KR102169036B1 - 이차전지 셀에 대한 내압 측정 장치 - Google Patents

이차전지 셀에 대한 내압 측정 장치 Download PDF

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Abstract

이차전지 셀에 대한 내압 측정 장치가 일반적으로 설명된다. 예시적인 내압 측정 장치는 챔버, 진공 펌프, 광학계, 광 변위 센서 및 압력 게이지를 포함할 수 있다. 챔버는 제1 개구를 포함하고 피검사 이차전지 셀을 재치할 수 있다. 진공 펌프는 챔버 내 기체를 배기하도록 배기관을 통하여 챔버에 연결될 수 있다. 광학계는 챔버의 제1 개구에 배치되고 챔버 내 공간이 밀폐되도록 설치될 수 있다. 광 변위 센서는 측정용 광을 광학계를 통하여 챔버에 재치된 피검사 이차전지 셀의 표면에 조사하고 피검사 이차전지 셀로부터 반사되어 광학계를 통하여 돌아오는 반사광을 측정할 수 있다. 압력 게이지는 챔버 내의 압력을 측정할 수 있다.

Description

이차전지 셀에 대한 내압 측정 장치 {INTERNAL PRESSURE MEASURING DEVICE FOR SECONDARY BATTERY CELL}
본 개시는 이차전지 셀, 특히 파우치 형태의 이차전지 셀을 검사하기 위한 내압 측정 장치에 관한 것이다.
여기에서 달리 언급하지 않으면 본 섹션에서 기술되는 내용은 본 출원에서의 청구범위의 선행 기술이 아니며, 본 섹션에 기재하였다는 이유로 선행 기술로 인정되어서는 안 된다.
화석연료 사용이 경제적, 환경적인 문제를 야기하면서 신재생에너지에 대한 관심과 수요가 급증했다. 이와 함께, 신재생에너지를 저장해 둘 수 있는 이차전지의 필요성도 커지고 있다. 특히, 리튬 이차전지는 에너지 밀도가 높고 수명이 길며 자가 방전율이 낮아 휴대용 전자기기와 에너지 저장장치(ESS) 및 전기자동차의 핵심 부품으로 널리 활용되고 있다. 리튬 이차전지는 크게 각형전지와 폴리머전지 및 원통형 전지로 크게 3가지 형태로 사용되고 있다. 여기에서 폴리머 전지는 전극적층체를 알루미늄 박막(이를 통상 파우치라 함)으로 감싸기 때문에 파우치형 이차전지라고도 불리우며, 그 두께를 박막화하고 경량화할 수 있어, 사용량이 계속 증가추세에 있다.
이러한 파우치형 이차전지는 외부 또는 내부의 압력, 온도, 외부 충격 등의 다양한 환경 조건 또는 내부 조건에 의해 영향 받을 수 있으므로, 제조된 파우치형 이차전지가 다양한 조건에 어떻게 영향을 받는지를 미리 측정할 필요가 있다. 예컨대, 이차전지는 비정상적인 작동 조건하에서 전지 내부 가스 발생으로 인하여 전지의 부피가 증가하게 된다. 따라서, 비정상적인 작동 조건 하에서 전지의 부피 변화를 측정하는 것은 중요한 측정인자이며, 이에 따라, 전지셀의 3차 형상을 측정하는 장치가 있다. 그러나 이러한 3차 형상 측정 장치는 전지의 3차 형상을 측정하는 데에 비교적 많은 시간이 소요되며, 전지의 부피가 비선형적으로 변하는 경우 정확한 측정을 행할 수 없다는 문제가 있었다. 이에 대하여, 선행문헌 1은 밀폐형 용기에 피검사 이차전지 셀을 장착하고, 밀폐형 용기에 소정의 기체를 채워 넣고, 이차전지 셀의 부피 변화에 따른 기체의 압력 변화를 측정함으로써, 이차전지 셀의 부피 변화를 간접적으로 측정한다.
