KR102162458B1 - 용액 전단 코팅 장치 - Google Patents

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김정수
곽선우
문희광
윤성만
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주식회사 펨스
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C17/00—Hand tools or apparatus using hand held tools, for applying liquids or other fluent materials to, for spreading applied liquids or other fluent materials on, or for partially removing applied liquids or other fluent materials from, surfaces

Abstract

본 발명의 목적은 용액의 특정 양에 제한되지 않고, 바텀 기재에 용액을 연속적으로 코팅할 수 있게 하는 용액 전단 코팅 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 용액 전단 코팅 장치는, 바텀 기재(bottom substrate)가 놓여지는 베이스, 및 상기 바텀 기재 상에 공급되는 용액에 용액 전단력을 설정하여 코팅하는 전단 플레이트(shearing plate)를 포함하며, 상기 전단 플레이트는 상기 용액을 수용하는 수용 챔버, 및 상기 수용 챔버를 관통하여 상기 용액을 상기 바텀 기재에 공급하는 공급 홀을 구비한다.

Description

용액 전단 코팅 장치 {SOLUTION SHEARING COATING DEVICE}
본 발명은 용액 전단 코팅 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 용액의 연속적인 코팅을 가능하게 하는 용액 전단 코팅 장치에 관한 것이다.
알려진 바에 따르면, 용액 전단(solution shearing) 코팅 장치는 바텀 기재(bottom substrate)가 놓여지는 베이스, 및 바텀 기재 상에 1회 공급되는 용액 상에 구비되는 전단 플레이트(shearing plate)를 포함하며, 바텀 기재 및 베이스에 대한 전단 플레이트의 상대적 진행으로 용액을 바텀 기재에 박막(thin film)으로 전단 코팅하도록 구성된다.
바텀 기재는 용액이 코팅되는 평면을 제공하고, 전단 플레이트는 용액 상에서 설정된 각도로 경사지게 배치된다. 이 상태에서 바텀 기재 및 베이스와 전단 플레이트의 상대적 이동에 의하여, 전단 플레이트에 부착된 용액에 작용하는 전단력과 용액의 매니스커스(meniscus)에 의하여, 용액이 바텀 기재에 전단 코팅된다.
일례로써, 바텀 기재에 스트라이프 모양으로 용액을 박막으로 전단 코팅하기 위하여, 전단 플레이트는 설정된 폭을 가지는 복수의 블레이드들을 구비한다. 즉 전단 플레이트는 블레이드의 폭 방향(전단 코팅 방향에 교차하는 방향)을 따라 연속적으로 배치되는 복수의 블레이드들을 구비한다.
전단 플레이트는 복수의 블레이드들을 형성하도록 폭 방향에서 설정된 간격으로 배치되어, 전단 코팅 방향으로 절개되는 절개부들을 구비하며, 절개부들이 시작 되는 부분에서 복수의 블레이드들을 일체부로 연결하여 형성된다.
전단 플레이트에서, 블레이드들은 단순히 평판으로 형성되므로 바텀 기재에 용액을 1회 공급하고, 용액을 사이에 두고 전달 플레이트와 바텀 기재 및 베이스의 상대 이동으로 바텀 기재에 용액을 스트라이프 구조로 형성할 수 있다.
이때, 전단 플레이트는 별도의 용액 공급 구조를 갖지 않으므로 바텀 기재에 1회 공급된 용액 양에 한정하여 코팅할 수 있다. 즉 이러한 전단 플레이트는 용액을 바텀 기재에 연속적으로 코팅하는 것을 어렵게 한다.
본 발명의 목적은 용액의 특정 양에 제한되지 않고, 바텀 기재에 용액을 연속적으로 코팅할 수 있게 하는 용액 전단 코팅 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은 용액의 연속적인 전단 코팅으로 생산성을 향상시키는 용액 전단 코팅 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 용액 전단 코팅 장치는, 바텀 기재(bottom substrate)가 놓여지는 베이스, 및 상기 바텀 기재 상에 공급되는 용액에 용액 전단력을 설정하여 코팅하는 전단 플레이트(shearing plate)를 포함하며, 상기 전단 플레이트는 상기 용액을 수용하는 수용 챔버, 및 상기 수용 챔버를 관통하여 상기 용액을 상기 바텀 기재에 공급하는 공급 홀을 구비한다.
