KR102147363B1 - Liquid Phase Precursor Life Time Management System - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 제조공정 등에 이용되는 액상전구체의 수명 등을 관리하기 위한 것으로, 본 발명에 따르면, 소정의 액상전구체를 수용하고 디개싱시키는 액상전구체 디개서; 상기 액상전구체 디개서에서 디개싱된 상기 액상전구체의 점도를 측정하는 점도측정기; 및 상기 액상전구체 디개서 또는 상기 점도측정기와 전기적으로 연결되어 측정정보 또는 제어정보를 통신할 수 있으며, 상기 액상전구체 디개서 또는 상기 점도측정기의 작동을 제어하는 중앙판단제어장치; 를 포함하되, 상기 중앙판단제어장치는, 상기 점도측정기 측으로부터 측정된 상기 액상전구체의 점도측정정보를 전달받아서 상기 액상전구체 디개서 내에 수용된 상기 액상전구체의 수명을 판단 또는 예측할 수 있으므로 액상전구체의 디개싱(degassing)효율성과 액상전구체의 증기압에 대한 측정 정확성을 증진시켜줄 수 있으며, 액상전구체의 수명 관리의 효율성을 증진시켜줄 수 있는 기술이 개시된다. The present invention is for managing the life of a liquid precursor used in a semiconductor manufacturing process, etc., and according to the present invention, a liquid precursor degassing device for receiving and degassing a predetermined liquid precursor; A viscosity meter for measuring the viscosity of the liquid precursor degassed by the liquid precursor degasser; And a central judgment control device that is electrically connected to the liquid precursor degasser or the viscosity meter to communicate measurement information or control information, and controls the operation of the liquid precursor degasser or the viscosity meter. Including, wherein the central judgment control device receives the viscosity measurement information of the liquid precursor measured from the side of the viscometer and can determine or predict the life of the liquid precursor accommodated in the liquid precursor degassing device. A technology that can improve the degassing efficiency and the accuracy of measurement of the vapor pressure of a liquid precursor, and improve the efficiency of lifespan management of a liquid precursor is disclosed.

Description

액상전구체 수명 매니지먼트 시스템{Liquid Phase Precursor Life Time Management System}Liquid Phase Precursor Life Time Management System {Liquid Phase Precursor Life Time Management System}

본 발명은 액상전구체의 물리적 성질을 정확히 측정하고 관리하기 위한 공정장치에 관련된 것으로, 보다 상세하게는 액상전구체의 수명을 파악하고 그에 따라 액상전구체에 대한 대응관리를 하기 위한 액상전구체 수명 매니지먼트 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a process device for accurately measuring and managing the physical properties of a liquid precursor, and more particularly, to a liquid precursor life management system for identifying the life of the liquid precursor and correspondingly managing the liquid precursor. will be.

일반적으로 액상전구체는 디스플레이 또는 반도체 제조공정에서 이용되고 있다. 이러한 액상전구체는 동일한 물질이라고 하더라도 조건에 따라 증착공정상 상이한 거동을 나타내기 쉽다.In general, liquid precursors are used in a display or semiconductor manufacturing process. Even if the liquid precursor is the same material, it is easy to exhibit different behavior in the deposition process depending on conditions.

특히 동일한 액상전구체 화합물이라고 하더라도 조건에 따라 증기압이 상이하게 나타나게 되는데, 이러한 경우 일정한 원료가 투입되더라도 증착되는 박막에 질적 차이가 발생하게 된다. 그런데 반도체, 디스플레이 등의 제조공정에서 소자의 정밀화 및 고효율화가 필요할수록 보다 우수한 박막의 질적 특성이 요구된다. In particular, even with the same liquid precursor compound, the vapor pressure varies according to conditions, and in this case, a qualitative difference occurs in the deposited thin film even if a certain raw material is added. However, in manufacturing processes such as semiconductors and displays, the more precise and highly efficient devices are required, the more excellent thin film qualitative properties are required.

또한 박막의 질적 특성은, 이후의 노광 및 배선공정에 영향을 주게되며, 박막의 질적 특성이 저하되는 경우 반도체 정밀도의 저하는 물론이고 생산수율의 감소와 생산비용이 증가되는 요인이 된다.In addition, the qualitative characteristics of the thin film affect the subsequent exposure and wiring processes, and when the qualitative characteristics of the thin film are deteriorated, the semiconductor precision is deteriorated, and the production yield decreases and the production cost increases.

따라서 박막의 질적 특성을 높이기 위한 기술이 요구되며, 이를 위해 서로 다른 증기압 차이를 나타내는 액상전구체의 증기압을 정확히 측정해야할 것이 요구된다. Therefore, a technique is required to increase the qualitative characteristics of a thin film, and for this, it is required to accurately measure the vapor pressure of a liquid precursor that exhibits different vapor pressure differences.

하지만, 액상전구체 대부분은 공기 중에 노출되는 경우에 인화되는 특성 등이 있어 다루기가 어려우며 반응 부산물 등으로 인하여 측정의 정확성을 확보하기가 어렵다. However, most of the liquid precursors are difficult to handle because they are flammable when exposed to air, and it is difficult to ensure accuracy of measurement due to reaction by-products.

그리고, 액상전구체의 온도, 점도 및 증기압 등의 상태에 따라 액상전구체를 교체하거나 액상전구체의 증기압을 유지하기 위하여 온도를 조절시키는 등 액상전구체의 상태를 파악하여 관리할 수 있는 기술이 요구되고 있었다.In addition, there has been a demand for a technology capable of grasping and managing the state of the liquid precursor, such as changing the liquid precursor according to conditions such as temperature, viscosity, and vapor pressure of the liquid precursor, or adjusting the temperature to maintain the vapor pressure of the liquid precursor.

대한민국 등록특허 제10-0805930호Korean Patent Registration No. 10-0805930

본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 액상전구체의 수명을 파악하고 그에 따라 대응관리를 할 수 있는 액상전구체 수명 매니지먼트 시스템을 제공함에 있다.An object of the present invention is to solve the conventional problems as described above, to provide a liquid precursor life management system capable of grasping the life of a liquid precursor and correspondingly manages it.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 액상전구체 수명 매니지먼트시스템은, 소정의 액상전구체를 수용하고 디개싱시키는 액상전구체 디개서; 상기 액상전구체 디개서에서 디개싱된 상기 액상전구체의 점도를 측정하는 점도측정기; 및 상기 액상전구체 디개서 또는 상기 점도측정기와 전기적으로 연결되어 측정정보 또는 제어정보를 통신할 수 있으며, 상기 액상전구체 디개서 또는 상기 점도측정기의 작동을 제어하는 중앙판단제어장치; 를 포함하되, 상기 중앙판단제어장치는, 상기 점도측정기 측으로부터 측정된 상기 액상전구체의 점도측정정보를 전달받아서 상기 액상전구체 디개서 내에 수용된 상기 액상전구체의 수명을 판단 또는 예측할 수 있는 것을 하나의 특징으로 할 수도 있다.A liquid precursor life management system according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes: a liquid precursor degassing unit for receiving and degassing a predetermined liquid precursor; A viscosity meter for measuring the viscosity of the liquid precursor degassed by the liquid precursor degasser; And a central judgment control device that is electrically connected to the liquid precursor degasser or the viscosity meter to communicate measurement information or control information, and controls the operation of the liquid precursor degasser or the viscosity meter. Including, wherein the central judgment control device is capable of determining or predicting the life of the liquid precursor accommodated in the liquid precursor degassing device by receiving the viscosity measurement information of the liquid precursor measured from the viscometer side. You can also do it.

여기서, 상기 액상전구체 디개서는, 디개싱(degassing)시킬 액상전구체가 수용되는 수용공간을 형성하는 캐니스터; 상기 캐니스터와 진공라인을 통해 연결되고, 상기 캐니스터에서 상기 액상전구체가 수용된 상기 수용공간 내에 진공상태를 설정하여 주는 진공펌프; 및 상기 캐니스터에 장착되며, 상기 액상전구체를 상기 수용공간 내 빈 공간인 디개싱공간 상에 분산시켜주는 분산수단; 을 포함하는 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.Here, the liquid precursor degassing unit comprises: a canister forming an accommodation space in which the liquid precursor to be degassed is accommodated; A vacuum pump connected to the canister through a vacuum line and configured to set a vacuum state in the accommodation space in which the liquid precursor is accommodated in the canister; And a dispersing means mounted on the canister and dispersing the liquid precursor onto a degassing space, which is an empty space within the receiving space. It may also be as another feature, including.

나아가, 상기 액상전구체 디개서의 상기 분산수단은, 상기 수용공간의 하측에 집적되어 수용되는 상기 액상전구체를 다시 순환적으로 상기 디개싱공간 상에 분산시켜주는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.Further, the dispersing means of the liquid precursor degassing may be another feature of dispersing the liquid precursor accumulated and accommodated in the lower side of the receiving space on the degassing space again.

