KR102171270B1 - 무마찰 이송 장치 - Google Patents

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KR102171270B1
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주식회사 한화
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    • B65G2812/00—Indexing codes relating to the kind or type of conveyors
    • B65G2812/99—Conveyor systems not otherwise provided for

Abstract

본 발명의 이송 장치는 대상물 제조를 위한 대상물 파레트를 클린 설비내에서 각 스테이지별로 이송하는 이송 수단을 포함하고,
상기 이송 수단은, 상기 대상물 파레트를 클램핑하기 위하여 상기 대상물 파레트에 접근하는 동작, 상기 대상물 파레트를 집는 클램핑 동작, 상기 대상물 파레트를 클램핑한 상태에서 상기 대상물 파레트를 들어올리는 승강 동작, 상기 대상물 파레트를 들어올린 상태에서 상기 대상물 파레트를 상기 대상물 파레트의 이송 방향으로 이동시키는 동작, 상기 대상물 파레트를 내려놓는 동작, 상기 대상물 파레트를 내려놓은 후 상기 대상물 파레트에서 멀어지는 동작을 순차적으로 수행한다.

Description

무마찰 이송 장치{Non-friction Feeding Apparatus}
본 발명은 클린 설비에서 생산되는 대상물을 무마찰 이송할 수 있는 무마찰 이송 장치에 관한 것이다.
이물질이 유입되지 않는 클린 설비에서 제조되는 물품을 '대상물'로 정의한다. 대상물 파레트에는 대상물이 수납되며, 대상물 파레트는 대상물과 함께 클린 설비내에서 이동된다. 클린 설비 내에는 각각의 공정을 수행하는 스테이지가 마련되며, 대상물 파레트는 각 스테이지별로 이동될 수 있다.
대상물을 제조하는 장치는 대상물 파레트를 각 스테이지별로 이송하며 대상물의 제조 작업을 완료한다. 이송 장치는 클린 설비 내에 마련되며 일련의 제조 공정을 거치도록 대상물 파레트를 이송시킨다.
본 발명은, 대상물의 크기에 관계없이 대상물 파레트를 정확한 위치로 이송시킬 수 있다. 클린 설비 내부의 모든 구동 수단은 마찰없는 비접촉식으로 작동되므로 파티클이 발생하지 않는 클린 상태를 유지할 수 있다.
본 발명은 대상물 제조를 위한 대상물 파레트를 클린 설비내에서 각 스테이지별로 이송하는 이송 수단을 포함할 수 있다.
상기 이송 수단은, 상기 대상물 파레트를 클램핑하기 위하여 상기 대상물 파레트에 접근하는 동작, 상기 대상물 파레트를 집는 클램핑 동작, 상기 대상물 파레트를 클램핑한 상태에서 상기 대상물 파레트를 들어올리는 승강 동작, 상기 대상물 파레트를 들어올린 상태에서 상기 대상물 파레트를 상기 대상물 파레트의 이송 방향으로 이동시키는 동작, 상기 대상물 파레트를 내려놓는 동작, 상기 대상물 파레트를 내려놓은 후 상기 대상물 파레트에서 멀어지는 동작을 순차적으로 수행할 수 있다.
대상물 파레트의 이송 과정에서 대상물 파레트의 위치가 쉽게 틀어질 염려가 있다. 이송 정밀도 향상을 위하여 이송 수단의 구조를 복잡하게 하면 고장 발생율이 높아지거나 제품 단가가 상승할 염려가 있다.
각 공정별로 구별되는 위치가 정해지며, 제1 위치에서 제2 위치로 대상물 파레트가 이동될 수 있다. 대상물 파레트가 제1 위치에 놓여지는 제1 스테이지와, 대상물 파레트가 제2 위치에 놓여지는 제2 스테이지 사이에는 틈이나 간격이 형성될 수 있다. 이때, 각 스테이지를 이동하는 대상물 파레트가 틈이나 간격에 걸릴 수 있고, 대상물 파레트가 틈이나 간격에 부딪히며 덜컹거리거나 이송 장애가 발생할 수 있다.
