KR101345410B1 - 온도조절장치 - Google Patents

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KR101345410B1
KR101345410B1 KR1020130073256A KR20130073256A KR101345410B1 KR 101345410 B1 KR101345410 B1 KR 101345410B1 KR 1020130073256 A KR1020130073256 A KR 1020130073256A KR 20130073256 A KR20130073256 A KR 20130073256A KR 101345410 B1 KR101345410 B1 KR 101345410B1
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김종수
김태영
우진관
이영실
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Abstract

본 발명은 고온의 열매체의 증발을 감소시켜 효율을 향상시키고, 열교환기의 수명을 연장할 수 있도록 된 새로운 구조의 온도조절장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 온도조절장치는 고온의 열매체가 순환되는 순환관(10)과 별도로, 내부에 열매체가 저장되는 리저브탱크(40)를 구비하고, 열교환기(70)를 이용하여 상기 리저브탱크(40)에 저장된 열매체를 저온으로 냉각시킨 후, 순환관(10)을 통해 순환되는 열매체의 온도가 설정온도 이상으로 상승될 경우 리저브탱크(40)에 저장된 저온의 열매체를 순환관(10)으로 공급하여 저온의 열매체가 고온의 열매체와 혼합도록 함으로써, 순환관(10)을 통해 순환되는 열매체의 온도를 낮출 수 있다.
따라서, 상기 리저브탱크(40)에 저장되는 열매체가 50℃ 내외의 비교적 저온을 유지하게 되므로, 열매체의 증발이 줄어들게 되고, 이에 따라, 열매체가 증발함에 따라 발생되는 열손실을 줄일 수 있는 장점이 있다.
특히, 상기 열교환기(70)의 내부에서는 18~20℃ 정도의 PCW와 50℃의 열매체가 열교환하게 되므로, 열교환기(70)의 내부에서 18~20℃ 정도의 PCW와 100~150℃ 정도의 열매체가 열교환되는 종래의 온도조절장치에 비해, 열교환기(70)에 가해지는 열응력의 크기가 줄어들어 열교환기(70)의 수명을 연장할 수 있는 장점이 있다.

Description

온도조절장치{temperature control apparatus}
본 발명은 고온의 열매체의 증발을 감소시켜 효율을 향상시키고, 열교환기의 수명을 연장할 수 있도록 된 새로운 구조의 온도조절장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조장비를 비롯한 다양한 장비에는 온도조절장치가 연결되어, 장비가 일정한 온도를 유지하도록 하고 있다.
이와 같이 열매체를 이용하여 장비를 냉각 또는 가열하여 장비가 일정한 온도를 유지하도록 하는 온도조절장치의 구성은 등록특허 10-0746231호를 비롯한 다수의 선행문건에 자세히 나타나 있음으로, 자세한 설명은 생략한다.
도 1은 이러한 온도조절장치에서, 장비를 30~200℃로 온도조절하는 고온 온도조절장치의 일 예를 도시한 것으로, 장비(1)에 연결되는 순환관(2)과, 상기 순환관(2)의 중간부에 구비된 열교환기(3)와 리저브탱크(4) 및 순환펌프(5)로 구성된다.
상기 순환관(2)과 리저브탱크(4)에는 열매체(coolant)가 저장되며, 상기 리저브탱크(4)의 내부에는 히터(4a)가 구비되어 리저브탱크(4)에 저장된 열매체를 가열할 수 있도록 구성된다.
이때, 상기 히터(4a)는 상기 리저브탱크(4) 내부의 열매체의 온도를 측정하여, 열매체의 온도가 미리 설정된 설정온도에 비해 낮아질 경우 온되어 열매체를 설정온도로 가열한다.
이때, 상기 열매체의 설정온도는 30~200℃ 범위 내에서 상기 장비에 적합한 온도로 설정된다.
즉, 장비의 적정 작동온도가 150℃ 일경우, 상기 열매체의 설정온도는 145℃~155℃일 수 있다.
상기 열교환기(3)에는 차갑게 냉각된 PCW(process cooling water)가 순환되어, 상기 순환관(2)을 따라 열교환기(3)를 통과하는 열매체의 온도가 설정온도 이상으로 가열될 경우 상기 PCW와 열매체가 열교환하여 열매체가 설정온도로 냉각되도록 한다.
