KR102148751B1

KR102148751B1 - 검사 효율이 향상된 엑스레이 검사 장치 및 엑스레이 검사 방법

Info

Publication number: KR102148751B1
Application number: KR1020190167663A
Authority: KR
Inventors: 김형철
Original assignee: (주)자비스
Priority date: 2019-12-16
Filing date: 2019-12-16
Publication date: 2020-08-27
Also published as: KR20190143424A

Abstract

본 발명은 검사 효율이 향상된 엑스레이 검사 장치 및 이를 위한 방법에 관한 것이고, 구체적으로 다수 개의 부품이 동시에 검사가 될 수 있도록 하면서 이와 동시에 부품의 이동 및 검사가 시간적으로 관련을 가지도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상될 수 있도록 하는 엑스레이 검사 장치 및 이를 위한 방법에 관한 것이다. 엑스레이 검사 방법은 검사 영역에서 적어도 하나의 피검사 대상의 위치를 결정하고 그에 따라 탐지 영상의 디스플레이 방법을 결정하는 단계; 상기 피검사 대상에 대한 엑스레이 탐지 영상의 처리 방법을 결정하는 단계; 및 상기 탐지 영상의 검사 시간과 피검사 대상의 이동 사이의 상대적인 관계를 결정하는 단계를 포함한다.

Description

검사 효율이 향상된 엑스레이 검사 장치 및 엑스레이 검사 방법{Apparatus Having I Improved Efficiency in X-Ray Inspection and Method For the Same}

*본 발명은 검사 효율이 향상된 엑스레이 검사 장치 및 이를 위한 방법에 관한 것이고, 구체적으로 다수 개의 부품이 동시에 검사가 될 수 있도록 하면서 이와 동시에 부품의 이동 및 검사가 시간적으로 관련을 가지도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상될 수 있도록 하는 엑스레이 검사 장치 및 이를 위한 방법에 관한 것이다.

비파괴 검사의 하나에 해당되는 엑스레이 검사는 건축, 토목, 자동차 부품, 전자 부품, 농산물, 전자 또는 의료 분야에서 결함 관리 또는 생산품의 품질 관리에 적용되고 있다. 예를 들어 비파괴 검사는 부품실장 생산 과정에서 인쇄회로기판의 생산 라인에 적용되어 부품의 납땜 상태를 실시간으로 검사하기 위하여 사용될 수 있다.

다수 개의 부품이 검사가 되어야 하는 경우 검사가 정확하게 이루어져야 하는 한편 검사가 빠른 시간에 진행이 되고 자동으로 진행이 되는 것이 유리하다. 또한 필요에 따라 다양한 방법으로 검사를 위한 영상이 처리되는 것이 유리하다.

엑스레이 검사와 관련된 선행기술로 특허공개번호 제2011-0120686호 ‘레퍼런스 정보를 이용한 부품의 내부 결함 검사 방법 및 그 시스템’이 있다. 상기 선행기술은 검사 대상 부품 중에서 무결점 부품을 촬영하여 2차원 엑스레이 영상 또는 3차원 CT 영상을 획득하고, 상기 무결점 부품의 영상을 레퍼런스 영상으로 설정하는 단계와, 상기 레퍼런스 영상으로 설정된 부품을 모델링하여 여타 동일 검사 대상 부품을 동일 위치 및 각도 조건에서 장착하기 위한 지그를 성형 제작하는 단계; 상기 지그에 동일 검사 대상 부품을 상기 레퍼런스 영상의 무결점 부품과 동일 위치 및 각도가 되도록 장착하고 마운트 부분에 고정시킨 상태에서 엑스레이를 방사하여 2차원 엑스레이 영상 또는 3차원 CT 영상을 획득하는 단계; 및 영상 판정 부분에서 상기 검사 대상 부품의 2차원 엑스레이 영상 또는 3차원 CT 영상을 레퍼런스 영상과 밀도 값 또는 밝기 값의 차이를 비교하여 결함 부위를 판별하는 단계를 포함하는 부품의 내부 결함 검사 방법에 대하여 개시한다.

엑스레이 검사와 관련된 다른 선행기술로 특허공개번호 제2011-0128478호 ‘연속공정이 가능한 엑스레이 검사 장치’가 있다. 상기 선행기술은 케이스 내부에 측정 대상을 인입 부분에서 배출 부분으로 이송하는 컨베이어와, 상기 컨베이어의 하부에서 엑스레이를 조사하는 엑스레이 튜브와, 상기 컨베이어의 상부에 구성되는 디텍터로 구성되어, 상기 검사 대상이 상기 컨베이어를 따라 이송되고 상기 엑스레이 튜브에서 엑스레이를 조사하여 상기 디텍터를 촬영하여 측정하는 엑스레이 검사 장치에 있어서, 상기 엑스레이 튜브는 하단 부분에서 한쪽으로 치우쳐 상방으로 사선으로 향하도록 구성되고, 상기 디텍터는 각각의 상기 컨베이어의 상부에 각각 제1 디텍터와 제2 디텍터가 진행방향으로 연속적으로 구성되어, 제1 디텍터와 제2 디텍터가 분담을 하여 검사가 가능하므로 연속적으로 검사를 하는 것이 가능하도록 하는 연속 공정이 가능한 엑스레이 검사 장치에 대하여 개시한다.

상기 선행기술은 검사가 빠르게 진행될 수 있는 방법에 대하여 개시하지 않는다. 예를 들어 반도체 소자와 같이 대량으로 부품이 생산 공정에 투입이 되어야 하는 경우 검사의 신속성은 전체 작업 공정의 생산성 향상에 주요한 인자가 된다. 그러나 상기 선행기술 또는 공지 기술은 이에 대하여 개시하지 않는다.

본 발명은 선행기술이 가진 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.

본 발명의 목적은 검사 영역에서 부품의 배열 또는 탐지 영상 처리의 개선을 통하여 검사 효율이 향상될 수 있도록 하는 엑스레이 검사 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 검사 영역에서 부품의 배열 또는 탐지 영상 처리의 개선과 관련된 일련의 단계에 의하여 검사 효율이 향상될 수 있도록 하는 엑스레이 검사 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 엑스레이 검사 방법은 검사 영역에서 적어도 하나의 피검사 대상의 위치를 결정하고 그에 따라 탐지 영상의 디스플레이 방법을 결정하는 단계; 상기 피검사 대상에 대한 엑스레이 탐지 영상의 처리 방법을 결정하는 단계; 및 상기 탐지 영상의 검사 시간과 피검사 대상의 이동 시간 또는 정지 시간 사이의 상대적인 관계를 결정하는 단계를 포함한다.

