KR102148911B1 - 반도체 공정용 배관 연결 조인트 - Google Patents

반도체 공정용 배관 연결 조인트 Download PDF

Info

Publication number
KR102148911B1
KR102148911B1 KR1020200060535A KR20200060535A KR102148911B1 KR 102148911 B1 KR102148911 B1 KR 102148911B1 KR 1020200060535 A KR1020200060535 A KR 1020200060535A KR 20200060535 A KR20200060535 A KR 20200060535A KR 102148911 B1 KR102148911 B1 KR 102148911B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
diameter side
pipe
outer diameter
joint body
joint
Prior art date
Application number
KR1020200060535A
Other languages
English (en)
Inventor
유재화
Original Assignee
비케이엠 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 비케이엠 주식회사 filed Critical 비케이엠 주식회사
Priority to KR1020200060535A priority Critical patent/KR102148911B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102148911B1 publication Critical patent/KR102148911B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L17/00—Joints with packing adapted to sealing by fluid pressure
    • F16L17/02—Joints with packing adapted to sealing by fluid pressure with sealing rings arranged between outer surface of pipe and inner surface of sleeve or socket
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L19/00—Joints in which sealing surfaces are pressed together by means of a member, e.g. a swivel nut, screwed on or into one of the joint parts
    • F16L19/02—Pipe ends provided with collars or flanges, integral with the pipe or not, pressed together by a screwed member

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Joints With Pressure Members (AREA)

Abstract

개시되는 반도체 공정용 배관 연결 조인트는, 어느 하나의 드레인 배관과 또 다른 드레인 배관 사이에 개재되어 드레인 배관들의 유로를 연결시키는, 내부에는 중공된 유로가 형성된 조인트 몸체; 드레인 배관들을 조인트 몸체의 각 단부에 결합시키는 캡 너트; 및 조인트 몸체의 각 단부에 체결된 캡 너트가 풀리지 않도록 조인트 몸체에 고정시키는 클램프;를 포함한다.

