KR102211344B1 - 수평형 신관기 - Google Patents

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KR102211344B1
KR102211344B1 KR1020190101037A KR20190101037A KR102211344B1 KR 102211344 B1 KR102211344 B1 KR 102211344B1 KR 1020190101037 A KR1020190101037 A KR 1020190101037A KR 20190101037 A KR20190101037 A KR 20190101037A KR 102211344 B1 KR102211344 B1 KR 102211344B1
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장보현
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Abstract

본 발명은 수평형 신관기에 관한 것으로, 더욱 구체적으로 설명하면, 반도체 공장에서 다량으로 사용되는 순수액 이송관으로 사용되며 곡선형태로 감긴 내부가 전해연마되게 가공된 튜브파이프가 코어권취부상에 권취된 상태에서 상기 튜브파이프를 잡아당겨서 수평방향으로 직선상으로 전개시키는 방식으로 상기 튜브파이프를 사용에 적합한 길이로 전개시킬 수가 있게 되고 상기 튜브파이프를 필요한 길이만큼 연장시켜 절단사용하므로 수평 순수액 이송관의 설치가 간편하고 신속하게 수행되므로 공기가 단축되는 것은 물론이고 용접작업이 필요없게 되어 설치비용이 저렴하게 되고 고가의 튜브 파이프의 낭비가 최소로 되는 것이 가능하고 튜브파이프의 원통형으로 만곡된 곡률반경을 직선화를 신속하고 용이하게 하기 위하여 2중으로 직선화부를 형성하여 전체적인 크기가 줄어들게 되고 경량화되어 이동성이 증가되어 설치가 용이한 수평형 신관기에 관한 것이다.

Description

수평형 신관기{A tube deployment machine}
본 발명은 수평형 신관기에 관한 것으로, 더욱 구체적으로 설명하면, 반도체 공장에서 다량으로 사용되는 순수액 이송관으로 사용되며 곡선형태로 감긴 내부가 전해연마되게 가공된 튜브파이프가 코어권취부상에 권취된 상태에서 상기 튜브파이프를 잡아당겨서 수평방향으로 직선상으로 전개시키는 방식으로 상기 튜브파이프를 사용에 적합한 길이로 전개시킬 수가 있게 되고 상기 튜브파이프를 필요한 길이만큼 연장시켜 절단사용하므로 수평 순수액 이송관의 설치가 간편하고 신속하게 수행되므로 공기가 단축되는 것은 물론이고 용접작업이 필요없게 되어 설치비용이 저렴하게 되고 고가의 튜브 파이프의 낭비가 최소로 되는 것이 가능하고 튜브파이프의 원통형으로 만곡된 곡률반경을 직선화를 신속하고 용이하게 하기 위하여 2중으로 직선화부를 형성하여 전체적인 크기가 줄어들게 되고 경량화되어 이동성이 증가되어 설치가 용이한 수평형 신관기에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 공장에서는 반도체를 제조하기 위하여 100%의 순수액과 같은 유체를 이송하기 위하여 내부가 특수하게 가공되고 길게 연장된 튜브파이프가 다량이 사용되고 있다.
이러한 튜브파이프는 내부가 전해연마로 매끈하게 가공된 것이 사용되고 있으며, 이러한 튜브파이프는 내부가 전해연마로 가공되는 특별한 파이프라고 할 수 있으므로 일반적인 파이프에 비하여 가격이 10배 정도가 비싸게 거래되는 고가의 물품이다.
이러한 튜브파이프는 필요에 따라 4m, 6m, 8m 의 직관의 내부를 전해연마로 가공하게 되며 가공된 직관을 필요한 길이로 커플러를 사용하여 연결하거나 용접을 하여 연결시켜야 하므로 그 연결작업에 많은 시간과 비용이 소요되게 되며 연결작업기간이 오래 걸리게 되므로 공기가 길어지게 되는 문제점이 있었다.
또한, 필요한 길이, 예를 들면 4m 길이의 튜브파이프에서 2m 정도를 사용하면, 나머지 2m 정도의 튜브파이프는 사용할 장소가 없으므로 버려지게 되는 문제점이 있었다.
이러한 길게 직선으로 연장된 직관의 내부를 전해연마를 수행하기 위해서는 공간적으로 넓은 공간이 필요하게 되므로 튜브파이프의 가공의 단가가 올라가게 되고, 이러한 직관 형태의 튜브파이프는 많은 양을 운반하는 것이 어렵게 되어 운송효율이 저하되는 문제점이 있었다.
