KR102209052B1 - 가스 플러싱 장치 - Google Patents

가스 플러싱 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102209052B1
KR102209052B1 KR1020200124746A KR20200124746A KR102209052B1 KR 102209052 B1 KR102209052 B1 KR 102209052B1 KR 1020200124746 A KR1020200124746 A KR 1020200124746A KR 20200124746 A KR20200124746 A KR 20200124746A KR 102209052 B1 KR102209052 B1 KR 102209052B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gas
unit
region
present
main body
Prior art date
Application number
KR1020200124746A
Other languages
English (en)
Inventor
전호석
정연준
유태진
김승진
복명수
홍성욱
이채윤
Original Assignee
(주)케이씨이앤씨
삼성물산 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)케이씨이앤씨, 삼성물산 주식회사 filed Critical (주)케이씨이앤씨
Priority to KR1020200124746A priority Critical patent/KR102209052B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102209052B1 publication Critical patent/KR102209052B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0027—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with additional separating or treating functions
    • B01D46/0036—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with additional separating or treating functions by adsorption or absorption

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따르면, 일측에 배출구가 형성되고, 적어도 하나 이상의 가스 유로가 형성되는 본체부; 외부의 공정 배관과 연결되고, 상기 본체부에 결합되며, 상기 본체부로 가스를 공급하는 노즐부; 상기 본체부의 내부에 설치되며, 가스 유로상에 배치되는 필터부; 및 상기 본체부와 연통되며 상기 본체부의 내부로 외기를 공급하는 송풍부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 플러싱 장치를 제공한다.

Description

가스 플러싱 장치{Gas flushing apparatus}
본 발명의 실시예들은 가스 플러싱 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정에서 지속적으로 반도체 설비를 가동시킴에 따라 공정 배관 내에 파티클(particle), 먼지 등의 이물질이 생성, 적체될 수 있다.
이러한 공정 배관 내에 이물질을 제거하기 위하여, 고압의 질소 가스를 공급하여 공정 배관 내의 이물질을 제거하는 플러싱(flushing) 작업이 수행될 수 있다.
종래 플러싱 작업에서는 고농도의 질소 가스를 작업장의 내부로 배출하지 않고 작업장의 외부로 배출하기 위하여 PVC 재질의 배관을 공정 배관과 연결되어 각 공정 설비로 연결되는 분기 배관에 설치하였다.
이러한 PVC 배관은 가설되는 것으로, 시공 시 7일, 철거 시 5일 정도가 소요되며, 이 기간 동안에는 반도체 공정 설비를 가동시킬 수 없어 손실이 발생되는 문제점이 있었다.
또한, 복수 개의 분기 배관마다 PVC 배관을 설치해야 했으며, 작업장의 창(window) 등을 통해 외부로 연결해야 했기 때문에, 작업장 내 배관 배치로 인한 혼잡이 야기되었으며, 가설치되는 PVC 배관에 의해 작업자가 걸려 넘어지는 등의 안전사고가 발생하는 문제점이 있었다.
또한, 분기 배관과 PVC 배관과의 연결 부분에서의 기밀성이 유지되지 않아, 분기 배관을 통과하는 고농도의 질소 가스가 작업장 내에 유출되어 작업장 내 산소 농도가 저하되는 문제점이 있었다.
또한, 플러싱 작업 중에 분기 배관을 통과하는 고압의 가스로 인하여 작업장 내 소음이 발생하였으며, 작업자의 청력이 손실되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로, 플러싱 작업 시 가스의 질소 농도를 희석시키고, 이물질을 제거할 수 있는 가스 플러싱 장치를 제공하고자 한다.
그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 실시예는, 일측에 배출구가 형성되고, 적어도 하나 이상의 가스 유로가 형성되는 본체부; 외부의 공정 배관과 연결되고, 상기 본체부에 결합되며, 상기 본체부로 가스를 공급하는 노즐부; 상기 본체부의 내부에 설치되며, 가스 유로 상에 배치되는 필터부; 및 상기 본체부와 연통되며 상기 본체부의 내부로 외기를 공급하는 송풍부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 플러싱 장치를 제공한다.
본 발명에 있어서, 상기 본체부와 결합되는 상기 노즐부 상에 설치되고, 외부의 공정 배관으로부터 유입되는 가스가 통과되는 집진부;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 집진부의 내부에 설치되는 소음제거부;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 필터부는, 카본필터 또는 천정필터를 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 필터부는 가스를 흡착시키는 흡착부;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 노즐부에 설치되며, 상기 노즐부를 통해 유입되는 가스의 유동 경로를 개폐하는 밸브부; 를 더 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명에 따른 가스 플러싱 장치는, 공정 배관, 구체적으로 분기 배관에 있던 이물질을 함유하고, 질소 농도가 상대적으로 높은 가스가 본체부의 내부로 유입되면서, 질소 농도를 희석시키고, 이물질을 제거하여 산소 농도가 소정 농도 이상인 가스를 배출할 수 있는 효과가 있다.
또한, 질소 농도가 희석되고, 소정 농도 이상인 산소를 포함한 채로 배출되므로, 플러싱 작업 시 발생되는 작업장 내 산소 농도가 저하되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 산소 농도 저하로 인하여 작업자에 질식사고 등의 안전사고가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 소음제거부로 인하여 플러싱 작업 중 고압의 가스로 인하여 발생되는 소음을 제거할 수 있으며, 플러싱 작업을 수행하는 작업자에게 청력 손상 등 안전사고가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 종래 질소 농도를 희석시키지 못해 작업장의 외부로 가스를 배출시키기 위하여 별도의 배출 배관을 가설하는 등의 추가 작업이 필요하지 않고, 플러싱 작업마다 배출 배관을 설치 및 해체할 필요가 없어 플러싱 작업에 소요되는 시간, 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한, 이동롤러로 인하여 본체부를 플러싱 작업 대상인 분기 배관 측으로 용이하게 이동시킬 수 있는 효과가 있다.