Description

반도체 공정용 배관 연결 조인트{PIPE CONNECTING JOINT FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING}
본 발명(Disclosure)은, 반도체 제조 공정에 사용되는 배관들을 연결하는 반도체 공정용 배관 연결 조인트에 관한 것이다.
여기서는, 본 발명에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).
첨부된 도면 중에서, 도 1은 종래 반도체 공정용 배관 연결 조인트를 나타낸 도면으로써, 도 1에는 "한국등록특허공보 제10-1621758호"에 개시된 반도체 제조설비의 드레인 배관용 연결 조인트가 도시되어 있다.
여기서, 전술한"한국등록특허공보 제10-1621758호"에 개시된 반도체 제조설비의 드레인 배관용 연결 조인트는 본 출원인에 의해 특허 출원되고 특허 등록 된 것이다.
도 1을 참조하면, 종래 드레인 배관용 연결 조인트는 조인트 몸체(10)와, 조인트 몸체(10)의 양측에 각각 결합되는 가압너트(20)와, 조인트 몸체(10)의 삽입공간(12)에 결합되며 트레인 배관(70)이 삽입되는 누설방지 캡(30)과, 조인트 몸체(10)의 경사면(13)에 밀착 삽입되어 기밀을 유지하는 패킹부재(40)와, 패킹부재(40)를 압박 지지하는 와셔(50) 및 가압너트(20)의 내측에 삽입되어 패팅부재(40) 및 와셔(50)가 이탈되지 않게 지지하는 이탈방지부재(60)를 포함하여 이루어진다.
이렇게 형성된 종래 드레인 배관용 연결 조인트는, 기존 플라스틱수지 계열의 드레인 배관 사용 시 주로 발생되었던 온도에 의한 열 변형 및 조인트 누설을 방지하여 독성가스 등의 누설에 따른 안전사고를 미연에 방지할 수 있게 한다.
그러나 종래 드레인 배관용 연결 조인트는 트레인 배관(70)들 연결 시 트레인 배관(70)의 단부 측은 누설방지 캡(30)에 형성된 내관팽창구간(321) 내로 억지 끼워맞춤(interference fit)되는데, 이때 내관팽창구간(321) 내의 공기가 압입되는 트레인 배관(70)에 의해 압축되고, 압축된 공기에 의해 수작업으로는 트레인 배관(70)을 압입시키지 못하는 문제점이 있었으며, 이로 인해 트레인 배관(70)을 누설방지 캡(30)에 압입시키기 위해서 지그(jig) 등을 사용하기 때문에 작업 효율이 떨어지는 또 다른 문제점이 있었다.
이에 본 출원의 발명자들은 종래의 문제를 해결하고자 노력하였으며, 그 결과물로 본 발명을 특허 출원하기에 이르렀다.
한국등록특허공보 제10-1621758호. 한국등록특허공보 제10-1539540호.
본 발명(Disclosure)은, 작업자의 수작업에 의해 드레인 배관을 연결할 수 있게 하는 반도체 공정용 배관 연결 조인트의 제공을 일 목적으로 한다.
본 발명(Disclosure)은, 진동, 열 수축 등에 의해 캡 너트의 풀림을 미연에 방지할 수 있게 하는 반도체 공정용 배관 연결 조인트의 제공을 일 목적으로 한다.
여기서는, 본 발명의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 발명의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니 된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).
상기한 과제의 해결을 위해, 본 발명을 기술하는 여러 관점들 중 어느 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트는, 어느 하나의 드레인 배관과 또 다른 드레인 배관 사이에 개재되어 드레인 배관들의 유로를 연결시키는, 내부에는 중공된 유로가 형성된 조인트 몸체; 드레인 배관들을 조인트 몸체의 각 단부에 결합시키는 캡 너트; 및 조인트 몸체의 각 단부에 체결된 캡 너트가 풀리지 않도록 조인트 몸체에 고정시키는 클램프;를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트에서, 조인트 몸체의 각 단부에는 드레인 배관의 단부 측이 삽입되는 삽입공간부가 조인트 몸체 각 단부면에서부터 조인트 몸체의 내측으로 연장되게 형성되고, 조인트 몸체의 각 단부는 삽입공간부에 의해 내부 연결관체 및 외부 연결관체로 분할되되, 내부 연결관체의 외경 측으로는 삽입공간부에 삽입되는 드레인 배관의 내관 내경 측이 밀착되고, 외부 연결관체의 내경 측으로는 삽입공간부에 삽입되는 드레인 배관의 외관 외경 측이 밀착될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트에서, 내부 연결관체는 외부 연결관체 보다 길이가 더 연장되게 형성되고, 내부 연결관체의 외경 측에는 드레인 배관 사이의 기밀을 위해 하나 이상의 오링이 개재되며, 내부 