상기 지지 플레이트의 하측으로부터 하측 방향으로 연장 형성되며, 하측 전단보다 하측 후단이 하측으로 더 연장 형성되어 하측면이 경사면을 형성하는 제1 제동 프레임; 및 상기 제1 제동 프레임으로부터 후단으로 이격된 상기 지지 플레이트의 하측으로부터 하측 방향으로 연장 형성되며, 상기 제1 제동 프레임과 전후 방향으로 대칭 구조가 형성되도록 하측 후단보다 하측 전단이 하측으로 더 연장 형성되어 하측면이 경사면을 형성하는 제2 제동 프레임;을 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 하부 지지대는, 상측에 상기 지지 플레이트가 안착될 수 있도록 육면체 박스 형태로 형성되는 지지 본체; 상기 제1 제동 프레임이 삽입될 수 있도록 상기 지지 본체를 상하 방향으로 관통하고 형성되는 제1 상하 관통홈; 상기 제2 제동 프레임이 삽입될 수 있도록 상기 지지 본체를 상하 방향으로 관통하고 형성되는 제2 상하 관통홀; 상기 제1 컨베이어형 지지대가 설치될 수 있도록 상기 지지 본체의 내측 전단에 형성되는 제1 설치 공간; 및 상기 제2 컨베이어형 지지대가 설치될 수 있도록 상기 제1 설치 공간과 전후 방향으로 대칭 구조를 형성하며 상기 지지 본체의 내측 후단에 형성되는 제2 설치 공간;을 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 제1 설치 공간은, 전단으로부터 후단으로 갈수록 상하 높이가 줄어드는 삼각형 형태로 형성될 수 있다.

일 실시예에서, 상기 제1 컨베이어형 지지대는, 상기 제1 설치 공간의 전단 상측에 설치되는 제1 스프라켓; 상기 제1 설치 공간의 전단 하측에 설치되는 제2 스프라켓; 상기 제1 설치 공간의 후단 하측에 설치되는 제3 스프라켓; 상기 제1 스프라켓, 상기 제2 스프라켓 및 상기 제2 스프라켓을 따라 맞물려 연결 설치되며, 상기 제2 스프라켓 및 상기 제2 스프라켓에 의해 지지되는 하측이 상기 지지 본체의 하측으로 노출되어 상기 지지 본체를 지지하며, 외력에 의해 상기 지지 본체가 전후 방향으로 이동됨에 따라 상기 플로팅 파우치의 상측면과의 밀찰력에 의해 회전되는 구동 벨트; 상기 구동 벨트를 사이에 두고 상기 제1 제동 프레임의 하측면으로부터 하측으로 이격되어 상기 제1 제동 프레임의 하측 경사면에 대응하는 경사각을 형성하며 상기 제1 설치 공간에서 고정 설치되며, 상기 제1 제동 프레임이 하강하면 상기 구동 벨트를 사이에 두고 상기 제1 제동 프레임과 밀착되어 상기 구동 벨트의 회전을 제동시키는 제동 플레이트; 및 상기 구동 벨트의 회전이 탄성적으로 지지될 수 있도록 상기 구동 벨트의 전단과 상기 제1 설치 공간의 전단 상측면 사이에 설치되는 제동 스프링;을 포함할 수 있다.

상술한 본 발명의 일측면에 따르면, 순환수 표면에 파우더가 만들어지면서 덩어리 형태로 뭉쳐진 파우더가 순환펌프에 접근하는 경우 순환펌프의 구동축과 함께 임펠러가 회전되면서 통공을 통해 순환수의 표면층에 물보라를 일으켜 뭉쳐진 파우더를 분쇄시킴으로써, 덩어리 형태의 파우더가 순환펌프로 유입되어 배관 및 열교환기에 막히게 되는 현상을 방지할 수 있는 효과를 제공할 수 있다.

