KR102179063B1 - SoC test apparatus calculating signal line length - Google Patents

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신종경
이종민
김연관
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Abstract

The present invention provides a system on chip (SoC) test device, which comprises a signal connection switching control unit and a signal line length calculation unit. The SoC test device can be utilized in an SoC test automatically calculating a physical signal line length for each of a hi-fix board, a probe interface board (PIB), a probe card, and the SoC connected to the SoC test device by using location information of generated reflection waves, so as to promote the speed and accuracy of the test.

Description

신호 라인 길이를 산정하는 SoC 테스트 장치 {SoC test apparatus calculating signal line length}SoC test apparatus calculating signal line length

본 문서는 SoC 테스트 장치에 관한 것으로서, 반사파를 이용하여 SoC 테스트 장치에서 부하들의 신호 라인 길이를 산정하여 테스트 스피드와 정확성을 높이는 기술에 관련된다. This document relates to a SoC test apparatus, and relates to a technology that increases test speed and accuracy by calculating signal line lengths of loads in an SoC test apparatus using reflected waves.

현재 SoC 기술의 발전에 따라 더욱 정확하고 빠르게 테스트하는 것이 중요하게 되었다. As the current SoC technology advances, it becomes important to test more accurately and quickly.

SoC(System on Chip)란, 한 개의 칩에 완전 구동이 가능한 제품과 시스템이 내장된 디바이스를 말하는 것으로서 메모리부, 디지털 및 아날로그 신호를 제어, 처리하는 프로세싱부로 구성되어 있으며 시스템 기술과 반도체 기술들이 융합되고 종합된 IT 핵심기술의 결정체이다. SoC의 종류로는, PMIC(Power Management Integrated Circuit), AP(Application Processor), DDI(Display Driver Integrated Circuit), Power IC, CIS(CMOS Image sensor)가 있다.SoC (System on Chip) refers to a device with a system and a product that can be fully driven on a single chip. It is composed of a memory unit and a processing unit that controls and processes digital and analog signals, and system technology and semiconductor technologies are fused. It is the crystallization of integrated and integrated IT core technology. Types of SoC include Power Management Integrated Circuit (PMIC), Application Processor (AP), Display Driver Integrated Circuit (DDI), Power IC, and CMOS Image Sensor (CIS).

SoC를 테스트 하기 위해 SoC 테스트 장치와 SoC 사이에 하이픽스(Hi-Fix) 보드, PIB(Probe Interface Board) 및 프로브 카드(Probe card) 등의 커넥팅 부하들(Loads)을 순차적으로 연결하고 이들 부하들을 통해 SoC에 테스트 신호를 송신하고 성능 정보를 수신한다. SoC 테스트 장치에 있어서, 테스트 신호의 송신은 드라이버(Driver)를 통해 이루어지고 테스트 신호의 수신은 비교기(Comparator)를 통해 이루어 진다. 이 경우 SoC(DUT, Device Under Test)의 종류가 다를 때 마다 하이픽스(Hi-Fix) 보드, PIB(Probe Interface Board) 또는 프로브 카드(Probe card)의 사양(Specification)도 달라지게 된다. 그 사양이 다르다는 의미는 신호 라인의 길이가 다르다는 것을 포함하고 있으므로 전송 지연 시간(Propagation Delay Time)이 달라질 수밖에 없다. 따라서 SoC 테스트 장치의 제조업체는 SoC의 종류가 변경될 때 마다 하이픽스(Hi-Fix) 보드, PIB, 프로브 카드의 각 제조사로부터 물리적인 신호 라인 길이(Physical signal line length)에 관한 정보를 개별적으로 취득하여 SoC 테스트 장치에 새롭게 입력 및 저장하여야 하고, SoC의 테스트 장치의 사용자에게 이 정보를 알려 줘야 하는 번거로움이 발생하여 테스트 작업 속도가 저하될 뿐만 아니라, 양불 판정, 즉 테스트의 부정확이 발생하는 문제점이 있다. 이와 같은 문제점들은 SoC 테스트 장치가 적용하는 채널(Channels)의 수가 많으면 많을수록 비례하여 커지게 된다. To test the SoC, connect the connecting loads such as Hi-Fix board, PIB (Probe Interface Board), and probe card sequentially between the SoC test device and the SoC, and connect these loads. It transmits a test signal to the SoC and receives performance information. In the SoC test apparatus, transmission of a test signal is performed through a driver and reception of a test signal is performed through a comparator. In this case, each time the type of SoC (DUT, Device Under Test) is different, the specification of the Hi-Fix board, PIB (Probe Interface Board), or probe card also changes. The different specifications imply that the length of the signal line is different, so the propagation delay time is inevitably different. Therefore, the manufacturer of the SoC test device individually obtains information about the physical signal line length from each manufacturer of the Hi-Fix board, PIB, and probe card whenever the type of SoC changes. Therefore, it has to be newly input and stored in the SoC test device, and the hassle of notifying this information to the user of the SoC test device not only decreases the speed of the test work, but also results in a good or bad decision, that is, an inaccuracy of the test. There is this. These problems increase proportionally as the number of channels applied by the SoC test apparatus increases.