연결관체의 외경 측에는 오링이 끼워지는 오링 끼움홈이 형성되며, 외부 연결관체는 내부 연결관체 보다 길이가 짧게 형성되고, 외부 연결관체의 내경 측에는 드레인 배관을 삽입공간부 내부로 삽입되게 유도하는 경사면이 외부 연결관체의 내경 측에서부터 외부 연결관체의 연장단부 측으로 직경이 점층적으로 확장되게 형성될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트에서, 경사면과 삽입공간부에 삽입된 드레인 배관의 외관 외경 사이에는 외부 연결관체와 드레인 배관 사이의 기밀을 위해 링 형상의 패킹이 개재되되, 패킹의 외경 측에는 경사면에 면 접촉될 수 있게 테이퍼가 형성되고, 패킹의 내경 측은 드레인 배관의 외관에 밀착될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트에서, 조인트 몸체의 표면에는 내구성 강화를 위해 다수의 리브가 직각으로 맞닿게 형성될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트에서, 캡 너트는, 드레인 배관이 관통하는 링 형상의 제 1 연결부재; 및 드레인 배관이 관통하되 제 1 연결부재에 일측에 확관된 형태로 형성되는 링 형상의 제 2 연결부재;를 포함하되, 제 2 연결부재의 내경 측에는 암나사가 형성되고, 외부 연결관체 외경 측에는 암나사가 맞물리는 수나사가 형성될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트에서, 제 1 연결부재의 내경 측과 제 2 연결부재의 내경 측 사이에는 외부 연결관체의 내경에 형성된 경사면과 드레인 배관의 외관 외경 사이에 개재되는 패킹을 가압하는 가압 단턱부이 형성될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트에서, 외부 연결관체 외경 측에는 외부 연결관체의 외경을 따라 걸림단이 돌출되게 형성되고, 외부 연결관체 외경 측에는 걸림단을 사이에 두고 수나사와 마주하게 제 1 걸림돌기들이 외부 연결관체의 외경 측을 따라 등각도 간격으로 이격되게 형성되며, 제 2 연결부재의 외경 측에는 제 2 걸림돌기들이 제 2 연결부재의 외경 측을 따라 등각도 간격으로 이격되게 형성될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트에서, 클램프는, 조인트 몸체의 각 단부에 체결된 캡 너트의 제 2 연결부재의 외경 측과 외부 연결관체의 외경 측을 감싸 캡 너트를 조인트 몸체에 고정시키는, 반원의 링 형상으로 제공되는 한 쌍의 제 1 클램프편 및 제 2 클램프편을 포함하되, 제 1 클램프편 및 제 2 클램프편의 내주면 일측 및 타측에는 제 1 걸림돌기 및 제 2 걸림돌기에 끼워지는 제 1 걸림홈부 및 제 2 걸림홈부가 형성될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트에서, 서로 마주하는 제 1 클램프편의 일단 및 제 2 클램프편의 일단에는 각각 제 1 후크고리 및 제 1 후크고리가 결합되어 걸쳐지는 제 1 고리공이 형성되고, 제 2 클램프편의 타단 및 제 1 클램프편의 타단에는 제 2 후크고리 및 제 2 후크고리가 결합되어 걸쳐지는 제 2 고리공이 형성될 수 있다.
본 발명에 의하면, 드레인 배관의 단부 측을 삽입공간부 측으로 용이하게 삽입시킬 수 있기 때문에 작업자의 수작업만으로 드레인 배관을 연결할 수 있게 하는 효과를 제공할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 의하면, 클램프가 캡 너트를 조인트 몸체에 고정시키기 때문에 진동, 열 수축 등에 의해 캡 너트가 풀리는 것을 미연에 방지할 수 있게 하는 효과를 제공할 수 있게 된다.
도 1은 종래 반도체 공정용 배관 연결 조인트를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트를 나타낸 도면.
도 3은 도 2에 도시된 반도체 공정용 배관 연결 조인트를 분해하여 나타낸 도면.
도 4는 도 2에 도시된 반도체 공정용 배관 연결 조인트를 절개하여 나타낸 도면.
도 5는 도 2에 도시된 클램프를 확대하여 나타낸 도면.
도 6은 도 2에 도시된 조인트 몸체의 다른 실시예를 나타낸 도면.
이하, 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트를 구현한 실시형태를 도면을 참조하여 자세히 설명한다.
다만, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상은 이하에서 설명되는 실시형태에 의해 그 실시 가능 형태가 제한된다고 할 수는 없고, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상에 기초하여 통상의 기술자에 의해 이하에서 설명되는 실시형태를 치환 또는 변경의 방법으로 용이하게 제안될 수 있는 범위를 포섭함을 밝힌다.
