KR102198179B1 - A vacuum attachment system for the substrate touch panel and a vacuum attachment method for the substrate touch panel using the system - Google Patents

A vacuum attachment system for the substrate touch panel and a vacuum attachment method for the substrate touch panel using the system Download PDF

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Abstract

본 발명은 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템 및 그 시스템을 이용하여 터치 패널용 기판 진공 합착 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템은 로테이션 방식으로 터치 패널을 구성하는 상부기판과 하부기판을 진공 합착할 수 있도록 챔버가 외곽에 4분할 구성되는 턴테이블유닛 및 상기 턴테이블유닛에 전기를 공급하는 슬립링을 포함한다. 그리고 상기 상부기판과 하부기판의 촬상하여 좌표를 확인하는 비전유닛, 상부기판을 공급하는 이송공급장치 및 상기 상부기판과 하부기판을 진공 합착하는 진공 프레스장치를 포함한다.The present invention relates to a substrate vacuum bonding system for a touch panel and a substrate vacuum bonding method for a touch panel using the system. A substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention includes a turntable unit in which a chamber is divided into 4 parts and the turntable unit so that the upper and lower substrates constituting the touch panel can be vacuum bonded to each other in a rotation method. It includes a slip ring that supplies electricity. And a vision unit for checking the coordinates by photographing the upper and lower substrates, a transfer supply device for supplying the upper substrate, and a vacuum press device for vacuum bonding the upper and lower substrates.

Description

터치 패널용 기판 진공 합착 시스템 및 그 시스템을 이용하여 터치 패널용 기판 진공 합착 방법{A VACUUM ATTACHMENT SYSTEM FOR THE SUBSTRATE TOUCH PANEL AND A VACUUM ATTACHMENT METHOD FOR THE SUBSTRATE TOUCH PANEL USING THE SYSTEM}A vacuum bonding system for a touch panel and a vacuum bonding method for a substrate for a touch panel by using the system {A VACUUM ATTACHMENT SYSTEM FOR THE SUBSTRATE TOUCH PANEL AND A VACUUM ATTACHMENT METHOD FOR THE SUBSTRATE TOUCH PANEL USING THE SYSTEM}

본 발명은 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 터치 패널을 구성하는 기판들을 진공으로 합착하기 위한 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템 및 그 시스템을 이용하여 터치 패널용 기판 진공 합착 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate vacuum bonding system for a touch panel. In more detail, the present invention relates to a substrate vacuum bonding system for a touch panel for bonding substrates constituting the touch panel by vacuum, and a vacuum bonding method for a substrate for a touch panel using the system.

예컨대, 터치 패널은 문장과 그림 등이 표시되어 있는 위치를 직접 터치하여 기기를 제어할 수 있는 투명스위치패널로서, 적외선을 사용한 광학식과 폴리에스테르필름에 인듐산화 주석(ITO) 막을 피복한 투명 도전막의 접점을 사용하는 투명전극방식, 스테인리스 강선을 투명 도전성 필름에 묻은 투명 도전성 필름방식, 정전용량의 변화를 검출하는 정전용량방식, 패널에 닿은 손끝의 압력을 패널 주변에 배치한 압력센서에 대한 힘의 배분으로부터 위치를 감지하는 방식 등이 실용화되고 있다.For example, a touch panel is a transparent switch panel that can control a device by directly touching the position where text and pictures are displayed.It is an optical type using infrared and a transparent conductive film coated with an indium tin oxide (ITO) film on a polyester film. The transparent electrode method using a contact point, the transparent conductive film method in which stainless steel wire is embedded in the transparent conductive film, the capacitance method that detects the change in capacitance, the pressure of the fingertip touching the panel is applied to the pressure sensor placed around the panel. A method of detecting the position from distribution is being put into practice.

이러한 터치 패널은 전술한 바와 같이, 다층으로 구성되어 있으므로, 각 구성요소들을 합착하는 공정을 진행하고 있으며, 대표적으로 광학용 투명접착필름(Optically Clear Adhesive: OCA)을 통해 합착하고 있다. 즉 상기 터치 패널을 구성하는 구성요소 사이에 광학용 투명접착필름을 구성하여 합착하고 있다.As described above, since the touch panel is composed of multiple layers, a process of bonding each component is in progress, and is typically bonded through an optically clear adhesive (OCA). That is, an optical transparent adhesive film is formed and bonded between the components constituting the touch panel.

여기서 상기 터치 패널을 구성하는 커버 글라스와 광학용 투명접착필름은 진공 합착 시스템을 통해 합착이 이루어지고 있다. 상기 진공 합착 시스템은 (특허문헌 1)에 구체적으로 개시되어 있으므로, 이를 참조하여 설명하면 다음과 같다.Here, the cover glass constituting the touch panel and the optically transparent adhesive film are bonded through a vacuum bonding system. Since the vacuum bonding system is specifically disclosed in (Patent Document 1), it will be described with reference to it as follows.

(특허문헌 1)에 따르면, 종래기술은 커버 글라스와 하부기판을 이송하는 이송모듈, 진공 챔버, 얼라인 로딩부, 진공수단, CCD 카메라부, 합착 수단, 진공 배기수단, 경화처리부, 언로딩 수단 및 로더부 등으로 구성되어 있다. 그리고 상기 진공 챔버는 커버 글라스를 정전방식으로 고정하는 정전척(ESC)을 구성하고 있다.According to (Patent Document 1), the prior art is a transfer module for transferring a cover glass and a lower substrate, a vacuum chamber, an alignment loading unit, a vacuum means, a CCD camera unit, a bonding unit, a vacuum evacuation unit, a curing treatment unit, an unloading unit. And a loader unit. In addition, the vacuum chamber constitutes an electrostatic chuck (ESC) for fixing the cover glass in an electrostatic manner.

그러나 종래기술은 단일 구성의 진공 챔버를 통해 커버 글라스와 하부기판의 진공 합착 공정이 이루어지고 있어 진공 합착을 위한 공정 후 다음 진공 합착을 위한 공정을 준비하는 시간이 과다하게 소요되는 등의 작업성에 문제점이 있다.However, in the prior art, since the vacuum bonding process of the cover glass and the lower substrate is performed through a single vacuum chamber, it takes too much time to prepare the process for the next vacuum bonding after the process for vacuum bonding. There is this.

대한민국 등록특허공보 제10-1213199호Republic of Korea Patent Publication No. 10-1213199

본 발명의 목적은 터치 패널을 구성하는 기판들을 진공으로 합착하기 위한 진공 합착 공정을 로테이션 방식으로 개선하여 작업성을 용이하게 향상시킬 수 있도록 한 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템 및 그 시스템을 이용하여 터치 패널용 기판 진공 합착 방법을 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to improve the vacuum bonding process for bonding the substrates constituting the touch panel with a vacuum using a rotation method to easily improve workability, and a vacuum bonding system for a touch panel and a touch using the system It is to provide a substrate vacuum bonding method for panels.

상기 과제를 해결하기 위하여,In order to solve the above problem,

본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템은 베이스프레임(Base Frame);A substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention includes a base frame;

상기 베이스프레임의 상부에 회전 가능하게 설치되며, 터치 패널을 구성하는 상부기판과 하부기판을 합착하기 위한 정전척(ESC) 또는 고무척으로 구성된 스테이지(Stage)가 상부에 구비된 하부 챔버(Lower Chamber)가 안착되는 챔버안착부가 외곽에 4분할 구성된 턴테이블을 포함하는 턴테이블유닛(Turn Table Unit);The lower chamber is rotatably installed on the upper part of the base frame and has an electrostatic chuck (ESC) or a stage composed of rubber chuck for bonding the upper and lower substrates constituting the touch panel. ) A turntable unit including a turntable configured to be divided into four sections on the outer side of the chamber seating unit (Turn Table Unit);

상기 스테이지에 전기를 공급할 수 있도록 턴테이블유닛의 구동축에 설치되되, 베이스프레임의 내부공간으로 돌출된 상기 구동축의 하단에 설치된 슬립링(Slipring);A slip ring installed on the drive shaft of the turntable unit so as to supply electricity to the stage, and installed at the lower end of the drive shaft protruding into the inner space of the base frame;

상기 베이스프레임의 상부에 설치되어 스테이지의 상부에 공급된 하부기판을 카메라모듈로 촬상하여 좌표를 확인하는 제1 비전유닛(Vision Unit)을 포함하는 얼라인 장치(Aligner);An alignment device (Aligner) including a first vision unit (Vision Unit) that is installed on the upper part of the base frame to check the coordinates by photographing the lower substrate supplied to the upper part of the stage with a camera module;

상기 베이스프레임의 상부에 설치되어 진공 패드(Vacuum Pad)를 통해 상부기판을 흡착하고 이송하여 스테이지에 공급된 하부기판의 상부에 상기 상부기판을 공급하는 이송공급장치(Transfer); 및A transfer device installed on the base frame to adsorb and transfer the upper substrate through a vacuum pad to supply the upper substrate to the upper part of the lower substrate supplied to the stage; And

상기 이송공급장치와 교차방향으로 배치되도록 베이스프레임의 상부에 설치되어 스테이지에 공급된 상부기판과 하부기판을 상부 챔버의 승강을 통해 진공 합착하는 진공 프레스장치(Vacuum Press);A vacuum press device installed on the upper part of the base frame so as to be disposed in a direction crossing the transfer supply device, and vacuum bonding the upper and lower substrates supplied to the stage through the lifting of the upper chamber;

를 포함할 수 있다.It may include.

또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템에 있어서, 상기 상부기판은 커버 글라스(CG)이고, 하부기판은 광학용 투명접착필름(OCA)일 수 있다.In addition, in the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention, the upper substrate may be a cover glass (CG), and the lower substrate may be an optical transparent adhesive film (OCA).

또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템에 있어서, 상기 턴테이블은 사각형태로 형성되어 각 꼭짓점에 챔버안착부가 구성될 수 있다.In addition, in the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention, the turntable may be formed in a rectangular shape, so that a chamber seat may be configured at each vertex.

또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템에 있어서, 상기 턴테이블은 베이스프레임의 상부에 설치된 실린더타입 테이블서포트유닛(Table Support Unit)을 통해 하부 챔버가 승강 가능하도록 각 챔버안착부에 통로부가 형성될 수 있다.In addition, in the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention, the turntable is mounted in each chamber so that the lower chamber can be elevated through a cylinder type table support unit installed on an upper portion of the base frame. A passage part may be formed in the part.

또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템에 있어서, 상기 하부 챔버는 두 개의 스테이지를 수용할 수 있는 수용공간이 상부에 마련될 수 있다.In addition, in the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention, the lower chamber may have an accommodation space for accommodating two stages thereon.

또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템에 있어서, 상기 베이스프레임의 상부에 설치되고, 이송공급장치의 하부에 배치되며, 상기 이송공급장치가 흡착한 상부기판을 카메라모듈로 촬상하여 좌표를 확인하는 제2 비전유닛; 및In addition, in the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention, the upper substrate installed on the base frame, disposed under the transfer supply device, and the upper substrate adsorbed by the transfer supply device is a camera module. A second vision unit for checking the coordinates by taking an image; And

상기 제2 비전유닛을 통해 확인한 좌표에 따라 상부기판의 위치를 보정하는 위치보정모듈(UVW Stage);A position correction module (UVW Stage) for correcting the position of the upper substrate according to the coordinates checked through the second vision unit;

를 더 포함할 수 있다.It may further include.

또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템에 있어서, 상기 이송공급장치와 교차방향으로 배치되도록 베이스프레임의 상부에 설치되어 스테이지에 공급된 하부기판의 표면에 부착된 보호필름을 필링 롤러(Peeling Roller)의 수평방향 이송을 통해 박리하는 박리유닛(Peeler);In addition, in the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention, a protective film attached to the surface of the lower substrate supplied to the stage is installed on the upper part of the base frame so as to be disposed in a direction crossing the transfer supply device. Peeling unit (Peeler) for peeling through the horizontal transfer of the peeling roller (Peeling Roller);

을 더 포함할 수 있다.It may further include.

또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템에 있어서, 상기 베이스프레임의 상부에 설치되어 박리유닛을 통해 하부기판에서 제거된 보호필름이 투입되는 바스켓(Basket); 및In addition, in the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention, a basket installed on the base frame and into which the protective film removed from the lower substrate through the peeling unit is put; And

상기 베이스프레임의 하부에 이동 가능하게 설치되어 바스켓에 투입된 보호필름이 적재되는 적재함;A loading box which is movably installed under the base frame and loaded with a protective film injected into the basket;

을 더 포함할 수 있다.It may further include.

한편, 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 방법은 (a) 스테이지의 상부에 하부기판을 공급하고, 실린더타입 테이블서포트유닛을 하강시킨 상태에서 구동축과 구동모터의 연동을 통해 턴테이블유닛을 로테이션시키고, 상기 실린더타입 테이블서포트유닛을 상승시키는 단계;On the other hand, the vacuum bonding method for a substrate for a touch panel according to an embodiment of the present invention includes (a) supplying a lower substrate to the upper portion of the stage and lowering the cylinder-type table support unit, and then interlocking the drive shaft with the drive motor. Rotating the unit and raising the cylinder type table support unit;

(b) 상기 하부기판의 표면에 부착된 보호필름에 박리유닛의 필링 롤러를 접촉시킨 상태에서 상기 필링 롤러를 수평방향으로 이송하여 상기 보호 필름을 박리한 후 바스켓에 투입하는 단계;(b) transferring the peeling roller in a horizontal direction in a state in which the peeling roller of the peeling unit is in contact with the protective film attached to the surface of the lower substrate to peel the protective film and then putting it into a basket;

(c) 상기 스테이지의 상부에 공급된 하부기판을 얼라인 장치의 제1 비전유닛을 통해 촬상하여 좌표를 확인하는 단계;(c) checking coordinates by taking an image of the lower substrate supplied to the upper portion of the stage through a first vision unit of an alignment device;

(d) 상기 하부기판의 상부에 공급되는 상부기판을 이송공급장치의 진공 패드로 파지하고, 제2 비전유닛을 통해 상기 상부기판을 촬상하여 좌표를 확인한 후 하부기판의 상부에 상부기판이 공급하고, 실린더타입 테이블서포트유닛을 하강시킨 상태에서 턴테이블유닛을 로테이션하는 단계;(d) The upper substrate supplied to the upper part of the lower substrate is gripped with a vacuum pad of the transfer supply device, and the upper substrate is imaged through a second vision unit to check the coordinates, and then the upper substrate is supplied to the upper part of the lower substrate. , Rotating the turntable unit in a state in which the cylinder type table support unit is lowered;

(e) 상기 실린더타입 테이블서포트유닛을 통해 하부 챔버를 상승시키고, 승강장치를 통해 진공 프레스장치를 하강시켜 상부기판과 하부기판을 상기 진공 프레스장치의 상부 챔버와 하부 챔버를 통해 진공 합착하는 단계; 및(e) raising the lower chamber through the cylinder type table support unit and lowering the vacuum press device through the lifting device to vacuum-bond the upper and lower substrates through the upper and lower chambers of the vacuum press device; And

(f) 상기 승강장치를 통해 진공 프레스장치를 상승시키고, 실린더타입 테이블서포트유닛을 통해 하부 챔버를 하강시킨 후 턴테이블유닛을 로테이션하여 서로 합착된 상부기판과 하부기판을 스테이지에서 언로딩하는 단계;(f) lifting the vacuum press device through the lifting device, lowering the lower chamber through the cylinder type table support unit, and rotating the turntable unit to unload the upper and lower substrates bonded to each other on the stage;

를 포함할 수 있다.It may include.

또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템에 있어서, 상기 (a) 단계는 스테이지의 상부에 공급된 하부기판을 상부롤러로 롤링하는 단계;In addition, in the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention, the step (a) includes the steps of rolling a lower substrate supplied to an upper portion of the stage with an upper roller;

를 포함할 수 있다.It may include.

또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템에 있어서, 상기 (d) 단계는 제2 비전유닛을 통해 확인한 좌표에 따라 위치보정모듈을 통해 상부기판의 위치를 보정하는 단계;In addition, in the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention, the step (d) includes: correcting the position of the upper substrate through the position correction module according to the coordinates checked through the second vision unit;

를 포함할 수 있다.It may include.

이러한 해결 수단은 첨부된 도면에 의거한 다음의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용으로부터 더욱 명백해질 것이다.This solution will become more apparent from the detailed contents for carrying out the following invention based on the accompanying drawings.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Prior to this, terms or words used in the present specification and claims should not be interpreted in a conventional and dictionary meaning, and the inventor should appropriately define the concept of terms in order to explain his own invention in the best way. It should be interpreted as a meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be.

본 발명의 일실시 예에 따르면, 턴테이블유닛을 통해 합착 공정을 로테이션 방식으로 개선함으로써, 합착 공정의 작업성을 용이하게 향상시킬 수 있으며, 이에 따라 터치 패널의 대량생산이 용이하다.According to an embodiment of the present invention, by improving the bonding process by a rotation method through the turntable unit, the workability of the bonding process can be easily improved, and accordingly, mass production of the touch panel is easy.

또한, 본 발명의 일실시 예에 따르면, 각각의 비전유닛을 통해 상부기판과 하부기판의 좌표를 확인하여 합착 위치를 보정 가능함으로써, 합착 공정의 신뢰성을 효과적으로 향상시킬 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, it is possible to correct the bonding position by checking the coordinates of the upper and lower substrates through each of the vision units, thereby effectively improving the reliability of the bonding process.

한편, 본 발명의 일실시 예에 따르면, 터치 패널을 구성하는 상부기판과 하부기판의 합착 공정이 로테이션 방식으로 순차적으로 실시됨으로써, 작업능률을 향상시켜 작업편리성은 물론이고, 합착 공정의 신뢰성을 효과적으로 향상시킬 수 있다.On the other hand, according to an embodiment of the present invention, the bonding process of the upper substrate and the lower substrate constituting the touch panel is sequentially carried out in a rotation method, thereby improving work efficiency, thereby effectively improving the reliability of the bonding process as well as work convenience. Can be improved.

도 1 내지 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템을 나타내 보인 사시도.
도 3은 도 1에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템을 옆에서 바라봤을 때를 나타내 보인 측면도.
도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템의 얼라인 장치를 나타내 보인 사시도.
도 5는 도 1에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템에서 얼라인 장치와 진공 프레스장치를 제거하여 나타내 보인 사시도.
도 6은 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템의 턴테이블유닛을 나타내 보인 사시도.
도 7은 도 6에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템을 위에서 바라봤을 대를 나타내 보인 평면도.
도 8은 도 6에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템을 옆에서 바라봤을 대를 나타내 보인 측면도.
도 9는 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템의 하부 챔버를 나타내 보인 사시도.
1 to 2 are perspective views showing a substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a side view showing the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to FIG. 1 when viewed from the side.
4 is a perspective view showing an alignment device of a substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention.
5 is a perspective view showing an alignment device and a vacuum press device removed from the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to FIG. 1.
6 is a perspective view showing a turntable unit of a substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a plan view showing the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to FIG. 6 as viewed from above.
FIG. 8 is a side view showing the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to FIG. 6 as viewed from the side.
9 is a perspective view showing a lower chamber of a substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 특이한 관점, 특정한 기술적 특징들은 첨부된 도면들과 연관되는 이하의 구체적인 내용과 일실시 예로부터 더욱 명백해 질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조 부호를 부가함에 있어, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 일실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Specific aspects and specific technical features of the present invention will become more apparent from the following specific content and one embodiment associated with the accompanying drawings. In the present specification, in adding reference numerals to elements of each drawing, it should be noted that the same elements are assigned the same numerals as possible even if they are indicated on different drawings. In addition, in describing an embodiment of the present invention, when it is determined that a detailed description of a related known configuration or function may obscure the subject matter of the present invention, a detailed description thereof will be omitted.

또한, 본 발명의 구성요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 또 다른 구성요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In addition, in describing the constituent elements of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), (b) may be used. These terms are only for distinguishing the component from other components, and the nature, order, or order of the component is not limited by the term. When a component is described as being "connected", "coupled" or "connected" to another component, the component may be directly connected or connected to that other component, but another component between each component It should be understood that elements may be “connected”, “coupled” or “connected”.

이하, 본 발명의 일실시 예를 첨부된 도면에 의거하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템을 나타내 보인 사시도로서, 베이스프레임(10)의 상부 중심부에 턴테이블유닛(20)이 설치되고, 상기 턴테이블유닛(20)의 상부에 진공 프레스장치(80)가 설치되며, 상기 진공 프레스장치(80)와 교차방향으로 이송공급장치(70)가 배치된 결합관계를 나타내 보이고 있다.1 to 2 are perspective views showing a substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention, in which a turntable unit 20 is installed in the upper center of the base frame 10, and the turntable unit 20 The vacuum press device 80 is installed on the top of the vacuum press device 80 and the transfer supply device 70 is disposed in a crosswise direction.

도 3은 도 1에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템을 옆에서 바라봤을 때를 나타내 보인 측면도로서, 베이스프레임(10)의 상부 중심부에 설치된 턴테이블유닛(20)의 상부 양측에 진공 프레스장치(80) 및 박리유닛(100)이 배치되고, 상기 박리유닛(100)의 하부에 바스켓(110)과 적재함(120)이 배치된 결합관계를 나타내 보이고 있다.3 is a side view showing the vacuum bonding system for a touch panel according to FIG. 1 as viewed from the side, and vacuum press devices 80 on both upper sides of the turntable unit 20 installed in the upper center of the base frame 10 ) And the peeling unit 100 are disposed, and the basket 110 and the loading box 120 are disposed below the peeling unit 100.

도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템의 얼라인 장치(60)를 나타내 보인 사시도로서, 이송모듈(63)의 하부에 제1 카메라모듈(62)이 설치되어 구성된 제1 비전유닛(60)을 포함하는 얼라인 장치(60)의 전체적인 구성을 나타내 보이고 있다.4 is a perspective view showing an alignment device 60 of a substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention, in which a first camera module 62 is installed under the transfer module 63 The overall configuration of the alignment device 60 including the first vision unit 60 is shown.

도 5는 도 1에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템에서 얼라인 장치와 진공 프레스장치를 제거하여 나타내 보인 사시도로서, 베이스프레임(10)의 상부에 설치된 턴테이블유닛(20)을 중심으로 양측에 박리유닛(100)과 진공 프레스장치(80)가 배치되고, 상기 진공 프레스장치(80)와 교차방향으로 이송공급장치(70)가 배치된 결합관계를 나타내 보이고 있다.5 is a perspective view showing an alignment device and a vacuum press device removed from the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to FIG. 1, and peeled on both sides around the turntable unit 20 installed on the base frame 10 The unit 100 and the vacuum press device 80 are disposed, and the vacuum press device 80 and the transfer supply device 70 are disposed in a crosswise direction.

도 6은 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템의 턴테이블유닛(20)을 나타내 보인 사시도로서, 베이스프레임(10)의 상부에 턴테이블유닛(20)이 회전 가능하게 설치되고, 턴테이블(21)의 외곽에 4개의 하부 챔버(30)가 안착되며, 각각의 하부 챔버(30)의 상부에 두 개의 스테이지(31)이 구비된 결합관계를 나타내 보이고 있다.6 is a perspective view showing a turntable unit 20 of a substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention, in which the turntable unit 20 is rotatably installed on an upper portion of the base frame 10, Four lower chambers 30 are mounted on the outer periphery of the turntable 21, and the two stages 31 are provided above each lower chamber 30, showing a coupling relationship.

도 7은 도 6에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템을 위에서 바라봤을 대를 나타내 보인 평면도로서, 사각형태로 형성된 턴테이블(21)의 각 꼭짓점에 일체로 형성되어 4분할 구성된 챔버안착부(21a)의 상부에 4개의 하부 챔버(30)가 안착되고, 각각의 하부 챔버(30)의 내부에 두 개의 스테이지(31)이 구비된 결합관계를 나타내 보이고 있다.FIG. 7 is a plan view showing the vacuum bonding system for a touch panel according to FIG. 6 as viewed from above, and is integrally formed at each vertex of the turntable 21 formed in a quadrangular shape, and a chamber seating portion 21a configured in four divisions The four lower chambers 30 are mounted on the upper part of each of the lower chambers 30, and the two stages 31 are provided inside each of the lower chambers 30, showing a coupling relationship.

도 8은 도 6에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템을 옆에서 바라봤을 대를 나타내 보인 측면도로서, 베이스프레임(10)의 내부공간(10a)으로 돌출된 턴테이블유닛(20)의 구동축(22)에 슬립링(40)이 설치되어 상기 내부공간(10a)에 배치된 결합관계를 나타내 보이고 있다.FIG. 8 is a side view showing the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to FIG. 6 as viewed from the side, and the drive shaft 22 of the turntable unit 20 protruding into the inner space 10a of the base frame 10 The slip ring 40 is installed on the inner space 10a to show a coupling relationship.

도 9는 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템의 하부 챔버를 나타내 보인 사시도로서, 하부 챔버(30)의 상부에 마련된 수용공간(30a)에 정전척(31a)과 고무척(31b)으로 구성된 스테이지(31)가 구비된 결합관계를 나타내 보이고 있다.9 is a perspective view showing a lower chamber of a vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention, and an electrostatic chuck 31a and a rubber chuck are provided in an accommodation space 30a provided above the lower chamber 30 It shows the coupling relationship provided with the stage 31 composed of (31b).

도 1 내지 9에서 보듯이, 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템은 터치 패널을 구성하는 상부기판과 하부기판을 합착하는 공정을 실시하기 위한 기판 본딩 머신(1)을 포함한다.1 to 9, the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention includes a substrate bonding machine 1 for performing a process of bonding the upper and lower substrates constituting the touch panel. do.

상기 기판 본딩 머신(1)은 베이스프레임(10), 상기 베이스프레임(10)의 상부에 회전 가능하게 설치되는 턴테이블유닛(20), 상기 턴테이블유닛의 구동축(22)에 설치되는 슬립링(40), 상기 상부기판을 촬상하여 좌표를 확인하는 제1 비전유닛(60)을 포함하는 얼라인 장치(60), 상기 상부기판을 이송공급하는 이송공급장치(70) 및 상기 상부기판과 하부기판을 진공 합착하는 진공 프레스장치(80)를 포함한다.The substrate bonding machine 1 includes a base frame 10, a turntable unit 20 rotatably installed on the base frame 10, and a slip ring 40 installed on a drive shaft 22 of the turntable unit. , An alignment device 60 including a first vision unit 60 for checking coordinates by photographing the upper substrate, a transfer supplying device 70 for transferring and supplying the upper substrate, and vacuuming the upper and lower substrates. It includes a vacuum press device 80 for bonding.

이에 부가하여 하부기판을 촬상하여 좌표를 확인하는 제2 비전유닛(90) 및 상기 하부기판의 표면에 부착된 보호필름을 박리하는 박리유닛(100) 등을 더 포함할 수 있다.In addition to this, a second vision unit 90 for checking coordinates by photographing the lower substrate and a peeling unit 100 for peeling the protective film attached to the surface of the lower substrate may be further included.

여기서 상기 상부기판은 예컨대, 터치 패널을 구성하는 커버 글라스(Cover Glass: CG)일 수 있다. 그리고 하부기판은 상기 커버 글라스를 다른 구성요소에 합착시키기 위한 광학용 투명접착필름(Optically Clear Adhesive: OCA)일 수 있다.Here, the upper substrate may be, for example, a cover glass (CG) constituting a touch panel. In addition, the lower substrate may be an optically clear adhesive (OCA) film for bonding the cover glass to other components.

다만, 이는 상부기판과 하부기판을 쉽게 설명 및 이해시키기 위하여 특정한 것일 뿐 이외에 OLED 등과 같이, 터치 패널을 구성하는 다른 구성요소일 수 있음을 사전에 밝혀둔다.However, it should be noted in advance that this may be other components constituting the touch panel, such as OLED, in addition to being specific in order to easily explain and understand the upper and lower substrates.

상기 베이스프레임(10)은 상부에 설치되는 턴테이블유닛(20)을 지지할 수 있도록 예컨대, 단면이 사각형인 통상의 수직프레임(11)과 수평프레임(12)을 상호 결합하여 구성하게 되며, 상부에 설치되는 평판의 선반(13)을 포함한다. 그리고 기판 본딩 머신(1)의 수평을 맞출 수 있도록 하부에 배열 설치되는 높낮이조절장치(14)를 더 포함할 수 있다.The base frame 10 is configured by mutually coupling a normal vertical frame 11 and a horizontal frame 12 having a rectangular cross section so as to support the turntable unit 20 installed thereon, and It includes a flat shelf 13 to be installed. In addition, it may further include a height adjustment device 14 arranged and installed in the lower portion so as to align the level of the substrate bonding machine (1).

이러한 베이스프레임(10)은 수직프레임(11)과 수평프레임(12)을 결합하여 구성됨에 따라 내부공간(10a)이 마련되는데, 상기 내부공간(10a)을 통해 턴테이블유닛(20)의 중심축인 구동축(22)의 하단 및 상기 구동축(22)의 하단에 설치되는 슬립링(40)을 수용토록 하게 된다.As the base frame 10 is configured by combining the vertical frame 11 and the horizontal frame 12, an inner space 10a is provided, which is the central axis of the turntable unit 20 through the inner space 10a. The slip ring 40 installed at the lower end of the drive shaft 22 and the lower end of the drive shaft 22 is accommodated.

상기 턴테이블유닛(20)은 하부 챔버(30)가 안착되는 챔버안착부(21a)가 외곽에 4분할 구성된 턴테이블(21) 및 상기 턴테이블(21)의 중심부에 설치되어 예컨대 인덱스 모터(Index Motor)로 실시되는 구동모터와 연동하여 구동하게 되며, 전술한 바와 같이, 하단이 내부공간(10a)으로 돌출되는 구동축(22)을 포함한다.The turntable unit 20 is installed in the center of the turntable 21 and the turntable 21 in which the chamber seating portion 21a on which the lower chamber 30 is seated is divided into four parts, for example, by an index motor. It is driven in conjunction with the driving motor to be implemented, and as described above, includes a drive shaft 22 protruding from the lower end to the inner space (10a).

상기 턴테이블(21)은 상면이 사각형태로 형성되어 각 꼭짓점에 챔버안착부(21a)가 구성된 일종의 4분할 인덱스(Index)로서, 하부 챔버(30)의 형상에 대응하여 상기 챔버안착부(21a)가 형성될 수 있는데, 예컨대 사각모양으로 형성된 챔버안착부(21a)를 도시하여 나타내 보이고 있다.The turntable 21 is a type of four-divided index in which the upper surface is formed in a rectangular shape and the chamber seating portion 21a is formed at each vertex. The chamber seating portion 21a corresponds to the shape of the lower chamber 30. Can be formed, for example, is shown by showing the chamber seating portion (21a) formed in a square shape.

또한, 상기 턴테이블(21)은 베이스프레임(10)의 상부에 설치된 실린더타입 테이블서포트유닛(이하 '테이블서포트유닛'이라 한다.)을 통해 하부 챔버(30)가 승강 가능하도록 상기 하부 챔버(30)가 안착되는 각 챔버안착부(21a)의 내측에 통로부(도 8의 23)가 형성되어 제공될 수 있다.In addition, the turntable 21 is the lower chamber 30 so that the lower chamber 30 can be raised and lowered through a cylinder-type table support unit (hereinafter referred to as'table support unit') installed above the base frame 10. A passage portion (23 in FIG. 8) may be formed and provided inside each chamber seating portion 21a on which is seated.

즉 상기 테이블서포트유닛(50)은 터치 패널의 상부기판과 하부기판의 합착 공정 과정에서 턴테이블(21)의 흔들림을 방지하고, 진공 프레스장치(80) 측으로 하부 챔버(30)를 승강시키기 위하여 베이스프레임(10)의 상부에 설치되어 운용될 수 있는데, 이 경우 테이블서포트유닛(50)을 통해 상기 하부 챔버(30)를 승강 가능하도록 각 챔버안착부(21a)의 내측에 통로부(23)가 형성되는 것이다.That is, the table support unit 50 prevents shaking of the turntable 21 during the bonding process of the upper substrate and the lower substrate of the touch panel, and the base frame is used to elevate the lower chamber 30 toward the vacuum press device 80. It can be installed and operated on the upper part of (10), in this case, a passage part 23 is formed inside each chamber seating part 21a so that the lower chamber 30 can be raised and lowered through the table support unit 50 It becomes.

여기서 상기 챔버안착부(21a)에 안착되는 하부 챔버(30) 및 상기 하부 챔버(30)의 상부에 구비되는 스테이지(31)는 이 기술분야에서 널리 알려진 공지의 구성으로서, 정전방식으로 하부기판을 탈부착하게 되는 정전척(31a) 또는 점착방식으로 하부기판을 탈부착하게 되는 고무척(31b)으로 구성되는 스테이지(31)가 단독 또는 복수로 수용 가능한 수용공간(30a)이 상부에 마련되어 상기 수용공간(30a)에 스테이지(31)이 구비됨으로써, 상기 스테이지(31)를 통해 상부기판과 하부기판의 합착 공정을 진행하게 된다.Here, the lower chamber 30 seated on the chamber seating part 21a and the stage 31 provided above the lower chamber 30 are known configurations widely known in the art, and the lower substrate is formed by an electrostatic method. A receiving space 30a in which the stage 31 consisting of an electrostatic chuck 31a to be detached or a rubber chuck 31b to attach and detach a lower substrate by an adhesive method is provided on the upper side is provided on the receiving space ( Since the stage 31 is provided in 30a), the bonding process of the upper substrate and the lower substrate is performed through the stage 31.

상기 슬립링(40)은 널리 알려진 바와 같이, 전동기나 발동기의 회전자(Rotor)에 전기를 공급하기 위하여 상기 회전자의 축에 설치되는 것으로서, 이를 기판 본딩 머신(1)에서 회전자인 턴테이블유닛(20)에 적용하여 스테이지(31)에 고전압의 전기를 공급하게 된다.As is widely known, the slip ring 40 is installed on the shaft of the rotor to supply electricity to the rotor of an electric motor or motor, and this is a turntable unit that is a rotor in the substrate bonding machine 1 ( By applying to 20), high voltage electricity is supplied to the stage 31.

즉 상기 턴테이블유닛(20)은 구동축(22)을 중심으로 회전하여 로테이션 방식으로 합착 공정을 실시하게 되는데, 슬립링(40)을 적용하지 않으면 각 스테이지(31)에 전기를 공급하는 전선이 서로 꼬여 턴테이블유닛(20)의 로테이션 방식을 용이하게 실시할 수 없게 된다.That is, the turntable unit 20 rotates around the drive shaft 22 to perform a bonding process in a rotation method. If the slip ring 40 is not applied, the wires supplying electricity to each stage 31 are twisted together. The rotation method of the turntable unit 20 cannot be easily implemented.

이를 해결하기 위하여 상기 슬립링(40)을 구동축(22)에 설치하여 스테이지(31)에 전기를 공급하도록 턴테이블유닛(20)을 구성하는 것이며, 이로 인하여 턴테이블(21)이 회전하더라도 전선이 서로 꼬이지 않아 턴테이블유닛(20)의 회전을 통한 로테이션 방식의 실시가 가능하게 된다.In order to solve this problem, the slip ring 40 is installed on the drive shaft 22 to configure the turntable unit 20 to supply electricity to the stage 31. Accordingly, even if the turntable 21 rotates, the wires are not twisted together. Therefore, it is possible to implement a rotation method through rotation of the turntable unit 20.

여기서 상기 슬립링(40)은 전술한 바와 같이, 내부공간(10a)으로 돌출되는 구동축(22)의 하단에 설치되어 외부와의 접촉을 방지함으로써, 안전사고위험을 줄일 수 있게 된다.Here, as described above, the slip ring 40 is installed at the lower end of the drive shaft 22 protruding into the inner space 10a to prevent contact with the outside, thereby reducing the risk of safety accidents.

따라서 본 발명의 일실시 예에 따르면, 턴테이블유닛(20)과 슬립링(40)을 통해 터치 패널을 구성하는 상부기판과 하부기판의 합착 공정을 로테이션 방식으로 용이하게 개선 가능함으로써, 작업성을 용이하게 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 이로 인하여 터치 패널의 대량생산이 용이하다.Therefore, according to an embodiment of the present invention, it is possible to easily improve the bonding process of the upper substrate and the lower substrate constituting the touch panel through the turntable unit 20 and the slip ring 40 by a rotation method, thereby facilitating workability. Not only can it be improved, but also mass production of the touch panel is easy due to this.

도 4에서 보듯이, 본 발명의 일실시 예에 따른 얼라인 장치(60)는 예컨대, 수직프레임과 수평프레임으로 구성되는 프레임조립체의 상부에 LM 가이드(Linear Motion Guide)로 실시 가능한 이송모듈(63)이 설치되고, 상기 이송모듈(63)의 하부에 CCD 타입 제1 카메라모듈(62)이 설치되어 구성된 제1 비전유닛(60)을 포함한다. 이에 부가하여 상기 제1 카메라모듈(62) 측으로 조명하는 조명모듈을 더 포함할 수 있다.As shown in FIG. 4, the alignment device 60 according to an embodiment of the present invention includes, for example, a transfer module 63 that can be implemented as an LM guide (Linear Motion Guide) on the upper part of a frame assembly composed of a vertical frame and a horizontal frame. ) Is installed, and a first vision unit 60 configured by installing a CCD type first camera module 62 under the transfer module 63. In addition to this, a lighting module that illuminates toward the first camera module 62 may be further included.

상기 얼라인 장치(60)는 하부기판을 촬상하여 좌표를 확인함으로써, 얼라인 작업이 가능토록 하는 장치로서, 예컨대 제1 카메라모듈(62)을 X,Y,Z축으로 조정 가능하게 구성하여 상기 하부기판을 용이하게 촬상토록 하게 되며, 상부기판의 이송시 충돌하지 않고 회피하도록 구성하게 된다.The alignment device 60 is a device that enables an alignment operation by checking coordinates by taking an image of the lower substrate. For example, the first camera module 62 is configured to be adjustable in X, Y, and Z axes. The lower substrate can be easily imaged, and the upper substrate is configured to be avoided without collision during transport.

즉 상기 얼라인 장치(60)를 통해 스테이지의 상부에 공급된 하부기판의 좌표를 확인하면서 합착 공정을 실시할 수 있어 상기 하부기판과 상부기판의 합착에 따른 신뢰성을 향상시킬 수 있다.That is, the bonding process can be performed while checking the coordinates of the lower substrate supplied to the upper part of the stage through the alignment device 60, thereby improving reliability due to the bonding of the lower substrate and the upper substrate.

도 3 및 5에서 보듯이, 본 발명의 일실시 예에 따른 이송공급장치(70)는 베이스프레임(10)의 상부에 설치되어 스테이지(31)의 상부에 공급된 하부기판의 상부, 구체적으로 상기 스테이지(31)의 상부에 돌출된 돌기형 상단부에 상부기판을 이송하여 공급하게 된다.As shown in Figures 3 and 5, the transfer supply device 70 according to an embodiment of the present invention is installed on the upper portion of the base frame 10 and supplied to the upper portion of the stage 31, specifically the above The upper substrate is transferred and supplied to the protruding upper end of the stage 31.

이를 위하여 상기 이송공급장치(70)는 LM 가이드로 실시 가능한 제1 이송로봇(72) 사이에 베이스플레이트(73)를 설치하고, 상기 베이스플레이트(73)의 하부에 상부기판을 진공 방식으로 흡착하는 진공 패드(71)를 승강 가능하게 설치하여 구성하게 된다.To this end, the transfer supply device 70 installs a base plate 73 between the first transfer robot 72 that can be implemented as an LM guide, and sucks the upper substrate under the base plate 73 in a vacuum manner. It is configured by installing the vacuum pad 71 so as to be elevating.

여기서 상기 이송공급장치(70)의 하부에는 진공 패드(71)를 통해 흡착한 상부기판을 예컨대, CCD 타입 제2 카메라모듈(91)로 촬상하여 좌표를 확인하는 제2 비전유닛(90)이 배치될 수 있으며, 상기 제2 비전유닛(90)은 베이스프레임(10)의 상부에 설치된다. 상기 제2 카메라모듈(91)은 X,Y,Z축 방향으로 위치 조정이 가능하게 구성될 수 있다.Here, a second vision unit 90 for checking coordinates by taking an image of the upper substrate adsorbed through the vacuum pad 71 through the vacuum pad 71, for example, is disposed under the transfer supply device 70 The second vision unit 90 is installed on the base frame 10. The second camera module 91 may be configured to enable position adjustment in the X, Y, and Z axis directions.

또한, 상기 베이스플레이트(73)의 하부에는 진공 패드(71)뿐만 아니라 제2 비전유닛(90)을 통해 확인한 좌표에 따라 상부기판의 위치를 보정하는 위치보정모듈(74)이 설치될 수 있다. Further, a position correction module 74 for correcting the position of the upper substrate according to the coordinates checked through the second vision unit 90 as well as the vacuum pad 71 may be installed under the base plate 73.

즉 통상의 UVW-Stage로 실시되는 위치보정모듈(74)을 통해 진공 패드(71)의 위치를 보정함으로써, 결과적으로 상부기판과 하부기판의 합착 위치가 보정되어 합착 공정의 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.That is, by correcting the position of the vacuum pad 71 through the position correction module 74 performed in a conventional UVW-Stage, as a result, the bonding position of the upper and lower substrates is corrected, thereby improving the reliability of the bonding process. have.

이러한 이송공급장치(70)가 상부에 설치된 베이스프레임(10)의 상부에는 턴테이블유닛(20)의 양측에 각각 배치되는 진공 프레스장치(80)와 박리유닛(100)이 설치되며, 상기 이송공급장치(70)와 교차방향으로 배치된다.A vacuum press device 80 and a peeling unit 100 respectively disposed on both sides of the turntable unit 20 are installed on the upper part of the base frame 10 on which the transfer supply device 70 is installed, and the transfer supply device It is arranged in the direction of intersection with (70).

상기 진공 프레스장치(80)는 이송공급장치(70)와 교차방향으로 배치되도록 베이스프레임(10)의 상부에 설치되어 스테이지(31)에 공급된 상부기판과 하부기판을 상부 챔버(81)의 승강을 통해 진공 합착하게 된다.The vacuum press device 80 is installed on the top of the base frame 10 so as to be disposed in a direction crossing with the transfer supply device 70 to move the upper and lower substrates supplied to the stage 31 to the upper chamber 81 Through vacuum cementation.

즉 상기 진공 프레스장치(80)는 하부 챔버(30)의 상부에 배치되는 상부 챔버(81)를 예컨대, 모터와 LM 가이드의 조합으로 실시되는 승강장치(82)로 승강시키면서 하부기판과 상부기판을 균일 가압하여 진공 합착하게 되는데, 상기 상부 챔버(81)에 설치되는 상부척(Upper Chuck), 상기 상부 챔버와 하부 챔버(30)를 진공하기 위한 진공펌프(Vacuum Pump) 및 챔버벤트(Chamber Vent) 등을 더 포함할 수 있다.That is, the vacuum press device 80 raises and lowers the upper chamber 81 disposed above the lower chamber 30 with an elevating device 82 implemented by a combination of a motor and an LM guide, while lifting the lower substrate and the upper substrate. Vacuum bonding is performed by uniform pressure, and an upper chuck installed in the upper chamber 81, a vacuum pump for vacuuming the upper and lower chambers 30, and a chamber vent It may further include.

상기 진공 프레스장치(80)의 반대편에 배치되는 박리유닛(100)은 베이스프레임(10)의 상부에 설치되는 제2 이송로봇(103)에 브래킷(102)을 통해 승강 가능하게 설치되어 하부기판의 표면에 부착된 보호필름을 롤러방식으로 박리하여 제거하는 필링 롤러(101)를 포함한다.The peeling unit 100 disposed on the opposite side of the vacuum press device 80 is installed on the second transfer robot 103 installed on the upper part of the base frame 10 so as to be elevating and descending through the bracket 102. It includes a peeling roller 101 to remove the protective film attached to the surface by peeling in a roller method.

상기 필링 롤러(101)는 통상의 필링 테이프를 이용하여 하부기판의 표면에 부착된 보호필름을 박리하게 되며, 제2 이송로봇(103)을 따라 수평방향으로 이송되면서 회전을 통해 보호필름을 박리하게 된다.The peeling roller 101 peels off the protective film attached to the surface of the lower substrate using a conventional peeling tape, and peels the protective film through rotation while being transported in the horizontal direction along the second transfer robot 103. do.

여기서 상기 박리유닛(100)을 통해 하부기판에서 제거된 보호필름을 합착 공정에서 회수할 수 있도록 베이스프레임(10)의 상부에 바스켓(110)이 설치되고, 상기 베이스프레임(10)의 하부에 상기 바스켓(110)과 연통하는 적재함(120)이 설치될 수 있다. 그리고 상기 적재함(120)은 이동 가능하도록 하부에 이동바퀴가 설치될 수 있다.Here, a basket 110 is installed on the upper part of the base frame 10 so that the protective film removed from the lower substrate through the peeling unit 100 can be recovered in the bonding process, and the lower part of the base frame 10 A loading box 120 in communication with the basket 110 may be installed. In addition, the loading box 120 may be provided with a moving wheel in the lower portion so as to be movable.

따라서 본 발명의 일실시 예에 따르면, 진공 프레스장치(80)를 통해 상부기판과 하부기판의 합착 공정을 용이하게 실시할 수 있을 뿐만 아니라 박리유닛(100) 및 이와 연계되는 바스켓(110)과 적재함을 통해 보호필름을 회수하면서 합착 공정을 실시할 수 있어 작업성을 효과적으로 향상시킬 수 있다.Therefore, according to an embodiment of the present invention, not only can the bonding process of the upper substrate and the lower substrate be easily performed through the vacuum press device 80, but also the peeling unit 100 and the basket 110 connected thereto are loaded. Through the recovery of the protective film through the bonding process can be carried out, it is possible to effectively improve the workability.

이하, 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템의 프로세스를 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 다만, 이는 하나의 예에 불과하며, 구성에 따라 변경 가능함을 사전에 밝혀둔다.Hereinafter, a process of a substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, this is only an example, and it is disclosed in advance that it can be changed according to the configuration.

도 1 내지 9에서 도시하고 있는 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템의 프로세스를 실시하기 위해서는 먼저, 스테이지(31)에 하부기판을 로딩하게 된다. 즉 상기 스테이지(31)의 상부에 하부기판을 공급하는 단계를 실시하게 된다.In order to perform the process of the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to an embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 to 9, first, a lower substrate is loaded on the stage 31. That is, the step of supplying the lower substrate to the upper portion of the stage 31 is performed.

여기서 상기 스테이지(31)의 상부에 하부기판이 공급되면, 상기 하부기판을 상부롤러(미도시)로 롤링하는 단계를 실시할 수 있다.Here, when the lower substrate is supplied to the upper portion of the stage 31, a step of rolling the lower substrate with an upper roller (not shown) may be performed.

이후 베이스프레임(10)의 상부에 설치된 테이블서포트유닛(50)을 하강시키게 되며, 이 상태에서 구동축(22)과 구동모터의 연동을 통해 턴테이블유닛(20)을 90° 회전시켜 로테이션하고, 상기 테이블서포트유닛(50)을 상승시키는 단계를 실시하게 된다.Thereafter, the table support unit 50 installed on the upper part of the base frame 10 is lowered, and in this state, the turntable unit 20 is rotated by 90° through the linkage between the drive shaft 22 and the drive motor, and the table The step of raising the support unit 50 is performed.

다음으로, 박리유닛(100)을 통해 하부기판의 표면에 부착된 보호필름에 박리하는 단계를 실시하게 된다. 즉 박리유닛(100)의 필링 롤러(101)를 하강시켜 보호필름에 접촉시킨 상태에서 상기 필링 롤러(101)를 수평방향으로 이송하고 상승시켜 상기 보호 필름을 박리한 후 상기 바스켓(110)에 보호필름을 투입하는 버리기 단계를 실시하게 된다.Next, a step of peeling the protective film attached to the surface of the lower substrate through the peeling unit 100 is performed. That is, in a state in which the peeling roller 101 of the peeling unit 100 is lowered and brought into contact with the protective film, the peeling roller 101 is transported in the horizontal direction and raised to peel the protective film, and then protected by the basket 110. The discarding step is carried out to put the film in.

상기 박리유닛(100)을 통한 보호필름의 버리기 단계가 완료되면, 테이블서포트유닛(50)을 하강시킨 상태에서 턴테이블유닛(20)을 90° 회전시켜 로테이션하게 된다.When the step of discarding the protective film through the peeling unit 100 is completed, the turntable unit 20 is rotated by 90° while the table support unit 50 is lowered.

한편, 상기 스테이지(31)의 상부에 공급된 하부기판의 얼라인 작업을 실시하기 위해서는 먼저, 얼라인 장치(60)의 제1 비전유닛(60)을 로딩하고, 하강시킨 상태에서 조명 및 상기 제1 비전유닛(60)의 제1 카메라모듈(62)을 통해 하부기판을 촬상하여 좌표를 확인하는 단계를 실시하게 된다.On the other hand, in order to perform the alignment operation of the lower substrate supplied to the upper part of the stage 31, first, the first vision unit 60 of the alignment device 60 is loaded, and in a lowered state, lighting and the 1 A step of checking the coordinates by photographing the lower substrate through the first camera module 62 of the vision unit 60 is performed.

또한, 상기 하부기판의 상부에 공급되는 상부기판의 얼라인 작업을 실시하기 위해서는 이송공급장치(70)를 로딩하고, 진공 패드(71)로 상부기판을 진공 파지한 후 제2 비전유닛(90)을 통해 상기 상부기판을 촬상하여 좌표를 확인한 후 합착 위치인 하부기판의 상부에 상부기판이 공급하는 단계를 실시하게 된다.In addition, in order to perform an alignment operation of the upper substrate supplied to the upper part of the lower substrate, the transfer supply device 70 is loaded, the upper substrate is vacuum gripped with a vacuum pad 71, and then the second vision unit 90 The upper substrate is supplied to the upper portion of the lower substrate, which is a bonding position, after the upper substrate is imaged through the image and the coordinates are checked.

이때, 제2 비전유닛(90)을 통해 확인한 좌표에 따라 위치보정모듈(74)을 통해 상부기판의 위치를 보정하는 단계를 실시할 수 있다. 이후 상기 턴테이블유닛(20)을 90° 회전시켜 로테이션하는 단계를 실시하게 된다.In this case, the step of correcting the position of the upper substrate through the position correction module 74 according to the coordinates checked through the second vision unit 90 may be performed. Thereafter, a step of rotating the turntable unit 20 by rotating it by 90° is performed.

다음으로, 하부기판과 상부기판을 진공 합착하는 단계를 실시하기 위해서는 테이블서포트유닛(50)을 통해 하부 챔버(30)를 상승시키고, 승강장치(82)를 통해 진공 프레스장치(80)의 상부 챔버(81)를 포지션 하강시키게 된다. 즉 상기 상부기판과 하부기판을 상부 챔버(81)에 구비된 상부척과 하부 챔버(30)에 구비된 스테이지(31)를 통해 진공 합착하게 된다.Next, in order to carry out the step of vacuum bonding the lower substrate and the upper substrate, the lower chamber 30 is raised through the table support unit 50, and the upper chamber of the vacuum press device 80 through the lifting device 82. (81) lowers the position. That is, the upper and lower substrates are vacuum-bonded through the upper chuck provided in the upper chamber 81 and the stage 31 provided in the lower chamber 30.

이러한 진공 합착 단계의 실시가 완료되면, 승강장치(82)를 통해 진공 프레스장치(80)를 포지션 상승시키고, 테이블서포트유닛(50)을 통해 하부 챔버(30)를 하강시킨 후 턴테이블유닛(20)을 90° 회전시켜 로테이션함으로써, 서로 합착된 상부기판과 하부기판을 스테이지(31)에서 언로딩하는 단계를 실시하게 된다.When the implementation of this vacuum bonding step is completed, the vacuum press device 80 is raised in position through the lifting device 82, the lower chamber 30 is lowered through the table support unit 50, and then the turntable unit 20 By rotating by rotating by 90°, a step of unloading the upper and lower substrates bonded to each other is performed in the stage 31.

따라서 본 발명의 일실시 예에 따르면, 터치 패널을 구성하는 상부기판과 하부기판을 합착하기 위한 각 단계가 로테이션 방식으로 순차적으로 실시 가능함으로써, 작업능률을 향상시켜 작업편리성은 물론이고, 합착 공정의 신뢰성을 효과적으로 향상시킬 수 있다.Therefore, according to an embodiment of the present invention, each step for bonding the upper substrate and the lower substrate constituting the touch panel can be sequentially performed in a rotation method, thereby improving work efficiency and convenience of work as well as the bonding process. Reliability can be effectively improved.

이상 본 발명을 일실시 예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템은 이에 한정되지 않는다. 그리고 이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다", 또는 "가지다", 등의 용어는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 해당 구성요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 하며, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다.Although the present invention has been described in detail through an embodiment, this is for explaining the present invention in detail, and the substrate vacuum bonding system for a touch panel according to the present invention is not limited thereto. And the terms such as "comprise", "comprise", or "have" described above mean that the corresponding component may be included unless otherwise stated, so excluding other components It should be construed as that it may further include other components, and all terms including technical or scientific terms are generally understood by those of ordinary skill in the technical field to which the present invention belongs, unless otherwise defined. It has the same meaning as being.

또한, 이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형 가능하다. 따라서, 본 발명에 개시된 일실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 일실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.In addition, the above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can various modifications and variations without departing from the essential characteristics of the present invention. Accordingly, the exemplary embodiments disclosed in the present disclosure are not intended to limit the technical idea of the present invention, but to explain the technical idea, and the scope of the technical idea of the present disclosure is not limited by this exemplary embodiment. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

1: 기판 본딩 머신 10: 베이스프레임
10a: 내부공간 11: 수직프레임
12: 수평프레임 13: 선반
14: 높낮이조절장치 20: 턴테이블유닛
21: 턴테이블 21a: 챔버안착부
22: 구동축 23: 통로부
30: 하부 챔버 30a: 수용공간
31: 정전척 32: 전극부
33: 보호커버 40: 슬립링
50: 테이블서포트유닛 60: 얼라인 장치
61: 제1 비전유닛 62: 제1 카메라모듈
63: 이송모듈 70: 이송공급장치
71: 진공 패드 72: 제1 이송로봇
73: 베이스플레이트 74: 위치보정모듈
80: 진공 프레스장치 81: 상부 챔버
82: 승강장치 90: 제2 비전유닛
91: 제2 카메라모듈 100: 박리유닛
101: 필링 롤러 102: 브래킷
103: 제2 이송로봇 110: 바스켓
120: 적재함
1: substrate bonding machine 10: base frame
10a: inner space 11: vertical frame
12: horizontal frame 13: shelf
14: height adjustment device 20: turntable unit
21: turntable 21a: chamber seat
22: drive shaft 23: passage
30: lower chamber 30a: accommodation space
31: electrostatic chuck 32: electrode part
33: protective cover 40: slip ring
50: table support unit 60: alignment device
61: first vision unit 62: first camera module
63: transfer module 70: transfer supply device
71: vacuum pad 72: first transfer robot
73: base plate 74: position correction module
80: vacuum press device 81: upper chamber
82: lifting device 90: second vision unit
91: second camera module 100: peeling unit
101: peeling roller 102: bracket
103: second transfer robot 110: basket
120: loading box