한국특허공보(등록공보번호: 10-1548288, "반사파 계측을 이용한 배선 진단 시스템")는 복수의 반사파 계측기를 이용하여 결함이 발생한 지점까지의 거리를 계산하여 분기된 선로를 구비한 배선 선로의 결함을 판단하는 기술로서, 신호 연결 스위칭 제어를 통해 하이픽스(Hi-Fix) 보드, PIB(Probe Interface Board) 프로브 카드(Probe card), SoC 각각의 신호 라인 길이를 산정하는 SoC 테스트 기술은 개시되어 있지 않다.Korean Patent Publication (Registration Publication No.: 10-1548288, "Wire Diagnosis System Using Reflected Wave Measurements") uses a plurality of reflected wave measuring devices to calculate the distance to the point where the defect occurs, and the defect of the wiring line with branched lines As a technology to determine the signal connection switching control, a Hi-Fix board, a PIB (Probe Interface Board) probe card, a SoC test technology that calculates the signal line length of each SoC is not disclosed. not.

본 발명은 SoC 테스트 장치에 관한 것으로서, 반사파 정보를 이용하여 부하들의 물리적인 신호 라인 길이를 자동으로 산정하는 것을 목적으로 한다.The present invention relates to an SoC test apparatus, and an object thereof is to automatically calculate the physical signal line length of loads using reflected wave information.

이러한 목적을 달성하기 위한 일 양상에 따른 SoC 를 테스트하기 위한 SoC 테스트 장치는,SoC test apparatus for testing SoC according to an aspect to achieve this purpose,

신호 송신부에 구비되어, SoC 테스트 장치와 하이픽스 보드 간의 신호 연결, 하이픽스 보드와 PIB 간의 신호 연결, PIB와 프로브 카드 간의 신호 연결, 또는 프로브 카드와 SoC 간의 신호 연결을 선택적으로 스위칭 제어하는 신호 연결 스위칭 제어부, 및A signal connection provided in the signal transmission unit to selectively switch and control the signal connection between the SoC test device and the high-fix board, the signal connection between the high-fix board and the PIB, the signal connection between the PIB and the probe card, or the signal connection between the probe card and SoC. A switching control unit, and

신호 수신부에 구비되어, 반사파가 발생한 송신 신호와 반사파가 발생한 수신 신호 간의 지연 시간 차이(Delay time difference)를 결정하여 하이픽스 보드, PIB, 프로브 카드, SoC 중 적어도 어느 하나의 신호 라인 길이를 산정하는 신호 라인 길이 산정부를 포함하여 구성한다.It is provided in the signal receiver and determines the delay time difference between the transmitted signal generated by the reflected wave and the received signal generated by the reflected wave to calculate the length of at least one signal line among the high-fix board, PIB, probe card, and SoC. It includes a signal line length calculation unit.

본 발명은 SoC 테스트 장치에 연결되어 있는 하이픽스(Hi-Fix) 보드, PIB(Probe Interface Board), 프로브 카드(Probe card), SoC(System on Chip)의 각각에 대한 물리적 신호 라인 길이를 자동으로 산정하여 SoC 테스트에 활용할 수 있게 함으로써 테스트의 신속성 및 정확성을 도모 할 수 있고, 또한 신호 라인 길이의 검증도 정확하고 신속하게 할 수 있다.The present invention automatically determines the physical signal line length for each of the Hi-Fix board, PIB (Probe Interface Board), probe card, and SoC (System on Chip) connected to the SoC test device. By making the calculations available for SoC testing, the speed and accuracy of the test can be promoted, and the verification of the signal line length can be performed accurately and quickly.

도 1은 일 실시예에 따른 SoC 테스트 시스템을 설명하는 도면이다.
도 2는 도 1의 SoC 테스트 장치의 송신 출력 파형을 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1의 SoC 테스트 장치의 송신 출력 파형 및 수신 출력 파형을 중첩한 파형을 나타낸 도면이다.
1 is a diagram illustrating an SoC test system according to an embodiment.
2 is a diagram showing a transmission output waveform of the SoC test apparatus of FIG. 1.
3 is a diagram showing a waveform in which a transmission output waveform and a reception output waveform of the SoC test apparatus of FIG. 1 are superimposed.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 기술되는 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 기술하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명 실시예들의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 본 발명 명세서 전반에 걸쳐 사용되는 용어들은 본 발명 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 사용자 또는 운용자의 의도, 관례 등에 따라 충분히 변형될 수 있는 사항이므로, 이 용어들의 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Hereinafter, the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily understand and reproduce the present invention through preferred embodiments described with reference to the accompanying drawings. In describing the present invention, when it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the embodiments of the present invention, the detailed description will be omitted. Terms used throughout the specification of the present invention are terms defined in consideration of functions in the embodiments of the present invention, and can be sufficiently modified according to the intention and custom of the user or operator. It should be made based on the contents of

또한 전술한, 그리고 추가적인 발명의 양상들은 후술하는 실시예들을 통해 명백해질 것이다. 본 명세서에서 선택적으로 기재된 양상이나 선택적으로 기재된 실시예의 구성들은 비록 도면에서 단일의 통합된 구성으로 도시되었다 하더라도 달리 기재가 없는 한 당업자에게 기술적으로 모순인 것이 명백하지 않다면 상호간에 자유롭게 조합될 수 있는 것으로 이해된다.In addition, the above-described and additional aspects of the invention will become apparent through the following embodiments. Aspects or configurations of the embodiments described selectively in the present specification may be freely combined with each other, even if they are shown as a single unified configuration in the drawings, unless otherwise stated, unless otherwise indicated in technical contradiction to those skilled in the art. I understand.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Accordingly, the embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are only the most preferred embodiment of the present invention, and do not represent all the technical spirit of the present invention, and thus various alternatives that can be substituted for them at the time of application It should be understood that there may be equivalents and variations.

도 1은 일 실시예에 따른 SoC 테스트 시스템을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, SoC 테스트 시스템(1000)은 SoC 테스트 장치(100), 신호 송신부(110), 신호 수신부(120), 하이픽스 보드(200), PIB(300), 프로브 카드(400), SoC(500)를 포함하여 구성될 수 있다. 1 is a diagram illustrating an SoC test system according to an embodiment. As shown, the SoC test system 1000 includes an SoC test device 100, a signal transmitter 110, a signal receiver 120, a high-fix board 200, a PIB 300, a probe card 400, and a SoC. It may be configured to include 500.

일 실시예에 따른, 하이픽스(Hi-Fix) 보드(200), PIB(Probe Interface Board, 300), 프로브 카드(Probe card, 400), SoC(System on Chip, 500) 중 적어도 어느 하나와 전기적으로 연결되어 SoC를 테스트하기 위한 SoC 테스트 장치(100)는,Electrically with at least one of a Hi-Fix board 200, a probe interface board (PIB) 300, a probe card 400, and a System on Chip 500 (SoC) according to an embodiment. SoC test device 100 for testing the SoC by being connected to,

신호 송신부(110)에 구비되어, SoC 테스트 장치(100)와 하이픽스 보드(200) 간의 신호 연결, 하이픽스 보드(200)와 PIB(300) 간의 신호 연결, PIB(300)와 프로브 카드(400) 간의 신호 연결, 또는 프로브 카드와 SoC 간의 신호 연결을 선택적으로 스위칭 제어하는 신호 연결 스위칭 제어부(111), 및It is provided in the signal transmission unit 110, the signal connection between the SoC test apparatus 100 and the high-fix board 200, the signal connection between the high-fix board 200 and the PIB 300, the PIB 300 and the probe card 400 ), or a signal connection switching control unit 111 for selectively switching and controlling the signal connection between the probe card and the SoC, and

신호 수신부(120)에 구비되어, 반사파가 발생한 송신 신호와 반사파가 발생한 수신 신호 간의 지연 시간 차이(Delay time difference)를 결정하여 하이픽스 보드, PIB, 프로브 카드, SoC 중 적어도 어느 하나의 신호 라인 길이를 산정하는 신호 라인 길이 산정부를 포함하여 구성될 수 있다. The signal line length of at least one of a high-fix board, PIB, probe card, and SoC by determining a delay time difference between the transmitted signal generated by the reflected wave and the received signal generated by the reflected wave, provided in the signal receiving unit 120 It may be configured to include a signal line length calculation unit for calculating.

SoC(500)를 테스트하기 위해서는, SoC 테스트 장치(100)에서 생성한 테스트 신호가 하이픽스 보드의 송신 라인 길이(T-1), PIB의 송신 라인 길이(T-2), PIB의 송신 포고 블록(310) 길이(T-3), 프로브 카드의 송신 라인 길이(T-4), 프로브 카드의 송신 프로브(410)의 길이(T-5)를 거쳐 SoC(500)에 입력되고, SoC(500)에서 생성한 테스트 성능 신호가 프로브 카드의 수신 프로브(410)의 길이(R-5), 프로브 카드의 수신 라인 길이(R-4), PIB의 수신 포고 블록(310) 길이(R-3), PIB의 수신 라인 길이(R-2), 하이픽스 보드의 수신 라인 길이(R-1)를 거쳐 SoC 테스트 장치(100)에 입력될 수 있다. 이 과정에서 반사파(Reflected wave)가 발생되고 지연 시간이 발생될 수 있다. SoC(500)도 자체적으로 신호 라인 길이를 가지고 있다. 각 신호 라인은 복수개의 채널을 구성하기 위해 복수개의 라인으로 구성될 수 있다.In order to test the SoC 500, the test signal generated by the SoC test device 100 is the transmission line length of the high-fix board (T-1), the transmission line length of the PIB (T-2), and the transmission pogo block of the PIB. (310) Through the length (T-3), the length of the transmission line of the probe card (T-4), the length of the transmission probe 410 of the probe card (T-5) is input to the SoC 500, and the SoC 500 ), the length of the reception probe 410 of the probe card (R-5), the length of the reception line of the probe card (R-4), and the length of the reception pogo block 310 of the PIB (R-3) , May be input to the SoC test apparatus 100 through the reception line length R-2 of the PIB and the reception line length R-1 of the high-fix board. In this process, a reflected wave may be generated and a delay time may be generated. SoC 500 also has its own signal line length. Each signal line may be composed of a plurality of lines to configure a plurality of channels.

반사파(Reflected wave)란, 매질이 다른 경계면이나 선로 상수가 다른 선로의 접합점에서 송신 및 수신 신호의 일부가 반사되어 나타나는 전자파를 의미하며, 도 1에서 송신 신호 접점(600, 610, 620, 630, 640) 및 수신 신호 접점(700, 710, 720, 730, 740)에서 발생할 수 있다. 송신 신호 접점(600, 610, 620, 630, 640) 및 수신 신호 접점(700, 710, 720, 730, 740)은 신호 측정 포인트일 수 있고 제품에 이미 구비된 외부 연결 커넥터나 패드를 이용할 수 있다. 반사파는 "High"신호 또는 "Low"신호가 아닌 중간 크기의 신호일 수 있으며 "Hi-z"로 표시될 수 있다.Reflected wave refers to an electromagnetic wave that appears by reflection of a part of a transmission and reception signal at an interface of a different medium or a junction of a line with a different line constant. In FIG. 1, the transmission signal contact points 600, 610, 620, 630, 640) and receive signal contact points 700, 710, 720, 730, 740. Transmission signal contact (600, 610, 620, 630, 640) and receiving signal contact (700, 710, 720, 730, 740) can be signal measurement points, and external connection connectors or pads already provided in the product can be used. . The reflected wave may be a medium-sized signal other than a "High" signal or a "Low" signal, and may be displayed as "Hi-z".

SoC 테스트 장치(100)는 신호 송신부(110) 및 신호 수신부(120)를 포함할 수 있다. 신호 송신부(110)는 SoC(500)의 성능을 테스트하기 위한 테스트 신호를 송신하는 기능을 수행할 수 있고, 신호 연결 스위칭 제어부(110)와 드라이버(113)를 포함할 수 있다. 신호 연결 스위칭 제어부(111)는 SoC 테스트 장치(100)와 하이픽스 보드(200) 간의 신호 연결, 하이픽스 보드(200)와 PIB(300) 간의 신호 연결, PIB(300)와 프로브 카드(400) 간의 신호 연결, 또는 프로브 카드와 SoC 간의 신호 연결을 선택적으로 스위칭 제어할 수 있다.The SoC test apparatus 100 may include a signal transmission unit 110 and a signal reception unit 120. The signal transmission unit 110 may perform a function of transmitting a test signal for testing the performance of the SoC 500 and may include a signal connection switching controller 110 and a driver 113. The signal connection switching control unit 111 includes a signal connection between the SoC test device 100 and the high-fix board 200, a signal connection between the high-fix board 200 and the PIB 300, and the PIB 300 and the probe card 400. It is possible to selectively control the switching of the signal connection between the probe card and the SoC.

예를 들어, 하이픽스 보드(200)의 신호 라인 길이(T-1, R-1)를 측정하기 위해, 신호 연결 스위칭 제어부(110)는 SoC 테스트 장치(100)와 하이픽스 보드(200) 간의 연결을 단락(Closed, On)하고, 하이픽스 보드(200)와 PIB(300) 간의 신호 연결을 개방(Open, Off)할 수 있다. 또한, PIB(300)의 신호 라인 길이(T-2, R-2)를 측정하기 위해, SoC 테스트 장치(100), 하이픽스 보드(200) 및 PIB(300) 간의 신호 연결을 단락(Closed, On)하고, PIB(300)와 프로브 카드(400) 간의 신호 연결을 개방(Open, Off)할 수 있다. For example, in order to measure the signal line lengths (T-1, R-1) of the high-fix board 200, the signal connection switching control unit 110 is used between the SoC test device 100 and the high-fix board 200. The connection may be shorted (Closed, On), and a signal connection between the high-fix board 200 and the PIB 300 may be opened (Open, Off). In addition, in order to measure the signal line lengths (T-2, R-2) of the PIB 300, the signal connection between the SoC test apparatus 100, the high-fix board 200, and the PIB 300 is shorted (closed, On), a signal connection between the PIB 300 and the probe card 400 may be opened (Open, Off).

신호 송신부(110)는 신호 연결 스위칭 제어부(111)의 출력단에 드라이버(113)을 더 구비할 수 있다. 드라이버(190)는 SoC 테스트 장치(100)에 구비된 클럭 신호 생성부(미도시) 및 먹스(MUX, 미도시)로부터 테스트 신호를 수신하고 아날로그 테스트 데이터 신호를 생성할 수 있다. 드라이버(190)는 복수개 일 수 있다. The signal transmission unit 110 may further include a driver 113 at an output terminal of the signal connection switching control unit 111. The driver 190 may receive a test signal from a clock signal generator (not shown) and a mux (MUX, not shown) provided in the SoC test apparatus 100 and generate an analog test data signal. There may be a plurality of drivers 190.

신호 수신부(120)는 SoC(500)의 성능 테스트 결과 신호를 수신하는 기능을 수행할 수 있고, 신호 라인 길이 산정부(114)와 비교기(Comparator, 112)를 포함할 수 있다. 신호 수신부(120)는 수신된 테스트 결과 신호를 디먹스(DEMUX, 미도시)에 제공할 수 있다.The signal receiving unit 120 may perform a function of receiving a signal as a result of a performance test of the SoC 500 and may include a signal line length calculation unit 114 and a comparator 112. The signal receiver 120 may provide the received test result signal to a DEMUX (not shown).

비교기(112)는 SoC의 아날로그 테스트 결과 신호를 수신하고 신호 크기를 기준 전압과 비교하여 디지털 신호로 변환하여 출력하도록 실행할 수 있다. 비교기는 디지털 논리 “0” 및 “1”의 조합 신호를 출력할 수 있다. 예를 들면 기준 전압 보다 크면 “1”, 기준 전압 보다 작으면 “0”의 논리가 출력될 수 있다. 비교기(200)는 복수개 일 수 있다.The comparator 112 may receive an analog test result signal of the SoC, compare the signal level with a reference voltage, convert it into a digital signal, and output it. The comparator can output a combination signal of digital logic “0” and “1”. For example, a logic of “1” when it is greater than the reference voltage and “0” when it is less than the reference voltage may be output. There may be a plurality of comparators 200.

신호 라인 길이 산정부(114)는 반사파가 발생한 송신 신호와 반사파가 발생한 수신 신호 간의 지연 시간 차이(Delay time difference)를 결정하여 하이픽스 보드, PIB, 프로브 카드, SoC 중 적어도 어느 하나의 신호 라인 길이를 산정할 수 있다. 지연 시간 차이는 송신 신호의 반사파 발생에 영향을 주는 적어도 하나 이상의 부하의 총 신호 라인 길이와, 수신 신호의 반사파 발생에 영향을 주는 적어도 하나 이상의 부하의 총 신호 라인 길이의 차이에 기인할 수 있다. The signal line length calculation unit 114 determines a delay time difference between the transmitted signal generated by the reflected wave and the received signal generated by the reflected wave to determine the signal line length of at least one of a high-fix board, PIB, probe card, and SoC. Can be calculated. The delay time difference may be due to a difference between a total signal line length of at least one load that affects the generation of a reflected wave of a transmission signal and a total signal line length of at least one load that affects the generation of a reflected wave of a received signal.

또한, 송신 신호 접점(600, 610, 620, 630, 640) 및 수신 신호 접점(700, 710, 720, 730, 740)은 스위치의 기능을 더 추가할 수 있다. 따라서 신호 연결 스위칭 제어부(111)의 제어 신호를 수신하여 Closed/Open할 수 있다. In addition, the transmission signal contact points 600, 610, 620, 630, 640 and the reception signal contact points 700, 710, 720, 730, 740 may further add a function of a switch. Therefore, it is possible to close/open by receiving a control signal from the signal connection switching control unit 111.

SoC는, PMIC(Power Management Integrated Circuit), AP(Application Processor), DDI(Display Driver Integrated Circuit), Power IC, CIS(CMOS Image sensor)일 수 있으며 이에 한정되지 않는다. 또한, SoC는 웨이퍼(Wafer) 상태일 수도 있고, 칩 패키지(Chip package) 상태일 수도 있다.The SoC may be a Power Management Integrated Circuit (PMIC), an Application Processor (AP), a Display Driver Integrated Circuit (DDI), a Power IC, or a CMOS Image Sensor (CIS), but is not limited thereto. In addition, the SoC may be in a wafer state or a chip package state.

도 2는 일 실시예에 따른 SoC 테스트 시스템의 송신 출력 파형을 나타내는 도면이다. 도 2(a)는 반사파가 발생하지 않은 파형을 설명하는 도면이고, 도 2(b)는 반사파가 발생한 파형을 설명하는 도면이다. 도 2(a)는 도 1에 있어서, SoC 테스트 장치(100)와 하이픽스 보드(200)의 신호 연결을 개방(Open), 즉 스위치 오프(Off) 한 상태에서 송신 신호 접점(600)에서의 SoC 테스트 장치(100)가 출력하는 신호 파형을 나타낸다. 측정은 오실로스코프(Oscilloscope)가 사용될 수 있다. 도시된 바와 같이, 60ns에서 Rising edge가 발생하고 140ns에서 Falling edge가 발생하여, 80ns 동안에 "High"가 유지되었고 그 외의 시간 영역은 "Low"가 유지되고 있어 반사파가 발생되지 않았다. 이와 같이 반사파가 발생되지 않은 이유는 부하들(Loads)이 가지고 있는 신호 라인으로 인한 반사 영향이 제거 되었기 때문일 수 있다. 신호 라인은 도전성 비아(Conductive via), PCB상의 패턴회로(Pattern circuit)를 포함할 수 있다. 2 is a diagram illustrating a transmission output waveform of an SoC test system according to an exemplary embodiment. 2(a) is a diagram for explaining a waveform in which a reflected wave is not generated, and FIG. 2(b) is a diagram for explaining a waveform in which a reflected wave is generated. 2(a) shows the signal connection between the SoC test apparatus 100 and the high-fix board 200 in FIG. 1 in an open state, that is, in a state in which the transmission signal contact 600 is switched off. A signal waveform output from the SoC test device 100 is shown. Measurement may be performed using an oscilloscope. As shown, a rising edge occurs at 60 ns and a falling edge occurs at 140 ns, so “High” is maintained for 80 ns, and “Low” is maintained in other time regions, so no reflected wave is generated. The reason why the reflected wave is not generated in this way may be because the reflection effect due to the signal line of the loads has been removed. The signal line may include a conductive via and a pattern circuit on a PCB.

도 2(b)는 도 1에 있어서, SoC 테스트 장치(100), 하이픽스 보드(200), PIB(300) 및, 프로브 카드(400)의 신호 연결을 단락(Closed, On)하고, SoC(500)의 신호 연결을 개방(Open, Off)한 상태에서 송신 신호 접점(600)에서의 SoC 테스트 장치(100)가 출력하는 신호 파형을 나타내는 도면이다. 도시된 바와 같이, Rising edge 및 Falling edge 영역에서, "High"신호 또는 "Low"신호가 아닌 "Hi-z"신호(반사파 신호)가 발생하였다. 구체적으로 말하면, Rising edge 및 Falling edge 영역에 반사파가 각각 7ns 동안에 발생이 되었다. 이와 같이 반사파가 발생한 이유는 부하들(Loads), 즉 하이픽스 보드(200), PIB(300), 및 프로브 카드(400)의 전송 신호 라인(T-1, T-2, T-3, T-4, T-5)의 반사 영향을 받았기 때문일 수 있다.2(b) shows the signal connections of the SoC test apparatus 100, the high-fix board 200, the PIB 300, and the probe card 400 in FIG. 1 are short-circuited (Closed, On), and the SoC ( A diagram showing a signal waveform output by the SoC test apparatus 100 at the transmission signal contact 600 in a state where the signal connection of 500) is opened (Open, Off). As shown, in the Rising edge and Falling edge regions, a "Hi-z" signal (reflected wave signal) is generated instead of a "High" signal or a "Low" signal. Specifically, reflected waves were generated for 7 ns in the rising edge and falling edge regions, respectively. The reason for the occurrence of the reflected wave is that the loads, that is, the transmission signal lines T-1, T-2, T-3, and T of the high-fix board 200, the PIB 300, and the probe card 400 -4, T-5).

도 2(c)는 도 1에 있어서, SoC 테스트 장치(100), 하이픽스 보드(200), PIB(300), 프로브 카드(400) 및 SoC(500)의 신호 연결을 모두 단락(Closed, On)한 상태에서 SoC 테스트 장치(100)가 송신 신호 접점(600)에서 출력하는 신호 파형을 나타낸다. 도시된 바와 같이,"Hi-z"신호가 발생하였다. 구체적으로 말하면, Rising edge 및 Falling edge 영역에 반사파가 각각 16ns 동안에 발생이 되었다. 이와 같이 반사파가 발생한 이유는 부하들(Loads), 즉 하이픽스 보드(200), PIB(300), 프로브 카드(400), 및 SoC(500)의 모든 신호 라인의 반사 영향을 받았기 때문일 수 있다. 반사파의 발생에 영향을 주는 신호 라인의 길이가 길수록 반사파 시간 구간(Time interval)이 커지게 된다.2(c) shows the signal connections of the SoC test apparatus 100, the high-fix board 200, the PIB 300, the probe card 400, and the SoC 500 in FIG. ) Represents a signal waveform that the SoC test apparatus 100 outputs from the transmission signal contact 600 in the state. As shown, a "Hi-z" signal was generated. Specifically, reflected waves were generated in each of the rising edge and falling edge regions for 16 ns. The reason why the reflected wave is generated as described above may be due to the reflection of all signal lines of the loads, that is, the high-fix board 200, the PIB 300, the probe card 400, and the SoC 500. The longer the length of the signal line that affects the generation of the reflected wave, the larger the reflected wave time interval.

도 3은 도 1의 SoC 테스트 장치의 송신 출력 파형 및 수신 출력 파형을 중첩한 파형을 나타낸 도면이다. 구체적으로 언급하면, 도 3은 도 1에 있어서, SoC 테스트 장치(100), 하이픽스 보드(200), PIB(300), 프로브 카드(400) 및 SoC(500)의 신호 연결을 단락(Closed, On)한 상태에서, SoC 테스트 장치(100)가 송신 신호 접점, 600에서 출력하는 신호 파형(Transmission signal at contact point 600)과 수신 신호 접점에서 출력하는 신호 파형(Reception signal at contact point 700)을 중첩(Overlapped)해서 나타내는 도면이다. 도시된 바와 같이, 송신 신호와 수신 신호에서"Hi-z"신호(즉, 반사파)가 발생하였고, 또한 송신 신호와 수신 신호에서 8ns의 지연 시간차(Delay time difference)가 발생하고 있다. 이는 하이픽스 보드(200), PIB(300), 프로브 카드(400), 및 SoC(500)를 포함한 모든 부하들이 가지고 있는 신호 라인의 영향을 받았기 때문일 수 있다.3 is a diagram showing a waveform in which a transmission output waveform and a reception output waveform of the SoC test apparatus of FIG. 1 are superimposed. Specifically, FIG. 3 shows the signal connections of the SoC test apparatus 100, the high-fix board 200, the PIB 300, the probe card 400, and the SoC 500 in FIG. In the On) state, the SoC test device 100 superimposes the signal waveform output from the transmission signal contact point 600 (Transmission signal at contact point 600) and the signal waveform output from the reception signal contact point (Reception signal at contact point 700). It is a figure shown by (Overlapped). As shown, a "Hi-z" signal (i.e., a reflected wave) is generated in the transmission signal and the reception signal, and a delay time difference of 8 ns occurs in the transmission signal and the reception signal. This may be because the signal lines of all loads including the high-fix board 200, PIB 300, probe card 400, and SoC 500 have been affected.

일반적으로 신호 라인의 길이가 1mm 당 5ps의 스큐(Skew) 시간, 즉 지연 시간 차이가 발생하므로, 8ns의 스큐 시간이 발생한다는 것은 송신 신호 접점, 600에서 수신 신호 접점, 700까지의 총 신호 라인 길이가 1,600mm임이 자동적으로 산정될 수 있다. 도 1에서 신호 라인 길이 산정부(114)가 지연 시간 차이를 결정하고 이를 토대로 적어도 하나 이상의 부하들(Loads)의 신호 라인 길이의 산정을 수행할 수 있다. 부하(Load)란, SoC 테스트 장치와 SoC를 연결하는 커넥팅 보드, 즉 하이픽스 보드, PIB 및 프로브 카드를 포함하고, 그 이외에도 DUT(예, Soc)를 더 포함할 수 있다.In general, the skew time of 5 ps per 1 mm, that is, the delay time difference occurs in the length of the signal line, so the skew time of 8 ns occurs is the transmit signal contact, the receive signal contact from 600, and the total signal line length from 600 to 700. Is 1,600mm can be automatically calculated. In FIG. 1, the signal line length calculation unit 114 may determine a delay time difference and calculate signal line lengths of at least one or more loads based on this. The load includes a connecting board that connects the SoC test device and the SoC, that is, a high-fix board, a PIB, and a probe card, and may further include a DUT (eg, Soc).

마찬가지 방법으로 하이픽스 보드(200)의 신호 라인 길이를 구할 수 있다. 즉, 도 1의 신호 연결 스위칭 제어부(111)가 SoC 테스트 장치(100)와 하이픽스 보드(200)의 신호 연결을 단락(Closed)하고 하이픽스 보드(200)와 PIB(300) 신호 연결을 개방(Open)한 상태에서, 신호 라인 길이 산정부(114)가 송신 신호 접점, 610에서 출력하는 신호 파형과 수신 신호 접점, 710에서 출력하는 신호 파형에서 각각 발생하는 반사파의 지연 시간 차이를 결정하여 하이픽스 보드(200)의 송신 라인 길이와 수신 라인 길이를 산정할 수 있다. 앞서 언급하였듯이 신호 라인의 길이가 1mm 당 5ps의 스큐 시간(Skew time)이 발생하는 원리가 사용될 수 있다.In the same way, the signal line length of the high-fix board 200 can be obtained. That is, the signal connection switching control unit 111 of FIG. 1 shorts the signal connection between the SoC test device 100 and the high-fix board 200 and opens the signal connection between the high-fix board 200 and the PIB 300. In the (Open) state, the signal line length calculation unit 114 determines the difference in the delay time of the reflected wave generated from the signal waveform output from the transmission signal contact point, the signal waveform output from the 610, and the signal waveform output from the receive signal contact point, and The transmission line length and the reception line length of the fix board 200 may be calculated. As mentioned above, the principle of generating a skew time of 5ps per 1mm of a signal line can be used.

마찬가지 방법으로, PIB(300)의 신호 라인 길이, 프로브 카드(400)의 신호 라인 길이, SoC(500)의 신호 라인 길이를 각각 산정할 수 있다.In the same way, the signal line length of the PIB 300, the signal line length of the probe card 400, and the signal line length of the SoC 500 can be respectively calculated.

따라서 테스트 대상인 SoC(500)의 종류가 변경됨에 따라 하이픽스 보드(200), PIB(300), 또는 프로브 카드(400) 등 부하들(Loads)의 사양이 변경이 되어도 SoC 테스트 장치(100)를 통해 자동으로 각각의 신호 라인 길이 및 전체 신호 라인 길이를 산정할 수 있어 테스트 스피드 및 정확성을 높일 수 있다. 각 부하들의 신호 라인 길이 정보가 정확한지 부정확한지에 대한 검증(Verification)도 정확하고 신속하게 할 수 있다.Therefore, even if the specifications of the loads such as the high-fix board 200, PIB 300, or probe card 400 change as the type of SoC 500 to be tested is changed, the SoC test device 100 It can automatically calculate the length of each signal line and the total signal line length, increasing test speed and accuracy. Verification of whether the signal line length information of each load is correct or incorrect can also be performed accurately and quickly.

1000 : SoC 테스트 시스템
100 : SoC 테스트 장치
110 : 신호 전송부
111 : 신호 연결 스위칭 제어부
112 : 비교기
114 : 신호 라인 길이 산정부
113 : 드라이버
120 : 신호 수신부
200 : 하이픽스 보드
210 : 케이블
300 : PIB
310 : 포고 블록
400 : 프로브 카드
410 : 프로브
500 : SoC
600, 610, 620, 630, 640 : 송신 신호 접점
700, 710, 720, 730, 740 : 수신 신호 접점
1000: SoC test system
100: SoC test device
110: signal transmission unit
111: signal connection switching control unit
112: comparator
114: signal line length calculation unit
113: driver
120: signal receiver
200: high-fix board
210: cable
300: PIB
310: Pogo block
400: probe card
410: probe
500: SoC
600, 610, 620, 630, 640: Transmission signal contact
700, 710, 720, 730, 740: receiving signal contact

Claims (3)

하이픽스(Hi-Fix) 보드, PIB(Probe Interface Board), 프로브 카드(Probe card), SoC(System on Chip) 중 적어도 어느 하나와 전기적으로 연결되어 SoC를 테스트하기 위한 SoC 테스트 장치에 있어서,
신호 송신부에 구비되어, SoC 테스트 장치와 하이픽스 보드 간의 송신 신호 접점(600) 및 수신 신호 접점(700)에서의 신호 연결, 하이픽스 보드와 PIB 간의 송신 신호 접점(610) 및 수신 신호 접점(710)에서의 신호 연결, PIB와 프로브 카드 간의 송신 신호 접점(620) 및 수신 신호 접점(720)에서의 신호 연결, 또는 프로브 카드와 SoC 간의 송신 신호 접점(630) 및 수신 신호 접점(730)에서의 신호 연결을 선택적으로 On/off 스위칭 제어하는 신호 연결 스위칭 제어부; 및
신호 수신부에 구비되어, 상기 신호 연결 스위칭 제어부의 선택적인 On/off 스위칭 제어에 의해, 반사파가 발생한 송신 신호와 반사파가 발생한 수신 신호 간의 지연 시간 차이(Delay time difference)를 결정하여 하이픽스 보드, PIB, 프로브 카드, SoC 중 적어도 어느 하나의 내부 신호 라인 길이를 산정하는 신호 라인 길이 산정부;
를 포함하여 구성되는 SoC 테스트 장치.
In the SoC test device for testing SoC by being electrically connected to at least one of a Hi-Fix board, a probe interface board (PIB), a probe card, and a system on chip (SoC),
Provided in the signal transmission unit, the signal connection at the transmission signal contact 600 and the reception signal contact 700 between the SoC test device and the high-fix board, the transmission signal contact 610 and the reception signal contact 710 between the high-fix board and the PIB ), the signal connection at the transmission signal contact 620 and the reception signal contact 720 between the PIB and the probe card, or the transmission signal contact 630 and the reception signal contact 730 between the probe card and the SoC A signal connection switching control unit for selectively controlling on/off switching of the signal connection; And
It is provided in the signal receiving unit and, by selective on/off switching control of the signal connection switching control unit, determines a delay time difference between the transmitted signal generated by the reflected wave and the received signal generated by the reflected wave, thereby determining the high-fix board, PIB A signal line length calculation unit for calculating an internal signal line length of at least one of a probe card and an SoC;
SoC test device comprising a.
제1항에 있어서,
신호 연결 스위칭 제어부의 출력단에 드라이버가 구비되어 전기적으로 연결되고, 신호 라인 길이 산정부의 입력단에 비교기가 구비되어 전기적으로 연결된 SoC 테스트 장치.
The method of claim 1,
A SoC test device electrically connected by a driver provided at the output terminal of the signal connection switching control unit and electrically connected, and a comparator at the input terminal of the signal line length calculation unit.
제1항에 있어서,
신호 라인 길이 산정부는, 송신 지연 시간 차이를 기준으로 신호 라인 길이를 산정하는 SOC 테스트 장치.
The method of claim 1,
The signal line length calculation unit is an SOC testing device that calculates the signal line length based on the difference in transmission delay time.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230086104A (en) * 2021-12-08 2023-06-15 주식회사 엑시콘 Apparatus for Testing Semiconductor Device

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030022803A (en) * 2000-05-31 2003-03-17 테라다인 인코퍼레이티드 Ate timing measurement unit and method
JP2012167989A (en) * 2011-02-14 2012-09-06 Yokogawa Electric Corp Semiconductor testing device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030022803A (en) * 2000-05-31 2003-03-17 테라다인 인코퍼레이티드 Ate timing measurement unit and method
JP2012167989A (en) * 2011-02-14 2012-09-06 Yokogawa Electric Corp Semiconductor testing device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230086104A (en) * 2021-12-08 2023-06-15 주식회사 엑시콘 Apparatus for Testing Semiconductor Device
KR102638924B1 (en) 2021-12-08 2024-02-21 주식회사 엑시콘 Apparatus for Testing Semiconductor Device

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