또한, 이하에서 사용되는 용어는 설명의 편의를 위하여 선택한 것이므로, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상을 파악하는 데 있어서, 사전적 의미에 제한되지 않고 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미로 적절히 해석되어야 할 것이다.
본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트(100)는 소정의 길이로 제공되는 드레인 배관(P1, P2)들을 연결하기 위한 것으로, 드레인 배관(P1, P2)은 스테인리스강(stainless steel)으로 이루어진 외관(O)과, 고밀도 폴리에틸렌(HDPE), 폴리프로필렌(PP), 폴리염화비닐(PVC), 폴리 비닐 리덴 디 플루오 라이드(PVDF), ETFE(Ethylene TetraFluoroEthylene), ECTFE(Ethylene ChloroTrifluoroEthylene), PFA(Per Fluoro Alkoxy ), PTFE(PolyTetraFluoroEthylene) 등으로 이루어진 내관(I)을 포함한다.
첨부된 도면 중에서, 도 2 내지 도 5는 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트를 나타낸 도면이다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트(100)는 조인트 몸체(110)와, 캡 너트(130) 및 클램프(150)를 포함한다.
먼저, 조인트 몸체(110)는 어느 하나의 드레인 배관(P1)과 또 다른 드레인 배관(P2) 사이에 개재되어 드레인 배관(P1, P2)들의 유로를 연결시킨다.
이를 위해서, 조인트 몸체(110)는 드레인 배관(P1, P2)의 내관(I)과 동일한 재질로 이루어지고, 내부에는 중공된 유로가 형성된다.
즉, 조인트 몸체(110)의 내부에 유로를 형성하는 통상의 관 형상으로 제공된다.
도 2 내지 도 4에는 유로가 90도로 방향이 전환된 조인트 몸체(110)가 도시되어 있지만, 조인트 몸체(110)의 유로는 도 6에 도시된 바와 같이 직선형으로 형성될 수 있다.
또한, 조인트 몸체(110)의 유로는 그 방향이 다양한 각도, 예를 들어 45도 또는 대략 "Y"자 등으로 형성될 수 있음을 누구나 알 수 있을 것이다.
한편, 조인트 몸체(110)의 각 단부에는 연결하고자 하는 드레인 배관(P1, P2)의 단부 측이 삽입되는 삽입공간부(112)가 형성된다.
삽입공간부(112)는 드레인 배관(P1, P2)이 삽입될 수 있도록 드레인 배관(P1, P2)의 단면 형상에 부합하는 단면 형상을 가지며, 조인트 몸체(110)의 각 단부면 상에서부터 조인트 몸체(110)의 내측으로 연장되게 형성된다.
이때, 드레인 배관(P1, P2)과 삽입공간부(112)는 작업자의 수작업으로 삽입이 가능하도록 틈새 또는 죔새가 형성되게 중간 끼워맞춤(transition fit) 된다.
그리고 조인트 몸체(110)의 각 단부는 삽입공간부(112)에 의해 내부 연결관체(114)와, 외부 연결관체(120)로 분할된다.
내부 연결관체(114)는 도시된 바와 같이 외부 연결관체(120) 보다 그 길이가 더 연장되게 형성되며, 내부 연결관체(114)의 외경 측으로는 삽입공간부(112)에 삽입되는 드레인 배관(P1, P2)의 내관(I)의 내경 측이 밀착된다.
이때, 내부 연결관체(114)의 외경 측에는 드레인 배관(P1, P2) 사이의 기밀을 위해 하나 이상의 오링(116; O-ring)이 개재되고, 이를 위해서 내부 연결관체(114)의 외경 측에는 오링(116)이 끼워지는 오링 끼움홈(118)이 형성된다.
도 2 및 도 4에는 3개의 오링(116) 및 이에 대응하는 3개의 오링 끼움홈(118)이 도시되어 있지만, 오링(116) 및 오링 끼움홈(118)을 각각 3개로 한정하는 것이 아님을 누구나 알 수 있을 것이다.
외부 연결관체(120)는 도시된 바와 같이 내부 연결관체(114) 보다 그 길이가 짧게 형성되며, 외부 연결관체(120)의 내경 측으로는 삽입공간부(112)에 삽입되는 드레인 배관(P1, P2)의 외관(O)의 외경 측이 밀착된다.
이때, 외부 연결관체(120)의 내경 측에는 드레인 배관(P1, P2)이 용이하게 삽입공간부(112) 내부로 삽입되게 유도하는 경사면(122)이 형성되는데, 경사면(122)는 도시된 바와 같이 외부 연결관체(120)의 내경 측에서부터 외부 연결관체(120)의 연장단부 측으로는 그 직경이 점층적으로 확장되게 형성된다.
