KR102129226B1

KR102129226B1 - 시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템

Info

Publication number: KR102129226B1
Application number: KR1020200041108A
Authority: KR
Inventors: 윤영기
Original assignee: 윤영기
Priority date: 2020-04-03
Filing date: 2020-04-03
Publication date: 2020-07-01

Abstract

본 발명은 시뮬레이터를 이용하여 반도체 제조장치에 약액을 공급하는 시스템에 관한 것으로, 컴퓨터 프로그램에 의해서 작동하는 적어도 하나의 피엘씨(PLC : Programmable Logic Controller)부와, 상기 피엘씨부의 구동을 제어하고 상기 피엘씨부로부터 신호를 수신하여 화면을 통해 출력하는 제어패널부와, 상기 피엘씨를 구동하는 프로그램부를 포함하는 시뮬레이터와, 상기 시뮬레이터에 의해 제어되고 반도체용 약액을 보관하는 적어도 하나의 약액 탱크부와, 상기 시뮬레이터에 의해 제어되고 상기 약액 탱크부에 보관된 약액을 분산하는 적어도 하나의 약액 분산부와, 상기 시뮬레이터에 의해 제어되고 상기 약액 탱크부 또는 상기 약액 분산부 중 적어도 어느 하나로부터 약액을 공급받아 조합하는 약액 조합부 및 상기 시뮬레이터에 의해 제어되고 상기 약액 탱크부와 상기 약액 분산부와 상기 약액 조합부 중 적어도 어느 하나로부터 약액을 공급받아 외부의 반도체 제조장비로 약액을 공급하는 약액 공급부를 포함하는 시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템에 의해 달성된다. 이에 따라, PLC를 통해서 프로그램을 손쉽게 수정할 수 있고, 이에 따라 약액 분산, 약액 조합 및 약액 공급을 신속하면서도 정밀하게 제어할 수 있다.

Description

시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템{Semiconductor chemical supply system using simulator}

본 발명은 시뮬레이터를 이용하여 반도체 제조장치에 약액을 공급하는 시스템에 관한 것이다.

반도체, LED, Solar Cell 등의 제조공정 중의 하나인 에피텍시(epitaxy) 공정은 단결정실리콘 위에 각종 반도체 관련 재료들을 올려놓기 위해 일종의 얇은 필름으로 실리콘의 표면을 덮는 코팅공정이다. 각 재료들이 특정 위치에 정확히 위치할 수 있도록 기초공사를 하는 것으로서, 일반적인 선택적 에피텍시 성장법은 반도체물질이 노출된 표면에만 그와 동종 또는 이종의 반도체막이 성장되고, 산화막, 질화막 등의 절연막으로 덮여 있는 표면에는 아무런 막도 성장되지 않도록 하는 기술이다.

특수가스를 활용해 화학적으로 코팅물질을 증착시킨다 하여 대개 CVD(Chemical Vapor Deposition)공정으로 불린다.\

구체적으로 에피텍시 공정은 낮은 압력에서 특수가스와의 화학반응을 통해 증착시키는 LPCVD(Low Pressure CVD), 일반대기압에서 증착시키는 APCVD(Atmospheric Pressure CVD), 고압에서 증착시키는 HPCVD(High Pressure CVD), 강력한 전압으로 플라즈마를 발생시켜 증착시키는 PECVD(Plasma Enhanced CVD), 갈륨, 인, 알루미늄 등 금속유기물을 증착시키는 MOCVD(금속유기화학기상증착) 등으로 구분된다.

이 공정에는 고순도 TEOS, TiCL4, TMA, LTO520, TEMAZr, TEMAHf, HBO, 4MS, 3MS, TEB, TEPO 등의 화학약품(특수 약액)이 사용되며 운송가스(carrier gas)로서 고순도의 아르곤(Ar), 헬륨(He), 수소(H2), 질소(N2) 등이 사용된다.

화학약품은 증착챔버 내부에서 반도체 패턴의 증착에 사용된다.

화학약품의 공급시스템에 설치된 센서는 약품탱크 내부에 저장된 증착용 화학약품의 양이 어느 정도인지를 감지한다. 만약 화학약품의 양이 일정 수준 이하로 떨어지면 제어부에 화학약품 감소 신호를 전송한다.

센서로부터 약품탱크 내부에 저장된 화학약품의 양이 부족하다는 신호가 입력되면 제어부는 즉시 약품탱크로부터의 화학약품 공급을 중단하고, 추가로 준비된 약품탱크에 저장된 화학약품을 증착챔버에 공급하도록 한다.

