KR102200939B1 - 냉각 장치 및 그를 포함하는 시스템 - Google Patents

냉각 장치 및 그를 포함하는 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR102200939B1
KR102200939B1 KR1020140082553A KR20140082553A KR102200939B1 KR 102200939 B1 KR102200939 B1 KR 102200939B1 KR 1020140082553 A KR1020140082553 A KR 1020140082553A KR 20140082553 A KR20140082553 A KR 20140082553A KR 102200939 B1 KR102200939 B1 KR 102200939B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cooling water
cooling
pipe
bypass
heat exchanger
Prior art date
Application number
KR1020140082553A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20150111805A (ko
Inventor
손한수
장성대
김재용
민경배
이광신
이정자
변창주
정호남
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to US14/645,870 priority Critical patent/US9920997B2/en
Publication of KR20150111805A publication Critical patent/KR20150111805A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102200939B1 publication Critical patent/KR102200939B1/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28C—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA COME INTO DIRECT CONTACT WITHOUT CHEMICAL INTERACTION
    • F28C1/00—Direct-contact trickle coolers, e.g. cooling towers
    • F28C1/16—Arrangements for preventing condensation, precipitation or mist formation, outside the cooler
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28C—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA COME INTO DIRECT CONTACT WITHOUT CHEMICAL INTERACTION
    • F28C1/00—Direct-contact trickle coolers, e.g. cooling towers
    • F28C1/02—Direct-contact trickle coolers, e.g. cooling towers with counter-current only
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
    • F28F27/00—Control arrangements or safety devices specially adapted for heat-exchange or heat-transfer apparatus
    • F28F27/003—Control arrangements or safety devices specially adapted for heat-exchange or heat-transfer apparatus specially adapted for cooling towers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Other Air-Conditioning Systems (AREA)
  • Air Conditioning Control Device (AREA)

Abstract

본 발명은 냉각 장치와 그를 포함하는 시스템에 대해 개시한다. 그의 장치는, 냉동기와, 상기 냉동기에 제공되는 제 1 냉각수를 외기에 냉각하는 제 1 냉각 유닛과, 상기 제 1 냉각 유닛에 제공되는 제 2 냉각수를 냉각하는 제 2 냉각 유닛을 포함한다 상기 제 2 냉각 유닛은 상기 외기와 상기 제 1 냉각수의 온도 차이에 따라 상기 제 1 냉각수에 대해 제 2 냉각수를 독립적으로 순환하고, 상기 제 2 냉각수를 상기 제 1 냉각수에 혼합하도록 구성될 수 있다.

Description

냉각 장치 및 그를 포함하는 시스템{cooling apparatus and system including the same}
본 발명은 냉각 장치에 관한 것으로, 백연 없이 냉각수를 냉각하는 냉각장치 및 그를 포함하는 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 냉각 탑은 공조 설비, 공업 설비들, 및 빌딩 등에서 주로 사용되고 있다. 냉각 탑은 냉각수를 대기 중의 공기에 냉각할 수 있다. 냉각 탑에서 배출되는 공기는 고온 다습하고 대부분 수증기 포화 상태를 가질 수 있다. 때문에 동절기에 냉각 탑에서 주로 백연(white smoke)이 발생하고 있다. 백연은 주로 냉각수의 온도가 대기 중의 공기의 온도보다 높을 때에 발생할 수 있다. 백연의 발생은 시각 공해, 또는 일조의 장애에 따른 민원을 초래할 수 있다.
본 발명이 이루고자 하는 일 기술적 과제는 백연을 방지할 수 있는 냉각 장치 및 그를 포함하는 제조 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명의 일부 실시 예에 따른 냉각 장치는, 냉동기; 상기 냉동기에 제공되는 제 1 냉각수를 외기에 냉각하는 제 1 냉각 유닛; 및 상기 제 1 냉각 유닛에 제공되는 제 2 냉각수를 냉각하는 제 2 냉각 유닛을 포함한다. 여기서, 상기 제 2 냉각 유닛은 상기 외기와 상기 제 1 냉각수의 온도 차이에 따라 상기 제 1 냉각수에 대해 제 2 냉각수를 독립적으로 순환하고, 상기 제 2 냉각수를 상기 제 1 냉각수에 혼합하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 일부 실시 예들에 따르면, 냉각 장치는 상기 제 1 냉각수를 제 2 냉각수로 냉각한 후에 상기 외기에 제공하여 백연을 방지할 수 있다. 이와 달리, 냉각 장치는 혼합된 제 1 냉각수와 제 2 냉각수를 냉동기에 제공하여 상기 냉동기의 냉각 효율을 증대할 수 있다.
도 1은 일반적인 냉각 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 포화 수증기압 곡선을 나타내는 그래프이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 냉각 장치를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 냉각 장치를 나타내는 도면이다.
도 5는 도 3의 냉각 장치를 구비한 반도체 제조 시스템을 나타내는 도면이다.
도 6은 도 4의 냉각 장치를 구비한 반도체 제조 시스템을 나타내는 도면이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 명세서에서, 밸브 및 온도 센서가 배관에 있다고 언급되는 경우에, 배관상에 직접 형성되거나 또는 배관들 사이에 연결될 수도 있다는 것을 의미한다. 또 본 명세서의 다양한 실시 예들에서 제 1, 제 2 등의 용어가 해당 물질의 종류 또는 공정 단계를 기술하기 위해서 사용되었지만, 이는 단지 어느 특정 물질 또는 공정 단계를 다른 물질 또는 다른 공정 단계와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이며, 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 포함한다(comprises) 및/또는 포함하는(comprising)은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
또한, 본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 불량 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다.
도 1은 일반적인 냉각 장치를 보여준다. 일반적인 냉각 장치(10)는 냉동기(20)와 냉각 유닛(30)을 포함할 수 있다.
냉동기(20)는 열 교환 또는 기화 열을 이용하여 목적 대상을 냉각할 수 있다. 예를 들어, 냉동기(20)는 열 교환 설비, 냉방설비, 에어 컨디셔너, 또는 냉장고를 포함할 수 있다. 냉동기(20)는 냉각수(40)를 냉매로 사용할 수 있다. 냉각수(40)는 냉동기(20)의 열을 흡수할 수 있다.
냉각 유닛(30)은 가열된 냉각수(40)를 냉동기(20)로부터 회수할 수 있다. 냉각수(40)는 냉각 유닛(30)에서 냉각될 수 있다. 냉각 유닛(30)은 냉각된 냉각수(40)를 냉동기(20)에 다시 제공할 수 있다. 냉각수(40)는 냉동기(20)와 냉각 유닛(30) 사이에 순환될 수 있다. 예를 들어, 냉각 유닛(30)은 냉각 탑(32), 냉각수 공급 배관(34), 냉각수 회수 배관(36), 냉각수 우회 배관(38), 및 냉각수 펌프(39)를 포함할 수 있다.