(선행문헌 1) 한국 공개특허 공보 제10-2008-002337호
본 개시는, 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 파우치형의 이차전지 셀과 같은 이차전지 셀에 대한 부피 변화를 측정하기 위한 내압 측정 장치를 제공하고자 한다.
본 개시의 일 실시예에 따른 이차전지 셀에 대한 내압 측정 장치가 개시된다. 예시적인 내압 측정 장치는, 챔버, 진공 펌프, 광학계, 광 변위 센서 및 압력 게이지를 포함할 수 있다. 챔버는 제1 개구를 포함할 수 있다. 챔버는 피검사 이차전지 셀을 재치할 수 있다. 진공 펌프는 챔버 내 기체를 배기하도록 배기관을 통하여 챔버에 연결될 수 있다. 광학계는 챔버의 제1 개구에 배치될 수 있다. 광학계는 예컨대, 내열 유리를 포함할 수 있다. 또한 광학계는 적외선 투과 코팅을 더 포함할 수 있다. 광 변위 센서는 측정용 광을 광학계를 통하여 챔버에 재치된 피검사 이차전지 셀의 표면에 조사하고, 피검사 이차전지 셀로부터 반사되어 광학계를 통하여 돌아오는 반사광을 측정할 수 있다. 광 변위 센서는 예컨대, 레이저 광 변위 센서를 포함할 수 있다. 압력 게이지는 챔버 내의 압력을 측정할 수 있다.
일부 예시에서, 내압 측정 장치는 밸브를 더 포함할 수 있다. 밸브는 챔버에 연결될 수 있다. 밸브는 진공 펌프의 동작과 연계하여 동작할 수 있다. 밸브는 진공 펌프에 공급되는 전력이 차단되는 경우 개방되도록 동작할 수 있다.
일부 예시에서, 내압 측정 장치는 측정 처리부를 더 포함할 수 있다. 측정 처리부는 광 변위 센서에 의해 측정되는 변위 값 및 압력 게이지에 의해 측정되는 압력 값을 이용하여 측정 데이터 세트를 생성할 수 있다.
이상의 간단한 요약 및 효과에 관한 설명은 단순히 예시적인 것으로서 본 개시에서 의도한 기술적 사항을 제한하기 위한 것이 아니다. 이하의 상세한 설명과 첨부된 도면을 참조함으로써, 전술한 예시적인 실시예들과 기술적 특징들에 더하여, 추가적인 실시예와 기술적 특징들이 이해될 수 있을 것이다.
앞서 설명한 본 개시의 특징들과 기타 추가적인 특징들에 대해서는 첨부된 도면을 참조하여 이하에서 자세하게 설명한다. 이러한 도면들은 본 개시에 따르는 단지 몇 가지의 실시예만을 도시한 것이며, 본 개시의 기술적 사상의 범위를 제한하는 것으로 간주되어서는 안 된다. 본 개시의 기술적 사상은 첨부된 도면을 사용하여 더 구체적이고 상세하게 기술될 것이다.
도 1은 예시적인 이차전지 셀을 도시하는 사시도이다
도 2는 본 개시의 일부 실시예에 따른 내압 측정 장치의 구성을 도시하는 개략적인 블록도이다.
도 3은 본 개시의 일부 추가적인 실시예에 따른 내압 측정 장치의 구성을 도시하는 개략적인 블록도이다.
본 개시에서 사용되는 용어들은 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 다른 실시 예의 범위를 한정하려는 의도가 아닐 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 용어들은 본 개시에 기재된 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가질 수 있다. 본 개시에 사용된 용어들 중 일반적인 사전에 정의된 용어들은, 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 동일 또는 유사한 의미로 해석될 수 있으며, 본 개시에서 명백하게 정의되지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. 경우에 따라서, 본 개시에서 정의된 용어일지라도 본 개시의 실시예들을 배제하도록 해석될 수 없다.