한편, 대상물 파레트의 이송시 스테이지와 접촉되는 면적이나 접촉 시간이 많아질수록, 클린 설비 내에 이물질 발생 가능성이 가능성이 높아질 수 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 가장 큰 특징은, 대상물 파레트가 클램핑하여 들어올려진 상태에서 이송된다는 점이다.
구체적으로 본 발명은 다음과 같은 효과가 있다.
1) 대상물 파레트를 다음 위치로 이송시, 피더로 대상물 파레트를 클램핑하고, 승강 수단에 의해 피더를 들어올려서 이송한다. 대상물의 크기에 관계없이 대상물 파레트를 접촉 간섭없이 이송할 수 있다.
2) 각 스테이지별로 대상물 파레트를 이송시, 대상물 파레트는 상승된 상태에서 다음 스테이지로 이동되므로, 원활한 이동이 가능하다. 대상물 파레트는 스테이지와 비접촉 상태로 이동하므로 스테이지면의 평탄도 상태에 관계없이 이동이 가능할 수 있다.
3) 클린 설비내에서, 승강 수단과 피더는 마찰이 없는 비접촉식으로 지지 되므로 파티클이 발생하지 않는 클린상태를 유지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 이송 장치의 개략도이다.
도 2는 도 1의 측면도이다.
도 3은 본 발명의 이송 수단의 개략적인 평면도이다.
도 4는 본 발명의 대상물 파레트의 이송 경로를 설명하는 도면이다.
도 1 내지 도 4의 설명을 위하여 가상의 직교 좌표계를 정의한다. 대상물 파레트(M)가 각 공정을 거치면서 이송되는 이송 방향을 제1 방향, 제1 방향에 수직한 방향을 제2 방향으로 정의한다. 제2 방향은 대상물 파레트(M)의 측면 방향이 될 수 있다. 제1 방향 및 제2 방향에 수직한 방향을 제3 방향으로 정의한다. 제3 방향은 스테이지에 대하여 대상물 파레트(M)가 승강 또는 하강되는 방향이다.
도 1 및 도 2을 참조하며 본 발명의 이송 장치(1)를 설명한다.
대상물 제조를 위한 각 공정을 거치도록 밀폐되는 클린 설비(10)안으로 대상물 파레트(M)가 투입될 수 있다. 대상물 파레트(M)가 각 공정을 거치도록 이송될 수 있다. 대상물 파레트(M)는 제1 스테이지로부터 이와 이웃한 제2 스테이지로 이송될 수 있다. 한 스테이지에서 다음 스테이지를 향하여, 스테이지의 바닥면과 대상물 파레트(M)를 비접촉 상태로 이동하는 이송 수단(100)이 구비될 수 있다.
이송 수단(100)은, 클린 설비(10)의 외부 하부로부터 클린 설비(10)의 내부에 걸쳐 배치될 수 있다.
클린 설비(10)의 외부 하부에는 구동 실린더(110), 구동 실린더(110)에 의해 제1 방향으로 이동되는 레일 프레임(120), 레일 프레임(120)의 상부에 위치하는 이동 프레임(130) 중 적어도 하나가 설치될 수 있다. 이동 프레임(130)은 레일 프레임(120)의 제1 방향 이동에 따라 제3 방향을 향하여 상하 이동될 수 있다.
구동 실린더(110)의 일측에는 구동 실린더(110)의 스트로크를 조정하는 스트로크 조정 부재(112)가 구비될 수 있다. 스트로크 조정 부재(112)는 구동 실린더(110)의 위치를 조정할 수 있는 구조이거나, 필요에 따라 적절한 스트로크를 제공하는 구조일 수 있다.
스트로크 조정 부재(112)는 구동 실린더(110)와 결합되는 연결 부재(112a), 연결 부재(112a)와 결합되면서 연결 부재(112a)의 위치를 조정하는 클램핑 부재(112b)를 포함할 수 있다.
스트로크 조정 부재(112)는 구동 실린더(110)의 위치를 조정할 수 있다. 스트로크 조정 부재(112)는, 구동 실린더(110)의 로드(111)의 스트로크가 조정된 상태에서, 구동 실린더(110)가 구동되도록 할 수 있다.
