KR102126041B1 - Multi coater - Google Patents

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KR102126041B1
KR102126041B1 KR1020190153619A KR20190153619A KR102126041B1 KR 102126041 B1 KR102126041 B1 KR 102126041B1 KR 1020190153619 A KR1020190153619 A KR 1020190153619A KR 20190153619 A KR20190153619 A KR 20190153619A KR 102126041 B1 KR102126041 B1 KR 102126041B1
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Abstract

The present invention relates to a multi-coater, and more specifically relates to a multi-coater capable of preventing a foreign matter remaining a coating bar from being dropped on a substrate when coating or after coating, or preventing a coating layer from being damaged due to a mistake of a worker. To this end, the present invention includes: a main body to receive various control units; a base mounted above the main body; a vacuum hot plate supporting the substrate to form a coating, solidification, and curing space; a bar coater mounted on the base, moving on the vacuum hot plate, and having a bar; and a rotating device to rotate the bar of the bar coater.

Description

멀티 코터{.}Multi coater{.}

본 발명은 멀티 코터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 코팅시 또는 코팅 후 코팅용 바에 남아있는 이물이 기판 상으로 낙하하거나 작업자의 실수로 코팅층이 손상되는 것을 방지하기 위한 멀터 코터에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-coater, and more particularly, to a multi-coater for preventing foreign matters remaining on the coating bar during coating or after coating from falling onto the substrate or accidentally damaging the coating layer.

코터는 각종 기재 기판(종이, pcb, 유리, 필름 등)의 표면으로 코팅층을 형성하는 경우 일정한 속도와 하중으로 일정한 두께로 코팅하는 장비를 의미한다.A coater means equipment that coats a certain thickness at a constant speed and load when forming a coating layer on the surface of various substrate substrates (paper, pcb, glass, film, etc.).

코터는 바 또는 블레이드를 통하여 일정한 두께로 코팅을 수행하게 되는데 기판의 표면으로는 잔존하는 소위 "수지 잔류"가 발생할 수가 있었다. The coater is coated with a constant thickness through a bar or blade, and so-called "resin residue" may remain on the surface of the substrate.

수지 잔류는 긴 형상의 기판 상에 연속적으로 수지층을 형성하는 기판 표면에 수지 부착이나 결함 등을 발생시킬 우려가 있으며, 수지 잔류가 발생할 때마다 이를 제거 청소하는 것은 제조 효율을 크게 저하시킨다.Residual resin may cause resin adhesion or defects on the substrate surface that continuously forms a resin layer on an elongated substrate, and removing and cleaning it whenever resin residue occurs significantly reduces manufacturing efficiency.

공지의 예로서, 대한민국 공개특허 제10-2016-0096736호는 전자소자의 기판상에 기능성 용액을 도포하여 코팅하여 박막을 제조하는 방법에 있어서, 이동하는 기판상에 기능성 용액을 도포한 후 바코터를 이용하여 코팅하는 바코팅공정 및 상기 바코팅 공정 후에 슬릿다이 코터를 이용하여 코팅하는 슬릿다이코팅 공정으로 이루어진 바코팅 및 슬릿다이 코팅을 이용한 전자소자 박막 제조방법을 제공하고 있다.As a known example, Republic of Korea Patent Publication No. 10-2016-0096736 is a method of manufacturing a thin film by coating a functional solution on a substrate of an electronic device, and then applying a functional solution on a moving substrate and then applying a bar coater It provides a method for manufacturing an electronic device thin film using a bar coating and a slit die coating comprising a bar coating process for coating using a slit die coating process for coating using a slit die coater after the bar coating process.

그러나, 상기 코팅 작업중 상기 바 또는 블레이드의 외주표면에 미세한 이물질 이 부착되고, 코팅 작업이 완료된 후에도 상기 외주표면에 부착된 불순물을 제거해야만 한다.However, during the coating operation, fine foreign matter is attached to the outer circumferential surface of the bar or blade, and impurities attached to the outer circumferential surface must be removed even after the coating operation is completed.

이에 따라, 상기 외주면에 부착된 불순물을 제거하는 종래의 작업은, 가동중인 라인을 정지시키고, 작업자가 바 또는 블레이드의의 표면에 세정액을 뿌리면서 면포로서 표면에 유기층이 부착된 불순물층층을 제거하였다.Accordingly, a conventional operation for removing impurities adhering to the outer circumferential surface stopped the line in operation, and the worker removed the impurity layer layer having an organic layer attached to the surface as a cotton cloth while spraying a cleaning solution on the surface of the bar or blade. .