앞서 설명한 본 개시의 특징들과 기타 추가적인 특징들에 대해서는 첨부된 도면을 참고하여 이하에서 자세하게 설명한다. 이러한 도면들은 본 개시에 따르는 단지 몇 가지의 실시예만을 도시한 것이며, 본 개시의 기술적 사상의 범위를 제한하는 것으로 간주되어서는 안 된다. 본 개시의 기술적 사상은 첨부된 도면을 사용하여 더 구체적이고 상세하게 기술될 것이다.
본 개시는 이차전지 셀의 내압을 검사하기 위한 내압 측정 장치에 관한 것이다. 본 개시에 따른 내압 측정 장치는 이차전지 셀의 내압을 측정하기 위한 장치이다. 본 개시에 따른 내압 측정 장치는 진공의 분위기에 있는 이차전지 셀의 부피 변화에 관한 데이터를 획득할 수 있다. 도 1은 그러한 내압 측정 장치에 의해 검사되는 이차전지 셀의 일 예를 도시하는 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 이차전지 셀(100)은 전극 조립체(110) 및 파우치 외장재(120)로 구성되어 있다.
전극 조립체(110)는 소정의 크기의 단위로 절단한 다수의 양극판과 음극판들을 세퍼레이터를 개재한 상태로 순차적으로 적층한 스택형(적층형) 전극 조립체일 수 있다. 전극 조립체(110)의 양극 탭(130)과 음극 탭(140)은 서로 대향하여 파우치 외장재(120)의 양측에서 노출될 수 있다. 다른 실시예의 이차전지 셀(100)은 전극 조립체(110)의 양극 탭(130)과 음극 탭(140)이 동일한 측면에서 노출될 수도 있다.
파우치 외장재(120)는 전극 조립체(110)와 전해액을 수용하고 둘레에서 실링하도록 구성될 수 있다. 파우치 외장재(120)의 둘레는 실링부라고 지칭될 수 있으며, 파우치 외장재(120) 중 전극 조립체(110)와 전해액이 수용되는 영역에 대응하는 부분은 본방(body)이라고 지칭될 수 있다. 또한, 파우치 외장재(120)에서 양극 탭(130) 및 음극 탭(140)이 배치되지 않은 양쪽 측면의 실링부는 테라스(150)라고 지칭될 수 있다. 폴딩 전의 이차전지 셀(100)의 테라스(150)는 파우치 외장재(120)가 전극 조립체(110)와 전해액을 수용하고 둘레를 실링한 다음, 소정의 크기만큼 재단되어 제조될 수 있다. 이와 같은 이차전지 셀(100)은 소정의 내구도, 소정의 내압 등 소정의 조건을 가지도록 제조될 수 있다.
도 2는 본 개시의 일부 실시예에 따른 내압 측정 장치(200)의 구성을 도시하는 개략적인 블록도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 내압 측정 장치(200)는 챔버(210), 진공 펌프(220), 광학계(230), 광 변위 센서(240), 압력 게이지(250), 제어부(260) 및 전원부(270)를 포함한다. 내압 측정 장치(200)의 각 요소(210, 220, 230, 240, 250, 260 및 270)는 내압 측정 장치(200)가 일체로서 구성되도록, 하우징, 프레임 등과 같은 본체에 설치될 수 있다.
챔버(210)는 피검사 이차전지 셀을 수용하고 재치하도록 구성될 수 있다. 일부 예시에서, 챔버(210)는 지지대(212), 배기용 개구(214) 및 제1 개구(216)를 포함할 수 있다. 챔버(210)는 배기용 개구(214) 및 제1 개구(216)가 폐쇄되는 경우 밀폐된 공간을 형성할 수 있다. 지지대(212)는 이차전지 셀(212)을 재치 가능하도록 재치면을 포함하며, 이러한 재치면은 제1 개구(216)를 마주한다. 일 예시에서, 지지대(212)는 피검사 이차전지 셀을 고정할 수 있도록 고정 요소를 포함할 수 있다. 이차전지 셀이 지지대(212)에 재치되는 경우, 이차전지 셀의 상면은 제1 개구(216)를 향한다.
