KR102203395B1 - 진공 라미네이터 - Google Patents

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Abstract

진공 라미네이터가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 라미네이터는, 패널을 척킹하는 하부 척킹부가 마련된 하부 챔버와 하부 챔버에 접면되어 내부공간에 진공 분위기를 형성하는 상부 챔버를 구비하는 챔버유닛과, 패널의 하부면을 지지하며 하부 척킹부의 상부 영역에 패널을 위치시키는 포크유닛과, 하부 챔버에 연결되며 포크유닛에 지지된 패널을 전달받아 하부 척킹부에 로딩하는 패널 로딩유닛을 포함한다.

Description

진공 라미네이터{VACUUM LAMINATOR}
본 발명은, 진공 라미네이터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 디스플레이용 패널(panel)과 커버 글라스(cover glass)의 라미네이팅(laminating)하는 공정에서 패널의 보호필름을 진공 챔버의 내부에서 제거하지 않아 보호필름의 박리 시에 발생되는 파티클에 의해 정전척이 손상되는 것을 방지할 수 있는 진공 라미네이터에 관한 것이다.
최근에 플라스틱과 같이 유연한 소재로 만들어진 플렉서블(flexible) 기판을 구비하는 플렉서블 표시장치가 개발되고 있다. 플렉서블 표시장치는 소재의 특성 상 중량이 가벼울 뿐만 아니라 충격에도 매우 강하다. 따라서 근래 출시되는 스마트폰에는 이와 같은 플렉서블 표시장치가 널리 적용되고 있다.
특히, 플렉서블 표시장치는 기존과 달리 유연한 성질을 가지기 때문에 접거나 두루마리 형태로 말 수 있으며, 이로 인해 휴대성을 극대화할 수 있어서 다양한 분야에 활용될 수 있다.
플렉서블 표시장치는 플렉서블 기판 상에 형성된 표시 소자를 포함할 수 있다. 플렉서블 표시장치에 사용될 수 있는 표시 소자에는 유기 발광 표시(organic light emitting diode display) 소자, 액정 표시(liquid crystal display) 소자, 그리고 전기 영동 표시(EPD ; electrophoretic display) 소자 등이 있다.
전술한 표시 소자들은 공통적으로 박막 트랜지스터를 포함한다. 따라서 플렉서블 표시장치를 제조하기 위해서는 플렉서블 기판이 여러 차례의 박막 공정들을 거쳐야 한다. 박막 공정을 거친 플렉서블 기판은 봉지 기판에 의해 밀봉될 수 있는데, 상술한 플렉서블 기판, 플렉서블 기판에 형성되는 박막 트랜지스터, 그리고 봉지 기판은 플렉서블 표시장치의 일 구성인 패널(panel)을 형성할 수 있다.
이러한 패널의 일측에는 패널을 보호하는 수단으로서 커버 글라스(cover glass)가 부착, 즉 라미네이팅(laminating)되며, 패널과 커버 글라스가 라미네이팅된 상태의 제품을 플렉서블 표시장치라 부른다. 참고로, 패널과 커버 글라스가 라미네이팅될 때, 패널과 커버 글라스 사이에는 소위, 양면테이프 타입의 결합제(OCA ; Optical Clear Adhesive)가 개재된다.
도 1은 종래기술에 따른 진공 라미네이터가 도시된 도면이다.
도 1에 따른 진공 라미네이터는, 패널이 척킹되는 척킹부(20)가 마련된 하부 챔버(30)와, 하부 챔버(30)에 대해 상대이동되는 상부 챔버(미도시)와, 패널을 척킹부(20)에 로딩하는 핸들러(10)를 구비한다.
도 1(a)에 도시된 바와 같이, 패널의 상부면 및 하부면에는 패널을 보호하는 보호필름(W)이 부착되어 있다. 이러한 패널은 핸들러(10)의 하강에 의해 도 2(b)에 도시된 바와 같이 척킹부(20)에 로딩된 후 척킹부(20)에 척킹된다.
이후, 별도의 박리기구(미도시)가 패널 상부면에 부착된 보호필름(W)을 박리하여 도 1(b)에 도시된 바와 같이 패널의 상부면을 노출시킨다.
그런데, 종래기술에 따른 진공 라미네이터는 상술한 바와 같이 보호필름(W)을 척킹부(20)에 부착한 상태에서 박리하므로, 보호필름(W)을 박리하는 과정에서 발생되는 파티클(particle)에 의해 척킹부(20)가 손상되는 문제점이 있다.
대한민국 등록특허번호 제10-0820336호, (2008.04.01.)
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 챔버유닛의 외부에서 보호필름이 박리된 패널을 챔버유닛의 내부에 배치된 척킹부에 로딩할 수 있어 보호필름의 박리 과정에서 발생되는 파티클에 의해 척킹부가 손상되는 것을 방지할 수 있는 진공 라미네이터를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 패널을 척킹하는 하부 척킹부가 마련된 하부 챔버와, 상기 하부 챔버에 접면되어 내부공간에 진공 분위기를 형성하는 상부 챔버를 구비하는 챔버유닛; 상기 패널의 하부면을 지지하며, 상기 하부 척킹부의 상부 영역에 상기 패널을 위치시키는 포크유닛; 및 상기 하부 챔버에 연결되며, 상기 포크유닛에 지지된 상기 패널을 전달받아 상기 하부 척킹부에 로딩하는 패널 로딩유닛을 포함하는 진공 라미네이터가 제공될 수 있다.
상기 패널 로딩유닛은, 상호 이격되어 배치되는 한 쌍의 로딩모듈을 포함할 수 있다.
상기 한 쌍의 로딩모듈은, 상기 하부 척킹부를 중심으로 하여 상호 대칭되게 배치될 수 있다.
상기 로딩모듈은, 상기 패널을 지지하는 패널 지그부; 상기 패널 지그부에 연결되며, 상기 패널 지그부를 세로방향으로 이동시키는 지그 업/다운(up/down) 이동부; 및 상기 지그 업/다운(up/down) 이동부에 연결되며, 상기 패널 지그부를 세로방향에 교차하는 가로방향으로 슬라이딩 이동시키는 지그 슬라이딩 이동부를 포함할 수 있다.
상기 패널 지그부는, 상기 지그 업/다운(up/down) 이동부에 결합되는 세로 아암부; 및 상기 세로 아암부에 결합되며, 상기 패널에 연결되는 가로 아암부를 포함할 수 있다.
상기 가로 아암부의 표면에는 비점착성 코팅막이 마련될 수 있다.
상기 가로 아암부는, 가로 아암부 본체; 상기 가로 아암부 본체의 말단부에 마련되며, 상기 패널의 하부면을 지지하는 지지용 지지턱부; 및 상기 가로 아암부 본체의 말단부에 마련되며, 상기 패널의 측벽에 접촉되어 상기 패널의 측벽을 가압하는 측벽 가압부를 포함할 수 있다.
상기 측벽 가압부의 가압에 의해 상기 패널이 아치(arch) 형태로 절곡될 수 있다.
상기 지그 업/다운(up/down) 이동부는, 상기 패널 지그부가 연결되는 지그용 업/다운(up/down) 블록부; 상기 지그용 업/다운(up/down) 블록부가 결합되는 실린더 로드부; 및 상기 실린더 로드부가 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 상기 실린더 로드부를 업/다운(up/down) 이동시키는 가압 실린더 본체부를 포함할 수 있다.
상기 지그 슬라이딩 이동부는,
상기 지그 업/다운(up/down) 이동부가 연결되는 슬라이딩 블록부; 및 상기 슬라이딩 블록부에 연결되며, 상기 슬라이딩 블록부를 상기 하부 척킹부에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 슬라이딩 이동 구동부를 포함할 수 있다.
상기 슬라이딩 이동 구동부는, 상기 하부 챔버의 챔버벽을 관통하며, 일단부가 상기 슬라이딩 블록부에 결합되는 연결 샤프트부; 상기 연결 샤프트부의 타단부에 결합되는 슬라이딩용 연결 블록부(173b); 상기 슬라이딩용 연결 블록부에 연결되며, 상기 슬라이딩용 연결 블록부의 이동을 가이드하는 연결 블록용 가이드부; 및 상기 슬라이딩용 연결 블록부에 연결되며, 상기 슬라이딩용 연결 블록부를 이동시키는 연결 블록용 동력 발생부를 포함할 수 있다.
상기 지그 슬라이딩 이동부는, 상기 하부 챔버에 지지되며, 상기 슬라이딩 블록부에 연결되어 상기 슬라이딩 블록부의 이동을 가이드하는 슬라이딩 블록용 가이드부를 더 포함할 수 있다.
상기 포크유닛은, 상기 패널의 하부면에 접촉되는 적어도 하나 이상의 핑거부를 구비하는 핸드부; 및 상기 핸드부에 연결되며, 상기 핸드부를 이동시키는 다관절 로봇부를 포함할 수 있다.
상기 핑거부에는 상기 패널을 진공흡착하는 흡착홀이 형성될 수 있다.
상기 상부 챔버에는 상기 패널에 라미네이팅되는 커버 글라스를 척킹하는 상부 척킹부가 마련될 수 있다.
본 발명에 따르면, 패널의 하부면을 지지하는 포크유닛과 포크유닛에 지지된 패널을 전달받아 척킹부에 로딩하는 패널 로딩유닛을 구비함으로써, 챔버유닛의 외부에서 보호필름이 박리된 패널을 챔버유닛의 내부에 배치된 척킹부에 로딩할 수 있어 보호필름의 박리 과정에서 발생되는 파티클에 의해 척킹부가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 진공 라미네이터가 도시된 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 라미네이터가 도시된 도면이다.
도 3은 도 1의 패널 로딩모듈이 도시된 도면이다.
도 4 내지 도 9는 도 1의 진공 라미네이터의 동작상태도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 라미네이터가 도시된 도면이고, 도 3은 도 1의 패널 로딩모듈이 도시된 도면이며, 도 4 내지 도 9는 도 1의 진공 라미네이터의 동작상태도이다.
본 실시예에 따른 진공 라미네이터는, 도 2 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 디스플레이용 패널을 척킹하는 하부 척킹부(113)가 마련된 하부 챔버(111)와 하부 챔버(111)에 접면되어 내부공간에 진공 분위기를 형성하는 상부 챔버(116)를 구비하는 챔버유닛(110)과, 패널의 하부면을 지지하며 하부 척킹부(113)의 상부 영역에 패널을 위치시키는 포크유닛(120)와, 하부 챔버(111)에 연결되며 포크유닛(120)에 지지된 패널을 전달받아 하부 척킹부(113)에 로딩하는 패널 로딩유닛(130)을 포함한다.
챔버유닛(110)은, 패널을 척킹하는 하부 척킹부(113)가 마련된 하부 챔버(111)와, 하부 챔버(111)에 접면되어 내부공간에 진공 분위기를 형성하는 상부 챔버(116)와, 상부 챔버(116)에 연결되어 상부 챔버(116)를 하부 챔버(111)에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 챔버 업/다운(up/down) 구동부(미도시)를 포함한다.
하부 챔버(111)는 도 2 내지 도 8에 자세히 도시된 바와 같이 상부가 개방된 박스(box) 타입으로 마련된다. 이러한 하부 챔버(111)의 내부에는 패널을 척킹하는 하부 척킹부(113)가 마련된다. 도 8 및 도 9에서는 하부 척킹부(113) 상에 패널이 척킹된 상태를 도시하였다.
본 실시예에서 하부 척킹부(113)는 정전척(ESC Chuck)을 포함한다. 참고로, 정전척(ESC)은 정전기의 힘을 사용해 패널을 고정시키는 역할을 한다.
이처럼 정전척(ESC)을 구비하는 하부 척킹부(113)에는 각각 다수의 진공홀(suction hole, 미도시)이 형성된다. 편의상 진공홀에 대해서는 도시하지 않았는데, 이러한 진공홀은 진공압에 의해 패널을 하부 척킹부(113)에 고정시키는 역할을 한다.
결과적으로, 본 실시예의 경우, 대기 상태에서는 하부 척킹부(113)에 마련되는 진공홀의 진공압으로 패널을 하부 척킹부(113)에 고정시키고, 진공 상태에서는 정전척(ESC)의 정전기의 힘으로 패널을 하부 척킹부(113)에 고정시킨다. 따라서 종전보다 패널을 척킹하는 효율이 높아질 수 있게 되고, 나아가 라미네이팅 공정 중 패널이 제자리에서 이탈되거나 비뚤어지는 현상을 예방할 수 있다.
또한, 하부 챔버(111)에는 진공라인(미도시)이 마련된다. 진공라인(미도시)은 상부 챔버(116)가 다운(down) 동작되어 하부 챔버(111)에 접했을 때, 상부 챔버(116)의 내벽과 하부 챔버(111)의 내벽 사이의 내부공간을 진공으로 유지시키는 역할을 한다.
상부 챔버(116)는, 도 9에 도시된 바와 같이, 하부 챔버(111)의 상부 영역에서 하부 챔버(111)에 대해 업/다운(up/down) 이동 가능하게 마련된다. 본 실시예에서는 하부 챔버(111)가 고정되고 상부 챔버(116)가 이동되는 것으로 설명하지만, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되는 것은 아니며, 상부 챔버(116)가 고정되고 하부 챔버(111)가 상부 챔버(116)에 대해 업/다운(up/down) 이동될 수도 있다.
이하에서는 설명의 편의를 위해 하부 챔버(111)가 고정되고 상부 챔버(116)가 업/다운(up/down) 이동되는 것으로 설명한다.
본 실시에서 상부 챔버(116)는 위치 고정된 하부 챔버(111) 쪽으로 다운(down) 동작되면서 하부 챔버(111)와 합착된 후, 패널과 커버 글라스(미도시)에 대한 라미네이팅 작업이 진행되도록 한다. 라미네이팅 작업 시 상호 합착된 상부 챔버(116)와 하부 챔버(111)의 내부 공간은 진공 유지된다.
이러한 패널과 커버 클라스와의 합착을 위해 상부 챔버(116)에는 커버 글라스(미도시)를 척킹하는 상부 척킹부(118)가 마련된다.
본 실시예에서 상부 척킹부(118)는 정전척(ESC Chuck)을 포함한다. 이처럼 정전척(ESC)을 구비하는 상부 척킹부(118)에는 각각 다수의 진공홀(suction hole, 미도시)이 형성된다. 편의상 진공홀에 대해서는 도시하지 않았는데, 이러한 진공홀은 진공압에 의해 커버 글라스(미도시)를 상부 척킹부(118)에 고정시키는 역할을 한다.
챔버 업/다운(up/down) 구동부(미도시)는 상부 챔버(116)에 연결되어 상부 챔버(116)를 업/다운(up/down) 이동시킨다. 이러한 챔버 업/다운(up/down) 구동부(미도시)는 가압 실린더 등 다양한 기구로 마련될 수 있다.
한편, 포크유닛(120)은 패널의 하부면을 지지한다. 본 실시예에서 패널은 챔버유닛(110)의 외부에서 별도의 필름 박리기구(미도시)에 의해, 도 2에 자세히 도시된 바와 같이, 상부면의 보호필름(W)이 제거된 상태이다.
이러한 포크유닛(120)은, 도 2에 자세히 도시된 바와 같이, 패널의 하부면에 접촉되는 적어도 하나 이상의 핑거부(121)를 구비하는 핸드부(미도시)와, 핸드부(미도시)에 연결되며 핸드부(미도시)를 이동시키는 다관절 로봇부(미도시)를 포함한다.
핸드부(미도시)는 패널의 하부면에 접촉되는 적어도 하나 이상의 핑거부(121)를 구비한다. 본 실시예에서 핑거부(121)는 3개로 마련되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되는 것은 아니며 핑거부(121)의 개수는 다양하게 마련될 수 있다.
이러한 핑거부(121) 각각에는 패널의 하부면을 진공 흡착하는 흡착홀이 마련된다. 본 실시예에서 핑거부(121) 각각의 흡착홀은 각각의 핑거부(121) 별로 독립적으로 흡착이 온/오프(on/off)될 수 있다.
한편, 패널 로딩유닛(130)은 하부 챔버(111)에 지지된다. 이러한 패널 로딩유닛(130)은 포크유닛(120)에 지지된 패널을 전달받아 하부 척킹부(113)에 로딩한다.
이러한 패널 로딩유닛(130)은, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 상호 이격되어 배치되는 한 쌍의 로딩모듈(150, 160, 170)을 포함한다. 본 실시예에서 한 쌍의 로딩모듈(150, 160, 170)은 하부 척킹부(113)를 중심으로 하여 상호 대칭되게 배치된다.
이러한 로딩모듈(150, 160, 170)은, 도 2 및 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 패널을 지지하는 패널 지그부(150)와, 패널 지그부(150)에 연결되며 패널 지그부(150)를 세로방향(Y축 방향)으로 이동시키는 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)와, 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)에 연결되며 패널 지그부(150)를 세로방향(Y축 방향)에 교차하는 가로방향(X축 방향)으로 슬라이딩 이동시키는 지그 슬라이딩 이동부(170)를 포함한다.
패널 지그부(150)는 패널을 지지한다. 이러한 패널 지그부(150)는, 도 2 및 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)에 결합되는 세로 아암부(151)와, 세로 아암부(151)에 결합되며 패널에 연결되는 가로 아암부(153)를 포함한다.
세로 아암부(151)는 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)의 후술할 지그용 업/다운(up/down) 블록부(161)에 결합된다. 본 실시예에서 세로 아암부(151)는 세로 방향으로 연장된 바아 형상으로 마련된다.
가로 아암부(153)는 세로 아암부(151)에 착탈 가능하게 결합된다. 이러한 가로 아암부(153)에는 패널이 지지된다.
본 실시예에서 가로 아암부(153)의 표면에는 비점착성 코팅막이 형성될 수 있다. 이와 같이 패널에 접촉되는 가로 아암부(153)의 표면에 비첨착성 코팅막이 마련됨으로써, 가로 아암부(153)의 내마모성성이 향상되며 파티클의 발생을 방지할 수 있다.
이러한 가로 아암부(153)는, 도 2 및 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 가로 아암부 본체(153a)와, 가로 아암부 본체(153a)의 말단부에 마련되며 패널의 하부면을 지지하는 지지용 지지턱부(153b)와, 가로 아암부 본체(153a)의 말단부에 마련되며 패널의 측벽에 접촉되어 패널의 측벽을 가압하는 측벽 가압부(153c)를 포함한다.
가로 아암부 본체(153a)는 가로 방향으로 연장된 바아 형상으로 마련된다. 지지용 지지턱부(153b)는, 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 가로 아암부 본체(153a)의 말단부에서 돌출되어 마련된다. 이러한 지지용 지지턱부(153b)는 패널의 하부면을 지지한다.
측벽 가압부(153c)는 가로 아암부 본체(153a)의 말단부에 마련된다. 본 실시예에서 측벽 가압부(153c)는, 도 3에 자세히 도시된 바와 같이 패널의 측벽에 접촉되어 지그 슬라이딩 이동부(170)의 작동에 따라 패널의 측벽을 가압한다.
이러한 측벽 가압부(153c)의 가압에 의해 패널은, 도 6 및 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 아치(arch) 형태로 절곡될 수 있다.
이러한 패널은, 도 6 및 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 측벽 가압부(153c)의 가압에 의해 패널이 중앙부가 하부 척킹부(113)를 향하는 방항으로 절곡됨으로써, 패널의 하강 시 절곡된 패널의 중앙부가 가장자리 영역 보다 먼저 하부 척킹부(113)에 접촉된 후 가장자리 영역이 접촉될 수 있고, 그에 따라 하부 척킹부(113)에 로딩된 패널과 하부 척킹부(113)의 상부면 사이에 기포가 생성되지 않는다.
한편, 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)는 패널 지그부(150)에 연결된다. 이러한 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)는 패널 지그부(150)를 세로방향으로 업/다운(up/down) 이동시킨다.
본 실시예에 따른 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 패널 지그부(150)가 연결되는 지그용 업/다운(up/down) 블록부(161)와, 지그용 업/다운(up/down) 블록부(161)가 결합되는 실린더 로드부(163)와, 실린더 로드부(163)가 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 실린더 로드부(163)를 업/다운(up/down) 이동시키는 가압 실린더 본체부(165)를 포함한다.
지그용 업/다운(up/down) 블록부(161)에는, 도 2 및 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 패널 지그부(150)의 세로 아암부(151)가 결합된다. 본 실시에에서 지그용 업/다운(up/down) 블록부(161)는 'ㄱ'자 형상으로 마련되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되는 것은 아니며 지그용 업/다운(up/down) 블록부(161)는 다양한 형상으로 제작될 수 있다.
실린더 로드부(163)는, 도 2 및 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 실린더 로드부(163)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결된다. 이러한 실린더 로드부(163)는 가압 실린더 본체부(165)에 대해 세로방향(Y축 방향)으로 상대이동 된다.
가압 실린더 본체부(165) 실린더 로드부(163)를 세로방향(Y축 방향)으로 업/다운(up/down) 이동시킨다.
이와 같이 본 실시예에 따른 진공 라미네이터는, 패널을 지지한 패널 지그부(150)를 세로방향으로 업/다운(up/down) 이동시키는 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)를 구비함으로써, 포크유닛(120)에 지지된 패널을 포크유닛(120)에서 전달받아 하부 척킹부(113)에 안정적으로 로딩할 수 있다.
또한, 본 실시예의 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)는 패널의 하부면을 지지함으로써, 상부면의 보호필름(W)이 박리된 상태의 패널을 하부 척킹부(113)에 로딩할 수 있다.
한편, 지그 슬라이딩 이동부(170)는 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)에 연결된다. 이러한 지그 슬라이딩 이동부(170)는 패널 지그부(150)를 세로방향(Y축 방향)에 교차하는 가로방향(X축 방향)으로 슬라이딩 이동시킨다.
본 실시예에서 슬라이딩 이동 구동부(173)는, 도 2 및 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 하부 챔버(111)의 챔버벽을 관통하며 일단부가 슬라이딩 블록부(171)에 결합되는 연결 샤프트부(173a)와, 연결 샤프트부(173a)의 타단부에 결합되는 슬라이딩용 연결 블록부(173b)와, 슬라이딩용 연결 블록부(173b)에 연결되며 슬라이딩용 연결 블록부(173b)의 이동을 가이드하는 연결 블록용 가이드부(173c)와, 슬라이딩용 연결 블록부(173b)에 연결되며 슬라이딩용 연결 블록부(173b)를 이동시키는 연결 블록용 동력 발생부(미도시)와, 하부 챔버(111)에 지지되며 슬라이딩 블록부(171)에 연결되어 슬라이딩 블록부(171)의 이동을 가이드하는 슬라이딩 블록용 가이드부(175)를 포함한다.
본 실시예에서 연결 샤프트부(173a)는 길이가 긴 봉 형상으로 마련된다. 이러한 연결 샤프트부(173a)는 외주면은 하부 챔버(111)의 챔버벽을 관통하여 하부 챔버(111)의 챔버벽에 슬라이딩 이동 가능하게 연결된다.
도 2 및 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 연결 샤프트부(173a)의 일단부는 슬라이딩 블록부(171)에 결합되고 타단부는 슬라이딩용 연결 블록부(173b)에 결합된다.
연결 블록용 가이드부(173c)는 슬라이딩용 연결 블록부(173b)에 연결된다. 이러한 연결 블록용 가이드부(173c)는 슬라이딩용 연결 블록부(173b)의 슬라이딩 이동을 가이드한다.
연결 블록용 동력 발생부(미도시)는 슬라이딩용 연결 블록부(173b)에 연결된다. 이러한 연결 블록용 동력 발생부(미도시)는 슬라이딩용 연결 블록부(173b)를 이동시킨다. 본 실시예에서 연결 블록용 동력 발생부(미도시)는 서보모터 또는 전동액츄에이터 등으로 마련될 수 있다.
슬라이딩 블록용 가이드부(175)는 하부 챔버(111)에 지지된다. 이러한 슬라이딩 블록용 가이드부(175)는 슬라이딩 블록부(171)에 연결되어 슬라이딩 블록부(171)의 슬라이딩 이동을 가이드한다.
이하, 본 실시예에 따른 진공 라미네이터의 작용을 도 2 내지 도 9를 참조하여 도 4 내지 도 9를 위주로 설명한다.
먼저, 도 4에 도시된 바와 같이 패널이 하부 척킹부(113)의 상부에 배치된다. 이때, 핑거부(121)에 지지된 패널을 패널 지그부(150)가 전달받기 위해 가로 아암부(153)가 패널의 하부 영역에 배치된다. 이때, 패널은 챔버유닛(110)의 외부에서 상부면의 보호필름(W)이 박리된 후 하부 챔버(111)의 상부 영역으로 이동된다.
이후, 도 5에 도시된 바와 같이 핑거부(121)가 하강하여 패널의 가장자리 영역이 가로 아암부(153)의 지지용 지지턱부(153b)에 지지된다.
다음, 도 6에 도시된 바와 같이 슬라이딩 블록부(171)가 하부 척킹부(113)에 대해 접근하는 방향으로 이동된다. 이러한 슬라이딩 블록부(171)의 이동에 의해 가로 아암부(153)가 이동되고, 그에 따라 측벽 가압부(153c)가 패널의 측벽을 가압하여 패널을 아치 형상으로 절곡시킨다.
이때, 3개의 핑거부(121) 중 중앙의 핑거부(121)를 제외한 가장자리의 핑거부(121)는 진공흡착을 하지 않고 중앙의 핑거부(121)만이 진공흡착을 수행함으로써, 도 6에 도시된 것과 같이 패널은 아래쪽으로 볼록한 형상으로 절곡된다.
이후, 도 7에 도시된 바와 같이 핑거부(121)가 패널과 하부 척킹부(113) 사이에서 이탈된 후 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)에 의해 패널이 하강하여 절곡된 패널의 중앙부 영역이 하부 척킹부(113)에 접촉된다.
다음, 도 8에 도시된 된 바와 같이, 슬라이딩 블록부(171)가 하부 척킹부(113)에 대해 이격되는 방향으로 이동되어 패널의 가장자리 영역도 하부 척킹부(113)에 접촉된다.
이후, 도 9에 도시된 바와 같이 상부 챔버(116)가 하강하여 상부 챔버(116)와 하부 챔버(111)가 합착된 후 라미네이팅 공정이 수행된다.
상술한 바와 같이 측벽 가압부(153c)의 가압에 의해 패널이 중앙부가 하부 척킹부(113)를 향하는 방항으로 절곡됨으로써, 패널의 하강 시 절곡된 패널의 중앙부가 가장자리 영역 보다 먼저 하부 척킹부(113)에 접촉된 후 가장자리 영역이 접촉될 수 있고, 그에 따라 하부 척킹부(113)에 로딩된 패널과 하부 척킹부(113)의 상부면 사이에 기포가 생성되지 않는다.
이와 같이 본 실시예에 따른 진공 라미네이터는, 패널의 하부면을 지지하는 포크유닛(120)과 포크유닛(120)에 지지된 패널을 전달받아 척킹부에 로딩하는 패널 로딩유닛(130)을 구비함으로써, 챔버유닛(110)의 외부에서 보호필름(W)이 박리된 패널을 챔버유닛(110)의 내부에 배치된 척킹부에 로딩할 수 있어 보호필름(W)의 박리 과정에서 발생되는 파티클에 의해 척킹부가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
이상 설명한 바와 같은 구조와 작용을 갖는 본 실시예에 따르면, 콤팩트하면서도 효율적인 구조로 인해 세팅의 오차 발생을 감소시킬 수 있으며, 특히 장비의 제어가 용이하여 수율을 향상시킬 수 있음은 물론 높은 정밀도를 만족시킬 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
110: 챔버유닛111: 하부 챔버
113: 하부 척킹부116: 상부 챔버
118: 상부 척킹부120: 포크유닛
121: 핑거부130: 패널 로딩유닛
150: 패널 지그부151: 세로 아암부
153: 가로 아암부153a: 가로 아암부 본체
153b: 지지용 지지턱부153c: 측벽 가압부
160: 지그 업/다운(up/down) 이동부
161: 지그용 업/다운(up/down) 블록부
163: 실린더 로드부165: 가압 실린더 본체부
170: 지그 슬라이딩 이동부171: 슬라이딩 블록부
173: 슬라이딩 이동 구동부173a: 연결 샤프트부
173b: 슬라이딩용 연결 블록부173c: 연결 블록용 가이드부
175: 슬라이딩 블록용 가이드부W: 보호필름

Claims (15)

  1. 패널을 척킹하는 하부 척킹부가 마련된 하부 챔버와, 상기 하부 챔버에 접면되어 내부공간에 진공 분위기를 형성하는 상부 챔버를 구비하는 챔버유닛;
    상기 패널의 하부면을 지지하며, 상기 하부 척킹부의 상부 영역에 상기 패널을 위치시키는 포크유닛; 및
    상기 하부 챔버에 연결되며, 상기 포크유닛에 지지된 상기 패널을 전달받아 상기 하부 척킹부에 로딩하는 패널 로딩유닛을 포함하며,
    상기 패널 로딩유닛은,
    상호 이격되어 배치되는 한 쌍의 로딩모듈을 포함하고,
    상기 로딩모듈은,
    상기 패널을 지지하는 패널 지그부;
    상기 패널 지그부에 연결되며, 상기 패널 지그부를 세로방향으로 이동시키는 지그 업/다운(up/down) 이동부; 및
    상기 지그 업/다운(up/down) 이동부에 연결되며, 상기 패널 지그부를 세로방향에 교차하는 가로방향으로 슬라이딩 이동시키는 지그 슬라이딩 이동부를 포함하며,
    상기 지그 업/다운(up/down) 이동부는,
    상기 패널 지그부가 연결되는 지그용 업/다운(up/down) 블록부;
    상기 지그용 업/다운(up/down) 블록부가 결합되는 실린더 로드부; 및
    상기 실린더 로드부가 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 상기 실린더 로드부를 업/다운(up/down) 이동시키는 가압 실린더 본체부를 포함하는 진공 라미네이터.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 한 쌍의 로딩모듈은,
    상기 하부 척킹부를 중심으로 하여 상호 대칭되게 배치되는 것을 특징으로 하는 진공 라미네이터.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 패널 지그부는,
    상기 지그 업/다운(up/down) 이동부에 결합되는 세로 아암부; 및
    상기 세로 아암부에 결합되며, 상기 패널에 연결되는 가로 아암부를 포함하는 진공 라미네이터.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 가로 아암부의 표면에는 비점착성 코팅막이 마련되는 것을 특징으로 하는 진공 라미네이터.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 가로 아암부는,
    가로 아암부 본체;
    상기 가로 아암부 본체의 말단부에 마련되며, 상기 패널의 하부면을 지지하는 지지용 지지턱부; 및
    상기 가로 아암부 본체의 말단부에 마련되며, 상기 패널의 측벽에 접촉되어 상기 패널의 측벽을 가압하는 측벽 가압부를 포함하는 진공 라미네이터.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 측벽 가압부의 가압에 의해 상기 패널이 아치(arch) 형태로 절곡되는 것을 특징으로 하는 진공 라미네이터.
  9. 삭제
  10. 제1항에 있어서,
    상기 지그 슬라이딩 이동부는,
    상기 지그 업/다운(up/down) 이동부가 연결되는 슬라이딩 블록부; 및
    상기 슬라이딩 블록부에 연결되며, 상기 슬라이딩 블록부를 상기 하부 척킹부에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 슬라이딩 이동 구동부를 포함하는 진공 라미네이터.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 슬라이딩 이동 구동부는,
    상기 하부 챔버의 챔버벽을 관통하며, 일단부가 상기 슬라이딩 블록부에 결합되는 연결 샤프트부;
    상기 연결 샤프트부의 타단부에 결합되는 슬라이딩용 연결 블록부(173b);
    상기 슬라이딩용 연결 블록부에 연결되며, 상기 슬라이딩용 연결 블록부의 이동을 가이드하는 연결 블록용 가이드부; 및
    상기 슬라이딩용 연결 블록부에 연결되며, 상기 슬라이딩용 연결 블록부를 이동시키는 연결 블록용 동력 발생부를 포함하는 진공 라미네이터.
  12. 제10에 있어서,
    상기 지그 슬라이딩 이동부는,
    상기 하부 챔버에 지지되며, 상기 슬라이딩 블록부에 연결되어 상기 슬라이딩 블록부의 이동을 가이드하는 슬라이딩 블록용 가이드부를 더 포함하는 진공 라미네이터.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 포크유닛은,
    상기 패널의 하부면에 접촉되는 적어도 하나 이상의 핑거부를 구비하는 핸드부; 및
    상기 핸드부에 연결되며, 상기 핸드부를 이동시키는 다관절 로봇부를 포함하는 진공 라미네이터.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 핑거부에는 상기 패널을 진공흡착하는 흡착홀이 형성된 것을 특징으로 하는 진공 라미네이터.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 상부 챔버에는 상기 패널에 라미네이팅되는 커버 글라스를 척킹하는 상부 척킹부가 마련되는 것을 특징으로 하는 진공 라미네이터.
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