그러나, 이러한 종래의 제거작업은 상기 바 또는 블레이드 표면에 부착된 융착유기층을 완전히 제거하는 작업이 곤란하여 기판의 코팅불량 원인이 되고 있으며, 가동중인 설비라인의 중지로 인하여 작업성이 현저히 저하되는 문제점을 내포하고 있었다.However, this conventional removal operation is difficult to completely remove the fusion organic layer attached to the surface of the bar or blade, causing a coating failure of the substrate, and the workability is remarkably deteriorated due to the suspension of the operating equipment line. Was implied.

대한민국 공개특허 제10-2016-0096736호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2016-0096736

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 코팅 두께를 조절 및 코팅 시간을 단축하고, 코팅 시 또는 코팅 후 발생하는 바, 블레이드의 잔존 이물질이 코팅된 기판 상에 낙하하는 것을 방지하기 위한 멀티 코터에 관한 것이다.The present invention for solving the above-mentioned problems relates to a multi-coater for controlling the coating thickness and shortening the coating time, and preventing occurrence of residual foreign matter of the blade on the coated substrate during coating or after coating. will be.

또한, 본 발명은 코팅 후 바 또는 블레이드의 세척을 용이하게 할 수 있는 멀티 코터를 제공한다.In addition, the present invention provides a multi-coater that can facilitate cleaning of a bar or blade after coating.

본 발명의 실시예들의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한하지 않으며, 언급되지 않은 도 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objectives of the embodiments of the present invention are not limited to those mentioned above, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description. .

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 각종 제어기기를 수용하는 본체, 본체의 상부에 설치되는 베이스, 기판을 지지하여 코팅 및 응고와 경화 공간 공간을 형성하는 진공 핫 플레이트, 상기 베이스에 설치되어 상기 진공 핫 플레이트 위에서 이동하는 바 코터를 포함하며, The present invention for achieving the above object, the main body to accommodate various controllers, the base installed on the top of the body, a vacuum hot plate to support the substrate to form a space for coating and solidification and curing, installed on the base It includes a bar coater moving on the vacuum hot plate,

상기 베이스로는 진공 핫 플레이트, 바 코터의 상태를 표시하는 디스플레이부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The base is characterized in that it comprises a vacuum hot plate, a display unit for displaying the state of the bar coater.

또한, 본 발명에 적용된 진공 핫 플레이트 상으로는 블레이드가 선택적으로 설치되어 사용되는 것을 특징으로 한다.In addition, on the vacuum hot plate applied to the present invention is characterized in that the blade is selectively installed and used.

본 발명에 따르면, 바 코터의 회귀로 인해 코팅 두께를 조절 및 코팅 시간을 단축하고, 코팅 시 또는 코팅 후 발생하는 바, 블레이드의 잔존 이물질이 코팅된 기판 상에 낙하하는 것을 방지할 수 있는 효과가 발생한다.According to the present invention, due to the return of the bar coater, it is possible to control the coating thickness and shorten the coating time, and when the coating occurs or after coating, the residual foreign matter of the blade can be prevented from falling on the coated substrate. Occurs.

또한, 본 발명은 코팅 후 바 또는 블레이드의 세척이 용이한 효과가 발생한다.In addition, the present invention has an effect of easy cleaning of the bar or blade after coating.

도 1은 발명에 따른 멀티 코터의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 멀티 코터 바를 보여주는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 작동상태를 보여주는 도면이다.1 is a perspective view of a multi-coater according to the invention.
2 is a perspective view showing a multi-coater bar according to the present invention.
3 is a view showing the operating state of the present invention.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 구체적으로 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail.

먼저, 본 발명은 기판 상에 코팅을 수행하기 위한 코팅장치, 코터에 관한 것이고, 당해 기술 분야에서 알려져 있는 통상의 코터를 변형, 이용한 것이다.First, the present invention relates to a coating apparatus for applying a coating on a substrate, a coater, and to modify and use a conventional coater known in the art.

