KR102167894B1 - 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치 - Google Patents

오존 생성장치 및 오존셀 세정장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치에 관한 것으로, 내부에 하부셀 및 상부셀로 구성되는 복수개의 오존셀을 구비하고, 질소 및 산소 공급시 오존을 생성하는 오존 생성장치; 상기 오존셀의 세정을 위한 세정용 가스가 저장되는 공급장치와, 상기 공급장치로부터 상기 세정용 가스를 공급받고, 공급된 세정용 가스를 플라즈마 상태의 세정가스로 변환하는 플라즈마 챔버를 포함하는 오존셀 세정장치; 상기 오존셀 세정장치와 상기 오존 생성장치를 연결하고, 상기 질소 및 산소, 또는 변환된 플라즈마 상태의 세정가스를 공급하는 공급밸브; 상기 공급밸브와 연결되며, 상기 오존셀 세정장치 및 오존 생성장치의 내부를 진공상태로 전환하는 진공펌프; 및 상기 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치가 장착되는 테이블과, 상기 테이블의 하부에 소정 간격 이격되게 구성되며 이송바퀴가 형성된 이송 프레임과, 상기 테이블의 일측에 연결되며 원격 제어부가 장착되는 제어 프레임과, 상기 테이블과 이송 프레임을 연결하도록 제1 및 제2지지 프레임으로 구성되는 지지 프레임을 포함하는 프레임부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

오존 생성장치 및 오존셀 세정장치{Ozone generating device and ozone cell cleaning device}
본 발명은 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 오존 생성장치의 높낮이 및 위치 이동이 자유롭게 이루어지도록 함으로써, 사용처에 따라 다양한 위치에서 오존 산소의 공급 및 셀의 세정이 가능한 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치에 관한 것이다.
오존 생성장치는 내부에 설치된 복수개의 셀로부터 오존을 생성하는 것으로, 복수개의 셀측으로 공급되는 산소가 전기 방전에 의해 오존으로 변환된다.
종래 오존 생성장치로서, 대한민국 등록특허 제10-0416175호 "오존 생성 방법 및 장치"가 게재된 바 있다.
게재된 바와 같은 종래 오존 생성장치는 장기간 사용할 경우, 내부에 구비된 셀의 표면에 이물질이 부착되거나 오염되는 경우가 발생된다. 이렇게 셀 표면에 이물질이 부착되면 오존생성률이 저하되어 일정 기간이 경과되면 셀을 교체해야 했다.
즉, 셀의 수명이 다하지 않았음에도 불구하고 셀 표면의 오염을 세정하지 못해 셀을 교체해야만 하는 문제점이 있다.
또한, 종래의 오존 생성장치의 경우, 고정된 위치에서만 오존의 생성이 이루어지도록 구성되는 것이어서 다양한 위치에서 오존의 생성이 어려움에 따라 오존 산소의 공급 범위가 매우 제한적일 수밖에 없는 문제점이 있다.
대한민국 등록특허 제10-0416175호
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 전술한 배경기술에 의해서 안출된 것으로, 오존 생성장치의 높낮이 및 위치 이동이 자유롭게 이루어지도록 함으로써, 사용처에 따라 다양한 위치에서 오존 산소의 공급 및 셀의 세정이 가능한 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 오존 생성장치와 오존셀 세정장치가 테이블에 모두 구성되어 셀의 내부에 발생하는 침식물의 제거시 오존 생성장치의 내부로 플라즈마 상태의 플라즈마 상태의 세정가스를 공급하여 셀의 세정이 이루어지도록 함으로써, 셀의 세정을 위해 오존 생성장치의 분해 및 조립 과정을 동반하지 않고, 셀의 교체 작업을 수행하지 않아도 됨에 따라 세정작업의 편의성을 향상시킬 뿐만 아니라, 오존 생성장치의 유지 보수 비용을 절감할 수 있는 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
다만, 본 발명의 목적은 이에만 제한되는 것은 아니며, 명시적으로 언급하지 않더라도 과제의 해결수단이나 실시 형태로부터 파악될 수 있는 목적이나 효과도 이에 포함됨은 물론이다.