챔버(210)는 이차전지 셀이 챔버(210) 내에 들어갈 수 있도록 개방 매커니즘을 포함할 수 있다. 일 예시에서, 챔버(210)는 캡과 본체를 가질 수 있으며, 캡과 본체는 하나 이상의 잠금 부재에 의해 밀착 연결될 수 있다. 다른 예시에서, 챔버(210)는 이차전지 셀의 진입구 및 진입구에 설치되는 도어를 가질 수 있다. 챔버(210)의 재료는 알루미늄을 포함할 수 있다.
진공 펌프(220)는 배기용 개구(214)에 연결될 수 있다. 일 예시에서, 배기관(222)의 일 단부는 배기용 개구(214)에 연결되는 한편, 타 단부는 진공 펌프(220)에 연결될 수 있다. 배기관(222)의 연결은 나사 연결, 용접 등 다양한 유형의 연결이 이용될 수 있다. 다른 예시에서, 배기관(222)은 챔버(210) 또는 진공 펌프(220)와 일체로 형성될 수 있다. 이러한 진공 펌프(220)는 챔버(210) 내의 기체를 배기용 개구(214) 및 배기관(220)을 통하여 챔버(210)로부터 배기하도록 동작할 수 있다. 진공 펌프(220)는 챔버(210) 내의 압력이 소정의 압력 이하가 될 때까지 배기 동작을 수행할 수 있다.
광학계(230)는 교체 가능하며 챔버(210)의 제1 개구(216)에 배치될 수 있다. 일부 예시에서, 광학계(230)는 제1 개구(216) 내에 배치될 수 있다. 그러나, 광학계(230)의 배치는 이에 제한되지 않는다. 도 2의 도시에도 불구하고, 일부 다른 예시에서, 광학계(230)는 제1 개구(216)에 배치되는 한편, 광 변위 센서(240)의 발광부 및/또는 수광부에 근접하도록 설치될 수 있다.
일부 예시에서, 제1 개구(216)는 광학계(230)가 장착 가능하도록 하기 위한 하나 이상의 장착 요소를 포함할 수 있다. 광학계(230)는 광 변위 센서(240)로부터 생성된 광이 투과되도록 소정 값 이상의 투과율을 가질 수 있다. 일부 예시에서, 광학계(230)는, 예컨대 파이렉스 글라스(상표명)와 같은 내열 유리를 포함할 수 있다. 일부 예시에서, 광학계(230)는 소정의 광 파장의 상대적 투과율이 높은 코팅을 포함할 수 있다. 일 예시에서, 코팅은, 예컨대, 적외선 파장(약 650nm)의 투과율이 비교적 높은 적외선 투과 코팅을 포함할 수 있다. 이러한 광학계(230)는 광 변위 센서(240)에 의한 측정의 오차를 감소시킬 수 있다.
광 변위 센서(240)는 측정용 광을 생성하고 피검사 대상으로부터 반사되는 광을 측정할 수 있다. 측정용 광은 도 2에 도시된 바와 같이, 광학계(230)를 통과하고 피검사 대상인 이차전지 셀의 표면에 조사될 수 있다. 조사된 광은 이차전지 셀의 표면에서 반사되어 광학계(230)를 통과하고 광 변위 센서(240)에서 수광될 수 있다. 광 변위 센서(240)는 반사광의 수광에 응답하여, 측정 대상인 피검사 이차전지 셀의 위치(예컨대, 높이)를 측정할 수 있으며, 이러한 측정값에 대한 정보를 포함하는 디지털 신호 또는 아날로그 신호를 생성할 수 있다. 일 예시에서, 광 변위 센서(240)는 피검사 이차전지 셀의 내압 측정 전에 부피가 변하지 않는 이차전지 셀의 높이에 영점을 설정할 수 있다. 측정이 시작된 이후, 광 변위 센서(240)는 이차전지 셀의 부피 변화에 따른 이차전지 셀의 높이 변화, 즉 변위 값을 측정할 수 있다. 광 변위 센서(240)는 예컨대, 측정 정확도를 향상시키기 위하여 단파장을 가지고 있는 레이저 변위 센서일 수 있다.
압력 게이지(250)는 챔버(210)의 내압을 측정할 수 있다. 압력 게이지(250)는 챔버(210)의 압력을 아날로그 또는 디지털 방식으로 측정 및/또는 디스플레이 할 수 있다.
제어부(260)는 내압 측정 장치(100)의 동작을 제어할 수 있다. 일부 예시에서, 제어부(260)는 운용자가 내압 측정 장치(100)의 동작을 조작할 수 있는 인터페이스를 포함할 수 있다. 일부 예시에서, 제어부(260)는 진공 펌프(220)의 배기 동작을 제어할 수 있다. 예컨대, 제어부(260)는 챔버(210)의 내부 압력이 소정의 값 이하인 경우, 진공 펌프(220)의 동작이 멈추도록 제어할 수 있다. 일부 예시에서, 제어부(260)는 광 변위 센서(240)의 측정 동작을 제어할 수 있다. 예컨대, 제어부(260)는 광 변위 센서(240)의 측정 전의 영점 조정을 제어할 수 있다. 도 2에서 제어부(260)는 진공 펌프(220)와 광 변위 센서(240)와 별개의 구성으로 도시되었지만, 구현예에 따라, 진공 펌프(220)와 광 변위 센서(240) 각각에서 구현되어도 좋다.
전원부(270)는 내압 측정 장치(100)가 동작하기 위한 전력을 공급한다. 일부 예시에서, 전원부(270)는 진공 펌프(220), 광 변위 센서(240) 및 제어부(260)에 연결되어 전력을 공급할 수 있다.
이와 같이, 본 개시에 따른 내압 측정 장치(100)는 이차전지 셀이 진공상태에서 변형이 발생하는 경우, 변형량(변위량)에 대한 진공도의 변화를 측정할 수 있으므로, 비교적 빠르게 이차전지 셀의 부피 혹은 내압 변화를 측정할 수 있다. 또한, 본 개시에 따른 내압 측정 장치(100)는 비교적 단순한 구성으로도 구현이 가능하므로, 유지, 보수, 운용 및 관리의 측면에서 이점이 있다.
도 3은 본 개시의 일부 추가적인 실시예에 따른 내압 측정 장치(300)의 구성을 도시하는 개략적인 블록도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 내압 측정 장치(300)는 챔버(310), 진공 펌프(320), 광학계(330), 광 변위 센서(340), 진공 게이지(352), 제어부(360) 및 전원부(370)를 포함하며, 이들은 도 2에 도시된 대응되는 요소(210, 220, 230, 240, 250, 260 및 270)와 각각 대응되므로 이하에서는 설명의 명료함을 위하여, 중복되는 설명을 생략한다. 내압 측정 장치(300)는 밸브(380) 및/또는 측정 처리부(354)를 더 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 챔버(310)는 제2 개구(318)를 포함할 수 있다. 밸브(380)는 제2 개구(318)를 통하여 챔버(310)에 연결된다. 밸브(380)가 개방되는 경우, 챔버(310)의 외부 기체는 챔버(310)의 내부로 유입될 수 있다. 밸브(380)는 진공 펌프(320)의 동작과 연계되어 동작할 수 있다. 일부 예시에서, 밸브(380)는 진공 펌프(320)에 공급되는 전력이 차단되는 경우 개방되도록 동작할 수 있다. 일 예시에서, 밸브(380)는 전원부(370)로부터 진공 펌프(320)로 공급되는 전력 라인으로부터 전력을 공급받음으로써, 진공 펌프(320)에 공급되는 전력이 차단되는 경우 개방될 수 있다. 밸브(380)는 예컨대, 상시 개방 솔레노이드 밸브(Normal Open Solenoid Valve)를 포함할 수 있다. 진공 펌프(320) 또는 전원부(370)의 이상에 의해 진공 펌프(320)가 오작동하거나 진공 펌프(320)의 작동이 중단되는 경우, 진공 펌프(320)와 챔버(310)의 압력 차로 인하여, 진공 펌프(320)를 동작하기 위한 오일 등과 같은 요소가 진공 펌프(320)로부터 챔버(310)로 역류할 수 있다. 밸브(380)는 진공 펌프(320)에 공급되는 전력에 이상이 발생하는 경우 개방 동작을 수행하여 외부 기체를 챔버 내부로 유입시킴으로써, 이러한 역류를 방지할 수 있다.
일부 실시예에서, 측정 처리부(354)는 압력 게이지(352)와 함께 측정부(350)를 구성할 수 있다. 측정 처리부(354)는 광 변위 센서(340)에 의해 측정되는 변위 값 및 압력 게이지(352)에 의해 측정되는 압력 값을 이용하여 측정 데이터 세트를 생성할 수 있다. 예컨대, 피검사 이차전지 셀이 변형되면, 광 변위 센서(340)는 변위 값을 측정하며, 측정 처리부(352)는 이러한 변위 값과 변위 값이 측정되는 때의 압력 게이지에 의에 표시되는 압력 값을 포함하도록 측정 데이터 세트를 생성할 수 있다. 일부 예시에서, 측정 처리부(352)는 소정의 주기로 측정 데이터 세트를 생성할 수 있다. 일부 다른 예시에서, 측정 처리부(352)는 일정 량의 변위 값 마다 측정 데이터 세트를 생성할 수 있다. 측정 처리부(354)는 운용자가 내압 측정 장치(300)를 이용하여 측정하는 작업을 보다 용이하게 할 수 있다.
본 개시 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다. 나아가, 본 개시 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본 개시에서 사용되는 정도의 용어 "약," "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다.
본 개시의 범위는 전술한 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위, 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (6)

  1. 이차전지 셀에 대한 내압 측정 장치로서,
    제1 개구를 포함하고, 피검사 이차전지 셀을 재치할 수 있는 챔버;
    상기 챔버 내 기체를 배기하도록 배기관을 통하여 상기 챔버에 연결되는 진공 펌프;
    상기 챔버의 상기 제1 개구에 배치되는 광학계;
    측정용 광을 상기 광학계를 통하여 상기 챔버에 재치된 상기 피검사 이차전지 셀의 표면에 조사하고 상기 피검사 이차전지 셀로부터 반사되어 상기 광학계를 통하여 돌아오는 반사광을 측정하는 광 변위 센서;
    상기 챔버 내의 압력을 측정하는 압력 게이지;
    상기 챔버에 연결되고 상기 진공 펌프의 동작과 연계하여 동작하는 밸브; 및
    상기 내압 측정 장치를 동작시키기 위한 전력을 공급하는 전원부
    를 포함하고,
    상기 밸브는 상기 챔버에 형성된 제2 개구를 통하여 상기 챔버에 연결되고, 상기 전원부로부터 상기 진공 펌프로 공급되는 전력 라인으로부터 전력을 공급받으며,
    상기 밸브는 상기 전원부로부터 상기 진공 펌프에 공급되는 전력이 차단되는 경우, 상기 밸브로 공급되는 전력 또한 차단됨으로써 개방되는 것이며, 상기 밸브가 개방되는 경우 상기 챔버의 외부 기체가 상기 챔버의 내부로 통하는 것인, 내압 측정 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 광 변위 센서에 의해 측정되는 변위 값 및 상기 압력 게이지에 의해 측정되는 압력 값을 이용하여 측정 데이터 세트를 생성하는 측정 처리부
    를 더 포함하는 내압 측정 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 광학계는 내열 유리를 포함하는 것인, 내압 측정 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 광학계는 적외선 투과 코팅을 포함하는 것인, 내압 측정 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 광 변위 센서는 레이저 광 변위 센서를 포함하는 것인, 내압 측정 장치.
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