본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 이하에서 설명할 내용으로부터 통상의 기술자에게 자명한 범위 내에서 다양한 효과들이 포함될 수 있다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버의 수처리 순환펌프 장치의 개략적인 구성이 도시된 도면들이다.
도 3은 도 1의 탱크 지지대의 설지 구조를 보여주는 도면이다.
도 4는 도1의 탱크 지지대를 보여주는 도면이다.
도 5는 도 3의 탱크 지지대의 단면도이다.
도 6는 도 4의 간격조절볼트를 보여주는 도면이다.
도 7은 도 3의 제1 지지부의 지지 구조 조절을 설명하는 도면이다.
도 8은 도 3의 탱크 지지대의 지지 높이 조절을 설명하는 도면이다.
도 9 및 도 10는 본 발명에 따른 순환수 감지부를 보여주는 도면들이다.
도 11 및 도 12은 도 10의 파우치 지지대를 보여주는 도면들이다.
도 13는 도 11의 상부 지지대와 해부 지지대 간의 연결 관계를 보여주는 도면이다.
도 14은 도 11의 제1 컨베이어형 지지대를 보여주는 도면이다.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.

이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버의 수처리 순환펌프 장치의 개략적인 구성이 도시된 도면들이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버의 수처리 순환펌프 장치(10)는, 수처리 탱크(11), 순환 모터(12), 메인 임펠러(13), 파쇄 임펠러(14), 하우징(15), 탱크 지지대(16) 및 순환수 감지부(17)를 포함한다.

수처리 탱크(11)는, 반도체 폐가스 제거를 위한 스크러버의 반응기 하부에 위치되어 스크러버로부터 전달되는 순환수가 수용되며, 순환 모터(12)가 연결 설치된다.

순환 모터(12)는, 수처리 탱크(11)에 수용되어 있는 순환수를 스크러버의 내부로 다시 공급시켜 주며, 하측에 형성되는 구동축(12a)에 설치되는 메인 임펠러(13) 및 파쇄 임펠러(14)를 회전시켜 준다.

메인 임펠러(13)는, 순환 모터(12)의 구동축(12a)에 설치되어 회전된다.

파쇄 임펠러(14)는, 메인 임펠러(13)의 상측에서 순환 모터(12)의 구동축(12a)에 설치되어 회전한다.

일 실시예에서, 파쇄 임펠러(14)는, 그 설치위치가 후술하는 인입구(15a) 에 위치됨에 따라 본원 발명의 내부로 유입되는 순환수의 일부가 인입구(15a)를 통해 빠져나가는 과정에서 메인 임펠러(13)와 함께 회전되어 물보라를 일으키게 되고, 이러한 물보라는 순환수 표면층(P)에 덩어리 형태로 모여진 파우더(W)를 분쇄시켜 덩어리 형태의 파우더(W)가 본원 발명의 내부로 유입되는 현상을 방지할 수 있다.

하우징(15)은, 메인 임펠러(13) 및 파쇄 임펠러(14)가 수용되며, 하측에는 순환수를 흡입하는 흡입구(15b)가 형성되고, 일측에는 순환수를 토출하는 토출구(15c)가 순환수를 배출시키는 토출관(18)에 연결 설치되어 형성된다.

일 실시예에서, 하우징(15)은, 수처리 탱크(11)의 수면층(P)과 동일 선상에 위치되며, 파쇄 임펠러(14)에 대응되도록 다수의 통공으로 구획되어 수면층(P)에 부유하는 파우더(W)를 인입하는 인입구(15a)가 형성될 수 있다.

일 실시예에서, 인입구(15a)에는 미세 통공을 갖는 메쉬망(설명의 편의상 도면에는 도시하지 않음)이 형성되어 유입되는 이물질을 걸러낼 수 있도록 하는 것도 가능할 것이다.

즉, 파쇄 임펠러(14)는, 인입구(15a)를 통해 하우징(15)의 내부 공간으로 인입되는 파우더(W)를 파쇄하게 되는 것이다.

탱크 지지대(16)는, 도 3에 도시된 바와 같이 수처리 탱크(11)의 하측 각 모서리에 형성되는 하부홈(11a)에 설치되어 순환 모터(12)의 구동에 따라 발생되는 진동 또는 충격 등을 완충하면서 수처리 탱크(11)를 지지한다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버의 수처리 순환펌프 장치(10)의 구동 원리를 설명하면 다음과 같다.