이러한 종래의 튜브파이프의 제조의 문제점을 해결하기 위하여, 파이프의 제조시에 원통형으로 권취된 파이프를 사용하여 권취된 파이프의 내부를 전해연마시켜서 사용할 수가 있게 되므로 전해연마의 공간이 대폭적으로 절감되는 것은 물론이고 전해연마를 시키는 비용도 월등하게 절감되게 되고 운송효율이 높아지는 방안이 제안된 바가 있었으나, 이와 같이 원통형으로 감긴 상태의 튜브파이프를 직선상태로 전개하여 사용하여야 하며, 이와 같이 감긴 튜브파이프를 직선상태로 바르게 전개하는 데에 상당히 어려운 문제점이 발생되고 있다.
한국등록특허 제10-1220436호 한국공개특허 제10-1999-012168호
본 발명의 목적은, 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 반도체 공장에서 순수액 이송관으로 사용되며 곡선형태로 감긴 내부가 전해연마 가공된 튜브파이프가 코어권취부상에 권취된 상태에서 수평방향으로 일직선상으로 전개시켜 사용에 적합한 길이로 전개시킬 수가 있게 되어 직선상으로 전개된 튜브파이프를 필요한 길이만큼 연장시켜 절단사용하므로 수평 순수액 이송관의 설치가 간편하고 신속하게 수행되므로 공기가 단축되는 것은 물론이고 용접작업이 필요없게 되어 설치비용이 저렴하게 되고 고가의 튜브 파이프의 낭비가 최소로 되는 것이 가능한 수평형 신관기를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 튜브파이프의 원통형으로 만곡된 곡률반경을 직선화를 신속하고 용이하게 하기 위하여 2중으로 직선화부를 형성하여 전체적으로 크기가 작아지고 중량이 가벼워져 현장의 설치가 용이하도록 하부에 롤러가 설치되어 작업자들이 편리하게 사용하는 것이 가능한 수평형 신관기를 제공하는 것이다.
본 발명의 이러한 목적은, 하부에 롤러가 설치되며 구성부분들이 고정되는 지지프레임과, 상기 지지프레임의 일측에 설치되며 롤상으로 튜브파이프가 권취된 코어권취부와, 상기 코어권취부의 직선방향의 인출측에 인접하게 설치되며 인출되는 튜브파이프의 만곡상태를 직선상으로 수정하는 1차 직선화부와, 상기 1차 직선화부에서 직선화되어 인출된 튜브파이프가 통과되며 다시 직선화되어 미세한 만곡상태의 굴곡을 재차 보정하여 완전한 직선화를 수행하는 2차 직선화부와, 상기 2차 직선화부에서 인출된 튜브파이프가 통과되며 나선방향의 굴곡을 보정하여 직선화시키는 3차 직선화부와, 상기 3차 직선화부에 인접한 지지프레임의 수직프레임에 승강가능하게 설치된 승강레그를 포함하는 본 발명에 따른 수평형 신관기에 의하여 달성된다.
본 발명에 따른 수평형 신관기는, 하부에 롤러가 설치되며 구성부분들이 고정되는 지지프레임과, 상기 지지프레임의 일측에 설치되며 롤상으로 튜브파이프가 권취된 코어권취부와, 상기 코어권취부의 인출측에 인접하게 설치되며 직선상으로 인출되는 튜브파이프의 만곡상태를 직선상으로 수정하는 1차 직선화부와, 상기 1차 직선화부에서 직선화되어 인출된 튜브파이프가 통과되며 다시 직선화되고 미세한 만곡상태의 굴곡을 재차 보정하여 완전한 직선화를 수행하는 2차 직선화부와, 상기 2차 직선화부에서 인출된 튜브파이프가 통과되며 나선방향의 굴곡을 보정하여 직선화시키는 3차 직선화부와, 상기 3차 직선화부에 인접한 지지프레임의 수직프레임에 승강가능하게 설치된 승강레그를 포함하여, 튜브파이프가 코어권취부상에 권취된 상태에서 수평방향으로 일직선으로 전개시켜 사용에 적합한 길이로 전개시킬 수가 있게 되어 필요한 길이만큼 연장시켜 절단사용하므로 수평 순수액 이송관의 설치가 간편하고 신속하게 수행되므로 공기가 단축되는 것은 물론이고 용접작업이 필요없게 되어 설치비용이 저렴하게 되고 고가의 튜브 파이프의 낭비가 최소로 되는 것이 가능하고 튜브파이프의 원통형으로 만곡된 곡률반경을 직선화를 신속하고 용이하게 하기 위하여 2중으로 직선화부를 형성하여 전체적으로 크기가 작아지고 중량이 가벼워져 현장의 설치가 용이하도록 하부에 롤러가 설치되어 작업자들이 편리하게 사용하는 것이 가능하다는 우수한 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 수평형 신관기의 사시도
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 수평형 신관기의 정면도
도 3a, 3b, 3c는 본 발명의 제1실시예에 따른 수평형 신관기의 코어권취부의 정면도, 회전롤러의 부분사시도 및 튜브파이프의 인출안내편의 사시도
도 4a, 4b, 4c, 4d는 본 발명의 제1실시예에 따른 수평형 신관기의 1차 직선화부의 정면도, 덮개가 벗겨진 상태의 정면도, 직선화롤러의 이동이 도시된 정면도, 직선화롤러의 직선화시의 중심축의 하향이동도
도 5a, 5b, 5c는 본 발명의 제1실시예에 따른 수평형 신관기의 2차 직선화부의 정면도, 및 사시도, 직선화롤러의 이동이 도시된 정면도, 직선화롤러의 직선화시의 중심축의 하향이동도
도 6a, 6b, 6c는 본 발명의 제1실시예에 따른 수평형 신관기의 3차 직선화부의 정면도, 덮개가 벗겨진 사시도 및 직진도 검사기가 부착된 사시도
도 7a, 7b는 본 발명의 제1실시예에 따른 수평형 신관기의 승강레그의 정면도, 및 사시도
도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 수평형 신관기의 승강레그가 하강되어 경사상태로 배치된 상태의 수평형 신관기의 정면도
본 발명의 제1실시예에 따른 수평형 신관기(A)는, 도 1에 도시된 바와 같이,하부에 롤러(11)가 설치되며 구성부분들이 고정되는 지지프레임(1)과, 상기 지지프레임(1)의 일측에 설치되며 원통상으로 튜브파이프체(P)가 권취된 코어권취부(2)와, 상기 코어권취부(2)에 설치된 튜브파이프체(P)의 튜브파이프(P1)가 인출되는 직선상 인출측에 인접하게 설치되며 직선상으로 인출되는 튜브파이프(P1)의 수직방향의 만곡상태를 직선상으로 수정하는 1차 직선화부(3)와, 상기 1차 직선화부(3)에서 직선화되어 인출된 튜브파이프(P1)가 통과되며 다시 튜브파이프(P1)의 직선화되지 않은 만곡상태의 굴곡을 재차 보정하여 완전직선화를 수행하는 2차 직선화부(4)와, 상기 2차 직선화부(4)에서 인출된 튜브파이프(P1)가 통과되며 수평방향의 나선방향의 굴곡을 보정하여 직선화시키는 3차 직선화부(5)와, 상기 3차 직선화부(5)에 인접한 지지프레임(1)의 수직프레임(1a)에 승강가능하게 설치된 승강레그(6)를 포함한다.
상기 지지프레임(1)은 수직프레임(1a)과 수평프레임(1b)이 격자형으로 조립되게 형성되고, 상기 지지프레임(1)의 하부에 바닥과 접하는 부분에는 롤러(11)가 설치되어 쉽게 밀고서 수평형 신관기(A)를 현장에서 손쉽게 이동시킬 수가 있게 되므로 작업자의 이동작업이 편리하게 되어 있다.
상기 지지프레임(1)의 일측에는 코어권취부(2)가 설치되고 지지프레임(1)의 타측에는 승강레그(6)가 설치되어 있다.
상기 코어권취부(2)상에는 튜브파이프(P1)가 원통형으로 연속적으로 권취된 튜브파이프체(P)가 설치되어 있고, 상기 코어권취부(2)는 상기 지지프레임(1)상에 배치된 받침대(21)와, 상기 받침대(21)상에 고정된 십(十)자형 지지대(22)와, 상기 십자형 지지대(22)의 각 단부에 회전되게 설치된 회전롤러(23)와, 상기 십자형 지지대(22)의 회전롤러(23)상에 회전가능하게 설치된 튜브파이프(P1)가 원통형으로 권취되어 있는 원통형 튜브파이프체(P)를 포함한다.
상기 튜브파이프체(P)의 저면은 상기 십자형 지지대(22)의 단부에 설치된 회전롤러(23)에 접하게 설치되어 원통형으로 권취된 튜브파이프체(P)의 회전을 용이하게 하여 적은 힘으로 상기 튜브파이프체(P)를 회전시킬 수가 있게 되는 것이다.
상기 십자형 지지대(22)의 각 단부에는 인출되는 튜브파이프(P1)를 고정된 위치에서 안내하는 인출안내편(24)이 승강가능하게 설치되어 상기 튜브파이프(P1)의 인출을 안내한다.
즉, 상기 인출안내편(24)은, 회전롤러(23)에 접하며 회전되는 상태로 인출되는 튜브파이프체(P)의 최외측의 튜브파이프(P1)가 통과되는 통과홈(24a)이 하향개방되게 형성된 제1안내편(24b)과 상기 제1안내편(24b)이 일측에 직각으로 고정되며 상기 십자형 지지대(22)의 상부에 승강가능하게 고정된 제2안내편(24c)으로 구성되어, 튜브파이프(P1)의 상부면이 상기 통과홈(24a)의 상부에 밀착되고 튜브파이프(P1)의 하부면의 회전롤러(23)에 밀착되어 위치가 폭방향으로 이동되지 않는 상태에서, 상기 튜브파이프(P1)가 상기 1차 직선화부(3)로 인출되어 직선화되는 것이다.
상기 1차 직선화부(3)는 상기 튜브파이프(P)의 직선상의 인출초기에서 튜브파이프(P1)의 직선화를 시키기가 어려운 초기지점에서 튜브파이프(P1)를 거의 90%에 가깝게 직선화시키는 중요한 구성부분이다.
즉, 원통형으로 감긴 튜브파이프체(P)를 직선상으로 변화시키기 위해서는 원통형으로 둥글게 말려 있는 곡선상의 곡률반경을 갖는 상태에서 직선상으로 전개시키기 위해서는 전체적인 구성이 커지게 되고 곡률반경을 직선화시키도록 전개되는 부분이 많이 필요하게 되어 전체적인 크기가 크게 될 수 밖에는 없으나, 본 발명에서는 이러한 원통형으로 감겨 있는 튜브파이프(P1)의 직선화를 2중으로 분할되게 하여 1차에서 직선상으로 대부분을 변경시키고 아직 직선상으로 전개되지 않은 작은 부분을 2차 직선화부에서 전개시키게 되므로 전체적인 크기가 작아지게 되면서 소형화와 경량화가 가능하게 되어 설치현장에서 1인 또는 2인이 이동시켜서 신속하게 설치작업을 수행하는 것도 가능하게 되므로 공기의 단축도 가능하게 되므로, 1차 직선화부(3)는 대단히 중요한 구성부분이라고 할 것이다.
상기 1차 직선화부(3)는 직선상으로 인출되는 튜브파이프(P1)를 1차적으로 직선화시키는 부분으로서 곡률반경의 약 90%가 직선상으로 전개되며, 이를 구체적으로 설명하면, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 1차 직선화부(3)는 지지프레임(1)에 착탈가능하게 고정되고 중간에 수평슬릿홈이 형성된 고정판(31)과, 상기 고정판(31)의 슬릿홈상에 고정된 제1 직선화롤러(32)를 포함하고, 상기 직선화롤러(32)의 직선화홈(32a)의 저면에 상기 튜브파이프(P)가 접하게 통과되면서 만곡된 상태의 튜브파이프(P1)가 직선화가 수행되게 되는 것이다.
상기 제1 직선화롤러(32)의 정상적인 상기 튜브파이프(P1)와 접하였을 때의 가압되지 않는 상태의 중심선(a1)의 위치보다 직선화공정 중의 중심선(a2)의 위치가 더 하양으로 더 내려가서 위치하고, 예를 들면, 중심선(a1)의 위치보다 직선화공정 중의 중심선(a2)의 위치가 1 ~ 3 mm 정도가 하향으로 배치되어야 곡률반경의 만곡상태를 직선화시키는 것이 가능하며, 상기 제1 직선화롤러(32)의 하향배치되는 수치는 상기 튜브파이프(P1)의 재질이나 직경에 따라 변동이 가능하다고 할 것이다. 상기 제1 직선화롤러(32)는 수평슬릿홈을 따라 전후로 이동가능하고, 상기 제1 직선화롤러(32)는 고정판(31)을 상하로 지지프레임(1)을 따라 이동시켜 상하로 이동이 가능하게 설치되어, 상기 제1 직선화롤러(32)는 전후상하로 그 위치를 이동시켜 사용할 수가 있다.
상기 2차 직선화부(4)는, 상기 1차 직선화부(3)에서 직선화되어 인출된 튜브파이프(P1)가 통과되며 다시 직선화되고 상기 1차 직선화부(3)에서 직선화시키지 못한 약 10%의 미세한 만곡상태의 굴곡을 재차 보정하여 완전한 직선화를 수행하는 기능을 수행한다. 상기 2차 직선화부(4)는 상기 튜브파이프(P1)를 견인시키는 구동모터(41)와, 상기 튜브파이프(P1)를 견인시키며 안내하는 제1, 제2 안내롤러(42, 43)와, 제1 및 제2 안내롤러(42,43)의 사이에 배치되며 견인되는 상기 튜브파이프(P1)를 가압하여 직선화시키는 제2 직선화롤러(44)로 구성되어, 1차 직선화부(3)에서 직선화된 튜브파이프(P)의 아직 보정되지 않은 만곡된 부분을 보정시켜 거의 완벽하게 만곡된 부분을 갖는 튜브파이프(P)의 직선화를 수행하게 되는 것이다.
상기 제2 직선화롤러(44)의 정상적인 상기 튜브파이프(P1)와 접하였을 때의 가압되지 않는 상태의 중심선(a3)의 위치보다 직선화공정 중의 중심선(a4)의 위치가 더 하양으로 더 내려가서 위치하고, 예를 들면, 상기 제2 직선화롤러(44)의 직선화공정 중의 중심선(a4)의 위치는 상기 제2 직선화롤러(44)의 비가압상태의 중심선(a3)의 위치보다 더 내려가서 위치하고, 0.1 ~ 3 mm 정도가 하향으로 배치되어야 곡률반경의 만곡상태를 직선화시키는 것이 가능하며, 상기의 수치는 상기 튜브파이프(P1)의 재질이나 직경에 따라 변동이 가능하다고 할 것이다. 상기 제2 직선화롤러(44)는 조정나사(45)를 회전시켜 상하로 이동이 가능하게 설치되어, 상하로 그 위치를 이동시켜 사용할 수가 있다.
상기 3차 직선화부(5)는, 상기 2차 직선화부(4)에서 인출된 튜브파이프(P1)가 통과되며 나선방향의 굴곡을 보정하여 직선화시키는 기능을 수행함과 동시에 동심원으로 보정하는 기능을 수행한다. 즉, 상기 코어권취부(2)상에 튜브파이프(P1)가 원통형으로 연속적으로 권취되어 원통형 튜브파이프체(P)가 형성되어 있으므로, 상기 원통형 튜브파이프체(P)의 튜브파이프(P1)의 단면은 장변이 수평으로 배치되는 타원형을 이루고 있으므로, 이러한 튜브파이프(P1)의 타원형을 원형의 동심원형태로 보정하는 작업을 병행하여 수행하여야 하며 이러한 동심원의 성형작업은 상기 상기 3차 직선화부(5)에서 수행되게 되는 것이다.
상기 3차 직선화부(5)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 수평직선화롤러(52)와, 제2 수평직선화롤러(53)와, 튜브파이프(P1)가 동심원을 이루게 가공하는 제3 안내롤러(51)가 설치되어, 나선방향으로 권취되어 있던 수평방향의 나선만곡상태의 튜브파이프(P1)의 아직 미세하게 만곡된 부분을 보정시켜 거의 완벽하게 만곡된 부분을 갖는 튜브파이프(P1)의 직선화를 수행하게 되며 아울러 튜브파이프(P1)의 원형의 동심원형태로 보정하는 작업이 병행되게 수행되는 것이다. 또한, 다른 예로서, 상기 3차 직선화부(5)는, 튜브파이프(P1)가 인입되게 인입시키는 제3 안내롤러(51)와, 제1 수평직선화롤러(52), 제2 수평직선화롤러(53)를 구비하여, 나선방향으로 권취되어 있던 수평방향의 나선만곡상태의 튜브파이프(P1)의 아직 미세하게 만곡된 부분을 보정시켜 거의 완벽하게 만곡된 부분을 갖는 튜브파이프(P1)의 직선화를 수행하게 되며 아울러 튜브파이프(P1)의 원형의 동심원형태로 보정하는 작업이 병행되게 수행되게 할 수도 있는 것이다. 상기 제3 안내롤러(51)는 조정나사(51a,51b)에 의하여 높이와 폭이 조정되며, 제1 수평직선화롤러(52)는 조정나사(52a, 52b)에 의하여 높이와 폭이 조정되며, 제2 수평직선화롤러(53)는 조정나사(53a, 53b)에 의하여 높이와 폭이 조정된다.
또한, 상기 3차 직선화부(5)의 튜브파이프(P1)가 인출되는 출구에는 튜브파이프(P)의 직진도를 검사하는 직진도 검사기(54)가 3개가 부착되어 있어, 인출되는 튜브파이프(P)의 외표면까지의 거리를 측정하여 인출되는 튜브파이프(P1)의 직진도를 검사하여 정확한 직진도를 갖는 튜브파이프(P1)가 현장에서 설치되게 되는 것이다.
상기 승강레그(6)는 상기 3차 직선화부(5)에 인접한 지지프레임(1)의 수직프레임(1a)에 승강가능하게 설치되어 직선화된 튜브파이프(P1)의 현장에서의 설치를 용이하게 하는 것이다.
상기 튜브파이프(P1)가 수평으로 설치되는 설치위치는 반도체 공장의 건물의 바닥에서 적어도 2 m 이상의 높이에 설치되는 것이 일반적인 설치위치이며, 이러한 설치위치에 튜브파이프(P1)를 설치하기 위해서는 상기 승강레그(6)가 연장되어 지지프레임(1)이 경사되게 배치시키고 이러한 경사위치에서 튜브파이프(P1)가 인출되어 용이하게 설치위치로 인출시켜 튜브파이프(P1)의 설치를 용이하게 하기 위한 것이다.
상기 승강레그(6)는 상기 수직프레임(1a)에 슬라이딩 가능하게 접하여 설치되는 레그프레임(61)과, 상기 레그프레임(61)을 따라 중간에 길이방향으로 연장된 스크류(62)와, 상기 스크류(62)에 나사결합되어 승강되는 승강나사부(63)와, 상기 승강나사부(63)와 결합되어 승강나사부(63)를 승강구동시키는 핸들(64)이 구비되어 있다.
이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 제1실시예에 따른 수평형 신관기(A)의 작동을 이하에 상세하게 설명한다.
우선은 튜브파이프(P1)가 설치될 현장에 본 발명의 제1실시예에 따른 수평형 신관기(A)를 이동시키며, 상기 수평형 신관기(A)의 이동작업은 지지프레임(1)의 하부에 부착된 롤러(11)에 의하여 상기 지지프레임(1)을 밀어서 이동시키는 것에 의하여 대단히 쉽게 이동되게 되는 것이다.
그리고, 원통상으로 권취된 튜브파이프체(P)가 권취된 코어권취부(2)의 가장자리에 배치된 상기 튜브파이프(P1)의 선단부를 코어권취부(2)의 상기 십자형 지지대(22)의 상부와 외측에 설치된 인출안내편(24)의 제1안내편(24b)의 통과홈(24a)의 사이에 삽입시키고 회전롤러(23)에 밀착되게 삽입고정시키고 상기 1차 직선화부(3)와 2차 직선화부(4)에 삽입고정시켜서, 직선화되는 상기 튜브파이프(P1)가 상기 튜브파이프체(P)가 회전되게 작동되어도 상기 인출안내편(24)에 의하여 고정된 상기 튜브파이프(P1)는 움직이지 않게 고정되게 되는 것이다.
이 상태에서 상기 2차 직선화부(4)의 구동모터(41)를 가동시키면, 구동모터(41)가 가동되면서 양측의 제1, 제2 안내롤러(42, 43)가 구동되면서 튜브파이프(P1)를 견인시키면서 튜브파이프(P1)의 직선화작동이 가능하게 되는 것이다.
즉, 튜브파이프(P1)가 상기 1차 직선화부(3)의 직선화롤러(32)를 통과되면서 초기에 만곡된 상태의 튜브파이프(P1)가 직선화가 90%가 수행되게 되는 것이고, 상기 2차 직선화부(4)를 통과되면서 직선화가 되지 않은 나머지의 10%의 부분도 직선화가 되어 권취상태의 만곡된 곡률반경이 단계적으로 펴지면서 100% 직선화가 이루어지게 되는 것이다.
이와 같이 2차 직선화부(4)를 통과되어 만곡부분이 거의 100%가 직선화된 튜브파이프(P1)는, 3차 직선화부(5)를 통과하면서 권취에 의한 수평방향(나선방향)의 직진화도 수행되면서 동심원화도 수행되게 되는 것이다.
즉, 튜브파이프(P1)가 3차 직선화부(5)의 튜브파이프(P1)를 중심으로 서로 엇갈리게 배치된 제1 수평직선화롤러(52), 제2 수평직선화롤러(53)를 통과되면서 수평방향의 나선만곡상태의 튜브파이프(P1)의 아직 미세하게 만곡된 부분을 보정시켜 거의 완벽하게 만곡된 부분을 갖는 튜브파이프(P1)의 직선화를 수행하게 되며 제3 안내롤러(51)를 통과되고 통과되면서 동심원을 이루게 되고 아울러 상기 3차 직선화부(3)의 제3 안내롤러(51)와, 제1 수평직선화롤러(52), 제2 수평직선화롤러(53)의 롤러홈(51a,52a,53a)이 동심원을 이루고 있으므로 상기 롤러홈을 통과되는 튜브파이프(P1)의 원형의 동심원형태로 보정하는 작업이 병행되게 수행되는 것이다.
또한, 상기 3차 직선화부(5)의 튜브파이프(P1)가 인출되는 출구에는 튜브파이프(P)의 직진도를 검사하는 직진도 검사기(54)가 3개가 부착되어 있어, 인출되는 튜브파이프(P)의 외표면까지의 거리를 측정하여 인출되는 튜브파이프(P1)의 직진도를 검사하여 정확한 직진도를 갖는 튜브파이프(P1)가 현장에서 설치되게 되는 것이다.
이와 같이 정확한 직진도와 동심원을 갖는 튜브파이프(P1)가 반도체 공장의 건물의 바닥에서 적어도 2 m 이상의 높이에 설치될 경우, 승강레그(6)의 핸들(64)을 돌리게 되면 핸들(64)과 연결된 베벨기어(64a)가 회전하게 되면서 상기 베벨기어(64a)와 맞물린 상기 승강나사부(63)의 베벨기어(63a)가 회전되게 되고 이와 같이 베벨기어(63a)가 회전되면서 베벨기어(63a)가 스크류(62)를 따라 회동되면서 승강나사부(63)가 하강하게 되므로 상기 승강나사부(63)와 일체로 작동되는 레그프레임(61)이 하강되면서 지지프레임(1)의 튜브파이프(P1)가 유출되는 부분이 높게 경사지게 배치가 되게 된다(도 8에 도시됨). 따라서, 반도체 공장의 건물의 바닥에서 적어도 2 m 이상의 설치높이도 용이하게 설치하는 것이 가능하게 되는 것이다.
튜브파이프(P1)의 설치작업이 종래에는 용접사도 필요하고 잡아주는 사람도 필요하므로 작업자가 5 인으로 종래에 10~15 일 이상이 소요되는 튜브파이프(P1)의 설치작업이 본 실시예에서는 작업자가 1 인으로 약 2일만에 종료가 되므로 그 작업성이 획기적으로 개선된 것임을 알 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 수평형 신관기는, 튜브파이프가 코어권취부상에 권취된 상태에서 1차 직선화부(3), 2차 직선화부(4)를 통하여 2중으로 만곡된 곡률반경이 직선화를 수행하므로 완전한 직선화가 가능함과 아울러 전체적인 크기가 획기적으로 줄어들게 되어 경량화가 가능하게 되고 3차 직선화부(5)를 통하여 수평방향의 만곡도 직선화가 수행되므로 수평방향으로 일직선으로 전개시켜 사용에 적합한 길이로 전개시킬 수가 있게 되어 필요한 길이만큼 연장시켜 절단사용하므로 수평 순수액 이송관의 설치가 간편하고 신속하게 수행되므로 공기가 단축되는 것은 물론이고 용접작업이 필요없게 되어 설치비용이 저렴하게 되고 고가의 튜브 파이프의 낭비가 최소로 되는 것이 가능하게 되었다.
본 발명에 따른 수평형 신관기는 일반적인 신관기의 제조산업에서 동일한 제품을 반복적으로 제조하는 것이 가능하다고 할 것이므로 산업상 이용가능성이 있는 발명이라고 할 것이다.
1 : 지지프레임 2 : 코어권취부
3 : 1차직선화부 4 : 2차직선화부
5 : 3차직선화부 6 : 승강래그
21 : 받침대 22 : 지지대
23 : 회전롤러 23 : 인출안내편
31 : 고정판 32 : 제1직선화롤러
41 : 구동모터 42 : 제1안내롤러
43 : 제2안내롤러 44 : 제2직선화롤러
51 : 제3안내롤러 52 : 제1수평직선화롤러
53 : 제2수평직선화롤러 54 : 검사기

Claims (7)

  1. 수평형 신관기(A)에 있어서,
    상기 수평형 신관기(A)는, 하부에 롤러(11)가 설치되며 구성부분들이 고정되는 지지프레임(1)과, 상기 지지프레임(1)의 일측에 설치되며 원통상으로 튜브파이프체(P)가 권취된 코어권취부(2)와, 상기 코어권취부(2)의 직선상 인출측에 인접하게 설치되며 직선상으로 인출되는 튜브파이프(P1)의 수직방향의 만곡상태를 직선상으로 수정하는 1차 직선화부(3)와, 상기 1차 직선화부(3)에서 직선화되어 인출된 튜브파이프(P1)가 통과되며 다시 직선화되지 않은 만곡상태의 굴곡을 재차 보정하여 완전직선화를 수행하는 2차 직선화부(4)와, 상기 2차 직선화부(4)에서 인출된 튜브파이프(P1)가 통과되며 수평방향의 나선방향의 굴곡을 보정하여 직선화시키는 3차 직선화부(5)와, 상기 3차 직선화부(5)에 인접한 지지프레임(1)의 수직프레임(1a)에 승강가능하게 설치된 승강레그(6)를 포함하되,상기 코어권취부(2)는 상기 지지프레임(1)상에 배치된 받침대(21)와,
    상기 받침대(21)상에 고정된 십(十)자형 지지대(22)와,
    상기 십자형 지지대(22)의 각 단부에 회전되게 설치된 회전롤러(23)와,
    상기 십자형 지지대(22)의 회전롤러(23)상에 원통형으로 권취되어 직선상으로 인출되는 원통형 튜브파이프체(P)가 설치된 것을 특징으로 하는 수평형 신관기.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 십자형 지지대(22)의 각 단부에는 인출되는 튜브파이프(P1)를 고정된 위치에서 안내하는 인출안내편(24)이 승강가능하게 설치되고,
    상기 인출안내편(24)은, 회전롤러(23)에 접하며 회전되는 상태로 인출되는 튜브파이프체(P)의 최외측의 튜브파이프(P1)가 통과되는 통과홈(24a)이 하향개방되게 형성된 제1안내편(24b)과 상기 제1안내편(24b)이 일측에 직각으로 고정되며 상기 십자형 지지대(22)의 상부에 승강가능하게 고정된 제2안내편(24c)으로 구성된 것을 특징으로 하는 수평형 신관기.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 1차 직선화부(3)는 지지프레임(1)에 착탈가능하게 고정되고 중간에 수평슬릿홈이 형성된 고정판(31)과, 상기 고정판(31)의 슬릿홈상에 고정된 제1 직선화롤러(32)를 포함하고,
    상기 제1 직선화롤러(32)는 수평슬릿홈을 따라 전후로 이동가능하고, 상기 제1 직선화롤러(32)는 고정판(31)을 상하로 지지프레임(1)을 따라 이동시켜 상하로 이동이 가능하게 설치되어, 상기 제1 직선화롤러(32)는 전후상하로 그 위치를 이동시켜 사용할 수가 있는 것을 특징으로 하는 수평형 신관기.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 2차 직선화부(4)는, 상기 튜브파이프(P1)를 견인시키는 구동모터(41)와, 상기 튜브파이프(P1)를 견인시키며 안내하는 제1, 제2 안내롤러(42, 43)와, 제1 및 제2 안내롤러(42,43)의 사이에 배치되며 견인되는 상기 튜브파이프(P1)를 가압하여 직선화시키는 제2 직선화롤러(44)로 구성된 것을 특징으로 하는 수평형 신관기.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 3차 직선화부(5)는, 튜브파이프(P1)를 중심으로 서로 엇갈리게 배치된 제1 수평직선화롤러(52), 제2 수평직선화롤러(53)와 상기 제2 수평직선화롤러(53)의 후방에 튜브파이프(P1)가 인입되게 인입시키는 제3 안내롤러(51)가 순차적으로 배치되거나,
    상기 3차 직선화부(5)는, 튜브파이프(P1)가 인입되게 인입시키는 제3 안내롤러(51)와, 튜브파이프(P1)를 중심으로 서로 엇갈리게 배치된 제1 수평직선화롤러(52), 제2 수평직선화롤러(53)를 순차적으로 배치되고, 상기 제3 안내롤러(51)와, 제1 수평직선화롤러(52), 제2 수평직선화롤러(53)의 롤러홈(51a,52a,53a)중에서 적어도 하나는 동심원을 이루게 형성되고,
    상기 3차 직선화부(5)의 튜브파이프(P1)가 인출되는 출구에는 튜브파이프(P)의 직진도를 검사하는 직진도 검사기(54)가 부착된 것을 특징으로 하는 수평형 신관기.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 승강레그(6)는 상기 수직프레임(1a)에 슬라이딩 가능하게 접하여 설치되는 레그프레임(61)과, 상기 레그프레임(61)을 따라 중간에 길이방향으로 연장된 스크류(62)와, 상기 스크류(62)에 나사결합되어 승강되는 승강나사부(63)와, 상기 승강나사부(63)와 결합되어 승강나사부(63)를 승강구동시키는 핸들(64)이 구비된 것을 특징으로 하는 수평형 신관기.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102452844B1 (ko) 2021-05-26 2022-10-07 양순식 파이프 교정기

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990012168A (ko) 1997-07-28 1999-02-25 윤종용 반도체 제조라인의 파이프 고정 방법
KR20080005394U (ko) * 2007-05-11 2008-11-14 황준태 스크루타입의 롤러가 구비된 파이프교정기
KR101036603B1 (ko) * 2008-11-26 2011-05-24 세메스 주식회사 노즐 및 이를 갖는 기판 처리 장치
KR101220436B1 (ko) 2011-12-07 2013-01-21 동방테크 주식회사 반도체 공정용 파이프의 연결 구조
KR200476507Y1 (ko) * 2013-09-23 2015-03-05 주식회사 현대미포조선 파이프 교정장치
KR101557869B1 (ko) * 2015-03-10 2015-10-06 (주)에스엘테크 직선화 및 사이징 기능을 구비한 파이프 자동 절단장치
KR101977816B1 (ko) * 2017-01-06 2019-05-14 경남대학교 산학협력단 필라멘트 와인딩시스템

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990012168A (ko) 1997-07-28 1999-02-25 윤종용 반도체 제조라인의 파이프 고정 방법
KR20080005394U (ko) * 2007-05-11 2008-11-14 황준태 스크루타입의 롤러가 구비된 파이프교정기
KR101036603B1 (ko) * 2008-11-26 2011-05-24 세메스 주식회사 노즐 및 이를 갖는 기판 처리 장치
KR101220436B1 (ko) 2011-12-07 2013-01-21 동방테크 주식회사 반도체 공정용 파이프의 연결 구조
KR200476507Y1 (ko) * 2013-09-23 2015-03-05 주식회사 현대미포조선 파이프 교정장치
KR101557869B1 (ko) * 2015-03-10 2015-10-06 (주)에스엘테크 직선화 및 사이징 기능을 구비한 파이프 자동 절단장치
KR101977816B1 (ko) * 2017-01-06 2019-05-14 경남대학교 산학협력단 필라멘트 와인딩시스템

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102452844B1 (ko) 2021-05-26 2022-10-07 양순식 파이프 교정기

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