그리고 화학약품이 다 소진된 약품탱크는 별도의 충전시스템으로 이동시켜 새로운 화학약품을 충전한 후, 다시 공급시스템에 사용된다.

그런데 기존에 사용되던 화학약품 충전시스템에서는 화학약품을 약품탱크에 주입하는 양을 조절하기가 어려워서 고가의 화학약품을 정확하게 충전하지 못하는 경우가 있었다. 액상의 화학약품을 주입하는 과정에서 유량의 측정과 탱크의 중량 측정이 동시에 정확하게 이루어져야 하는데, 종래의 기술에서는 이를 구현하기가 어려운 문제점이 있었다. 게다가 반도체 제조는 복잡한 다공정을 거쳐야 하며, 다공정을 컨트롤하기 위해서는 컴퓨터 프로그램을 기반으로 하는 PLC를 이용해야 하는데 PLC를 교체할 때마다 배선을 다시 연결해야 하는 문제가 발생하고, 프로그램 또한 다시 제작해야 하는 번거로움이 발생한다.

KR 10-1563492 B1 KR 10-2012-0021732 A

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, PLC를 통해서 프로그램을 손쉽게 수정할 수 있고, 이에 따라 약액 분산, 약액 조합 및 약액 공급을 정밀하게 제어할 수 있는 시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본발명은 PLC를 교체하더라도 이에 대응하는 젠더부만을 교체함으로써 신속하게 설비할 수 있으며, 배선들의 단락 상태를 육안으로 손쉽게 확인할 수 있는 시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 컴퓨터 프로그램에 의해서 작동하는 적어도 하나의 피엘씨(PLC : Programmable Logic Controller)부와, 상기 피엘씨부의 구동을 제어하고 상기 피엘씨부로부터 신호를 수신하여 화면을 통해 출력하는 제어패널부와, 상기 피엘씨를 구동하는 프로그램부를 포함하는 시뮬레이터와, 상기 시뮬레이터에 의해 제어되고 반도체용 약액을 보관하는 적어도 하나의 약액 탱크부와, 상기 시뮬레이터에 의해 제어되고 상기 약액 탱크부에 보관된 약액을 분산하는 적어도 하나의 약액 분산부와, 상기 시뮬레이터에 의해 제어되고 상기 약액 탱크부 또는 상기 약액 분산부 중 적어도 어느 하나로부터 약액을 공급받아 조합하는 약액 조합부 및 상기 시뮬레이터에 의해 제어되고 상기 약액 탱크부와 상기 약액 분산부와 상기 약액 조합부 중 적어도 어느 하나로부터 약액을 공급받아 외부의 반도체 제조장비로 약액을 공급하는 약액 공급부를 포함하는 시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템에 의해 달성된다.

또, 상기 시뮬레이터는,

상기 피엘씨의 입출력을 담당하는 적어도 하나의 링크터미널부를 포함할 수 있다.

또, 상기 링크터미널부는,

상기 피엘씨와 연결되어 상기 피엘씨의 입출력을 담당하는 적어도 하나의 제1링크터미널 및 상기 제1링크터미널의 입출력을 담당하는 적어도 하나의 제2링크터미널을 포함할 수 있다.

또, 상기 시뮬레이터는,

상기 제1링크터미널과 상기 제2링크터미널을 연결하는 적어도 하나의 젠더부를 포함할 수 있다.

또, 상기 젠더부는,

상기 제1링크터미널과 상기 제2링크터미널의 연결상태를 표시하는 표시등을 포함할 수 있다.

또, 상기 젠더부는,

상기 제1링크터미널과 연결되는 복수의 제1단자와 상기 제2링크터미널과 연결되는 복수의 제2단자가 마련되는 지지부 및 상기 지지부로부터 탈착되고 상기 제1단자와 상기 제2단자에 대응하는 각각의 접촉단자가 마련되며 상기 제1단자와 상기 제2단자를 연결하는 단자연결부를 포함를 포함할 수 있다.

또, 상기 지지부는 일면에 상기 제1단자와 상기 제2단자에 상기 접촉단자를 안내하는 안내홈이 마련되고, 상기 단자연결부는 일면에 상기 안내홈에 대응하는 돌출부가 마련될 수 있다.

또, 상기 젠더부는,

상기 지지부와 상기 단자연결부 사이에 상기 지지부와 상기 단자연결부를 자력으로 밀착시키는 탈착부를 포함할 수 있다.

또, 상기 안내홈은 단면이 삼각형 또는 사다리꼴로 형성되고, 상기 돌출부는 상기 안내홈에 용이하게 삽입되도록 상기 안내홈에 대응하되 상기 돌출부의 단면이 사다리꼴 또는 삼각형으로 형성되어 상기 단자연결부가 휘어지는 것을 방지할 수 있다.