물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 플러싱 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 X-X'선을 기준으로 단면도이다.
도 3은 도 2의 A 부분을 도시한 도면이다.
도 4는 조 2의 B 부분을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예예 따른 가스 플러싱 장치의 사용상태를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 플러싱 장치가 작업장에 설치된 상태를 도시한 도면이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우도 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 플러싱 장치를 도시한 사시도이다. 도 2는 도 1의 X-X'선을 기준으로 단면도이다. 도 3은 도 2의 A 부분을 도시한 도면이다. 도 4는 조 2의 B 부분을 도시한 도면이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예예 따른 가스 플러싱 장치의 사용상태를 도시한 도면이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 플러싱 장치가 작업장에 설치된 상태를 도시한 도면이다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 플러싱 장치(1)는 본체부(100), 필터부(300), 송풍부(400), 집진부(500), 소음제거부(600), 이동롤러(700), 밸브부(800), 전원부(900)를 포함할 수 있다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 본체부(100)는 뒤에 설명할 노즐부(200)로부터 가스(G)를 공급받는 것으로, 일측(도 1 기준 하측)에는 배출구(105)가 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 본체부(100)의 상측(도 2 기준)에는 홀(hole)이 형성될 수 있고, 뒤에 설명할 송풍부(400)와 연결 시 송풍부(400)에 의해 유입되는 외기(OA)가 상기 홀을 통과하여 본체부(100)의 내부로 유동될 수 있다.
본 명세서에서 '가스(G)'는 공정배관, 구체적으로 분기 배관(11)으로 공급되는 고압의 질소(N2)를 포함하는 것으로, 반도체 공정에서 분기 배관(11)을 통해 여러 종류의 유체가 유동됨에 따라 형성되는 이물질도 포함하는 것으로 정의한다.
즉, 노즐부(200)로부터 본체부(100)의 내부에 공급되는 가스(G)는 작업장 내부의 공기에 비하여 질소가 산소보다 상대적으로 고농도로 형성될 수 있다. 이로 인하여 이러한 가스(G)가 작업장 내에 그대로 있는 경우에 작업자는 산소 농도 부족으로 질식 등 안전사고가 발생할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 본체부(100)의 내부에는 적어도 하나 이상의 가스 유로(101)가 형성될 수 있다. 노즐부(200)를 통해 본체부(100)로 유입되는 가스(G)는 적어도 하나 이상의 가스 유로(101)를 통해 유동되고, 배출구(105)를 통해 외부로 배출될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 본체부(100)의 내부에서 유동되는 가스(G)는 적어도 하나 이상의 필터부(300)를 통과한 다음에 송풍부(400)로부터 공급되는 외기(OA)와 혼합되어 배출구(105)를 통해 외부로 배출될 수 있다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 적어도 하나 이상의 가스 유로(101)는 본체부(100)에 형성되는 내벽(103)을 기준으로 가스(G)의 유동 방향이 반대로 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 본체부(100)에는 내벽(103)이 적어도 하나 이상 형성될 수 있으며, 본체부(100)의 중앙부를 기준으로 외측 방향으로 갈수록 서로 다른 내벽(103)이 소정 거리 이격 배치될 수 있다.
서로 다른 내벽(103) 사이에 가스 유로(101)가 형성될 수 있으며, 노즐부(200)를 통해 본체부(100)의 내부로 유입되는 가스(G)가 적어도 하나 이상의 가스 유로(101)를 통해 유동될 수 있다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 적어도 하나 이상의 내벽(103) 중 어느 하나의 내벽(103)을 기준으로 양측인, 내외측에서 유동되는 가스(G)의 유동 방향이 서로 반대 방향으로 형성될 수 있다.
본체부(100)의 내부에 적어도 하나 이상의 내벽(103)이 형성됨으로 인하여 노즐부(200)를 통해 본체부(100)로 유입되는 가스(G)가 배출구(105)를 통해 외부로 배출되기까지의 유동 거리를 증가시킬 수 있는 효과가 있다.
도 2, 도 4를 참조하면, 가스(G)의 유동 거리가 증가됨에 따라 가스(G)는 뒤에 설명할 적어도 하나 이상의 필터부(300)를 통과하게 되고, 공정 배관(10), 구체적으로 분기 배관(11)을 통과하여 본체부(100)로 유입되는 가스(G)가 필터부(300)를 통과하면서, 질소 농도가 희석되며, 가스(G)에 함유되는 이물질이 흡착, 제거될 수 있는 효과가 있다.
도 2, 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 내벽(103)에는 적어도 하나 이상의 통과홀부(104)가 형성될 수 있다. 통과홀부(104)가 형성됨으로 인하여 내벽(103)을 기준으로 일측에 형성되는 가스 유로(101)를 통해 유동되는 가스(G)가 통과홀부(104)를 통해 내벽(103)의 타측에 형성되는 가스 유로(101)로 유동될 수 있다.
도 2, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 본체부(100)에는 일측(도 2 기준)에 배출구(105)가 형성될 수 있다. 배출구(105)는 하측(도 2 기준)을 향해 가스(G), 송풍부(400)로 인해 본체부(100)로 유입되는 외기(OA)가 배출되도록 형성될 수 있다.
도 2, 도 5를 참조하면, 노즐부(200)를 통해 유입되는 가스(G)는 본체부(100)에 형성되는 가스 유로(101)를 통해 유동되고, 뒤에 설명할 송풍부(400)로부터 본체부(100)의 내부로 유입되는 외기(OA)와 혼합되어 배출구(105)를 통해 가스 플러싱 장치(1)의 외부로 배출될 수 있다.