이와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 내부에 하부셀 및 상부셀로 구성되는 복수개의 오존셀을 구비하고, 질소 및 산소 공급시 오존을 생성하는 오존 생성장치; 상기 오존셀의 세정을 위한 세정용 가스가 저장되는 공급장치와, 상기 공급장치로부터 상기 세정용 가스를 공급받고, 공급된 세정용 가스를 플라즈마 상태의 세정가스로 변환하는 플라즈마 챔버를 포함하는 오존셀 세정장치; 상기 오존셀 세정장치와 상기 오존 생성장치를 연결하고, 상기 질소 및 산소, 또는 변환된 플라즈마 상태의 세정가스를 공급하는 공급밸브; 상기 공급밸브와 연결되며, 상기 오존셀 세정장치 및 오존 생성장치의 내부를 진공상태로 전환하는 진공펌프; 및 상기 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치가 장착되는 테이블과, 상기 테이블의 하부에 소정 간격 이격되게 구성되며 이송바퀴가 형성된 이송 프레임과, 상기 테이블의 일측에 연결되며 원격 제어부가 장착되는 제어 프레임과, 상기 테이블과 이송 프레임을 연결하도록 제1 및 제2지지 프레임으로 구성되는 지지 프레임을 포함하는 프레임부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 지지 프레임은 상기 테이블의 양측면에 구성되며, 상기 제1 및 제2지지 프레임을 고정시키는 고정부재; 상기 제1 및 제2지지 프레임의 슬라이딩 이동을 가이드 하는 가이드 브라켓; 및 상기 테이블의 길이 방향을 따라 길게 형성되며, 상기 고정부재가 결합되는 이송 지지부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 고정부재는 상기 제1 및 제2지지 프레임 각각의 상단부에 형성되며, 상기 가이드 브라켓에 삽입되는 고정블록과, 상기 고정블록의 축중심으로부터 연장되게 형성되며, 상기 이송 지지부재의 내부로 인입되는 고정축과, 상기 고정축의 단부에 구성되며, 상기 이송 지지부재의 작동 여부에 따라 지지 프레임의 슬라이딩 이동 여부를 제어하는 고정핀으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 공급장치는, 상기 세정용 가스가 저장되는 저장탱크와, 상기 저장탱크와 상기 플라즈마 챔버를 연결하며, 상기 세정용 가스를 공급하는 가스 공급부와, 상기 플라즈마 챔버와 상기 공급밸브를 연결하고, 상기 플라즈마 상태의 세정가스를 상기 공급밸브측으로 공급하는 세정가스 공급부를 더 포함하고, 상기 저장탱크는, 질소 및 산소가 각각 개별적으로 저장되는 질소 저장탱크 및 산소 저장탱크가 더 구성되며, 상기 가스 공급부는, 상기 공급밸브와 연결되어 상기 질소 및 산소, 또는 세정용 가스를 각각 상기 공급밸브측으로 공급하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 플라즈마 챔버는, 상기 공급장치로부터 공급되는 세정용 가스를 플라즈마 상태로 변환하는 가스 변환모듈과, 상기 공급장치와 연결되고, 상기 세정용 가스와 플라즈마 상태의 가스를 상기 공급밸브로 공급하는 가스 공급배관과, 상기 세정용 가스의 공급량, 상기 플라즈마 상태의 가스의 공급량을 측정하고, 측정된 공급량에 대한 수치를 표시하는 계측장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 오존 생성장치는, 복수개의 오존셀; 오존 생성장치의 구동을 제어하는 제어기판이 구성되고, 오존 생성을 위한 정보입력 및 입력된 정보의 표시 및 알람이 이루어지는 전면 컨트롤패널; 후방부에 형성되며, 오존 생성을 위해 산소 및 질소의 공급이 이루어지도록 구성되며, 생성된 오존을 사용처로 공급하는 후면 컨트롤 패널;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 전면 컨트롤 패널은 질소 및 산소의 공급량에 대한 수치 데이터의 입력 및 표시가 이루어지는 전면 표시창; 오존의 생성 여부 및 오류 정보를 점등의 형태로 알람하는 알람등; 상기 오존셀로 공급되는 산소의 공급량 및 공급 압력을 조절하는 산소 흐름 제어부; 및 상기 오존 생성장치 및 오존셀로 전원을 공급하는 전원 공급부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명의 실시예에 의하면, 오존 생성장치의 높낮이 및 위치 이동이 자유롭게 이루어지도록 함으로써, 사용처에 따라 다양한 위치에서 오존 산소의 공급 및 셀의 세정이 가능한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 셀의 세정을 위해 오존 생성장치의 분해 및 조립 과정을 동반하지 않고, 셀의 교체 작업을 수행하지 않아도 됨에 따라 세정작업의 편의성을 향상시킬 뿐만 아니라, 오존 생성장치의 유지 보수 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
더불어, 본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시 형태를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치를 개략적으로 나타낸 정면도 및 배면도,
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임부를 나타낸 도면,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임부의 제어 프레임의 높이 조절 구조를 나타낸 도면,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 생성장치를 나타낸 도면,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 생성장치의 외면을 나타낸 확대도면,
도 8 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 생성장치의 셀 구조를 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속" 된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치를 개략적으로 나타낸 정면도 및 배면도, 도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임부를 나타낸 도면, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임부의 제어 프레임의 높이 조절 구조를 나타낸 도면, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 생성장치를 나타낸 도면, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 생성장치의 외면을 나타낸 확대도면, 도 8 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 생성장치의 셀 구조를 나타낸 도면이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치는 프레임부(100), 오존 생성장치(200), 오존셀 세정장치(300) 및 원격 제어부(400)를 포함하여 구성된다.