또, 상기 시뮬레이터는,

휴대단말기, 스마트기기, 노트북 및 컴퓨터와 연결하는 외부기기 접속부를 포함하되, 상기 접속부를 외부에서 상기 시뮬레이터를 제어할 수 있다.

또, 상기 시뮬레이터는,

인터넷과 연결하는 통신접속부를 포함하되, 상기 인터넷을 통해서 상기 시뮬레이터를 제어할 수 있다.

또, 상기 약액 탱크부, 상기 약액 분산부, 상기 약액 조합부 및 상기 약액 공급부는 상기 약액의 유량을 검출하는 유량검출부, 상기 약액을 이동시키는 펌프 및 상기 약액의 출입을 제어하는 자동밸브 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.

또, 상기 시뮬레이터는,

상기 약액 분산부, 상기 약액 조합부 및 상기 약액 공급부를 제어하여 생성된 데이터를 저장하는 저장부를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면, 시뮬레이터를 통해서 약액 탱크부, 약액 분산부, 약액 조합부 및 약액 공급부를 세밀하게 제어할 수 있다.

또한, 피엘씨부를 교체하더라도 피엘씨에 대응하는 젠더부를 교체함으로써 피엘씨의 입출력용 배선 작업을 생략할 수 있고, 나아가 배선이 잘못 연결되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 램프를 통해서 배선의 단락을 육안으로 손쉬게 확인할 수 있다.

또한, 각 회사에 따른 피엘씨를 제어하는 프로그램을 손쉽게 교체할 수 있다.

또한, 외부기기를 통해서 시뮬레이터를 제어할 수 있다.

또한, 인터넷을 통해서 시뮬레이터를 제어할 수 있다.

또한, 단자연결부가 휘어지는 것을 방지함으로써 전기적인 신호가 단락되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 자력을 이용하여 지지부로부터 단자연결부를 손쉽게 탈착시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템을 개략적으로 나타낸 블록도.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템에서 시뮬레이터를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템에서 시뮬레이터의 제어패널부를 개략적으로 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템에서 시뮬레이터의 후방 내부에 실장되는 부품을 개략적으로 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템에서 시뮬레이터의 전방 내부에 실장되는 부품을 개략적으로 나타낸 도면.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템에서 링크터미널부 및 젠더부가 연결된 상태를 개략적으로 나타낸 도면.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템에서 젠더부를 개략적으로 나타낸 사시도.

본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 더 구체적으로 설명하되, 이미 주지된 기술적 부분에 대해서는 설명의 간결함을 위해 생략하거나 압축하기로 한다.

도 1 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템은, 시뮬레이터(1), 약액 탱크부(2), 약액 분산부(3), 약액 조합부(4) 및 약액 공급부(5)를 포함한다.

시뮬레이터(1)는, 약액 탱크부(2), 약액 분산부(3), 약액 조합부(4) 및 약액 공급부(5)를 제어하는 장치로, 본체(10), 피엘씨(PLC : Programmable Logic Controller)부(20), 프로그램부(30), 제어패널부(40), 젠더부(50) 및 저장부(60)를 포함한다.

본체(10)는, 피엘씨부(20), 약액 탱크부(2), 약액 분산부(3), 약액 조합부(4) 및 약액 공급부(5) 등과 연결되는 각종 부품이 실장되는 것으로, 하우징(101), 서킷 브레이커(102), 마그네틱 컨택트(103), 제1서킷 프로텍터(104), 노이즈 필터(105), 트랜스(106), 파워 서플라이(107), 터미널 블록(108), 인버터(109), 버스바(110), 제2서킷 프로텍터(111), 링크터미널부(112), 콘센트(113) 및 컨트롤 릴레이(114)를 포함한다.

하우징(101)은, 외형을 이루는 것으로, 상면은 하향 절곡되어 형성되고, 전면 및 배면에는 도어가 마련되며, 내부에는 부품을 실장 하기 위한 두 개의 설치패널이 수직으로 배치된다.

서킷 브레이커(102)는, 설치패널에 장착하되 하우징(101)의 후방 내부에 배치되고, 3상 모터(미도시) 및 조작회로의 과부하를 방지하며 누전을 차단한다.

마그네틱 컨택트(103)는, 설치패널에 장착하되 하우징(101)의 후방 내부에 배치되고, 조작회로의 전원을 온/오프 하도록 전자접촉을 한다.

