KR102168884B1 - Slow pump of gate valve - Google Patents

Slow pump of gate valve Download PDF

Info

Publication number
KR102168884B1
KR102168884B1 KR1020190024761A KR20190024761A KR102168884B1 KR 102168884 B1 KR102168884 B1 KR 102168884B1 KR 1020190024761 A KR1020190024761 A KR 1020190024761A KR 20190024761 A KR20190024761 A KR 20190024761A KR 102168884 B1 KR102168884 B1 KR 102168884B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
opening
closing
guide
gate valve
sliding
Prior art date
Application number
KR1020190024761A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20200106348A (en
Inventor
송성태
박상민
Original Assignee
(주)엔투텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)엔투텍 filed Critical (주)엔투텍
Priority to KR1020190024761A priority Critical patent/KR102168884B1/en
Publication of KR20200106348A publication Critical patent/KR20200106348A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102168884B1 publication Critical patent/KR102168884B1/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/30—Details
    • F16K3/314—Forms or constructions of slides; Attachment of the slide to the spindle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/04—Construction of housing; Use of materials therefor of sliding valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/30—Details
    • F16K3/316—Guiding of the slide
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)

Abstract

본 발명은 게이트밸브의 일방에 설치되어 게이트밸브의 개폐시 압력차를 조절하는 게이트밸브의 슬로우펌프에 관한 것으로서, 압력차를 조절하도록 에어가 유출입되는 하체부와, 내부에 슬라이딩 공간에 형성된 상체부와, 이 상체부의 내부 상단에 설치된 탄지부와, 상방홀과 하방홀을 개폐하도록 상하방향으로 슬라이딩 이동하는 개폐부와, 이 개폐부의 슬라이딩을 안내하는 중간부와, 개폐부의 하부를 가이드하는 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 슬로우펌프의 개폐부의 슬라이딩 이동공간에 가이드를 설치함으로써, 개폐부의 슬라이딩 이동시 승강이동을 가이드하는 동시에 슬라이딩 이동공간에서 기밀성능과 동작성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.The present invention relates to a slow pump of a gate valve installed on one side of a gate valve to control a pressure difference when opening and closing a gate valve, wherein the lower body through which air flows in and out to control the pressure difference, and the upper body formed in a sliding space therein Wow, a tanji portion installed on the inner upper end of the upper body portion, an opening and closing portion sliding in the vertical direction to open and close the upper and lower holes, an intermediate portion guiding the sliding of the opening and closing portion, and a guide portion guiding the lower portion of the opening and closing portion Characterized in that. Accordingly, the present invention provides an effect of improving airtightness and operation performance in the sliding movement space while guiding the lifting movement when sliding the opening and closing part by installing a guide in the sliding movement space of the opening and closing part of the slow pump.

Description

게이트밸브의 슬로우펌프{SLOW PUMP OF GATE VALVE}Slow pump of gate valve {SLOW PUMP OF GATE VALVE}

본 발명은 게이트밸브의 슬로우펌프에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 게이트밸브의 일방에 설치되어 게이트밸브의 개폐시 압력차를 조절하는 게이트밸브의 슬로우펌프에 관한 것이다.The present invention relates to a slow pump of a gate valve, and more particularly, to a slow pump of a gate valve that is installed on one side of the gate valve to control a pressure difference when opening and closing the gate valve.

일반적으로 LCD(liquid crystal display) 기판이나 반도체 웨이퍼의 에칭 공정, 증착 공정, 스퍼터링 공정이나 패럴린 코팅과 같이 진공 상태를 필요로 하는 특수한 코팅 공정과 같은 작업을 할 때에는 작업이 이루어지는 챔버의 내부의 공기를 제거하여 진공 환경을 형성한다. 이 경우, 적절한 진공도를 설정 및 유지하는 것이 중요한 데, 이 때 반드시 필요한 것이 게이트밸브이다.In general, when working such as a liquid crystal display (LCD) substrate or a semiconductor wafer etching process, deposition process, sputtering process, or special coating process that requires a vacuum state, such as paralin coating, the air inside the chamber where the work is performed. To form a vacuum environment. In this case, it is important to set and maintain an appropriate degree of vacuum, and in this case, a gate valve is essential.

게이트밸브는 챔버와 펌프를 연결하는 통로에 위치하여 통로를 개폐함으로써 진공상태를 유지 또는 해제하는 역할을 한다. 이러한 게이트밸브는 통상 하나의 구동판과 하나의 기밀판의 작동에 의해 챔버쪽으로 연결되는 통로를 밀폐시킴으로써 챔버의 기밀성을 유지하게 된다.The gate valve serves to maintain or release a vacuum state by opening and closing the passage by being located in the passage connecting the chamber and the pump. In general, the gate valve maintains airtightness of the chamber by sealing a passage connected to the chamber by the operation of one driving plate and one hermetic plate.

따라서, 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다. 따라서 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 챔버와 이 챔버내의 공기를 흡입하는 진공펌프와의 사이에 설치되어, 진공펌프의 흡입력이 챔버로 전달되는 것을 개폐하는 진공밸브가 중요한 역할을 담당하게 되므로, 그 수명을 유지하기 위한 노력 또한 중요한 문제점으로 대두되고 있었다.Therefore, the technology of sealing the vacuum working area and the atmosphere of the semiconductor manufacturing apparatus also greatly affects the quality of semiconductor products. Therefore, the vacuum valve that is installed between the chamber in which the semiconductor device is integrated and the vacuum pump that sucks the air in the chamber plays an important role to open and close the suction force of the vacuum pump to the chamber. Efforts to maintain it were also emerging as an important problem.

