KR102120952B1 - 액체 토출 특성 검출 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치는, 액체를 공급하는 액체 공급 유닛; 액체 공급 유닛으로부터 공급된 액체가 통과하는 유로와, 유로와 연통되며 노즐이 장착되는 노즐 장착부를 포함하며, 액체 공급 유닛으로부터 공급되는 액체를 노즐 장착부에 장착된 노즐로 안내하는 액체 안내 유닛; 액체 안내 유닛의 내부에서 유로를 통과하는 액체로 광을 조사하는 조명 유닛; 및 노즐을 향하여 배치되어 노즐로부터 토출되는 액체의 이미지를 획득하는 카메라를 포함할 수 있다.

Description

액체 토출 특성 검출 장치{APPARATUS FOR DETECTING LIQUID DISCHARGE CHARACTERISTICS}
본 발명은 노즐로부터 토출되는 액체의 토출 특성을 검출하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액체를 토출하는 노즐이 다양한 산업 분야에서 사용되고 있다. 액체는 정량으로 그리고 조건에 맞는 형태로 노즐로부터 토출되어야 한다. 따라서, 액체가 노즐로부터 정상적으로 토출되고 있는지 여부를 판단하기 위해, 노즐로부터 토출되는 액체의 토출 특성을 검출하는 액체 토출 특성 검출 장치가 사용되고 있다.
종래의 액체 토출 특성 검출 장치는, 노즐의 외부에 배치되는 광원과, 노즐을 기준으로 광원의 반대측에 배치되는 카메라로 구성된다. 이러한 액체 토출 특성 검출 장치는, 광원을 사용하여 노즐 및 노즐 주변을 조명한 상태에서, 카메라를 사용하여 노즐로부터 토출되는 액체의 이미지를 획득하고, 획득된 액체의 이미지를 분석함으로써, 액체의 토출 특성을 검출한다.
그러나, 종래의 액체 토출 특성 검출 장치의 경우, 광원이 노즐의 외부에 배치되어 노즐 및 노즐 주위의 장치 또는 부품을 전체적으로 조명하기 때문에, 광원으로부터 조사된 광이 노즐 주위의 환경 내에서 산란하거나 노즐 또는 노즐 주위의 장치 또는 부품에 의해 회절되거나 난반사된다. 따라서, 이러한 광의 산란, 회절 또는 난반사로 인해 선명한 이미지를 획득하기 어렵고, 선명한 이미지를 획득하기 위해 광원의 위치, 광원으로부터 조사되는 광의 광량, 광원의 개수 등을 조절하는 과정이 복잡하다는 문제가 있다.
대한민국 공개특허 제10-2016-0127949호
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 노즐로부터 토출되는 액체의 토출 특성을 효과적으로 검출할 수 있는 액체 토출 특성 검출 장치를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치는, 액체를 공급하는 액체 공급 유닛; 액체 공급 유닛으로부터 공급된 액체가 통과하는 유로와, 유로와 연통되며 노즐이 장착되는 노즐 장착부를 포함하며, 액체 공급 유닛으로부터 공급되는 액체를 노즐 장착부에 장착된 노즐로 안내하는 액체 안내 유닛; 액체 안내 유닛의 유로를 통과하는 액체로 광을 조사하는 조명 유닛; 및 노즐을 향하여 배치되어 노즐로부터 토출되는 액체의 이미지를 획득하는 카메라를 포함할 수 있다.
액체 안내 유닛은, 내부 공간을 갖는 메인 바디; 및 메인 바디의 내부 공간 내에 배치되고, 액체 공급 유닛 및 노즐 장착부에 연결되어, 유로를 형성하는 튜브를 포함할 수 있다.
내부 공간을 이루는 메인 바디의 내면은 광 반사면으로 이루어질 수 있다.
광 반사면은 광 반사 부재 또는 광 반사 코팅으로 이루어질 수 있다.