따라서, 상기 순환펌프(5)를 이용하여 열매체가 순환관(2)을 따라 장비(1)로 순환되도록 한 상태에서, 상기 히터(4a)와 열교환기(3)를 이용하여 열매체의 온도를 제어함으로써, 장비(1)가 일정한 온도를 유지하도록 조절할 수 있다.
그런데, 이러한 온도조절장치는 상기 리저브탱크(4)의 내부에 저장된 열매체의 온도가 고온을 유지함으로, 증발이 많이 발생되며, 이에 따라 열손실이 많이 발생되는 문제점이 있었다.
특히, 상기 열교환기(3)는 고온의 열매체를 신속하게 냉각시킬 수 있도록 하기 위하여, 열교환기(3)로 공급되는 PCW가 18~20℃를 유지하도록 하는 반면, 열매체의 온도는 최고 200℃ 이상으로 상승된다.
따라서, 상기 열교환기(3)의 내부에서 18~20℃로 저온인 PCW와 고온인 열매체가 상기 열교환기(3)에서 함에 따라 열교환기(3)에 큰 열응력이 발생되며, 이에 따라, 열교환기(3)의 용접부위에 크랙이 발생되어 열교환기(3)를 자주 유지보수하여야 하는 문제점이 있었다.
따라서, 이러한 문제점을 해결할 수 있는 새로운 방법이 필요하게 되었다.
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 열매체의 증발을 감소시켜 효율을 향상시키고, 열교환기의 수명을 연장할 수 있도록 된 새로운 구조의 온도조절장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 장비(1)에 연결되어 상기 장비(1)의 온도를 조절하는 온도조절장치에 있어서, 양단이 상기 장비(1)에 연결되며 내부에 열매체가 저장된 순환관(10)과, 상기 순환관(10)의 중간부에 구비되어 상기 순환관(10) 내부의 열매체가 상기 장비(1)로 순환되도록 하는 순환펌프(20)와, 상기 순환관(10)의 중간부에 구비되어 순환관(10)을 흐르는 열매체를 가열하는 히터(30)와, 내부에 열매체가 저장된 리저브탱크(40)와, 양단이 상기 리저브탱크(40)에 연결된 보조순환관(51,52)과, 상기 보조순환관(51,52)의 중간부에 구비되어 리저브탱크(40)에 저장된 열매체가 보조순환관(51,52)을 통해 순환되도록 하는 보조순환펌프(60)와, 상기 보조순환관(51,52)의 중간부에 구비되어 보조순환관(51,52)을 통해 순환되는 열매체를 냉각시키는 열교환기(70)와, 상기 보조순환관(51,52)에서 분기되어 상기 순환관(10)에 연결되는 보충관(80)과, 상기 보조순환관(51,52) 또는 보충관(80)에 구비되어 상기 보조순환관(51,52)을 통해 순환되는 열매체가 상기 보충관(80)을 통해 순환관(10)으로 공급되도록 제어하는 전자제어밸브(90)와, 상기 순환관(10)의 중간부에 구비되어 순환관(10)을 따라 순환되는 열매체의 온도를 측정하는 온도센서(100)와, 상기 온도센서(100)의 신호를 수신하여 상기 전자제어밸브(90)의 작동을 제어하는 제어유닛(110)을 포함하며, 상기 열교환기(70)는 상기 보조순환관(51,52)을 통해 순환되는 열매체를 상기 순환관(10)을 통해 순환되는 열매체의 온도에 비해 낮은 온도로 냉각시키며, 상기 순환관(10)을 따라 순환되는 열매체의 온도가 설정온도보다 상승될 경우 상기 제어유닛(110)이 전자제어밸브(90)를 제어하여 상기 보조순환관(51,52)을 통해 순환되는 저온의 열매체가 상기 보충관(80)을 통해 상기 순환관(10)으로 공급되도록 하여, 순환관(10)을 따라 순환되는 열매체의 온도를 설정온도로 낮출 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 온도조절장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 순환관(10)과 리저브탱크(40)를 연결하는 연결관(41)을 더 포함하며, 상기 연결관(41)은 상기 순환관(10)에서 상기 순환펌프(20)가 연결된 위치의 전방에 연결되고, 상기 보충관(80)은 상기 순환관(10)에서 순환펌프(20)와 히터(30)가 연결된 위치와 상기 연결관(41)이 연결된 위치의 사이에 연결된 것을 특징으로 하는 온도조절장치가 제공된다.
본 발명에 따른 온도조절장치는 고온의 열매체가 순환되는 순환관(10)과 별도로, 내부에 열매체가 저장되는 리저브탱크(40)를 구비하고, 열교환기(70)를 이용하여 상기 리저브탱크(40)에 저장된 열매체를 저온으로 냉각시킨 후, 순환관(10)을 통해 순환되는 열매체의 온도가 설정온도 이상으로 상승될 경우 리저브탱크(40)에 저장된 저온의 열매체를 순환관(10)으로 공급하여 저온의 열매체가 고온의 열매체와 혼합되도록 함으로써, 순환관(10)을 통해 순환되는 열매체의 온도를 낮출 수 있다.
따라서, 상기 리저브탱크(40)에 저장되는 열매체가 50℃ 내외의 비교적 저온을 유지하게 되므로, 열매체의 증발이 줄어들게 되고, 이에 따라, 열매체가 증발함에 따라 발생되는 열손실을 줄일 수 있는 장점이 있다.
특히, 상기 열교환기(70)의 내부에서는 18~20℃ 정도의 PCW와 50℃ 내외의 열매체가 열교환하게 되므로, 열교환기(70)의 내부에서 18~20℃ 정도의 PCW와 200℃ 이상으로 가열되는 열매체가 열교환되는 종래의 온도조절장치에 비해, 열교환기(70)에 가해지는 열응력의 크기가 줄어들어 열교환기(70)의 수명을 연장할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래의 온도조절장치를 도시한 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 온도조절장치를 도시한 구성도,
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 온도조절장치의 작용을 설명하기 위한 참고도이다.
이하, 본 발명을 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 2 내지 도 4는 본 발명에 따른 온도조절장치를 도시한 것으로, 다양한 장비(1)에 연결되어 상기 장비(1)의 온도를 150℃ 내외로 조절하는 것을 예시한 것이다.
이에 따르면, 본 발명에 따른 온도조절장치는, 양단이 상기 장비(1)에 연결되며 내부에 열매체가 저장된 순환관(10)과, 상기 순환관(10)의 중간부에 구비되어 상기 순환관(10) 내부의 열매체가 상기 장비(1)로 순환되도록 하는 순환펌프(20)와, 상기 순환관(10)의 중간부에 구비되어 순환관(10)을 통해 순환되는 열매체를 가열하는 히터(30)와, 내부에 열매체가 저장된 리저브탱크(40)와, 양단이 상기 리저브탱크(40)에 연결된 보조순환관(51,52)과, 상기 보조순환관(51,52)의 중간부에 구비된 보조순환펌프(60)와, 상기 보조순환관(51,52)의 중간부에 구비되어 보조순환관(51,52)을 통해 순환되는 열매체를 냉각시키는 열교환기(70)와, 상기 보조순환관(51,52)에서 분기되어 상기 순환관(10)에 연결되는 보충관(80)과, 상기 보조순환관(51,52)과 보충관(80)의 연결부에 구비된 전자제어밸브(90)와, 상기 순환관(10)의 중간부에 구비되어 순환관(10)을 따라 순환되는 열매체의 온도를 측정하는 온도센서(100)와, 상기 온도센서(100)의 신호를 수신하여 상기 전자제어밸브(90)의 작동을 제어하는 제어유닛(110)으로 구성된다.
이때, 상기 열매체의 설정온도는 145℃~155℃로 설정되어, 상기 장비(1)가 145℃~155℃를 유지하도록 냉각시킬 수 있도록 구성된다.
이를 자세히 설명하면, 상기 순환관(10)은 양단에 장비(1)와 연결되는 탭(11)이 구비되어, 상기 장비(1)와 연결되어 열매체가 순환되는 폐루프형태의 순환관로를 형성한다.
상기 히터(30)는 상기 순환관(10)을 따라 흐르는 열매체의 온도를 측정하여, 열매체의 온도가 설정온도인 145℃ 이하로 저하될 경우 온되어 열매체를 가열함으로써, 순환관(30)을 흐르는 열매체의 온도가 설정온도인 145℃~155℃을 유지하도록 한다.
상기 리저브탱크(40)는 연결관(41)을 통해 상기 순환관(10)에 연결되어, 순환관(10)을 통해 순환되는 열매체의 양 변화에 따라 상기 연결관(41)을 통해 순환관(10) 내부의 열매체가 리저브탱크(40)로 배출되거나, 리저브탱크(40) 내부의 열매체가 순환관(10)으로 공급되도록 한다.
즉, 상기 순환관(10)을 따라 순환되는 열매체의 온도가 상승되어 열매체가 팽창되거나, 후술하는 과정을 통해 리저브탱크(40) 내부의 열매체가 순환관(10)으로 공급되어, 순환관(10)을 통과하는 열매체의 양이 증가될 경우 여분의 열매체가 상기 연결관(41)을 통해 리저브탱크(40)로 배출된다.
반대로, 열매체의 온도가 저하되어 열매체의 양이 줄어들거나, 열매체의 누출이 발생될 경우, 상기 연결관(41)을 통해 리저브탱크(40) 내부의 열매체가 상기 연결관(41)을 통해 순환관(10)으로 공급된다.
따라서, 순환관(10)을 따라 순환되는 열매체가 항상 일정한 양을 유지하도록 할 수 있다.
상기 보조순환관(51,52)은 양단이 상기 리저브탱크(40)에 연결되어 리저브탱크(40)의 내부에 저장된 열매체가 순환되도록 하는 순환관로를 형성하는 것으로, 상기 보조순환펌프(60)와 열교환기(70)가 구비되는 제1 순환부(51)와, 상기 제1 순환부(51)와 리저브탱크(40)를 연결하는 제2 순환부(52)로 구성된다.
상기 보조순환펌프(60)는 리저브탱크(40)에 저장된 열매체가 보조순환관(51,52)을 통해 지속적으로 순환되도록 한다.
상기 열교환기(70)는 18~20℃를 유지하는 PCW와, 상기 보조순환관(51,52)을 통해 순환되는 열매체를 열교환하여, 상기 보조순환관(51,52)을 통해 순환되는 열매체의 온도를, 상기 순환관(10)을 통해 순환되는 열매체의 온도에 비해 낮은 온도로 냉각하는 기능을 한다.
바람직하게는, 상기 열교환기(70)는 상기 보조순환관(51,52)을 통해 순환되는 열매체가 50℃ 이하의 온도를 유지하도록 한다.
상기 보충관(80)은 상기 제1 순환부(51)에서 분기되어 상기 순환관(10)에 연결되는 것으로, 상기 보조순환관(51,52)을 통해 순환되는 저온의 열매체가 보충관(80)을 통해 상기 순환관(10)으로 공급되도록 한다.
이때, 상기 보충관(80)은 상기 순환관(10)에서 순환펌프(20)와 상기 연결관(41)이 연결된 위치의 사이에 연결된다.
상기 전자제어밸브(90)는 상기 보조순환관(51,52)과 보충관(80)의 연결부에 구비된 삼방제어밸브를 이용하는 것으로, 상기 제어유닛(110)의 제어신호에 따라 상기 보조순환관(51,52)을 통해 순환되는 열매체의 일부가 상기 보충관(80)을 통해 순환관(10)으로 공급되도록 비례제어한다.
상기 온도센서(100)는 상기 히터(30)의 후방에 구비된다.
상기 제어유닛(110)은 상기 온도센서(100)의 신호를 수신하여, 순환관(10)을 통해 순환되는 열매체의 온도가 설정온도 즉, 145℃~155℃를 유지할 때는 상기 전자제어밸브(90)를 제어하여, 제1 순환부(51)를 통과한 저온의 열매체가 상기 제2 순환부(52)를 통해 리저브탱크(40)로 순환되도록 하고, 상기 순환관(10)을 통해 순환되는 열매체의 온도가 설정온도 즉, 145℃~155℃ 이상으로 상승되면 상기 전자제어밸브(90)를 제어하여, 제1 순환부(51)를 통과한 차가운 열매체가 상기 보충관(80)을 통해 상기 순환관(10)으로 공급되어 순환관(10)을 통과하는 고온의 열매체와 혼합되도록 함으로써, 순환관(10)을 통해 순환되는 열매체의 온도가 저하되도록 한다.
이와 같이 구성된 온도조절장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.
우선, 상기 순환관(10)을 장비(1)에 연결한 상태에서 온도조절장치에 전원을 인가하면, 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 순환펌프(20)가 작동되어 열매체가 순환관(10)을 통해 장비(1)로 순환되어 장비(1)의 온도를 조절함과 동시에, 상기 보조순환펌프(60)가 작동되어 리저브탱크(40) 내부의 열매체가 보조순환관(51,52)을 통해 순환되면서 열교환기(70)에 의해 50℃ 내외로 온도조절되도록 한다.
그리고, 상기 순환관(10)을 통과하는 열매체의 온도가 설정온도 이하로 저하되면 상기 히터(30)가 작동되어 순환관(10)을 통과하는 열매체의 온도가 설정온도로 상승되도록 한다.
이때, 상기 전자제어밸브(90)는 제1 순환부(51)를 통과한 저온의 열매체가 제2 순환부(52)를 통해 리저브탱크(40)로 순환되도록 한다.
그리고, 상기 순환관(10)을 통과하는 열매체의 온도가 설정온도 이상으로 상승되면, 상기 제어유닛(110)이 제어밸브를 제어하여, 도 4에 도시한 바와 같이, 제1 순환부(51)를 통과한 저온의 열매체가 순환관(10)을 통과하는 고온의 열매체와 혼합도록 비례제어하여, 순환관(10)을 순환하는 열매체의 온도가 설정온도 즉, 145℃~155℃로 낮아지도록 한다.
이때, 상기 제1 순환부(51)를 통과한 저온의 열매체가 순환관(10)으로 공급됨에 따라 순환관(10) 내부의 열매체의 양이 증가되므로, 상기 순환관(10) 내부의 열매체에서 증가된 양만큼의 열매체는 상기 연결관(41)을 통해 리저브탱크(40)로 배출되어, 순환관(10) 내부의 열매체가 일정한 양을 유지하게 된다.
이와 같이 구성된 온도조절장치는 고온의 열매체가 순환되는 순환관(10)과 별도로, 내부에 열매체가 저장되는 리저브탱크(40)를 구비하고, 열교환기(70)를 이용하여 상기 리저브탱크(40)에 저장된 열매체를 저온으로 냉각시킨 후, 순환관(10)을 통해 순환되는 열매체의 온도가 설정온도 이상으로 상승될 경우 리저브탱크(40)에 저장된 저온의 열매체를 순환관(10)으로 공급하여 저온의 열매체가 고온의 열매체와 혼합되도록 함으로써, 순환관(10)을 통해 순환되는 열매체의 온도를 낮출 수 있다.
따라서, 상기 리저브탱크(40)에 저장되는 열매체가 50℃ 내외의 비교적 저온을 유지하게 되므로, 열매체의 증발이 줄어들게 되고, 이에 따라, 열매체가 증발함에 따라 발생되는 열손실을 줄일 수 있는 장점이 있다.
특히, 상기 열교환기(70)의 내부에서는 18~20℃ 정도의 PCW와 50℃ 내외의 열매체가 열교환하게 되므로, 열교환기(70)의 내부에서 18~20℃ 정도의 PCW와 100~150℃ 정도의 열매체가 열교환되는 종래의 온도조절장치에 비해, 열교환기(70)에 가해지는 열응력의 크기가 줄어들어 열교환기(70)의 수명을 연장할 수 있는 장점이 있다.
또한, 상기 리저브탱크(40)는 연결관(41)에 의해 순환관(10)과 연결되며, 상기 연결관(41)은 상기 순환관(10)에서 상기 순환펌프(20)가 연결된 위치의 전방에 연결되고, 상기 보충관(80)은 상기 순환관(10)에서 순환펌프(20)와 히터(30)가 연결된 위치와 상기 연결관(41)이 연결된 위치의 사이에 연결된다.
따라서, 상기 보조순환펌프(60)를 출력이 작은 것을 사용하더라도, 보조순환관(51,52)을 순환하는 열매체가 효과적으로 순환관(10)으로 공급될 수 있을 뿐 아니라, 보조순환관(51,52) 내부의 열매체가 순환관(10)의 내부로 공급됨에 따라 순환관(10) 내부의 열매체의 양이 증가되면, 증가된 만큼의 열매체가 자동으로 연결관(41)을 통해 리저브탱크(40)로 배출되어, 별도의 인위적인 제어 없이 상기 순환관(10) 내부의 열매체의 양을 일정하게 조절할 수 있는 장점이 있다.
본 실시예의 경우, 상기 열매체의 설정온도는 145℃~155℃인 것을 예시하였으나, 상기 열매체의 설정온도는 장비(1)의 적정 작동온도에 맞도록 30~200℃사이의 적절한 온도로 변경될 수 있다.
10. 순환관 20. 순환펌프
30. 히터 40. 리저브탱크
51,52. 보조순환관 60. 보조순환펌프
70. 열교환기 80. 보충관
90. 전자제어밸브 100. 온도센서
110. 제어유닛

Claims (2)

  1. 장비(1)에 연결되어 상기 장비(1)의 온도를 조절하는 온도조절장치에 있어서,
    양단이 상기 장비(1)에 연결되며 내부에 열매체가 저장된 순환관(10)과,
    상기 순환관(10)의 중간부에 구비되어 상기 순환관(10) 내부의 열매체가 상기 장비(1)로 순환되도록 하는 순환펌프(20)와,
    상기 순환관(10)의 중간부에 구비되어 순환관(10)을 흐르는 열매체를 가열하는 히터(30)와,
    내부에 열매체가 저장된 리저브탱크(40)와,
    양단이 상기 리저브탱크(40)에 연결된 보조순환관(51,52)과,
    상기 보조순환관(51,52)의 중간부에 구비되어 리저브탱크(40)에 저장된 열매체가 보조순환관(51,52)을 통해 순환되도록 하는 보조순환펌프(60)와,
    상기 보조순환관(51,52)의 중간부에 구비되어 보조순환관(51,52)을 통해 순환되는 열매체를 냉각시키는 열교환기(70)와,
    상기 보조순환관(51,52)에서 분기되어 상기 순환관(10)에 연결되는 보충관(80)과,
    상기 보조순환관(51,52) 또는 보충관(80)에 구비되어 상기 보조순환관(51,52)을 통해 순환되는 열매체가 상기 보충관(80)을 통해 순환관(10)으로 공급되도록 제어하는 전자제어밸브(90)와,
    상기 순환관(10)의 중간부에 구비되어 순환관(10)을 따라 순환되는 열매체의 온도를 측정하는 온도센서(100)와,
    상기 온도센서(100)의 신호를 수신하여 상기 전자제어밸브(90)의 작동을 제어하는 제어유닛(110)을 포함하며,
    상기 열교환기(70)는 상기 보조순환관(51,52)을 통해 순환되는 열매체를 상기 순환관(10)을 통해 순환되는 열매체의 온도에 비해 낮은 온도로 냉각시키며,
    상기 순환관(10)을 따라 순환되는 열매체의 온도가 설정온도보다 상승될 경우 상기 제어유닛(110)이 전자제어밸브(90)를 제어하여 상기 보조순환관(51,52)을 통해 순환되는 저온의 열매체가 상기 보충관(80)을 통해 상기 순환관(10)으로 공급되도록 하여, 순환관(10)을 따라 순환되는 열매체의 온도를 설정온도로 낮출 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 온도조절장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 순환관(10)과 리저브탱크(40)를 연결하는 연결관(41)을 더 포함하며,
    상기 연결관(41)은 상기 순환관(10)에서 상기 순환펌프(20)가 연결된 위치의 전방에 연결되고,
    상기 보충관(80)은 상기 순환관(10)에서 순환펌프(20)와 히터(30)가 연결된 위치와 상기 연결관(41)이 연결된 위치의 사이에 연결된 것을 특징으로 하는 온도조절장치.
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