클린 설비(10)의 내부에는, 이동 프레임(130)의 상부에 피더(feeder)(140)가 구비될 수 있다. 피더(140)는 대상물 파레트(M)의 양쪽에 마련될 수 있다.
피더(140)의 하부에는 이동 프레임(130)이 배치될 수 있다. 피더(140)와 이동 프레임(130) 사이를 비접촉 상태로 유지하고 마찰이 없게 하는 무마찰 지지 부재(150)가 간격을 두고 복수로 마련될 수 있다.
무마찰 지지 부재(150)로서 에어 베어링(air bearing)이 사용될 수 있다. 에어 베어링의 마찰면 내에는 에어가 인입될 수 있다. 마찰 평면에 에어가 인입되면, 두 개의 마찰면이 소정의 간격을 두고 부상할 수 있다. 두 개의 마찰면 사이에는 에어 필름층이 형성될 수 있고, 마찰없이 구동될 수 있다.
무마찰 지지 부재(150)로서 에어 베어링이 마련되면, 부가적인 윤활이 필요치 않아 크린성이 요구되는 장비에 적합할 수 있다. 클린 설비(10) 내에 파티클이 발생하지 않을 수 있고, 마찰에 따른 소음도 제거할 수 있다. 에어 베어링은 무마찰이므로, 반영구적으로 사용할 수 있다.
구동 실린더(110)에 의해 제1 방향으로 이동하는 레일 프레임(120)은 구동 실린더(110)의 로드(111)와 직접적으로 연결되는 연결대(121)와, 연결대(121)의 상부에 소정의 면적을 가지면서 평평하게 형성되는 지지부(122)를 포함할 수 있다.
지지부(122)상에는 한쪽 방향으로 상향 경사지는 경사 레일(123)이 형성될 수 있다.
이동 프레임(130)은 하부 지지대(131)와 상부 지지대(132)로 구성될 수 있다. 하부 지지대(131)은 레일 프레임(120)의 지지부(122)와 마주보게 배치될 수 있다. 상부 지지대(132)는 하부 지지대(131)로부터 클린 설비(10)안으로 삽입되고, 클린 설비(10) 내부로 출입될 수 있다.
상부 지지대(132)는 하부 지지대(131)로부터 상부 방향을 향하여 소정의 높이로 돌출될 수 있다. 상부 지지대(132)는 간격을 두고 복수로 마련될 수 있다. 무마찰 지지 부재(150)는 상부 지지대(132)의 상부에 대하여 비접촉 상태로 구비될 수 있다.
하부 지지대(131)의 저면에는 레일 프레임(120)의 경사 레일(123)과 대면되는 이동 경사 레일(133)이 마련될 수 있다. 경사 레일(123)과 이동 경사 레일(133)은 서로 근접되면서 원활한 상대 이동이 가능할 수 있다. 이를 위하여 경사 레일(123)과 이동 경사 레일(133)의 내부에 볼(B)이 구비될 수 있다.
레일 프레임(120)의 지지부(122)와 이동 프레임(130)의 하부 지지대(131) 사이에는, 가이드 부재(135)가 마련될 수 있다. 가이드 부재(135)에 따르면, 지지부(122)가 제1 방향으로 이동되더라도, 하부 지지대(131)가 제3 방향으로 이동될 수 있다. 가이드 부재(135)는 이동 프레임(130)의 제3 방향 이동시 이동 프레임(130)의 직선 이동을 안내할 수 있다.
일 실시예로서, 가이드 부재(135)는 LM가이드를 포함한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 가이드 부재(135)는 이동 프레임(130)의 하부 지지대(131)의 저면에 고정되는 이동체(135a)와, 이동체(135)가 직선 운동을 하도록 가이드하는 가이드 레일(135b)을 이동체(135a)의 하부에 구비할 수 있다.
도 1을 참조하면, 가이드 레일(135b)은 레일 프레임(120)의 지지부(122)상에 구비되지만, 지지부(122)와 결합되지 않고 지지부(122)와 별도로 마련될 수 있다. 레일 프레임(120)이 이동할 때, 가이드 레일(135b)의 고정 상태를 유지하는 지지 수단(미도시)이 마련될 수 있다.