더 나아가, 상기 액상전구체 디개서의 상기 분산수단은, 상기 액상전구체가 상기 디개싱공간 상으로 소정의 압력으로 분사될 수 있도록 실린더와 피스톤을 포함하는 유압기; 및 상기 유압기의 상기 실린더에 장착되고, 일측단이 상기 디개싱공간으로 삽입되어 위치하며, 상기 실린더 내에서 소정의 압력을 받은 상기 액상전구체가 상기 디개싱공간 상으로 분산되도록 상기 액상전구체의 분사를 가이드하는 분사노즐; 을 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.Furthermore, the dispersing means of the liquid precursor degassing unit may include: a hydraulic machine including a cylinder and a piston so that the liquid precursor can be injected onto the degassing space at a predetermined pressure; And injection of the liquid precursor so that the liquid precursor is mounted on the cylinder of the hydraulic machine and has one end inserted into the degassing space, and the liquid precursor received a predetermined pressure in the cylinder is distributed over the degassing space. A spray nozzle to guide; It may also be characterized as another feature to include.

또한, 상기 액상전구체 디개서는, 상기 수용공간 또는 상기 디개싱공간과 연통될 수 있도록 상기 캐니스터와 연결되며, 상기 수용공간 내에 수용된 상기 액상전구체의 증기압을 측정하기 위한 압력측정수단; 을 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.In addition, the liquid precursor degassing unit is connected to the canister so as to communicate with the receiving space or the degassing space, and pressure measuring means for measuring the vapor pressure of the liquid precursor accommodated in the receiving space; It may be another feature that further includes.

여기서, 상기 액상전구체 디개서는, 상기 수용공간 내에 수용된 상기 액상전구체에 열을 공급하기 위한 히터가 상기 캐니스터에 마련된 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.Here, the liquid precursor degassing may be characterized in that a heater for supplying heat to the liquid precursor accommodated in the accommodation space is provided in the canister.

나아가, 상기 중앙판단제어장치는, 상기 액상전구체에 대한 온도측정정보, 증기압측정정보 또는 점도측정정보가 연관되어 반영된 종합측정정보의 저장이 이루어지는 데이터베이스부; 상기 액상전구체 디개서 또는 상기 점도측정기 측으로부터 상기 온도측정정보, 상기 증기압측정정보 또는 점도측정정보를 전달받거나, 상기 액상전구체 디개서 또는 상기 점도측정기의 작동상태를 제어하기 위한 작동제어신호를 상기 액상전구체 디개서 또는 상기 점도측정기 측으로 전달하는 통신부; 및 상기 데이터베이스부 또는 상기 통신부와 전기적으로 연결되고, 상기 통신부를 통해 전달받은 상기 온도측정정보, 상기 증기압측정정보 또는 상기 점도측정정보를 상기 데이터베이스부에 기 저장된 종합측정정보를 비교하여 상기 액상전구체의 잔여수명을 판단하는 제어부; 를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.Furthermore, the central judgment control device includes: a database unit configured to store comprehensive measurement information in which temperature measurement information, vapor pressure measurement information, or viscosity measurement information of the liquid precursor is associated and reflected; The temperature measurement information, the vapor pressure measurement information, or the viscosity measurement information is transmitted from the liquid precursor degasser or the viscosity meter side, or an operation control signal for controlling the operating state of the liquid precursor degasser or the viscosity meter is transmitted to the liquid phase. A communication unit for transferring to the precursor degasser or the viscometer; And comparing the temperature measurement information, the vapor pressure measurement information, or the viscosity measurement information previously stored in the database unit, electrically connected to the database unit or the communication unit, and A control unit that determines the remaining life; It may also be characterized as another feature to include.

더 나아가, 상기 제어부는, 상기 통신부에서 전달받은 상기 온도측정정보, 상기 증기압측정정보 또는 상기 점도측정정보를 상기 데이터베이스부에 업데이트하여 저장시키는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.Further, the control unit may have another feature of updating and storing the temperature measurement information, the vapor pressure measurement information, or the viscosity measurement information received from the communication unit in the database unit.

더 나아가, 상기 중앙판단제어장치는, 상기 제어부의 판단 또는 제어에 따라 상기 온도측정정보, 상기 증기압측정정보, 상기 점도측정정보 및 상기 종합측정정보 중 적어도 어느 하나 이상을 사용자가 파악할 수 있도록 표시하는 전시부; 를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.Furthermore, the central judgment control device displays at least one of the temperature measurement information, the vapor pressure measurement information, the viscosity measurement information, and the comprehensive measurement information so that the user can grasp it according to the determination or control of the controller. Exhibition department; It may be another feature that further includes.

더 나아가, 상기 중앙판단제어장치는, 상기 점도측정기에서 측정된 상기 액상전구체의 점도가 기준치 이상인 것으로 상기 제어부가 판단하는 경우 상기 제어부의 제어에 따라 사용자가 액상전구체의 수명이 다되었거나 점도가 기준치 이상이 되었음을 인식할 수 있도록 알람을 제공하는 알람부; 를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.Furthermore, when the control unit determines that the viscosity of the liquid precursor measured by the viscometer is greater than or equal to the reference value, the user may end the life of the liquid precursor or the viscosity is greater than or equal to the reference value according to the control of the control unit. An alarm unit that provides an alarm so as to recognize that this has occurred; It may be another feature that further includes.

더 나아가, 상기 중앙판단제어장치는, 상기 점도측정기에서 측정된 상기 액상전구체의 점도가 기준치 이하인 것으로 상기 제어부가 판단하는 경우 상기 제어부의 제어에 따라 상기 액상전구체 디개서 및 상기 점도측정기의 작동이 계속적으로 진행되는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.Furthermore, when the control unit determines that the viscosity of the liquid precursor measured by the viscometer is less than or equal to the reference value, the operation of the liquid precursor degassing unit and the viscometer are continuously operated under the control of the control unit. It can also be characterized as another feature.

본 발명에 따른 액상전구체 수명 매니지먼트 시스템은 액상전구체의 수명을 판단 또는 예측할 수 있으며, 액상전구체가 최적의 상태를 유지하기 위한 관리가 가능하므로 액상전구체에 대한 관리의 효율성이 향상되는 효과가 있다. The liquid precursor life management system according to the present invention can determine or predict the life of the liquid precursor, and it is possible to manage the liquid precursor to maintain an optimum state, so there is an effect of improving the efficiency of management of the liquid precursor.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 액상전구체 수명 매니지먼트 시스템을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 액상전구체 수명 매니지먼트 시스템의 액상전구체 디개서의 측단면을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 액상전구체 수명 매니지먼트 시스템의 을 개략적으로 나타낸 블록도이다.
도 4와 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 액상전구체 수명 매니지먼트 시스템에서 데이터베이스부에 저장되어 관리되는 데이터의 예시적인 형태를 개략적으로 나타낸 도면이다. 1 is a diagram schematically illustrating a life management system for a liquid precursor according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram schematically showing a side cross-sectional view of a liquid precursor degasser of a liquid precursor life management system according to an embodiment of the present invention.
3 is a schematic block diagram of a liquid precursor life management system according to an embodiment of the present invention.
4 and 5 are diagrams schematically illustrating exemplary forms of data stored and managed in a database unit in a liquid precursor life management system according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명에 대하여 보다 구체적으로 이해할 수 있도록 첨부된 도면을 참조한 바람직한 실시 예를 들어 설명하기로 한다. Hereinafter, a preferred embodiment will be described with reference to the accompanying drawings so that the present invention may be more specifically understood.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 액상전구체 수명 매니지먼트 시스템을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 액상전구체 수명 매니지먼트 시스템의 액상전구체 디개서의 측단면을 개략적으로 나타낸 도면이며, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 액상전구체 수명 매니지먼트 시스템의 을 개략적으로 나타낸 블록도이고, 도 4와 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 액상전구체 수명 매니지먼트 시스템에서 데이터베이스부에 저장되어 관리되는 데이터의 예시적인 형태를 개략적으로 나타낸 도면이다. 1 is a view schematically showing a liquid precursor life management system according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a view schematically showing a side cross-sectional view of a liquid precursor degassing of a liquid precursor life management system according to an embodiment of the present invention 3 is a schematic block diagram of a liquid precursor lifetime management system according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 4 and 5 are stored in a database in the liquid precursor lifetime management system according to an embodiment of the present invention. It is a diagram schematically showing an exemplary form of managed data.

먼저 도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 다른 액상전구체 수명 매니지먼트시스템은 액상전구체 디개서, 점도측정기 및 중앙판단제어장치를 포함한다.First, referring to FIGS. 1 to 3, a liquid precursor life management system according to an embodiment of the present invention includes a liquid precursor degassing device, a viscosity meter, and a central judgment control device.

