KR102108568B1 - 나노복합체를 포함하는 오일 누출 감지용 센서 및 이의 제조 방법 - Google Patents
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- 239000002114 nanocomposite Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 32
- 239000003305 oil spill Substances 0.000 title 1
- 229920001195 polyisoprene Polymers 0.000 claims abstract description 41
- 239000002048 multi walled nanotube Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 26
- 239000011540 sensing material Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000003921 oil Substances 0.000 claims description 136
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 22
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 22
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000010705 motor oil Substances 0.000 claims description 11
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims description 5
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 5
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 150000001263 acyl chlorides Chemical group 0.000 claims description 4
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 4
- FYSNRJHAOHDILO-UHFFFAOYSA-N thionyl chloride Chemical compound ClS(Cl)=O FYSNRJHAOHDILO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- -1 bromine compound Chemical class 0.000 claims description 3
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 description 12
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 6
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 6
- YOCIJWAHRAJQFT-UHFFFAOYSA-N 2-bromo-2-methylpropanoyl bromide Chemical compound CC(C)(Br)C(Br)=O YOCIJWAHRAJQFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 4
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 4
- 238000011160 research Methods 0.000 description 4
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 3
- 230000036632 reaction speed Effects 0.000 description 3
- VHYFNPMBLIVWCW-UHFFFAOYSA-N 4-Dimethylaminopyridine Chemical compound CN(C)C1=CC=NC=C1 VHYFNPMBLIVWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N Isoprene Chemical compound CC(=C)C=C RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTMDXZNDVAMKGV-UHFFFAOYSA-L copper(ii) bromide Chemical compound [Cu+2].[Br-].[Br-] QTMDXZNDVAMKGV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 2
- 229940093476 ethylene glycol Drugs 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 239000002520 smart material Substances 0.000 description 2
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 2
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZPBJLEZUJMQIHC-UHFFFAOYSA-N 2-(2-bromo-2-methylpropanoyl)oxyethyl 2-bromo-2-methylpropanoate Chemical compound CC(C)(Br)C(=O)OCCOC(=O)C(C)(C)Br ZPBJLEZUJMQIHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BOZRCGLDOHDZBP-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexanoic acid;tin Chemical compound [Sn].CCCCC(CC)C(O)=O BOZRCGLDOHDZBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHXMVFDLNGKBSR-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl 2-bromo-2-methylpropanoate Chemical compound CC(C)(Br)C(=O)OCCO MHXMVFDLNGKBSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960000549 4-dimethylaminophenol Drugs 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021590 Copper(II) bromide Inorganic materials 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 238000010560 atom transfer radical polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000013536 elastomeric material Substances 0.000 description 1
- GKSCTYSHDIGNGC-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-bromo-2-(bromomethyl)propanoate Chemical compound CCOC(=O)C(CBr)CBr GKSCTYSHDIGNGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000003673 groundwater Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000000543 intermediate Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011056 performance test Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000010206 sensitivity analysis Methods 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000000527 sonication Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
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Abstract
본 발명은 나노복합체를 포함하는 오일 누출 감지용 센서 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 구체적으로 감지재료로서 MWNT(Multi Walled Nano Tube)-grafting-polyisoprene 나노복합체 및 IDE 센서 소자를 포함하는 오일 누출 감지용 센서 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 본 발명에 따른 오일 누출 감지용 센서는 오일에 대해 민감하게 반응하여 단시간 안에 오일의 누출을 감지할 수 있으며, 특정 오일을 선택적으로 감지할 수 있을 뿐만 아니라 재사용이 가능하다.
본 발명에 따르면, 본 발명에 따른 오일 누출 감지용 센서는 오일에 대해 민감하게 반응하여 단시간 안에 오일의 누출을 감지할 수 있으며, 특정 오일을 선택적으로 감지할 수 있을 뿐만 아니라 재사용이 가능하다.
Description
본 발명은 나노복합체를 포함하는 오일 누출 감지용 센서 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 구체적으로 감지재료로서 MWNT(Multi Walled Nano Tube)-grafting-polyisoprene 나노복합체 및 IDE 센서 소자를 포함하는 오일 누출 감지용 센서 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
기존에 상용화된 오일센서 또는 관련 연구보고에서는 오일 누출 감지 방식으로 UV산란, 광산란, 탁도측정, 초음파 및 적외선 반사 등을 응용하므로 부피가 큰 센서 장치와 고비용을 필요로 하며 감지재료로써 금속 산화물을 주로 사용함에 따라 비교적 고온에서 감지 측정을 수행하기 때문에 상온에서 비교적 낮은 감지능력을 가지는 단점을 갖고 있다. 그러나 감지재료로써 고분자재료를 응용할 경우 박막 형태와 유연성을 결합하여 다양한 형태로 센서를 제작할 수 있으므로 센서의 소형화와 제작의 용이성 등을 실현함으로써 저비용 오일 누출 센서를 제작할 수 있다.