그리고 외부 연결관체(120)의 경사면(122)과 삽입공간부(122)에 삽입된 드레인 배관(P1, P2)의 외경 사이에는 외부 연결관체(120)와 드레인 배관(P1, P2) 사이의 기밀을 위해 링 형상의 패킹(124)이 개재된다.
패킹(124)은 내열, 내유, 내약품성이 우수한 "바이턴(viton)"이라 불리는 불소 고무로 이루어지되, 패킹(124)의 외경 측은 경사면(122)에 면 접촉될 수 있게 테이퍼(taper)를 형성한다.
한편, 조인트 몸체(110)의 표면에는 조인트 몸체(110)의 내구성 강화를 위해 다수의 리브(126; rib)가 직각으로 맞닿게 형성된다.
캡 너트(130)는 드레인 배관(P1, P2)들을 조인트 몸체(110)의 각 단부에 결합시키며, 또한 패킹(124)을 조인트 몸체(110) 및 드레인 배관(P1, P2) 측으로 가압 밀착시켜 외부 연결관체(120)와 드레인 배관(P1, P2) 사이의 기밀이 유지되게 한다.
캡 너트(130)는 조인트 몸체(110)와 동일한 재질로 이루어진다.
이러한 캡 너트(130)는 드레인 배관(P1, P2)이 관통하는 링 형상의 제 1 연결부재(132)와, 마찬가지로 드레인 배관(P1. P2)이 관통하되 제 1 연결부재(132)의 일측에 확관된 형태로 형성되는 링 형상의 제 2 연결부재(134)를 포함한다.
이때, 제 2 연결부재(134)의 내경 측에는 조인트 몸체(110)의 각 단부와의 체결을 위한 암나사(136)가 형성되고, 조인트 몸체(110)의 외부 연결관체(120) 외경 측에는 암나사(136)가 맞물리는 수나사(138)가 형성된다.
그리고 제 1 연결부재(132)의 내경 측과 제 2 연결부재(134)의 내경 측이 사이에는 제 1 연결 부재(132)의 내경 및 제 2 연결부재(134)의 내경 차이에 의해 가압 단턱부(140)가 형성된다.
가압 단턱부(140)는 캡 너트(130)를 조인트 몸체(110) 단부에 체결 시 패킹(124)을 가압해 패킹(124)의 외경 측에 형성된 테이퍼를 경사면(122)에 가압 밀착시키며 동시에 패킹(124)의 내경 측을 드레인 배관(P1, P2)의 외관(O) 외경 측에 가압 밀착시킬 수 있게 한다.
한편, 조인트 몸체(110)의 외부 연결관체(120) 외경 측에는 외부 연결관체(120)의 외경을 따라 걸림단(142)이 돌출되게 형성된다. 걸림단(142)은 캡 너트(130)를 외부 연결관체(120)에 체결 시 캡 너트(130)가 더 이상 체결되지 않게 한다.
클램프(150)는 조인트 몸체(110)와 동일한 재질로 이루어지며, 조인트 몸체(110)의 단부에 체결된 캡 너트(130)가 진동 및 열 수축 등에 의해 풀리지 않게 캡 너트(130)를 조인트 몸체(110)에 고정시킨다.
클램프(150)는 캡 너트(130)의 제 2 연결부재(134)의 외경 측과 조인트 몸체(110)의 외부 연결관체(120)의 외경 측을 감싸 캡 너트(130)를 조인트 몸체(110)에 고정시키는 한 쌍의 제 1 클램프편(152a) 및 제 2 클램프편(152b)을 포함한다.
다시 말해, 제 1 클램프편(152a) 및 제 2 클램프편(152b)은 쌍을 이뤄 외부 연결관체(120) 및 제 2 연결부재(134)의 외경 측을 감쌀 수 있도록 각각 반원의 링 형상으로 제공된다.
이때, 서로 마주하는 제 1 클램프편(152a)의 일단 및 제 2 클램프편(152b)의 일단에는 각각 제 1 후크고리(154a) 및 제 1 후크고리(154a)가 결합되어 걸쳐지는 제 1 고리공(156a)이 형성되고, 제 2 클램프편(152b)의 타단 및 제 1 클램프편(152a)의 타단에는 반대로 제 2 후크고리(154b) 및 제 2 후크고리(154b)가 결합되어 걸쳐지는 제 2 고리공(156b)이 형성된다.
한편, 제 1 클램프편(152a) 및 제 2 클램프편(152b)의 내주면 일측 및 타측에는 외부 연결관체(120)의 외경 측에 형성된 제 1 걸림돌기(158) 및 제 2 연결부재(134)의 외경 측에 형성된 제 2 걸림돌기(160)에 끼워지는 제 1 걸림홈부(162) 및 제 2 걸림홈부(164)가 형성된다.
여기서, 제 1 걸림돌기(158) 및 제 2 걸림돌기(160)는 도시된 바와 같이 각각 외부 연결관체(120) 및 제 2 연결부재(134)의 외경 측을 따라 등각도 간격으로 이격되게 형성되며, 이에 부합하도록 제 1 걸림홈부(162) 및 제 2 걸림홈부(164)도 제 1 클램프편(152a) 및 제 2 클램프편(152b)의 내주면을 따라 등각도 간격으로 이격되게 형성된다.
이때, 제 1 걸림돌기(158)는 도시된 바와 같이 걸림단(142)을 사이에 두고 수나사(138)와 마주하게 형성된다.