액상전구체 디개서(degasser)는 소정의 액상전구체를 수용하고, 액상전구체를 디개싱(degassing)시키기 위하여 마련된다.The liquid precursor degasser is provided to receive a predetermined liquid precursor and to degassing the liquid precursor.

점도측정기는 액상전구체 디개서에서 디개싱된 액상전구체의 점도를 측정한다. The viscometer measures the viscosity of the liquid precursor degassed in the liquid precursor degasser.

그리고, 중앙판단제어장치는 액상전구체 디개서 또는 점도측정기와 전기적으로 연결되어 측정정보 또는 제어정보를 통신할 수 있으며, 액상전구체 디개서 또는 점도측정기의 작동을 제어한다. In addition, the central judgment control device is electrically connected to the liquid precursor degasser or viscometer to communicate measurement information or control information, and controls the operation of the liquid precursor degasser or viscometer.

여기서 중앙판단제어장치는 점도측정기 측으로부터 측정된 액상전구체의 점도측정정보를 전달받아서 액상전구체 디개서 내에 수용된 액상전구체의 수명을 판단 또는 예측한다. Here, the central judgment control device receives the viscosity measurement information of the liquid precursor measured from the viscometer side and judges or predicts the life of the liquid precursor contained in the liquid precursor degassing device.

액상전구체 디개서에 대하여 먼저 설명하자면 다음과 같다.The first description of the liquid precursor degassing is as follows.

본 발명의 실시 예에 따른 액상전구체 매니지먼트 시스템의 액상전구체 디개서는, 캐니스터, 진공펌프 및 분산수단을 포함하며, 좀 더 바람직하게는 압력측정수단을 더 포함하여 이루어질 수 있다.The liquid precursor degassing of the liquid precursor management system according to an embodiment of the present invention includes a canister, a vacuum pump, and a dispersing means, and more preferably, a pressure measurement means may be further included.

캐니스터(2100)는 디개싱(degassing)시킬 액상전구체(2500)가 수용되는 수용공간을 형성한다. The canister 2100 forms an accommodation space in which the liquid precursor 2500 to be degassed is accommodated.

수용공간은 액상전구체(2500)를 수용하기 위하여 캐니스터(2100)에 의하여 형성되는 공간으로서, 캐니스터(2100) 내에 수용될 액상전구체(2500)의 부피보다도 더 큰 부피로 수용공간이 마련된다. The accommodation space is a space formed by the canister 2100 to accommodate the liquid precursor 2500, and is provided with a volume larger than the volume of the liquid precursor 2500 to be accommodated in the canister 2100.

그리고 수용공간 내에서 액상전구체(2500)이 수용되어 차지하는 부분 이외의 공간 즉 수용공간 내에서 액상전구체(2500)의 수면보다 상측 위의 빈 공간에서 디개싱이 이루어지게 되므로 이 공간을 디개싱공간(2120)이라고 설명과 이해의 편의상 칭하기로 한다. In addition, since degassing is performed in a space other than the portion occupied by the liquid precursor 2500 in the receiving space, that is, in an empty space above the water surface of the liquid precursor 2500 in the receiving space, this space is degassed. 2120) for convenience of explanation and understanding.

따라서, 디개싱공간(2120) 또한 수용공간에 속하는 공간이며, 디개싱공간(2120)과 액상전구체가 수용된 부분을 합하면 수용공간과 동등하다고 할 수 있다.Accordingly, the degassing space 2120 is also a space belonging to the receiving space, and when the degassing space 2120 and the portion in which the liquid precursor is accommodated are combined, it can be said to be equivalent to the receiving space.

그리고 캐니스터(2100)는 쿼츠와 같이 투명한 소재로 된 부분이 있어서 캐니스터(2100) 내부의 현황을 외부에서 파악할 수 있는 것 또한 바람직하다.In addition, since the canister 2100 has a portion made of a transparent material such as quartz, it is also preferable that the current state of the canister 2100 can be recognized from the outside.

캐니스터(2100)의 내측에는 후술할 분산수단이 마련되어 있는 것이 바람직하다.It is preferable that a dispersion means to be described later is provided inside the canister 2100.

캐니스터(2100)의 내측 바닥면과 벽면이 만나는 모서리와 같은 부분에 존재하는 액상전구체는 디개싱공간(2120)에 노출되도록 순환이동이 잘 안되어 모서리에 머물러 있을 수 있다. 그러나, 수용공간 하측 바닥면의 적어도 일부분이 라운드지게 형성되면, 액상전구체(2500)가 모서리부분에서 정체되어 머물러 있게 되는 것을 예방할 수 있으므로 바람직하다.The liquid precursor existing at a portion such as a corner where the inner bottom surface and the wall surface of the canister 2100 meet may not circulate well so as to be exposed to the degassing space 2120 and may remain at the corner. However, if at least a part of the bottom surface of the lower side of the accommodation space is formed to be rounded, it is preferable to prevent the liquid precursor 2500 from stagnating and staying at the corners.

진공펌프(2200)는 캐니스터(2100)와 진공라인을 통해 직접 또는 간접적으로 연결되어 있다. 진공펌프(2200)를 통해 디개싱된 불순물가스가 캐니스터(2100)의 외부로 배출될 수 있도록 진공펌프(2200)측과 연결되는 진공라인과 연결되는 포트가 캐니스터(2100)에 마련되어 있다. The vacuum pump 2200 is directly or indirectly connected to the canister 2100 through a vacuum line. A port connected to a vacuum line connected to the vacuum pump 2200 side is provided in the canister 2100 so that the impurity gas degassed through the vacuum pump 2200 can be discharged to the outside of the canister 2100.

그리고, 진공펌프(2200)는 캐니스터(2100)에서 액상전구체(2300)가 수용된 수용공간 내에 소정의 압력을 갖는 진공상태를 설정하여 준다. In addition, the vacuum pump 2200 sets a vacuum state having a predetermined pressure in the accommodation space in which the liquid precursor 2300 is accommodated in the canister 2100.

진공펌프(2200)와 캐니스터(2100) 사이의 진공라인에는 필요시 개폐를 할 수 있는 제1진공밸브(2210), 제2진공밸브(2230)가 마련되어 있으며, 필요에 따라서는 진공펌프(2200)와 캐니스터(2100) 사이의 중간에 버퍼챔버(미도시)가 진공라인과 연결되어 배치되어 있는 것 또한 가능하다. The vacuum line between the vacuum pump 2200 and the canister 2100 is provided with a first vacuum valve 2210 and a second vacuum valve 2230 that can be opened and closed when necessary, and the vacuum pump 2200 if necessary. It is also possible that a buffer chamber (not shown) is disposed in the middle between the canister 2100 and connected to the vacuum line.

분산수단은 캐니스터(2100)에 장착되며, 액상전구체(2500)를 수용공간 내 빈공간인 디개싱공간(2120) 상에 분산시켜준다. The dispersing means is mounted on the canister 2100 and distributes the liquid precursor 2500 onto the degassing space 2120, which is an empty space in the receiving space.

이러한 분산수단은 수용공간의 하측에 집적되어 수용되는 액상전구체(2500)를 다시 순환적으로 디개싱공간(2120) 상에 분산시켜줄 수 있는 것이 바람직하다. 이를 위하여 회수라인(2340)이 마련될 수 있다.It is preferable that such a dispersing means is capable of dispersing the liquid precursor 2500 that is integrated and accommodated under the receiving space on the degassing space 2120 again cyclically. For this, a recovery line 2340 may be provided.

이러한 분산수단은 유압기(2300) 및 분사노즐(2330)을 포함하여 이루어질 수 있다. 유압기(2300)는 액상전구체(2500)가 디개싱공간(2120) 상으로 소정의 압력으로 분사될 수 있도록 실린더(2320)와 피스톤(2310)을 포함한다. This dispersing means may include a hydraulic machine 2300 and an injection nozzle 2330. The hydraulic machine 2300 includes a cylinder 2320 and a piston 2310 so that the liquid precursor 2500 can be injected onto the degassing space 2120 at a predetermined pressure.

실린더(2320) 내로는 액상전구체(2500)가 주입된다. 앞서 언급한 회수라인(2340)이 실린더(2320)와 연통되며, 회수라인(2340)을 통해 액상전구체(2500)가 실린더(2320) 내로 유입된다. A liquid precursor 2500 is injected into the cylinder 2320. The aforementioned recovery line 2340 is in communication with the cylinder 2320, and the liquid precursor 2500 is introduced into the cylinder 2320 through the recovery line 2340.

피스톤(2310)은 실린더(2320) 내에 유입된 액상전구체(2500)를 소정의 압력으로 밀어준다. 피스톤(2310)이 액상전구체(2500)에 가하는 압력에 의해 분사노즐(2330)을 통해 액상전구체(2500)가 디개싱공간으로 분사된다.The piston 2310 pushes the liquid precursor 2500 introduced into the cylinder 2320 at a predetermined pressure. The liquid precursor 2500 is sprayed into the degassing space through the spray nozzle 2330 by the pressure applied by the piston 2310 to the liquid precursor 2500.

분사노즐(2330)은 유압기의 실린더(2320)에 장착되고, 일측단이 디개싱공간(2120)으로 삽입되어 위치한다. 그리고 실린더(2320) 내에서 소정의 압력을 받은 액상전구체(2500)가 디개싱공간(2120) 상으로 분사되어 분산되도록 액상전구체(2500)의 분사를 가이드한다.The injection nozzle 2330 is mounted on the cylinder 2320 of the hydraulic machine, and one end is inserted into the degassing space 2120 and positioned. In addition, the injection of the liquid precursor 2500 is guided so that the liquid precursor 2500 receiving a predetermined pressure in the cylinder 2320 is sprayed onto the degassing space 2120 and dispersed.

그리고 분사노즐(2330)의 구멍을 통해 분사된 액상전구체(2500)는 디개싱공간(2120) 상에서 입자처럼 작은 크기로서 다수가 분산되어 진다. 여기서 디개싱공간(2120)으로 분사된 액상전구체(2500)의 입자크기는 분사노즐(2330)의 구멍의 크기를 조절함으로써 조절될 수 있다.In addition, the liquid precursor 2500 sprayed through the hole of the spray nozzle 2330 has a size as small as particles in the degassing space 2120 and a number of them are dispersed. Here, the particle size of the liquid precursor 2500 sprayed into the degassing space 2120 may be adjusted by adjusting the size of the hole of the spray nozzle 2330.

아울러 분사노즐(2330)을 통한 액상전구체(2500)의 분사를 단속할 수 있는 분사밸브(2360)가 실린더(2320)와 분사노즐(2330) 사이에 마련될 수 있다. In addition, an injection valve 2360 capable of controlling the injection of the liquid precursor 2500 through the injection nozzle 2330 may be provided between the cylinder 2320 and the injection nozzle 2330.

그리고 수용공간의 하측에 집적되어 수용된 액상전구체(2500)가 실린더(2320) 내부로 공급되어 다시 디개싱공간(2120)으로 분사되어 분산될 수 있도록 실린더(2320)와 캐니스터(2100) 내 수용공간 사이를 연통시켜주는 회수라인이 마련되어 있다. In addition, the liquid precursor 2500 integrated and accommodated in the lower side of the receiving space is supplied into the cylinder 2320 and injected into the degassing space 2120 to be dispersed between the cylinder 2320 and the receiving space in the canister 2100. There is a recovery line that communicates.

이 회수라인에는 회수밸브(2350)이 마련되어 있다. 회수밸브(2350)는 액상전구체(2500)가 캐니스터로부터 실린더(2320)로 회수라인을 따라 이동되는 것을 단속한다. 도면에서는 회수밸브(2350)가 하나 마련된 것을 예시적으로 도시하였으나 필요에 따라 다수개의 회수밸브(2350)가 회수라인 상에 마련되는 것 또한 가능하다.A recovery valve 2350 is provided in this recovery line. The recovery valve 2350 regulates the movement of the liquid precursor 2500 from the canister to the cylinder 2320 along the recovery line. In the drawing, it is exemplarily shown that one recovery valve 2350 is provided, but it is also possible that a plurality of recovery valves 2350 are provided on the recovery line as needed.

분사노즐(2330)을 통해 실린더(2320)로부터 액상전구체(2500)이 분사될 때 분사밸브(2360)은 개방된다. 이 때 회수밸브(2350)은 잠겨 있어서 실린더 내에서 회수라인(2340)측으로 액상전구체가 빠져나가지 않도록 한다.When the liquid precursor 2500 is injected from the cylinder 2320 through the injection nozzle 2330, the injection valve 2360 is opened. At this time, the recovery valve 2350 is closed so that the liquid precursor does not escape from the cylinder to the recovery line 2340 side.

실린더(2320) 내로부터 액상전구체의 분사가 이루어진 후에는 분사밸브(2360)가 닫힌다. 그리고 회수밸브(2350)이 개방되고, 피스톤(2310)이 실린더(2320)로부터 후퇴이동을 하면 회수라인(2340)을 통해 액상전구체(2500)이 실린더(2320) 내로 유입된다. After the liquid precursor is injected from the cylinder 2320, the injection valve 2360 is closed. In addition, when the recovery valve 2350 is opened and the piston 2310 moves backward from the cylinder 2320, the liquid precursor 2500 flows into the cylinder 2320 through the recovery line 2340.

실린더(2320)내로 액상전구체(2500)이 충분히 유입되면 다시 회수밸브(2350)가 닫히고 분사밸브(2360)이 개방되어 분사동작이 다시 이루어지게 된다. 이러한 과정이 액상전구체(2500)으로부터 불순물가스가 일정수준 이상 디개싱될 때까지 순환적으로 계속 이루어지게 된다. When the liquid precursor 2500 is sufficiently introduced into the cylinder 2320, the recovery valve 2350 is closed again, the injection valve 2360 is opened, and the injection operation is performed again. This process continues cyclically until the impurity gas is degassed from the liquid precursor 2500 to a certain level or more.

그리고, 캐니스터에 의해 형성된 수용공간의 하측의 바닥면은 테이퍼(taper)지게 형성되어 있고, 바닥면의 최저부분에서 회수라인과 연통되도록 연결된 형태 또한 가능하며 바람직하다. 바닥면이 테이퍼지게 형성되면 일부 액상전구체가 캐니스터 내 구석진 부분에서 이동되지 않고 머물러 있는 것이 예방될 수 있으므로 바람직하다.Further, the bottom surface of the lower side of the receiving space formed by the canister is formed to be tapered, and a form connected so as to communicate with the recovery line at the lowest part of the bottom surface is also possible and preferable. If the bottom surface is formed to be tapered, it is preferable because it can prevent some of the liquid precursors from moving and staying in the corners of the canister.

그리고, 분사노즐(2330)에는 노즐히터(미도시)가 마련되어 있는 것 또한 가능하며 바람직하다. 노즐히터가 분사노즐(2330)을 일정한 온도로 유지시켜줄 수 있으며, 분사노즐(2330)에 열이 공급됨에 따라 분사노즐(2330)의 오염가능성을 낮출 수 있으며, 공정 상의 온도조건 내지 실험상의 온도조건을 만족시켜줄 수 있으므로 바람직하다. In addition, it is also possible and preferable that the injection nozzle 2330 is provided with a nozzle heater (not shown). The nozzle heater can maintain the spray nozzle 2330 at a constant temperature, and as heat is supplied to the spray nozzle 2330, the possibility of contamination of the spray nozzle 2330 can be lowered, and the temperature conditions in the process or the temperature conditions in the experiment It is desirable because it can satisfy you.

캐니스터(2100)에는 반투과성막(semi-permeable membrane)이 마련된 것이 바람직하다. 반투과성막(2400)은 디개싱공간(2120) 상에 부유중인 액상전구체(2500)가 진공라인 측으로 유입되는 것을 차단하되, 디개싱공간(2120) 상에 존재하는 불순물가스는 진공라인 내로 이동될 수 있도록 통과시켜준다. It is preferable that the canister 2100 is provided with a semi-permeable membrane. The semi-permeable film 2400 blocks the liquid precursor 2500 floating on the degassing space 2120 from flowing into the vacuum line, but impurity gas existing in the degassing space 2120 can be moved into the vacuum line. Pass through.

이러한 반투과성막(2400)은 캐니스터(2100)에 선택적으로 장착 또는 탈거될 수 있게 마련될 수도 있다. The semi-permeable film 2400 may be provided to be selectively mounted or removed from the canister 2100.

그리고 도면에서는 생략되었으나, 디개싱공간(2120)으로부터 반투과성막(2400)을 차폐시켜주는 진공밸브가 마련된 것도 바람직하다. 이러한 진공밸브는 디개싱공간(2120)에서 디개싱 후 증기압을 측정할 때 필요에 따라 반투과성막(2400)을 디개싱공간(2120)으로부터 차폐시켜줄 수 있으므로 바람직하다. Further, although omitted in the drawings, it is also preferable that a vacuum valve is provided to shield the semi-permeable film 2400 from the degassing space 2120. Such a vacuum valve is preferable because it can shield the semi-permeable film 2400 from the degassing space 2120 as necessary when measuring the vapor pressure after degassing in the degassing space 2120.