냉각 탑(32)은 냉각수(40)를 대기 중의 공기에 냉각할 수 있다. 여기서, 대기는 냉각 대상물의 외부 환경에 대응될 수 있다. 대기 중의 공기는 외기(open air)로 정의된다. 냉각수(40)의 온도는 외기의 온도보다 높을 수 있다. 냉각 탑(32)은 냉각수 저장 탱크(31)와 냉각수 살수 부(33)를 포함할 수 있다. 냉각수 살수 부(33)는 냉각수 저장 탱크(31) 상의 외기 중에 냉각수(40)를 뿌릴(sprinkle) 수 있다. 냉각수(40)는 공기(air)에 의해 냉각될 수 있다. 냉각수 저장 탱크(31)는 살수(sprinkled)된 냉각수(40)를 일시 저장할 수 있다.
냉각수 공급 배관(34)와 냉각수 회수 배관(36)은 냉동기(20)와 냉각 탑(32)을 각각 연결할 수 있다. 냉각수(40)는 냉각수 공급 배관(34)과 냉각수 회수 배관(36)를 통해 순환될 수 있다.
냉각수 펌프(39)는 냉각수(40)의 순환 압력을 제공할 수 있다. 냉각수 펌프(39)는 냉각수 공급 배관(34)에 배치될 수 있다. 냉각수(40)의 순환 유량은 냉각수 순환 조절 밸브(35)에 의해 제어될 수 있다. 냉각수 순환 조절 밸브(35)는 냉각수 공급 배관(34)에 배치될 수 있다.
냉각수 공급 배관(34)와 냉각수 회수 배관(36) 내의 냉각수(40)는 각각 다른 온도를 가질 수 있다. 예를 들어, 냉각수 회수 배관(36) 내의 냉각수(40)는 냉각수 공급 배관(34) 내의 냉각수(40)보다 높은 온도를 가질 수 있다. 이때, 냉각수(40)의 온도가 외기의 온도보다 과도하게 높으면 냉각 탑(32) 내에서 백연(whit smoke)이 발생될 수 있다. 백연은 주로 동절기에 나타날 수 있다.
도 2는 백연 현상을 설명하기 위한 포화 수증기압 곡선(50)을 보여준다. 직선 "60-70"은 동절기에 냉각 탑(32)의 배출 공기의 상태 변화를 나타낸다. 냉각수(40)는 동절기에 외기의 온도보다 과도하게 높은 온도를 가질 수 있다. 공기 중에 냉각수(40)의 수증기가 다량 발생할 수 있다. 수증기 량(80)은 포화 수증기압 곡선(50)과 직선 60-70이 연결되는 면적으로 표시될 수 있다. 냉각 탑(32)에서 냉각수(40)의 수증기의 백연이 발생될 수 있다. 예를 들어, 백연은 냉각수(40)의 온도가 외기의 온도보다 약 12℃ 이상으로 높을 경우에 나타날 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 냉각수 우회 배관(38)은 냉각수 공급 배관(34)과 냉각수 회수 배관(36) 사이를 연결할 수 있다. 냉각수 우회 배관(38)은 냉동기(20)를 우회하여 냉각수(40)를 순환할 수 있다. 냉각수 우회 조절 밸브(37)는 냉각수 우회 배관(38)에 배치될 수 있다. 냉각수 우회 조절 밸브(37)와 냉각수 순환 조절 밸브(35)는 냉동기(20)와 냉각수 우회 배관(38)에 제공되는 냉각수(40)의 유량을 각각 제어할 수 있다. 냉동기(20)에서 가열된 냉각수(40)와, 냉각 탑(32)에서 냉각된 냉각수(40)는 냉각수 회수 배관(36)에서 혼합될 수 있다. 냉각수(40)의 온도는 외기의 온도와 12℃ 이내의 온도 차이를 갖도록 제어될 수 있다. 따라서, 일반적인 냉각 장치(10)는 백연을 감소시킬 수 있다.
그럼에도 불구하고, 냉각 탑(32)에서 냉각된 대부분의 냉각수(40)가 냉각수 우회 배관(38)으로 제공될 수 있기 때문에 냉동기(20)의 냉각 효율은 감소될 수 있다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 냉각 장치(100)를 보여준다. 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 냉각 장치(100)는 냉동기(200), 제 1 냉각 유닛(300), 및 제 2 냉각 유닛(400)을 포함할 수 있다.
제 1 냉각 유닛(300)은 냉동기(200)에 제 1 냉각수(600)를 제공할 수 있다. 제 1 냉각수(600)는 제 1 냉각 유닛(300)과 냉동기(200) 사이에 순환될 수 있다. 일 예에 따르면, 제 1 냉각 유닛(300)은 제 1 냉각 탑(310), 제 1 냉각수 공급 배관(320), 제 1 냉각수 회수 배관(330), 열 교환기(340), 제 1 냉각수 우회 배관(350), 열 교환기 우회 배관(360), 2 중 우회 배관(370), 제 1 냉각수 살수 우회 배관(380)과, 제 1 냉각수 펌프(390), 및 제 1 온도 센서(392)를 포함할 수 있다.
제 1 냉각 탑(310)은 제 1 냉각수(600)를 냉각할 수 있다. 일 예에 따르면, 제 1 냉각 탑(310)은 제 1 냉각수 저장 탱크(312), 제 1 냉각수 살수 부(314), 및 제 1 냉각 팬(316)을 포함할 수 있다. 제 1 냉각수 저장 탱크(312)는 제 1 냉각수(600)를 저장한다. 제 1 냉각수 살수 부(314)는 제 1 냉각수 저장 탱크(312) 상에 제 1 냉각수(600)를 뿌려줄 수 있다. 제 1 냉각 팬(316)은 제 1 냉각수 살수 부(314) 주변의 공기를 순환할 수 있다. 제 1 냉각수(600)는 공기 중에서 냉각될 수 있다.
냉각된 제 1 냉각수(600)는 제 1 냉각수 공급 배관(320)을 통해 냉동기(200)에 제공될 수 있다. 제 1 냉각수 공급 배관(320)은 제 1 냉각 탑(310)과 냉동기(200)를 연결한다. 제 1 냉각수 펌프(390)는 제 1 냉각수 공급 배관(320)에 배치될 수 있다. 제 1 냉각수 펌프(390)는 제 1 냉각수(600)의 공급 압력을 제공할 수 있다. 제 1 냉각수 공급 조절 밸브(322)는 냉동기(200) 내에 제공되는 제 1 냉각수(600)의 유량을 조절할 수 있다.
제 1 냉각수 회수 배관(330)은 냉동기(200)로부터 제 1 냉각수(600)를 회수할 수 있다. 제 1 냉각수 회수 배관(330)은 냉동기(200)와 제 1 냉각 탑(310)를 연결한다. 제 1 냉각수(600)는 열 교환기(340)에 의해 냉각될 수 있다.