먼저, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 본 발명은 바 코터(10)와 블레이드 코터(20)가 본체(100) 상의 베이스(30)에 설치된 상태를 보여주고 있다.First, as illustrated in FIGS. 1 to 3, the present invention shows a state in which the bar coater 10 and the blade coater 20 are installed on the base 30 on the main body 100.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본체(100)는 장방형의 구조물로서 미도시되었지만 내부로 다양한 제어장치 및 이송장치 등을 수납하고 있다.1 and 2, the main body 100 is not shown as a rectangular structure, but accommodates various control devices and transport devices.

본체(100)의 측면으로는 손잡이(102)가 형성되어 있으며, 도 2에 도시된 바와 같이 기기의 상태를 표시하는 디스플레이(103)가 평면상에 설치되어 있다.A handle 102 is formed on the side surface of the main body 100, and a display 103 for displaying the state of the device is installed on a plane as shown in FIG.

위와 같은 본체(100)의 상부로는 베이스(30)가 설치되어 있다.The base 30 is installed as an upper portion of the main body 100 as described above.

베이스(30)는 후술하는 진공 핫 플레이트(40)가 안착되는 곳으로, 본체(100)의 상부와 이격된 상태로 구비된다.The base 30 is a place where the vacuum hot plate 40 to be described later is seated, and is provided in a state spaced apart from the upper portion of the main body 100.

이러한 베이스(30)는 본체(100)의 상면에 고정되는 풋블럭(32)의 설치되어 있으며, 풋블럭(32)의 상부로 베이스플레이트(34)가 설치되어 있다.The base 30 is provided with a foot block 32 fixed to an upper surface of the main body 100, and a base plate 34 is installed above the foot block 32.

베이스플레이트(34)는 진공 핫 플레이트(40)가 설치되어 있으며, 진공 핫 플레이트(40)는 지지플레이트(42)에 의해서 지지되고 있다.The base plate 34 is provided with a vacuum hot plate 40, and the vacuum hot plate 40 is supported by a support plate 42.

본 발명은 베이스(30) 상에 베이스플레이트(34)와 진공 핫 플레이트(40)가 설치되는 구조를 이루게 된다.The present invention forms a structure in which the base plate 34 and the vacuum hot plate 40 are installed on the base 30.

베이스플레이트(34)는 지지플레이트(42)를 내부 일부에 수납하면서 고정하는 역할을 수행한다.The base plate 34 serves to fix the support plate 42 while receiving it in a part of the interior.

지지플레이트(42)를 수납하는 베이스플레이트(34)는 내측으로 홈이 파인 단차진 형상으로 이루어져 있으며, 지지플레이트(42)는 홈 속으로 안착된다.The base plate 34 for receiving the support plate 42 is formed in a stepped shape with a groove inward, and the support plate 42 is seated into the groove.

이러한 지지플레트(42) 역시 내측으로 홈이 파인 단차진 형상으로 이루어져 있으며, 홈에 진공 핫 플레이트(40)가 설치되는 구조이다.The support plate 42 is also made of a stepped shape with grooves inward, and has a structure in which a vacuum hot plate 40 is installed in the grooves.

지지플레이트(42)와 진공 핫 플레이트(40)의 내개의 모서리 측면으로는 고정블럭(44)이 설치되어 있으며, 이 고정블럭(44)은 진공 핫 플레이트(40)의 움직임을 방지하게 된다.A fixed block 44 is installed on the side of the inner edge of the support plate 42 and the vacuum hot plate 40, and the fixed block 44 prevents the movement of the vacuum hot plate 40.

진공 핫 플레이트(40)는 코팅 시 발생하는 열 등에 의해서 변형될 수 있으므로 이를 완충하도록 고정블럭(44)이 변형을 흡수하게 된다.Since the vacuum hot plate 40 can be deformed by heat or the like generated during coating, the fixing block 44 absorbs the deformation to cushion it.

이러한 고정블럭(44)은 합성수지 재질이 적용되며, 예를 들면 mc 나이론 테프론 등이 적용될 수 있다.Synthetic resin material is applied to the fixed block 44, for example, mc nylon teflon and the like can be applied.

진공 핫 플레이트(40)는 내부로 미도시된 히터가 내장되어 있으며, 진공 핫 플레이트(40)의 가열 등 설정된 온도 상태를 유지할 수 있다.The vacuum hot plate 40 is equipped with a heater not shown inside, and can maintain a set temperature state such as heating of the vacuum hot plate 40.

진공 핫 플레이트(40)의 상면으로는 특정 기판이 안착되며, 기판은 흡입홀(41)이 형성되어 기판을 흡착하게 된다.A specific substrate is seated on the top surface of the vacuum hot plate 40, and a suction hole 41 is formed in the substrate to adsorb the substrate.

흡입홀(41)을 통해 기판을 흡착하는 미도시된 진공펌프 등은 본체(100) 내부에 수납되어 있다.A vacuum pump or the like, which adsorbs the substrate through the suction hole 41, is housed in the main body 100.

본 발명은 진공 핫 플레이트(40)에 기판이 장착되면 수동으로 코팅액을 도포하고, 균일한 두께로 기판을 코팅하는 작업을 자동으로 수행하게 된다.In the present invention, when the substrate is mounted on the vacuum hot plate 40, the coating liquid is manually applied and the operation of coating the substrate with a uniform thickness is automatically performed.

본 발명에서 기판을 코팅하는 작업은 바 코터(10)와 블레이드(20)에 의해서 수행된다.In the present invention, the operation of coating the substrate is performed by the bar coater 10 and the blade 20.

바 코터(10)는 본체(100)의 상부와 베이스(30) 사이를 왕복하며 작동하여 기판상에 펼쳐진 코팅액을 정밀하게 밀어 기판에 코팅액을 균일하게 코팅한다.The bar coater 10 operates by reciprocating between the upper portion of the main body 100 and the base 30 to precisely push the coating liquid spread on the substrate to uniformly coat the coating liquid on the substrate.

다시, 이를 위한 바 코터(10)는 기판 위로 하강하여 코팅액을 미는 바(11)와 상기 바(11)가 탈착가능하게 설치되는 회동블럭(12)과 상기 회동블럭(12)이 회동가능하게 설치된 지지대(13)와 상기 지지대(13)가 설치되고, 본체(100)의 상부와 베이스(30)의 하부에 설치되는 가이드프레임(14)를 포함하고 있다.Again, the bar coater 10 for this purpose descends onto the substrate and pushes the coating liquid, and the rotation block 12 and the rotation block 12 on which the bar 11 is detachably installed are rotatably installed. The support 13 and the support 13 are installed, and include a guide frame 14 installed on the upper portion of the main body 100 and the lower portion of the base 30.

바(11)는 원통형의 봉으로서 표면은 고 정밀 연마, 래핑 등으로 가공된 상태로 구비된다.The bar 11 is a cylindrical rod, and the surface is provided in a state processed by high precision polishing, lapping, or the like.

바(11)의 양 단은 회동블럭(12)에 의해서 지지되며, 회동블럭(12)의 일단은 바(11)가 수납되는 수납홈(12a)이 형성되어 있으며, 수납홈(12a) 내측으로는 고정노브(15)가 돌출되어 삽입되어 있고, 고정노브(15)는 회전에 의해서 그 말단이 바(11)를 압박하여 바(12)를 고정시키게 된다.Both ends of the bar 11 are supported by the rotation block 12, and one end of the rotation block 12 is formed with a storage groove 12a in which the bar 11 is accommodated, and into the storage groove 12a. The fixed knob 15 is protruded and inserted, and the fixed knob 15 is fixed to the bar 12 by pressing the bar 11 at its end by rotation.

또한, 바(11)의 타단은 회동블럭(12)이 지지되면서 회동가능하게 하는 회동홀이 일체로 형성되어 있고, 회동홀로는 회동핀(16)이 삽입되어 있다.In addition, the other end of the bar 11, the pivoting block 12 is supported while the pivoting hole is formed integrally, and the pivoting hole 16 is inserted into the pivoting hole.

회동핀(16)은 상기 지지대(13)를 관통하고 있으며, 이 회동핀(16)을 회동점으로 하여 회동블럭(12)은 회동하여 기판 위로 하강시킬 수 있고, 반대로 상승시키면 기판에서 이탈하게 된다.The pivot pin 16 penetrates the support 13, and the pivot block 12 can be rotated and lowered on the substrate by using the pivot pin 16 as a pivot point. .

한편, 바(11)는 하강 또는 상승에 따라 셋팅 위치에서 일정한 상태를 유지하기 위한 장력이 있어야 한다.On the other hand, the bar 11 should have a tension to maintain a constant state in the setting position as it descends or rises.

