KR102131662B1 - 배관 및 홈의 파티클 제거 장치 - Google Patents

배관 및 홈의 파티클 제거 장치 Download PDF

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KR102131662B1
KR102131662B1 KR1020200040080A KR20200040080A KR102131662B1 KR 102131662 B1 KR102131662 B1 KR 102131662B1 KR 1020200040080 A KR1020200040080 A KR 1020200040080A KR 20200040080 A KR20200040080 A KR 20200040080A KR 102131662 B1 KR102131662 B1 KR 102131662B1
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Abstract

본 발명은 배관 또는 홈의 내부면에 부착된 파티클을 효과적으로 제거하여 회수하기 위한 것으로, 회수관에 직접 또는 연결부재를 통해 연결되거나 회수관 옆에 고정부재에 의해 고정 배치되고 회수관보다 전방으로 연장 형성되며 분사노즐이 형성된 분사관을 구비하고, 분사노즐을 통해 배관 또는 홈의 내부면에 가스를 분사하여 파티클을 분리 제거하며, 분리 제거된 파티클이 후방의 회수관 방향으로 회수되도록 유도하는 분사부; 및 회수관의 입구가 배관 또는 홈의 내부로 인입되거나 배관 또는 홈의 외부에 배치되어 분사노즐에 의해 후방으로 유도되는 파티클을 회수하는 회수부를 포함하는 배관 및 홈의 파티클 제거 장치를 제공한다.
본 발명에 의하면, 배관 또는 홈의 내부면에 부착된 파티클을 분리 제거하고 회수부로 유도하여 파티클의 제거와 유도 및 회수를 동시에 해결할 수 있고, 회수부에 입자검출부를 연결하여 배관 또는 홈의 파티클 레벨을 파악할 수 있으며, 배관 또는 홈의 구조와 크기에 관계없이 적용이 가능한 효과가 있다.

Description

배관 및 홈의 파티클 제거 장치{APPARATUS FOR REMOVING PARTICLES ATTACHED TO PIPES AND GROOVES}
본 발명은 파티클 제거 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 배관 또는 홈의 내부면에 부착된 파티클을 제거하고 제거된 파티클을 회수관으로 유도하여 회수하기 위한 배관 및 홈의 파티클 제거 장치에 관한 것이다.
일반적으로 산업이 고도화될수록 사무 환경에서 뿐만 아니라 생산현장에서 먼지 등의 파티클을 제어할 필요성이 증가하게 되었고, 생산 현장을 청결한 상태로 유지하여 파티클이 제품에 미치는 악영향을 방지하기 위하여 클린룸(clean room)이 도입되었다.
특히, 반도체나 디스플레이 등 나노 수준의 고도로 정밀한 제조 공정이 포함된 첨단산업에서는 제품을 제조하는 현장의 미소한 환경 조건까지도 제품의 품질에 큰 영향을 줄 수 있기 때문에 클린룸에서 요구하는 청정도는 점점 강화되고 있는 추세이다. 예컨대 반도체 제조 공정에서 자동화 장치 등으로부터 발진되는 입자가 웨이퍼 표면에 침착하여 생기는 패턴 결함이 제품의 수율 저하의 주요 원인으로 지적되고 있다.
이와같이, 반도체나 디스플레이 등 첨단산업에서 제품을 제조하는 현장에 파티클이 존재하는 경우 제조 공정 중에 제품에 전도되어 치명적인 제품 불량의 원인이 될 수 있으며, 이러한 파티클은 제품을 제조 현장의 천정, 벽면, 바닥과, 생산 및 계측 설비와, 각종 자재 등에 누적되고, 작업자의 의복에도 부착되며, 로봇, 작업자, 제품의 이동 및 공간적인 온도의 불균형에 따라 기류의 이동을 초래하여 작업자나 물체 또는 인접 부분의 표면에 누적되어 있던 파티클이 전도되어 제품을 오염시킴으로써 제품 불량을 초래하게 된다.
