KR102180641B1

KR102180641B1 - 유도 결합 플라즈마 처리장치

Info

Publication number: KR102180641B1
Application number: KR1020190082141A
Authority: KR
Inventors: 이경석; 이종빈; 이지효
Original assignee: 인베니아 주식회사
Priority date: 2019-07-08
Filing date: 2019-07-08
Publication date: 2020-11-19
Also published as: CN211295031U

Abstract

본 발명에 따른 유도 결합 플라즈마 처리장치는 안테나, 적어도 하나의 윈도우, 적어도 하나의 윈도우를 지지하는 윈도우 프레임, 유전체 창을 수용하고 유전체 창의 배치위치를 기준으로 상호 독립적으로 구획되며 진공 분위기로 기판이 공정 처리되는 공정 공간이 형성된 제 1챔버 및 대기압 분위기로 안테나를 수용하는 수용 공간이 형성된 제 2챔버를 갖는 챔버, 안테나가 수용 공간으로 인입 및 수용 공간으로부터 인출되는 제 2챔버의 개방 영역을 커버하는 리드(lid), 일측은 유전체 창에 연결되고 타측은 리드와 결합 및 분리 가능하게 연결되며 유전체 창의 자중에 의한 처짐을 제한하는 복수 개의 서포터 및 리드의 하부 배치되고 수용 공간에 수용되는 안테나와 리드를 상호 연결하여 유전체 창의 판면으로부터 일정 간격을 두고 안테나를 유지시키는 복수 개의 서스펜딩(suspending)부를 포함하며, 안테나는 리드와 복수 개의 서포터가 상호 분리될 때 수용 공간으로부터 리드와 일체로 이탈되는 것을 특징으로 한다.

Description

유도 결합 플라즈마 처리장치{INDUCTIVELY COUPLED PLASMA PROCESSING APPARATUS}

본 발명은 유도 결합 플라즈마 처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유도 결합 플라즈마를 생성하여 공정 공간에서 기판을 공정 처리하는 유도 결합 플라즈마 처리장치에 관한 것이다.

기판 처리장치는 일반적으로 기판을 식각, 증착 등과 같은 다양한 공정 처리를 수행하는 제조 장치이다. 기판 처리장치는 사용 용도에 따라 반도체 제조에 사용되는 웨이퍼 및 디스플레이 장치의 제조에 사용되는 글라스(glass) 기판을 공정 처리한다.

이러한 기판 처리장치의 공정 처리 중 하나인 식각 공정 처리는 기판에 패턴 등을 형성하는 기판 처리 공정이다. 대표적으로 식각 공정 처리는 습식 방식과 건식 방식의 기판 처리 장치를 포함하고, 최근에는 식각 공정 속도 등의 장점이 있는 건식 방식의 기판 처리장치가 주로 사용되고 있다. 건식 방식의 기판 처리장치는 플라즈마를 이용하여 기판을 식각 공정 처리한다. 플라즈마를 이용하는 기판 처리장치는 대표적으로 용량 결합 플라즈마 처리장치(CCP; Capacitively Coupled Plasma)와 유도 결합 플라즈마 처리장치(ICP; Inductively Coupled Plasma)로 구분되며, 식각 효율성에 높은 유도 결합 플라즈마 처리장치가 용량 결합 플라즈마 처리장치 대비 많이 사용된다. 유도 결합 플라즈마 처리장치의 특징은 안테나에 흐르는 전류에서 형성된 자기장이 변화할 때 전자의 가속화에 따른 에너지와 공정가스와의 이온화에 의해 생성된 플라즈마를 이용한다.

한편, 유도 결합 플라즈마 처리장치는 기판이 처리되는 공정 공간에 유도 결합 플라즈마를 발생하도록 고주파 전원이 인가되는 안테나, 절연체인 유전체 및 유전체를 지지하는 프레임을 포함한다. 이러한 유전체와 프레임은 챔버의 내부를 기판이 처리되는 공정 공간과 안테나가 수용되는 수용 공간으로 구획한다. 실질적으로 안테나가 수용되는 수용 공간은 리드(lid)에 의해 형성된다. 리드의 내부에는 유전체 및 프레임을 지지, 즉 서스펜딩(suspending) 하기 위한 지지 빔이 배치된다.