또한, 이러한 게이트밸브에는 게이트밸브의 개방시 진공압에 의한 압력차를 점차적으로 감소시키는 슬로우 펌프가 설치되고 있으나, 슬로우 펌프를 소정시간 동안 지속적으로 개방하는 경우에는 슬로우 펌프가 손상되거나 압력차의 감속이 불규칙하게 감소되어 게이트밸브에 충격이나 진동에 의해 밸브가 손상되거나 오동작하게 되는 문제점이 있었다.In addition, such a gate valve is equipped with a slow pump that gradually reduces the pressure difference due to vacuum pressure when the gate valve is opened, but if the slow pump is continuously opened for a predetermined time, the slow pump is damaged or the pressure difference is reduced. Due to the irregular reduction, there is a problem that the valve is damaged or malfunctions due to shock or vibration to the gate valve.

또한, 슬로우 펌프의 슬라이딩 개폐공간에는 가스나 파우더 등의 이물질이 투입되거나 부착되어 개폐구간에서 슬라이딩이 원활하게 이루어지지 않거나 실링불량이 발생하는 문제점도 있었다.In addition, foreign substances such as gas or powder are introduced or attached to the sliding opening/closing space of the slow pump, so that sliding is not smoothly performed in the opening/closing section or sealing failure occurs.

대한민국 등록특허 제10-0446455호 (2004년09월01일)Korean Patent Registration No. 10-0446455 (September 1, 2004) 대한민국 등록특허 제10-1099571호 (2011년12월28일)Korean Patent Registration No. 10-1099571 (December 28, 2011) 대한민국 등록특허 제10-1258497호 (2013년04월26일)Korean Patent Registration No. 10-1258497 (April 26, 2013)

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로서, 개폐부의 슬라이딩 이동시 승강이동을 가이드하는 동시에 슬라이딩 이동공간에서 기밀성능과 동작성능을 향상시킬 수 있는 게이트밸브의 슬로우펌프를 제공하는 것을 그 목적으로 한다. The present invention was conceived to solve the conventional problems as described above, and it is to provide a slow pump of a gate valve capable of improving airtightness and operation performance in a sliding space while guiding the lifting movement when the opening and closing portion is sliding. For that purpose.

또한, 본 발명은 개폐부의 슬라이딩 이동공간에 부착된 이물질을 제거하는 동시에 슬라이딩 이동공간에 유입되는 이물질을 차단하여 개폐부의 슬라이딩 이동성능을 향상시킬 수 있는 게이트밸브의 슬로우펌프를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다. In addition, another object of the present invention is to provide a slow pump of a gate valve capable of improving the sliding movement performance of the opening and closing unit by removing foreign substances attached to the sliding movement space of the opening and closing unit and blocking foreign substances flowing into the sliding movement space. To do.

또한, 본 발명은 개폐부의 슬라이딩 이동공간에 윤활제를 충진시켜 개폐부의 슬라이딩 이동시 윤활성능을 향상시키는 동시에 슬라이딩 이동공간에 설치된 중간부재의 손상을 방지할 수 있는 게이트밸브의 슬로우펌프를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다. In addition, another aspect of the present invention is to provide a slow pump of a gate valve capable of preventing damage to an intermediate member installed in the sliding space while improving lubrication performance when sliding the opening/closing part by filling a lubricant in the sliding space of the opening and closing part. The purpose.

또한, 본 발명은 개폐부와 중간부 사이의 슬라이딩 이동공간에서 이들 사이의 밀착성능 및 기밀성능을 향상시킬 수 있는 게이트밸브의 슬로우펌프를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다. In addition, another object of the present invention is to provide a slow pump of a gate valve capable of improving adhesion performance and airtightness performance between the opening and closing portions and the sliding movement space between the intermediate portions.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 게이트밸브의 일방에 설치되어 게이트밸브의 개폐시 압력차를 조절하는 게이트밸브의 슬로우펌프로서, 압력차를 조절하도록 에어가 유출입되는 상방홀 및 하방홀이 형성된 하체부(10); 상기 하체부(10)의 상부에 설치되어, 내부에 슬라이딩 공간에 형성된 상체부(20); 상기 상체부(20)의 내부 상단에 설치된 탄지부(30); 상기 탄지부(30)에 의해 하방으로 탄지되어, 상방홀과 하방홀 사이의 연통을 개폐하도록 상하방향으로 슬라이딩 이동하는 개폐부(40); 상기 하체부(10)와 상기 상체부(20) 사이에 설치되어, 상기 개폐부(40)의 슬라이딩을 안내하는 중간부(50); 및 상기 중간부(50)의 하단 둘레에 설치되어, 상기 개폐부(40)의 하부를 가이드하는 가이드부(60);를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a slow pump of a gate valve installed on one side of the gate valve to control a pressure difference when opening and closing the gate valve, and an upper hole and a lower hole through which air flows in and out to adjust the pressure difference. The lower body portion 10 is formed; An upper body part 20 installed on the upper part of the lower body part 10 and formed in a sliding space therein; A tanji part 30 installed on the inner upper end of the upper body part 20; An opening and closing part 40 which is urged downward by the bullet part 30 and slid in the vertical direction to open and close communication between the upper hole and the lower hole; An intermediate part 50 installed between the lower body part 10 and the upper body part 20 to guide the sliding of the opening/closing part 40; And a guide part 60 installed around the lower end of the middle part 50 to guide the lower part of the opening/closing part 40.