구리와 비교될 정도로 높은 전기전도성을 나타내는 MWNT에 엘라스토머 재료인 polyisoprene(PI)를 공유 결합시킨 MWNT-grafting-polyisoprene(PI) 나노복합체를 오일 누출 감지 재료로 사용하는 경우, 나노복합체가 오일과 접촉하였을 때 오일 분자들은 MWNT와 공유 결합된 PI 분자 사슬 사이로 쉽게 흡수, 침투 및 확산되며, 꼬여 있던 PI 분자 사슬이 오일 분자들에 의하여 펼쳐지게 되면서 팽윤현상이 일어난다. MWNT-grafting-PI 나노복합체의 팽윤현상에 의하여 PI와 공유결합 되어 있는 MWNT 간의 거리도 멀어지게 되며 이로 인하여 MWNT-grafting-PI 나노복합체의 전기적 성질이 달라진다(본원 발명 도 1 참조).
IDE(Interdigitated Electrodes)는 가스센서, 습도센서, 바이오센서 등 다양한 센서에 특정 성분을 감지하는 재료와 함께 응용되고 있는 센서소자이다. IDE 패턴을 응용하는 경우, IDE 센서소자의 크기가 작아 소량의 감지재료를 사용하므로 제작이 용이하고 경제적이며, IDE에 적용된 전극 패턴은 감지 재료와 맞닿는 표면적이 넓기 때문에 빠른 반응속도와 높은 민감도를 나타낼 수 있으며, 또한 측정 시 상대적으로 적은 노이즈와 감지에 필요한 충분한 전기 신호가 발생되므로 정밀한 측정이 가능하다는 장점을 갖고 있다.
IDE 패턴을 제작하는 방법으로 다양한 공정들이 존재하며 대표적으로 노광공정(Lithography) 및 metallic shadow mask를 이용한 증착공정이 있다. 노광공정은 나노 크기까지 정밀한 제작이 가능하다는 장점이 있지만 공정이 복잡하고 생산성이 떨어지는데 반해 증발기(evaporator) 및 metallic shadow mask를 이용한 증착공정은 노광공정과 비교하여 상대적으로 정밀함에서 떨어지지만 공정이 단순하며 그만큼 생산성이 높다는 장점이 있다.
오일 누출을 사전에 감지하기 위한 감지재료로써 MWNT-grafting-PI 나노복합체를 사용하고 센서소자 방식으로 IDE를 응용한 고성능 센서를 제작하는 것이 본 특허기술의 주요 핵심 내용이다.
엘라스토머와 MWNT를 응용한 오일센서에 대한 연구문헌들은 ①Smart Materials and Structures, Vol. 23, pp. 125020~125029 (2014), ②Materials Chemistry and Physics, Vol. 147, pp. 1029~1036 (2014). ③Rubber Chemistry and Technology, Vol 89. pp. 306~315 (2016) 등 3건이 보고 되었다. 그러나 이들 연구보고들의 경우 고분자재료인 엘라스토머에 CNT, polyaniline 및 graphite 등과 같은 전도성 재료를 첨가하였으며 엘라스토머의 팽윤현상을 이용하여 오일 누출을 감지 하였으나 전도성 재료와 엘라스토머를 단순 혼합하여 제조된 복합체를 감지재료로써 사용하였다. 3건의 연구보고에서는 오일과의 반응을 통해 상대 저항 수치가 최대값에 도달하는데 걸리는 시간이 최소 약 10분에서 최대 20분 정도로 비교적 오랜 시간이 소모되었으며, 또한 오일 접촉 후 나타난 상대저항 수치는 최소 0.5에서 최대 1.3 정도의 값을 보여주었으나 오일센서의 가역성 즉, 오일 누출을 최초 감지한 후 재사용이 가능한가를 확인할 수 있는 가역성에 대한 성능 시험결과는 제시하지 못하고 있다.
이에, 본 발명자들은 상기 종래기술들의 문제점들을 극복하기 위하여 예의 연구노력한 결과, 감지재료로서 MWNT(Multi Walled Nano Tube)-grafting-polyisoprene 나노복합체 및 IDE 센서 소자를 포함하는 오일 누출 감지용 센서의 경우, 오일에 대해 민감하게 반응하여 단시간 안에 오일의 누출을 감지할 수 있으며, 특정 오일을 선택적으로 감지할 수 있을 뿐만 아니라 재사용이 가능함을 확인하고, 본 발명을 완성하게 되었다.