상기 베이스와 상기 전단 플레이트는 전단 코팅 방향으로 상대 진행할 수 있다.
상기 전단 플레이트는 공급되는 상기 용액을 사이에 두고 상기 바텀 기재와 높이 방향으로 설정되는 간격(G)으로 이격되며, 상기 바텀 기재와 설정된 각도(θ)를 가질 수 있다.
상기 전단 플레이트는 설정된 폭을 가지고 폭 방향으로 연속적으로 배치되는 복수의 블레이드들, 상기 블레이드들 사이에서 전단 코팅 방향으로 절개되는 절개부, 및 상기 절개부들의 시작부에서 복수의 블레이드들을 연결하는 일체부를 포함할 수 있다.
상기 수용 챔버는 상기 블레이드에서 상기 폭 방향과 상기 폭 방향에 교차하는 길이 방향에 대하여, 설정된 폭과 길이를 가지고, 상기 블레이드에서 두께 방향으로 설정된 깊이를 가지며, 상기 블레이드가 설정된 각도(θ)를 가질 때, 상기 공급 홀은 상기 수용 챔버에서 상기 블레이드의 최하측에 형성될 수 있다.
상기 수용 챔버는 상기 블레이드의 상측에서 넓고 최하측에서 좁아지는 구조로 형성될 수 있다.
상기 베이스는 공급측 지지롤과 회수측 지지롤을 포함하며, 상기 바텀 기재는 상기 공급측 지지롤과 상기 회수측 지지롤에 의하여 전단 코팅의 반대 방향으로 진행되는 띠부재로 형성되며, 상기 전단 플레이트는 상기 공급측 지지롤 상에서 상기 바텀 기재 상에 고정 배치되어, 상기 수용 챔버 내의 용액을 공급 홀로 상기 바텀 기재에 공급하므로 상기 바텀 기재의 진행으로 상기 바텀 기재에 용액을 전단 코팅할 수 있다.
상기 수용 챔버는 상기 공급 홀을 구비하는 공급 챔버, 외부로부터 유입되는 용액을 공급 받는 유입 챔버, 및 상기 유입 챔버로 유입된 용액을 상기 공급 챔버로 공급하도록 상기 공급 챔버와 상기 유입 챔버를 연결하는 모세관을 포함할 수 있다.
상기 전단 플레이트는 용액을 전단 코팅할 때, 상기 바텀 기재와 설정된 각도(θ)를 가지며, 상기 유입 챔버는 용액을 공급하는 용액 탱크에 연결될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예는 전단 플레이트에 수용 챔버를 구비하여 수용 챔버에 용액을 수용하고, 수용 챔버에 공급 홀을 구비하여 수용된 용액을 공급 홀을 통하여 전단 플레이트와 바텀 기재 사이의 바텀 기재에 연속적으로 공급하면서 용액을 전단 코팅할 수 있다. 즉 용액의 특정 양에 제한되지 않고, 용액의 연속적인 전단 코팅으로 생산성이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 용액 전단 코팅 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 용액 전단 코팅 장치를 이용하여 용액을 전단 코팅하는 작동 상태의 부분 단면 사시도이다.
도 3은 도 2의 용액을 전단 코팅하는 상태에서 용액의 매니스커스 상태를 도시한 평면도이다.
도 4는 종래기술에 따라 용액을 전단 코팅하는 상태에서 용액의 매니스커스 상태를 도시한 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 용액 전단 코팅 장치의 사시도이다.
도 6은 도 5의 용액 전단 코팅 장치로 용액을 전단 코팅하는 작동 상태의 사시도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 용액 전단 코팅 장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 용액 전단 코팅 장치를 이용하여 용액을 전단 코팅하는 작동 상태의 부분 단면 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 제1실시예의 용액 전단 코팅 장치(1)는 바텀 기재(bottom substrate)(10)가 놓여지는 베이스(20), 및 전단 플레이트(shearing plate)(30)를 포함한다.
전단 플레이트(30)는 바텀 기재(10) 상에 공급되는 용액(40)에 용액 전단력을 설정하여, 바텀 기재(10)에 용액(40)을 전단 코팅한다. 전단 코팅 시, 바텀 기재(10)는 가열되며, 용액(40)은 바텀 기재(10)에 박막(TF; thin film)으로 전단 코팅된다.
베이스(20)와 전단 플레이트(30)는 전단 코팅 방향으로 상대 진행한다. 예를 들면, 제1실시예에서는 베이스(20) 및 바텀 기재(10)가 고정되고, 전단 플레이트(30)가 전단 코팅 방향(SCD)으로 진행한다. 도시하지 않았으나 베이스 및 바텀 기재가 전단 코팅 방향으로 진행되고, 전단 플레이트가 고정될 수도 있다(도 5 및 도 6 참조).
이에 따라서, 용액(40)은 바텀 기재(10)의 상면에 부착된 부분과 전단 플레이트(30)의 하면에 부착된 부분 사이에서 매니스커스(meniscus)를 형성하면서 전단력을 받게 된다.
즉, 전단 플레이트(30)가 전단 코팅 방향(SCD)으로 진행됨에 따라 전단 플레이트(30) 하면에서 용액(40)이 전단력을 받으면서 바텀 기재(10) 중 최초로 공급된 위치에서부터 전단 코팅 방향(SCD)을 따라 가면서 바텀 기재(10) 상에 박막으로 전단 코팅된다.
일례로써, 전단 플레이트(30)는 용액(40)을 수용하는 수용 챔버(50), 및 수용 챔버(50)의 일측에서 수용 챔버(50)를 관통하여 용액(40)을 수용 챔버(50)에서 바텀 기재(10)로 공급하는 공급 홀(60)을 구비한다.
따라서 수용 챔버(50) 내의 용액(40)은 공급 홀(60)을 통하여 연속적으로 공급된다. 즉 공급 홀(60)는 전단 플레이트(30)의 상면에서 하면으로 용액(40)의 공급을 가능하게 한다. 수용 챔버(50)는 용량의 범위 내에서 용액의 연속적인 공급을 가능하게 한다.
용액(40)을 전단 코팅할 때, 전단 플레이트(30)는 공급되는 용액(40)을 바텀 기재(10)와의 사이에 두고, 바텀 기재(10)와 높이 방향으로 설정되는 간격(G)으로 이격되며, 바텀 기재(10)와 설정된 각도(θ)를 가진다.
일례로써, 각도(θ)는 용액(40)의 점도 및 전단 플레이트(30)의 진행 속도 등에 따라 차이가 있겠지만 용액(40)의 전단 코팅을 위하여 2~10°로 설정될 수 있다.
각도(θ)가 2°미만인 경우, 전단 플레이트(30)와 용액(40)의 부착력이 너무 강하게 되어, 전단 플레이트(30)의 진행에 힘이 많이 들고, 각도(θ)가 10° 초과인 경우, 전단 플레이트(30)와 용액(40)의 부착력이 너무 약하게 되어 전단 플레이트(30)의 진행 중에 전단 플레이트(30)가 용액(40)으로부터 분리될 수 있다.
도 3은 도 2의 용액을 전단 코팅하는 상태에서 용액의 매니스커스 상태를 도시한 평면도이다. 도 1 내지 도 3을 참조하면, 전단 플레이트(30)는 복수의 블레이드들(31), 절개부(32) 및 일체부(33)를 포함한다.
복수의 블레이드들(31)은 각각 설정된 폭(W)을 가지고 폭 방향(x축 방향)으로 연속적으로 배치될 수 있다. 절개부(32)는 이웃하는 블레이드들(31) 사이에서 전단 코팅 방향(SCD)으로 절개 형성된다.
일체부(33)는 절개부들(32)의 시작부에서 복수의 블레이드들(31)을 일체로 연결한다. 즉 전단 진행 방향 전방에 일체부(33)가 배치되고, 후방에 블레이드들(31)이 배치되어, 용액(40)을 전단 코팅한다.
수용 챔버(50)는 블레이드(31) 상에 구비되며, 블레이드(31)에서 폭 방향(x축 방향)과 폭 방향에 교차하는 길이 방향(y축 방향)에 대하여, 설정된 폭(W)과 길이(L)를 가진다.
그리고 수용 챔버(50)는 블레이드(31) 상에서 두께 방향(z축 방향)으로 설정된 깊이(D)를 가진다. 수용 챔버(50)의 폭(W), 길이(L) 및 깊이(D)에 따라 용액(40)의 수용양이 설정된다.
공급 홀(60)은 수용 챔버(50)에서 블레이드(31)의 최하측에 형성된다. 따라서 전단 플레이트(30)가 용액 전단 방향으로 진행하면서 용액(40)을 전단 코팅할 때, 수용 챔버(50) 내의 용액(40)은 공급 홀(60)로 모아지면서 공급된다.
또한, 수용 챔버(50)는 블레이드(31)의 상측에서 넓고 최하측에서 좁아지는 구조로 형성된다. 가장 좁아진 최하측에 공급 홀(60)이 형성되므로 전단 코팅 시, 수용 챔버(50) 내에서 용액(40)의 잔량이 최소화 될 수 있다.
도 3을 참조하면, 수용 챔버(50) 및 공급 홀(60)을 구비하는 전단 플레이트(30)로 용액(40)을 바텀 기재(10)에 전단 코팅하게 되면, 공급 홀(60)로 공급되는 용액(40)은 블레이드(31)와 용액(40)의 접촉부에서 공급 홀(60)을 중심으로 하여 폭 방향(x축 방향)으로 대칭하는 용액의 전단 코팅 라인(SCL), 즉 매니스커스를 형성하게 된다.
공급 홀(60)이 블레이드(31)의 폭 방향(x축 방향) 중간(또는 일측으로 치우친 위치)에 형성되는 경우, 전단 코팅 라인(SCL)은 단위 블레이드(31) 폭(W)의 1/2(또는 비대칭) 크기로 설정되어 공급 홀(60)에서 서로 연결된다.
즉, 전단 코팅 시, 전단 코팅 라인(SCL)은 용액(40)과 전단 플레이트(30) 사이에서 보다 우수한 접착력을 형성 및 유지시킬 수 있다.
도 4는 종래기술에 따라 용액을 전단 코팅하는 상태에서 용액의 매니스커스 상태를 도시한 평면도이다. 도 4를 참조하면, 수용 챔버 및 공급 홀을 구비하지 않은 전단 플레이트(230)로 용액을 바텀 기재(210)에 전단 코팅하게 되면, 전단 플레이트(230)와 바텀 기재(210) 사이에 위치하는 용액은 블레이드(231)와 용액의 접촉부에서 폭 방향(x축 방향)으로 하나의 전단 코팅 라인(SCL2), 즉 매니스커스를 형성하게 된다.
즉 공급 홀이 블레이드(231)의 폭 방향(x축 방향) 중간에 형성되어 있지 않는 경우, 전단 코팅 라인(SCL2)은 단위 블레이드(231) 폭(W)의 크기로 설정된다. 즉 전단 코팅 시, 전단 코팅 라인(SCL2)은 용액과 전단 플레이트(230) 사이에서, 제1실시예와 비교할 때, 낮은 접착력이 형성 및 유지시킬 수 있다.
따라서 수용 챔버(50) 및 공급 홀(60)을 구비하는 제1실시예의 전단 플레이트(30)는 수용 챔버 및 공급 홀을 구비하지 않는 종래기술의 전단 플레이트(230)에 비하여, 보다 안정된 용액(40)의 전단 코팅을 가능하게 한다.
제1실시예의 전단 플레이트(30)는 수용 챔버(50) 및 공급 홀(60)을 구비하여 용액을 전단 플레이트(30)와 바텀 기재(10) 사이의 바텀 기재(10)에 연속적으로 공급하면서 용액을 전단 코팅할 수 있게 한다. 따라서 제1실시예는 용액(40)의 특정 양에 제한되지 않고, 용액(40)의 연속적인 전단 코팅을 구현한다. 즉 전단 코팅의 생산성이 향상된다.
이하에서 본 발명의 제2실시예에 대하여 설명한다. 제1실시예와 비교하여 동일한 구성을 생략하고 서로 다른 구성에 대하여 설명한다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 용액 전단 코팅 장치의 사시도이고, 도 6은 도 5의 용액 전단 코팅 장치로 용액을 전단 코팅하는 작동 상태의 사시도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 제2실시예의 용액 전단 코팅 장치(2)에서, 베이스(320)는 공급측 지지롤(321)과 회수측 지지롤(322)을 포함한다. 바텀 기재(210)는 공급측 지지롤(321)과 회수측 지지롤(322)의 구동 및 지지에 의하여 전단 코팅의 반대 방향으로 진행되는 띠 부재로 형성된다.
전단 플레이트(330)는 공급측 지지롤(321) 상에서 바텀 기재(210) 상에 설정된 각도(θ)로 고정 배치된다. 전단 플레이트(330)는 수용 챔버(350) 내의 용액(340)을 공급 홀(360)로 바텀 기재(210)에 공급하므로 바텀 기재(210)의 진행으로 바텀 기재(210)에 용액(340)을 전단 코팅한다.
일례로써, 수용 챔버(350)는 공급 챔버(351), 유입 챔버(352) 및 모세관(353)을 포함한다. 모세관(353)은 전단 플레이트(330) 상에서 공급 챔버(351)와 유입 챔버(352)를 연결한다.
공급 챔버(351)는 공급 홀(360)을 구비하고, 유입 챔버(352)는 외부로부터 용액을 유입하며, 모세관(353)은 유입 챔버(352)에 유입된 용액을 공급 챔버(351)로 공급한다. 유입 챔버(352)는 용액을 공급하는 용액 탱크(354)에 연결된다.
공급 챔버(351)에서 공급 홀(360)을 통하여 용액(340)이 바텀 기재(210)로 공급되면, 공급 챔버(351)에 모세관(353)으로 연결된 유입 챔버(352)에서 모세관 현상에 의하여 공급 챔버(351)로 용액(340)이 공급된다. 그리고 공급된 용액(340)의 양에 상응하도록 용액 탱크(354)에서 유입 챔버(352)로 용액(340)을 공급하게 된다.
유입 챔버(352)와 용액 탱크(354)는 제1실시예의 수용 챔버(50)에 비하여, 공급할 수 있는 용액의 양을 더욱 증대시킨다. 이 경우, 모세관(353)은 공급 챔버(351)에서 공급 홀(360)을 통하여 용액이 공급되어 전단 코팅 될 때, 공급 챔버(351)에 작용하는 모세관 현상을 유입 챔버(252)에 작용시켜 유입 챔버(352)로 유입되는 용액을 공급 챔버(351)로 원활히 공급될 수 있게 한다.
용액을 전단 코팅할 때, 전단 플레이트(330)는 바텀 기재(310)와 설정된 각도(θ)를 가진다. 제2실시예의 용액 전단 코팅 장치(2)는 롤투롤(roll to roll) 시스템에 적용하여, 제1실시예에서보다 용액의 양에 더욱 제한되지 않고, 용액의 연속적인 전단 코팅을 더욱 구현한다. 즉 전단 코팅의 생산성이 더욱 향상된다.
이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
1, 2: 용액 전단 코팅 장치 10, 210: 바텀 기재(bottom substrate)
20, 320: 베이스 30, 230, 330: 전단 플레이트(shearing plate)
31, 231: 블레이드 32: 절개부
33: 일체부 40, 340: 용액
50, 350: 수용 챔버 60, 360: 공급 홀
321: 공급측 지지롤 322: 회수측 지지롤
351: 공급 챔버 352: 유입 챔버
353: 모세관 G: 간격
D: 깊이 L: 길이
SCD: 전단 코팅 방향 SCL, SCL2: 전단 코팅 라인
W: 폭 θ: 각도

Claims (9)

  1. 바텀 기재(bottom substrate)가 놓여지는 베이스; 및
    상기 바텀 기재 상에 공급되는 용액에 용액 전단력을 설정하여 코팅하는 전단 플레이트(shearing plate)
    를 포함하며,
    상기 전단 플레이트는
    상기 용액을 수용하는 수용 챔버, 및
    상기 수용 챔버를 관통하여 상기 용액을 상기 바텀 기재에 공급하는 공급 홀
    을 구비하고,
    상기 전단 플레이트가 상기 바텀 기재와 2~10°로 설정된 각도(θ)를 가질 때,
    상기 수용 챔버는,
    상기 전단 플레이트의 상측에서 넓고 최하측에서 좁아지는 구조로 형성되고,
    상기 공급 홀은
    상기 수용 챔버에서 상기 전단 플레이트의 최하측에 형성되는
    용액 전단 코팅 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 베이스와 상기 전단 플레이트는
    전단 코팅 방향으로 상대 진행하는
    용액 전단 코팅 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 전단 플레이트는
    공급되는 상기 용액을 사이에 두고 상기 바텀 기재와 높이 방향으로 설정되는 간격(G)으로 이격되는
    용액 전단 코팅 장치.
  4. 바텀 기재(bottom substrate)가 놓여지는 베이스; 및
    상기 바텀 기재 상에 공급되는 용액에 용액 전단력을 설정하여 코팅하는 전단 플레이트(shearing plate)
    를 포함하며,
    상기 전단 플레이트는
    상기 용액을 수용하는 수용 챔버,
    상기 수용 챔버를 관통하여 상기 용액을 상기 바텀 기재에 공급하는 공급 홀,
    설정된 폭을 가지고 폭 방향으로 연속적으로 배치되는 복수의 블레이드들,
    상기 블레이드들 사이에서 전단 코팅 방향으로 절개되는 절개부, 및
    상기 절개부들의 시작부에서 복수의 블레이드들을 연결하는 일체부를
    포함하는 용액 전단 코팅 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 수용 챔버는
    상기 블레이드에서 상기 폭 방향과 상기 폭 방향에 교차하는 길이 방향에 대하여, 설정된 폭(W)과 길이(L)를 가지고,
    상기 블레이드에서 두께 방향으로 설정된 깊이(D)를 가지며,
    상기 블레이드가
    설정된 각도(θ)를 가질 때,
    상기 공급 홀은
    상기 수용 챔버에서 상기 블레이드의 최하측에 형성되는
    용액 전단 코팅 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 수용 챔버는
    상기 블레이드의 상측에서 넓고 최하측에서 좁아지는 구조로 형성되는
    용액 전단 코팅 장치.
  7. 바텀 기재(bottom substrate)가 놓여지는 베이스; 및
    상기 바텀 기재 상에 공급되는 용액에 용액 전단력을 설정하여 코팅하는 전단 플레이트(shearing plate)
    를 포함하며,
    상기 전단 플레이트는
    상기 용액을 수용하는 수용 챔버, 및
    상기 수용 챔버를 관통하여 상기 용액을 상기 바텀 기재에 공급하는 공급 홀
    을 구비하고,
    상기 베이스는 공급측 지지롤과 회수측 지지롤을 포함하며,
    상기 바텀 기재는 상기 공급측 지지롤과 상기 회수측 지지롤에 의하여 전단 코팅의 반대 방향으로 진행되는 띠부재로 형성되며,
    상기 전단 플레이트는
    상기 공급측 지지롤 상에서 상기 바텀 기재 상에 고정 배치되어
    상기 수용 챔버 내의 용액을 공급 홀로 상기 바텀 기재에 공급하므로 상기 바텀 기재의 진행으로 상기 바텀 기재에 용액을 전단 코팅하고,
    상기 수용 챔버는
    상기 공급 홀을 구비하는 공급 챔버,
    외부로부터 유입되는 용액을 공급 받는 유입 챔버, 및
    상기 유입 챔버로 유입된 용액을 상기 공급 챔버로 공급하도록 상기 공급 챔버와 상기 유입 챔버를 연결하는 모세관
    을 포함하는 용액 전단 코팅 장치.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서,
    상기 전단 플레이트는
    용액을 전단 코팅할 때, 상기 바텀 기재와 설정된 각도(θ)를 가지며,
    상기 유입 챔버는
    용액을 공급하는 용액 탱크에 연결되는
    용액 전단 코팅 장치.
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