본 발명의 상기 가이드부(60)는, 상기 중간부(50)의 하부 둘레에 함몰 형성된 가이드홈; 및 상기 가이드홈에 설치되어, 상기 개폐부(40)의 외부둘레에 밀착되는 가이드편;을 포함하는 것을 특징으로 한다.The guide part 60 of the present invention includes a guide groove recessed around the lower circumference of the intermediate part 50; And a guide piece installed in the guide groove and in close contact with the outer circumference of the opening/closing part 40.

본 발명의 상기 가이드부(60)는, 상기 중간부(50)의 하부 둘레에 함몰형성되며, 상기 가이드편의 상측에 윤활제가 충진되는 윤활홈;을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The guide part 60 of the present invention further comprises a lubricating groove recessed around the lower circumference of the intermediate part 50 and filled with a lubricant on the upper side of the guide piece.

본 발명의 상기 중간부(50)는, 상기 하체부(10)와 상기 상체부(20) 사이에 설치된 중간부재; 상기 중간부재의 상단 둘레에 설치되어, 상기 개폐부(40)에 밀착되는 밀착부재; 및 상기 중간부재의 하단 둘레에 설치되어, 상기 개폐부(40)에 접촉되는 실링부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The intermediate part 50 of the present invention includes an intermediate member installed between the lower body part 10 and the upper body part 20; A close contact member installed around an upper end of the intermediate member and in close contact with the opening and closing part 40; And a sealing member installed around the lower end of the intermediate member and contacting the opening and closing part 40.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 슬로우펌프의 개폐부의 슬라이딩 이동공간에 가이드를 설치함으로써, 개폐부의 슬라이딩 이동시 승강이동을 가이드하는 동시에 슬라이딩 이동공간에서 기밀성능과 동작성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.As described above, the present invention provides an effect of improving the airtightness and operation performance in the sliding movement space while guiding the lifting movement during the sliding movement of the opening and closing part by installing a guide in the sliding movement space of the opening and closing part of the slow pump. do.

또한, 가이드부로서 가이드홈과 개폐부에 밀착되는 가이드편을 구비함으로써, 개폐부의 슬라이딩 이동공간에 부착된 이물질을 제거하는 동시에 슬라이딩 이동공간에 유입되는 이물질을 차단하여 개폐부의 슬라이딩 이동성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by providing a guide piece that is in close contact with the guide groove and the opening and closing portion as a guide, it is possible to improve the sliding movement performance of the opening and closing unit by removing foreign substances adhering to the sliding movement space of the opening and closing unit and blocking foreign substances entering the sliding movement space. It provides a good effect.

또한, 가이드부로서 윤활홈과 윤활제를 더 구비함으로써, 개폐부의 슬라이딩 이동공간에 윤활제를 충진시켜 개폐부의 슬라이딩 이동시 윤활성능을 향상시키는 동시에 슬라이딩 이동공간에 설치된 중간부재의 손상을 방지할 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by further providing a lubricating groove and a lubricant as a guide part, the sliding movement space of the opening and closing part is filled with lubricant to improve the lubrication performance during the sliding movement of the opening and closing part, and at the same time, it is possible to prevent damage to the intermediate members installed in the sliding movement space. to provide.

또한, 중간부로서 밀착부재와 실링부재를 구비함으로써, 개폐부와 중간부 사이의 슬라이딩 이동공간에서 이들 사이의 밀착성능 및 기밀성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by providing the contact member and the sealing member as the intermediate portion, in the sliding movement space between the opening and closing portion and the intermediate portion provides an effect of improving the adhesion and airtight performance between them.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 슬로우펌프를 구비한 게이트밸브를 나타내는 구성도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 슬로우펌프를 나타내는 측면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 슬로우펌프를 나타내는 상면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 슬로우펌프를 나타내는 단면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 슬로우펌프의 가이드부를 나타내는 확대단면도.1 is a block diagram showing a gate valve having a slow pump of the gate valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a side view showing the slow pump of the gate valve according to an embodiment of the present invention.
3 is a top view showing a slow pump of a gate valve according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view showing a slow pump of a gate valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is an enlarged cross-sectional view showing a guide portion of the slow pump of the gate valve according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 더욱 상세히 설명한다. Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 슬로우펌프를 구비한 게이트밸브를 나타내는 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 슬로우펌프를 나타내는 측면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 슬로우펌프를 나타내는 상면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 슬로우펌프를 나타내는 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 슬로우펌프의 가이드부를 나타내는 확대단면도이다.1 is a block diagram showing a gate valve having a slow pump of a gate valve according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view showing a slow pump of a gate valve according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 Is a top view showing the slow pump of the gate valve according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a cross-sectional view showing the slow pump of the gate valve according to an embodiment of the present invention, and Figure 5 is an embodiment of the present invention It is an enlarged sectional view showing the guide part of the slow pump of the gate valve by

도 1 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에 의한 게이트밸브의 슬로우펌프는, 하체부(10), 상체부(20), 탄지부(30), 개폐부(40), 중간부(50) 및 가이드부(60)를 포함하여 이루어져, 게이트밸브의 일방에 설치되어 게이트밸브의 개폐시 압력차를 조절하는 게이트밸브의 슬로우펌프이다.As shown in Figs. 1 to 4, the slow pump of the gate valve according to the present embodiment includes a lower body part 10, an upper body part 20, an ignition part 30, an opening/closing part 40, and an intermediate part 50. And a guide part 60, which is installed on one side of the gate valve to control a pressure difference when the gate valve is opened or closed.