제1서킷 프로텍터(104)는, 설치패널에 장착하되 하우징(101)의 후방 내부에 배치되고, 조작회로 전원, 직류 전원, 노트북 등의 외부기기용 콘센트(113)의 전원, 내부환기용 환기팬의 전원, 3상 모터 제어용 전원, DC24V 전원 및 DC12V 전원에 과부하가 걸렸을 때 전원을 차단하여 기기를 보호한다.

노이즈 필터(105)는, 설치패널에 장착하되 하우징(101)의 후방 내부에 배치되고, 조작전원에 발생하는 노이즈를 제거한다.

트랜스(106)는, 설치패널에 장착하되 하우징(101)의 후방 내부에 배치되고, 전류 신호를 검출해서 후술할 교류 전압 확인 계측기, 모터 전류 확인 계측기, 직류 전압 확인 계측기 및 직류 전류 확인 계측기로 전달한다.

파워 서플라이(107)는, 설치패널에 장착하되 하우징(101)의 후방 내부에 배치되고, 제어, 릴레이, 피엘씨부(20) 및 램프(401)에 DC24V 전원을 공급하며, 예비용 DV12V 전원을 공급한다.

터미널 블록(108)은, 설치패널에 장착하되 하우징(101)의 전방 및 후방 내부에 배치되고, 모터(미도시) 및 센서(미도시) 등의 외부 결선용 단자대로 사용된다.

인버터(109)는, 설치패널에 장착하되 하우징(101)의 후방 내부에 배치되고, 3상 모터의 회전 속도를 제어한다.

버스바(110)는, 설치패널에 장착하되 하우징(101)의 후방 내부에 배치되고, 감전 방지용 접지로 사용된다.

제2서킷 프로텍터(111)는, 설치패널에 장착하되 하우징(101)의 전방 내부에 배치되고, DC24V 전원, 피엘씨부(20) 전원, 터치 스크린 전원 및 내부회로 제어 전원에 과부하가 걸렸을 때 전원을 차단하여 기기를 보호한다.

링크터미널부(112)는, 설치패널에 장착하되 하우징(101)의 전방 내부에 배치되고, 피엘씨부(20)와 연결되며, 피엘씨부(20)의 입출력을 담당한다. 또한, 링크터미널부(112)는 제1링크터미널(112a) 및 제2링크터미널(112b)을 포함한다.

제1링크터미널(112a)은, 설치패널에 장착하되 하우징(101)의 전방 내부에 배치되고, 피엘씨부(20) 및 젠더부(50)와 연결된다. 이에 따른 설명은 후술한다.

제2링크터미널(112b)은, 설치패널에 장착하되 하우징(101)의 전방 내부에 제1링크터미널(112a)로부터 이격되어 배치되고, 젠더부(50)와 연결된다. 이에 따른 설명은 후술한다.

콘센트(113)는, 설치패널에 장착하되 하우징(101)의 후방 내부에 배치되고, 스마트기기, 휴대단말기 및 노트북 등의 외부기기에 전원을 공급한다.

컨트롤 릴레이(114)는, 설치패널에 장착하되 하우징(101)의 후방 내부에 배치되고, 내부등 및 모터속도 제어 릴레이를 담당한다.

피엘씨부(20)는, 설치패널에 장착하되 하우징(101)의 전방 내부에 배치되고, 주지 또는 공지된 피엘씨를 이용하며, 피엘씨 전원 유닛(201), 피엘씨 CPU 유닛(202), 피엘씨 디지털 입력 유닛(203), 피엘씨 디지털 출력 유닛(204), 피엘씨 아날로그 입력 유닛(205), 피엘씨 아날로그 출력 유닛(206) 및 피엘씨 엔드 커버(207)로 구성되되 프로그램부(30)의 프로그램에 의해 구동한다. 즉, 약액 탱크부(2), 약액 분산부(3), 약액 조합부(4) 및 약액 공급부(5)를 제어하기 위한 하드웨어 역할을 한다.

프로그램부(30)는, 피엘씨부(20), 약액 탱크부(2), 약액 분산부(3), 약액 조합부(4) 및 약액 공급부(5)를 구동하기 위한 프로그램으로, 하우징(101)에 내장되고, 신호 수신부(301), 밸브 제어부(302) 및 펌프 제어부(303)를 포함한다.

신호 수신부(301)는, 약액 탱크부(2), 약액 분산부(3), 약액 조합부(4) 및 약액 공급부(5)로부터 생성되는 신호를 수신하고, 수신된 신호 상태를 제어패널부(40)의 터치스크린(404)을 통해 출력하고 설정 범위를 벗어날 경우 제어패널부(40)의 버저를 통해 출력한다.

밸브 제어부(302)는, 약액 탱크부(2), 약액 분산부(3), 약액 조합부(4) 및 약액 공급부(5)에 장착된 밸브를 제어하는 것으로, 약액 탱크부(2), 약액 분산부(3), 약액 조합부(4) 및 약액 공급부(5)의 약액 입출을 제어한다.

펌프 제어부(303)는, 약액 탱크부(2), 약액 분산부(3), 약액 조합부(4) 및 약액 공급부(5)에 장착된 펌프를 제어하는 것으로, 펌프에 장착된 모터의 회전수 또는 전원공급 등을 제어한다.

제어패널부(40)는, 시뮬레이터(1)를 제어하기 위한 것으로, 하우징(101)의 상부에 배치되고, 상부제어패널(40a) 및 하부제어패널(40b)을 포함한다.

상부제어패널(40a)은, 전방을 향해 배치되고, 피엘씨부(20)의 출력을 확인하는 다수의 램프(401), 외부에서 시뮬레이터(1)를 제어하도록 노트북 등의 외부기기와 연결하는 외부기기 접속부(402), DC24V 전원과 연결되는 외부단자(403), 피엘씨부(20)를 제어하거나 피엘씨부(20)의 동작을 확인하는 터치스크린(404), 교류 전압 확인용 계측기(405), 모터 전류 확인용 계측기(406), 직류 전압 확인용 계측기(407), 직류 전류 확인용 계측기(408), 내부 전원을 온/오프하는 셀렉터 스위치(409), 전체 회로 정지용 비상스위치(410), 전체 시스템의 이상을 감지하여 출력하는 버저(411) 및 버저를 정지시키는 버저스위치(412)가 마련된다. 또한, 상부제어패널(40a)은 USB 접속단자(413)를 더 포함할 수 있다. 이에 따라, USB 접속단자(413)를 통해서 데이터를 입력하거나 다운받을 수 있다. 여기서, 외부기기 접속부(402)는 인터넷과 연결하는 통신단자(414)를 더 포함할 수 있다. 이에 따라, 인터넷을 통해 시뮬레이터(1)를 제어할 수도 있다.

하부제어패널(40b)은, 상부를 향해 배치되고, 피엘씨부(20)에 명령을 입력하는 다수의 입력버튼(415)을 포함한다.

약액 탱크부(2)는, 반도체용 약액 운반용 차량(미도시)으로부터 약액을 공급받아 보관하는 곳으로, 적어도 하나의 탱크를 포함하되 시뮬레이터(1)에 의해 제어된다. 즉, 약액을 약액 탱크부(2)로 투입하고, 약액 탱크부(2)에 약액이 일정량에 도달하면 약액 탱크부(2)를 폐쇄한다. 이에 따라, 시뮬레이터(1)는 약액 탱크부(2)에 약액이 과도하게 유입되는 것을 제어한다.

약액 분산부(3)는, 약액 탱크부(2)에 수용된 약액의 일부를 분산시켜 저장하는 것으로, 시뮬레이터(1)에 의해 제어된다. 즉, 약액 분산부(3)는 반도체를 생산하는 복수의 장비(미도시)에 설정된 양의 약액을 공급하기 위해서 사전에 분산시켜 저장한 후 약액 공급부(5)를 통해 반도체 생산 장비에 약액을 공급한다. 이에 따라, 약액이 지속적으로 필요한 장비에는 약액 탱크부(2)에 저장된 약액을 공급하고, 일정량의 약액을 필요로 하는 장비에는 설정량의 약액을 정밀하게 공급할 수 있다.

약액 조합부(4)는, 약액 탱크부(2) 또는 약액 분산부(3)에 저장된 서로 다른 약액을 조합하는 것으로, 시뮬레이터(1)에 의해 제어된다. 즉, 약액 조합부(4)는 서로 다른 약액을 설정된 비율로 조합하고 약액 공급부(5)를 통해서 조합된 약액을 필요로 하는 장비에 공급한다.

약액 공급부(5)는, 약액 탱크부(2), 약액 분산부(3) 및 약액 조합부(4)에 저장된 약액을 이송시키는 것으로, 약액 탱크부(2), 약액 분산부(3) 및 약액 조합부(4)와 각각 연결된다.

상술한 약액 탱크부(2), 약액 분산부(3), 약액 조합부(4) 및 약액 공급부(5)는 약액의 유량을 검출하는 유량검출부(미도시), 약액의 출입을 제어하는 자동밸브(미도시) 및 약액을 이송하는 펌프(미도시)를 포함할 수 있으며, 유량검출부, 자동밸브 및 펌프는 시뮬레이터(1)에 의해 제어될 수 있다.