Smart Materials and Structures, Vol. 23, pp. 125020~125029 (2014)
Materials Chemistry and Physics, Vol. 147, pp. 1029~1036 (2014).
Rubber Chemistry and Technology, Vol 89. pp. 306~315 (2016).
따라서, 본 발명은 오일에 대해 민감하게 반응하여 단시간 안에 오일의 누출을 감지할 수 있으며, 특정 오일을 선택적으로 감지할 수 있을 뿐만 아니라 재사용이 가능한 나노복합체를 포함하는 오일 누출 감지용 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 상기 나노복합체를 포함하는 오일 누출 감지용 센서를 제조하기 위한 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 한 양태에 따르면, 본 발명은,
(A) 기판에 IDE 패턴을 형성한 IDE 센서 소자를 제조하는 단계;
(B) 감지 재료로서 MWNT(Multi Walled Nano Tube)-grafting-polyisoprene 나노복합체를 제조하는 단계;
(C) 상기 (B)에서 제조한 나노복합체를 테트라히드로푸란(tetrahydrofuran)에 용해시켜 코팅액을 제조하는 단계; 및
(D) 상기 (A)단계에서 제조한 IDE 센서 소자에 (C)의 코팅액을 코팅하는 단계; 를 포함하는 오일 누출 감지용 센서의 제조 방법을 제공한다.
종래 엘라스토머에 CNT, polyaniline 및 graphite 등과 같은 전도성 재료를 첨가하여 오일 누출을 감지하기 위한 감지 재료로서 사용하였으나, 이는 전도성 재료를 단순히 혼합하여 제조된 복합체로서, 상기 감지 재료는 오일과의 반응을 통해 상대 저항 수치가 최대값에 도달하는데 걸리는 시간이 최소 약 10분에서 최대 20분 정도로 비교적 오랜 시간이 소모되기 때문에 오일 누출을 감지하기 위한 감지 재료로서 적합하다고 하기 어렵다.
이에, 본 발명자들은 MWNT 표면에 polyisoprene을 공유결합 시킨 나노복합체를 감지재료로서 이용한 센서의 경우, 오일과의 반응을 통해 상대 저항 수치가 최대값에 도달하는데 걸리는 시간을 최소화할 수 있으며, 오일에 대한 민감도, 선택성 및 가역성이 우수한 것을 확인하고, 본 발명을 완성하게 되었다.
본 발명의 오일 누출 감지용 센서의 제조 방법에 있어서, 상기 (A) 단계의 IDE 센서 소자는,
(A-1) 금속 섀도우 마스크(metallic shadow mask)를 기판 위에 올려 챔버(chamber) 내에서 10-6 내지 10-7(Torr)로 압력을 가하는 단계;
(A-2) 증착 재료로서 인듐을 이용하여 패턴을 증착시킨 다음, 냉각시킨 후 금속 섀도우 마스크를 제거하여 기판에 IDE 패턴을 형성시키는 단계; 및
(A-3) IDE 패턴이 형성된 기판을 진공 열처리하여 IDE 센서 소자를 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 본 발명의 IDE 센서 소자를 제조하는 단계에서의 증착공정은, 전자빔증착법(Electron Beam Evaporation) 또는 열증발증착법(Thermal Evaporation)과 같이 재료를 증발시켜 증착하는 Evaporation공정 및 DC(Direct Current), RF(Radio Frequency) 또는 Magnetron을 통해 생성되는 글로방전(Glow discharge)이용하여 재료를 증착하는 스퍼터링(sputtering)공정과 같은 PVD(Physical vapor deposition)공정을 이용하여 진행 할 수 있다.
본 발명에 따른 IDE 센서소자(L 37mm ⅹ W 25mm ⅹ H 1.0mm)는 인듐(indium, In)을 증착 재료로 사용하여 evaporator와 metallic shadow mask를 이용한 증착공정을 통해 제작하였으며, MWNT-grafting-Polyisoprene 나노복합체를 IDE센서 소자에 코팅하여 오일센서를 제작하였다(도 2 및 도 3 참조).
누출된 오일 분자가 MWNT-grafting-PI 나노복합체와 접촉하면 오일 분자는 나노복합체 내부로 침투하며 그로 인하여 나노복합체 팽윤현상이 일어난다. 오일 분자에 의한 MWNT-grafting-PI 나노복합체 팽윤현상에 따른 나노복합체의 전기적 성질 변화 즉, 저항 증가가 일어나며 이러한 변화를 Electrometer(6517B Electrometer/High Resistancemeter, Keithley)를 사용하여 측정함으로써 오일분자 존재 유무를 감지할 수 있다.
오일 접촉 이전에 센서 소자가 갖고 있는 기본 저항 수치(R0)와 오일 접촉 이후에 센서 소자에 나타나는 증가된 저항 수치(Rt)에 대한 상대적인 저항 증가량을 하기 [식 1]을 사용하여 상대저항(Relative Resistance) 수치값을 비교함으로써 센서소자의 민감도, 선택성, 가역성 등을 확인하였다.
[식 1]
본 발명의 오일 누출 감지용 센서의 제조 방법에 있어서, 상기 (B) 단계의 MWNT(Multi Walled Nano Tube)-grafting-polyisoprene 나노복합체의 제조는,
(B-1) MWNT를 강산 하에서 산화시켜 카르복실기(-COOH)로 기능화된 MWNT를 수득하는 단계;
(B-2) 상기 카르복실기로 기능화된 MWNT를 티오닐클로라이드 화합물과 반응시켜 아실클로라이드기(-COCl)를 도입하는 단계;
(B-3) 상기 아실클로라이드기가 도입된 MWNT를 에틸렌글리콜과 반응시켜 하이드록실기(-OH)를 도입하는 단계;
(B-4) 상기 하이드록실기가 도입된 MWNT에 브롬화합물을 혼합하여 Br기가 도입된 탄소나노튜브를 제조하는 단계; 및
(B-5) 상기 Br기가 도입된 탄소나노튜브에 polyisoprene을 첨가 및 반응시켜 MWNT-grafting-polyisoprene을 제조하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 오일 누출 감지용 센서의 제조 방법에 있어서, 상기 (B-1) MWNT(Multi Walled Nano Tube)-grafting-polyisoprene 나노복합체를 제조하는 단계에서, 상기 브롬 화합물은 BiB(α-bromoisobutyryl bromide), Hydroxyethyl-2-bromoisobutyrate, Ethylene bis(2-bromoisobutyrate) 및 Ethyl 3-bromo-2-(bromomethyl)propionate에서 선택된 하나 이상의 브롬화합물인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 오일 누출 감지용 센서의 제조 방법에 있어서, 상기 (C) 단계에서 코팅액의 나노복합체는 테트라히드로푸란 함량 대비 3 내지 5 wt%로 포함되는 것을 특징으로 하며, 나노복합체의 함량이 5 wt% 이상일 경우 용매에 잘 용해되지 않아 IDE센서소자에 코팅 시 균일한 코팅에 어려움이 생기는 문제가 발생할 수 있으며, 균일하지 못한 나노복합체 코팅은 결론적으로 오일 센서의 성능을 저하시킬 수 있다.
본 발명의 오일 누출 감지용 센서의 제조 방법에 있어서, 상기 (D) 단계에서의 코팅은 코팅액을 300 내지 500㎕ 인가하는 것을 특징으로 한다. 상기 코팅액이 300㎕ 미만일 경우, IDE 패턴 전체에 걸쳐 완벽하게 코팅 시키지 못하며 불균일한 코팅막을 형성시킨다. IDE 패턴 전체가 아닌 일부분만 코팅막이 형성될 경우, 그만큼 오일 센서의 감지 면적이 줄어들 뿐만 아니라 코팅막이 불균일하므로 오일센서 성능이 저하되는 문제가 발생한다. 또한, 코팅액이 500㎕ 초과할 경우에는 그만큼 IDE센서소자에 코팅되는 코팅막의 두께가 증가하게 된다. 이와 같이 코팅막의 두께가 증가하면 오일접촉 시 오일이 나노복합체 코팅막 안으로 침투 및 흡수 되는 시간이 증가하기 때문에 팽윤현상이 발생하기까지 소요되는 시간이 증가하게 되며, 결론적으로 오일센서의 민감도를 저하시키는 문제를 발생시킨다. 그 뿐만 아니라 감지 재료로서 필요로 하는 양 대비 오일을 검출하는 효율이 높지 않으므로 경제적인 측면에서 적합하지 못하다.
본 발명은 또한, 상기 제조 방법에 따라 제조된 오일 누출 감지용 센서를 제공한다.
전세계적으로 유류저장탱크의 설치가 지속적으로 증가함에 따라 최근 유류 유출에 의한 해양, 지하수 및 토양 등의 오염이 증가하고 있다. 따라서, 누유를 빠르게 감지하기 위하나 오일 누출 감지용 센서의 필요성이 증가하고 있다는 점에서 민감도, 빠른 반응속도, 우수한 선택성 및 가역성을 나타내는 본원 발명의 오일 누출 감지용 센서는 유류 유출을 감지하기 위하여 매우 적합하다.
본 발명의 오일 누출 감지용 센서는 오일 접촉 후 나타나는 상대 저항 수치가 1.5 내지 1.7인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 오일 누출 감지용 센서는 저항 수치가 최대값에 도달하는 시간이 3 내지 10분인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 오일 누출 감지 센서가 얼마나 빠른 시간 내에 오일 존재 유무를 감지할 수 있는지, 얼마나 큰 폭의 전기적 성질 변화가 감지 되는지를 확인하기 위하여 오일 누출 감지 센서의 민감도(sensitivity)를 측정하였다. 그 결과, 본 발명의 오일 누출 감지 센서는 오일과 접촉 하였을 때 즉각적으로 오일을 감지하였으며, 상대 저항 수치도 1.7까지 증가하였다. 이러한 결과는, 본 발명에 따른 오일 누출 감지 센서는 오일에 대해 민감하게 반응하여 단시간 안에 오일의 누출을 감지하는데 적합하다는 것을 보여준다(도 4 참조).
본 발명의 오일 누출 감지용 센서는 휘발유(Gasoline), 기관유(Engine oil) 및 로터리 진공 펌프유(Rotary pump oil)로 구성된 오일 중 하나 이상의 오일을 선택적으로 검출할 수 있으며, 바람직하게는 휘발유(Gasoline)를 선택적으로 검출할 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 특정 오일이 다른 오일들에 비하여 상대적으로 큰 전기적 성질 변화를 발생하는지 확인하기 위하여 오일 누출 감지 센서의 선택성(selectivity)을 확인하였다. 그 결과, 본 발명의 오일 누출 감지 센서는 기관유(Engine oil) 및 로터리 진공 펌프유(Rotary pump oil)보다 휘발유(Gasoline)에 대한 상대 저항 최대 수치 및 반응속도가 우수한 것을 확인하였다. 이러한 결과는, 본 발명에 따른 오일 누출 감지 센서는 기관유(Engine oil) 및 로터리 진공 펌프유(Rotary pump oil)도 검출할 수 있지만, 휘발유(Gasoline) 검출을 위한 선택성을 갖는 것을 보여준다(도 5 참조).
본 발명의 오일 누출 감지용 센서는 1회 내지 5회 재사용이 가능한 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 오일이 센서에 접촉되었을 최초 오일 누출 감지에 사용한 후 몇 회 재사용이 가능한지 확인하기 위하여 오일 누출 감지 센서 의 가역성(reversibility)을 확인하였다. 그 결과, 3회 반복 측정을 하였을 때에도 상대 저항 수치가 원래의 수치로 회복되며, 3회 동안 모두 오일을 검출하는 것을 확인하였다. 이러한 결과는, 본 발명에 따른 오일 누출 감지 센서는 재사용이 가능하여 경제적인 측면에서 유용하다는 것을 보여준다(도 6 참조).
전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 오일 누출 감지용 센서는 오일에 대해 민감하게 반응하여 단시간 안에 오일의 누출을 감지할 수 있으며, 특정 오일을 선택적으로 감지할 수 있을 뿐만 아니라 재사용이 가능하다.
도 1은 본 발명에 따른 MWNT-grafting-Polyisoprene을 감지 재료로 사용한 오일센서의 오일 감지 메커니즘을 나타내는 도면이다.
도 2는 IDE 센서소자 제작공정 흐름을 나타내는 도면이다.
도 3은 IDE 센서소자 제작에 사용된 metallic shadow mask 및 IDE 센서소자를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 MWNT-g-polyisoprene 오일센서의 Gasoline에 대한 민감도를 나타내는 결과이다.
도 5는 본 발명에 따른 MWNT-g-polyisoprene 오일센서의 Gasoline, Engine oil 및 Rotary pump oil에 대한 상대적인 선택성을 보여주는 결과이다.
도 6은 본 발명에 따른 MWNT-g-polyisoprene 오일센서의 Gasoline에 대한 가역성을 나타내는 결과이다.
도 2는 IDE 센서소자 제작공정 흐름을 나타내는 도면이다.
도 3은 IDE 센서소자 제작에 사용된 metallic shadow mask 및 IDE 센서소자를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 MWNT-g-polyisoprene 오일센서의 Gasoline에 대한 민감도를 나타내는 결과이다.
도 5는 본 발명에 따른 MWNT-g-polyisoprene 오일센서의 Gasoline, Engine oil 및 Rotary pump oil에 대한 상대적인 선택성을 보여주는 결과이다.
도 6은 본 발명에 따른 MWNT-g-polyisoprene 오일센서의 Gasoline에 대한 가역성을 나타내는 결과이다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 이들 실시예는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이므로, 본 발명의 범위가 이들 실시예에 의해 제한되는 것으로 해석되지는 않는다.
실시예 1: MWNT-grafting-Polyisoprene 나노복합체 및 IDE 센서소자를 응용하여 제작한 오일센서의 민감도 분석
기 출원된 특허 제2017-0071002호, 원자이동라디칼 중합공정에 의하여 제조된 탄소나노튜브-고분자 나노복합체 제조방법 및 이의 중간체, 반응생성물의 정량 분석 방법을 바탕으로 제조한 MWNT-grafting-Polyisoprene(PI) 나노복합체를 이용하여 오일센서를 제조하였다. 구체적으로는 아래의 단계와 같다.
(1) MWNT와 질산을 0.1 g : 10 mL의 비율로 혼합한 후 60 ℃에서 24 시간 동안 교반하여 MWNT-COOH를 제조한다.
(2) 상기 (1)단계의 반응생성물 MWNT-COOH와 Thionly chloride를 1.3 g : 40mL의 비율로 혼합한 후 65 ℃에서 24 시간 동안 교반하여 MWNT-COCl를 제조한다.
(3) 상기 (2)단계의 반응생성물 MWNT-COCl과 Ethyleneglycol을 1.506 g : 60mL 비율로 혼합한 후 120 ℃에서 48 시간 동안 교반하여 MWNT-OH를 제조한다.
(4) 상기 (3)단계의 반응생성물 MWNT-OH 2.268 g과 DMAP(N,Ndimethylaminopyridine) 0.117 g, Triethylamine 1.209 g을 각각 넣어 혼합하고 BiB(α-bromoisobutyryl bromide)를 MWNT 대비 0.586 mmol/g를(MWNT 단위질량 당 0.586 mmol의 BiB) 첨가하여 MWNT-Br을 제조한다.
(5) 상기 (4)단계에서 얻어진 MWNT-Br 0.75 g과 dnbpy(4,4'-dinonyl-2.2'-dipyridyl) 0.230 g, CuBr2 0.0255 g, Sn(EH)2 (Tin(Ⅱ) 2-ethylhexanoate) 0.4675g, DMF(N,N-dimethylforamide) 30 mL 및 1,4-dioxane 45 mL를 혼합한 후 30 분 동안 sonication 과정을 수행한다.
(6) 상기 5단계의 혼합액을 고압반응기에 넣고 Isoprene 45 mL를 투입한다.
(7) 고압반응기를 30 atm 이상 질소 가압한 후 150 ℃에서 24 시간 동안 교반한다(ARGET-ATRP).
(8) 반응 종료 후 얻어진 생성물을 과량의 Methanol에 넣어 석출 및 세척 과정을 거쳐, 여과 과정을 거친 후 고형물을 얻는다.
그 다음, 상기 제조된 MWNT-grafting-Polyisoprene(PI) 나노복합체를 THF(tetrahydrofuran)에 용해시켜 4 wt% 용액을 제조하고, 용액 400㎕를 IDE 센서소자(도 3) 위에 코팅하여 오일 센서를 제작 후 Electrometer와 연결한다. Electrometer와 연결된 오일 센서에 Gasoline(SK Energy)을 마이크로 주사기를 이용하여 200㎕ 주입한 후 나타나는 전기저항의 변화를 측정하였으며, 그 결과를 도 4에 나타내었다.
도 4에서 확인할 수 있듯이, 오일을 접촉하였을 때 즉각적으로 그래프가 수직에 가깝게 증가하고, 오일 접촉 후 3분 이내에 상대저항 수치가 최대 약 1.7까지 증가하였으며 그 후 시간이 경과함에 따라 느리게 0에 가깝게 감소하는 것을 알 수 있다.
실시예 2: MWNT-grafting-Polyisoprene 나노복합체 및 IDE 센서소자를 응용하여 제작한 오일센서의 선택성 측정
실험 방법과 조건은 실시예 1과 동일하게 4 wt% MWNT-grafting-Polyisoprene의 THF 용액 400㎕를 IDE 센서소자(도 3) 위에 코팅 시켜 오일센서를 제작하였으며 추가적으로 Gasoline 뿐만 아니라 Engine oil(ZIC X5 7.5W-30, SK lubricants) 및 Rotary pump oil(MR-100, MORESCO) 등을 각각 오일센서에 200㎕씩 주입한 후 나타나는 전기저항의 변화를 측정하였으며, 그 결과를 도 5에 나타내었다.
그 결과 도 5에서 확인할 수 있듯이, 세 종류의 오일을 각각 오일센서에 접촉시켰을 때 나타나는 상대저항 수치는 Gasoline, Engine oil, Rotary pump oil 순서로 작게 나타났다.
또한, 상대저항 최대치에 도달하는 시간을 고려한 반응속도의 경우, Gasoline이 다른 두 종류 오일에 비하여 월등하게 빠르며 Rotary pump oil 다음에 Engine oil 순서로 빨랐다. 특히 Gasoline에 대한 상대저항 최대 수치와 반응속도는 Engine oil과 Rotary pump oil과 비교하여 월등히 우수하다는 것을 보여주었다.
주어진 측정 시간 (25분) 내에서 Gasoline과 Rotary pump oil은 상대저항 최대치에 도달한 이후 0에 가깝게 감소하여 회복되는 것을 알 수 있었으며, Gasoline의 회복속도가 가장 빨랐다. 한편, Engine oil의 경우 상대저항 수치가 주어진 측정 시간을 지나 지속적으로 증가함을 보여 주었다.
따라서, MWNT-grafting-Polyisoprene 나노복합체를 감지재료로 사용한 본 특허기술의 오일센서의 경우 Engine oil과 Rotary pump oil과 비교하여 Gasoline이 가장 우수한 선택성을 가지는 것을 확인할 수 있었다.
실시예 3: MWNT-grafting-Polyisoprene 나노복합체 및 IDE 센서소자를 응용하여 제작한 오일센서의 가역성 측정
실시예 1에서 오일 접촉 실험에 사용하였던 MWNT-grafting-Polyisoprene 오일센서를 24시간 상온에서 건조한 후, 실시예 1과 동일한 방법으로 Gasoline에 접촉시켜 저항변화를 측정하였으며, 이러한 오일 접촉 후 건조(24시간) 과정을 3회 반복 수행함으로써 MWNT-grafting-Polyisoprene 오일센서에 대한 가역성을 분석하였으며, 그 결과를 도 6에 나타내었다.
도 6에서 확인할 수 있듯이, 실시예 1과 동일한 방법으로 반복하여 저항변화를 측정하였을 때, 두 번째 측정은 첫 번째 측정과 거의 유사한 민감도를 보여주었으며, 세 번째 측정에서는 상대저항이 3.1로 첫 번째와 두 번째보다 증가된 민감도를 보여주었다.
첫 번째 측정에서는 상대저항 수치가 최대치에 도달한 후 0에 가깝게 회복이 되나 두 번째와 세 번째 측정의 경우 상대저항 1에 가깝게 회복되므로 측정이 반복될수록 회복이 느리다는 것을 확인할 수 있었다.
Gasoline에 대한 MWNT-g-polyisoprene 오일센서에 대하여 3회 반복 측정을 통해 가역성을 갖는 것을 확인할 수 있었다.
Claims (10)
- (A) 기판에 IDE 패턴을 형성한 IDE 센서 소자를 제조하는 단계;
(B) 감지 재료로서 MWNT(Multi Walled Nano Tube)-grafting-polyisoprene 나노복합체를 제조하는 단계;
(C) 상기 (B)에서 제조한 나노복합체를 테트라히드로푸란(tetrahydrofuran)에 용해시켜 코팅액을 제조하는 단계; 및
(D) 상기 (A)에서 제조한 IDE 센서 소자에 (C)의 코팅액으로 코팅하는 단계;
를 포함하며,
상기 나노복합체는 Br기가 도입된 탄소나노튜브 및 polyisoprene을 반응시켜 형성한 것으로, MWNT 표면에 polyisoprene이 공유 결합된 형태인
오일 누출 감지용 센서의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기 (A) 단계의 IDE 센서 소자는,
(A-1) 금속 섀도우 마스크(metallic shadow mask)를 기판 위에 올려 10-6 내지 10-7(Torr)로 압력을 가하는 단계;
(A-2) 증착 재료로서 인듐을 이용하여 패턴을 증착시킨 다음, 냉각시킨 후 금속 섀도우 마스크를 제거하여 기판에 IDE 패턴을 형성시키는 단계; 및
(A-3) IDE 패턴이 형성된 기판을 진공 열처리하여 IDE 센서 소자를 제조하는 단계;를 포함하는 오일 누출 감지용 센서의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기 (B) 단계의 MWNT(Multi Walled Nano Tube)-grafting-polyisoprene 나노복합체의 제조는,
(B-1) MWNT를 강산 하에서 산화시켜 카르복실기(-COOH)로 기능화된 MWNT를 수득하는 단계;
(B-2) 상기 카르복실기로 기능화된 MWNT를 티오닐클로라이드 화합물과 반응시켜 아실클로라이드기(-COCl)를 도입하는 단계;
(B-3) 상기 아실클로라이드기가 도입된 MWNT를 에틸렌글리콜과 반응시켜 하이드록실기(-OH)를 도입하는 단계;
(B-4) 상기 하이드록실기가 도입된 MWNT에 브롬화합물을 혼합하여 Br기가 도입된 탄소나노튜브를 제조하는 단계; 및
(B-5) 상기 Br기가 도입된 탄소나노튜브에 polyisoprene을 첨가 및 반응시켜 MWNT-grafting-polyisoprene을 제조하는 단계;를 포함하는 오일 누출 감지용 센서의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기 (C) 단계에서 코팅액의 나노복합체는 테트라히드로푸란 함량 대비 3 내지 5 wt%로 포함되는 것인
오일 누출 감지용 센서의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기 (D) 단계에서의 코팅은 코팅액을 300 내지 500㎕ 인가하는 것인
오일 누출 감지용 센서의 제조 방법.
- 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 따라 제조되며
MWNT 표면에 polyisoprene가 공유 결합된 형태인 MWNT(Multi Walled Nano Tube)-grafting-polyisoprene 나노복합체를 포함하는
오일 누출 감지용 센서.
- 제 6 항에 있어서,
상기 오일 누출 감지용 센서는 오일 접촉 후 나타나는 상대 저항 수치가 1.5 내지 1.7인 것인
오일 누출 감지용 센서.
- 제 6 항에 있어서,
상기 오일 누출 감지용 센서는 상대 저항 수치가 최대값에 도달하는 시간이 3 내지 10분인 것인
오일 누출 감지용 센서.
- 제 6 항에 있어서,
상기 오일 누출 감지용 센서는 휘발유(Gasoline), 기관유(Engine oil) 및 로터리 진공 펌프유(Rotary pump oil)로 구성된 오일 중 하나 이상의 오일을 선택적으로 검출할 수 있는 것인
오일 누출 감지용 센서.
- 제 6 항에 있어서,
상기 오일 누출 감지용 센서는 1 내지 5회 재사용이 가능한 것인
오일 누출 감지용 센서.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180040186A KR102108568B1 (ko) | 2018-04-06 | 2018-04-06 | 나노복합체를 포함하는 오일 누출 감지용 센서 및 이의 제조 방법 |
| PCT/KR2019/003782 WO2019194488A1 (ko) | 2018-04-06 | 2019-04-01 | 나노복합체를 포함하는 오일 누출 감지용 센서 및 이의 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180040186A KR102108568B1 (ko) | 2018-04-06 | 2018-04-06 | 나노복합체를 포함하는 오일 누출 감지용 센서 및 이의 제조 방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20190117096A KR20190117096A (ko) | 2019-10-16 |
| KR102108568B1 true KR102108568B1 (ko) | 2020-05-08 |
Family
ID=68100895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020180040186A KR102108568B1 (ko) | 2018-04-06 | 2018-04-06 | 나노복합체를 포함하는 오일 누출 감지용 센서 및 이의 제조 방법 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102108568B1 (ko) |
| WO (1) | WO2019194488A1 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102349009B1 (ko) * | 2020-07-28 | 2022-01-11 | 주식회사 대흥알앤티 | 코어-쉘 구조의 고분자 재료를 포함하는 포름알데히드 감지 센서 및 이의 제조 방법 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101397420B1 (ko) * | 2010-09-01 | 2014-05-20 | 인제대학교 산학협력단 | 탄소나노튜브-고분자 복합체로 이루어진 항균제 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20090025007A (ko) * | 2007-09-05 | 2009-03-10 | 현대자동차주식회사 | 감광성 폴리머를 이용한 빗살형 엔진오일 열화 감지 센서및 그의 제조방법 |
| KR101344738B1 (ko) * | 2011-12-12 | 2013-12-26 | 한국과학기술연구원 | 고감도 투명 가스 센서 및 그 제조방법 |
| KR101540321B1 (ko) * | 2013-09-12 | 2015-07-30 | 삼성중공업 주식회사 | 파이프의 오일 유출 감지 시스템 |
| EP3178889A1 (en) * | 2015-12-11 | 2017-06-14 | Lanxess Inc. | Elastomeric coatings |
-
2018
- 2018-04-06 KR KR1020180040186A patent/KR102108568B1/ko active IP Right Grant
-
2019
- 2019-04-01 WO PCT/KR2019/003782 patent/WO2019194488A1/ko active Application Filing
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101397420B1 (ko) * | 2010-09-01 | 2014-05-20 | 인제대학교 산학협력단 | 탄소나노튜브-고분자 복합체로 이루어진 항균제 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20190117096A (ko) | 2019-10-16 |
| WO2019194488A1 (ko) | 2019-10-10 |
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