그리고 디개싱된 액상전구체(2500)의 증기압을 측정할 수 있는 것이 바람직하므로 압력측정수단(2600)이 마련될 수 있다. 압력측정수단(2600)은 수용공간 또는 디개싱공간(2120)과 연통될 수 있도록 캐니스터(2100)와 연결되며, 수용공간 내에 수용된 액상전구체(2500)의 증기압을 측정한다. 이러한 압력측정수단(2600)으로서 압력게이지나 압력센서가 마련될 수 있다. And since it is desirable to be able to measure the vapor pressure of the degassed liquid precursor 2500, a pressure measuring means 2600 may be provided. The pressure measuring means 2600 is connected to the canister 2100 so as to communicate with the receiving space or the degassing space 2120, and measures the vapor pressure of the liquid precursor 2500 accommodated in the receiving space. As such pressure measuring means 2600, a pressure gauge or a pressure sensor may be provided.

캐니스터(2100)의 디개싱공간(2120)과 압력측정수단(2600) 사이에 연통을 단속하는 압력측정밸브(미도시)가 캐니스터(2100)와 압력측정수단(2600) 사이에 마련되어 있는 것 또한 바람직하다.It is also preferable that a pressure measuring valve (not shown) that regulates communication between the degassing space 2120 of the canister 2100 and the pressure measuring means 2600 is provided between the canister 2100 and the pressure measuring means 2600 Do.

그리고 캐니스터(2100) 내 액상전구체(2500)에 대하여 일정한 온도가 유지될 수 있도록 하기 위하여, 수용공간 내에 수용된 액상전구체(2500)에 열을 공급하기 위한 히터(미도시)가 캐니스터(2100)에 마련된 것도 바람직하다.And in order to maintain a constant temperature for the liquid precursor 2500 in the canister 2100, a heater (not shown) for supplying heat to the liquid precursor 2500 accommodated in the accommodation space is provided in the canister 2100. It is also desirable.

캐니스터의 상기 수용공간 내에 배치되어 상기 수용공간 내에 수용된 상기 액상전구체의 점도를 측정하는 캡슐형 점도측정기(1000) 측과 통신을 하기 위하여 캐니스터통신부(2700)가 캐니스터(2100)에 마련된다. A canister communication unit 2700 is provided in the canister 2100 to communicate with the capsule type viscometer 1000 that measures the viscosity of the liquid precursor that is disposed in the accommodation space of the canister and measures the viscosity of the liquid precursor accommodated in the accommodation space.

캐니스터통신부(2700)는 캡슐형 점도측정기(1000) 측으로부터 전달받은 액상전구체의 점도에 관한 정보, 온도에 관한 정보, 캡슐형점도측정기(1000)의 위치에 관한 정보를 전달받아서 후술할 중앙제어기기 측으로 전달한다. The canister communication unit 2700 receives information about the viscosity of the liquid precursor received from the capsule type viscometer 1000, information about temperature, and information about the location of the capsule type viscometer 1000, and is a central control device to be described later. To the side.

또한, 캐니스터통신부(2700)는 중앙제어기기 측으로부터 전송되어 오는 신호 또는 정보를 전달받을 수 있으며, 캡슐형 점도측정기(1000)측으로 신호 또는 정보를 전달할 수도 있다. In addition, the canister communication unit 2700 may receive a signal or information transmitted from the central control device, and may transmit a signal or information to the capsule type viscometer 1000.

도면에서는 캐니스터통신부(2700)가 캐니스터의 내측에 마련된 것으로 개략적으로 도시되었으나, 이러한 배치형태에 국한되지 아니하며 캡슐형 점도측정기(1000)와 통신이 이루어질 수 있다면 캐니스터(2100)의 외측에 마련되는 것 또한 충분히 가능하다. In the drawing, the canister communication unit 2700 is schematically illustrated as being provided inside the canister, but is not limited to this arrangement, and if communication with the capsule-type viscometer 1000 can be made, it is also provided outside the canister 2100 It is possible enough.

이와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 액상전구체 디개서는 액상전구체(2500)를 디개싱공간(2120) 상에서 작은 입자의 크기로 분산되어 소정의 시간동안 부유하게 한다. As described above, the liquid precursor degassing according to an embodiment of the present invention allows the liquid precursor 2500 to be dispersed in the size of small particles in the degassing space 2120 to float for a predetermined time.

작은 입자의 크기로 분산되어 소정의 시간동안 디개싱공간 상에 부유하므로 수용공간 내에서 액상전구체(2500)가 전체적으로 노출되는 비표면적이 증대된다. 액상전구체(2500)의 비표면적이 증대되므로 디개싱공간(2120)으로 불순물가스가 빠져나오기가 더욱 용이하며, 동일한 디개싱시간 동안에 디개싱되는 불순물가스의 양은 더욱 증대된다. Since it is dispersed in the size of small particles and floats on the degassing space for a predetermined period of time, the specific surface area to which the liquid precursor 2500 is exposed as a whole increases in the receiving space. Since the specific surface area of the liquid precursor 2500 is increased, it is easier for the impurity gas to escape into the degassing space 2120, and the amount of the impurity gas degassed during the same degassing time is further increased.

이처럼, 단위시간당 디개싱되는 불순물가스의 양이 증대되므로 디개싱효율이 대폭 향상되어진다.As such, since the amount of impurity gas degassed per unit time increases, the degassing efficiency is greatly improved.

증기압 측정은, 예를 들어, 섭씨 30 내지 150도의 온도범위에서 4 내지 5포인트(point) 증기압을 측정할 수도 있다.Vapor pressure measurement, for example, may measure 4 to 5 point vapor pressure in a temperature range of 30 to 150 degrees Celsius.

액상전구체(2500)는 유기화합물로서 Al, Si, Ti, Hf, Ga, In, Y, La, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Fe, Ru, Ni, Zn, Cd, Ge, Sn, Pb, As, Sb, Bi, Ba, Sr, Se, Te 및 칵테일(cocktail) 화학증착소재 등이 가능하다.Liquid precursor (2500) is an organic compound, Al, Si, Ti, Hf, Ga, In, Y, La, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Fe, Ru, Ni, Zn, Cd, Ge, Sn , Pb, As, Sb, Bi, Ba, Sr, Se, Te, and cocktail chemical vapor deposition materials are possible.

이처럼 본 발명의 실시 예에 따른 액상전구체 디개서는 액상전구체(2500)가 디개싱공간(2120)에 노출되는 표면적을 증대시켜주므로 불순물이 디개싱공간(2120) 측으로 확산되어 제거되는 효율이 증대된다. As described above, the liquid precursor degassing according to an embodiment of the present invention increases the surface area of the liquid precursor 2500 exposed to the degassing space 2120, so that impurities are diffused toward the degassing space 2120 and are removed. .

점도측정기는 앞서 언급한 바와 같이 액상전구체 디개서에서 디개싱된 액상전구체의 점도를 측정한다. 이러한 점도측정기는 도 1에 도시된 바와 같이 정확한 점도측정이 이루어질 수 있도록 측정챔버(1000) 내에 마련된 형태도 바람직하다.The viscometer measures the viscosity of the liquid precursor degassed in the liquid precursor degasser as mentioned above. As shown in FIG. 1, such a viscosity meter is preferably provided in the measuring chamber 1000 so that accurate viscosity measurement can be performed.

도 1에서 참조되는 바와 같이 액상전구체 디개서의 캐니스터(2100) 측으로부터 디개싱된 액상전구체가 측정챔버(1000) 측으로 이동된다. 여기서 캐니스터(2100) 내에 수용된 위치에 따라 선별적으로 이동시키기 위하여 도 1에 도시된 바와 같이 다수의 이동라인이 캐니스터와 측정챔버 사이에 마련된 것도 바람직하다.As shown in FIG. 1, the liquid precursor degassed from the canister 2100 side of the liquid precursor degasser is moved toward the measurement chamber 1000. Here, in order to selectively move according to the position accommodated in the canister 2100, it is preferable that a plurality of moving lines are provided between the canister and the measurement chamber as shown in FIG. 1.

바이알(vial)(1100)은 캐니스터(25000)측에서 이동되어온 디개싱된 액상전구체가 담기는 용기 또는 병이라고 할 수 있다. 바이알(1100)에 액상전구체가 일정량 담겨진다. The vial 1100 may be referred to as a container or bottle containing the degassed liquid precursor that has been moved from the side of the canister 25000. A certain amount of the liquid precursor is contained in the vial 1100.

샘플홀더(1150)는 액상전구체가 수용되는 바이알(1100)의 안정적인 이동을 위하여 마련되는 것으로 바이알(1100)을 받쳐준다.The sample holder 1150 is provided for stable movement of the vial 1100 in which the liquid precursor is accommodated, and supports the vial 1100.