피더(140)의 전면에는 복수의 대상물 파레트(M)를 이동시키는 핑거부(141)가 소정의 길이로 돌출될 수 있다. 핑거부(141)는 서로 간격을 두고 피더(140)의 전면에 돌출될 수 있다.
핑거부(141)는 대상물 파레트(M)의 양 측면에 형성된 삽입홈(M1)에 끼워지고, 대상물 파레트(M)를 들어올리거나 대상물 파레트(M)를 이동시킬 수 있다. 핑거부(141)는 소정의 길이로 돌출되면서, 여러 형태의 단면을 가질 수 있다. 핑거부(141)는 예를 들어 4 각형과 같은 각진 형태일 수 있다.
도 2를 참조하면, 대상물 파레트(M)의 양측으로 피더(140)가 접근 또는 멀어질 수 있도록 제1 액츄에이터(160)가 구비될 수 있다.
도 3을 참조하면, 제1 액츄에이터(160)는 왕복 운동을 하는 실린더를 포함할 수 있다. 제1 액츄에이터(160)는 각 피더(140)마다 마련될 수 있다. 제 1 액츄에이터(160)는 피더(140)를 대상물 파레트(M)쪽으로 전진 또는 후진시킬 수 있다. 제1 액츄에이터(160)는 피더(140)와 연동될 수 있다.
따라서, 대상물의 크기에 따라 대상물 파레트(M)의 크기가 변경되더라도, 제 1 액츄에이터(160) 및 피더(140)에 의해 크기가 다른 대상물 파레트(M)를 클램핑할 수 있다. 대상물 파레트(M)의 크기에 관계없이 대상물 파레트(M)를 클램핑하여 이동시킬 수 있다.
도 1을 참조하면, 피더(140)의 일측에는 대상물 파레트(M)가 이동되는 방향인 제1 방향으로 피더(140)를 왕복 이동시키는 제2 액츄에이터(170)가 구비될 수 있다. 제2 액츄에이터(170)는 서보 모터 및 직선 이동 변환 기구를 포함할 수 있다. 미도시된 직선 이동 변환 기구는 회전 운동을 직선 운동으로 전환하는 랙/피니언일 수 있다. 제2 액츄에이터(170)는 실린더를 포함할 수 있다.
도 3을 참조하면, 제2 액츄에이터(170)는 제1 액츄에이터(160)와 연결될 수 있다. 제1 액츄에이터(160)에 연결된 제2 액츄에이터(170)는, 제1 액츄에이터(160) 및 피더(140)를 제1 방향으로 함께 이동시킬 수 있다.
제1 액츄에이터(160) 및 제2 액츄에이터(170)는 클린 설비(10)의 외부에 마련될 수 있다. 클린 설비(10)의 해당 위치에 슬롯(장공)이 형성되면, 제1 액츄에이터(160) 및 제2 액츄에이터(170)의 작동시 방해되지 않고 동작될 수 있다. 제1 액츄에이터(160) 및 제2 액츄에이터(170)의 이동편으로서 실린더의 로드 또는 래크 등은 슬롯을 따라 이동 가능하면서 클린 설비(10)의 밀폐가 이루어질 수 있다. 슬롯은 탄성을 가지는 밀폐 부재를 포함할 수 있다.
제1 액츄에이터(160)의 작동에 따라 피더(140)는 제2 방향으로 이동될 수 있다. 레일 프레임(120)의 제1 방향 이동에 따라 이동 프레임(130)은 제3 방향으로 승강될 수 있다. 제2 액츄에이터(170)의 작동에 따라 피더(140)는 대상물 파레트(M)의 이송 방향인 제1 방향으로 이동될 수 있다.
도 4를 참조하면, 제2 방향으로 움직이는 피더(140)의 핑거(141)가 대상물 파레트(M)를 클램핑할 수 있다. 핑거(141)에 의하여 대상물 파레트(M)는 스테이지(H)으로부터 제3 방향을 따라 들어올려질 수 있다. 스테이지(H)에서 들어올려진 대상물 파레트(M)는 제1 방향을 따라 이웃 스테이지(H)로 이동될 수 있다.