Claims (10)

베이스프레임;
상기 베이스프레임의 상부에 회전 가능하게 설치되며, 터치 패널을 구성하는 커버 글라스인 상부기판과 광학용 투명접착필름인 하부기판을 합착하기 위한 정전척 또는 고무척으로 구성된 스테이지가 상부에 구비된 하부 챔버가 안착되도록 사각형태로 형성되어 각 꼭짓점에 형성된 챔버안착부가 외곽에 4분할 구성된 턴테이블을 포함하는 턴테이블유닛;
상기 스테이지에 전기를 공급할 수 있도록 턴테이블유닛의 구동축에 설치되되, 베이스프레임의 내부공간으로 돌출된 상기 구동축의 하단에 설치된 슬립링;
상기 베이스프레임의 상부에 설치되어 스테이지의 상부에 공급된 하부기판을 제1 카메라모듈로 촬상하여 좌표를 확인하는 제1 비전유닛을 포함하는 얼라인 장치;
상기 베이스프레임의 상부에 설치되어 진공 패드를 통해 상부기판을 흡착하고 이송하여 스테이지에 공급된 하부기판의 상부에 상기 상부기판을 공급하는 이송공급장치; 및
상기 이송공급장치와 교차방향으로 배치되도록 베이스프레임의 상부에 설치되어 스테이지에 공급된 상부기판과 하부기판을 상부 챔버의 승강을 통해 진공 합착하는 진공 프레스장치;를 포함하여 구성되며,
상기 베이스프레임의 상부에 설치되어 상기 챔버안착부에 형성된 통로부를 따라 상기 하부 챔버를 승강시키는 실린더타입 테이블서로트유닛;
상기 베이스프레임의 상부에 상기 이송공급장치와 교차방향으로 설치되어 스테이지에 공급된 하부기판의 표면에 부착된 보호필름을 필링 롤러의 수평방향 이송을 통해 박리하는 박리유닛;
상기 베이스프레임의 상부에 설치되고, 이송공급장치의 하부에 배치되며, 상기 이송공급장치가 흡착한 상부기판을 제2 카메라모듈로 촬상하여 좌표를 확인하는 제2 비전유닛;
상기 제2 비전유닛을 통해 확인한 좌표에 따라 상부기판의 위치를 보정하는 위치보정모듈;
상기 베이스프레임의 상부에 설치되어 박리유닛을 통해 하부기판에서 제거된 보호필름이 투입되는 바스켓; 및
상기 베이스프레임의 하부에 이동 가능하게 설치되어 바스켓에 투입된 보호필름이 적재되며, 이동바퀴를 갖는 적재함;
을 더 포함하는 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템.
Base frame;
The lower chamber is rotatably installed on the upper part of the base frame, and has a stage formed on the upper part of an electrostatic chuck or a rubber chuck for bonding the upper substrate, which is a cover glass constituting the touch panel, and the lower substrate, which is an optical transparent adhesive film. A turntable unit including a turntable formed in a quadrangular shape so as to be seated and configured to be divided into four chamber seats formed at each vertex;
A slip ring installed on the drive shaft of the turntable unit so as to supply electricity to the stage, the slip ring installed at the lower end of the drive shaft protruding into the inner space of the base frame;
An alignment device including a first vision unit installed on the base frame and configured to check coordinates by photographing a lower substrate supplied to the upper part of the stage with a first camera module;
A transfer and supply device installed above the base frame to adsorb and transfer the upper substrate through a vacuum pad to supply the upper substrate to the upper substrate supplied to the stage; And
And a vacuum press device installed on an upper portion of the base frame so as to be disposed in a direction crossing with the transfer supply device to vacuum-bond the upper and lower substrates supplied to the stage through the lifting of the upper chamber, and
A cylinder type table slot unit installed on the base frame to lift the lower chamber along a passage portion formed in the chamber seating portion;
A peeling unit installed on the top of the base frame in a direction crossing with the transfer supplying device to peel the protective film attached to the surface of the lower substrate supplied to the stage through horizontal transfer of a peeling roller;
A second vision unit installed above the base frame, disposed below the transfer supply device, and check coordinates by photographing an upper substrate adsorbed by the transfer supply device with a second camera module;
A position correction module for correcting the position of the upper substrate according to the coordinates checked through the second vision unit;
A basket installed on the base frame and into which the protective film removed from the lower substrate through the peeling unit is put; And
A loading box installed to be movable under the base frame and loaded with a protective film inserted into the basket, and having moving wheels;
A substrate vacuum bonding system for a touch panel further comprising a.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템을 이용하여 상부기판과 하부기판을 합착하는 방법에 있어서,
(a) 스테이지의 상부에 하부기판을 공급하고, 하부기판을 상부롤러로 롤링하며, 실린더타입 테이블서포트유닛을 하강시킨 상태에서 구동축과 구동모터의 연동을 통해 턴테이블유닛을 로테이션시키고, 상기 실린더타입 테이블서포트유닛을 상승시키는 단계;
(b) 상기 하부기판의 표면에 부착된 보호필름에 박리유닛의 필링 롤러를 접촉시킨 상태에서 상기 필링 롤러를 수평방향으로 이송하여 상기 보호 필름을 박리한 후 바스켓에 투입하는 단계;
(c) 상기 스테이지의 상부에 공급된 하부기판을 얼라인 장치의 제1 비전유닛을 통해 촬상하여 좌표를 확인하는 단계;
(d) 상기 하부기판의 상부에 공급되는 상부기판을 이송공급장치의 진공 패드로 파지하고, 제2 비전유닛을 통해 상기 상부기판을 촬상하여 좌표를 확인하고, 위치보정모듈을 통해 상부기판의 위치를 보정한 후 하부기판의 상부에 상부기판이 공급하고, 실린더타입 테이블서포트유닛을 하강시킨 상태에서 턴테이블유닛을 로테이션하는 단계;
(e) 상기 실린더타입 테이블서포트유닛을 통해 하부 챔버를 상승시키고, 승강장치를 통해 진공 프레스장치를 하강시켜 상부기판과 하부기판을 상기 진공 프레스장치의 상부 챔버와 하부 챔버를 통해 진공 합착하는 단계; 및
(f) 상기 승강장치를 통해 진공 프레스장치를 상승시키고, 실린더타입 테이블서포트유닛을 통해 하부 챔버를 하강시킨 후 턴테이블유닛을 로테이션시켜 서로 합착된 상부기판과 하부기판을 스테이지에서 언로딩하는 단계;
를 포함하는 터치 패널용 기판 진공 합착 방법.
In a method of bonding an upper substrate and a lower substrate using a substrate vacuum bonding system for a touch panel,
(a) The lower substrate is supplied to the upper part of the stage, the lower substrate is rolled with the upper roller, the cylinder type table support unit is lowered, and the turntable unit is rotated through interlocking the drive shaft and the drive motor, and the cylinder type table Raising the support unit;
(b) transferring the peeling roller in a horizontal direction in a state in which the peeling roller of the peeling unit is in contact with the protective film attached to the surface of the lower substrate to peel the protective film and then putting it into a basket;
(c) checking coordinates by taking an image of the lower substrate supplied to the upper portion of the stage through a first vision unit of an alignment device;
(d) The upper substrate supplied to the upper part of the lower substrate is gripped with a vacuum pad of the transfer supply device, the upper substrate is imaged through a second vision unit to check the coordinates, and the position of the upper substrate through the position correction module A step of rotating the turntable unit while the upper substrate is supplied to the upper portion of the lower substrate and the cylinder type table support unit is lowered;
(e) raising the lower chamber through the cylinder type table support unit and lowering the vacuum press device through the lifting device to vacuum-bond the upper and lower substrates through the upper and lower chambers of the vacuum press device; And
(f) lifting the vacuum press device through the lifting device, lowering the lower chamber through the cylinder type table support unit, and rotating the turntable unit to unload the upper and lower substrates bonded together on the stage;
A substrate vacuum bonding method for a touch panel comprising a.
삭제delete 삭제delete
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