KR102175341B1 - Light emitting device, method for fabricating the same, and light emitting device package - Google Patents

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Abstract

실시 예에 개시된 발광소자는, 제1도전형 반도체층; 상기 제1도전형 반도체층 위에 배치된 제2도전형 반도체층; 및 상기 제1도전형 반도체층과 상기 제2도전형 반도체층 사이에 복수의 우물층과 복수의 장벽층을 포함하는 활성층을 포함하며, 상기 복수의 우물층은 상기 제1도전형 반도체층에 가까운 제1우물층과, 상기 제2도전형 반도체층에 가까운 제3우물층과, 상기 제1 및 제2우물층 사이에 배치된 제2우물층을 포함하며, 상기 제3우물층은 상기 제1우물층 내의 층 개수보다 많은 복수의 층을 포함하며, 상기 제3우물층 내의 복수의 층 중에서 상기 제2도전형 반도체층에 가까운 층일수록 인듐 조성비가 더 작다. The light emitting device disclosed in the embodiment includes: a first conductive type semiconductor layer; A second conductive type semiconductor layer disposed on the first conductive type semiconductor layer; And an active layer including a plurality of well layers and a plurality of barrier layers between the first conductive type semiconductor layer and the second conductive type semiconductor layer, wherein the plurality of well layers are close to the first conductive type semiconductor layer. A first well layer, a third well layer close to the second conductive semiconductor layer, and a second well layer disposed between the first and second well layers, wherein the third well layer comprises the first It includes a plurality of layers that are greater than the number of layers in the well layer, and the indium composition ratio is smaller as the layer closer to the second conductive type semiconductor layer among the plurality of layers in the third well layer.

Description

발광소자, 발광 소자 제조방법 및 발광 소자 패키지{LIGHT EMITTING DEVICE, METHOD FOR FABRICATING THE SAME, AND LIGHT EMITTING DEVICE PACKAGE}Light emitting device, light emitting device manufacturing method, and light emitting device package {LIGHT EMITTING DEVICE, METHOD FOR FABRICATING THE SAME, AND LIGHT EMITTING DEVICE PACKAGE}

실시예는 발광소자, 발광소자 제조방법, 및 발광소자 패키지에 관한 것이다.The embodiment relates to a light emitting device, a method of manufacturing a light emitting device, and a light emitting device package.

발광 다이오드(Light Emitting Diode: LED)는 전류를 빛으로 변환시키는 발광소자이다. 최근 발광 다이오드는 휘도가 점차 증가하게 되어 디스플레이용 광원, 자동차용 광원 및 조명용 광원으로 사용이 증가하고 있다.Light Emitting Diode (LED) is a light emitting device that converts current into light. Recently, light emitting diodes have been increasingly used as light sources for display, light sources for automobiles, and light sources for lighting as the luminance gradually increases.

최근에는 청색 또는 녹색 등의 단파장 광을 생성하여 풀 컬러 구현이 가능한 고출력 발광 칩이 개발된바 있다. 이에, 발광 칩으로부터 출력되는 광의 일부를 흡수하여 광의 파장과 다른 파장을 출력하는 형광체를 발광 칩 상에 도포함으로써, 다양한 색의 발광 다이오드를 조합할 수 있으며 백색 광을 발광하는 발광 다이오드도 구현이 가능하다.Recently, a high-power light emitting chip capable of realizing full color by generating short wavelength light such as blue or green has been developed. Accordingly, by applying a phosphor that absorbs a part of the light output from the light-emitting chip and outputs a wavelength different from that of the light on the light-emitting chip, light-emitting diodes of various colors can be combined and light-emitting diodes emitting white light can also be implemented. Do.

실시 예는 활성층의 구조를 개선한 발광 소자를 제공한다.The embodiment provides a light emitting device having an improved structure of an active layer.

실시 예는 활성층의 우물층과 장벽층 사이의 계면이 무너지는 것을 방지할 수 있는 발광 소자를 제공한다.The embodiment provides a light emitting device capable of preventing the interface between a well layer and a barrier layer of an active layer from collapsing.

실시 예에 의한 발광소자는, 제1도전형 반도체층; 상기 제1도전형 반도체층 위에 배치된 제2도전형 반도체층; 및 상기 제1도전형 반도체층과 상기 제2도전형 반도체층 사이에 복수의 우물층과 복수의 장벽층을 포함하는 활성층을 포함하며, 상기 복수의 우물층은 상기 제1도전형 반도체층에 가까운 제1우물층과, 상기 제2도전형 반도체층에 가까운 제3우물층과, 상기 제1 및 제3우물층 사이에 배치된 제2우물층을 포함하며, 상기 제3우물층은 상기 제1우물층 내의 층 개수보다 많은 복수의 층을 포함하며, 상기 제3우물층 내의 복수의 층 중에서 상기 제2도전형 반도체층에 가까운 층일수록 인듐 조성비가 더 작다. The light emitting device according to the embodiment includes: a first conductive type semiconductor layer; A second conductive type semiconductor layer disposed on the first conductive type semiconductor layer; And an active layer including a plurality of well layers and a plurality of barrier layers between the first conductive type semiconductor layer and the second conductive type semiconductor layer, wherein the plurality of well layers are close to the first conductive type semiconductor layer. A first well layer, a third well layer close to the second conductive semiconductor layer, and a second well layer disposed between the first and third well layers, wherein the third well layer comprises the first It includes a plurality of layers that are greater than the number of layers in the well layer, and the indium composition ratio is smaller as the layer closer to the second conductive type semiconductor layer among the plurality of layers in the third well layer.

실시 예에 따른 발광 소자는, 제1도전형 반도체층; 상기 제1도전형 반도체층 위에 배치된 제2도전형 반도체층; 및 상기 제1도전형 반도체층과 상기 제2도전형 반도체층 사이에 복수의 우물층과 복수의 장벽층을 포함하는 활성층을 포함하며, 상기 복수의 우물층은 상기 제1도전형 반도체층에 가까운 제1우물층과, 상기 제2도전형 반도체층에 가까운 제3우물층과, 상기 제1 및 제3우물층 사이에 배치된 제2우물층을 포함하며, 상기 복수의 장벽층은 상기 제1우물층과 제2우물층 사이에 배치된 제1장벽층, 상기 제2우물층과 제3우물층 사이에 배치된 제2장벽층, 및 상기 제3우물층과 제2도전형 반도체층 사이에 배치된 제3장벽층을 포함하며, 상기 제2 및 3장벽층은 상기 제1장벽층 내의 층 개수보다 많은 복수의 층을 포함하며, 상기 제3장벽층 내의 복수의 층 중에서 상기 제3우물층에 가까운 층일수록 인듐 조성비가 더 많고 두께가 더 얇고, 상기 제2장벽층 내의 복수의 층 중에서 상기 제2우물층에 가까운 층일수록 인듐 조성비가 더 많고 두께가 더 얇다. A light emitting device according to an embodiment includes: a first conductive type semiconductor layer; A second conductive type semiconductor layer disposed on the first conductive type semiconductor layer; And an active layer including a plurality of well layers and a plurality of barrier layers between the first conductive type semiconductor layer and the second conductive type semiconductor layer, wherein the plurality of well layers are close to the first conductive type semiconductor layer. A first well layer, a third well layer close to the second conductive semiconductor layer, and a second well layer disposed between the first and third well layers, wherein the plurality of barrier layers include the first Between the first barrier layer disposed between the well layer and the second well layer, the second barrier layer disposed between the second well layer and the third well layer, and the third well layer and the second conductive semiconductor layer And a third barrier layer disposed, wherein the second and third barrier layers include a plurality of layers greater than the number of layers in the first barrier layer, and the third well layer among a plurality of layers in the third barrier layer The closer to the layer is, the more indium composition ratio is and the thickness is thinner, and the closer to the second well layer among the plurality of layers in the second barrier layer, the indium composition ratio is higher and the thickness is thinner.

실시예는 새로운 양자 우물 구조를 갖는 활성층을 제공할 수 있다. Embodiments can provide an active layer having a new quantum well structure.

실시예는 활성층의 내부 양자 효율을 개선시켜 줄 수 있다.The embodiment can improve the internal quantum efficiency of the active layer.

실시 예는 고 전류에서 신뢰성이 개선된 발광 소자를 제공한다. The embodiment provides a light emitting device with improved reliability at a high current.

실시 예는 발광 소자의 활성층을 안정화시켜 줄 수 있다.The embodiment may stabilize the active layer of the light emitting device.

실시 예는 발광 소자 및 이를 구비한 발광 소자 패키지의 신뢰성을 개선시켜 줄 수 있다.The embodiment may improve the reliability of a light emitting device and a light emitting device package including the same.

도 1은 제1실시예에 따른 발광소자의 측 단면도이다.
도 2는 도 1의 활성층의 우물층 및 장벽층을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 활성층의 성장 방향에 따른 우물층 및 장벽층을 나타낸 도면이다.
도 4는 비교 예의 활성층의 우물층 및 장벽층을 나타낸 도면이다.
도 5는 제2실시 예에 따른 발광 소자의 측 단면도이다.
도 6은 제3실시 예에 따른 발광 소자의 활성층을 나타낸 도면이다.
도 7은 제4실시 예에 따른 발광 소자의 활성층을 나타낸 도면이다.
도 8은 제5실시 예에 따른 발광 소자의 활성층을 나타낸 도면이다.
도 9는 제6실시 예에 따른 발광 소자의 활성층을 나타낸 도면이다.
도 10는 도 1의 발광 소자에 전극을 배치한 예이다.
도 11은 실시 예에 따른 활성층을 갖는 다른 발광 소자를 나타낸 도면이다.
도 12는 실시 예에 따른 발광 소자의 내부 양자 효율을 나타낸 도면이다.
도 13은 실시 예에 따른 발광 소자를 갖는 발광 소자 패키지를 나타낸 도면이다.
도 14는 실시 예에 따른 발광 소자 또는 발광 소자 패키지를 갖는 표시 장치를 나타낸 도면이다.
도 15는 실시 예에 따른 발광 소자 또는 발광 소자 패키지를 갖는 표시 장치의 다른 예를 나타낸 도면이다.
도 16은 실시 예에 따른 발광 소자 또는 발광 소자 패키지를 갖는 조명장치를 나타낸 도면이다.
1 is a side cross-sectional view of a light emitting device according to a first embodiment.
FIG. 2 is a diagram illustrating a well layer and a barrier layer of the active layer of FIG. 1.
3 is a diagram illustrating a well layer and a barrier layer according to a growth direction of the active layer of FIG. 2.
4 is a diagram showing a well layer and a barrier layer of an active layer of a comparative example.
5 is a side cross-sectional view of a light emitting device according to a second embodiment.
6 is a diagram illustrating an active layer of a light emitting device according to a third embodiment.
7 is a diagram illustrating an active layer of a light emitting device according to a fourth embodiment.
8 is a diagram illustrating an active layer of a light emitting device according to a fifth embodiment.
9 is a view showing an active layer of a light emitting device according to a sixth embodiment.
10 is an example in which electrodes are disposed in the light emitting device of FIG. 1.
11 is a view showing another light emitting device having an active layer according to an embodiment.
12 is a diagram showing internal quantum efficiency of a light emitting device according to an embodiment.
13 is a diagram illustrating a light emitting device package having a light emitting device according to an embodiment.
14 is a diagram illustrating a display device having a light emitting device or a light emitting device package according to an exemplary embodiment.
15 is a diagram illustrating another example of a light emitting device or a display device having a light emitting device package according to the embodiment.
16 is a view showing a lighting device having a light emitting device or a light emitting device package according to an embodiment.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 실시예에 따른 발광소자 및 그 제조방법에 대해서 상세하게 설명한다. 실시 예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on)"와 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 상/위 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다. 도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.Hereinafter, a light emitting device according to an embodiment and a method of manufacturing the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description of the embodiment, each layer (film), region, pattern, or structure is formed in "on" or "under" of the substrate, each layer (film), region, pad or patterns When described as being "on" and "under", both "directly" or "indirectly" are formed. In addition, standards for the top/top or bottom of each layer will be described based on the drawings. In the drawings, the thickness or size of each layer is exaggerated, omitted, or schematically illustrated for convenience and clarity of description. Also, the size of each component does not fully reflect the actual size.

도 1은 제1실시예에 따른 발광소자의 단면도이다. 1 is a cross-sectional view of a light emitting device according to a first embodiment.

도 1을 참조하면, 발광소자(100)는 기판(111), 제1반도체층(113), 제2반도체층(115), 제1도전형 반도체층(117), 활성층(119), 제3반도체층(121), 및 제2도전형 반도체층(123)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the light emitting device 100 includes a substrate 111, a first semiconductor layer 113, a second semiconductor layer 115, a first conductive semiconductor layer 117, an active layer 119, and a third semiconductor layer. A semiconductor layer 121 and a second conductive type semiconductor layer 123 are included.

상기 기판(111)은 투광성, 절연성 또는 도전성 기판을 이용할 수 있으며, 예컨대, 사파이어(Al2O3), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, Ge, Ga2O3, LiGaO3 중 적어도 하나를 이용할 수 있다. 상기 기판(111)의 상면에는 복수의 돌출부(112)가 형성될 수 있으며, 상기의 복수의 돌출부(112)는 상기 기판(111)의 식각을 통해 형성하거나, 별도의 러프니스(roughness)와 같은 광 추출 구조로 형성될 수 있다. 상기 돌출부(112)는 스트라이프(Stripe) 형상, 반구형상, 또는 돔(dome) 형상을 포함할 수 있다. 상기 기판(111)의 두께는 30㎛~150㎛ 범위로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The substrate 111 may be a light transmitting, insulating or conductive substrate, for example, sapphire (Al 2 O 3 ), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, Ge, Ga 2 O 3 , At least one of LiGaO 3 may be used. A plurality of protrusions 112 may be formed on the upper surface of the substrate 111, and the plurality of protrusions 112 may be formed through etching of the substrate 111, or a separate roughness, such as It can be formed in a light extraction structure. The protrusion 112 may have a stripe shape, a hemispherical shape, or a dome shape. The thickness of the substrate 111 may be formed in the range of 30 μm to 150 μm, but is not limited thereto.

상기 기판(111) 위에는 제1반도체층(113)이 형성될 수 있다. 상기 제1반도체층(113)은 상기 기판(111)과 질화물 계열의 반도체층과의 격자 상수의 차이를 완화시켜 주기 위해 형성될 수 있으며, 결함 제어층으로 정의될 수 있다. 상기 제1반도체층(113)은 상기 기판(111)과 질화물 계열의 반도체층 사이의 격자 상수 사이의 값을 가질 수 있다. A first semiconductor layer 113 may be formed on the substrate 111. The first semiconductor layer 113 may be formed to mitigate a difference in lattice constant between the substrate 111 and the nitride-based semiconductor layer, and may be defined as a defect control layer. The first semiconductor layer 113 may have a value between the lattice constant between the substrate 111 and the nitride-based semiconductor layer.