프레임부(100)는 오존 생성장치(200) 및 오존셀 세정장치(300)가 장착되며, 오존산소가 필요한 위치로 상기 오존 생성장치(200)를 이송하여 오존산소의 공급이 이루어지도록 하고, 오존 생성장치(200)의 내부에 구성되는 오존셀(202)의 세정이 이루어지도록 오존셀 세정장치(300)의 구동을 지지하도록 하는 한편, 일측으로 원격 제어장치(500)가 장착되어 상기 오존 생성장치(200) 및 오존셀 세정장치(300)의 구동의 제어가 이루어지도록 하는 구성요소이다.
이러한 프레임부(100)는 테이블(102), 이송 프레임(104), 고정 브라켓(106) 및 이송 손잡이(108)를 포함하여 구성된다.
이송 프레임(104)은 본 발명의 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치의 하중을 지지하는 한편, 원활한 이송이 이루어질 수 있도록 이송바퀴(104a)가 형성된다.
이러한 이송 프레임(104)에는 상기 지지 프레임(110)이 슬라이딩 이동이 이루어지도록 구성되는 경우, 상기 고정부재(120), 가이드 브라켓(140) 및 이송 지지부재(150)가 더 구성됨이 바람직하다.
고정 브라켓(106)은 테이블(102)의 하부면에 고정 결합되며, 후술할 오존셀 세정장치(400)의 공급장치(410)가 테이블(102)의 하부면에 위치하도록 구성된다.
테이블(102)은 상부면으로 오존 생성장치(200) 및 오존셀 세정장치(300)가 장착된다.
또한 테이블(102)은 전방으로 오존 생성장치(200) 및 오존셀 세정장치(300)를 이송하기 위해 작업자가 파지하는 이송 손잡이(108)가 결합되고, 이에 대응되는 후방부에는 원격 제어부(500)가 장착되는 제어 프레임(130)이 결합된다.
여기서, 제어 프레임(130)은 테이블(102)의 후방부 중앙에 분리 가능하게 결합되고, 원격 제어부(500)의 높이 조절이 이루어지도록 지지하는 조절 브라켓(138)과, 조절 브라켓(138)에 승하강 작동이 이루어지도록 결합되는 조절봉(136)과, 조절봉(136)의 상단부에 고정 결합되는 탈착부재(134)와, 탈착부재(134)의 끝단부에 결합되고, 원격 제어부(500)가 거치되는 받침판(132)을 포함하여 구성된다.
이러한 제어 프레임(130)에는 조절 브라켓(138)에 나사 체결 방식으로 체결되어 조절 브라켓(138)과의 체결 여부에 따라 조절봉(136)의 승하강 작동이 이루어지도록 하는 조절 손잡이(135)가 구성된다.
아울러, 탈착부재(134)는 조정볼(136)의 상측 끝단부에 수직하게 결합이 이루어지며, 끝단부로 받침판(132)이 고정 결합된다.
받침판(132)은 원격 제어부(500)가 거치되는 상부 받침판 및 상기 상부 받침판이 체결되는 하부 받침판으로 이루어지며 고정 스크류 등을 통해 상기 상부 받침판이 하부 받침판에 체결되게 구성되고, 상기 상부 받침판이 하부 받침판에 체결되는 위치에 따라 길이 조절이 이루어지도록 구성될 수 있다.
또한, 테이블(102)의 양측으로는 지지 프레임(110)의 상부가 결합되어 상기 지지 프레임(110)에 의해 이송 프레임(104)과 연결이 이루어지도록 구성된다.
이때, 지지 프레임(110)은 상단부가 테이블(102)의 양측면과 결합되고, 하단부가 이송 프레임(104)의 양측면에 결합되어 상기 테이블(102)과 이송 프레임(104)을 연결하는 한편, 테이블(102)의 하중을 지지하는 역할을 하는 구성요소이다.
이러한 지지 프레임(110)은 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)으로 구성되며, 상기 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)이 서로 교차되는 형태를 이루도록 구성되며, 중앙부에 상기 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)이 서로 연결되게 구성될 수 있도록 결합수단(116)이 구성된다.
또한, 지지 프레임(110)의 상단부에는 테이블(102)의 양측면에 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)을 고정시키는 고정부재(120)가 구성된다.
이와 같은 지지 프레임(110)은 도 4에 도시된 바와 같이, 테이블(102)의 높낮이 조절이 가능하도록 상기 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)의 상단부가 테이블(102)의 길이 방향으로 이동이 이루어지되, 서로 반대되는 방향으로 슬라이딩 이동이 이루어지면서 테이블(102)의 높낮이를 조절할 수 있도록 구성될 수 있을 것이다.
이때, 상기 테이블(102)에는 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)의 슬라이딩 이동을 가이드 하는 가이드 브라켓(140) 및 이송 지지부재(150)가 더 구성되고, 상기 고정부재(120)의 작동 여부에 따라 지지 프레임(110)의 슬라이딩 이동이 이루어지도록 구성된다.
여기서, 고정부재(120)는 제1 및 제2지지 프레임(112, 114) 각각의 상단부에 형성되며, 가이드 브라켓(140)에 삽입되는 고정블록(124)과, 상기 고정블록(124)의 축중심으로부터 연장되게 형성되며, 테이블(102)을 관통하여 이송 지지부재(150)의 내부로 인입되는 고정축(126) 및 상기 고정축(126)의 단부에 구성되며, 이송 지지부재(150)의 작동 여부에 따라 지지 프레임(110)의 슬라이딩 이동 여부를 제어하는 고정핀(122)으로 구성된다.
가이드 브라켓(140)은 테이블(102)의 양측부 내면에 형성되며, 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)의 상단부에 구성되는 고정블럭(124)이 삽입되도록 구성되고, 상기 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)의 슬라이딩 이동을 지지하는 구성요소이다.
이러한 가이드 브라켓(140)은 상기 고정블럭(124)이 삽입되며, 지지 프레임(110)의 슬라이딩 이동을 지지하는 위치 가변홈(142)과, 고정축(126)이 관통하며, 지지 프레임(110)의 슬라이딩 이동을 안내하는 가이드공(144)이 형성된다.
즉, 상기 고정블럭(124) 및 고정축(126)은 가이드 브라켓(140)에 형성된 위치 가변홈(142) 및 가이드공(144)을 따라 테이블(102)의 길이 방향으로 슬라이딩 이동이 이루어지도록 구성되는 것이다.
한편, 이송 지지부재(150)는 테이블(102)의 길이 방향을 따라 길게 형성되고, 전원의 인가 여부에 따라 고정핀(122)과 자화가 이루어지도록 구성되는 자화수단(154)이 내장되게 구성된다.
여기서, 이송 지지부재(150)는 원격 제어부(500)를 통해 자화수단(154)의 자화 여부가 이루어지도록 제어되도록 구성되고, 상기 자화수단(154)과 고정핀(122)의 자화시 지지 프레임(110)의 슬라이딩 이동을 제한하고, 비자화시에만 상기 지지 프레임의 슬라이딩 이동이 이루어지도록 함으로써, 테이블(102)의 안정적인 높낮이 조절이 이루어지도록 할 수 있다.
이때, 상기 결합수단(116)은 상기 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)의 회전 작동을 지지할 수 있도록 구성될 수 있으며, 통상의 고정볼트 및 와셔에 의해 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)의 회전 결합이 이루어지도록 구성될 수 있으며, 제1 및 제2지지 프레임(112, 114) 사이에 베어링이 더 구비될 수도 있을 것이다.
오존 생성장치(200)는 내부에 복수개의 오존셀(202)을 구비하고, 오존 생성장치(200)의 구동을 제어하는 제어기판(204)과, 상기 제어기판(204)과 연결되며, 오존 생성을 위한 각종 정보의 입력 및 입력된 정보의 표시가 이루어지는 전면 컨트롤패널(260)과, 후방부에 형성되며, 오존 생성을 위해 산소 및 질소의 공급이 이루어지도록 구성되며, 생성된 오존을 사용처로 공급하는 후면 컨트롤 패널(206)을 포함하여 구성된다.
이러한 오존 생성장치(200)는 후면 컨트롤 패널(206)과 연결되어 일정량의 산소 및 질소를 공급하는 산소 및 질소 공급탱크가 더 구성된다.
여기서, 후면 컨트롤 패널(206)은 전면 컨트롤 패널(260) 및 원격 제어부(500)와 각각 데이터 송수신이 이루어지도록 하는 통신부(210)가 구성된다. 또한 후면 컨트롤 패널(206)은 산소 및 질소 공급탱크와 각각 연결되며, 전면 컨트롤 패널(260)의 제어에 따라 일정량의 산소를 오존셀(202)측으로 공급하는 산소 공급부(230) 및 질소 공급부(220)와, 상기 산소 공급부(230) 및 질소 공급부(220)로 공급되는 산소와 질소의 공급 압력을 설정된 공급압력으로 공급이 이루어지도록 하는 산소 레귤레이터(232) 및 질소 레귤레이터(222)가 각각 구성된다.
이때, 상기 산소 및 질소 레귤레이터(232, 222)는 전면 컨트롤 패널(260)로부터 전송되는 산소 및 질소의 공급 압력에 따라 공급이 이루어지도록 한다.