이러한 본 실시예의 게이트밸브는, 도 1에 나타낸 바와 같이 디스크가 연결통로를 개폐하도록 설치되는 하부바디(110)와, 디스크에 구동력을 제공하는 구동수단이 설치되는 상부바디(120)와, 연결통로의 하부에 설치되는 하부플랜지(130)와, 연결통로의 상부에 설치되는 상부플랜지(140)와, 디스크의 개방 전에 하부플랜지(130) 및 상부플랜지(140)를 일시적으로 연통시켜 압력차를 조절하는 슬로우펌프(150)를 포함하는 진공 게이트밸브로 이루어져 있다.As shown in FIG. 1, the gate valve of this embodiment includes a lower body 110 installed to open and close a connection passage, an upper body 120 provided with a driving means providing a driving force to the disk, and a connection passage. The pressure difference is controlled by temporarily communicating the lower flange 130 installed at the bottom of the panel, the upper flange 140 installed at the upper part of the connection passage, and the lower flange 130 and the upper flange 140 before opening the disk. It consists of a vacuum gate valve including a slow pump 150.

하체부(10)는, 게이트밸브의 개폐시 압력차를 조절하도록 에어가 유출입되는 상방홀 및 하방홀이 형성된 몸체부재로서, 하부체(11), 하방홀(12), 상방홀(13), 연결홀(14) 및 제1 실링편(15)으로 이루어져 있다.The lower body 10 is a body member having an upper hole and a lower hole through which air flows out to adjust a pressure difference when opening and closing the gate valve, and the lower body 11, the lower hole 12, the upper hole 13, It consists of a connection hole 14 and a first sealing piece 15.

하부체(11)는, 게이트밸브의 측면 일방에 결합되는 몸체부재로서, 내부의 중앙부위에는 하방홀(12)과 상방홀(13) 사이를 서로 연결하여 연통시키는 연결홀(14)이 상하로 형성되어 있다.The lower body 11 is a body member coupled to one side of the gate valve, and a connection hole 14 connecting the lower hole 12 and the upper hole 13 to each other to communicate with each other is formed vertically at the central part of the inside. Has been.

하방홀(12)은, 하부체(11)의 하부 일방 측면에 형성된 에어홀로서, 게이트밸브의 하부플랜지(130)에 연결되어 연결통로를 유출입하는 에어가 여기로 유출입하게 된다.The lower hole 12 is an air hole formed on one lower side of the lower body 11, and air flowing in and out of the connection passage is connected to the lower flange 130 of the gate valve.

상방홀(13)은, 하부체(11)의 상부 일방 측면에 형성된 에어홀로서, 게이트밸브의 상부플랜지(140)에 연결되어 연결통로를 유출입하는 에어가 여기로 유출입하게 된다.The upper hole 13 is an air hole formed on one upper side of the lower body 11 and is connected to the upper flange 140 of the gate valve so that air flowing in and out of the connection passage flows in and out there.

연결홀(14)은, 하부체(11)의 내부 중앙부위에 상하 길이방향으로 형성된 연통홀로서, 하부체(11)의 중앙부위에 하방홀(12)과 상방홀(13) 사이를 서로 연결하여 연통시키게 된다.The connection hole 14 is a communication hole formed in the vertical direction at the inner central portion of the lower body 11, and connects the lower hole 12 and the upper hole 13 to each other at the central portion of the lower body 11 And communicate.

제1 실링편(15)은, 하체부(10)와 상체부(20) 사이의 접촉부위에 설치되는 기밀부재로서, 하체부(10)의 상면에 함몰 형성된 오링홈이나 상체부(20)의 하면에 함몰 형성된 오링홈에 설치된 오링으로 이루어져 있다.The first sealing piece 15 is an airtight member installed at the contact portion between the lower body portion 10 and the upper body portion 20, and the O-ring groove or the upper body portion 20 is recessed in the upper surface of the lower body portion 10. It consists of an O-ring installed in an O-ring groove formed in the lower surface.

상체부(20)는, 하체부(10)의 상부에 설치되어, 내부에 개폐부(40)가 상하방향으로 승강하도록 슬라이딩 공간에 형성된 몸체부재로서, 상부체(21) 및 상부홀(22)로 이루어져 있다.The upper body part 20 is a body member installed on the upper part of the lower body part 10 and formed in a sliding space so that the opening and closing part 40 moves up and down in the upper body part 10, and the upper body part 21 and the upper hole 22 consist of.

상부체(21)는, 게이트밸브의 측면 일방에 결합되며 하체부(10)의 상부에 결합되는 몸체부재로서, 내부의 중앙부위에는 개폐부(40)가 상하로 슬라이딩되도록 슬라이딩공간이 상하 길이방향으로 형성되어 있다.The upper body 21 is a body member coupled to one side of the gate valve and coupled to the upper part of the lower body 10, and a sliding space is formed in the vertical direction so that the opening and closing part 40 slides up and down at the central part of the inside. Has been.

상부홀(22)은, 상부체(21)의 상면 중앙부위에 형성된 관통홀로서, 상부체(21)의 상면에 내부의 슬라이딩공간과 연통하여 개폐부(40)의 슬라이딩시 공기의 유동을 원활하게 한다.The upper hole 22 is a through hole formed in the center of the upper surface of the upper body 21, and communicates with an internal sliding space on the upper surface of the upper body 21 to facilitate the flow of air when the opening and closing part 40 is sliding. do.

탄지부(30)는, 상체부(20)의 내부 상단에 설치된 탄지부재로서, 상체부(20)의 슬라이딩 공간의 상부면에 결합되어 개폐부(40)의 상부를 하방으로 탄지하게 되며, 상하방향으로 탄지하도록 코일스프링으로 이루어져 있다.The tanji part 30 is an tangy member installed on the inner upper end of the upper body part 20, and is coupled to the upper surface of the sliding space of the upper body part 20 so that the upper part of the opening and closing part 40 is tangent downward, It is composed of coil springs so as to be burnt.

개폐부(40)는, 탄지부(30)에 의해 하방으로 탄지되어, 하체부(10)의 하방홀(12)과 상방홀(13) 사이의 연통을 개폐하도록 상하방향으로 슬라이딩 이동하는 개폐부재로서, 개폐편(41), 승강편(42), 기밀편(43) 및 제2 실링편(44)으로 이루어져 있다.The opening/closing part 40 is an opening/closing member that is urged downward by the tangential part 30 and slides in the vertical direction to open and close the communication between the lower hole 12 and the upper hole 13 of the lower body 10. , An opening and closing piece 41, a lifting piece 42, an airtight piece 43 and a second sealing piece 44.

개폐편(41)은, 하체부(10)와 상체부(20) 사이의 연통공간을 슬라이딩하는 개폐부재로서, 하체부(10)의 하방홀(12)과 상방홀(13) 사이의 연결홀(14)을 개폐하도록 상하방향으로 슬라이딩 이동하게 된다.The opening/closing piece 41 is an opening/closing member that slides the communication space between the lower body 10 and the upper body 20, and a connection hole between the lower hole 12 and the upper hole 13 of the lower body 10 It slides in the vertical direction to open and close (14).

승강편(42)은, 상체부(20)의 내부 상측에 형성된 슬라이딩 공간을 슬라이딩하는 승강부재로서, 단면이 대략 원형으로 형성되어 있고 슬라이딩 공간도 원활하게 슬라이딩 이동되도록 원통형으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.The lifting piece 42 is a lifting member for sliding the sliding space formed on the inner upper side of the upper body 20, and is preferably formed in a cylindrical shape so that the cross section is formed in an approximately circular shape and the sliding space is also smoothly slid. .

기밀편(43)은, 상체부(20)와 개폐부(40) 사이의 접촉부위에 설치되는 기밀부재로서, 상체부(20)의 상부 측면 둘레에 함몰 형성된 실링홈이나 개폐부(40)의 측면 둘레에 함몰 형성된 실링홈에 설치된 고무링이나 기밀링 등과 같은 다양한 기밀부재로 이루어져 있다.The airtight piece 43 is an airtight member installed at the contact part between the upper body 20 and the opening and closing part 40, and is formed in a recessed around the upper side of the upper body 20 or the side circumference of the opening and closing part 40 It consists of various airtight members such as rubber rings or airtight rings installed in the sealing grooves formed in the depression.

제2 실링편(44)은, 하체부(10)와 개폐부(40) 사이의 접촉부위에 설치되는 기밀부재로서, 하체부(10)의 상면에 함몰 형성된 오링홈이나 개폐부(40)의 하면에 함몰 형성된 오링홈에 설치된 오링으로 이루어져 있다.The second sealing piece 44 is an airtight member installed at the contact portion between the lower body portion 10 and the opening and closing portion 40, and is formed in an O-ring groove recessed in the upper surface of the lower body portion or the lower surface of the opening and closing portion 40. It consists of an O-ring installed in a recessed O-ring groove.

중간부(50)는, 하체부(10)와 상기 상체부(20) 사이에 설치되어 개폐부(40)의 슬라이딩을 안내하는 안내부재로서, 중간부재(51), 밀착부재(52), 실링부재(53) 및 제3 실링편(54)으로 이루어져 있다.The intermediate part 50 is a guide member installed between the lower body part 10 and the upper body part 20 to guide the sliding of the opening and closing part 40, and the intermediate member 51, an adhesion member 52, and a sealing member (53) and a third sealing piece (54).

중간부재(51)는, 하체부(10)와 상체부(20) 사이에 설치된 중간체로서, 하부체(11)의 상단과 상부체(21)의 하단 사이에 슬라이딩 공간에 끼워맞춤되어 고정설치되어 있다.The intermediate member 51 is an intermediate body installed between the lower body 10 and the upper body 20, and is fitted and fixed in a sliding space between the upper end of the lower body 11 and the lower end of the upper body 21. have.