본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 적어도 하나의 피검사 대상의 위치는 하나의 탐지 과정에서 상기 피검사 대상의 검사 포인트 또는 검사 영역이 수직 방향으로 서로 어긋나도록 배치된다.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 탐지 영상의 처리 방법은 탐지가 되어 디스플레이가 되거나 또는 탐지 영상이 메모리에 저장이 되는 것을 포함한다.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 상대적인 관계는 상기 피검사 대상에 대한 영상 판독 과정에서 피검사 대상이 이동이 되는 것을 포함한다.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 피검사 대상의 위치는 미리 결정된 상기 적어도 하나의 피검사 대상의 위치가 설정된 위치 결정 지그에 의하여 고정이 된다.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 검사 대상의 이동 시간 또는 정지 시간은 탐지 영상의 검사 시간에 기초하여 결정이 된다.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 기계(machine)에 의하여 판독이 가능하고 그리고 상기 기계에 의하여 판독이 되면 일련의 단계가 실행되도록 하는 저장 매체에서 상기 일련의 단계는 적어도 하나의 피검사 대상의 상대적인 수직 위치를 결정하는 단계, 탐지 영상을 정해진 방법으로 처리하는 단계 및 상기 탐지 영상의 검사와 상기 피검사 대상의 이동 또는 정지 시간 사이의 상대적인 관계를 결정하는 단계를 포함한다.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 엑스레이 검사 장치는 미리 결정된 적어도 하나의 피검사 대상의 상대적인 배치 관계 및 탐지 영상의 처리와 상기 피검사 대상의 이동 관계의 설정을 위한 설정 유닛; 설정 유닛의 조건에 기초하여 상기 피검사 대상의 이동 및 상기 탐지 영상의 처리를 제어하는 제어 모듈; 및 상기 탐지 영상을 미리 결정된 방법에 따라 저장하여 제어 모듈의 제어에 의하여 검사를 위한 장치로 전송하는 메모리를 포함한다.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 적어도 하나의 피검사 대상을 정해진 위치에 고정하기 위한 위치 결정 지그를 더 포함하고, 상기 위치 결정 지그는 XY 평면을 따라 이동 가능한 위치 고정 유닛 및 각각의 피검사 대상의 위치를 조정하기 위한 트레이 조절 유닛을 포함한다.

본 발명에 따른 검사 방법은 다수 개의 부품 또는 대량 생산 공정을 위한 부품의 신속한 검사가 가능하도록 한다는 이점을 가진다. 예를 들어 본 발명에 따른 검사 방법은 인쇄회로기판의 소자의 납땜 상태의 전수 검사가 가능하도록 한다는 이점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 검사 방법은 향상된 검사 효율로 인하여 생산 공정에서 실시간으로 검사가 가능하도록 하는 것에 의하여 제품의 생산성이 향상될 수 있도록 한다는 장점을 가진다.

도 1은 본 발명에 따른 검사 방법이 적용되는 구조의 실시 예를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명에 따른 검사 방법에서 다수 개의 부품이 동시에 검사되는 부품 배치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2e 및 도 2f는 본 발명에 따른 검사 방법 또는 장치에 적용될 수 있는 위치 결정 지그의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3a는 본 발명에 따른 검사 방법에 적용되는 탐지 영상의 처리 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3b는 본 발명에 따른 검사 방법에서 피검사 대상에 대한 위치 보정이 이루어지는 방법에 대한 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 검사 방법이 이루어지는 과정에 대한 실시 예를 도시한 것이다.

아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.

도 1은 본 발명에 따른 검사 방법이 적용되는 구조의 실시 예를 개략적으로 도시한 것이다.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 엑스레이 검사 방법은 검사 영역에서 적어도 하나의 피검사 대상의 위치를 결정하고 그에 따른 탐지 영상의 디스플레이 방법을 결정하는 단계; 상기 피검사 대상에 대한 엑스레이 탐지 영상의 처리 방법을 결정하는 단계; 및 상기 탐지 영상의 검사 시간과 피검사 대상의 이동 사이의 상대적인 관계를 결정하는 단계를 포함한다.

본 발명에 따른 엑스레이 검사 방법은 생산 과정 또는 제조 과정의 제품에 적용이 되거나 또는 제조된 제품에 대하여 적용이 될 수 있다. 또한 본 발명에 따른 엑스레이 검사 방법은 장치의 구조 또는 시스템의 구조에 의하여 제한되지 않으며 예를 들어 양극 튜브의 구조, 탐지 방법 또는 이들의 상대적인 위치 관계에 의하여 제한되지 않는다. 본 발명에 따른 검사 방법은 식품의 이물질 검사, 캔 또는 병의 이물질 검사, 표면실장소자 또는 엘이디와 같은 전자제품의 검사, 자동차 또는 기계 정밀 부품의 검사, 배터리의 검사, 모바일 기기 부품의 정밀 검사 또는 플렉시블 인쇄회로기판의 정밀검사에 적용될 수 있지만 바람직하게 회로기판의 인라인 검사에 적용될 수 있고, 가장 바람직하게 다수 개의 부품이 수용될 수 있는 검사 트레이에 수용된 각각의 부품의 특정 부분의 검사에 적용될 수 있다.

본 발명에 따른 방법은 임의의 엑스레이 검사 장치에서 실행이 될 수 있고 엑스레이 검사 장치는 장치 전체의 작동을 제어하기 위한 제어 모듈(12), 검사 조건의 설정을 위한 설정 유닛(11), 피검사 대상의 투입을 위한 투입 모듈(13), 투입 모듈(13)을 통하여 투입된 피검사 대상의 정해진 영역을 검사하는 탐지 모듈(14), 탐지 모듈(14)로부터 전달된 탐지 결과를 저장하는 메모리(151) 및 탐지 결과를 디스플레이를 하는 영상 모듈(152)을 포함할 수 있다.