또한, 후면 컨트롤 패널(206)에는 오존셀(202)로부터 생성된 오존을 사용처로 공급이 이루어지도록 오존 공급배관과 연결되는 오존 공급부(240)가 구성되며, 상기 산소 및 질소의 공급 압력, 생성된 오존의 공급 압력을 표시하는 다수개의 압력 게이지(250)가 더 구성된다.
또한, 후면 컨트롤 패널(206)에는 오존 생성을 위해 내부에 발생된 열을 냉각시키는 냉각수단(302)으로 냉각수를 공급하거나, 오존셀(202)을 냉각시킨 냉각수를 배출하는 냉각수 공급 및 배출부(212, 214)가 형성된다.
아울러, 전면 컨트롤 패널(260)은 오존 생성장치(200)로 전원 공급 여부를 제어하고, 오존의 생성 여부에 대한 알람이 이루어지도록 구성되며, 오존 생성 조건 데이터 및 오존 농도 설정 데이터 등의 입력 및 표시가 이루어지도록 구성된다.
이와 같은 전면 컨트롤 패널(260)은 각종 수치 데이터의 입력 및 표시가 이루어지는 전면 표시창(270)과, 오존의 생성 여부 및 오류 정보 등을 점등의 형태로 알람하는 알람등(264), 오존셀(202)로 공급되는 산소의 공급량 및 공급 압력을 조절하는 산소 흐름 제어부(280) 및 오존 생성장치(200) 및 오존셀(202)로 소정의 전원을 공급하는 전원 공급부(290)를 포함하여 구성된다.
여기서, 전면 표시창(270)은 전면 컨트롤 패널(260)에 구성된 각종 스위치 및 버튼들의 잠금 상태 정보를표시하는 록킹 표시부(271)와, 오존 생성장치(200)의 구동을 위한 각종 메뉴들의 선택이 이루어지도록 하고, 원격 제어, 또는 로컬 제어의 선택이 이루어지도록 구성되는 메뉴 선택부(272)와, 상기 메뉴 선택부(272)의 선택에 따라 로컬 제어, 또는 원격 제어 모드를 표시하는 제어상태 표시부(273)와, 오존셀(202)로 공급되는 전원의 공급 상태를 표시하는 전원 상태 표시부(274)와, 오존셀(202)로부터 생성되는 오존의 상태 정보 및 농도 정보 등을 표시하며, 오존 생성장치(200)의 오작동에 대한 비상 경보를 표시하는 오존 상태 표시부(275) 및 오존셀(202)의 작동 상태 메세지를 표시하는 디스플레이부(276)를 포함하여 구성된다.
한편, 본 발명의 오존셀(202)은 복수개로 구성되며, 오존 생성장치(200)의 내부에 수직한 방향으로 소정 간격 이격되게 배치된다. 오존셀(202)은 두 개의 전극으로 형성된 캐패시터로 작용되며, 질소 공급부(220) 및 산소 공급부(230)로부터 공급된 질소 및 산소가 전극 사이로 흐르면, 전극 사이로 전기 방전이 일어나고, 광화학 및 전자효과로 인해 이온이 형성된다. 그리고, 전기 방전의 확산 결과로 오존의 생성이 이루어지도록 구성된다.
이러한 오존셀(202)은 도 8 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 하부셀(310) 및 상부셀(340)로 이루어지며, 상기 하부셀(310) 및 상부셀(340)에는 냉각수의 유입 및 배출이 이루어지는 냉각수 유입관(304) 및 냉각수 배출관(306)이 각각 구성되고, 생성된 오존을 오존 공급부(240)로 이송하는 오존 이송관(308)이 구성된다.
여기서, 하부셀(310)은 외주면으로 냉각수 유입관(304), 냉각수 배출관(306) 및 오존 이송관(308)이 각각 소정 간격 이격되게 구성되는 하부 플레이트(312)가 구성되고, 하부 플레이트(312)의 상부면으로 복수의 에폭시 패널(320) 및 세라믹 패널(330)이 적층 구성된다.
이때, 에폭시 패널(320) 및 세라믹 패널(330)은 하부 플레이트(312)의 상부로 순차적으로 적층이 이루어지도록 구성되며, 최상단에는 세라믹 패널(300)이 위치하도록 구성된다.
상부셀(340)은 하부셀(310)과 마찬가지로 외주면으로 냉각수 유입관(304), 냉각수 배출관(306) 및 오존 이송관(308)이 각각 소정 간격 이격되게 구성되는 상부 플레이트(342)가 구성되고, 상부 플레이트(342)의 상부면으로 에폭시 패널(320) 및 텅스텐 패널이 적층되게 구성된다.