리니어스테이지(1170)은 바이알(1170)를 받쳐주고 있는 샘플홀더(1150)를 점도측정기(1200) 측으로 이동시켜주기 위하여 측정챔버(100) 내에 마련된 것이다.The linear stage 1170 is provided in the measurement chamber 100 to move the sample holder 1150 supporting the vial 1170 toward the viscometer 1200.

액상전구체가 수용된 바이알(1100)이 점도측정기(1200)에 의한 측정이 이루어지는 측정위치로 이동되도록 샘플홀더(1150)를 측정위치로 이동시켜준다.The sample holder 1150 is moved to the measuring position so that the vial 1100 containing the liquid precursor is moved to the measuring position where the measurement by the viscometer 1200 is performed.

여기서 바이알(1170) 이동의 안정성을 더욱 증대시켜주기 위하여 리니어스테이지(1170)에 방진수단(1180)이 마련되어 있으면 더욱 바람직하다. 이러한 방진수단(1180)으로는 충격이나 진동을 흡수하는 소재로 이루어진 방진재인 것이 바람직하며 리니어스테이지(1170)의 하측에 마련된 것이 바람직하다.Here, in order to further increase the stability of movement of the vial 1170, it is more preferable if the vibration isolating means 1180 is provided in the linear stage 1170. The vibration isolating means 1180 is preferably a vibration isolating material made of a material that absorbs shock or vibration, and is preferably provided under the linear stage 1170.

점도측정기(1200)는 바이알(1100) 내에 수용된 액상전구체의 점도를 측정한다. 그리고 후술할 중앙판단제어장치(3000) 측으로 점도측정정보를 전달한다. The viscometer 1200 measures the viscosity of the liquid precursor accommodated in the vial 1100. Then, the viscosity measurement information is transmitted to the central judgment control device 3000 to be described later.

점도측정이 이루어진 후에는 액상전구체를 수용하고 있는 바이알에 대하여 밀봉이 이루어질 수 있다. 이를 위하여 측정챔버(1000)내에 캡핑머신(capping machine)(1300)이 마련된 것도 바람직하다. After the viscosity measurement is made, the vial containing the liquid precursor can be sealed. For this purpose, it is also preferable that a capping machine 1300 is provided in the measurement chamber 1000.

리니어스테이지(1170)에 의해 바이알(1100)이 캡핑머신(1300) 측으로 이동되고, 캐핑머신(1300)은 점도측정이 끝난 액상전구체를 수용하고 있는 바이알(1100)을 밀봉시킨다.The vial 1100 is moved toward the capping machine 1300 by the linear stage 1170, and the capping machine 1300 seals the vial 1100 containing the liquid precursor after the viscosity measurement has been completed.

이와 같이 액상전구체 디개서에서 디개싱된 액상전구체에 대하여 점도측정기(1200)가 점도를 측정하고 점도측정정보를 중앙판단제어장치(3000) 측으로 전달하게 된다. In this way, the viscosity meter 1200 measures the viscosity of the liquid precursor degassed in the liquid precursor degassing and transmits the viscosity measurement information to the central judgment control device 3000.

중앙판단제어장치(3000)는 데이터베이스부(3200), 통신부(3300) 및 제어부(3100)를 포함하며, 전시부(3400)와 알람부(3500)를 더 포함할 수도 있다. The central judgment control device 3000 includes a database unit 3200, a communication unit 3300, and a control unit 3100, and may further include an exhibition unit 3400 and an alarm unit 3500.

통신부(3300)는 액상전구체 디개서 또는 점도측정기(1200) 측으로부터 온도측정정보, 증기압측정정보 또는 점도측정정보를 전달받을 수 있다. 그리고, 통신부(3300)는 전달받은 정보를 제어부(3100)로 전달한다.The communication unit 3300 may receive temperature measurement information, vapor pressure measurement information, or viscosity measurement information from the liquid precursor degasser or the viscosity meter 1200 side. Then, the communication unit 3300 transfers the received information to the control unit 3100.

또한, 통신부(3300)는 액상전구체 디개서 또는 점도측정기(1200)의 작동상태를 제어하기 위한 작동제어신호를 제어부(3100) 측으로부터 전달받는다. 그리고, 통신부(3300)는 액상전구체 디개서 또는 점도측정기(1200)의 작동상태를 제어하기 위한 작동제어신호를 액상전구체 디개서 또는 점도측정기(1200) 측으로 전달한다. In addition, the communication unit 3300 receives an operation control signal for controlling the operation state of the liquid precursor degassing or the viscosity meter 1200 from the control unit 3100 side. In addition, the communication unit 3300 transmits an operation control signal for controlling the operation state of the liquid precursor degasser or the viscosity meter 1200 to the liquid precursor degasser or the viscosity meter 1200 side.

그리고 통신부(3300)는 액상전구체 디개서 또는 점도측정기(1200) 측으로부터 각종 정보 또는 신호를 전달받아서 제어부(3100)로 전달한다.In addition, the communication unit 3300 receives various types of information or signals from the liquid precursor degasser or the viscosity meter 1200 and transmits the received information to the control unit 3100.

통신부(3300)에 의한 각종 정보 또는 신호의 송수신은 유선 또는 무선으로 이루어질 수 있다.Transmission and reception of various types of information or signals by the communication unit 3300 may be performed by wire or wirelessly.

제어부(3100)는 데이터베이스부(3200) 또는 통신부(3300와 전기적으로 연결된다. 여기서 전기적으로 연결된다는 것을 달리 표현하자면, 각종 정보 또는 신호의 송수신이 전기적으로 이루어지는 것을 말하며 유선 또는 무선 모두 가능하다.The control unit 3100 is electrically connected to the database unit 3200 or the communication unit 3300. In other words, the electrical connection means that various types of information or signals are transmitted and received electrically, and may be wired or wireless.

그리고, 제어부(3100)는 통신부(3300)를 통해 전달받은 온도측정정보, 증기압측정정보 또는 점도측정정보를 데이터베이스부(3200)에 이미 저장되어 있는 종합측정정보와 비교하여 액상전구체의 잔여수명을 판단한다.In addition, the control unit 3100 compares the temperature measurement information, vapor pressure measurement information, or viscosity measurement information received through the communication unit 3300 with the comprehensive measurement information already stored in the database unit 3200 to determine the remaining life of the liquid precursor. do.

여기서, 종합측정정보는 액상전구체에 대한 온도측정정보, 증기압측정정보 또는 점도측정정보가 연관되어 반영된 종합적인 측정정보를 말한다. Here, the comprehensive measurement information refers to comprehensive measurement information in which temperature measurement information, vapor pressure measurement information, or viscosity measurement information is related and reflected on the liquid precursor.

그리고 제어부(3100)는, 통신부(3300)가 전달받은 온도측정정보, 증기압측정정보 또는 점도측정정보를 데이터베이스부(3200)에 업데이트하여 저장시킨다.In addition, the control unit 3100 updates and stores the temperature measurement information, vapor pressure measurement information, or viscosity measurement information received from the communication unit 3300 in the database unit 3200.

점도측정기(1200)에서 측정된 액상전구체의 점도가 기준치 이하인 것으로 제어부(3100)가 판단하는 경우 제어부(3100)의 제어에 따라 액상전구체 디개서 및 점도측정기(1200)의 작동이 계속적으로 진행된다.When the control unit 3100 determines that the viscosity of the liquid precursor measured by the viscometer 1200 is less than the reference value, the operation of the liquid precursor degassing unit and the viscometer 1200 continuously proceeds under the control of the control unit 3100.

액상전구체의 점도가 기준치 이상으로 판단되는 경우 제어부(3100)는 액상전구체의 수명이 다되었다고 판단하거나 액상전구체의 온도를 높이기 위하여 히터를 작동시키는 제어신호를 통신부(3300)를 통해 액상전구체 디개서 측으로 전달한다. When it is determined that the viscosity of the liquid precursor is higher than the reference value, the controller 3100 determines that the life of the liquid precursor is over or transmits a control signal for operating the heater to increase the temperature of the liquid precursor through the communication unit 3300. Deliver.

액상전구체의 수명이 다 되었다고 제어부(3100)가 판단을 하게 되면, 전시부(3400)로 액상전구체의 상태에 대한 정보를 사용자가 인식할 수 있도록 표시가 이루어지게 제어를 한다. 또한 알람부(3500)를 통해 사용자가 좀 더 빠른 인지를하고 액상전구체의 교체작업을 할 수 있도록 알람음이나 알람램프가 작동되도록 제어할 수도 있다.When the controller 3100 determines that the life of the liquid precursor is over, the display unit 3400 controls the display unit 3400 to display information on the state of the liquid precursor so that the user can recognize it. Also, through the alarm unit 3500, an alarm sound or an alarm lamp may be controlled to operate so that the user can recognize more quickly and perform replacement work of the liquid precursor.

데이터베이스부(3200)는 제어부(3100)의 제어 하에 액상전구체에 대한 온도측정정보, 증기압측정정보 또는 점도측정정보가 연관되어 반영된 종합측정정보를 저장한다.The database unit 3200 stores comprehensive measurement information in which temperature measurement information, vapor pressure measurement information, or viscosity measurement information of the liquid precursor is related and reflected under the control of the control unit 3100.

전시부(3400)는 제어부(3100)의 판단 또는 제어에 따라 온도측정정보, 증기압측정정보, 또는 점도측정정보 그리고 이들을 포함하는 종합측정정보 중 적어도 어느 하나 이상을 사용자가 파악할 수 있도록 표시한다. The display unit 3400 displays at least one or more of temperature measurement information, vapor pressure measurement information, viscosity measurement information, and comprehensive measurement information including the temperature measurement information, according to determination or control of the controller 3100 so that the user can grasp it.

예를 들어 도 4 또는 도 5에서 참조되는 바와 같이 온도, 점성도, 증기압, 수명, 시간 그리고 pH농도 등 각종의 정보를 그래프 또는 데이터로서 전시할 수 있으며, 측정된 점도, 증기압, 온도를 토대로 데이터베이스에 저장된 정보와 비교 판단을 통해 액상전구체의 예상되는 잔여수명 등도 전시할 수 있다.For example, as referenced in FIG. 4 or 5, various information such as temperature, viscosity, vapor pressure, life, time, and pH concentration can be displayed as graphs or data, and based on the measured viscosity, vapor pressure, and temperature, It is also possible to display the estimated remaining life of the liquid precursor through the stored information and comparative judgment.

이와 같은, 전시부(3400)의 바람직한 형태로서 LCD 나 LED와 같은 디스플레이장치를 들을 수 있다.As such, a display device such as an LCD or an LED can be heard as a preferred form of the display unit 3400.

알람부(3500)는 점도측정기(1200)에서 측정된 상기 액상전구체의 점도가 기준치 이상인 것으로 상기 제어부(3100)가 판단하는 경우 제어부(3100)의 제어에 따라 사용자가 액상전구체의 수명이 다되었거나 점도가 기준치 이상이 되었음을 인식할 수 있도록 알람을 제공한다. When the controller 3100 determines that the viscosity of the liquid precursor measured by the viscometer 1200 is greater than or equal to the reference value, the alarm unit 3500 allows the user to determine whether the life of the liquid precursor has expired or the viscosity Provides an alarm to recognize that is over the standard value.

이러한 알람부(3500)의 예로서 청각적으로 알려주는 스피커나 시각적으로 알려주는 경고등 등이 가능하다. As an example of such an alarm unit 3500, an audible speaker or a visual warning light may be used.

이와 같이 본 발명에 따른 액상전구체 수명매니지먼트 시스템의 액상전구체 디개서는 액상전구체가 디개싱공간에 노출되는 표면적을 증대시켜주므로 불순물이 디개싱공간 측으로 확산되어 제거되는 효율이 증대된다. As described above, the liquid precursor degassing of the liquid precursor life management system according to the present invention increases the surface area of the liquid precursor exposed to the degassing space, thereby increasing the efficiency in which impurities are diffused and removed toward the degassing space.

특히 공기 중에서 다루기 힘들고 상온에서도 분해가 일어나는 액상전구체의 정확한 증기압을 측정하는데 필요한 디개싱장치로서, 본 발명에 따른 액상전구체 디개서를 활용하면 측정 전과 측정 중에도 인시츄(in-situ)로 액상전구체에 용존되어 있는 불순물(예를 들어, 합성 후 남은 용매, 불활성가스(inert gas), 샘플링시 분위기가스 등)에 대한 디개싱효율을 증대시킬 수 있다. In particular, as a degassing device necessary to measure the exact vapor pressure of a liquid precursor that is difficult to handle in air and decomposes even at room temperature, using the liquid precursor degassing device according to the present invention, Degassing efficiency for dissolved impurities (eg, solvent remaining after synthesis, inert gas, atmospheric gas during sampling, etc.) can be increased.

따라서 전구체의 개발단계에서 반드시 검토되어야 하는 증기압의 특성을 보다 정확하게 측정할 수 있으므로 요구되는 물성을 갖춘 재료의 개발 및 상품화 촉진에 기여할 수 있다.Therefore, since it is possible to more accurately measure the characteristics of vapor pressure that must be reviewed in the development stage of the precursor, it can contribute to the development and commercialization of materials with required physical properties.

이처럼 본 발명에 따른 액상전구체 디개서는, 반도체용 액상전구체의 디개싱(degassing)효율을 증대시켜주는 장점이 있으며, 액상전구체의 증기압에 대한 측정 정확성을 증진시켜주는 장점도 있다. As described above, the liquid precursor degassing according to the present invention has the advantage of increasing the degassing efficiency of the liquid precursor for a semiconductor, and also has the advantage of improving the measurement accuracy of the vapor pressure of the liquid precursor.

그리고 본 발명에 따른 액상전구체 수명 매니지먼트는 중앙판단제어장치에서 액상전구체의 점도, 온도, 증기압에 대하여 측정된 정보와 데이터베이스에 기 저장되어 있는 점도, 온도, 증기압에 따른 액상전구체 수명에 관한 정보를 비교하여 액상전구체디개서의 작동을 제어하거나 점도측정기를 제어할 수 있다.In addition, the liquid precursor life management according to the present invention compares the measured information on the viscosity, temperature, and vapor pressure of the liquid precursor in the central judgment control device and the information on the life of the liquid precursor according to the viscosity, temperature, and vapor pressure previously stored in the database. Thus, it is possible to control the operation of the liquid precursor demagnetization or control the viscometer.

또한, 중앙판단제어장치의 제어부에서 액상전구체의 교체가 필요하다고 판단되면 전시부 또는 알람부를 통해 사용자가 좀 더 빠르게 액상전구체의 상태에 대하여 파악하고, 액상전구체의 교체 등의 후속작업이 이루어질 수 있게 한다. 따라서 액상전구체의 수명을 파악하고 관리할 수 있으므로 작업의 효율성이 증대된다.In addition, when the control unit of the central judgment control device determines that replacement of the liquid precursor is necessary, the user can quickly grasp the state of the liquid precursor through the display unit or the alarm unit, and follow-up operations such as replacement of the liquid precursor can be performed. . Therefore, it is possible to grasp and manage the life of the liquid precursor, thereby increasing the efficiency of work.

이상에서 설명된 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예들에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예들은 본 발명의 바람직한 실시 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다. As described above, a detailed description of the present invention has been made by the embodiments with reference to the accompanying drawings, but the above-described embodiments are only described with reference to preferred embodiments of the present invention, so that the present invention is described above. It should not be construed as being limited to the embodiments, and the scope of the present invention should be understood as the following claims and equivalent concepts.

1000 : 측정챔버 1100 : 바이알(vial)
1150 : 샘플홀더 1170 : 리니어 스테이지
1200 : 점도측정기 1300 : 캡핑머신
2100 : 캐니스터 2120 : 디개싱공간
2200 : 진공펌프 2300 : 유압기
2330 : 분사노즐 2340 : 회수라인
2350 : 회수밸브 2360 : 분사밸브
2400 : 반투과성막 2500 : 액상전구체
3000 : 중앙판단제어장치 3100 : 제어부1000: measuring chamber 1100: vial
1150: sample holder 1170: linear stage
1200: viscosity meter 1300: capping machine
2100: canister 2120: degassing space
2200: vacuum pump 2300: oil pressure
2330: injection nozzle 2340: recovery line
2350: recovery valve 2360: injection valve
2400: semi-permeable membrane 2500: liquid precursor
3000: central judgment control device 3100: control unit

Claims (11)

소정의 액상전구체를 수용하고 디개싱시키는 액상전구체 디개서;
상기 액상전구체 디개서에서 디개싱된 상기 액상전구체의 점도를 측정하는 점도측정기; 및
상기 액상전구체 디개서 또는 상기 점도측정기와 전기적으로 연결되어 측정정보 또는 제어정보를 통신할 수 있으며, 상기 액상전구체 디개서 또는 상기 점도측정기의 작동을 제어하는 중앙판단제어장치; 를 포함하되,
상기 중앙판단제어장치는,
상기 점도측정기 측으로부터 측정된 상기 액상전구체의 점도측정정보를 전달받아서 상기 액상전구체 디개서 내에 수용된 상기 액상전구체의 수명을 판단 또는 예측할 수 있는 것을 특징으로 하는,
액상전구체 수명 매니지먼트시스템.
A liquid precursor degasser for receiving and degassing a predetermined liquid precursor;
A viscosity meter for measuring the viscosity of the liquid precursor degassed by the liquid precursor degasser; And
A central judgment control device that is electrically connected to the liquid precursor degasser or the viscometer to communicate measurement information or control information, and controls the operation of the liquid precursor degassers or the viscosity meter; Including,
The central judgment control device,
Characterized in that it is possible to determine or predict the life of the liquid precursor accommodated in the liquid precursor degasser by receiving the viscosity measurement information of the liquid precursor measured from the viscometer side,
Liquid precursor life management system.
제 1항에 있어서,
상기 액상전구체 디개서는,
디개싱(degassing)시킬 액상전구체가 수용되는 수용공간을 형성하는 캐니스터;
상기 캐니스터와 진공라인을 통해 연결되고, 상기 캐니스터에서 상기 액상전구체가 수용된 상기 수용공간 내에 진공상태를 설정하여 주는 진공펌프; 및
상기 캐니스터에 장착되며, 상기 액상전구체를 상기 수용공간 내 빈 공간인 디개싱공간 상에 분산시켜주는 분산수단; 을 포함하는 것을 특징으로 하는,
액상전구체 수명 매니지먼트시스템.
The method of claim 1,
The liquid precursor degassing,
A canister forming an accommodation space in which a liquid precursor to be degassed is accommodated;
A vacuum pump connected to the canister through a vacuum line and configured to set a vacuum state in the accommodation space in which the liquid precursor is accommodated in the canister; And
A dispersing means mounted on the canister and dispersing the liquid precursor onto a degassing space which is an empty space in the receiving space; Characterized in that it comprises a,
Liquid precursor life management system.
제 2항에 있어서,
상기 액상전구체 디개서의 상기 분산수단은,
상기 수용공간의 하측에 집적되어 수용되는 상기 액상전구체를 다시 순환적으로 상기 디개싱공간 상에 분산시켜주는 것을 특징으로 하는
액상전구체 수명 매니지먼트시스템.
The method of claim 2,
The dispersion means of the liquid precursor degassing,
Characterized in that the liquid precursor is integrated and accommodated in the lower side of the receiving space and is cyclically dispersed in the degassing space.
Liquid precursor life management system.
제 3항에 있어서,
상기 액상전구체 디개서의 상기 분산수단은,
상기 액상전구체가 상기 디개싱공간 상으로 소정의 압력으로 분사될 수 있도록 실린더와 피스톤을 포함하는 유압기; 및
상기 유압기의 상기 실린더에 장착되고, 일측단이 상기 디개싱공간으로 삽입되어 위치하며, 상기 실린더 내에서 소정의 압력을 받은 상기 액상전구체가 상기 디개싱공간 상으로 분산되도록 상기 액상전구체의 분사를 가이드하는 분사노즐; 을 포함하는 것을 특징으로 하는
액상전구체 수명 매니지먼트시스템.
The method of claim 3,
The dispersion means of the liquid precursor degassing,
A hydraulic machine including a cylinder and a piston so that the liquid precursor can be injected at a predetermined pressure onto the degassing space; And
It is mounted on the cylinder of the hydraulic machine, one end is inserted into the degassing space, and guides the injection of the liquid precursor so that the liquid precursor received a predetermined pressure in the cylinder is dispersed into the degassing space. A spray nozzle; Characterized in that it comprises a
Liquid precursor life management system.
제 2항에 있어서,
상기 액상전구체 디개서는,
상기 수용공간 또는 상기 디개싱공간과 연통될 수 있도록 상기 캐니스터와 연결되며, 상기 수용공간 내에 수용된 상기 액상전구체의 증기압을 측정하기 위한 압력측정수단; 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
액상전구체 수명 매니지먼트시스템.
The method of claim 2,
The liquid precursor degassing,
A pressure measuring means connected to the canister so as to communicate with the receiving space or the degassing space, and measuring a vapor pressure of the liquid precursor accommodated in the receiving space; Characterized in that it further comprises,
Liquid precursor life management system.
제 5항에 있어서,
상기 액상전구체 디개서는,
상기 수용공간 내에 수용된 상기 액상전구체에 열을 공급하기 위한 히터가 상기 캐니스터에 마련된 것을 특징으로 하는,
액상전구체 수명 매니지먼트시스템.
The method of claim 5,
The liquid precursor degassing,
A heater for supplying heat to the liquid precursor accommodated in the accommodation space is provided in the canister,
Liquid precursor life management system.
제 6항에 있어서,
상기 중앙판단제어장치는,
상기 액상전구체에 대한 온도측정정보, 증기압측정정보 또는 점도측정정보가 연관되어 반영된 종합측정정보의 저장이 이루어지는 데이터베이스부;
상기 액상전구체 디개서 또는 상기 점도측정기 측으로부터 상기 온도측정정보, 상기 증기압측정정보 또는 점도측정정보를 전달받거나, 상기 액상전구체 디개서 또는 상기 점도측정기의 작동상태를 제어하기 위한 작동제어신호를 상기 액상전구체 디개서 또는 상기 점도측정기 측으로 전달하는 통신부; 및
상기 데이터베이스부 또는 상기 통신부와 전기적으로 연결되고, 상기 통신부를 통해 전달받은 상기 온도측정정보, 상기 증기압측정정보 또는 상기 점도측정정보를 상기 데이터베이스부에 기 저장된 종합측정정보를 비교하여 상기 액상전구체의 잔여수명을 판단하는 제어부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는,
액상전구체 수명 매니지먼트 시스템.
The method of claim 6,
The central judgment control device,
A database unit configured to store comprehensive measurement information in which temperature measurement information, vapor pressure measurement information, or viscosity measurement information of the liquid precursor is associated and reflected;
The temperature measurement information, the vapor pressure measurement information, or the viscosity measurement information is transmitted from the liquid precursor degasser or the viscometer side, or an operation control signal for controlling the operating state of the liquid precursor degasser or the viscosity meter is transmitted to the liquid phase. A communication unit for transferring to the precursor degasser or the viscometer; And
The database unit or the communication unit is electrically connected, and the temperature measurement information, the vapor pressure measurement information, or the viscosity measurement information received through the communication unit is compared with the comprehensive measurement information previously stored in the database unit, and the residual amount of the liquid precursor. A control unit that determines the lifespan; Characterized in that it comprises a,
Liquid precursor life management system.
제 7항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 통신부에서 전달받은 상기 온도측정정보, 상기 증기압측정정보 또는 상기 점도측정정보를 상기 데이터베이스부에 업데이트하여 저장시키는 것을 특징으로 하는,
액상전구체 수명 매니지먼트 시스템.
The method of claim 7,
The control unit,
The temperature measurement information, the vapor pressure measurement information, or the viscosity measurement information received from the communication unit is updated and stored in the database unit,
Liquid precursor life management system.
제 8항에 있어서,
상기 중앙판단제어장치는,
상기 제어부의 판단 또는 제어에 따라 상기 온도측정정보, 상기 증기압측정정보, 상기 점도측정정보 및 상기 종합측정정보 중 적어도 어느 하나 이상을 사용자가 파악할 수 있도록 표시하는 전시부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
액상전구체 수명 매니지먼트 시스템.
The method of claim 8,
The central judgment control device,
An exhibition unit that displays at least one of the temperature measurement information, the vapor pressure measurement information, the viscosity measurement information, and the comprehensive measurement information so that a user can grasp it according to the determination or control of the controller; It characterized in that it further comprises,
Liquid precursor life management system.
제 9항에 있어서,
상기 중앙판단제어장치는,
상기 점도측정기에서 측정된 상기 액상전구체의 점도가 기준치 이상인 것으로 상기 제어부가 판단하는 경우 상기 제어부의 제어에 따라 사용자가 액상전구체의 수명이 다되었거나 점도가 기준치 이상이 되었음을 인식할 수 있도록 알람을 제공하는 알람부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
액상전구체 수명 매니지먼트 시스템.
The method of claim 9,
The central judgment control device,
When the control unit determines that the viscosity of the liquid precursor measured by the viscometer is greater than or equal to the reference value, an alarm is provided so that the user can recognize that the life of the liquid precursor has reached the end or that the viscosity has reached the reference value or higher under the control of the control unit. An alarm unit; It characterized in that it further comprises,
Liquid precursor life management system.
제 10항에 있어서,
상기 중앙판단제어장치는,
상기 점도측정기에서 측정된 상기 액상전구체의 점도가 기준치 이하인 것으로 상기 제어부가 판단하는 경우 상기 제어부의 제어에 따라 상기 액상전구체 디개서 및 상기 점도측정기의 작동이 계속적으로 진행되는 것을 특징으로 하는,
액상전구체 수명 매니지먼트시스템.


The method of claim 10,
The central judgment control device,
When the control unit determines that the viscosity of the liquid precursor measured by the viscometer is less than or equal to the reference value, the liquid precursor decomposition and the viscometer are continuously operated under the control of the control unit,
Liquid precursor life management system.


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