본원 발명은 수처리 탱크 내에 장착하되 가장 적당한 위치는 하우징(15)은 순환수에 잠기도록 하고, 수면 표면층(P)이 인입구(15a)의 중간 위치까지 잠기도록 장착한다.

따라서 표면층(P)에는 파우더(W)가 다량으로 부유되어 있고, 물속에는 입자가 큰 파우더가 존재하게 된다.

이후 순환펌프를 온 시키면, 파쇄 임펠러(14)와 메인 임펠러(13)가 동시에 회전되고, 메인 임펠러(13)의 회전력에 의해 하우징(15)의 흡입구(15b)를 통해 물이 흡입된 후 토출구(15c)를 통해 배출된다.

아울러 파쇄 임펠러(14)의 회전에 의해 수면 표면층(P)에 와류를 형성하게 되어 파우더(W)들의 응집된 상태를 분산시키고, 분산된 파우더가 인입구(15a)를 통해 인입된 후에는 파쇄 임펠러(14)에 의해 잘게 파쇄된다.

따라서 순환수가 스크러버를 순환하는 과정에서 덩어리 형태의 파우더가 배관이나 열교환기를 막는 폐단이 예방될 수 있다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버의 수처리 순환펌프 장치(10)는, 순환수 표면에 파우더가 만들어지면서 덩어리 형태로 뭉쳐진 파우더가 순환펌프에 접근하는 경우 순환펌프의 구동축과 함께 임펠러가 회전되면서 통공을 통해 순환수의 표면층에 물보라를 일으켜 뭉쳐진 파우더를 분쇄시킴으로써, 덩어리 형태의 파우더가 순환펌프로 유입되어 배관 및 열교환기에 막히게 되는 현상을 방지할 수 있다.

삭제

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버의 수처리 순환펌프 장치(10)는, 도 9에 도시된 바와 같은 순환수 감지부(17)를 더 포함할 수 있다.

순환수 감지부(17)는, 수처리 탱크(11)에 수용되어 있는 순환수의 상측에 부유되며, 수처리 탱크(11)로 순환수가 계속 공급됨에 따라 승강되어 수처리 탱크(11)의 내측 상측면과 밀착되면 이를 감지하여 과공급 감지 신호를 생성한다.

도 9 및 도 10는 본 발명에 따른 순환수 감지부를 보여주는 도면들이다.

도 9 및 도 10를 참조하면, 순환수 감지부(17)는, 플로팅 파우치(100), 압력 감지 센서(200), 과공급 알림부(300) 및 파우치 지지대(600)를 포함한다.

플로팅 파우치(100)는, 순환수의 상측으로 떠오를 수 있도록 내부 공간이 공기로 채워진 밀폐된 주머니 형태로 형성되며, 내부 공간에 압력 감지 센서(200)가 다수 개의 와이어(110)에 의해 지지되어 거치된다.

압력 감지 센서(200)는, 플로팅 파우치(100)의 내부 공간에 다수 개의 와이어에 의해 거치되어 설치되며, 플로팅 파우치(100)의 내부 공간의 압력 변화를 측정하며, 해당 압력 변화의 측정값을 실시간으로 과공급 알림부(300)로 전달한다.

과공급 알림부(300)는, 압력 감지 센서(200)로부터 압력 변화의 측정값을 실시간으로 전달받으며, 압력 감지 센서(200)로부터 전달되는 측정값이 기 설정된 압력 이상(즉, 단순히 플로팅 파우치(100)의 상측에 파우치 지지대(600)가 안착되어 있는 경우의 압력값을 기준값이라 할 경우, 플로팅 파우치(100)가 승강되어 플로팅 파우치(100)가 수처리 탱크(11)의 내부 상측면과 밀착되어 플로팅 파우치(100)가 순환수의 상승에 따라 받게 되는 압력값이 기준값을 초과하는 압력값으로 승강하는 경우)으로 증가되는 경우 과공급 감지 신호를 생성하며, 해당 생성된 과공급 값지 신호를 관리자의 관리 단말기 또는 관제 센터 등으로 유선 또는 무선 네트워크를 통해 전송한다.

