KR102156430B1 - 회전식 기판 도금장치 - Google Patents

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KR102156430B1
KR102156430B1 KR1020200051187A KR20200051187A KR102156430B1 KR 102156430 B1 KR102156430 B1 KR 102156430B1 KR 1020200051187 A KR1020200051187 A KR 1020200051187A KR 20200051187 A KR20200051187 A KR 20200051187A KR 102156430 B1 KR102156430 B1 KR 102156430B1
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Abstract

본 발명의 회전식 기판 도금장치는, 기판수용부(11)가 구비되고, 치차(12)가 형성된 다수개의 기어(10); 래크(21a,31a)가 형성된 벨트(21,31)가 길게 무한궤도를 이루며, 상기 기어(10)를 길이방향으로 이송되도록 하는 상부 및 하부 이송라인(20,30); 상기 기어(10)가 투입되는 기어투입부(41)와 상기 기어(10)가 배출되는 기어배출부(42)가 구비되며, 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)이 수용되고, 상기 기어(10)의 기판수용부(11)가 침지되도록 내부에 도금액이 수용되는 도금액 수용통(40); 상기 도금액 수용통(40)의 상부에서 상기 도금액 수용통(40)의 하부로 상기 기어(10)를 투입되도록 하는 기어투입용 크레인(50); 상기 도금액 수용통(40)의 하부에서 상기 도금액 수용통(40)의 상부로 상기 기어(10)를 배출되도록 하는 기어배출용 크레인(60); 상기 도금액 수용통(40)에 구비되며 이송되는 상기 기어(10)의 전후면에 각각 이격되어 평행하게 설치되는 한쌍의 전극판(70); 상기 전극판(70)에 부착되어 도전되는 도금용 볼(80); 상기 도금용 볼(80)이 상기 도금액 수용통(40)에 수용된 도금액에 이온화되도록 하며 이온화된 이온이 상기 기판수용부(11)에 수용된 기판(1)의 표면에 도금되도록 상기 전극판(70)에 양(+)전원을 가하고 상기 상부 이송라인(20)의 벨트(21)에 음(-)전원을 가하는 전원공급부(90);를 포함하여 이루어진다.

Description

회전식 기판 도금장치{Rotary Plating Equipment for Circuit Board}
본 발명은 회전식 기판 도금장치에 관한 것으로, 기어와 무한궤도의 벨트를 이용하여 기어에 장착된 기판을 회전시켜 도금되도록 하여 기판을 일정한 두께로 도금되도록 하는 회전식 기판 도금장치에 관한 것이다.
종래의 기판 도금장치는 기판을 고정한 상태에서 일정한 방향으로 이송되도록 하여 도금액과의 접촉에 의해 기판이 도금되도록 하고 있다.
기판을 도금할 때, 기판상부에 음극을 걸어주는데 전기특성상 기판외곽, hole 입구 등 엣지부위에 고전류 발생하여 고전류 부분에서 더 두껍게 도금되는 문제점이 있다. 이에 따라 기판의 품질을 저하시키게 되는 문제점이 있다.
또한, 기판에 need 기판, 선 등을 연결하면 특정부위에 고전류 발생을 억제할 수 있으나 현 도금장비로는 도금하고자 하는 기판에 need 기판, 선 등을 연결하기 어려운 문제점이 있다.
본 발명의 목적은, 기판을 회전시켜 이송시키도록 하여 도금액과 기판의 접촉효율을 향상시킴으로써 도금두께를 일정하게 하여 기판의 품질을 향상시키며, 도금시간을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있도록 하는 회전식 기판 도금장치를 제공하는 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 회전식 기판 도금장치는, 기판(1)이 수용되는 기판수용부(11)가 구비되고, 외주연에 치차(12)가 형성되며 원판으로 된 다수개의 기어(10); 상부 및 하부에 서로 평행하게 이격되어 설치되고, 상기 기어(10)의 치차(12)와 치합되어 맞물리는 래크(21a,31a)가 형성된 벨트(21,31)가 길게 무한궤도를 이루며, 상기 벨트(21,31)의 회전에 의해 상기 기어(10)를 길이방향으로 이송되도록 하는 상부 및 하부 이송라인(20,30); 도금될 기판이 수용된 상기 기어(10)가 투입되는 기어투입부(41)가 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 전방에 구비되고, 도금된 기판이 수용된 상기 기어(10)가 배출되는 기어배출부(42)가 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 후방에 구비되며, 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)이 수용되고, 상기 기어(10)의 기판수용부(11)가 침지되도록 내부에 도금액이 수용되며 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)을 따라 길이방향으로 길게 구비되는 도금액 수용통(40); 상기 도금액 수용통(40)의 상부에서 상기 도금액 수용통(40)의 하부로 상기 기어(10)를 투입되도록 하되, 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 전방으로 상기 기어(10)를 투입되도록 하는 기어투입용 크레인(50); 상기 도금액 수용통(40)의 하부에서 상기 도금액 수용통(40)의 상부로 상기 기어(10)를 배출되도록 하되, 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 후방에서 상기 기어(10)를 배출되도록 하는 기어배출용 크레인(60); 상기 도금액 수용통(40)에 구비되며 이송되는 상기 기어(10)의 전후면에 각각 이격되어 평행하게 설치되는 한쌍의 전극판(70); 상기 전극판(70)에 부착되어 도전되는 도금용 볼(80); 상기 도금용 볼(80)이 상기 도금액 수용통(40)에 수용된 도금액에 이온화되도록 하며 이온화된 이온이 상기 기판수용부(11)에 수용된 기판(1)의 표면에 도금되도록 상기 전극판(70)에 양(+)전원을 가하고 상기 상부 이송라인(20)의 벨트(21)에 음(-)전원을 가하는 전원공급부(90);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 양측에는 상기 벨트(21,31)와 근접하여 설치되며 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 벨트(21,31)에 의해 이송되는 상기 기어(10)가 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 양측으로 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지부가 더 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 기어투입부(41)의 하단에는 상기 기어(10)를 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)으로 유도되도록 하는 기어투입가이드(100)가 더 구비되고, 상기 기어배출부(42)의 하단에는 상기 기어(10)를 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)으로부터 이격되도록 하는 기어배출가이드(110)가 더 구비되며, 상기 기어투입가이드(100)는 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)으로의 상기 기어(10) 투입방향으로 하향경사지고, 상기 기어배출가이드(110)는 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)으로부터 상기 기어(10) 배출방향으로 하향경사진 것을 특징으로 한다.
또, 상기 도금액 수용통(40)은 다수개로 구비되되, 각각의 상기 도금액 수용통(40)의 기어투입부(41) 및 기어배출부(42)가 길이방향과 수직되는 폭방향으로 일렬로 구비되도록 서로 인접하여 설치되거나 평행하게 이격되어 설치되며, 상기 기어투입용 크레인(50) 및 상기 기어배출용 크레인(60)을 각각의 상기 도금액 수용통(40)의 기어투입부(41) 및 기어배출부(42)의 상부로 이동가능하도록 상기 도금액 수용통(40)의 길이방향과 수직되는 폭방향으로 이동되도록 하는 기어투입용크레인 폭방향 이송부(120) 및 기어배출용크레인 폭방향 이송부(130)가 더 구비된 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 도금액 수용통(40)에는, 도금액을 투입되도록 하는 도금액 투입부와, 도금액을 배출되도록 하는 도금액 배출부와, 상기 기어(10)를 에칭하기 위한 에칭액이 투입되는 에칭액 투입부와, 에칭액을 배출되도록 하는 에칭액 배출부가 더 구비된 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 구성에 의한 본 발명의 회전식 기판 도금장치는, 기판을 회전시켜 이송시키도록 함으로써 도금액과 기판의 접촉효율을 향상되게 됨으로써 도금효율을 높여 도금시간을 줄일 수 있어 생산성이 향상되는 장점이 있다. 또한, 기판의 상부부분과 하부부분이 일정한 두께로 도금되도록 하여 기판의 품질을 향상시킬 수 있는 장점이 있다. 또한, 기판을 회전시켜 도금되게 되므로 도금 두께의 편차를 줄여 고품질의 기판을 생산할 수 있는 장점이 있다. 아울러, 기판에 need 기판, 선 등을 연결할 필요가 없어 기판의 특정부위에 고전류 발생을 억제할 수 있어 도금품질을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 의한 회전식 기판 도금장치를 나타낸 측면도이다.
도 2는 본 발명에 의한 회전식 기판 도금장치를 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명에 의한 다른 형태의 회전식 기판 도금장치를 나타낸 평면도이다.
이하, 본 발명의 회전식 기판 도금장치를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 의한 회전식 기판 도금장치를 나타낸 측면도이고, 도 2는 본 발명에 의한 회전식 기판 도금장치를 나타낸 평면도이다.
본 발명에 의한 회전식 기판 도금장치는, 도 1 및 도 2에서와 같이, 기어(10); 상부 및 하부 이송라인(20,30); 도금액 수용통(40); 기어투입용 크레인(50); 기어배출용 크레인(60); 한쌍의 전극판(70); 도금용 볼(80); 전원공급부(90);를 포함하여 이루어진다.
상기 기어(10)는, 기판(1)이 수용되는 기판수용부(11)가 구비되고, 외주연에 치차(12)가 형성되며 원판으로 되며, 다수개로 이루어진다. 상기 기어(10)는 도전이 가능한 금속재질로 된다.
상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)은, 상부 및 하부에 서로 평행하게 이격되어 설치되고, 상기 기어(10)의 치차(12)와 치합되어 맞물리는 래크(21a,31a)가 형성된 벨트(21,31)가 길게 무한궤도를 이루며, 상기 벨트(21,31)의 회전에 의해 상기 기어(10)를 길이방향으로 이송되도록 한다. 상기 상부 이송라인(20)에 구비된 벨트(21)는, 도전이 가능한 금속재질로 되며, 상기 벨트(21)에 전류를 가하면 상기 래크(21a)에 치합된 기어(10)에 전류가 전해지게 되며, 상기 기어(10)의 기판수용부(11)에 수용된 기판(1)에도 전류가 전해지게 된다.
상기 하부 이송라인(30)에 구비된 벨트(31)는, 금속재로 될 수 있으나, 금속재로 되는 경우에는 기판(1)의 도금시에 상기 하부 이송라인(30)에 구비된 벨트(31)도 도금될 수 있으므로 비금속재로 사용하는 것이 바람직하다.
상기 상부 이송라인(20)에 구비된 벨트(21)와 상기 하부 이송라인(30)에 구비된 벨트(31)는 회전수의 차에 의해 상기 기어(10)가 회전되면서 이송되도록 하는 것이 바람직하다. 이때, 상기 상부 이송라인(20)에 구비된 벨트(21)와 상기 하부 이송라인(30)에 구비된 벨트(31)의 회전방향은 서로 반대방향으로 회전될 수 있으나, 서로 반대방향으로 회전되는 경우에는 기어(10)의 이송속도가 너무 빠를 수 있으므로, 서로 동일방향으로 회전되도록 하여 기어(10)의 이송속도를 늦추어 도금효율을 높이도록 하는 것이 바람직하다.
상기 도금액 수용통(40)은, 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)이 수용되고, 도금될 기판이 수용된 상기 기어(10)가 투입되는 기어투입부(41)가 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 전방에 구비되고, 도금된 기판이 수용된 상기 기어(10)가 배출되는 기어배출부(42)가 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 후방에 구비된다. 상기 도금액 수용통(40)은, 상기 기어(10)의 기판수용부(11)가 침지되도록 내부에 도금액이 수용되며, 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)을 따라 길이방향으로 길게 구비된다. 즉, 상기 도금액 수용통(40)은, 양변이 긴 직육면체 형태의 함체로 구비된다.
상기 기어투입용 크레인(50)은, 상기 도금액 수용통(40)의 상부에서 상기 도금액 수용통(40)의 하부로 상기 기어(10)를 투입되도록 하되, 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 전방으로 상기 기어(10)를 투입되도록 하는 역할을 한다. 상기 기어투입용 크레인(50)은 전후방향, 즉, 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 길이방향으로 기어(10)를 이송가능한 것으로, 와이어 또는 핑거를 이용하여 기어(10)를 상기 도금액 수용통(40)으로 투입하기 위하여 승하강되도록 하는 공지된 크레인을 사용한다.
상기 기어배출용 크레인(60)은, 상기 도금액 수용통(40)의 하부에서 상기 도금액 수용통(40)의 상부로 상기 기어(10)를 배출되도록 하되, 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 후방에서 상기 기어(10)를 배출되도록 하는 역할을 한다. 상기 기어배출용 크레인(60)은, 상기 기어투입용 크레인(50)과 마찬가지로, 전후방향으로 기어(10)를 이송가능한 것으로, 와이어 또는 핑거를 이용하여 기어(10)를 상기 도금액 수용통(40)으로부터 배출하기 위하여 승하강되도록 하는 공지된 크레인을 사용한다.
상기 전극판(70)은, 상기 도금액 수용통(40)에 구비되며 이송되는 상기 기어(10)의 전후면에 각각 이격되어 평행하게 설치되며 한쌍으로 이루어진다.
상기 도금용 볼(80)은 상기 전극판(70)에 부착되어 도전되며, 상기 전극판(70)에 전압을 가하면 상기 도금용 볼(80)이 이온화되어 기판(1)의 표면에 도금되게 된다.
상기 전원공급부(90)는, 상기 도금용 볼(80)이 상기 도금액 수용통(40)에 수용된 도금액에 이온화되도록 하며 이온화된 이온이 상기 기판수용부(11)에 수용된 기판(1)의 표면에 도금되도록 상기 전극판(70)에 양(+)전원을 가하고 상기 상부 이송라인(20)의 벨트(21)에 음(-)전원을 가하는 역할을 한다.
상기 전극판(70)에 양(+)전원을 가하고 상기 상부 이송라인(20)의 벨트(21)에 음(-)전원을 가하게 되면, 전극판(70)에 부착된 도금용 볼(80)이 도금액으로 이온화되게 되며, 상기 벨트(21,31)에 형성된 래크(21a,31a)를 통해 이에 치합된 기어(10)로 도전되고 기어(10)의 기판수용부(11)에 수용된 기판(1)에도 도전되므로, 도금용 볼(80)이 이온화된 금속이온이 기판(1)에 도금되게 된다.
이와 같이, 본 발명은 래크(21a,31a)가 형성된 무한궤도를 이루는 벨트(21,31)의 회전에 의해 기어(10)를 회전시켜 이송시킴으로써 기어(10)의 기판수용부(11)에 수용된 기판을 회전시켜 이송되므로, 도금액과 기판의 접촉효율을 향상되게 되어 도금효율이 높아지게 되고, 도금시간을 줄일 수 있어 생산성이 향상되는 장점이 있다. 또한, 기판(1)이 회전되면서 도금되게 되므로, 기판(1)의 상부부분과 하부부분이 일정한 두께로 도금되게 되어 기판의 품질을 향상시킬 수 있는 장점이 있다. 또한, 기판을 회전시켜 도금되게 되므로 도금 두께의 편차를 줄여 고품질의 기판을 생산할 수 있는 장점이 있다.
상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 양측에는 상기 벨트(21,31)와 근접하여 설치되며 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 벨트(21,31)에 의해 이송되는 상기 기어(10)가 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 양측으로 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지부(미도시됨)가 더 구비된 것이 바람직하다. 상기 이탈방지부에 의해 상기 기어(10)가 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 양측으로 이탈되는 것이 방지되게 되면 상기 기어(10)가 직립된 상태를 유지할 수 있게 되며, 상기 전극판(70)과의 일정거리를 유지할 수 있게 되므로 기판(1)의 도금 두께의 편차를 줄일 수 있게 된다.
아울러, 상기 기어투입용 크레인(50)에 의해 기어(10)가 기어투입부(41)로 투입되게 되는데, 투입된 기어(10)의 외주면에 형성된 치차(12)가 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 벨트(21,31)에 형성된 래크(21a,31a)에 맞물릴 수 있도록 안내하기 위하여, 상기 기어투입부(41)의 하단에는 상기 기어(10)를 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)으로 유도되도록 하는 기어투입가이드(100)가 더 구비되고, 이때, 상기 기어투입가이드(100)는 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)으로의 상기 기어(10) 투입방향으로 하향경사지도록 한다. 상기 기어투입가이드(100)는, 기어(10)의 하부부위가 수용되도록 U자형으로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 기어투입가이드(100)가 기어(10)의 하부부위가 수용되어 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)으로 투입되게 되면 직립된 상태로 안정적으로 기어(10)를 투입할 수 있게 된다.
또한, 상기 기어배출용 크레인(60)에 의해 기어(10)가 기어배출부(42)로부터 배출되게 되는데, 기어(10)의 외주면에 형성된 치차(12)가 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 벨트(21,31)에 형성된 래크(21a,31a)로부터 이격될 수 있도록 안내하기 위하여, 상기 기어배출부(42)의 하단에는 상기 기어(10)를 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)으로부터 이격되도록 하는 기어배출가이드(110)가 더 구비되도록 한다. 이때, 상기 기어배출가이드(110)는 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)으로부터 상기 기어(10) 배출방향으로 하향경사지도록 한다. 상기 기어배출가이드(110)는, 상기 기어투입가이드(100)와 마찬가지로, 기어(10)의 하부부위가 수용되도록 U자형으로 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명은, 도금효율을 높이도록 하기 위하여, 도 3에서와 같이, 상기 도금액 수용통(40)은 다수개로 구비되도록 한다. 이때, 각각의 상기 도금액 수용통(40)의 기어투입부(41) 및 기어배출부(42)가 길이방향과 수직되는 폭방향으로 일렬로 구비되도록 서로 인접하여 설치되거나 평행하게 이격되어 설치되도록 한다. 또한, 상기 기어투입용 크레인(50) 및 상기 기어배출용 크레인(60)을 각각의 상기 도금액 수용통(40)의 기어투입부(41) 및 기어배출부(42)의 상부로 이동가능하도록 상기 도금액 수용통(40)의 길이방향과 수직되는 폭방향으로 이동되도록 하는 기어투입용크레인 폭방향 이송부(120) 및 기어배출용크레인 폭방향 이송부(130)가 더 구비되도록 한다(도 3 참조).
이렇게 되면, 하나의 기어투입용 크레인(50)을 이용하여 각각의 도금액 수용통(40)에 기어(10)를 투입할 수 있으며, 하나의 기어배출용 크레인(60)에 의해 각각의 도금액 수용통(40)으로부터 기어(10)를 배출할 수 있게 된다.
상기 기어투입용크레인 폭방향 이송부(120) 및 기어배출용크레인 폭방향 이송부(130)는, 리드스크류, 리드스크류를 회전시키는 회전모터, 리드스크류가 결합되어 리드스크류의 회전에 의해 전후이동되는 리드스크류결합부를 이용하여 폭방향으로 이송가능하도록 하는 것으로, 이미 공지된 구조를 이용한다. 상기 리드스크류결합부는 기어투입용 크레인(50) 및 기어배출용 크레인(60)에 각각 고정구비된다.
장시간 도금을 수행하게 되면 기어(10)도 금속재로 되므로 기어(10)의 표면에도 도금이 되게 된다. 이렇게 기어(10)의 표면에 도금되게 되면 전기전도도가 저하되게 되는 등 도금에 영향을 주게 되므로 이를 주기적으로 제거하도록 한다. 이와 같이 기어(10)의 표면에 도금된 도금물질을 제거하기 위하여 도금액을 도금액 수용통(40)으로부터 배출시키고 도금액 수용통(40)에 에칭액을 투입되도록 하여 기어의 표면에 도금된 도금물질을 제거하도록 하는 것이 바람직하다.
이를 위하여, 상기 도금액 수용통(40)에는, 도금액을 투입되도록 하는 도금액 투입부(미도시됨)와, 도금액을 배출되도록 하는 도금액 배출부(미도시됨)와, 상기 기어(10)를 에칭하기 위한 에칭액이 투입되는 에칭액 투입부(미도시됨)와, 에칭액을 배출되도록 하는 에칭액 배출부(미도시됨)가 더 구비된 것이 바람직하다. 상기 기어(10)의 에칭시에는 상기 기어(10)만 투입되도록 하여 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)을 따라 회전시켜 이송되도록 하여 기어(10)의 에칭효율을 높이도록 한다.
본 발명의 상기한 실시예에 한정하여 기술적 사상을 해석해서는 안된다. 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당업자의 수준에서 다양한 변형 실시가 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 당업자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 된다.
1 : 기판
10 : 기어
11 : 기판수용부
12 : 치차
20,30 : 상부 및 하부 이송라인
21,31 : 벨트
21a,31a : 래크
40 : 도금액 수용통
41 : 기어투입부
42 : 기어배출부
50 : 기어투입용 크레인
60 : 기어배출용 크레인
70 : 전극판
80 : 도금용 볼
90 : 전원공급부
100 : 기어투입가이드
110 : 기어배출가이드
120 : 기어투입용크레인 폭방향 이송부
130 : 기어배출용크레인 폭방향 이송부

Claims (5)

  1. 삭제
  2. 기판(1)이 수용되는 기판수용부(11)가 구비되고, 외주연에 치차(12)가 형성되며 원판으로 된 다수개의 기어(10);
    상부 및 하부에 서로 평행하게 이격되어 설치되고, 상기 기어(10)의 치차(12)와 치합되어 맞물리는 래크(21a,31a)가 형성된 벨트(21,31)가 길게 무한궤도를 이루며, 상기 벨트(21,31)의 회전에 의해 상기 기어(10)를 길이방향으로 이송되도록 하는 상부 및 하부 이송라인(20,30);
    도금될 기판이 수용된 상기 기어(10)가 투입되는 기어투입부(41)가 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 전방에 구비되고, 도금된 기판이 수용된 상기 기어(10)가 배출되는 기어배출부(42)가 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 후방에 구비되며, 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)이 수용되고, 상기 기어(10)의 기판수용부(11)가 침지되도록 내부에 도금액이 수용되며 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)을 따라 길이방향으로 길게 구비되는 도금액 수용통(40);
    상기 도금액 수용통(40)의 상부에서 상기 도금액 수용통(40)의 하부로 상기 기어(10)를 투입되도록 하되, 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 전방으로 상기 기어(10)를 투입되도록 하는 기어투입용 크레인(50);
    상기 도금액 수용통(40)의 하부에서 상기 도금액 수용통(40)의 상부로 상기 기어(10)를 배출되도록 하되, 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 후방에서 상기 기어(10)를 배출되도록 하는 기어배출용 크레인(60);
    상기 도금액 수용통(40)에 구비되며 이송되는 상기 기어(10)의 전후면에 각각 이격되어 평행하게 설치되는 한쌍의 전극판(70);
    상기 전극판(70)에 부착되어 도전되는 도금용 볼(80);
    상기 도금용 볼(80)이 상기 도금액 수용통(40)에 수용된 도금액에 이온화되도록 하며 이온화된 이온이 상기 기판수용부(11)에 수용된 기판(1)의 표면에 도금되도록 상기 전극판(70)에 양(+)전원을 가하고 상기 상부 이송라인(20)의 벨트(21)에 음(-)전원을 가하는 전원공급부(90);를 포함하여 이루어지며,
    상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 양측에는 상기 벨트(21,31)와 근접하여 설치되며 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 벨트(21,31)에 의해 이송되는 상기 기어(10)가 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)의 양측으로 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지부가 더 구비된 것을 특징으로 하는 회전식 기판 도금장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 기어투입부(41)의 하단에는 상기 기어(10)를 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)으로 유도되도록 하는 기어투입가이드(100)가 더 구비되고,
    상기 기어배출부(42)의 하단에는 상기 기어(10)를 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)으로부터 이격되도록 하는 기어배출가이드(110)가 더 구비되며,
    상기 기어투입가이드(100)는 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)으로의 상기 기어(10) 투입방향으로 하향경사지고,
    상기 기어배출가이드(110)는 상기 상부 및 하부 이송라인(20,30)으로부터 상기 기어(10) 배출방향으로 하향경사진 것을 특징으로 하는 회전식 기판 도금장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 도금액 수용통(40)은 다수개로 구비되되, 각각의 상기 도금액 수용통(40)의 기어투입부(41) 및 기어배출부(42)가 길이방향과 수직되는 폭방향으로 일렬로 구비되도록 서로 인접하여 설치되거나 평행하게 이격되어 설치되며,
    상기 기어투입용 크레인(50) 및 상기 기어배출용 크레인(60)을 각각의 상기 도금액 수용통(40)의 기어투입부(41) 및 기어배출부(42)의 상부로 이동가능하도록 상기 도금액 수용통(40)의 길이방향과 수직되는 폭방향으로 이동되도록 하는 기어투입용크레인 폭방향 이송부(120) 및 기어배출용크레인 폭방향 이송부(130)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 회전식 기판 도금장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 도금액 수용통(40)에는, 도금액을 투입되도록 하는 도금액 투입부와, 도금액을 배출되도록 하는 도금액 배출부와, 상기 기어(10)를 에칭하기 위한 에칭액이 투입되는 에칭액 투입부와, 에칭액을 배출되도록 하는 에칭액 배출부가 더 구비된 것을 특징으로 하는 회전식 기판 도금장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20010086051A (ko) * 1998-11-28 2001-09-07 추후제출 물품을 전기연마 및/또는 전기도금하는 동안 반도체물품을 보유하고 위치시키는 방법 및 장치
KR20100081119A (ko) * 2009-01-05 2010-07-14 주식회사 익스톨 Ｐｃｂ용 전해도금장치
KR101291556B1 (ko) * 2012-11-30 2013-08-08 주식회사 백광테크 3가크롬을 사용하는 바렐도금방법

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