그런데, 상술한 지지 빔은 리드의 내부에서 분리가 어려운 구조를 가짐에 따라 수용 공간의 정비가 어려울 뿐만 아니라 안테나의 정비도 어려운 문제점이 있다. 예를 들어 안테나 수리 또는 교체와 유전체의 수리 또는 교체를 위해서는 리드 내부의 좁은 공간을 통해서 작업자가 수리 또는 교체 작업을 진행하기 때문에 작업 시 위험성이 증대될 뿐만 아니라 작업 효율이 저하되는 문제점이 있다.

대한민국 공개특허공보 제10-2013-0132355호 : 유도 결합 플라즈마 처리 장치

본 발명의 목적은 리드의 구조 분리 시 안테나도 함께 분리 이동할 수 있도록 구조가 개선된 유도 결합 플라즈마 처리장치를 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 리드의 내부 및 결합 구조를 개선하여 유지 보수비용 절감 및 정비 효율을 향상시킬 수 있는 유도 결합 플라즈마 처리장치도 제공하는 것이다.

상기 과제의 해결 수단은, 본 발명에 따라 안테나와, 적어도 하나의 윈도우와, 적어도 하나의 상기 윈도우를 지지하는 윈도우 프레임과, 상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임을 수용하고 상기 윈도우 프레임의 배치위치를 기준으로 상호 독립적으로 구획되며 진공 분위기로 기판이 공정 처리되는 공정 공간이 형성된 제 1챔버 및 대기압 분위기로 상기 안테나를 수용하는 수용 공간이 형성된 제 2챔버를 갖는 챔버와, 상기 안테나가 상기 수용 공간으로 인입 및 상기 수용 공간으로부터 인출되는 상기 제 2챔버의 개방 영역을 커버하는 리드(lid)와, 일측은 상기 윈도우 프레임에 연결되고 타측은 상기 리드와 결합 및 분리 가능하게 연결되며 상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임의 자중에 의한 처짐을 제한하는 복수 개의 서포터와, 상기 리드의 하부 배치되고 상기 수용 공간에 수용되는 상기 안테나와 상기 리드를 상호 연결하여 상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임의 판면으로부터 일정 간격을 두고 상기 안테나를 유지시키는 복수 개의 서스펜딩(suspending)부를 포함하며, 상기 안테나는 상기 리드와 복수 개의 상기 서포터가 상호 분리될 때 상기 수용 공간으로부터 상기 리드와 일체로 이탈되는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 처리장치에 의해 이루어진다.

여기서, 상기 리드는 복수 개의 상기 서포터에 대응하여 상기 윈도우 프레임의 평면과 평행한 평면 상에 격자로 배치되는 복수 개의 리드 프레임을 포함하며, 격자로 배치되는 복수 개의 상기 리드 프레임의 하부에 판재 형상으로 배치되어 상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임의 판면에 대해 일정 간격을 두고 상기 안테나를 서스펜딩 시키는 복수 개의 상기 서스펜딩부와 연결되는 안테나 플레이트를 더 포함할 수 있다.

상기 리드는 복수 개의 상기 서포터에 대응하여 상기 윈도우 프레임의 평면과 평행한 평면 상에 격자로 배치되고 상부 및 하부가 상기 상부 및 상기 하부를 연결하는 연결부의 단면 폭보다 상대적으로 긴 아이 빔(I-beam) 형상을 갖는 복수 개의 리드 프레임을 포함하며, 격자로 배치되는 복수 개의 상기 리드 프레임의 하부에 판재 형상으로 배치되어 상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임의 판면에 대해 일정 간격을 두고 상기 안테나를 서스펜딩 시키는 복수 개의 상기 서스펜딩부와 연결되는 안테나 플레이트를 더 포함할 수 있다.

상기 안테나 플레이트의 중앙 영역에는 외부의 고주파 전원과 상기 안테나를 전기적으로 연결하기 위한 전선이 관통되는 관통부가 형성되어 있을 수 있다.

상기 유도 결합 플라즈마 처리장치는 상기 리드의 외부로부터 상기 리드를 관통하여 복수 개의 상기 서포터에 각각 체결 및 체결 해제되는 복수 개의 체결부재를 더 포함하며, 복수 개의 상기 체결부재에 의해 상기 리드와 복수 개의 상기 서포터의 체결이 해제될 때 상기 리드는 상기 안테나와 함께 복수 개의 상기 서포터로부터 분리 및 상기 제 2챔버로부터 이탈되어 상기 개방 영역을 통해 상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임으로의 접근을 허용할 수 있다.

상기 리드 프레임의 측면에는 상기 리드 프레임과 복수 개의 상기 서포터의 체결위치에 대응되어 복수 개의 상기 체결부재를 상기 체결위치로 안내하는 복수 개의 체결 가이드홀이 관통 형성되어 있을 수 있다.

복수 개의 상기 체결부재는 아이 빔 형상을 갖는 상기 리드 프레임의 상기 하부를 관통하여 복수 개의 상기 서포터와 체결될 수 있다.

기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명에 따른 유도 결합 플라즈마 처리장치의 효과는 다음과 같다.

첫째, 리드와 안테나가 상호 결합되어 제 2챔버로부터 리드의 분리 시 안테나도 리드와 함께 제 2챔버로부터 분리됨에 따라 안테나의 유지보수 편의성을 향상시킴과 함께 제 2챔버 내부의 접근 편의성을 향상할 수 있다.

둘째, 안테나의 수용 공간을 커버하는 리드와 윈도우 프레임을 지지하는 복수 개의 서포터를 리드의 외부에 상호 체결 및 체결 해제하는 체결부재를 사용하여 유지 보수 필요 시 체결부재의 체결 해제에 의해 리드를 복수 개의 서포터로부터 분리 및 수용 공간으로부터 이탈 시킬 수 있음에 따라 수용 공간의 접근 및 윈도우와 윈도우 프레임의 접근을 허용할 수 있으므로, 수용 공간 및 윈도우와 윈도우 프레임의 유지 보수 편의성을 향상할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 유도 결합 플라즈마 처리장치의 개략 구성도,
도 2는 도 1에 도시된 본 발명의 제 1실시 예에 따른 커버가 제거된 제 2챔버 영역의 사시도,
도 3은 도 2에 도시된 Ⅲ-Ⅲ 선의 단면도,
도 4는 도 3에 도시된 A 영역의 확대 단면도,
도 5는 도 3에 도시된 A 영역에서 체결부재를 해제하는 단면 확대도,
도 6은 도 5에 도시된 체결부재에 의한 체결 해제에 의해 제 2챔버 및 서포터로부터 리드 영역이 분리되는 분리 사시도,
도 7은 도 6에 도시된 제 2챔버 및 서포터로부터 분리된 리드 영역의 사시도,
도 8은 도 7에 도시된 Ⅷ-Ⅷ 선의 단면도,
도 9는 본 발명의 제 2실시 예에 따른 커버가 제거된 제 2챔버 영역의 사시도,
도 10은 도 9에 도시된 Ⅹ-Ⅹ 선의 단면도,
도 11은 도 10에 도시된 B 영역의 확대 단면도,
도 12는 도 11에 도시된 체결부재에 의한 체결 해제에 의해 제 2챔버 및 서포터로부터 리드 영역이 분리되는 분리 사시도,
도 13은 도 12에 도시된 ⅩⅢ -ⅩⅢ 선의 단면도이다.

이하, 본 발명의 실시 예에 따른 유도 결합 플라즈마 처리장치에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

설명하기에 앞서, 본 발명의 제 1 및 제 2실시 예에 따른 유도 결합 플라즈마 처리장치의 동일 구성 명칭에 대해서는 동일한 도면 부호로 기재하였음을 미리 밝혀둔다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 유도 결합 플라즈마 처리장치의 개략 구성도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 유도 결합 플라즈마 처리장치(1)는 윈도우(100), 윈도우 프레임(105), 안테나(110), 챔버(10), 리드(lid)(90), 서포터(supporter)(130) 및 서스펜딩부(suspending)(160)를 포함한다. 또한, 본 발명의 실시 예에 따른 유도 결합 플라즈마 처리장치(1)는 게이트(20), 베이스부(30), 정전 척(40), 절연부(50), 냉각부(60), 전극부(70), 전극부용 전원 공급부(80), 고주파 전원 공급부(110), 체결부재(140) 및 안테나 플레이트를 더 포함한다.

챔버(10)는 윈도우(100)와 윈도우 프레임(105)에 의해 상호 구획되는 제 1챔버(12) 및 제 2챔버(14)를 포함한다. 제 1챔버(12)는 제 1챔버 몸체(12a), 공정 공간(12b) 및 배기구(12c)를 포함한다. 제 1챔버 몸체(12a)는 진공 분위기로 기판(S)이 공정 처리되는 공정 공간(12b)을 형성한다. 여기서, 제 1챔버 몸체(12a)에 의해 형성된 공정 공간(12b)에는 기판(S)이 지지되는 스테이지가 배치된다. 배기구(12c)는 제 1챔버 몸체(12)의 일측에 관통 형성되어 공정 공간(12b)이 진공 분위기를 유지할 수 있도록 진공 펌프(미도시) 등과 같은 진공수단에 연결된다.

제 2챔버(14)는 제 2챔버 몸체(14a), 수용 공간(14b) 및 개방 영역(14c)을 포함한다. 제 2챔버 몸체(14a)는 내부에 안테나(110)를 수용하는 수용 공간(14b)을 형성하고, 안테나(110)가 인입 및 인출될 수 있는 개방 영역(14c)을 형성한다. 제 2챔버 몸체(14a)에 의해 형성된 수용 공간(14b)은 제 1챔버(12)의 공정 공간(12b)과 달리 대기압 분위기로 유지된다. 여기서, 제 2챔버(14)의 개방 영역(14c)은 후술할 리드(90)에 의해 커버된다.

스테이지는 제 1챔버 몸체(12a)에 의해 형성된 공정 공간(12b)에 배치되어 공정 공간(12b)으로 인입된 기판(S)을 지지한다. 스테이지는 본 발명의 일 실시 예로서, 베이스부(30), 정전 척(40), 절연부(50), 냉각부(60) 및 전극부(70)를 포함한다.

베이스부(30)는 제 1챔버몸체(12a)의 하부에 배치된다. 베이스부(30)는 스테이지를 구성하는 상술한 정전 척(40), 절연부(50), 냉각부(60) 및 전극부(70)를 지지한다. 베이스부(30)는 제 1챔버몸체(12a)와 절연되는 것이 바람직하다. 정전 척(40)은 기판(S)을 선택적으로 척킹하도록 마련된다. 정전 척(40)은 외부로부터 공급되는 전원에 따라 기판(S)을 선택적으로 척킹한다.

절연부(50)는 베이스부(30)와 정전 척(40) 사이에 배치된다. 절연부(50)는 베이스부(30)와 정전 척(40) 사이를 절연한다. 실질적으로 절연부(50)는 정전 척(40)의 하부에 배치된 전극부(70)와 베이스부(30) 사이를 절연한다. 냉각부(60)는 정전 척(40)과 절연부(50) 사이에 배치된다. 냉각부(60)는 정전 척(40)의 하부에 배치된 전극부(70)로부터의 발열을 냉각한다. 상세하게 냉각부(60)는 전극부(70)에 전원이 인가될 때 발생되는 발열을 냉각한다.

전극부(70)는 정전 척(40)과 냉각부(60) 사이에 배치된다. 전극부(70)는 전극부용 전원 공급부(80)와 전기적으로 연결된다. 전극부(70)는 전극부용 전원 공급부(80)로부터 공급된 전원에 따라 공정 공간(12b)에 전기장을 생성한다. 전극부(70)로부터 생성된 전기장은 안테나(110) 및 윈도우(100)에 의해 발생된 유도 전계와 함께 공정 공간(12b)에서 유도 결합 플라즈마를 생성한다.

다음으로 도 2는 도 1에 도시된 본 발명의 제 1실시 예에 따른 커버가 제거된 제 2챔버 영역의 사시도, 도 3은 도 2에 도시된 Ⅲ-Ⅲ 선의 단면도, 도 4는 도 3에 도시된 A 영역의 확대 단면도, 도 5는 도 3에 도시된 A 영역에서 체결부재를 해제하는 단면 확대도, 도 6은 도 5에 도시된 체결부재에 의한 체결 해제에 의해 제 2챔버 및 서포터로부터 리드 영역이 분리되는 분리 사시도, 도 7은 도 6에 도시된 제 2챔버 및 서포터로부터 분리된 리드 영역의 사시도, 그리고 도 8은 도 7에 도시된 Ⅷ-Ⅷ 선의 단면도이다.

리드(90)는 도 2 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 안테나(110)가 수용 공간(14b)으로 인입 및 수용 공간(14b)으로부터 인출되는 제 2챔버(14)의 개방 영역(14c)을 커버한다. 리드(90)는 본 발명의 일 실시 예로서, 리드 프레임(92), 체결 가이드 홀(94) 및 커버(96)를 포함한다.

리드 프레임(92)은 복수 개의 서포터(130)에 대응하여 복수 개로 배치되며, 윈도우 프레임(105)의 평면과 평행한 평면 상에 격자로 배치된다. 리드 프레임(92)은 본 발명의 일 실시 예로서, 상부(92a) 및 하부(92b)가 상부(92a) 및 하부(92b)를 연결하는 연결부(92c)의 단면 폭보다 상대적으로 긴 아이 빔(I-beam) 형상을 갖는다. 물론, 리드 프레임(92)의 형상은 아이 빔 형상 이외에도 다른 형상을 가질 수 있다.

체결 가이드홀(94)은 리드 프레임(92)과 복수 개의 서포터(130)의 체결위치에 대응된 위치에 형성된다. 체결 가이드홀(94)은 리드 프레임(92)의 측면에 관통 형성되어 체결위치로 체결부재(140)를 안내한다. 여기서, 체결 가이드홀(94)은 체결부재(140)가 체결위치에서 체결 및 체결 해제될 수 있는 크기를 갖는 것이 바람직하다.

커버(96)는 복수 개의 리드 프레임(92) 사이를 커버한다. 본 발명의 일 실시 예로서 커버(96)는 복수 개의 리드 프레임(92) 사이를 커버하도록 배치되나, 본 발명의 일 실시 예와 달리 사용되지 않을 수도 있다.

윈도우(100) 및 윈도우 프레임(105)은 챔버(10) 내부에 배치된다. 윈도우(100) 및 윈도우 프레임(105)은 챔버(10) 내부를 진공 분위기로 유지되는 제 1챔버(12)와 대기압 분위기로 유지되는 제 2챔버(14)로 상호 구획한다. 윈도우(100)는 적어도 하나가 배치되고, 본 발명의 일 실시 예로서 복수 개로 분할되어 배치된다. 윈도우(100)의 크기가 대형화되는 기판(S)의 크기에 대응되면 자중에 의해 처짐 현상이 발생할 수 있으므로, 윈도우(100)는 복수 개로 분할되어 배치된다. 윈도우 프레임(105)은 복수 개로 분할된 윈도우(100)를 지지하도록 마련된다. 윈도우 프레임(105)은 공정 공간(12b)과 수용 공간(14b) 사이에 배치된다. 윈도우 프레임(105)은 본 발명의 일 실시 예로서 9개로 분할된 윈도우(100)를 지지하나, 윈도우(100)의 개수 변경에 따라 다양하게 설계 변경될 수 있다. 그리고, 윈도우 프레임(105)은 윈도우(100)의 자중에 의한 처짐 현상을 제한하기 위해 복수 개의 서포터(130)에 연결된다.

안테나(110)는 고주파 전원 공급부(120)와 전기적으로 연결되고 제 2챔버(14)에 의해 형성된 수용 공간(14b)에 수용된다. 안테나(100)는 고주파 전원 공급부(120)로부터 공급된 고주파 전원에 따라 유도 전류를 생성한다. 안테나(110)는 리드(90)에 연결되어 리드(90)와 복수 개의 서포터(130)의 분리 시 리드(90)와 함께 이동된다.

서포터(130)는 윈도우 프레임(105)을 지지하도록 복수 개로 배치된다. 서포터(130)의 일측은 윈도우 프레임(105)에 연결되고, 타측은 리드(90)와 결합 및 분리가능 하게 연결되며 윈도우(100) 및 윈도우 프레임(105)의 자중에 의한 처짐을 제한한다. 서포터(130)는 기판(S)의 대형화에 대응되어 대형화된 윈도우(100) 및 윈도우 프레임(105)이 자중에 의해 처지는 것을 제한한다. 본 발명의 일 실시 예로서, 복수 개의 서포터(130)는 리드(90) 중 리드 프레임(92)에 결합 및 분리 가능하게 연결된다. 상세하게 복수 개의 서포터(130)는 유전체 창(100)과 리드 프레임(92) 사이에 윈도우 프레임(105)의 판면에 대해 가로 방향으로 배치된다. 즉, 복수 개의 서포터(130)는 윈도우 프레임(105)과 리드 프레임(92) 사이에 수직으로 배치된다.

체결부재(140)는 리드(90)의 외부로부터 리드(90)를 관통하여 복수 개의 서포터(130)에 각각 체결 및 체결 해제되도록 복수 개로 마련된다. 구체적으로 체결부재(140)는 리드 프레임(92)을 관통하여 서포터(130)에 나사 결합 및 분리된다. 본 발명의 제 1실시 예로서, 복수 개의 체결부재(140)는 리드 프레임(92)에 형성된 체결 가이드홀(94)로 안내되어 체결위치에서 리드 프레임(92)을 관통하여 서포터(130)와 체결된다. 즉, 체결부재(140)는 리드(90)의 외부로부터 관통하여 서포터(130)와 체결됨에 따라 작업자가 리드(90)와 서포터(130)의 체결 및 체결 해제 작업 시 작업 편의성을 제공한다.

한편, 도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 리드(90)와 서포터(130)를 체결한 체결부재(140)의 체결이 해제될 때 리드(90)와 서포터(130)는 상호 분리된다. 여기서, 체결부재(140)의 체결 해제에 의해 리드(90)와 복수 개의 서포터(130)가 분리될 때, 리드(90)는 복수 개의 서포터(130)로부터 분리 및 제 2챔버(14)로부터 이탈되어 개방 영역(14c)을 통해 수용 공간(14b)을 노출시킨다. 상세하게 리드(90)와 복수 개의 서포터(130)를 상호 체결한 복수 개의 체결부재(140)를 작업자가 체결 해제하면, 리드(90)가 복수 개의 서포터(130)로부터 분리 및 제 2챔버(14)로부터 이탈된다. 그러면, 작업자는 개방 영역(14c)을 통해 제 2챔버(14)의 내부, 즉 윈도우(100) 및 윈도우 프레임(105)으로 접근 가능함과 함께 수용 공간(14b)에 접근 가능함으로써 윈도우(100)와 윈도우 프레임(105) 및 수용 공간(14b)의 유지 보수 편의성을 향상할 수 있다.

다음으로 안테나 플레이트(150)와 서스펜딩부(160)는 리드(90)에 안테나(110)를 매달 수 있도록 마련된다. 안테나 플레이트(150)는 서스펜딩부(160)가 연결되는 플레이트 몸체(152) 및 플레이트 몸체(152)의 중앙 영역에 관통 형성된 관통부(154)를 포함한다. 플레이트 몸체(152)는 안테나(110)와 리드 프레임(92)을 상호 연결하도록 서스펜딩부(160)에 연결된다. 그리고, 관통부(154)는 외부로부터 고주파 전원을 공급하는, 상세하게 고주파 전원 공급부(120)와 안테나(110)를 연결하는 전선 또는 케이블이 관통하도록 마련된다.

서스펜딩부(160)는 리드(90)에 대해 안테나(110)가 서스펜딩 되도록 안테나 플레이트(150)와 안테나(110)를 상호 연결한다. 서스펜딩부(160)는 윈도우(100) 및 윈도우 프레임(105)의 판면에 대해 일정 간격을 두고 안테나(110)의 위치를 서스펜딩 한다. 이러한 안테나 플레이트(150)와 서스펜딩부(160)에 의해 안테나(110)는 리드(90)에 연결됨으로써, 리드(90)가 서포터(130)로부터 분리 및 제 2챔버(14)로부터 이탈 시 함께 분리 및 이탈된다.

한편, 도 9는 본 발명의 제 2실시 예에 따른 커버가 제거된 제 2챔버 영역의 사시도, 도 10은 도 9에 도시된 Ⅹ-Ⅹ 선의 단면도, 도 11은 도 10에 도시된 B 영역의 확대 단면도, 도 12는 도 11에 도시된 체결부재에 의한 체결 해제에 의해 제 2챔버 및 서포터로부터 리드 영역이 분리되는 분리 사시도, 도 13은 도 12에 도시된 ⅩⅢ -ⅩⅢ 선의 단면도이다.

도 9 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 2실시 예에 따른 유도 결합 플라즈마 처리장치(1)는 본 발명의 제 1실시 예에 따른 유도 결합 플라즈마 처리장치(1) 대비 리드(90)의 형상 및 체결부재(140)의 체결위치가 상이하다.

리드(90)는 본 발명의 제 1실시 예의 리드(90)와 달리 체결위치로 체결부재(140)를 안내하는 체결 가이드홀(94)을 포함하지 않는다. 즉, 리드 프레임(92)의 측면에는 체결부재(140)를 체결위치로 안내하는 체결 가이드홀(94)이 형성되지 않는다. 반면, 본 발명의 제 2실시 예에서 체결부재(140)는 리드 프레임(92)의 하부를 관통하여 서포터(130)와 체결 및 체결 해제된다.

상세하게 아이 빔 형상의 리드 프레임(92)의 단면 기준, 연결부(92c)를 사이에 두고 형성된 2개의 하부(92b) 중 어느 하나에 체결부재(140)가 체결된다. 여기서, 본 발명의 제 2실시 예의 체결부재(140)는 리드 프레임(92)의 하부를 관통하여 서포터(130)와 연결되고, 복수 개의 체결부재(140)는 연결부(92c)를 기준으로 양측에 형성된 하부 중 어느 하나에 교호적으로 배치되어 리드 프레임(92)의 편심 하중을 방지한다.

여기서, 안테나(110)를 지지하는 안테나 플레이트(150)와 서스펜딩부(160)는 리드(90)와 유전체 창(100) 사이에 복수 개로 배치된 서포터(130)의 간섭을 피해 배치된다. 물론, 본 발명의 제 2실시 예의 안테나 플레이트(150)도 제 1실시 예의 안테나 플레이트(150)와 같이 복수 개의 서스펜딩부(160)를 지지하는 플레이트 몸체(152) 및 고주파 전원 공급부(120)와 안테나(110)를 상호 전기적으로 연결하는 전선 또는 케이블이 관통하도록 형성된 관통부(154)를 포함한다. 그리고, 서스펜딩부(160)는 관통부(154)의 주위를 따라 복수 개로 배치되어 윈도우(100) 및 윈도우 프레임(105)에 대해 안테나(110)가 일정 간격을 두고 배치되도록 리드(90)에 안테나(110)를 서스펜딩 시킨다.

이러한 안테나 플레이트(150)와 복수 개의 서스펜딩부(160)에 의해 안테나(110)는 리드(90)와 일체형으로 연결되고, 안테나(110)는 리드(90)의 이동에 따라 함께 이동된다. 즉, 리드(90)가 복수 개의 서포터(130)로부터 분리 및 제 2챔버(14)로부터 이탈될 때 안테나(110)는 리드(90)와 함께 이동된다.

이에, 리드와 안테나가 상호 결합되어 제 2챔버로부터 리드의 분리 시 안테나도 리드와 함께 제 2챔버로부터 분리됨에 따라 안테나의 유지보수 편의성을 향상시킴과 함께 제 2챔버 내부의 접근 편의성을 향상할 수 있다.

또한, 안테나의 수용 공간을 커버하는 리드와 윈도우 프레임을 지지하는 복수 개의 서포터를 리드의 외부에 상호 체결 및 체결 해제하는 체결부재를 사용하여 유지 보수 필요 시 체결부재의 체결 해제에 의해 리드를 복수 개의 서포터로부터 분리 및 수용 공간으로부터 이탈 시킬 수 있음에 따라 수용 공간의 접근 및 윈도우와 윈도우 프레임의 접근을 허용할 수 있으므로, 수용 공간 및 윈도우와 윈도우 프레임의 유지 보수 편의성을 향상할 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징들이 변경되지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것으로 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

1: 유도 결합 플라즈마 처리장치 90: 리드(lid)
92: 리드 프레임 94: 체결 가이드홀
100: 윈도우 105: 윈도우 프레임
110: 안테나 130; 서포터(supporter)
140: 체결부재 150: 안테나 플레이트
152: 플레이트 몸체 154: 관통부
160: 서스펜딩(suspending)부

Claims

삭제
안테나와;
적어도 하나의 윈도우와;
적어도 하나의 상기 윈도우를 지지하는 윈도우 프레임과;
상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임을 수용하고 상기 윈도우 프레임의 배치위치를 기준으로 상호 독립적으로 구획되며, 진공 분위기로 기판이 공정 처리되는 공정 공간이 형성된 제 1챔버 및 대기압 분위기로 상기 안테나를 수용하는 수용 공간이 형성된 제 2챔버를 갖는 챔버와;
상기 안테나가 상기 수용 공간으로 인입 및 상기 수용 공간으로부터 인출되는 상기 제 2챔버의 개방 영역을 커버하는 리드(lid)와;
일측은 상기 윈도우 프레임에 연결되고 타측은 상기 리드와 결합 및 분리 가능하게 연결되며, 상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임의 자중에 의한 처짐을 제한하는 복수 개의 서포터와;
상기 리드의 하부 배치되고 상기 수용 공간에 수용되는 상기 안테나와 상기 리드를 상호 연결하여, 상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임의 판면으로부터 일정 간격을 두고 상기 안테나를 유지시키는 복수 개의 서스펜딩(suspending)부를 포함하며,
상기 안테나는 상기 리드와 복수 개의 상기 서포터가 상호 분리될 때, 상기 수용 공간으로부터 상기 리드와 일체로 이탈되고,
상기 리드는 복수 개의 상기 서포터에 대응하여 상기 윈도우 프레임의 평면과 평행한 평면 상에 격자로 배치되는 복수 개의 리드 프레임을 포함하며,
격자로 배치되는 복수 개의 상기 리드 프레임의 하부에 판재 형상으로 배치되어, 상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임의 판면에 대해 일정 간격을 두고 상기 안테나를 서스펜딩 시키는 복수 개의 상기 서스펜딩부와 연결되는 안테나 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 처리장치.
안테나와;
적어도 하나의 윈도우와;
적어도 하나의 상기 윈도우를 지지하는 윈도우 프레임과;
상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임을 수용하고 상기 윈도우 프레임의 배치위치를 기준으로 상호 독립적으로 구획되며, 진공 분위기로 기판이 공정 처리되는 공정 공간이 형성된 제 1챔버 및 대기압 분위기로 상기 안테나를 수용하는 수용 공간이 형성된 제 2챔버를 갖는 챔버와;
상기 안테나가 상기 수용 공간으로 인입 및 상기 수용 공간으로부터 인출되는 상기 제 2챔버의 개방 영역을 커버하는 리드(lid)와;
일측은 상기 윈도우 프레임에 연결되고 타측은 상기 리드와 결합 및 분리 가능하게 연결되며, 상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임의 자중에 의한 처짐을 제한하는 복수 개의 서포터와;
상기 리드의 하부 배치되고 상기 수용 공간에 수용되는 상기 안테나와 상기 리드를 상호 연결하여, 상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임의 판면으로부터 일정 간격을 두고 상기 안테나를 유지시키는 복수 개의 서스펜딩(suspending)부를 포함하며,
상기 안테나는 상기 리드와 복수 개의 상기 서포터가 상호 분리될 때, 상기 수용 공간으로부터 상기 리드와 일체로 이탈되고,
상기 리드는 복수 개의 상기 서포터에 대응하여 상기 윈도우 프레임의 평면과 평행한 평면 상에 격자로 배치되고 상부 및 하부가 상기 상부 및 상기 하부를 연결하는 연결부의 단면 폭보다 상대적으로 긴 아이 빔(I-beam) 형상을 갖는 복수 개의 리드 프레임을 포함하며,
격자로 배치되는 복수 개의 상기 리드 프레임의 하부에 판재 형상으로 배치되어, 상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임의 판면에 대해 일정 간격을 두고 상기 안테나를 서스펜딩 시키는 복수 개의 상기 서스펜딩부와 연결되는 안테나 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 처리장치.
제 2항 또는 제 3항에 있어서,
상기 안테나 플레이트의 중앙 영역에는 외부의 고주파 전원과 상기 안테나를 전기적으로 연결하기 위한 전선이 관통되는 관통부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 처리장치.
제 2항에 있어서,
상기 유도 결합 플라즈마 처리장치는,
상기 리드의 외부로부터 상기 리드를 관통하여 복수 개의 상기 서포터에 각각 체결 및 체결 해제되는 복수 개의 체결부재를 더 포함하며,
복수 개의 상기 체결부재에 의해 상기 리드와 복수 개의 상기 서포터의 체결이 해제될 때, 상기 리드는 상기 안테나와 함께 복수 개의 상기 서포터로부터 분리 및 상기 제 2챔버로부터 이탈되어 상기 개방 영역을 통해 상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임으로의 접근을 허용하는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 처리장치.
제 3항에 있어서,
상기 유도 결합 플라즈마 처리장치는,
상기 리드의 외부로부터 상기 리드를 관통하여 복수 개의 상기 서포터에 각각 체결 및 체결 해제되는 복수 개의 체결부재를 더 포함하며,
복수 개의 상기 체결부재에 의해 상기 리드와 복수 개의 상기 서포터의 체결이 해제될 때, 상기 리드는 상기 안테나와 함께 복수 개의 상기 서포터로부터 분리 및 상기 제 2챔버로부터 이탈되어 상기 개방 영역을 통해 상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임으로의 접근을 허용하는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 처리장치.
제 5항에 있어서,
상기 리드 프레임의 측면에는 상기 리드 프레임과 복수 개의 상기 서포터의 체결위치에 대응되어, 복수 개의 상기 체결부재를 상기 체결위치로 안내하는 복수 개의 체결 가이드홀이 관통 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 처리장치.
제 6항에 있어서,
복수 개의 상기 체결부재는 아이 빔 형상을 갖는 상기 리드 프레임의 상기 하부를 관통하여 복수 개의 상기 서포터와 체결되는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 처리장치.