이송 수단(100)은 핑거부(141), 피더(140), 승강 수단 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
대상물 파레트(M)를 클린 설비(10)내에서 각 스테이지별로 이송할 때, 대상물 파레트(M)를 클램핑하도록 대상물 파레트(M)의 양측에 마련되면서 대상물 파레트(M)의 양측면에 형성된 삽입홈(M1)에 삽입 및 분리되는 핑거부(141)가 마련될 수 있다. 핑거부(141)는 피더(140)에 마련될 수 있다. 피더(140)를 대상물 파레트(M)에 접근 또는 이격시키는 제1 액츄에이터(160)가 마련될 수 있다.
대상물 파레트(M)를 스테이지별로 이동시킬 때, 피더(140)는 이동 프레임(130)에 대하여 비접촉 상태로 제1 방향 및 제2 방향으로 이동될 수 있다. 제1 방향 및 제2 방향을 포함하는 양방향으로 비접촉 이동되는 피더(140)를 제3 방향으로 승강시키는 승강 수단이 마련될 수 있다. 이동 프레임(130)에 대한 피더(140)의 비접촉 이동은 클린 설비(10) 내의 이물질 발생을 억제하기 위함이다.
승강 수단은 피더(140)의 하부 및 클린 설비(10)의 외부에 마련될 수 있다. 승강 수단이 클린 설비(10)의 내부에 마련되면 승강 수단에 의한 이물질 발생 우려가 있다. 승강 수단이 클린 설비(10)의 외부에 마련되면, 승강 수단에 의한 이물질 발생을 억제할 수 있다.
피더(140)의 일측면에는 대상물 파레트(M)를 이송 방향인 제1 방향으로 이송시키는 제2 액츄에이터(170)가 마련될 수 있다.
승강 수단은 레일 프레임(120)과 이동 프레임(130)을 포함할 수 있다.
레일 프레임(120)은 클린 설비(10)의 하부에 구비되고 구동 실린더(110)에 의해 왕복 이동될 수 있다. 이동 프레임(130)은 레일 프레임(120)의 상부에 마련되고 이동 프레임(130)에 무마찰 접촉되는 피더(140)를 제3 방향으로 승강시킬 수 있다.
승강 수단은, 경사 레일(123) 및 이동 경사 레일(133)을 포함할 수 있다.
경사 레일(123)은 레일 프레임(120)의 상부에 형성될 수 있다. 이동 경사 레일(133)은 경사 레일(123)에 대면되며, 레일 프레임(120)의 제1 방향 이동에 따라 이동 프레임(130)을 제3 방향으로 승강시킬 수 있다.
승강 수단은, 무마찰 지지 부재(150)를 포함할 수 있다. 무마찰 지지 부재(150)는 이동 프레임(130)의 상부와 피더(140) 사이를 무마찰 상태로 지지할 수 있다.
승강 수단은, 가이드 부재(135)를 포함할 수 있다. 가이드 부재(135)는 레일 프레임(120)과 이동 프레임(130)의 사이에 배치되며 이동 프레임(130)의 승강 동작을 안내할 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 이물질 유입이 차단된 클린 설비(10)안으로 대상물 파레트(M)가 순차적으로 투입될 수 있다. 클린 설비(10)안으로 투입된 대상물 파레트(M)는 각 공정별로 구획된 스테이지별로 이송되며 클린 설비(10) 밖으로 배출될 수 있다.
핑거부(141)가 대상물 파레트(M)쪽으로 접근하고 대상물 파레트(M)의 양측면에 형성된 삽입홈(M1)에 삽입되며 삽입홈(M1)에 걸릴 수 있다.
피더(140)를 대상물 파레트(M)에 접근시킬 때, 제1 액츄에이터(160)를 작동시켜서 각 피더(140)가 대상물 파레트(M)쪽으로 이동되고, 피더(140)의 핑거부(141)가 대상물 파레트(M)의 삽입홈(M1)에 삽입될 수 있다.
이후, 클린 설비(10)의 외부에 마련된 구동 실린더(110)를 작동시켜서 로드(111)가 레일 프레임(120)의 연결대(121)를 밀 수 있다. 이때, 레일 프레임(120)은 제1 방향으로 이동되고, 경사 레일(123)은, 볼(B)을 통해 이동이 용이하게 결합된 이동 경사 레일(133)을 제3 방향으로 승강시킬 수 있다. 경사 레일(123)의 경사도에 따라 이동 경사 레일(133)이 제3 방향으로 승강되는 속도가 조절될 수 있다.
레일 프레임(120)과 이동 프레임(130) 사이에는 가이드 부재(135)가 마련되고, 가이드 부재(135)는 길이가 긴 이동 프레임(130)의 일측 및 타측이 수평을 유지하며 이동되도록 안내할 수 있다.
이동 프레임(130)의 하부 지지대(131)에 고정된 상기 가이드 부재(135)의 이동체(135a)는 별도 고정된 가이드 레일(135b)을 따라 이동하게 될 수 있다.
이동 프레임(130)이 제3 방향으로 상승되면, 핑거부(141)에 의해 클램핑된 대상물 파레트(M)는, 스테이지(H)로부터 들어올려질 수 있다. 이 상태에서 제2 액츄에이터(170)는 피더(140)를 제1 방향으로 밀 수 있다. 무마찰 지지 부재(150)가 마련된 상부 지지대(132)의 상면을 따라 피더(140)는 제1 방향 및 제2 방향으로 무마찰 이동될 수 있다. 무마찰 이동에 의해 파티클 발생 가능성이 없고, 무소음으로 정숙한 상태에서 피더(140)가 이동될 수 있다.
상승된 대상물 파레트(M)는 다시 하강하여 스테이지(H)에 안착될 수 있다. 이때 구동 실린더(110)를 역방향으로 작동시켜서 로드(111)가 수축되면, 레일 프레임(120)은 제1 방향을 따라 원위치로 복귀할 수 있다. 이동 프레임(130)은, 경사 레일(123) 또는 이동 경사 레일(133)의 경사 방향을 따라 하강할 수 있다.
이동 프레임(130)이 하강함에 따라 피더(140)도 동시에 하강할 수 있고, 대상물 파레트(M)도 하강할 수 있다. 하강한 대상물 파레트(M)의 양측면에서 피더(140)가 후퇴하면서 핑거부(141)는 삽입홈(M1)으로부터 분리되고, 제2 액츄에이터(170)의 역방향 작동에 의해 원위치로 복귀될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 이송 수단(100)의 이동경로를 간단히 도시한 설명도이다. 이를 참조하면, 핑거부(141)를 대상물 파레트(M)에 삽입하여 클램핑한 상태에서 들어올리고(① 방향 화살표), 제1 방향으로 이동(② 방향 화살표)하여 다음 스테이지의 상측에 떠 있는 위치로 넘어가고, 위치 이동된 상태에서 스테이지를 향하여 하강하고(③ 방향 화살표), 핑거부(141)를 대상물 파레트(M)로부터 분리하고, 역방향으로 복귀하는 과정을 반복할 수 있다.
복수의 대상물 파레트(M)가 열을 이루며 이송되는 방향인 제1 방향을 따라 상류측에 위치한 스테이지가 제1 스테이지일 수 있다. 제1 방향을 따라 제1 스테이지의 하류측에 위치한 스테이지가 제2 스테이지일 수 있다.
핑거부(141)는 제1 높이에서 제2 방향을 따라 이동하고 제1 스테이지에 안착된 대상물 파레트(M)를 클램핑할 수 있다. 핑거부(141)가 대상물 파레트(M)를 클램핑한 상태에서 제3 방향을 따라 제2 높이까지 상승할 수 있다. 대상물 파레트(M)는 제2 높이에서 핑거부(141)와 함께 제1 방향으로 이송될 수 있다. 핑거부(141)는 제1 높이까지 하강하며 제2 스테이지에 대상물 파레트(M)를 내려 놓을 수 있다. 핑거부(141)는 제1 높이에서 제2 방향을 따라 이동하며 대상물 파레트(M)로부터 멀어질 수 있다. 핑거부(141)는 제1 높이에서 제1 방향을 따라 이동하며 제1 스테이지까지 복귀할 수 있다. 핑거부(141)는 제1 높이에서 제2 방향을 따라 이동되며 제1 스테이지에 놓여진 대상물 파레트(M)를 클램핑할 수 있다.
도 4와 같은 과정으로 대상물 파레트(M)를 이동시키는 패턴은, 독립되게 마련되는 각 스테이지의 바닥면(스테이지(H)으로 마련된 바닥면) 사이에 필연적으로 갭(gap)이 존재하고 각 바닥면의 평탄도를 동일하게 설치하기 어려운 문제가 있다.
본 발명은, 각 스테이지의 바닥면 사이를 비접촉 상태로 건너뛰어서 이송되므로, 원활한 이송이 이루어질 수 있고, 무마찰에 의해 클린 설비(10)내에서의 파티클 발생을 근본적으로 방지할 수 있다.
B : 볼 H : 스테이지
M : 대상물 파레트 1 : 이송 장치
10 : 클린 설비 100 : 이송 수단
110 : 구동 실린더 111 : 로드
112 : 스트로크 조정 부재 112a : 연결 부재
112b : 클램핑 부재 120 : 레일 프레임
121 : 연결대 122 : 지지부
123 : 경사 레일 130 : 이동 프레임
131 : 하부 지지대 132 : 상부 지지대
133 : 이동 경사 레일 135 : 가이드 부재
135a : 이동체 135b : 가이드레일
140 : 피더 141 : 핑거부
150 : 무마찰 지지 부재 160 : 제1 액츄에이터
170 : 제2 액츄에이터

Claims (11)

  1. 대상물 제조를 위한 대상물 파레트를 클린 설비내에서 각 스테이지별로 이송하는 이송 수단을 포함하고,
    상기 이송 수단은, 상기 대상물 파레트를 클램핑하기 위하여 제2 방향을 따라 상기 대상물 파레트에 접근하는 동작, 상기 대상물 파레트를 클램핑하는 클램핑 동작, 상기 대상물 파레트를 클램핑한 상태에서 제3 방향을 따라 상기 대상물 파레트를 제1 스테이지로부터 들어올리는 동작, 상기 대상물 파레트를 들어올린 상태에서 제1 방향으로 이송하는 동작, 상기 제3 방향을 따라 상기 대상물 파레트를 제2 스테이지에 내려놓는 동작, 상기 대상물 파레트를 내려놓은 후 제2 방향을 따라 상기 대상물 파레트에서 멀어지는 동작을 순차적으로 수행하며,
    상기 제1 방향은 복수의 상기 대상물 파레트가 상기 클린 설비 내에서 이송되는 방향이고, 상기 제2 방향은 상기 제1 방향과 동일 평면 내에서 상기 제1 방향에 수직한 방향이며, 상기 제3 방향은 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 방향이고,
    상기 이송 수단은 상기 클린 설비의 외부에 설치되고 상기 대상물 파레트를 상기 제3 방향으로 이동시키는 승강 수단을 포함하고,
    상기 승강 수단은, 상기 대상물 파레트를 상기 스테이지별로 이동시키는 피더를 승강 또는 하강시키고,
    상기 피더는 상기 승강 수단에 대면된 상태에서 상기 제2 방향을 따라 상기 대상물 파레트에 접근 또는 멀어지며 상기 대상물 파레트를 클램핑하고,
    상기 승강 수단이 상승하면, 상기 승강 수단에 대면되는 상기 피더가 상기 대상물 파레트와 함께 상기 제1 방향으로 이동되고,
    상기 피더의 상기 제1 방향 이동에 따라 상기 대상물 파레트는 상기 스테이지로부터 들어올려진 상태에서 상기 제1 방향으로 이동되며,
    상기 피더는 상기 대상물 파레트를 클램핑하도록 상기 제2 방향을 따라 전진하거나 상기 제2 방향을 따라 상기 대상물 파레트에서 멀어지는 후진 동작을 하고, 상기 대상물 파레트를 상기 제1 방향으로 이송하는 이송 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 이송 수단은 핑거부를 포함하고,
    상기 핑거부는, 상기 대상물 파레트의 양측에 대면되며, 상기 대상물 파레트의 양측면에 형성된 삽입홈에 삽입 또는 분리되고,