본체부(100)로 유입되는 가스(G), 구체적으로 소정 농도, 압력 이상의 질소 가스가 송풍부(400)를 통해 본체부(100)의 내부로 유입되는 외기(OA)와 혼합되며, 질소의 농도를 희석시킬 수 있는 효과가 있다.
이에 더하여 질소 농도 증가 또는 산소 농도 저하로 인한 작업자에게 발생하는 질식사고 등의 안전사고를 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1, 도 2, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐부(200)는 외부의 공정 배관(10), 구체적으로 분기 배관(11)과 연결되는 것으로, 본체부(100)에 결합될 수 있다. 노즐부(200)는 본체부(100)의 내부로 가스(G)를 배출할 수 있다.
구체적으로 노즐부(200)는 내부가 중공으로 형성되는 유로가 형성되는 배관(도면부호 미설정)을 포함할 수 있고, 미리 설정된 길이로 연장 형성될 수 있다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐부(200)의 단부는 본체부(100)의 외벽을 통과하여 본체부(100)의 내부에 배치될 수 있다.
노즐부(200)는 외부의 공급원으로부터 고압의 질소를 함유하는 가스(G)를 공급받게 되는데, 상기 가스(G)는 공정 배관(10), 구체적으로 분기 배관(11)을 통과하면서, 분기 배관(11)의 내부에 존재하는 이물질을 제거할 수 있다.
가스(G)는 분기 배관(11)의 내부에 존재하는 이물질을 제거하며, 이를 본체부(100)로 이동시킬 수 있다. 분기 배관(11) 내에 존재하던 이물질을 포함하는 가스(G)는 노즐부(200)를 통해 본체부(100)로 유입될 수 있다.
도 2, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐부(200)의 단부에는 소음제거부(600)가 결합될 수 있다. 소음제거부(600)는 노즐부(200)의 단부에 결합되며, 본체부(100)의 내부에 배치될 수 있다.
노즐부(200)의 내부에 형성되는 유로를 통해 유입되는 가스(G)가 소음제거부(600)를 통과함으로 인하여 가스(G)가 노즐부(200)에서 본체부(100)의 내부로 유입될 때 발생되는 소음을 저하시킬 수 있는 효과가 있다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 소음제거부(600)는 노즐부(200)의 단부에 결합될 수 있다.
그러나 이에 한정하는 것은 아니고 뒤에 설명할 집진부(500)의 내부에 설치되며, 분기 배관(11)에서 본체부(100)의 내부로 유입되기 전에 1차적으로 집진부(500)를 통과하면서, 집진부(500)의 내부에 설치되는 소음제거부(600)를 통해 소음이 제거될 수 있는 효과가 있다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐부(200)에는 집진부(500)가 설치될 수 있다. 집진부(500)는 본체부(100)의 외부에 배치되는 것으로, 분기 배관(11)으로부터 이물질을 포함하는 가스(G)가 본체부(100)로 진입하기 전에 1차적으로 통과할 수 있다.
도면에 도시하지는 않았지만, 집진부(500)의 내부에는 집진필터, 소음제거부(600)가 설치될 수 있다.
이로 인하여 분기 배관(11)을 거치며, 분기 배관(11)의 내부에 존재하는 이물질을 포함하는 미리 설정된 압력 이상의 질소 가스 내 미리 설정된 크기 이상의 이물질, 소음을 1차적으로 제거할 수 있는 효과가 있다.
도 2, 도 4, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 필터부(300)는 본체부(100)의 내부에 설치되는 것으로, 가스 유로(101) 상에 배치될 수 있다. 필터부(300)는 서로 다른 적어도 하나 이상의 필터를 포함할 수 있다. 서로 다른 적어도 하나 이상의 필터는 적층 방식으로 형성될 수 있다.
도 2, 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 필터는 카본필터(310), 천정필터(330), 흡착부(350), 타공부(370)를 포함할 수 있다.
도 2, 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 카본필터(310), 천정필터(330), 흡착부(350), 타공부(370)는 적층 배치될 수 있다.
도 4는 도 2에서 B부분을 확대 도시한 것으로, 도 4를 참조하면, 상측부터 카본필터(310), 천정필터(330), 흡착부(350), 타공부(370) 순서로 적층 배치되나, 이에 한정하는 것은 아니고 이들의 적층 순서가 다르게 형성되는 등 다양한 변형실시가 가능하다.
본 발명의 일 실시예에 따른 카본필터(310)는 소정 면적을 가지는 기공이 형성되는 것으로, 탈색, 탈취, 정제 기능을 가지고 있으며, 냄새 및 유해성분을 제거할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 카본필터(310)는 활성탄(active carbon)으로 형성될 수 있다. 활성탄은 흡착성이 강하고, 대부분의 구성물질이 탄소질로 된 물질로서, 가스(G)에 포함되는 질소, 습기 등을 흡수할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 천정필터(330)는 전치필터(prefilter)로서, 상대적으로 입자가 큰 방사성 먼지나 에어로졸을 포집할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 흡착부(350)는 가스(G)를 흡착시키는 것으로, 구체적으로 질소 가스를 흡착시킬 수 있는 효과가 있다.
이로 인하여 공정 배관(10)을 통과하며 이물질을 포함하는 미리 설정된 압력 이상의 질소 가스가 흡착부(350)를 통과하면서 흡착되게 되고, 질소 농도를 희석시킬 수 있는 효과가 있다.
질소 농도가 희석됨으로 인하여 배출구(105)를 통해 외부로 배출되는 가스(G)의 질소 농도를 감소시킬 수 있고, 미리 설정된 농도 이상의 질소로 인한 질식사고 등 안전사고가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 2, 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 타공부(370)는 미리 설정된 크기의 홀이 형성되는 것으로, 소정 강도를 가지는 편평한 판으로 형성될 수 있다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 타공부(370)로 인하여 타공부(370)에 형성되는 홀의 크기보다 큰 이물질이 타공부(370)의 하측으로 통과하는 것을 방지할 수 있다.