조명 유닛은 복수의 광원을 포함할 수 있고, 복수의 광원은 유로의 둘레를 따라 배치될 수 있다.
조명 유닛은 복수의 광원을 포함할 수 있고, 복수의 광원은 유로의 길이를 따라 배치될 수 있다.
조명 유닛은, 유로의 둘레를 따라 서로 소정의 간격으로 배치되는 복수의 조명 부재; 복수의 조명 부재 각각에 하나 이상의 열로 배열되는 복수의 광원; 및 복수의 조명 부재의 각각에 탈착 가능하게 연결되며 복수의 조명 부재를 전기적으로 연결하는 복수의 연결 부재를 포함할 수 있다.
복수의 연결 부재는 복수의 조명 부재 사이의 각도가 조절되도록 구성될 수 있다.
조명 유닛은, 복수의 광원을 덮도록 구성되어 복수의 광원을 보호하는 보호 필름을 더 포함할 수 있다.
복수의 광원 중 적어도 일부는 서로 다른 파장의 광을 발광할 수 있다.
복수의 광원은 복수의 그룹으로 나뉘어 배치되고 복수의 그룹 중 어느 하나의 그룹 내의 광원은 다른 그룹 내의 광원으로부터 발광되는 광의 파장과 다른 파장을 갖는 광을 발광할 수 있다.
액체 안내 유닛은 카메라가 장착되는 카메라 장착부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치는 액체 공급 유닛으로부터 공급되는 액체의 온도를 조절하는 온도 조절 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치는 액체 공급 유닛으로부터 공급되는 액체의 압력을 조절하는 압력 조절 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치에 따르면, 액체 안내 유닛 내의 유로를 통과하는 액체가 액체 안내 유닛의 내부에서 조명 유닛에 의해 조명된 상태로 노즐의 토출구로부터 토출될 수 있다. 따라서, 노즐의 외부에서의 광의 산란과 노즐 및 노즐 주위의 장치 또는 부품에 의한 광의 회절 및 난반사 없이, 액체의 선명한 이미지를 획득할 수 있으며, 획득된 액체의 선명한 이미지를 근거로 하여 액체의 토출 특성을 효과적으로 검출할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치의 액체 안내 유닛 및 조명 유닛이 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치의 조명 유닛이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치의 조명 유닛의 다른 예가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치의 다른 예가 도시된 개략적으로 도시된 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치의 또 다른 예가 도시된 개략적으로 도시된 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치에서 토출되는 액체의 토출 특성을 나타내는 이미지이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치에 대하여 설명한다.
본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치는 다양한 종류의 노즐로부터 토출되는 액체의 토출 특성을 검출하는 데에 활용될 수 있다. 예를 들면, 인쇄 장치에서 잉크를 토출하는 데에 사용되는 노즐, 포토리소그래피 공정 등의 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 또는 기판 상에 포토레지스트 등의 액체를 도포하는 데에 사용되는 노즐, 각종 산업용 장비 및/또는 부품을 세척하기 위해 세정액을 토출하는 노즐, 디스플레이 제조 공정에서 패널 상에 액정이나 페이스트를 도포하는 데에 사용되는 노즐 등 액체를 토출하는 데에 사용되는 각종 산업용 노즐로부터 토출되는 액체의 토출 특성을 검출하는 데에 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치가 사용될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치는 액체를 다양한 형태로 토출하는 노즐로부터 토출되는 액체의 토출 특성을 검출하는 데에 활용될 수 있다. 예를 들면, 액체 토출 특성 검출 장치는, 노즐로부터 액주(液柱), 무화(霧化), 또는 액적 상태로 토출하는 액체의 토출 특성을 검출하는 데에 사용될 수 있다.