상기 제1반도체층(113)은 II족 내지 VI족 원소의 화합물 반도체를 이용하여 적어도 한 층으로 형성될 수 있다. 상기 제1반도체층(113)은 III족-V족 원소의 화합물 반도체를 이용한 반도체층을 포함하며, 예컨대, InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체로서, GaN, AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP, GaP과 같은 화합물 반도체 중 적어도 하나를 포함한다. The first semiconductor layer 113 may be formed as at least one layer using a compound semiconductor of a group II to VI element. The first semiconductor layer 113 includes a semiconductor layer using a compound semiconductor of a group III-V element, for example, In x Al y Ga 1-xy N (0≦x≦1, 0≦y≦1, A semiconductor having a composition formula of 0≦x+y≦1), and includes at least one of compound semiconductors such as GaN, AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP, and GaP. .

상기 제1반도체층(113)은 ZnO 층과 같은 산화물로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 제1반도체층(113)은 30~500nm 범위로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 제1반도체층(113)은 서로 다른 반도체층을 교대로 배치하여 초 격자 구조로 형성될 수 있다.
The first semiconductor layer 113 may be formed of an oxide such as a ZnO layer, but is not limited thereto. The first semiconductor layer 113 may be formed in a range of 30 to 500 nm, but is not limited thereto. The first semiconductor layer 113 may be formed in a super-lattice structure by alternately disposing different semiconductor layers.

상기 제1반도체층(113) 위에 제2반도체층(115)이 형성될 수 있다. 상기 제2반도체층(115)은 언도프드(Undoped) 반도체층으로서, 제1도전형 반도체층(117)의 전도성 보다 낮은 전도성을 가진다. 상기 제2반도체층(115)은 III족-V족 원소의 화합물 반도체를 이용한 GaN계 반도체로 구현될 수 있으며, 이러한 언도프드 반도체층은 의도적으로 도전형 도펀트를 도핑하지 않더라도 제1도전형 특성을 가지게 된다. 상기 언도프드 반도체층은 형성하지 않을 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.A second semiconductor layer 115 may be formed on the first semiconductor layer 113. The second semiconductor layer 115 is an undoped semiconductor layer and has a conductivity lower than that of the first conductive semiconductor layer 117. The second semiconductor layer 115 may be implemented as a GaN-based semiconductor using a compound semiconductor of a group III-V element, and such an undoped semiconductor layer exhibits first conductivity type characteristics even if it is not intentionally doped with a conductivity type dopant. Will have. The undoped semiconductor layer may not be formed, but the embodiment is not limited thereto.

상기 제2반도체층(115) 위에는 제1도전형 반도체층(117)이 형성될 수 있다. 상기 제1도전형 반도체층(117)은 제1도전형 도펀트가 도핑된 III족-V족 원소의 화합물 반도체로 구현되며, 예컨대 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 형성될 수 있다. 상기 제1도전형 반도체층(117)이 N형 반도체층인 경우, 상기 제1도전형의 도펀트는 N형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함한다. A first conductive type semiconductor layer 117 may be formed on the second semiconductor layer 115. The first conductive type semiconductor layer 117 is implemented as a compound semiconductor of a group III-V element doped with a first conductive type dopant, for example, In x Al y Ga 1-xy N (0≦x≦1, 0 It may be formed of a semiconductor material having a composition formula of ≤y≤1, 0≤x+y≤1). When the first conductive semiconductor layer 117 is an N-type semiconductor layer, the first conductive type dopant is an N-type dopant and includes Si, Ge, Sn, Se, and Te.

상기 제2반도체층(115)과 상기 제1도전형 반도체층(117) 중 적어도 한 층에는 서로 다른 제1층과 제2층이 교대로 배치된 초격자 구조로 형성될 수 있으며, 상기 제1층과 제2층의 두께는 수 A 이상으로 형성될 수 있다.At least one of the second semiconductor layer 115 and the first conductive semiconductor layer 117 may have a superlattice structure in which different first and second layers are alternately disposed, and the first The thickness of the layer and the second layer may be formed to be several A or more.

상기 제1도전형 반도체층(117)과 상기 활성층(119) 사이에는 제1도전형 클래드층(미도시)이 형성될 수 있다. 상기 제1도전형 클래드층은 GaN계 반도체로 형성될 수 있으며, 그 밴드 갭은 상기 활성층(119)의 장벽층의 밴드 갭 이상으로 형성될 수 있다. 이러한 제1도전형 클래드층은 캐리어를 구속시켜 주는 역할을 한다. A first conductive type cladding layer (not shown) may be formed between the first conductive type semiconductor layer 117 and the active layer 119. The first conductive cladding layer may be formed of a GaN-based semiconductor, and a band gap thereof may be formed to be greater than or equal to the band gap of the barrier layer of the active layer 119. This first conductive cladding layer serves to confine the carrier.

상기 제1도전형 반도체층(117) 위에는 활성층(119)이 형성될 수 있다. 상기 활성층(119)은 단일 양자 우물, 다중 양자 우물(MQW), 양자 선, 양자 점 구조 중 적어도 하나로 형성될 수 있다. 상기 활성층(119)은 도 2와 같이, 우물층(11)과 장벽층(12)이 교대로 배치되며, 상기 우물층(11)과 상기 장벽층(12)의 페어는 2~20주기로 형성될 수 있으며, 예컨대 2~10주기로 형성될 수 있다. 상기 우물층(11)은 예컨대, InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료 예컨대, InGaN계 반도체로 형성될 수 있다. 상기 장벽층(12)은 상기 우물층(11)의 밴드 갭보다 더 넓은 밴드 갭을 갖는 반도체층으로 예컨대, InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료 예컨대, GaN계 반도체로 형성될 수 있다. 상기 우물층(11)과 장벽층(12)의 페어는 예컨대, InGaN/GaN, AlGaN/GaN, InGaN/AlGaN, InGaN/InGaN, AlGaAs/GaA, InGaAs/GaAs, InGaP/GaP, AlInGaP/InGaP, InP/GaAs 중 적어도 하나를 포함한다. An active layer 119 may be formed on the first conductive semiconductor layer 117. The active layer 119 may be formed of at least one of a single quantum well, a multiple quantum well (MQW), a quantum line, and a quantum dot structure. In the active layer 119, as shown in FIG. 2, a well layer 11 and a barrier layer 12 are alternately disposed, and a pair of the well layer 11 and the barrier layer 12 is formed in 2 to 20 cycles. It may be, for example, may be formed in 2 to 10 cycles. The well layer 11 is, for example, a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1-xy N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1), such as an InGaN-based semiconductor Can be formed as The barrier layer 12 is a semiconductor layer having a wider band gap than the band gap of the well layer 11, for example, In x Al y Ga 1-xy N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≦x+y≦1) may be formed of a semiconductor material, for example, a GaN-based semiconductor. The pair of the well layer 11 and the barrier layer 12 is, for example, InGaN/GaN, AlGaN/GaN, InGaN/AlGaN, InGaN/InGaN, AlGaAs/GaA, InGaAs/GaAs, InGaP/GaP, AlInGaP/InGaP, InP Contains at least one of /GaAs.

상기 우물층(11)의 두께는 1.5~5nm 범위 내에 형성될 수 있으며, 예컨대 2.5~6nm 범위 내에서 형성될 수 있다. 상기 장벽층(12)의 두께는 상기 우물층(11)의 두께보다 두껍고 3~15nm의 범위 내에 형성될 수 있으며, 예컨대 5~10nm 범위 내에서 형성될 수 있다. 상기 장벽층(12) 내에는 n형 도펀트를 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The thickness of the well layer 11 may be formed within the range of 1.5 to 5 nm, for example, may be formed within the range of 2.5 to 6 nm. The thickness of the barrier layer 12 may be thicker than the thickness of the well layer 11 and may be formed within a range of 3 to 15 nm, for example, may be formed within a range of 5 to 10 nm. The barrier layer 12 may include an n-type dopant, but is not limited thereto.

상기 활성층(119)은 자외선 대역부터 가시광선 대역의 파장 범위 내에서 선택적으로 발광할 수 있다. 상기 활성층(119)은 자외선 대역의 광, 청색 대역의 광, 녹색 대역의 광 또는 적색 대역의 광 중에서 적어도 하나를 발광할 수 있다. The active layer 119 may selectively emit light within a wavelength range from an ultraviolet band to a visible light band. The active layer 119 may emit at least one of ultraviolet light, blue light, green light, or red light.

상기 활성층(119) 위에는 제3반도체층(121)이 형성되며, 상기 제3반도체층(121)은 상기 활성층(119)의 장벽층(12)의 밴드 갭보다 더 높은 밴드 갭을 가지며, III-V족 화합물 반도체 예컨대, GaN계 반도체로 형성될 수 있다.A third semiconductor layer 121 is formed on the active layer 119, and the third semiconductor layer 121 has a band gap higher than that of the barrier layer 12 of the active layer 119, III- It may be formed of a group V compound semiconductor, such as a GaN-based semiconductor.

상기 제3반도체층(121) 위에는 제2도전형 반도체층(123)이 형성되며, 상기 제2도전형 반도체층(123)은 제2도전형의 도펀트를 포함한다. 상기 제2도전형 반도체층(123)은 예컨대, GaN, AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP, GaP와 같은 화합물 반도체 중 어느 하나로 이루어질 수 있다. 상기 제2도전형 반도체층(123)이 P형 반도체층인 경우, 상기 제2도전형 도펀트는 P형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다. A second conductive type semiconductor layer 123 is formed on the third semiconductor layer 121, and the second conductive type semiconductor layer 123 includes a second conductive type dopant. The second conductive type semiconductor layer 123 may be formed of any one of compound semiconductors such as GaN, AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP, and GaP. When the second conductive type semiconductor layer 123 is a P type semiconductor layer, the second conductive type dopant is a P type dopant and may include Mg, Zn, Ca, Sr, Ba, or the like.

발광 구조층(150)의 층들의 전도성 타입은 반대로 형성될 수 있으며, 예컨대 상기 제2도전형의 반도체층들(121,123)은 N형 반도체층, 상기 제1도전형 반도체층(117)은 P형 반도체층으로 구현될 수 있다. 또한 상기 제2도전형 반도체층(123) 위에는 상기 제2도전형과 반대의 극성을 갖는 제3도전형 반도체층인 N형 반도체층이 더 형성할 수도 있다. 상기 반도체 발광소자(100)는 상기 제1도전형 반도체층(117), 활성층(119) 및 상기 제2도전형 반도체층(123)을 발광 구조층(150)로 정의될 수 있으며, 상기 발광 구조층(150)은 N-P 접합 구조, P-N 접합 구조, N-P-N 접합 구조, P-N-P 접합 구조 중 어느 한 구조로 구현할 수 있다. 상기 N-P 및 P-N 접합은 2개의 층 사이에 활성층이 배치되며, N-P-N 접합 또는 P-N-P 접합은 3개의 층 사이에 적어도 하나의 활성층을 포함하게 된다.The conductive type of the layers of the light emitting structure layer 150 may be reversed. For example, the second conductive type semiconductor layers 121 and 123 are an N-type semiconductor layer, and the first conductive type semiconductor layer 117 is a P type. It can be implemented as a semiconductor layer. Further, an N-type semiconductor layer, which is a third conductive type semiconductor layer having a polarity opposite to that of the second conductive type, may be further formed on the second conductive type semiconductor layer 123. The semiconductor light emitting device 100 may include the first conductive type semiconductor layer 117, the active layer 119, and the second conductive type semiconductor layer 123 as a light emitting structure layer 150, and the light emitting structure The layer 150 may be implemented in any one of an NP junction structure, a PN junction structure, an NPN junction structure, and a PNP junction structure. In the N-P and P-N junction, an active layer is disposed between two layers, and the N-P-N junction or P-N-P junction includes at least one active layer between the three layers.

한편, 상기 기판(111) 위의 화합물 반도체층(113~123)은 다음과 같은 성장 장비에 의해 성장될 수 있다. 상기 성장 장비는 예컨대, 전자빔 증착기, PVD(physical vapor deposition), CVD(chemical vapor deposition), PLD(plasma laser deposition), 이중형의 열증착기(dual-type thermal evaporator) 스퍼터링(sputtering), MOCVD(metal organic chemical vapor deposition)에 의해 형성할 수 있으며, 이러한 장비로 한정하지는 않는다.Meanwhile, the compound semiconductor layers 113 to 123 on the substrate 111 may be grown by the following growth equipment. The growth equipment includes, for example, electron beam evaporator, physical vapor deposition (PVD), chemical vapor deposition (CVD), plasma laser deposition (PLD), dual-type thermal evaporator sputtering, metal organic vapor deposition (MOCVD). chemical vapor deposition), but is not limited to such equipment.

상기 활성층(119)의 성장 방법은 예컨대, 소정의 성장 온도(예: 700 ~ 950℃) 하에서 H2 또는/및 N2를 캐리어 가스로 사용하여 NH3, TMGa(또는 TEGa), TMIn, TMAl의 소스로 선택적으로 공급하여, InGaN계 반도체로 이루어진 우물층(11), GaN계 반도체로 이루어진 장벽층(12)을 형성할 수 있다. The method of growing the active layer 119 is, for example, NH 3 , TMGa (or TEGa), TMIn, TMAl using H 2 or/and N 2 as a carrier gas under a predetermined growth temperature (eg 700 to 950°C). By selectively supplying as a source, a well layer 11 made of an InGaN-based semiconductor and a barrier layer 12 made of a GaN-based semiconductor can be formed.

실시 예에 따른 활성층(119)은 도 2 및 도 3과 같이, 우물층(11)과 장벽층(12)이 교대로 적층된다. 상기 우물층(11)은 상기 제1도전형 반도체층(117)에 인접한 제1우물층(13), 상기 제1우물층(13) 위에 제2우물층(14), 상기 제2도전형 반도체층(123)에 인접한 제3우물층(15)을 포함한다. 상기 장벽층(12)은 상기 제1우물층(13)과 제2우물층(14) 사이에 제1장벽층(16), 상기 제2우물층(14)과 제3우물층(15) 사이에 제2장벽층(17), 상기 제3우물층(15)과 제3반도체층(121) 사이에 제3장벽층(18)을 포함한다.In the active layer 119 according to the embodiment, as shown in FIGS. 2 and 3, a well layer 11 and a barrier layer 12 are alternately stacked. The well layer 11 includes a first well layer 13 adjacent to the first conductive type semiconductor layer 117, a second well layer 14 on the first well layer 13, and the second conductive type semiconductor. And a third well layer 15 adjacent to the layer 123. The barrier layer 12 is between the first well layer 13 and the second well layer 14 and between the first barrier layer 16 and the second well layer 14 and the third well layer 15 A second barrier layer 17 and a third barrier layer 18 between the third well layer 15 and the third semiconductor layer 121 are included.