이를 위해 일정한 장력을 갖도록 탄성체(17)가 적용되며, 탄성체(17)의 일단은 회동 지지점에 해당하는 회동핀(16)의 말단에 고정되고, 타단은 회동블럭(12)의 수납홈(12b)보다 하부에 위치한 회동핀(18)에 고정된다.To this end, an elastic body 17 is applied to have a constant tension, and one end of the elastic body 17 is fixed to the end of the pivot pin 16 corresponding to the pivot support point, and the other end is the receiving groove 12b of the pivot block 12 It is fixed to the pivot pin 18 located at the lower portion.

이러한 탄성체(17)는 바(11)가 최대로 상승하거나 하강하는 경우 일정한 장력으로 바(11)를 잡아 당기는 역할을 수행하게 된다.The elastic body 17 serves to pull the bar 11 with a constant tension when the bar 11 is raised or lowered to its maximum.

가이드프레임(14)은 바(11)가 설치된 회동블럭(12)과 지지대(13)를 최종적으로 지지하게 되며, 가이드프레임(14)은 본체(100)에 수납된 작동수단, 예를 들면 공지의 벨트 타입 또는 이송스크류, 리니어 모터 등과 결합되어 서로 연동된다.The guide frame 14 finally supports the pivot block 12 and the support 13 on which the bar 11 is installed, and the guide frame 14 is an operating means stored in the main body 100, for example, a known It is interlocked with belt type or transfer screw and linear motor.

연동된 가이드프레임(14)은 베이스(30)의 하부에서 왕복으로 작동하며, 이는 자동을 제어되고, 가이드프레임(14)의 작동으로 일체로 설치되는 바(11)는 가이드프레임(14)의 작동에 연동되어 작동하게 된다.The interlocked guide frame 14 operates reciprocally from the lower portion of the base 30, which is automatically controlled, and the bar 11 integrally installed by the operation of the guide frame 14 operates the guide frame 14 It works in conjunction with.

본 발명에 적용되는 바(11)는 가이드프레임(14)의 작동에 연동되므로, 기판의 종류에 따라 다양한 코팅장비가 적용될 수도 있다.Since the bar 11 applied to the present invention is interlocked with the operation of the guide frame 14, various coating equipment may be applied depending on the type of the substrate.

일 예로, 블레이드 코터(20)가 적용되는 경우 바(11)는 상승 또는 하강된 상태로 블레이드 코터(20)를 밀게되고, 밀린 블레이드 코터(20)의 블레이드(22)는 코팅액을 기판상에 코팅하게 된다.For example, when the blade coater 20 is applied, the bar 11 pushes the blade coater 20 in an elevated or lowered state, and the blade 22 of the pushed blade coater 20 coats the coating solution on the substrate. Is done.

한편, 바 코터(10)의 작동 구체적으로 바(11)의 작동상태를 구체적으로 살펴보면서 바 코터(10) 상의 바(11)가 코팅 수행 후 회동장치(50)에 의해서 회동하여 원 위치로 복귀하는 상태를 설명한다.Meanwhile, the bar 11 on the bar coater 10 is coated and then rotated by the rotation device 50 to return to the original position while examining the operation state of the bar coater 10 in detail. Describe the state.

먼저, 바(11)는 본체(100)의 일측 바 코터(10)의 작동 전 상태에 도 1과 같이 위치하고, 작동 후에는 도 4d와 같은 위치에서 복귀한다.First, the bar 11 is positioned as shown in FIG. 1 in a state before the operation of one side bar coater 10 of the main body 100, and returns to the position as shown in FIG. 4D after operation.

도 1 내지 도 3a에 도시된 바와 같이, 바 코터(10)의 바(11)는 작동 전 상승된 상태에서 준비하고 있다.1 to 3A, the bar 11 of the bar coater 10 is prepared in an elevated state before operation.

작업자는 바(11)를 하강시켜 도 3b와 같이 상태로 위치시킨 후 바 코터(10)를 작동시킨다.The operator lowers the bar 11 to position it as shown in FIG. 3B and then operates the bar coater 10.

이때, 바(11)는 기판과 거의 밀착된 상태로 위치하고 있게 된다.At this time, the bar 11 is positioned in close contact with the substrate.

계속하여, 작동된 바 코터(10)는 회동장치(50)가 설치된 방향으로 진행하게 되고, 바(11)는 하강한 상태로 도 3c와 같이 이동하게 된다.Subsequently, the operated bar coater 10 proceeds in the direction in which the rotation device 50 is installed, and the bar 11 moves as shown in FIG. 3C in a descending state.

이동하는 바(11)는 미리 기판상에 뿌려지거나, 펼처진 코팅액을 밀면서 코팅을 수행하게 된다.The moving bar 11 is sprayed on the substrate in advance, or the coating is performed while pushing the spreading coating solution.

코팅을 수행한 바 코터(10)는 통상적으로 작동이 종료되고, 종료되면 원위치로 복귀하게 된다.When the coating is performed, the coater 10 is normally ended, and when it is finished, the coater 10 is returned to its original position.

이렇게 통상적인 복귀시 바(11)에 남아 있는 코팅액은 베이스(30) 상으로 탈락하게 되고, 이는 기판의 불량으로 이어진다.In this normal return, the coating solution remaining on the bar 11 falls off onto the base 30, which leads to a defect in the substrate.

본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하게 된다. 즉, 도 3d에 도시된 바와 같이, 바 코터(10)는 회동장치(50)의 일정 부분에 도달하게 되면 회동장치(50)에 의해서 자동으로 바(11)는 회동하여 상승하게 된다.The present invention solves the above problems. That is, as shown in FIG. 3D, when the bar coater 10 reaches a certain portion of the rotation device 50, the bar 11 is automatically rotated and raised by the rotation device 50.

지속하여 바 코터(10)가 이동하게 되면 바(11)는 최종적으로 회동하여 도 1과 같은 원 위치로 복귀하게 된다.When the bar coater 10 continuously moves, the bar 11 finally rotates to return to the original position as shown in FIG. 1.

이렇게 복귀된 바(11)는 기판과 이격된 상태이므로 바(11)를 세척하기 편리하며, 고정노브(15)를 해제시켜 바(11)를 분리할 수 있어 도 1의 바 코터(10) 위치로 복귀하더라도 기판상 또는 베이스(30)로 코팅액의 추락, 이탈이 없게된다.Since the returned bar 11 is spaced apart from the substrate, it is convenient to clean the bar 11, and the bar 11 can be separated by releasing the fixing knob 15 so that the bar coater 10 in FIG. Even if it returns to the substrate or the base 30, there is no fall or fall of the coating solution.

다시, 본 발명에 적용된 회동장치(50)는 베이스(30) 상에 설치되고, 상부로는 경사지게 연장된 레일부(52)를 포함하고, 레이부(52)의 일단으로 걸림턱(54)이 일체로 형성되며, 상기 레일부(52)로는 레일(56)이 삽입되어 설치되는 것을 특징으로 한다.Again, the rotation device 50 is applied to the present invention is installed on the base 30, the upper portion includes a rail portion 52 extending obliquely, the locking jaw 54 to one end of the ray portion 52 It is formed integrally, it characterized in that the rail portion 52 is installed with the rail 56 is inserted.

레일부(52)는 일정한 경사를 가지면서 형성되어 있고, 바 코터(10)의 코팅 진행방향으로 상향으로 경사지게 형성되어 있다.The rail part 52 is formed while having a certain inclination, and is formed to be inclined upward in the coating proceeding direction of the bar coater 10.

이러한 경사는 바 코터(10)가 계속하여 진행하는 경우 회동가능한 바(11)가 레일부(52)를 자연스럽게 올라타며, 올라타면서 진행하는 동안 바(11)는 경사 정도에 따라 상승하게 된다.When the bar coater 10 continues to progress, the tiltable bar 11 naturally climbs the rail part 52 while the bar coater 10 continues to progress, and the bar 11 rises according to the degree of inclination while proceeding while climbing.

바 코터(10)의 진행에 따라 상승한 바(11)는 걸림턱(54)에 의해서 걸리게 되면 이후 바 코터(10)의 진행에 의해서 걸린 바(11)는 계속 상승하여 후방으로 넘어가게 된다.When the bar 11 raised by the progress of the bar coater 10 is caught by the locking jaw 54, the bar 11 subsequently caught by the progress of the bar coater 10 continues to rise and goes backward.

이때 제어에 의해서 바 코터(10)는 그 진행을 정지하게 되고, 작업자는 기판을 분리한 다음 바(11)를 분리하거나, 장착된 상태로 세척할 수 있다.At this time, by control, the bar coater 10 stops its progress, and the operator can separate the substrate and then remove the bar 11 or wash it in a mounted state.

또한, 바 코터(10)를 후진시킨 후 위와 같은 세척을 수행할 수 있다.In addition, after the bar coater 10 is reversed, the above washing may be performed.

한편, 상기 레일부(52)에 삽입, 설치된 레일(56)은 걸림턱(54)을 관통한 후 레이부(52)에 압입되어 마감되며, 레일(56)은 바(11)와 지속적으로 마찰되므로 고강도 및 고경도를 가지고 있는 재질이 적용됨이 바람직하가.On the other hand, the rail 56 inserted and installed in the rail portion 52 passes through the locking jaw 54 and is pressed into the ray portion 52 to finish, and the rail 56 continuously frictions with the bar 11 Therefore, it is desirable that a material having high strength and high hardness is applied.

본 발명은 그 정신 또는 주요한 특징으로부터 일탈하는 일없이, 다른 여러 가지 형태로 실시할 수 있다. 그 때문에, 전술한 실시예는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며, 한정적으로 해석해서는 안된다. 본 발명의 범위는 특허청구의 범위에 의해서 나타내는 것으로써, 명세서 본문에 의해서는 아무런 구속도 되지 않는다. 다시, 특허청구범위의 균등 범위에 속하는 변형이나 변경은, 모두 본 발명의 범위 내의 것이다.The present invention can be implemented in various other forms without deviating from the spirit or main features. Therefore, the above-mentioned embodiment is only a mere illustration in all respects, and it should not be interpreted limitedly. The scope of the present invention is indicated by the scope of the claims, and is not restricted by the specification text. Again, all modifications and changes belonging to the equivalent scope of the claims are within the scope of the present invention.

10: 바 코터 20: 블레이드 코터
30: 베이스 40: 진공 핫 플레이트
50: 회동장치10: bar coater 20: blade coater
30: base 40: vacuum hot plate
50: rotating device

Claims (3)

각종 제어기기를 수용하는 본체, 본체의 상부에 설치되는 베이스, 기판을 지지하여 코팅 및 응고와 경화 공간 공간을 형성하는 진공 핫 플레이트, 상기 베이스에 설치되어 상기 진공 핫 플레이트 위에서 이동하고, 바가 설치된 바 코터, 상기 바 코터의 바를 회동시키는 회동장치를 포함하되,
상기 바 코터는 기판 위로 하강하여 코팅액을 미는 바와 상기 바가 탈착가능하게 설치되는 회동블럭과 상기 회동블럭(12)이 회동가능하게 설치된 지지대와 상기 지지대가 설치되고, 본체의 상부와 베이스의 하부에 설치되는 가이드프레임를 포함하여 이루어지며,
상기 회동장치는 베이스 상에 설치되고, 상부로는 경사지게 연장된 레일부와, 레이부의 일단으로 걸림턱이 일체로 형성되며, 상기 레일부로는 레일이 삽입되어 설치되는 것을 특징으로 하는 멀티 코터.
A body for receiving various controllers, a base installed on the top of the main body, a vacuum hot plate that supports the substrate to form a space for coating and solidification and curing, and is installed on the base to move on the vacuum hot plate, and the bar is installed. Coater, including a rotating device for rotating the bar of the bar coater,
The bar coater descends over the substrate, pushes the coating liquid, and the rotation block and the rotation block 12 are rotatably installed, and the support and the support are rotatably installed. It is made by including the guide frame,
The rotating device is installed on the base, a rail portion extending obliquely to the top, and a locking jaw is formed integrally with one end of the ray portion, and a rail is inserted and installed into the rail portion.
제1항에 있어서,
상기 베이스로는 진공 핫 플레이트, 바 코터의 상태를 표시하는 디스플레이부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 멀티 코터.
According to claim 1,
The base comprises a vacuum hot plate, a multi-coater comprising a display unit for displaying the state of the bar coater.
제1항에 있어서,
상기 진공 핫 플레이트 상으로는 블레이드가 선택적으로 설치되어 사용되는 것을 특징으로 하는 멀티 코터.According to claim 1,
Multi-coater characterized in that the blade is selectively installed and used on the vacuum hot plate.
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