제어 모듈(12)은 예를 들어 마이크로프로세서 또는 중앙 처리 장치(CPU)와 같은 것이 될 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 제어 모듈(12)은 피검사 대상의 검사 스테이지로 투입, 피검사 대상에 대한 엑스선의 조사, 탐지 모듈(14)에서 얻어진 영상의 전송 또는 영상의 처리를 제어할 수 있다.

설정 유닛(11)에 의하여 검사 조건이 설정될 수 있고 제어 모듈(12)은 검사 조건에 기초하여 검사 과정을 제어할 수 있다. 본 발명에 따르면, 검사 조건은 한 번의 검사 과정에 포함되는 피검사 대상의 수, 검사 스테이지에서 피검사 대상의 위치, 탐지 유닛(14)에 의하여 얻어진 탐지 영상의 처리 방법 또는 디스플레이 시간과 피검사 대상의 이동 시간의 상대적인 관계를 포함한다.

한 번의 검사 과정이란 엑스레이 튜브에서 엑스선이 조사되고 그에 따라 하나의 영상이 얻어지는 과정을 의미한다. 한 번의 검사 과정에서 피검사 대상의 검사 부위에 대한 하나의 탐지 영상이 얻어질 수 있다. 본 발명에 따르면, 한 번의 검사 과정에 포함될 수 있는 피검사 대상의 수 또는 피검사 대상의 검사 부위의 수는 적어도 하나가 될 수 있고, 바람직하게 적어도 두 개 그리고 가장 바람직하게 세 개가 될 수 있다. 그리고 한 번의 검사 과정에서 포함될 수 있는 검사 부위는 서로 수평으로 배치될 수 있지만, 바람직하게 수직으로 배치가 될 수 있다. 검사 부위의 수평 또는 수직이란 엑스레이 튜브를 기초로 한 다수 개의 검사 부품 사이의 상대적인 위치 관계를 의미한다. 만약 검사 부위가 수직으로 배치가 된다면, 한 번의 검사 과정에서 또는 하나의 탐지 영상에 수직으로 배치된 모든 검사 부위가 식별 또는 판독 가능한 상태로 표시될 수 있어야 한다. 다수 개의 피검사 대상이 하나의 검사 트레이에 배치될 수 있고 다수 개의 검사 트레이가 하나의 검사 스테이지로 투입이 될 수 있다. 그리고 각각의 검사 트레이에 수용된 모든 피검사 대상에 대한 탐지 영상이 얻어질 필요가 있다. 다수 개의 검사 트레이는 수직으로 또는 수평으로 배치가 될 수 있다. 만약 수직으로 검사 트레이가 배치가 된다면 각각의 검사 과정에서 수직으로 배치된 다수 개의 피검사 대상에 대한 탐지 영상이 얻어질 필요가 있다. 이와 같이 피검사 대상이 수직으로 배치가 되는 경우 수직으로 배치가 되는 각각의 피검사 대상은 서로 어긋나게 배치가 될 수 있다. 그리고 피검사 대상에 대하여 얻어진 탐지 영상을 미리 결정된 방법으로 영상 모듈(152)에 표시될 수 있다. 이와 같은 적어도 하나의 피검사 대상의 상대적인 위치 및 탐지 영상의 표시 방법이 설정 유닛(11)에 의하여 설정될 수 있다.

설정 유닛(11)에 의하여 피검사 대상의 이동 시간이 또한 설정될 수 있다. 예를 들어 피검사 대상 또는 검사 트레이의 이동 시간은 영상 모듈(152)에서 표시되는 시간 또는 검사 시간에 기초하여 설정될 수 있다.

일반적으로 검사 대상에 대한 탐지 영상이 얻어지면 영상 모듈(152)로 전송이 되어 예를 들어 육안으로 검사가 될 수 있다. 그리고 검사가 완료되면 다시 피검사 대상이 검사 스테이지에서 이송이 되고 다음 피검사 대상에 대한 탐지 영상이 얻어져 다시 검사가 될 수 있다. 이와 같은 (i) 탐지 영상 획득, (ii) 검사 및 (iii) 피검사 대상의 이동은 시간적 간격을 두고 단계적으로 이루어질 수 있다. 그리고 각각의 단계로 이행을 위하여 소요되는 시간은 전체 검사 시간을 증가시키면서 검사의 효율성을 감소시킬 수 있다

본 발명에 따르면, 피검사 대상의 이동은 영상 전달 또는 검사 시간에 기초하여 상대적으로 결정이 될 수 있다. 예를 들어 피검사 대상의 탐지 영상이 얻어지면 영상 전달 및 검사 시간에 소요되는 시간을 고려하여 일정한 속도로 이동 스테이지에서 다음 탐지 위치로 이동이 될 수 있다. 구체적으로 피검사 대상은 검사 시간 동안 미리 결정된 속도로 다음 탐지 위치로 이동이 될 수 있다. 그리고 검사 완료 신호가 탐지되거나 또는 검사 과정과 관계없이 탐지 영상이 얻어질 수 있다.

만약 검사에 소요되는 시간이 검사 트레이의 이동과 탐지 영상 획득 시간에 비하여 충분이 크다면, 필요에 따라 검사 트레이는 계속적으로 이동이 되고 그리고 각각의 이동 위치에서 탐지 영상이 획득될 수 있다. 이와 같은 경우 검사대기 상태에 있는 다수 개의 탐지 영상이 존재할 수 있다. 본 발명에 따르면, 검사대기 상태에 있는 다수 개의 탐지 영상은 메모리(151)에 저장될 수 있다. 메모리(151)에 저장되는 탐지 영상은 일련의 식별 부호를 가질 수 있고 제어 모듈(12)의 제어에 따라 영상 모듈(152)로 전송이 될 수 있다.

