KR102137322B1 - 마모 시험 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 생산장치의 노즐을 세척하는 세척고무가 복수로 결합되어 복수의 상기 세척고무를 이동시키는 이동모듈; 상기 이동모듈과 결합되고, 상기 이동모듈이 슬라이딩 이동하는 이동레일; 상기 이동레일의 상부에 배치되어 상하이동이 가능하고, 상기 이동레일을 따라 이동하는 상기 세척고무와 맞닿아 상기 세척고무를 가압하는 마모검사부; 및 사용자의 조작에 의해 상기 이동모듈의 이동범위, 이동속도 및 이동횟수와 상기 세척고무를 가압하는 상기 마모검사부의 하강정도를 제어하는 제어모듈을 포함하는 마모 시험 장치에 관한 것이다. 이러한 본 발명에 따르면 다양한 변수를 적용하여 마모성을 시험할 수 있어 시험 정확도를 높일 수 있다.

Description

마모 시험 장치 { Wear Test Apparatus }

본 발명은 마모 시험 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 반도체 생산장치의 노즐을 세척하는 세척고무의 마모성을 테스트하는 마모 시험 장치에 관한 것이다.

일반적으로 사용되는 고무재의 마찰 마모시험은 고무재를 숫돌에 의해 마모시키는 방법에 의해 행해지는데, 이러한 시험방법으로서는 고무의 적용시 발생하는 마모기구인 점착 마모(adhesive wear)가 아닌 숫돌에 의한 연마 마모(abrasive wear)에 의해 마찰 마모가 발생하므로 시일의 실제 사용시 발생하는 고무와 금속면의 마찰 마모현상을 바르게 재현하지 못하는 문제점이 있다.

한국등록특허 제10-0666924호 (2007.01.04) "베어링용 시일고무 마모시험방법"

본 발명의 목적은 다양한 변수를 적용하여 세척고무의 마모성을 테스트할 수 있는 마모 시험 장치를 제공하는 것이다.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 마모 시험 장치는, 반도체 생산장치의 노즐을 세척하는 세척고무가 복수로 결합되어 복수의 상기 세척고무를 이동시키는 이동모듈; 상기 이동모듈과 결합되고, 상기 이동모듈이 슬라이딩 이동하는 이동레일; 상기 이동레일의 상부에 배치되어 상하이동이 가능하고, 상기 이동레일을 따라 이동하는 상기 세척고무와 맞닿아 상기 세척고무를 가압하는 마모검사부; 및 사용자의 조작에 의해 상기 이동모듈의 이동범위, 이동속도 및 이동횟수와 상기 세척고무를 가압하는 상기 마모검사부의 하강정도를 제어하는 제어모듈을 포함한다.

상기 이동모듈은, 상기 이동레일과 결합되어 상기 이동레일을 이동하는 이동부; 복수의 상기 세척고무가 결합되는 결합부; 및 상기 이동부의 상면에 배치되고, 상기 결합부와 결합되는 연결플레이트를 포함할 수 있다.

여기서, 상기 결합부는, 상기 연결플레이트와 결합되는 연결부재; 및 상기 연결부재의 상부에 배치되고 단면이 다각형 형상으로 구비되어 상기 세척고무와 결합되는 결합부재를 포함할 수 있다.

상기 세척고무는, 상기 결합부재와 지면으로부터 예각으로 기울어져 결합될 수 있다.

또한, 상기 결합부는, 정면에서 봤을때 철(凸)형상으로 구비되고, 상기 세척고무가 결합되는 복수의 결합부재; 및 복수의 상기 결합부재의 하부 일부가 삽입되는 삽입홈이 형성되고, 상기 연결플레이트와 결합되는 연결부재를 포함할 수 있다.

여기서, 상기 결합부재는, 통 형상의 상기 세척고무가 삽입되어 결합될 수 있도록록 돌출된 부분의 상면에 통 형상의 결합홈이 형성될 수 있다.

또한, 상기 결합부재는, 링 형상의 상기 세척고무가 삽입되어 결합될 수 있도록 돌출된 부분의 상면에 링 형상의 결합홈이 형성될 수 있다.

그리고, 상기 마모검사부는, 길이방향으로 연장된 육면체 형상으로 구비되고, 상기 세척고무와 맞닿는 밀착부; 복수의 상기 밀착부와 결합되고, 상하이동하는 이동플레이트; 및 상기 이동플레이트를 상하로 이동시키는 승하강부를 포함할 수 있다.

여기서, 상기 밀착부는, 단면이 역삼각형 형상으록 구비되고, 하면에 배치돼 외부로 돌출되어 상기 세척고무와 맞닿는 마찰돌기를 포함할 수 있다.

본 발명의 마모 시험 장치에 따르면,

첫째, 다양한 변수를 적용하여 마모성을 시험할 수 있어 시험 정확도를 높일 수 있다.

