KR102188742B1 - 퍼지 관측부를 구비한 갠트리 스테이지의 제어 장치 - Google Patents

퍼지 관측부를 구비한 갠트리 스테이지의 제어 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 제어 장치는, 갠트리 스테이지의 일측을 구동하는 제1 모터 및 상기 갠트리 스테이지의 타측을 구동하는 제2 모터를 제어하는 제어 장치에 있어서, 상기 제1 모터 및 상기 제2 모터의 지령값을 출력하는 프로파일 생성부; 상기 제1 모터에 연결된 제1 엔코더의 제1 측정값 또는 상기 제2 모터에 연결된 제2 엔코더의 제2 측정값을, 상기 지령값에 피드백 연산하여 제어값을 출력하는 제어부; 상기 제1 측정값 및 상기 제2 측정값의 차이에 해당하는 요 에러값을 산출하고, 상기 요 에러값에 대응하는 보정값을 출력하는 퍼지 관측부; 를 포함한다.

Description

퍼지 관측부를 구비한 갠트리 스테이지의 제어 장치{CONTROL DEVICE OF A GANTRY STAGE INCLUDING A FUZZY OBSERVER}
본 발명은 갠트리 스테이지를 제어하는 제어 장치에 관한 것이다.
갠트리 스테이지는 이동 수단으로서 갠트리를 구비하는 직각 좌표 로봇이다. 갠트리란 문형(門形)의 구조물로서 그 자체가 이동하는 것이다. 갠트리 스테이지는 반도체, 디스플레이 공정 등에 사용되며, 위치 오차를 제한하기 위하여 정밀한 구동이 요구된다.
한국등록특허공보 제10-0713561호
본 발명은 갠트리 스테이지의 구동 제어시 요(Yaw) 오차를 최소화하여 기구의 부하를 줄이고, 제어 정밀도를 향상시킬 수 있는 제어 장치를 제공한다.
일 실시예로서, 본 발명의 제어 장치는, 갠트리 스테이지의 일측을 구동하는 제1 모터 및 상기 갠트리 스테이지의 타측을 구동하는 제2 모터를 제어하는 제어 장치에 있어서, 상기 제1 모터 및 상기 제2 모터의 지령값을 출력하는 프로파일 생성부; 상기 제1 모터에 연결된 제1 엔코더의 제1 측정값 또는 상기 제2 모터에 연결된 제2 엔코더의 제2 측정값을, 상기 지령값에 피드백 연산하여 제어값을 출력하는 제어부; 상기 제1 측정값 및 상기 제2 측정값의 차이에 해당하는 요 에러값을 산출하고, 상기 요 에러값에 대응하는 보정값을 출력하는 퍼지 관측부; 를 포함한다.
여기서, 상기 제어값을 상기 보정값으로 보정한 최종 제어값이 상기 제1 모터 및 상기 제2 모터에 입력될 수 있다.
본 발명의 제어 장치가 적용되는 갠트리 스테이지는, 아암을 포함한 이동부의 일축 직선 운동에 대해서 복수의 모터가 마련되어 갠트리 스테이지의 요 또는 비틀림을 억제할 수 있다.
본 발명의 제어 장치는 제1 모터의 구동량을 측정한 제1 측정값 및 제2 모터의 구동량을 측정한 제2 측정값을 입력받는 퍼지 관측부를 구비하여, 각 모터간의 구동량 편차를 억제할 수 있다.
본 발명의 제어 장치는 퍼지 이론을 적용한 관측기(observer)를 채용하므로, 요 편차 억제에 대한 특성을 인공 지능적으로 튜닝할 수 있다.
빠른 속응성이 요구될 경우, 정상 상태 오차 억제가 요구되는 경우 퍼지 관측부가 게인 파라미터를 자동으로 설정하여 시스템을 최적화시킬 수 있다.
도 1은 본 발명과 비교하기 위한 가상의 실시예로서, 본 발명의 퍼지 관측부가 마련되지 않은 제어 장치를 도시한 블록도이다.
도 2는 본 발명의 제어 장치를 도시한 블록도이다.
도 3은 본 발명의 제어 장치가 적용되는 갠트리 스테이지의 개략도이다.
도 1은 본 발명과 비교하기 위한 실시예이다. 이를 참조하면, 퍼지 관측부(500)가 마련되지 않고 나머지 구성은 본 발명과 동일한 제어 장치가 도시된다. 도 2는 퍼지 관측부(500)를 구비한 본 발명의 제어 장치를 도시한 블록도이다. 도 3은 본 발명의 갠트리 스테이지(400)를 도시한 개략도이다. 도 1 내지 도 3을 함께 참조하며 본 발명의 구성 및 작용을 설명한다.