즉, 서로 결합된 제 1 클램프편(152a) 및 제 2 클램프편(152b)의 제 1 걸림홈부(162)가 외부 연결관체(120)의 외경 측에 형성된 제 1 걸림돌기(158)에 끼워지고 동시에 서로 결합된 제 1 클램프편(152a) 및 제 2 클램프편(152b)의 제 2 걸림홈부(164)가 제 2 연결부재(134)의 외경 측에 형성된 제 2 걸림돌기(158) 측에 끼워지기 때문에 진동 및 열 수축 등이 발생하더라도 캡 너트(130)를 외부 연결관체(120)에서 풀리는 것을 미연에 방지할 수 있게 한다.
하기에는 전술한 바와 같이 형성된 본 발명에 따른 드레인 배관용 연결 조인트(100)와 드레인 배관(P1, P2)의 연결 상태를 간략하게 설명한다.
본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트(100)를 이용해 드레인 배관(P1, P2)들을 연결하기 위해서는, 우선 어느 하나의 트레인 배관(P1)에 캡 너트(130) 및 패킹(124)을 끼운 상태 하에서 트레인 배관(P1)의 단부 측을 조인트 몸체(110)의 일단 측에 형성된 삽입공간부(112) 내로 삽입시킨다.
이때, 삽입공간부(112) 내로 삽입된 드레인 배관(P1)의 내관(I)은 내부 연결관체(114)에 끼워진 오링(116)을 압착시키면서 삽입공간부(112) 내부로 삽입되는데, 이렇게 삽입공간부(112)로 삽입된 드레인 배관(P1)의 내관(I)의 내경은 내부 연결관체(114)의 외경 측에 밀착되고 드레인 배관(P1)의 외관(O)의 외경은 외부 연결관체(120)의 내경 측에 밀착된다.
그리고 드레인 배관(P1)이 삽입공간부(112)에 삽입되면, 캡 너트(130)를 드레인 배관(P1)이 삽입된 조인트 몸체(110)의 일단 측에 체결시켜 드레인 배관(P1)을 조인트 몸체(110)에 고정시킨다.
즉, 캡 너트(130)의 제 2 연결부재(134)의 형성된 암나사(136)를 외부 연결관체(120)에 형성된 수나사(138)에 체결시켜 드레인 배관(P1)을 조인트 몸체(110)에 고정시키는데, 이때 제 2 연결부재(134)가 외부 연결관체(120)에 체결되는 과정에서 패킹(124)의 테이퍼는 경사면(122)에 가압 밀착되고 동시에 패킹(124)의 내경 측을 드레인 배관(P1)의 외관(O) 외경 측에 가압 밀착된다.
한편, 전술한 바와 같이 캡 너트(130)가 조인트 몸체(110)의 일단 측에 체결이 완료되어 드레인 배관(P1)이 고정되면, 다음으로 클램프(150)를 이용해 캡 너트(130)를 조인트 몸체(110)에 고정시킨다.
이를 위해서는, 우선 제 1 클램프편(152a)을 캡 너트(130)가 체결된 조인트 몸체(110)의 일단 일측에 밀착시킨다. 이때 제 1 클램프편(152a)에 형성된 제 1 걸림홈부(162) 및 제 2 걸림홈부(164)는 캡 너트(130)가 체결된 조인트 몸체(110)의 일단 일측으로 노출된 제 1 걸림돌기(158) 및 제 2 걸림돌기(158)에 각각 끼워지고, 이에 의해 제 1 클램프편(152a)은 캡 너트(130)가 체결된 조인트 몸체(110)의 일단 일측에 밀착된다.
그리고 제 1 클램프편(152a)이 캡 너트(130)가 체결된 조인트 몸체(110)의 일단 일측에 밀착되면, 제 2 클램프편(152b)을 캡 너트(130)가 체결된 조인트 몸체(110)의 일단 타측에 밀착시키면서 제 2 클램프편(152b)을 제 1 클램프편(152a)에 결합시킨다. 이때 제 2 클램프편(152b)에 형성된 제 1 걸림홈부(162) 및 제 2 걸림홈부(164)는 캡 너트(130)가 체결된 조인트 몸체(110)의 일단 타측으로 노출된 나머지 제 1 걸림돌기(158) 및 제 2 걸림돌기(158)에 각각 끼워지고, 이에 의해 제 2 클램프편(152b)은 캡 너트(130)가 체결된 조인트 몸체(110)의 일단 타측에 밀착된다. 그리고 제 1 클램프편(152a) 및 제 2 클램프편(152b)에 형성된 제 1 후크고리(154a) 및 제 2 후크고리(154b)를 대응하는 제 1 고리공(156a) 및 제 2 고리공(156b)에 결합시켜 조인트 몸체(110)의 일단 측에 대한 드레인 배관(P1)의 연결을 완료한다.
한편, 조인트 몸체(110)의 타단 측에 대한 또 다른 드레인 배관(P2)을 연결은 전술한 방법과 동일하므로 이에 대한 설명은 생략한다.
이와 같이 형성된 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트(100)는 드레인 배관(P1, P2)의 단부 측을 삽입공간부(112) 측으로 용이하게 삽입시킬 수 있기 때문에 작업자의 수작업만으로 드레인 배관을 연결할 수 있게 한다.
또한, 본 발명에 따른 반도체 공정용 배관 연결 조인트(100)는 클램프(150)가 캡 너트(130)를 조인트 몸체(110)에 고정시키기 때문에 진동, 열 수축 등에 의해 캡 너트(130)가 풀리는 것을 미연에 방지할 수 있게 한다.
앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