한편, 본 발명의 오존 생성장치(200)에는 그 상부면으로 오존셀(202)의 세정 후 배출되는 오염된 플라즈마 상태의 가스를 배기하는 스크러버(205)가 더 구성됨이 바람직하다. 스크러버(205)는 오염된 플라즈마 상태의 가스를 연소한 후 배기가 이루어지도록 구성된다.
오존셀 세정장치(400)는 오존 생성장치(200)의 내부로 플라즈마 상태의 세정가스를 공급하여 오존셀(202)의 세정이 이루어지도록 구성되는 것으로, 장기간 이용된 오존셀(202)의 교체 작업을 수행하지 않고, 세정이 가능하도록 구성됨에 따라 오존 생성장치(200)의 관리가 매우 용이하게 이루어지도록 한다.
이때, 오존셀(202)은 장기간 사용에 따라 내부 특성의 변화로 인해 같은 농도의 오존 생성시 더욱 높은 전력이 소모된다. 이에 본 발명은 일정 주기에 따라 오존 생성장치(200)에 내장되는 오존셀(202)을 세정하여 오존셀(202)의 내부에 발생하는 침전물을 제거함으로써, 오존셀(202)의 교체 작업이 불필요 하고, 이에 따라 오존 생성장치(200)의 관리 비용을 절감할 수 있을 것이다.
이러한 오존셀 세정장치(400)는 공급장치(410), 공급밸브(420), 진공펌프(430), 플라즈마 챔버(440) 및 계측장치(450)를 포함하여 구성된다.
공급장치(410)는 오존셀(202)의 세정을 위한 세정용 가스가 저장되며, 저장된 세정용 가스를 플라즈마 챔버(440)로 공급이 이루어지도록 상기 플라즈마 챔버(440)와 연결되게 구성된다.
공급장치(410)는 세정가스는 NF3, F2, COF2, C3F8, C4F8 등의 불소(F)가 포함된 가스 중 하나로 이루어진 세정용 가스가 저장되는 저장탱크(412)와, 저장탱크(412)의 일측에 구성되며, 플라즈마 챔버(440)로 세정용 가스를 공급하는 가스 공급부(414)와, 플라즈마 챔버(440)와 연결되게 구성되며, 플라즈마 상태로 변환된 세정가스를 오존셀(202)측으로 공급하여 세정이 이루어지도록 하는 세정가스 공급부(416)로 구성된다.
여기서, 본 발명의 저장탱크(412)는 상기 오존 생성장치(200)로 산소 및 질소를 공급하는 산소 공급탱크와 질소 공급탱크가 더 구비되어 오존 생성시 일정량의 산소 및 질소를 공급하도록 구성될 수 있다. 즉, 본 발명의 저장탱크(412)는 산소, 질소 및 세정가스와 같은 각각의 매체들이 저장되는 다수개의 탱크로 구성되는 것이다.
또한, 가스 공급부(414)는 저장탱크(412) 중 세정용 가스가 저장된 가스 저장탱크와 플라즈마 챔버(440)에 구성되는 가스 변환모듈(442)를 연결하여 세정용 가스가 가스 변환모듈(442)로 이송되어 플라즈마 상태의 가스로 변환이 이루어지도록 한다.
이러한 가스 공급부(414)는 상단부가 가스 공급배관(444)과 연결되고, 하단부가 공급밸브(420)와 연결되게 구성된다.
또한, 세정가스 공급부(416)는 가스 변환모듈(442)로부터 변환된 플라즈마 상태의 가스를 오존 생성장치(200)측으로 공급하여 오존셀(202)의 세정이 이루어지도록 한다.
이러한 세정가스 공급부(416)는 상단부가 가스 공급배관(444)과 연결되고, 하단부가 공급밸브(420)와 연결되게 구성된다.
이러한 공급장치(410)는 원격 제어부(500)의 제어에 따라 상기 세정용 가스 및 플라즈마 상태의 가스의 공급량이 제어되도록 구성됨이 바람직하나, 이에 한정하는 것은 아니다.
공급밸브(420)는 공급장치(410)와 오존 생성장치(200)를 연결하고, 오존 생성장치(200)의 전면 컨트롤 패널(260), 또는 원격 제어부(500)의 제어에 따라 상기 오존 생성장치(200)로 공급되는 산소, 질소 및 플라즈마 상태의 가스와 같은 매체들에 대한 공급량을 조절하는 구성요소이다.
이러한 공급밸브(420)는 공급장치(410)의 가스 공급부(414) 및 세정가스 공급부(416)와 각각 연결되게 구성된다. 또한, 공급밸브(420)는 각각의 매체들을 오존 생성장치(200)로 공급 및 이송하는 이송라인이 더 구성된다.
진공펌프(430)는 전면 컨트롤 패널(260), 또는 원격 제어부(500)의 제어에 따라 오존 생성장치(200) 및 플라즈마 챔버(440)가 진공상태를 이루도록 하는 구성요소이다.