파우치 지지대(600)는, 플로팅 파우치(100)가 승강되어 수처리 탱크(11)의 내부 상측면과 직접 밀착되는 것을 방지할 수 있도록 플로팅 파우치(100)의 상측에 설치된다.

즉, 파우치 지지대(600)는, 플로팅 파우치(100)와 수처리 탱크(11)의 내부 상측면 사이에 설치되는 것으로서, 상하 높이의 조절을 통해 플로팅 파우치(100)의 승강 제한 높이를 조절할 수 있다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 순환수 감지부(17)는, 수처리 탱크(11)에 수용되어 있는 순환수의 상측에 부유되면서 수처리 탱크(11)가 일정 높이 이상으로 승강되는 것을 감지한 뒤 이를 관리자 등에게 통지함으로써, 수처리 탱크(11)가 순환수가 과공급되는 것을 방지할 수 있다. 밀착되면 이를 감지하여 과공급 감지 신호를 생성한다.

도 11 및 도 12은 도 10의 파우치 지지대를 보여주는 도면들이다.

도 11 및 도 12을 참조하면, 파우치 지지대(600)는, 상부 지지대(610), 하부 지지대(620), 제1 컨베이어형 지지대(630) 및 제2 컨베이어형 지지대(640)를 포함한다.

상부 지지대(610)는, 하부 지지대(620)의 상측에 설치되며, 플로팅 파우치(100)가 승강되면 수처리 탱크(11)의 내부 상측면과 밀착된다.

하부 지지대(620)는, 플로팅 파우치(100)의 상측에 안착되며, 상측에 상부 지지대(610)가 안착되며, 하부 전단에 제1 컨베이어형 지지대(630)가 설치되고, 하부 후단에 제2 컨베이어형 지지대(640)가 설치된다.

제1 컨베이어형 지지대(630)는, 제2 컨베이어형 지지대(640)와 전후 방향으로 대칭 구조로 형성되며, 하측이 하부 지지대(620)의 하측으로 노출되도록 하부 지지대(620)의 내측 전단에 안착되어 하부 지지대(620)를 지지한 상태에서 플로팅 파우치(100)의 상측에 안착된다.

제2 컨베이어형 지지대(640)는, 제1 컨베이어형 지지대(630)와 전후 방향으로 대칭 구조로 형성되며, 하측이 하부 지지대(620)의 하측으로 노출되도록 하부 지지대(620)의 내측 후단에 안착되어 하부 지지대(620)를 지지한 상태에서 플로팅 파우치(100)의 상측에 안착된다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 파우치 지지대(600)는, 수처리 탱크(11)에 수용되어 있는 순환수가 급작스럽게 승강되어 플로팅 파우치(100)가 수처리 탱크(11)의 내측면과 충돌하는 것을 방지함은 물론, 수처리 탱크(11)에 수용되어 있는 순환수의 승강에 따라 승강되는 플로팅 파우치(100)의 상하 방향 충격 뿐만 아니라, 수평 방향의 충격 역시 방지하여 플로팅 파우치(100)의 파손을 효과적으로 방지할 수 있다.

도 13는 도 11의 상부 지지대와 해부 지지대 간의 연결 관계를 보여주는 도면이다.

도 13를 참조하면, 상부 지지대(610)는, 지지 플레이트(611), 하부홈(612), 간격 지지 탄성체(613), 제1 제동 프레임(614) 및 제2 제동 프레임(615)을 포함한다.

지지 플레이트(611)는, 평판 형태로 형성되어 플로팅 파우치(100)가 승강되면 수처리 탱크(11)의 내부 상측면과 밀착되며, 하측을 따라 형성되는 하부홈(612) 마다 설치되는 간격 지지 탄성체(613)에 의해 하부 지지대(620)의 상측으로 이격되어 설치된다.

하부홈(612)은, 간격 지지 탄성체(613)의 상부가 안착될 수 있도록 지지 플레이트(611)의 하측에 다수 개가 서로 이격되어 형성된다.

간격 지지 탄성체(613)는, 지지 플레이트(611)와 하부 지지대(620) 사이를 탄성력을 이용하여 지지할 수 있도록 하부홈(612) 마다 설치되어 하부 지지대(620)의 상측에 안착된다.

제1 제동 프레임(614)은, 지지 플레이트(611)의 하측으로부터 하측 방향으로 연장 형성되며, 하측 전단보다 하측 후단이 하측으로 더 연장 형성되어 하측면이 경사면(6141)을 형성한다.

제2 제동 프레임(615)은, 제1 제동 프레임(614)으로부터 후단으로 이격된 지지 플레이트(611)의 하측으로부터 하측 방향으로 연장 형성되며, 제1 제동 프레임(614)과 전후 방향으로 대칭 구조가 형성되도록 하측 후단보다 하측 전단이 하측으로 더 연장 형성되어 하측면이 경사면(6151)을 형성한다.

그리고, 하부 지지대(620)는, 지지 본체(621), 제1 상하 관통홈(622), 제2 상하 관통홀(623), 제1 설치 공간(624) 및 제2 설치 공간(625)을 포함한다.

지지 본체(621)는, 상측에 지지 플레이트(611)가 안착될 수 있도록 육면체 박스 형태로 형성되며, 제1 설치 공간(624) 및 제2 설치 공간(625)에 설치되는 제1 컨베이어형 지지대(630) 및 제2 컨베이어형 지지대(640)에 의하여 지지된다.

제1 상하 관통홈(622)은, 제1 제동 프레임(614)이 삽입될 수 있도록 지지 본체(621)를 상하 방향으로 관통하고 형성된다.

제2 상하 관통홀(623)은, 제2 제동 프레임(615)이 삽입될 수 있도록 지지 본체(621)를 상하 방향으로 관통하고 형성된다.

제1 설치 공간(624)은, 제1 컨베이어형 지지대(630)가 설치될 수 있도록 제1 컨베이어형 지지대(630)의 형태에 대응하는 형상으로 지지 본체(621)의 내측 전단에 형성된다.

일 실시예에서, 제1 설치 공간(624)은, 전단으로부터 후단으로 갈수록 상하 높이가 줄어드는 삼각형 형태로 형성될 수 있다.

제2 설치 공간(625)은, 제2 컨베이어형 지지대(640)가 설치될 수 있도록 제1 설치 공간(624)과 전후 방향으로 대칭 구조를 형성하며 제2 컨베이어형 지지대(640)의 형태에 대응하는 형상으로 지지 본체(621)의 내측 후단에 형성된다.

도 14은 도 11의 제1 컨베이어형 지지대를 보여주는 도면이다.

도 14을 참조하면, 제1 컨베이어형 지지대(630)는, 제1 스프라켓(631), 제2 스프라켓(632), 제3 스프라켓(633), 구동 벨트(634), 제동 플레이트(635) 및 제동 스프링(636)을 포함한다.

여기서, 제2 컨베이어형 지지대(640)는, 제1 컨베이어형 지지대(630)와 전후 방향으로 대칭 구조를 형성하는 구성으로서, 후술한 제1 컨베이어형 지지대(630)의 각각의 구성들이 동일하게 적용될 수 있는 것으로서, 설명의 중복을 피하기 위해 그 설명을 생략하기로 한다.

제1 스프라켓(631)은, 제1 설치 공간(624)의 전단 상측에 설치되며, 구동 벨트(634)의 전단 상측에 맞물려 연결 설치되어 구동 벨트(634)를 지지한다.

제2 스프라켓(632)은, 제1 설치 공간(624)의 전단 하측에 설치되며, 구동 벨트(634)의 전단 하측에 맞물려 연결 설치되어 구동 벨트(634)를 지지한다.

제3 스프라켓(633)은, 제1 설치 공간(624)의 후단 하측에 설치되며, 구동 벨트(634)의 후단 하측에 맞물려 연결 설치되어 구동 벨트(634)를 지지한다.

구동 벨트(634)는, 제1 스프라켓(631), 제2 스프라켓(632) 및 제2 스프라켓(632)을 따라 맞물려 연결 설치되며, 제2 스프라켓(632) 및 제2 스프라켓(632)에 의해 지지되는 하측이 지지 본체(621)의 하측으로 노출되어 지지 본체(621)를 지지하며, 외력에 의해 지지 본체(621)가 전후 방향으로 이동됨에 따라 플로팅 파우치(100)의 상측면과의 밀찰력에 의해 회전된다.

즉, 제2 스프라켓(632)와 제3 스프라켓(633)은, 구동 벨트(634)의 하측이 지지 본체(621)의 하측으로 노출될 수 있도록 하부 일부가 지지 본체(621)의 하측으로 노출될 수 있도록 제1 설치 공간(624)에 연결 설치되어야 할 것이다.

제동 플레이트(635)는, 도 13에 도시된 바와 같이 구동 벨트(634)를 사이에 두고 제1 제동 프레임(614)의 하측면(6141)으로부터 하측으로 이격되어 제1 제동 프레임(614)의 하측 경사면에 대응하는 경사각을 형성하며 제1 설치 공간(624)에서 고정 설치되며, 제1 제동 프레임(614)이 하강하면 구동 벨트(634)를 사이에 두고 제1 제동 프레임(614)과 밀착되어 구동 벨트(634)의 회전을 제동시킨다.

제동 스프링(636)은, 구동 벨트(634)의 회전이 탄성적으로 지지될 수 있도록 구동 벨트(634)의 전단과 제1 설치 공간(624)의 전단 상측면 사이에 설치된다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 제1 컨베이어형 지지대(630)는, 지지 플레이트(611)의 하강이 이루어지지 아니하여 구동 벨트(634)의 제동이 이루어지지 아니하는 경우에는 제동 스프링(636)에 의해 구동 벨트(634)의 회전이 제동되어 파우치 지지대(600)가 제동 스프링(636)의 탄성력에 의해 일정 거리 이상 이동되는 것을 방지하며, 지지 플레이트(611)의 하강되어 구동 벨트(634)가 제동되는 경우에는 제동 스프링(636)에 의해 제동되는 경우보다 강한 힘으로 구동 벨트(634)의 회전이 제동되어 파우치 지지대(600)가 더 이상 이동되는 것이 방지될 수 있다.

상술된 실시예들은 예시를 위한 것이며, 상술된 실시예들이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 상술된 실시예들이 갖는 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 상술된 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.

본 명세서를 통해 보호받고자 하는 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태를 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

10: 스크러버의 수처리 순환펌프 장치
11: 수처리 탱크
12: 순환 모터
13: 메인 임펠러
14: 파쇄 임펠러
15: 하우징
16: 탱크 지지대
17: 순환수 감지부

Claims

반도체 폐가스 제거를 위한 스크러버의 반응기 하부에 위치되어 상기 스크러버로부터 전달되는 순환수가 수용되는 수처리 탱크;
상기 수처리 탱크에 수용되어 있는 순환수를 상기 스크러버의 내부로 다시 공급시켜 주는 순환 모터;
상기 순환 모터의 구동축에 설치되어 회전되는 메인 임펠러;
상기 메인 임펠러의 상측에서 상기 순환 모터의 구동축에 설치되어 회전하는 파쇄 임펠러;
상기 메인 임펠러 및 상기 파쇄 임펠러가 수용되며, 하측에는 순환수를 흡입하는 흡입구가 형성되고, 일측에는 순환수를 토출하는 토출구가 형성된 하우징;
상기 수처리 탱크의 하측 각 모서리에 형성되는 하부홈에 설치되어 상기 수처리 탱크를 지지하는 탱크 지지대; 및
상기 수처리 탱크에 수용되어 있는 순환수의 상측에 부유되며, 상기 수처리 탱크로 순환수가 계속 공급됨에 따라 승강되어 상기 수처리 탱크의 내측 상측면과 밀착되면 이를 감지하여 과공급 감지 신호를 생성하는 순환수 감지부;를 포함하며,
상기 순환수 감지부는,
내부 공간이 공기로 채워진 밀폐된 주머니 형태로 형성되는 플로팅 파우치;
상기 플로팅 파우치의 내부 공간에 다수 개의 와이어에 의해 거치되어 설치되며, 상기 플로팅 파우치의 내부 공간의 압력 변화를 측정하는 압력 감지 센서;
상기 압력 감지 센서로부터 압력 변화의 측정값을 실시간으로 전달받으며, 상기 압력 감지 센서로부터 전달되는 측정값이 기 설정된 압력 이상으로 증가되는 경우 과공급 감지 신호를 생성하는 과공급 알림부; 및
상기 플로팅 파우치가 승강되어 상기 수처리 탱크의 내부 상측면과 직접 밀착되는 것을 방지할 수 있도록 상기 플로팅 파우치의 상측에 설치되는 파우치 지지대;를 포함하는, 스크러버의 수처리 순환펌프 장치.
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제1항에 있어서, 상기 파우치 지지대는,
상기 플로팅 파우치가 승강되면 상기 수처리 탱크의 내부 상측면과 밀착되는 상부 지지대;
상기 플로팅 파우치의 상측에 안착되며, 상측에 상기 상부 지지대가 안착되는 하부 지지대;
하측이 상기 하부 지지대의 하측으로 노출되도록 상기 하부 지지대의 내측 전단에 안착되어 상기 하부 지지대를 지지하는 제1 컨베이어형 지지대; 및
상기 제1 컨베이어형 지지대와 전후 방향으로 대칭 구조로 형성되며, 하측이 상기 하부 지지대의 하측으로 노출되도록 상기 하부 지지대의 내측 후단에 안착되어 상기 하부 지지대를 지지하는 제2 컨베이어형 지지대;를 포함하는, 스크러버의 수처리 순환펌프 장치.
제6항에 있어서, 상기 상부 지지대는,
평판 형태로 형성되어 상기 플로팅 파우치가 승강되면 상기 수처리 탱크의 내부 상측면과 밀착되는 지지 플레이트;
상기 지지 플레이트의 하측에 다수 개가 서로 이격되어 형성되는 하부홈;
상기 지지 플레이트와 상기 하부 지지대 사이를 탄성력을 이용하여 지지할 수 있도록 상기 하부홈 마다 설치되어 상기 하부 지지대의 상측에 안착되는 간격 지지 탄성체;
상기 지지 플레이트의 하측으로부터 하측 방향으로 연장 형성되며, 하측 전단보다 하측 후단이 하측으로 더 연장 형성되어 하측면이 경사면을 형성하는 제1 제동 프레임; 및
상기 제1 제동 프레임으로부터 후단으로 이격된 상기 지지 플레이트의 하측으로부터 하측 방향으로 연장 형성되며, 상기 제1 제동 프레임과 전후 방향으로 대칭 구조가 형성되도록 하측 후단보다 하측 전단이 하측으로 더 연장 형성되어 하측면이 경사면을 형성하는 제2 제동 프레임;을 포함하는, 스크러버의 수처리 순환펌프 장치.
제7항에 있어서, 상기 하부 지지대는,
상측에 상기 지지 플레이트가 안착될 수 있도록 육면체 박스 형태로 형성되는 지지 본체;
상기 제1 제동 프레임이 삽입될 수 있도록 상기 지지 본체를 상하 방향으로 관통하고 형성되는 제1 상하 관통홈;
상기 제2 제동 프레임이 삽입될 수 있도록 상기 지지 본체를 상하 방향으로 관통하고 형성되는 제2 상하 관통홀;
상기 제1 컨베이어형 지지대가 설치될 수 있도록 상기 지지 본체의 내측 전단에 형성되는 제1 설치 공간; 및
상기 제2 컨베이어형 지지대가 설치될 수 있도록 상기 제1 설치 공간과 전후 방향으로 대칭 구조를 형성하며 상기 지지 본체의 내측 후단에 형성되는 제2 설치 공간;을 포함하며,
상기 제1 설치 공간은,
전단으로부터 후단으로 갈수록 상하 높이가 줄어드는 삼각형 형태로 형성되는, 스크러버의 수처리 순환펌프 장치.