밀착부재(52)는, 중간부재(51)의 상단 둘레에 설치되어 개폐부(40)에 밀착되는 밀착수단으로서, 중간부재(51)의 상단 둘레에 함몰 형성된 상단 끼움홈에 결합되는 절곡부재로 이루어져 개폐부(40)의 슬라이딩시에도 밀착력을 유지하도록 가압하게 된다.The contact member 52 is a contact means installed around the upper end of the intermediate member 51 and in close contact with the opening and closing part 40, and consists of a bending member coupled to the upper fitting groove recessed around the upper end of the intermediate member 51 When the opening/closing part 40 slides, it is pressed to maintain adhesion.

실링부재(53)는, 중간부재(51)의 내측면 하단 둘레에 설치되어, 개폐부(40)에 접촉되는 실링수단으로서, 중간부재(51)의 내측면 하단 둘레에 함몰 형성된 하단 끼움홈에 결합되는 실링편으로 이루어져 개폐부(40)의 슬라이딩시에도 기밀을 유지하도록 압착하게 된다.The sealing member 53 is a sealing means that is installed around the lower end of the inner surface of the intermediate member 51 and is in contact with the opening and closing portion 40, and is coupled to a lower fitting groove that is recessed around the lower end of the inner surface of the intermediate member 51 It is composed of a sealing piece that is compressed to maintain airtightness even when the opening and closing portion 40 is sliding.

제3 실링편(54)은, 하체부(10)와 중간부(50) 사이의 접촉부위에 설치되는 기밀부재로서, 하체부(10)의 상면에 함몰 형성된 오링홈이나 중간부(50)의 하면에 함몰 형성된 오링홈에 설치된 오링으로 이루어져 있다.The third sealing piece 54 is an airtight member installed at the contact portion between the lower body portion 10 and the middle portion 50, and the O-ring groove or the middle portion 50 is recessed in the upper surface of the lower body portion 10. It consists of an O-ring installed in an O-ring groove formed in the lower surface.

가이드부(60)는, 중간부(50)의 하단 둘레에 설치되어 개폐부(40)의 하부를 가이드하는 가이드부재로서, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이 가이드홈(61), 가이드편(62), 윤활홈(63), 윤활제(64)로 이루어져 있다.The guide part 60 is a guide member installed around the lower end of the middle part 50 to guide the lower part of the opening and closing part 40, as shown in FIGS. 4 and 5, the guide groove 61, the guide piece 62 ), lubrication groove (63), lubricant (64).

가이드홈(61)은, 중간부(50)의 내측면 하부 둘레에 함몰 형성된 홈부재로서, 실링부재(53)가 설치되는 하단 끼움홈의 하부 둘레에 함몰 형성되어 실링부재(53) 보다 가이드편(62)을 우선적으로 접촉 슬라이딩시켜 실링부재(53)의 손상을 최소화시킬 수 있게 된다.The guide groove 61 is a groove member recessed around the lower circumference of the inner surface of the middle part 50, and is recessed around the lower circumference of the lower fitting groove in which the sealing member 53 is installed. It is possible to minimize damage to the sealing member 53 by preferentially contacting and sliding the 62.

가이드편(62)은, 가이드홈(61)의 함몰부위에 끼워맞춤되어 설치되는 가이드부재로서, 개폐부(40)의 외부둘레에 밀착되어 상하 슬라이딩 이동을 가이드하는 동시에 개폐부(50)의 슬라이딩 이동공간에 투입되는 가스나 파우더 등과 같은 이물질의 유입을 차단하게 된다.The guide piece 62 is a guide member that is fitted and installed in the recessed portion of the guide groove 61, and is in close contact with the outer circumference of the opening and closing portion 40 to guide the vertical sliding movement and at the same time the sliding movement space of the opening and closing portion 50 It blocks the inflow of foreign substances, such as gas or powder, that are introduced into the system.

또한, 이러한 가이드편(62)은, 경질의 합성수지재로 이루어져 슬라이딩 이동공간에 부착되는 파우더 등과 같은 이물질을 제거하여 슬라이딩 이동공간을 클리닝하여 청결하게 유지하므로, 슬라이딩 공간의 오염을 방지하는 동시에 밀착부재(52) 및 실링부재(53)의 손상으로 인한 리크(leak)나 동작불량을 방지할 수 있게 된다.In addition, since the guide piece 62 is made of a hard synthetic resin material and cleans the sliding movement space by removing foreign substances such as powder attached to the sliding movement space to keep it clean, it prevents contamination of the sliding space and at the same time a close contact member It is possible to prevent a leak or malfunction due to damage to the 52 and the sealing member 53.

윤활홈(63)은, 중간부(50)의 내측면 하부 둘레에 함몰형성되는 홈부재로서, 가이드편(62)의 상측에 함몰 형성된 오목부위에 윤활제(64)가 충진되어, 개폐부(40)가 승강이동되는 슬라이딩 공간에 도포되어 슬라이딩 공간을 윤활하게 된다.The lubrication groove 63 is a groove member recessed around the lower circumference of the inner surface of the intermediate part 50, and is filled with a lubricant 64 in a recess formed in the upper side of the guide piece 62, and the opening and closing part 40 Is applied to the sliding space that is moved up and down to lubricate the sliding space.

윤활제(64)는, 가이드편(62)의 상측에 함몰 형성된 윤활홈(63)에 충진되는 윤활수단으로서, 그리스(grease) 등과 같은 액상의 윤활제를 사용하거나 튜브형상 또는 링형상의 EPDM(Ethylene Propylene Diene Monomer) 재질의 개스킷 등 같은 고상의 윤활제를 사용하는 것도 가능함은 물론이다.The lubricant 64 is a lubricating means that is filled in the lubrication groove 63 that is recessed on the upper side of the guide piece 62, and uses a liquid lubricant such as grease, or a tube-shaped or ring-shaped EPDM (Ethylene Propylene). Of course, it is also possible to use solid lubricants such as gaskets made of Diene Monomer).

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 슬로우펌프의 개폐부의 슬라이딩 이동공간에 가이드를 설치함으로써, 개폐부의 슬라이딩 이동시 승강이동을 가이드하는 동시에 슬라이딩 이동공간에서 기밀성능과 동작성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.As described above, according to the present invention, by installing a guide in the sliding space of the opening/closing part of the slow pump, it guides the lifting movement when the opening/closing part slides, and at the same time, it provides the effect of improving the airtightness and operation performance in the sliding movement space. do.

또한, 가이드부로서 가이드홈과 개폐부에 밀착되는 가이드편을 구비함으로써, 개폐부의 슬라이딩 이동공간에 부착된 이물질을 제거하는 동시에 슬라이딩 이동공간에 유입되는 이물질을 차단하여 개폐부의 슬라이딩 이동성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by providing a guide piece that is in close contact with the guide groove and the opening and closing portion as a guide, it is possible to improve the sliding movement performance of the opening and closing unit by removing foreign substances adhering to the sliding movement space of the opening and closing unit and blocking foreign substances entering the sliding movement space. It provides a good effect.

또한, 가이드부로서 윤활홈과 윤활제를 더 구비함으로써, 개폐부의 슬라이딩 이동공간에 윤활제를 충진시켜 개폐부의 슬라이딩 이동시 윤활성능을 향상시키는 동시에 슬라이딩 이동공간에 설치된 중간부재의 손상을 방지할 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by further providing a lubricating groove and a lubricant as a guide part, the sliding movement space of the opening and closing part is filled with lubricant to improve the lubrication performance during the sliding movement of the opening and closing part, and at the same time, it is possible to prevent damage to the intermediate members installed in the sliding movement space. to provide.

또한, 중간부로서 밀착부재와 실링부재를 구비함으로써, 개폐부와 중간부 사이의 슬라이딩 이동공간에서 이들 사이의 밀착성능 및 기밀성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by providing the contact member and the sealing member as the intermediate portion, in the sliding movement space between the opening and closing portion and the intermediate portion provides an effect of improving the adhesion and airtight performance between them.

이상 설명한 본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러 가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서 상기 실시예는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안 된다. The present invention described above may be implemented in various other forms without departing from the technical idea or main characteristics thereof. Accordingly, the above embodiments are merely illustrative in all respects and should not be interpreted as limiting.

10: 하체부 20: 상체부
30: 탄지부 40: 개폐부
50: 중간부 60: 가이드부10: lower body 20: upper body
30: tanji part 40: opening and closing part
50: middle part 60: guide part

Claims (4)

게이트밸브의 일방에 설치되어 게이트밸브의 개폐시 압력차를 조절하는 게이트밸브의 슬로우펌프로서,
압력차를 조절하도록 에어가 유출입되는 상방홀 및 하방홀이 형성된 하체부(10);
상기 하체부(10)의 상부에 설치되어, 내부에 슬라이딩 공간에 형성된 상체부(20);
상기 상체부(20)의 내부 상단에 설치된 탄지부(30);
상기 탄지부(30)에 의해 하방으로 탄지되어, 상방홀과 하방홀 사이의 연통을 개폐하도록 상하방향으로 슬라이딩 이동하는 개폐부(40);
상기 하체부(10)와 상기 상체부(20) 사이에 설치되어, 상기 개폐부(40)의 슬라이딩을 안내하는 중간부(50); 및
상기 중간부(50)의 하단 둘레에 설치되어, 상기 개폐부(40)의 하부를 가이드하는 가이드부(60);를 포함하고,
상기 가이드부(60)는,
상기 중간부(50)의 하부 둘레에 함몰 형성된 가이드홈;
상기 가이드홈에 설치되어, 상기 개폐부(40)의 외부둘레에 밀착되어 상하 슬라이딩 이동을 가이드하는 동시에 개폐부(50)의 슬라이딩 이동공간에 투입되는 가스나 파우더의 이물질의 유입을 차단하는 가이드편;
상기 중간부(50)의 하부 둘레에 함몰형성되며, 상기 가이드편의 상측과 상기 가이드홈 사이에 함몰 형성된 오목부위에 윤활제가 충진되는 윤활홈; 및
상기 윤활홈에 충진되어, 상기 개폐부(40)가 승강이동되는 슬라이딩 공간에 도포되어 슬라이딩 공간을 윤활하는 윤활제;를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브의 슬로우펌프.As a gate valve slow pump installed on one side of the gate valve to control the pressure difference when opening and closing the gate valve,
A lower body portion 10 having an upper hole and a lower hole through which air flows in and out to adjust the pressure difference;
An upper body part 20 installed on the upper part of the lower body part 10 and formed in a sliding space therein;
A tanji part 30 installed on the inner upper end of the upper body part 20;
An opening and closing part 40 which is urged downward by the bullet part 30 and slid in the vertical direction to open and close communication between the upper hole and the lower hole;
An intermediate part 50 installed between the lower body part 10 and the upper body part 20 to guide the sliding of the opening/closing part 40; And
Includes; a guide part 60 installed around the lower end of the middle part 50 to guide the lower part of the opening and closing part 40,
The guide part 60,
A guide groove recessed around the lower circumference of the middle part 50;
A guide piece installed in the guide groove, which is in close contact with the outer circumference of the opening and closing unit 40 to guide the vertical sliding movement and at the same time blocking the introduction of foreign substances of gas or powder into the sliding space of the opening and closing unit 50;
A lubricating groove recessed around the lower circumference of the middle part 50 and filled with a lubricant in a recess formed between the upper side of the guide piece and the guide groove; And
And a lubricant that is filled in the lubricating groove and applied to the sliding space in which the opening/closing unit 40 is moved up and down to lubricate the sliding space. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 중간부(50)는,
상기 하체부(10)와 상기 상체부(20) 사이에 설치된 중간부재;
상기 중간부재의 상단 둘레에 설치되어, 상기 개폐부(40)에 밀착되는 밀착부재; 및
상기 중간부재의 하단 둘레에 설치되어, 상기 개폐부(40)에 접촉되는 실링부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브의 슬로우펌프.The method of claim 1,
The middle part 50,
An intermediate member installed between the lower body portion 10 and the upper body portion 20;
A close contact member installed around an upper end of the intermediate member and in close contact with the opening and closing part 40; And
And a sealing member installed around the lower end of the intermediate member and contacting the opening and closing part 40.
KR1020190024761A 2019-03-04 2019-03-04 Slow pump of gate valve KR102168884B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190024761A KR102168884B1 (en) 2019-03-04 2019-03-04 Slow pump of gate valve

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190024761A KR102168884B1 (en) 2019-03-04 2019-03-04 Slow pump of gate valve

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200106348A KR20200106348A (en) 2020-09-14
KR102168884B1 true KR102168884B1 (en) 2020-10-22

Family

ID=72471453

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190024761A KR102168884B1 (en) 2019-03-04 2019-03-04 Slow pump of gate valve

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102168884B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220129788A (en) * 2021-03-17 2022-09-26 정승수 Vacuum gate valve with multistage slow pump valve

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3067647B2 (en) * 1996-06-25 2000-07-17 株式会社巴技術研究所 Valve shaft sealing device
KR100446455B1 (en) 2003-11-19 2004-09-01 주식회사 테라텍 Vacuum gate valve
KR100942718B1 (en) * 2007-10-16 2010-02-16 이정기 A sliding gate valve assembly
KR101099571B1 (en) 2010-01-18 2011-12-28 프리시스 주식회사 Vacuum gate valve
KR101258497B1 (en) 2010-08-26 2013-04-26 주식회사 에스알티 A gate valve
KR101924547B1 (en) * 2017-01-04 2018-12-07 주식회사 마이크로텍 Method for controlling vacuum gate valve

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220129788A (en) * 2021-03-17 2022-09-26 정승수 Vacuum gate valve with multistage slow pump valve
KR102472918B1 (en) 2021-03-17 2022-12-01 정승수 Vacuum gate valve with multistage slow pump valve

Also Published As

Publication number Publication date
KR20200106348A (en) 2020-09-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6612546B2 (en) Gate valve with delayed retraction of counter plate
US20160040788A1 (en) Slide valve
TWI659174B (en) Closure element, vacuum valve, multifunctional tool and method for manufacturing a closure element having a seal for a vacuum valve
KR101949898B1 (en) Valve for the substantially gas-tight interruption of a flow path
KR20010062391A (en) Gate valve
KR102168884B1 (en) Slow pump of gate valve
CN108700223B (en) Vacuum valve with two-piece valve disc closing flow path
TW201309943A (en) Cylinder device
US6837483B2 (en) Gate valve assembly
KR101796681B1 (en) Vacuum gate valve having powder-removal device
KR101335097B1 (en) Air breather
KR102020370B1 (en) Oil control valve for trasnfer case
KR101758802B1 (en) Protection apparatus of gate valve
KR101643627B1 (en) Leak proof device of isolation valve for semiconductor manufacturing
KR100949300B1 (en) Bonneted type knife gate valve
KR100724280B1 (en) Vacuum gate valve
KR102460690B1 (en) Vacuum valve
KR102338790B1 (en) Valve with Metal Seal for Improving Airtightness Efficiency
KR101587130B1 (en) Isolation valve and method for controlling thereof
JP7158597B2 (en) SEAL CONDITION DETECTION DEVICE AND SEAL CONDITION DETECTION METHOD
KR200476559Y1 (en) in-line valve
US20230160478A1 (en) Valve
KR20230147856A (en) Vacuum valve
KR20040014737A (en) Rod guide assembly of shock absober for auto mobile
KR101739557B1 (en) Opening and closing apparatus of gate valve

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right