Claims (10)

  1. 어느 하나의 드레인 배관과 또 다른 드레인 배관 사이에 개재되어 상기 드레인 배관들의 유로를 연결시키는, 내부에는 중공된 유로가 형성된 조인트 몸체;
    상기 드레인 배관이 관통하는 링 형상의 제 1 연결부재 및 상기 드레인 배관이 관통하되 상기 제 1 연결부재에 일측에 확관된 형태로 형성되는 링 형상의 제 2 연결부재를 구비하여 상기 드레인 배관들을 상기 조인트 몸체의 각 단부에 결합시키는 캡 너트; 및
    상기 조인트 몸체의 각 단부에 체결된 상기 캡 너트가 풀리지 않도록 상기 조인트 몸체에 고정시키는 클램프;를 포함하되,
    상기 조인트 몸체의 각 단부는 상기 조인트 몸체 내측으로 연장되는 삽입공간부에 의해 내부 연결관체 및 외부 연결관체로 분할되되, 상기 내부 연결관체의 외경 측으로는 상기 삽입공간부에 삽입되는 상기 드레인 배관의 내관 내경 측이 밀착되고, 상기 외부 연결관체의 내경 측으로는 상기 삽입공간부에 삽입되는 상기 드레인 배관의 외관 외경 측이 밀착되며,
    상기 외부 연결관체 외경 측에는 상기 외부 연결관체의 외경을 따라 걸림단이 돌출되게 형성되고, 상기 외부 연결관체 외경 측에는 제 1 걸림돌기들이 상기 외부 연결관체의 외경 측을 따라 등각도 간격으로 이격되게 형성되며, 상기 제 2 연결부재의 외경 측에는 제 2 걸림돌기들이 상기 제 2 연결부재의 외경 측을 따라 등각도 간격으로 이격되게 형성되고,
    상기 클램프는,
    상기 조인트 몸체의 각 단부에 체결된 상기 캡 너트의 상기 제 2 연결부재의 외경 측과 상기 외부 연결관체의 외경 측을 감싸 상기 캡 너트를 상기 조인트 몸체에 고정시키는, 반원의 링 형상으로 제공되는 한 쌍의 제 1 클램프편 및 제 2 클램프편을 포함하되,
    상기 제 1 클램프편 및 상기 제 2 클램프편의 내주면 일측 및 타측에는 상기 제 1 걸림돌기 및 상기 제 2 걸림돌기에 끼워지는 제 1 걸림홈부 및 제 2 걸림홈부가 형성되며, 서로 마주하는 상기 제 1 클램프편의 일단 및 상기 제 2 클램프편의 일단에는 각각 제 1 후크고리 및 상기 제 1 후크고리가 결합되어 걸쳐지는 제 1 고리공이 형성되고, 상기 제 2 클램프편의 타단 및 상기 제 1 클램프편의 타단에는 제 2 후크고리 및 상기 제 2 후크고리가 결합되어 걸쳐지는 제 2 고리공이 형성되는 반도체 공정용 배관 연결 조인트.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 내부 연결관체는 상기 외부 연결관체 보다 길이가 더 연장되게 형성되고,
    상기 내부 연결관체의 외경 측에는 상기 드레인 배관 사이의 기밀을 위해 하나 이상의 오링이 개재되며, 상기 내부 연결관체의 외경 측에는 상기 오링이 끼워지는 오링 끼움홈이 형성되며,
    상기 외부 연결관체는 상기 내부 연결관체 보다 길이가 짧게 형성되고,
    상기 외부 연결관체의 내경 측에는 상기 드레인 배관을 상기 삽입공간부 내부로 삽입되게 유도하는 경사면이 상기 외부 연결관체의 내경 측에서부터 상기 외부 연결관체의 연장단부 측으로 직경이 점층적으로 확장되게 형성되는 반도체 공정용 배관 연결 조인트.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 경사면과 상기 삽입공간부에 삽입된 상기 드레인 배관의 상기 외관 외경 사이에는 상기 외부 연결관체와 상기 드레인 배관 사이의 기밀을 위해 링 형상의 패킹이 개재되되,
    상기 패킹의 외경 측에는 상기 경사면에 면 접촉될 수 있게 테이퍼가 형성되고, 상기 패킹의 내경 측은 상기 드레인 배관의 상기 외관에 밀착되는 반도체 공정용 배관 연결 조인트.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 조인트 몸체의 표면에는 내구성 강화를 위해 다수의 리브가 직각으로 맞닿게 형성되는 반도체 공정용 배관 연결 조인트.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 2 연결부재의 내경 측에는 암나사가 형성되고, 상기 외부 연결관체 외경 측에는 상기 암나사가 맞물리는 수나사가 상기 걸림단을 사이에 두고 마주하게 형성되는 반도체 공정용 배관 연결 조인트.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 연결부재의 내경 측과 상기 제 2 연결부재의 내경 측 사이에는 상기 외부 연결관체의 내경에 형성된 경사면과 상기 드레인 배관의 외관 외경 사이에 개재되는 패킹을 가압하는 가압 단턱부이 형성되는 반도체 공정용 배관 연결 조인트.