젠더부(50)는, 제1링크터미널(112a)과 제2링크터미널(112b)을 연결하는 것으로, 설치패널에 장착하되 하우징(101)의 전방 내부에 배치되고, 지지부(51), 단자연결부(52) 및 탈착부(53)를 포함한다.

지지부(51)는, 설치패널에 장착하되 제1링크터미널(112a)과 제2링크터미널(112b) 사이에 배치되고, 지지몸체(511), 다수의 제1단자(512) 및 다수의 제2단자(513)를 포함한다.

지지몸체(511)는, 대략 직육면체로 설치패널에 고정되고, 전면에 단면이 대략 삼각형인 안내홈(511a)이 길이방향으로 형성된다. 또한, 지지몸체(511)는 양단에 단자연결부(52)를 안내하는 안내편(511b)이 전방을 향해 각각 돌출 형성되고, 양측 전면에 단자연결부(52)의 핸드스크루(523)에 대응하는 암나사(511c)가 형성된다. 이때, 안내홈(511a)은 좌측으로 치우쳐 형성된다. 이에 따른 설명은 후술한다.

제1단자(512)는, 상단이 제1링크터미널(112a)에 나사결합되고, 하단은 지지몸체(511)의 상단에 인서트 되되 전면을 향해 돌출되고 다시 상향 절곡된다. 이때, 제1단자(512)는 탄성을 가지며 돌출된 부분이 단자연결부(52)의 상부 배면에 마련된 접촉단자(521)와 접촉된다.

제2단자(513)는, 제1단자(512)와 상하 대칭으로 배치되는바 구조적인 설명은 생략하고 연결관계만 설명하기로 한다.

제2단자(513)는, 하단이 제2링크터미널(112b)과 나사결합하고, 상단의 돌출된 부분이 단자연결부(52)의 하부 배면에 마련된 접촉단자(521)와 접촉된다.

단자연결부(52)는, 대략 직사각의 다층기판으로 형성되되 배면에 제1단자(512) 및 제2단자(513)에 대응하는 접촉단자(521)가 마련되고, 전면에는 제1단자(512)와 제2단자(513)의 연결상태를 출력하는 표시등(522)이 마련된다. 또한, 단자연결부(52)는 양측에 핸드스크루(523)가 각각 장착되고, 배면에 지지몸체(511)의 안내홈(511a)에 대응하는 돌출부(524)가 형성된다. 돌출부(524)의 단면이 삼각형으로 형성됨으로써, 단자연결부(52)가 휘어지는 것을 방지하고, 안내홈(511a)에 돌출부(524)가 손쉽게 삽입되어 지지몸체(511)에 단자연결부(52)를 손쉽게 장착시킬 수 있다.

탈착부(53)는, 지지부(51)에 단자연결부(52)를 용이하게 탈착시키는 것으로, 지지몸체(511)의 안내홈(511a)에는 영구자석(531)이 인서트 되고, 단자연결부(52)의 돌출부(524)에는 영구자석(531)에 대응하는 자성체(532)가 마련된다.

이에 따라, 단자연결부(52)를 지지몸체(511)에 근접시키면, 탈착부(53)가 서로 끌어당겨 단자연결부(52)를 지지몸체(511)에 밀착시킨다. 지지몸체(511)에 단자연결부(52)가 밀착하면 핸드스크루(523)를 암나사(511c)에 결합한다. 핸드스크루(523)를 완전히 조이면 접촉단자(521)가 제1단자(512) 및 제2단자(513)에 견고하게 밀착하고, 지지몸체(511)와 단자연결부(52)가 견고하게 결합한다. 한편, 단자연결부(52)를 상하가 뒤바뀌어서 장착될 수 있다. 즉, 단자연결부(52)를 실수로 돌려서 지지몸체(511)에 밀착하면 안내홈(511a)에 돌출부(524)가 삽입은 되지만 안내홈(511a) 및 돌출부(524)가 한쪽으로 치우쳐 형성돼 있어서 단자연결부(52)가 어느 한쪽으로 튀어나오고, 이로 인해 단자연결부(52)의 양단이 안내편(511b) 사이로 삽입되지 않아서 이를 손쉽게 확인할 수 있다. 따라서, 단자연결부(52)가 잘못 연결될 경우 이를 손쉽게 확인할 수 있어서 단자연결부(52)를 지지몸체(511)에 정확하게 장착할 수 있다.

여기서, 단자연결부(52)는 다양한 피엘씨부(20)에 대응하도록 복수가 마련될 수 있다. 즉, 피엘씨부(20)는 제조회사에 따라서 입출력이 다르게 배치되는데, 이러한 이유로 피엘씨부(20)를 교체하면 링크터미널부(112)에 연결된 배선을 모두 재배치해야 한다. 예를 들어, A사의 피엘씨부(20)는 전원, 신호입력, 신호출력 순이고, B사의 피엘씨부(20)는 신호출력, 전원, 신호입력 순이면, A사의 피엘씨부(20)가 장착된 상태에서 B사의 피엘씨부(20)로 교체할 경우 링크터미널부(112)의 배선을 재배치해야 한다.

하지만, 제2링크터미널(112b)에 연결된 배선의 순서를 미리 정하고, 단자연결부(52)에 피엘씨부(20)에 기 설정된 입출력 순서와 배선의 순서를 미리 설정하면, 배선을 재배치할 필요가 없다. 즉, 피엘씨부(20)의 입출력은 다르더라도 제2링크터미널(112b)로 연결되는 순서를 동일하도록 단자연결부(52)를 제작하면 피엘씨부(20)가 달라지더라도 항상 동일한 순서로 전원 및 신호를 내보낼 수 있다.

따라서, 단자연결부(52)를 A사, B사, C사, D사 등에 대응하도록 복수로 제작하고 이를 하우징(101)의 내부에 수납시키면, 피엘씨부(20)를 교체하더라도 제2링크터미널(112b)에 연결된 배선은 그대로 둔 상태에서 피엘씨부(20)에 대응하는 단자연결부(52)만을 교체하면 된다. 이때, 프로그램부(30)는 피엘씨부(20)에 대응하는 프로그램을 선택할 수 있다.

저장부(60)는, 시뮬레이터(1)의 상태를 저장하는 곳으로, 하우징(101)의 내부에 배치된다. 이에 따라, USB 접속단자(413) 또는 통신단자(414)를 통해서 저장부(60)에 저장된 데이터를 다운 받을 수 있고, 프로그램의 설정 값을 업로드 할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 작동상태를 설명하기로 한다.

먼저, 시뮬레이터(1)에 피엘씨부(20)를 장착하고 이에 대응하는 단자연결부(52)를 지지몸체(511)에 결합한다.

이후, 설비될 제조시설에 사용하는 펌프 및 밸브 등의 다양한 기기를 시뮬레이터(1)와 연결한다.

지지몸체(511)에 단자연결부(52)를 결합하고 다양한 기기를 시뮬레이터(1)와 연결한 후에 시뮬레이터(1)에 전원을 인가하여 작동시킨다. 이후 터치스크린(404)을 통해 피엘씨부(20)에 대응하는 프로그램을 선택한다.

제어패널부(40)를 통해 다양한 기기의 모의실험을 하고, 이상이 없으면 설비된 제조시설에 시뮬레이터(1)를 연결한다.

따라서, 본 발명은 피엘씨부(20)를 교체하더라도 이에 대응하는 단자연결부(52)만을 교체하면 되므로 신속하게 모의실험을 할 수 있다. 또한, 피씨엘부의 입출력 상태를 표시등(522)을 통해 손쉽게 확인할 수 있고, 프로그램의 설정값을 손쉽게 변경할 수 있으며, 다양한 프로그램을 선택할 수 있어서 다양한 모의실험을 할 수 있다. 이렇게 모의실험한 시뮬레이터(1)를 현장에 그대로 적용할 수 있어서, 현장에 설비된 기기를 사전에 보호할 수 있다.

상술한 본 발명을 설명하는데 있어서, 그 실시 예가 상이하더라도 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조번호를 사용하고, 필요에 따라 그 설명을 생략할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 된다. 따라서 상기에서 설명한 것 외에도 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 사람은 본 발명의 실시 예에 대한 설명만으로도 쉽게 상기 실시 예와 동일 범주 내의 다른 형태의 본 발명을 실시할 수 있거나, 본 발명과 균등한 영역의 발명을 실시할 수 있을 것이다.

1; 시뮬레이터 10; 본체
101; 하우징 102; 서킷 브레이커
103; 마그네틱 컨택트 104; 제1서킷 프로텍터
105; 노이즈 필터 106; 트랜스
107; 파워 서플라이 108; 터미널 블록
109; 인버터 110; 버스바
111; 제2서킷 프로텍터 112; 링크터미널부
112a; 제1링크터미널 112b; 제2링크터미널
113; 콘센트 114; 컨트롤 릴레이
20; 피엘씨부 201; 피엘씨 전원 유닛
202; 피엘씨 CPU 유닛 203; 피엘씨 디지털 입력 유닛
204; 피엘씨 디지털 출력 유닛 205; 피엘씨 아날로그 입력 유닛
206; 피엘씨 아날로그 출력 유닛 207; 피엘씨 엔드 커버
30; 프로그램부 301; 신호 수신부
302; 밸브 제어부 303; 펌프 제어부
40; 제어패널부 40a; 상부제어패널
40b; 하부제어패널 401; 램프
402; 외부기기 접속부 403; 외부단자
404; 터치스크린 405; 교류 전압 확인용 계측기
406; 모터 전류 확인용 계측기 407; 직류 전압 확인용 계측기
408; 직류 전류 확인용 계측기 409; 셀렉터 스위치
410; 비상스위치 411; 버저
412; 버저스위치 413; USB 접속단자
414; 통신단자 415; 입력버튼
50; 젠더부 51; 지지부
511; 지지몸체 511a; 안내홈
511b; 안내편 511c; 암나사
512; 제1단자 513; 제2단자
52; 단자연결부 521; 접촉단자
522; 표시등 523; 핸드스크루
524; 돌출부 53; 탈착부
531; 영구자석 532; 자성체
60; 저장부 2; 약액 탱크부
3; 약액 분산부 4; 약액 조합부
5; 약액 공급부

Claims

컴퓨터 프로그램에 의해서 작동하는 적어도 하나의 피엘씨(PLC : Programmable Logic Controller)부와, 상기 피엘씨부의 구동을 제어하고 상기 피엘씨부로부터 신호를 수신하여 화면을 통해 출력하는 제어패널부와, 상기 피엘씨를 구동하는 프로그램부를 포함하는 시뮬레이터;
상기 시뮬레이터에 의해 제어되고 반도체용 약액을 보관하는 적어도 하나의 약액 탱크부;
상기 시뮬레이터에 의해 제어되고 상기 약액 탱크부에 보관된 약액을 분산하는 적어도 하나의 약액 분산부;
상기 시뮬레이터에 의해 제어되고 상기 약액 탱크부 또는 상기 약액 분산부 중 적어도 어느 하나로부터 약액을 공급받아 조합하는 약액 조합부; 및
상기 시뮬레이터에 의해 제어되고 상기 약액 탱크부와 상기 약액 분산부와 상기 약액 조합부 중 적어도 어느 하나로부터 약액을 공급받아 외부의 반도체 제조장비로 약액을 공급하는 약액 공급부;를 포함하되,
상기 시뮬레이터는 상기 피엘씨의 입출력을 담당하는 적어도 하나의 링크터미널부를 포함하고,
상기 링크터미널부는 상기 피엘씨와 연결되어 상기 피엘씨의 입출력을 담당하는 적어도 하나의 제1링크터미널 및 상기 제1링크터미널의 입출력을 담당하는 적어도 하나의 제2링크터미널을 포함하는 것을 특징으로 하는
시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템.
삭제
삭제
제1항에 있어서,
상기 시뮬레이터는,
상기 제1링크터미널과 상기 제2링크터미널을 연결하는 적어도 하나의 젠더부;를 포함하는 것을 특징으로 하는
시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템.
제4항에 있어서,
상기 젠더부는,
상기 제1링크터미널과 상기 제2링크터미널의 연결상태를 표시하는 표시등;을 포함하는 것을 특징으로 하는
시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템.
제4항에 있어서,
상기 젠더부는,
상기 제1링크터미널과 연결되는 복수의 제1단자와 상기 제2링크터미널과 연결되는 복수의 제2단자가 마련되는 지지부; 및
상기 지지부로부터 탈착되고 상기 제1단자와 상기 제2단자에 대응하는 각각의 접촉단자가 마련되며 상기 제1단자와 상기 제2단자를 연결하는 단자연결부;를
포함하는 것을 특징으로 하는
시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템.
제6항에 있어서,
상기 지지부는 일면에 상기 제1단자와 상기 제2단자에 상기 접촉단자를 안내하는 안내홈이 마련되고,
상기 단자연결부는 일면에 상기 안내홈에 대응하는 돌출부가 마련되는 것을 특징으로 하는
시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템.
제6항에 있어서,
상기 젠더부는,
상기 지지부와 상기 단자연결부 사이에 상기 지지부로부터 상기 단자연결부를 탈착시키는 탈착부;를 포함하는 것을 특징으로 하는
시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템.
제7항에 있어서,
상기 안내홈은 단면이 삼각형 또는 사다리꼴로 형성되고,
상기 돌출부는 상기 안내홈에 용이하게 삽입되도록 상기 안내홈에 대응하되 상기 돌출부의 단면이 사다리꼴 또는 삼각형으로 형성되어 상기 단자연결부가 휘어지는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는
시뮬레이터를 이용한 반도체 약액 공급 시스템.