상기 제1우물층(13)은 InxGa1-xN (0.10≤x≤0.15)의 조성식을 갖는 반도체이거나, 인듐 조성비가 10~15% 범위를 갖는 반도체로 형성될 수 있다. 상기 제1우물층(13)은 2.5~6nm의 두께로 형성될 수 있다. 상기 제1우물층(13)은 상기 제2 및 제3우물층(14,15)의 층 개수보다 작은 개수의 층 예컨대, 단일 층으로 형성될 수 있다.The first well layer 13 may be formed of a semiconductor having a composition formula of In x Ga 1-x N (0.10≦ x ≦0.15) or a semiconductor having an indium composition ratio of 10 to 15%. The first well layer 13 may be formed to a thickness of 2.5 to 6 nm. The first well layer 13 may be formed of a number of layers smaller than the number of layers of the second and third well layers 14 and 15, for example, a single layer.

상기 제1장벽층(16)은 상기 제1우물층(13)과 다른 반도체 예컨대, GaN계 반도체로 형성될 수 있다. 상기 제1장벽층(16)은 인듐을 포함할 수 있으며, 그 인듐 조성비는 0~4% 범위일 수 있다. 상기 제1장벽층(16)은 상기 제1우물층(13)의 두께보다 두꺼운 두께 예컨대, 3-15nm의 두께로 형성된다.The first barrier layer 16 may be formed of a semiconductor different from the first well layer 13, for example, a GaN-based semiconductor. The first barrier layer 16 may contain indium, and the indium composition ratio may range from 0 to 4%. The first barrier layer 16 is formed to have a thickness greater than that of the first well layer 13, for example, 3-15 nm.

상기 제2우물층(14)은 복수의 InGaN계 반도체층을 포함하며, 각 층은 서로 다른 인듐 조성비를 갖는다. 상기 제2우물층(14)은 제1층(1) 및 제2층(2)을 포함하며, 상기 제1층(1)은 상기 제1장벽층(16) 위에 배치되며, 상기 제2층(2)은 상기 제1층(1)과 제2장벽층(17) 사이에 배치된다. 상기 제1층(1) 및 제2층(2)은 상기 인듐 조성비가 제2장벽층(17)에 가까운 층일수록 작을 수 있다. 상기 제1층(1)의 인듐 조성비는 10~15% 범위이며, 상기 제2층(2)의 인듐 조성비는 2~12% 범위로 형성될 수 있다. 상기 제1 및 제2층(1,2)의 두께는 제2장벽층(17) 또는 제2도전형 반도체층에 가까운 층일수록 두께가 얇을 수 있으며, 예컨대 상기 제1층(1)의 두께는 상기 제2우물층(14)의 50% 내지 70% 범위이며, 예컨대 2~4nm이고, 상기 제2층(2)의 두께는 0.5~1nm 범위이다. 상기 제2우물층(14)의 층 개수는 상기 제1우물층(13)의 층 개수보다 많고 상기 제3우물층(15)의 층 개수보다 작은 개수로 형성될 수 있다.The second well layer 14 includes a plurality of InGaN-based semiconductor layers, and each layer has a different indium composition ratio. The second well layer 14 includes a first layer 1 and a second layer 2, and the first layer 1 is disposed on the first barrier layer 16, and the second layer (2) is disposed between the first layer 1 and the second barrier layer 17. The first layer 1 and the second layer 2 may be smaller as the indium composition ratio is closer to the second barrier layer 17. The indium composition ratio of the first layer 1 may be in the range of 10 to 15%, and the indium composition ratio of the second layer 2 may be in the range of 2 to 12%. The thickness of the first and second layers 1 and 2 may be thinner as the layer closer to the second barrier layer 17 or the second conductive semiconductor layer is, for example, the thickness of the first layer 1 It is in the range of 50% to 70% of the second well layer 14, for example, 2 to 4 nm, and the thickness of the second layer 2 is in the range of 0.5 to 1 nm. The number of layers of the second well layer 14 may be greater than the number of layers of the first well layer 13 and may be formed to be smaller than the number of layers of the third well layer 15.

상기 제2장벽층(16)은 상기 제1우물층(13)과 다른 반도체 예컨대, GaN계 반도체로 형성될 수 있다. 상기 제2장벽층(16)은 인듐을 포함할 수 있으며, 그 인듐 조성비는 0~4% 범위일 수 있다. 상기 제2장벽층(16)은 상기 제1우물층(13)의 두께보다 두꺼운 두께 예컨대, 3-15nm의 두께로 형성된다.The second barrier layer 16 may be formed of a semiconductor different from the first well layer 13, for example, a GaN-based semiconductor. The second barrier layer 16 may include indium, and the indium composition ratio may range from 0 to 4%. The second barrier layer 16 is formed to have a thickness greater than that of the first well layer 13, for example, 3-15 nm.

상기 제3우물층(15)은 복수의 InGaN계 반도체층을 포함하며, 각 층은 서로 다른 인듐 조성비를 갖는다. 상기 제3우물층(15)은 제1 내지 제3층(3,4,5)을 포함하며, 상기 제1층(3)은 상기 제2장벽층(17) 위에 배치되며, 상기 제2층(4)은 상기 제1층(3) 위에 배치되며, 상기 제3층(5)은 제2층(4)과 제3장벽층(17) 사이에 배치된다. 상기 제1층 내지 제3층(3,4,5)은 상기 제3장벽층(18) 또는 제2도전형 반도체층에 가까운 층일수록 인듐 조성비가 작을 수 있다. 예컨대 제1층(3)의 인듐 조성비는 10~15% 범위이며, 상기 제2층(4)의 인듐 조성비는 5~10% 범위로 형성될 수 있으며, 상기 제3층(5)의 인듐 조성비는 1~5% 범위이다. 상기 제1 내지 제3층(3,4,5)의 두께는 제3장벽층(18) 또는 제2도전형 반도체층에 가까운 층일수록 두께가 얇을 수 있으며, 예컨대 상기 제1층(3)의 두께는 상기 제3우물층(15)의 50% 내지 70% 범위이며, 예컨대 2~4nm이고, 상기 제2층(4)의 두께는 0.5~1nm 범위이며, 상기 제3층(5)의 두께는 0.0001~1nm 범위이다. 상기 제3우물층(15)의 층 개수는 상기 제1 및 제2우물층(13,14) 각각의 층 개수보다 많은 개수로 형성될 수 있다.The third well layer 15 includes a plurality of InGaN-based semiconductor layers, and each layer has a different indium composition ratio. The third well layer 15 includes first to third layers 3,4,5, the first layer 3 is disposed on the second barrier layer 17, and the second layer (4) is disposed on the first layer (3), and the third layer (5) is disposed between the second layer (4) and the third barrier layer (17). The indium composition ratio of the first to third layers 3, 4, and 5 may be smaller as the layer is closer to the third barrier layer 18 or the second conductive semiconductor layer. For example, the indium composition ratio of the first layer 3 may be in the range of 10 to 15%, the indium composition ratio of the second layer 4 may be in the range of 5 to 10%, and the indium composition ratio of the third layer 5 Is in the range of 1-5%. The thickness of the first to third layers 3, 4, 5 may be thinner as the layer closer to the third barrier layer 18 or the second conductive semiconductor layer is, for example, the first layer 3 The thickness is in the range of 50% to 70% of the third well layer 15, for example, 2 to 4 nm, the thickness of the second layer 4 is in the range of 0.5 to 1 nm, and the thickness of the third layer 5 Is in the range of 0.0001 to 1 nm. The number of layers of the third well layer 15 may be greater than that of each of the first and second well layers 13 and 14.

상기 제3장벽층(18)은 상기 제1우물층(13)과 다른 반도체 예컨대, GaN계 반도체로 형성될 수 있다. 상기 제3장벽층(18)은 인듐을 포함할 수 있으며, 그 인듐 조성비는 0~4% 범위일 수 있다. 상기 제3장벽층(18)은 상기 제1우물층(13)의 두께보다 두꺼운 두께 예컨대, 3-15nm의 두께로 형성된다.The third barrier layer 18 may be formed of a semiconductor different from the first well layer 13, for example, a GaN-based semiconductor. The third barrier layer 18 may include indium, and the indium composition ratio may range from 0 to 4%. The third barrier layer 18 is formed to have a thickness greater than that of the first well layer 13, for example, 3-15 nm.

실시 예는 제3우물층(15)과 제3장벽층(18) 사이의 계면(S3)에서의 격자 상수 차이는 상기 제2우물층(14)과 제2장벽층(17) 사이의 계면(S2)에서의 격자 상수 차이보다 작을 수 있고, 상기 제2우물층(14)과 제2장벽층(17) 사이의 계면(S2)에셔의 격자 상수의 차이는 상기 제1우물층(13)과 제1장벽층(16) 사이의 계면(S1)에서의 격자 상수 차이보다 작을 수 있다. 즉, 제3우물층(15) 내의 층들 중 상기 제2도전형 반도체층에 가까운 층일수록 상기 제3장벽층(18)과의 격자 상수의 차이가 작게 된다. 그러므로, 상기 제2도전형 반도체층(123)에 가까운 층일수록 우물층(13,14,15)과 장벽층(16,17,18) 사이의 계면(S1,S2,S3)에서의 격자 상수의 차이를 점차 줄여주어, 우물층(13,14,15)과 장벽층(16,17,18) 사이의 계면이 무너지는 문제를 해결할 수 있다. 즉, 제2 및 제3우물층(14,15)의 성장 후 제2 또는 제3장벽층(17,18)이 성장되지 않는 문제를 방지할 수 있다. In an embodiment, the difference in lattice constant at the interface (S3) between the third well layer 15 and the third barrier layer 18 is the interface between the second well layer 14 and the second barrier layer 17 ( It may be smaller than the difference in lattice constant in S2), and the difference in lattice constant of the escher at the interface (S2) between the second well layer 14 and the second barrier layer 17 is It may be smaller than the difference in lattice constant at the interface S1 between the first barrier layers 16. That is, among the layers in the third well layer 15, the difference in lattice constant from the third barrier layer 18 becomes smaller as the layer closer to the second conductive semiconductor layer. Therefore, as the layer closer to the second conductive semiconductor layer 123 is, the lattice constants at the interfaces (S1, S2, S3) between the well layers 13, 14, 15 and the barrier layers 16, 17, 18 By gradually reducing the difference, it is possible to solve the problem that the interface between the well layers 13, 14, and 15 and the barrier layers 16, 17, and 18 collapse. That is, it is possible to prevent a problem in which the second or third barrier layers 17 and 18 are not grown after the second and third well layers 14 and 15 are grown.

만약, 도 4와 같이, 비교 예의 활성층(119)이 InGaN 우물층(W1,W2,W3)과 GaN 장벽층(B1,B2,B3)과 같이 교대로 적층된 경우, 제1우물층(W1)과 제2장벽층(B1)의 계면(S11)은 무너지지 않았지만, 제2우물층(W2)과 제2장벽층(B2) 사이의 계면(S12), 제3우물층(W3)과 제3장벽층(B3) 사이의 계면(S13)이 무너지는 문제가 발생된다. 이는 격자 상수 차이로 인해, 제2 또는 제3 우물층(W2,W3)의 성장 후 제2 또는 제3장벽층(B2,B3)을 성장할 때, 제2 또는 제3장벽층(B2,B3)의 성장이 잘 되지 않아, 계면(S12,S13)이 무너지는 문제가 발생된다. 이와 같이 계면(S12,S13)이 무너지면, 내부 양자 효율이 고 전류에서 떨어지는 문제가 발생된다. 이에 따라 활성층의 신뢰성을 저하시키게 된다. If, as shown in FIG. 4, when the active layers 119 of the comparative example are alternately stacked with InGaN well layers W1, W2, W3 and GaN barrier layers B1, B2, B3, the first well layer W1 The interface (S11) between the and the second barrier layer (B1) did not collapse, but the interface (S12) between the second well layer (W2) and the second barrier layer (B2), the third well layer (W3) and the third barrier There is a problem that the interface S13 between the layers B3 is collapsed. This is due to the difference in lattice constant, when growing the second or third barrier layers B2 and B3 after the growth of the second or third well layers W2 and W3, the second or third barrier layers B2 and B3 Is not well grown, there is a problem that the interfaces (S12, S13) collapse. When the interfaces S12 and S13 are collapsed in this way, there is a problem that the internal quantum efficiency falls at a high current. Accordingly, the reliability of the active layer is lowered.

실시 예는 활성층(119)의 각 우물층(11: 13,14,15) 및 장벽층(12:16,17,18) 사이의 계면(S1,S2,S3)이 무너지지 않도록 인듐 조성비를 조절함으로써, 내부 양자 효율의 저하를 방지할 수 있고, 특히 고 전류에서도 효율이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
The embodiment is by adjusting the indium composition ratio so that the interfaces (S1, S2, S3) between the well layers (11: 13, 14, 15) and the barrier layers (12:16, 17, 18) of the active layer 119 do not collapse. , It is possible to prevent a decrease in the internal quantum efficiency, and in particular, it is possible to prevent the decrease in efficiency even at a high current.

도 5는 제2실시 예에 따른 발광 소자의 활성층을 나타낸 도면이다.5 is a diagram illustrating an active layer of a light emitting device according to a second embodiment.

도 5를 참조하면, 발광 소자의 활성층(119A)은 제1 내지 제3우물층(13,14A,15A)과, 제1 및 제3장벽층(16,17,18)을 포함한다. Referring to FIG. 5, the active layer 119A of the light emitting device includes first to third well layers 13, 14A, and 15A, and first and third barrier layers 16, 17, and 18.

상기 제1우물층(13)은 일정한 제1인듐 조성비를 갖는 단일 층으로 형성된다. 상기 제2우물층(14A)은 상기 제1인듐 조성비를 갖는 제1층(5); 및 상기 제1층(5) 위에 상기 제1인듐 조성비보다 작은 제2인듐 조성비 내에서 상기 제2도전형 반도체층에 가까운 영역일수록 점차 작아지는 제2층(6)을 포함할 수 있다. 상기 제3우물층(15A)은 상기 제1인듐 조성비를 갖는 제1층(8); 상기 제1층(8) 위에 상기 제2인듐 조성비보다 작은 제3인듐 조성비 내에서 상기 제2도전형 반도체층에 가까운 영역일수록 점차 작아지는 제2층(9)을 포함할 수 있다.The first well layer 13 is formed as a single layer having a constant first indium composition ratio. The second well layer 14A includes a first layer 5 having the first indium composition ratio; And a second layer 6 on the first layer 5 that gradually decreases as a region closer to the second conductive type semiconductor layer within a second indium composition ratio smaller than the first indium composition ratio. The third well layer 15A includes a first layer 8 having the first indium composition ratio; A second layer 9 may be formed on the first layer 8 to gradually decrease as a region closer to the second conductive type semiconductor layer within a third indium composition ratio smaller than the second indium composition ratio.