    상기 핑거부가 상기 삽입홈에 삽입된 상태에서 상기 대상물 파레트가 상기 스테이지로부터 들어올려지는 이송 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 승강 수단에 놓여진 상기 피더가 특정 높이를 유지한 상태에서, 상기 피더는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향을 따라 이동되는 이송 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 승강 수단과 상기 피더가 대면되는 부분에는 무마찰 지지 부재로서 에어 베어링이 배치되는 이송 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 이송 수단은,
    상기 피더를 상기 제2 방향으로 이동시키는 제1 액츄에이터와 상기 피더를 상기 제1 방향으로 이동시키는 제2 액츄에이터가 함께 상기 피더에 연결되는 이송 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 이송 수단은 상기 대상물 파레트를 클램핑하는 핑거부를 포함하고,
    상기 승강 수단은, 상기 클린 설비의 외부에서 상기 제1 방향을 따라 왕복 이동되는 레일 프레임과, 상기 제1 방향으로 이동되는 상기 레일 프레임에 구속되며 상기 제3 방향을 따라 승강되는 이동 프레임을 포함하며,
    상기 핑거부는 상기 이동 프레임에 대하여 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향을 따라 이동 가능한 이송 장치.
  10. 대상물 제조를 위한 대상물 파레트를 클린 설비내에서 각 스테이지별로 이송하는 이송 수단을 포함하고,
    상기 이송 수단은, 상기 대상물 파레트를 클램핑하기 위하여 제2 방향을 따라 상기 대상물 파레트에 접근하는 동작, 상기 대상물 파레트를 클램핑하는 클램핑 동작, 상기 대상물 파레트를 클램핑한 상태에서 제3 방향을 따라 상기 대상물 파레트를 제1 스테이지로부터 들어올리는 동작, 상기 대상물 파레트를 들어올린 상태에서 제1 방향으로 이송하는 동작, 상기 제3 방향을 따라 상기 대상물 파레트를 제2 스테이지에 내려놓는 동작, 상기 대상물 파레트를 내려놓은 후 제2 방향을 따라 상기 대상물 파레트에서 멀어지는 동작을 순차적으로 수행하며,
    상기 클린 설비의 외부에서 상기 제1 방향을 따라 왕복 이동되는 레일 프레임과, 상기 제1 방향으로 이동되는 상기 레일 프레임에 구속되며 상기 제3 방향을 따라 승강되는 이동 프레임이 마련되고,
    상기 레일 프레임에 경사 레일이 형성되며,
    상기 이동 프레임에 이동 경사 레일이 형성되고,
    상기 경사 레일 및 상기 이동 경사 레일이 서로 대면되는 이송 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 대상물 파레트를 클램핑하는 핑거부가 설치되고,
    제1 높이에서 상기 제2 방향을 따라 이동하는 상기 핑거부가 상기 제1 스테이지에 안착된 상기 대상물 파레트를 클램핑하며,
    상기 핑거부가 상기 대상물 파레트를 클램핑한 상태에서 상기 핑거부가 상기 제3 방향을 따라 제2 높이까지 상승하고,
    상기 대상물 파레트는 상기 제2 높이에서 상기 핑거부와 함께 상기 제1 방향으로 이동되고,
    상기 핑거부는 상기 제1 높이까지 하강하며 상기 제2 스테이지에 상기 대상물 파레트를 내려 놓고,
    상기 핑거부는 상기 제1 높이에서 상기 제2 방향을 따라 이동하며 상기 대상물 파레트로부터 멀어지고,
    상기 핑거부는 상기 제1 높이에서 상기 제1 방향을 따라 이동하며 상기 제1 스테이지까지 복귀하고,
    상기 핑거부는 상기 제1 높이에서 상기 제2 방향을 따라 이동되며 상기 제1 스테이지에 놓여진 상기 대상물 파레트를 클램핑하는 이송 장치.
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