예를 들면, 액체의 토출 특성은 노즐로부터 토출되는 액체의 형상, 각도, 폭, 길이, 크기, 규모, 액적의 직경, 액적의 형상, 액적의 개수, 무화 형상, 무화 폭 등이 될 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치는, 액체를 공급하는 액체 공급 유닛(10)과, 액체 공급 유닛(10)으로부터 공급된 액체가 통과하는 유로(31)와 노즐(20)이 장착되는 노즐 장착부(32)를 갖는 액체 안내 유닛(30)과, 액체 안내 유닛(30)의 내부에 배치되며 유로(31)를 통과하는 액체로 광을 조사하는 조명 유닛(40)과, 노즐 장착부(32)에 장착된 노즐(20)을 향하여 배치되어 노즐(20)로부터 토출되는 액체의 이미지를 획득하는 카메라(50)를 포함한다.
액체 공급 유닛(10)은 펌프 등으로 구성될 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치는 액체 공급 유닛(10)으로부터 공급되는 액체의 온도(점도), 압력 등의 조건을 변경하면서 노즐(20)로부터 토출되는 액체의 토출 특성을 검출할 수 있다. 이를 위해, 액체 토출 특성 검출 장치는 액체 공급 유닛(10)으로부터 공급되는 액체의 압력을 조절하는 압력 조절 유닛(60)과, 액체 공급 유닛(10)으로부터 공급되는 액체의 온도를 조절하는 온도 조절 유닛(70)을 포함할 수 있다. 압력 조절 유닛(60)은 액체 레귤레이터 등으로 구성될 수 있다. 온도 조절 유닛(70)은 액체를 가열하는 가열기 및 액체를 냉각하는 냉각기를 포함할 수 있다. 이와 같이, 액체 토출 특성 검출 장치가 액체 공급 유닛(10)으로부터 공급되는 액체의 압력 및 온도를 조절하는 압력 조절 유닛(60) 및 온도 조절 유닛(70)을 포함하므로, 액체의 조건을 다양하게 변경하면서 노즐(20)로부터 토출되는 액체의 토출 특성을 검출할 수 있다.
액체 안내 유닛(30)은 액체 공급 유닛(10)으로부터 공급되는 액체를 노즐 장착부(32)에 장착된 노즐(20)로 안내하는 역할을 한다. 액체 안내 유닛(30)은 내부 공간(331)을 갖는 메인 바디(33)와, 메인 바디(33)의 내부 공간(331) 내에 배치되고, 액체 공급 유닛(10) 및 노즐 장착부(32)에 연결되어 유로(31)를 형성하는 튜브(34)를 포함할 수 있다.
노즐 장착부(32)는 메인 바디(33)의 외면에 설치될 수 있다. 노즐 장착부(32)는 유로(31)와 연통될 수 있다. 유로(31)가 튜브(34)에 의해 형성되는 경우, 노즐 장착부(32)는 튜브(34)와 연통될 수 있다.
노즐 장착부(32)에는 다양한 종류의 노즐(20)이 연결될 수 있다. 노즐 장착부(32)는 나사 결합 방식, 스냅 결합 방식, 루어 락(luer lock) 방식, 또는 나사 볼트 등의 체결 부재를 통한 결합 방식에 의해 노즐(20)이 노즐 장착부(32)에 결합되도록 구성될 수 있다. 이와 같이, 노즐 장착부(32)에 다양한 종류의 노즐(20)이 연결될 수 있으므로, 다양한 종류의 노즐(20)로부터 토출되는 액체의 토출 특성을 검출할 수 있다. 여기에서, 다양한 종류의 노즐(20)은, 하나 또는 복수의 토출구(21)가 구비된 노즐, 토출구(21)가 슬릿 형태로 형성된 노즐을 포함할 수 있다.