  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
KR1020200060535A 2020-05-20 2020-05-20 반도체 공정용 배관 연결 조인트 KR102148911B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200060535A KR102148911B1 (ko) 2020-05-20 2020-05-20 반도체 공정용 배관 연결 조인트

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200060535A KR102148911B1 (ko) 2020-05-20 2020-05-20 반도체 공정용 배관 연결 조인트

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102148911B1 true KR102148911B1 (ko) 2020-08-28

Family

ID=72265913

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200060535A KR102148911B1 (ko) 2020-05-20 2020-05-20 반도체 공정용 배관 연결 조인트

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102148911B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200496274Y1 (ko) 2022-04-13 2022-12-16 유니셈(주) 반도체 공정설비의 배관 연결 구조 및 이를 위한 배관 연결용 가스켓

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009197926A (ja) * 2008-02-22 2009-09-03 Sanyo Seisakusho:Kk 配管の接続体及びその製造方法
KR101539540B1 (ko) 2014-10-08 2015-07-24 주식회사 비비테크 덕트 연결용 플랜지 조립체
KR200479920Y1 (ko) * 2014-09-03 2016-03-22 (주)지에스티산업 결속유지 클립 및 이를 구비한 배관연결용 클램프
KR101621758B1 (ko) 2016-01-29 2016-05-17 비케이엠 주식회사 반도체 제조설비의 드레인 배관용 연결 조인트
KR101644596B1 (ko) * 2016-03-07 2016-08-01 주식회사 신산이엔지 배관 연결용 피팅 고정부재

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009197926A (ja) * 2008-02-22 2009-09-03 Sanyo Seisakusho:Kk 配管の接続体及びその製造方法
KR200479920Y1 (ko) * 2014-09-03 2016-03-22 (주)지에스티산업 결속유지 클립 및 이를 구비한 배관연결용 클램프
KR101539540B1 (ko) 2014-10-08 2015-07-24 주식회사 비비테크 덕트 연결용 플랜지 조립체
KR101621758B1 (ko) 2016-01-29 2016-05-17 비케이엠 주식회사 반도체 제조설비의 드레인 배관용 연결 조인트
KR101644596B1 (ko) * 2016-03-07 2016-08-01 주식회사 신산이엔지 배관 연결용 피팅 고정부재

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200496274Y1 (ko) 2022-04-13 2022-12-16 유니셈(주) 반도체 공정설비의 배관 연결 구조 및 이를 위한 배관 연결용 가스켓

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20060244256A1 (en) Resin pipe joint unit
US771682A (en) Pipe-joint.
US6986533B2 (en) Pipe coupling
KR20010033868A (ko) 수지제관 조인트
US20090284004A1 (en) Double containment system, fittings for fluid flow components and associated methods
TWI767020B (zh) 流體機器的連接構造
KR102148911B1 (ko) 반도체 공정용 배관 연결 조인트
JP2008298104A (ja) 継手
WO2016059755A1 (ja) 低温流体用真空断熱二重管の継手構造
US797152A (en) Combined union, reducer, and expansion-joint.
JP6549886B2 (ja) 無溶接フランジ管継手
WO2014021128A1 (ja) チューブ継手、及び継手ユニット
JP4751920B2 (ja) 樹脂管継手
JP4625855B2 (ja) 管継手
KR101847777B1 (ko) 파이프 연결용 소켓
US333412A (en) Coupling for gas-pipes
JP2010038259A (ja) 管継手
US342305A (en) Half to joshua
KR200197297Y1 (ko) 파이프 배관용 연결구
KR101941424B1 (ko) Z자형 실링재를 이용한 배관 이음체
KR20240018062A (ko) 플렉시블 구조를 갖는 배관 이음용 연결구
JP6913540B2 (ja) 流体機器の接続構造
JP6913541B2 (ja) 流体機器の接続構造
KR200470676Y1 (ko) 관이음용 인서트 부재
JP6237949B2 (ja) 管継手

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant