KR102110498B1 - 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템에 관한 것이다.
본 발명은 반도체 장비에 의해 수행되는 대상체에 대한 처리 과정을 촬영하도록 상기 반도체 장비의 복수의 지점에 배치된 카메라들로 이루어진 영상 촬영부, 상기 반도체 장비의 동작을 제어하며, 상기 대상체를 식별하기 위한 정보인 대상체 식별정보, 시간 정보와 매핑된 상기 대상체의 위치정보 및 상기 반도체 장비의 현재 동작상태를 나타내는 동작상태정보를 전송하는 장비 제어기 및 상기 영상 촬영부로부터 전송받은 상기 영상정보에 상기 영상정보를 촬영한 카메라를 식별하기 위한 정보인 카메라 식별정보를 부가하여 영상 데이터베이스에 저장되도록 제어하고, 상기 장비 제어기로부터 전송받은 상기 대상체 식별정보, 상기 시간 정보와 매핑된 상기 대상체의 위치정보 및 상기 동작상태정보를 포함하는 트래킹 정보가 트래킹 데이터베이스에 저장되도록 제어하는 네트워크 영상 기록장치를 포함한다.
본 발명에 따르면, 사용자가 반도체 공정의 대상물인 웨이퍼, 로트(lot) 등이 반도체 장비를 구성하는 세부 장비들에 투입되어 반도체 공정이 완료되기까지의 과정을 전체적으로 추적하도록 지원할 수 있다.

Description

반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템{INTELLIGENT IMAGE TRACKING SYSTEM OF SEMICONDUCTOR PROCESS}
본 발명은 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 사용자가 반도체 공정의 처리 대상물인 웨이퍼, 로트(lot) 등이 반도체 장비를 구성하는 세부 장비들에 투입되어 반도체 공정이 완료되기까지의 과정을 전체적으로 추적할 수 있도록 지원하는 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정은 세부 공정들이 연속적으로 수행되는 방식으로 진행되며, 반도체 장비는 전체 반도체 공정을 구성하는 세부 공정들을 수행하기 위한 장비들의 집합체라고 할 수 있다.
이와 같은 반도체 공정은 세부 공정들의 집합이기 때문에, 공정 관리와 관련하여 반도체 공정의 대상물인 특정 웨이퍼 또는 이 웨이퍼가 수용되어 있는 로트(lot)가 전체 반도체 공정 중에서 어느 단계에서 처리되고 있는지 추적할 필요가 있다.
반도체 공정 관리와 관련한 종래의 영상 기록 방식에 따르면, 복수의 카메라들을 전체 반도체 장비를 구성하는 세부 장비들의 처리 동작을 촬영할 수 있는 위치에 설치하고, 카메라들이 촬영한 영상을 단순히 카메라의 ID에 매칭시켜 저장한다.
그러나 이러한 종래 기술에 따르면, 사용자가 반도체 공정의 대상물인 특정 웨이퍼의 현재 상태를 조회하고자 하는 경우, 복수의 카메라 중에서 특정 카메라의 ID를 입력하면, 영상기록장치가 해당 카메라가 촬영한 개별 영상을 사용자에게 디스플레이할 뿐이기 때문에, 사용자가 전체적인 반도체 공정을 파악할 수 없다는 문제점이 있다. 즉, 종래 기술에 따르면, 영상기록장치가 특정 위치에 설치된 카메라가 촬영한 영상을 개별적인 영상으로 녹화하기 때문에, 사용자가 반도체 공정의 대상물인 웨이퍼, 로트(lot) 등이 반도체 장비를 구성하는 세부 장비들에 투입되어 반도체 공정이 완료되기까지의 과정을 전체적으로 추적하는데 어려움이 있다는 문제점이 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-1619097호(등록일자: 2016년 05월 02일, 명칭: 반도체 제조 공정에서의 공정 모니터링 시스템) 대한민국 공개특허공보 제10-2005-0048121호(공개일자: 2005년 05월 24일, 명칭: 식각장치의 모니터링 시스템 및 그의 모니터링 방법)
본 발명은 사용자가 반도체 공정의 처리 대상물인 웨이퍼, 로트(lot) 등이 반도체 장비를 구성하는 세부 장비들에 투입되어 반도체 공정이 완료되기까지의 과정을 전체적으로 추적할 수 있도록 하는 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
이러한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템은 반도체 장비에 의해 수행되는 대상체에 대한 처리 과정을 촬영하도록 상기 반도체 장비의 복수의 지점에 배치된 카메라들로 이루어진 영상 촬영부, 상기 반도체 장비의 동작을 제어하며, 상기 대상체를 식별하기 위한 정보인 대상체 식별정보, 시간 정보와 매핑된 상기 대상체의 위치정보 및 상기 반도체 장비의 현재 동작상태를 나타내는 동작상태정보를 전송하는 장비 제어기 및 상기 영상 촬영부로부터 전송받은 상기 영상정보에 상기 영상정보를 촬영한 카메라를 식별하기 위한 정보인 카메라 식별정보를 부가하여 영상 데이터베이스에 저장되도록 제어하고, 상기 장비 제어기로부터 전송받은 상기 대상체 식별정보, 상기 시간 정보와 매핑된 상기 대상체의 위치정보 및 상기 동작상태정보를 포함하는 트래킹 정보가 트래킹 데이터베이스에 저장되도록 제어하는 네트워크 영상 기록장치를 포함한다.
본 발명에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템에 있어서, 상기 네트워크 영상 기록장치는, 사용자가 입력한 검색조건에 따라 상기 트래킹 데이터베이스에 저장된 상기 트래킹 정보와 상기 영상 데이터베이스에 저장된 상기 카메라 식별정보가 부가된 영상정보를 매칭시켜 상기 반도체 장비에 의해 수행되는 상기 대상체에 대한 처리 과정이 연속적인 영상으로 표시되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템에 있어서, 상기 네트워크 영상 기록장치는, 상기 대상체 식별정보를 루트 노드(root node)로 구성하고, 상기 대상체가 이동하는 경로 상에 존재하는 출발점과 도착점을 차일드 노드(child node)로 구성하여 상기 트래킹 데이터베이스에 상기 트래킹 정보를 트리 구조로 저장하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템에 있어서, 상기 네트워크 영상 기록장치는, 상기 차일드 노드를 구성하는 출발점 또는 도착점에 대한 촬영을 담당하는 카메라가 복수개인 경우, 상기 동작상태정보에 따라 상기 복수개의 카메라 중에서 하나를 선택하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템에 있어서, 상기 반도체 장비가 복수개이고, 상기 반도체 장비를 담당하는 장비 제어기 및 네트워크 영상 기록장치가 상기 반도체 장비의 수에 대응하는 수를 갖는 경우, 상기 네트워크 영상 기록장치를 관리하는 중앙 관리 장치를 더 포함하고, 상기 중앙 관리 장치는 원격지의 사용자 단말로부터의 요청에 응답하여 상기 복수의 네트워크 영상 기록장치 중에서 상기 사용자 단말에 의해 지정된 네트워크 영상 기록장치가 제공하는 영상이 상기 사용자 단말에 표시되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 사용자가 반도체 공정의 처리 대상물인 웨이퍼, 로트(lot) 등이 반도체 장비를 구성하는 세부 장비들에 투입되어 반도체 공정이 완료되기까지의 과정을 전체적으로 추적할 수 있도록 하는 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템이 제공되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템을 나타낸 도면이고,
도 2는 본 발명의 일 실시 예의 변형된 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템을 나타낸 도면이고,
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템의 동작을 예시적으로 설명하기 위한 도면이고,
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 적용될 수 있는 예시적인 트리 구조를 나타낸 도면이고,
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 트리 구조를 이용하여 카메라 영상 검색하는 방식을 예시적으로 설명하기 위한 도면이다.
본 명세서에 개시된 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.
본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.
제1 또는 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만, 예컨대 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 벗어나지 않은 채, 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고 유사하게 제2 구성 요소는 제1 구성 요소로도 명명될 수 있다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접 연결되어 있거나 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에" 와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 본 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 나타낸다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의된 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템을 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템은 영상 촬영부(10), 장비 제어기(20) 및 네트워크 영상 기록장치(30)를 포함한다.
영상 촬영부(10)는 반도체 장비(1)에 의해 수행되는 대상체에 대한 처리 과정을 촬영하도록 반도체 장비(1)의 복수의 지점에 배치된 카메라들로 이루어진다. 예를 들어, 영상 촬영부(10)를 구성하는 카메라의 개수는 반도체 장비(1)를 구성하는 세부 장비들, 즉, 구성장비들의 개수와 동일할 수 있으나, 이에 한정되지는 않으며, 구성장비들의 개수보다 크거나 작을 수도 있다. 예를 들어, 반도체 장비(1)는 각각의 처리 반응이 수행되는 다수의 챔버들과 처리의 대상인 대상체를 각각의 챔버들로 이송하는 이송 장치들로 구성될 수 있으며, 대상체는 웨이퍼 또는 웨이퍼들이 수용된 로트(lot)일 수 있다.
장비 제어기(20)는 반도체 장비(1)의 동작을 전반적으로 제어하며, 처리의 대상물인 대상체, 즉, 웨이퍼 또는 로트(lot)를 식별하기 위한 정보인 대상체 식별정보, 시간 정보와 매핑된 대상체의 위치정보 및 반도체 장비(1)의 현재 동작상태를 나타내는 동작상태정보를 네트워크 영상 기록장치(30)로 실시간 전송하는 기능을 수행한다. 예를 들어, 장비 제어기(20)는 SEMI 국제 표준 프로그램에 정의된 CTC(Cluster Tool Controller)일 수 있으며, CTC는 SEMI 국제 표준 프로그램에 규정된 내용에 따라 특정 웨이퍼, 로트(lot)가 복수의 세부 구성장비들로 이루어진 반도체 장비(1) 내에서 이동하는 경로, 각 동작 수행 위치와 시간, 프로세스를 구성하는 전체 단계의 위치와 시간을 모두 기록한다. 본 발명의 일 실시 예는 이런 CTC에 기록되고 있는 정보를 네트워크 영상 기록장치(30)와 연동하여 추적에 필요한 웨이퍼 ID, 출발점, 도착점, 동작상태 등을 실시간으로 네트워크 영상 기록장치(30)로 전달한다. 네트워크 영상 기록장치(30)에 전달된 정보는 영상정보와 별개로 동시에 데이터베이스화된다.
네트워크 영상 기록장치(30)는 영상 촬영부(10)로부터 실시간 전송받은 영상정보에 이 영상정보를 촬영한 카메라를 식별하기 위한 정보인 카메라 식별정보를 부가하여 영상 데이터베이스(310)에 저장되도록 제어하고, 장비 제어기(20)로부터 전송받은 대상체 식별정보, 시간 정보와 매핑된 대상체의 위치정보 및 동작상태정보를 포함하는 트래킹 정보가 트래킹 데이터베이스(320)에 저장되도록 제어하는 기능을 수행한다. 예를 들어, 동작상태정보는 웨이퍼 또는 로트(lot)와 같은 대상체의 현재 상태를 나타내는 정보로서, 다수의 챔버들과 이송 장치들을 포함하여 구성되는 반도체 장비(1)의 어느 세부 공정 하에 있는지를 나타내는 정보일 수 있다.
예를 들어, 네트워크 영상 기록장치(30)는, 사용자가 입력한 검색조건에 따라 트래킹 데이터베이스(320)에 저장된 트래킹 정보와 영상 데이터베이스(310)에 저장된 카메라 식별정보가 부가된 영상정보를 매칭시켜 반도체 장비(1)에 의해 수행되는 대상체에 대한 처리 과정이 연속적인 영상으로 표시되도록 제어할 수 있다.
예를 들어, 네트워크 영상 기록장치(30)는, 대상체 식별정보를 루트 노드(root node)로 구성하고, 대상체가 이동하는 경로 상에 존재하는 출발점과 도착점을 차일드 노드(child node)로 구성하는 방식으로 트래킹 데이터베이스(320)에 트래킹 정보를 트리 구조로 저장할 수 있으며, 차일드 노드를 구성하는 출발점 또는 도착점에 대한 촬영을 담당하는 카메라가 복수개인 경우, 동작상태정보에 따라 복수개의 카메라 중에서 하나를 선택하도록 구성될 수 있다.
이를 본 발명의 일 실시 예에 적용될 수 있는 예시적인 트리 구조를 나타낸 도 4를 추가로 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 4를 추가로 참조하면, 저장되는 정보는 각각의 웨이퍼 ID를 인자로 하는 고유의 트리 구조를 구성한다. 웨이퍼 ID를 루트 노드(root node)로 구성하고, 함께 전달되는“출발점”과 “도착점”을 차일드 노드(child node)로 구성한다. “동작상태”는 각 링크(Link)의 가중치로 사용한다. 가중치에 의해서 “출발점”과 “도착점”의 차일드 노드(child node)로 구성한 카메라 ID를 선택한다. 카메라 ID는 검색 시 각 시점에 출력할 영상정보 검색에 사용한다.
이와 같이 구성한 웨이퍼 정보 트리는“출발점”과 “도착점”에 할당된 카메라가 다중, 즉, 여러개인 경우 카메라 선택에 있어 “가중치” 값을 적용함으로써 각 시점에서 최상의 영상을 추적할 수 있는 기능을 제공한다. “가중치”를 이용한 카메라 ID 추출에는 다음 수식 1이 적용될 수 있다.
[수식 1]
CAM ID =∑(Wafer ID × f(x), position × 가중치)
수식 1에서, f(x)는 동일 웨이퍼 ID 에 대한 인덱스 값이고, position은 출발점과 도착점의 고유값이다. “동작상태”에 대한 인덱스값을 부여하고 이 값을 “가중치”로 사용하여 각각의 위치와 동작에 따라 실영상을 조회할 수 있는 카메라를 선택할 수 있게 한다.
예를 들어, 네트워크 영상 기록장치(30)는 이러한 방법으로 저장된 데이터를 활용하여 검색조건에 따른 추적영상 검색 알고리즘을 도출해 낼 수 있다. 공정에서 효율적으로 사용할 수 있는 검색 조건으로는 “로트 ID”만을 조건으로 하는 검색, “로트 ID”와 “웨이퍼 ID”를 동시에 조건으로 하는 검색, “로트 ID”와 “웨이퍼 ID”와 “출발점” 및 “도착점“을 조건으로 하는 검색, “로트 ID”와 “웨이퍼 ID” 및 “시간”을 조건으로 하는 검색이 가능하다.
예를 들어, 네트워크 영상 기록장치(30)는 검색의 조건에 따라 웨이퍼 ID 및 출발/도착 노드 값 및 동작상태정보(가중치)를 적용하여 추적영상을 구성하고 그 정보를 도출해 낼 수 있다. 그 방법으로는 동일 웨이퍼 ID 값을 검색하여 루트(root) 의 각 Node 값으로 할당하고 이때 정보 저장 시 차일드 노드(child node)로 저장된 값을 같이 할당한다. 이때 웨이퍼 ID 값을 기준으로 트리(Tree) 구성 시 트리 생성시간을 기준으로 차일드 노드(Node)를 생성할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 트리 구조를 이용하여 카메라 영상 검색하는 방식을 예시적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 5를 추가로 참조하면, 네트워크 영상 기록장치(30)는 트리(Tree)로 구성함으로써 위에 언급한 4가지 검색조건 모두를 만족할 수 있는 검색경로를 제공할 수 있다. 검색조건 중 시간정보에 따라 왼쪽 B Node부터 검색하고 저장된 정보에서 가중치 값을 계산하여 Level 3의 Node에 할당된 카메라 영상을 검색하여 출력할 수 있다. 예를 들어, 여러 각도에서 촬영할 정보를 참조하기 위하여 “가중치”에 따라 Level 3 Node에 할당된 카메라 정보들 중 가중치 값 영역에 포함되어 있는 모든 정보를 다중으로 출력할 수 있다. 이에 따르면, 단순히 각 시점에서 하나의 카메라만을 참조하여 출력하는 방법에서 다양한 각도에서의 영상기능을 제공할 수 있다. 여러 개의 영상을 동시에 출력 할 경우 가중치가 높은 카메라 영상을 부각시켜 출력하는 기능을 제공할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예의 변형된 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템을 나타낸 도면이다.
도 2를 추가로 참조하면, 본 발명의 일 실시 예의 변형된 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템은 반도체 장비(1)가 복수개이고, 반도체 장비(1)를 담당하는 장비 제어기(20) 및 네트워크 영상 기록장치(30)가 반도체 장비(1)의 수에 대응하는 수를 갖는 경우, 사용자가 원격지에서 공정 상태를 영상 모니터링할 수 있도록 지원하는 시스템이다.
이를 위하여 도 2에 예시된 본 발명의 일 실시 예의 변형된 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템은 네트워크 영상 기록장치(30)를 관리하는 중앙 관리 장치(40)를 더 포함한다.
이 중앙 관리 장치(40)는 원격지의 사용자 단말(2)로부터의 요청에 응답하여 복수의 네트워크 영상 기록장치(30) 중에서 사용자 단말(2)에 의해 지정된 네트워크 영상 기록장치(30)가 제공하는 영상이 사용자 단말(2)에 표시되도록 제어한다. 중앙 관리 장치(40)를 제외한 구성은 도 1에 예시된 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템의 구성과 동일하므로 중복되는 설명은 생략한다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템의 동작을 예시적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 3을 추가로 참조하면, 단계 S10에서는, 반도체 장비(1)의 동작이 개시된다.
단계 S20에서는, 장비 제어기(20)가 미리 설정되어 입력되어 있는 제어 순서에 따라 반도체 장비(1)를 구성하는 세부적인 구성장비들의 동작을 제어하는 과정이 수행된다.
단계 S30에서는, 장비 제어기(20)가 처리의 대상물인 대상체를 식별하기 위한 정보인 대상체 식별정보, 시간 정보와 매핑된 대상체의 위치정보 및 반도체 장비(1)의 현재 동작상태를 나타내는 동작상태정보를 네트워크 영상 기록장치(30)로 실시간 전송하는 과정이 수행된다.
단계 S40에서는, 네트워크 영상 기록장치(30)가 장비 제어기(20)로부터 전달받은 정보들, 즉, 대상체 식별정보, 시간 정보와 매핑된 대상체의 위치정보 및 동작상태정보를 포함하는 트래킹 정보를 트래킹 데이터베이스(320)에 실시간 저장하는 과정이 수행된다.
단계 S20의 동작과 함께 개시되는 단계 S50에서는, 영상 촬영부(10)를 구성하는 카메라들이 자신이 담당하는 영역에 대한 촬영을 개시하는 과정이 수행된다.
단계 S60에서는, 영상 촬영부(10)를 구성하는 카메라들이 촬영한 영상정보를 네트워크 영상 기록장치(30)로 실시간 전달하는 과정이 수행된다. 예를 들어, 이 과정에서 카메라들이 네트워크 영상 기록장치(30)로 전달하는 영상정보는 패킷 형태일 수 있으며, 이 패킷에는 영상정보와 해당 영상정보를 촬영한 카메라의 식별정보가 포함될 수 있다.
단계 S70에서는, 네트워크 영상 기록장치(30)가 영상 촬영부(10)를 구성하는 카메라들로부터 전송받은 영상정보에 카메라 식별정보를 부가하여 영상 데이터베이스(310)에 실시간 저장하는 과정이 수행된다.
단계 S80과 단계 S90은 공정 상태를 모니터링하고자 하는 사용자로부터의 요청 이벤트가 발생하는 경우의 처리 과정으로서, 단계 S80에서는, 네트워크 영상 기록장치(30)가 자체적으로 구비된 모니터 등과 같은 입출력 인터페이스 장치 또는 중앙 관리 장치(40)를 경유하여접속한 원격지의 사용자 단말(2)로부터 영상 검색을 요청받는 과정이 수행된다.
단계 S90에서는, 네트워크 영상 기록장치(30)가 사용자가 입력한 검색조건에 따라 트래킹 데이터베이스(320)에 저장된 트래킹 정보와 영상 데이터베이스(310)에 저장된 카메라 식별정보가 부가된 영상정보를 매칭시켜 반도체 장비(1)에 의해 수행되는 대상체에 대한 처리 과정이 연속적인 영상으로 표시되도록 제어하는 과정이 수행된다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 사용자가 반도체 공정의 처리 대상물인 웨이퍼, 로트(lot) 등이 반도체 장비를 구성하는 세부 장비들에 투입되어 반도체 공정이 완료되기까지의 과정을 전체적으로 추적할 수 있도록 하는 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템이 제공되는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 저장영상과 웨이퍼 및 로트 정보를 연동하여 저장하고 이를 기반으로 웨이퍼 및 로트 단위로 장비 투입부터 FOUP(Front Opening Unified Pod)회수까지의 전 과정을 마치 한 카메라가 쫓아다니며 녹화한 듯한 영상을 사용자에게 보여줄 수 있다.
1: 반도체 장비
2: 사용자 단말
10: 영상 촬영부
20: 장비 제어기(Cluster Tool Controller)
30: 네트워크 영상 기록장치(Network Video Recorder)
40: 중앙 관리 장치
310: 영상 데이터베이스
320: 트래킹(Tracking) 데이터베이스

Claims (5)

  1. 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템으로서,
    반도체 장비에 의해 수행되는 대상체에 대한 처리 과정을 촬영하도록 상기 반도체 장비의 복수의 지점에 배치된 카메라들로 이루어진 영상 촬영부;
    상기 반도체 장비의 동작을 제어하며, 상기 대상체를 식별하기 위한 정보인 대상체 식별정보, 시간 정보와 매핑된 상기 대상체의 위치정보 및 상기 반도체 장비의 현재 동작상태를 나타내는 동작상태정보를 전송하는 장비 제어기; 및
    상기 영상 촬영부로부터 전송받은 영상정보에 상기 영상정보를 촬영한 카메라를 식별하기 위한 정보인 카메라 식별정보를 부가하여 영상 데이터베이스에 저장되도록 제어하고, 상기 장비 제어기로부터 전송받은 상기 대상체 식별정보, 상기 시간 정보와 매핑된 상기 대상체의 위치정보 및 상기 동작상태정보를 포함하는 트래킹 정보가 트래킹 데이터베이스에 저장되도록 제어하는 네트워크 영상 기록장치를 포함하고,
    상기 네트워크 영상 기록장치는,
    사용자가 입력한 검색조건에 따라 상기 트래킹 데이터베이스에 저장된 상기 트래킹 정보와 상기 영상 데이터베이스에 저장된 상기 카메라 식별정보가 부가된 영상정보를 매칭시켜 상기 반도체 장비에 의해 수행되는 상기 대상체에 대한 처리 과정이 연속적인 영상으로 표시되도록 제어하고,
    상기 대상체 식별정보를 루트 노드(root node)로 구성하고, 상기 대상체가 이동하는 경로 상에 존재하는 출발점과 도착점을 차일드 노드(child node)로 구성하여 상기 트래킹 데이터베이스에 상기 트래킹 정보를 트리 구조로 저장하는, 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 네트워크 영상 기록장치는,
    상기 차일드 노드를 구성하는 출발점 또는 도착점에 대한 촬영을 담당하는 카메라가 복수개인 경우, 상기 동작상태정보에 따라 상기 복수개의 카메라 중에서 하나를 선택하는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 반도체 장비가 복수개이고, 상기 반도체 장비를 담당하는 장비 제어기 및 네트워크 영상 기록장치가 상기 반도체 장비의 수에 대응하는 수를 갖는 경우,
    상기 네트워크 영상 기록장치를 관리하는 중앙 관리 장치를 더 포함하고,
    상기 중앙 관리 장치는 원격지의 사용자 단말로부터의 요청에 응답하여 상기 복수의 네트워크 영상 기록장치 중에서 상기 사용자 단말에 의해 지정된 네트워크 영상 기록장치가 제공하는 영상이 상기 사용자 단말에 표시되도록 제어하는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정에서의 지능형 영상 추적 시스템.
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