KR102188349B1 - Apparatus for treating substrate - Google Patents

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Abstract

기판 처리 장치가 개시된다. 기판 처리 장치는 내부에 공간이 형성된 공정 챔버; 상기 공정 챔버 내부에 위치하며, 기판을 지지하는 척; 상기 척의 주변을 감싸며, 상기 척에 지지된 기판으로 공급된 처리액을 회수하는 용기; 상기 용기의 일측에 배치되며, 상기 용기를 승강시키는 제1승강 유닛; 상기 용기의 타측에 배치되며, 상기 제1승강 유닛과 함께 상기 용기를 승강시키는 제2승강 유닛; 상기 제1승강 유닛과 연결되며, 상기 제1승강 유닛의 승강을 안내하는 제1가이드 유닛; 및 상기 제2승강 유닛과 연결되며, 상기 제2승강 유닛의 승강을 안내하는 제2가이드 유닛을 포함한다.A substrate processing apparatus is disclosed. The substrate processing apparatus includes a process chamber having a space formed therein; A chuck positioned inside the process chamber and supporting a substrate; A container surrounding the chuck and recovering the processing liquid supplied to the substrate supported by the chuck; A first lifting unit disposed on one side of the container and lifting the container; A second lifting unit disposed on the other side of the container and lifting the container together with the first lifting unit; A first guide unit connected to the first lifting unit and guiding the lifting of the first lifting unit; And a second guide unit connected to the second lifting unit and guiding the lifting of the second lifting unit.

Figure R1020130166483
Figure R1020130166483

Description

기판 처리 장치{APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE}Substrate processing apparatus {APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE}

본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 처리액이 회수되는 용기를 갖는 기판 처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate processing apparatus, and more particularly, to a substrate processing apparatus having a container in which a processing liquid is recovered.

일반적으로 반도체 디바이스의 제조에 있어서, 피처리 기판으로서의 반도체 웨이퍼에 포토레지스트를 도포하고, 노광처리에 의해 마스크 패턴을 포토 레지스트에 전사하여 이것을 현상처리하는 것에 의해 회로 패턴을 형성한다.In general, in the manufacture of a semiconductor device, a photoresist is applied to a semiconductor wafer as a substrate to be processed, and a mask pattern is transferred to the photoresist by exposure treatment to form a circuit pattern.

상술한 공정 중 현상처리 공정은, 현상액을 노즐로부터 기판에 연속적으로 공급하고, 패턴 형성면에 현상액을 소정시간만 액고임을 실시하여 접촉시키는 것에 의해 포토 레지스트막의 패턴을 현상하는 소위 패들(Puddle) 방식이 일반적으로 적용되고 있다. 패들 방식으로는, 기판의 지름보다 긴 토출구가 형성된 소위 슬릿 노즐을 이용하는 것이 현재의 주류이다.Among the above-described processes, the developing process is a so-called paddle that develops a pattern of a photoresist film by continuously supplying a developer from a nozzle to a substrate and holding the developer on the pattern formation surface for only a predetermined period of time and contacting it. The method is generally applied. As the paddle method, it is the current mainstream to use a so-called slit nozzle in which a discharge port longer than the diameter of the substrate is formed.

기판으로 토출된 현상액은 기판 주변을 감싸는 용기에 회수된다. 용기는 승강 장치에 의해 상하방향으로 승강하며, 기판을 지지하는 척과 상대 높이가 변경된다. The developer discharged to the substrate is collected in a container surrounding the substrate. The container is moved up and down by the lifting device, and the height relative to the chuck for supporting the substrate is changed.

종래의 승강 장치는 용기의 레벨 조정이 쉽지 않다. 그리고 용기의 축심이 틀어지면 승강 장치에 가해지는 부하가 증가하므로 승강 장치의 수명이 단축된다. 또한, 한번 축심이 틀어진 용기는 평탄도 수정이 쉽지 않다.Conventional lifting devices are not easy to adjust the level of the container. And when the axis of the container is twisted, the load applied to the lifting device increases, so that the life of the lifting device is shortened. In addition, it is not easy to correct the flatness of the container once the axis is twisted.

한국공개특허 제10-2010-0059416호Korean Patent Publication No. 10-2010-0059416

본 발명은 용기의 레벨을 용이하게 조절할 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다.The present invention provides a substrate processing apparatus capable of easily adjusting the level of a container.

또한, 본 발명은 용기의 평탄도를 용이하게 조절할 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다.In addition, the present invention provides a substrate processing apparatus capable of easily adjusting the flatness of a container.