플라즈마 챔버(440)는 공급장치(410)로부터 공급되는 세정용 가스를 플라즈마 상태로 변환하는 가스 변환모듈(442)과, 가스 공급부(414) 및 세정가스 공급부(416)와 각각 연결되게 구성되고, 세정용 가스와 가스 변환모듈(442)로부터 변환된 플라즈마 상태의 가스를 공급 및 이송하는 가스 공급배관(414)으로 구성된다.
이때, 가스 변환모듈(442)은 세정용 가스의 변환시 진공펌프(430)에 의해 내부 공간이 진공 상태로 이루어진 후 변환이 이루어지도록 구성된다.
또한, 가스 공급배관(414)은 가스 공급부(414)와 가스 변환모듈(442)을 연결하고, 가스 변환모듈(442)과 세정가스 공급부(416)를 연결하는 이중관 형태로 이루어질 수 있다.
즉, 세정용 가스의 공급시에는 세정가스 공급부(416)와의 연결을 차단하고, 플라즈마 상태의 가스를 공급하는 경우에는 가스 공급부(414)와의 연결을 차단하여 각각의 매체들이 서로 혼합되지 않도록 구성되는 것이다.
계측장치(450)는 가스 변환모듈(442)측으로 공급되는 세정용 가스의 공급량, 플라즈마 상태의 가스의 공급량을 측정하고, 측정된 공급량에 대한 수치를 표시하는 장치이다.
이러한 계측장치(452)는 공급량 수치를 표시하는 계측정보 표시부(452)를 구성함이 바람직하다.
원격 제어부(500)는 제어 프레임(130) 상에 구성되며, 오존 생성장치(200) 및 오존셀 세정장치(400)와 연동되어 각각의 장치들에 대한 구동을 제어하는 것으로, 전면 컨트롤패널(260)로부터 원격 제어신호가 전송되는 경우, 오존 생성장치(200)의 산소 및 실조의 공급량, 공급압력을 제어할 수 있으며, 오존셀(202)의 전원 인가 여부를 제어한다.
원격 제어부(500)는 오존셀 세정장치(400)의 세정주기와 세정용 가스 및 플라즈마 상태의 가스에 대한 공급량 등을 제어한다. 이를 위해 원격 제어부(500)는 공급밸브(420) 및 가스 공급배관(444)의 개폐를 조절하도록 제어한다.
또한, 원격 제어부(500)는 플라즈마 챔버(440)에서 발생된 플라즈마 상태의 가스가 오존 생성장치(200)로 공급되는 공급시기와 공급량을 제어한다. 이를 위해 원격 제어부(500)는 전면 컨트롤 패널(260)과 통신부(210)를 통해 데이터 송수신이 이루어지도록 구성된다.
또한, 원격 제어부(500)는 전면 컨트롤 패널(260)을 통해 오존셀(202)과 접촉하여 오염된 플라즈마 세정가스가 외부로 배기되도록 한다. 그리고, 스크러버(206)의 연소온도를 조절하여 유해물질이 소각되도록 한다.
이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 하며, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다.
또한, 이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 프레임부 110: 지지 프레임
120: 고정부재 130: 제어 프레임
140; 가이드 브라켓 150: 이송 지지부재
200: 오존 생성장치 202: 오존셀
210: 통신부 220: 질소 공급부
230: 산소 공급부 240: 오존 공급부
250: 압력 게이지 260: 전면 컨트롤 패널
270: 전면 표시창 280: 산소 흐름 제어부
290: 전원 공급부 310: 하부셀
340: 상부셀 400: 오존셀 세정장치
410: 공급장치 420: 공급밸브
430: 진공펌프 440: 플라즈마 챔버
450: 계측장치 500: 원격 제어부

Claims (7)

  1. 내부에 하부셀 및 상부셀로 구성되는 복수개의 오존셀을 구비하고, 질소 및 산소 공급시 오존을 생성하는 오존 생성장치;
    상기 오존셀의 세정을 위한 세정용 가스가 저장되는 공급장치와, 상기 공급장치로부터 상기 세정용 가스를 공급받고, 공급된 세정용 가스를 플라즈마 상태의 세정가스로 변환하는 플라즈마 챔버를 포함하는 오존셀 세정장치;
    상기 오존셀 세정장치와 상기 오존 생성장치를 연결하고, 상기 질소 및 산소, 또는 변환된 플라즈마 상태의 세정가스를 공급하는 공급밸브;
    상기 공급밸브와 연결되며, 상기 오존셀 세정장치 및 오존 생성장치의 내부를 진공상태로 전환하는 진공펌프; 및
    상기 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치가 장착되는 테이블과, 상기 테이블의 하부에 소정 간격 이격되게 구성되며 이송바퀴가 형성된 이송 프레임과, 상기 테이블의 일측에 연결되며 원격 제어부가 장착되는 제어 프레임과, 상기 테이블과 이송 프레임을 연결하도록 제1 및 제2지지 프레임으로 구성되는 지지 프레임을 포함하는 프레임부;를 포함하고,
    상기 지지 프레임은
    상기 테이블의 양측면에 구성되며, 상기 제1 및 제2지지 프레임을 고정시키는 고정부재;
    상기 제1 및 제2지지 프레임의 슬라이딩 이동을 가이드 하는 가이드 브라켓; 및
    상기 테이블의 길이 방향을 따라 길게 형성되며, 상기 고정부재가 결합되는 이송 지지부재;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 고정부재는
    상기 제1 및 제2지지 프레임 각각의 상단부에 형성되며, 상기 가이드 브라켓에 삽입되는 고정블록과,
    상기 고정블록의 축중심으로부터 연장되게 형성되며, 상기 이송 지지부재의 내부로 인입되는 고정축과,
    상기 고정축의 단부에 구성되며, 상기 이송 지지부재의 작동 여부에 따라 지지 프레임의 슬라이딩 이동 여부를 제어하는 고정핀
    으로 구성되는 것을 특징으로 하는 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 공급장치는,
    상기 세정용 가스가 저장되는 저장탱크와, 상기 저장탱크와 상기 플라즈마 챔버를 연결하며, 상기 세정용 가스를 공급하는 가스 공급부와, 상기 플라즈마 챔버와 상기 공급밸브를 연결하고, 상기 플라즈마 상태의 세정가스를 상기 공급밸브측으로 공급하는 세정가스 공급부를 더 포함하고,
    상기 저장탱크는, 질소 및 산소가 각각 개별적으로 저장되는 질소 저장탱크 및 산소 저장탱크가 더 구성되며,
    상기 가스 공급부는, 상기 공급밸브와 연결되어 상기 질소 및 산소, 또는 세정용 가스를 각각 상기 공급밸브측으로 공급하는 것을 특징으로 하는 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 플라즈마 챔버는,
    상기 공급장치로부터 공급되는 세정용 가스를 플라즈마 상태로 변환하는 가스 변환모듈과,
    상기 공급장치와 연결되고, 상기 세정용 가스와 플라즈마 상태의 가스를 상기 공급밸브로 공급하는 가스 공급배관과,
    상기 세정용 가스의 공급량, 상기 플라즈마 상태의 가스의 공급량을 측정하고, 측정된 공급량에 대한 수치를 표시하는 계측장치
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 오존 생성장치는,
    복수개의 오존셀;
    오존 생성장치의 구동을 제어하는 제어기판이 구성되고, 오존 생성을 위한 정보입력 및 입력된 정보의 표시 및 알람이 이루어지는 전면 컨트롤패널;
    후방부에 형성되며, 오존 생성을 위해 산소 및 질소의 공급이 이루어지도록 구성되며, 생성된 오존을 사용처로 공급하는 후면 컨트롤 패널;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 전면 컨트롤 패널은
    질소 및 산소의 공급량에 대한 수치 데이터의 입력 및 표시가 이루어지는 전면 표시창;
    오존의 생성 여부 및 오류 정보를 점등의 형태로 알람하는 알람등;
    상기 오존셀로 공급되는 산소의 공급량 및 공급 압력을 조절하는 산소 흐름 제어부; 및
    상기 오존 생성장치 및 오존셀로 전원을 공급하는 전원 공급부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001139307A (ja) 1999-11-09 2001-05-22 Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti オゾン生成装置
KR101283427B1 (ko) * 2009-11-30 2013-07-08 (주)에이알케이 오존처리설비용 배기산소 재활용 장치 및 이를 구비한 오존이용 시스템
JP2016144792A (ja) 2015-02-09 2016-08-12 株式会社総研開発 二酸化炭素を光分解して炭化水素を製造する方法及び製造装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE9502339D0 (sv) 1995-06-28 1995-06-28 Jan Arlemark Anordning för generering av ozon i gasfas
US6274058B1 (en) * 1997-07-11 2001-08-14 Applied Materials, Inc. Remote plasma cleaning method for processing chambers
KR20160125684A (ko) * 2015-04-22 2016-11-01 (주)에코테크놀로지 오존생성장치 세정시스템

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001139307A (ja) 1999-11-09 2001-05-22 Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti オゾン生成装置
KR101283427B1 (ko) * 2009-11-30 2013-07-08 (주)에이알케이 오존처리설비용 배기산소 재활용 장치 및 이를 구비한 오존이용 시스템
JP2016144792A (ja) 2015-02-09 2016-08-12 株式会社総研開発 二酸化炭素を光分解して炭化水素を製造する方法及び製造装置

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