둘째, 세척고무가 지면과 예각을 이루도록 이동모듈에 결합되어 마모성 시험의 정확도를 높일 수 있다.

셋째, 복수의 세척고무를 동시에 시험할 수 있어 적은 시험으로도 많은 표본을 추출할 수 있다.

도 1은 본 발명의 마모 시험 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마모 시험 장치의 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 이동모듈의 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 이동모듈의 측면도이다.
도 5는 다른 실시예에 따른 이동모듈의 사시도이다.
도 6은 다른 실시예에 따른 결합부재의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 마모 시험 장치의 작동 예시도이다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다. 이때, 첨부된 도면에서 동일한 구성 요소는 가능한 동일한 부호로 나타내고 있음에 유의한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략할 것이다. 마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성 요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다.

도 1은 본 발명의 마모 시험 장치의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 마모 시험 장치의 정면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 이동모듈의 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 이동모듈의 측면도이며, 도 5는 다른 실시예에 따른 이동모듈의 사시도이고, 도 6은 다른 실시예에 따른 결합부재의 사시도이며, 도 7은 본 발명의 마모 시험 장치의 작동 예시도이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 마모 시험 장치(100)는 이동모듈(110), 이동레일(120), 마모검사부(130) 및 제어모듈을 포함한다.

이동모듈(110)은 반도체 생산장치의 노즐을 세척하는 세척고무(10)가 복수로 결합되어 복수의 세척고무(10)를 이동시킨다.

이동모듈(110)은 이동부(111), 결합부(112) 및 연결플레이트(113)를 포함한다.

이동부(111)는 이동레일(120)과 결합되어 이동레일(120) 상을 이동한다.

결합부(112)는 복수의 세척고무(10)가 결합된다.

결합부(112)는 연결부재(114) 및 결합부재(115)를 포함한다.

연결부재(114)는 연결플레이트(113)와 볼트(B)결합으로 결합되고, 결합부재(115)는 연결부재(114)의 상부에 배치되고 단면이 다각형 형상으로 구디뵈어 세척고무(10)와 결합된다.

여기서, 세척고무(10)는 도 4에 도시된 것처럼 결합부재(114)와 지면으로부터 예각으로 기울어져 결합되어 마모시성 시험의 정확도를 높일 수 있다.

세척고무(10)가 지면과 직각을 이루도록 이동모듈에 결합되어 시험이 진행되면, 이동모듈(110)이 이동레일(120)을 이동함과 동시에 마무검사부(130)가 세척고무(10)를 가압하게 되는데, 이 때 마무검사부(130)와 세척고무(10) 사이에 마찰이 발생되면 세척고무(10)가 이동방향과 반대로 꺾이는 현상이 발생될 수 있다.

따라서, 세척고무(10)가 꺾이게 되면 시험의 제대로 이루어질 수 없기에 시험의 정확도가 떨어지게된다.

연결플레이트(113)는 이동부(111)의 상면에 배치되어 결합부(112)와 결합된다.

본 실시예에서 세척고무(10)는 역삼각형의 홈이 형성된 사각판형상으로 구비될 수 잇다.

이동레일(120)은 이동모듈(110)과 결합되고, 이동모듈(110)이 슬라이딩 이동한다.

마모검사부(130)는 이동레일(120)의 상부에 배치되어 상하이동이 가능하고, 이동레일(120)을 따라 이동하는 세척고무(10)와 맞닿아 세척고무(10)를 가압한다.

마모검사부(130)는 밀착부(131), 이동플레이트(132), 승하강부(133)를 포함한다.

밀착부(131)는 길이방향으로 연장된 육면체형상으로 구비되고, 세척고무(10)와 맞닿는다.

그리고, 밀착부(131)는 마찰돌기(134)를 포함하는데, 마찰돌기(141)는 단면이 역삼각형 형상으로 길이방향으로 연장되어 구비되고, 밀착부(131)의 하면에 배치돼 외부로 돌출되어 이동하는 세척고무(10)와 맞닿는다.

이동플레이트(132)는 복수의 밀착부(131)와 결합되고, 상하이동한다.

승하강부(133)는 이동플레이트(132)를 상하로 이동시킨다.

제어모듈은 사용자의 조작에 의해 이동모듈(110)의 이동범위, 이동속도 및 이동횟수와 세척고무(10)를 가압하는 마모검사부(130)의 압력을 제어한다.

따라서, 다양한 변수를 제어하여 적용할 수 시험할 수 있어 시험 정확도를 높일 수 있다.

도 5는 다른 실시예에 따른 결합부재(116)를 나타낸다.

결합부(116)는 결합부재(117) 및 연결부재(118)를 포함한다.

결합부재(117)는 복수로 구비되어 정면에서 봤을 때 철(凸)형상으로 구비된다.

여기서, 결합부재(117)는 철(凸)형상에서 돌출된 부분의 상면에 통형상의 세척고무(20)가 결합될 수 있도록 통형상의 결합홈(H)이 형성된다.

그리고, 결합홈(H)의 외주면에는 밀착부(131)의 마찰돌기(134)가 결합부재(117)에 부딪히지 않도록 마찰돌기(134)가 이동하는 부분에 라인홈(L)이 형성된다.

따라서, 시험 중 세척고무(20)가 마모되어도 마찰돌기(134)와 결합부재(117)가 부딪히지 않아 결합부재(117)가 파손되는 것을 방지할 수 있다.

연결부재(118)는 복수의 결합부재(117)의 하부 일부가 삽입되는 삽입홈(I)이 형성되고, 연결플레이트(113)와 결합된다.

여기서, 결합부재(117)와 연결부재(118)는 볼트(B)결합으로 결합된다.

본 실시예에서 세척고무(20)는 원판형상으로 구비될 수 있다.

도 6은 다른 실시예에 따른 결합부재(119)를 나타낸다.

결합부재(119)는 복수로 구비되어 정면에서 봤을 때 철(凸)형상으로 구비된다.

그리고, 결합부재(119)는 철(凸)형상에서 돌출된 부분의 상면에 링형상의 세척고무(30)가 결합될 수 있도록 링형상의 결합홈(R)이 형성된다.

또한, 결합부재(119)의 상면에는 밀착부(131)의 마찰돌기(134)가 결합부재(119)의 상면에 부딪히지 않도록 마찰돌기(134)가 이동하는 부분에 라인홈(L)이 형성된다.

여기서, 결합부재(119)와 연결부재(118)는 볼트(B)결합으로 결합된다.

본 실시예에서 세척고무(30)는 링형상으로 구비될 수 있다.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 마모 시험 장치(100)의 작동 예시도이다.

사용자가 제어모듈을 이용하여 이동모듈(110)의 이동범위, 이동속도, 이동횟수와 마모검사부(130)의 하강정도를 설정하면, 도 6에 도시된 것처럼 이동모듈(110)은 이동레일(120) 상을 설정된 범위, 속도 및 횟수로 이동하게되고, 마모검사부(130)는 설정된 하강정도에 따라 하강하게된다.

이때, 이동모듈(110)에 결합된 세척고무(10)가 마모검사부(130)의 마찰부(131)의 마찰돌기(134)에 밀착하여 마찰돌기(134)를 이동하며 마모되는 정도를 측정한다.

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

110...이동모듈 111...이동부
112...결합부 113...연결플레이트
114...연결부재 115...결합부재
116...결합부 117...결합부재
118...연결부재 119...결합부재
120...이동레일 130...마모검사부
131...밀착부 132...이동플레이트
133..승하강부

Claims (9)

1. 반도체 생산장치의 노즐을 세척하는 세척고무가 복수로 결합되어 복수의 상기 세척고무를 이동시키는 이동모듈;
   상기 이동모듈과 결합되고, 상기 이동모듈이 슬라이딩 이동하는 이동레일;
   상기 이동레일의 상부에 배치되어 상하이동이 가능하고, 상기 이동레일을 따라 이동하는 상기 세척고무와 맞닿아 상기 세척고무를 가압하는 마모검사부; 및
   사용자의 조작에 의해 상기 이동모듈의 이동범위, 이동속도 및 이동횟수와 상기 세척고무를 가압하는 상기 마모검사부의 하강정도를 제어하는 제어모듈을 포함하되,
   상기 이동모듈은,
   상기 이동레일과 결합되어 상기 이동레일을 이동하는 이동부;
   복수의 상기 세척고무가 결합되는 결합부; 및
   상기 이동부의 상면에 배치되고, 상기 결합부와 결합되는 연결플레이트를 포함하고,
   상기 결합부는,
   상기 연결플레이트와 결합되는 연결부재; 및
   상기 연결부재의 상부에 배치되고 단면이 다각형 형상으로 구비되어 상기 세척고무와 결합되는 결합부재를 포함하고,
   상기 세척고무는,
   역삼각형의 홈이 형성된 사각판형상으로서,
   상기 결합부재와 지면으로부터 예각으로 기울어져 결합되는 것을 특징으로 하는 마모 시험 장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 삭제
7. 삭제
8. 제1항에 있어서,
   상기 마모검사부는,
   길이방향으로 연장된 육면체 형상으로 구비되고, 상기 세척고무와 맞닿는 밀착부;
   복수의 상기 밀착부와 결합되고, 상하이동하는 이동플레이트; 및
   상기 이동플레이트를 상하로 이동시키는 승하강부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마모 시험 장치.
9. 제8항에 있어서,
   상기 밀착부는,
   단면이 역삼각형 형상으록 구비되고, 하면에 배치돼 외부로 돌출되어 상기 세척고무와 맞닿는 마찰돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 마모 시험 장치.

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