메인 바디(33)에는 카메라(50)가 장착되는 카메라 장착부(35)가 구비될 수 있다. 카메라 장착부(35)는 나사 결합 방식, 스냅 결합 방식, 루어 락(luer lock) 방식, 또는 나사 볼트 등의 체결 부재를 통한 결합 방식에 의해 카메라(50)가 카메라 장착부(35)에 결합되도록 구성될 수 있다. 이와 같이, 메인 바디(33)에 구비된 카메라 장착부(35)에 카메라(50)가 장착될 수 있으므로, 카메라(50)가 메인 바디(33)에 일체로 연결될 수 있으며, 이에 따라, 카메라(50)를 고정하기 위한 별도의 장치를 마련하지 않고, 액체 토출 특성 검출 장치를 간단하게 구성할 수 있다. 한편, 카메라 장착부(35)는 메인 바디(33)에 대한 카메라(50)의 위치를 조절 가능하도록 구성될 수 있다.
조명 유닛(40)으로부터 조사된 광이 유로(31)를 통과하는 광에 도달할 수 있도록, 유로(31)를 이루는 튜브(34)는 투명 또는 반투명 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 예를 들면, 튜브(34)는 PVC 등의 합성 수지로 이루어질 수 있다.
또한, 유로(31)를 통과하는 액체로 조사된 광이 외부로 누출되는 것을 방지하도록 메인 바디(33)는 광을 차단할 수 있는 재료로 이루어질 수 있다. 또한, 유로(31)를 통과하는 액체로 조사된 광이 외부로 누출되는 것을 방지하고 액체에 광이 집중될 수 있도록 내부 공간(331)을 이루는 메인 바디(33)의 내면은 광 반사면(332)으로서 이루어지는 것이 바람직하다. 메인 바디(33)가 금속으로 이루어지는 경우, 메인 바디(33)의 내면을 연마 가공하는 것에 의해 광 반사면(332)이 형성될 수 있다. 다른 예로서, 메인 바디(33)의 내면에 광 반사성 재료로 이루어진 광 반사 부재를 부착하거나 메인 바디(33)의 내면을 광 반사성 물질로 코팅하는 것에 의해 광 반사면(332)이 형성될 수 있다. 이러한 광 반사면(332)에 의해 액체로 조사된 광이 외부로 누출되는 것이 방지될 수 있고 광이 액체에 집중될 수 있다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 조명 유닛(40)은 유로(31)의 둘레를 따라 소정의 간격으로 배치되는 복수의 조명 부재(41)와, 복수의 조명 부재(41) 각각에 하나 이상의 열로 배열되는 복수의 광원(42)과, 복수의 조명 부재(41) 각각에 탈착 가능하게 연결되며 복수의 조명 부재(42)를 전기적으로 연결하는 복수의 연결 부재(43)를 포함할 수 있다.
복수의 조명 부재(41)가 유로(31)의 둘레를 따라 소정의 간격으로 배치됨에 따라, 복수의 광원(42)이 유로(31)의 둘레를 따라 배치될 수 있다. 또한, 복수의 조명 부재(41) 각각에 복수의 광원(42)이 하나 이상의 열로 배열됨에 따라, 복수의 광원(42)이 유로(31)의 길이를 따라 배치될 수 있다. 이와 같이, 복수의 광원(42)이 유로(31)의 둘레 및/또는 길이를 따라 배치될 수 있으므로, 유로(31)를 통과하는 액체로 광이 균일하게 전달될 수 있다.
복수의 광원(42)은 노즐(20)의 특성 및/또는 액체의 특성에 따라 동시에 온/오프되거나 복수의 광원(42) 중 일부가 선택적으로 온/오프될 수 있다. 예를 들면, 노즐(20)의 토출구(21)의 크기, 토출구(21)의 개수, 노즐(20)의 개수 등의 노즐(20)의 특성 및/또는 액체의 온도, 액체의 압력, 액체의 점성 등의 액체의 특성에 따라, 복수의 광원(42)으로부터 조사되는 광의 광량이 적절하게 조절될 수 있도록, 복수의 광원(42)이 동시에 온/오프되거나 복수의 광원(42) 중 일부가 선택적으로 온/오프될 수 있다. 복수의 광원(42) 중 일부가 선택적으로 작동됨에 따라, 광이 조사되는 유로(31)의 폭 및/또는 길이가 달라질 수 있다.
또한, 복수의 광원(42) 중 적어도 일부는 서로 다른 파장의 광을 발광하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 복수의 광원(42)은 각각 적외광, 자외광, 적색광, 녹색광, 청색광을 포함하는 다양한 파장의 광을 발광하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 복수의 광원(42)은 복수의 그룹으로 나뉘어 배치되고 복수의 그룹 중 어느 하나의 그룹 내의 광원(42)은 다른 그룹 내의 광원(42)으로부터 발광되는 광의 파장과 다른 파장을 갖는 광을 발광하도록 구성될 수 있다. 이와 같은 경우, 하나의 그룹 내의 복수의 광원(42)이 유로(31)의 둘레를 따라 하나 이상의 열로 배치되고 복수의 그룹이 유로(31)의 길이를 따라 순차적으로 배치될 수 있다. 따라서, 서로 다른 파장을 갖는 광을 발광하는 복수의 광원(42)이 유로(31)의 길이를 따라 배치될 수 있다. 다른 예로서, 하나의 그룹 내의 복수의 광원(42)이 유로(31)의 길이를 따라 하나 이상의 열로 배치되고 복수의 그룹이 유로(31)의 둘레를 따라 순차적으로 배치될 수 있다. 따라서, 서로 다른 파장을 갖는 광을 발광하는 복수의 광원(42)이 유로(31)의 둘레를 따라 배치될 수 있다. 이와 같이, 복수의 광원(42)이 다양한 파장의 광을 발광하도록 구성될 수 있으므로, 액체의 온도, 액체의 압력, 액체의 점성 등의 액체의 특성에 따라, 다양한 파장 중 어느 하나의 파장의 광을 액체로 조사하거나 서로 다른 파장을 갖는 복수의 광이 조합된 광을 액체로 조사할 수 있다. 따라서, 액체의 특성에 따라 노즐(20)로부터 토출되는 액체의 선명한 이미지를 획득할 수 있으며, 액체의 선명한 이미지를 근거로 하여 액체의 토출 특성을 효과적으로 검출할 수 있다.
연결 부재(43)는 조명 부재(41)에 착탈 가능하게 연결될 수 있다. 예를 들면, 연결 부재(43)는 억지 끼워 맞춤이나 나사 또는 너트 등의 체결 부재에 의해 조명 부재(41)에 착탈 가능하게 연결될 수 있다. 따라서, 복수의 조명 부재(41)가 필요에 따른 개수로 복수의 연결 부재(43)에 의해 서로 연결될 수 있다.
복수의 연결 부재(43)는 복수의 조명 부재(41) 사이의 각도가 조절되도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 각 연결 부재(43)는 힌지축을 포함하여 복수의 조명 부재(41)가 서로에 대하여 힌지축을 중심으로 회전될 수 있도록 구성될 수 있다. 다른 예로서, 각 연결 부재(43)는 절곡 가능하되 절곡된 형상을 유지할 수 있는 전도성 소재로 이루어질 수 있다. 이와 같이, 복수의 조명 부재(41) 사이의 각도가 조절될 수 있으므로, 유로(31)의 크기 및 개수에 따라 복수의 조명 부재(41)를 적절하게 배치할 수 있다. 예를 들면, 도 4에 도시된 바와 같이, 하나의 메인 바디(33)의 내부에 복수의 튜브(34)가 배치되어 복수의 유로(31)를 구성하는 경우, 복수의 조명 부재(41)가 적절한 개수로 배치되고 복수의 조명 부재(41) 사이의 각도가 적절하게 조절됨에 따라, 복수의 조명 부재(41)가 복수의 유로(31)의 둘레에 배치될 수 있다. 따라서, 유로(31)의 크기 및 개수에 따라 복수의 조명 부재(41)를 적절하게 배치할 수 있고, 이에 따라, 복수의 유로(31)를 통과하는 액체로 광을 균일하게 전달될 수 있으므로, 노즐(20)로부터 토출되는 액체의 선명한 이미지를 획득할 수 있고, 액체의 선명한 이미지를 근거로 하여 토출 특성을 효과적으로 검출할 수 있다.
조명 유닛(40)은, 복수의 광원(42)을 덮도록 구성되어 복수의 광원(42)을 보호하는 보호 필름(44)을 더 포함할 수 있다. 이에 따라, 복수의 조명 부재(41)가 운반되는 과정 또는 메인 바디(33)의 내부에 배치되는 과정에서, 복수의 광원(42)을 외부 충격이나 오염으로부터 보호할 수 있다. 보호 필름(44)은 실리콘 등의 충격 흡수력 및 내오염성을 갖는 합성 수지로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 보호 필름(44)은 조명 부재(41) 상에 복수의 광원(42)이 배치된 상태에서 복수의 광원(42) 상에 합성 수지 등을 도포하는 것에 의해 형성될 수 있다.
한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 조명 부재(41) 중 적어도 어느 하나의 조명 부재(41)는 메인 바디(33)의 내부에 고정된 고정 부재(45)에 고정될 수 있다. 따라서, 복수의 조명 부재(41)가 복수의 연결 부재(43)에 의해 형상이 유지된 상태에서 메인 바디(33)의 내부에 고정될 수 있다. 예를 들면, 고정 부재(45)는 전도성 부재를 포함할 수 있고 전원(80)과 연결될 수 있다. 따라서, 전원(80)으로부터 고정 부재(45)에 고정된 조명 부재(41)로 전류가 인가될 수 있으며, 고정 부재(45)에 고정된 조명 부재(41)로 인가된 전류는 복수의 연결 부재(43)를 통해 복수의 조명 부재(41)로 인가될 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치의 다른 예를 도시한 것이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 메인 바디(33)의 내부 공간(331) 내에 별도의 튜브(34)를 구비하지 않고, 메인 바디(33)의 내부 공간(331)이 유로(31)를 구성할 수 있다. 이와 같은 경우, 조명 유닛(40)은 내부 공간(331)을 이루는 메인 바디(33)의 내면에 고정될 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치의 또 다른 예를 도시한 것이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 조명 유닛(40)은 메인 바디(33)의 내부에 배치되지 않고 메인 바디(33)의 외부에 배치될 수 있다. 그리고, 조명 유닛(40)이 배치되는 메인 바디(33)의 부분은 조명 유닛(40)으로부터 발광되는 광이 투과할 수 있는 재료로 이루어지는 광 투과부(333)로 이루어질 수 있다. 이와 같은 구성에 따르면, 메인 바디(33)의 외부에 배치된 조명 유닛(40)으로부터 발광된 광이 광 투과부(333)를 통하여 유로(31) 내의 액체로 전달될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 액체 토출 특성 검출 장치에 따르면, 액체 안내 유닛(30) 내의 유로(31)를 따라 흐르는 액체가 액체 안내 유닛(30)의 내부에서 조명 유닛(40)에 의해 조명된 상태로 노즐(20)의 토출구(21)로부터 토출될 수 있다. 이에 따라, 도 7에 도시된 바와 같이, 노즐(20) 외부에서의 광의 산란과 노즐(20) 및 노즐(20) 주위의 장치 또는 부품에 의한 광의 회절 및 난반사 없이, 액체의 선명한 이미지를 획득할 수 있으며, 획득된 액체의 선명한 이미지를 근거로 하여 액체의 토출 특성을 효과적으로 검출할 수 있다. 그리고, 검출된 액체의 토출 특성에 근거하여 액체의 특성 및 노즐의 특성을 검사하거나 평가할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
10: 액체 공급 유닛
20: 노즐
30: 액체 안내 유닛
40: 조명 유닛
50: 카메라

Claims (16)

  1. 액체를 공급하는 액체 공급 유닛;
    상기 액체 공급 유닛으로부터 공급된 액체가 통과하는 유로와, 상기 유로와 연통되며 노즐이 장착되는 노즐 장착부를 포함하며, 상기 액체 공급 유닛으로부터 공급되는 액체를 상기 노즐 장착부에 장착된 노즐로 안내하는 액체 안내 유닛;
    상기 액체 안내 유닛의 유로를 통과하는 액체로 광을 조사하는 조명 유닛; 및
    상기 노즐을 향하여 배치되어 상기 노즐로부터 토출되는 액체의 이미지를 획득하는 카메라를 포함하고,
    상기 조명 유닛은 복수의 광원을 포함하며, 상기 복수의 광원 중 적어도 일부는 서로 다른 파장의 광을 발광하는 것을 특징으로 하는 액체 토출 특성 검출 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 액체 안내 유닛은,
    내부 공간을 갖는 메인 바디; 및
    상기 메인 바디의 내부 공간 내에 배치되고, 상기 액체 공급 유닛 및 상기 노즐 장착부에 연결되어, 상기 유로를 형성하는 튜브를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출 특성 검출 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 내부 공간을 이루는 상기 메인 바디의 내면은 광 반사면으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액체 토출 특성 검출 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 광 반사면은 광 반사 부재 또는 광 반사 코팅으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액체 토출 특성 검출 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 광원은 상기 유로의 둘레를 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 액체 토출 특성 검출 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 광원은 상기 유로의 길이를 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 액체 토출 특성 검출 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 조명 유닛은,
    상기 유로의 둘레를 따라 서로 소정의 간격으로 배치되는 복수의 조명 부재; 및
    상기 복수의 조명 부재의 각각에 탈착 가능하게 연결되며 상기 복수의 조명 부재를 전기적으로 연결하는 복수의 연결 부재를 포함하고,
    상기 복수의 광원은 상기 복수의 조명 부재 각각에 하나 이상의 열로 배열되는 것을 특징으로 하는 액체 토출 특성 검출 장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 복수의 연결 부재는 상기 복수의 조명 부재 사이의 각도를 조절하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 액체 토출 특성 검출 장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 조명 유닛은, 상기 복수의 광원을 덮도록 구성되어 상기 복수의 광원을 보호하는 보호 필름을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출 특성 검출 장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 서로 다른 파장의 광은 적외광, 자외광, 적색광, 녹색광, 청색광을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출 특성 검출 장치.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 광원은 복수의 그룹으로 나뉘어 배치되고 상기 복수의 그룹 중 어느 하나의 그룹 내의 광원은 다른 그룹 내의 광원으로부터 발광되는 광의 파장과 다른 파장을 갖는 광을 발광하는 것을 특징으로 하는 액체 토출 특성 검출 장치.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 액체 안내 유닛은 상기 카메라가 장착되는 카메라 장착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출 특성 검출 장치.
  13. 청구항 1에 있어서,
    상기 액체 공급 유닛으로부터 공급되는 액체의 온도를 조절하는 온도 조절 유닛을 더 포함하는 액체 토출 특성 검출 장치.
  14. 청구항 1에 있어서,
    상기 액체 공급 유닛으로부터 공급되는 액체의 압력을 조절하는 압력 조절 유닛을 더 포함하는 액체 토출 특성 검출 장치.
  15. 노즐을 통해 액체를 토출하는 액체 토출 장치에 있어서,
    상기 액체가 통과하는 유로를 내부에 포함하는 액체 안내 유닛; 및
    상기 유로를 통과하는 액체로 광을 조사하는 조명 유닛;을 포함하고,
    상기 조명 유닛은 서로 다른 파장의 광을 발광하는 복수의 광원을 포함하고,
    상기 액체가 상기 조명 유닛에 의해 조명된 상태로 상기 노즐을 통해 토출되는 것을 특징으로 하는 액체 토출 장치.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 조명 유닛은 상기 액체 안내 유닛의 내부 또는 외부에 구비되는 것을 특징으로 하는 액체 토출 장치.
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