예를 들면, 상기 제1우물층(13)은 InxGa1-xN (0.10≤x≤0.15)의 조성식을 갖는 반도체이거나, 인듐 조성비가 10~15% 범위를 갖는 반도체로 형성될 수 있다. 상기 제1우물층(13)은 2.5~6nm의 두께로 형성될 수 있다. 상기 제1우물층(13)은 제2 및 제3우물층(14,15)의 층 개수보다 작은 개수의 층 예컨대, 단일 층으로 형성될 수 있다.For example, the first well layer 13 may be a semiconductor having a composition formula of In x Ga 1-x N (0.10≦ x ≦0.15), or may be formed of a semiconductor having an indium composition ratio of 10 to 15%. . The first well layer 13 may be formed to a thickness of 2.5 to 6 nm. The first well layer 13 may be formed of a number of layers smaller than the number of layers of the second and third well layers 14 and 15, for example, a single layer.

상기 제2우물층(14A)은 복수의 InGaN계 반도체층을 포함하며, 각 층은 서로 다른 인듐 조성비를 갖는다. 상기 제2우물층(14A)은 제1층(6) 및 상기 제1층(6) 위에 제2층(7)을 포함하며, 상기 제1층(6) 및 제2층(7)의 인듐 조성비는 제2장벽층(17)에 가까운 층일수록 작아질 수 있다. 상기 제1층(6)의 인듐 조성비는 10~15% 범위이며, 상기 제2층(7)의 인듐 조성비는 10~5% 범위 내에서 상기 제2장벽층(17)에 가까운 영역으로 갈수록 그레이딩(grading)하여 감소할 수 있다. 즉, 제1층(6)은 일정한 인듐 조성비를 갖고, 제2층(7)은 상기 제1층(6)의 인듐 조성비보다 작은 인듐 조성비를 갖고 제2장벽층(17)에 가까운 영역일수록 그레이딩하여 감소될 수 있다. 상기 제1 및 제2층(6,7)의 두께는 제2장벽층(17)에 가까운 층일수록 두께가 얇아질 수 있으며, 예컨대 상기 제1층(6)의 두께는 상기 제2우물층(14A)의 50% 내지 70% 범위이며, 예컨대 2~4nm이고, 상기 제2층(7)의 두께는 0.5~1nm 범위이다. The second well layer 14A includes a plurality of InGaN-based semiconductor layers, and each layer has a different indium composition ratio. The second well layer 14A includes a first layer 6 and a second layer 7 on the first layer 6, and the indium of the first layer 6 and the second layer 7 The composition ratio may decrease as the layer is closer to the second barrier layer 17. The indium composition ratio of the first layer 6 is in the range of 10 to 15%, and the indium composition ratio of the second layer 7 is graded toward an area close to the second barrier layer 17 within the range of 10 to 5%. It can be reduced by (grading). That is, the first layer 6 has a constant indium composition ratio, the second layer 7 has an indium composition ratio smaller than the indium composition ratio of the first layer 6, and the closer the area to the second barrier layer 17 is, the more graded. Can be reduced. The thickness of the first and second layers 6 and 7 may be thinner as the layer closer to the second barrier layer 17 is. For example, the thickness of the first layer 6 may be the second well layer ( 14A) is in the range of 50% to 70%, for example, 2 to 4 nm, and the thickness of the second layer 7 is in the range of 0.5 to 1 nm.

상기 제3우물층(15A)은 복수의 InGaN계 반도체층을 포함하며, 각 층은 서로 다른 인듐 조성비를 갖는다. 상기 제3우물층(15A)은 제1층(8) 및 상기 제1층(8) 위에 제2층(9)을 포함하며, 상기 제1 및 제2층(8,9)은 상기 제3장벽층(18)에 가까운 층일수록 인듐 조성비가 적어질 수 있다. 예컨대 제1층(8)의 인듐 조성비는 10~15% 범위이며, 상기 제2층(9)의 인듐 조성비는 1~5% 범위이다. 여기서, 상기 제2층(9)의 인듐 조성비는 상기 제3장벽층(18)에 가까운 영역일수록 인듐 조성비가 그레이딩하여 작아지게 된다. 이때 상기 제2층(9)의 인듐 조성비는 상기 제2우물층(14A)의 제2층(7)의 인듐 조성비보다 작을 수 있다. 상기 제1층(8)의 두께는 상기 제3우물층(15A)의 50% 내지 70% 범위이며, 예컨대 2~4nm이고, 상기 제2층(9)의 두께는 0.5~1nm 범위이다. The third well layer 15A includes a plurality of InGaN-based semiconductor layers, and each layer has a different indium composition ratio. The third well layer (15A) includes a first layer (8) and a second layer (9) on the first layer (8), and the first and second layers (8, 9) are the third The closer to the barrier layer 18, the less indium composition ratio may be. For example, the indium composition ratio of the first layer 8 is in the range of 10 to 15%, and the indium composition ratio of the second layer 9 is in the range of 1 to 5%. Here, the indium composition ratio of the second layer 9 decreases as the indium composition ratio is graded in an area closer to the third barrier layer 18. In this case, the indium composition ratio of the second layer 9 may be smaller than the indium composition ratio of the second layer 7 of the second well layer 14A. The thickness of the first layer 8 is in the range of 50% to 70% of the third well layer 15A, for example, 2 to 4 nm, and the thickness of the second layer 9 is in the range of 0.5 to 1 nm.

상기 제1 내지 제3장벽층(16,17,18)은 상기 제1우물층(13)과 다른 반도체 예컨대, GaN계 반도체로 형성될 수 있다. 상기 각 장벽층(16,17,18)은 인듐을 포함할 수 있으며, 인듐 조성비는 0~4% 범위일 수 있다. 상기 각 장벽층(16,17,18)은 상기 제1우물층(13)의 두께보다 두꺼운 두께 예컨대, 3-15nm의 두께로 형성될 수 있다.The first to third barrier layers 16, 17, and 18 may be formed of a semiconductor different from the first well layer 13, for example, a GaN-based semiconductor. Each of the barrier layers 16, 17, 18 may contain indium, and the indium composition ratio may range from 0 to 4%. Each of the barrier layers 16, 17, 18 may be formed to have a thickness greater than that of the first well layer 13, for example, 3-15 nm.

실시 예는 제3우물층(15A)과 제3장벽층(18) 사이의 계면에서의 격자 상수 차이는 상기 제2우물층(14A)과 제2장벽층(17) 사이의 계면에서의 격자 상수 차이보다 작을 수 있다. 이는 제2도전형 반도체층(123)에 가까운 상기 계면들의 격자 상수의 차이를 점차 줄여주어, 우물층과 장벽층 사이의 계면이 무너지는 문제를 해결할 수 있다. 즉, 제2 및 제3우물층(14A,15A)의 성장 후 제2 또는 제3장벽층(17,18)이 성장되지 않는 문제를 방지할 수 있다.
In an embodiment, the lattice constant difference at the interface between the third well layer 15A and the third barrier layer 18 is the lattice constant at the interface between the second well layer 14A and the second barrier layer 17 May be less than the difference. This can gradually reduce the difference in lattice constants between the interfaces close to the second conductive semiconductor layer 123, thereby solving the problem that the interface between the well layer and the barrier layer collapses. That is, it is possible to prevent a problem in which the second or third barrier layers 17 and 18 are not grown after the second and third well layers 14A and 15A are grown.

도 6은 제3실시 예에 따른 발광 소자의 활성층을 나타낸 도면이다.6 is a diagram illustrating an active layer of a light emitting device according to a third embodiment.

도 6을 참조하면, 활성층(119B)은 제1 내지 제6우물층(21-26)을 갖는 우물층(11A)과, 제1 내지 제6장벽층(31-36)을 갖는 장벽층(12A)을 포함한다. 상기 제1우물층(21)은 상기 제1장벽층(31) 아래에 배치되며, 상기 제2 내지 제6우물층(22-26) 각각은 상기 제1 내지 제6장벽층(31-36) 사이에 배치되며, 제6장벽층(36)은 상기 제6우물층(26) 위에 배치된다.6, the active layer 119B includes a well layer 11A having first to sixth well layers 21-26, and a barrier layer 12A having the first to sixth barrier layers 31-36. ). The first well layer 21 is disposed under the first barrier layer 31, and each of the second to sixth well layers 22-26 is the first to sixth barrier layers 31-36 It is disposed between, and the sixth barrier layer 36 is disposed on the sixth well layer 26.

상기 활성층(119B)은 도 2의 제1우물층(13)부터 제3장벽층(18)까지의 페어가 2회 반복 적층된 구조이다. 상기 제1 내지 제3우물층(21-23)은 도 2의 제1 내지 제3우물층(13-15)과 동일한 인듐 조성비를 갖는 반도체 및 두께를 갖는다. 상기 제1 내지 제3 장벽층(31-33)은 도 2의 제1 내지 제3장벽층(16-18)과 동일한 반도체 및 두께를 갖는다. 예를 들면, 제1 및 제4우물층(21,24)은 도 2의 제1우물층(13)이며, 제2 및 제5우물층(22,25)은 도 2의 제2우물층(15) 예컨대, 제1층(1) 및 제2층(2)을 포함하며, 제3 및 제6우물층(23,26)은 도 2의 제3우물층(15) 예컨대, 제1 내지 제3층(3,4,5)을 포함할 수 있다. The active layer 119B has a structure in which pairs of the first well layer 13 to the third barrier layer 18 of FIG. 2 are repeatedly stacked twice. The first to third well layers 21 to 23 have a semiconductor having the same indium composition ratio and thickness as the first to third well layers 13-15 of FIG. 2. The first to third barrier layers 31-33 have the same semiconductor and thickness as the first to third barrier layers 16-18 of FIG. 2. For example, the first and fourth well layers 21 and 24 are the first well layers 13 of FIG. 2, and the second and fifth well layers 22 and 25 are the second well layers ( 15) For example, it includes a first layer (1) and a second layer (2), and the third and sixth well layers (23, 26) are the third well layer (15) of FIG. It may include three layers (3, 4, 5).

상기 제1 내지 제6장벽층(31-36)은 GaN계 반도체로 형성될 수 있다. 상기 각 장벽층(31-36)은 인듐을 포함할 수 있으며, 인듐 조성비는 0~4% 범위일 수 있다. 상기 각 장벽층(31-36)은 예컨대, 3-15nm의 두께로 형성될 수 있다.
The first to sixth barrier layers 31 to 36 may be formed of a GaN-based semiconductor. Each of the barrier layers 31-36 may contain indium, and the composition ratio of indium may range from 0 to 4%. Each of the barrier layers 31-36 may be formed to a thickness of 3-15 nm, for example.

도 7은 제4실시 예에 따른 발광 소자의 활성층을 나타낸 도면이다.7 is a diagram illustrating an active layer of a light emitting device according to a fourth embodiment.

도 7을 참조하면, 활성층(119C)은 제1 내지 제9우물층(41-49)을 갖는 우물층(11B)과, 제1 내지 제9장벽층(51-59)을 갖는 장벽층(12B)을 포함한다. 상기 제1우물층(41)은 상기 제1장벽층(51) 아래에 배치되며, 상기 제2 내지 제9우물층(42-49) 각각은 상기 제1 내지 제9장벽층(51-59) 사이에 배치되며, 상기 제9장벽층(59)은 상기 제9우물층(49) 위에 배치된다.Referring to FIG. 7, the active layer 119C includes a well layer 11B having first to ninth well layers 41-49 and a barrier layer 12B having first to ninth barrier layers 51-59. ). The first well layer 41 is disposed under the first barrier layer 51, and each of the second to ninth well layers 42-49 is the first to ninth barrier layers 51-59 And the ninth barrier layer 59 is disposed on the ninth well layer 49.

상기 활성층(119C)은 도 2의 제1우물층(13)부터 제3장벽층(18)까지의 페어가 3회 반복 적층된 구조이다. 예를 들면, 제1, 제4 및 제7우물층(41,44,47)은 도 2의 제1우물층(13)이며, 제2, 제5 및 제8우물층(42,45,48)은 도 2의 제2우물층(15) 예컨대, 제1 및 제2층(1,2)을 포함하며, 제3, 제6, 제9우물층(43,46,49)은 도 2의 제3우물층(15) 예컨대, 제1내지 제3층(3,4,5)을 포함할 수 있다. 상기 제1 내지 제9장벽층(51-59)은 GaN계 반도체로 형성될 수 있다. 상기 각 장벽층(51-59)은 인듐을 포함할 수 있으며, 인듐 조성비는 0~4% 범위일 수 있다. 상기 각 장벽층(51-59)은 예컨대, 3-15nm의 두께로 형성될 수 있다.
The active layer 119C has a structure in which pairs of the first well layer 13 to the third barrier layer 18 of FIG. 2 are repeatedly stacked three times. For example, the first, fourth, and seventh well layers 41, 44 and 47 are the first well layers 13 of FIG. 2, and the second, fifth and eighth well layers 42, 45, and 48 ) Includes the second well layer 15 of FIG. 2, for example, the first and second layers 1 and 2, and the third, sixth, and ninth well layers 43, 46 and 49 of FIG. The third well layer 15 may include, for example, first to third layers 3, 4 and 5. The first to ninth barrier layers 51 to 59 may be formed of a GaN-based semiconductor. Each of the barrier layers 51 to 59 may include indium, and the indium composition ratio may range from 0 to 4%. Each of the barrier layers 51-59 may be formed to have a thickness of, for example, 3-15 nm.

도 8은 제3실시 예에 따른 발광 소자의 활성층을 나타낸 도면이다.8 is a diagram illustrating an active layer of a light emitting device according to a third embodiment.

도 8을 참조하면, 발광 소자의 활성층(119D)은 제1 내지 제7우물층(61-67)을 갖는 우물층(11C)과, 제1 내지 제7장벽층(71-77)을 갖는 장벽층(12C)을 포함한다. 상기 제1우물층(61)은 제1장벽층(71) 아래에 배치되며, 상기 제2내지 제7우물층(62-67) 각각은 상기 제1 내지 제7장벽층(71-77) 사이에 배치되며, 상기 제7장벽층(77)은 상기 제7우물층(67) 위에 배치된다.Referring to FIG. 8, the active layer 119D of the light emitting device is a barrier having a well layer 11C having first to seventh well layers 61-67, and a barrier having the first to seventh barrier layers 71-77. Layer 12C. The first well layer 61 is disposed under the first barrier layer 71, and each of the second to seventh well layers 62-67 is between the first to seventh barrier layers 71-77. And the seventh barrier layer 77 is disposed on the seventh well layer 67.