또한, 본 발명은 승강 장치의 손상을 예방할 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다.In addition, the present invention provides a substrate processing apparatus capable of preventing damage to an elevating apparatus.

본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는 내부에 공간이 형성된 공정 챔버; 상기 공정 챔버 내부에 위치하며, 기판을 지지하는 척; 상기 척의 주변을 감싸며, 상기 척에 지지된 기판으로 공급된 처리액을 회수하는 용기; 상기 용기의 일측에 배치되며, 상기 용기를 승강시키는 제1승강 유닛; 상기 용기의 타측에 배치되며, 상기 제1승강 유닛과 함께 상기 용기를 승강시키는 제2승강 유닛; 상기 제1승강 유닛과 연결되며, 상기 제1승강 유닛의 승강을 안내하는 제1가이드 유닛; 및 상기 제2승강 유닛과 연결되며, 상기 제2승강 유닛의 승강을 안내하는 제2가이드 유닛을 포함한다.A substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a process chamber having a space formed therein; A chuck positioned inside the process chamber and supporting a substrate; A container surrounding the chuck and recovering the processing liquid supplied to the substrate supported by the chuck; A first lifting unit disposed on one side of the container and lifting the container; A second lifting unit disposed on the other side of the container and lifting the container together with the first lifting unit; A first guide unit connected to the first lifting unit and guiding the lifting of the first lifting unit; And a second guide unit connected to the second lifting unit and guiding the lifting of the second lifting unit.

또한, 상기 제1승강 유닛과 상기 제2승강 유닛 각각은, 실린더; 상기 실린더에 삽이되어 상하방향으로 이동가능하며, 상단에 연결 플레이트가 결합하는 실리더 로드; 및 상기 용기와 상기 연결 플레이트를 체결하는 체결부재를 포함하고, 상기 제1가이드 유닛과 상기 제2가이드 유닛 각각은, 상기 용기의 일측에서 상하방향으로 배치되는 가이드 로드; 및 상기 가이드 로드에 지지되고, 선단이 상기 실린더와 상기 연결 플레이트 사이에 위치하며, 상기 실린더 로드가 삽입되는 홀이 형성된 가이드 플레이트를 포함하며, 상기 가이드 플레이트는 상기 실린더 로드의 상하 방향 이동을 안내할 수 있다.In addition, each of the first lifting unit and the second lifting unit, a cylinder; A cylinder rod inserted into the cylinder and movable in a vertical direction, and a connection plate coupled to an upper end thereof; And a fastening member for fastening the container and the connection plate, wherein each of the first guide unit and the second guide unit comprises: a guide rod disposed in a vertical direction at one side of the container; And a guide plate supported by the guide rod, a tip end positioned between the cylinder and the connection plate, and having a hole into which the cylinder rod is inserted, wherein the guide plate guides the vertical movement of the cylinder rod. I can.

또한, 상기 가이드 플레이트의 선단은 상기 연결 플레이트로부터 소정 간격이격하여 위치할 수 있다.In addition, the tip of the guide plate may be positioned at a predetermined distance from the connection plate.

또한, 상기 제1승강 유닛의 체결 부재는 상기 용기의 일측으로 돌출된 제1연결 브라켓과 상기 제1승강 유닛의 연결 플레이트를 체결하는 제1체결볼트; 및 상기 제1체결볼트의 일측에서 상기 제1연결 브라켓과 상기 제1승강 유닛의 연결 플레이트를 체결하는 제2체결볼트를 포함하고, 상기 제2승강 유닛의 체결 부재는 상기 용기의 타측으로 돌출된 제2연결 브라켓과 상기 제2승강 유닛의 연결 플레이트를 체결하는 제3체결볼트; 및 상기 제4체결볼트의 일측에서 상기 제2연결 브라켓과 상기 제2승강 유닛의 연결 플레이트를 체결하는 제4체결볼트를 포함할 수 있다.In addition, the fastening member of the first lifting unit includes a first fastening bolt for fastening the first connection bracket protruding toward one side of the container and the connection plate of the first lifting unit; And a second fastening bolt for fastening the first connection bracket and the connection plate of the first lifting unit from one side of the first fastening bolt, wherein the fastening member of the second lifting unit protrudes toward the other side of the container. A third fastening bolt for fastening the second connection bracket and the connection plate of the second lifting unit; And a fourth fastening bolt for fastening the second connection bracket and the connection plate of the second lifting unit at one side of the fourth fastening bolt.

또한, 상기 제1체결볼트은 상기 용기의 중심을 기준으로 상기 제3체결볼트와 대칭하여 배치되고, 상기 제2체결볼트는 상기 용기의 중심을 기준으로 상기 제4체결볼트와 대칭하여 배치될 수 있다.In addition, the first fastening bolt may be disposed symmetrically with the third fastening bolt based on the center of the container, and the second fastening bolt may be disposed symmetrically with the fourth fastening bolt based on the center of the container. .

본 발명에 의하면, 체결볼트들의 조임 조절로 용기의 레벨을 조절할 수 있다.According to the present invention, it is possible to adjust the level of the container by adjusting the tightening of the fastening bolts.

또한, 본 발명에 의하면, 체결볼트들을 선택적으로 조임 조절함으로써, 용기의 평탄도를 조절할 수 있다.In addition, according to the present invention, by selectively tightening and adjusting the fastening bolts, it is possible to adjust the flatness of the container.

또한, 본 발명에 의하면, 가이드 유닛의 구동으로 승강 유닛에 발생하는 부하가 줄어들 수 있다. Further, according to the present invention, the load generated on the lifting unit may be reduced by driving the guide unit.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 용기와 승강 유닛을 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2의 용와 승강 유닛을 나타내는 평면도이다.
도 4은 도 1의 승강 유닛들과 가이드 유닛들을 나타내는 단면도이다.
도 5는 제1승강 유닛을 나타내는 단면도이다.
도 6은 제1승강 유닛의 실린더 로드가 상승된 상태를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing the container and the lifting unit of FIG. 1.
3 is a plan view showing the dragon and the lifting unit of FIG. 2.
4 is a cross-sectional view illustrating the lifting units and guide units of FIG. 1.
5 is a cross-sectional view showing a first lifting unit.
6 is a view showing a state in which the cylinder rod of the first lifting unit is raised.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those with average knowledge in the art. Therefore, the shape of the element in the drawings has been exaggerated to emphasize a clearer description.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 공정 챔버(110), 기판 지지 부재(120), 용기(130), 노즐 윤닛(140), 제1승강 유닛(150), 제2승강 유닛(160), 제1가이드 유닛(170), 그리고 제2가이드 유닛(180)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the substrate processing apparatus 10 includes a process chamber 110, a substrate support member 120, a container 130, a nozzle lun net 140, a first lifting unit 150, and a second lifting unit ( 160), a first guide unit 170, and a second guide unit 180.

공정 챔버(110)는 내부에 공간이 형성되며, 공정 처리가 수행되는 공간을 제공한다. 공정 챔버(110)의 일 측벽에는 개구(미도시)가 형성된다. 개구는 기판(W)이 출입하는 통로로 제공된다. 개구는 도어(미도시)에 의해 개폐된다.The process chamber 110 has a space formed therein, and provides a space in which process processing is performed. An opening (not shown) is formed in one sidewall of the process chamber 110. The opening is provided as a passage through which the substrate W enters and exits. The opening is opened and closed by a door (not shown).

기판 지지 부재(120)는 공정 챔버(110) 내부에 위치하며, 기판(W)을 지지한다. 기판 지지 부재(120)는 척(121), 지지축(122), 그리고 구동기(123)를 포함한다.The substrate support member 120 is located inside the process chamber 110 and supports the substrate W. The substrate support member 120 includes a chuck 121, a support shaft 122, and a driver 123.

척(121)은 소정 두께를 갖는 원형 판으로 제공되며, 상면에 기판이 놓인다. 실시예에 의하면, 척(121)의 상면에는 지지핀(124)들과 척킹핀(125)들이 제공될 수 있으다. 지지핀(124)들은 기판(W)의 저면을 지지하고, 척킹핀(125)들은 기판(W)의 가장자리를 기계적으로 척킹하며, 원심력에 의해 기판(W)이 이탈되지 않도록 고정한다. 이와 달리, 척(121)의 상면과 내부에는 진공 라인(미도시)이 형성되며, 인가된 진공압에 의해 기판(W)이 척(121)의 상면에 흡착될 수 있다. The chuck 121 is provided as a circular plate having a predetermined thickness, and a substrate is placed on the upper surface. According to the embodiment, support pins 124 and chucking pins 125 may be provided on the upper surface of the chuck 121. The support pins 124 support the bottom surface of the substrate W, and the chucking pins 125 mechanically chuck the edge of the substrate W, and fix the substrate W so as not to be separated by centrifugal force. In contrast, a vacuum line (not shown) is formed on the top and inside of the chuck 121, and the substrate W may be adsorbed on the top surface of the chuck 121 by the applied vacuum pressure.

지지축(122)은 척(121)의 하부에서, 척(121)을 지지한다. 지지축(122)은 구동기(123)의 구동으로 회전가능한다. 구동기(123)는 지지축(122)으로 회전력을 전달하기 위해, 모터, 벨트, 그리고 풀리 등으로 제공될 수 있다.The support shaft 122 supports the chuck 121 at the lower portion of the chuck 121. The support shaft 122 is rotatable by driving the driver 123. The driver 123 may be provided as a motor, a belt, and a pulley to transmit rotational force to the support shaft 122.

용기(130)는 상부가 개방된 원통 형상을 가지며, 척(121)의 주위를 둘러싸도록 제공된다. 척(121)은 용기(130)의 내부에 위치한다. 용기(130)는 회전하는 기판(W)으로부터 비산되는 유체를 회수한다. 용기(130)에 회수된 유체는 배출 라인(137)을 통해 외부로 유출된다. 용기(130)의 상단에는 제1연결 브라켓(132)과 제2연결 브라켓(133)이 제공된다. 제1연결 브라켓(132)은 용기(130)의 일측에서 외부로 돌출되고, 제2연결 브라켓(133)은 용기(130)의 타측에서 외부로 돌출된다. 제1연결 브라켓(132)과 제2연결 브라켓(133)은 용기(130)의 중심을 기준으로 대칭된다. 제1연결 브라켓(132)은 제1승강 유닛(150)과 연결되고, 제2연결 브라켓(133)은 제2승강 유닛(160)과 연결된다. 용기(130)는 제1 및 제2승강 유닛들(150, 160)에 의해 승강될 수 있다.The container 130 has a cylindrical shape with an open top, and is provided to surround the chuck 121. The chuck 121 is located inside the container 130. The container 130 recovers the fluid scattered from the rotating substrate W. The fluid recovered in the container 130 is discharged to the outside through a discharge line 137. A first connection bracket 132 and a second connection bracket 133 are provided at the top of the container 130. The first connection bracket 132 protrudes outward from one side of the container 130, and the second connection bracket 133 protrudes outward from the other side of the container 130. The first connection bracket 132 and the second connection bracket 133 are symmetrical with respect to the center of the container 130. The first connection bracket 132 is connected to the first lifting unit 150, and the second connection bracket 133 is connected to the second lifting unit 160. The container 130 may be raised or lowered by the first and second lifting units 150 and 160.

노즐 유닛(140)은 척(121)에 지지된 기판(W)으로 처리액을 공급한다. 노즐 유닛(140)은 지지 로드(141)와 노즐(142)을 포함한다. 지지 로드(141)는 소정 길이를 갖는 로드로, 구동기(미도시)에 의해 기판(W) 상부에서 스윙 이동할 수 있다. 노즐(142)은 지지 로드(141)의 선단에 지지되며, 처리액을 토출한다.The nozzle unit 140 supplies the processing liquid to the substrate W supported by the chuck 121. The nozzle unit 140 includes a support rod 141 and a nozzle 142. The support rod 141 is a rod having a predetermined length, and may swing from the upper portion of the substrate W by a driver (not shown). The nozzle 142 is supported at the front end of the support rod 141 and discharges the processing liquid.

도 2는 도 1의 용기와 승강 유닛을 나타내는 사시도이고, 도 3은 도 2의 용와 승강 유닛을 나타내는 평면도이고, 도 4은 도 1의 승강 유닛들과 가이드 유닛들을 나타내는 단면도이다. 그리고 도 5는 제1승강 유닛을 나타내는 단면도이다.FIG. 2 is a perspective view illustrating the container and the lifting unit of FIG. 1, FIG. 3 is a plan view illustrating the dragon and lifting unit of FIG. 2, and FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating the lifting units and guide units of FIG. 1. And Figure 5 is a cross-sectional view showing a first lifting unit.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 제1승강 유닛(150)은 용기(130)의 일측에 제공되고, 제2승강 유닛(160)은 용기(130)의 타측에 제공된다. 2 to 5, the first lifting unit 150 is provided on one side of the container 130, and the second lifting unit 160 is provided on the other side of the container 130.

제1승강 유닛(150)은 실린더(151), 실린더 로드(152), 구동기(미도시), 연결 플레이트(153), 연결 볼트(154), 제1체결볼트(155), 그리고 제2체결볼트(156)를 포함한다.The first lifting unit 150 includes a cylinder 151, a cylinder rod 152, a actuator (not shown), a connection plate 153, a connection bolt 154, a first fastening bolt 155, and a second fastening bolt Includes (156).

실린더(151)는 제1연결 브라켓(132)의 아래에 배치된다. 실린더(151)는 실린더 로드(152)가 삽입 및 이동될 수 있는 공간이 내부에 형성된다. The cylinder 151 is disposed under the first connection bracket 132. The cylinder 151 has a space in which the cylinder rod 152 can be inserted and moved.

실런더 로드(152)는 실린더(151) 내부에 삽입된다. 실린더 로드(152)는 상단이 실린더(151)의 상부에 위치하고, 하단이 실린더(151) 내부에 위치한다. 실린더 로드(152)의 하부영역(152a)은 실린더(151)의 입구(151a)보다 큰 면적을 갖는다. 실린더 로드(152)의 하부영역(152a)은 실린더 로드(152)가 실린더(151)로부터 이탈하는 것을 차단한다. 실린더 로드(152)는 구동기(미도시)에 의해 실린더(151) 내부에서 상하방향으로 이동가능하다. 일 예에 의하면, 구동기는 유압을 이용하여 실린더 로드(152)를 이동시킬 수 있다. 구동기는 실린더 내부에 압력유체를 유입 및 유출시킨다. 압력유체의 유입 및 유출로 실린더 로드(151)는 상하방향으로 이동할 수 있다. 이 외에도 구동기는 다양한 방법으로 실린더 로더(151)를 승강시킬 수 있다. 구동기의 구동으로, 실린더 로더(151)는 도 6과 같이 상승될 수 있다.The cylinder rod 152 is inserted into the cylinder 151. The cylinder rod 152 has an upper end positioned above the cylinder 151 and a lower end positioned inside the cylinder 151. The lower area 152a of the cylinder rod 152 has an area larger than the inlet 151a of the cylinder 151. The lower region 152a of the cylinder rod 152 blocks the cylinder rod 152 from being separated from the cylinder 151. The cylinder rod 152 is movable in the vertical direction inside the cylinder 151 by a driver (not shown). According to an example, the actuator may move the cylinder rod 152 using hydraulic pressure. The actuator inflows and outflows the pressure fluid into the cylinder. The cylinder rod 151 may move vertically through the inflow and outflow of the pressure fluid. In addition to this, the actuator may lift the cylinder loader 151 in various ways. By driving of the actuator, the cylinder loader 151 may be raised as shown in FIG. 6.

연결 플레이트(153)는 소정 두께를 갖는 판으로, 실린더 로드(152)의 상단에 결합된다. 연결 플레이트(153)와 실린더 로더(152)는 연결 볼트(154)에 의해 체결된다.The connection plate 153 is a plate having a predetermined thickness and is coupled to the upper end of the cylinder rod 152. The connecting plate 153 and the cylinder loader 152 are fastened by a connecting bolt 154.

제1체결볼트(155)와 제2체결볼트(156)는 제1연결 브라켓(132)과 연결 플레이트(153)를 연결한다. 제2체결볼트(156)는 제1체결볼트(155)의 일측에 위치한다. 제1체결볼트(155)와 제2체결볼트(156)는 머릿부가 제1연결 브라켓(132)의 상부에 위치하고, 몸체부가 아래로 제공되어 몸체부의 하단이 제1연결 브라켓(153)에 체결된다. The first fastening bolt 155 and the second fastening bolt 156 connect the first connection bracket 132 and the connection plate 153. The second fastening bolt 156 is located on one side of the first fastening bolt 155. In the first fastening bolt 155 and the second fastening bolt 156, the head is located above the first connection bracket 132, and the body is provided below, so that the lower end of the body is fastened to the first connection bracket 153. .

제2승강 유닛(160)은 실린더(161), 실린더 로드(162), 구동기(미도시), 연결 플레이트(163), 연결 볼트(미도시), 제3체결볼트(165), 그리고 제4체결볼트(166)를 포함한다. 제2승강 유닛(160)의 상술한 구성들은 제1승강 유닛(150)의 구성들과 동일한 구조로 제공되므로, 상세한 설명은 생략한다.The second lifting unit 160 includes a cylinder 161, a cylinder rod 162, a actuator (not shown), a connection plate 163, a connection bolt (not shown), a third fastening bolt 165, and a fourth fastening. Includes bolts 166. Since the above-described configurations of the second lifting unit 160 are provided in the same structure as the configurations of the first lifting unit 150, detailed descriptions are omitted.

제1승강 유닛(150)의 제1 및 제2체결볼트(155, 156)과 제2승강 유닛(160)의 제3및 제4체결볼트(165, 166)는 마주 배치된다. 제1체결볼트(155)는 용기(130)의 중심(C)을 기준으로 제3체결볼트(165)와 대칭하여 배치되고, 제2체결볼트(156)는 용기(130)의 중심(C)을 기준으로 제4체결볼트(166)와 대칭하여 배치된다. The first and second fastening bolts 155 and 156 of the first lifting unit 150 and the third and fourth fastening bolts 165 and 166 of the second lifting unit 160 are disposed to face each other. The first fastening bolt 155 is disposed symmetrically with the third fastening bolt 165 based on the center (C) of the container 130, and the second fastening bolt 156 is the center (C) of the container 130 It is arranged symmetrically with the fourth fastening bolt 166 on the basis of.

제1 내지 제4체결볼트(155, 156, 165, 166)의 조임 조절로, 용기(130)의 레벨 및 수평을 조절할 수 있다. 예컨대, 제1 내지 제4체결볼트(155, 156, 165, 166)를 조이거나 풀어 용기(130)의 레벨을 조절할 수 있다. 그리고 용기(130)가 제1연결 브라켓(132) 측으로 기울어진 경우, 제3체결볼트(165)와 제4체결볼트(166)를 조이거나, 제1체결볼트(155)와 제2체결볼트(156)의 조임을 풀어 용기(130)의 평탄도를 조절할 수 있다. 또한, 제3체결볼트(165) 측으로 용기(130)가 기울어진 경우, 제3체결볼트(165)의 조임을 풀거나, 제1체결볼트(155)를 조여 용기(130)의 평탄도를 조절 할 수 있다.By adjusting the tightening of the first to fourth fastening bolts 155, 156, 165, 166, the level and horizontal of the container 130 can be adjusted. For example, the level of the container 130 may be adjusted by tightening or loosening the first to fourth fastening bolts 155, 156, 165, and 166. And when the container 130 is inclined toward the first connection bracket 132, the third fastening bolt 165 and the fourth fastening bolt 166 are tightened, or the first fastening bolt 155 and the second fastening bolt ( The flatness of the container 130 can be adjusted by loosening the tightening of 156). In addition, when the container 130 is inclined toward the third fastening bolt 165, loosen the tightening of the third fastening bolt 165 or tighten the first fastening bolt 155 to adjust the flatness of the container 130 can do.

제1가이드 유닛(170)은 제1승강 유닛(150)의 승강을 안내하고, 제2가이드 유닛(180)은 제2승강 유닛(160)의 승강을 안내한다. The first guide unit 170 guides the elevation of the first elevation unit 150, and the second guide unit 180 guides the elevation of the second elevation unit 160.

제1가이드 유닛은(170) 가이드 로드(171)와 가이드 플레이트(172), 그리고 구동기(173)를 포함한다. The first guide unit 170 includes a guide rod 171, a guide plate 172, and a driver 173.

가이드 로드(171)는 소정 길이를 갖는 로드로 제공되며, 제1승강 유닛(150)의 일측에서 상하방향으로 배치된다. The guide rod 171 is provided as a rod having a predetermined length, and is disposed in the vertical direction on one side of the first lifting unit 150.

가이드 플레이트(172)는 소정 두께를 갖는 판으로, 선단이 실린더(151)와 연결 플레이트(153) 사이에 위치하고, 후단이 가이드 로드(171)에 지지된다. 가이드 플레이트(172)의 선단에는 가이드 로드(152)가 삽입되는 홀이 형성된다. 가이드 플레이트(172)는 가이드 로드(152)가 수직 방향으로 이동할 수 있도록 안내한다. 가이드 플레이트(172)는 실린더(151)의 상단과 그리고 연결 플레이트(153)와 소정 간격으로 유지될 수 있다. The guide plate 172 is a plate having a predetermined thickness, the front end is located between the cylinder 151 and the connection plate 153, the rear end is supported by the guide rod 171. A hole into which the guide rod 152 is inserted is formed at the tip of the guide plate 172. The guide plate 172 guides the guide rod 152 to move in the vertical direction. The guide plate 172 may be maintained at a predetermined distance from the upper end of the cylinder 151 and the connection plate 153.

구동기(173)는 가이드 로드(171)를 따라 가이드 플레이트(172)를 승강시킨다. 구동기(173)는 실린더 로드(152)가 승강하는 속도에 대응하여 가이드 플레이트(172)를 승강시킬 수 있다.The driver 173 lifts the guide plate 172 along the guide rod 171. The actuator 173 may elevate the guide plate 172 in response to a speed at which the cylinder rod 152 elevates.

제2가이드 유닛(180)은 가이드 로드(181)와 가이드 플레이트(182), 그리고 구동기(183)를 포함한다. 제2가이드 유닛(180)의 각 구성은 제1가이드 유닛(170)의 상술한 구성들과 동일한 구조로 제공되므로, 상세한 설명은 생략한다. The second guide unit 180 includes a guide rod 181, a guide plate 182, and a driver 183. Since each configuration of the second guide unit 180 is provided in the same structure as the above-described configurations of the first guide unit 170, detailed descriptions are omitted.

제1실린더 로드(152)와 제2실린더 로드(162)의 승강 속도가 상이한 경우, 용기(130)는 일측으로 기울어진다. 가이드 플레이트(172, 182)와 연결 플레이트(153, 163)의 간격, 그리고 실린더(151, 161) 상단과의 간격은 상술한 기울어짐으로 인한 연결 플레이트(153, 163)와 가이드 플레이트(172, 182)의 간섭을 예방할 수 있다. 용기(130)에 기울어짐이 발생하더라도, 어느 실린더 로드(152)가 기 설정된 높이에 먼저 도달한 후, 다른 하나의 실린더 로드(162)가 동일한 높이에 도달할 수 있다. 이 과정에서 가이드 플레이트(172, 182)는 지속하여 실린더 로드(152, 162)의 이동을 안내할 수 있다.When the lifting speeds of the first cylinder rod 152 and the second cylinder rod 162 are different, the container 130 is inclined to one side. The distance between the guide plates 172 and 182 and the connection plates 153 and 163 and the distance between the top of the cylinders 151 and 161 are the connection plates 153 and 163 and the guide plates 172 and 182 due to the inclination described above. ) Interference can be prevented. Even if inclination occurs in the container 130, one cylinder rod 152 may reach a preset height first, and then the other cylinder rod 162 may reach the same height. In this process, the guide plates 172 and 182 may continue to guide the movement of the cylinder rods 152 and 162.

상술한 제1가이드 유닛(170)과 제2가이드 유닛(180)은 용기(130)가 안정적으로 승강될 수 있도록 제1 및 제2승강 유닛(150, 160)의 이동을 안내하므로, 제1 및 제2승강 유닛(150, 160)의 구동기에는 항상 일정한 크기의 부하가 발생한다. 이는 용기(130)의 기울어짐 등으로 발생될 수 있는 부하의 증가로 따른 승강 유닛(150, 160)의 수명 단축을 예방한다.
The first guide unit 170 and the second guide unit 180 described above guide the movement of the first and second lift units 150 and 160 so that the container 130 can be stably lifted, so that the first and A load of a constant size is always generated in the actuators of the second lifting units 150 and 160. This prevents shortening of the life of the lifting units 150 and 160 due to an increase in load that may occur due to inclination of the container 130.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will be able to make various modifications and variations without departing from the essential characteristics of the present invention. Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention, but to explain the technical idea, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

10: 기판 처리 장치 110: 공정 챔버
120: 기판 지지 부재 130: 용기
140: 노즐 유닛 150: 제1승강 유닛
160: 제2승강 유닛 151, 161: 실린더
152, 162: 실린더 로드 153, 163: 연결 플레이트
154: 연결 볼트 155, 165: 제1체결볼트
156, 166: 제2체결볼트 170: 제1가이드 유닛
180: 제2가이드 유닛10: substrate processing apparatus 110: process chamber
120: substrate support member 130: container
140: nozzle unit 150: first lifting unit
160: second lifting unit 151, 161: cylinder
152, 162: cylinder rod 153, 163: connecting plate
154: connecting bolt 155, 165: first fastening bolt
156, 166: second fastening bolt 170: first guide unit
180: second guide unit

Claims (5)

내부에 공간이 형성된 공정 챔버;
상기 공정 챔버 내부에 위치하며, 기판을 지지하는 척;
상기 척의 주변을 감싸며, 상기 척에 지지된 기판으로 공급된 처리액을 회수하는 용기;
상기 용기의 일측에 배치되며, 상기 용기를 승강시키는 제1승강 유닛;
상기 용기의 타측에 배치되며, 상기 제1승강 유닛과 함께 상기 용기를 승강시키는 제2승강 유닛;
상기 제1승강 유닛과 연결되며, 상기 제1승강 유닛의 승강을 안내하는 제1가이드 유닛; 및
상기 제2승강 유닛과 연결되며, 상기 제2승강 유닛의 승강을 안내하는 제2가이드 유닛을 포함하되;
상기 제1승강 유닛과 상기 제2승강 유닛 각각은,
실린더;
상기 실린더에 삽입되어 상하방향으로 이동가능하며, 상단에 연결 플레이트가 결합하는 실린더 로드; 및
상기 용기와 상기 연결 플레이트를 체결하는 체결부재를 포함하고,
상기 제1가이드 유닛과 상기 제2가이드 유닛 각각은,
상기 용기의 일측에서 상하방향으로 배치되는 가이드 로드; 및
상기 가이드 로드에 지지되고, 선단이 상기 실린더와 상기 연결 플레이트 사이에 위치하며, 상기 실린더 로드가 삽입되는 홀이 형성된 가이드 플레이트를 포함하며,
상기 가이드 플레이트는 상기 실린더 로드의 상하 방향 이동을 안내하는 기판 처리 장치.A process chamber having a space formed therein;
A chuck positioned inside the process chamber and supporting a substrate;
A container surrounding the chuck and recovering the processing liquid supplied to the substrate supported by the chuck;
A first lifting unit disposed on one side of the container and lifting the container;
A second lifting unit disposed on the other side of the container, and lifting the container together with the first lifting unit;
A first guide unit connected to the first lifting unit and guiding the lifting of the first lifting unit; And
A second guide unit connected to the second lifting unit and guiding the lifting of the second lifting unit;
Each of the first lifting unit and the second lifting unit,
cylinder;
A cylinder rod inserted into the cylinder and movable in a vertical direction, and a connection plate coupled to an upper end thereof; And
Including a fastening member for fastening the container and the connection plate,
Each of the first guide unit and the second guide unit,
A guide rod disposed in a vertical direction on one side of the container; And
A guide plate supported by the guide rod, a tip end positioned between the cylinder and the connection plate, and having a hole into which the cylinder rod is inserted,
The guide plate is a substrate processing apparatus that guides the vertical movement of the cylinder rod. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 가이드 플레이트의 선단은 상기 연결 플레이트로부터 소정 간격이격하여 위치하는 기판 처리 장치.The method of claim 1,
The front end of the guide plate is positioned at a predetermined distance from the connection plate. 제 1 항에 있어서,
상기 제1승강 유닛의 체결 부재는
상기 용기의 일측으로 돌출된 제1연결 브라켓과 상기 제1승강 유닛의 연결 플레이트를 체결하는 제1체결볼트; 및
상기 제1체결볼트의 일측에서 상기 제1연결 브라켓과 상기 제1승강 유닛의 연결 플레이트를 체결하는 제2체결볼트를 포함하고,
상기 제2승강 유닛의 체결 부재는
상기 용기의 타측으로 돌출된 제2연결 브라켓과 상기 제2승강 유닛의 연결 플레이트를 체결하는 제3체결볼트; 및
상기 제3체결볼트의 일측에서 상기 제2연결 브라켓과 상기 제2승강 유닛의 연결 플레이트를 체결하는 제4체결볼트를 포함하는 기판 처리 장치.The method of claim 1,
The fastening member of the first lifting unit
A first fastening bolt for fastening the first connection bracket protruding toward one side of the container and the connection plate of the first lifting unit; And
A second fastening bolt for fastening the first connection bracket and the connection plate of the first lifting unit at one side of the first fastening bolt,
The fastening member of the second lifting unit
A third fastening bolt for fastening the second connection bracket protruding to the other side of the container and the connection plate of the second lifting unit; And
A substrate processing apparatus comprising a fourth fastening bolt for fastening the second connection bracket and the connection plate of the second lifting unit at one side of the third fastening bolt. 제 4 항에 있어서,
상기 제1체결볼트은 상기 용기의 중심을 기준으로 상기 제3체결볼트와 대칭하여 배치되고,
상기 제2체결볼트는 상기 용기의 중심을 기준으로 상기 제4체결볼트와 대칭하여 배치되는 기판 처리 장치.The method of claim 4,
The first fastening bolt is disposed symmetrically with the third fastening bolt based on the center of the container,
The second fastening bolt is disposed symmetrically with the fourth fastening bolt with respect to the center of the container.
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