탐지 영상이 영상 모듈(152)로 전송이 될 것인지 아니면 메모리(151)로 전송될지 여부는 미리 결정되거나 검사 신호의 탐지에 따라 제어 모듈(12)에 의하여 제어될 수 있다. 구체적으로 피검사 대상에 대한 탐지 영상이 얻어지면 영상 모듈(152)로 전송이 될 수 있고 그리고 전송 완료 신호가 탐지되면 피검사 대상이 수용된 검사 트레이가 다음 검사 위치로 이동이 될 수 있다. 다음 검사 부분에 대한 탐지 영상이 전송된 탐지 영상의 검사 완료 여부에 관계없이 얻어질 것인지 또는 검사 완료 신호가 탐지된 이후 얻어질 것인지 여부는 미리 결정될 수 있다. 만약 검사 완료 여부와 관계없이 다음 탐지 영상이 얻어지는 경우 탐지 영상은 영상 모듈(152)로 전송되거나 또는 메모리(151)로 전송이 될 수 있다. 이에 비하여 검사 완료 신호가 탐지된 이후 탐지 영상이 얻어진다면 탐지 영상은 영상 모듈(152)로 전송이 되고 다시 검사 트레이가 다음 탐지 위치로 이동이 될 수 있다. 만약 검사에 많은 시간이 소요된다면 검사 완료 신호에 관계없이 얻어진 탐지 영상은 메모리로 전송이 될 수 있다. 그리고 메모리(152)에 저장이 된 것이 확인이 되면 검사 트레이가 이동이 되고 그리고 다음 탐지 영상이 얻어져 메모리(152)에 저장이 될 수 있다. 이와 같은 과정은 미리 설정이 될 수 있다.

메모리(151)에 저장된 다수 개의 탐지 영상은 제어 모듈(12)에 의하여 영상 모듈(152)로 전송이 될 수 있다. 대안으로 영상 모듈(152)은 메모리(152)에 저장된 탐지 영상을 탐지 영상의 고유 식별 부호에 따라 차례대로 호출을 할 수 있다. 검사 장치의 구조에 따라 모든 탐지 영상이 메모리(151)로 전송이 되도록 설정이 될 수 있다. 그리고 메모리(151)에 저장된 탐지 영상은 제어 모듈(12)의 제어에 의하여 영상 모듈(152)로 전송이 되거나 또는 영상 모듈(152)의 호출에 의하여 차례대로 영상 모듈(152)로 전송이 될 수 있다.

설정 유닛(11)은 다양한 방법으로 검사 트레이의 이동, 검사 시간, 메모리(151)로 전송 여부 또는 메모리(151)로부터 영상 모듈(152)로 전송 방법을 설정할 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. 또한 설정 유닛(11)은 검사 트레이의 이동, 검사 시간, 탐지 유닛(14)의 작동, 메모리(151)에 저장되는 탐지 영상의 저장 또는 호출과 관련된 다양한 검사 조건을 설정을 할 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.

투입 모듈(13)은 이 분야에 공지된 임의의 구조를 가질 수 있고 그리고 피검사 대상에 따른 적절한 구조를 가질 수 있고 본 발명은 투입 모듈(13)의 구조에 의하여 제한되지 않는다. 탐지 모듈(14)은 예를 들어 엑스레이 튜브, 검사 스테이지 또는 디텍터를 포함할 수 있다. 검사 스테이지는 X-Y축을 따라 이동 가능하거나 또는 회전 가능한 구조를 가질 수 있고 검사 트레이를 수용하기에 적합한 구조를 가질 수 있다. 다양한 구조를 가지는 탐지 모듈(14)이 본 발명에 따른 검사 장치에 적용될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.

메모리(151)는 플래시 메모리를 비롯한 이 분야에서 공지된 임의의 메모리가 될 수 있고 그리고 영상 모듈(152)은 검사 가능한 상태로 탐지 영상을 표시할 수 있는 임의의 디스플레이를 포함할 수 있다. 또한 필요에 따라 영상 모듈(152)은 메모리(151)에 저장된 탐지 영상을 호출할 수 있는 호출 유닛을 포함할 수 있고 그리고 검사 완료에 따른 신호를 제어 모듈(12)로 전송하는 기능을 가질 수 있다.

검사를 위한 다양한 부가 장치가 본 발명에 따른 검사 장치에 추가될 수 있고 본 발명은 이에 의하여 제한되지 않는다.

아래에서 설정 유닛(11)에 의하여 설정되는 검사 조건의 실시 예에 대하여 설명이 된다.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명에 따른 검사 방법에서 다수 개의 부품이 동시에 검사되는 부품 배치의 실시 예를 도시한 것이다.

도 2a는 검사 스테이지에 배치되는 다수 개의 부품(E)이 수용된 검사 트레이(21)의 실시 예를 나타낸 것이고, 검사 트레이(21)는 베이스 플레이트(211) 및 베이스 플레이트(211)에 매트릭스 구조로 배치된 수용 홈(212)을 포함할 수 있다. 그리고 각각의 수용 홈(212)에 엑스레이 검사가 요구되는 부품(E)이 배치될 수 있고 그리고 부품(E)의 특정 부분이 엑스레이 튜브에서 엑스선의 조사에 의하여 검사될 수 있다. 검사 트레이(21)는 다양한 형상을 가질 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.

도 2b는 도 2a의 검사 트레이(21)에 수용된 하나의 부품(E)에 대한 검사 부위의 탐지 영상(ED)의 실시 예를 도시한 것이다. 탐지 영상은 탐지 모듈에 의하여 탐지되어 영상 모듈의 디스플레이 유닛(22)에 표시될 수 있다. 디스플레이 유닛(22)에 표시되는 탐지 영상(ED)은 부품(E)의 검사 부위에 해당되고 미리 결정이 될 수 있다. 이후 다른 부품의 검사를 위하여 검사 스테이지가 이동이 될 수 있고 그리고 다른 부품의 검사 부위가 탐지 영상(ED)으로 디스플레이 유닛(22)에 표시될 수 있다.

도 2c는 검사 스테이지(S)에 세 개의 검사 트레이(21a, 21b, 21c)가 수직으로 배치된 실시 예를 도시한 것이다. 검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 아래쪽 또는 위쪽에서 검사 스테이지(S)에 수직이 되는 방향으로 엑스레이가 조사될 수 있다. 그리고 탐지 모듈은 위쪽 또는 아래쪽에 배치될 수 있고 수직으로 배치된 3개의 트레이(21a, 21b, 21c)의 각각의 수용 홈(212)에 배치된 3개의 부품(E)에 대한 탐지 영상이 탐지 모듈에 의하여 얻어질 수 있다.

검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 배열 면(C1, C2, C3)은 서로 어긋나도록 배치될 수 있고 예를 들어 제2 배열 면(C2)는 제1 배열 면(C1)에 대하여 그리고 제3 배열 면(C3)는 제2 배열 면(C2)에 대하여 일정 거리만큼 정해진 방향으로 이동되어 위치될 수 있다. 이동이 되는 정도는 가장 위쪽에 위치하는 검사 트레이(21c)의 수용 홈(212)이 가장 아래쪽에 위치하는 검사 트레이(21a)의 검사 대상이 되는 다음 수용 홈(212)과 겹치지 않는 정도가 된다.

검사 트레이(21a, 21b, 21b)가 수직 방향으로 적층이 되는 경우 이와 같이 검사 트레이(21a, 21b, 21c)는 서로 어긋나도록 배치될 수 있다. 그리고 어긋나는 정도는 수직으로 배치되는 어느 하나의 검사 트레이(21a, 21b, 21c)가 다른 검사 트레이(21a,21b,21c)의 수용 홈(212)을 간섭하지 않는 수준이 된다.

위에서 설명이 된 설정 유닛은 검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 구조에 기초하여 적어도 하나 또는 다수 개의 검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 상대적인 배치를 결정할 수 있고 그리고 각각의 검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 상대적으로 어긋나는 수준을 결정할 수 있다.

다수 개의 검사 트레이(21a, 21b, 21c)는 다양한 방법으로 배치가 될 수 있고 그리고 검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 구조에 따라 적절하게 어긋나는 방향 또는 수준이 결정될 수 있다.

다른 한편으로 검사 트레이(21a, 21b, 21c)가 정해진 위치에 고정될 수 있도록 하는 위치 결정 지그가 검사 스테이지(S), 검사 트레이(21a, 21b, 21c) 또는 검사 스테이지(S)에 부착 가능한 구조로 형성될 수 있다. 위치 결정 지그는 검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 배치 구조에 따라 적절하게 만들어질 수 있다. 예를 들어 도 2c에 도시된 실시 예와 같이 검사 트레이(21a, 21b, 21c)가 수직으로 배열 면(C1, C2, C2)이 어긋나도록 배치가 된다면, 위치 결정 지그는 검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 모서리에 대응되는 형상을 가지는 부분을 포함하도록 만들어질 수 있다. 그리고 이와 같이 형성된 위치 결정 지그는 검사 스테이지(S)에 분리 가능한 구조로 결합이 되고 그에 따라 검사 트레이(21a, 21b, 21c)가 검사 스테이지(S)의 정해진 위치에 고정될 수 있다.

위에서 설명이 된 것처럼, 검사 트레이(21a, 21b, 21c)는 다양한 방법으로 서로 어긋나도록 배치가 될 수 있다. 그리고 그에 따라 적절하게 영상 모듈에 각각의 검사 트레이(21a, 21b, 21c)에 배치된 각각의 특정 부품(E)이 영상 모듈에 적절하게 표시가 될 수 있어야 한다. 설정 유닛에 의하여 검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 배치 위치에 따른 영상 모듈의 표시 방법이 미리 설정이 될 수 있다.

예를 들어 도 2c와 같이 검사 트레이(21a, 21b, 21c)가 배치된다면, 각각의 부품(E)의 검사 부위에 대한 탐지 영상(ED1, ED2, ED3)이 영상 모듈의 디스플레이 유닛(22)에 도 2d에 도시된 것과 같이 표시될 수 있다. 탐지 영상(ED1, ED2, ED3)은 디스플레이 유닛(22)에 적절한 간격으로 배치가 될 수 있다. 탐지 영상(ED1, ED2, ED3)의 배치 구조는 미리 결정될 수 있고 예를 들어 가로 또는 세로로 정렬이 될 수 있다. 추가로 디스플레이(22) 유닛에 표시되는 탐지 영상(ED1, ED2, ED3)의 수와 검사 트레이(21a, 21b,21c)의 수가 반드시 일치하여야 하는 것은 아니다. 예를 들어 탐지 영상(ED1, ED2, ED3)이 미리 메모리에 저장이 된다면, 탐지 영상(ED1, ED2, ED3)는 효율적인 검사를 위한 적절한 수로 디스플레이 유닛(22)에 표시될 수 있다.

검사 트레이(21a, 21b, 21c)는 다양한 형태로 검사 스테이지(S)에 배치될 수 있고 그리고 탐지 영상(ED1, ED2, ED3)은 검사의 효율을 높이기 위한 적절한 방법으로 디스플레이 유닛(22)에 배치될 수 있다.

도 2e 및 도 2f는 본 발명에 따른 검사 방법 또는 장치에 적용될 수 있는 위치 결정 지그(25)의 실시 예를 도시한 것이다.

도 2e를 참조하면, 위치 결정 지그(25)는 길이 방향으로 연장되는 검사 스테이지 또는 검사 장치에 고정되는 고정 부재(FE), 고정 부재(FE)에 결합되면서 이동 홈(GR)을 가지는 가이드 부재(251a, 251b) 및 가이드 부재(251a, 251b)에 조정 수단(255)에 의하여 이동 가능하도록 결합되는 적어도 하나의 위치 고정 유닛(252a, 252b, 252c, 252d)을 포함할 수 있다.

고정 부재(FE)는 서로 평행하게 연장되는 한 쌍이 될 수 있고 적절한 고정 수단에 의하여 검사 스테이지 또는 검사 장치에 고정될 수 있다. 가이드 부재(251a, 251b)는 고정 부재(FE)에 의하여 결합되어 위치 고정 유닛(252a, 252b, 252c, 252d)이 이동 가능하도록 한다. 구체적으로 가이드 부재(251a, 252b)는 하나의 고정 부재(FE)와 동일 또는 유사한 방향으로 연장되면서 고정 부재(FE)에 고정되는 제1 가이드 부재(251a) 및 한 쌍의 고정 부재(FE)의 서로 다른 양 끝부분에 고정되는 한 쌍의 제2 가이드 부재(251b)로 이루어질 수 있다. 그리고 제1 가이드 부재(251a) 및 제2 가이드 부재(251b)에 각각 연장 방향을 따라 조정 수단(255)의 이동을 위한 이동 홈(GR)이 형성될 수 있다.

위치 고정 유닛(252a, 252a. 252c, 252d)은 검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 모서리 부분을 고정하는 구조를 가질 수 있고 조정 수단(255)에 의하여 가이드 부재(251a, 251b)에 결합될 수 있다. 위치 고정 수단(252a, 252b, 252c, 252d)은 검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 모서리에 대응되도록 직각으로 꺾인 형상이 될 수 있고 검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 측면에 접할 수 있는 기준 벽(RW)을 가질 수 있다. 각각의 위치 고정 수단(252a, 252b, 252c, 252d)은 조정 수단(255)에 의하여 X-축 방향 또는 Y-축 방향으로 이동이 될 수 있다. 다른 한편으로 한 쌍의 제2 가이드 부재(251b)는 조정 수단(255) 및 브래킷에 의하여 고정 부재(FE)를 따라 Y-축 또는 X-축 방향으로 이동될 수 있다. 각각의 제2 가이드 부재(251b)는 독립적으로 이동이 가능하거나 또는 어느 하나만이 이동 가능하도록 설치될 수 있다. 이와 같이 제2 가이드 부재(251b)의 고정 부재(FE)에 따른 이동(MD 방향) 또는 위치 고정 수단(252a, 252b, 252c, 252d)의 제2 가이드 부재(251b)에 따른 이동(MD 방향)에 의하여 위치 고정 수단(252a, 252b, 252c, 252d)이 검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 네 모서리에 정확하게 위치될 수 있다.

추가로 위치 고정 수단(252a, 252a, 252c, 252d)의 내부 면에 트레이 조절 유닛(254)가 배치될 수 있다. 트레이 조절 유닛(254)에 의하여 각각의 검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 어긋남의 수준이 정밀하게 조절될 수 있고 이와 동시에 조절된 위치에서 검사 트레이(21a, 21b, 21c)가 고정될 수 있다.

도 2f는 도 2e에서 LA로 표시된 부분을 도시한 것이다.

도 2f를 참조하면, 위치 고정 수단(252a)은 몸체(BD), 검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 모서리에 대응되는 꺾인 형상이 되면서 검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 전면과 마주보는 기준 면(RS) 및 검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 측면과 접하는 정렬 벽(RW)으로 이루어질 수 있다. 조정 수단(255)은 나사 결합 방식으로 몸체(BD)에 결합될 수 있고 기준 면(RS)의 앞쪽에 단차 블록(AS)이 형성될 수 있다. 단차 블록(AS)은 수직으로 적층이 되는 검사 트레이(21a, 21b, 21c)의 어긋나는 정도에 대응되도록 형성될 수 있고 다수 개의 단차를 가질 수 있다. 그리고 단차 블록(AS)에 각각의 검사 트레이(21b, 21c)의 위치를 조절하기 위한 트레이 조절 유닛(254b, 254c)이 설치될 수 있다. 트레이 조절 유닛(254b, 254c)은 적절한 조정 수단에 의하여 수평 방향으로 이동이 가능하도록 배치될 수 있고 각각의 트레이(21b, 21b)의 전면과 접하는 접촉면을 가질 수 있다. 그리고 구체적으로 트레이 조절 유닛(254b, 254c)은 이동 홈을 따라 이동 가능한 조정 나사에 의하여 수평 방향(MD1)으로 이동이 가능하고 그리고 정해진 위치에서 조정 나사에 의하여 고정될 수 있다.

도 2e 및 도 2f에 제시된 위치 결정 지그(25)의 실시 예는 예시적인 것으로 위치 결정 지그(25)은 검사 트레이(21a, 21b, 21b)의 구조, 적층되는 수, 배치 형상 또는 어긋남의 방향에 따라 다양한 구조로 만들어질 수 있다. 예를 들어 위치 결정 지그(25)는 2개 내지 5개의 검사 트레이를 고정하기 위한 구조를 가질 수 있다. 다른 한편으로 위치 고정 수단(252a, 252b, 252c, 252d)은 다양한 구조로 검사 트레이(21a, 21b, 21c)를 정해진 위치에 고정할 수 있고 설치되는 위치 또는 개수는 제한되지 않는다. 마찬가지로 각각의 검사 트레이(21a, 21b, 21c)를 정해진 위치에 고정하기 위한 트레이 조절 유닛(254b, 254c)도 다양한 구조를 가질 수 있다. 그러므로 본 발명은 도 2e 또는 도 2f에 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.

아래에서 검사 스테이지의 이동 과정에 대하여 설명이 된다.

도 3a는 본 발명에 따른 검사 방법에 적용되는 탐지 영상의 처리 과정의 실시 예를 도시한 것이다.

검사 트레이(21)는 검사 스테이지(S)에 배치될 수 있고 그리고 검사 스테이지(S)의 아래쪽에 엑스레이 튜브(32)가 배치될 수 있다. 엑스레이 튜브(32)에서 조사된 엑스레이(X)는 검사 트레이(21)에 배치된 피검사 대상 또는 부품을 투과하게 되고 디텍터(34)에 의하여 탐지되어 탐지 영상을 만들게 된다.

엑스레이 튜브(32) 또는 디텍터(34)의 위치는 예시적인 것으로 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.

디텍터(34)에 의하여 형성된 탐지 영상은 디스플레이 유닛(22)으로 전달될 수 있고 제어 모듈(31)은 이를 탐지할 수 있다. 위에서 설명이 된 것처럼, 탐지 영상은 메모리로 전송이 되어 일정한 방법으로 저장될 수 있다. 디스플레이 유닛(22)에서 피검사 대상 또는 부품에 대한 검사가 이루어질 수 있다. 제어 모듈(31)은 탐지 영상이 디스플레이 유닛(22)으로 전송이 되었다는 것을 확인하면 구동 모듈(37)을 제어하여 검사 스테이지(S)를 이동시켜 다음 부품이 검사되는 위치로 이동을 시키게 된다. 이와 검사 스테이지(S)이 이동은 검사가 이루어지는 과정에서 진행이 되고 그리고 검사가 완료되면 다시 탐지 영상이 디스플레이 유닛(22)으로 전송이 될 수 있다. 그리고 제어 모듈(31)은 구동 장치(37)를 작동시켜 다음 탐지 위치로 검사 스테이지(S)를 이동시키게 된다.

다른 한편으로 검사가 완료되는 과정에서 다음 탐지 영상이 얻어질 수도 있다. 구체적으로 검사가 이루어지는 과정에서 검사 스테이지(S)의 이동 및 탐지 영상의 획득이 이루어질 수 있다. 제어 모듈(31)은 검사에 소요되는 시간, 검사 스테이지(S)이 이동 시간 및 탐지 시간에 기초하여 각각의 공정의 진행을 제어할 수 있다. 또한 검사에 소요되는 시간에 기초하여 검사 스테이지(S)이 이동 속도가 제어될 수 있다.

위에서 설명이 된 것처럼, 검사 트레이(21)는 다수 개가 될 수 있고 그리고 탐지 영상은 메모리로 전송이 될 수 있다. 그리고 각각의 검사 조건에 대한 작동 제어는 설정 유닛에 의하여 설정이 될 수 있고 그리고 제어 모듈(31)은 그에 기초하여 각각의 공정을 제어할 수 있다.

도 3a에 제시된 실시 예는 예시적인 것으로 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.

다수 개의 피검사 대상에 대한 연속적인 검사 과정에서 피검사 대상은 검사 스테이지의 이동에 의하여 변하게 된다. 이와 같은 과정에서 위치 보정이 이루어질 수 있다.

도 3b는 본 발명에 따른 검사 방법에서 피검사 대상에 대한 위치 보정이 이루어지는 방법에 대한 실시 예를 도시한 것이다.

도 3b의 (가)를 참조하면, 실제 피검사 대상(E1, E2) 사이의 거리(D0)에 비하여 설정된 이동 거리(D1)가 클 수 있다. 이와 같은 경우 이동 거리에 대하여 다시 설정이 이루어져야 하고 다음 피검사 대상(E2, E3) 사이의 거리에 대하여 동일하게 다시 거리(D0)의 설정이 이루어져야 한다. 검사 트레이(21)에 수용 홈(212)은 일정 간격으로 배치되어 있으므로 다음 피검사 대상(E2, E3)에 대한 이동 거리는 동일한 것으로 가정이 될 수 있다. 그리고 다수 개의 검사 트레이(21)에 대하여 한 번의 검사가 이루어지는 경우 각각의 검사 트레이(21)에 대하여 이와 같은 재설정이 이루어져 한다.

본 발명에 따르면, 이와 같은 경우 하나의 이동 거리(D1)에 대한 재-설정으로 나머지 이동 거리에 대한 재-설정이 자동으로 이루어지도록 소프트웨어 형태로 설정이 될 수 있다. 제시된 실시 예에서 X-축 방향이 제시되어 있지만 Y-축 방향에 대한 보정도 동일하게 적용될 수 있다.

위치 보정은 수용 홈(222) 내에서 피검사 대상(E)에 대하여 이루어질 수 있다. 예를 들어 수용 홈(212)의 크기에 비하여 피검사 대상(E)이 작을 수 있고 이로 인하여 피검사 대상(E)이 중앙으로부터 벗어나서 위치될 수 있다. 이와 같은 경우 두 가지 방법으로 위치 보정이 이루어질 수 있다. 먼저 검사 스테이지의 이동에 의하여 위치가 보정될 수 있다. 검사 스테이지의 이동 방법은 디스플레이가 된 위치를 기준으로 이루어질 수 있다. 대안으로 디스플레이 유닛(22)에서 표시되는 위치를 보정할 수 있다. 예를 들어 디스플레이 유닛(22)에서 제1 위치(ED1)에 표시되지만 이를 다시 디스플레이 유닛(22)의 정해진 위치(ED2)에 표시되도록 보정될 수 있다. 다수 개의 탐지 영상이 디스플레이 유닛((22)에 표시되는 경우 각각이 정해진 위치에 표시되도록 보정될 수 있다. 그리고 이와 같은 설정은 소프트웨어 형태로 이루어질 수 있다.

검사 과정에서 하나의 이동 거리에 대한 보정으로 차후 이동 거리 또는 하나의 피검사 대상(E)에서 검사 부위에 대한 이동 거리가 자동으로 보정이 되도록 하는 것은 검사의 효율성이 향상될 수 있도록 한다. 다른 한편으로 디스플레이 유닛(22)에서 표시되는 위치에 기초하여 피검사 대상(E)에 대한 위치 보정은 검사의 정밀성이 향상될 수 있도록 한다.

위치 보정은 소프트웨어 형태로 다양하게 자동으로 설정이 되도록 할 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.

도 4는 본 발명에 따른 검사 방법이 이루어지는 과정에 대한 실시 예를 도시한 것이다.

도 4를 참조하면, 검사를 위하여 먼저 매개변수가 결정될 수 있다(S41). 매개변수는 한 번의 검사에서 탐지되는 부품의 수, 다수 개의 검사 트레이 사이에서 검사 트레이 사이의 상대적인 위치, 검사에 소요되는 시간 또는 검사 스테이지의 이동 속도와 같은 것이 될 수 있다. 매개변수가 결정이 되면(S41), 설정 유닛에 의하여 검사 조건이 설정이 될 수 있다(S42). 검사 조건의 설정은 결정된 매개변수의 값을 결정하는 것을 의미하고 예를 들어 키패드 또는 마우스와 같은 적절한 입력 수단에 의하여 설정될 수 있다.

제어 설정이 되면(S42), 그에 따라 피검사 대상 또는 부품의 정해진 검사 부위가 엑스레이에 의하여 탐지될 수 있다(S43). 그리고 설정된 조건과 탐지 결과가 일치하는지 여부가 판단될 수 있다(S44). 만약 일치하지 않는다면(NO) 다시 제어 설정이 진행될 수 있다(S42). 이에 비하여 설정된 조건과 탐지 결과가 일치한다면(YES) 설정 조건에 따라 탐지 영상이 메모리로 전송이 되어야 하는지 여부가 결정될 수 있다(S45).

만약 메모리로 전송되지 않는다면(NO) 디스플레이 유닛으로 전송이 되어 검사가 진행될 수 있다(S48). 이에 비하여 메모리로 전송이 되어야 한다면(YES) 각각의 영상의 고유 번호가 부여될 수 있고(S46) 그리고 미리 결정된 방법에 따라 메모리에 저장이 될 수 있다(S47). 그리고 이후 메모리에 저장된 탐지 영상은 제어 모듈의 제어 또는 디스플레이 유닛의 호출에 따라 디스플레이 유닛에 표시될 수 있다(S48). 다른 한편으로 검사가 이루어지는 과정에서 검사 스테이지가 이동이 될 수 있다(S49). 이동이 된 위치에서 검사에 소요되는 시간에 기초하여 미리 탐지 영상이 만들어지거나 또는 검사 완료 신호의 수신과 함께 탐지 영상이 만들어질 수 있다.

추가로 본 발명에 따르면, 검사 과정(S19)에서 판독된 영상에 대한 불량 여부(OK/NG)가 표시될 수 있다. 불량 여부(OK/NG)의 표시는 디스플레이 유닛에 설치된 입력 장치에 의하여 입력될 수 있고 검사되는 영상의 미리 결정된 위치에 적절한 방법으로 표시될 수 있다. 그리고 불량 여부(OK/NG)가 표시된 영상은 화면에 출력이 될 수 있고 필요에 따라 저장이 될 수 있다. 저장은 표시된 영상 그 자체로 또는 다른 적절한 방법으로 될 수 있다. 각각의 부품에 대한 검사 결과는 부품에 부여된 고유 번호와 함께 데이터 형태로 저장이 되므로 이와 같은 표시는 검사의 신뢰성을 향상시키기 위한 추가적인 표시 방법에 해당된다.

다양한 방법으로 본 발명에 따른 방법에 의하여 검사가 이루어질 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.

본 발명에 따른 방법은 프로그램 형태로 만들어질 수 있고 그리고 프로그램은 장치에 내장이 되거나 또는 매체에 저장이 될 수 있다. 또는 매체에 저장이 된 이후 장치에 설치가 될 수 있다. 그리고 기계에 의하여 매체가 판독이 되는 경우 본 발명에 따른 방법이 실행이 될 수 있다. 본 발명은 이와 같인 프로그램 형태에 장치에 내장이 되거나 또는 매체에 의하여 저장이 되고 그리고 기계에 의하여 판독이 되는 경우 아래의 일련의 단계를 실행하는 경우 내장된 프로그램 또는 그와 같은 일련의 단계가 실행되도록 하는 저장 매체를 포함할 수 있다.

예를 들어 프로그램 또는 저장 매체는 적어도 하나의 피검사 대상의 상대적인 수직 위치를 결정하는 단계, 탐지 영상을 정해진 방법으로 처리하는 단계 및 상기 탐지 영상과 상기 피검사 대상의 이동 사이의 상대적인 관계를 결정하는 단계를 포함할 수 있다. 그리고 이와 유사한 기능을 하는 단계를 포함할 수 있다. 각각의 단계는 장치 또는 매체에 분리되어 저장이 되거나 전체 과정이 장치 또는 매체에 내장 또는 저장이 될 수 있다.

다양한 형태로 본 발명에 따른 방법이 저장 또는 내장이 되어 검사 장치에 의하여 실행이 될 수 있고 본 발명에 장치의 종류, 저장 매체 종류 또는 저장 형태에 의하여 제한되지 않는다.

위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.

11: 설정 유닛 12: 제어 모듈
13: 투입 모듈 14: 탐지 모듈
21: 검사 트레이 21a, 21b, 21c: 검사 트레이
22: 디스플레이 유닛 25: 위치 결정 지그
31: 제어 모듈 32: 엑스레이 튜브
34: 디텍터 37: 구동 모듈
151: 메모리 152: 영상 모듈
211: 베이스 플레이트 212: 수용 홈
251a, 251b: 가이드 부재 252a, 252b, 252c, 252d: 위치 고정 유닛
254: 트레이 조절 유닛 254b, 254c: 트레이 조절 유닛
255: 조정 수단

Claims

각각 다수 개의 피검사 대상이 배치된 다수 개의 검사 트레이가 서로 수직으로 적층된 검사 스테이지로부터 다수 개의 피검사 대상에 대한 엑스레이 탐지 영상을 획득하는 엑스레이 검사 방법에 있어서,
각각의 검사 트레이에 배치된 피검사 대상의 검사 포인트가 수직으로 서로 어긋나도록 설정되고, 검사 영역에서 한 번의 검사 과정에서 얻어지는 미리 결정된 적어도 하나의 피검사 대상에 대한 하나의 탐지 영상이 얻어지는 단계;
상기 탐지 영상의 처리 시간에 기초하여 미리 결정된 속도로 상기 검사 트레이가 상기 검사 스테이지에서 미리 설정된 거리만큼 이동되는 단계:
상기 이동된 위치에서 피검사 대상에 대한 탐지 영상이 획득되는 단계; 및
상기 처리 시간에 따라 상기 검사 트레이의 계속적인 이동 여부 및 상기 이동된 위치에서 탐지 영상의 처리 방법이 결정되는 단계를 포함하고,
상기 다수 개의 검사 트레이의 서로 어긋나는 위치는 상기 검사 스테이지의 모서리 부분에 부착되면서 어긋나는 위치를 조절하는 복수의 위치 고정 수단(252a, 252b, 252c, 252d)을 가진 위치 결정 지그에 의하여 조절되고,
상기 위치 고정 수단(252a, 252b, 252c, 252d)은 수직으로 적층이 되는 복수의 검사 트레이(21b, 21c)의 어긋나는 정도에 대응되도록 다수 개의 단차를 갖는 단차 블록(AS) 및 단차 블록(AS)에 각각의 트레이(21b, 21c)의 전면에 접하는 접촉면을 갖고 수평 방향으로 이동 가능하도록 배치된 복수의 트레이 조절 유닛(254b,254c)을 포함하며,
각각의 피검사 대상에 대한 탐지 영상은 디스플레이로 전송되어 미리 결정된 위치에 배치되어 정렬되는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사 방법.