상기 제1, 제4, 제6우물층(61,64,66)은 도 2의 제1우물층(13)과 동일한 인듐 조성비를 갖는 반도체 및 두께로 형성될 수 있다. 상기 제2 및 제5우물층(63,65) 각각은 도 2의 제2우물층(14)으로 형성되며, 예컨대 제1층(1) 및 제2층(2)을 포함한다. 상기 제3 및 제7우물층(63,67)은 도 2의 제3우물층(15)으로 형성되며, 예컨대 제3우물층(15)의 제1내지 제3층(3,4,5)을 포함한다. The first, fourth, and sixth well layers 61, 64, and 66 may be formed of a semiconductor having the same indium composition ratio and thickness as the first well layer 13 of FIG. 2. Each of the second and fifth well layers 63 and 65 is formed of the second well layer 14 of FIG. 2 and includes, for example, a first layer 1 and a second layer 2. The third and seventh well layers 63 and 67 are formed of the third well layer 15 of FIG. 2, for example, the first to third layers 3, 4 and 5 of the third well layer 15 Includes.

상기 제1 내지 제7장벽층(71-77)은 GaN계 반도체로 형성될 수 있다. 상기 각 장벽층(71-77)은 인듐을 포함할 수 있으며, 인듐 조성비는 0~4% 범위일 수 있다. 상기 각 장벽층(71-77)은 예컨대, 3-15nm의 두께로 형성될 수 있다.
The first to seventh barrier layers 71 to 77 may be formed of a GaN-based semiconductor. Each of the barrier layers 71 to 77 may contain indium, and the composition ratio of indium may range from 0 to 4%. Each of the barrier layers 71-77 may be formed to a thickness of 3-15 nm, for example.

상기의 실시 예는 우물층 예컨대, 제2 및 제3우물층의 인듐 조성비를 조절하여 형성하였으나, 이하 장벽층의 인듐 조성비를 조절하여, 장벽층과 우물층 사이의 계면에서의 격자 상수의 차이를 줄여줄 수 있다.The above embodiment was formed by adjusting the indium composition ratio of the well layer, for example, the second and third well layers, but hereinafter, the difference in lattice constant at the interface between the barrier layer and the well layer was adjusted by adjusting the indium composition ratio of the barrier layer. It can be reduced.

도 9는 제6실시 예에 따른 발광 소자를 나타낸 도면이다. 도 9의 설명은 도 1의 설명과 같이 설명하기로 한다.9 is a view showing a light emitting device according to the sixth embodiment. The description of FIG. 9 will be described as the description of FIG. 1.

도 1 및 도 9를 참조하면, 활성층(119E)은 우물층(11D: 81, 82, 83)과 장벽층(12D: 91, 92, 93)이 교대로 적층된다. 상기 우물층(11D)은 상기 제1도전형 반도체층(117)에 인접한 제1우물층(81), 상기 제1우물층(81) 위에 제2우물층(82), 상기 제2도전형 반도체층(123)에 인접한 제3우물층(83)을 포함한다. 상기 장벽층(12D)은 상기 제1우물층(81)과 제2우물층(82) 사이에 제1장벽층(91), 상기 제2우물층(82)과 제3우물층(83) 사이에 제2장벽층(92), 상기 제3우물층(83)과 제3반도체층(121) 사이에 제3장벽층(93)을 포함한다.1 and 9, in the active layer 119E, well layers 11D: 81, 82, and 83 and barrier layers 12D: 91, 92, and 93 are alternately stacked. The well layer 11D includes a first well layer 81 adjacent to the first conductive type semiconductor layer 117, a second well layer 82 on the first well layer 81, and the second conductive type semiconductor. And a third well layer 83 adjacent to the layer 123. The barrier layer 12D is between the first well layer 81 and the second well layer 82 and between the first barrier layer 91 and the second well layer 82 and the third well layer 83 A second barrier layer 92 and a third barrier layer 93 between the third well layer 83 and the third semiconductor layer 121 are included.

상기 제1 내지 제3우물층(81,82,83)은 단일 층으로 형성될 수 있으며, InxGa1-xN (0.10≤x≤0.15)의 조성식을 갖는 반도체이거나, 인듐 조성비가 10~15% 범위를 갖는 반도체로 형성될 수 있다. 상기 제1 내지 제3우물층(81,82,83) 각각은 2.5~6nm의 두께로 형성될 수 있다.The first to third well layers 81, 82 and 83 may be formed as a single layer, and are semiconductors having a composition formula of In x Ga 1-x N (0.10≦ x ≦0.15), or an indium composition ratio of 10 to It can be formed of a semiconductor having a range of 15%. Each of the first to third well layers 81, 82, and 83 may be formed to a thickness of 2.5 to 6 nm.

상기 제2 및 3장벽층(92,93)은 상기 제1장벽층(91) 내의 층 개수보다 많은 복수의 층을 포함하며, 상기 제3장벽층(93) 내의 복수의 층 중에서 상기 제3우물층(83)에 가까운 층일수록 인듐 조성비가 더 많고 두께가 더 얇을 수 있다. 상기 제2장벽층(92) 내의 복수의 층 중에서 상기 제2우물층(82)에 가까운 층일수록 인듐 조성비가 더 많고 두께가 더 얇을 수 있다.The second and third barrier layers 92 and 93 include a plurality of layers greater than the number of layers in the first barrier layer 91, and among a plurality of layers in the third barrier layer 93, the third well The closer the layer to the layer 83 is, the more indium composition ratio is and the thickness may be thinner. Among the plurality of layers in the second barrier layer 92, the closer to the second well layer 82, the greater the indium composition ratio and the thinner the thickness may be.

상기 제1장벽층(91)은 상기 제1우물층(81)과 다른 반도체 예컨대, GaN계 반도체로 형성될 수 있으며, 인듐을 포함할 수 있다. 상기 제1장벽층(91)의 인듐 조성비는 0~4% 범위일 수 있다. 상기 제1장벽층(91)은 상기 제1우물층의 두께보다 두꺼운 두께 예컨대, 3-15nm의 두께로 형성된다.The first barrier layer 91 may be formed of a semiconductor different from the first well layer 81, for example, a GaN-based semiconductor, and may include indium. The indium composition ratio of the first barrier layer 91 may range from 0 to 4%. The first barrier layer 91 is formed to have a thickness greater than that of the first well layer, for example, 3-15 nm.

상기 제2장벽층(92)은 복수의 층 예컨대, 제1층(1A) 및 제2층(2A)을 포함하며, 상기 제1층(1A) 및 제2층(2A)은 서로 다른 인듐 조성비로 형성될 수 있으며, 예컨대 상기 제3우물층(83)에 가까운 층일수록 인듐 조성비가 작아지거나, 또는 상기 제2우물층(82)에 가까운 층일수록 인듐 조성비가 많아질 수 있다. 상기 제1층(1A)은 인듐 조성비가 2~12% 범위인 InGaN계 반도체로 형성될 수 있으며, 상기 제2층(2A)는 인듐 조성비가 상기 제1층(1A)보다 작은 0~4% 조성비를 갖는 GaN계 반도체로 형성될 수 있다. 상기 제1(1A) 및 제2층(2A)의 두께는 제3우물층(84)에 가까울수록 두께가 점차 두꺼워질 수 있으며, 또는 상기 제2우물층(82)에 가까울수록 두께가 점차 얇아질 수 있다. 예컨대 상기 제2층(2A)의 두께는 상기 제2장벽층(92)의 80% 내지 95% 범위이며, 예컨대 4~14nm이고, 상기 제1층(1A)의 두께는 0.5~1nm 범위이다. 상기 제2장벽층(92)은 상기 제1우물층(81)의 두께보다 두꺼운 두께 예컨대, 3-15nm의 두께로 형성된다. 상기 제2장벽층(92)의 층 개수는 상기 제1장벽층(91)의 층 개수보다 많고 상기 제3장벽층(93)의 층 개수보다 작은 개수로 형성될 수 있다.The second barrier layer 92 includes a plurality of layers, for example, a first layer 1A and a second layer 2A, and the first layer 1A and the second layer 2A have different indium composition ratios. For example, a layer closer to the third well layer 83 may have a smaller indium composition ratio, or a layer closer to the second well layer 82 may increase the indium composition ratio. The first layer 1A may be formed of an InGaN-based semiconductor having an indium composition ratio of 2 to 12%, and the second layer 2A has an indium composition ratio of 0 to 4% less than that of the first layer 1A. It may be formed of a GaN-based semiconductor having a composition ratio. The thickness of the first (1A) and the second layer (2A) may be gradually increased as the thickness is closer to the third well layer (84), or the thickness is gradually thinner as the thickness is closer to the second well layer (82). I can lose. For example, the thickness of the second layer 2A is in the range of 80% to 95% of the second barrier layer 92, for example, in the range of 4 to 14 nm, and the thickness of the first layer 1A is in the range of 0.5 to 1 nm. The second barrier layer 92 is formed to have a thickness greater than that of the first well layer 81, for example, 3-15 nm. The number of layers of the second barrier layer 92 may be greater than the number of layers of the first barrier layer 91 and may be formed to be smaller than the number of layers of the third barrier layer 93.

상기 제3장벽층(93)은 복수의 층 예컨대, 제1층(3A), 제2층(4A) 및 제3층(5A)을 포함하며, 상기 제1층(3A) 내지 제3층(5A)은 서로 다른 인듐 조성비로 형성될 수 있으며, 예컨대 상기 제2도전형 반도체층(123)에 가까운 층일수록 인듐 조성비가 점차 작아지거나, 상기 제3우물층(83)에 가까운 층일수록 인듐 조성비가 많아질 수 있다. 상기 제1층(3A)은 인듐 조성비가 5~10% 범위인 InGaN계 반도체로 형성될 수 있으며, 상기 제2층(4A)은 상기 제1층(3A)의 인듐 조성비보다 작은 1~ 5% 범위인 InGaN계 반도체로 형성될 수 있으며, 상기 제3층(5A)은 인듐 조성비가 상기 제2층(4A)보다 작은 0~1% 조성비를 갖는 GaN계 반도체로 형성될 수 있다. 상기 제1(3A) 내지 제3층(5A)의 두께는 제3우물층(84)에 가까운 층일수록 두께가 얇아질 수 있으며, 예컨대 상기 제3층(5A)의 두께는 상기 제3장벽층(93)의 80% 내지 95% 범위이며, 예컨대 4~14nm이고, 상기 제1층(3A)의 두께는 0.5~1nm 범위이고, 제2층(4A)은 0.0001~1nm 범위의 두께로 형성될 수 있다. 상기 제3장벽층(93)은 상기 제1우물층(81)의 두께보다 두꺼운 두께 예컨대, 3-15nm의 두께로 형성된다. 상기 제3장벽층(93)의 층 개수는 상기 제2장벽층(92)의 층 개수보다 많은 개수로 형성될 수 있다.The third barrier layer 93 includes a plurality of layers, for example, a first layer 3A, a second layer 4A, and a third layer 5A, and the first layer 3A to the third layer ( 5A) may be formed with different indium composition ratios, for example, the indium composition ratio gradually decreases as the layer closer to the second conductive semiconductor layer 123 is, or the indium composition ratio is gradually decreased as the layer closer to the third well layer 83 There can be many. The first layer 3A may be formed of an InGaN-based semiconductor having an indium composition ratio of 5 to 10%, and the second layer 4A is 1 to 5% less than the indium composition ratio of the first layer 3A. A range of InGaN-based semiconductors may be used, and the third layer 5A may be formed of a GaN-based semiconductor having an indium composition ratio of 0 to 1% smaller than that of the second layer 4A. The thickness of the first (3A) to third layers (5A) may be thinner as the layer closer to the third well layer 84 is, for example, the thickness of the third layer 5A is the third barrier layer. (93) is in the range of 80% to 95%, for example, 4 to 14 nm, the thickness of the first layer 3A is in the range of 0.5 to 1 nm, and the second layer 4A is formed to a thickness in the range of 0.0001 to 1 nm. I can. The third barrier layer 93 is formed to have a thickness greater than that of the first well layer 81, for example, 3-15 nm. The number of layers of the third barrier layer 93 may be greater than the number of layers of the second barrier layer 92.

상기 복수의 장벽층(91,92,93)은 상기 제2도전형 반도체층에 가까운 층일수록 상기 각 우물층(81,82,83)과의 격자 상수의 차이가 줄어들 수 있다.As the plurality of barrier layers 91, 92, and 93 are closer to the second conductive semiconductor layer, the difference in lattice constants from the well layers 81, 82, and 83 may decrease.

상기 제3우물층과 상기 제3장벽층 사이의 계면에서의 격자 상수의 차이는 상기 제2우물층과 상기 제2장벽층 사이의 계면에서의 격자 상수의 차이보다 작은The difference in lattice constant at the interface between the third well layer and the third barrier layer is smaller than the difference in lattice constant at the interface between the second well layer and the second barrier layer.

제9실시 예는 장벽층(12D)의 인듐 조성비를 조절하여 격자 상수의 차이를 줄여줄 수 있다. 예를 들면, 제2장벽층(92) 및 제3장벽층(93)을 성장할 때, 각 장벽층(92,93)의 인듐 조성비 및 두께를 조절함으로써, 제2 및 제3우물층(82,83)과의 격자 상수의 차이를 줄여줄 수 있다.
In the ninth embodiment, a difference in lattice constants may be reduced by adjusting the indium composition ratio of the barrier layer 12D. For example, when growing the second barrier layer 92 and the third barrier layer 93, by adjusting the indium composition ratio and thickness of each of the barrier layers 92 and 93, the second and third well layers 82, 83) and the difference in lattice constant can be reduced.

도 10은 도 1의 발광 소자에 전극을 배치한 예이다.10 is an example of arranging electrodes in the light emitting device of FIG. 1.

도 10을 참조하면, 발광 소자(101)는 발광 구조층(150) 위에 전극층(141) 및 제2전극(145)이 형성되며, 상기 제1도전형 반도체층(117) 위에 제1전극(143)이 형성된다.Referring to FIG. 10, in the light emitting device 101, an electrode layer 141 and a second electrode 145 are formed on a light emitting structure layer 150, and a first electrode 143 is formed on the first conductive semiconductor layer 117. ) Is formed.