열 교환기(340)는 제 1 냉각수 회수 배관(330)에 배치될 수 있다. 열 교환기(340) 제 2 냉각수(700)를 냉매로 사용하여 제 1 냉각수(600)를 냉각할 수 있다. 제 2 냉각수(700)는 제 1 냉각수(600)의 열을 흡수할 수 있다. 제 1 냉각수(600)는 열 교환기(340)에서 제 2 냉각수(700)와 독립적으로 냉각될 수 있다.
제 1 냉각수(600)는 열 교환기(340) 내에서 선 냉각되고, 제 1 냉각 탑(310)에서 재 냉각될 수 있다. 열 교환기(340)는 제 1 냉각수(600)를 외기와 12℃이하의 온도 차이를 갖도록 냉각할 수 있다. 제 1 냉각 탑(310) 내에서의 제 1 냉각수(600)의 백연은 방지될 수 있다. 이와 달리, 열 교환기(340)는 제 1 냉각수(600)의 우회 유량을 감소시킬 수 있다. 냉각된 제 1 냉각수(600)의 대부분은 냉동기(200)에 제공될 수 있다. 냉동기(200)의 냉각 효율은 증대될 수 있다.
제 1 냉각수 우회 배관(350)은 제 1 냉각수 공급 배관(320)과 제 1 냉각수 회수 배관(330)을 연결할 수 있다. 제 1 냉각수 공급 배관(320) 내의 제 1 냉각수(600)의 일부는 냉동기(200)에 제공되고, 상기 제 1 냉각수(600)의 나머지는 냉동기(200)를 우회하여 제 1 냉각수 공급 배관(320)에서 제 1 냉각수 회수 배관(330)에 직접 제공될 수 있다. 제 1 냉각수 우회 조절 밸브(352)는 제 1 냉각수(600)의 우회 유량을 조절할 수 있다.
열 교환기 우회 배관(360)은 제 1 냉각수(600)를 열 교환기(340)에 우회시킬 수 있다. 제 1 냉각수(600)는 열 교환기(340)에 의해 냉각되지 않고 제 1 냉각 탑(310)에 제공될 수 있다. 일 예에 따르면, 열 교환기 우회 배관(360)의 일단은 제 1 냉각수 우회 배관(350)과 열 교환기(340) 사이의 제 1 냉각수 회수 배관(330)에서 분기(branched)될 수 있다. 열 교환기 우회 배관(360)의 타단은 상기 열 교환기(340)와 제 1 냉각 탑(310) 사이의 상기 제 1 냉각수 회수 배관(330)에 다시 연결될 수 있다. 열 교환기 우회 조절 밸브(362)는 열 교환기 우회 배관(360) 내의 제 1 냉각수(600)의 유량을 조절할 수 있다. 제 1 냉각수(600)와 외기가 약 12℃이하의 온도 차이를 가질 때, 제 1 냉각수(600)는 열 교환기 우회 배관(360)에 제공될 수 있다. 이와 달리, 제 1 냉각수(600)는 열 교환기(340)에 냉각 능력이상으로 제공될 때, 열 교환기 우회 배관(360)에 제공될 수 있다.
2 중 우회 배관(370)은 제 1 냉각수 우회 배관(350)과 열 교환기 우회 배관(360)을 연결할 수 있다. 2 중 우회 배관(370)은 제 1 냉각 탑(310)에서 냉각된 제 1 냉각수(600)를 열 교환기 우회 배관(360) 내의 가열된 제 1 냉각수(600)에 혼합할 수 있다. 혼합된 제 1 냉각수(600)는 외기와 약 12℃이하의 온도 차이의 온도를 가질 수 있다.
2 중 우회 배관(370)에 2 중 우회 조절 밸브(372)가 배치될 수 있다. 2 중 우회 조절 밸브(372)는 2 중 우회 배관(370) 내의 제 1 냉각수(600)의 유량을 조절할 수 있다. 열 교환기 우회 배관(360) 내의 제 1 냉각수(600)의 온도와 외기의 온도의 차이가 약 12℃ 이상일 때, 냉각된 제 1 냉각수(600)는 2 중 우회 배관(370)을 통해 상기 열 교환기 우회 배관(360)에 제공될 수 있다. 열 교환기 우회 배관(360) 내의 제 1 냉각수(600)는 외기와 약 12℃ 이하의 온도 차이의 온도를 가질 수 있다.
제 1 온도 센서(392)는 제 1 냉각수 회수 배관(330)에 배치될 수 있다. 제 1 온도 센서(392)는 제 1 냉각수(600)의 온도를 감지할 수 있다. 제 1 냉각수 우회 조절 밸브(352), 열 교환기 우회 조절 밸브(362), 및 2 중 우회 조절 밸브(372)는 제 1 온도 센서(392)에 연동하여 제어될 수 있다.
제 1 냉각수 살수 우회 배관(380)은 제 1 냉각수 회수 배관(330)과, 제 1 냉각수 저장 탱크(312)를 연결할 수 있다. 제 1 냉각수(600)는 제 1 냉각수 살수 부(314)에서 백연이 발생될 경우, 제 1 냉각수 살수 우회 배관(380)을 통해 제 1 냉각수 살수 부(314)에 우회할 수 있다. 이와 달리, 제 1 냉각수(600)는 열 교환기(340)에서 과 냉각될 경우, 제 1 냉각수 살수 부(314)에 우회할 수 있다. 제 1 냉각수 살수 우회 조절 배관(382)은 제 1 냉각수 살수 우회 배관(380)에 배치될 수 있다. 제 1 냉각수 살수 우회 조절 배관(382)은 제 1 냉각수(600)의 살수 우회 유량을 제어할 수 있다.
제 2 냉각 유닛(400)은 제 2 냉각수(700)와 제 1 냉각수(600)를 냉각할 수 있다. 일 예에 따르면, 제 2 냉각 유닛(400)은 제 2 냉각 탑(410), 제 2 냉각수 공급 배관(420), 제 2 냉각수 회수 배관(430), 제 2 냉각수 우회 배관(440), 및 제 2 냉각수 펌프(450)를 포함할 수 있다.
제 2 냉각 탑(410)는 제 2 냉각수(700)를 냉각할 수 있다. 일 예에 따르면, 제 2 냉각 탑(410)는 제 2 냉각수 저장 탱크(412), 제 2 냉각수 살수 부(414), 및 제 2 냉각 팬(416)을 포함할 수 있다. 제 2 냉각수(700)는 제 2 냉각수 저장 탱크(412)에 저장될 수 있다. 제 2 냉각수 살수 부(414)는 제 2 냉각수(700)를 제 2 냉각수 저장 탱크(412) 상에 뿌려줄 수 있다. 제 2 냉각 팬(416)은 제 2 냉각수 저장 탱크(412) 및 제 2 냉각수 살수 부(414)에 주변의 공기를 제공할 수 있다. 제 2 냉각수(700)는 외기에 냉각될 수 있다.
제 2 냉각수 공급 배관(420)은 제 2 냉각 탑(410)과 열 교환기(340)를 연결할 수 있다. 제 2 냉각수 펌프(450)는 제 2 냉각수 공급 배관(420)에 배치될 수 있다. 제 2 냉각수 펌프(450)는 제 2 냉각수(700)의 공급 압력을 제공할 수 있다. 제 2 냉각수 공급 조절 밸브(422)는 제 2 냉각수 공급 배관(420)에 배치될 수 있다. 제 2 냉각수 공급 조절 밸브(422)는 열 교환기(340)에 제공되는 제 2 냉각수(700)의 공급 유량을 조절할 수 있다.
제 2 냉각수 회수 배관(430)은 열 교환기(340)와 제 2 냉각 탑(410)을 연결할 수 있다. 제 2 냉각수(700)는 열 교환기(340)에서 제 1 냉각수(600)의 열을 흡수할 수 있다. 가열된 제 2 냉각수(700)는 제 2 냉각수 회수 배관(430)를 통해 제 2 냉각 탑(410)에 제공될 수 있다. 제 2 냉각수 회수 조절 밸브(432)는 제 2 냉각수 회수 배관(430)에 배치될 수 있다. 제 2 냉각수 회수 조절 밸브(432)는 열 교환기(340)로부터의 제 2 냉각수(700)의 회수 유량을 조절할 수 있다.
제 2 냉각수 우회 배관(440)은 제 2 냉각수 공급 배관(420) 및 제 2 냉각수 회수 배관(430)을 연결할 수 있다. 예를 들어, 제 2 냉각수 우회 배관(440)은 제 2 냉각수 펌프(450)와 열 교환기(340) 사이의 제 2 냉각수 공급 배관(420)에서 제 2 냉각수 회수 배관(430)에 연결될 수 있다.
제 2 냉각수 우회 조절 밸브(442)는 제 2 냉각수 우회 배관(440)에 배치될 수 있다. 제 2 냉각수 우회 조절 밸브(442)는 제 2 냉각수(700)의 우회 유량을 제어할 수 있다.
제 2 온도 센서(460)는 제 2 냉각수 우회 배관(440)과 제 2 냉각 탑(410)사이의 제 2 냉각수 회수 배관(430)에 배치될 수 있다. 제 2 온도 센서(460)는 제 2 냉각수 회수 배관(430) 내의 제 2 냉각수(700)의 온도를 감지할 수 있다. 제 2 냉각수 우회 조절 밸브(442)는 제 2 온도 센서(460)에 연동하여 제어될 수 있다. 제 2 온도 센서(460) 및 제 2 냉각수 우회 조절 밸브(442)는 상기 제 2 냉각수(700)의 온도를 제어할 수 있다. 제 2 냉각수(700)의 온도와 외기온도의 차이는 약 12℃ 이하일 수 있다.
이와 달리, 제 2 온도 센서(460)는 혼합된 제 1 냉각수(600)와 제 2 냉각수(700)의 온도를 감지할 수 있다. 제 1 냉각수(600)는 제 2 냉각수 회수 배관(430)에서 제 2 냉각수(700)에 혼합될 수 있다. 제 2 온도 센서(460) 및 제 2 냉각수 우회 조절 밸브(442)는 혼합된 제 1 냉각수(600)와 제 2 냉각수(700)의 온도를 제어할 수 있다. 혼합된 제 1 냉각수(600)와 제 2 냉각수(700)는 외기와 약 12℃ 이하의 온도 차이의 온도를 가질 수 있다.
제 1 혼합 공급 배관(470)은 제 2 냉각수(700)를 제 1 냉각수 공급 배관(320)에 제공할 수 있다. 제 1 혼합 공급 배관(470)은 제 2 냉각수 공급 배관(420)과 제 1 냉각수 공급 배관(320)을 연결할 수 있다. 제 1 혼합 공급 배관(470)의 일단은 제 2 냉각수 펌프(450)와 제 2 냉각수 우회 배관(440) 사이의 제 2 냉각수 공급 배관(420)에 연결될 수 있다. 제 1 혼합 공급 배관(470)의 타단은 제 1 냉각수 펌프(390)와 제 1 냉각수 우회 배관(350) 사이의 제 1 냉각수 공급 배관(320)에 연결될 수 있다. 제 1 혼합 공급 조절 밸브(472)는 제 1 혼합 공급 배관(470)에 배치될 수 있다. 제 1 혼합 공급 조절 밸브(472)는 혼합된 제 1 냉각수(600)와 제 2 냉각수(700)의 공급 유량을 제어할 수 있다.
제 1 혼합 회수 배관(480)은 제 1 냉각수(600)를 제 2 냉각수 회수 배관(430)에 제공할 수 있다. 제 1 혼합 회수 배관(480)은 제 1 냉각수 회수 배관(330)과 제 2 냉각수 회수 배관(430)을 연결할 수 있다. 제 1 혼합 회수 배관(480)의 일단은 제 1 냉각수 우회 배관(350)과 열 교환기 우회 배관(360) 사이의 제 1 냉각수 회수 배관(330)에 연결될 수 있다. 제 1 혼합 회수 배관(480)의 타단은 열 교환기(340)와 제 2 냉각수 우회 배관(440) 사이의 제 2 냉각수 회수 배관(430)에 연결될 수 있다. 제 1 혼합 회수 조절 밸브(482)는 제 1 혼합 회수 배관(480)에 배치될 수 있다. 제 1 혼합 회수 조절 밸브(482)는 회수된 제 1 냉각수(600)와 제 2 냉각수(700)의 혼합 유량을 제어할 수 있다.
한편, 제 1 냉각 유닛(300)과 제 2 냉각 유닛(400)은 하절기와 동절기의 공기 온도에 따라 다르게 동작될 수 있다.
다음은 하절기의 경우에 대해 설명한다. 하절기의 외기는 약 20℃의 상온과 동일하거나 그 이상의 온도을 가질 수 있다. 제 1 냉각 유닛(300)과 제 2 냉각 유닛(400)은 혼합된 제 1 냉각수(600)와 제 2 냉각수(700)을 순환하여 냉동기(200)의 냉각 효율을 증가시킬 수 있다. 혼합된 제 1 냉각수(600)와 제 2 냉각수(700)는 제 1 혼합 공급 배관(470) 및 제 1 냉각수 공급 배관(320)을 통해 냉동기(200)에 제공될 수 있다. 혼합된 제 1 냉각수(600)와 제 2 냉각수(700)는 제 1 냉각수 회수 배관(330)을 통해 제 1 냉각 탑(310)에 제공되고, 제 1 혼합 회수 배관(480) 및 제 2 냉각수 회수 배관(430)을 통해 제 2 냉각 탑(410)에 제공될 수 있다.
이하 동절기의 경우에 대해 설명한다. 제 1 냉각 유닛(300)와 제 2 냉각 유닛(400)은 동절기에 제 1 냉각수(600)와 제 2 냉각수(700)을 독립적으로 순환하여 제 1 냉각 탑(310)에서의 백연을 방지할 수 있다. 동절기의 외기는 약 20℃의 상온보다 낮을 수 있다. 예를 들어, 동절기의 외기는 약 0℃ 정도의 온도를 가질 수 있다.
제 1 냉각수(600)는 냉동기(200)의 열을 흡수하고 외기에 의해 냉각되기 때문에 외기보다 높은 온도로 가열될 수 있다. 예를 들어, 고온의 반도체 제조설비는 제 1 냉각수(600)에 의해 약 20℃의 상온으로 냉각될 수 있다. 냉동기(200) 내의 제 1 냉각수(600)는 상온 또는 상기 상온보다 높은 고온으로 가열될 수 있다. 제 2 냉각수(700)는 외기와 유사한 온도를 가질 수 있다.
열 교환기(340) 내에서, 제 2 냉각수(700)는 제 1 냉각수(600)의 열을 흡수하기 때문에 제 1 냉각수(600)는 약 0℃의 외기보다 높고 약 20℃의 상온보다 낮은 온도로 냉각될 수 있다. 제 1 냉각 탑(310)에서, 제 1 냉각수(600)는 외기와 유사한 온도로 다시 냉각될 수 있다. 제 1 냉각수(600)와 외기의 온도 차이는 약 12도 이하로 조절되기 때문에 상기 제 1 냉각 탑(310)에서의 백연은 방지될 수 있다. 수 있다. 마찬가지로, 제 2 냉각수(700)는 외기에 대해 약 12℃의 온도 차이를 갖도록 조절되기 때문에 제 2 냉각 탑(410)에서의 백연은 방지될 수 있다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 냉각 장치(110)를 보여준다. 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 냉각 장치(110)는 냉동기(210), 제 1 냉각 유닛(800), 및 제 1 냉각수(610)를 제 2 냉각수(710)에 혼합하고 혼합된 상기 제 1 냉각수(610) 및 상기 제 2 냉각수(710)를 냉각하는 제 2 냉각 유닛(900)을 포함할 수 있다.
일 예에 따르면, 제 1 냉각 유닛(800)은 제 1 냉각수 저장 탱크(810), 제 1 냉각수 혼합기(812), 제 1 냉각수 공급 배관(820), 제 1 냉각수 공급 조절 밸브(822), 제 1 냉각수 혼합 조절 밸브(824), 제 1 냉각수 회수 배관(830), 제 1 냉각수 회수 조절 밸브(832), 제 1 냉각수 우회 배관(840), 제 1 냉각수 우회 조절 밸브(842), 제 1 냉각수 온도계(850) 및 제 1 냉각수 공급 펌프(860)을 포함할 수 있다.
제 1 냉각수 혼합기(812)는 제 1 냉각수 저장 탱크(810)와 제 1 냉각수 공급 배관(820) 사이에 배치될 수 있다. 제 1 냉각수 혼합기(812)는 제 1 냉각수 저장 탱크(810) 내의 제 1 냉각수(610)와, 제 2 냉각 유닛(900) 내의 제 2 냉각수(710)를 혼합할 수 있다.
제 1 냉각수 혼합 조절 밸브(824)는 제 1 냉악수 혼합기(812)와 제 1 냉각수 공급 펌프(860) 사이의 제 1 냉각수 공급 배관(820)에 배치될 수 있다. 제 1 냉각수 혼합 조절 밸브(824)는 제 1 냉각수(610)와 제 2 냉각수(710)의 혼합 양을 조절할 수 있다.
제 1 냉각수 온도계(850)는 제 1 냉각수 혼합 조절 밸브(824)와 제 1 냉각수 공급 펌프(860) 사이의 제 1 냉각수 공급 배관(820)에 배치될 수 있다. 제 1 냉각수 온도계(850)는 제 1 냉각수(610)의 온도를 측정할 수 있다.
제 1 냉각수 저장 탱크(810), 제 1 냉각수 공급 배관(820), 제 1 냉각수 공급 조절 밸브(822), 제 1 냉각수 회수 배관(830), 제 1 냉각수 회수 조절 밸브(832), 제 1 냉각수 우회 배관(840), 제 1 냉각수 우회 조절 밸브(842), 및 제 1 냉각수 공급 펌프(850)는 도 3에서와 동일한 기능을 갖기 때문에 이에 대한 설명을 생략한다.
제 2 냉각 유닛(900)은 제 2 냉각수(710)를 냉각할 수 있다. 제 2 냉각 유닛(900)은 냉동기(210)의 냉각 효율을 증대할 수 있다. 일 예에 따르면, 제 2 냉각 유닛(900)은 제 2 냉각 탑(910), 제 2 냉각수 순환 배관(920), 제 2 혼합 공급 배관(930), 제 2 혼합 공급 조절 밸브(932), 제 2 혼합 회수 배관(940), 제 2 혼합 회수 조절 밸브(942), 보조 혼합 회수 배관(950), 보조 혼합 회수 조절 밸브(952), 보조 혼합 공급 배관(960), 보조 혼합 공급 조절 밸브(962), 제 2 냉각수 수위 센서(970), 및 제 2 냉각수 펌프(980)를 포함할 수 있다.
제 2 냉각 탑(910)은 제 2 냉각수 저장 탱크(912), 제 2 냉각수 살수 부(914), 및 제 2 냉각 팬(916)을 포함할 수 있다. 제 2 냉각수 저장 탱크(912)는 제 2 냉각수(710)를 일시적으로 저장할 수 있다.
제 2 냉각수 저장 탱크(912)는 제 1 냉각수 저장 탱크(810)에 인접하여 배치될 수 있다. 일 예에 따르면, 제 1 냉각수 저장 탱크(810)와 제 2 냉각수 저장 탱크(912)는 방열 판(111)으로 연결될 수 있다. 제 2 냉각수 저장 탱크(912)와 제 1 냉각수 저장 탱크(810)는 제 1 냉각수(610)와 제 2 냉각수(710) 사이에 열을 전달할 수 있다. 제 1 냉각수(610)는 제 2 냉각수(710)에 의해 냉각될 수 있다. 제 2 냉각수(710)는 제 1 냉각수(610)의 열을 흡수할 수 있다. 제 1 냉각수(610)는 상온보다 낮은 온도로 냉각될 수 있다. 냉각된 제 1 냉각수(610)는 냉동기(210)에 제공될 수 있다.
제 2 냉각수 살수 부(914)는 제 2 냉각수(710)를 제 2 냉각수 저장 탱크(912) 상의 외기 중에 뿌려질 수 있다. 제 2 냉각 팬(916)은 제 2 냉각수(710)에 외기를 제공 수 있다.
제 2 냉각수 순환 배관(920)은 제 2 냉각수 저장 탱크(912)와 제 2 냉각수 살수 부(914)를 연결할 수 있다. 제 2 냉각수(710)는 제 2 냉각수 순환 배관(920)을 통해 제 2 냉각 탑(910)에 순환되고, 외기에 냉각될 수 있다. 제 2 냉각수 순환 조절 밸브(922)는 제 2 냉각수 순환 배관(920)에 배치될 수 있다. 제 2 냉각수 순환 조절 밸브(922)는 제 2 냉각수(710)의 순환 유량을 조절할 수 있다.
제 2 혼합 공급 배관(930)은 제 2 냉각 탑(910) 내의 제 2 냉각수(710)를 제 1 냉각수 공급 배관(820)에 제공할 수 있다. 제 2 혼합 공급 배관(930)은 제 1 냉각수 온도계(850)와 제 1 냉각수 공급 펌프(860) 사이의 제 1 냉각수 공급 배관(820)과 제 2 냉각수 저장 탱크(912)를 연결할 수 있다. 제 2 혼합 공급 조절 밸브(932)는 제 2 혼합 공급 배관(930)에 배치될 수 있다. 제 2 혼합 공급 조절 밸브(932)는 제 2 냉각수(710)와 제 1 냉각수(610)의 혼합 비를 조절할 수 있다. 제 2 냉각수(710)가 증가되면, 냉동기(210)의 냉각 효율은 증대될 수 있다.
제 2 혼합 회수 배관(940)은 제 1 냉각수 회수 배관(830) 내의 제 1 냉각수(610)를 제 2 냉각수 순환 배관(920)에 제공할 수 있다. 제 1 냉각수(610)와 제 2 냉각수(710)는 제 2 냉각수 순환 배관(920) 및 제 2 냉각 탑(910) 내에서 혼합될 수 있다. 제 2 혼합 회수 배관(940)은 제 1 냉각수 회수 배관(830)과 제 2 냉각수 순환 배관(920)을 연결할 수 있다. 제 2 혼합 회수 조절 밸브(942)는 제 2 혼합 회수 배관(940)에 배치될 수 있다. 제 2 혼합 회수 조절 밸브(942)는 제 2 냉각수(710)와 제 1 냉각수(610)의 혼합 비를 조절할 수 있다.
보조 혼합 회수 배관(950)은 제 1 냉각수 회수 배관(830) 내의 제 1 냉각수(610)를 제 2 냉각수 저장 탱크(912)에 제공할 수 있다. 보조 혼합 회수 배관(950)은 제 1 냉각수 회수 배관(830)과 제 2 냉각수 저장 탱크(912)를 연결할 수 있다. 보조 혼합 회수 조절 밸브(952)는 보조 혼합 회수 배관(950)에 배치될 수 있다. 보조 혼합 회수 조절 밸브(952)는 제 2 냉각수 저장 탱크(912)에 대한 제 1 냉각수(610)의 보충 양을 조절할 수 있다.
제 2 냉각수 수위 센서(970)는 제 2 냉각수 저장 탱크(912) 내의 제 2 냉각수(710)의 높이를 감지할 수 있다. 는 보조 혼합 회수 조절 밸브(952)는 제 2 냉각수 수위 센서(970)에서의 제 2 냉각수(710)의 수위에 의해 제어될 수 있다. 제 2 냉각수 저장 탱크(912) 내의 제 2 냉각수(710)의 수위가 낮아질 경우, 보조 혼합 회수 조절 밸브(952)는 오픈되고, 제 1 냉각수(610)는 제 2 냉각수 저장 탱크(912) 내에 보충될 수 있다.
보조 혼합 공급 배관(960)은 제 2 냉각수 저장 탱크(912) 내의 제 2 냉각수(710)를 제 1 냉각수 혼합기(812)에 제공할 수 있다. 제 2 냉각수(710)는 제 2 냉각수 펌프(980)에 의해 펌핑될 수 있다. 보조 혼합 공급 배관(960)은 제 2 냉각수 순환 배관(920)과 제 1 냉각수 혼합기(812)를 연결할 수 있다. 보조 혼합 공급 조절 밸브(962)는 보조 혼합 공급 배관(960)에 배치될 수 있다. 보조 혼합 공급 조절 밸브(962)는 제 1 냉각수 혼합기(812) 내에서의 제 1 냉각수(610)와 제 2 냉각수(710)의 혼합비를 정밀하게 제어할 수 있다. 보조 혼합 공급 조절 밸브(962)는 제 1 냉각수 온도계(850)에서의 제 1 냉각수(610)의 온도에 따라 제어될 수 있다.
하절기의 경우, 제 1 냉각수(610)와 제 2 냉각수(710)는 혼합될 수 있다. 혼합된 제 1 냉각수(610)와 제 2 냉각수(710)의 온도는 외기의 온도와 약 12℃ 이하의 차이를 가질 수 있다.
동절기의 경우 제 1 냉각수(610)와 제 2 냉각수(710)는 독립적으로 순환될 수 있다. 제 1 냉각수(610)와 제 2 냉각수(710)는 제 1 냉각수 저장 탱크(810)와 제 2 냉각수 저장 탱크(912) 사이의 방열판(111)를 통해 열 교환되기 때문에 제 2 냉각수(710)의 온도는 외기와 약 12℃ 이하의 온도 차이의 온도를 갖도록 제어될 수 있다. 제 2 냉각수(710)의 백연 현상은 방지될 수 있다.
도 5는 도 3의 냉각 장치(400)을 구비한 반도체 제조 시스템(3000)을 보여준다. 제조 시스템(3000)은 하우징(2000), 공정 설비들(2100), 장치 냉각 열 교환기(2200), 룸 냉각 열 교환기(2300), 히터(2400)및 냉각 장치(100)를 포함할 수 있다.
하우징(2000)은 공정 설비들(2100)을 보호할 수 있다. 하우징(2000) 내부의 온도는 약 20℃의 상온으로 제어될 수 있다. 하우징(2000)은 다양한 제품을 생산 및 저장하는 생산 공장을 포함할 수 있다. 일 예에 따르면, 하우징(2000)은 하부 영역(2010)과 상부 영역(2020)을 가질 수 있다. 하부 영역(2010)과 상부 영역(2020) 사이에 하부 벽(bottom wall, 2030)이 배치될 수 있다.
공정 설비들(2100)은 상부 영역(2020) 내에 배치될 수 있다. 공정 설비들(2100)은 하부 벽(2030) 상에 배치될 수 있다. 공정 설비들(2100)은 제품들을 제조할 수 있다. 예를 들어, 제품들은 반도체 소자들을 포함할 수 있다. 공정 설비들(2100)은 제 1 공정 설비(2110), 제 2 공정 설비(2120), 제 3 공정 설비(2130), 및 제 4 공정 설비(2140)를 포함할 수 있다. 제 1 공정 설비(2110)는 노광 장치를 포함할 수 있다. 제 2 공정 설비(2120)는 이온주입장치를 포함할 수 있다. 제 3 공정 설비(2130)는 증착 장치를 포함할 수 있다. 제 4 공정 설비(2140)는 식각 장치를 포함할 수 있다. 공정 설비들(2100)은 이외의 다양한 종류의 장치들을 더 포함할 수 있다. 대부분의 공정 설비들(2100)은 약 100℃ 내지 약 800℃ 정도의 고온에서 반도체 제조공정을 수행할 수 있다. 공정 냉각수(process cooling water, 2118)는 공정 설비들(2100)의 내부 및 외부를 냉각할 수 있다. 공정 설비들(2100)의 외부 온도는 약 20℃의 상온을 갖도록 제어될 수 있다. 공정 냉각수(2118)는 공정 설비들(2100) 내부에서의 열과 상부 영역(2020) 내에서의 열을 흡수할 수 있다.
장치 냉각 열 교환기(2200)는 하부 영역(2010) 내에 배치될 수 있다. 장치 냉각 열 교환기(2200)는 공정 설비들(2100)에 공정 냉각수(2118)를 제공할 수 있다. 공정 냉각수(2118)는 공정 설비들(2100)을 냉각할 수 있다. 장치 냉각 열 교환기(2200)는 제 1 냉수(chilled water, 2240)로 공정 냉각수(2118)를 냉각할 수 있다. 제 1 냉수(2240)는 공정 냉각수(2118)의 열을 흡수할 수 있다.
공정 냉각수 순환 배관들(2116)은 장치 냉각 열 교환기(2200)와 공정 설비들(2100)를 연결할 수 있다. 공정 냉각수(2118)는 공정 냉각수 순환 배관들(2116)을 통해 순환될 수 있다. 공정 냉각수 순환 배관들(2116)은 공정 냉각수 공급 배관(2112)과 공정 냉각수 회수 배관(2114)을 포함할 수 있다.
냉각 장치(100)의 냉동기(200)는 하부 영역(2010) 내에 배치될 수 있다. 냉동기(200)는 제 1 냉수(2240)를 냉각할 수 있다.
제 1 냉수 순환 배관들(2230)은 냉동기(200)와 장치 냉각 열 교환기(2200)를 연결할 수 있다. 제 1 냉수(2240)는 제 1 냉수 순환 배관들(2230)를 통해 순환될 수 있다. 제 1 냉수 순환 배관들(2230)은 제 1 냉수 공급 배관(2210)과 제 2 냉수 회수 배관(2220)을 포함할 수 있다.
룸 냉각 열 교환기(2300)는 하부 벽(2030) 상에 배치될 수 있다. 룸 냉각 열 교환기(2300)는 제 2 냉수(2340)를 이용하여 상부 영역(2020) 내의 실내 공기를 냉각할 수 있다.
제 2 냉수 순환 배관들(2330)은 룸 냉각 열 교환기(2300)와 냉동기(200)를 연결할 수 있다. 제 2 냉수(2340)는 제 2 냉수 순환 배관들(2330)을 통해 순환될 수 있다. 제 2 냉수 순환 배관들(2330)은 제 2 냉수 공급 배관(2310)과 제 2 냉수 회수 배관(2320)을 포함할 수 있다.
히터(2400)는 하부 영역(2010) 내에 배치될 수 있다. 히터(2400)는 하우징(2000) 내의 실내 공기를 가열할 수 있다. 가열된 실내 공기는 대류에 의해 하우징(2000) 내부 전체에 순환될 수 있다.
냉각 장치(100)의 제 1 냉각 탑(310)과 제 2 냉각 탑(410)은 하우징(2000) 상에 배치될 수 있다. 냉각 장치(100)는 도 3와 동일하게 구성되고, 하우징(2000) 상에서의 백연을 방지할 수 있다.
따라서, 반도체 제조 시스템(3000) 인근의 주민으로부터 민원 발생을 최소화할 수 있다.
도 6은 도 4의 냉각 장치(110)를 구비한 반도체 제조 시스템(3000)을 보여준다. 냉각 장치(110)의 제 1 냉각수 저장 탱크(810)와 제 2 냉각 탑(910)은 하우징(2000) 상에 배치될 수 있다. 냉각 장치(110)는 도 4와 동일하게 구성되고, 하우징(2000) 상에서의 백연을 방지할 수 있다. 하우징(2000), 공정 설비들(2100), 장치 냉각 열 교환기(2200), 룸 냉각 열 교환기(2300), 및 히터(2400)는 도 5와 동일하게 구성될 수 있다.
이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니며, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (10)

  1. 냉동기;
    상기 냉동기에 제공되는 제 1 냉각수를 외기에 냉각하는 제 1 냉각 유닛; 및
    상기 제 1 냉각 유닛에 제공되는 제 2 냉각수를 냉각하는 제 2 냉각 유닛을 포함하고,
    상기 제 1 냉각 유닛은:
    상기 제 1 냉각수를 냉각하는 제 1 냉각 탑;
    상기 제 1 냉각 탑과 상기 냉동기를 연결하는 제 1 냉각수 공급 배관과, 제 1 냉각수 회수 배관;
    상기 제 1 냉각수 공급 배관과 상기 제 1 냉각수 회수 배관을 연결하는 제 1 냉각수 우회 배관;
    제 1 냉각수 회수 배관에 배치되고, 상기 제 2 냉각수를 사용하여 상기 제 1 냉각수를 냉각하는 열 교환기;
    상기 열 교환기와 상기 제 1 냉각수 우회 배관 사이의 상기 제 1 냉각수 회수 배관에서 분기되고, 상기 열 교환기와 상기 제 1 냉각 탑 사이의 상기 제 1 냉각수 회수 배관에 다시 연결된 열 교환기 우회 배관; 및
    상기 열 교환기 우회 배관과 상기 제 1 냉각수 우회 배관 사이를 연결하는 2 중 우회 배관을 포함하고,
    상기 제 2 냉각 유닛은 상기 외기와 상기 제 1 냉각수의 온도 차이에 따라 상기 제 1 냉각수에 대해 제 2 냉각수를 독립적으로 순환하고, 상기 제 2 냉각수를 상기 제 1 냉각수에 혼합하도록 구성되는 냉각 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 냉각수와 상기 제 2 냉각수는 상기 온도 차이가 12℃보다 클 때 독립적으로 순환되고, 상기 온도 차이가 상기 12℃ 이하일 때 혼합되는 냉각 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 냉각 유닛은:
    상기 제 1 냉각수 우회 배관에 배치된 제 1 냉각수 우회 조절 밸브:
    상기 열 교환기 우회 배관에 배치된 열 교환기 우회 조절 밸브;
    상기 제 2 중 우회 배관에 배치된 2 중 우회 밸브; 및
    상기 열 교환기 및 상기 열 교환기 우회 배관 사이의 상기 제 1 냉각수 회수 배관에 배치되고, 상기 제 1 냉각수의 온도를 감지하는 제 1 온도 센서를 더 포함하고,
    상기 제 1 냉각수 우회 조절 밸브, 상기 열 교환기 우회 조절 밸브, 및 상기 2 중 우회 밸브는 상기 제 1 온도 센서에서의 온도에 의해 제어되는 냉각 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 2 냉각 유닛은:
    상기 열 교환기에 제공되는 상기 제 2 냉각수를 냉각하는 제 2 냉각 탑;
    상기 제 2 냉각 탑과 상기 열 교환기 사이의 제 2 냉각수 공급 배관과 제 2 냉각수 회수 배관; 및
    상기 제 2 냉각수 공급 배관과 상기 제 2 냉각수 회수 배관을 연결하는 제 2 냉각수 우회 배관을 포함하는 냉각 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 제 2 냉각 유닛은:
    상기 냉동기에 제공되는 상기 제 1 냉각수에 상기 제 2 냉각수를 혼합하하는 제 1 혼합 공급 배관; 및
    상기 냉동기로부터 회수되는 상기 제 1 냉각수를 상기 제 2 냉각수에 혼합하는 제 1 혼합 회수 배관을 더 포함하되,
    상기 제 1 혼합 공급 배관은 상기 제 2 냉각 탑과 상기 제 2 냉각수 우회 배관 사이의 상기 제 2 냉각수 공급 배관에서 분기되어 상기 제 1 냉각 탑과 상기 제 1 냉각수 우회 배관 사이의 상기 제 1 냉각수 공급 배관에 연결되고,
    상기 제 1 혼합 회수 배관은 상기 제 1 냉각수 우회 배관과 상기 열 교환기 사이의 상기 제 1 냉각수 회수 배관에서 분기되어 상기 열 교환기와 상기 제 2 냉각 탑 사이의 상기 제 2 냉각수 회수 배관에 연결된 냉각 장치.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 제 2 냉각 유닛은:
    상기 제 2 냉각수 우회 배관에 배치되어 상기 제 2 냉각수의 우회 유량을 제어하는 제 2 냉각수 우회 조절 밸브; 및
    상기 제 2 냉각수 우회 배관과 상기 제 2 냉각 탑 사이의 상기 제 2 냉각수 회수 배관에 배치되고, 상기 제 2 냉각수 온도를 감지하는 제 2 온도 센서를 더 포함하고,
    상기 제 2 냉각수 우회 조절 밸브는 상기 제 2 온도 센서에서의 온도에 의해 제어되는 냉각 장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 냉각 탑은:
    상기 제 1 냉각수를 저장하는 제 1 냉각수 저장 탱크; 및
    상기 제 1 냉각수 회수 배관에 연결되고 상기 제 1 냉각수 저장 탱크에 상기 제 1 냉각수를 살수하는 제 1 냉각수 살수 부를 포함하고,
    상기 제 1 냉각 유닛은:
    상기 제 1 냉각수 회수 배관에서 상기 제 1 냉각수 저장 탱크로 연결된 제 1 냉각수 살수 우회 배관을 더 포함하는 냉각 장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 냉각 유닛은:
    제 1 냉각수를 저장하는 제 1 냉각수 저장 탱크; 및
    상기 제 1 냉각수 저장 탱크와 상기 냉동기를 연결하는 제 1 냉각수 공급 배관과 제 1 냉각수 회수 배관을 포함하고,
    상기 제 2 냉각 유닛은:
    상기 제 2 냉각수를 저장하는 제 2 냉각수 저장 탱크와, 상기 제 2 냉각수 저장 탱크에 상기 제 2 냉각수를 살수하는 냉각수 살수 부를 구비한 제 2 냉각 탑; 및
    상기 제 2 냉각수 저장 탱크와 상기 냉각수 살수 부를 연결하는 제 2 냉각수 순환 배관을 포함하고,
    상기 제 1 냉각수 저장 탱크와 상기 제 2 냉각수 저장 탱크는 방열 판으로 연결된 냉각 장치.
KR1020140082553A 2014-03-25 2014-07-02 냉각 장치 및 그를 포함하는 시스템 KR102200939B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14/645,870 US9920997B2 (en) 2014-03-25 2015-03-12 Cooling apparatus and system including the same

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140034662 2014-03-25
KR20140034662 2014-03-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150111805A KR20150111805A (ko) 2015-10-06
KR102200939B1 true KR102200939B1 (ko) 2021-01-12

Family

ID=54345146

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140082553A KR102200939B1 (ko) 2014-03-25 2014-07-02 냉각 장치 및 그를 포함하는 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102200939B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109442802B (zh) * 2018-11-29 2024-04-09 宁波杭州湾新区祥源动力供应有限公司 一种双效冷水机组冷热联供系统
KR102516033B1 (ko) * 2022-04-11 2023-03-29 전억식 냉각 장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012072921A (ja) * 2010-09-27 2012-04-12 Sanki Eng Co Ltd フリークーリング併用中温熱源システム
KR101255590B1 (ko) * 2012-12-04 2013-04-16 주식회사 성지공조기술 냉각탑을 구비한 외기냉방시스템

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100791424B1 (ko) * 2006-05-22 2008-01-07 허인랑 냉수 제조 시스템

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012072921A (ja) * 2010-09-27 2012-04-12 Sanki Eng Co Ltd フリークーリング併用中温熱源システム
KR101255590B1 (ko) * 2012-12-04 2013-04-16 주식회사 성지공조기술 냉각탑을 구비한 외기냉방시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150111805A (ko) 2015-10-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9920997B2 (en) Cooling apparatus and system including the same
JP6983770B2 (ja) 地域熱エネルギー配給システム
CN104320953B (zh) 一种二次水环路服务器机柜散热系统
JP6568938B2 (ja) 複合熱源を利用したヒートポンプ冷暖房システムおよびその制御方法
US20210293417A1 (en) Energy distributing system
CN105491862A (zh) 用于数据中心机柜的液冷装置、液冷机柜和液冷系统
JP5601068B2 (ja) 空調システムおよび空調システム制御方法
CN105491863A (zh) 用于数据中心机柜的冷却装置、机柜和冷却系统
US11297742B2 (en) Thermal containment system with integrated cooling unit for waterborne or land-based data centers
KR102200939B1 (ko) 냉각 장치 및 그를 포함하는 시스템
KR20170007891A (ko) 이중 비닐하우스의 냉기 순환장치
EP3213000B1 (en) System and method of cooling by latent energy transfer
CN104534598B (zh) 采用双水源热泵的机房空调热水系统及其控制方法
WO2019152913A3 (en) Water cooling system
KR101478101B1 (ko) 유리 온실용 지열 동시 냉난방 장치
US10697654B2 (en) Air-conditioning system of a building
KR101647285B1 (ko) 단일의 열교환기를 이용하여 축냉 및 방냉 또는 축열 및 방열을 순차 또는 동시에 수행하는 수축열 냉난방장치 및 이의 제어방법
JP6373144B2 (ja) 発熱機器を収容した室の廃熱方法および廃熱システム
US20130186117A1 (en) System and method to process inlet air
JP4854399B2 (ja) 冷水製造システム
JP3209642U (ja) 気化冷熱利用植物工場システム
JP2016220331A (ja) 太陽電池パネル冷却システム
NO341901B1 (no) Fremgangsmåte for å kjøle tilførselsluft
CN206459388U (zh) 空调蒸发器蒸发冷凝装置
US20180128497A1 (en) Central solar water heater system for a multi-story building

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant