KR102202977B1 - Method for Fabricating Touch Sensor - Google Patents

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KR102202977B1
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최한영
이진구
박준하
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동우 화인켐 주식회사
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H36/00Switches actuated by change of magnetic field or of electric field, e.g. by change of relative position of magnet and switch, by shielding

Abstract

본 발명은 터치 센서 제조를 위한 유연 기판의 표면 불균일을 억제하고 감온성 점착제를 사용하여 캐리어 기판과의 접합 및 박리시의 불량을 억제할 수 있도록 한 터치 센서의 제조 방법에 관한 것으로, 도전체를 포함하는 필름 기재를 제조하는 단계;필름 기재상에 보호 필름을 접합하고, 보호 필름이 접합된 필름 기재를 캐리어 기판에 접합하는 단계;상기 필름 기재와 캐리어 기판의 점착력을 높이고, 보호 필름과 필름 기재간의 점착력을 낮춘 상태에서 보호 필름을 박리하는 단계;를 포함하는 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a touch sensor capable of suppressing non-uniformity of the surface of a flexible substrate for manufacturing a touch sensor and suppressing defects during bonding and peeling with a carrier substrate using a temperature sensitive adhesive, including a conductor The step of preparing a film substrate; Bonding the protective film on the film substrate, and bonding the film substrate to which the protective film is bonded to the carrier substrate; To increase the adhesion between the film substrate and the carrier substrate, and between the protective film and the film substrate It includes; peeling the protective film in the state of lowering the adhesive force.

Description

터치 센서의 제조 방법{Method for Fabricating Touch Sensor}Manufacturing method of touch sensor {Method for Fabricating Touch Sensor}

본 발명은 터치 센서에 관한 것으로, 구체적으로 터치 센서 제조를 위한 유연 기판의 표면 불균일을 억제하고 감온성 점착제를 사용하여 캐리어 기판과의 접합 및 박리시의 불량을 억제할 수 있도록 한 터치 센서의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a touch sensor, and specifically, a method of manufacturing a touch sensor capable of suppressing non-uniformity on the surface of a flexible substrate for manufacturing a touch sensor and suppressing defects in bonding and peeling with a carrier substrate using a temperature sensitive adhesive It is about.

터치입력방식이 차세대 입력방식으로 각광받으면서 좀더 다양한 전자기기에 터치입력방식을 도입하려는 시도들이 이루어지고 있으며, 따라서 다양한 환경에 적용할 수 있고 정확한 터치인식이 가능한 터치센서에 대한 연구개발도 활발히 이루어지고 있다.As the touch input method is in the spotlight as the next-generation input method, attempts are being made to introduce the touch input method to a wider variety of electronic devices. Therefore, research and development on touch sensors that can be applied to various environments and that can accurately recognize touch are being actively conducted. have.

예를 들어, 터치 방식의 디스플레이를 갖는 전자기기의 경우 초경량, 저전력을 달성하고 휴대성이 향상된 초박막의 유연성 디스플레이가 차세대 디스플레이로 주목받으면서 이러한 디스플레이에 적용 가능한 터치센서의 개발이 요구되어 왔다.For example, in the case of an electronic device having a touch-type display, an ultra-thin flexible display that achieves ultra-light weight, low power and improved portability has been attracting attention as a next-generation display, and development of a touch sensor applicable to such a display has been required.

유연성 디스플레이란 특성의 손실 없이 휘거나 구부리거나 말 수 있는 유연한 기판상에 제작된 디스플레이를 의미하며, 유연성 LCD, 유연성 OLED, 및 전자종이와 같은 형태로 기술개발이 진행중에 있다.The flexible display refers to a display manufactured on a flexible substrate that can be bent, bent or rolled without loss of characteristics, and technology development is in progress in the form of flexible LCD, flexible OLED, and electronic paper.

이러한 유연성 디스플레이에 터치입력방식을 적용하기 위해서는 휘어짐 및 복원력이 우수하고 유연성 및 신축성이 뛰어난 터치센서가 요구된다.In order to apply a touch input method to such a flexible display, a touch sensor having excellent bending and resilience and excellent flexibility and elasticity is required.

이와 같은 터치센서에 사용되는 플렉서블 기판의 제조를 위하여, 종래 기술의 하나로 나노 다이아몬드 파우더를 폴리에틸렌나프탈레이트 수지에 혼입시킴으로써 치수안정성이 뛰어나고 수분 투과율이 낮은 플렉서블 기판에 관한 기술이 개시되고 있다.(대한민국 등록특허 제10-1078059호)In order to manufacture a flexible substrate used for such a touch sensor, a technique related to a flexible substrate having excellent dimensional stability and low moisture transmittance has been disclosed by incorporating nanodiamond powder into a polyethylene naphthalate resin as one of the prior art. Patent No. 10-1078059)

플렉서블 기판의 제조를 위한 또 다른 방법으로는 폴리아릴레이트수지에 규소 함유측사슬을 도입시켜 개선된 새로운 구조의 폴리아릴레이트수지에 관한 기술이 개시되고 있다.(대한민국 공개특허 제10-1992-0012125호)As another method for manufacturing a flexible substrate, a technology for a polyarylate resin having a new structure improved by introducing a silicon-containing side chain into a polyarylate resin has been disclosed. (Republic of Korea Patent Publication No. 10-1992-0012125 arc)

그러나 이와 같은 종래 기술의 플렉서블 기판의 제조 공정은 기판 제조 공정에서 고온에서의 형태변화를 억제하기 위하여 고내열성 수지를 사용하는데, 이는 위상차 조절을 어렵게 하는 문제가 있어 실제 터치센서의 제조에 적용하는 것에 한계가 있다.However, the manufacturing process of such a conventional flexible substrate uses a high heat-resistant resin to suppress shape change at high temperatures in the substrate manufacturing process. This has a problem that makes it difficult to control the phase difference, so it is not applicable to the manufacturing of an actual touch sensor. There is a limit.

이와 같은 위상차 조절의 어려움을 해결하기 위하여 고내열성 수지가 아닌 다른 물질 필름을 사용하는 경우에는 열처리 후 발생하는 주름에 의해 캐리어 기판에 접합한 뒤에도 필름 표면의 불균일 현상이 발생한다.In order to solve the difficulty in controlling the phase difference, when a material film other than a high heat-resistant resin is used, the film surface is uneven after bonding to the carrier substrate due to wrinkles generated after heat treatment.

이와 같은 필름 표면의 불균일 현상은 이후에 진행되는 공정의 정밀도를 저하시키는 원인이 되어 소자의 특성 저하, 수율 저하 등의 문제를 발생시킨다.Such non-uniformity of the film surface causes a decrease in the precision of a subsequent process, resulting in problems such as a decrease in device characteristics and a decrease in yield.

대한민국 등록특허 제10-1078059호Korean Patent Registration No. 10-1078059 대한민국 공개특허 제10-1992-0012125호Republic of Korea Patent Publication No. 10-1992-0012125

본 발명은 이와 같은 종래 기술의 터치센서의 제조 공정의 문제를 해결하기 위한 것으로, 감온성 점착제를 사용하여 캐리어 기판과의 접합 및 박리시의 불량을 억제할 수 있도록 한 터치 센서의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the problem of the manufacturing process of the touch sensor of the prior art, and provides a method of manufacturing a touch sensor using a temperature-sensitive adhesive to suppress defects in bonding and peeling with a carrier substrate. There is a purpose.

본 발명은 열처리된 전도성 필름에 제1점착제를 사용하여 보호필름을 접합하고, 감온성의 제2점착제를 사용하여 글라스에 접합하여 이후의 보호 필름 분리시에 제1,2점착제의 온도에 따른 점착력 차이를 이용하여 열가소성수지와 감온성의 제2점착제의 박리 불량을 해결할 수 있도록 한 터치 센서의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.In the present invention, the protective film is bonded to the heat-treated conductive film using a first adhesive, and bonded to the glass using a temperature-sensitive second adhesive to separate the first and second adhesives according to the temperature of the first and second adhesives. It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a touch sensor capable of solving the peeling failure between a thermoplastic resin and a temperature-sensitive second adhesive.

본 발명은 금속 산화물층위에 보호 필름을 접합하고 글라스 접합 및 패터닝 공정을 진행하여 표면 불균일을 억제할 수 있도록 한 터치 센서의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a touch sensor in which a protective film is bonded on a metal oxide layer and a glass bonding and patterning process is performed to suppress surface unevenness.

본 발명은 플렉서블 기판의 제조를 위하여 위상차 조절의 어려움이 없는 물질을 사용하고 열처리 후 발생하는 주름을 보호기재 및 점착제로 이루어진 보호필름을 접합하여 표면 불균일 현상을 개선한 터치 센서의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention provides a method for manufacturing a touch sensor in which a material having no difficulty in controlling a phase difference is used for manufacturing a flexible substrate, and a protective film made of a protective substrate and an adhesive is bonded to the wrinkles generated after heat treatment to improve the surface unevenness phenomenon. There is a purpose.

본 발명은 고내열성 수지를 사용하지 않고도 필름 표면의 불균일 현상을 억제하여 이후에 진행되는 공정의 정밀도를 유지할 수 있도록 한 터치 센서의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a touch sensor capable of maintaining the precision of a subsequent process by suppressing the unevenness of the film surface without using a high heat-resistant resin.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 터치 센서의 제조 방법은 도전체를 포함하는 필름 기재를 제조하는 단계;필름 기재상에 보호 필름을 접합하고, 보호 필름이 접합된 필름 기재를 캐리어 기판에 접합하는 단계;상기 필름 기재와 캐리어 기판의 점착력을 높이고, 보호필름과 필름기재간의 점착력을 낮춘 상태에서 보호 필름을 박리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The method of manufacturing a touch sensor according to the present invention for achieving such an object includes the steps of preparing a film substrate including a conductor; bonding a protective film on the film substrate, and attaching the film substrate to which the protective film is bonded to a carrier substrate. Bonding; It characterized in that it comprises a; increasing the adhesion between the film substrate and the carrier substrate, peeling the protective film in a state in which the adhesion between the protective film and the film substrate is lowered.

여기서, 필름 기재상에 보호 필름을 접합하는 것에 의해 필름 기재의 표면 주름이 제거되어 캐리어 기판과 접합되는 것을 특징으로 한다.Here, by bonding the protective film on the film substrate, the surface wrinkles of the film substrate are removed, and the film substrate is bonded to the carrier substrate.

그리고 필름 기재상에 보호 필름을 접합하는 단계에서 제 1 점착제를 사용하여 접합을 하고, 필름 기재를 캐리어 기판에 접합하는 단계에서는 제 1 점착제와 다른 제 2 점착제를 사용하여 접합하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the step of bonding the protective film on the film substrate, bonding is performed using a first pressure-sensitive adhesive, and in the step of bonding the film substrate to the carrier substrate, bonding is performed using a second pressure-sensitive adhesive different from the first pressure-sensitive adhesive.

그리고 상기 제 1 점착제는 폴리에스테르계, 폴리에테르계, 우레탄계, 에폭시계, 실리콘계, 아크릴계의 물질 군에서 선택된 것이고, 열경화 또는 UV 경화의 경화성 점착제인 것을 특징으로 한다.And the first pressure-sensitive adhesive is selected from the group of polyester-based, polyether-based, urethane-based, epoxy-based, silicone-based, and acrylic-based materials, and is characterized in that it is a heat-curable or UV-curable curable adhesive.

그리고 상기 제 2 점착제는 측쇄 결정성 폴리머를 함유하고 상기 측쇄 결정성 폴리머의 융점 이상의 온도에서 점착력을 발현하는 감온성 점착제를 사용하는 것을 특징으로 한다.And the second pressure-sensitive adhesive is characterized by using a temperature-sensitive pressure-sensitive adhesive that contains a side-chain crystalline polymer and exhibits adhesive strength at a temperature equal to or higher than the melting point of the side-chain crystalline polymer.

그리고 상기 측쇄 결정성 폴리머는 상기 측쇄 결정성 폴리머에 금속 킬레이트 화합물을 첨가하고 가교 반응을 행하여 얻어지는 가교 중합체로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The side chain crystalline polymer is characterized in that it is made of a crosslinked polymer obtained by adding a metal chelate compound to the side chain crystalline polymer and performing a crosslinking reaction.

그리고 상기 측쇄 결정성 폴리머는 융점 미만의 온도에서 결정화되고, 또한 융점 이상의 온도에서 유동성을 나타내는 것을 특징으로 한다.In addition, the side chain crystalline polymer is characterized in that it crystallizes at a temperature below the melting point and exhibits fluidity at a temperature above the melting point.

그리고 상기 측쇄 결정성 폴리머는 탄소수 16 이상의 직쇄상 알킬기를 갖는 (메타)아크릴레이트와, 탄소수 1∼6의 알킬기를 갖는 (메타)아크릴레이트와, 극성 모노머를 중합시켜서 얻어지는 공중합체로 이루어지는 것을 특징으로 한다.And the side chain crystalline polymer is characterized in that it consists of a copolymer obtained by polymerizing a (meth)acrylate having a linear alkyl group having 16 or more carbon atoms, a (meth)acrylate having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and a polar monomer. do.

그리고 상기 금속 킬레이트 화합물은 알루미늄트리스아세틸아세토네이트인 것을 특징으로 한다.And the metal chelate compound is characterized in that the aluminum trisacetylacetonate.

그리고 필름 기재상에 보호 필름을 접합하는 단계에서 Tg < 0의 점착제를 사용하고, 필름 기재를 캐리어 기판에 접합하는 단계에서는 감온성 점착제를 사용하여, 온도를 높이는 것에 의해 선택적으로 상기 필름 기재와 캐리어 기판의 점착력을 높일 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.And in the step of bonding the protective film on the film substrate, a pressure-sensitive adhesive having Tg <0 is used, and in the step of bonding the film substrate to the carrier substrate, a temperature-sensitive adhesive is used, and optionally the film substrate and the carrier substrate are increased by increasing the temperature. It is characterized in that to increase the adhesion of.

그리고 상기 필름 기재와 캐리어 기판의 점착력을 높이기 위하여 온도를 높이면, 필름 기재상에 보호 필름을 접합하는 단계에서 사용된 점착제의 점착력이 낮아지는 것을 특징으로 한다.In addition, when the temperature is increased to increase the adhesive strength between the film substrate and the carrier substrate, the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive used in the step of bonding the protective film on the film substrate is lowered.

그리고 보호 필름이 박리된 이후에 도전체의 패터닝을 포함한 적층구조의 제작 단계를 진행하고, 기재 필름과 캐리어 기판을 박리하는 것을 특징으로 한다.And after the protective film is peeled off, the manufacturing step of the laminated structure including patterning of the conductor is performed, and the base film and the carrier substrate are separated.

그리고 도전체는 금속산화물 도전체이고, 인듐틴옥사이드(ITO), 인듐징크옥사이드(IZO), 인듐징크틴옥사이드(IZTO), 알루미늄징크옥사이드(AZO), 갈륨징크옥사이드(GZO), 플로린틴옥사이드(FTO), 인듐틴옥사이드-은-인듐틴옥사이드(ITO-Ag-ITO), 인듐징크옥사이드-은-인듐징크옥사이드(IZO-Ag-IZO), 인듐징크틴옥사이드-은-인듐징크틴옥사이드(IZTO-Ag-IZTO) 및 알루미늄징크옥사이드-은-알루미늄징크옥사이드(AZO-Ag-AZO)로 이루어지는 금속산화물류에서 선택되는 것을 특징으로 한다.And the conductor is a metal oxide conductor, indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc oxide (IZTO), aluminum zinc oxide (AZO), gallium zinc oxide (GZO), florin tin oxide ( FTO), indium tin oxide-silver-indium tin oxide (ITO-Ag-ITO), indium zinc oxide-silver-indium zinc oxide (IZO-Ag-IZO), indium zinc oxide-silver-indium zinc oxide (IZTO) -Ag-IZTO) and aluminum zinc oxide-silver-aluminum zinc oxide (AZO-Ag-AZO).

그리고 필름 기재를 구성하는 물질은 열가소성수지인 것을 특징으로 한다.And the material constituting the film substrate is characterized in that the thermoplastic resin.

그리고 필름 기재를 구성하는 물질은 고리형 올레핀계 고분자(Cyclo-olefin polymer;COP)인 것을 특징으로 한다.And the material constituting the film substrate is characterized in that the cyclic olefin polymer (Cyclo-olefin polymer; COP).

이와 같은 본 발명에 따른 터치 센서의 제조 방법은 다음과 같은 효과를 갖는다.The manufacturing method of the touch sensor according to the present invention has the following effects.

첫째, 감온성 점착제를 사용하여 캐리어 기판과의 접합 및 박리시의 불량을 억제할 수 있다.First, it is possible to suppress defects in bonding and peeling with a carrier substrate by using a temperature-sensitive adhesive.

둘째, 금속 산화물층위에 보호 필름을 접합하고 글라스 접합 및 패터닝 공정을 진행하여 표면 불균일을 억제할 수 있다.Second, by bonding a protective film on the metal oxide layer and performing a glass bonding and patterning process, surface unevenness can be suppressed.

셋째, 고내열성 수지를 사용하지 않고도 필름 표면의 불균일 현상을 억제하여 이후에 진행되는 공정의 정밀도를 유지할 수 있다.Third, it is possible to maintain the precision of subsequent processes by suppressing the unevenness of the film surface without using a high heat-resistant resin.

넷째, 표면 불균일 현상을 개선하고 이후에 보호필름을 다시 제거하므로 기존 공정에 용이하게 적용할 수 있다.
Fourth, since the surface unevenness is improved and the protective film is removed again afterwards, it can be easily applied to the existing process.

도 1은 본 발명에 따른 터치 센서의 제조 공정을 나타낸 플로우 차트
도 2a내지 도 2d는 본 발명에 따른 터치 센서의 제조 공정을 나타낸 공정 단면도
도 3은 본 발명에 따른 감온성 점착제의 온도에 따른 점착력 특성을 나타낸 그래프
1 is a flow chart showing a manufacturing process of a touch sensor according to the present invention
2A to 2D are cross-sectional views showing a manufacturing process of a touch sensor according to the present invention.
3 is a graph showing the adhesive strength according to the temperature of the temperature-sensitive adhesive according to the present invention

이하, 본 발명에 따른 터치 센서의 제조 방법의 바람직한 실시 예에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a detailed description will be given of a preferred embodiment of a method of manufacturing a touch sensor according to the present invention.

본 발명에 따른 터치 센서의 제조 방법의 특징 및 이점들은 이하에서의 각 실시 예에 대한 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.Features and advantages of the method of manufacturing a touch sensor according to the present invention will become apparent through detailed description of each embodiment below.

도 1은 본 발명에 따른 터치 센서의 제조 공정을 나타낸 플로우 차트이다.1 is a flow chart showing a manufacturing process of a touch sensor according to the present invention.

그리고 도 2a내지 도 2d는 본 발명에 따른 터치 센서의 제조 공정을 나타낸 공정 단면도이다.And Figures 2a to 2d is a cross-sectional view showing a manufacturing process of the touch sensor according to the present invention.

본 발명은 플렉서블 기판의 제조를 위하여 위상차 조절의 어려움이 없는 물질을 사용하고 열처리 후 발생하는 주름을 보호기재 및 점착제로 이루어진 보호필름을 접합하여 표면 불균일 현상을 개선하여 이후에 진행되는 공정의 정밀도를 유지할 수 있도록 한 것이다.The present invention uses a material without difficulty in controlling the phase difference for manufacturing a flexible substrate, and improves the surface unevenness phenomenon by bonding a protective film made of a protective substrate and an adhesive to wrinkles generated after heat treatment to improve the precision of subsequent processes. I made it possible to keep it.

특히, 열처리된 전도성 필름에 제1점착제를 사용하여 보호필름을 접합하고, 감온성의 제2점착제를 사용하여 글라스에 접합하여 이후의 보호 필름 분리시에 제1,2점착제의 온도에 따른 점착력 차이를 이용하여 열가소성수지와 감온성의 제2점착제의 박리 불량을 해결할 수 있도록 한 것이다.In particular, the heat-treated conductive film is bonded to the protective film using a first adhesive, and a temperature-sensitive second adhesive is used to bond the protective film to the glass so that the difference in adhesive strength according to the temperature of the first and second adhesives is reduced when the protective film is separated afterwards. By using it, it is possible to solve the defective peeling between the thermoplastic resin and the temperature-sensitive second adhesive.

이를 위한 본 발명에 따른 터치 센서의 제조 공정은 금속산화물 도전체를 포함하는 열가소성수지의 제조 단계와, 열처리에 의한 전도성 향상 단계와, 열처리된 전도성필름에 보호필름을 접합하는 단계와, 감온성 점착제를 매개로 하여 캐리어 기판이 되는 글라스에 접합하는 단계와, 보호필름을 박리하는 단계와, 도전체의 패터닝을 포함한 적층구조의 제작 단계와, 열가소성수지 위에 제작된 적층구조물을 글라스로부터 박리하는 단계를 포함하여, 유연기판 위에 패턴화된 전극층을 포함하는 적층구조물을 제조하는 것이다.For this purpose, the manufacturing process of the touch sensor according to the present invention includes the steps of manufacturing a thermoplastic resin including a metal oxide conductor, improving conductivity by heat treatment, bonding a protective film to the heat treated conductive film, and using a temperature sensitive adhesive. Bonding to a glass serving as a carrier substrate through a medium, peeling off the protective film, fabricating a laminated structure including patterning of a conductor, and peeling the laminated structure produced on the thermoplastic resin from the glass Thus, to manufacture a laminated structure including the electrode layer patterned on the flexible substrate.

여기서, 열처리된 전도성필름에 보호필름을 접합하는 단계는 열처리에 의한 전도성 향상 단계를 진행하여 얻어진 금속산화물과 열가소성수지로 구성된 적층체의 금속산화물층 위에, 보호기재 및 점착제로 이루어진 보호필름을 접합하는 것이다.Here, the step of bonding the protective film to the heat-treated conductive film includes bonding a protective film made of a protective substrate and an adhesive on the metal oxide layer of the laminate consisting of a metal oxide and a thermoplastic resin obtained by performing a conductive improvement step by heat treatment. will be.

이와 같이 보호 필름을 접합한 상태에서 캐리어 기판이 되는 글라스에 접합하는 것에 의해 전도성 향상을 위한 열처리 공정에서 발생하는 필름 표면의 불균일 주름은 제거되어 필름 표면이 균일한 상태로 접합 된다.By bonding the protective film to the glass serving as the carrier substrate in this way, uneven wrinkles on the film surface generated in the heat treatment process for improving conductivity are removed, and the film surface is bonded in a uniform state.

그리고 열가소성수지 위에 제작된 적층구조물을 글라스로부터 박리하는 단계는 가열에 의해 보호필름용 점착제와 금속산화물층간의 점착력은 저하되고, 감온성점착제와 열가소성수지와의 점착력은 상승되는 것을 이용하여 박리 불량을 해결할 수 있도록 한 것이다.In the step of peeling the laminated structure made on the thermoplastic resin from the glass, the adhesive strength between the pressure-sensitive adhesive for the protective film and the metal oxide layer decreases by heating, and the adhesive strength between the thermosensitive adhesive and the thermoplastic resin increases to solve the peeling failure. I made it possible.

이와 같은 본 발명에 따른 터치 센서의 제조 공정을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.The manufacturing process of the touch sensor according to the present invention will be described in detail as follows.

먼저, 금속산화물 도전체(22)를 포함하는 필름 기재(21)를 제조하고(S101), 전도성 향상을 위한 열처리 공정을 진행한다.(S102)First, a film substrate 21 including a metal oxide conductor 22 is manufactured (S101), and a heat treatment process for improving conductivity is performed (S102).

여기서, 금속산화물은 인듐틴옥사이드(ITO), 인듐징크옥사이드(IZO), 인듐징크틴옥사이드(IZTO), 알루미늄징크옥사이드(AZO), 갈륨징크옥사이드(GZO), 플로린틴옥사이드(FTO), 인듐틴옥사이드-은-인듐틴옥사이드(ITO-Ag-ITO), 인듐징크옥사이드-은-인듐징크옥사이드(IZO-Ag-IZO), 인듐징크틴옥사이드-은-인듐징크틴옥사이드(IZTO-Ag-IZTO) 및 알루미늄징크옥사이드-은-알루미늄징크옥사이드(AZO-Ag-AZO)로 이루어지는 금속산화물류에서 선택될 수 있고, 이 물질들로 제한되지 않는다.Here, the metal oxide is indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc tin oxide (IZTO), aluminum zinc oxide (AZO), gallium zinc oxide (GZO), florin tin oxide (FTO), indium tin Oxide-silver-indium tin oxide (ITO-Ag-ITO), indium zinc oxide-silver-indium zinc oxide (IZO-Ag-IZO), indium zinc oxide-silver-indium zinc tin oxide (IZTO-Ag-IZTO) And metal oxides consisting of aluminum zinc oxide-silver-aluminum zinc oxide (AZO-Ag-AZO), and are not limited to these materials.

그리고 필름 기재(21)를 구성하는 물질은 열가소성수지이고, COP(Cyclo-olefin polymer)를 사용하는 것이 바람직하다.In addition, the material constituting the film substrate 21 is a thermoplastic resin, and it is preferable to use a COP (Cyclo-olefin polymer).

고리형 올레핀계 고분자(Cyclo-olefin polymer;COP)는 일 예로 노보넨(norbornene)과 같은 고리형 단량체로부터 얻어진 중합체로서 기존 올레핀계 중합체에 비해 투명성, 내열성, 내약품성이 우수하고 복굴절율과 수분흡수율이 매우 낮아 플렉서블 기판의 제조에 적합하다.Cyclo-olefin polymer (COP) is, for example, a polymer obtained from a cyclic monomer such as norbornene, and has excellent transparency, heat resistance, and chemical resistance compared to existing olefin-based polymers, and has a birefringence and water absorption rate. This is very low and is suitable for manufacturing flexible substrates.

여기서, 필름 기재(21)를 구성하는 물질은 고리형 올레핀계 고분자(Cyclo-olefin polymer;COP)로 제한되는 것이 아니고, 열가소성 탄성 중합체(thermoplastic elastomer), 스티렌계 물질(styrenic materials), 올레핀계 물질(olefenic materials), 폴리올레핀(polyolefin), 폴리우레탄 열가소성 탄성 중합체(polyurethane thermoplastic elastomers), 폴리아미드(polyamides), 합성고무(synthetic rubbers), 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane; PDMS), 폴리부타디엔(polybutadiene), 폴리이소부티렌(polyisobutylene), 폴리(스티렌-부타디엔-스티렌)[poly(styrene-butadiene-styrene)], 폴리우레탄(polyurethanes), 폴리클로로프렌(polychloroprene), 폴리메타아크릴(polymethacrylate), 폴리아크릴(polyacryl), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리아릴레이트(polyaryte), 폴리술폰(polysulfone), 폴리이미드(polyimide), 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리에틸렌나프탈레이트(polyethylene naphthalate), 실리콘 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 것일 수 있음은 당연하다.Here, the material constituting the film substrate 21 is not limited to a cyclic olefin polymer (COP), but a thermoplastic elastomer, a styrenic material, or an olefin-based material. (olefenic materials), polyolefin, polyurethane thermoplastic elastomers, polyamides, synthetic rubbers, polydimethylsiloxane (PDMS), polybutadiene, poly Isobutylene, poly(styrene-butadiene-styrene) [poly(styrene-butadiene-styrene)], polyurethanes, polychloroprene, polymethacrylate, polyacryl , Polycarbonate, polyaryte, polysulfone, polyimide, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, silicone, and combinations thereof It is natural that it may be selected from the group.

상기 필름 기재는 터치센서의 패턴시인을 저감시키는 목적 또는 디스플레이의 광학성능향상을 위해 위상차필름의 기능을 가질 수 있다.The film substrate may have a function of a retardation film for the purpose of reducing the pattern visibility of the touch sensor or improving the optical performance of the display.

전도성 향상을 위한 열처리 공정을 진행한 상태에서의 단면 구성은 도 2a에서와 같다.The cross-sectional configuration in a state in which the heat treatment process for improving conductivity is performed is the same as in FIG. 2A.

필름 기재(21)가 전도성 향상을 위한 열처리 공정에 의해 주름(curl)을 갖는 것을 알 수 있다.It can be seen that the film substrate 21 has a curl by a heat treatment process for improving conductivity.

이와 같은 필름 기재(21)상에 도 2b에서와 같이 보호기재 및 점착제로 이루어진 보호필름(23)을 접합한다.(S103) 필름 기재상에 보호 필름을 접합하는 것에 의해 필름 기재의 표면 주름이 제거되어 균일한 상태로 캐리어 기판과 접합되는 것을 알 수 있다.A protective film 23 made of a protective substrate and an adhesive is bonded on the film substrate 21 as shown in FIG. 2B. (S103) Surface wrinkles of the film substrate are removed by bonding the protective film on the film substrate. It can be seen that it is bonded to the carrier substrate in a uniform state.

여기서, 보호 기재는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)인 것이 바람직하나 이로 제한되지 않는다.Here, the protective substrate is preferably polyethylene terephthalate (PET), but is not limited thereto.

구체적으로, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌이소프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트 등의 폴리에스테르계 수지; 디아세틸셀룰로오스, 트리아세틸셀룰로오스 등의 셀룰로오스계 수지; 폴리카보네이트계 수지; 폴리메틸(메타)아크릴레이트, 폴리에틸(메타)아크릴레이트 등의 아크릴계 수지; 폴리스티렌, 아크릴로니트릴-스티렌 공중합체 등의 스티렌계 수지; 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 시클로계 또는 노보넨 구조를 갖는 폴리올레핀, 에틸렌-프로필렌 공중합체 등의 폴리올레핀계 수지; 염화비닐계 수지; 나일론, 방향족 폴리아미드 등의 아미드계 수지; 이미드계 수지; 폴리에테르술폰계 수지; 폴리에테르에테르케톤계 수지; 황화 폴리페닐렌계 수지; 비닐알코올계 수지; 염화비닐리덴계 수지; 비닐부티랄계 수지; 알릴레이트계 수지; 폴리옥시메틸렌계 수지; 에폭시계 수지 등과 같은 열가소성 수지로 구성된 필름 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택될 수 있다.Specifically, polyester resins such as polyethylene terephthalate (PET), polyethylene isophthalate, polyethylene naphthalate, and polybutylene terephthalate; Cellulose resins such as diacetyl cellulose and triacetyl cellulose; Polycarbonate resin; Acrylic resins such as polymethyl (meth)acrylate and polyethyl (meth)acrylate; Styrene resins such as polystyrene and acrylonitrile-styrene copolymer; Polyolefin resins such as polyethylene, polypropylene, polyolefin having a cyclo-based or norbornene structure, and ethylene-propylene copolymer; Vinyl chloride resin; Amide resins such as nylon and aromatic polyamide; Imide resin; Polyethersulfone resin; Polyether ether ketone resin; Sulfide polyphenylene resin; Vinyl alcohol resin; Vinylidene chloride resin; Vinyl butyral resin; Allylate resin; Polyoxymethylene resin; It may be selected from the group consisting of a film composed of a thermoplastic resin such as an epoxy resin, and a combination thereof.

또한, (메타)아크릴계, 우레탄계, 아크릴우레탄계, 에폭시계, 실리콘계 등의 열경화성 수지 또는 자외선 경화형 수지로 된 필름을 이용할 수도 있다.In addition, a film made of a thermosetting resin such as (meth)acrylic, urethane, acrylic urethane, epoxy, silicone, or an ultraviolet curable resin may be used.

그리고 보호필름(23)을 구성하는 점착제는 폴리에스테르계, 폴리에테르계, 우레탄계, 에폭시계, 실리콘계, 아크릴계의 점착제를 사용하고, 이와 같은 점착제는 열경화 또는 UV 경화의 경화성 점착제이다.And the pressure-sensitive adhesive constituting the protective film 23 is a polyester-based, polyether-based, urethane-based, epoxy-based, silicone-based, acrylic-based pressure-sensitive adhesive, and such a pressure-sensitive adhesive is a heat-curable or UV-curable adhesive.

그리고 도 2c에서와 같이 점착제를 매개로 하여 캐리어 기판(25)이 되는 글라스에 접합하는 단계를 진행한다.(S104)Then, as shown in Fig. 2c, the step of bonding to the glass serving as the carrier substrate 25 is performed through an adhesive (S104).

여기서 사용되는 점착제는 감온성 점착제이다.The adhesive used here is a temperature sensitive adhesive.

감온성 점착제는 온도 변화에 대응해서 점착력이 변화되는 점착제를 의미한다.The temperature-sensitive adhesive refers to an adhesive whose adhesive strength changes in response to temperature changes.

본 발명의 실시 예에서 사용되는 감온성 점착제는 측쇄 결정성 폴리머를 함유하고 상기 측쇄 결정성 폴리머의 융점 이상의 온도에서 점착력을 발현하는 감온성 점착제이다.The temperature-sensitive adhesive used in an embodiment of the present invention is a temperature-sensitive adhesive that contains a side-chain crystalline polymer and exhibits adhesive strength at a temperature equal to or higher than the melting point of the side-chain crystalline polymer.

상기 측쇄 결정성 폴리머는 상기 측쇄 결정성 폴리머에 금속 킬레이트 화합물을 첨가하고 가교 반응을 행하여 얻어지는 가교 중합체로 이루어지는 것이 바람직하다.The side chain crystalline polymer is preferably made of a crosslinked polymer obtained by adding a metal chelate compound to the side chain crystalline polymer and performing a crosslinking reaction.

상기 측쇄 결정성 폴리머는 융점 미만의 온도에서 결정화되고, 또한 융점 이상의 온도에서 유동성을 나타내는 특성을 갖는다.The side-chain crystalline polymer crystallizes at a temperature below the melting point, and also exhibits fluidity at a temperature above the melting point.

상기 측쇄 결정성 폴리머는 탄소수 16 이상의 직쇄상 알킬기를 갖는 (메타)아크릴레이트와, 탄소수 1∼6의 알킬기를 갖는 (메타)아크릴레이트와, 극성 모노머를 중합시켜서 얻어지는 공중합체로 이루어지는 것이 바람직하다.The side chain crystalline polymer is preferably composed of a copolymer obtained by polymerizing a (meth)acrylate having a linear alkyl group having 16 or more carbon atoms, a (meth)acrylate having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and a polar monomer.

그리고 상기 금속 킬레이트 화합물은 다가 금속의 아세틸아세톤 배위화합물 및 다가 금속의 아세토아세트산 에스테르 배위화합물로부터 선택되는 1종 이상인 것이 바림직하고, 상기 금속 킬레이트 화합물은 알루미늄트리스아세틸아세토네이트인 것이 바람직하다.In addition, the metal chelate compound is preferably at least one selected from an acetylacetone coordination compound of a polyvalent metal and an acetoacetic acid ester coordination compound of a polyvalent metal, and the metal chelate compound is preferably aluminum trisacetylacetonate.

이어, 도 2d에서와 같이 캐리어 기판(25)이 되는 글라스에 접합된 필름 기재(21)상의 보호 필름(23)을 박리하고(S105), 도전체의 패터닝을 포함한 적층구조의 제작 단계를 진행한다.(S106)Next, as shown in FIG. 2D, the protective film 23 on the film substrate 21 bonded to the glass serving as the carrier substrate 25 is peeled (S105), and the manufacturing step of the laminated structure including the patterning of the conductor is performed. .(S106)

이와 같이 필름 기재(21)상에 적층 구조의 제작이 이루어지면 캐리어 기판(25)이 되는 글라스와 적층 구조물을 박리시킨다.(S107)When the laminated structure is fabricated on the film substrate 21 in this way, the glass serving as the carrier substrate 25 and the laminated structure are peeled off. (S107)

글라스에 접합된 필름 기재(21)상의 보호 필름(23)을 박리하는 공정은 다음과 같은 온도에 따른 점착력 변화를 이용하여 진행한다.The process of peeling the protective film 23 on the film substrate 21 bonded to the glass proceeds using the change in adhesive force according to the following temperature.

도 3은 본 발명에 따른 감온성 점착제의 온도에 따른 점착력 특성을 나타낸 그래프이다.3 is a graph showing the adhesive strength according to the temperature of the temperature-sensitive adhesive according to the present invention.

본 발명의 실시 예에서 보호 필름(23)은 보호기재 및 점착제로 이루어진 것으로, 점착제는 Tg < 0이하의 점착제이고, 캐리어 기판(25)이 되는 글라스에 접합하는 단계에서 사용되는 점착제는 감온성 점착제는 온도가 상승에 의하여 점착력이 상승하는 점착제이다.In an embodiment of the present invention, the protective film 23 is made of a protective substrate and a pressure-sensitive adhesive, the pressure-sensitive adhesive is a pressure-sensitive adhesive having Tg <0 or less, and the pressure-sensitive adhesive used in the step of bonding to the glass serving as the carrier substrate 25 is a temperature-sensitive adhesive. It is an adhesive whose adhesive strength increases as the temperature rises.

따라서, 글라스에 접합된 필름 기재(21)상의 보호 필름(23)을 박리하는 공정을 40℃ 이상의 온도에서 진행하는 경우에는 도 3의 그래프에서와 같이 보호필름용 점착제와 금속산화물층간의 점착력은 저하되고, 감온성 점착제와 열가소성수지와의 점착력은 상승되기 때문에 박리 불량을 억제할 수 있다.Therefore, when the process of peeling the protective film 23 on the film substrate 21 bonded to the glass is performed at a temperature of 40° C. or higher, the adhesive strength between the protective film adhesive and the metal oxide layer decreases as shown in the graph of FIG. 3. In addition, since the adhesive force between the temperature-sensitive adhesive and the thermoplastic resin is increased, defects in peeling can be suppressed.

이와 같은 본 발명에 따른 터치 센서의 제조 방법은 플렉서블 기판의 제조를 위하여 위상차 조절의 어려움이 없는 물질을 사용하고 열처리 후 발생하는 주름을 보호기재 및 점착제로 이루어진 보호필름을 접합하여 표면 불균일 현상을 개선하여 이후에 진행되는 공정의 정밀도를 유지할 수 있도록 한 것이다.The manufacturing method of the touch sensor according to the present invention uses a material without difficulty in controlling the phase difference for manufacturing a flexible substrate, and improves surface unevenness by bonding a protective film made of a protective substrate and an adhesive to wrinkles generated after heat treatment. Therefore, it is possible to maintain the precision of the subsequent process.

또한, 열처리된 전도성 필름에 제1점착제를 사용하여 보호필름을 접합하고, 감온성의 제2점착제를 사용하여 글라스에 접합하여 이후의 보호 필름 분리시에 제1,2점착제의 온도에 따른 점착력 차이를 이용하여 열가소성수지와 감온성의 제2점착제의 박리 불량을 해결할 수 있도록 한 것이다.In addition, the heat-treated conductive film is bonded to the protective film using a first adhesive, and a temperature-sensitive second adhesive is used to bond the protective film to the glass, so that the difference in adhesive strength according to the temperature of the first and second adhesives is determined during subsequent separation of the protective film. By using it, it is possible to solve the defective peeling between the thermoplastic resin and the temperature-sensitive second adhesive.

이상에서의 설명에서와 같이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 본 발명이 구현되어 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, it will be understood that the present invention is implemented in a modified form without departing from the essential characteristics of the present invention.

그러므로 명시된 실시 예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구 범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.Therefore, the specified embodiments should be considered from a descriptive point of view rather than a limiting point of view, and the scope of the present invention is shown in the claims rather than the above description, and all differences within the scope equivalent thereto are included in the present invention. It will have to be interpreted.

21. 필름 기재 22. 도전체
23. 보호 필름 24. 점착제
25. 캐리어 기판
21. Film base 22. Conductor
23. Protective film 24. Adhesive
25. Carrier substrate

Claims (15)

도전체를 포함하는 필름 기재를 제조하는 단계;
상기 필름 기재를 열처리하는 단계;
상기 열처리된 필름 기재상에 보호 필름을 접합하고, 보호 필름이 접합된 필름 기재를 캐리어 기판에 접합하는 단계; 및
상기 필름 기재와 캐리어 기판의 점착력을 높이고, 보호 필름과 필름 기재간의 점착력을 낮춘 상태에서 보호 필름을 박리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 센서의 제조 방법.
Manufacturing a film substrate including a conductor;
Heat-treating the film substrate;
Bonding a protective film on the heat-treated film substrate, and bonding the film substrate to which the protective film is bonded to a carrier substrate; And
The method of manufacturing a touch sensor, comprising: peeling the protective film while increasing the adhesion between the film substrate and the carrier substrate and lowering the adhesion between the protective film and the film substrate.
제 1 항에 있어서, 필름 기재상에 보호 필름을 접합하는 것에 의해 필름 기재의 표면 주름이 제거되어 캐리어 기판과 접합되는 것을 특징으로 하는 터치 센서의 제조 방법.The method for manufacturing a touch sensor according to claim 1, wherein the surface wrinkles of the film substrate are removed by bonding the protective film on the film substrate to be bonded to the carrier substrate. 제 1 항에 있어서, 필름 기재상에 보호 필름을 접합하는 단계에서 제 1 점착제를 사용하여 접합을 하고, 필름 기재를 캐리어 기판에 접합하는 단계에서는 제 1 점착제와 다른 제 2 점착제를 사용하여 접합하는 것을 특징으로 하는 터치 센서의 제조 방법.The method of claim 1, wherein in the step of bonding the protective film on the film substrate, bonding is performed using a first pressure-sensitive adhesive, and in the step of bonding the film substrate to the carrier substrate, bonding is performed using a second pressure-sensitive adhesive different from the first pressure-sensitive adhesive. A method of manufacturing a touch sensor, characterized in that. 제 3 항에 있어서, 상기 제 1 점착제는 폴리에스테르계, 폴리에테르계, 우레탄계, 에폭시계, 실리콘계, 아크릴계의 물질 군에서 선택된 것이고, 열경화 또는 UV 경화의 경화성 점착제인 것을 특징으로 하는 터치 센서의 제조 방법.The method of claim 3, wherein the first pressure-sensitive adhesive is selected from the group of polyester-based, polyether-based, urethane-based, epoxy-based, silicone-based, and acrylic-based materials, and is a heat-curable or UV-curable curable adhesive. Manufacturing method. 제 3 항에 있어서, 상기 제 2 점착제는 측쇄 결정성 폴리머를 함유하고 상기 측쇄 결정성 폴리머의 융점 이상의 온도에서 점착력을 발현하는 감온성 점착제를 사용하는 것을 특징으로 하는 터치 센서의 제조 방법.The method of manufacturing a touch sensor according to claim 3, wherein the second pressure-sensitive adhesive contains a side-chain crystalline polymer and uses a temperature-sensitive pressure-sensitive adhesive that exhibits adhesion at a temperature equal to or higher than the melting point of the side-chain crystalline polymer. 제 5 항에 있어서, 상기 측쇄 결정성 폴리머는 상기 측쇄 결정성 폴리머에 금속 킬레이트 화합물을 첨가하고 가교 반응을 행하여 얻어지는 가교 중합체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 터치 센서의 제조 방법.The method for manufacturing a touch sensor according to claim 5, wherein the side chain crystalline polymer is made of a crosslinked polymer obtained by adding a metal chelate compound to the side chain crystalline polymer and performing a crosslinking reaction. 제 5 항에 있어서, 상기 측쇄 결정성 폴리머는 융점 미만의 온도에서 결정화되고, 또한 융점 이상의 온도에서 유동성을 나타내는 것을 특징으로 하는 터치 센서의 제조 방법.The method of manufacturing a touch sensor according to claim 5, wherein the side chain crystalline polymer is crystallized at a temperature below the melting point and exhibits fluidity at a temperature above the melting point. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 측쇄 결정성 폴리머는 탄소수 16 이상의 직쇄상 알킬기를 갖는 (메타)아크릴레이트와, 탄소수 1∼6의 알킬기를 갖는 (메타)아크릴레이트와, 극성 모노머를 중합시켜서 얻어지는 공중합체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 터치 센서의 제조 방법.The method according to claim 6 or 7, wherein the side-chain crystalline polymer is a polymerization of a (meth)acrylate having a linear alkyl group having 16 or more carbon atoms, a (meth)acrylate having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and a polar monomer. A method for manufacturing a touch sensor, comprising a copolymer obtained by making it. 제 6 항에 있어서, 상기 금속 킬레이트 화합물은 알루미늄트리스아세틸아세토네이트인 것을 특징으로 하는 터치 센서의 제조 방법.The method of claim 6, wherein the metal chelate compound is aluminum trisacetylacetonate. 제 1 항에 있어서, 필름 기재상에 보호 필름을 접합하는 단계에서 Tg < 0의 점착제를 사용하고, 필름 기재를 캐리어 기판에 접합하는 단계에서는 감온성 점착제를 사용하여,
온도를 높이는 것에 의해 선택적으로 상기 필름 기재와 캐리어 기판의 점착력을 높일 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 터치 센서의 제조 방법.
The method of claim 1, wherein in the step of bonding the protective film on the film substrate, an adhesive having Tg <0 is used, and in the step of bonding the film substrate to the carrier substrate, a temperature-sensitive adhesive is used,
A method of manufacturing a touch sensor, characterized in that it is possible to selectively increase the adhesion between the film substrate and the carrier substrate by increasing the temperature.
제 10 항에 있어서, 상기 필름 기재와 캐리어 기판의 점착력을 높이기 위하여 온도를 높이면,
필름 기재상에 보호 필름을 접합하는 단계에서 사용된 점착제의 점착력이 낮아지는 것을 특징으로 하는 터치 센서의 제조 방법.
The method of claim 10, wherein if the temperature is increased to increase the adhesion between the film substrate and the carrier substrate,
Method of manufacturing a touch sensor, characterized in that the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive used in the step of bonding the protective film on the film substrate is lowered.
제 1 항에 있어서, 보호 필름이 박리된 이후에 도전체의 패터닝을 포함한 적층구조의 제작 단계를 진행하고, 기재 필름과 캐리어 기판을 박리하는 것을 특징으로 하는 터치 센서의 제조 방법.The method of manufacturing a touch sensor according to claim 1, wherein after the protective film is peeled off, the manufacturing step of the laminated structure including patterning of the conductor is performed, and the base film and the carrier substrate are separated. 제 1 항에 있어서, 도전체는 금속산화물 도전체이고,
인듐틴옥사이드(ITO), 인듐징크옥사이드(IZO), 인듐징크틴옥사이드(IZTO), 알루미늄징크옥사이드(AZO), 갈륨징크옥사이드(GZO), 플로린틴옥사이드(FTO), 인듐틴옥사이드-은-인듐틴옥사이드(ITO-Ag-ITO), 인듐징크옥사이드-은-인듐징크옥사이드(IZO-Ag-IZO), 인듐징크틴옥사이드-은-인듐징크틴옥사이드(IZTO-Ag-IZTO) 및 알루미늄징크옥사이드-은-알루미늄징크옥사이드(AZO-Ag-AZO)로 이루어지는 금속산화물류에서 선택되는 것을 특징으로 하는 터치 센서의 제조 방법.
The method of claim 1, wherein the conductor is a metal oxide conductor,
Indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc oxide (IZTO), aluminum zinc oxide (AZO), gallium zinc oxide (GZO), florin tin oxide (FTO), indium tin oxide-silver-indium Tin oxide (ITO-Ag-ITO), indium zinc oxide-silver-indium zinc oxide (IZO-Ag-IZO), indium zinc oxide-silver-indium zinc oxide (IZTO-Ag-IZTO) and aluminum zinc oxide- A method of manufacturing a touch sensor, characterized in that it is selected from metal oxides consisting of silver-aluminum zinc oxide (AZO-Ag-AZO).
제 1 항에 있어서, 필름 기재를 구성하는 물질은 열가소성수지인 것을 특징으로 하는 터치 센서의 제조 방법.The method of claim 1, wherein the material constituting the film substrate is a thermoplastic resin. 제 14 항에 있어서, 필름 기재를 구성하는 물질은 고리형 올레핀계 고분자(Cyclo-olefin polymer;COP)인 것을 특징으로 하는 터치 센서의 제조 방법.

The method of claim 14, wherein the material constituting the film substrate is a cyclic olefin polymer (COP).

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