상기 전극층(141)은 전류 확산층으로서, 투과성 및 전기 전도성을 가지는 물질로 형성될 수 있다. 상기 전극층(141)은 화합물 반도체층의 굴절률보다 낮은 굴절률로 형성될 수 있다. The electrode layer 141 is a current diffusion layer and may be formed of a material having transmittance and electrical conductivity. The electrode layer 141 may be formed with a refractive index lower than that of the compound semiconductor layer.

상기 전극층(141)은 제2도전형 반도체층(123)의 상면에 형성되며, 그 물질은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), ZnO, IrOx, RuOx, NiO 등 중에서 선택되며, 적어도 한 층으로 형성될 수 있다. 상기 전극층(141)은 반사 전극층으로 형성될 수 있으며, 그 물질은 예컨대, Al, Ag, Pd, Rh, Pt, Ir 및 이들 중 2이상의 합금 중에서 선택적으로 형성될 수 있다. The electrode layer 141 is formed on the upper surface of the second conductive semiconductor layer 123, and the materials are indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc tin oxide (IZTO), and indium aluminum oxide (IAZO). zinc oxide), IGZO (indium gallium zinc oxide), IGTO (indium gallium tin oxide), AZO (aluminum zinc oxide), ATO (antimony tin oxide), GZO (gallium zinc oxide), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, etc. It is selected and may be formed in at least one layer. The electrode layer 141 may be formed as a reflective electrode layer, and the material may be selectively formed from, for example, Al, Ag, Pd, Rh, Pt, Ir, and two or more alloys thereof.

상기 제2전극(145)은 상기 제2도전형 반도체층(123) 및/또는 상기 전극층(141) 위에 형성될 수 있으며, 전극 패드를 포함할 수 있다. 상기 제2전극(145)은 암(arm) 구조 또는 핑거(finger) 구조의 전류 확산 패턴이 더 형성될 수 있다. 상기 제2전극(145)은 오믹 접촉, 접착층, 본딩층의 특성을 갖는 금속으로 비 투광성으로 이루어질 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The second electrode 145 may be formed on the second conductive semiconductor layer 123 and/or the electrode layer 141, and may include an electrode pad. The second electrode 145 may further include a current diffusion pattern having an arm structure or a finger structure. The second electrode 145 may be made of a metal having characteristics of ohmic contact, an adhesive layer, and a bonding layer, and may be non-transmitting, but is not limited thereto.

상기 제1도전형 반도체층(117)의 일부에는 제1전극(143)이 형성된다. 상기 제1전극(143)과 상기 제2전극(145)은 Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, Zn, Al, In, Ta, Pd, Co, Ni, Si, Ge, Ag 및 Au와 이들의 선택적인 합금 중에서 선택될 수 있다.A first electrode 143 is formed on a part of the first conductive semiconductor layer 117. The first electrode 143 and the second electrode 145 are Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, Zn, Al, In, Ta, Pd, Co, Ni, Si, Ge, Ag, and Au, and their It can be selected among optional alloys.

상기 발광 소자(101)의 표면에 절연층이 더 형성될 수 있으며, 상기 절연층은 발광 구조층(145)의 층간 쇼트(short)를 방지하고, 습기 침투를 방지할 수 있다.
An insulating layer may be further formed on the surface of the light emitting device 101, and the insulating layer may prevent interlayer shorts of the light emitting structure layer 145 and prevent moisture penetration.

도 11은 도 1의 발광 소자의 다른 전극 배치 예를 나타낸 예이다.11 is an example showing another electrode arrangement example of the light emitting device of FIG. 1.

도 11을 참조하면, 발광 구조층(150) 아래에 전류 블록킹층(161), 채널층(163) 및 제2전극(170)이 배치된다. 상기 전류 블록킹층(161)은 SiO2, SiOx, SiOxNy, Si3N4, Al2O3, TiO2 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있으며, 상기 채널층(163) 사이에 적어도 하나가 형성될 수 있다. Referring to FIG. 11, a current blocking layer 161, a channel layer 163, and a second electrode 170 are disposed under the light emitting structure layer 150. The current blocking layer 161 may include at least one of SiO 2 , SiO x , SiO x N y , Si 3 N 4 , Al 2 O 3 , and TiO 2 , and at least one between the channel layers 163 Can be formed.

상기 전류 블록킹층(161)은 상기 발광 구조층(117)의 하면에 배치되며, 상기 제1전극(181)과 상기 발광 구조층(150)의 두께 방향으로 대응되게 배치된다. 상기 전류 블록킹층(161)은 상기 제2전극(170)으로부터 공급되는 전류를 차단하여, 다른 경로로 확산시켜 줄 수 있다. The current blocking layer 161 is disposed on the lower surface of the light emitting structure layer 117 and disposed to correspond to the first electrode 181 and the light emitting structure layer 150 in a thickness direction. The current blocking layer 161 may block the current supplied from the second electrode 170 and diffuse it to another path.

상기 채널층(163)은 상기 제2도전형 반도체층(123)의 하면 에지를 따라 형성되며, 링 형상, 루프 형상 또는 프레임 형상으로 형성될 수 있다. 상기 채널층(163)은 ITO, IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, ATO, SiO2, SiOx, SiOxNy, Si3N4, Al2O3, TiO2 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 채널층(163)의 내측부는 상기 제2도전형 반도체층(123) 아래에 배치되고, 외측부는 상기 발광 구조층(150)의 측면보다 더 외측에 배치된다. The channel layer 163 is formed along the bottom edge of the second conductive semiconductor layer 123 and may be formed in a ring shape, a loop shape, or a frame shape. The channel layer 163 is at least one of ITO, IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, ATO, SiO 2 , SiO x , SiO x N y , Si 3 N 4 , Al 2 O 3 , TiO 2 Can include. An inner portion of the channel layer 163 is disposed under the second conductive semiconductor layer 123, and an outer portion is disposed further outside a side surface of the light emitting structure layer 150.

상기 제2도전형 반도체층(123) 아래에 제2전극(170)이 형성될 수 있다. 상기 제2전극(170)은 복수의 전도층(165,167,169)을 포함할 수 있다.A second electrode 170 may be formed under the second conductive semiconductor layer 123. The second electrode 170 may include a plurality of conductive layers 165, 167, and 169.

상기 제2전극(170)은 접촉층(165), 반사층(167), 및 본딩층(169)을 포함한다. 상기 접촉층(165)은 ITO, IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, ATO 등과 같은 저 전도성 물질이거나 Ni, Ag의 금속을 이용할 수 있다. 상기 접촉층(165) 아래에 반사층(167)이 형성되며, 상기 반사층(167)은 Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 및 그 조합으로 구성된 그룹으로부터 선택된 물질로 이루어진 적어도 하나의 층을 포함하는 구조로 형성될 수 있다. 상기 반사층(167)은 상기 제2도전형 반도체층(123) 아래에 접촉될 수 있으며, 금속으로 오믹 접촉하거나 ITO와 같은 저 전도 물질로 오믹 접촉할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The second electrode 170 includes a contact layer 165, a reflective layer 167, and a bonding layer 169. The contact layer 165 may be a low-conductivity material such as ITO, IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, ATO, or a metal of Ni or Ag. A reflective layer 167 is formed under the contact layer 165, and the reflective layer 167 is composed of Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf, and combinations thereof. It may be formed in a structure including at least one layer made of a material selected from the group. The reflective layer 167 may be in contact under the second conductive semiconductor layer 123, and may be in ohmic contact with a metal or with a low-conducting material such as ITO, but is not limited thereto.

상기 반사층(167) 아래에는 본딩층(169)이 형성되며, 상기 본딩층(169)은 베리어 금속 또는 본딩 금속으로 사용될 수 있으며, 그 물질은 예를 들어, Ti, Au, Sn, Ni, Cr, Ga, In, Bi, Cu, Ag 및 Ta와 선택적인 합금 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. A bonding layer 169 is formed under the reflective layer 167, and the bonding layer 169 may be used as a barrier metal or a bonding metal, and the material may be, for example, Ti, Au, Sn, Ni, Cr, It may contain at least one of Ga, In, Bi, Cu, Ag, and Ta and an optional alloy.

상기 본딩층(169) 아래에는 지지 부재(173)가 형성되며, 상기 지지 부재(173)는 전도성 부재로 형성될 수 있으며, 그 물질은 구리(Cu-copper), 금(Au-gold), 니켈(Ni-nickel), 몰리브덴(Mo), 구리-텅스텐(Cu-W), 캐리어 웨이퍼(예: Si, Ge, GaAs, ZnO, SiC 등)와 같은 전도성 물질로 형성될 수 있다. 상기 지지부재(173)는 다른 예로서, 전도성 시트로 구현될 수 있다.A support member 173 is formed under the bonding layer 169, and the support member 173 may be formed of a conductive member, and the material is copper (Cu-copper), gold (Au-gold), nickel It may be formed of a conductive material such as (Ni-nickel), molybdenum (Mo), copper-tungsten (Cu-W), or a carrier wafer (eg, Si, Ge, GaAs, ZnO, SiC, etc.). As another example, the support member 173 may be implemented as a conductive sheet.

여기서, 상기 도 1의 기판은 제거하게 된다. 상기 성장 기판의 제거 방법은 물리적 방법(예: Laser lift off) 또는/및 화학적 방법(습식 에칭 등)으로 제거할 수 있으며, 상기 제1도전형 반도체층(117)을 노출시켜 준다. 상기 기판이 제거된 방향을 통해 아이솔레이션 에칭을 수행하여, 상기 제1도전형 반도체층(117) 상에 제1전극(181)을 형성하게 된다. Here, the substrate of FIG. 1 is removed. The removal method of the growth substrate may be removed by a physical method (eg, laser lift off) or/or a chemical method (such as wet etching), and exposes the first conductive type semiconductor layer 117. Isolation etching is performed through the direction in which the substrate is removed to form a first electrode 181 on the first conductive semiconductor layer 117.

상기 제1도전형 반도체층(117)의 상면에는 러프니스와 같은 광 추출 구조(117A)로 형성될 수 있다. 상기 발광 구조층(150)의 측벽보다 외측에는 상기 채널층(163)의 외측부가 노출되며, 상기 채널층(163)의 내측부는 상기 제2도전형 반도체층(123)의 하면에 접촉될 수 있다. A light extraction structure 117A such as roughness may be formed on an upper surface of the first conductive semiconductor layer 117. An outer portion of the channel layer 163 is exposed outside a sidewall of the light emitting structure layer 150, and an inner portion of the channel layer 163 may contact a lower surface of the second conductive semiconductor layer 123. .

이에 따라 발광 구조층(150) 위에 제1전극(181) 및 아래에 지지 부재(173)를 갖는 수직형 전극 구조를 갖는 발광 소자(102)가 제조될 수 있다.
Accordingly, the light-emitting device 102 having a vertical electrode structure having a first electrode 181 on the light-emitting structure layer 150 and a support member 173 under it may be manufactured.

도 12는 실시 예에 따른 발광 소자의 내부 양자 효율을 나타낸 도면으로서, 전류가 증가할수록 내부 양자 효율은 증가된다. 여기서, 전류가 일정 이상 예컨대, 고 전류(1E-6)로 갈수록 내부 양자 효율은 비교 예에 비해 개선됨을 알 수 있다.
12 is a diagram showing the internal quantum efficiency of the light emitting device according to the embodiment. As the current increases, the internal quantum efficiency increases. Here, it can be seen that the internal quantum efficiency is improved as compared to the comparative example as the current goes to a certain or more, for example, the high current 1E-6.

한편, 도 13은 실시 예에 따른 발광소자가 적용된 발광소자 패키지를 나타낸 도면이다.Meanwhile, FIG. 13 is a diagram illustrating a light emitting device package to which a light emitting device according to an embodiment is applied.

도 13을 참조하면, 실시 예에 따른 발광소자 패키지는 몸체(210)와, 상기 몸체(210)에 배치된 제1 리드전극(211) 및 제2 리드전극(222)과, 상기 몸체(210)에 제공되어 상기 제1 리드전극(211) 및 제2 리드전극(222)과 전기적으로 연결되는 실시 예에 따른 발광소자(101)와, 상기 발광소자(101)를 포위하는 몰딩부재(220)를 포함할 수 있다.13, a light emitting device package according to an embodiment includes a body 210, a first lead electrode 211 and a second lead electrode 222 disposed on the body 210, and the body 210 The light emitting device 101 according to the embodiment provided in the first lead electrode 211 and electrically connected to the second lead electrode 222, and a molding member 220 surrounding the light emitting device 101 Can include.

상기 몸체(210)는 실리콘 또는 에폭시 재질, 합성수지 재질, 또는 금속 재질을 포함하여 형성될 수 있으며, 상기 발광소자(101)의 주위에 경사면을 갖는 캐비티를 갖는 반사부(215)를 구비할 수 있다.The body 210 may be formed of a silicon or epoxy material, a synthetic resin material, or a metal material, and may include a reflective portion 215 having a cavity having an inclined surface around the light emitting device 101. .

상기 제1 리드전극(211) 및 제2 리드전극(212)은 서로 전기적으로 분리되며, 상기 발광소자(101)에 전원을 제공한다. 또한, 상기 제1 리드전극(211) 및 제2 리드전극(212)은 상기 발광소자(101)에서 발생된 빛을 반사시켜 광 효율을 증가시킬 수 있으며, 상기 발광소자(101)에서 발생된 열을 외부로 배출시키는 역할을 할 수도 있다.The first lead electrode 211 and the second lead electrode 212 are electrically separated from each other, and supply power to the light emitting device 101. In addition, the first lead electrode 211 and the second lead electrode 212 reflect light generated from the light emitting device 101 to increase light efficiency, and the heat generated from the light emitting device 101 It can also play a role of discharging to outside.

상기 발광소자(101)는 상기 몸체(210) 위에 배치되거나 상기 제1 리드전극(211) 또는 제2 리드전극(212) 위에 배치될 수 있다.The light emitting device 101 may be disposed on the body 210 or may be disposed on the first lead electrode 211 or the second lead electrode 212.

상기 발광소자(101)는 상기 제1 리드전극(211) 및 제2 리드전극(212)과 와이어(216)로 연결되거나, 플립칩 방식 또는 다이 본딩 방식 중 어느 하나에 의해 전기적으로 연결될 수도 있다. The light emitting device 101 may be connected to the first lead electrode 211 and the second lead electrode 212 by a wire 216 or may be electrically connected by either a flip chip method or a die bonding method.

상기 몰딩부재(220)는 상기 발광소자(101)를 포위하여 상기 발광소자(100)를 보호할 수 있다. 또한, 상기 몰딩부재(220)에는 형광체가 포함되어 상기 발광소자(101)에서 방출된 광의 파장을 변화시킬 수 있다.The molding member 220 may surround the light emitting device 101 to protect the light emitting device 100. Further, the molding member 220 may include a phosphor to change the wavelength of light emitted from the light emitting device 101.

실시 예에 따른 발광소자 또는 발광소자 패키지는 복수 개가 기판 위에 어레이될 수 있으며, 상기 발광소자 패키지의 광 경로 상에 광학 부재인 렌즈, 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트 등이 배치될 수 있다. 이러한 발광소자 패키지, 기판, 광학 부재는 라이트 유닛으로 기능할 수 있다. 상기 라이트 유닛은 탑뷰 또는 사이드 뷰 타입으로 구현되어, 휴대 단말기 및 노트북 컴퓨터 등의 표시 장치에 제공되거나, 조명장치 및 지시 장치 등에 다양하게 적용될 수 있다. A plurality of light emitting devices or light emitting device packages according to the embodiment may be arrayed on a substrate, and an optical member such as a lens, a light guide plate, a prism sheet, and a diffusion sheet may be disposed on an optical path of the light emitting device package. Such a light emitting device package, substrate, and optical member may function as a light unit. The light unit may be implemented in a top view or a side view type, and may be provided to display devices such as portable terminals and notebook computers, or may be variously applied to lighting devices and indication devices.

또 다른 실시 예는 상술한 실시 예들에 기재된 발광소자 또는 발광소자 패키지를 포함하는 조명 장치로 구현될 수 있다. 예를 들어, 조명 장치는 램프, 가로등, 전광판, 전조등을 포함할 수 있다. 또한, 실시 예에 따른 조명 장치는 자동차 전조등뿐만 아니라 후미등에도 적용될 수 있다.Another embodiment may be implemented as a lighting device including the light emitting device or the light emitting device package described in the above-described embodiments. For example, the lighting device may include a lamp, a street light, an electric sign, and a headlamp. In addition, the lighting device according to the embodiment may be applied not only to a vehicle headlight but also to a rear light.

실시 예에 따른 발광소자는 라이트 유닛에 적용될 수 있다. 상기 라이트 유닛은 복수의 발광소자가 어레이된 구조를 포함하며, 도 14 및 도 15에 도시된 표시 장치, 도 16에 도시된 조명 장치를 포함할 수 있다. The light emitting device according to the embodiment may be applied to a light unit. The light unit includes a structure in which a plurality of light emitting elements are arrayed, and may include a display device illustrated in FIGS. 14 and 15 and a lighting device illustrated in FIG. 16.

도 14를 참조하면, 실시 예에 따른 표시 장치(1000)는 도광판(1041)과, 상기 도광판(1041)에 빛을 제공하는 발광 모듈(1031)과, 상기 도광판(1041) 아래에 반사 부재(1022)와, 상기 도광판(1041) 위에 광학 시트(1051)와, 상기 광학 시트(1051) 위에 표시 패널(1061)과, 상기 도광판(1041), 발광 모듈(1031) 및 반사 부재(1022)를 수납하는 바텀 커버(1011)를 포함할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.Referring to FIG. 14, a display device 1000 according to an embodiment includes a light guide plate 1041, a light emitting module 1031 providing light to the light guide plate 1041, and a reflective member 1022 under the light guide plate 1041. ), an optical sheet 1051 on the light guide plate 1041, a display panel 1061 on the optical sheet 1051, the light guide plate 1041, a light emitting module 1031, and a reflective member 1022. The bottom cover 1011 may be included, but is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1011), 반사시트(1022), 도광판(1041), 광학 시트(1051)는 라이트 유닛(1050)으로 정의될 수 있다.The bottom cover 1011, the reflective sheet 1022, the light guide plate 1041, and the optical sheet 1051 may be defined as a light unit 1050.

상기 도광판(1041)은 빛을 확산시켜 면광원화 시키는 역할을 한다. 상기 도광판(1041)은 투명한 재질로 이루어지며, 예를 들어, PMMA(polymethyl metaacrylate)와 같은 아크릴 수지 계열, PET(polyethylene terephthlate), PC(poly carbonate), COC(cycloolefin copolymer) 및 PEN(polyethylene naphthalate) 수지 중 하나를 포함할 수 있다. The light guide plate 1041 serves to diffuse light into a surface light source. The light guide plate 1041 is made of a transparent material, for example, acrylic resin series such as PMMA (polymethyl metaacrylate), PET (polyethylene terephthlate), PC (polycarbonate), COC (cycloolefin copolymer), and PEN (polyethylene naphthalate). It may contain one of the resins.

상기 발광모듈(1031)은 상기 도광판(1041)의 적어도 일 측면에 빛을 제공하며, 궁극적으로는 표시 장치의 광원으로써 작용하게 된다.The light emitting module 1031 provides light to at least one side of the light guide plate 1041, and ultimately acts as a light source of the display device.

상기 발광모듈(1031)은 바텀 커버(1011) 내에 적어도 하나가 제공될 수 있으며, 상기 도광판(1041)의 일 측면에서 직접 또는 간접적으로 광을 제공할 수 있다. 상기 발광 모듈(1031)은 기판(1033)과 위에서 설명된 실시 예에 따른 발광소자 또는 발광소자 패키지(200)를 포함할 수 있다. 상기 발광소자 패키지(200)는 상기 기판(1033) 위에 소정 간격으로 어레이될 수 있다. At least one of the light emitting modules 1031 may be provided in the bottom cover 1011, and light may be provided directly or indirectly from one side of the light guide plate 1041. The light emitting module 1031 may include a substrate 1033 and a light emitting device or a light emitting device package 200 according to the embodiment described above. The light emitting device package 200 may be arranged on the substrate 1033 at predetermined intervals.

상기 기판(1033)은 회로패턴을 포함하는 인쇄회로기판(PCB, Printed Circuit Board)일 수 있다. 다만, 상기 기판(1033)은 일반 PCB 뿐 아니라, 메탈 코어 PCB(MCPCB, Metal Core PCB), 연성 PCB(FPCB, Flexible PCB) 등을 포함할 수도 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 발광소자 패키지(200)는 상기 바텀 커버(1011)의 측면 또는 방열 플레이트 위에 제공될 경우, 상기 기판(1033)은 제거될 수 있다. 여기서, 상기 방열 플레이트의 일부는 상기 바텀 커버(1011)의 상면에 접촉될 수 있다.The substrate 1033 may be a printed circuit board (PCB) including a circuit pattern. However, the substrate 1033 may include not only a general PCB, but also a metal core PCB (MCPCB, Metal Core PCB), a flexible PCB (FPCB, Flexible PCB), etc., but is not limited thereto. When the light emitting device package 200 is provided on a side surface of the bottom cover 1011 or on a heat dissipation plate, the substrate 1033 may be removed. Here, a part of the heat dissipation plate may contact the upper surface of the bottom cover 1011.

그리고, 상기 다수의 발광소자 패키지(200)는 빛이 방출되는 출사면이 상기 도광판(1041)과 소정 거리 이격되도록 탑재될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 발광소자 패키지(200)는 상기 도광판(1041)의 일측면인 입광부에 광을 직접 또는 간접적으로 제공할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.In addition, the plurality of light emitting device packages 200 may be mounted such that an emission surface from which light is emitted is spaced apart from the light guide plate 1041 by a predetermined distance, but the embodiment is not limited thereto. The light emitting device package 200 may directly or indirectly provide light to a light-incident portion, which is one side of the light guide plate 1041, but is not limited thereto.

상기 도광판(1041) 아래에는 상기 반사 부재(1022)가 배치될 수 있다. 상기 반사 부재(1022)는 상기 도광판(1041)의 하면으로 입사된 빛을 반사시켜 위로 향하게 함으로써, 상기 라이트 유닛(1050)의 휘도를 향상시킬 수 있다. 상기 반사 부재(1022)는 예를 들어, PET, PC, PVC 레진 등으로 형성될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 반사 부재(1022)는 상기 바텀 커버(1011)의 상면일 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The reflective member 1022 may be disposed under the light guide plate 1041. The reflective member 1022 reflects the light incident on the lower surface of the light guide plate 1041 and directs it upward, thereby improving the brightness of the light unit 1050. The reflective member 1022 may be formed of, for example, PET, PC, PVC resin, or the like, but is not limited thereto. The reflective member 1022 may be an upper surface of the bottom cover 1011, but is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1011)는 상기 도광판(1041), 발광모듈(1031) 및 반사 부재(1022) 등을 수납할 수 있다. 이를 위해, 상기 바텀 커버(1011)는 상면이 개구된 박스(box) 형상을 갖는 수납부(1012)가 구비될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 바텀 커버(1011)는 탑 커버와 결합될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The bottom cover 1011 may accommodate the light guide plate 1041, the light emitting module 1031 and the reflective member 1022. To this end, the bottom cover 1011 may include a receiving portion 1012 having a box shape with an open top surface, but is not limited thereto. The bottom cover 1011 may be coupled to the top cover, but the embodiment is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1011)는 금속 재질 또는 수지 재질로 형성될 수 있으며, 프레스 성형 또는 압출 성형 등의 공정을 이용하여 제조될 수 있다. 또한 상기 바텀 커버(1011)는 열 전도성이 좋은 금속 또는 비 금속 재료를 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The bottom cover 1011 may be formed of a metal material or a resin material, and may be manufactured using a process such as press molding or extrusion molding. In addition, the bottom cover 1011 may include a metal or non-metal material having good thermal conductivity, but is not limited thereto.

상기 표시 패널(1061)은 예컨대, LCD 패널로서, 서로 대향되는 투명한 재질의 제1 및 제2 기판, 그리고 제1 및 제2 기판 사이에 개재된 액정층을 포함한다. 상기 표시 패널(1061)의 적어도 일면에는 편광판이 부착될 수 있으며, 이러한 편광판의 부착 구조로 한정하지는 않는다. 상기 표시 패널(1061)은 광학 시트(1051)를 통과한 광에 의해 정보를 표시하게 된다. 이러한 표시 장치(1000)는 각 종 휴대 단말기, 노트북 컴퓨터의 모니터, 랩탑 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼 등에 적용될 수 있다. The display panel 1061 is, for example, an LCD panel, and includes first and second substrates made of transparent materials facing each other, and a liquid crystal layer interposed between the first and second substrates. A polarizing plate may be attached to at least one surface of the display panel 1061, and the structure of the polarizing plate is not limited thereto. The display panel 1061 displays information by light passing through the optical sheet 1051. The display device 1000 can be applied to various types of portable terminals, monitors of notebook computers, monitors of laptop computers, and televisions.

상기 광학 시트(1051)는 상기 표시 패널(1061)과 상기 도광판(1041) 사이에 배치되며, 적어도 한 장의 투광성 시트를 포함한다. 상기 광학 시트(1051)는 예컨대 확산 시트, 수평 및 수직 프리즘 시트, 및 휘도 강화 시트 등과 같은 시트 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 확산 시트는 입사되는 광을 확산시켜 주고, 상기 수평 또는/및 수직 프리즘 시트는 입사되는 광을 표시 영역으로 집광시켜 주며, 상기 휘도 강화 시트는 손실되는 광을 재사용하여 휘도를 향상시켜 준다. 또한 상기 표시 패널(1061) 위에는 보호 시트가 배치될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The optical sheet 1051 is disposed between the display panel 1061 and the light guide plate 1041, and includes at least one translucent sheet. The optical sheet 1051 may include at least one of, for example, a diffusion sheet, a horizontal and vertical prism sheet, and a brightness enhancement sheet. The diffusion sheet diffuses incident light, the horizontal or/and vertical prism sheet condenses incident light to a display area, and the brightness enhancement sheet reuses lost light to improve luminance. In addition, a protective sheet may be disposed on the display panel 1061, but the embodiment is not limited thereto.

여기서, 상기 발광 모듈(1031)의 광 경로 상에는 광학 부재로서, 상기 도광판(1041) 및 광학 시트(1051)를 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.Here, as an optical member on the light path of the light emitting module 1031, the light guide plate 1041 and the optical sheet 1051 may be included, but the embodiment is not limited thereto.

도 15는 실시 예에 따른 표시 장치의 다른 예를 나타낸 도면이다. 15 is a diagram illustrating another example of a display device according to an exemplary embodiment.

도 15를 참조하면, 표시 장치(1100)는 바텀 커버(1152), 상기에 개시된 발광소자(100)가 어레이된 기판(1020), 광학 부재(1154), 및 표시 패널(1155)을 포함한다. 상기 기판(1020)과 상기 발광소자 패키지(200)는 발광 모듈(1060)로 정의될 수 있다. 상기 바텀 커버(1152)에는 수납부(1153)를 구비할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.Referring to FIG. 15, the display device 1100 includes a bottom cover 1152, a substrate 1020 on which the light emitting devices 100 disclosed above are arrayed, an optical member 1154, and a display panel 1155. The substrate 1020 and the light emitting device package 200 may be defined as a light emitting module 1060. The bottom cover 1152 may include an accommodating part 1153, but the embodiment is not limited thereto.

여기서, 상기 광학 부재(1154)는 렌즈, 도광판, 확산 시트, 수평 및 수직 프리즘 시트, 및 휘도 강화 시트 등에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 도광판은 PC 재질 또는 PMMA(Poly methy methacrylate) 재질로 이루어질 수 있으며, 이러한 도광판은 제거될 수 있다. 상기 확산 시트는 입사되는 광을 확산시켜 주고, 상기 수평 및 수직 프리즘 시트는 입사되는 광을 표시 영역으로 집광시켜 주며, 상기 휘도 강화 시트는 손실되는 광을 재사용하여 휘도를 향상시켜 준다. Here, the optical member 1154 may include at least one of a lens, a light guide plate, a diffusion sheet, a horizontal and vertical prism sheet, and a brightness enhancement sheet. The light guide plate may be made of a PC material or a poly methy methacrylate (PMMA) material, and the light guide plate may be removed. The diffusion sheet diffuses incident light, the horizontal and vertical prism sheets condense incident light into a display area, and the brightness enhancement sheet reuses lost light to improve brightness.

상기 광학 부재(1154)는 상기 발광 모듈(1060) 위에 배치되며, 상기 발광 모듈(1060)로부터 방출된 광을 면 광원하거나, 확산, 집광 등을 수행하게 된다.The optical member 1154 is disposed on the light emitting module 1060 and performs a surface light source, diffusion, or condensation of light emitted from the light emitting module 1060.

도 16은 실시 예에 따른 조명장치를 나타낸 도면이다.16 is a view showing a lighting device according to an embodiment.

도 16을 참조하면, 실시 예에 따른 조명 장치는 커버(2100), 광원 모듈(2200), 방열체(2400), 전원 제공부(2600), 내부 케이스(2700), 소켓(2800)을 포함할 수 있다. 또한, 실시 예에 따른 조명 장치는 부재(2300)와 홀더(2500) 중 어느 하나 이상을 더 포함할 수 있다. 상기 광원 모듈(2200)은 실시 예에 따른 발광소자 패키지를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 16, a lighting device according to an embodiment includes a cover 2100, a light source module 2200, a radiator 2400, a power supply unit 2600, an inner case 2700, and a socket 2800. I can. In addition, the lighting device according to the embodiment may further include one or more of a member 2300 and a holder 2500. The light source module 2200 may include a light emitting device package according to the embodiment.

예컨대, 상기 커버(2100)는 벌브(bulb) 또는 반구의 형상을 가지며, 속이 비어 있고, 일 부분이 개구된 형상으로 제공될 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 광원 모듈(2200)과 광학적으로 결합될 수 있다. 예를 들어, 상기 커버(2100)는 상기 광원 모듈(2200)로부터 제공되는 빛을 확산, 산란 또는 여기 시킬 수 있다. 상기 커버(2100)는 일종의 광학 부재일 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 방열체(2400)와 결합될 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 방열체(2400)와 결합하는 결합부를 가질 수 있다.For example, the cover 2100 may have a shape of a bulb or a hemisphere, and may be provided in a shape with a hollow and an open portion. The cover 2100 may be optically coupled to the light source module 2200. For example, the cover 2100 may diffuse, scatter, or excite light provided from the light source module 2200. The cover 2100 may be a kind of optical member. The cover 2100 may be coupled to the radiator 2400. The cover 2100 may have a coupling portion coupled to the radiator 2400.

상기 커버(2100)의 내면에는 유백색 도료가 코팅될 수 있다. 유백색의 도료는 빛을 확산시키는 확산재를 포함할 수 있다. 상기 커버(2100)의 내면의 표면 거칠기는 상기 커버(2100)의 외면의 표면 거칠기보다 크게 형성될 수 있다. 이는 상기 광원 모듈(2200)로부터의 빛이 충분히 산란 및 확산되어 외부로 방출시키기 위함이다. A milky white paint may be coated on the inner surface of the cover 2100. The milky white paint may include a diffuser that diffuses light. The surface roughness of the inner surface of the cover 2100 may be larger than the surface roughness of the outer surface of the cover 2100. This is to allow light from the light source module 2200 to be sufficiently scattered and diffused to be emitted to the outside.

상기 커버(2100)의 재질은 유리(glass), 플라스틱, 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌(PE), 폴리카보네이트(PC) 등일 수 있다. 여기서, 폴리카보네이트는 내광성, 내열성, 강도가 뛰어나다. 상기 커버(2100)는 외부에서 상기 광원 모듈(2200)이 보이도록 투명할 수 있고, 불투명할 수 있다. 상기 커버(2100)는 블로우(blow) 성형을 통해 형성될 수 있다.The material of the cover 2100 may be glass, plastic, polypropylene (PP), polyethylene (PE), polycarbonate (PC), or the like. Here, polycarbonate is excellent in light resistance, heat resistance, and strength. The cover 2100 may be transparent or opaque so that the light source module 2200 is visible from the outside. The cover 2100 may be formed through blow molding.

상기 광원 모듈(2200)은 상기 방열체(2400)의 일 면에 배치될 수 있다. 따라서, 상기 광원 모듈(2200)로부터의 열은 상기 방열체(2400)로 전도된다. 상기 광원 모듈(2200)은 광원부(2210), 연결 플레이트(2230), 커넥터(2250)를 포함할 수 있다.The light source module 2200 may be disposed on one surface of the radiator 2400. Accordingly, heat from the light source module 2200 is conducted to the radiator 2400. The light source module 2200 may include a light source unit 2210, a connection plate 2230, and a connector 2250.

상기 부재(2300)는 상기 방열체(2400)의 상면 위에 배치되고, 복수의 광원부(2210)들과 커넥터(2250)이 삽입되는 가이드홈(2310)들을 갖는다. 상기 가이드홈(2310)은 상기 광원부(2210)의 기판 및 커넥터(2250)와 대응된다.The member 2300 is disposed on an upper surface of the radiator 2400 and has guide grooves 2310 into which a plurality of light source units 2210 and a connector 2250 are inserted. The guide groove 2310 corresponds to the substrate and the connector 2250 of the light source unit 2210.

상기 부재(2300)의 표면은 빛 반사 물질로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 예를 들면, 상기 부재(2300)의 표면은 백색의 도료로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 이러한 상기 부재(2300)는 상기 커버(2100)의 내면에 반사되어 상기 광원 모듈(2200)측 방향으로 되돌아오는 빛을 다시 상기 커버(2100) 방향으로 반사한다. 따라서, 실시 예에 따른 조명 장치의 광 효율을 향상시킬 수 있다.The surface of the member 2300 may be coated or coated with a light reflective material. For example, the surface of the member 2300 may be coated or coated with a white paint. The member 2300 reflects light reflected on the inner surface of the cover 2100 and returning toward the light source module 2200 toward the cover 2100. Therefore, it is possible to improve the light efficiency of the lighting device according to the embodiment.

상기 부재(2300)는 예로서 절연 물질로 이루어질 수 있다. 상기 광원 모듈(2200)의 연결 플레이트(2230)는 전기 전도성의 물질을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 방열체(2400)와 상기 연결 플레이트(2230) 사이에 전기적인 접촉이 이루어질 수 있다. 상기 부재(2300)는 절연 물질로 구성되어 상기 연결 플레이트(2230)와 상기 방열체(2400)의 전기적 단락을 차단할 수 있다. 상기 방열체(2400)는 상기 광원 모듈(2200)로부터의 열과 상기 전원 제공부(2600)로부터의 열을 전달받아 방열한다.The member 2300 may be made of an insulating material, for example. The connection plate 2230 of the light source module 2200 may include an electrically conductive material. Accordingly, electrical contact may be made between the radiator 2400 and the connection plate 2230. The member 2300 is made of an insulating material to block an electrical short between the connection plate 2230 and the radiator 2400. The radiator 2400 receives heat from the light source module 2200 and heat from the power supply unit 2600 to radiate heat.

상기 홀더(2500)는 내부 케이스(2700)의 절연부(2710)의 수납홈(2719)을 막는다. 따라서, 상기 내부 케이스(2700)의 상기 절연부(2710)에 수납되는 상기 전원 제공부(2600)는 밀폐된다. 상기 홀더(2500)는 가이드 돌출부(2510)를 갖는다. 상기 가이드 돌출부(2510)는 상기 전원 제공부(2600)의 돌출부(2610)가 관통하는 홀을 갖는다. The holder 2500 blocks the receiving groove 2719 of the insulating part 2710 of the inner case 2700. Accordingly, the power supply unit 2600 accommodated in the insulating unit 2710 of the inner case 2700 is sealed. The holder 2500 has a guide protrusion 2510. The guide protrusion 2510 has a hole through which the protrusion 2610 of the power supply unit 2600 passes.

상기 전원 제공부(2600)는 외부로부터 제공받은 전기적 신호를 처리 또는 변환하여 상기 광원 모듈(2200)로 제공한다. 상기 전원 제공부(2600)는 상기 내부 케이스(2700)의 수납홈(2719)에 수납되고, 상기 홀더(2500)에 의해 상기 내부 케이스(2700)의 내부에 밀폐된다. 상기 전원 제공부(2600)는 돌출부(2610), 가이드부(2630), 베이스(2650), 연장부(2670)를 포함할 수 있다.The power supply unit 2600 processes or converts an electrical signal provided from the outside and provides it to the light source module 2200. The power supply unit 2600 is accommodated in the storage groove 2719 of the inner case 2700 and is sealed inside the inner case 2700 by the holder 2500. The power supply unit 2600 may include a protrusion 2610, a guide portion 2630, a base 2650, and an extension 2670.

상기 가이드부(2630)는 상기 베이스(2650)의 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 가이드부(2630)는 상기 홀더(2500)에 삽입될 수 있다. 상기 베이스(2650)의 일 면 위에 다수의 부품이 배치될 수 있다. 다수의 부품은 예를 들어, 외부 전원으로부터 제공되는 교류 전원을 직류 전원으로 변환하는 직류변환장치, 상기 광원 모듈(2200)의 구동을 제어하는 구동칩, 상기 광원 모듈(2200)을 보호하기 위한 ESD(ElectroStatic discharge) 보호 소자 등을 포함할 수 있으나 이에 대해 한정하지는 않는다.The guide portion 2630 has a shape protruding outward from one side of the base 2650. The guide part 2630 may be inserted into the holder 2500. A number of components may be disposed on one surface of the base 2650. A number of components include, for example, a DC converter for converting AC power provided from an external power source to DC power, a driving chip for controlling the driving of the light source module 2200, and an ESD for protecting the light source module 2200. (ElectroStatic discharge) may include a protection element, but is not limited thereto.

상기 연장부(2670)는 상기 베이스(2650)의 다른 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 연장부(2670)는 상기 내부 케이스(2700)의 연결부(2750) 내부에 삽입되고, 외부로부터의 전기적 신호를 제공받는다. 예컨대, 상기 연장부(2670)는 상기 내부 케이스(2700)의 연결부(2750)의 폭과 같거나 작게 제공될 수 있다. 상기 연장부(2670)에는 "+ 전선"과 "- 전선"의 각 일 단이 전기적으로 연결되고, "+ 전선"과 "- 전선"의 다른 일 단은 소켓(2800)에 전기적으로 연결될 수 있다.The extension part 2670 has a shape protruding outward from the other side of the base 2650. The extension part 2670 is inserted into the connection part 2750 of the inner case 2700 and receives an electrical signal from the outside. For example, the extension part 2670 may be provided equal to or smaller than the width of the connection part 2750 of the inner case 2700. Each end of the "+ wire" and "- wire" may be electrically connected to the extension part 2670, and the other end of the "+ wire" and "- wire" may be electrically connected to the socket 2800. .

상기 내부 케이스(2700)는 내부에 상기 전원 제공부(2600)와 함께 몰딩부를 포함할 수 있다. 몰딩부는 몰딩 액체가 굳어진 부분으로서, 상기 전원 제공부(2600)가 상기 내부 케이스(2700) 내부에 고정될 수 있도록 한다.이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The inner case 2700 may include a molding unit together with the power supply unit 2600 therein. The molding part is a part in which the molding liquid is hardened, and allows the power supply part 2600 to be fixed inside the inner case 2700. Features, structures, effects, etc. described in the above embodiments are at least in the present invention. It is included in one embodiment, and is not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects, and the like illustrated in each embodiment can be implemented by combining or modifying other embodiments by a person having ordinary knowledge in the field to which the embodiments belong. Accordingly, contents related to such combinations and modifications should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

또한, 이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
In addition, although the embodiments have been described above, these are only examples and do not limit the present invention, and those of ordinary skill in the field to which the present invention belongs are illustrated above within the scope not departing from the essential characteristics of the present embodiment. It will be seen that various modifications and applications that are not available are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be modified and implemented. And differences related to these modifications and applications should be construed as being included in the scope of the present invention defined in the appended claims.

11,11A,11B,11C,11D,13,14,14A,15,15A,21-26, 41-49, 61-67, 81-83: 우물층
12,16,17,18, 31-36, 51-59, 71-77, 91-93: 장벽층
100,101,102: 발광 소자
111: 기판
113: 제1반도체층
115: 제2반도체층
117: 제1도전형 반도체층
119,119A,119B,119C,119D,119E: 활성층
121: 제3반도체층
123: 제2도전형 반도체층
11,11A,11B,11C,11D,13,14,14A,15,15A,21-26, 41-49, 61-67, 81-83: well layer
12,16,17,18, 31-36, 51-59, 71-77, 91-93: barrier layer
100,101,102: light-emitting element
111: substrate
113: first semiconductor layer
115: second semiconductor layer
117: first conductive type semiconductor layer
119,119A,119B,119C,119D,119E: active layer
121: third semiconductor layer
123: second conductive type semiconductor layer

Claims (14)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1도전형 반도체층;
상기 제1도전형 반도체층 위에 배치된 제2도전형 반도체층; 및
상기 제1도전형 반도체층과 상기 제2도전형 반도체층 사이에 복수의 우물층과 복수의 장벽층을 포함하는 활성층을 포함하며,
상기 복수의 우물층은 상기 제1도전형 반도체층에 가까운 제1우물층과, 상기 제2도전형 반도체층에 가까운 제3우물층과, 상기 제1 및 제3우물층 사이에 배치된 제2우물층을 포함하며,
상기 복수의 장벽층은 상기 제1우물층과 상기 제2우물층 사이에 배치된 제1장벽층, 상기 제2우물층과 상기 제3우물층 사이에 배치된 제2장벽층, 및 상기 제3우물층과 상기 제2도전형 반도체층 사이에 배치된 제3장벽층을 포함하며,
상기 제2 및 제3장벽층은 상기 제1장벽층 내의 층 개수보다 많은 복수의 층을 포함하며,
상기 제3장벽층 내의 복수의 층 중에서 상기 제3우물층에 가까운 층일수록 인듐 조성비가 더 많고 두께가 더 얇고,
상기 제2장벽층 내의 복수의 층 중에서 상기 제2우물층에 가까운 층일수록 인듐 조성비가 더 많고 두께가 더 얇은 발광 소자.
A first conductive type semiconductor layer;
A second conductive type semiconductor layer disposed on the first conductive type semiconductor layer; And
And an active layer including a plurality of well layers and a plurality of barrier layers between the first conductive semiconductor layer and the second conductive semiconductor layer,
The plurality of well layers include a first well layer close to the first conductive type semiconductor layer, a third well layer close to the second conductive type semiconductor layer, and a second well layer disposed between the first and third well layers. Includes a well layer,
The plurality of barrier layers include a first barrier layer disposed between the first well layer and the second well layer, a second barrier layer disposed between the second well layer and the third well layer, and the third well layer. And a third barrier layer disposed between the well layer and the second conductive semiconductor layer,
The second and third barrier layers include a plurality of layers greater than the number of layers in the first barrier layer,
Among the plurality of layers in the third barrier layer, the closer to the third well layer, the greater the indium composition ratio and the thinner the thickness,
A light emitting device having a larger indium composition ratio and a thinner thickness as a layer closer to the second well layer among the plurality of layers in the second barrier layer.
제13항에 있어서,
상기 복수의 장벽층 중 상기 제2도전형 반도체층에 가까운 층일수록 상기 우물층과의 격자 상수의 차이가 작아지는 발광 소자.
The method of claim 13,
A light emitting device in which a difference in lattice constant from the well layer decreases as a layer closer to the second conductive semiconductor layer among the plurality of barrier layers.
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