본 발명의 제어 장치는 갠트리 스테이지(400)의 일측을 구동하는 제1 모터(311) 및 갠트리 스테이지(400)의 타측을 구동하는 제2 모터(321)를 제어할 수 있다. 본 발명의 제어 장치는 프로파일 생성부(10), 제어부(20), 퍼지 관측부(500)를 포함할 수 있다.
갠트리 스테이지(400)는 직교하는 X축, Y축, Z축 각각의 직선 축에 대하여 왕복 운동을 하는 X축 이동부, Y축 이동부, Z축 이동부를 구비할 수 있다. 예를 들면 X축 이동부, Y축 이동부, Z축 이동부는 직선 이동하는 아암(430)(ARM)일 수 있다. 각 아암(430)의 일단 및 타단에는 모터(311, 321) 및 모터(311, 321)에 연결된 볼 스크류가 설치되어 각 아암(430)의 직선 이동력을 제공할 수 있다.
이때, 갠트리 스테이지(400)의 크기가 커지면 X축, Y축, Z축의 직선 운동에 대해서 아암(430)의 무게 중심과 볼 스크류의 힘의 작용점의 위치에 따라 비틀림이 발생할 수 있다. 아암(430)의 비틀림 변위나 비틀림 모멘트를 요(yaw)로 정의할 수 있다. 작용점에 대하여 아암(430)의 무게 중심의 위치나 거리에 비례하는 비틀림이 발생할 수 있다. 갠트리 스테이지(400)가 커지고 이동 속도가 빨라짐에 따라 더 큰 비틀림이 발생할 수 있다. 비틀림 오차는 아암(430)의 일측 단부와 타측 단부의 위치 오차로 표현될 수 있으며, 요 에러(yaw error) 또는 요 편차로 정의할 수 있다.
예를 들어, 갠트리 스테이지(400)가 LCD 마더 글라스를 반송하는 경우, 10.5세대의 마더 글라스의 경우 가로 2.9M, 세로 3.1M에 달한다. 갠트리 스테이지(400)는 패턴 인쇄 등을 형성할 때 요 에러없이 정밀하게 평행 이동될 필요가 있다.
갠트리 스테이지(400)의 위치 정밀도 향상 및 요 에러 감소를 위하여 하나의 아암(430)에 두 개의 모터(311, 321)가 설치되는 하드웨어 구조가 바람직하다. 그러나, 이는 수동적인 감소 수단일 뿐, 적응 제어 수단으로서 본 발명의 퍼지 관측부(500)와 같은 특별한 요 에러 감소 수단이 필요하다.
갠트리 스테이지(400)는 구동력을 생성하는 모터(311, 321), 모터(311, 321)의 구동력을 아암(430)에 전달하고 아암(430)의 직선 운동을 안내하는 가이드부(410, 420), 모터(311, 321)의 구동량을 측정하는 엔코더(391, 392), 모터(311, 321)를 제어하는 서보 드라이버로서 제어부(20)를 포함할 수 있다. 모터(311, 321)는 회전 모터 또는 직선 이동하는 리니어 모터일 수 있다. 이에 대응하여 엔코더(391, 392)는 회전량을 측정하거나 직선 이동을 측정하는 센서일 수 있다.
회전량을 측정하는 엔코더(391, 392)의 경우, 모터(311, 321)의 각속도, 각가속도, 회전 각도, 회전 수 중 적어도 하나를 구동량으로 측정할 수 있다. 직선 이동량을 측정하는 엔코더(391, 392)의 경우, 아암(430)이 이동한 거리, 이동 속도, 이동 가속도 중 적어도 하나를 구동량으로 측정할 수 있다. 구동량으로 측정된 측정값은 제어부(20)로 피드백될 수 있다.
예를 들어, 도 1 및 도 2에는 측정값(X1, X2)으로서 회전 각도 또는 위치가 도시된다. 하드웨어 관점에서 정밀도를 높이기 위하여 제1 모터(311)가 갠트리 스테이지(400)의 아암(430)의 일측을 구동하고, 제2 모터(321)가 갠트리 스테이지(400)의 아암(430)의 타측을 구동할 수 있다. 소프트웨어 관점에서 정밀도를 높이기 위하여 퍼지 관측부(500)가 마련될 수 있다.
프로파일 생성부(10)는 제1 모터(311) 및 제2 모터(321)의 제어 목표로서 지령값(P*)을 출력할 수 있다. 도시된 지령값(P*)은 모터 또는 아암(430)의 위치 지령값(P*)이다.
모터(311, 321)의 기본 제어 수단으로서 제어부(20)는 제1 모터(311)에 연결된 제1 엔코더(391)의 제1 측정값(X1) 또는 제2 모터(321)에 연결된 제2 엔코더(392)의 제2 측정값(X2)을 입력받을 수 있다. 프로파일 생성부(10)의 위치 지령값(P*)에 엔코더의 측정값(X1, X2)을 피드백 연산하면 제어부(20)의 출력으로서 제어값(V*)이 산출될 수 있다. 도시된 제어값(V*)은 모터 또는 아암(430)의 속도 제어값(V*)이다.
도시된 제어부(20)는 모터의 위치를 제어하는 위치 제어부(20)이다. 위치 제어부(20)는 프로파일 생성부(10)로부터 위치 지령값(P*)을 입력받고, 제1 엔코더(391)의 제1 측정값(X1)으로서 제1 위치 측정값(X1)을 피드백받으며, 제2 엔코더(392)의 제2 측정값(X2)으로서 제2 위치 측정값(X2)을 피드백받고, 제어값(V*)으로서 모터의 속도 제어값(V*)을 출력할 수 있다.
도시된 예에 의하면, 위치 지령값(P*)에서 두 개의 위치 측정값(X1, X2)의 평균값( (X1+X2)/2 )을 뺀 값이 위치 제어부(20)에 입력되고, 위치 제어부(20)에 미분 인자가 포함되며, 위치 제어부(20)의 출력으로서 속도 제어값(V*)이 산출될 수 있다. 한편, 위치 지령값(P*)에서 두 개의 위치 측정값(X1, X2) 중 어느 하나를 뺀 값이 위치 제어부(20)에 입력될 수 있고, 위치 제어부(20)의 출력으로서 속도 제어값(V*)이 산출될 수 있다.
아암(430)의 일방향 운동에 있어서, 복수의 모터(311, 321)가 동일 운동에 대한 동력원으로 사용될 경우에 각 모터(311, 321)는 동일한 구동량으로 제어되어야 한다. 하지만 같은 제어값(V*)을 각 모터(311, 321)에 입력하더라도, 개별 모터(311, 321)는 같은 위치, 속도로 제어되기는 어렵고 위치 또는 속도의 편차가 발생할 수 있다. 모터(311, 321), 볼 스크류를 동일 모델로 구성하더라도 각 부품의 공차 때문에 실제 구동상에서 차이가 발생할 수 있다. 또한, 아암(430)이 이송하는 질량체의 편심 등에 따라서 각 모터(311, 321)에 가해지는 부하가 달라지기 때문에 각 모터(311, 321)의 실제 구동량이 달라질 수 있다.
따라서, 각 모터(311, 321)에는 구동량 편차값이 보정된 최종 제어값이 입력되는 것이 바람직하다. 퍼지 관측부(500)는 제1 측정값(X1) 및 제2 측정값(X2)의 차이에 해당하는 요 에러값을 산출하고, 요 에러값에 대응하는 보정값(Vyaw)을 출력할 수 있다.
제어부(20)의 제어값(V*)을 퍼지 관측부(500)의 보정값(Vyaw)으로 보정한 최종 제어값이 제1 모터(311) 및 제2 모터(321)에 입력될 수 있다.
비교 실시예인 도 1에는 퍼지 관측부(500)가 마련되지 않으므로 보정값(Vyaw)이 없으며, 최종 제어값과 제어값(V*)은 동일하고, 제1 모터(311) 및 제2 모터(321)에는 위치 제어부(20)의 출력인 속도 제어값(V*)이 공통으로 입력된다. 하드웨어 관점에서 아암(430)의 각 단부에 모터가 마런되기는 하였지만, 소프트웨어 관점에서 요 편차를 보정하는 수단이 마련되지 않으며, 요 편차의 능동적인 억제는 불가능하다.
반면에 본 발명의 실시예인 도 2에는 퍼지 관측부(500)가 마련되므로 퍼지 관측부(500)의 보정값(Vyaw)으로서 속도 보정값(Vyaw)이 산출될 수 있다. 위치 제어부(20)의 제어값(V*)으로 속도 제어값(V*)이 산출될 수 있다. 위치 제어부(20)의 속도 제어값(V*)에 퍼지 관측부(500)의 속도 보정값(Vyaw)을 연산하면 제1 모터(311)에 대한 제1 최종 제어값(V* + Vyaw) 및 제2 모터(321)에 대한 최종 제어값(V* - Vyaw)이 합산부(70)로부터 출력될 수 있다.
일 실시예로서, 제어부(20)의 제어값(V*) 및 퍼지 관측부(500)의 보정값(Vyaw)은 제1 모터(311) 및 제2 모터(321)에 대하여 공통값(V*, Vyaw)일 수 있다. 최종 제어값은 제1 모터(311) 및 제2 모터(321)에 대하여 서로 구별되는 값(V* + Vyaw, V* - Vyaw)일 수 있다. 제어값(V*)에 보정값(Vyaw)을 더한 제1 최종 제어값(V* + Vyaw)이 제1 모터(311)에 입력되고, 제어값(V*)에서 보정값(Vyaw)을 뺀 제2 최종 제어값(V* - Vyaw)이 제2 모터(321)에 입력될 수 있다.
그 결과, 각 아암(430)의 단부마다 보정값(Vyaw)을 상호 역산해서 신속한 응답을 얻을 수 있다. 또한, 보정값(Vyaw)을 공통값으로서 산출하면 퍼지 관측부(500)의 처리 로직(logic)이 간단해지고 실시간 처리 가능한 장점이 있다.
도시하지는 않았지만, 퍼지 관측부(500)는 보정값(Vyaw)을 제1 모터(311) 및 제2 모터(321)에 대한 공통값으로서 산출하지 않을 수 있다. 제1 모터(311)에 대한 제1 속도 보정값과 제2 모터(321)에 대한 제2 속도 보정값을 다르게 산출할 수 있다. 합산부(70)는 제1 모터(311)에는 속도 제어값(V*)에 제1 속도 보정값을 더한 제1 최종 제어값을 입력하고, 제2 모터(321)에는 속도 제어값(V*)에 제2 속도 보정값을 더한 제2 최종 제어값을 입력할 수 있다.
다음으로 퍼지 관측부(500)의 상세한 실시예를 설명한다.
퍼지 관측부(500)는 퍼지 로직으로 동작되는 옵저버(observer)에 해당한다. 퍼지 관측부(500)는 각 모터의 상태 변수(X1, X2)로부터 예측 오차를 미리 추정하고, 이 추정값(Vyaw)으로 제어값(V*)을 보정하여 신속 정확한 응답을 얻을 수 있다.
퍼지 관측부(500)는 프로파일 분석부(30), 에러 분석부(40), 퍼지 연산부(50), 안정화부(60)를 포함할 수 있다. 퍼지 관측부(500)는 아암(430)의 가속도가 지령값(P*)과 일치하거나, 아암(430) 양단부의 요 에러값이 감소하거나, 아암(430) 양단부의 요 에러값의 분산이 감소하는 방향으로 보정값(Vyaw)을 생성할 수 있다. 퍼지 관측부(500)는 아암(430)의 모션 가속도, 아암(430) 양단부의 요 에러값, 요 에러값의 분산을 포함하는 3개의 변수를 입력받고 퍼지 로직으로 구동되며 보정값(Vyaw)을 생성할 수 있다.
프로파일 분석부(30)는 가속도 가중치(Wa)를 출력할 수 있다. 프로파일 분석부(30)는 프로파일 생성부(10)에서 출력되는 속도 제어값(V*), 각 엔코더에서 출력되는 위치 측정값(X1, X2)을 입력받을 수 있다. 프로파일 분석부(30)는 위치 측정값(X1, X2)을 미분하여 아암(430)의 모션 가속도를 산출할 수 있다. 두 개의 위치 측정값(X1, X2)을 평균하고 이를 미분하여 아암(430)의 모션 가속도를 산출할 수 있다. 프로파일 분석부(30)는 프로파일 생성부(10)의 지령값(P*)을 미분하여 프로파일 가속도를 산출할 수 있다.
가속도 가중치(Wa)는 다음의 수학식 1로 산출할 수 있다.
(수학식 1)
가속도 가중치(Wa) = 모션 가속도 / 프로파일 가속도
프로파일 생성부(10)의 지령값(P*)에 대응되는 가속도를 프로파일 가속도, 제1 측정값(X1) 또는 제2 측정값(X2)에 대응되는 가속도를 모션 가속도로 정의할 때, 가속도 가중치(Wa)는 모션 가속도를 프로파일 가속도로 나눈 값일 수 있다. 퍼지 관측부(500)는 가속도 가중치(Wa)의 크기가 1에 수렴하도록 보정값(Vyaw)을 생성할 수 있다.
에러 분석부(40)는 요 에러값 및 요 에러값의 분산을 산출할 수 있다. 퍼지 관측부(500)는 요 에러값 또는 요 에러값의 분산이 감소하도록 보정값(Vyaw)을 생성할 수 있다. 즉 제어부(20)의 출력인 제어값(V*)만으로 아암(430)의 요 에러를 제거하기 어려울 때, 보정값(Vyaw)이 제어값(V*)을 보정하는데 사용될 수 있다. 보정값(Vyaw)의 생성 로직은 요 에러값 또는 요 에러값의 분산을 감소시키는 것일 수 있다.
수학식 2로 정의되는 요 에러값은 아암(430)의 일측 단부와 타측 단부의 위치 오차로 정의되거나, 요 에러값은 제1 측정값(X1) 및 제2 측정값(X2)의 차이로 정의될 수 있다.
(수학식 2)
Figure 112018131106320-pat00001
수학식 3으로 정의되는 요 에러값의 평균은 다음과 같다.
(수학식 3)
Figure 112018131106320-pat00002
수학식 4로 정의되는 요 에러값의 분산은 다음과 같다.
(수학식 4)
Figure 112018131106320-pat00003
퍼지 관측부(500)는 가속도 가중치(Wa), 요 에러값 및 요 에러값의 분산을 퍼지 연산하여 게인 가중치(Wg) 및 안정화값(Ls)을 출력할 수 있다. 이를 위하여 출력퍼지 관측부(500)는 퍼지 연산부(50) 및 안정화부(60) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
퍼지 연산부(50)는 가속도 가중치(Wa), 요 에러값 및 요 에러값의 분산을 입력받고, 게인 가중치(Wg) 및 안정화값(Ls)을 출력할 수 있다. 안정화부(60)는 게인 가중치 및 안정화값(Ls)을 입력받고, 보정값(Vyaw)을 출력할 수 있다.
게인 가중치(Wg) 및 안정화값(Ls)은 다음의 수학식 5에 의하여 산출될 수 있다.
(수학식 5)
게인 가중치(Wg), 안정화값(Ls) = Fuzzy(가속도 가중치(Wa), 요 에러값, 요 에러값의 분산)
즉, 퍼지 연산부(50)는 퍼지 연산 함수로서 Fuzzy()를 사용하고, 퍼지 연산 함수의 입력은 가속도 가중치(Wa), 요 에러값, 요 에러값의 분산이며, 퍼지 연산 함수의 출력은 게인 가중치(Wg) 및 안정화값(Ls)이 될 수 있다.
안정화부(60)는 게인 가중치(Wg) 및 안정화값(Ls)을 입력받고, 보정값(Vyaw)을 출력할 수 있다. 다음의 수학식 6에 의하여, 보정값(Vyaw)은 게인 가중치(Wg)에 요 에러값(Yaw error)을 곱한 것일 수 있다. 수학식 6에 예시된 보정값(Vyaw)은 요 보정 속도(Yaw velocity)이다.
(수학식 6)
Figure 112018131106320-pat00004
한편, 안정화부(60)는 수학식 6에 의하여 산출된 보정값(Vyaw)을 그대로 사용하거나, 다음의 수학식 7에 의하여 상한값과 비교할 수 있다. 여기서, 상한값은 안정화값(Ls)이 될 수 있다. 즉, 보정값(Vyaw)이 안정화값(Ls)보다 크면, 수학식 6에 의하여 산출된 보정값(Vyaw)을 버리고 새로 산출하거나 보정값(Vyaw)을 안정화값(Ls)과 같은 값으로 취할 수 있다. 이는 응답이 수렴하지 않고 발산하거나 제어값(V*)의 불안정성을 제거하기 위함이다.
만약, 보정값(Vyaw)이 안정화값(Ls) 이하인 경우 수학식 6에 의하여 산출된 보정값(Vyaw)을 그대로 제어값(V*)에 연산할 수 있다. 이와 같이 보정값(Vyaw)의 상한을 판단하는 안정화부(60)의 로직은 다음의 수학식 7로 표현될 수 있다. 수학식 7에서 안정화값(Ls)의 예시로서 요 상한값(Yaw Limitsafe)이 기재되었고, 보정값(Vyaw)의 예시로서 요 보정 속도(Yaw velocity)가 기재되었다.
(수학식 7)
Figure 112018131106320-pat00005
퍼지 관측부(500)는 보정값(Vyaw)의 크기가 안정화값 이하이면, 제어값(V*)에 보정값(Vyaw)을 더하거나 뺀 최종 제어값을 제1 모터(311) 및 제2 모터(321)에 입력할 수 있다.
도시된 실시예에 의하면, 합산부(70)는 위치 제어부(20)의 속도 제어값(V*)에 퍼지 관측부(500)의 속도 보정값(Vyaw)을 더하여, 제1 모터(311)에 대한 제1 최종 제어값(V* + Vyaw)을 출력할 수 있다. 합산부(70)는 위치 제어부(20)의 속도 제어값(V*)에 퍼지 관측부(500)의 속도 보정값(Vyaw)을 빼서, 제2 모터(321)에 대한 최종 제어값(V* - Vyaw)을 출력할 수 있다. 아암(430)의 단부마다 보정값(Vyaw)을 상호 역산하면 제어 안정성을 만족하는 한도 내에서 신속한 응답과 요 편차 제거 효과를 얻을 수 있다.
10...프로파일 생성부 20...제어부
30...프로파일 분석부 40...에러 분석부
50...퍼지 연산부 60...안정화부
70...합산부 311...제1 모터
321...제2 모터 391...제1 엔코더
392...제2 엔코더 400...갠트리 스테이지
410, 420...가이드부 430...아암
500...퍼지 관측부

Claims (6)

  1. 갠트리 스테이지의 일측을 구동하는 제1 모터 및 상기 갠트리 스테이지의 타측을 구동하는 제2 모터를 제어하는 제어 장치에 있어서,
    상기 제1 모터 및 상기 제2 모터의 지령값을 출력하는 프로파일 생성부;
    상기 제1 모터에 연결된 제1 엔코더의 제1 측정값 또는 상기 제2 모터에 연결된 제2 엔코더의 제2 측정값을, 상기 지령값에 피드백 연산하여 제어값을 출력하는 제어부;
    상기 제1 측정값 및 상기 제2 측정값의 차이에 해당하는 요 에러값을 산출하고, 상기 요 에러값에 대응하는 보정값을 출력하는 퍼지 관측부; 를 포함하고,
    상기 제어값을 상기 보정값으로 보정한 최종 제어값을 상기 제1 모터 및 상기 제2 모터에 입력하며,
    상기 퍼지 관측부는 가속도 가중치, 상기 요 에러값 및 상기 요 에러값의 분산을 퍼지 연산하여 게인 가중치 및 안정화값을 출력하며,
    상기 프로파일 생성부의 상기 지령값에 대응되는 가속도를 프로파일 가속도, 상기 제1 측정값 또는 상기 제2 측정값에 대응되는 가속도를 모션 가속도로 정의할 때, 상기 가속도 가중치는 상기 모션 가속도를 상기 프로파일 가속도로 나눈 값이고,
    상기 퍼지 관측부는 상기 요 에러값에 상기 게인 가중치를 곱하여 상기 보정값을 출력하고,
    상기 퍼지 관측부는 상기 보정값의 크기가 상기 안정화값 이하이면, 상기 제어값에 상기 보정값을 더하거나 뺀 상기 최종 제어값을 상기 제1 모터 및 상기 제2 모터에 입력하는 제어 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어값 및 상기 보정값은 상기 제1 모터 및 상기 제2 모터에 대하여 공통값이고,
    상기 최종 제어값은 상기 제1 모터 및 상기 제2 모터에 대하여 서로 구별되는 값인 제어 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제어값에 상기 보정값을 더한 제1 최종 제어값이 상기 제1 모터에 입력되고,
    상기 제어값에서 상기 보정값을 뺀 제2 최종 제어값이 상기 제2 모터에 입력되는 제어 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 퍼지 관측부는 가속도 가중치를 출력하는 프로파일 분석부를 포함하고,
    상기 퍼지 관측부는 상기 가속도 가중치의 크기가 1에 수렴하도록 상기 보정값을 생성하는 제어 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 퍼지 관측부는 상기 요 에러값 및 상기 요 에러값의 분산을 산출하는 에러 분석부를 포함하고,
    상기 퍼지 관측부는 상기 요 에러값 또는 상기 요 에러값의 분산이 감소하도록 상기 보정값을 생성하는 제어 장치.
  6. 삭제
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