이에 더하여 타공부(370)로 인하여, 본체부(100)로 낙하하는 이물질로 인한 충돌 및 파손을 방지할 수 있다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 타공부(370)는 필터부(300)의 하측(도 4 기준)에 배치되나, 이에 한정하는 것은 아니고, 필터부(300)의 상측에 배치되는 등 이물질의 추락으로 인하여 본체부(100)의 내주면에 직접 충돌로 인한 파손을 방지할 수 있는 기술적 사상 안에서 다양한 변형실시가 가능하다.
이에 더하여 타공부(370)는 뒤에 설명할 송풍부(400)의 상측(도 2 기준)에 형성될 수 있고, 이로 인하여 송풍부(400)를 향해 추락하는 이물질로 인한 충돌 및 그로 인한 송풍부(400)의 파손을 방지할 수 있다.
도 1, 도 2, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 송풍부(400)는 본체부(100)와 연통되는 것으로, 본체부(100)의 내부로 외기(OA)를 공급할 수 있다.
도 1, 도 2, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 송풍부(400)는 송풍커버(410), 구동부(430), 블레이드(450)를 포함할 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 송풍커버(410)는 본체부(100)에 결합되는 것으로, 구체적으로 본체부(100)의 상측을 커버할 수 있다. 송풍커버(410)에는 적어도 하나 이상의 송풍홀(411)이 형성될 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 송풍홀(411)은 홀 형상으로 형성되나, 이에 한정하는 것은 아니고 외부에서 송풍커버(410)를 통과하여 본체부(100)의 내부, 구체적으로 제3영역(101c)로 유입될 수 있는 기술적 사상 안에서 소정 면적을 가지는 관통부로 형성되는 등 다양한 변형실시가 가능하다.
이로 인하여 뒤에 설명할 구동부(430)가 외부로부터 전원을 공급받아 회전 동력을 발생시키고, 블레이드(450)가 구동부(430)로부터 동력을 전달받아 회전 시 외기(OA)가 본체부(100)의 내부로 유입되도록 유동 경로를 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 송풍커버(410)는 본체부(100)의 상측에 배치되며, 탈착이 가능하게 결합될 수 있다. 이로 인하여 송풍커버(410)의 내측 영역의 청소가 필요한 경우에 송풍커버(410)를 본체부(100)로부터 결합 해제 하고, 본체부(100)의 상측(도 1 기준) 영역을 청소할 수 있도록 한다.
본 발명에서는 송풍커버(410)가 본체부(100)와 별물로서 형성되며, 탈착가능하게 결합되나, 이에 한정하는 것은 아니고 송풍커버(410)와 본체부(100)가 일체로 형성되며, 홀이 형성되는 본체부(100)의 상면(도 2 기준)에 구동부(430), 블레이드(450)가 위치 고정되는 등 다양한 변형실시가 가능하다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 구동부(430)는 외부로부터 전원을 공급받아 동력을 발생시키는 것으로, 구체적으로 회전 동력을 발생시킬 수 있고, 이를 블레이드(450)에 전달할 수 있다.
본 발명에서는 구동부(430)가 송풍커버(410)에 결합되나, 이에 한정하는 것은 아니고 본체부(100)의 상측(도 2 기준)에 위치 고정되게 설치되는 등 다양한 변형실시가 가능하다.
도 2, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 블레이드(450)는 구동부(430)에 결합되는 것으로, 적어도 하나 이상의 날개(도면부호 미설정)를 구비할 수 있다. 블레이드(450)는 구동부(430)로부터 동력을 전달받아 블레이드(450)의 중심축을 회전 중심축으로 하여 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 블레이드(450)가 구동부(430)로부터 회전 동력을 전달받아 회전함으로 인하여 외부로부터 공기를 공급받고, 즉 이러한 외기(OA)를 본체부(100)의 내부로 유입시킬 수 있는 효과가 있다.
블레이드(450)의 회전으로 인하여 공기의 유동이 발생되고, 상기 유동이 본체부(100)의 상측에 형성되는 유입구(102)를 통해 외기(OA)로서 본체부(100)의 내부로 유입되고, 카본필터(310), 천정필터(330), 흡착부(350), 타공부(370)를 포함하는 필터부(300)를 통과하여 배출구(105) 측을 향해 유동되는 가스(G)와 혼합될 수 있다.
송풍부(400)의 구동으로 인하여 본체부(100)의 내부로 유입되는 외기(OA)와 가스(G)가 혼합될 수 있고, 가스(G)의 질소 농도가 감소하여 희석될 수 있다.
이에 더하여 희석된 가스(G)가 본체부(100)에 형성되는 배출구(105)를 통해 배출됨으로 인하여 작업장 내에서 외기(OA)와 유사한 정도의 산소 농도를 가지게 되며, 작업자에게 산소 부족 등으로 인한 질식 등 안전사고가 발생되는 것을 방지할 수 있다.
도 2, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 송풍부(400)는 구동부(430), 블레이드(450)의 결합 구조체가 단일로 형성되나, 이에 한정하는 것은 아니고, 2이상이 구비되어 송풍커버(410)에 결합되는 등 다양한 변형실시가 가능하다.
도 1, 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 집진부(500)는, 본체부(100)와 결합되는 노즐부(200) 상에 설치되는 것으로, 외부의 공정 배관(10)으로부터 유입되는 가스(G)가 통과될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 집진부(500)는 노즐부(200)와 탈착 결합이 가능하며, 적어도 하나 이상 형성되는 노즐부(200)에 대응되도록 적어도 하나 이상이 구비될 수 있다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 집진부(500)는 본체부(100)의 외측에 배치되나, 이에 한정하는 것은 아니고 본체부(100)의 내측에 배치되는 등 다양한 변형실시가 가능하다.
도면에 도시하지는 않았으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 집진부(500)는 집진필터를 포함할 수 있다. 집진필터로 인하여 공정 배관(10)을 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 플러싱 장치(1)에 유입되는 가스(G) 내 함유된 먼지 등의 이물질을 1차적으로 제거할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 집진부(500)가 노즐부(200)에 탈착 결함됨으로 인하여 미리 설정된 시간 동안 플러싱 작업이 진행된 후에 집진부(500)를 노즐부(200)로부터 결합 해제하여, 집진필터를 교체할 수 있는 효과가 있다.
도면에 도시하지는 않았지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 집진부(500)의 내부에는 소음제거부(600)가 설치될 수 있으며, 공정 배관(10)의 내부를 통과하여 본체부(100)로 가스(G)가 유입될 때에 고압의 가스(G)로 인한 소음을 저감시킬 수 있는 효과가 있다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 소음제거부(600)는 노즐부(200)의 단부에 결합되는 것으로, 구체적으로 본체부(100)의 내측에 배치되는 노즐부(200)의 단부에 결합될 수 있다.
이로 인하여 분기 배관(11)으로부터 고압의 가스(G)를 공급받아 본체부(100)의 내부로 유입 시 발생되는 소음을 저감시킬 수 있고, 고압의 가스(G)로 인해 발생되는 소음으로 인한 소음 공해 및 작업자에 발생하는 청력 손실를 줄일 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 소음제거부(600)는 본체부(100)의 내부에, 구체적으로 본체부(100)의 내부에 배치되는 노즐부(200)의 단부에 결합될 수 있고, 본체부(100)의 외부에서 노즐부(200) 상에 설치되는 집진부(500)의 내부에 설치될 수 있다.
도 1, 도 2, 도 5, 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이동롤러(700)는, 본체부(100)에 회전가능하게 결합되는 것으로, 적어도 하나 이상이 구비되어 본체부(100)에 결합될 수 있다.
이동롤러(700)가 본체부(100)에 회전가능하게 결합됨으로 인하여 작업자는 플러싱 대상이 되는 공정 배관(10), 구체적으로 플러싱 대상인 분기 배관(11) 측으로 본체부(100)를 이동시킬 수 있고, 미리 설정된 위치에 본체부(100)를 위치 고정시켜 플러싱 작업을 할 수 있는 효과가 있다.
도 2, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브부(800)는 노즐부(200) 상에 설치되는 것으로, 노즐부(200)를 통해 유입되는 가스(G)의 유동 경로 상에 설치될 수 있다.
도 2, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브부(800)는 전원부(900)와 전기적으로 연결되며, 전원부(900)로부터 전원을 공급받을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 밸브부(800)는 솔레노이드 밸브(solenoid valve)로 형성될 수 있으며, 전원부(900)로부터의 전원 공급 여부에 따라 구동되며, 노즐부(200)의 내부에 형성되는 가스(G)의 유동 경로를 개폐할 수 있다.
도 2, 도 5를 참조하면, 밸브부(800)는 전원 공급 여부에 따라 자동으로 노즐부(200)에 형성되는 가스(G)의 유동 경로를 개폐할 수 있고, 구체적으로 밸브부(800)로의 전원 공급이 차단되면 플랜지(도면 미도시) 등이 이동되며 가스(G)의 유동 경로를 폐쇄할 수 있다.
상기와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 플러싱 장치(1)의 작동원리 및 효과에 관하여 설명한다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 플러싱 장치(1)는, 본체부(100), 노즐부(200), 필터부(300), 송풍부(400), 집진부(500), 소음제거부(600), 이동롤러(700), 밸브부(800), 전원부(900)를 포함할 수 있다.
도 6을 참조하면, 반도체 공정 장비들이 배치되는 작업장인 펩의 내부에는 공정 배관(10)이 설치되며, 공정 배관(10)을 통해 적어도 하나 이상의 분기 배관(11)이 각각 연통될 수 있다.
이때 각 분기 배관(11) 별로는 서로 다른 종류의 유체가 반도체 설비로 공급될 수 있는데, 반도체 공정이 진행됨에 따라 분기 배관(11) 내에 이물질이 발생, 적체되게 된다.
이를 제거하기 위하여 작업장 내 공정 배관(10), 구체적으로 분기 배관(11)의 내부 청소를 위하여, 공정 배관(10)으로 고압의 가스(G)를 주입하게 된다. 고압의 가스(G)로 인하여 분기 배관(11) 내 위치하는 이물질 들이 함께 이동되며, 분기 배관(11)에 연결되는 가스 플러싱 장치(1)로 유입되게 된다.
도 1, 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 분기 배관(11)에 연결되는 노즐부(200)를 통해 분기 배관(11)을 통과하며 이물질을 분기 배관(11)으로부터 이탈시키고, 고압의 질소 가스 및 이물질을 함유하는 가스(G)가 본체부(100)로 유입되게 된다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐부(200) 상에는 집진부(500)가 설치될 수 있으며, 가스(G)가 집진부(500)를 통과하면서 집진부(500)의 내부에 설치되는 집진필터(도면 미도시)를 통과할 수 있다.
가스(G)는 집진필터를 통과하면서 1차적으로 상대적으로 큰 부피를 가지는 집진 등의 이물질이 제거될 수 있다. 이에 더하여 가스(G)는 집진부(500)의 내부에 설치되는 소음제거부(600)를 통과하며 소음이 저감될 수 있는 효과가 있다.
이로 인하여 고압의 가스(G)로 인하여 발생되는 소음을 저감시킬 수 있고, 작업자가 소음으로 인해 청력에 손상을 입는 안전사고를 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 5를 참조하면, 1차적으로 이물질이 제거된 가스(G)는 노즐부(200)에 형성되는 유로를 통해 본체부(100)로 유입될 수 있다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐부(200)의 단부에는 소음제거부(600)가 결합될 수 있으며, 노즐부(200)의 단부에서 본체부(100)의 내측으로 배출되는 가스(G)가 소음제거부(600)를 통과하면서 소음이 재차 저감될 수 있는 효과가 있다.
본 발명에서는 본체부(100)의 내부에 설치되는 소음제거부(600)가 노즐부(200)의 단부에 결합되나, 이에 한정하는 것은 아니고, 충진재 방식으로 소음재가 배치될 수 있다. 구체적으로 충진재 방식으로 소음재가 배치되는 경우 필터부(300)에 결합되며 적층 방식으로 본체부(100)의 내부에 배치될 수 있다.
도 5를 참조하면, 노즐부(200)에 형성되는 유로를 통해 본체부(100)의 내부로 유입되는 가스(G)는 본체부(100)의 내부에 설치되는 필터부(300)를 통과할 수 있다.
도 2, 도 4, 도 5를 참조하면, 필터부(300)는 본체부(100)의 내부에 설치되며, 가스 유로(101) 상에 배치되는 것으로, 카본필터(310), 천정필터(330), 흡착부(350), 타공부(370)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필터부(300)는, 구체적으로 카본필터(310), 천정필터(330), 흡착부(350), 타공부(370)가 적층 방식으로 결합됨으로 인하여 이물질을 함유하는 가스(G)가 카본필터(310), 천정필터(330), 흡착부(350), 타공부(370)를 통과하면서, 가스(G)에 상대적으로 고농도로 함유되어 있는 질소 가스의 농도를 희석시킬 수 있고, 이물질을 단계별로 제거할 수 있는 효과가 있다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 본체부(100)의 내측에는 적어도 하나 이상의 내벽(103)이 형성되고, 어느 하나의 내벽(103)을 기준으로 내벽(103)의 내외측에서 가스(G)의 유동 방향이 반대로 형성될 수 있다.
도 5를 참조하면, 노즐부(200)의 단부가 위치하는 가스 유로(101)인 제1영역(101a)으로 가스(G)가 노즐부(200)에서 배출되고, 가스(G)는 본체부(100)의 내부에 설치되는 필터부(300)를 통과하여 상측에서 하측으로 이동할 수 있다.
가스(G)가 필터부(300)의 하단부에 도달하게 되면, 필터부(300)의 하면(도 5 기준)과 접촉하는 내벽(103)에는 통과홀부(104)가 형성되고, 가스(G)는 통과홀부(104)를 통과하여 다른 영역으로 유동될 수 있다.
도 5를 참조하면, 필터부(300)의 하면(도 5 기준)과 수직을 이루는 다른 내벽(103)에 형성되는 통과홀부(104)를 통과하게 되고, 처음 노즐부(200)에서 본체부(100)의 내부로 가스(G)가 배출되는 제1영역(101a)의 외측에 배치되는 가스 유로(101)인 제2영역(101b)으로 이물질을 포함하는 가스(G)가 유동될 수 있다.
도 5를 참조하면, 고압의 가스(G)가 노즐부(200)에서 계속 배출됨으로 인하여, 가스(G)는 제1영역(101a)에서, 제1영역(101a)의 외측에 배치되는 제2영역(101b)으로 유동될 수 있다.
도 5를 참조하면, 내벽(103)을 기준으로 하여 제1영역(101a)의 외측에 형성되는 제2영역(101b)에도 필터부(300)가 설치될 수 있다. 제1영역(101a)에서와 달리 제2영역(101b)에 설치되는 필터부(300)에는 타공부(370)를 제외하고, 카본필터(310), 천정필터(330), 흡착부(350)가 적층 방식으로 형성되는 등 다양한 변형실시가 가능하다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐부(200)를 통해 본체부(100)로 유입되는 가스(G)가 제1영역(101a)에 설치되는 필터부(300)를 통과하며 미리 설정된 방향(도 5 기준 상측에서 하측 방향)으로 유동되고, 하측(도 5 기준)에 배치되는 내벽(103), 이에 수직하는 내벽(103)에 형성되는 통과홀부(104)를 통과하여 제2영역(101b)에 설치되는 필터부(300)를 통과하며 미리 설정된 방향(도 5 기준 하측에서 상측 방향)으로 유동될 수 있다.
즉, 내벽(103)을 기준으로 상기 내벽(103)의 내측에 형성되는 제1영역(101a)에서의 가스(G)의 유동 방향과 내벽(103)의 외측에 형성되는 제2영역(101b)에서의 가스(G)의 유동 방향이 반대로 형성될 수 있다.
구체적으로 제2영역(101b)에서의 가스(G)의 유동 방향은 하측에서 상측(도 5 기준)으로 유동되며, 이물질을 포함하는 가스(G)가 제2영역(101b)에 형성되는 필터부(300)를 통과하면서 가스(G)에 포함되는 질소의 농도가 희석되고, 가스(G)에 포함되는 이물질이 필터부(300)에 흡착 등의 방식으로 포집될 수 있는 효과가 있다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 본체부(100)의 내부에서 제2영역(101b)의 상측에 배치되는 내벽(103)에 형성되는 통과홀부(104)를 통해 제3영역(101c)으로 이동될 수 있다.
제3영역(101c)은 제2영역(101b)의 외측에 형성되는 영역으로 제3영역(101c)은 송풍부(400)와 연통될 수 있다. 제1영역(101a)과 제2영역(101b)에 형성되는 필터부(300)를 통과한 가스(G)는 내벽(103)에 형성되는 통과홀부(104)를 통해 제3영역(101c)으로 진입하게 된다.
제3영역(101c)으로 진입하는 가스(G)는 송풍부(400), 구체적으로 구동부(430)로부터 동력을 전달받아 회전하는 블레이드(450)에 의해 본체부(100)의 내부로 유입되는 외기(OA)와 혼합될 수 있다.
본 명세서에서 외기(OA)는 작업장 내의 공기를 의미하므로, 본체부(100)로 유입되는 가스(G)에 비하여 상대적으로 높은 농도의 산소를 함유하고 있다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제3영역(101c)에서 외기(OA)와 가스(G)가 혼합됨으로 인하여, 가스(G) 내의 질소 농도를 희석시킬 수 있으며, 산소 농도가 증가되는 효과가 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 제3영역(101c)에서의 가스(G)의 유동 방향은 내벽(103)을 기준으로 제2영역(101b)에서의 가스(G)의 유동 방향과 반대 방향으로 형성되며, 도 5를 참조하면, 상측에서 하측(도 5 기준)으로 유동될 수 있다.
외기(OA)와 혼합된 가스(G)는 하측에 제3영역(101c)의 단부, 구체적으로 본체부(100)의 하측에 형성되는 배출구(105)를 통해 작업장 내부로 배출될 수 있다.
도 2, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1영역(101a), 제2영역(101b), 제3영역(101c)은 통과홀부(104)가 형성되는 내벽(103)으로 연통될 수 있다.
본 발명에서는 본체부(100)의 내부가 제1영역(101a), 제2영역(101b), 제3영역(101c)으로 형성되나, 이에 한정하는 것은 아니고, 내벽(103)을 경계로 하여 각 영역에서의 가스(G)의 유동 방향이 반대로 형성되고, 가장 외측에 형성되는 영역은 본체부(100)의 하측(도 5 기준)에 형성되는 배출구(105)와 연결되어 외기(OA)와 혼합되는 가스(G)를 본체부(100)의 외부로 배출할 수 있는 기술적 사상 안에서 제4영역, 제5영역이 형성되는 등 다양한 변형실시가 가능하다.
도 2, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브부(800)는 노즐부(200) 상에 설치되는 것으로, 노즐부(200)를 통해 유입되는 가스(G)의 유동 경로 상에 설치될 수 있다.
밸브부(800)로 인하여, 전원부(900)로부터의 전원 공급 여부에 따라 노즐부(200)에 형성되는 가스(G)의 유동 경로를 자동으로 개폐할 수 있는 효과가 있다.
이에 더하여 전원이 차단되어 전원 공급이 되지 않는 상태에서 가스(G)가 필터부(300)로 무리하게 주입되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가스 플러싱 장치(1)로 인하여 공정 배관(10), 구체적으로 분기 배관(11)에 있던 이물질을 함유하고, 질소 농도가 상대적으로 높은 가스(G)가 본체부(100)의 내부로 유입되면서, 질소 농도를 희석시키고, 이물질을 제거하여 산소 농도가 소정 농도 이상인 가스(G)를 배출할 수 있는 효과가 있다.
또한, 질소 농도가 희석되고, 소정 농도 이상인 산소를 포함한 채로 배출되므로, 플러싱 작업 시 발생되는 작업장 내 산소 농도가 저하되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 산소 농도 저하로 인하여 작업자에 질식사고 등의 안전사고가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 소음제거부(600)로 인하여 플러싱 작업 중 고압의 가스(G)로 인하여 발생되는 소음을 제거할 수 있으며, 플러싱 작업을 수행하는 작업자에게 청력 손상 등 안전사고가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 종래 질소 농도를 희석시키지 못해 작업장의 외부로 가스(G)를 배출시키기 위하여 별도의 배출 배관을 가설하는 등의 추가 작업이 필요하지 않고, 플러싱 작업마다 배출 배관을 설치 및 해체할 필요가 없어 플러싱 작업에 소요되는 시간, 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한, 이동롤러(700)로 인하여 본체부(100)를 플러싱 작업 대상인 분기 배관(11) 측으로 용이하게 이동시킬 수 있는 효과가 있다.
본 발명에서 설명하는 특정 실행들은 일 실시 예들로서, 어떠한 방법으로도 본 발명의 범위를 한정하는 것은 아니다. 명세서의 간결함을 위하여, 종래 전자적인 구성들, 제어 시스템들, 소프트웨어, 상기 시스템들의 다른 기능적인 측면들의 기재는 생략될 수 있다. 또한, 도면에 도시된 구성 요소들 간의 선들의 연결 또는 연결 부재들은 기능적인 연결 및/또는 물리적 또는 회로적 연결들을 예시적으로 나타낸 것으로서, 실제 장치에서는 대체 가능하거나 추가의 다양한 기능적인 연결, 물리적인 연결, 또는 회로 연결들로서 나타내어질 수 있다. 또한, "필수적인", "중요하게" 등과 같이 구체적인 언급이 없다면 본 발명의 적용을 위하여 반드시 필요한 구성 요소가 아닐 수 있다.
따라서, 본 발명의 사상은 상기 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 또는 이로부터 등가적으로 변경된 모든 범위는 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
: 가스 플러싱 장치 OA: 외기
G: 가스 10: 공정 배관
11: 분기 배관 100: 본체부
101: 가스 유로 101a: 제1영역
101b: 제2영역 101c: 제3영역
102: 유입구 103: 내벽
104: 통과홀부 105: 배출구
200: 노즐부 300: 필터부
310: 카본필터 330: 천정필터
350: 흡착부 370: 타공부
400: 송풍부 410: 송풍커버
411: 송풍홀 430: 구동부
450: 블레이드 500: 집진부
600: 소음제거부 700: 이동롤러
800: 밸브부 900: 전원부

Claims (6)

  1. 일측에 배출구가 형성되고, 적어도 하나 이상의 가스 유로가 형성되는 본체부;
    외부의 공정 배관과 연결되고, 상기 본체부에 결합되며, 상기 본체부로 가스를 공급하는 노즐부;
    상기 본체부의 내부에 설치되며, 가스 유로상에 배치되는 필터부; 및
    상기 본체부와 연통되며 상기 본체부의 내부로 외기를 공급하는 송풍부;를 포함하고,
    상기 가스 유로는 제1 영역, 제2 영역 및 제3 영역을 포함하고, 상기 노즐부를 통해 공급된 가스는 상기 제1 영역, 제2 영역 및 제3 영역을 순차적으로 통과하고,
    상기 제1 영역 및 상기 제2 영역에는 상기 필터부가 배치되고,
    상기 제1 영역 및 상기 제2 영역 사이 및 상기 제2 영역 및 상기 제3 영역 사이에는 가스가 진입하는 통과홀부가 배치되고,
    상기 송풍부는 상기 제3 영역과 연결되고, 상기 제3 영역으로 진입된 가스는 상기 송풍부를 통해 공급되는 상기 외기와 혼합되어 배출되는 가스 플러싱 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 본체부와 결합되는 상기 노즐부 상에 설치되고, 외부의 공정 배관으로부터 유입되는 가스가 통과되는 집진부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 플러싱 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 집진부의 내부에 설치되는 소음제거부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 플러싱 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 필터부는, 카본필터 또는 천정필터를 구비하는 것을 특징으로 하는 가스 플러싱 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 필터부는 가스를 흡착시키는 흡착부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 플러싱 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 노즐부에 설치되며, 상기 노즐부를 통해 유입되는 가스의 유동 경로를 개폐하는 밸브부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 플러싱 장치.
KR1020200124746A 2020-09-25 2020-09-25 가스 플러싱 장치 KR102209052B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200124746A KR102209052B1 (ko) 2020-09-25 2020-09-25 가스 플러싱 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200124746A KR102209052B1 (ko) 2020-09-25 2020-09-25 가스 플러싱 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102209052B1 true KR102209052B1 (ko) 2021-01-28

Family

ID=74239129

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200124746A KR102209052B1 (ko) 2020-09-25 2020-09-25 가스 플러싱 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102209052B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115054998A (zh) * 2022-07-25 2022-09-16 广东新氧器净化科技有限公司 小型循环系统过滤除尘器

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050054073A (ko) * 2003-12-03 2005-06-10 삼성전자주식회사 반도체 장치의 배관라인
KR20080013629A (ko) * 2006-08-09 2008-02-13 삼성전자주식회사 공기정화필터
KR20140098453A (ko) * 2013-01-31 2014-08-08 (주)코스탈파워 촉매 재생 기능이 강화된 비상 발전기의 배기가스 정화장치
KR20200042289A (ko) * 2018-10-15 2020-04-23 씨에스텍 주식회사 반도체 제조공정에 사용되는 파우더 트랩장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050054073A (ko) * 2003-12-03 2005-06-10 삼성전자주식회사 반도체 장치의 배관라인
KR20080013629A (ko) * 2006-08-09 2008-02-13 삼성전자주식회사 공기정화필터
KR20140098453A (ko) * 2013-01-31 2014-08-08 (주)코스탈파워 촉매 재생 기능이 강화된 비상 발전기의 배기가스 정화장치
KR20200042289A (ko) * 2018-10-15 2020-04-23 씨에스텍 주식회사 반도체 제조공정에 사용되는 파우더 트랩장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115054998A (zh) * 2022-07-25 2022-09-16 广东新氧器净化科技有限公司 小型循环系统过滤除尘器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101880631B1 (ko) 실내 공기질의 관리가 가능한 열회수 환기장치 및 이의 제어방법
KR102209052B1 (ko) 가스 플러싱 장치
KR20140114119A (ko) 실험실 장비용 유해가스 정화장치
KR20050010345A (ko) 공기청정기
KR101469744B1 (ko) 이동식 원자력 공기 및 가스 처리기
WO2020160837A1 (de) Verfahren zum filterwechsel und entstaubungsanlage
KR101928450B1 (ko) Uv 페인트용 집진장치
KR101817092B1 (ko) 공기청정기
KR102240215B1 (ko) 지하철 본선용 멀티팬형 급배기 공기정화 환기장치
US20130192467A1 (en) Two stage dust collection trailer with hepa filtration
KR20150041838A (ko) 에어로더
KR101748782B1 (ko) 모니터링이 가능한 휘발성 유해가스 처리장치
CN110038382A (zh) 一种油漆生产用的高效自动除废气装置
CN214862280U (zh) 一种废气处理设备
KR101390956B1 (ko) 유동해석에 의해 배치된 전자석을 이용한 금속분진 필터 및 이를 구비한 조선소용 집진장치
KR101030679B1 (ko) 유해가스 배출 장치
KR102240826B1 (ko) 지하철 환기구의 자동 환기 시스템
JP4369767B2 (ja) 化学剤汚染地域の隔離方法およびその装置
CN207708743U (zh) 一种废气处理用过滤装置
KR20170115308A (ko) 관내 복합 안전시스템
KR102227193B1 (ko) 지하철 본선용 멀티팬형 급배기 공기정화 환기장치
CN219253615U (zh) 一种循环通风装置
KR102120406B1 (ko) 고정형 국소배기장치
US4190014A (en) Industrial dust collector cleaning system and method
CN208824163U (zh) 一种烟雾气体净化处理装置

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant