KR102219709B1 - 레이저 장비 광학계통의 냉각수 관리방법 - Google Patents

레이저 장비 광학계통의 냉각수 관리방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 레이저 장비의 냉각수 온도 관리 방법에 관한 것으로,
냉각기로부터의 저온 저압의 냉매는 제1 열교환탱크의 제1 냉각코일로 전달 증발 되어 제1 열교환탱크 내부의 냉각수를 23℃로 낮추도록 하고,
상기 제1 열교환기의 23℃의 냉각수는 제1 펌프에 의해 제1 공급관을 거쳐 레이저 장비의 발진기로 보내어 냉각시킨 후 제1 순환관을 거쳐 제1 열교환탱크로 순환하도록 하고,
상기의 제1 열교환탱크에서 23℃의 냉각수를 제2 냉각코일로 공급받는 제2 열교환기의 제2 열교환탱크는 내부 냉각수 수온을 28℃로 유지시킬 수 있도록 하고,
상기 28℃의 냉각수를 제2 펌프에 의해 제2 공급관을 거쳐 레이저 장비의 광학계로 보내어 냉각시킨 후 제2 순환관을 거쳐 제2 열교환탱크로 순환하도록 구성한 것이다.

Description

레이저 장비 광학계통의 냉각수 관리방법{cooling method of cooling water for laser}
본 발명은 레이저 장비의 광학계통 냉각수 온도 관리방법에 관한 것으로, 상세하게는 레이저 장치의 발진기를 냉각하기 위하여 제1 증발기탱크에 보관하는 23℃의 냉각수와 레이저 장치의 광학계통의 냉각수 온도를 관리하기 위하여 제2 열교환탱크에 보관하는 28℃의 냉각수를 하나의 냉각기를 사용하여 적절하게 운용하도록 함으로써 냉각기를 하나 더 설치하여야 하는 번거로움과 비용의 낭비를 없애도록 한 레이저 장비 광학계통의 냉각수 온도 관리방법에 관한 것이다.
일반적으로 레이저는 조사 반경이 정밀하고 빔의 밀도가 높아 원하는 부분에만 원하는 양의 빔을 가할 수 있어 주변의 변형이나 열 영향이 적다. 또한, 비접촉으로 압력을 가하지 않아도 되며 어떤 환경에서도 사용 가능하다는 것은 이미 잘 알려진 사실이다.
그리고 상기의 레이저를 이용하는 레이저 발생기는 크게,
레이저광을 증폭하여 출력하는 발진기와,
레이저 매체(YAG로드)를 여기시키는 램프전원부(파워서프라이)와,
램프의 점등시간이나 전압, 전류를 주로 제어하는 제어부와,
여기에 관여하지 않은 램프에너지를 순수로 냉각하는 냉각장치와,
레이저광을 전송하는 광화이버로 구성한다.
레이저 장치 특히 대출력의 레이저 장치에서는 레이저 광선을 반사하는 레이저 광선에 의하여 가열되기 때문에 그것을 냉각할 필요가 있다.
종래 반사경을 냉각하는 데에는 반사경에 근접시켜서 냉각수 통로를 설치하거나 혹은 반사경에 직접 냉각 공기를 내뿜는 것이 행하여지고 있으나, 그와 같은 종래의 냉각장치로서는 냉각능력이 부족한 것이 있거나 하여 한층 더 냉각능력의 향상이 소망되었다.
그런데 종래 레이저 광선을 집광시키는 집광렌즈를 냉각하는 냉각장치에서는 그의 집광렌즈의 외주에 열전도율이 좋은 소결 금속 등의 다공질체를 접촉시켜 그 다공질체에 냉각공기를 유통 시키도록 한 것이 알려져 있다.(일본국 특개소 59-142520호).
따라서 이로부터 상기 다공질체를 반사경의 배면 즉 레이저광선의 반사면과는 반대측외면에 접촉시켜 그 다공질체의 단면(端面) 측으로부터 외주면 측에 냉각공기를 유통시켜서 상기 반사경을 냉각하는 것을 생각할 수 있다.
그렇지만, 단지 다공질체를 반사경에 접촉시켜서 유통 공기를 유통시키는 것만으로는 냉각공기의 대부분은 유통 저항이 적은 부분 즉 다공질체의 단면의 외주 부분으로부터 그 외주면 측으로 유통하게 되므로 반사경의 중앙부 즉 특히 레이저 광선에 의해서 가열되기 쉬운 레이저 광선의 반사부의 중앙부분의 냉각이 부족한 것이 판명되었다.
그리고 반사경을 냉각하기 위하여 적절한 온도로 냉각시켜야 하는데, 대기 중의 공기를 직접 공급하는 공냉식의 경우에는 외부 온도의 영향을 받게 되는데, 냉각용 공기의 온도가 적정 온도보다 낮으면 반사경의 표면에 결빙 현상이 발생하게 되고, 적정 온도보다 높은 경우에는 정상적인 냉각을 수행하지 못하게 되는 문제점이 있었다.
그러므로 냉각을 위하여 공기보다 냉각수의 온도를 적절히 조절하면서 냉각수를 적정한 온도로 유지할 필요가 있다.
이에 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위한 것으로, 레이저 장비의 발진기를 냉각하기 위하여 제1 열교환탱크에 보관하는 23℃의 냉각수와 레이저 장비의 광학계통의 냉각수 온도를 관리하기 위하여 제2 열교환탱크에 보관하는 28℃의 냉각수를 하나의 냉각기를 사용하여 적절하게 운용하도록 함으로써 냉각기를 하나 더 설치하여야 하는 번거로움과 비용의 낭비를 없애도록 한 레이저 장비의 광학계통 냉각수 온도 관리 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 레이저용 냉각수의 냉각방법은 냉각기와 제1 열교환기 및 제2 열교환기로 구성하되,
상기의 냉각기는,
압축기에서 냉매를 압축시켜 고온고압의 냉매로 바꾸도록 하고,
상기의 압축기를 경유한 냉매에 포함된 오일은 유분리기에서 분리하도록 하고,
상기 유분리기로부터 고온고압의 기화 냉매는 응축기로 이동하여 상온고압의 액체 냉매로 응축되도록 하고,
상기 응축기에 연결된 리시버 탱크에서 상온고압의 액체 냉매의 맥동 현상을 잡아주면서 불응축 가스를 분리시켜 액체 냉매만 원활한 이동이 가능하도록 하고,
상기 리시버 탱크를 경유한 상온고압의 액체 냉매를 전달받는 필터 드라이어에서 다음의 팽창 밸브의 부품이 동결되는 것을 방지하도록 하고,
상기 필터 드라이어로부터 상온고압의 액체 냉매가 솔레노이드 밸브를 통해 팽창밸브를 통과하는 중에 저온저압의 액체 냉매로 변화하도록 하고,
상기의 팽창밸브를 통과한 저온저압의 액체 냉매는 제1 열교환기의 제1 열교환탱크의 냉각코일로 이동 증발하여 수온을 낮추는 열교환 작용을 하도록 하고,
상기의 제1 열교환탱크의 제1 냉각코일에서 증발한 저온저압의 기체 냉매는 다시 압축기로 보내져 고온고압의 냉매로 압축시키도록 하는 과정을 반복적으로 수행하도록 하고,
상기의 제1 열교환기는,
상기 저온저압의 액체 냉매는 제1 보충구와 제1 플로트 스위치 및 제1 오버플로를 구비한 제1 열교환탱크의 냉각코일로 이동 증발하여 내부의 냉각수를 23℃로 낮추도록 하고,
상기 23℃의 냉각수를 제1 펌프에 의해 제1 공급관을 거쳐 레이저 장비의 발진기로 보내어 냉각시키도록 하고,
상기 레이저 장비의 발진기를 냉각한 냉각수는 제1 순환관을 거쳐 제1 열교환탱크로 순환하도록 하고,
상기의 제2 열교환기는,
제2 보충구와 제2 플로트 스위치 및 제2 오버플로를 구비한 제2 열교환탱크는 내부의 냉각수를 28℃로 맞추도록 하고,
상기 28℃의 냉각수를 제2 펌프에 의해 제2 공급관을 거쳐 레이저 장비의 광학계로 보내어 냉각 시키도록 하고,
상기 레이저 장치의 광학계를 냉각한 냉각수는 제2 순환관을 거쳐 제2 열교환탱크로 순환하도록 하고,
상기 제1 열교환탱크의 제1 펌프에 의해 제3 공급관을 거쳐 제2 열교환탱크의 제2 냉각코일로 전달되는 23℃의 냉각수에 의해 제2 열교환탱크의 내부 냉각수를 28℃로 낮추도록 하고,
상기의 제2 열교환탱크의 제2 냉각코일로 전달되는 23℃의 냉각수는 상기의 제2 냉각코일에서 제1 열교환탱크로 순환하는 냉각수의 양을 임의로 조절하면서 제2 열교환탱크의 수온을 28℃로 유지시킬 수 있도록 함으로써 하나의 냉각기로 2종류의 냉각수 온도를 적정하게 관리할 수 있도록 구성한 것이다.
상기의 본 발명에 따른 레이저 장비의 냉각수 온도 관리 방법에 의하여서는
팽창변 으로부터 통과된 저온 저압의 액체냉매는 제1 열교환탱크의 제1 냉각코일로 전달되어 증발 하므로서 제1 열교환탱크 내부의 냉각수를 23℃로 낮추도록 하고,
상기 제1 열교환기의 23℃의 냉각수는 제1 펌프에 의해 제1 공급관을 거쳐 레이저 장비의 발진기로 보내어 냉각시킨 후 제1 순환관을 거쳐 제1 열교환탱크로 순환하도록 하고,
상기의 제1 열교환탱크에서 23℃의 냉각수를 제2 냉각코일로 공급받는 제2 열교환기의 제2 열교환탱크는 내부 냉각수 수온을 28℃로 유지시킬 수 있도록 하고,
상기 28℃의 냉각수를 제2 펌프에 의해 제2 공급관을 거쳐 레이저 장비의 광학계로 보내어 냉각시킨 후 제2 순환관을 거쳐 제2 열교환탱크로 순환하도록 함으로써 하나의 냉각기로 2종류의 냉각수를 사용할 수 있도록 하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 개략적인 구성을 도시한 계통도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 레이저 장비의 냉각수 온도 관리방법은 냉각기(A)와 제1 열교환기(B) 및 제2 열교환기(C)로 이루어져 2종류의 냉각수를 공급할 수 있도록 한 것으로,
상기의 냉각기(A)는,
압축기(1)에서 냉매를 압축시켜 고온 고압의 냉매로 바꾸도록 하고,
상기의 압축기(1)를 경유한 고온 고압의 냉매에 포함된 오일은 유분리기(2)에서 분리하도록 하고,
상기 유분리기(2)로부터 고온 고압의 기화 냉매는 제1 솔레노이드 밸브(3)에 의해 경로를 제어하면서 응축기(4)로 이동하여 상온 고압의 액체 냉매로 응축되도록 하고,
상기 응축기(4)에 연결된 리시버 탱크(5)에서 상온 고압의 액체 냉매의 맥동 현상을 잡아주면서 불응축 가스를 분리시켜 액체 냉매만 원활한 이동이 가능하도록 하고,
상기 리시버 탱크(5)를 경유한 상온 고압의 액체 냉매를 전달받는 필터 드라이어(6)에서 다음의 팽창 밸브(7)의 부품이 동결되는 것을 방지하도록 하고,
상기 필터 드라이어(6)로부터 상온 고압의 액체 냉매가 제2 솔레노이드 밸브(8)를 통해 팽창밸브(7)를 통과하는 중에 저온 저압의 액체 냉매로 변화하도록 하고,
상기의 팽창밸브(7)를 통과한 저온 저압의 액체 냉매는 제1 열교환기(B)의 제1 열교환탱크(10)의 제1 냉각코일(11)로 이동 증발하여 수온을 낮추는 열교환 작용을 하도록 하고,
상기의 제1 열교환탱크(10)의 제1 냉각코일(11)을 순환한 저온 저압의 기체 냉매는 다시 압축기(1)로 보내져 고온 고압의 냉매로 압축시키도록 하는 과정을 반복적으로 수행하도록 하고,
상기의 제1 열교환기(B)는,
상기 저온 저압의 액체 냉매는 제1 보충구(12)와 제1 플로트 스위치(13) 및 제1 오버플로(14)를 구비한 제1 열교환탱크(10)의 제1 냉각코일(11)로 이동 증발 하여 내부의 냉각수를 23℃로 낮추도록 하고,
상기 23℃의 냉각수를 제1 펌프(15)에 의해 제1 공급관(16)을 거쳐 도면에 도시하지 않은 레이저 장비의 발진기로 보내어 냉각시키도록 하고,
상기 레이저 장비의 발진기를 냉각한 냉각수는 제1 순환관(17)을 거쳐 제1 열교환탱크(10)로 순환하도록 하고,
상기의 제2 열교환기(C)는,
제2 보충구(22)와 제2 플로트 스위치(23) 및 제2 오버플로(24)를 구비한 제2 열교환탱크(20)는 제2 냉각코일(21)에 의해 내부의 냉각수를 28℃로 낮추도록 하고,
상기 28℃의 냉각수를 제2 펌프(25)에 의해 제2 공급관(26)을 거쳐 도면에 도시하지 않은 레이저 장비의 광학계로 보내어 냉각시키도록 하고,
상기 레이저 장비의 광학계를 냉각한 냉각수는 제2 순환관(27)을 거쳐 제2 열교환탱크(20)로 순환하도록 하고,
상기 제1 열교환탱크(10)의 제1 펌프(15)에 의해 제3 공급관(31)을 거쳐 상기 제2 열교환탱크(20)의 제2 냉각코일(21)로 전달되는 23℃ 냉각수에 의해 제2 열교환탱크(20)의 내부 냉각수를 28℃로 낮추도록 하고,
상기의 제2 열교환탱크(20)의 제2 냉각코일(21)로 전달되는 23℃의 냉각수는 컨트롤 밸브 또는 솔레노이드 밸브(30)에 의해 제3 순환관(32)을 거쳐 상기의 제2 냉각코일(21)에서 제1 열교환탱크(10)로 순환하는 냉각수의 양을 임의로 조절하면서 제2 열교환탱크(20)의 수온을 28℃로 유지시킬 수 있도록 함으로써 하나의 냉각기(A)로 2종류의 냉각수를 원활하게 공급할 수 있도록 구성한 것이다.
상기 제1 열교환탱크(10)의 수온을 제1 센서(33)로 인식하면서 냉각기(A)의 가동을 제어하는 중에 제1 열교환탱크(10) 내부의 수온이 23℃를 유지할 수 있도록 한다.
그리고 상기의 컨트롤 밸브 또는 솔레노이드 밸브(30)는 제2 열교환탱크(20)의 수온을 제2 센서(34)로 인식하면서 제2 열교환탱크(20)의 제2 냉각코일(21)에서 제1 열교환탱크(10)의 제1 냉각코일(11)로 보내는 양을 제어하여 순환하는 23℃ 냉각수의 양을 조절하는 중에 제2 열교환탱크(20) 내부의 수온이 28℃를 유지할 수 있도록 한다.
본 발명은 하나의 냉각기로 2종류의 냉각수를 원활하게 공급할 수 있도록 하는 레이저용 냉각수의 냉각방법에 그 특징이 있는 것으로서,
냉각기(A)의 압축기(1)에서 냉매를 압축시켜 고온 고압의 냉매로 바꾸는 과정과,
상기 고온 고압의 기화 냉매를 응축기(4)에서 상온 고압의 액체 냉매로 응축하는 과정과,
상기 상온 고압의 액체 냉매를 팽창밸브(7)에서 저온 저압의 액체 냉매로 변화하는 과정과,
상기 저온 저압의 액체 냉매는 제1 열교환기(B)의 제1 열교환탱크(10)의 제1 냉각코일(11)로 이동 증발하여 내부의 냉각수를 23℃로 낮추도록 하는 과정과,
상기 23℃의 냉각수는 제1 공급관(16)을 거쳐 레이저 장치의 발진기로 보내어 냉각시키도록 하는 과정과,
상기 레이저 장비의 발진기를 냉각한 냉각수는 제1 순환관(17)을 거쳐 제1 열교환탱크(10)로 순환하도록 하는 과정과,
상기 제1 열교환탱크(10)의 제1 펌프(15)에 의해 제3 공급관(31)을 거쳐 제2 열교환기(C)의 제2 열교환탱크(20)의 제2 냉각코일(21)로 전달되는 23℃의 냉각수에 의해 제2 열교환탱크(20)의 내부 냉각수를 28℃로 낮추도록 하는 과정과,
상기 28℃의 냉각수는 제2 공급관(26)을 거쳐 레이저 장비의 광학계로 보내어 결로를 방지하면서 냉각시키도록 하는 과정과,
상기 레이저 장비의 광학계를 냉각한 냉각수는 제2 순환관(27)을 거쳐 제2 열교환탱크(20)로 순환하도록 하는 과정과,
상기의 제2 열교환탱크(20)의 제2 냉각코일(21)로 전달되는 23℃의 냉각수는 컨트롤 밸브 또는 솔레노이드 밸브(30)에 의해 제3 순환관(32)을 거쳐 상기의 제2 냉각코일(21)에서 제1 열교환탱크(10)로 순환하는 냉각수의 양을 조절하면서 제2 열교환탱크(20)의 수온을 28℃로 유지시킬 수 있도록 하는 과정에 의해 하나의 냉각기(A)로 2종류의 냉각수를 원활하게 공급할 수 있도록 구성한 것이다.
상기와 같이 구성한 본 발명의 레이저 장비의 냉각수 온도 관리 방법은 냉각기(A)와 제1 열교환기(B) 및 제2 열교환기(C)로 이루어져 2종류의 냉각수를 공급할 수 있도록 하되,
냉각기(A)의 압축기(1)에서 냉매를 압축시켜 고온 고압의 냉매로 바꾸도록 한다.
상기의 압축기(1)를 경유한 고온 고압의 냉매에 포함된 오일은 유분리기(2)에서 분리하도록 한다.
상기 유분리기(2)로부터 고온 고압의 기화 냉매는 제1 솔레노이드 밸브(3)에 의해 경로를 제어하면서 응축기(4)로 이동하여 상온 고압의 액체 냉매로 응축되도록 한다.
상기 응축기(4)에 연결된 리시버 탱크(5)에서 상온 고압의 액체 냉매의 맥동 현상을 잡아주면서 불응축 가스를 분리시켜 액체 냉매만 원활한 이동이 가능하도록 한다.
상기 리시버 탱크(5)를 경유한 상온 고압의 액체 냉매를 전달받는 필터 드라이어(6)에서 다음의 팽창 밸브(7)의 부품이 동결되는 것을 방지하도록 한다.
상기 필터 드라이어(6)로부터 상온 고압의 액체 냉매가 제2 솔레노이드 밸브(8)를 통해 팽창밸브(7)를 통과하는 중에 저온 저압의 액체 냉매로 변화하도록 한다.
상기의 팽창밸브(7)를 통과한 저온 저압의 액체 냉매는 제1 열교환기(B)의 제1 열교환탱크(10)의 제1 냉각코일(11)로 이동 증발하여 수온을 낮추는 열교환 작용을 하도록 한다.
상기의 제1 열교환탱크(10)의 제1 냉각코일(11)을 순환한 저온 저압의 기체 냉매는 다시 압축기(1)로 보내져 고온 고압의 냉매로 압축시키도록 하는 과정을 반복적으로 수행하도록 한다.
상기 제1 열교환기(B)로 보내진 저온 저압의 액체 냉매는 제1 보충구(12)와 제1 플로트 스위치(13) 및 제1 오버플로(14)를 구비한 제1 열교환탱크(10)의 제1 냉각코일(11)로 이동 증발 하여 내부의 냉각수를 23℃로 낮추도록 한다.
상기 23℃의 냉각수를 제1 펌프(15)에 의해 제1 공급관(16)을 거쳐 도면에 도시하지 않은 레이저 장비의 발진기로 보내어 냉각시키도록 한다.
상기 레이저 장비의 발진기를 냉각한 냉각수는 제1 순환관(17)을 거쳐 제1 열교환탱크(10)로 순환하도록 한다.
제2 열교환기(C)의 제2 보충구(22)와 제2 플로트 스위치(23) 및 제2 오버플로(24)를 구비한 제2 열교환탱크(20)는 제2 냉각코일(21)에 의해 내부의 냉각수를 28℃로 낮추도록 한다.
상기 28℃의 냉각수를 제2 펌프(25)에 의해 제2 공급관(26)을 거쳐 도면에 도시하지 않은 레이저 장비의 광학계로 보내어 냉각시키도록 한다.
상기 레이저 장비의 광학계를 냉각한 냉각수는 제2 순환관(27)을 거쳐 제2 열교환탱크(20)로 순환하도록 한다.
상기 제1 열교환탱크(10)의 제1 펌프(15)에 의해 제3 공급관(31)을 거쳐 상기 제2 열교환탱크(20)의 제2 냉각코일(21)로 전달되는 23℃의 냉각수에 의해 제2 열교환탱크(20)의 내부 냉각수를 28℃로 낮추도록 한다.
상기의 제2 열교환탱크(20)의 제2 냉각코일(21)로 전달되는 23℃의 냉각수는 컨트롤 밸브 또는 솔레노이드 밸브(30)에 의해 제3 순환관(32)을 거쳐 상기의 제2 냉각코일(21)에서 제1 열교환탱크(10)로 순환하는 냉각수의 양을 임의로 조절하면서 제2 열교환탱크(20)의 수온을 28℃로 유지시킬 수 있도록 함으로써 하나의 냉각기(A)로 2종류의 냉각수를 원활하게 공급할 수 있도록 한다.
상기 제1 열교환탱크(10)의 수온을 제1 센서(33)로 인식하면서 냉각기(A)의 가동을 제어하는 중에 제1 열교환탱크(10) 내부의 수온이 23℃를 유지할 수 있도록 한다.
그리고 상기의 컨트롤 밸브 또는 솔레노이드 밸브(30)는 제2 열교환탱크(20)의 수온을 제2 센서(34)로 인식하면서 제2 열교환탱크(20)의 제2 냉각코일(21)에서 제1 열교환탱크(10)로 보내는 양을 제어하여 순환하는 23℃의 냉각수의 양을 조절하는 중에 제2 열교환탱크(20) 내부의 수온이 28℃를 유지할 수 있도록 한다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 기재된 청구범위 내에 있게 된다.
A : 냉각기 B : 제1 열교환기
C : 제2 열교환기 1 : 압축기
2 : 유 분리기 4 : 응축기
7 : 팽창 밸브 10 : 제1 열교환탱크
11 : 냉각코일 15 : 제1 펌프
20 : 제2 열교환탱크 21 : 제2 냉각코일
25 : 제2 펌프 30 : 컨트롤 밸브 또는(솔레노이드 밸브)

Claims (1)

  1. 냉각기(A)의 압축기(1)에서 냉매를 압축시켜 고온 고압의 냉매로 바꾸는 과정과,
    상기 고온 고압의 기화 냉매를 응축기(4)에서 상온 고압의 액체 냉매로 응축하는 과정과,
    상기 상온 고압의 액체 냉매를 팽창밸브(7)에서 저온 저압의 액체 냉매로 변화하는 과정과,
    상기 저온 저압의 액체 냉매는 제1 열교환기(B)의 제1 열교환탱크(10)의 제1 냉각코일(11)로 이동 증발 하여 내부의 냉각수를 23℃로 낮추도록 하는 과정과,
    상기 23℃의 냉각수는 제1 공급관(16)을 거쳐 레이저 장비의 발진기로 보내어 냉각시키도록 하는 과정과,
    상기 레이저 장비의 발진기를 냉각한 냉각수는 제1 순환관(17)을 거쳐 제1 열교환탱크(10)로 순환하도록 하는 과정과,
    상기 제1 열교환탱크(10)의 제1 펌프(15)에 의해 제3 공급관(31)을 거쳐 제2 열교환기(C)의 제2 열교환탱크(20)의 제2 냉각코일(21)로 전달되는 23℃의 냉각수에 의해 제2 열교환탱크(20)의 내부 냉각수를 28℃로 낮추도록 하는 과정과,
    상기 28℃의 냉각수는 제2 공급관(26)을 거쳐 레이저 장비의 광학계로 보내어 결로를 방지하면서 냉각시키도록 하는 과정과,
    상기 레이저 장비의 광학계를 냉각한 냉각수는 제2 순환관(27)을 거쳐 제2 열교환탱크(20)로 순환하도록 하는 과정으로 구성한 일반적인 레이저용 냉각수의 냉각방법에 있어서,
    상기의 제2 열교환탱크(20)의 제2 냉각코일(21)로 전달되는 23℃의 냉각수는 컨트롤 밸브 또는 솔레노이드 밸브(30)에 의해 제3 순환관(32)을 거쳐 상기의 제2 냉각코일(21)에서 제1 열교환탱크(10)로 순환하는 냉각수의 양을 조절하면서 제2 열교환탱크(20)의 수온을 28℃로 유지시킬 수 있도록 하는 과정에 의해 하나의 냉각기(A)로 2종류의 냉각수를 원활하게 공급할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 레이저 장비의 냉각수 온도 관리방법.
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