또한, 반도체나 디스플레이 등 첨단산업의 제조 공정에서는 여러 종류의 가스 등 유체를 저장시설에서 반도체나 디스플레이 제조 장비까지 이송하기 위한 도 1에 도시된 각종 가스배관, 진공배관, 튜브 등이 설치되고, 이들을 체결, 지지 및 씰링하기 위한 연결관, 클램프, 오링 등 다수의 부품들이 장착되며, 홈을 갖는 금속, 플라스틱, 세라믹 등 재질의 각종 부품들이 사용되고 있으므로, 이러한 배관 또는 홈의 내부면에 부착된 파티클을 제거하여 회수하고 파티클을 검출 및 계수하여 배관 또는 홈의 파티클 레벨을 파악할 필요가 있다.
한편, 이와 관련된 파티클을 제거하기 위한 종래기술로 미합중국의 특허문헌 1에는 스캐너를 통하여 샘플 표면을 에어펌프로 흡입하면 파티클이 레이저 다이오드 광원계수기와 필터를 거쳐 필터링되는 진공흡입방식에 의한 표면 파티클 계수장치가 공개되어 있다.
그러나, 상술한 종래기술은 진공흡입방식에 의해 파티클을 흡입하는 것으로 샘플 표면으로부터 입자를 분리하는 능력이 떨어지기 때문에 최근 반도체 및 디스플레이 산업에서 요구하는 수 ㎛ 이하의 미소 파티클을 분리해 낼 수 없고, 비교적 넓은 표면을 갖는 샘플에는 적합하지만 소형화가 어려워 배관이나 홈을 갖는 부품의 내부면에 부착된 파티클의 제거 및 회수가 곤란하며, 파티클 제거에 필요 이상의 많은 에너지가 소모되는 문제가 있다.
미국 등록특허공보 제5,253,538(1993,10.19. 등록)
본 발명은 상술한 문제들을 모두 해결하기 위하여 안출된 것으로, 배관 또는 홈의 내부면에 부착된 파티클을 분리 제거하고 회수부로 유도하여 파티클의 제거와 유도 및 회수를 동시에 해결할 수 있고, 회수부에 입자검출부를 연결하여 배관 또는 홈의 파티클 레벨을 파악할 수 있으며, 배관 또는 홈의 구조와 크기에 관계없이 적용이 가능한 배관 및 홈의 파티클 제거 장치의 제공에 그 목적이 있다.
상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명은, 회수관에 직접 또는 연결부재를 통해 연결되거나 회수관 옆에 고정부재에 의해 고정 배치되고 회수관보다 전방으로 연장 형성되며 분사노즐이 형성된 분사관을 구비하고, 분사노즐을 통해 배관 또는 홈의 내부면에 가스를 분사하여 파티클을 분리 제거하며, 분리 제거된 파티클이 후방의 회수관 방향으로 회수되도록 유도하는 분사부; 및 회수관의 입구가 배관 또는 홈의 내부로 인입되거나 배관 또는 홈의 외부에 배치되어 분사노즐에 의해 후방으로 유도되는 파티클을 회수하는 회수부를 포함하는 배관 및 홈의 파티클 제거 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 회수관 내측에 이격 배치되어 회수관보다 전방으로 연장 형성되며 분사노즐이 형성된 분사관이 구비되고, 분사노즐을 통해 배관 또는 홈의 내부면에 가스를 분사하여 파티클을 분리 제거하며, 분리 제거된 파티클이 후방의 회수관 방향으로 회수되도록 유도하는 분사부; 및 분사관보다 큰 직경을 갖는 회수관이 구비되고, 회수관의 입구가 배관 또는 홈의 내부로 인입되거나 배관 또는 홈의 외부에 배치되어 분사노즐에 의해 후방으로 유도되는 파티클을 회수하는 회수부를 포함하는 배관 및 홈의 파티클 제거 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 분사노즐이 형성된 분사관이 배관 또는 홈의 한쪽에 구비되고, 분사노즐을 통해 배관 또는 홈의 내부면에 가스를 분사하여 파티클을 분리 제거하며, 분리 제거된 파티클이 반대쪽에 구비된 회수관 방향으로 회수되도록 유도하는 분사부; 및 배관 또는 홈의 반대쪽에 구비되고, 회수관의 입구가 배관 또는 홈의 내부로 인입되거나 배관 또는 홈의 외부에 배치되어, 한쪽에 구비된 분사노즐에 의해 반대쪽으로 유도되는 파티클을 회수하는 회수부를 포함하는 배관 및 홈의 파티클 제거 장치를 제공한다.
본 발명에 의하면, 배관 또는 홈의 내부면에 부착된 파티클을 분리 제거하고 회수부로 유도하여 파티클의 제거와 유도 및 회수를 동시에 해결할 수 있고, 회수부에 입자검출부를 연결하여 배관 또는 홈의 파티클 레벨을 파악할 수 있으며, 배관 또는 홈의 구조와 크기에 관계없이 적용이 가능한 효과가 있다.
또한, 소정의 각도로 기울어진 분사노즐을 사용하거나, 복수 개의 분사구 또는 분사관이 여러 방향으로 형성된 분사노즐을 사용하면 배관 또는 홈에 대한 파티클의 제거, 유도 및 회수 효율이 증가하고, 배관 또는 홈의 내부면에서 분리된 파티클이 주변으로 확산되어 오염되는 것을 방지하며, 파티클을 원하는 방향으로 유도하여 회수할 수 있고, 연속분사는 물론이고 분사시간과 분사간격을 설정하여 간헐분사가 가능한 효과가 있다.
도 1은 각종 배관 및 그 부품을 도시한 사진이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 파티클 제거 장치와 부대설비를 함께 도시한 도면이다.
도 3 내지 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 파티클 제거 장치들을 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 유도부가 포함된 파티클 제거 장치를 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 제2회수부가 포함된 파티클 제거 장치를 도시한 도면이다.
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 파티클 제거 장치의 사시도이다.
이하에서, 도면을 참고하여 본 발명에 따른 배관 및 홈의 파티클 제거 장치를 실시하기 위한 구체적인 내용에 대하여 실시예를 중심으로 상세하게 설명하도록 하겠다.
도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 배관 및 홈의 파티클 제거 장치(1)는 배관이나 홈의 내부면에 부착된 파티클을 효과적으로 제거하여 회수하기 위한 것으로, 분사부(100), 회수부(200), 유도부(300), 입자검출부(400), 제2회수부(500) 및 제어부(600)를 전부 또는 일부를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 분사부(100)는 분사노즐(120)이 단부에 형성된 분사관(110)이 구비되고, 분사관(110)은 가스공급관(140)과 연결되어 가스공급관(140)으로부터 공급된 가스를 배관 또는 홈(A)의 내부면으로 분사하며, 가스공급관(140)은 에어콤프레셔(170)와 연결되어 압축된 가스를 공급받고 제어부(600)에 의해 개폐 제어되는 개폐밸브(150)와 에어필터(160)가 설치될 수 있다.
또한, 도 3 및 도 4를 참고하면 일실시예로 상기 분사관(110)은 회수관(210) 옆에 직접 연결될 수도 있고, 브라켓 등의 연결부재(220)를 통해 회수관(210) 옆에 연결될 수도 있으며, 분사관(110)과 회수관(210)을 각각 클램프 등 고정부재(미도시)에 의해 고정 설치할 수도 있다.
다른 실시예로 도 5 및 도 6을 참고하면 회수관(210)이 분사관(110)보다 큰 직경을 갖도록 구비되고, 이러한 회수관(210) 내측에 분사관(110)의 일부가 인입되게 설치될 수도 있다.
또한, 상기 분사관(110)은 단부에 분사노즐(120)이 형성되어 배관 또는 홈(A)의 내측으로 인입된 상태에서 배관 또는 홈(A)의 내부면을 향해 가스를 분사하여 배관 또는 홈(A)의 내부면에 부착된 파티클(P)을 제거한다. 이때 배관 또는 홈(A)은 한쪽만 개방되거나 양쪽이 모두 개방되도록 형성될 수 있고, 배관 또는 홈을 갖는 대상물은 지지대(미도시) 위에 안착되거나 클램프 등 고정부재(미도시)에 의해 고정될 수 있다.
더불어, 상기 분사노즐(120)은 가스를 분사하여 배관 또는 홈(A)의 내부면의 파티클을 제거하는 기능만 하는 것이 아니라, 이와 함께 배관 또는 홈(A)의 내부면에서 제거된 파티클(P)을 후방의 회수관(210) 입구(211)쪽으로 유도하는 기능을 하여 파티클의 제거와 회수를 동시에 해결할 수 있다.
또한, 상기 분사관(110)은 회수관(210)보다 전방을 향하여 더 연장되게 형성되어 회수관(210)의 입구(211)가 분사노즐(120)보다 후방에 위치하게 되고, 이로써 회수관(210)의 전방 쪽의 배관(A) 또는 홈(G)의 내부면에서 분리 제거된 파티클(P)이 분사된 가스압과 회수펌프(240)의 흡입력에 의해 분사노즐(120)보다 후방에 위치한 회수관(210)의 입구(211)를 향해 원활하게 유도되어 회수율이 증대될 수 있다.
상기 회수부(200)는 분사노즐(120)에서 분사된 가스에 의해 배관 또는 홈(A)의 내부면으로부터 분리 제거된 파티클을 흡입하여 회수하는 것으로, 회수관(210)의 입구(211)가 분사노즐(120)보다 후방에 위치하도록 구비된다. 이때 회수관(210)의 입구(211)는 배관(A) 또는 홈(G)의 내부로 인입된 채 파티클을 회수할 수도 있고, 배관(A) 또는 홈(G)의 외부에 위치하여 파티클을 회수할 수도 있다. 예컨대, 도 9a를 참고하면 회수관(210)의 직경이 배관(A) 또는 홈(G)의 직경과 같거나 큰 경우에는 회수관(210)의 입구(211)를 배관(A) 또는 홈(G)과 근접한 외부에 위치시켜 분리 제거된 파티클(P)을 회수할 수 있다.
또한, 상기 회수관(210)의 회수 경로에 멤브레인 필터 등의 채취수단(230)이 설치되어 회수된 파티클(P)을 채취하여 오염 여부 및 그 정도를 확인할 수 있다.
또한, 상기 회수관(210)은 회수펌프(240)와 연결되어 진공흡입방식에 의해 분사노즐(120)의 분사 가스에 의해 배관 또는 홈(A)의 내부면에서 분리 제거된 파티클(P)을 흡입하여 배기관(250)을 통해 배기시킬 수 있다.
한편, 상기 분사노즐(120)은 단수 노즐 또는 복수 개의 다중 노즐로 형성될 수도 있고, 그 설치각도, 설치방향 및 설치위치 등 다양한 형상과 구조로 이루어질 수 있다.
일례로, 상기 분사노즐(120)은 도 3 및 도 5와 같이 "―" 형상으로 이루어질 수 있고, 전면에 전방을 향해 가스를 분사하는 홀 형상의 전면분사구(121)가 형성되어 배관이나 홈의 직경이 작아서 기울어진 전면분사관(123)을 사용할 수 없는 경우에 적용될 수 있다.
더불어, 도 3을 참고하면 상기 분사노즐(120)은 전면분사구(121)가 형성된 전면분사관(123)이 일측으로 소정의 각도로 기울어져 형성되어 배관이나 홈의 말단부, 모서리, 코너부의 파티클을 쉽게 분리 제거할 수 있으며, 이러한 전면분사관(123)은 복수 개가 형성될 수도 있고, 단수가 형성된 경우 분사관(110)을 회전시키거나, 배관 또는 홈(A)의 대상물을 회전시켜서 파티클의 제거 및 회수 효율을 증대시킬 수 있다.
또한, 도 3 내지 도 6을 참고하면 상기 분사노즐(120)은 측면에 복수 개의 측면분사구(122)가 형성되거나 측면에 복수 개의 측면분사관(124)이 형성되어 배관 또는 홈(A)의 내부면의 파티클을 분리 제거하여 후방으로 이동시킬 수 있다.
즉, 도 3 및 도 5를 참고하면 일실시예로 상기 분사노즐(120)은 전면에 전면분사구(121)가 형성되고, 양 측면에 측면분사구(122)가 형성되며, 측면분사구(122)는 후방을 향해 가스가 분사되도록 형성될 수 있으며, 측면분사구(122)에서 분사된 가스에 의해 배관 또는 홈(A) 내부면에 부착된 파티클(P)이 분리되어 회수펌프(240)의 흡입력에 의해 회수관(210)으로 흡입되어 회수되고, 전면분사구(121)에서 분사된 가스에 의해 배관 또는 홈(A) 내부면에 부착된 파티클(P)이 분리된 후 측면분사구(122)에서 분사된 가스에 의해 후방으로 유도되어 회수관(210)으로 원활하게 회수될 수 있다. 이와 같이, 상기 분사노즐(120)은 배관 또는 홈(A) 내부면에 부착된 파티클(P)을 제거하는 기능과 분리된 파티클(P)을 회수관(210)으로 유도하는 기능을 겸하게 된다.
또한, 상기 측면분사관(124)은 소정의 각도로 기울어져 형성되어 파티클의 제거와 회수 효율을 증대시킬 수 있다. 예컨대, 도 4 및 도 6을 참고하면 분사노즐(120) 양측에 각각 기울어져 형성된 측면분사관(124)이 구비되고 분사노즐(120)이 대략 T자 형상으로 이루어져 모서리 및 코너부의 파티클 제거와 회수 효율이 증대된다. 일실시예로 양측 측면분사관(124)이 서로 반대 방향으로 형성되되, 일측 측면분사관(124)은 후방을 향해 기울어지고, 타측 측면분사관(124)은 전방을 향해 기울어지며, 일측 측면분사관(124)에서 후방으로 기울여져 분사된 가스에 의해 배관 또는 홈(A)의 내부면에 부착된 파티클(P)이 분리되면서 후방의 회수관(210)으로 흡입되어 자연스럽게 회수되고, 타측 측면분사관(124)에서 전방으로 기울여져 분사된 가스에 의해 배관 또는 홈(A)의 내부면에 부착된 파티클(P)이 분리된 후 일측 측면분사관(124)에서 분사되는 가스에 의해 후방으로 유도되어 회수관(210)으로 원활하게 회수될 수 있다.
더불어, 도 5 및 도 6과 같이 회수관(210)이 분사관(110)보다 큰 직경을 갖도록 구비된 경우에는 회수관(210) 내측에 분사관(110)의 일부가 인입되도록 연결 설치될 수 있고, 분사관(110)은 회수관(210)에 직접 연결되거나, 브라켓 등의 연결부재(220)를 통해 연결될 수 있으며, 이로써 작은 직경을 갖는 배관 또는 홈(A)에도 용이하게 적용할 수 있고, 회수관(210)이 한쪽에 치우쳐 있지 않아서 파티클(P)의 회수율이 증대될 수 있다. 이때, 분사노즐(120)의 구성 및 작용은 이미 상술하였으므로 더 자세한 설명은 생략하도록 한다.
또한, 도 3 및 도 5를 참고하면, 상기 분사노즐(120)은 정면과 측면에 각각 정면분사구(121)와 측면분사구(122)가 형성될 수 있고, 이러한 구조의 분사노즐(120)을 양쪽이 개방된 배관(A)이나 홈(G)에 적용하는 경우, 전면분사구(121)가 전방을 향해 가스를 분사하여 외부로부터 이물질의 유입을 차단하여 오염을 방지하는 기능도 한다.
한편, 본 발명에 따른 배관 및 홈의 파티클 제거 장치의 다른 실시예로서, 도 9b를 참고하면 분사부(100)가 배관 또는 홈(A)의 일측에 구비되어 분사노즐(120)이 형성된 분사관(110)이 배관 또는 홈(A)의 내측으로 삽입되고, 그 반대쪽인 배관 또는 홈(A)의 타측에 회수부(200)가 구비되어 회수관(210)의 입구(211)가 배관 또는 홈(A)의 내부로 인입되거나 배관 또는 홈(A)의 외부에 배치됨으로써, 한쪽에서 분사노즐(120)을 통해 배관 또는 홈(A)의 내부면에 가스를 분사하여 파티클을 분리 제거하면, 분리 제거된 파티클은 그 반대쪽에 구비된 회수관(210)으로 유도되어 회수될 수 있다. 이때 분사노즐(120)에서 분사된 가스는 파티클(P)의 제거는 물론이고 제거된 파티클(P)을 회수관(210)으로 유도하는 기능을 하며, 특히 전면분사구(121)에서 분사된 가스는 제거된 파티클(P)이 회수관(210)으로 회수될 수 있는 확률을 더욱 증대시킨다.
도 7을 참고하면 상기 유도부(300)는 유도관(310)이 회수관(210)에 직접 또는 연결부재(220)를 통해 연결되거나 회수관(210) 옆에 고정부재(미도시)에 의해 고정 배치되고, 상기 유도관(310)은 회수관(210)보다 전방으로 더 연장 형성되며, 상기 유도관(310)의 단부에 유도노즐(320)이 형성되어 방향유도용 가스를 분사한다.
상기 유도노즐(320)은 분사구가 후방을 향하도록 절곡 형성되어 후방의 회수관(210)을 향해 방향유도용 가스를 분사하여 배관 또는 홈(A)의 내부면에서 분리 제거된 파티클(P)을 회수관(210)의 입구(211)로 유도하여 회수율을 더욱 증가시킬 수 있다.
이때, 유도관(310)은 에어콤프레셔(170)와 연결되어 압축된 가스를 공급받고, 제어부(600)에 의해 자동 개폐 제어되는 개폐밸브(340)와, 에어필터(350)가 설치되어 있다.
유도노즐(320)은 회수관(210)에 진공이 형성되어 있지 않은 경우에도 회수관(210)의 입구를 향하여 가스를 분사하여 배관 또는 홈(A)의 내부면으로부터 분리된 파티클을 회수관(210)으로 유도하여 소정의 거리만큼 보내어 회수할 수 있고, 분사노즐(120)의 분사가스의 압력이나 분사량에 불균형이 발생하거나 분사가스가 배관 또는 홈(A)의 내부면에 충돌후 불규칙하게 확산되더라도 회수관(210)의 입구를 향하여 방향유도용 가스를 분사하여 파티클(M)을 원하는 방향으로 유도하여 회수할 수 있다.
도 2를 참고하면 상기 입자검출부(400)는 흡입구(410)가 회수부(200)의 회수관(210)과 연결되어 회수관(210)의 회수 경로상을 이동하는 파티클(P)을 흡입하여 검출 또는 계수가 이루어진다. 이러한 파티클(P)의 검출과 계수를 통하여 파티클(P)의 갯수, 크기, 분포 등을 측정함으로써 오염 여부와 그 정도를 쉽고 빠르게 확인할 수 있다.
도 8을 참고하면 상기 제2회수부(500)는 배관 또는 홈(A)의 외측에 배치되되, 제2회수관(510)이 구비되고, 제2회수관(510)의 전단부에 제2회수관(510)보다 확개된 직경을 갖는 입구관(520)이 형성되며, 입구관(520)은 회수관(210)보다 큰 직경을 갖도록 형성되어 회수관(210) 일부 둘레를 감싸도록 회수관(210) 외측에 이격 형성되며, 배관 또는 홈(A)의 내부면에서 분리 제거된 파티클(P) 중 일부가 배관 또는 홈(A)의 외부로 유출되는 것을 회수하여 주변 오염을 방지하고, 나아가 제품의 불량을 방지할 수 있다.
또한, 상기 제2회수관(510)의 회수 경로에 멤브레인 필터 등의 채취수단(530)이 설치되어 회수된 파티클(P)을 채취하여 오염 여부 및 그 정도를 확인할 수 있다.
또한, 상기 제2회수관(510)은 회수펌프(540)와 연결되어 진공흡입방식에 의해 배관 또는 홈(A)의 외부로 배출되는 파티클(P)을 흡입하여 배기관(550)을 통해 배기시킬 수 있다.
상기 제어부(600)는 분사부(100)의 개폐밸브(150)를 제어하여 가스의 분사시간과 분사간격을 자동 조절할 수 있고, 더불어 개폐밸브(340)도 자동 제어하여 개폐시킴으로써 유도노즐(320)로 분사되는 방향유도용 가스의 분사시간과 분사량도 조절할 수 있다.
이때, 분사노즐(120)은 연속분사가 가능하게 세팅될 수도 있으나, 경우에 따라서는 가스가 지속적으로 분사되면 분사량이 크게 증가하여 가스가 목적으로 하는 거리 이상으로 진행하게 되고, 필요 이상의 많은 에너지가 소모될 수 있다. 이에 배관 및 홈의 크기, 회수부(200)의 규모 및 흡입력 등을 고려하여 제어부(600)가 미리 저장된 설정에 따라 개폐밸브(150)를 제어하여 가스가 간헐적으로 분사될 수 있도록 함으로써 파티클(P)의 회수와 채집이 원활히 이루어질 수 있게 된다. 예를들면, 회수부(200)가 분사노즐(120)의 1초 동안의 가스 분사량을 10초 후에 회수할 수 있다면 제어부(600)는 개폐밸브(150)를 제어하여 1초동안 분사노즐(120)이 가스를 분사하게 한 후 10초의 휴지시간을 갖는 것이다.
결국, 본 발명에 따른 배관 및 홈의 파티클 제거 장치(1)는 배관 또는 홈의 내부면에 부착된 파티클을 분리 제거하고 회수부로 유도하여 파티클의 제거와 유도 및 회수를 동시에 해결할 수 있고, 회수부에 입자검출부를 연결하여 배관 또는 홈의 파티클 레벨을 파악할 수 있으며, 배관 또는 홈의 구조와 크기에 관계없이 적용이 가능하고, 또한, 소정의 각도로 기울어진 분사노즐을 사용하거나, 복수 개의 분사구 또는 분사관이 여러 방향으로 형성된 분사노즐을 사용하면 배관 또는 홈에 대한 파티클의 제거, 유도 및 회수 효율이 증가하고, 배관 또는 홈의 내부면에서 분리된 파티클이 주변으로 확산되어 오염되는 것을 방지하며, 파티클을 원하는 방향으로 유도하여 회수할 수 있고, 연속분사는 물론이고 분사시간과 분사간격을 설정하여 간헐분사가 가능한 것이다.
본 발명에서 상기 실시 형태는 하나의 예시로서 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 특허청구범위에 기재된 기술적 사상과 실질적으로 동일한 구성을 갖고 동일한 작용효과를 이루는 것은 어떠한 것이라도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.
1. 파티클 제거 장치 100. 분사부
110. 분사관 120. 분사노즐
121. 전면분사구 122. 측면분사구
123. 전면분사관 124. 측면분사관
140. 가스공급관 150. 개폐밸브
160. 에어필터 170. 에어콤프레셔
200. 회수부 210. 회수관
211. 입구 220. 연결부재
230. 채취수단 240. 회수펌프
250. 배기관 300. 유도부
310. 유도관 320. 유도노즐
340. 개폐밸브 350. 에어필터
400. 입자검출부 410. 흡입구
500. 제2회수부 510. 제2회수관
520. 입구관 530. 채취수단
540. 회수펌프 550. 배기관
600. 제어부 A. 배관 또는 홈
P. 파티클

Claims (11)

  1. 회수관에 직접 또는 연결부재를 통해 연결되거나 회수관 옆에 고정부재에 의해 고정 배치되고 회수관보다 전방으로 연장 형성되며 분사노즐이 형성된 분사관을 구비하고, 분사노즐을 통해 배관 또는 홈의 내부면에 가스를 분사하여 파티클을 분리 제거하며, 분리 제거된 파티클이 후방의 회수관 방향으로 회수되도록 유도하는 분사부;
    회수관의 입구가 배관 또는 홈의 내부로 인입되거나 배관 또는 홈의 외부에 배치되어 분사노즐에 의해 후방으로 유도되는 파티클을 회수하는 회수부; 및
    유도관이 회수관에 직접 또는 연결부재를 통해 연결되거나 회수관 옆에 고정부재에 의해 고정 배치되고, 유도관은 회수관보다 전방으로 연장 형성되며, 유도노즐이 형성된 유도부를 포함하되,
    유도노즐은 분사구가 후방을 향해 형성되어 회수관을 향해 가스를 분사하여 배관 또는 홈의 내부면에서 분리 제거된 파티클이 회수관 입구로 유도되어 회수되도록 하는 것을 특징으로 하는 배관 및 홈의 파티클 제거 장치.
  2. 회수관 내측에 이격 배치되어 회수관보다 전방으로 연장 형성되며 분사노즐이 형성된 분사관이 구비되고, 분사노즐을 통해 배관 또는 홈의 내부면에 가스를 분사하여 파티클을 분리 제거하며, 분리 제거된 파티클이 후방의 회수관 방향으로 회수되도록 유도하는 분사부;
    분사관보다 큰 직경을 갖는 회수관이 구비되고, 회수관의 입구가 배관 또는 홈의 내부로 인입되거나 배관 또는 홈의 외부에 배치되어 분사노즐에 의해 후방으로 유도되는 파티클을 회수하는 회수부; 및
    유도관이 회수관에 직접 또는 연결부재를 통해 연결되거나 회수관 옆에 고정부재에 의해 고정 배치되고, 유도관은 회수관보다 전방으로 연장 형성되며, 유도노즐이 형성된 유도부를 포함하되,
    유도노즐은 분사구가 후방을 향해 형성되어 회수관을 향해 가스를 분사하여 배관 또는 홈의 내부면에서 분리 제거된 파티클이 회수관 입구로 유도되어 회수되도록 하는 것을 특징으로 하는 배관 및 홈의 파티클 제거 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 분사노즐은 전면에 전면분사구가 소정의 각도로 기울어져 형성되고, 분사관을 회전시켜 파티클의 제거 및 회수 효율이 증대되는 것을 특징으로 하는 배관 및 홈의 파티클 제거 장치.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 분사노즐은 양 측면에 측면분사구가 형성되거나 양 측면에 측면분사관이 형성되어 배관 또는 홈의 내부면의 파티클을 분리 제거하면서, 후방으로 이동하도록 유도하는 기능을 하는 것을 특징으로 하는 배관 및 홈의 파티클 제거 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    양 측면에 구비된 측면분사관은 서로 반대 방향으로 기울어져 형성된 것을 특징으로 하는 배관 및 홈의 파티클 제거 장치.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 분사노즐은 전면에 전면분사구가 형성되어 전방을 향해 가스를 분사하여 외부로부터 이물질의 유입을 방지하는 것을 특징으로 하는 배관 및 홈의 파티클 제거 장치.
  7. 삭제
  8. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    회수관과 연결되어 회수관의 회수 경로를 이동하는 파티클을 흡입하여 검출 또는 계수가 이루어지는 입자검출부를 더 포함하는 배관 및 홈의 파티클 제거 장치.
  9. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    제2회수관의 입구가 회수관 둘레를 감싸도록 회수관 외측에 이격 형성되어 회수부로 유입되지 않고 배관 또는 홈의 외부로 유출될 수 있는 파티클을 회수하여 주변 오염을 방지하는 제2회수부를 더 포함하는 배관 및 홈의 파티클 제거 장치.
  10. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 분사부에 설치된 개폐밸브를 제어하여 가스의 분사시간과 분사간격을 조절함으로써 연속분사 및 간헐분사가 가능하도록 하는 제어부를 더 포함하는 배관 및 홈의 파티클 제거 장치.
  11. 삭제
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